JP5266671B2 - 液状体の吐出方法、有機ｅｌ素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、機能性材料を含む液状体の吐出方法、これを用いた有機ＥＬ素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法に関する。

近年、機能性材料を含む液状体を液滴として基板上に吐出描画して、金属配線や発光素子、カラーフィルタなどのデバイスを形成する液滴吐出法（インクジェット法）が注目されている。液滴吐出法は、これらのデバイスを形成するにあたり、必要な部位（吐出位置または吐出領域）に必要な量の上記液状体を付与することができるので、省資源、省エネルギーなどの観点から注目度が高い。

一方で、これらのデバイスに求められる形成精度の要求は、年々高まっている。したがって、基板に対して高い着弾位置精度で液滴を吐出することが求められている。液滴の着弾位置を制御する方法としては、ノズルから吐出されたインク滴の記録媒体への着弾状態に基づき、各ノズルの吐出特性を示すノズル情報を作成するノズル情報作成ステップと、作成されたノズル情報と記録データとに基づき、各ノズルから吐出されるインク滴が形成すべき画像に与える影響を予測する予測ステップと、予測結果に基づき各ノズルにおけるインク滴の吐出状態を補正するための補正情報を作成する補正情報作成ステップと、上記記録データと上記補正情報に基づきノズルの駆動を制御する制御ステップと、を備えたインクジェット記録方法が知られている（特許文献１）。

上記インクジェット記録方法では、記録媒体に対して複数のノズルからなるノズル列を有する記録ヘッドを移動させて、インク滴を吐出する主走査方向をＸ方向とし、ノズル列方向（副走査方向）をＹ方向としている。そして、インク滴の着弾位置がずれているノズルに対しては、ヘッド補正を行うとしている。このヘッド補正は、記録媒体上の仮想の理想記録マトリクスＭＴ（碁盤目）上において、インク滴の着弾位置ずれによって生ずる濃度むらを予測し、当該濃度むらを補正するように、着弾位置ずれが生ずるノズルの吐出に係わる駆動信号等を制御して吐出量を変更したりするとしている。

特開２００４−５８２８２号公報

しかしながら、このようなヘッド補正の方法では、インク滴の着弾位置を精密に制御するのは困難であった。具体的には、上記Ｘ方向の着弾位置ずれは、Ｘ方向に移動する記録ヘッドの位置、すなわち、記録媒体に対するノズルの相対的な位置を補正することにより改善が可能と考えられるが、上記ノズル列方向（Ｙ方向）の着弾位置ずれを高精度に制御する方法が具体的に開示されていなかった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る液状体の吐出方法は、複数のノズルと複数の吐出領域を有する基板とを主走査方向に相対移動させる間に、前記複数のノズルのうち選択されたノズルから液状体を液滴として吐出する主走査と、前記複数のノズルを前記主走査方向に対して直交する副走査方向に相対移動させる副走査とを組み合わせる吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記複数のノズルを前記液滴の着弾位置精度が異なる複数のノズルグループに区分するノズルグループ化工程を備え、前記吐出工程では、前記ノズルグループごとに前記液滴の着弾位置を補正するための補正情報に基づいて、前記複数のノズルを副走査方向に補正を加えて相対移動させる前記副走査と、１つの前記ノズルグループを単位として、前記ノズルグループのうち少なくとも１つのノズルを選択して前記液滴を吐出する前記主走査と、を行うことを特徴とする。

この方法によれば、吐出工程では、液滴の着弾位置精度が異なる複数のノズルグループごとに、副走査方向の相対位置が補正され、且つ少なくとも１つのノズルを選択して主走査が行われるので、複数の吐出領域が高精細に配置されていても、高い着弾位置精度で液滴を吐出領域に付与することができる。ゆえに、要求される水準に対して低い着弾位置精度を有する複数のノズルを用いても、実質的に高い着弾位置精度を実現することができる。

［適用例２］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記ノズルグループ化工程では、前記副走査方向と前記主走査方向とに分けて、それぞれ前記複数のノズルを前記複数のノズルグループに区分することが好ましい。
この方法によれば、上記副走査方向と上記主走査方向の両方向において、高精度に液滴を着弾させることができる。

［適用例３］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程では、前記主走査方向の前記ノズルグループごとに、吐出タイミングを補正した前記補正情報に基づいて前記液滴を吐出するとしてもよい。
この方法によれば、吐出タイミングによって、主走査方向の液滴の着弾位置を補正するので、複数のノズルと基板とを相対移動させながら主走査方向において高精度に液滴を着弾させることができる。

［適用例４］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記ノズルグループ化工程では、前記複数のノズルにおける前記液滴の着弾位置の分布を所定の範囲に基づいて分割し、分割された範囲に該当するノズルを１つの前記ノズルグループとして区分するとしてもよい。
この方法によれば、上記所定の範囲の着弾位置精度で液滴を吐出領域に着弾させることができる。

［適用例５］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記複数の吐出領域は、前記基板上に形成されたバンクによってマトリクス状に区画され、前記吐出領域に着弾した前記液滴が前記バンクを超えて隣接した吐出領域にはみ出さない範囲で、前記所定の範囲を設定するとしてもよい。
この方法によれば、少なくとも所望の吐出領域以外に液滴がはみ出して着弾することを防ぐことができる。したがって、異種の液状体をそれぞれ異なる吐出領域に吐出する場合には、異種の液状体同士が混じり合うことを防ぐことができる。

［適用例６］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記所定の範囲が前記吐出領域を区画する前記バンクの最小の幅の１／２以下の値であるとしてもよい。
この方法によれば、バンクによって区画された吐出領域の幅に相当する着弾径で液滴を吐出しても、液滴の着弾位置の範囲がバンクの最小の幅の１／２以下で収まるので、より高精度に液滴を着弾させることができる。

［適用例７］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記バンクの表面が撥液性を有していることが好ましい。
この方法によれば、液滴がバンクに掛かって着弾しても吐出領域内に液滴を収容することができ、必要量の液状体を液滴としてより確実に吐出領域に付与することができる。

［適用例８］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記複数のノズルと着弾観察用の被吐出物とを対向配置して、前記被吐出物上において仮想直線上に前記複数のノズルから前記液滴を着弾させることにより、前記ノズルごとの前記着弾位置の情報を入手するノズル情報入手工程をさらに備えることが好ましい。
この方法によれば、被吐出物上の仮想直線上における液滴の着弾位置を計測することにより、ノズルごとの着弾位置の情報を正確に入手することができる。

［適用例９］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記ノズル情報入手工程では、前記主走査と同じ条件で前記複数のノズルと前記被吐出物とを相対移動させ、前記仮想直線上に前記液滴を着弾させることが好ましい。
この方法によれば、実際に基板上に液滴を吐出するときの状態を反映した着弾位置の情報を入手することができる。すなわち、より的確にノズルごとの着弾位置の情報を入手することができる。本適用例における同じ条件とは、相対移動の往動や復動、相対移動速度、複数のノズルと被吐出物との間隔の条件を同じとすることを指す。また、上記条件のうち、最も液滴の着弾位置に影響を及ぼす条件を同じにすることを含む。

［適用例１０］本適用例に係る有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上に区画形成された複数の発光層形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の発光層形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、基板上において発光層形成領域が高精細に配置されていても、必要量の液状体を液滴として発光層形成領域に着弾させることができる。ゆえに、着弾不良を低減して高精細な有機ＥＬ素子を歩留りよく製造することができる。

［適用例１１］本適用例に係るカラーフィルタの製造方法は、基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の着色領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、着弾不良に起因する混色などの不良を低減して、高精細なカラーフィルタを歩留りよく製造することができる。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず、機能性材料を含む液状体を液滴として吐出することが可能な液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置について図１〜図５を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワークとしての基板Ｗを主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット９を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。

ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構としてのθテーブル６を介して配設された基板Ｗを載置するセットテーブル５とを備えている。移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する。セットテーブル５は基板Ｗを吸着固定することが可能であると共に、θテーブル６によって基板Ｗ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。

ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する２つの移動台３２，３３とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。キャリッジ８には、複数の液滴吐出ヘッド５０が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。また、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。移動台３２がキャリッジ８をＸ軸方向に移動させてヘッドユニット９を基板Ｗに対して対向配置する。

移動台３３には、撮像機構としてのカメラ１５が搭載されている。カメラ１５は、移動台３３によってＸ軸方向に移動して、基板Ｗの表面に着弾した液滴の着弾状態を観察して撮像することができる。必要により被写体を照明する照明装置を移動台３３に備えてもよい。

液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の液滴吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されているが図示省略した。

図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は概略分解斜視図、同図（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応するエネルギー発生手段としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。

キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有すると共に、このキャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７を有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。

液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。

図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに駆動電圧パルスが印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動電圧パルスの印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動電圧パルスを制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。

液滴吐出ヘッド５０は、圧電素子（ピエゾ素子）を備えたものに限らない。振動板５８を静電吸着により変位させる電気機械変換素子を備えたものや、液状体を加熱してノズル５２から液滴Ｄとして吐出させる電気熱変換素子を備えたものでもよい。

図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、セットテーブル５（図１参照）に対向する側から見た図である。

図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の液滴吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、各液滴吐出ヘッド５０（Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１）から異なる液状体を吐出可能な構成となっている。

各液滴吐出ヘッド５０は、ほぼ等しい間隔（およそ１４０μｍのノズルピッチＰ１）で配設された複数（１８０個）のノズル５２からなる２つのノズル列５２Ａ，５２Ｂを有している。ノズル列５２Ａとノズル列５２Ｂとは互いにノズルピッチＰ１の半分のノズルピッチＰ２ずれた状態で、ノズルプレート５１に設けられている。したがって、ノズル列５２Ａ，５２Ｂに対して直交する方向から見れば、実質上およそ７０μｍのノズルピッチＰ２でノズル５２が配置されていることになる。ノズル５２の径はおよそ２０μｍである。１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬとし、これを２つのノズル列５２Ａ，５２Ｂの有効長とする。

本実施形態では、各液滴吐出ヘッド５０（Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１）は互いに並行してヘッドプレート９ａに配設されている。

なお、液滴吐出ヘッド５０のヘッドプレート９ａに対する配設方法は、これに限定されない。また、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列は２列に限らず、１列でも、あるいは３列以上でもよい。

次に液滴吐出装置１０の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。液滴吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０を制御する制御部４とを備えている。また、カメラ１５が接続された画像処理部４９を備えている。

駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、メンテナンス機構の各メンテ用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ（図示省略）とを備えている。

制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４に、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。

ＲＡＭ４３は、基板Ｗに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、基板Ｗおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、複数のノズル５２）の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等や画像処理部４９が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。

そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、液滴吐出ヘッド５０と基板Ｗとを対向配置させ、液滴吐出ヘッド５０と基板Ｗとの相対移動に同期して、各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から基板Ｗに液状体を液滴Ｄとして吐出して描画を行う。本実施形態では、Ｙ軸方向への基板Ｗの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｘ軸方向に複数の液滴吐出ヘッド５０が搭載されたヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向への基板Ｗの移動に限らず、基板Ｗを往復させて行うこともできる。

また、ＣＰＵ４１は、ヘッド移動機構３０を駆動して移動台３３をＸ軸方向に移動させ、搭載されたカメラ１５を基板Ｗと対向させる。そして、基板Ｗの表面に着弾した液滴Ｄの状態を観察すると共に撮像する。基板Ｗに対してカメラ１５を移動して観察する位置情報は、上位コンピュータ１１により生成され観察座標として予めＲＡＭ４３に入力されている。画像処理部４９はＰ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピュータ１１と接続されている。上位コンピュータ１１は、カメラ１５が撮像し画像処理部４９によって変換された画像情報を表示部に表示することができ、オペレータは、液滴Ｄの着弾状態を確認することができる。

画像処理部４９は、撮像された液滴Ｄの着弾状態をビットマップデータに変換する。ＣＰＵ４１は、このビットマップデータから液滴Ｄの着弾位置ずれ量や着弾径を演算することができる。演算結果は、ＲＡＭ４３に書き込まれる。またほぼ同時にノズル情報として上位コンピュータ１１に送出され記憶部に格納される。ノズル５２が目詰まりを起こし、液滴Ｄが吐出されなかった場合も同様に画像認識され、ノズル情報として記憶部に格納される。詳細については後述する液状体の吐出方法において説明する。

このような液滴吐出装置１０を用いて、基板Ｗ上に区画された複数の吐出領域に液状体を液滴Ｄとして付与する場合、液滴Ｄの着弾位置だけでなく、好適な着弾径となるように液滴Ｄの吐出量を制御する必要がある。

図５は、ヘッドドライバが液滴吐出ヘッドに送る駆動信号（パルス）を示すタイムチャートの一例である。例えば、図５に示すように、制御部４は、ヘッドドライバ４８が発生する駆動信号の４つのパルスの内のいずれか、または２つを選択する制御信号をヘッドドライバ４８に送ることによって、液滴吐出ヘッド５０から異なる着弾径の液滴Ｄを吐出可能である。

ヘッドドライバ４８は、第１〜第４パルスを１周期とする吐出周期の駆動信号を発生することができる。第１パルスは、基準の電圧をＶｍとして最大駆動電圧Ｖｐと極性の異なる最小駆動電圧ＶＬとの間で振幅する矩形状の駆動信号である。同様にして第２パルスは基準電圧Ｖｍと最大駆動電圧Ｖｐとの間で振幅する駆動信号である。第３パルスは第１パルスと同じ駆動信号であり、第４パルスは基準電圧Ｖｍと中間電圧Ｖｎとの間で振幅する駆動信号である。このように電圧波形の異なる駆動信号を振動子５９（図２参照）に印加することによって、振動子５９が接合した振動板５８の撓み量が変化し、キャビティ５５（図２参照）に充填された液状体への加圧力が変化して、吐出される液滴Ｄの吐出量を変えることができる。

制御部４は、描画データに基づいて小ドットの着弾径の液滴Ｄを吐出させる場合は、４ビットからなるビットマップデータを（０１００）とし、所望のノズル５２に駆動信号（パルス）の印加を促すラッチ信号をヘッドドライバ４８へ送る。ヘッドドライバ４８は、ビットマップデータ（０１００）により選択された第２パルスを所望のノズル５２に対応するピエゾ素子５９ｃに印加する。同様にしてビットマップデータを（１０００）とすれば第１パルスを選択して中ドットの着弾径の液滴Ｄが吐出される。そしてビットマップデータを（１０１０）とし第１パルスと第３パルスとを選択して、ラッチ信号で第１パルスを印加して中ドットとなる液滴Ｄを吐出させた後に、同じノズル５２から同じ位置で再びチャンネル信号によって第３パルスを印加することによって中ドットを２回重ね打ちした大ドットとすることができる。またビットマップデータを（０００１）とすれば第４パルスを選択する。第４パルスを振動子５９に印加しても液滴Ｄは吐出されない（無ドット）。第４パルスは、ノズル５２内の液状体のメニスカスを微振動させる程度に振動子５９が接合した振動板５８が液状体を加圧するように中間電圧Ｖｎが設定されている。したがって、液状体を吐出しないノズル５２を選択して第４パルスを対応する振動子５９に印加すれば、該当するノズル５２の液状体のメニスカスを微振動させてノズル５２の目詰まりを防ぐことができる。

上記のように、駆動パルス（駆動信号）ごとに１ビットのデータを割り当てて描画データを構成すれば、各ビットの値によって所望の駆動パルスのみを選択することができる。この駆動パルスごとに割り当てられる１ビットのデータが「パルス選択信号」となる。なお、第４パルスを省略する場合は、無ドットを（０００）、小ドットを（０１０）、中ドットを（１００）、中ドット２発による大ドットを（１０１）のように、３ビットの吐出データに翻訳すればよい。

上記液滴吐出装置１０によれば、液状体を液滴Ｄとして付与する吐出領域のサイズや形状、配置などに応じて、好適な着弾径となるように液滴Ｄの吐出量を制御することができる。当然ながら、着弾径は、液滴Ｄの吐出量に依存するだけでなく、液状体の物性（粘度、表面張力）や、被吐出物である基板Ｗの表面状態（界面張力）によっても左右される。したがって、これらの特性を考慮して、液滴Ｄの吐出量を制御する。

＜液状体の吐出方法＞
次に、本実施形態に係る液状体の吐出方法について図６〜図１３を参照して説明する。図６は、基板上の吐出領域を示す概略図である。詳しくは、同（ａ）は概略平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＨ−Ｈ’線で切った概略断面図である。

図６（ａ）に示すように、基板Ｗ上には、複数の吐出領域ＥがＸ軸方向およびＹ軸方向にマトリクス状に配置されている。各吐出領域Ｅは、基板Ｗ上においてバンクＢａにより区画され、Ｙ軸方向に細長いトラック状の形状をなしている。吐出領域Ｅにおいて、Ｙ軸方向の両端部が円弧状となっているのは、着弾した液滴Ｄの当該両端部における濡れ広がりを考慮したものである。

バンクＢａは、少なくともその表面（着弾面）が撥液性を有することが望ましい。液滴Ｄの一部がバンクＢａに掛かって着弾しても、着弾面が撥液性を有していれば、吐出領域Ｅ内に液状体（液滴Ｄ）を収容することができる。バンクＢａの形成方法としては、例えば、撥液性を有する感光性樹脂材料を基板Ｗの表面に塗布して、フォトリフォグラフィ法により露光・現像する方法が挙げられる。また、撥液性を有していない感光性樹脂材料を用いた場合でも、バンクＢａを形成後、フッ素系の処理ガスを用いて表面処理することにより、表面に撥液性を付与することも可能である。

基板Ｗ上における吐出領域Ｅの配置は、設計事項であるが、より高精彩な配置が要求されている。例えば、吐出領域Ｅを表示装置の画素構成要素とし、４００ｐｐｉ（pixel per inch）の密度で基板Ｗ上に配置する場合の設計寸法の例を示すと次のようになる。Ｘ軸方向の配置ピッチＰｘが２１μｍ、同じく幅Ｐｗが１６μｍ、よってＸ軸方向のバンクＢａの幅Ｂｗが５μｍとなる。Ｙ軸方向の配置ピッチＰｙが６３μｍ、同じく幅ＰＬが４８μｍ、よってＹ軸方向のバンクＢａの幅ＢＬが１５μｍとなる。これによれば、吐出領域Ｅの開口率はおよそ１８％である。当然ながら開口率をさらに上げようとすれば、バンクＢａの幅Ｂｗ，ＢＬをさらに狭くする必要がある。バンクＢａの高さは、吐出領域Ｅに付与する液状体の総量に応じて決定される。本実施形態では、バンクＢａの高さをおよそ２〜３μｍとした。

吐出領域Ｅの配置が上記のように微細になると、液滴Ｄがわずかにずれて着弾しても、バンクＢａを越えてしまい、隣接する吐出領域Ｅに液滴Ｄの一部が流出してしまう。言い換えれば、所望の吐出領域Ｅに必要な量の液状体を付与することができなくなるという問題が生ずる。したがって、図６（ｂ）に示すように、吐出条件の１つとして、吐出された液滴Ｄを吐出領域Ｅのほぼ中央付近に着弾させる必要が生じてくる。

また、液滴Ｄを吐出領域Ｅのほぼ中央付近に着弾させても、その着弾径があまりに大き過ぎると、上記と同様な問題が生ずる。液滴Ｄの吐出量は前述したように制御可能であるため、後者の問題は比較的容易に調整が可能である。

一方、前者の着弾位置精度に関する問題を改善することは非常に難しい。液滴吐出ヘッド５０には、合計３６０個（１８０個のノズル５２からなるノズル列が２つ）のノズル５２を有している。すべてのノズル５２において、液滴Ｄの着弾位置精度を高精度に維持することは困難である。

そこで、本実施形態では、ノズル５２ごとに吐出された液滴Ｄの着弾状態を観察・分析して、ノズル５２ごとの吐出特性をノズル情報として入手する（ノズル情報入手工程）。

図７（ａ）〜（ｃ）は、ノズル情報の入手方法の一例を示す概略平面図である。図７（ａ）に示すように、液滴吐出装置１０のセットテーブル５（図１参照）に着弾観察用の被吐出物として記録紙１８を載置する。各液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から同種の液滴Ｄが副走査方向（Ｘ軸方向）において仮想直線上に着弾するように吐出する。具体的には、制御部４がヘッドユニット９とセットテーブル５とを相対移動させ、吐出された液滴Ｄが上記仮想直線上に着弾するように各ノズル列５２Ａ，５２Ｂの吐出タイミングを制御する。そして、カメラ１５を用いて記録紙１８上に着弾した液滴Ｄの着弾状態を観察する。ノズル列５２Ａとノズル列５２Ｂとから液滴Ｄを吐出して吐出状態に不具合がなければ、液滴Ｄは仮想直線上に着弾する。また、液滴Ｄの吐出量が各ノズル５２においてほぼ同等ならば、着弾した各液滴Ｄの着弾径はほぼ同一となる。

図７（ｂ）に示すように、例えば、ノズル列５２Ａとノズル列５２Ｂとにおいて、主走査方向（Ｙ軸方向）に飛行曲がりが生ずるノズル５２があれば、吐出された液滴Ｄが仮想直線上からずれた位置に着弾する。このような着弾状態を撮像して画像処理することにより、ＣＰＵ４１がずれ量Δｙを演算する。図７（ｂ）では、ノズル番号が♯４と♯３５９のノズル５２から吐出された液滴Ｄが明らかにずれた状態で着弾した例を示しているが、本実施形態では、ＣＰＵ４１は、すべてのノズル５２についてずれ量Δｙを演算する。そして、演算結果をノズル情報としてＲＡＭ４３や上位コンピュータ１１の記憶部に格納しておく。

同様にして、図７（ｃ）に示すように、例えば、ノズル列５２Ａとノズル列５２Ｂとにおいて、副走査方向（Ｘ軸方向）に飛行曲がりが生ずるノズル５２があれば、吐出された液滴Ｄが仮想直線上において等間隔に着弾しない。このような着弾状態を撮像して画像処理することにより、ＣＰＵ４１がずれ量Δｘを演算する。図７（ｃ）では、ノズル番号が♯４と♯３５９のノズル５２から吐出された液滴Ｄが明らかに不等間隔で着弾した例を示しているが、本実施形態では、ＣＰＵ４１は、すべてのノズル５２についてずれ量Δｘを演算する。そして、演算結果をノズル情報としてＲＡＭ４３や上位コンピュータ１１の記憶部に格納しておく。

当然のことながら着弾位置が主走査方向（Ｙ軸方向）および副走査方向（Ｘ軸方向）に限らず斜めにずれることがある。よって、ずれ量は、同一ノズル５２において副走査方向のずれ量Δｘと主走査方向のずれ量Δｙとに分けて算出される。また、飛行曲がりが生ずるノズル５２から吐出された液滴Ｄの着弾位置ずれは、液滴吐出ヘッド５０（複数のノズル５２）と被吐出物との相対移動の方向によってもずれ量が変化するおそれがある。したがって、液滴吐出ヘッド５０が搭載されたヘッドユニット９に対して記録紙１８を主走査方向に往復させ、往動と復動とに分けて別の仮想直線上に液滴Ｄが着弾するように吐出して着弾状態を観察することが望ましい。さらには、ヘッドユニット９と記録紙１８の相対移動速度は、実際に基板Ｗ上に液滴Ｄを吐出するときの相対移動速度に対して同一とすることが望ましい。実際の液状体の吐出状態を反映したノズル情報を得るために、上記のような着弾観察を繰り返し行って、各ノズル５２の吐出特性（着弾位置精度）の代表的な値（例えば、平均値、中央値）を入手して補正値として利用する。

なお、本実施形態では、２つのノズル列５２Ａ，５２Ｂを１つのノズル列と仮定して、合計３６０個のノズル５２についてノズル情報を入手したが、１８０個のノズル列ごとに入手する方法でもよい。その場合には、液滴吐出ヘッド５０と記録紙１８とを相対移動させずに液滴Ｄを吐出させれば、副走査方向の仮想直線上に液滴Ｄを着弾させることが可能である。

また、液滴吐出ヘッド５０（ノズル列５２Ａ，５２Ｂ）を主走査方向に対して傾斜するように基板Ｗに対して配置する場合が考えられる。そのときには、記録紙１８に対しても同様に液滴吐出ヘッド５０を傾けて配置して、相対移動させ、ノズル５２ごとに吐出タイミングを制御すれば、副走査方向の仮想直線上に液滴Ｄを着弾させることができることは、言うまでもない。

さらには、着弾観察用の被吐出物は、記録紙１８に限らず、基板Ｗを用いてもよい。これによれば、液滴吐出ヘッド５０と基板Ｗとの間隔を、実際に基板Ｗに液滴Ｄを吐出する場合と同じ間隔とすることができる。すなわち、記録紙１８の厚みによって上記間隔を調整する必要がなく、正確なノズル情報を得ることができる。

また、このような着弾観察を実施すれば、液滴Ｄの着弾位置精度だけでなく、ノズル５２の目詰まりによる不吐出や所望の値に対する着弾径の大小などの情報も入手することができる。これらもノズル情報として利用することができる。

図８は、ノズルごとの液滴の着弾位置精度を示すグラフである。図８に示すように、前述したノズル情報のうち、ノズル５２ごとに液滴Ｄの着弾位置をグラフ化すると、ほぼ一定の範囲（図中の円内）に収まることが分る。もちろん、ノズル５２に目詰まりなどの不具合があり、異常値を示す不良ノズルが発生することがある。正常なノズル５２から液滴Ｄを吐出すれば、液滴Ｄの着弾位置は、あるバラツキを有した状態として捉えることができる。バラツキの要因としては、ノズル５２ごとの孔位置や孔形状バラツキ、振動子５９ごとの特性バラツキによる液滴Ｄの吐出速度のバラツキなどが考えられる。

記録装置としてのインクジェットプリンタに搭載されたインクジェットヘッドを工業的に利用した場合には、液状体の物性にもよるが、上記着弾位置のバラツキは、概ね〜φ２０μｍの円内に収まる。しかしながら、４００ｐｐｉの密度で配置された吐出領域Ｅに液滴Ｄを吐出しようとすれば、上記のようなバラツキを有していては、確実に吐出領域Ｅ内に液滴Ｄを着弾させることは困難である。そこで、本実施形態の液状体の吐出方法は、複数のノズル５２を液滴Ｄの着弾位置精度に基づいて、複数のノズル群（ノズルグループ）に区分すること（ノズルグループ化工程）を１つの特徴としている。

図９は、副走査方向の液滴の着弾位置分布を示すグラフである。詳しくは、横軸をノズル５２ごとのずれ量Δｘとし、Δｘの値が所定の範囲内にあるノズル５２の数を度数として縦軸に表したグラフである。図９に示すように、複数のノズル５２の着弾位置に基づく度数分布は、ほぼ正規分布となる。本実施形態では、複数のノズル５２を８つのノズルグループとしてのＸ軸ノズルグループＧ１〜Ｇ８に区分した。１つのＸ軸ノズルグループのΔｘの所定の範囲は、２．５μｍである。言い換えれば、φ２０μｍの円内に収まる着弾位置精度（着弾位置バラツキ）を２．５μｍの幅で８等分した。ノズルグループ化する際に、２．５μｍとした根拠は、本実施形態では、バンクＢａのＸ軸方向の幅Ｂｗが最も狭く５μｍであるため、着弾した液滴ＤがバンクＢａを超えないように着弾位置を制御するとすれば、上記幅Ｂｗの半分の値、すなわち２．５μｍをΔｘの所定の範囲とすることが好ましいからである。各Ｘ軸ノズルグループＧ１〜Ｇ８に該当するノズル５２を表にまとめたものが、図１０である。

図１０に示すように、Ｘ軸ノズルグループＧ１〜Ｇ８には、それぞれ該当するノズル５２が符番された番号により、割り付けられている。図１０は、副走査方向（Ｘ軸方向）における液滴Ｄの着弾位置情報（Δｘ）に基づいているが、もう一方の主走査方向（Ｙ軸方向）においても液滴Ｄの着弾位置情報（Δｙ）に基づいて、ノズルグループ化を行う（Ｙ軸ノズルグループに区分する）。そして、Ｘ軸ノズルグループの情報およびＹ軸ノズルグループの情報から液滴Ｄの配置を補正するためのデータ（補正情報）を生成する。このようなデータは、ノズル情報と同様に、液滴吐出装置１０のＲＡＭ４３または上位コンピュータ１１の記憶部に格納しておく。

次に、液滴吐出装置１０を用いた液状体の吐出方法について、図１１〜図１３を参照してより具体的に説明する。図１１は液状体の吐出方法を示すフローチャート、図１２（ａ）および（ｂ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図、図１３（ａ）および（ｂ）並びに図１４（ｃ）および（ｄ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。

図１１に示すように、本実施形態の液状体の吐出方法は、複数のノズル５２ごとの吐出特性をノズル情報として入手するノズル情報入手工程（ステップＳ１）と、複数のノズル５２を液滴Ｄの着弾位置精度が異なる複数のノズルグループ（Ｘ軸ノズルグループ、Ｙ軸ノズルグループ）に区分するノズルグループ化工程（ステップＳ２）とを備えている。また、必要量の液状体を液滴Ｄとして吐出領域Ｅに配置する配置情報を生成する配置情報生成工程（ステップＳ３）と、上記配置情報および上記Ｘ軸ノズルグループの情報に基づいて、上記Ｘ軸ノズルグループごとに基板Ｗとの相対位置を補正して、上記Ｘ軸ノズルグループごとに少なくとも１つのノズル５２を選択し、選択したノズル５２に対して、Ｙ軸ノズルグループの情報に基づいて吐出タイミングを制御し、液滴Ｄを吐出領域Ｅに向けて吐出する吐出工程（ステップＳ４）とを備えている。さらに、基板Ｗ上に吐出された液滴の着弾状態を観察する着弾観察工程（ステップＳ５）と、着弾不良が有るか否か判定する工程（ステップＳ６）とを備えている。ステップＳ１とステップＳ２については、先に説明したので、以降、実施例１の液状体の吐出方法について、ステップＳ３から説明する。

（実施例１）
図１１のステップＳ３は、配置情報生成工程である。ステップＳ３では、図１２（ａ）および（ｂ）に示すように、１つの吐出領域Ｅに４滴の液滴Ｄを配置する配置情報を上位コンピュータ１１を用いて生成する。４００ｐｐｉの密度でマトリクス状に配置された複数の吐出領域Ｅのうち、同種の液状体を付与する吐出領域Ｅは、Ｘ軸方向において２つ置きに配列され、且つＹ軸方向に連続して配列している。したがって、基板Ｗに対して液滴吐出ヘッド５０を平面視で傾斜するように対向配置して、ノズルピッチＰ１（およそ１４０μｍ）と同種の液状体を付与する吐出領域Ｅの配置ピッチ（およそ６３μｍ）とを合致させる。液滴吐出ヘッド５０を傾斜させる方向は、どちらの方向でもよい。実際には、液滴吐出装置１０の回転機構７を駆動して、ヘッドユニット９を回転させセットテーブル５上に載置された基板Ｗに対して位置決めする（図１参照）。

本実施形態では、１つの吐出領域Ｅに４滴の液滴Ｄを配置する順番として、まず、吐出領域ＥのＹ軸方向の両端部付近にそれぞれ液滴Ｄを離間させて配置する。すなわち、２滴の液滴Ｄを先行吐出する。続いて、先行吐出された液滴Ｄの間を埋めるようにさらに２滴の液滴Ｄを後行吐出する。これにより、液状体をムラなく吐出領域Ｅ内に行き渡らせようとするものである。したがって、配置情報は、同種の液滴Ｄを吐出するノズル５２の基板Ｗに対するＸ軸方向の位置情報と、４滴の液滴Ｄを複数回の主走査に分けて吐出する場合のＹ軸方向における吐出タイミングの情報を少なくとも含んで生成される。具体的には、所望の吐出領域Ｅにおける４滴の液滴Ｄの配置をビットマップデータとして生成する。
なお、液滴Ｄを吐出する主走査は、液滴吐出ヘッド５０と基板Ｗとの相対移動における往動と復動とに分けて行うように配置情報を生成してもよい。その場合には、往動と復動のそれぞれに対応した吐出タイミングが採用される。そして、ステップＳ４へ進む。

図１１のステップＳ４は、吐出工程である。ステップＳ４では、まず、図１２（ａ）に示すように、同種の液状体を付与する複数の吐出領域Ｅに対して、吐出領域Ｅごとに２滴の液滴Ｄ₁を離間して吐出する１回目の主走査を行う。主走査は、ステップＳ２で得られた補正情報に基づいて、Ｘ軸ノズルグループごとに選択されたノズル５２から液滴Ｄ₁の吐出を行う。すなわち、１回目の主走査と呼んでいるが、実質的には、複数のノズル５２をＸ軸ノズルグループごとのΔｘの補正値に対応してＸ軸方向に移動させる副走査と、Ｘ軸ノズルグループを１つの単位として、選択されたノズル５２から液滴Ｄ₁をＹ軸グループごとのΔｙの補正値に対応した吐出タイミングで吐出する主走査との組み合わせからなる。そして、少なくとも選択されたノズル５２のＸ軸ノズルグループの数に相当する回数の１回目の主走査を行う。言い換えれば、Ｘ軸ノズルグループを１つの単位として吐出動作を行う。続いて、図１２（ｂ）に示すように、先に吐出された液滴Ｄ₁の間を埋めるように２滴の液滴Ｄ₂を吐出する２回目の主走査を行う。この２回目の主走査も実質的には、複数のノズル５２をＸ軸ノズルグループごとのΔｘの補正値に対応してＸ軸方向に移動させる副走査と、Ｘ軸ノズルグループを１つの単位として、選択されたノズル５２から液滴Ｄ₂をＹ軸ノズルグループごとのΔｙの補正値に対応した吐出タイミングで吐出する主走査との組み合わせからなる。そして、少なくとも選択されたノズル５２のＸ軸ノズルグループの数に相当する回数の２回目の主走査を行う。そして、ステップＳ５へ進む。

図１１のステップＳ５は、着弾観察工程である。ステップＳ５では、液状体が吐出された基板Ｗを、液滴吐出装置１０に備えられたカメラ１５により撮像して観察する。例えば、吐出領域Ｅに必要量の液状体が付与されていなければ、吐出領域Ｅ内において液状体が行き渡らない部分が生じる。その部分の位置を確認することにより、着弾不良が生じているノズル５２を発見することができる。また、異種の液状体を吐出したときには、液滴Ｄの着弾位置がずれることにより、異種の液状体が混じり合った着弾不良が発生することがある。異種の液状体が互いに異なる色を有していれば混色として当該着弾不良を確認することができる。混色の発生場所を特定すれば、着弾不良が生じているノズル５２を発見することができる。そして、ステップＳ６へ進む。

図１１のステップＳ６は、着弾不良が有るか否か判断する工程である。ステップＳ６では、ステップＳ５で説明したような着弾不良が有るか否かを判断し、有ればステップＳ１に戻って、再びノズル情報を入手する。着弾不良が生ずるノズル５２が特定されていれば、入手したノズル情報を必要により見直して、補正情報を適正に修正することが可能となる。なお、再びノズル情報を入手する前に、液滴吐出ヘッド５０のノズル面に付着した異物や液状体を除いたり、ノズル５２内で乾燥した液状体を除いたりするメンテナンスを実施することが望ましい。着弾不良がなければ液状体の吐出工程を終了する。

このような実施例１の液状体の吐出方法によれば、Ｘ軸ノズルグループごとに行われる上記吐出動作において、選択されたノズル５２の基板Ｗに対するＸ軸方向の相対位置が着弾位置精度に応じて補正されている。また、選択されたノズル５２が属するＹ軸ノズルグループに応じて、Ｙ軸方向における液滴Ｄ（液滴Ｄ₁，Ｄ₂）の吐出タイミングが補正されている。したがって、４００ｐｐｉという高精細な状態に配置された複数の吐出領域Ｅに対して、必要量の液状体を液滴Ｄとして精度よく着弾させることが可能である。言い換えれば、液滴吐出ヘッド５０の着弾位置精度が要求水準に対して低くても、高精細な複数の吐出領域Ｅに対して、必要量の液状体を確実に付与することが可能である。

（実施例２）
上記吐出工程における複数のノズル５２と複数の吐出領域Ｅとの相対的な配置は、これに限定されない。例えば、図１３（ａ）および（ｂ）並びに図１４（ｃ）および（ｄ）に示すように、実施例２の液状体の吐出方法は、吐出領域Ｅの長手方向をＸ軸方向に合わせ、Ｘ軸方向に連続して配列する吐出領域Ｅに同種の液状体を液滴Ｄとして吐出する。実施例２においても、１つの吐出領域Ｅに４滴の液滴Ｄを付与する。

まず、図１３（ａ）に示すように、吐出領域ＥのＸ軸方向の一方の端部付近に液滴Ｄ₁が着弾するように、液滴吐出ヘッド５０を基板Ｗに対して傾ける。ノズルピッチＰ１とＸ軸方向の吐出領域Ｅの配置ピッチ（およそ６３μｍ）とを合致させる。そして、液滴Ｄ₁の配置情報とＸ軸方向およびＹ軸方向における液滴Ｄ₁の補正情報とに基づいて、複数のノズル５２の副走査と、Ｘ軸ノズルグループを１つの単位として、選択されたノズル５２から液滴Ｄ₁を吐出する主走査とを行う。実質的には、少なくとも選択されたノズル５２のＸ軸ノズルグループの数に相当する回数の副走査と主走査とを行う。

続いて、図１３（ｂ）に示すように、今度は、吐出領域ＥのＸ軸方向の他方の端部付近に液滴Ｄ₂が着弾するように、複数のノズル５２を副走査する。そして、図１３（ａ）の場合と同様に、少なくとも選択されたノズル５２のＸ軸ノズルグループの数に相当する回数の副走査と主走査とを行って、液滴Ｄ₁に対して離間した位置に液滴Ｄ₂を吐出する。

以降、同様にして、図１４（ｃ）および（ｄ）に示すように、離間して着弾した液滴Ｄ₁と液滴Ｄ₂の間を埋めるように、液滴Ｄ₃と液滴Ｄ₄をそれぞれ吐出する吐出動作を行う。

このような実施例２の液状体の吐出方法によれば、実施例１に比べて、副走査と主走査の回数が増えてしまう。一方、主走査方向における液滴Ｄの吐出タイミングの補正は、液滴吐出装置１０におけるセットテーブル５の移動速度と振動子５９に印加される駆動パルスの周波数（吐出周期）に関連している。すなわち、吐出分解能に依存する。したがって、比較的に高精度に吐出タイミングの補正を行うことができるので、異種の液状体が付与される吐出領域Ｅが主走査方向（Ｙ軸方向）に配列している実施例２の方が液滴Ｄをより高精度に配置することが可能と考えられる。言い換えれば、実施例２の液状体の吐出方法は、液滴Ｄの着弾位置が高精度に制御可能な方向に、狭い方の配置ピッチが合致するように複数の吐出領域Ｅを配置している。

上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態１の液状体の吐出方法は、液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２を、液滴ＤのＸ軸方向における着弾位置精度が異なる８つのＸ軸ノズルグループＧ１〜Ｇ８に区分する。そして、同種の液状体が吐出される吐出領域Ｅに、液滴Ｄの着弾位置をＸ軸ノズルグループごとに補正情報に基づいて、複数のノズル５２を補正値に対応してＸ軸方向に移動させる副走査と、選択されたノズル５２から液滴Ｄを補正値に対応した吐出タイミングで吐出する主走査とを組み合わせて、合計４滴の液滴Ｄを吐出する。Ｘ軸ノズルグループＧ１〜Ｇ８は、液滴Ｄの着弾位置の度数分布に基づいて、バンクＢａの幅Ｂｗの半分の値（２．５μｍ）を所定の範囲として区分されているので、選択されたノズル５２から吐出された液滴Ｄは、上記所定の範囲の精度で吐出領域Ｅに着弾する。したがって、吐出領域Ｅの幅Ｐｗとほぼ同等な着弾径で液滴Ｄを吐出しても、バンクＢａを超える着弾を低減することができる。ゆえに、高精細（４００ｐｐｉ）に配置された吐出領域Ｅに対して、必要量の液状体を液滴Ｄとして高精度に吐出することができる。また、異種の液状体が同一吐出領域Ｅ内で混ざり合うことを低減することができる。言い換えれば、液滴Ｄの着弾位置精度が要求精度に対して低い液滴吐出ヘッド５０を用いて、実質的に高い着弾位置精度を実現することができる。

（２）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、複数のノズル５２の着弾位置精度は、ノズル情報入手工程により得られたノズル情報を基に度数分布として得られる。ノズル情報入手工程では、基板Ｗに対して実際に液滴Ｄを吐出するときと同じように、液滴吐出ヘッド５０と着弾観察用の被吐出物（記録紙１８または基板Ｗ）とを相対移動させて、副走査方向の仮想直線上に向けて、複数のノズル５２から液滴Ｄを吐出する。したがって、実際の吐出状態を反映し、ノズル５２ごとに正確な着弾位置情報を入手することができる。

（実施形態２）
次に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子の製造方法について、図１５および図１６を参照して説明する。図１５は有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図、図１６（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。

＜有機ＥＬ装置＞
図１５に示すように、本実施形態に係る有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機ＥＬ発光層としての３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態では、素子基板６０１上において、発光層形成領域Ａが４００ｐｐｉの密度で配置されている。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。

封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。

素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画するバンク６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸送層６１７ａ上に積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと電極６１３とが電気的に短絡しないように、電極６１３の周囲を覆っている。

素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１５ではこれらの図示を省略している。

発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。

有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ装置６００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、必要量の液状体が各発光層形成領域Ａに付与され、発光ムラ、輝度ムラ等の表示不具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。

＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１６を参照して説明する。なお、図１６（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。

本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるようにバンク６１８を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク６１８で区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する工程とを備えている。さらに、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて行う。よって、図３に示したヘッドユニット９における液滴吐出ヘッド５０の配置を適用する。

電極（陽極）形成工程では、図１６（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。

バンク形成工程では、図１６（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の周囲を覆うようにバンク６１８を形成する。バンク６１８の材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった絶縁性を有する有機材料が好ましい。バンク６１８の形成方法としては、例えば、電極６１３が形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、バンク６１８を形成する方法が挙げられる。そして、表面処理工程へ進む。

発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ₂ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ₄等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなるバンク６１８の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。

正孔注入／輸送層形成工程では、図１６（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図３のヘッドユニット９を備えた液滴吐出装置１０と上記実施形態１の液状体の吐出方法（実施例１）を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて必要量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。

乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene Dioxy Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の表面処理工程へ進む。

次の表面処理工程では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも発光層形成領域Ａの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そして液状体の吐出工程へ進む。

液状体の吐出工程では、図１６（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する方法としては、上記実施形態１の液状体の吐出方法（実施例１）を用いた。そして、乾燥・成膜工程へ進む。

乾燥・成膜工程では、図１６（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。

陰極形成工程では、図１６（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとバンク６１８の表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。

このようにして出来上がった素子基板６０１は、必要量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄとして対応する発光層形成領域Ａに付与され、乾燥・成膜化後の膜厚がほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。また、高精細に配置された発光層形成領域Ａに対して、高い着弾位置精度で液滴Ｄが吐出されるので、異なる種類の液状体が混じり合うことによる発光層Ｌｕの混色が低減されている。

上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法において、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態１の液状体の吐出方法（実施例１）を用いて素子基板６０１の発光層形成領域Ａに、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄとして高い着弾位置精度で吐出されている。ゆえに、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが必要量付与され、乾燥・成膜後の膜厚がほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。また、発光層Ｌｕの混色を低減した発光素子部６０３を製造することができる。

（２）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ装置６００を製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラ等が低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラ等が少なく、高精細で見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ装置６００を製造することができる。

上記実施形態の他にも、様々な変形を加えることができる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、基板Ｗ上における複数の吐出領域Ｅの配置は、４００ｐｐｉに限定されない。吐出領域Ｅの配置密度に応じて、ノズルグループを区分するための所定の範囲を、副走査方向と主走査方向とにおいて、それぞれ設定すればよい。副走査と主走査の回数を気にせずに、より高精度に液滴Ｄを着弾させようとする場合には、バンクＢａの最小の幅Ｂｗの１／２以下の値に所定の範囲を設定すればよい。すなわち、所定の範囲をより狭く設定すればよい。

（変形例２）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、複数のノズル５２を着弾位置精度が異なるノズルグループに区分することは、副走査方向および主走査方向の両方に限定されない。例えば、液滴Ｄの着弾位置制御が比較的に難しい副走査方向に限定してもよい。その場合には、実施例１のように同種の液状体を吐出する吐出領域Ｅが主走査方向に配列するように、複数のノズル５２と基板Ｗとを相対配置することが望ましい。これによれば、主走査方向に同種の液状体を吐出する吐出領域Ｅが配列しているので、液滴Ｄの着弾位置が多少ばらついても影響を少なくすることができる。特に、図６に示した４００ｐｐｉの吐出領域Ｅの配置では、主走査方向におけるバンクＢａの幅ＢＬが副走査方向の幅Ｂｗよりも大きくなっているため、バンクＢａを超えて液滴Ｄが着弾する確率も低下する。

（変形例３）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、Ｘ軸ノズルグループは、Ｇ１〜Ｇ８の８つに限定されない。液滴Ｄの着弾位置の分布に応じて、複数のノズル５２を区分するための所定の範囲を設定すればよい。また、所定の範囲は、Ｘ軸ノズルグループごとに一定である必要はなく、要求される着弾精度および着弾位置の分布並びに吐出領域Ｅの配置状態に応じて変えてもよい。例えば、着弾位置の分布が正規分布であれば、標準偏差σを目安としてもよい。±１σの範囲には、複数のノズル５２のうちおよそ６８％のノズル５２が含まれる。ノズルグループの数を増やせば実質的な着弾位置精度を高められるが、主走査の回数が増えてしまう。そこで、要求される着弾精度を鑑みて、より効率的な吐出動作となるように、使用頻度が高いノズル５２が１つのＸ軸ノズルグループにより多く含まれるようにすることが考えられる。このような所定の範囲の設定に対する考え方は、Ｙ軸ノズルグループにおいても同様に当て嵌めることができる。

（変形例４）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、基板Ｗ上の複数の吐出領域Ｅは、バンクＢａにより区画されることに限定されない。例えば、吐出領域Ｅ以外を撥液処理してもよい。基板Ｗの表面を撥液処理する方法としては、例えば、フルオロアルキルシランなどの有機化合物を用いて、撥液性を有する自己組織化膜を形成してもよい。

（変形例５）上記実施形態１の液状体の吐出方法は、複数の液滴吐出ヘッド５０から異種の液状体を吐出することに限定されない。同一種類の液状体を各液滴吐出ヘッド５０から吐出してもよい。例えば、複数の液滴吐出ヘッド５０を副走査方向に展開してヘッドユニット９に搭載すれば、広い描画幅で同一種の液状体を精度よく吐出領域Ｅに付与することができる。

（変形例６）上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用可能なデバイスの製造方法は、上記実施形態２の有機ＥＬ素子の製造方法に限らない。例えば、カラーフィルタの製造方法に適用することができる。着色材料を含む３色の液状体をそれぞれ液滴吐出ヘッド５０に充填し、図６に示した吐出領域Ｅに複数のノズル５２から液滴Ｄとして吐出する吐出工程と、吐出された液状体を固化して、３色の着色層を形成する固化工程とを備える。これによれば、吐出領域Ｅは着色領域であり、３色の着色層を有する高精細なカラーフィルタを製造することができる。なお、液状体の種類は、３色に限定されず、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）を含む多色とし、これに対応するようにヘッドユニット９に搭載される液滴吐出ヘッド５０の数を増やせばよい。カラーフィルタの製造方法以外にも、レンズ材料を含む液状体を用いれば、高精細な光学レンズを基板Ｗ上に形成する光学レンズの製造方法にも適用することができる。

液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 （ａ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図。 ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。 液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。 ヘッドドライバが液滴吐出ヘッドに送る駆動信号（パルス）を示すタイムチャートの一例を示す図。 （ａ）は基板上の吐出領域を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＨ−Ｈ’線で切った概略断面図。 （ａ）〜（ｃ）はノズル情報の入手方法の一例を示す概略平面図。 ノズルごとの液滴の着弾位置精度を示すグラフ。 副走査方向の液滴の着弾位置分布を示すグラフ。 各ノズルグループに該当するノズルをまとめた表。 液状体の吐出方法を示すフローチャート。 （ａ）および（ｂ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図。 （ａ）および（ｂ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図。 （ｃ）および（ｄ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図。 有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図。 （ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。

符号の説明

１０…液滴吐出装置、１８…着弾観察用の被吐出物としての記録紙、５２…ノズル、１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ…発光層形成材料を含む液状体、６０１…基板としての素子基板、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…発光層形成領域、Ｂａ…バンク、Ｂｗ，ＢＬ…バンクの幅、Ｄ，Ｄ₁，Ｄ₂，Ｄ₃，Ｄ₄…液滴、Ｅ…吐出領域、Ｇ１〜Ｇ８…ノズルグループとしてのＸ軸ノズルグループ、Ｌｕ…発光層、Ｗ…基板。

Claims (10)

1. 複数のノズルと複数の吐出領域を有する基板とを主走査方向に相対移動させる間に、前記複数のノズルのうち選択されたノズルから液状体を液滴として吐出する主走査と、前記複数のノズルを前記主走査方向に対して直交する副走査方向に相対移動させる副走査とを組み合わせる吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
   前記副走査方向と前記主走査方向とに分けて、前記複数のノズルを前記液滴の着弾位置精度が異なる複数のノズルグループに区分するノズルグループ化工程を備え、
   前記吐出工程では、前記複数のノズルグループのうちの一の前記ノズルグループの前記液滴の着弾位置を補正するための補正情報に基づいて、前記複数のノズルを副走査方向に補正を加えて相対移動させる前記副走査と、前記一のノズルグループの前記液滴を吐出する前記主走査と、を前記複数のノズルグループのそれぞれにおいて行うことを特徴とする液状体の吐出方法。
2. 前記吐出工程では、前記主走査方向の前記ノズルグループごとに、吐出タイミングを補正した前記補正情報に基づいて前記液滴を吐出することを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
3. 前記ノズルグループ化工程では、前記複数のノズルにおける前記液滴の着弾位置の分布を所定の範囲に基づいて分割し、分割された範囲に該当するノズルを１つの前記ノズルグループとして区分することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液状体の吐出方法。
4. 前記複数の吐出領域は、前記基板上に形成されたバンクによってマトリクス状に区画され、
   前記吐出領域に着弾した前記液滴が前記バンクを超えて隣接した吐出領域にはみ出さない範囲で、前記所定の範囲を設定することを特徴とする請求項３に記載の液状体の吐出方法。
5. 前記所定の範囲が前記吐出領域を区画する前記バンクの最小の幅の１／２以下の値であることを特徴とする請求項４に記載の液状体の吐出方法。
6. 前記バンクの表面が撥液性を有していることを特徴とする請求項４または５に記載の液状体の吐出方法。
7. 前記複数のノズルと着弾観察用の被吐出物とを対向配置して、前記被吐出物上において仮想直線上に前記複数のノズルから前記液滴を着弾させることにより、前記ノズルごとの前記着弾位置の情報を入手するノズル情報入手工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
8. 前記ノズル情報入手工程では、前記主走査と同じ条件で前記複数のノズルと前記被吐出物とを相対移動させ、前記仮想直線上に前記液滴を着弾させること特徴とする請求項７に記載の液状体の吐出方法。
9. 基板上に区画形成された複数の発光層形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
   請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の発光層形成領域に吐出する吐出工程と、
   吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
10. 基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
    請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の着色領域に吐出する吐出工程と、
    吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

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