JP5122902B2 - 圧電発振器 - Google Patents

Description

本発明は圧電発振器に関する。

従来、携帯用通信機器等の電子機器には、内部に搭載する電子部品の一つとして圧電発振器が使用されている。この圧電発振器は、搭載された電子機器の動作タイミング信号発生源や基準信号発生源として用いられている。特に、圧電振動素子として、３２．７６８ｋＨｚの屈曲振動を励振する音叉型屈曲水晶振動素子を内部に搭載した圧電発振器は、電子機器のタイムクロック信号発生源として用いられている。

図７は、従来の圧電発振器の一形態を示す分解斜視図である。この圧電発振器７００は、大略的に容器体７０１と圧電振動素子７０２と集積回路素子７０３と蓋体７０４により構成されている。容器体７０１は、セラミック等の絶縁性素材により形成されている平面視矩形状の基板７０１ａと、この基板７０１ａの両主面それぞれの外周辺縁部に設けた、基板７０１ａと同じ素材の平面視環状の第一の枠体７０１ｂと第二の枠体７０１ｃとにより構成されている。この基板７０１ａと第一の枠体７０１ｂにより、第一の凹部７０５が形成されており、又、この基板７０１ａと第二の枠体７０１ｃにより、第二の凹部（不図示）が形成されている。

この第一の凹部７０５内に露出した基板７０１ａの一方の主面には圧電振動素子７０２が配置実装されている。この圧電振動素子７０２は、平面視音叉型の外形形状を有する水晶片の表面に、振動用、周波数調整用、又は収納する容器体などと電気的に接続を取るために用いる外部接続用等の各種電極を設けられている。尚、図７において、圧電振動素子７０２に設けられた各種電極は図示していない。

この圧電振動素子７０２が搭載された第一の凹部７０５は、第一の凹部７０５の開口部を覆うように配置された金属製の蓋体７０４を、第一の枠体７０１ｂの第一の凹部７０５開口側頂部とを接合することにより、気密に封止されている。

又、第二の凹部内に露出した基板７０１ａの他方の主面には、集積回路素子７０３が配置実装されている。この集積回路素子７０３における基板７０１ａの他方の主面に対向する実装側の主面とは反対側の主面には、複数の容器体接続用電極パッド（不図示）が設けられている。更に、第二の凹部内の基板７０１ａの他方の主面における、集積回路素子７０３が配置実装される主面部分以外の主面部分には、複数個の集積回路素子接続用電極端子（不図示）が設けられている。

集積回路素子７０３は、基板７０１ａの他方の主面と集積回路素子７０３の実装側主面との間を導電性接着剤により固着導通することで集積回路素子７０３の実装側主面は所望の電位に維持され、更に、所定の容器体接続用電極パッドと集積回路素子接続用電極端子との間をボンディングワイヤーにより電気的に接続することで第二の凹部内に実装されている。この集積回路素子接続用電極端子のうちの所定の端子は、容器体７０１内或いはその表面に形成した導配線やビアホールにより圧電振動素子７０２、及び第二の枠体７０１ｃの第二の凹部開口側頂部の４つの角部に設けた外部接続用電極端子７０６と電気的に接続されており、これら各構成要素により圧電発振器７００が構成されている（例えば、特許文献１参照）。

図８は、従来の圧電発振器の他の形態を示す分解斜視図である。図８における圧電発振器８００は、大略的に容器体８０１と圧電振動素子８０２と集積回路素子８０３と蓋体８０４により構成されている。容器体８０１は外形形状及び構成要素は、容器体８０１の平面視一短辺側の外側側面には２個一対のモニタ用電極端子８０５が設けられている点で図７に記載の容器体７０１とは異なっている。

このモニタ用電極端子８０５は、容器体８０１内に搭載した平面視矩形状の圧電振動素子８０２の表裏両主面それぞれに設けられた電極８０６と、容器体８０１の第一の凹部８０７内底面に設けられた水晶振動素子接続用電極パッド８０８を介して電気的に接続されている。このモニタ用電極端子８０５に外部の測定機器の測定用端子（例えば、プローブ端子）を接触させ、集積回路素子搭載前の容器体８０１内に搭載され蓋体８０４により気密封止された圧電振動素子８０２の周波数値やクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値等の諸特性を測定する。圧電発振器８００では、この測定した各特性値により圧電振動素子８０２の良否を判定し、その後、良品と判定された圧電振動素子８０２を搭載した容器体８０１のみに集積回路素子８０３を搭載することで、図７の圧電発振器７００に比べて、圧電発振器８００における不良品の発生を低くすることが可能となる。このような圧電発振器に設けるモニタ用電極端子は、外部の測定機器の測定端子を確実に接触させるために、モニタ用電極端子における接触面の面積を可能な限り大きくすることが望ましい。（例えば、特許文献２参照）。

特開２００３−２２９７２０号公報 特開２００６−５４３２１号公報（第８頁、図４、図５）

尚、前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。

しかし、圧電発振器の小型化薄型化が進むにつれ、圧電発振器を構成する容器体の外側側面には、所望する大きさの接触面でモニタ用電極端子を設けることが難しくなった。

又、基板と、その基板の両主面に枠体を設け、圧電振動素子と集積回路素子の搭載空間である凹部を設けた容器体により構成された圧電発振器では、例えば、モニタ用電極端子を集積回路素子が搭載される凹部内底面の表面に設けることも可能である。しかし、その場合、凹部内底面における集積回路素子が配置固着される部分には、集積回路素子の実装側主面が所望の電位となっているためモニタ用電極端子を設けることができない。因って、モニタ用電極端子は、凹部内底面上における集積回路素子が配置固着される部分以外で他の電極端子や電子機器を避けて設けることとなるが、そのためのスペースが凹部内底面に別途必要となり、圧電発振器の小型化を阻害する虞がある。

更に、容器体の外側側面や凹部内底面にモニタ用電極端子を設けた場合、そのモニタ用電極端子と、圧電振動素子が電気的に接続された圧電振動素子接続用電極パッドとの間を、導配線やビアホール等により容器体内及び表面を所定の距離引き回して電気的に接続する必要がある。この引き回したことにより導配線等とアースとの間に浮遊容量が生じ、この浮遊容量により測定した圧電振動素子の周波数特性値に誤差が生じる虞がある。

そこで本発明では、上記した課題を解決し、小型化薄型化がしても、測定値の誤差が小さく、且つ所望の大きさのモニタ用電極端子を設けることができる圧電発振器を提供することを目的とする。

本発明は前記課題を解決するために成されたものであり、平面視矩形状の基板と、この基板の一方の主面辺縁部に設けられた第一の枠体により形成される第一の凹部と、基板の他方の主面辺縁部に設けられた第二の枠体により形成される第二の凹部と、平面視矩形状の開口部を第一の凹部内に露出した基板の一方の主面に有する２個一対の窪み部とからなる容器体と、第一の凹部内に露出した基板の一方の主面に設けられた複数個の集積回路素子接続用電極端子と、窪み部の内部底面に設けられたモニタ用電極端子と、このモニタ用電極端子、及び集積回路素子接続用電極端子のうちの所定の端子と電気的に接続し、第二の凹部内に露出した基板の他方の主面に設けられた圧電振動素子接続用電極パッドと、窪み部の開口部を覆うように第一の凹部内に露出した基板の一方の主面に実装されており、容器体と実装する主面とは反対側の主面に複数個の容器体接続用電極パッドが設けられ、所定の容器体接続用電極パッドと集積回路素子接続用電極端子との間が電気的に接続されている集積回路素子と、第二の凹部内に搭載され、圧電振動素子接続用電極パッドに電気的且つ機械的に接続された圧電振動素子と、第二の凹部を気密に封止する蓋体と、第一の凹部内を充填する絶縁性樹脂とにより構成されており、窪み部は、各窪み部の開口部における一長辺が、第一の凹部に露出した基板の一方の主面形状における長辺にそれぞれ沿っており、且つ窪み部内の底面が、第二の凹部内に露出した前記基板の他方の主面部分とは対向しない位置と大きさになっていることを特徴とする圧電発振器である。

又、前記第二の凹部の開口部を囲繞する第二の枠体の内周角部全周にわたり、蓋体の厚み寸法よりも高さ寸法が高い段差部が設けられており、この段差部に前記蓋体が嵌め合わされていることを特徴とする前記記載の圧電発振器でもある。

更に、平面視矩形状の基板と、この基板の一方の主面辺縁部に設けられた枠体により形成される凹部と、平面視矩形状の開口部を基板の他方の主面に有する２個一対の窪み部とからなる容器体と、基板の他方の主面に設けられた複数個の集積回路素子接続用電極端子と、窪み部の内部底面に設けられたモニタ用電極端子と、このモニタ用電極端子、及び集積回路素子接続用電極端子のうちの所定の端子と電気的に接続し、凹部内に露出した基板の一方の主面に設けられた圧電振動素子接続用電極パッドと、窪み部の開口部を覆うように基板の他方の主面に実装されており、容器体と実装する主面とは反対側の主面に複数個の容器体接続用電極パッドが設けられ、所定の容器体接続用電極パッドと集積回路素子接続用電極端子との間が電気的に接続されている集積回路素子と、凹部内に搭載され、圧電振動素子接続用電極パッドに電気的且つ機械的に接続された圧電振動素子と、凹部を気密に封止する蓋体と、集積回路素子及び前記集積回路素子が実装された前記基板の他方の主面上を被覆する絶縁性樹脂とにより構成されており、窪み部は、各窪み部の開口部における一長辺が、基板の他方の主面形状における長辺にそれぞれ沿っており、且つ窪み部内の底面が、凹部内に露出した基板の一方の主面部分とは対向しない位置と大きさになっていることを特徴とする圧電発振器である。

又、前記凹部の開口部を囲繞する枠体の内周角部全周にわたり、蓋体の厚み寸法よりも高さ寸法が高い段差部が設けられており、この段差部に前記蓋体が嵌め合わされていることを特徴とする前記記載の圧電発振器でもある。

更に、圧電振動素子が音叉型屈曲圧電振動素子であることを特徴とする前記記載の圧電発振器でもある。

本発明の圧電発振器おいて、容器体を構成する基板の一方の主面の圧電振動素子を搭載した凹部内に露出する部分とは対向しない、集積回路素子を搭載する基板の他方の主面には、平面視矩形状の開口部を有する窪み部を２つ一対設け、この窪み部の内部底面には圧電振動素子と電気的に接続したモニタ用電極端子が設けられており、集積回路素子は、その窪み部の開口部を覆うように基板の他方の主面に搭載された構造とすることにより、小型化薄型化が進んだ圧電発振器においても、従来の圧電発振器に比べ、接触面が大きいモニタ用電極端子を設けることができる。

又、窪み部内にモニタ用電極端子が設けられているので、集積回路素子の実装側主面が所望の電位となっていても、モニタ用電極端子が集積回路素子の実装側主面に電気的に接続することはない。因って、モニタ用電極端子を、凹部内底面上における集積回路素子が配置固着される部分に設けることでき、従来のようにモニタ用電極端子を設けるためのスペースを凹部内底面に別途設ける必要がなくなり、圧電発振器の小型化がなる。

更に、窪み部内底面にモニタ用電極端子を設けたことにより、そのモニタ用電極端子と、圧電振動子素子が電気的に接続された圧電振動素子接続用電極パッドとの間を接続する導配線等の引き回し距離が、従来の圧電発振器に比べて短くすることができる。よって、導配線等とアースとの間に浮遊容量を小さくすることができ、この浮遊容量が原因の圧電振動素子の測定周波数特性値における誤差が小さくなる。

このように本発明では、小型化薄型化に対応できる圧電発振器であり、測定値の誤差が小さく、且つ所望の大きさのモニタ用電極端子を設けた圧電発振器を提供できる効果を奏する。

以下に、本発明における圧電発振器の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
尚、各図では、説明を明りょうにするため構成要素の一部を図示せず、また図面に表した構成要素の寸法も一部誇張して図示している。特に、各構成要素における厚み寸法は誇張して図示している。

（第一の実施形態）
図１は、本発明の第一の実施形態に係る圧電発振器を示した分解斜視図であり、図２は図１記載の圧電発振器の平面図であり、（ａ）は集積回路素子搭載側から示した平面図であり、（ｂ）は圧電振動素子搭載側から示した平面図である。図３は、図２記載のＡ−Ａ切断線における断面図である。本発明の第一の実施形態に係る圧電発振器１００は、大略的に、容器体１０１、圧電振動素子１０２、集積回路素子１０３及び蓋体１０４により構成されている。

容器体１０１は、平面視矩形状の基板１０１ａと、この基板１０１ａの一方の主面の外周辺縁部に設けられた第一の枠体１０１ｂと、基板１０１ａの他方の主面の外周辺縁部に設けられた第二の枠体１０１ｃとにより主に構成されている。基板１０１ａ，第一の枠体１０１ｂ及び第二の枠体１０１ｃは、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料の同一の材料で形成されている。第一の枠体１０１ｂ及び第二の枠体１０１ｃは、内周形状が概略矩形状で平面視環状形状であり、且つ基板１０１ａの平面視外周形状と平面視外周形状が同じ形状である。

この基板１０１ａと第一の枠体１０１ｂにより第一の凹部１０５が形成されている。又、基板１０１ａと第二の枠体１０１ｃにより第二の凹部１０６が形成されている。ここで、第一の枠体１０１ｂの内周形状は、後述する集積回路素子１０３の外形形状に合わせた大きさであり、又、第二の枠体１０１ｃの内周形状は、後述する圧電振動素子１０２の外形形状に合わせた大きさとなっている。

第二の凹部１０６内に露出した基板１０１ａの他方の主面には、その主面における一短辺に沿って並んだ２個一対の圧電振動素子接続用電極パッド１０７が設けられている。この圧電振動素子接続用電極パッド１０７には、後述する圧電振動素子１０２の表面に設けた電極が電気的且つ機械的に接続されている。又、第二の凹部１０６の開口部を囲繞する第二の枠体１０１ｃの内周角部全周にわたり、後述する蓋体１０４の厚み寸法よりも高さ寸法が高い段差部１０８が設けられている。

更に、第二の枠体１０１ｃの基板１０１ａと接合した主面とは反対側の主面の４隅には、
外部接続用電極端子１０９が設けられている。この外部接続用電極端子１０９は、後述する集積回路素子接続用電極パッド１１０のうちの所定の電極パッドと電気的に接続している。圧電発振器１００は、この外部接続用電極端子１０９により、電子機器のマザーボード等の外部の配線基板へ電気的且つ機械的に接続して使用されている。

第一の凹部１０５内に露出した基板１０１ａの一方の主面には、その主面形状における２つの短辺にそれぞれ沿って並んだ複数個の集積回路素子接続用電極パッド１１０が設けられている。この集積回路素子接続用電極パッド１１０は、後述する集積回路素子１０３内に内蔵された電気回路と電気的に接続している。又、第一の凹部１０５内に露出した基板１０１ａの一方の主面に中央には、後述する集積回路素子１０３の実装側主面をＧＮＤ電位にするためのＧＮＤ電極端子１１１が設けられている。

集積回路素子接続用電極パッド１１０の内側で且つＧＮＤ電極端子１１１の外側にあたる第一の凹部内に露出した基板１０１ａの一方の主面には、窪み部１１２が２個一対設けられている。この窪み部１１２は、基板１０１ａの一方の主面に矩形状の開口部を有し、且つ基板１０１ｂの他方の主面方向に窪んだ形状である。又、この２つの窪み部１１２は、各窪み部１１２の開口部における一長辺が、第一の凹部１０５に露出した基板１０１ａの一方の主面形状における長辺にそれぞれ沿っており、且つ窪み部１１２内の底面が、第二の凹部１０６内に露出した基板１０１ａの他方の主面部分とは対向しない位置と大きさになっている。

又、各窪み部１１２内底面には、所定の圧電振動素子接続用電極パッド１０７と電気的に接続したモニタ用電極端子１１３が設けられている。

圧電振動素子１０２は、音叉型の外形形状の水晶を素材とする水晶片の表面に、電極及び配線（不図示）を形成することにより構成されている音叉型屈曲水晶振動素子である。この圧電振動素子１０２を構成する水晶片の結晶軸方向は、水晶片の幅方向をＸ軸方向、長さ方向をＹ′軸方向、及び厚み方向をＺ′軸方向となっている。この水晶片は、平面視が概略矩形状の平板形状である基部１０２ａと、この基部１０２ａの一辺の側面から同一方向に一体で突出して設けられた第一の振動腕部１０２ｂと第二の振動腕部１０２ｃから構成されている。この圧電振動素子１０２表面に設けた電極に交番電圧を印加すると、各振動腕部に伸縮現象が生まれ、例えば周波数値が３２．７６８ｋＨｚの屈曲振動が得られる。

集積回路素子１０３は、大略的に、圧電振動素子１０２と電気的に接続する発振回路が少なくとも設けられた回路形成面を有する基板層と、この基板層を被覆し集積回路素子の外形を形成する絶縁性樹脂により構成される。この集積回路素子１０３は、実装時に第一の凹部１０５内に露出した基板１０１ａの一方の主面に対向する主面とは反対側の主面に、複数個の容器体接続用電極パッド１１５が設けられている。この容器体接続用電極パッド１１５は、集積回路素子１０３内の所定の電子回路と電気的に接続されている。

蓋体１０４は、４２アロイ，コバール又はリン青銅等から成る平板であり、第二の凹部１０６の開口部内に設けられた段差部１０８に嵌め合わし、第二の凹部１０６内空間を気密に封止することが可能な概略平面視矩形状の外形形状を有している。

圧電発振器１００は、これら容器体１０１、圧電振動素子１０２、集積回路素子１０３及び蓋体１０４を組み合わせて構成したものである。圧電振動素子１０２は、容器体１０１の第二の凹部１０６内に設けられた圧電振動素子接続用電極パッド１０７に、導電性接着剤１１６により、電気的且つ機械的に接続されている。尚、第二の凹部１０６は、その開口部における長手方向が、容器体１０１の平面視外形における長手方向に対し平行となるように設けられている。圧電振動素子１０２は、その外形形状の長手方向が、第二の凹部１０６の開口部における長辺に平行になるように搭載されている。この圧電振動素子１０２が内部に搭載された第二の凹部１０６は、蓋体１０４を段差部１０８に嵌め込み、この蓋体１０４と段差部１０８とを接合することにより気密封止されている。

尚、集積回路素子１０３は、第一の凹部１０５内のＧＮＤ電極端子１１１に、集積回路素子１０３の実装側主面を対向させ配置されており、導電性接着剤（不図示）によりＧＮＤ電極端子１１１と集積回路素子１０３の実装側主面とが機械的且つ電気的に接続されている。又、集積回路素子１０３の実装側主面とは反対側の主面に設けられている容器体接続用電極パッド１１５と集積回路素子接続用電極パッド１１０との間は、所定の電極パッド間で、ボンディングワイヤーにより電気的に接続されている。尚、内部底面にモニタ用電極端子１１３が設けられている窪み部１１２の開口部は、集積回路素子１０３の実装側主面に覆われた形となる。

この集積回路素子１０３が内部に搭載された第一の凹部１０５内は、集積回路素子１０３及びボンディングワイヤーを保護するために、絶縁性樹脂１１６により充填されている。

このような構造の圧電発振器１００により、小型化薄型化が進んだ圧電発振器においても、従来の圧電発振器における外側側面に設けられたモニタ用電極端子に比べ、接触面が大きいモニタ用電極端子１１３を設けることができる。

又、窪み部１１２内にモニタ用電極端子１１３が設けられているので、モニタ用電極端子１１３がＧＮＤ電位となっている集積回路素子１０３の実装側主面に電気的に接続することはない。因って、モニタ用電極端子１１３を、第一の凹部１０５内底面における集積回路素子１０３が配置固着される部分に設けることでき、従来のようにモニタ用電極端子を設けるためのスペースを凹部内底面に別途設ける必要がなくなり、圧電発振器１００の小型化が可能となる。

更に、窪み部１１２内底面にモニタ用電極端子１１３を設けたことにより、そのモニタ用電極端子１１３と、圧電振動子素子１０２が電気的に接続された圧電振動素子接続用電極パッド１０７との間を接続する導配線等の引き回し距離が、従来の圧電発振器に比べて短くすることができる。よって、導配線等とアースとの間に浮遊容量を小さくすることができ、この浮遊容量が原因の圧電振動素子の測定周波数特性値における誤差が小さくなる。

（第二の実施形態）
図４は、本発明の第二の実施形態に係る圧電発振器を示した断面図である。本発明の第二の実施形態に係る圧電発振器４００は、第一の実施形態と同じく、大略的に、容器体４０１、圧電振動素子４０２、集積回路素子４０３及び蓋体４０４により構成されているが、容器体４０１の構造が第一の実施形態とは異なる。

本発明の第二の実施形態に係る圧電発振器４００の容器体４０１は、平面視矩形状の基板４０１ａと、この基板４０１ａの一方の主面の外周辺縁部に設けた枠体４０１ｂとにより主に構成されている。基板４０１ａと枠体４０１ｂとは、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料の同一の材料により形成されている。枠体４０１ｂは、平面視内周形状が概略矩形状の環状形状を成し、基板４０１ａの平面視外周形状と同じ平面視外周形状となっている。この基板４０１ａと枠体４０１ｂにより凹部４０５が形成されている。尚、この凹部４０５内の構造、凹部４０５内に搭載される圧電振動素子４０２の構造及び搭載形態、外部接続用電極端子４０６、蓋体４０４による凹部４０５内空間の気密封止形態については、第一の実施形態における第二の凹部等の形態と同じである。

基板４０１ａの他方の主面には、その主面における２つの短辺にそれぞれ沿って並んだ
複数個の集積回路素子接続用電極パッド（不図示）が設けられている。この集積回路素子接続用電極パッドは、集積回路素子４０３内に内蔵された電気回路と電気的に接続されている。又、基板４０１ａの一方の主面に中央には、第一の実施形態と同様に、集積回路素子４０３の実装側主面をＧＮＤ電位にするためのＧＮＤ電極端子（不図示）が設けられている。

更に、集積回路素子接続用電極パッドの内側で且つＧＮＤ電極端子の外側にあたる基板４０１ａの他方の主面には、窪み部４０７が２個一対設けられている。この窪み部４０７は、基板４０１ａの他方の主面に矩形状の開口部を有し、且つ基板４０１ｂの一方の主面方向に窪んだ形状である。又、この２つの窪み部４０７は、各窪み部４０７の開口部における一長辺が、基板４０１ａの他方の主面における長辺にそれぞれ沿っており、且つ窪み部４０７内の底面が、凹部内に露出した基板４０１ａの一方の主面部分とは対向しない位置と大きさになっている。

又、各窪み部４０７内底面には、凹部４０５内に設けられている所定の圧電振動素子接続用電極パッド（不図示）と電気的に接続したモニタ用電極端子４０８が設けられている。

圧電発振器４００において、集積回路素子４０３は、基板４０１ａの他方の主面に設けられたＧＮＤ電極端子に、集積回路素子４０３の実装側主面を対向させ配置されており、導電性接着剤（不図示）によりＧＮＤ電極端子と集積回路素子４０３の実装側主面とが機械的且つ電気的に接続されている。又、集積回路素子４０３の実装側主面とは反対側の主面に設けられている容器体接続用電極パッド４０９と集積回路素子接続用電極パッドとの間は、所定の電極パッド間で、ボンディングワイヤーにより電気的に接続されている。尚、内部底面にモニタ用電極端子４０８が設けられている窪み部４０７の開口部は、集積回路素子４０３の実装側主面に覆われた形となる。

この集積回路素子４０３及びボンディングワイヤーを保護するために、基板の４０１ａの他方の主面上、集積回路素子４０３及びボンディングワイヤーは、絶縁性樹脂４１０により被覆されている。

このような構造の圧電発振器４００においても、第一の実施形態である圧電発振器１００と同様な効果を奏することができる。

（第三の実施形態）
図５は、本発明の第三の実施形態に係る圧電発振器を示した断面図である。本発明の第三の実施形態に係る圧電発振器は、容器体内における圧電振動素子と集積回路素子の搭載実装位置が、第一の実施形態とは逆となっている点で異なっている。

本発明の第三の実施形態に係る圧電発振器５００を構成する容器体５０１は、平面視矩形状の基板５０１ａと、この基板５０１ａの一方の主面の外周辺縁部に設けた平面視環状の第一の枠体５０１ｂと、基板５０１ａの他方の主面の外周辺縁部に設けた平面視環状の第二の枠体５０１ｃとにより構成されている。この基板５０１ａと第一の枠体５０１ｂにより、基板５０１ａの一方の主面上には、圧電振動素子５０４を内部に搭載し蓋体５０５により気密封止される第一の凹部５０２が、第一の実施形態における第二の凹部１０６と同じように形成されている。又、この基板５０１ａと第二の枠体５０１ｃにより、基板５０１ａの他方の主面上には、集積回路素子５０６を内部に実装する第二の凹部５０３が、第一の実施形態における第一の凹部１０５と同じように形成されている。尚、第二の凹部５０３内に露出した基板５０１ａの他方の主面には、内部底面にモニタ用電極端子５０７が設けられた窪み部５０８が、第一の実施形態における窪み部１１２及びモニタ用電極端子１１３と同じ形態で設けられている。

この第二の枠体５０１ｃの基板５０１ａと接合した主面とは反対側の主面の４隅には、後述する外部接続用電極端子５０９が設けられている。圧電発振器５００は、この外部接続用電極端子５０６により、電子機器のマザーボード等の外部の配線基板へ電気的且つ機械的に接続して使用されている。

このような構造の圧電発振器５００においても、第一の実施形態である圧電発振器１００と同様な効果を奏することができる。

（第四の実施形態）
図６は、本発明の第四の実施形態に係る圧電発振器を示した断面図である。本発明の第四の実施形態に係る圧電発振器は、蓋体による、圧電振動素子が内部に搭載された第一の凹部の気密封止形態が、第三の実施形態とは異なっている。

本発明の第四の実施形態に係る圧電発振器６００を構成する容器体６０１は、平面視矩形状の基板６０１ａと、この基板６０１ａの一方の主面の外周辺縁部に設けた平面視環状の第一の枠体６０１ｂと、基板６０１ａの他方の主面の外周辺縁部に設けた平面視環状の第二の枠体６０１ｃとにより構成されている。この基板６０１ａと第一の枠体６０１ｂにより、基板６０１ａの一方の主面上には、圧電振動素子６０４を内部に搭載する第一の凹部６０２が、第三の実施形態における第一の凹部５０２と同じように形成され、又、この基板６０１ａと第二の枠体６０１ｃにより、基板６０１ａの他方の主面上に、集積回路素子６０５を内部に実装する第二の凹部６０３が、第三の実施形態における第二の凹部５０３と同じように形成されている。尚、第二の凹部６０３内に露出した基板６０１ａの他方の主面には、内部底面にモニタ用電極端子６０６が設けられた窪み部６０７が、第三の実施形態における窪み部５０８及びモニタ用電極端子５０７と同じ形態で設けられている。

圧電振動素子６０４が内部に搭載された第一の凹部６０２は、第一の凹部６０２の開口部形状より大きい外周形状の平面視矩形状の蓋体６０８により気密封止されている。この蓋体６０８は、第一の枠体６０１ｂにおける基板６０１ａと接合した主面とは反対側の主面の内周側辺縁部に第一の凹部６０２の開口部を覆うように配置されており、この第一の枠体６０１ｂにおける基板６０１ａと接合した主面とは反対側の主面の内周側辺縁部と、蓋体６０８と接合することで第一の凹部６０２は気密封止されている。

このような構造の圧電発振器６００においても、第一の実施形態である圧電発振器１００と同様な効果を奏することができる。

尚、上述したもの以外にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。本実施例に示した圧電発振器では、内部に搭載する圧電振動素子として音叉型屈曲水晶振動素子を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、外形形状が音叉型以外の矩形状の外形形状である場合や、振動モードが屈曲振動以外の厚みすべり振動モードの圧電振動素子を用いた圧電発振器でも構わない。

本発明の第一の実施形態に係る圧電発振器を示した分解斜視図である。 図１記載の圧電発振器の平面図であり、（ａ）は集積回路素子搭載側から示した平面図であり、（ｂ）は圧電振動素子搭載側から示した平面図である。 図２記載のＡ−Ａ切断線における断面図である。 本発明の第二の実施形態に係る圧電発振器を示した断面図である。 本発明の第三の実施形態に係る圧電発振器を示した断面図である。 本発明の第四の実施形態に係る圧電発振器を示した断面図である。 従来の圧電発振器の一形態を示した分解斜視図である。 従来の圧電発振器の他の形態を示した分解斜視図である。

符号の説明

１００，４００，５００，６００・・・圧電発振器
１０１，４０１，５０１，６０１・・・容器体
１０１ａ，４０１ａ，５０１ａ，６０１ａ・・・基板
１０１ｂ，５０１ｂ，６０１ｂ・・・第一の枠体
１０１ｃ，５０１ｃ，６０１ｃ・・・第二の枠体
１０２，４０２，５０４，６０４・・・圧電振動素子
１０３，４０３，５０６，６０５・・・集積回路素子
１０４，４０４，５０５，６０８・・・蓋体
１０５，５０２，６０２・・・第一の凹部
１０６，５０３，６０３・・・第二の凹部
１０７・・・圧電振動素子接続用電極パッド
１０８・・・段差部
１０９，４０６，５０９・・・外部接続用電極端子
１１０・・・集積回路素子接続用電極パッド
１１１・・・ＧＮＤ電極端子
１１２，４０７，５０８，６０７・・・窪み部
１１３，４０８，５０７，６０６・・・モニタ用電極端子
１１５，４０９・・・容器体接続用電極パッド
１１６，４１０・・・絶縁性樹脂
４０１ｂ・・・枠体
４０５・・・凹部

Claims (5)

1. 平面視矩形状の基板と、前記基板の一方の主面辺縁部に設けられた第一の枠体により形成される第一の凹部と、前記基板の他方の主面辺縁部に設けられた第二の枠体により形成される第二の凹部と、平面視矩形状の開口部を前記第一の凹部内に露出した前記基板の一方の主面に有する２個一対の窪み部とからなる容器体と、
   前記第一の凹部内に露出した前記基板の一方の主面に設けられた複数個の集積回路素子接続用電極端子と、
   前記窪み部の内部底面に設けられたモニタ用電極端子と、
   前記モニタ用電極端子、及び前記集積回路素子接続用電極端子のうちの所定の端子と電気的に接続し、前記第二の凹部内に露出した前記基板の他方の主面に設けられた圧電振動素子接続用電極パッドと、
   前記窪み部の開口部を覆うように前記第一の凹部内に露出した前記基板の一方の主面に実装されており、前記容器体と実装する主面とは反対側の主面に複数個の容器体接続用電極パッドが設けられ、所定の前記容器体接続用電極パッドと前記集積回路素子接続用電極端子との間が電気的に接続されている集積回路素子と、
   前記第二の凹部内に搭載され、前記圧電振動素子接続用電極パッドに電気的且つ機械的に接続された圧電振動素子と、
   前記第二の凹部を気密に封止する蓋体と、
   前記第一の凹部内を充填する絶縁性樹脂と、
   により構成されており、
   前記窪み部は、前記各窪み部の前記開口部における一長辺が、前記第一の凹部に露出した前記基板の一方の主面形状における長辺にそれぞれ沿っており、且つ前記窪み部内の底面が、前記第二の凹部内に露出した前記基板の他方の主面部分とは対向しない位置と大きさになっている
   ことを特徴とする圧電発振器。
2. 前記第二の凹部の開口部を囲繞する第二の枠体の内周角部全周にわたり、前記蓋体の厚み寸法よりも高さ寸法が高い段差部が設けられており、前記段差部に前記蓋体が嵌め合わされていることを特徴とする請求項１に記載の圧電発振器。
3. 平面視矩形状の基板と、前記基板の一方の主面辺縁部に設けられた枠体により形成される凹部と、平面視矩形状の開口部を前記基板の他方の主面に有する２個一対の窪み部とからなる容器体と、
   前記基板の他方の主面に設けられた複数個の集積回路素子接続用電極端子と、
   前記窪み部の内部底面に設けられたモニタ用電極端子と、
   前記モニタ用電極端子、及び前記集積回路素子接続用電極端子のうちの所定の端子と電気的に接続し、前記凹部内に露出した前記基板の一方の主面に設けられた圧電振動素子接続用電極パッドと、
   前記窪み部の開口部を覆うように前記基板の他方の主面に実装されており、前記容器体と実装する主面とは反対側の主面に複数個の容器体接続用電極パッドが設けられ、所定の前記容器体接続用電極パッドと前記集積回路素子接続用電極端子との間が電気的に接続されている集積回路素子と、
   前記凹部内に搭載され、前記圧電振動素子接続用電極パッドに電気的且つ機械的に接続された圧電振動素子と、
   前記凹部を気密に封止する蓋体と、
   前記集積回路素子及び前記集積回路素子が実装された前記基板の他方の主面上を被覆する絶縁性樹脂と、
   により構成されており、
   前記窪み部は、前記各窪み部の前記開口部における一長辺が、前記基板の他方の主面形状における長辺にそれぞれ沿っており、且つ前記窪み部内の底面が、前記凹部内に露出した前記基板の一方の主面部分とは対向しない位置と大きさになっている
   ことを特徴とする圧電発振器。
4. 前記凹部の開口部を囲繞する枠体の内周角部全周にわたり、前記蓋体の厚み寸法よりも高さ寸法が高い段差部が設けられており、前記段差部に前記蓋体が嵌め合わされていることを特徴とする請求項３に記載の圧電発振器。
5. 前記圧電振動素子が音叉型屈曲圧電振動素子であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちの一つに記載の圧電発振器。

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