JP4915564B2 - 湿式空気清浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、濡面式の湿式空気清浄装置に関する。

例えば半導体生産施設等では、生産過程で汚染ガス（有機ガス、酸性ガス、アルカリ性ガス、臭気ガス等）が発生するため、空気を清浄する空気清浄装置が工場内に設置される場合が多い。従来、この空気清浄装置として、汚染成分を含むガスを処理水（液体）に気液接触させ、ガス中の汚染成分を処理水に溶解させてガスを清浄（湿式処理）する湿式の空気清浄装置がある。

半導体生産施設等の精密環境施設では、処理水として、純水或いは純水に準じた水質の水が使用される場合が多い。また、汚染成分の処理水への溶解量は処理水の温度に依存するため、純水等を１０℃程度に冷却することが好ましく、これによって、除去性能の効率を高めることができる。

従来、湿式空気清浄装置として、エアワッシャー式のものがある。このエアワッシャー式の湿式空気清浄装置は、処理対象のガスの流通経路に向けて処理水を噴霧させることで、処理対象のガスと処理水とを気液接触させ、ガス中の汚染成分を除去するものである。この方式の場合、処理水を循環利用する場合がある。つまり、噴霧した処理水を回収して再びガス流通経路に向けて噴霧する構成になっている場合がある。これによって、処理水の使用量を低減させることができる（例えば、特許文献１参照。）。

また、従来、湿式空気清浄装置として、濡面式（濡壁式）の湿式空気清浄装置がある。この濡面式の湿式空気清浄装置は、処理水で濡らした接触材（充填材、濾材）に処理対象のガスを通過させることで、処理対象のガスと処理水とを気液接触させ、ガス中の汚染成分を除去するものである。この方式の場合、処理対象のガス中のカビ胞子や浮遊細菌が接触材に捕捉され、この捕捉されたカビ胞子等によって接触材の表面にカビ等の微生物が繁殖するという問題がある。特に、処理水を循環利用すると、微生物の繁殖が誘引或いは促進される結果となる。したがって、濡面式の湿式空気清浄装置の場合、接触材に処理水が掛け流し式に供給する場合が多い。つまり、外部から新たに流入させた処理水を接触材に供給し、接触材から流出した処理水は循環利用せずに排出する構成になっている（例えば、特許文献２参照。）。
特開２００４−２２３４７７号公報 特開２０００−３３２２１号公報

上記した従来の濡面式の湿式空気清浄装置では、仮に、掛け流し式の接触材の数を増やしたり処理水の使用量を増加したりすることで、除去率を向上させることができる。しかしながら、接触材の増加により、そのまま増加分だけイニシャルコストが高くなるだけではなく、装置の大型化によってもイニシャルコストが高くなる。さらに、接触材の交換時には、交換する接触材が多い分だけそのコストが高くなる。また、処理水の増加により、ランニングコストが高くなるという問題がある。特に、処理水として使用される冷却された純水等が使用されている場合にはその処理水Ｗの単価が高いため、ランニングコストが著しく高くなる。

また、上記した従来の濡面式の湿式空気清浄装置において、仮にエアワッシャー式の湿式空気清浄装置のように処理水を循環利用すると処理水の使用量を削減することができるが、接触材における微生物の繁殖が増大してメンテナンス作業（接触材の洗浄作業）が増加する。微生物が繁殖した接触材は、過酸化水素水やオゾン水、または洗浄剤等によって洗浄することができるが、装置を使用したまま洗浄剤等で接触材を洗浄すると、洗浄剤等の成分が装置から排気されるガスとともに外部に放出されることになるため、接触材の洗浄作業（メンテナンス作業）を行う時には当該装置の運転を一時的に停止しなければならない。つまり、仮に、従来の濡面式の湿式空気清浄装置において処理水を循環利用した場合、湿式空気清浄装置の一時停止の回数が増えるという問題がある。

本発明は、上記した従来の問題が考慮されたものであり、ランニングコストを上げずに空気清浄能力を向上させることができ、且つ、一時停止の回数を減らすことができる湿式空気清浄装置を提供することを目的としている。

本発明は、汚染成分を含む処理対象のガスを上向きに上昇させる流通過程で、処理水が浸透した接触材にガスを通過させることで、ガス中の汚染成分を処理水に溶解させてガスを清浄する湿式空気清浄装置において、前記接触材が、ガスの流通方向に所定の間隔を置いて上下に複数配設され、ガス流通方向の最下流側の接触材に対して、外部から新たに流入させた処理水を供給する給水手段と、前記最下流側の接触材よりも上流側にある他の接触材のうちの少なくとも１つから流出した処理水を前記他の接触材のうちの少なくとも１つに供給して処理水を循環させる循環手段と、前記最下流側の接触材の下方に配設されて該最下流側の接触材から滴下された処理水を下方側に通過させるエリミネータと、が備えられており、前記最下流側の接触材から流出した処理水が前記循環手段により循環する処理水に加えられることを特徴としている。

このような特徴により、処理対象のガスは、上流側の接触材において、循環する処理水で処理された後、最下流側の接触材において、外部から新たに流入させた処理水で処理される。このように、処理対象のガスが先に接触する上流側の接触材には、処理水を循環利用して循環式に処理水が供給されるため、高い液ガス比（処理水の量が多い状態）による湿式処理を上流側の接触材で経済的に実現することができる。また、上流側の接触材を通過したガスが接触する最下流側の接触材には、きれいな処理水が掛け流し式に供給されるため、上流側の接触材で除去し切れなかった汚染成分が最下流側の接触材で除去される。

さらに、処理対象のガス中に含まれるカビ胞子や浮遊細菌等が上流側の接触材に捕捉される。この接触材で微生物が繁殖しても、この接触材は常に濡れた状態にあって処理水で流されるため、カビ胞子等が気流に乗って次（下流側）の接触材に移行しにくい。また、装置の運転中に、微生物が繁殖した上流側の接触材を洗浄剤等で洗浄しても装置から排気される処理後のガス中に洗浄成分が含まれることがない。これは、洗浄剤の洗浄成分が上流側の接触材や液体表面から空気中に移行したりミストとして発生したりしても、下流側の接触材によって洗浄剤の洗浄成分が除去されるためである。

また、ガス流通方向の最下流側の接触材から流出した処理水が上流側の循環する処理水として利用されることになる。このように、上流側の接触材において循環する処理水に、最下流側の接触材から流出した比較的きれいな処理水が足されることになるため、循環する処理水の汚染を低減させることができる。これにより、上流側の接触材に微生物が発生し難くなる。

本発明に係る湿式空気清浄装置によれば、従来の濡面式の湿式空気清浄装置と比べて処理水の使用量を増加させずに高除去率が実現されるため、ランニングコストを上げずに空気清浄能力を向上させることができる。また、装置を一時停止させることなく、装置の運転中に上流側の接触材の洗浄作業を行うことができるため、装置停止の回数を減らすことができる。

以下、本発明に係る湿式空気清浄装置の参考例及び実施の形態について、図面に基いて説明する。

［参考例］
図１は本発明の参考例である湿式空気清浄装置１の模式図である。なお、図１ではガスＧが右から左に流通し、図１における右側がガス流通方向の上流側であり、図１における左側がガス流通方向の下流側である。

図１に示す湿式空気清浄装置１は、横置き型の濡面式の湿式空気清浄装置であって、汚染成分を含む処理対象のガスＧの流通過程で、処理水Ｗが浸透した接触材２，３にガスＧを通過させることで、ガスＧ中の汚染成分を処理水Ｗに溶解させてガスＧを清浄する装置である。

湿式空気清浄装置１は、中空の容器４と、整流板５と、処理水Ｗが浸透した接触材２，３と、エリミネータ６と、ガスＧを送り出すファン７と、処理水Ｗを循環させる循環手段８と、新たな処理水Ｗを下流側の接触材３に供給する給水手段９とから構成されている。接触材２，３は、ポリエステル製の布、木綿の布、素焼の陶板等、水を保持し、内部から不純物を溶出しないものであれば、何でも良い。

容器４は、内部にガスＧが流通する筒状の部材であり、横向きに配置されている。容器４の一端部には、処理対象のガスＧを容器４内に流入させるための吸気口４ａが設けられており、容器４の他端部には、湿式処理後のガスＧ’を排気するための排気口４ｂが設けられている。容器４の中には、整流板５、接触材２，３及びエリミネータ６が、上流側（図１における左側）から整流板５、上流側の接触材２、下流側の接触材３、エリミネータ６の順で横に並べて配設されている。また、容器４の底部には、処理水Ｗが溜められる容器４底を上流側と下流側とに区画する止水板４ｃ…が立設されている。具体的には、整流板５の位置と、隣り合う接触材２，３の間の位置と、エリミネータ６より下流側の位置とに、止水板４ｃ…がそれぞれ配設されている。

整流板５は、容器４内に流入したガスＧの流れる方向を一方向に整えるための部材であり、公知の整流板を使用することができる。整流板５は、接触材２の上流側の位置に、ガス流通方向に垂直な向きで配置され、接触材２に対向配置されている。

接触材２，３は、容器４内を流通するガスＧを通過させる部材であり、公知の接触材（充填材、濾材ともいう。）を使用することができる。接触材２，３は、容器４の内部にガスの流通方向に所定の間隔を置いて複数配設されており、具体的には、上流側の接触材２と下流側の接触材３とがガス流通方向に間隔をあけて横並びに配置されている。各接触材２，３は、処理水Ｗがそれぞれ浸透されて処理水Ｗで濡れた状態になっている。また、接触材２，３内の処理水Ｗは、接触材２，３の内部を流れ落ちて接触材２，３の下端部から流出され、流出した処理水Ｗは、容器４底に溜められる。つまり、上流側の接触材２は、上流側の止水板４ｃ，４ｃ間に配置されており、上流側の接触材２から流出した処理水Ｗが止水板４ｃ…で区画された上流側の容器４底に溜まる構成になっている。一方、下流側の接触材３は、下流側の止水板４ｃ，４ｃ間に配置されており、下流側の接触材３から流出した処理水Ｗが止水板４ｃ…で区画された下流側の容器４底に溜まる構成になっている。

エリミネータ６は、ミストを除去するための水滴除去部であり、公知のエリミネータを使用することができる。エリミネータ６は、接触材３の下流側に位置に、ガス流通方向に垂直な向きで配置され、接触材３に対向配置されている。また、エリミネータ６は、下流側の止水板４ｃ，４ｃ間に配置されており、エリミネータ６によって除去された水滴が止水板４ｃ…で区画された下流側の容器４底に溜まる構成になっている。

循環手段８は、各接触材２，３からそれぞれ流出した処理水Ｗを上流側の接触材２に供給して処理水Ｗを循環させる手段であり、例えば、各接触材２，３からそれぞれ流出した処理水Ｗを回収して水槽１０に流入させ、水槽１０内に貯留された処理水Ｗを圧送ポンプ１１によって噴霧ノズル１２に送り、噴霧ノズル１２から上流側の接触材２に向けて処理水Ｗを噴霧するシステムになっている。具体的には、循環手段８には、上記した水槽１０と圧送ポンプ１１と噴霧ノズル１２とのほかに、上流側の容器４底と水槽１０とを連通させて上流側の容器４底に溜まった処理水Ｗを水槽１０に送る上流側の連通管１３と、下流側の容器４底と水槽１０とを連通させて下流側の容器４底に溜まった処理水Ｗを水槽１０に送る下流側の連通管１４と、水槽１０と圧送ポンプ１１とを接続する第１の接続管１５と、圧送ポンプ１１と噴霧ノズル１２とを接続する第２の接続管１６と、水槽１０内の処理水Ｗを外部に排水する排水管１７とが備えられている。

給水手段９は、外部から新たに流入させた処理水Ｗを下流側の接触材３に供給する手段であり、例えば、外部から流入させた新たな処理水Ｗを圧送ポンプ１８によって噴霧ノズル１９に送り、噴霧ノズル１９から下流側の接触材３に向けて処理水Ｗを噴霧するシステムになっている。具体的には、給水手段９には、上記した圧送ポンプ１８及び噴霧ノズル１９の他に、処理水Ｗの図示せぬ供給源と圧送ポンプ１８とを接続する第１の接続管２０と、圧送ポンプ１８と噴霧ノズル１９とを接続する第２の接続管２１とが備えられている。

なお、上記した循環手段８は、上流側の接触材２に多量の処理水Ｗを供給できるシステムになっており、上流側の接触材２は液ガス比が高くなっている。具体的には、循環手段８に備えられた噴霧ノズル１２，１２の数（図１に示す例では２つ）は、給水手段９に備えられた噴霧ノズル１９の数（図１に示す例では１つ）よりも多く、循環手段８による上流側の接触材２への処理水Ｗの供給量は、給水手段９による下流側の接触材３への処理水Ｗの供給量よりも多くなっている。

また、ファン７は、ガスＧを吸引して送り出す公知の送風機である。このファン７は、容器４の吸気口４ａに取り付けられており、このファン７によって、汚染成分を有するガスＧは、吸気口４ａから容器４内に送り込まれ、容器４内を流通して容器４内で湿式処理された後、排気口４ｂから排出される。なお、排気口４ｂから送り出された浄化後のガスＧ’は、屋外に排出されたり、他の処理装置や生産エリアに供給されたり、元の場所に戻されたりする。

次に、上記した構成からなる湿式空気清浄装置１の使用方法について説明する。

まず、給水手段９により、外部から純水等からなる新たな処理水Ｗを下流側の接触材３に供給し、下流側の接触材３に処理水Ｗを浸透させる。具体的には、新たな処理水Ｗが、第１の接続管２０を通って圧送ポンプ１８に送られる。そして、圧送ポンプ１８により、新たな処理水Ｗが第２の接続管２１を通って噴霧ノズル１９に圧送されて当該噴霧ノズル１９から下流側の接触材３に向けて噴霧される。噴霧ノズル１９から噴霧された処理水Ｗは下流側の接触材３に浸透し、当該接触材３は処理水Ｗで濡れた状態となる。下流側の接触材３に浸透した処理水Ｗは、当該接触材３の下部から流出して下流側の容器４底に溜まる。この容器４底に溜まった処理水Ｗは、連通管１４を通って水槽１０に流入し、循環手段８により循環する処理水Ｗに加えられる。

また、循環手段８により、各接触材２，３から流出した処理水Ｗを循環利用して上流側の接触材２に供給し、上流側の接触材２に処理水Ｗを浸透させる。具体的には、水槽１０内に貯留された処理水Ｗが第１の接続管１５を通って圧送ポンプ１１に送られる。そして、圧送ポンプ１１により、処理水Ｗが第２の接続管１６を通って噴霧ノズル１２に圧送されて当該噴霧ノズル１２から上流側の接触材２に向けて噴霧される。噴霧ノズル１２から噴霧された処理水Ｗは上流側の接触材２に浸透し、当該接触材２は処理水Ｗで濡れた状態となる。上流側の接触材２に浸透した処理水Ｗは、当該接触材２の下部から流出して上流側の容器４底に溜まる。この容器４底に溜まった処理水Ｗは、連通管１３を通って水槽１０に流入する。また、水槽１０内の処理水Ｗの一部は、排水管１７から適宜排水される。

次に、処理対象のガスＧを流通させて、接触材２，３に当該ガスＧを通過させることで、ガスＧ中の汚染成分を除去して汚染されたガスＧを清浄する。具体的には、ファン７を稼動させることで、汚染されたガスＧが吸気口４ａから容器４内に送り込まれる。吸気口４ａから容器４内に流入したガスＧは、整流板５を通過して上流側の接触材２に流れ込む。そして、このガスＧが上流側の接触材２を通過する際、通過するガスＧが当該接触材２に浸透した処理水Ｗに気液接触し、ガスＧ中の汚染成分の大部分が処理水Ｗに溶解される。続いて、上流側の接触材２を通過したガスＧは、下流側の接触材３に流れ込む。そして、このガスＧが下流側の接触材３を通過する際、通過するガスＧが当該接触材３に浸透した新しい処理水Ｗに気液接触し、ガスＧ中に残留した汚染成分が処理水Ｗに溶解される。その後、下流側の接触材３を通過してクリーンになったガスＧ’は、エリミネータ６を通過してミスト除去された後、排気口４ｂから湿式空気清浄装置１外に排気される。

また、上流側の接触材２には処理対象のガスＧが先に接触するため、処理対象のガスＧ中に含まれるカビ胞子や浮遊細菌等が上流側の接触材２に捕捉される。このため、上流側の接触材２には、カビや微生物等が繁殖する場合がある。特に、上流側の接触材２には、循環している処理水Ｗを供給しているため、当該接触材２に微生物等の繁殖が促進される。このように上流側の接触材２に微生物等が繁殖した場合、当該接触材２を過酸化水素水、オゾン水やその他の洗浄剤等（以下、洗浄剤と記す。）で洗浄して繁殖した微生物等を除去することが望ましい。具体的には、水槽１０の中に洗浄剤を適量添加するなどして、循環している処理水Ｗの中に洗浄剤を添加し、その後、循環手段８を上記した通常運転で稼動させて洗浄剤が添加された処理水Ｗを循環させる。これによって、洗浄剤が添加された処理水Ｗが、微生物等が繁殖した上流側の接触材２に供給され、当該接触材２に繁殖した微生物等が洗浄剤の洗浄力によって洗浄・除去される。

上記した構成からなる湿式空気清浄装置１によれば、接触材２，３が、ガスＧの流通方向に所定の間隔を置いて２つ配設されており、ガス流通方向の最下流側の接触材３に対して、外部から新たに流入させた処理水Ｗを供給する給水手段９と、最下流側の接触材３よりも上流側にある他の接触材２から流出した処理水Ｗを当該接触材２に供給して処理水Ｗを循環させる循環手段８とが備えられた構成からなることにより、処理対象のガスＧは、上流側の接触材２において、循環する処理水Ｗで処理された後、最下流側の接触材３において、外部から新たに流入させた処理水Ｗで処理される。このように、処理対象のガスＧが先に接触する上流側の接触材２には、処理水Ｗを循環利用して循環式に処理水Ｗが供給される。このため、高い液ガス比（処理水の量が多い状態）による湿式処理を上流側の接触材２で経済的に実現することができ、また、高い液ガス比で湿式処理されることで、ガスＧ中の汚染成分が効率良く除去される。また、上流側の接触材２を通過したガスＧが接触する最下流側の接触材３には、きれいな処理水Ｗが掛け流し式に供給される。このため、上流側の接触材２で除去し切れなかったガスＧ中の汚染成分が最下流側の接触材３で除去される。これによって、従来の濡面式の湿式空気清浄装置と比べて処理水Ｗの使用量を増加させずに高除去率を実現することができ、湿式空気清浄装置１のランニングコストを上げずに空気清浄能力を向上させることができる。

また、上記した構成からなる湿式空気清浄装置１によれば、上流側の接触材２で微生物が繁殖しても、この接触材２が常に濡れた状態にあって処理水Ｗで流されるため、カビ胞子等が気流（接触材２を通過するガスＧ）に乗って下流側の接触材３に移行しにくい。また、湿式空気清浄装置１の運転中に、微生物等を洗浄・除去する洗浄剤等を循環する処理水Ｗに添加しても、湿式空気清浄装置１から排気されるＧ’に洗浄剤の洗浄成分が含まれない。これは、例えば、洗浄剤の洗浄成分が上流側の接触材２や液体表面から空気中に移行したりミストとして発生したりしても、下流側の接触材３によって洗浄剤の洗浄成分が除去されるためである。したがって、上流側の接触材２の洗浄作業を行う際に、湿式空気清浄装置１の運転を一時停止させる必要がなく、湿式空気清浄装置１の一時停止の回数を減らすことができ、湿式空気清浄装置１を長期間、連続運転させることができる。

また、上記した構成からなる湿式空気清浄装置１によれば、最下流側の接触材３から流出した処理水Ｗが、循環手段８により循環する処理水Ｗに加えられるとともに、循環する処理水Ｗの一部が排出されるため、ガス流通方向の最下流側の接触材３から流出した処理水Ｗが上流側の循環する処理水Ｗとして利用されることになる。このように、上流側の接触材２において循環する処理水Ｗに、最下流側の接触材３から流出した比較的きれいな処理水Ｗが足されることになるため、循環手段８により循環する処理水Ｗに新たな処理水Ｗを加えることなく、循環する処理水Ｗの汚染を低減させることができる。これにより、上流側の接触材Ｗに微生物が発生し難くなり、上流側の接触材２の洗浄作業を不要、或いはその頻度（回数）を減らすことができる。

［本発明の実施の形態］
図２は本発明の実施の形態に係る湿式空気清浄装置１０１の模式図である。なお、図２ではガスＧが下から上に流通し、図２における下側がガス流通方向の上流側であり、図２における上側がガス流通方向の下流側である。また、以下に説明する本発明の実施の形態では、上記した参考例と同様の構成については同一の符号を付すことでその説明を省略する。

図２に示す湿式空気清浄装置１０１は、縦置き型の濡面式の湿式空気清浄装置であり、中空の容器１０４と、整流板５と、処理水Ｗが浸透した接触材２，３と、第１、第２のエリミネータ６，１０６と、ガスＧを送り出すファン７と、処理水Ｗを循環させる循環手段１０８と、新たな処理水Ｗを下流側の接触材３に供給する給水手段９とから構成されている。

容器１０４は、内部にガスＧが流通する筒状の部材であり、縦向きに配置されている。容器１０４の下部には、処理対象のガスＧを容器１０４内に流入させるための吸気口１０４ａが設けられており、容器１０４の上部には、湿式処理後のガスＧ’を排気するための排気口１０４ｂが設けられている。また、容器１０４の中には、整流板５、接触材２，３及び第１、第２のエリミネータ６，１０６が、上流側（図２における下側）から整流板５、上流側の接触材２、第２のエリミネータ１０６、下流側の接触材３、第１のエリミネータ６の順で縦に並べて配設されている。また、容器１０４の底部（下端部）は、処理水Ｗが溜められる水槽部１０４ｃとなっており、吸気口１０４ａは水槽部１０４ｃの上方に設けられている。

接触材２，３は、上記した参考例と同様の部材からなるものであり、具体的には、上流側の接触材２と下流側の接触材３とがガス流通方向に間隔をあけて上下に配置されている。

第１のエリミネータ６は、上記した参考例におけるエリミネータ６と同様の水滴除去部材であり、接触材３の下流側に位置に配設され、接触材３に対向配置されている。
本実施の形態では、上流側の接触材２へ処理水Ｗを供給する後述する噴射ノズル１１２が上流側の接触材２と下流側の接触材３との間にあるため、噴射ノズル１１２から噴射された霧状の処理水ＷがガスＧの気流に乗って下流側の接触材３に捕集される可能性がある。そこで、本実施の形態では、噴射ノズル１１２と下流側の接触材３との間に第２のエリミネータ１０６が配設されている。つまり、第２のエリミネータ１０６は、第１のエリミネータ６の反対側に配設されて接触材３に対向配置されている。なお、この第２のエリミネータ１０６は、噴射ノズル１１２から噴霧された処理水Ｗの飛沫が下流側の接触材３の方へ行かないように遮断するが、上方から滴下された処理水Ｗを下方側に通過させることができるものである。したがって、上方に配置された下流側の接触材３から滴下された処理水Ｗは、第２のエリミネータ１０６を通過し、下方に配置された上流側の接触材２へ滴下される。

循環手段１０８は、各接触材２，３からそれぞれ流出した処理水Ｗを上流側の接触材２に供給して処理水Ｗを循環させる手段であり、例えば、各接触材２，３からそれぞれ流出して水槽部１０４ｃに落ちて溜まった処理水Ｗを圧送ポンプ１１１によって噴霧ノズル１１２に送り、噴霧ノズル１１２から上流側の接触材２に向けて処理水Ｗを噴霧するシステムになっている。具体的には、循環手段１０８には、上記した圧送ポンプ１１１と噴霧ノズル１１２とのほかに、水槽部１０４ｃと圧送ポンプ１１１とを接続する第１の接続管１１５と、圧送ポンプ１１１と噴霧ノズル１１２とを接続する第２の接続管１１６と、水槽部１０４ｃ内の処理水Ｗを外部に排水する排水管１１７とが備えられている。

次に、上記した構成からなる湿式空気清浄装置１０１の使用方法について説明する。

まず、給水手段９により、外部から純水等からなる新たな処理水Ｗを下流側の接触材３に供給し、下流側の接触材３に処理水Ｗを浸透させる。具体的には、上記した参考例と同様にして、噴霧ノズル１９から新しい処理水Ｗを噴霧して下流側の接触材３に処理水Ｗを浸透させる。

また、下流側の接触材３から上流側の接触材２に処理水Ｗが直接滴下されることで、下流側の接触材３から流出した処理水Ｗを上流側の接触材２に供給するとともに、循環手段１０８により上流側の接触材２から流出した処理水Ｗを循環利用して上流側の接触材２に供給することで、上流側の接触材２に処理水Ｗを浸透させる。具体的には、下流側の接触材３に浸透した処理水Ｗは、当該接触材３の下部から流出して上流側の接触材２の上に落ち、循環手段１０８により循環する処理水Ｗに加えられる。一方、水槽部１０４ｃ内に貯留された処理水Ｗが第１の接続管１１５を通って圧送ポンプ１１１に送られる。そして、圧送ポンプ１１１により、処理水Ｗが第２の接続管１１６を通って噴霧ノズル１１２に圧送されて当該噴霧ノズル１１２から上流側の接触材２に向けて噴霧される。このように、下流側の接触材３から処理水Ｗが直接滴下されるとともに、噴霧ノズル１１２から処理水Ｗが噴霧されることで、上流側の接触材２に処理水Ｗが浸透し、当該接触材２は処理水Ｗで濡れた状態となる。上流側の接触材２に浸透した処理水Ｗは、当該接触材２の下部から流れ落ちて容器１０４の水槽部１０４ｃ内に溜まる。また、水槽部１０４ｃ内の処理水Ｗの一部は、排水管１１７から適宜排水される。

次に、処理対象のガスＧを流通させて、接触材２，３に当該ガスＧを通過させることで、ガスＧ中の汚染成分を除去して汚染されたガスＧを清浄する。具体的には、ファン７を稼動させることで、汚染されたガスＧが吸気口１０４ａから容器１０４内に送り込まれる。吸気口１０４ａから容器１０４内に流入したガスＧは、整流板５を通過して上流側の接触材２に流れ込む。そして、このガスＧが上流側の接触材２を通過する際、通過するガスＧが当該接触材２に浸透した処理水Ｗに気液接触し、ガスＧ中の汚染成分の大部分が処理水Ｗに溶解される。続いて、上流側の接触材２を通過したガスＧは、第２のエリミネータ１０６を通過して下流側の接触材３に流れ込む。そして、このガスＧが下流側の接触材３を通過する際、通過するガスＧが当該接触材３に浸透した新しい処理水Ｗに気液接触し、ガスＧ中に残留した汚染成分が処理水Ｗに溶解される。その後、下流側の接触材３を通過してクリーンになったガスＧ’は、第１のエリミネータ６を通過してミスト除去された後、排気口１０４ｂから湿式空気清浄装置１外に排気される。

上記した構成からなる湿式空気清浄装置１０１によれば、上記した参考例と同様の作用効果を奏することができる。つまり、処理水Ｗの使用量を増加させずに高除去率を実現することができ、湿式空気清浄装置１０１のランニングコストを上げずに空気清浄能力を向上させることができる。また、上流側の接触材２の洗浄作業を行う際に、湿式空気清浄装置１０１の運転を一時停止させる必要がなく、湿式空気清浄装置１０１の一時停止の回数を減らすことができ、湿式空気清浄装置１０１を長期間、連続運転させることができる。

以上、本発明に係る湿式空気清浄装置の実施の形態について説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、本発明は、複数の接触材が上下に配置されていれば、処理対象のガスを、くの字状、コの字状、Ｕ字状等に屈曲させて流通させる湿式空気清浄装置であってもよい。

上記した参考例及び実施の形態では、最下流側の接触材３から流出した処理水Ｗを上流側で循環手段８，１０８によって循環している処理水Ｗに加えており、循環している処理水Ｗの一部を排出しているが、本発明は、循環手段によって循環している処理水に外部から新たな処理水を加えるとともに、循環している処理水の一部を排出する構成であってもよい。さらに、上記した参考例及び実施の形態では、上述したように循環手段８，１０８によって循環している処理水Ｗの一部が入れ替えられる構成になっているが、本発明は、循環手段によって循環している処理水に他から処理水を加えたり循環する処理水の一部を排出したりせず、同じの処理水を入れ替えることなく循環させる構成であってもよい。

また、上記した参考例では、循環手段８による上流側の接触材２への処理水Ｗの供給量を給水手段９による下流側の接触材３への処理水Ｗの供給量よりも多くするべく、循環手段８に備えられた上流側の噴霧ノズル１２の数を給水手段９に備えられた下流側の噴霧ノズル１９の数よりも多くしているが、本発明は、上流側の噴霧ノズル１２の数量が下流側の噴霧ノズル１９の数量よりも多くなくても良い。例えば、上流側の噴射ノズル１２のサイズを下流側の噴射ノズル１９よりも大きくすることで、数量を増やすことなく、上流側の接触材２へ供給する処理水Ｗの量を下流側の接触材３へ供給する処理水Ｗの量よりも増やすことができる。

また、上記した参考例及び実施の形態では、ガスＧを吸引して送り出すファン７が容器４，１０４の吸気口４ａ，１０４ａに取り付けられ、容器４，１０４の中にガスＧを押し込むような構成になっているが、本発明は、必ずしもファン７が装置の吸気側（ガスＧの流れの上流側）に設けられている必要はない。例えば、ファン７が装置の排気側（ガスＧの流れの下流側）に設けられていてもよく、具体的には、湿式処理後のガスＧ’を排気するための容器４，１０４の排気口４ｂ，１０４ｂにファン７を取り付けて、容器４，１０４内のガスＧ’を吸引するようにしてもよい。

また、上記した参考例では、容器４の中に上流側の接触材２と下流側の接触材３とが横並びに配設されており、また、実施の形態では、容器１０４の中に上流側の接触材２と下流側の接触材３とが上下に配設されているが、本発明は、接触材が複数配設されていればよく、３つ以上の接触材がガス流通方向に配設されていてもよい。また、３つ以上の接触材が配設された場合、上流側に配置された複数の接触材に対して循環式（循環手段８，１０８）で処理水を供給してもよく、また、下流側に配置された複数の接触材に対して掛け流し式（給水手段９）で処理水を供給してもよい。例えば、３つの接触材が並べられた構成の場合、上流側の２つの接触材に対して循環式で処理水を供給して下流側の１つの接触材に対して掛け流し式で新たな処理水を供給する構成にしてもよく、或いは、上流側の１つの接触材に対して循環式で処理水を供給して下流側の２つの接触材に対して掛け流し式で新たな処理水を供給する構成でもよい。

また、上記した参考例及び実施の形態では、処理水Ｗが噴霧ノズル１２，１９，１１２から噴霧され、霧状の処理水Ｗが接触材２，３に吹き付けられる構成になっているが、本発明は、接触材に吹き付けられる処理水が霧状以外であってもよく、例えば、ノズルから処理水が滴下され、大きな液滴で接触材に処理水が供給される構成であってもよい。

また、上記した参考例では、水槽１０、圧送ポンプ１１、噴霧ノズル１２、連通管１３，１４、第１，第２の接続管１５，１６及び排水管１７からなる循環手段８によって処理水Ｗを循環させ、循環する処理水Ｗを上流側の接触材２に供給しており、また、実施の形態では、圧送ポンプ１１１、噴霧ノズル１１２、第１，第２の接続管１１５，１１６及び排水管１１７からなる循環手段１０８によって処理水Ｗを循環させ、循環する処理水Ｗを上流側の接触材２に供給しているが、本発明は、上記した構成からなる循環手段８，１０８以外の循環手段によって処理水を循環させて、循環する処理水を上流側の接触材に供給してもよく、循環手段の構成は適宜変更可能である。

また、上記した参考例及び実施の形態では、複数の接触材２，３が容器４，１０４の中に配設されているが、本発明は、接触材が容器の中に配設されていなくてもよく、例えば、ガスが流通するダクト内に接触材が配設されていてもよい。つまり、本発明に係る湿式空気清浄装置は、ガスの流通過程でガスが接触材を通過する構成になっていればよい。

また、上記した参考例及び実施の形態では、圧送ポンプ１８，１９及び第１，第２の接続管２０，２１からなる給水手段９によって外部から新たな処理水Ｗを流入させて下流側の接触材３に供給しているが、本発明は、上記した構成からなる給水手段９以外の給水手段によって下流側の接触材に新しい処理水を供給してもよく、給水手段の構成は適宜変更可能である。

また、上記した参考例及び実施の形態では、湿式空気清浄装置１，１０１には、整流板５、エリミネータ６（第１のエリミネータ６）およびファン７が備えられているが、本発明は、整流板が備えられていない湿式空気清浄装置であってもよく、或いは、最下流側の接触材の下流側にエリミネータが配設されていない湿式空気清浄装置であってもよく、或いは、ファンが備えられていない湿式空気清浄装置であってもよい。

その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した変形例を適宜組み合わせてもよい。

本発明の参考例を説明するための湿式空気清浄装置を表す模式図である。 本発明の実施の形態を説明するための湿式空気清浄装置を表す模式図である。

符号の説明

１，１０１ 湿式空気清浄装置
２，３ 接触材
８，１０８ 循環手段
９ 給水手段
Ｇ，Ｇ’ ガス
Ｗ 処理水

Claims (1)

1. 汚染成分を含む処理対象のガスを上向きに上昇させる流通過程で、処理水が浸透した接触材にガスを通過させることで、ガス中の汚染成分を処理水に溶解させてガスを清浄する湿式空気清浄装置において、
   前記接触材が、ガスの流通方向に所定の間隔を置いて上下に複数配設され、
   ガス流通方向の最下流側の接触材に対して、外部から新たに流入させた処理水を供給する給水手段と、前記最下流側の接触材よりも上流側にある他の接触材のうちの少なくとも１つから流出した処理水を前記他の接触材のうちの少なくとも１つに供給して処理水を循環させる循環手段と、前記最下流側の接触材の下方に配設されて該最下流側の接触材から滴下された処理水を下方側に通過させるエリミネータと、が備えられており、
   前記最下流側の接触材から流出した処理水が前記循環手段により循環する処理水に加えられることを特徴とする湿式空気清浄装置。

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