JP5127301B2 - Automatic optical inspection apparatus, automatic optical inspection system, and automatic optical inspection method - Google Patents
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Description
本発明は、自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法に関し、さらに詳細には、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成されたフィルム又はテープ形態の検査対象物の外観を、光学的な方式を利用して自動検査する自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法に関する。 The present invention relates to an automatic optical inspection apparatus, an automatic optical inspection system, and an automatic optical inspection method. More specifically, the present invention relates to the appearance of an inspection object in the form of a film or tape on which a flexible printed circuit board unit is continuously formed. The present invention relates to an automatic optical inspection apparatus, an automatic optical inspection system, and an automatic optical inspection method that automatically inspect using a conventional method.
従来のフィルム又はテープ形態の印刷回路基板の光学検査において、連続してフィルムを搬送させ、かつ焦点がよく合うイメージは安定した検査を実施するための必須な要素である。しかし、最近では、このようなフィルム又はテープ形態の基板が徐々に微細化することにしたがって、イメージセンサの高解像度は必須不可欠な要素になっている。しかし、このような高解像度のイメージセンサにより安定したイメージを得るために用いられるレンズは、視野が狭くなることにしたがって、焦点深度の範囲が徐々に狭くなり、かつフィルム又はテープ形態のプリント回路基板も薄くなるため、連続した搬送においてフィルム又はテープ形態のプリント回路基板の歪みによって焦点がずれる原因になっている。 In a conventional optical inspection of a printed circuit board in the form of a film or a tape, an image in which the film is continuously conveyed and is in focus is an essential element for performing a stable inspection. Recently, however, the high resolution of an image sensor has become an indispensable element as the substrate in the form of a film or tape is gradually miniaturized. However, the lens used for obtaining a stable image by such a high-resolution image sensor has a depth of focus gradually narrowing as the field of view narrows, and a printed circuit board in the form of a film or tape Since the thickness of the printed circuit board is reduced, the film is defocused due to distortion of the printed circuit board in the form of a film or a tape during continuous conveyance.
本発明は、上述の問題を解決するためになされたもので、その目的は、安定した焦点を有するイメージを得ることができる自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide an automatic optical inspection apparatus, an automatic optical inspection system, and an automatic optical inspection method capable of obtaining an image having a stable focus. It is in.
また、本発明の他の目的は、安定したフィルム平坦度を提供できる自動光学検査装置、自動光学検査システム及び自動光学検査方法を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide an automatic optical inspection apparatus, an automatic optical inspection system, and an automatic optical inspection method that can provide stable film flatness.
上記の目的を達成するための本発明の一実施形態によれば、プリント回路基板を光学的に検査する自動光学検査装置において、プリント回路基板の撮影領域を支持するとともに、撮影領域と接触し、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニットと、透過部を透過してプリント回路基板の撮影領域に光を照射し、内部空間に設置される第1、第2及び第3の照明ユニットと、プリント回路基板を撮影し、第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して支持ユニットの外部に配置される第1、第2及び第3の撮影ユニットと、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットを、前記プリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動させる移動ユニットと、を備える。 According to one embodiment of the present invention for achieving the above object, in an automatic optical inspection apparatus for optically inspecting a printed circuit board, the imaging area of the printed circuit board is supported and in contact with the imaging area, A support unit having an internal space in the transmission part of the roller; first, second and third illumination units which are transmitted through the transmission part and irradiate light onto the imaging area of the printed circuit board; First, second, and third photographing units that photograph the printed circuit board and are arranged outside the support unit corresponding to the first, second, and third illumination units, respectively, the support unit, and the illumination A moving unit that moves the unit and the photographing unit in a front-rear direction, which is a conveyance direction of the printed circuit board .
本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、照明ユニットとプリント回路基板の撮影領域との間の光経路上に位置する。 In a preferred embodiment of the present invention, the transmissive part of the support unit is located on the light path between the illumination unit and the imaging area of the printed circuit board.
本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、プリント回路基板の撮影領域の下面を支えつつ、プリント回路基板の移送によって回転されるローラ形状である。 In a preferred embodiment of the present invention, the transmissive part of the support unit has a roller shape that is rotated by the transfer of the printed circuit board while supporting the lower surface of the imaging area of the printed circuit board.
本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、プリント回路基板の撮影領域を支持するように凸面を有する。 In a preferred embodiment of the present invention, the transmission part of the support unit has a convex surface so as to support the imaging area of the printed circuit board.
上記の目的を達成するための本発明の一実施形態によれば、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物の自動光学検査システムにおいて、検査対象物が送出される巻出部と、巻出部から送出される検査対象物の表面を撮影する撮影部材と、検査を終えた検査対象物が巻き取られる巻取部と、を備え、撮影部材は、検査対象物の歪みが発生しないように、検査対象物の撮影領域が支持されるとともに、検査対象物の撮影領域と接触され、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニット、透過部を透過して検査対象物の撮影領域に光を照射し、内部空間に設置する第1、第2及び第3の照明ユニット、及び第1、第2及び第3の照明ユニットの光が照射される検査対象物の撮影領域を撮影し、第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して支持ユニットの外部に配置される第1、第2及び第3の撮影ユニット、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットが、移動ユニットにより前記フレキシブルプリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動する。 According to one embodiment of the present invention for achieving the above object, in an automatic optical inspection system for an inspection object in which a flexible printed circuit board unit is continuously formed, an unwinding unit to which the inspection object is sent out And an imaging member that images the surface of the inspection object that is sent out from the unwinding unit, and a winding unit that winds up the inspection object that has been inspected, and the imaging member has a distortion of the inspection object. The imaging area of the inspection object is supported so that it does not occur, and the imaging area of the inspection object is transmitted through the transmission unit, a supporting unit having an internal space in the transmission part of the roller, which is in contact with the imaging area of the inspection object. The area is irradiated with light, and the first, second and third illumination units installed in the internal space, and the imaging area of the inspection object irradiated with the light from the first, second and third illumination units are photographed. First, second and third First, second and third imaging units disposed outside of each of the lighting units corresponding to the support unit, the support unit, the lighting unit, and the imaging unit, the mobile unit of the flexible printed circuit board Move in the front-rear direction, which is the transport direction .
本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、検査対象物の移送によって回転されるローラ形状である。 In a preferred embodiment of the present invention, the transmission part of the support unit has a roller shape that is rotated by the transfer of the inspection object.
本発明の望ましい実施形態においては、支持ユニットの透過部は、検査対象物の撮影領域を支持するように凸面を有する。 In desirable embodiment of this invention, the permeation | transmission part of a support unit has a convex surface so that the imaging region of a test subject may be supported.
本発明の望ましい実施形態においては、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成された検査対象物を光学的な方式を利用して自動検査する方法において、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニットが検査対象物の撮影領域を支持するとともに、検査対象物の撮影領域に接触した状態で、第1、第2及び第3の照明ユニットに透過された光が、透過部を透過して検査対象物の撮影領域に照射して、第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して検査対象物の撮影領域の上部に位置する第1、第2及び第3の撮影ユニットが検査対象物の撮影領域を撮影し、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットが、移動ユニットにより前記フレキシブルプリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動する。 In a preferred embodiment of the present invention, in a method for automatically inspecting an inspection object on which a flexible printed circuit board unit is continuously formed using an optical method, a support unit having an internal space in a transmission part of a roller Supports the imaging area of the inspection object, and the light transmitted through the first, second and third illumination units in contact with the imaging area of the inspection object passes through the transmission part and is inspected. The first, second, and third imaging units that irradiate the imaging region of the object and are located above the imaging region of the inspection object corresponding to the first, second, and third illumination units, respectively, are the inspection target. shooting imaging area of an object moving, the support unit, the lighting unit, and the imaging unit, the mobile unit in the direction of the front and rear is the conveyance direction of the flexible printed circuit board That.
本発明の自動光学検査システムによれば、検査対象物の撮影領域に対する屈曲、曲げ、伸びによる歪み現象の防止ができる。本発明の自動光学検査システムは、安定した焦点を有する透過イメージを得ることができる。本発明の自動光学検査システムは、検査対象物に対してより高い検査品質を得ることができる。 According to the automatic optical inspection system of the present invention, it is possible to prevent a distortion phenomenon due to bending, bending, and elongation of the inspection object with respect to the imaging region. The automatic optical inspection system of the present invention can obtain a transmission image having a stable focus. The automatic optical inspection system of the present invention can obtain higher inspection quality for an inspection object.
本発明の実施形態は、様々な形態に変形されることができ、本発明の範囲は、以下に説明する実施形態によって限定されるわけではない。本発明の実施形態は、当業者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状などは、より明確な説明を強調するために誇張されることがある。 Embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention is not limited by the embodiments described below. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. Accordingly, element shapes and the like in the drawings may be exaggerated to emphasize a clearer description.
本発明の実施形態を、図1乃至図11に基づいて詳細に説明する。また、図面において同じ機能を果たす構成要素に対しては、同一の参照番号を付ける。 An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 11. In the drawings, the same reference numerals are given to components having the same function.
図1は、本発明の実施形態に係る自動光学検査システム100の主要構成を示す図である。図2及び図3は、ビジョン検査部110の撮影部材120を説明するための図である。
FIG. 1 is a diagram showing a main configuration of an automatic
図1乃至図3に示すように、本発明の実施形態に係る自動光学検査システム100は、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成されたフィルム(film)及びテープ(tape)タイプなどの検査対象物10をラインスキャンカメラなどを利用して自動検査するシステムである。
As shown in FIGS. 1 to 3, an automatic
図1に表示された「→」符号は、検査対象物10の移動経路を示したものである。
The “→” symbol displayed in FIG. 1 indicates the movement path of the
図1に示すように、自動光学検査システム100は、巻出部(feed roller、loader)102、ビジョン検査部110、巻取部(winding roller、unloader)106で構成される。
As shown in FIG. 1, the automatic
巻出部102には、検査対象物10がリール104に巻かれており、巻出部102から送出された検査対象物10は、案内ローラ105を経てビジョン検査部110に供給される。検査対象物10は、ビジョン検査部110を通過した後に巻取部106のリール108に巻かれる。
The
図1乃至図3に示すように、ビジョン検査部110は、検査対象物10の検査領域(又は撮像領域)を撮影する撮影部材120と映像処理部140とを備える。ここで、検査対象物10の撮影領域とは、最小限撮影部材120により撮影される領域を含み、かつ、支持ユニット130に接触される領域を含む。
As shown in FIGS. 1 to 3, the
まず、映像処理部140は、典型的なコンピュータシステムが備えられて、自動光学検査による諸動作を制御処理する。映像処理部140は、撮影ユニットから映像データを受けて検査対象物が良好であるか不良であるかを判別する。
First, the
撮影部材120は、撮影ユニット122と、照明ユニット124と、支持ユニット130とを備える。撮影ユニット122は、CCDラインセンサのようなイメージセンサとレンズ(図示せず)とを有するCCDカメラであって、検査対象物10の表面(パターン等)を撮影して、検査対象物10に対した映像データを獲得する。このように獲得された映像データは、映像処理部140に供給される。例えば、撮影ユニット122は、エリアカメラが用いられることができ、ビジョン検査部110には、以後の検査対象物10の検査条件及びユーザの要求事項に応じて撮影部材120をさらに設けることができる。
The photographing
照明ユニット124は、支持ユニット130の下(検査対象物10の撮影領域の下)に配置される。この照明ユニット124は、検査対象物10の撮影領域に対する映像データを獲得するための光を出力する。照明ユニット124の光源124aには、線形配列した複数の発光ダイオード、線形チューブ蛍光ランプ、ハロゲンランプ及びメタルハライドランプなどが用いられることができ、このような光源の上部には、光の均一度を上げるための拡散板124bが設けられることができる。
The
例えば、図9に示すように、照明ユニット124は、検査しようとする項目の特性又は光の照射特性などによって、支持ユニット130の側面、反射光を供給するための撮影領域の上部に配置されることができる。図9のように、照明ユニット124は、検査対象物10に反射光を供給するために、検査対象物10の上部に配置されることができる。
For example, as shown in FIG. 9, the
本発明において最も重要な構成要素である支持ユニット130は、図3に示すように、検査対象物10の撮影領域が屈曲、曲げ、伸びによる歪み現象を最小化するためのものであって、検査対象物10の撮影領域と直接的に接触され、照明ユニット124の光が透過されるローラ形状の透過部132と、透過部132の両端を回転可能に支持する支持軸134と、を備える。透過部132は、検査対象物10の撮影領域の下面を支え、検査対象物10の移送によって回転される。符号131は、ベアリングである。図3に示すように、支持ユニット130の透過部132は、照明ユニット124と検査対象物10の撮影領域との間の光経路上に位置し、照明ユニット124から光が拡散する成分を集める機能も果たす。例えば、支持ユニット130の透過部132は、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、非晶性ポリオレフィン樹脂などの半透明/透明樹脂、ガラスなどの無機透明材料又はそれらの複合体が用いられることができるがこれらに限定されるわけではない。
As shown in FIG. 3, the
このように、本発明の実施形態に係る自動光学検査装置100は、検査対象物10の撮影領域が支持ユニット130の透過部132により支持され、照明ユニット124の光が支持ユニットの透過部132を介して検査対象物10の撮影領域に照射されるのにその構造的な特徴がある。このような構造的な特徴によれば、検査対象物10の撮影領域に対する屈曲、曲げ、伸びによる歪み現象が防止されて、安定した焦点を有する透過イメージを得ることができる。しかしながら、図11のように、検査対象物10の撮影領域がローラ20により直接支持されないとき、検査対象物10が移送される過程で検査対象物10に屈曲現象が発生することがある。このような検査対象物10の屈曲現象は、焦点が安定的に結ばれる範囲(焦点深度)を外れるようになって、不安定な焦点を有するイメージを得るようになる。
As described above, in the automatic
図4及び図5は、本発明に係る自動光学検査システム100において、照明ユニット124が支持ユニット130aの内部に設けられた撮影部材120aを示す図である。
4 and 5 are diagrams showing the
図4及び図5に示すように、支持ユニット130aは、内部空間136を有するローラ形状の透過部132aを有し、その透過部132aの内部空間136には、照明ユニット124が設けられる。このように、図4及び図5に示す撮影部材120aは、支持ユニット130aの透過部132aが照明ユニット124に設けられることができる十分な内部空間136を有するのにその構造的な特徴がある。このような構造的な特徴によれば、照明ユニット124の光が検査対象物10の撮影領域まで到達する時間及び距離を短縮させることができ、かつ、照明ユニット124の光が通過する透過部132aの厚さを著しく減らすことができるため、光の損失を減らし、光の強度を調節できる。
As shown in FIGS. 4 and 5, the
図6は、本発明に係る自動光学検査システムにおいて、3個の照明ユニットが支持ユニットの内部に設けられた撮影部材を示す図である。 FIG. 6 is a diagram showing an imaging member in which three illumination units are provided inside a support unit in the automatic optical inspection system according to the present invention.
図6に示すように、撮影部材120bは、支持ユニット130bの透過部132bが前で示した透過部132a、132に比べて相対的に大きな直径と内部空間を有し、透過部132bの内部空間136には、3個の照明ユニット124が配置され、その透過部132bの外部には、3個の撮影ユニット122が配置される。このように、支持ユニット130bの透過部132bは、内部に複数の照明ユニット124が設けられることができる。
As shown in FIG. 6, in the photographing
例えば、支持ユニット130の透過部132は、ローラ形態以外に多様な形態にも製作されることができる。図7には、平板形態の支持ユニット130cを有する撮影部材120cが示されている。図7に示すように、撮影部材120cの支持ユニット130cは、検査対象物10の撮影領域を支持するように、凸面137を有する平板形態の透過部132cを有する。
For example, the
上述のように、本発明の実施形態に係る自動光学検査システム100は、フレキシブルプリント回路基板ユニットが連続的に形成されたフィルム又はテープ形態だけでなく、個別的なフレキシブルプリント回路基板ユニット12を検査することができる。
As described above, the automatic
図8に示すように、フレキシブルプリント回路基板ユニット12が積層される支持ユニット130dと、支持ユニット130dの下部から光を照射する照明ユニット124と、支持ユニット130dの上部から撮影する撮影ユニット122とを備える。ここで、支持ユニット130dは、プリント回路基板ユニット12の撮影領域を支持し、光が透過され得るように、透明な透過部132dを有することができる。
As shown in FIG. 8, a
本発明の自動光学検査システム100において、検査対象物10は、連続的に移動せず、一定の距離Lだけ移動した後に停止する一歩一歩(Step by Step)で移動され得る。この場合、ビジョン検査部110では、検査対象物10が一時的に停止している時間の間に検査対象物10に対して撮影作業が行われることができる。これについての説明は、図10を参照しつつ詳細に説明する。
In the automatic
図10に示すように、撮像部材120は、検査対象物の撮影領域を支持する支持ユニット130と、撮影ユニット122と、検査対象物10の撮影領域に光を照射する照明ユニット124と、これらをL距離だけ同時に移動させるための移動部128と、を備える。
As shown in FIG. 10, the
撮像部材120の支持ユニット130、撮影ユニット122、照明ユニット124は、移動ユニット128により前後の方向(フレキシブルプリント回路基板ユニットの長さ方向、図面において矢印で表示された左右方向)へ共に移動する。ここで、移動ユニット128は、油圧を利用したシリンダー方式またはモータ、ボールスクリュー、移送ナットを利用した多様な方式が用いられることができる。例えば、撮像部材の支持ユニット130、撮影ユニット122、照明ユニット124は、移動ユニット128により左右の方向へも移動することができる。このような構造を有する撮影部材120は、撮影ユニット122、照明ユニット124、そして支持ユニット130がL距離だけ後進移動及び前進移動しつつ、少なくとも1回撮像する。
The
上述した本発明の好ましい実施形態は、例示の目的のために開示されたものであり、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、様々な置換、変形、及び変更が可能であり、このような置換、変更などは、特許請求の範囲に属するものである。 The above-described preferred embodiments of the present invention are disclosed for the purpose of illustration, and those having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs do not depart from the technical idea of the present invention. Various substitutions, modifications, and alterations are possible within the scope, and such substitutions, alterations, and the like belong to the scope of the claims.
10 検査対象物
100 自動光学検査システム
102 巻出部
104 リール
105 案内ローラ
106 巻取部
108 リール
110 ビジョン検査部
120 撮影部材
122 撮影ユニット
124 照明ユニット
124a 光源
124b 拡散板
130 支持ユニット
140 映像処理部
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記プリント回路基板の撮影領域を支持するとともに、前記撮影領域と接触し、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニットと、
前記透過部を透過して前記プリント回路基板の撮影領域に光を照射し、前記内部空間に設置される第1、第2及び第3の照明ユニットと、
前記プリント回路基板を撮影し、前記第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して前記支持ユニットの外部に配置される第1、第2及び第3の撮影ユニットと、
前記撮影ユニット、前記照明ユニット、及び前記支持ユニットを、前記プリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動させる移動ユニットと、
を備えることを特徴とする自動光学検査装置。 In an automatic optical inspection device that optically inspects printed circuit boards,
A support unit that supports the imaging region of the printed circuit board, contacts the imaging region, and has an internal space in a transmission portion of the roller;
First, second, and third illumination units that are transmitted through the transmission unit and irradiate light onto the imaging region of the printed circuit board, and are installed in the internal space;
Photographing the printed circuit board, and first, second and third photographing units disposed outside the support unit corresponding to the first, second and third lighting units, respectively;
A moving unit that moves the photographing unit, the illumination unit, and the support unit in a front-rear direction that is a conveyance direction of the printed circuit board;
An automatic optical inspection apparatus comprising:
前記検査対象物が送出される巻出部と、
前記巻出部から送出される前記検査対象物の表面を撮影する撮影部材と、
検査を終えた前記検査対象物が巻き取られる巻取部と、を備え、
前記撮影部材は、前記検査対象物の歪みが発生しないように、前記検査対象物の撮影領域が支持されるとともに、前記検査対象物の撮影領域と接触され、ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニット、前記透過部を透過して前記検査対象物の撮影領域に光を照射し、前記内部空間に設置する第1、第2及び第3の照明ユニット、及び前記第1、第2及び第3の照明ユニットの光が照射される前記検査対象物の撮影領域を撮影し、前記第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して前記支持ユニットの外部に配置される第1、第2及び第3の撮影ユニット、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットが、移動ユニットにより前記フレキシブルプリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動することを特徴とする自動光学検査システム。
する In an automatic optical inspection system for inspection objects in which flexible printed circuit board units are continuously formed,
An unwinding section through which the inspection object is delivered;
An imaging member for imaging the surface of the inspection object delivered from the unwinding unit;
A winding unit on which the inspection object that has been inspected is wound,
The imaging member is supported by the imaging area of the inspection object so that distortion of the inspection object does not occur, is in contact with the imaging area of the inspection object, and has an internal space in a transmission part of the roller. A first unit, a second unit, a third unit, and a third illumination unit that are installed in the internal space by transmitting light through the transmission unit and irradiating the imaging region of the inspection object with light; First, the imaging region of the inspection object irradiated with the light of the three illumination units is imaged, and the first, second, and third illumination units are disposed outside the support unit corresponding to the first, second, and third illumination units, respectively. second and third imaging unit, the support unit, wherein the lighting unit, and the imaging unit is moved by the moving unit in the direction of the front and rear is the conveyance direction of the flexible printed circuit board Automated optical inspection system to be.
Do
ローラの透過部に内部空間を有する支持ユニットが前記検査対象物の撮影領域を支持するとともに、前記検査対象物の撮影領域に接触した状態で、第1、第2及び第3の照明ユニットに透過された光が、前記透過部を透過して前記検査対象物の撮影領域に照射して、前記第1、第2及び第3の照明ユニットにそれぞれ対応して前記検査対象物の撮影領域の上部に位置する第1、第2及び第3の撮影ユニットが前記検査対象物の撮影領域を撮影し、前記支持ユニット、前記照明ユニット、及び前記撮影ユニットが、移動ユニットにより前記フレキシブルプリント回路基板の搬送方向である前後の方向に移動することを特徴とする自動光学検査方法。 In a method of automatically inspecting an inspection object on which a flexible printed circuit board unit is continuously formed using an optical method,
A support unit having an internal space in the transmission part of the roller supports the imaging region of the inspection object and transmits to the first, second, and third illumination units in a state in contact with the imaging region of the inspection object. The transmitted light passes through the transmission part and irradiates the imaging area of the inspection object, and the upper part of the imaging area of the inspection object corresponding to each of the first, second, and third illumination units. The first, second and third imaging units located in the area image the imaging area of the inspection object , and the support unit, the illumination unit, and the imaging unit convey the flexible printed circuit board by the moving unit. An automatic optical inspection method characterized by moving in the front-rear direction .
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