JP4831998B2 - Magnifying observation stand device and microscope equipped with the same - Google Patents
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Description
本発明は、支持装置およびそれを備えた顕微鏡に関する。 The present invention relates to a support device and a microscope including the support device.
従来より、カメラが取り付けられた拡大観察用のスタンド装置が開発されている(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, a stand device for magnifying observation to which a camera is attached has been developed (for example, see Patent Document 1).
ここで、上記従来のスタンド装置の概略について図面を参照しながら説明する。 Here, an outline of the conventional stand device will be described with reference to the drawings.
図11は、従来の拡大観察用のスタンド装置を示す側面図であり、図12は、従来の拡大観察用のスタンド装置を示す正面図である。 FIG. 11 is a side view showing a conventional stand device for magnified observation, and FIG. 12 is a front view showing a conventional stand device for magnified observation.
図11に示すように、従来の拡大観察用のスタンド装置(以下、単にスタンド装置と呼ぶ)は、固定支柱120および固定支柱130を有する。固定支柱120および固定支柱130はそれぞれベース140に立設されている。
As shown in FIG. 11, a conventional stand device for magnification observation (hereinafter simply referred to as a stand device) includes a
固定支柱130の上端部には回動機構130Aを介して回動支柱110が取り付けられている。
A
回動支柱110にはカメラ取り付け部111が取り付けられている。このカメラ取り付け部111には拡大観察用のカメラCが取り付けられている。
A
また、固定支柱120には、ステージ取り付け部121を介して測定対象物Wを載置するためのステージ126が取り付けられている。ステージ126は、平面を構成するX軸方向およびY軸方向に移動可能なX−Yステージからなり、ステージ取り付け部121上に止めネジ125により固定されている。なお、カメラCで撮像された測定対象物Wの拡大像は、例えば液晶ディスプレイのような表示器に表示される。
In addition, a
上記の回動機構130Aは、水平軸Hの周りに回動支柱110を回動可能に支持するものである。
The
回動機構130Aは、円筒軸受131、回動軸132および止めネジつまみ133からなる。この円筒軸受131に回動軸132が嵌合していることにより、回動軸132は水平軸Hの周りに回動する。
The
また、止めネジつまみ133は、円筒軸受131を貫通するように設けられており、この止めネジつまみ133を回動軸132に当接させることによって、回動軸132の不必要な回転が防止されている。
Further, the
すなわち、図12において一点鎖線で示すように、回動支柱110は、鉛直線Vに対する傾斜角Aを自在に調整できるように設けられている。
That is, as shown by a one-dot chain line in FIG. 12, the
回動支柱110には粗動機構150A(図11)および微調整機構160Aがそれぞれ設けられており、固定支柱120には粗動機構150Bおよび微調整機構160Bがそれぞれ設けられている。このような構成により、カメラ取り付け部111およびステージ126は、それぞれ回動支柱110および固定支柱120に対して鉛直線Vの方向(上下方向)に粗動および微調整される。
The
ここで、上記の粗動機構150A,150Bおよび微調整機構160A,160Bの詳細について説明する。
Here, the details of the
図11に示すように、粗動機構150A,150Bは、それぞれ回動支柱110および固定支柱120に摺動可能に設けられたスライダ112,122と、これらスライダ112,122を回動支柱110および固定支柱120にそれぞれ固定するための止めネジからなるポール固定用の粗動つまみ113,123とにより構成されている。
As shown in FIG. 11,
一方、微調整機構160A,160Bは、カメラ取り付け部111およびステージ取り付け部121にそれぞれ設けたラック(図示せず)と、スライダ112,122にそれぞれ設けたピニオン(図示せず)と、これらのラックとピニオンとを噛み合わせることにより上記ピニオンを回転させる微調整つまみ114,124とから構成されている。このような構成により、スライダ112,122に対してカメラ取り付け部111およびステージ取り付け部121がそれぞれ鉛直線Vの方向に摺動される。
On the other hand, the
このような構成を有するスタンド装置を用いることにより、高さの異なる測定対象物Wを観察する場合においても、ステージ取り付け部121を鉛直線Vの方向に摺動させることによって、カメラCの焦点が合う位置と測定対象物Wの観察ポイントとを一致させることができる。
しかしながら、上記従来のスタンド装置において、カメラCの視野中心I1と回動支柱110の回動中心I2とがずれるようにカメラCがカメラ取り付け部111に取り付けられている場合、次のような問題が生じる。
However, in the conventional stand device, when the camera C is mounted on the
すなわち、上記回動中心を基準にして回動支柱110を傾斜させたときに、回動支柱110を傾斜させないで観察する測定対象物Wの観察ポイントおよび焦点がずれてしまう。そのため、従来のスタンド装置では、回動支柱110の傾斜角Aが変更される度に、ステージ取り付け部121を上下に移動させることにより観察ポイントおよび焦点を修正しなければならず、非常に手間がかかる。特に、高倍率(例えば、100倍〜500倍)のカメラCを用いた場合には、上記観察ポイントのずれ量は著しくなる。
That is, when the
本発明の目的は、撮像手段の光軸(視野中心)と撮像手段を支持する支持部材の回動軸(回動中心)とを容易に直交させることが可能な支持装置およびそれを備えた顕微鏡を提供することである。 An object of the present invention is to provide a support device capable of easily making the optical axis (center of field of view) of an image pickup means and the rotation axis (rotation center) of a support member supporting the image pickup means orthogonal to each other and a microscope equipped with the support device Is to provide.
第1の発明に係る拡大観察用のスタンド装置は、測定対象物を拡大観察するために、測定対象物を撮像する撮像手段が取り付けられる拡大観察用のスタンド装置であって、測定対象物が載置される載置面を有するステージと、ステージに光軸が向くように撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、取り付け手段を支持する支持部材と、支持部材に設けられ、支持部材と一体になって水平軸まわりに回動する回動軸と、回動軸を回動可能に保持する保持手段と、保持手段を支持する支持台と、支持台が取り付けられるベースと、ステージの下方かつベース上に設けられ、ステージに載置された測定対象物の表面の高さが支持部材の回動中心の高さに一致するようにステージの高さを調整可能な高さ調整機構と、を備え、取り付け手段は、撮像手段の光軸が回動軸と直交するように、撮像手段の光軸をステージの載置面と直交させながら支持部材に対する撮像手段の相対的な水平位置を調整する調整手段を備えたものである。 A stand device for magnification observation according to a first aspect of the present invention is a stand device for magnification observation to which an imaging means for imaging a measurement object is attached in order to enlarge and observe the measurement object. A stage having a mounting surface to be placed; an attachment means to which the imaging means is attached so that the optical axis faces the stage; a support member that supports the attachment means; and a support member that is provided on the support member and is integrated with the support member A rotating shaft that rotates about a horizontal axis, a holding means that rotatably holds the rotating shaft, a support base that supports the holding means, a base to which the support base is attached, a stage below and on the base And a height adjustment mechanism that can adjust the height of the stage so that the height of the surface of the measurement object placed on the stage matches the height of the rotation center of the support member. Means imaging As the optical axis of the stage is perpendicular to the pivot axis, which has an adjustment means for adjusting the relative horizontal position of the imaging means relative to the support member while the optical axis of the imaging means is perpendicular to the mounting surface of the stage is there.
本発明に係る支持装置においては、ステージの載置面に測定対象物が載置される。撮像手段はステージに光軸が向くように取り付け手段に取り付けられ、この取り付け手段は支持部材に支持される。支持部材は、回動軸を中心として所定の面内で傾斜できるよう保持手段により保持される。また、撮像手段の相対的な水平位置は、取り付け手段の調整手段により、撮像手段の光軸が回動軸と直交するように、撮像手段の光軸をステージの載置面と直交させながら支持部材に対して相対的に調整される。 In the support device according to the present invention, the measurement object is placed on the placement surface of the stage. The imaging means is attached to the attachment means so that the optical axis faces the stage, and this attachment means is supported by the support member. The support member is held by the holding means so as to be inclined within a predetermined plane around the rotation axis. The relative horizontal position of the imaging means is supported by the adjusting means of the attachment means while the optical axis of the imaging means is orthogonal to the stage mounting surface so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. It is adjusted relative to the member.
このような構成において、調整手段を用いることにより、回動軸と撮像手段の光軸とを容易に直交させることができる。それにより、回動部材を傾斜させることにより測定対象物を斜め方向から観察する場合にも、測定対象物上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。特に、高倍率の撮像手段を用いた場合には、上記のような効果が顕著に現れる。 In such a configuration, by using the adjustment means, it can be easily perpendicular to the optical axis of rotating shaft and the imaging means. Thereby, even when the measurement object is observed from an oblique direction by tilting the rotating member, the observation point on the measurement object and the desired observation point can be observed in a focused state without shifting the focus. it can. In particular, when a high-magnification image pickup unit is used, the above-described effects are prominent.
ステージは、載置面に垂直な回転軸の周りで回転可能に設けられ、ステージの回転軸と、回動軸とが直交するようにステージおよび保持手段が配置されてもよい。 The stage may be provided so as to be rotatable around a rotation axis perpendicular to the mounting surface, and the stage and the holding means may be arranged so that the rotation axis of the stage and the rotation axis are orthogonal to each other.
このように、ステージの回転軸と回動軸とが直交するようにステージおよび保持手段が配置されることにより、作業者はステージの回転軸と撮像手段の光軸とを一致させることによって、撮像手段の光軸と回動軸とを間接的に直交させることができる。この場合、作業者は、ステージを回転させつつ撮像手段により得られる画像を観察することにより、ステージの回転軸と撮像手段の光軸とを容易に一致させることができる。 Thus, by arranging the stage and the holding means so that the rotation axis and the rotation axis of the stage are orthogonal to each other, the operator can take an image by matching the rotation axis of the stage and the optical axis of the imaging means. The optical axis of the means and the rotation axis can be made to be orthogonal to each other. In this case, the operator can easily match the rotation axis of the stage and the optical axis of the imaging means by observing the image obtained by the imaging means while rotating the stage.
調整手段は、支持部材に対する撮像手段の相対的な水平位置を調整するために、撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に撮像手段を移動させる第1および第2の調整手段を含み、取り付け手段は、孔部を有する取り付け部材と、孔部内において第1および第2の軸を含む面内で移動可能に設けられ、撮像手段が挿通される環状具とを含み、第1および第2の調整手段は、環状具の外周面に当接するとともに第1および第2の軸の方向に移動可能な第1および第2の調整部材をそれぞれ含んでもよい。 The adjusting means moves the imaging means in first and second axis directions orthogonal to the optical axis of the imaging means in order to adjust the relative horizontal position of the imaging means with respect to the support member. The adjusting means includes an attaching member having a hole, and an annular tool provided in the hole so as to be movable in a plane including the first and second shafts and through which the imaging means is inserted; The first and second adjusting means may include first and second adjusting members that are in contact with the outer peripheral surface of the annular tool and are movable in the directions of the first and second axes, respectively.
この場合、撮像手段は、第1および第2の調整手段により、撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に移動される。撮像手段が挿通された環状具の外周面を第1および第2の調整部材により押圧することによって、撮像手段を第1および第2の軸の方向に間接的に移動させることができる。撮像手段は第1および第2の調整部材に直接当接していないので、作業者は環状具内から撮像手段を抜き取り、環状具内に撮像手段を挿入することにより、撮像手段の取り替えを容易かつ迅速に行うことができる。 In this case, the imaging unit is moved in the directions of the first and second axes orthogonal to the optical axis of the imaging unit by the first and second adjustment units. By pressing the outer peripheral surface of the annular tool through which the imaging means is inserted with the first and second adjustment members, the imaging means can be moved indirectly in the directions of the first and second axes. Since the imaging means is not in direct contact with the first and second adjustment members, the operator can easily replace the imaging means by removing the imaging means from the annular tool and inserting the imaging means into the annular tool. Can be done quickly.
取り付け手段は、環状具の外周面を環状具の略中心を向かうように付勢する付勢手段をさらに含んでもよい。 The attaching means may further include an urging means for urging the outer peripheral surface of the annular tool so as to face the substantially center of the annular tool.
この場合、付勢手段により、環状具は第1および第2の調整部材の先端に押圧される。それにより、作業者による第1および第2の調整部材の操作によって環状具が過度に移動されることが防止される。その結果、第1および第2の調整部材の先端が環状具に常に当接した状態で、環状具の位置を正確に調整することが可能となる。 In this case, the annular tool is pressed against the tips of the first and second adjustment members by the biasing means. Thereby, it is prevented that an annular tool is moved too much by operation of the 1st and 2nd adjustment member by an operator. As a result, it is possible to accurately adjust the position of the annular tool while the tips of the first and second adjustment members are always in contact with the annular tool.
取り付け手段は、付勢手段により付勢されている環状具の部分に当接することにより第1および第2の調整部材とともに環状具を固定する固定具をさらに含んでもよい。 The attachment means may further include a fixture that fixes the annular tool together with the first and second adjustment members by contacting the portion of the annular tool that is biased by the biasing means.
この場合、第1および第2の調整部材とともに固定具により、環状具の上記孔部内における位置が確実に固定される。 In this case, the position of the annular tool in the hole is reliably fixed by the fixing tool together with the first and second adjusting members.
支持装置は、保持手段に設けられ、撮像手段に接続されたケーブルを拘束するケーブル拘束手段をさらに備えてもよい。 The support device may further include a cable restraining unit that is provided in the holding unit and restrains a cable connected to the imaging unit.
この場合、ケーブルがケーブル拘束手段に拘束されていることにより、支持部材の傾斜に伴ってケーブルが接続されている撮像手段が傾斜した場合でも、撮像手段とケーブルとの接続部分におけるがたつきを防止することができるとともに、撮像手段の傾斜によるケーブルの強制的な引張りを防止することができる。それにより、撮像手段が傾斜されて測定対象物が観察される場合でも、撮像手段の位置を安定させることが可能となる。 In this case, since the cable is restrained by the cable restraining means, even if the imaging means to which the cable is connected is tilted with the inclination of the support member, rattling at the connection portion between the imaging means and the cable is prevented. It is possible to prevent the cable from being forcibly pulled due to the inclination of the image pickup means. Thereby, even when the imaging unit is tilted and the measurement object is observed, the position of the imaging unit can be stabilized.
取り付け手段は孔部を有し、支持部材は、取り付け手段の孔部に移動可能に挿通される棒状部材を含み、取り付け手段の孔部に棒状部材が挿通された状態で取り付け手段を棒状部材に固定する粗動手段をさらに備え、粗動手段は、くさび形状の先端部を有し、棒状部材は、軸方向に延びる長溝を有し、粗動手段の先端部が棒状部材の長溝に嵌合されてもよい。 The attachment means has a hole, the support member includes a rod-like member that is movably inserted into the hole of the attachment means, and the attachment means is made into a rod-like member in a state where the rod-like member is inserted into the hole of the attachment means. Coarse movement means is further provided, the coarse movement means has a wedge-shaped tip, the rod-like member has a long groove extending in the axial direction, and the tip of the coarse movement means is fitted into the long groove of the rod-like member. May be.
この場合、棒状部材に取り付け手段を固定する場合、作業者は粗動手段を操作する。それにより、粗動手段であるポール固定つまみのくさび形状を有する先端部が、棒状部材に形成された長溝に強固に嵌合される。これにより、取り付け手段が粗動手段に対して精度良く位置決めされた状態で固定される。 In this case, when fixing the attachment means to the rod-shaped member, the operator operates the coarse movement means. Thus, the wedge-shaped tip portion of the pole fixing knob that is the coarse movement means is firmly fitted in the long groove formed in the rod-shaped member. Thereby, the attachment means is fixed in a state of being accurately positioned with respect to the coarse movement means.
また、上記長溝は、棒状部材の長さ方向に沿った所定の長さを有するので、作業者は、所定の範囲内で取り付け手段を上下に摺動させ、所望の高さの位置で粗動手段の先端部を長溝に嵌合させることによって、取り付け手段を棒状部材の所望の位置に固定することができる。 Further, since the long groove has a predetermined length along the length direction of the rod-shaped member, the operator slides the mounting means up and down within a predetermined range, and coarsely moves at a desired height position. The fitting means can be fixed at a desired position of the rod-shaped member by fitting the tip of the means into the long groove.
棒状部材は、軸方向の複数の位置を示す複数の目盛部を備えてもよい。 The rod-shaped member may include a plurality of scale portions indicating a plurality of positions in the axial direction.
この場合、上記複数の位置には、例えば使用している撮像手段の型番または品名を示すことができる。このような構成により、作業者は、使用している撮像手段の型番または品名の位置に、取り付け手段の棒状部材に対する固定位置を容易に合わせることが可能となる。それにより、撮像手段の種類に応じて撮像手段の先端とステージとの間の距離が適切に設定される。 In this case, the plurality of positions can indicate, for example, the model number or product name of the imaging means being used. With such a configuration, the operator can easily adjust the fixing position of the attaching means with respect to the rod-shaped member to the position of the model number or product name of the imaging means being used. Thereby, the distance between the tip of the imaging means and the stage is appropriately set according to the type of the imaging means.
第2の発明に係る顕微鏡は、測定対象物を撮像する撮像手段と、測定対象物を拡大観察するために、撮像手段が取り付けられる拡大観察用のスタンド装置とを備え、拡大観察用のスタンド装置は、測定対象物が載置される載置面を有するステージと、ステージに光軸が向くように撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、取り付け手段を支持する支持部材と、支持部材に設けられ、支持部材と一体になって水平軸まわりに回動する回動軸と、回動軸を回動可能に保持する保持手段と、保持手段を支持する支持台と、支持台が取り付けられるベースと、ステージの下方かつベース上に設けられ、ステージに載置された測定対象物の表面の高さが支持部材の回動中心の高さに一致するようにステージの高さを調整可能な高さ調整機構と、を備え、取り付け手段は、撮像手段の光軸が回動軸と直交するように、撮像手段の光軸をステージの載置面と直交させながら支持部材に対する撮像手段の相対的な水平位置を調整する調整手段を備えるものである。 A microscope according to a second aspect of the present invention includes an imaging means for imaging a measurement object, and a magnification observation stand device to which the imaging means is attached in order to enlarge and observe the measurement object, and a magnification observation stand apparatus. Is provided on the support member, a stage having a placement surface on which the measurement object is placed, an attachment means to which the imaging means is attached so that the optical axis faces the stage, a support member that supports the attachment means , A rotating shaft that rotates integrally with the support member and rotates about a horizontal axis; a holding means that rotatably holds the rotating shaft; a support base that supports the holding means; a base to which the support base is attached; A height adjustment that is provided below the stage and on the base, and the height of the stage can be adjusted so that the height of the surface of the measurement object placed on the stage matches the height of the rotation center of the support member. And a mechanism The attaching means adjusts the relative horizontal position of the imaging means with respect to the support member while making the optical axis of the imaging means orthogonal to the mounting surface of the stage so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. Is provided .
本発明に係る顕微鏡においては、ステージの載置面に測定対象物が載置される。撮像手段はステージに光軸が向くように取り付け手段に取り付けられ、この取り付け手段は支持部材に支持される。支持部材は、回動軸を中心として所定の面内で傾斜できるよう保持手段により保持される。また、撮像手段の相対的な水平位置は、取り付け手段の調整手段により、撮像手段の光軸が回動軸と直交するように、撮像手段の光軸をステージの載置面と直交させながら支持部材に対して相対的に調整される。 In the microscope according to the present invention, the measurement object is placed on the placement surface of the stage. The imaging means is attached to the attachment means so that the optical axis faces the stage, and this attachment means is supported by the support member. The support member is held by the holding means so as to be inclined within a predetermined plane around the rotation axis. The relative horizontal position of the imaging means is supported by the adjusting means of the attachment means while the optical axis of the imaging means is orthogonal to the stage mounting surface so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. It is adjusted relative to the member.
このような構成において、調整手段を用いることにより、回動軸と撮像手段の光軸とを容易に直交させることができる。それにより、回動部材を傾斜させることにより測定対象物を斜め方向から観察する場合にも、測定対象物上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。特に、高倍率の撮像手段を用いた場合には、上記のような効果が顕著に現れる。 In such a configuration, by using the adjustment means, it can be easily perpendicular to the optical axis of rotating shaft and the imaging means. Thereby, even when the measurement object is observed from an oblique direction by tilting the rotating member, the observation point on the measurement object and the desired observation point can be observed in a focused state without shifting the focus. it can. In particular, when a high-magnification image pickup unit is used, the above-described effects are prominent.
本発明によれば、調整手段を用いることにより、回動軸と撮像手段の光軸とを容易に直交させることができる。それにより、回動部材を傾斜させることにより測定対象物を斜め方向から観察する場合にも、測定対象物上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。 According to the present invention, by using the adjustment means, it can be easily perpendicular to the optical axis of the rotary shaft and the imaging means. Thereby, even when the measurement object is observed from an oblique direction by tilting the rotating member, the observation point on the measurement object and the desired observation point can be observed in a focused state without shifting the focus. it can.
以下、本実施の形態に係る顕微鏡について図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, the microscope according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.
図1は、本実施の形態に係る顕微鏡の一例を示す斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view showing an example of a microscope according to the present embodiment.
以下において、水平面内で直交する2方向をX軸およびY軸とし、X軸およびY軸に垂直な方向をZ軸とする。 Hereinafter, two directions orthogonal to each other in the horizontal plane are defined as an X axis and a Y axis, and a direction perpendicular to the X axis and the Y axis is defined as a Z axis.
図1に示すように、本実施の形態に係る顕微鏡100はベース1を有する。ベース1は、X軸およびY軸からなる平面上に位置する。
As shown in FIG. 1, a
ベース1上の一端には、剛性を有する第1の支持台2およびこの第1の支持台2の前面に嵌め込まれるように設けられた第2の支持台3が取り付けられている。第1の支持台2が剛性を有するように形成されていることにより、除振性が向上されている。なお、第1の支持台2および第2の支持台3は一体的なものであってもよい。
A rigid
第1の支持台2は、後述のカメラ10を支持するものであり、第2の支持台3は測定対象物Wを載置する後述のステージSを支持するものである。以下、これらについて詳細に説明する。
The
第1の支持台2は、その上部に軸受部3aを備える。軸受部3aの詳細な構造については後述する。
The
軸受部3aの上部は、側面から見た場合に凹形状に形成されている。第1のガイド部3bおよび第2のガイド部3cが、上記凹形状の両側の突起部としてそれぞれ形成されている。
The upper part of the bearing
これら第1のガイド部3bおよび第2のガイド部3cは、共にY軸方向に平行な軸を中心軸として形成された円形の孔部(後述の図に記載)を有する。これらの孔部に回動軸(後述の図に記載)がY軸方向に沿って嵌合されている。
Each of the
ここで、軸受部3aにおける第1のガイド部3bと第2のガイド部3cとの間には、上記回動軸が嵌合されるための孔部(後述の図に記載)を有する連結部4が設けられている。この連結部4の孔部が上記回動軸に嵌合されていることにより、連結部4はY軸の周りに回動(傾斜)可能になっている。
Here, a connecting portion having a hole (described in the drawings described later) for fitting the rotating shaft between the
また、本実施の形態では、軸受部3aの第2のガイド部3bの側方には、カメラ10に接続されるケーブルCを拘束するためのケーブル拘束具3dが設けられている。ケーブル拘束具3dは、略凹状の水平断面を有し、この凹状内の空間に上記ケーブルCが挿通されている。
In the present embodiment, a
連結部4には回動支柱5が取り付けられている。これにより、回動支柱5は連結部4とともにY軸の周りに回動可能になっている。すなわち、連結部4および回動支柱5は同じ回動軸(回動中心)R1を有する。
A
回動支柱5にはZ軸方向に摺動自在なスライダ6aが取り付けられている。このスライダ6aは、ポール固定用の粗動つまみ7により回動支柱5に固定される。粗動つまみ7による固定方法の詳細については後述する。
A
ここで、本実施の形態においては、スライダ6aのZ軸方向(高さ方向)における設定位置を示すための複数の目盛線5aが回動支柱5に設けられている。複数の目盛線5aの側方には、例えばカメラ10の型番または品名が示されている。それにより、作業者は、粗動つまみ7の操作によって、使用しているカメラ10の型番または品名の位置に、スライダ6aの回動支柱5に対する固定位置を容易に合わせることが可能となっている。それにより、カメラ10の種類に応じてカメラ10の先端とステージSとの間の距離が適切に設定される。
Here, in the present embodiment, a plurality of
スライダ6aの前面にはZ軸方向に摺動自在な取り付け連結部6bが取り付けられている。この取り付け連結部6bを摺動させるための微調整つまみ8がスライダ6aに設けられている。なお、微調整つまみ8は、ラックおよびピニオン(共に図示せず)より構成される。
An
取り付け連結部6bにはカメラ取り付け部9が固定されている。カメラ取り付け部9にはカメラ10がZ軸方向に沿って取り付けられている。なお、本実施の形態におけるカメラ取り付け部9に対するカメラ10の取り付け方法の詳細およびカメラ取り付け部9の構造の詳細については後述する。
A
上記のような構成により、作業者は、最初にカメラ10のZ軸方向の大まかな設定位置を粗動つまみ7により調整することができ、その後、カメラ10のZ軸方向の精密な設定位置を微調整つまみ8により調整することができる。
With the configuration as described above, the operator can first adjust the rough setting position of the
次に、測定対象物を載置するステージSの位置設定およびステージSの取り付け構造について説明する。 Next, the position setting of the stage S on which the measurement object is placed and the mounting structure of the stage S will be described.
上述したように、図1において、ベース1上に第2の支持台3が設けられている。第2の支持台3には、Z軸方向に摺動自在なスライダ20が取り付けられている。
As described above, in FIG. 1, the
スライダ20のZ軸方向(高さ方向)の位置については、第2の支持台3に設けられた調整つまみ21により調整することができる。
The position of the
また、測定対象物Wが載置されるステージSは、中間連結部22を介してスライダ20に固定され回転可能に設けられているとともに、X軸方向およびY軸方向に移動可能なX−Yステージからなる。なお、回転可能なステージSは、一般的にθステージと呼ばれている。
Further, the stage S on which the measurement object W is placed is fixed to the
ここで、本実施の形態においては、第2の支持台3に対して摺動可能に設けられたスライダ20の摺動を所定の上限位置で阻止するように、第2の支持台3における所定の位置に摺動阻止部23が設けられている。
Here, in the present embodiment, the predetermined amount of the
この場合、作業者が調整つまみ21を操作することにより、スライダ20が上昇し、スライダ20の一部が摺動阻止部23に当接する。それにより、ステージSがZ軸方向の所定の位置に設定される。
In this case, when the operator operates the
すなわち、X軸方向から見た場合に、ステージSの上面の高さが、回動支柱5の回動軸R1の高さに一致する。ステージSの上面とは、中間連結部22が取り付けられた面と逆側の面のことである。
That is, when viewed from the X-axis direction, the height of the upper surface of the stage S matches the height of the rotation axis R <b> 1 of the
なお、スライダ20の一部が摺動阻止部23に当接した場合に、ステージSの上面の高さが回動支柱5の回動軸R1の高さに一致するように、予め出荷時において摺動阻止部23が第2の支持台3における所定の位置に取り付けられている。
It should be noted that when a part of the
また、本実施の形態では、Y軸方向から見た場合に、ステージSの回転軸R3のX軸方向の位置が、回動支柱5の回動軸R1のX軸方向の位置に合うように出荷時に中間連結部22の位置が調整されている。
In the present embodiment, when viewed from the Y-axis direction, the position of the rotation axis R3 of the stage S in the X-axis direction matches the position of the rotation axis R1 of the
この場合、突起部3eが軸受部3aの第2のガイド部3cにおいて回動支柱5の回動軸R1と同じ高さに設けられている。出荷時において、レーザ光等によりステージSの上面の高さが突起部3eの位置に一致するように、摺動阻止部23の位置が設定される。
In this case, the
次に、粗動つまみ7によるスライダ6aの固定方法について図面を参照しながら詳細に説明する。
Next, a method for fixing the
図2は、粗動つまみ7によりスライダ6aが回動支柱5に固定されている部分を示す模式図である。図2(a)は、粗動つまみ7による固定部分の横断面図であり、図2(b)は、図1に示した顕微鏡100の一部が省略されて示された斜視図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a portion in which the
図2(a)に示すように、回動支柱5は、Z軸方向に沿って形成された長溝5bを有する。また、粗動つまみ7は、その先端部がくさび形状に形成されている。
As shown in FIG. 2A, the
本実施の形態では、回動支柱5にスライダ6aを固定する場合、作業者は、粗動つまみ7を所定の方向に回す。この場合、粗動つまみ7のくさび形状を有する先端部が、回動支柱5に形成された長溝5bに強固に嵌合される。それにより、図2(b)に示すように、回動支柱5にスライダ6aが固定される。
In the present embodiment, when the
また、長溝5bは、Z軸方向に沿った所定の長さを有するので、作業者は、Z軸方向の所定の範囲内でスライダ6aを上下に摺動させ、所望の高さの位置で粗動つまみ7の先端部を長溝5bに嵌合させることによって、スライダ6aを回動支柱5の所望の位置に固定することができる。
Further, since the
次に、カメラ取り付け部9に対するカメラ10の取り付け方法およびカメラ取り付け部9の構造について説明する。
Next, a method for attaching the
図3(a)は、カメラ取り付け部9にカメラ10が取り付けられた状態を示す斜視図であり、図3(b)は、カメラ取り付け部9の上面図である。なお、図3(b)には、カメラ取り付け部9のみが示されており、カメラ10は示されていない。
FIG. 3A is a perspective view showing a state where the
図3(b)に示すように、カメラ取り付け部9は、カメラ当接部91を有する。また、カメラ当接部91の内側には、カメラ10が挿通するための孔部91aが設けられている。
As shown in FIG. 3B, the
図3(a)に示すように、カメラ10はフランジ状の当接部10aを備える。なお、当接部10aの直径は、カメラ当接部91の内径よりも大きくなっている。
As shown in FIG. 3A, the
カメラ10がZ軸方向に沿ってカメラ取り付け部9の孔部91aに挿通されることにより、カメラ10の当接部10aがカメラ取り付け部9のカメラ当接部91に当接する。それにより、カメラ10の高さ(Z軸方向の位置)が拘束される。
When the
続いて、図1のカメラ10の光軸(視野中心)R2と、ステージSの回転軸R3とを一致させる方法、すなわち、カメラ10の視野中心とステージSの回転中心とを一致させる方法について説明する。
Next, a method of matching the optical axis (field center) R2 of the
図3(b)に示すように、カメラ取り付け部9は、カメラ取り付け部9の孔部91aに挿通されたカメラ10を固定するための固定ネジ92、孔部91aに挿通されたカメラ10をそれぞれX軸方向およびY軸方向に移動させるためのX軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93b、ならびにX軸方向およびY軸方向への移動量が微調整された後、カメラ10のX軸およびY軸方向への移動を防止するための固定具94を含む。
As shown in FIG. 3 (b), the
以下、上記の固定ネジ92、X軸調整ネジ93a、Y軸調整ネジ93bおよび固定具94を用いたカメラ10のX軸方向およびY軸方向の位置決めについて説明する。
Hereinafter, positioning of the
図4は、カメラ取り付け部9の断面図である。なお、図4に示すカメラ取り付け部9は、ベース1側から見た場合のものを示している。以下、ベース1側から見た場合のカメラ取り付け部9の側をカメラ取り付け部9の裏面側と呼ぶ。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the
図4に示すように、カメラ取り付け部9の裏面側には、カメラ取り付け部9の裏面側と逆の側(表側)に形成された上述の孔部91aの径よりも大きな径を有する略円形の孔部91bを有する。
As shown in FIG. 4, the rear surface side of the
孔部91b内には、リング状に形成された薄肉のアダプタ95が設けられている。このアダプタ95は、カメラ取り付け部9の側面に螺合された固定ネジ92に取り付けられている。
A
また、カメラ取り付け部9の側面には、X軸方向およびY軸方向に沿って、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bがそれぞれ螺合されている。すなわち、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bは、それぞれアダプタ95の中心に向かうように螺合されている。なお、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bの移動量は例えば2mmである。
Further, an
上記X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bは、アダプタ95の外周面をX軸方向およびY軸方向にそれぞれ押圧する。作業者は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bをそれぞれ回すことにより、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bの先端部がアダプタ95の外周面に当接する。それにより、アダプタ95は、X軸方向およびY軸方向に移動される。
The
カメラ10は、上記アダプタ95の内周面に当接するようにZ軸方向に沿ってアダプタ95に挿通される。
The
このような構成により、本実施の形態においては、カメラ10が挿通されたアダプタ95の外周面をX軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bにより押圧することによって、カメラ10をX軸方向およびY軸方向に間接的に移動させている。それにより、作業者は、カメラ10の取り替えを容易かつ迅速に行うことができる。
With such a configuration, in the present embodiment, the outer surface of the
また、図4において、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bがアダプタ95の外周面に当接する位置を、それぞれ三角形を構成する3つの頂点における2つの頂点とした場合に、残りの1つの頂点の位置に対応するアダプタ95の外周面の位置に当接するように固定具94が設けられている。
In FIG. 4, when the positions where the
上記固定具94によるアダプタ95の外周面の当接は、板ばね96を介して行われる。板ばね96は、その断面形状がコ字状となっており、平面部96aおよびこの平面部96aに対向する平面部96bを有する。
The abutment of the outer peripheral surface of the
板ばね96の平面部96bは、止めネジ97により固定されており、平面部96aは、アダプタ95の外周面に当接され、この外周面を付勢している。それにより、アダプタ95は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bの先端に押圧される。
The
作業者がX軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを回すことにより、アダプタ95の位置を調整することが可能となる。
The operator can adjust the position of the
また、固定具94は、カメラ取り付け部9の側面に螺合された固定具当接部94aと、この固定具当接部94aに取り付けられた固定具つまみ部94bとを備える。固定具当接部94aは、板ばね96の平面部96aに当接する。
The
作業者により上記固定具つまみ部94bが回された場合、その回転力が固定具当接部94aに伝わる。
When the fixture knob portion 94b is turned by an operator, the rotational force is transmitted to the
ここで、固定具つまみ部94bは、所定のトルクで空回りする機構(クラッチ機構)を有する。この場合、作業者が過度に固定具つまみ部94bを回し、その回転力(駆動力)が所定のトルクに達した場合、それ以上の回転力は固定具当接部94aに伝わらない。このような構成により、作業者が固定具つまみ部94を過度に操作した場合にも、固定具当接部94aによる板ばね96の平面部96aに対する過度の押圧を防止することが可能となる。それにより、カメラ10の位置決めを容易に行うことができる。
Here, the fixture knob portion 94b has a mechanism (clutch mechanism) that idles with a predetermined torque. In this case, when the operator turns the fixture knob portion 94b excessively and the rotational force (driving force) reaches a predetermined torque, no further rotational force is transmitted to the
次に、顕微鏡100の回動支柱5の傾斜方法について図面を参照しながら説明する。
Next, a method of tilting the
図5は、顕微鏡100の回動支柱5が傾斜されずにZ軸に沿って固定されている状態を示す模式図であり、図6は、顕微鏡100の回動支柱5が所望の角度に傾斜されて固定されている状態を示す模式図である。なお、図5および図6の顕微鏡100は、それらの一部が省略されて図示されているとともに、軸受部3aの第2のガイド部3bの内部構成がそれぞれ示されている。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a state in which the
図5に示すように、軸受部3aの第2のガイド部3b内には、回動支柱5の回動をロックするとともに解錠するための回動ロック解錠部材30が設けられている。
As shown in FIG. 5, a rotation
上記回動ロック解錠部材30は、孔部30aを有する。この孔部30aには、上述した図1の連結部4に嵌合された回動軸31が嵌合されている。
The rotation
また、回動ロック解錠部材30は、上記孔部30aに連通するスリット部30bを有する。なお、このスリット部30bは、Z軸方向に沿って形成されており、例えば1〜2mmの幅を有する。
Moreover, the rotation
回動ロック解錠部材30の一方の側面にはスリットつまみ32が螺合されており、このスリットつまみ32は、上記スリット部30bを介して他方の側面に螺合される。
A
このような構成において、作業者がスリットつまみ32を回すことにより、スリットつまみ32が図5の矢印Lの方向へ進む。それにより、スリット部30bの幅が狭まることによって、このスリット部30bに連通した孔部30aの円周の長さが小さくなる。これにより、連結部4に嵌合された回動軸31の回動が拘束され、回動支柱5の回動が阻止される。
In such a configuration, when the operator turns the
逆に、作業者がスリットつまみ32を上記と逆の方向に回すことにより、スリットつまみ32が矢印Lの逆の方向へ進む。それにより、スリット部30bの幅が拡がることによって、このスリット部に連通した孔部30aの円周の長さが大きくなる。これにより、連結部4に嵌合された回動軸31の拘束が解除され、回動支柱5を回動させることが可能となる。
Conversely, when the operator turns the
続いて、作業者による回動支柱5の回動(傾斜)方法について図5および図6を参照しながら説明する。
Next, a method for rotating (inclining) the
図5において、回動軸31の端面には、円柱状に形成されるとともにその中心軸が回動軸31の中心軸と同軸の掛かり部31aが設けられている。この掛かり部31aにレバー33の長孔33aが嵌合されている。また、回動軸31の端面の周縁部において、この端面に垂直に回動当接ピン31bが設けられている。以下、レバー33の構成について説明する。
In FIG. 5, the end surface of the
レバー33は、回動軸31の回動に伴って反時計回りに回動する回動当接ピン31bの回動を所定の角度で阻止する第1の回動規制部33bと、回動軸31の回動に伴って時計回りに回動する回動当接ピン31bの回動を所定の角度で阻止する第2の回動規制部33cとを備える。なお、上記の所定の角度とは、それぞれZ軸方向を基準(0°)とした角度である。
The
上記のような構成において、作業者が回動支柱5を反時計回りに例えば90°傾斜させた場合には、回動軸31の回動に伴って回動当接ピン31bがレバー33の第1の回動規制部33bに当接することによって、回動支柱5は反時計回りに90°を超える角度では傾斜されない。
In the configuration as described above, when the operator tilts the
また、図6に示すように、作業者が回動支柱5を時計回りに例えば60°傾斜させた場合には、回動軸31の回動に伴って回動当接ピン31bがレバー33の第2の回動規制部33cに当接することによって、回動支柱5は時計回りに60°を超える角度では傾斜されない。
In addition, as shown in FIG. 6, when the operator tilts the
このような構成により、作業者は、所定の角度の範囲で回動支柱5を傾斜させることができるとともに、回動支柱5が不用意に傾斜されることによって、高価なカメラ10がステージSに衝突し損傷を受けることが防止されている。
With such a configuration, the operator can tilt the
ここで、本実施の形態では、レバー33を用いて回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度で傾斜させることができる。以下、この方法について説明する。
Here, in this embodiment, the
図7は、レバー33を用いて回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度で傾斜させた状態を示す模式図である。なお、図7の顕微鏡100は、それらの一部が省略されて図示されているとともに、軸受部3aの第2のガイド部3bの内部構成が示されている。
FIG. 7 is a schematic view showing a state in which the
図7に示すように、レバー33の一方の端部にはスプリングSPの一端が取り付けられている。スプリングSPの他端は、回動ロック解錠部材30に固定されている。このスプリングSPにより、レバー33は、通常の状態では、矢印Lの方向へ付勢されている。
As shown in FIG. 7, one end of the spring SP is attached to one end of the
レバー33の他方の端部は、軸受部3aの第2のガイド部3bの内部から外方へ突出するように設けられている。
The other end portion of the
作業者によりレバー33が矢印Lと逆の方向へ引っ張られた場合に、掛かり部31aに対するレバー33の長孔33aの嵌合の位置が移動することにより、レバー33は矢印Lと逆の方向へ移動する。
When the
この場合、レバー33の第1の回動規制部33bが矢印Lと逆の方向へ移動しているので、作業者は、回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度まで傾斜させても、回動支柱5の回動に伴って反時計回りに回動する回動当接ピン31bが第1の回動規制部33bに当接しない。それにより、作業者は、回動支柱5を反時計回りに90°を超える角度まで傾斜させることができる。
In this case, since the first
なお、上記のように、回動支柱5が反時計回りに90°を超える角度まで傾斜された場合においても、回動支柱5が所定の角度以上さらに傾斜しないようにされている。これについて以下に説明する。
As described above, even when the
図8は、回動支柱5を反時計回りに可能な限り傾斜させた状態を示す模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram showing a state in which the
図8に示すように、第1の支持台2および軸受部3aの背面を覆うように背面カバー2aが設けられている。なお、上記の背面とは、第1の支持台2および軸受部3aのステージS側の面と反対側の面をいう。
As shown in FIG. 8, the back cover 2a is provided so that the back surface of the
本実施の形態においては、上記のカバー2aには、回動支柱5の回動に伴って時計回りおよび反時計回りに回動する回動当接ピン31bの軌跡に沿った円弧形状の孔部2bが設けられている。
In the present embodiment, the cover 2a has an arcuate hole along the locus of the
カバー2aの上記孔部2bから外方へ突出するように回動当接ピン31bが設けられている。
A
孔部2aは、回動当接ピン31bが反時計回りに例えば120°傾斜された場合に、この回動当接ピン31bが上記120°の位置で当接する一方の端部2cと、回動当接ピン31bが時計回りに例えば70°傾斜された場合に、この回動当接ピン31bが上記70°の位置で当接する他方の端部2dとを有する。
The hole portion 2a rotates with one
このような構成において、上記120°の位置および上記70°の位置で回動当接ピン31bが、上記孔部2aの一方の端部2cおよび他方の端部2dにそれぞれ当接することにより、回動支柱5は、反時計回りに120°を超える角度に向かって傾斜されることがなく、また、時計回りに70°を超える角度に向かって傾斜されることがない。それにより、安全性およびカメラ10の保護性が向上されている。なお、上記120°および70°は例示であり、これに限定されず、上記120°が例えば110°であってもよく、上記70°が例えば75°であってもよい。
In such a configuration, the
次に、本実施の形態における軸受部3aの詳細な構造およびこの軸受部3aに対する連結部4の取り付け方法について説明する。
Next, the detailed structure of the
図9は、軸受部3a、回動軸31および連結部4が組み立てられる前の状態を示す模式図であり、図10(a)は、連結部4が回動軸31を介して軸受部3aに取り付けられた状態を示す正面図であり、図10(b)は、図10(a)のAA線断面図である。
FIG. 9 is a schematic view showing a state before the bearing
以下、軸受部3aの詳細な構造および軸受部3aに対する連結部4の取り付け方法について、理解を容易にするため、図9および図10(b)を同時に参照しながら説明する。
Hereinafter, the detailed structure of the bearing
図9および図10(b)に示すように、連結部4は孔部4aを有し、軸受部3aの第1のガイド部3bは孔部3fを有し、軸受部3aの第2のガイド部3cは孔部3gを有する。
As shown in FIGS. 9 and 10B, the connecting
これら孔部4a、孔部3fおよび孔部3gの各中心軸は、連結部4が第1のガイド部3bと第2のガイド部3cとの間に設けられた場合において、それぞれ同軸となる。
The central axes of the
第1の支持台2および軸受部3aの背面を覆うための図8のカバー2aが取り付けられる前に、回動ロック解錠部材30が軸受部3aの背面側における所定の位置に取り付けられる。
Before the cover 2a of FIG. 8 for covering the
軸受部3aの第1のガイド部3bと第2のガイド部3cとの間に連結部4が設けられる。この際に、連結部4の両面ならびに第1のガイド部3bおよび第2のガイド部3cの一方の面にそれぞれ密着するように、第1のベアリング40および第2のベアリング41がそれぞれ設けられる。
A connecting
上記の状態で、回動軸31が、回動ロック解錠部材30の孔部30a、第1のガイド部3bの孔部3f、第2のベアリング41、連結部4の孔部4a、第1のベアリング40および第2のガイド部3cの孔部3gにそれぞれ嵌合される。
In the above state, the
ここで、本実施の形態では、回動軸31は、回動軸部34およびこの回動軸部34と同軸で径大な円柱状に形成された回動調節部35を有している。
Here, in the present embodiment, the
回動軸31の上記回動調節部35が回動ロック解錠部材30の孔部30aに嵌合される。回動調節部35は、その側面においてY軸方向に沿って複数の直線状凸部からなるプランジャ当接部36が、例えば15°間隔でそれぞれ設けられている。また、回動ロック解錠部材30には、プランジャ用孔部30cが設けられている。
The
回動ロック解錠部材30の孔部30aに回動調節部35が嵌合された場合に、プランジャ37が回動ロック解錠部材30の孔部30aに向かって上記プランジャ用孔部30cに嵌合される。
When the
この場合、回動軸31の回動に伴って、プランジャ37が所定の間隔で設けられたプランジャ当接部36に当接することにより、作業者は、図1の回動支柱5の傾斜角度を把握し易くなるとともに、回動支柱5が急激に傾斜されることが防止される。
In this case, as the
回動軸31の回動軸部34には、その断面の中心点を通るようにZ軸方向に沿って複数の連結用孔部31cが設けられている。
The
回動軸31が、回動ロック解錠部材30の孔部30a、第1のガイド部3bの孔部3f、ベアリング41、連結部4の孔部4a、ベアリング40および第2のガイド部3cの孔部3gにそれぞれ嵌合された後に、上記連結用孔部31cを介して止めネジ38により回動軸部34が連結部4に固定される。このような構成により、連結部4の回動に伴って回動軸31も回動する。
The
また、本実施の形態では、ストッパー44を第1のガイド部3bの上方から、回動ロック解錠部材30に設けられた垂直用孔部30dおよび回動調節部35に設けられた垂直用孔部35aに嵌合させることにより、連結部4の回動を阻止することができる。それにより、回動支柱5を傾斜させることなく垂直に固定させることができる。
Further, in the present embodiment, the
なお、第2のガイド部3cの孔部3gを覆うように、ステージS側から蓋42が取り付けられる。蓋42は孔部42aを有する。この孔部42aを介して固定ネジ43が、回動軸31の端面に設けられた孔部31dに嵌合されている。
A
本実施の形態においては、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いることにより、Y軸方向から見た場合における回動支柱5の回動中心とカメラ10の光軸R2とを容易に一致させることができる。すなわち、回動支柱5の回動軸R1とカメラ10の光軸R2とを容易に直交させることができる。それにより、回動支柱5を傾斜させることにより測定対象物Wを斜め方向から観察する場合にも、測定対象物W上の観察ポイントおよび焦点がずれることなく所望の観察ポイントを合焦点状態で観察することができる。特に、高倍率(例えば、100倍〜500倍)のカメラ10を用いた場合には、上記のような効果が顕著に現れる。
In the present embodiment, by using the
ここで、上記のように、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致しているか否かの判断は以下のように行われる。
Here, as described above, whether or not the rotation axis R3 of the stage S is coincident with the optical axis R2 of the
最初に、カメラ10により測定対象物Wが載置されていないステージS上の画像をディスプレイ(図示せず)の画面に表示する。そして、ステージSを回転させる。
First, an image on the stage S on which the measurement object W is not placed is displayed on the screen of a display (not shown) by the
この場合において、ステージS上の目印となるもの(例えば、凹凸および傷等)の画像がディスプレイの画面の中心を基準として円を描くように移動する。ここで、画面上で回転する画像の回転中心にある目印(例えば、凹凸および傷等)の位置がステージSの回転中心に相当する。したがって、画像の回転中心にある上記目印が画面の中心と一致すれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していると判断される。
In this case, the image of the mark on the stage S (for example, unevenness and scratches) moves so as to draw a circle with reference to the center of the display screen. Here, the position of the mark (for example, unevenness and scratches) at the rotation center of the image rotating on the screen corresponds to the rotation center of the stage S. Therefore, if the mark at the rotation center of the image matches the center of the screen, it is determined that the rotation axis R3 of the stage S and the optical axis R2 of the
逆に、画像の回転中心にある目印が画面の中心から外れていれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していないと判断される。
Conversely, if the mark at the rotation center of the image is off the center of the screen, it is determined that the rotation axis R3 of the stage S and the optical axis R2 of the
このように、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していない場合、作業者は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いることにより、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とを一致させることができる。回動支柱5の回動軸R1とステージSの回転軸R3とは直交するように予め設定されているので、作業者は、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いてステージSの回転軸R3をカメラ10の光軸R2に一致させることにより、回動支柱5の回動軸R1をカメラ10の光軸R2に直交させることができる。
As described above, when the rotation axis R3 of the stage S and the optical axis R2 of the
また、より良い方法として、所定のソフトウェアを用いて上記ディスプレイの画面上に、例えば直径10mmの円を描いておく。そして、ステージSが回転された場合に、画像の回転中心にある目印が上記直径10mmの円内に入るように移動すれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していると判断される。
As a better method, for example, a circle with a diameter of 10 mm is drawn on the screen of the display using predetermined software. When the stage S is rotated, if the mark at the center of rotation of the image moves so as to fall within the circle having a diameter of 10 mm, the rotation axis R3 of the stage S and the optical axis R2 of the
逆に、画像の回転中心にある目印が上記直径10mmの円内に入るように移動しなければ、すなわち、上記直径10mmの円内から外れるようであれば、ステージSの回転軸R3とカメラ10の光軸R2とが一致していないと判断される。
Conversely, if the mark at the center of rotation of the image does not move so as to fall within the circle with a diameter of 10 mm, that is, if it does not move out of the circle with a diameter of 10 mm, the rotation axis R3 of the stage S and the
なお、上記のようなステージS上の凹凸および傷等の目印の代わりに、ステージSがX軸方向およびY軸方向に移動しないように拘束されるのであれば、例えばステージS上に目印となる刻印を設けておいてもよいし、印を付けておいてもよい。 If the stage S is restrained so as not to move in the X-axis direction and the Y-axis direction instead of the marks such as the unevenness and scratches on the stage S as described above, it becomes a mark on the stage S, for example. A stamp may be provided, or a mark may be provided.
これらの結果、カメラ10を交換した場合でも、X軸調整ネジ93aおよびY軸調整ネジ93bを用いることにより、Y軸方向から見た場合における回動支柱5の回動中心とカメラ10の光軸R2とを容易に一致させることができる。すなわち、回動支柱5の回動軸R1をカメラ10の光軸R2に容易に直交させることができる。したがって、種々のカメラ10を容易に使用することができる。
As a result, even when the
また、通常、作業者は、回動ロック解錠部材30による回動軸31の拘束を解除し、測定対象物Wの観察を行いながら回動支柱5を時計回りまたは反時計回りに幾度となく傾斜させる。この場合、回動軸31には大きな負荷が加わる。
Usually, the operator releases the restraint of the
本実施の形態では、回動軸31が嵌合されている連結部4が第1のベアリング40および第2のベアリング41により両側から支持されているので、回動軸31が水平方向から傾くことが確実に防止される。
In the present embodiment, since the connecting
さらに、本実施の形態においては、ケーブルCがケーブル拘束具3dに挿通され拘束されていることにより、回動支柱5の傾斜に伴って上記ケーブルCが接続されているカメラ10が傾斜した場合でも、カメラ10とケーブルCとの接続部分におけるがたつきを防止することができるとともに、カメラ10の傾斜によるケーブルCの強制的な引張りを防止することができる。それにより、カメラ10が傾斜されて測定対象物Wが観察される場合でも、カメラ10の位置を安定させることが可能となる。
Further, in the present embodiment, the cable C is inserted and restrained by the
本実施の形態においては、カメラ10が撮像手段に相当し、カメラ取り付け部9、スライダ6aおよび取り付け連結部6bが取り付け手段に相当し、回動支柱5が支持部材および棒状部材に相当し、第1の支持台2および軸受部3aが保持手段に相当し、X軸方向およびY軸方向がそれぞれ第1および第2の軸の方向に相当し、X軸調整ネジ93aが第1の調整手段および第1の調整部材に相当し、Y軸調整ネジ93bが第2の調整手段および第2の調整部材に相当する。
また、回動軸31が回動軸に相当し、軸受部3aが保持手段に相当し、ベース1がベースに相当し、第1の支持台2が支持台に相当し、第2の支持台3、スライダ20および調整つまみ21が高さ調整機構に相当する。
In the present embodiment, the
The
また、本実施の形態においては、アダプタ95が環状具に相当し、板ばね96が付勢手段に相当し、ケーブル拘束具3dがケーブル拘束手段に相当し、粗動つまみ7が粗動手段に相当し、目盛線5aが目盛部に相当する。
Further, in the present embodiment, the
本発明に係る顕微鏡は、各種試料の観察等に利用することができる。 The microscope according to the present invention can be used for observation of various samples.
1 ベース
2 第1の支持台
3 第2の支持台
3a 軸受部
3b 第1のガイド部
3c 第2のガイド部
3d ケーブル拘束具
3e 突起部
4 連結部
5 回動支柱
5a 目盛線
5b 長溝
6a スライダ6a
6b 取り付け連結部
7 粗動つまみ
8 微調整つまみ
9 カメラ取り付け部
10 カメラ
30 回動ロック解錠部材
31 回動軸
34 回動軸部
35 回動調節部
36 プランジャ当接部
37 プランジャ
38 止めネジ
40 第1のベアリング
41 第2のベアリング
44 ストッパー
91 カメラ当接部
91b 孔部
92 固定ネジ
93a X軸調整ネジ
93b Y軸調整ネジ
94 固定具
94a 固定具当接部
94b 固定具つまみ部
95 アダプタ
96 板ばね
96a,96b 平面部
97 止めネジ
100 顕微鏡
C ケーブル
R1 回動軸
R2 光軸
R3 回転軸
S ステージ
W 測定対象物
DESCRIPTION OF
6b
Claims (9)
測定対象物が載置される載置面を有するステージと、
前記ステージに光軸が向くように前記撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、
前記取り付け手段を支持する支持部材と、
前記支持部材に設けられ、前記支持部材と一体になって水平軸まわりに回動する回動軸と、
前記回動軸を回動可能に保持する保持手段と、
前記保持手段を支持する支持台と、
前記支持台が取り付けられるベースと、
前記ステージの下方かつ前記ベース上に設けられ、前記ステージに載置された測定対象物の表面の高さが前記支持部材の回動中心の高さに一致するように前記ステージの高さを調整可能な高さ調整機構と、を備え、
前記取り付け手段は、前記撮像手段の光軸が前記回動軸と直交するように、前記撮像手段の光軸を前記ステージの載置面と直交させながら前記支持部材に対する前記撮像手段の相対的な水平位置を調整する調整手段を備えていることを特徴とする拡大観察用のスタンド装置。 In order to magnify and observe a measurement object, a stand device for magnifying observation to which an imaging means for imaging the measurement object is attached,
A stage having a placement surface on which a measurement object is placed;
An attachment means to which the imaging means is attached so that the optical axis faces the stage ;
A support member for supporting the attachment means;
A rotation shaft provided on the support member and rotating about a horizontal axis integrally with the support member;
Holding means for rotatably holding the rotation shaft;
A support for supporting the holding means;
A base to which the support is attached;
The height of the stage is adjusted so that the height of the surface of the measurement object placed on the stage and below the stage matches the height of the rotation center of the support member. A possible height adjustment mechanism,
The mounting means is configured such that the imaging means is relative to the support member while the optical axis of the imaging means is orthogonal to the mounting surface of the stage so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. A stand device for magnification observation, comprising an adjusting means for adjusting a horizontal position.
前記ステージの回転軸と、前記回動軸とが直交するように前記ステージおよび前記保持手段が配置されたことを特徴とする請求項1記載の拡大観察用のスタンド装置。 The stage is provided so as to be rotatable around a rotation axis perpendicular to the mounting surface.
The rotation axis of the stage, the stand device for magnifying observation according to claim 1, wherein said rotating shaft, wherein said stage and said holding means is arranged so as to be orthogonal.
前記支持部材に対する前記撮像手段の相対的な水平位置を調整するために、前記撮像手段の光軸に直交する第1および第2の軸の方向に前記撮像手段を移動させる第1および第2の調整手段を含み、
前記取り付け手段は、
孔部を有する取り付け部材と、前記孔部内において前記第1および第2の軸を含む面内で移動可能に設けられ、前記撮像手段が挿通される環状具とを含み、
前記第1および第2の調整手段は、
前記環状具の外周面に当接するとともに前記第1および第2の軸の方向に移動可能な第1および第2の調整部材をそれぞれ含むことを特徴とする請求項1または2記載の拡大観察用のスタンド装置。 The adjusting means includes
In order to adjust the relative horizontal position of the imaging means with respect to the support member, first and second moving the imaging means in directions of first and second axes orthogonal to the optical axis of the imaging means Including adjustment means,
The attachment means includes
An attachment member having a hole, and an annular tool provided in the hole so as to be movable in a plane including the first and second axes, and through which the imaging means is inserted,
The first and second adjusting means include
3. The enlarged observation device according to claim 1, further comprising first and second adjustment members that are in contact with an outer peripheral surface of the annular tool and are movable in the directions of the first and second axes . Stand device .
前記支持部材は、前記取り付け手段の孔部に移動可能に挿通される棒状部材を含み、
前記取り付け手段の前記孔部に前記棒状部材が挿通された状態で前記取り付け手段を前記棒状部材に固定する粗動手段をさらに備え、
前記粗動手段は、くさび形状の先端部を有し、
前記棒状部材は、軸方向に延びる長溝を有し、
前記粗動手段の前記先端部が前記棒状部材の前記長溝に嵌合されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の拡大観察用のスタンド装置。 The attachment means has a hole;
The support member includes a rod-like member that is movably inserted into the hole of the attachment means,
Coarse movement means for fixing the attachment means to the rod-like member in a state where the rod-like member is inserted through the hole of the attachment means,
The coarse movement means has a wedge-shaped tip.
The rod-shaped member has a long groove extending in the axial direction,
The stand device for magnifying observation according to any one of claims 1 to 6, wherein the tip of the coarse movement means is fitted into the long groove of the rod-shaped member.
測定対象物を拡大観察するために、前記撮像手段が取り付けられる拡大観察用のスタンド装置とを備え、
前記拡大観察用のスタンド装置は、
前記測定対象物が載置される載置面を有するステージと、
前記ステージに光軸が向くように前記撮像手段が取り付けられる取り付け手段と、
前記取り付け手段を支持する支持部材と、
前記支持部材に設けられ、前記支持部材と一体になって水平軸まわりに回動する回動軸と、
前記回動軸を回動可能に保持する保持手段と、
前記保持手段を支持する支持台と、
前記支持台が取り付けられるベースと、
前記ステージの下方かつ前記ベース上に設けられ、前記ステージに載置された測定対象物の表面の高さが前記支持部材の回動中心の高さに一致するように前記ステージの高さを調整可能な高さ調整機構と、を備え、
前記取り付け手段は、前記撮像手段の光軸が前記回動軸と直交するように、前記撮像手段の光軸を前記ステージの載置面と直交させながら前記支持部材に対する前記撮像手段の相対的な水平位置を調整する調整手段を備えていることを特徴とする顕微鏡。 An imaging means for imaging a measurement object;
In order to magnify the object to be measured, the magnifying observation stand device to which the imaging means is attached,
The stand device for magnification observation is
A stage having a placement surface on which the measurement object is placed;
An attachment means to which the imaging means is attached so that the optical axis faces the stage ;
A support member for supporting the attachment means;
A rotation shaft provided on the support member and rotating about a horizontal axis integrally with the support member;
Holding means for rotatably holding the rotation shaft;
A support for supporting the holding means;
A base to which the support is attached;
The height of the stage is adjusted so that the height of the surface of the measurement object placed on the stage and below the stage matches the height of the rotation center of the support member. A possible height adjustment mechanism,
The mounting means is configured such that the imaging means is relative to the support member while the optical axis of the imaging means is orthogonal to the mounting surface of the stage so that the optical axis of the imaging means is orthogonal to the rotation axis. A microscope comprising adjusting means for adjusting a horizontal position.
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Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009180764A (en) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Moritex Corp | Camera stand |
JP5139176B2 (en) * | 2008-07-02 | 2013-02-06 | 株式会社ミツトヨ | microscope |
JP5477762B2 (en) * | 2009-01-23 | 2014-04-23 | 株式会社ニコン | Lens barrel and optical equipment |
JP5500493B2 (en) * | 2009-06-12 | 2014-05-21 | 株式会社ニコン | Lens barrel and optical equipment |
JP5012861B2 (en) | 2009-07-17 | 2012-08-29 | 株式会社ニコン | Optical apparatus and optical apparatus |
JP5273063B2 (en) * | 2010-01-29 | 2013-08-28 | 株式会社ニコン | Optical apparatus and optical apparatus |
JP5572561B2 (en) * | 2011-01-12 | 2014-08-13 | 株式会社キーエンス | Lens module, magnification observation apparatus using the lens module, and magnification observation method |
JP5841398B2 (en) | 2011-10-07 | 2016-01-13 | 株式会社キーエンス | Magnifying observation device |
JP5969867B2 (en) * | 2012-09-11 | 2016-08-17 | 株式会社キーエンス | Optical microscope |
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JP6247933B2 (en) * | 2013-12-27 | 2017-12-13 | 株式会社キーエンス | Magnifying observation device |
JP6325816B2 (en) | 2013-12-27 | 2018-05-16 | 株式会社キーエンス | Magnification observation apparatus, magnification image observation method, magnification image observation program, and computer-readable recording medium |
JP6300630B2 (en) * | 2014-05-14 | 2018-03-28 | オリンパス株式会社 | Microscope system |
DE102014114478B3 (en) * | 2014-10-06 | 2016-02-25 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Digital microscope with spring-mounted swiveling unit |
DE102014114479B3 (en) | 2014-10-06 | 2016-02-25 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | DIGITAL MICROSCOPE WITH CLICK STOP |
DE102014114477B3 (en) * | 2014-10-06 | 2016-02-25 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Digital microscope with a radial piston brake system |
EP3396428A4 (en) | 2015-12-22 | 2019-08-28 | Olympus Corporation | Microscope system |
CN108303792A (en) * | 2018-04-04 | 2018-07-20 | 殷跃锋 | It is a kind of can the vertical microscopical method of adjustment of two level adjustment |
JP2019203966A (en) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 富士通コンポーネント株式会社 | Imaging apparatus |
JP7092619B2 (en) * | 2018-08-30 | 2022-06-28 | 株式会社キーエンス | Magnifying observation device |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3318014B2 (en) * | 1992-11-20 | 2002-08-26 | オリンパス光学工業株式会社 | Lens tube and microscope |
JPH0735645A (en) * | 1993-07-23 | 1995-02-07 | Sony Corp | Apparatus for inspecting liquid crystal panel |
JPH07123300A (en) * | 1993-10-25 | 1995-05-12 | Casio Comput Co Ltd | Stand for image pickup |
JPH08340472A (en) * | 1995-06-14 | 1996-12-24 | Canon Inc | Image input device |
JP4473992B2 (en) * | 1999-06-15 | 2010-06-02 | 株式会社キーエンス | Magnification observation stand device and magnification observation method |
-
2005
- 2005-05-31 JP JP2005159015A patent/JP4831998B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107076976A (en) * | 2014-10-06 | 2017-08-18 | 徕卡显微系统(瑞士)股份公司 | Homocentric digit microscope with the pivoting unit being rotatably mounted |
CN107076976B (en) * | 2014-10-06 | 2020-06-02 | 徕卡显微系统(瑞士)股份公司 | Concentric digital microscope with rotatably mounted pivot unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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