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JP5127301B2 - Automatic optical inspection apparatus, automatic optical inspection system, and automatic optical inspection method - Google Patents

Automatic optical inspection apparatus, automatic optical inspection system, and automatic optical inspection method Download PDF

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JP5127301B2 JP2007140455A JP2007140455A JP5127301B2 JP 5127301 B2 JP5127301 B2 JP 5127301B2 JP 2007140455 A JP2007140455 A JP 2007140455A JP 2007140455 A JP2007140455 A JP 2007140455A JP 5127301 B2 JP5127301 B2 JP 5127301B2
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Description

本発明は、自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法に関し、さらに詳細には、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成されたフィルム又はテープ形態の検査対象物の外観を、光学的な方式を利用して自動検査する自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法に関する。   The present invention relates to an automatic optical inspection apparatus, an automatic optical inspection system, and an automatic optical inspection method. More specifically, the present invention relates to the appearance of an inspection object in the form of a film or tape on which a flexible printed circuit board unit is continuously formed. The present invention relates to an automatic optical inspection apparatus, an automatic optical inspection system, and an automatic optical inspection method that automatically inspect using a conventional method.

従来のフィルム又はテープ形態の印刷回路基板の光学検査において、連続してフィルムを搬送させ、かつ焦点がよく合うイメージは安定した検査を実施するための必須な要素である。しかし、最近では、このようなフィルム又はテープ形態の基板が徐々に微細化することにしたがって、イメージセンサの高解像度は必須不可欠な要素になっている。しかし、このような高解像度のイメージセンサにより安定したイメージを得るために用いられるレンズは、視野が狭くなることにしたがって、焦点深度の範囲が徐々に狭くなり、かつフィルム又はテープ形態のプリント回路基板も薄くなるため、連続した搬送においてフィルム又はテープ形態のプリント回路基板の歪みによって焦点がずれる原因になっている。   In a conventional optical inspection of a printed circuit board in the form of a film or a tape, an image in which the film is continuously conveyed and is in focus is an essential element for performing a stable inspection. Recently, however, the high resolution of an image sensor has become an indispensable element as the substrate in the form of a film or tape is gradually miniaturized. However, the lens used for obtaining a stable image by such a high-resolution image sensor has a depth of focus gradually narrowing as the field of view narrows, and a printed circuit board in the form of a film or tape Since the thickness of the printed circuit board is reduced, the film is defocused due to distortion of the printed circuit board in the form of a film or a tape during continuous conveyance.

本発明は、上述の問題を解決するためになされたもので、その目的は、安定した焦点を有するイメージを得ることができる自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法を提供することにある。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide an automatic optical inspection apparatus, an automatic optical inspection system, and an automatic optical inspection method capable of obtaining an image having a stable focus. It is in.

また、本発明の他の目的は、安定したフィルム平坦度を提供できる自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide an automatic optical inspection apparatus, an automatic optical inspection system, and an automatic optical inspection method that can provide stable film flatness.

上記の目的を達成するための本発明の一実施形態によれば、プリント回路基板を光学的に検査する自動光学検査装置において、プリント回路基板の撮影領域を支持するとともに、撮影領域と接触し、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニットと、透過部を透過してプリント回路基板の撮影領域に光を照射し、内部空間に設置される第1、第2及び第3の照明ユニットと、プリント回路基板を撮影し、第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して支持ユニットの外部に配置される第1、第2及び第3の撮影ユニットと、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットを、前記プリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動させる移動ユニットと、を備える。 According to one embodiment of the present invention for achieving the above object, in an automatic optical inspection apparatus for optically inspecting a printed circuit board, the imaging area of the printed circuit board is supported and in contact with the imaging area, A support unit having an internal space in the transmission part of the roller; first, second and third illumination units which are transmitted through the transmission part and irradiate light onto the imaging area of the printed circuit board; First, second, and third photographing units that photograph the printed circuit board and are arranged outside the support unit corresponding to the first, second, and third illumination units, respectively, the support unit, and the illumination A moving unit that moves the unit and the photographing unit in a front-rear direction, which is a conveyance direction of the printed circuit board .

本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、照明ユニットとプリント回路基板の撮影領域との間の光経路上に位置する。   In a preferred embodiment of the present invention, the transmissive part of the support unit is located on the light path between the illumination unit and the imaging area of the printed circuit board.

本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、プリント回路基板の撮影領域の下面を支えつつ、プリント回路基板の移送によって回転されるローラ形状である。   In a preferred embodiment of the present invention, the transmissive part of the support unit has a roller shape that is rotated by the transfer of the printed circuit board while supporting the lower surface of the imaging area of the printed circuit board.

本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、プリント回路基板の撮影領域を支持するように凸面を有する。   In a preferred embodiment of the present invention, the transmission part of the support unit has a convex surface so as to support the imaging area of the printed circuit board.

上記の目的を達成するための本発明の一実施形態によれば、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物の自動光学検査システムにおいて、検査対象物が送出される巻出部と、巻出部から送出される検査対象物の表面を撮影する撮影部材と、検査を終えた検査対象物が巻き取られる巻取部と、を備え、撮影部材は、検査対象物の歪みが発生しないように、検査対象物の撮影領域が支持されるとともに、検査対象物の撮影領域と接触され、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニット、透過部を透過して検査対象物の撮影領域に光を照射し、内部空間に設置する第1、第2及び第3の照明ユニット、及び第1、第2及び第3の照明ユニットの光が照射される検査対象物の撮影領域を撮影し、第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して支持ユニットの外部に配置される第1、第2及び第3の撮影ユニット、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットが、移動ユニットにより前記フレキシブルプリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動する。 According to one embodiment of the present invention for achieving the above object, in an automatic optical inspection system for an inspection object in which a flexible printed circuit board unit is continuously formed, an unwinding unit to which the inspection object is sent out And an imaging member that images the surface of the inspection object that is sent out from the unwinding unit, and a winding unit that winds up the inspection object that has been inspected, and the imaging member has a distortion of the inspection object. The imaging area of the inspection object is supported so that it does not occur, and the imaging area of the inspection object is transmitted through the transmission unit, a supporting unit having an internal space in the transmission part of the roller, which is in contact with the imaging area of the inspection object. The area is irradiated with light, and the first, second and third illumination units installed in the internal space, and the imaging area of the inspection object irradiated with the light from the first, second and third illumination units are photographed. First, second and third First, second and third imaging units disposed outside of each of the lighting units corresponding to the support unit, the support unit, the lighting unit, and the imaging unit, the mobile unit of the flexible printed circuit board Move in the front-rear direction, which is the transport direction .

本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、検査対象物の移送によって回転されるローラ形状である。   In a preferred embodiment of the present invention, the transmission part of the support unit has a roller shape that is rotated by the transfer of the inspection object.

本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、検査対象物の撮影領域を支持するように凸面を有する。   In desirable embodiment of this invention, the permeation | transmission part of a support unit has a convex surface so that the imaging region of a test subject may be supported.

本発明の望ましい実施形態においては、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物を光学的な方式を利用して自動検査する方法において、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニットが検査対象物の撮影領域を支持するとともに、検査対象物の撮影領域に接触した状態で、第1、第2及び第3の照明ユニットに透過された光が、透過部を透過して検査対象物の撮影領域に照射して、第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して検査対象物の撮影領域の上部に位置する第1、第2及び第3の撮影ユニットが検査対象物の撮影領域を撮影し、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットが、移動ユニットにより前記フレキシブルプリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動する。 In a preferred embodiment of the present invention, in a method for automatically inspecting an inspection object on which a flexible printed circuit board unit is continuously formed using an optical method, a support unit having an internal space in a transmission part of a roller Supports the imaging area of the inspection object, and the light transmitted through the first, second and third illumination units in contact with the imaging area of the inspection object passes through the transmission part and is inspected. The first, second, and third imaging units that irradiate the imaging region of the object and are located above the imaging region of the inspection object corresponding to the first, second, and third illumination units, respectively, are the inspection target. shooting imaging area of an object moving, the support unit, the lighting unit, and the imaging unit, the mobile unit in the direction of the front and rear is the conveyance direction of the flexible printed circuit board That.

本発明の自動光学検査システムによれば、検査対象物の撮影領域に対する屈曲、曲げ、伸びによる歪み現象の防止ができる。本発明の自動光学検査システムは、安定した焦点を有する透過イメージを得ることができる。本発明の自動光学検査システムは、検査対象物に対してより高い検査品質を得ることができる。   According to the automatic optical inspection system of the present invention, it is possible to prevent a distortion phenomenon due to bending, bending, and elongation of the inspection object with respect to the imaging region. The automatic optical inspection system of the present invention can obtain a transmission image having a stable focus. The automatic optical inspection system of the present invention can obtain higher inspection quality for an inspection object.

本発明の実施形態は、様々な形態に変形されることができ、本発明の範囲は、以下に説明する実施形態によって限定されるわけではない。本発明の実施形態は、当業者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状などは、より明確な説明を強調するために誇張されることがある。   Embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention is not limited by the embodiments described below. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Accordingly, element shapes and the like in the drawings may be exaggerated to emphasize a clearer description.

本発明の実施形態を、図1乃至図11に基づいて詳細に説明する。また、図面において同じ機能を果たす構成要素に対しては、同一の参照番号を付ける。   An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 11. In the drawings, the same reference numerals are given to components having the same function.

図1は、本発明の実施形態に係る自動光学検査システム100の主要構成を示す図である。図2及び図3は、ビジョン検査部110の撮影部材120を説明するための図である。   FIG. 1 is a diagram showing a main configuration of an automatic optical inspection system 100 according to an embodiment of the present invention. 2 and 3 are diagrams for explaining the photographing member 120 of the vision inspection unit 110. FIG.

図1乃至図3に示すように、本発明の実施形態に係る自動光学検査システム100は、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成されたフィルム(film)及びテープ(tape)タイプなどの検査対象物10をラインスキャンカメラなどを利用して自動検査するシステムである。   As shown in FIGS. 1 to 3, an automatic optical inspection system 100 according to an embodiment of the present invention is an inspection target such as a film or tape type in which flexible printed circuit board units are continuously formed. In this system, the object 10 is automatically inspected using a line scan camera or the like.

図1に表示された「→」符号は、検査対象物10の移動経路を示したものである。   The “→” symbol displayed in FIG. 1 indicates the movement path of the inspection object 10.

図1に示すように、自動光学検査システム100は、巻出部(feed roller、loader)102、ビジョン検査部110、巻取部(winding roller、unloader)106で構成される。   As shown in FIG. 1, the automatic optical inspection system 100 includes a feed roller (loader) 102, a vision inspection unit 110, and a winding roller (unloader) 106.

巻出部102には、検査対象物10がリール104に巻かれており、巻出部102から送出された検査対象物10は、案内ローラ105を経てビジョン検査部110に供給される。検査対象物10は、ビジョン検査部110を通過した後に巻取部106のリール108に巻かれる。   The inspection object 10 is wound around the reel 104 at the unwinding section 102, and the inspection object 10 sent from the unwinding section 102 is supplied to the vision inspection section 110 through the guide roller 105. The inspection object 10 is wound around the reel 108 of the winding unit 106 after passing through the vision inspection unit 110.

図1乃至図3に示すように、ビジョン検査部110は、検査対象物10の検査領域(又は撮像領域)を撮影する撮影部材120と映像処理部140とを備える。ここで、検査対象物10の撮影領域とは、最小限撮影部材120により撮影される領域を含み、かつ、支持ユニット130に接触される領域を含む。   As shown in FIGS. 1 to 3, the vision inspection unit 110 includes an imaging member 120 that captures an inspection area (or imaging area) of the inspection object 10 and an image processing unit 140. Here, the imaging area of the inspection object 10 includes a minimum area that is imaged by the imaging member 120 and an area that is in contact with the support unit 130.

まず、映像処理部140は、典型的なコンピュータシステムが備えられて、自動光学検査による諸動作を制御処理する。映像処理部140は、撮影ユニットから映像データを受けて検査対象物が良好であるか不良であるかを判別する。   First, the image processing unit 140 is provided with a typical computer system, and controls and processes various operations by automatic optical inspection. The video processing unit 140 receives video data from the imaging unit and determines whether the inspection object is good or bad.

撮影部材120は、撮影ユニット122と、照明ユニット124と、支持ユニット130とを備える。撮影ユニット122は、CCDラインセンサのようなイメージセンサとレンズ(図示せず)とを有するCCDカメラであって、検査対象物10の表面(パターン等)を撮影して、検査対象物10に対した映像データを獲得する。このように獲得された映像データは、映像処理部140に供給される。例えば、撮影ユニット122は、エリアカメラが用いられることができ、ビジョン検査部110には、以後の検査対象物10の検査条件及びユーザの要求事項に応じて撮影部材120をさらに設けることができる。   The photographing member 120 includes a photographing unit 122, a lighting unit 124, and a support unit 130. The photographing unit 122 is a CCD camera having an image sensor such as a CCD line sensor and a lens (not shown). The photographing unit 122 photographs the surface (pattern or the like) of the inspection object 10 and applies it to the inspection object 10. Acquired video data. The video data acquired in this way is supplied to the video processing unit 140. For example, an area camera can be used as the imaging unit 122, and the vision inspection unit 110 can further include an imaging member 120 according to the inspection conditions of the inspection object 10 and user requirements.

照明ユニット124は、支持ユニット130の下(検査対象物10の撮影領域の下)に配置される。この照明ユニット124は、検査対象物10の撮影領域に対する映像データを獲得するための光を出力する。照明ユニット124の光源124aには、線形配列した複数の発光ダイオード、線形チューブ蛍光ランプ、ハロゲンランプ及びメタルハライドランプなどが用いられることができ、このような光源の上部には、光の均一度を上げるための拡散板124bが設けられることができる。   The illumination unit 124 is disposed below the support unit 130 (under the imaging region of the inspection object 10). The illumination unit 124 outputs light for acquiring video data for the imaging region of the inspection object 10. As the light source 124a of the illumination unit 124, a plurality of linearly arranged light emitting diodes, a linear tube fluorescent lamp, a halogen lamp, a metal halide lamp, and the like can be used. The light uniformity is increased above the light source. A diffusion plate 124b may be provided.

例えば、図9に示すように、照明ユニット124は、検査しようとする項目の特性又は光の照射特性などによって、支持ユニット130の側面、反射光を供給するための撮影領域の上部に配置されることができる。図9のように、照明ユニット124は、検査対象物10に反射光を供給するために、検査対象物10の上部に配置されることができる。   For example, as shown in FIG. 9, the illumination unit 124 is arranged on the side surface of the support unit 130 or the upper part of the imaging region for supplying reflected light depending on the characteristics of the item to be inspected or the light irradiation characteristics. be able to. As shown in FIG. 9, the illumination unit 124 may be disposed on the inspection object 10 in order to supply reflected light to the inspection object 10.

本発明において最も重要な構成要素である支持ユニット130は、図3に示すように、検査対象物10の撮影領域が屈曲、曲げ、伸びによる歪み現象を最小化するためのものであって、検査対象物10の撮影領域と直接的に接触され、照明ユニット124の光が透過されるローラ形状の透過部132と、透過部132の両端を回転可能に支持する支持軸134と、を備える。透過部132は、検査対象物10の撮影領域の下面を支え、検査対象物10の移送によって回転される。符号131は、ベアリングである。図3に示すように、支持ユニット130の透過部132は、照明ユニット124と検査対象物10の撮影領域との間の光経路上に位置し、照明ユニット124から光が拡散する成分を集める機能も果たす。例えば、支持ユニット130の透過部132は、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、非晶性ポリオレフィン樹脂などの半透明/透明樹脂、ガラスなどの無機透明材料又はそれらの複合体が用いられることができるがこれらに限定されるわけではない。   As shown in FIG. 3, the support unit 130, which is the most important component in the present invention, is for minimizing a distortion phenomenon caused by bending, bending, and stretching of the imaging region of the inspection object 10, and A roller-shaped transmission part 132 that is in direct contact with the imaging region of the object 10 and through which the light of the illumination unit 124 is transmitted, and a support shaft 134 that rotatably supports both ends of the transmission part 132 are provided. The transmission part 132 supports the lower surface of the imaging region of the inspection object 10 and is rotated by the transfer of the inspection object 10. Reference numeral 131 denotes a bearing. As shown in FIG. 3, the transmission unit 132 of the support unit 130 is located on the light path between the illumination unit 124 and the imaging region of the inspection object 10 and collects components from which light diffuses from the illumination unit 124. Also fulfills. For example, the transmission unit 132 of the support unit 130 may be made of a translucent / transparent resin such as an acrylic resin, a polycarbonate resin, or an amorphous polyolefin resin, an inorganic transparent material such as glass, or a composite thereof. It is not limited.

このように、本発明の実施形態に係る自動光学検査装置100は、検査対象物10の撮影領域が支持ユニット130の透過部132により支持され、照明ユニット124の光が支持ユニットの透過部132を介して検査対象物10の撮影領域に照射されるのにその構造的な特徴がある。このような構造的な特徴によれば、検査対象物10の撮影領域に対する屈曲、曲げ、伸びによる歪み現象が防止されて、安定した焦点を有する透過イメージを得ることができる。しかしながら、図11のように、検査対象物10の撮影領域がローラ20により直接支持されないとき、検査対象物10が移送される過程で検査対象物10に屈曲現象が発生することがある。このような検査対象物10の屈曲現象は、焦点が安定的に結ばれる範囲(焦点深度)を外れるようになって、不安定な焦点を有するイメージを得るようになる。   As described above, in the automatic optical inspection apparatus 100 according to the embodiment of the present invention, the imaging region of the inspection object 10 is supported by the transmission unit 132 of the support unit 130, and the light of the illumination unit 124 passes through the transmission unit 132 of the support unit. The imaging region of the inspection object 10 is irradiated through the structure. According to such a structural feature, a distortion phenomenon due to bending, bending, and elongation of the inspection object 10 with respect to the imaging region is prevented, and a transmission image having a stable focus can be obtained. However, when the imaging region of the inspection object 10 is not directly supported by the roller 20 as shown in FIG. 11, a bending phenomenon may occur in the inspection object 10 in the process of transferring the inspection object 10. Such a bending phenomenon of the inspection object 10 comes out of the range (depth of focus) where the focus is stably formed, and an image having an unstable focus is obtained.

図4及び図5は、本発明に係る自動光学検査システム100において、照明ユニット124が支持ユニット130aの内部に設けられた撮影部材120aを示す図である。   4 and 5 are diagrams showing the imaging member 120a in which the illumination unit 124 is provided inside the support unit 130a in the automatic optical inspection system 100 according to the present invention.

図4及び図5に示すように、支持ユニット130aは、内部空間136を有するローラ形状の透過部132aを有し、その透過部132aの内部空間136には、照明ユニット124が設けられる。このように、図4及び図5に示す撮影部材120aは、支持ユニット130aの透過部132aが照明ユニット124に設けられることができる十分な内部空間136を有するのにその構造的な特徴がある。このような構造的な特徴によれば、照明ユニット124の光が検査対象物10の撮影領域まで到達する時間及び距離を短縮させることができ、かつ、照明ユニット124の光が通過する透過部132aの厚さを著しく減らすことができるため、光の損失を減らし、光の強度を調節できる。   As shown in FIGS. 4 and 5, the support unit 130a has a roller-shaped transmission part 132a having an internal space 136, and an illumination unit 124 is provided in the internal space 136 of the transmission part 132a. As described above, the photographing member 120a shown in FIGS. 4 and 5 has a structural feature in that the transmission unit 132a of the support unit 130a has a sufficient internal space 136 in which the illumination unit 124 can be provided. According to such a structural feature, the time and distance for the light of the illumination unit 124 to reach the imaging region of the inspection object 10 can be shortened, and the transmission unit 132a through which the light of the illumination unit 124 passes. Can be significantly reduced, thereby reducing light loss and adjusting light intensity.

図6は、本発明に係る自動光学検査システムにおいて、3個の照明ユニットが支持ユニットの内部に設けられた撮影部材を示す図である。   FIG. 6 is a diagram showing an imaging member in which three illumination units are provided inside a support unit in the automatic optical inspection system according to the present invention.

図6に示すように、撮影部材120bは、支持ユニット130bの透過部132bが前で示した透過部132a、132に比べて相対的に大きな直径と内部空間を有し、透過部132bの内部空間136には、3個の照明ユニット124が配置され、その透過部132bの外部には、3個の撮影ユニット122が配置される。このように、支持ユニット130bの透過部132bは、内部に複数の照明ユニット124が設けられることができる。   As shown in FIG. 6, in the photographing member 120b, the transmission part 132b of the support unit 130b has a relatively large diameter and internal space compared to the transmission parts 132a and 132 shown above, and the internal space of the transmission part 132b. Three illumination units 124 are arranged in 136, and three photographing units 122 are arranged outside the transmission part 132b. As described above, the transmission unit 132b of the support unit 130b may include a plurality of illumination units 124 therein.

例えば、支持ユニット130の透過部132は、ローラ形態以外に多様な形態にも製作されることができる。図7には、平板形態の支持ユニット130cを有する撮影部材120cが示されている。図7に示すように、撮影部材120cの支持ユニット130cは、検査対象物10の撮影領域を支持するように、凸面137を有する平板形態の透過部132cを有する。   For example, the transmission part 132 of the support unit 130 can be manufactured in various forms other than the roller form. FIG. 7 shows a photographing member 120c having a flat plate-like support unit 130c. As shown in FIG. 7, the support unit 130 c of the imaging member 120 c includes a flat plate-shaped transmission portion 132 c having a convex surface 137 so as to support the imaging area of the inspection object 10.

上述のように、本発明の実施形態に係る自動光学検査システム100は、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成されたフィルム又はテープ形態だけでなく、個別的なフレキシブルプリント回路基板ユニット12を検査することができる。   As described above, the automatic optical inspection system 100 according to the embodiment of the present invention inspects individual flexible printed circuit board units 12 as well as a film or tape form in which flexible printed circuit board units are continuously formed. can do.

図8に示すように、フレキシブルプリント回路基板ユニット12が積層される支持ユニット130dと、支持ユニット130dの下部から光を照射する照明ユニット124と、支持ユニット130dの上部から撮影する撮影ユニット122とを備える。ここで、支持ユニット130dは、プリント回路基板ユニット12の撮影領域を支持し、光が透過され得るように、透明な透過部132dを有することができる。   As shown in FIG. 8, a support unit 130d on which the flexible printed circuit board unit 12 is stacked, an illumination unit 124 that emits light from the lower part of the support unit 130d, and a photographing unit 122 that takes an image from the upper part of the support unit 130d. Prepare. Here, the support unit 130d can have a transparent transmission part 132d so as to support the imaging region of the printed circuit board unit 12 and allow light to pass therethrough.

本発明の自動光学検査システム100において、検査対象物10は、連続的に移動せず、一定の距離Lだけ移動した後に停止する一歩一歩(Step by Step)で移動され得る。この場合、ビジョン検査部110では、検査対象物10が一時的に停止している時間の間に検査対象物10に対して撮影作業が行われることができる。これについての説明は、図10を参照しつつ詳細に説明する。   In the automatic optical inspection system 100 of the present invention, the inspection object 10 does not move continuously, but can be moved step by step (Step by Step) after moving by a certain distance L. In this case, the vision inspection unit 110 can perform an imaging operation on the inspection object 10 during the time when the inspection object 10 is temporarily stopped. This will be described in detail with reference to FIG.

図10に示すように、撮像部材120は、検査対象物の撮影領域を支持する支持ユニット130と、撮影ユニット122と、検査対象物10の撮影領域に光を照射する照明ユニット124と、これらをL距離だけ同時に移動させるための移動部128と、を備える。   As shown in FIG. 10, the imaging member 120 includes a support unit 130 that supports the imaging area of the inspection object, an imaging unit 122, an illumination unit 124 that irradiates light to the imaging area of the inspection object 10, and these. And a moving unit 128 for simultaneously moving the distance L.

撮像部材120の支持ユニット130、撮影ユニット122、照明ユニット124は、移動ユニット128により前後の方向(フレキシブルプリント回路基板ユニットの長さ方向、図面において矢印で表示された左右方向)へ共に移動する。ここで、移動ユニット128は、油圧を利用したシリンダー方式またはモータ、ボールスクリュー、移送ナットを利用した多様な方式が用いられることができる。例えば、撮像部材の支持ユニット130、撮影ユニット122、照明ユニット124は、移動ユニット128により左右の方向へも移動することができる。このような構造を有する撮影部材120は、撮影ユニット122、照明ユニット124、そして支持ユニット130がL距離だけ後進移動及び前進移動しつつ、少なくとも1回撮像する。   The support unit 130, the imaging unit 122, and the illumination unit 124 of the imaging member 120 are moved together by the moving unit 128 in the front-rear direction (the length direction of the flexible printed circuit board unit, the left-right direction indicated by arrows in the drawing). Here, the moving unit 128 may be a cylinder method using hydraulic pressure or various methods using a motor, a ball screw, and a transfer nut. For example, the imaging member support unit 130, the imaging unit 122, and the illumination unit 124 can be moved in the left and right directions by the moving unit 128. The imaging member 120 having such a structure captures an image at least once while the imaging unit 122, the illumination unit 124, and the support unit 130 move backward and forward by an L distance.

上述した本発明の好ましい実施形態は、例示の目的のために開示されたものであり、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、様々な置換、変形、及び変更が可能であり、このような置換、変更などは、特許請求の範囲に属するものである。   The above-described preferred embodiments of the present invention are disclosed for the purpose of illustration, and those having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs do not depart from the technical idea of the present invention. Various substitutions, modifications, and alterations are possible within the scope, and such substitutions, alterations, and the like belong to the scope of the claims.

本発明の実施形態に係る自動光学検査システムの主要構成を示す図である。It is a figure showing the main composition of the automatic optical inspection system concerning the embodiment of the present invention. ビジョン検査部の撮影部材を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the imaging member of a vision test | inspection part. ビジョン検査部の撮影部材を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the imaging member of a vision test | inspection part. 本発明に係る自動光学検査システムにおいて、照明ユニットが支持ユニットの内部に設けられた撮影部材を示す図である。In the automatic optical inspection system which concerns on this invention, it is a figure which shows the imaging | photography member in which the illumination unit was provided in the inside of the support unit. 本発明に係る自動光学検査システムにおいて、照明ユニットが支持ユニットの内部に設けられた撮影部材を示す図である。In the automatic optical inspection system which concerns on this invention, it is a figure which shows the imaging | photography member in which the illumination unit was provided in the inside of the support unit. 本発明に係る自動光学検査システムにおいて、3個の照明ユニットが支持ユニットの内部に設けられた撮影部材を示す図である。In the automatic optical inspection system which concerns on this invention, it is a figure which shows the imaging | photography member in which three illumination units were provided in the inside of the support unit. 本発明に係る自動光学検査システムにおいて、平板形態の支持ユニットを有する撮影部材を示す図である。In the automatic optical inspection system which concerns on this invention, it is a figure which shows the imaging | photography member which has a flat plate form support unit. 本発明においてプリント回路基板ユニットを個別的に撮影できる撮影部材を示す図である。It is a figure which shows the imaging member which can image | photograph a printed circuit board unit individually in this invention. 本発明に係る自動光学検査システムにおいて、検査対象物に反射光を供給する撮影部材を示す図である。In an automatic optical inspection system concerning the present invention, it is a figure showing an imaging member which supplies reflected light to a test subject. 本発明に係る自動光学検査システムにおいて、移動可能な撮影部材を示す図である。It is a figure which shows the imaging | photography member which can move in the automatic optical inspection system which concerns on this invention. 検査対象物が移送される過程で発生する屈曲現象を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the bending phenomenon which generate | occur | produces in the process in which a test target object is transferred.

符号の説明Explanation of symbols

10 検査対象物
100 自動光学検査システム
102 巻出部
104 リール
105 案内ローラ
106 巻取部
108 リール
110 ビジョン検査部
120 撮影部材
122 撮影ユニット
124 照明ユニット
124a 光源
124b 拡散板
130 支持ユニット
140 映像処理部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection object 100 Automatic optical inspection system 102 Unwinding part 104 Reel 105 Guide roller 106 Winding part 108 Reel 110 Vision inspection part 120 Imaging member 122 Imaging unit 124 Illumination unit 124a Light source 124b Diffuser 130 Support unit 140 Image processing part

Claims (8)

プリント回路基板を光学的に検査する自動光学検査装置において、
前記プリント回路基板の撮影領域を支持するとともに、前記撮影領域と接触し、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニットと、
前記透過部を透過して前記プリント回路基板の撮影領域に光を照射し、前記内部空間に設置される第1、第2及び第3の照明ユニットと、
前記プリント回路基板を撮影し、前記第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して前記支持ユニットの外部に配置される第1、第2及び第3の撮影ユニットと、
前記撮影ユニット、前記照明ユニット、及び前記支持ユニットを、前記プリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動させる移動ユニットと、
を備えることを特徴とする自動光学検査装置。
In an automatic optical inspection device that optically inspects printed circuit boards,
A support unit that supports the imaging region of the printed circuit board, contacts the imaging region, and has an internal space in a transmission portion of the roller;
First, second, and third illumination units that are transmitted through the transmission unit and irradiate light onto the imaging region of the printed circuit board, and are installed in the internal space;
Photographing the printed circuit board, and first, second and third photographing units disposed outside the support unit corresponding to the first, second and third lighting units, respectively;
A moving unit that moves the photographing unit, the illumination unit, and the support unit in a front-rear direction that is a conveyance direction of the printed circuit board;
An automatic optical inspection apparatus comprising:
前記支持ユニットの透過部は、前記照明ユニットと前記プリント回路基板の撮影領域との間の光経路上に位置することを特徴とする請求項1に記載の自動光学検査装置。 The automatic optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the transmission unit of the support unit is located on an optical path between the illumination unit and an imaging region of the printed circuit board. 前記支持ユニットの透過部は、前記プリント回路基板の撮影領域の下面を支えつつ、前記プリント回路基板の移送によって回転されるローラ形状であることを特徴とする請求項1に記載の自動光学検査装置。 2. The automatic optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the transmissive portion of the support unit has a roller shape that is rotated by the transfer of the printed circuit board while supporting a lower surface of an imaging region of the printed circuit board. . 前記支持ユニットの透過部は、前記プリント回路基板の撮影領域を支持するように凸面を有することを特徴とする請求項1または請求項3に記載の自動光学検査装置。 The automatic optical inspection apparatus according to claim 1, wherein the transmissive portion of the support unit has a convex surface so as to support an imaging region of the printed circuit board. フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物の自動光学検査システムにおいて、
前記検査対象物が送出される巻出部と、
前記巻出部から送出される前記検査対象物の表面を撮影する撮影部材と、
検査を終えた前記検査対象物が巻き取られる巻取部と、を備え、
前記撮影部材は、前記検査対象物の歪みが発生しないように、前記検査対象物の撮影領域が支持されるとともに、前記検査対象物の撮影領域と接触され、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニット、前記透過部を透過して前記検査対象物の撮影領域に光を照射し、前記内部空間に設置する第1、第2及び第3の照明ユニット、及び前記第1、第2及び第3の照明ユニットの光が照射される前記検査対象物の撮影領域を撮影し、前記第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して前記支持ユニットの外部に配置される第1、第2及び第3の撮影ユニット、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットが、移動ユニットにより前記フレキシブルプリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動することを特徴とする自動光学検査システム。
する
In an automatic optical inspection system for inspection objects in which flexible printed circuit board units are continuously formed,
An unwinding section through which the inspection object is delivered;
An imaging member for imaging the surface of the inspection object delivered from the unwinding unit;
A winding unit on which the inspection object that has been inspected is wound,
The imaging member is supported by the imaging area of the inspection object so that distortion of the inspection object does not occur, is in contact with the imaging area of the inspection object, and has an internal space in a transmission part of the roller. A first unit, a second unit, a third unit, and a third illumination unit that are installed in the internal space by transmitting light through the transmission unit and irradiating the imaging region of the inspection object with light; First, the imaging region of the inspection object irradiated with the light of the three illumination units is imaged, and the first, second, and third illumination units are disposed outside the support unit corresponding to the first, second, and third illumination units, respectively. second and third imaging unit, the support unit, wherein the lighting unit, and the imaging unit is moved by the moving unit in the direction of the front and rear is the conveyance direction of the flexible printed circuit board Automated optical inspection system to be.
Do
前記支持ユニットの透過部は、前記検査対象物の移送によって回転されるローラ形状であることを特徴とする請求項に記載の自動光学検査システム。 6. The automatic optical inspection system according to claim 5 , wherein the transmission part of the support unit has a roller shape rotated by the transfer of the inspection object. 前記支持ユニットの透過部は、前記検査対象物の撮影領域を支持するように凸面を有することを特徴とする請求項に記載の自動光学検査システム。 The automatic optical inspection system according to claim 5 , wherein the transmission unit of the support unit has a convex surface so as to support an imaging region of the inspection object. フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物を光学的な方式を利用して自動検査する方法において、
ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニットが前記検査対象物の撮影領域を支持するとともに、前記検査対象物の撮影領域に接触した状態で、第1、第2及び第3の照明ユニットに透過された光が、前記透過部を透過して前記検査対象物の撮影領域に照射して、前記第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して前記検査対象物の撮影領域の上部に位置する第1、第2及び第3の撮影ユニットが前記検査対象物の撮影領域を撮影し、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットが、移動ユニットにより前記フレキシブルプリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動することを特徴とする自動光学検査方法。
In a method of automatically inspecting an inspection object on which a flexible printed circuit board unit is continuously formed using an optical method,
A support unit having an internal space in the transmission part of the roller supports the imaging region of the inspection object and transmits to the first, second, and third illumination units in a state in contact with the imaging region of the inspection object. The transmitted light passes through the transmission part and irradiates the imaging area of the inspection object, and the upper part of the imaging area of the inspection object corresponding to each of the first, second, and third illumination units. The first, second and third imaging units located in the area image the imaging area of the inspection object , and the support unit, the illumination unit, and the imaging unit convey the flexible printed circuit board by the moving unit. An automatic optical inspection method characterized by moving in the front-rear direction .
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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI438448B (en) * 2008-05-02 2014-05-21 Utechzone Co Ltd Tape and Reel Detection Equipment
CN101576594B (en) * 2008-05-06 2011-05-04 大元科技股份有限公司 Automatic optical checking equipment and light source module thereof
JP2010107408A (en) * 2008-10-31 2010-05-13 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Lighting system of specimen and inspection apparatus using the same
KR101256510B1 (en) 2009-12-21 2013-05-02 주식회사 포스코 Apparatus for measuring luster of steel pipe
JP2011220949A (en) * 2010-04-14 2011-11-04 Nec Corp Imaging inspection system and imaging inspection method
JP5646922B2 (en) * 2010-09-03 2014-12-24 株式会社トプコン Inspection device
CN102095737B (en) * 2010-12-23 2012-09-05 东莞市升力智能科技有限公司 Single-workbench automatic detector of surface defect of flexible printed circuit board
KR101311981B1 (en) * 2011-12-30 2013-09-30 엘아이지에이디피 주식회사 Inspection device for flat display panel
CN103558226B (en) * 2013-11-15 2016-01-20 深圳市凯柏精密技术有限公司 For the roller type detection device of flexible sheet material
CN103925911B (en) * 2014-04-23 2016-01-06 杭州师范大学 The reference object detection method of flexible circuit board correction station
KR102257517B1 (en) * 2014-11-20 2021-05-28 엘지디스플레이 주식회사 Tensile inspection apparatus of film
CN105806848B (en) * 2014-12-31 2019-06-07 技嘉科技股份有限公司 Printed circuit board detection system and its detection method
JP6204416B2 (en) * 2015-07-17 2017-09-27 住友化学株式会社 Film inspection apparatus, film inspection method, and film manufacturing method
CN105572128A (en) * 2015-12-07 2016-05-11 凌云光技术集团有限责任公司 Circuit board detection system
CN108474750A (en) * 2016-01-15 2018-08-31 应用材料公司 Optical checking system, the processing system for handling the material on flexible base board and the method for checking flexible base board
CN105738381B (en) * 2016-02-17 2018-05-04 苏州禾弘电子科技有限公司 The detection device of flexible circuit board flexible parent metal
KR102696996B1 (en) * 2019-02-08 2024-08-19 산진 옵토일렉트로닉스 (난징) 컴퍼니 리미티드 System for detecting defect of optical film
CN110031479A (en) * 2019-04-23 2019-07-19 上海紫江新材料科技股份有限公司 A kind of inspection product device of lithium ion battery aluminum plastic film
KR102216332B1 (en) * 2019-07-24 2021-02-16 세메스 주식회사 A unit for checking the discharge state of chemical liquid
CN111208141A (en) * 2020-01-13 2020-05-29 清华大学 Micro-vision cloth structure flaw detection device suitable for industrial production
KR102267705B1 (en) * 2020-09-17 2021-06-22 주식회사 티에스아이코리아 Inspection apparatus for chip on film
CN112730462B (en) * 2021-03-30 2021-10-26 四川英创力电子科技股份有限公司 Printed circuit board etching device, etching residue detection device and method
KR102409833B1 (en) 2021-10-26 2022-06-22 거산산업주식회사 Aoi automation system and method
KR102643866B1 (en) * 2021-11-08 2024-03-07 주식회사 티엔에스솔루션 A system for monitoring flexible substrates inspection by roll-to-roll
KR102643864B1 (en) * 2021-11-08 2024-03-07 주식회사 티엔에스솔루션 A device for inspecting flexible substrates by roll-to-roll
KR102462820B1 (en) 2022-01-21 2022-11-04 거산산업주식회사 Bidirectional control method for pcb line and its system
CN117516427B (en) * 2024-01-05 2024-03-08 山东建研检测检验科技有限公司 Building material roughness detection device

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6456575A (en) * 1987-08-28 1989-03-03 Minolta Camera Kk Laser recorder
JPH0726815B2 (en) * 1989-05-11 1995-03-29 株式会社武蔵野機械設計事務所 Method of measuring thickness of subject
JPH07143396A (en) * 1993-11-16 1995-06-02 Fuji Photo Film Co Ltd Film image input device
JPH11211666A (en) * 1998-01-26 1999-08-06 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk Optical inspection apparatus
JP2000266637A (en) * 1999-03-18 2000-09-29 Olympus Optical Co Ltd Following device for inspecting substrate
JP2001273540A (en) * 2000-03-23 2001-10-05 Toshiba Corp Examination device for paper sheets
US6950547B2 (en) * 2001-02-12 2005-09-27 3M Innovative Properties Company Web inspection method and device
JP2004157030A (en) * 2002-11-07 2004-06-03 Fuji Photo Film Co Ltd Tape width measuring device and tape width measuring method
JP3716413B2 (en) * 2003-06-13 2005-11-16 三井金属鉱業株式会社 Inspection device and inspection method for film carrier tape for mounting electronic components
JP2005003645A (en) * 2003-06-16 2005-01-06 Inspeck Kk Pattern inspection device
JP2005201783A (en) * 2004-01-16 2005-07-28 Sumitomo Chemical Co Ltd Device for inspecting defect of sheet film
JP3108432U (en) * 2004-10-27 2005-04-14 由田新技股▲ふん▼有限公司 Continuous imaging device for fully automatic visual inspection equipment for roll flexible substrates
KR20060097250A (en) * 2005-03-04 2006-09-14 아주하이텍(주) System and method for optical automated inspection

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Publication number Publication date
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