JP4500879B1

JP4500879B1 - Manual stage with tilting function and tilting stage

Info

Publication number: JP4500879B1
Application number: JP2009121566A
Authority: JP
Inventors: 洋明村松
Original assignee: Miruc Optical Co Ltd
Current assignee: Miruc Optical Co Ltd
Priority date: 2009-05-20
Filing date: 2009-05-20
Publication date: 2010-07-14
Anticipated expiration: 2029-05-20
Also published as: JP2010271098A

Abstract

【課題】直進機能を有する手動ステージに回転機能及び屈析機能を結合させたあおり旋回機能付き手動ステージ及び精密機器を回転及び屈析させるあおり旋回ステージを提供する。
【解決手段】手動ステージ２００のベース板２０６を支持する支持板５と、球状の球体８とを有する屈析部２と、球体８を側方から屈析自在に保持する球体保持部９と、球体８と共に回転する回転板とを有する回転部３と、球体８を下方から支持する球体支持部と、環状の目盛２１が取付けられて回転板を回転自在に支持する円筒状の回転板受け部１１と、土台に固定されるベース部１５とを有する台座部４と、を備える。
【選択図】図１Provided are a manual stage with a tilting function in which a rotating function and a bending function are combined with a manual stage having a straight traveling function, and a tilting stage for rotating and deflecting a precision instrument.
A support plate 5 for supporting a base plate 206 of a manual stage 200, a bending portion 2 having a spherical sphere 8, a sphere holding portion 9 for holding the sphere 8 so as to be freely slidable from the side, A rotating portion 3 having a rotating plate that rotates together with the sphere 8, a sphere supporting portion that supports the sphere 8 from below, and a cylindrical rotating plate receiving portion that is provided with an annular scale 21 and rotatably supports the rotating plate. 11 and a base part 4 having a base part 15 fixed to the base.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、あおり旋回機能付き手動ステージ、及びあおり旋回ステージに係り、特に、精密機器が取付けられる摺動部品と、締結具により土台に固定されるベース板が接続される固定部品とが摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取付けられた精密機器の位置調整を行うあおり旋回機能付き手動ステージ、及び精密機器が取付けられ、その精密機器をあおり旋回させ、締結具により土台に固定されるあおり旋回ステージに関する。 The present invention relates to a manual stage with a tilting swivel function and a tilting swing stage, and in particular, a sliding component to which a precision instrument is attached and a fixed component to which a base plate fixed to a base by a fastener is connected are slid. It is connected through a mechanism, sliding parts are slid by handle operation, and a manual stage with a tilting swivel function that adjusts the position of the mounted precision device, and a precision device are mounted, and the precision device is swung The present invention relates to a tilting stage fixed to a base by a fastener.

ＣＣＤカメラやセンサなどの電機・電子機器、レンズや顕微鏡等の光学機器、ＬＥＤなどの照明機器といった精密機器は、取付けに際し、位置決めやピント合わせのために位置調整しなければならない。また、取付け後において、さらにその位置を微調整する場合も発生する。 Precision devices such as electrical devices and electronic devices such as CCD cameras and sensors, optical devices such as lenses and microscopes, and lighting devices such as LEDs must be adjusted for positioning and focusing. In addition, the position may be further finely adjusted after the mounting.

これらの精密機器は、一般的に「ステージ」と称される機械要素上に設置されて位置調整される。手動ステージとは、これらのステージのうち、ハンドル操作により部品を手動で摺動させるステージをいう。この手動ステージは、機器が取付けられる摺動部品と、土台に接続される固定部品とが摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を固定部品に対して手動で摺動させるのが一般的である。この手動ステージには、その摺動機構により、例えば、アリ溝式ステージ、送りネジ式ステージ、リニアボール式ステージ、クロスローラ式ステージ、簡易ボール式ステージ、アリ溝スライドレール式ステージなどが含まれる。また、それぞれのステージには、使用目的に応じて多様な形式があり、例えば、アリ溝式ステージの場合には、１方向に摺動するＸ軸アリ溝式ステージ、略直交する２方向に摺動するＸＹ軸アリ溝式ステージ、上下方向に摺動するＺ軸アリ溝ステージなどの直進機能を有するステージ、及び回転して摺動する回転ステージがある。 These precision instruments are installed and adjusted on a machine element generally called a “stage”. The manual stage refers to a stage in which a part is manually slid by a handle operation. In this manual stage, a sliding part to which equipment is attached and a fixed part connected to a base are coupled via a sliding mechanism, and the sliding part is manually slid with respect to the fixed part by a handle operation. Is common. This manual stage includes, for example, a dovetail stage, a feed screw stage, a linear ball stage, a cross roller stage, a simple ball stage, a dovetail slide rail stage, etc., depending on the sliding mechanism. Each stage has various types according to the purpose of use. For example, in the case of a dovetail stage, an X-axis dovetail stage that slides in one direction, or slides in two directions that are substantially orthogonal. There are stages having a linear function such as a moving XY-axis dovetail stage, a Z-axis dovetail stage that slides in the vertical direction, and a rotary stage that rotates and slides.

図２１に、従来の一般的なＸ軸アリ溝式ステージを示す。Ｘ軸アリ溝式ステージ１００は、台形状に窪んだアリ溝１０２を有する固定部品１０５に対し、台形状に突出したアリ１０１を有する摺動部品１０４が移動可能に嵌合される。この固定部品１０５は、締結具（図示せず）が挿入される土台締結用孔１０６を有するベース板１０８を介して土台（図示せず）に固定される。また、摺動部品１０４は、精密機器取付け用孔１０７に挿入される締付具（図示せず）を介して精密機器（図示せず）に接続される。摺動部品１０４は、ハンドル１０９を回転させることにより図中の矢印の方向に移動する。これは、Ｘ軸アリ溝式ステージ１００の内部に、ラック及びピニオンギア（図示せず）、或いは送りねじ（図示せず）などの駆動機構が組み込まれていることによる。これらの駆動機構により、ハンドル１０９の回転が、摺動部品１０４の水平方向への移動に変換される。 FIG. 21 shows a conventional general X-axis dovetail stage. In the X-axis dovetail stage 100, a sliding component 104 having a dovetail 101 protruding in a trapezoidal shape is movably fitted to a fixed component 105 having a dovetail groove 102 recessed in a trapezoidal shape. The fixing component 105 is fixed to a base (not shown) via a base plate 108 having a base fastening hole 106 into which a fastener (not shown) is inserted. The sliding component 104 is connected to a precision device (not shown) via a fastener (not shown) inserted into the precision device mounting hole 107. The sliding component 104 moves in the direction of the arrow in the figure by rotating the handle 109. This is because a drive mechanism such as a rack and pinion gear (not shown) or a feed screw (not shown) is incorporated in the X-axis dovetail stage 100. By these driving mechanisms, the rotation of the handle 109 is converted into the movement of the sliding component 104 in the horizontal direction.

図２２に、従来の一般的なＸＹ軸アリ溝式ステージを示す。このＸＹ軸アリ溝式ステージ２００は、図中の左右方向である矢印の方向に摺動する上部ユニット２０２と，上部ユニット２０２と略直交する方向に摺動する下部ユニット２０３とが、連結具２０１及び接着剤により接着面２０６で接合されている。なお、図２２では、上部ユニット２０２の摺動ユニット２０４を図の左側にスライドさせた状態を示す。上部ユニット２０２の固定ユニット２０５には、連結具２０１用の接続用孔２０７ａが設けられ、下部ユニット２０３の摺動ユニット２０４には、連結具２０１用の接続用孔２０７ｂが設けられている。また、略直交する２つのハンドル２０９ａ及び２０９ｂによりＸＹ方向に摺動させる。そして、下部ユニット２０３には土台（図示せず）に固定される土台締結用孔２１０を有するベース板２０８が設けられる。 FIG. 22 shows a conventional general XY axis dovetail stage. In this XY-axis dovetail stage 200, an upper unit 202 that slides in the direction of the arrow, which is the left-right direction in the figure, and a lower unit 203 that slides in a direction substantially orthogonal to the upper unit 202 are connected to a connector 201. And the bonding surface 206 with an adhesive. FIG. 22 shows a state in which the sliding unit 204 of the upper unit 202 is slid to the left side in the drawing. The fixing unit 205 of the upper unit 202 is provided with a connection hole 207a for the connection tool 201, and the sliding unit 204 of the lower unit 203 is provided with a connection hole 207b for the connection tool 201. Further, the two handles 209a and 209b which are substantially orthogonal to each other are slid in the XY directions. The lower unit 203 is provided with a base plate 208 having a base fastening hole 210 fixed to a base (not shown).

図２３に、従来の回転ステージを示す。図２３（ａ）は、回転ステージ３００の側面図を示し、図２３（ｂ）は平面図を示し、図２３（ｃ）は底面図を示す。回転ステージ３００は、精密機器取付け用３０７が設けられ、回転基準線３０２が印字された摺動部品３０４、土台締結用孔３１３が設けられて環状目盛３０１が印字された固定部品３０５、ハンドル３０９、及び摺動固定ネジ３１４から構成される。そして、図２３（ｂ）に示す矢印の方向にハンドル３０９を回転させると固定部品３０５に対して摺動部品３０４が回転して摺動する。また、摺動固定ネジ３１４を締め付けると固定部品３０５に対して摺動部品３０４が固定される。 FIG. 23 shows a conventional rotary stage. 23A shows a side view of the rotary stage 300, FIG. 23B shows a plan view, and FIG. 23C shows a bottom view. The rotary stage 300 is provided with a precision device mounting 307, a sliding component 304 printed with a rotation reference line 302, a fixed component 305 provided with a base fastening hole 313 and printed with an annular scale 301, a handle 309, And a sliding fixing screw 314. When the handle 309 is rotated in the direction of the arrow shown in FIG. 23B, the sliding component 304 rotates and slides with respect to the fixed component 305. Further, when the sliding fixing screw 314 is tightened, the sliding component 304 is fixed to the fixing component 305.

一方、特許文献１には、ＸＹ軸アリ溝式ステージである汎用アリ溝摺動ユニットが開示されている。ここでは、複数のアリ溝摺動ユニットを、締結具により着脱自在である連結部品により組み合わせることで、精密機器を平面状の２軸方向に位置調整でき、また、複数のアリ溝摺動ユニットが着脱自在であることで、例えば、ハンドルの方向などを容易に変更できるアリ溝摺動ユニットが記載されている。 On the other hand, Patent Document 1 discloses a general-purpose dovetail sliding unit that is an XY-axis dovetail stage. Here, by combining a plurality of dovetail sliding units with connecting parts that are detachable by fasteners, the position of the precision instrument can be adjusted in the planar two-axis direction. For example, a dovetail sliding unit is described in which the direction of the handle can be easily changed by being detachable.

また、特許文献２には、ＸＹ軸アリ溝式ステージである複合アリ溝摺動ユニットが開示されている。ここでは、更に複数のアリ溝摺動ユニットを、連結部品を用いずに連結させる技術が記載されている。また、複数のアリ溝摺動ユニットのそれぞれのハンドルの回転軸を共有させ、２つのハンドル操作を１箇所で行うことができるアリ溝摺動ユニットが記載されている。 Patent Document 2 discloses a compound dovetail sliding unit that is an XY-axis dovetail stage. Here, a technique for connecting a plurality of dovetail sliding units without using connecting parts is described. In addition, there is described a dovetail sliding unit that can share the rotation axis of each handle of a plurality of dovetail sliding units and perform two handle operations at one place.

特許第３９２３９９７号Japanese Patent No. 3923997 特開２００８−８４４６号公報JP 2008-8446 A

上述した手動ステージは、精密機器に対していずれもＸ軸、ＸＹ軸、或いはＺ軸に直進させる機能を有するステージが一般的である。しかし、手動ステージの使用状況によっては、例えば、Ｘ軸アリ溝式ステージ、ＸＹ軸ステージ、或いはＺ軸アリ溝式ステージについて、それらのユニットをＸ軸及びＹ軸それぞれに対して略直交するＺ軸回りの略３６０°の任意の位置に回転させて固定させる機能、Ｘ軸又はＹ軸それぞれの軸回りの略１８０°の任意の位置に屈析させて固定させる機能、又はこれらの回転と屈析を組み合わせた位置に固定させる機能が必要となる場合がある。 The above-described manual stage is generally a stage having a function of moving straight along the X axis, the XY axis, or the Z axis with respect to the precision instrument. However, depending on the usage status of the manual stage, for example, for the X-axis dovetail stage, the XY-axis stage, or the Z-axis dovetail stage, these units are substantially orthogonal to the X-axis and Y-axis. A function of rotating and fixing at an arbitrary position of approximately 360 ° around, a function of refracting and fixing at an arbitrary position of approximately 180 ° around the axis of each of the X axis and the Y axis, or rotation and diffraction of these There is a case where a function of fixing the position to the combination is required.

また、特殊なステージとして回転して摺動する回転ステージがあるが、精密機器に対してＸ軸又はＹ軸それぞれの軸回りの略１８０°の任意の位置に屈析させて固定させる機能、又は回転と屈析を組み合わせた位置に固定させる機能が必要となる場合がある。 In addition, there is a rotary stage that rotates and slides as a special stage, but the function to bend and fix to an arbitrary position of about 180 ° around the X axis or Y axis with respect to a precision instrument, or There is a case where a function of fixing at a position where rotation and diffraction are combined is required.

手動ステージを使用するユーザは、手動ステージにこれらの機能がないため、別途治具を製作して従来の手動ステージに取付けるが、高い精度が要求される手動ステージが、ユーザにより付加された機能により維持できなくなるという問題があった。 The user who uses the manual stage does not have these functions in the manual stage, so a separate jig is manufactured and attached to the conventional manual stage, but the manual stage that requires high accuracy is added by the function added by the user. There was a problem that it could not be maintained.

本願の目的は、かかる課題を解決し、直進機能を有する手動ステージに回転機能及び屈析機能を結合させたあおり旋回機能付き手動ステージ及び精密機器を回転及び屈析させるあおり旋回ステージを提供することである。 An object of the present application is to solve such problems and to provide a manual stage with a tilting function in which a rotating function and a bending function are combined with a manual stage having a straight traveling function, and a tilting stage that rotates and deflects a precision instrument. It is.

上記目的を達成するため、本発明に係るあおり旋回機能付き手動ステージは、精密機器が取付けられる摺動部品と、締結具により土台に固定されるベース板が接続される固定部品とが摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取付けられた精密機器の位置調整を行う手動ステージにおいて、手動ステージのベース板を支持する支持板と、球状の球体とを有する屈析部と、球体の側面上の中心点を通る水平線よりも上方に球体の曲面に沿った形状の球体押え部を有して球体を押え付け、球体を側方から屈析自在に保持する球体保持部と、球体と共に回転する回転板とを有する回転部と、下方で連結された一対の板からなり、球体に対してそれぞれ内側に傾斜して低くなって接する球体接触面を有して球体を下方から支持する球体支持部と、環状の目盛が取付けられて回転板を回転自在に支持する円筒状の回転板受け部と、締結具により土台に固定されるベース部と、球体支持部を締め付けることで球体の位置を固定する締付け機能と、を有する台座部と、を備え、球体支持部は、締付け機能により締め付けられると球体を上方に押し上げようとし、球体保持部は、球体が上方に押し上がるのを球体押え部により阻止しようとすることで、球体の位置が固定されることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the manual stage with a tilting function according to the present invention includes a sliding part to which a precision device is attached and a fixed part to which a base plate fixed to a base by a fastener is connected. In a manual stage that is connected via a handle, slides a sliding part by a handle operation, and adjusts the position of an attached precision instrument, a support plate that supports a base plate of the manual stage and a spherical sphere. A sphere that holds the sphere and holds the sphere freely from the side by holding the sphere and holding the sphere in a shape that follows the curved surface of the sphere above the horizontal line that passes through the center point on the side surface of the sphere. A sphere having a sphere contact surface that includes a rotating portion having a holding portion and a rotating plate that rotates together with the sphere, and a pair of plates connected below, and has a sphere contact surface that is inclined inwardly and in contact with the sphere. From below By tightening the spherical support portion for lifting a cylindrical rotating plate receiving portion for rotatably supporting the rotary plate an annular scale is attached, and a base portion fixed to the base by a fastener, the spherical support portion A pedestal having a clamping function for fixing the position of the sphere , and the sphere support part tries to push the sphere upward when tightened by the clamping function, and the sphere holding part pushes the sphere upward. the by attempting to prevent the spherical pressing portion, the position of the sphere and wherein Rukoto fixed.

上記構成により、あおり旋回機能付き手動ステージは、回転部の回転板と、回転板を回転自在に支持する台座部の回転板受け部とにより、手動ステージに回転機能を結合させることができる。また、屈析部の球体と、球体を屈析自在に支持する回転部の球体保持部及び球体を下方から支持する台座部の球体支持部により、手動ステージに屈析機能を結合させることができる。そして、屈析部に回転部及び台座部を連結させることで、手動ステージに回転機能及び屈析機能を共に結合させることができる。 With the above-described configuration, the manual stage with the tilt turning function can be coupled to the manual stage by the rotating plate of the rotating unit and the rotating plate receiving unit of the pedestal unit that rotatably supports the rotating plate. Further, the bending function can be coupled to the manual stage by the sphere of the bending portion, the sphere holding portion of the rotating portion that supports the sphere in a freely bending manner, and the sphere support portion of the pedestal portion that supports the sphere from below. . Then, by connecting the rotating part and the pedestal part to the bending part, both the rotation function and the bending function can be coupled to the manual stage.

また、あおり旋回機能付き手動ステージは、屈析部が、手動ステージのベース板と締結具を介して着脱自在に接続されることが好ましい。これにより、手動ステージの種類やサイズにかかわらず、直進機能のみを有する手動ステージに回転機能及び屈析機能を結合させことができる。そして回転及び屈析する球体の位置を任意の位置に固定することができる。 Moreover, it is preferable that a bending stage is detachably connected to the manual stage with a tilt turning function via a base plate of the manual stage and a fastener. Thereby, regardless of the type and size of the manual stage, the rotation function and the reflection function can be combined with the manual stage having only the straight traveling function. The position of the sphere that rotates and bends can be fixed at an arbitrary position.

また、あおり旋回機能付き手動ステージは、台座部が、球体の位置を固定する締付け機能を有し、球体支持部は、締付け機能により締め付けられると球体を上方に押し上げるように球体に対して斜めの角度で接する球体接触面を有し、球体保持部は、上方に押し上げられた球体を押え付ける球体押え部を有し、球体接触部及び球体押え部により球体の位置が固定されることが好ましい。これにより、手動ステージを回転及び屈析させる際の球体の動きを所望の位置で固定することができる。 In addition, the manual stage with the tilt turning function has a tightening function in which the pedestal portion fixes the position of the sphere, and the sphere support portion is inclined with respect to the sphere so as to push the sphere upward when tightened by the tightening function. It is preferable that the ball contact surface has a spherical contact surface that touches at an angle, and the ball holding unit has a ball pressing portion that presses the ball pushed upward, and the position of the ball is fixed by the ball contact portion and the ball pressing portion. Thereby, the movement of the sphere when the manual stage is rotated and bent can be fixed at a desired position.

また、あおり旋回機能付き手動ステージは，台座部が、球体に対して予圧を加え、球体の動きの程度を調整する与圧調整機能を有し、球体接触部及び球体押え部により球体の動きの程度が調整されることが好ましい。これにより、手動ステージを回転及び屈析させる際の球体の動きの程度を調節することができる。 In addition, the manual stage with the tilt turning function has a pressure adjustment function in which the pedestal part applies preload to the sphere to adjust the degree of movement of the sphere, and the movement of the sphere is controlled by the sphere contact part and the sphere presser part. The degree is preferably adjusted. Thus, the degree of movement of the sphere when the manual stage is rotated and bent can be adjusted.

さらに、あおり旋回機能付き手動ステージは，回転板には、環状の目盛と対向する位置に回転基準線が印字され、回転板受け部に取付けられた環状の目盛は取付けネジを外すことで回転自在となることが好ましい。これにより、取付けネジを外すことで環状の目盛の位置が自在となり、目盛のゼロ位置を任意に設定できる。また、基準線により環状の目盛を読み込むことで手動ステージの回転位置を測ることができる。 Furthermore, in the manual stage with tilting function, the rotation reference line is printed on the rotating plate at a position facing the annular scale, and the annular scale attached to the rotating plate receiving part can be rotated by removing the mounting screw. It is preferable that Thereby, the position of the annular scale becomes free by removing the mounting screw, and the zero position of the scale can be arbitrarily set. Also, the rotational position of the manual stage can be measured by reading an annular scale from the reference line.

上記目的を達成するため、本発明に係るあおり旋回ステージは、精密機器が取付けられる支持板と、球状の球体とを有する屈析部と、球体の側面上の中心点を通る水平線よりも上方に球体の曲面に沿った形状の球体押え部を有して球体を押え付け、球体を側方から屈析自在に保持する球体保持部と、球体と共に回転する回転板とを有する回転部と、下方で連結された一対の板からなり、球体に対してそれぞれ内側に斜めの角度で接する球体接触面を有して球体を下方から支持する球体支持部と、環状の目盛が取付けられて回転板を回転自在に支持する円筒状の回転板受け部と、締結具により土台に固定されるベース部とを有する台座部と、を備え、球体支持部は、締付け機能により締め付けられると球体を上方に押し上げようとし、球体保持部は、球体が上方に浮き上がるのを球体押え部により阻止しようとすることで、球体の位置が固定されることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the tilting stage according to the present invention is above the horizontal line passing through the center point on the side surface of the sphere, the support plate to which the precision instrument is attached, and the spherical sphere. A sphere holding portion having a sphere holding portion having a shape along the curved surface of the sphere , holding the sphere, holding the sphere so that it can be bent from the side, a rotating portion having a rotating plate that rotates together with the sphere, and below A sphere support portion for supporting the sphere from below with a sphere contact surface in contact with the sphere at an oblique angle inside, and an annular scale attached to the rotating plate. A cylindrical rotating plate receiving portion that is rotatably supported and a pedestal portion having a base portion fixed to a base by a fastener, and the sphere support portion pushes the sphere upward when tightened by a tightening function. Trying to hold a sphere , By trying to prevent the spheres from being lifted upward by the spherical pressing portion, characterized in that the position of the sphere is fixed.

上記構成により、あおり旋回ステージは、回転部の回転板と、回転板を回転自在に支持する台座部の回転板受け部とにより、回転機能を有する。また、屈析部の球体と、球体を屈析自在に支持する回転部の球体保持部及び球体を下方から支持する台座部の球体支持部により、屈析機能を有する。そして、屈析部に回転部及び台座部を連結させることで、回転機能及び屈析機能を共に結合させることができる。 With the above-described configuration, the tilt turning stage has a rotating function by the rotating plate of the rotating portion and the rotating plate receiving portion of the pedestal portion that rotatably supports the rotating plate. Moreover, it has a bending function by the spherical body of a bending part, the spherical body holding | maintenance part of the rotation part which supports a spherical body so that it can be bent freely, and the spherical body support part of the base part which supports a spherical body from the downward direction. And a rotation function and a refracting function can be combined together by connecting a rotating part and a base part to a refracting part.

また、あおり旋回ステージは、屈析部が、精密機器と締結具を介して着脱自在に接続されることが好ましい。これにより、精密機器に回転機能及び屈析機能を提供することができる。そして回転及び屈析する球体の位置を任意の位置に固定することができる。 Moreover, it is preferable that the tilting part is detachably connected to the tilting stage via a precision device and a fastener. Thereby, a rotation function and a bending function can be provided to a precision instrument. The position of the sphere that rotates and bends can be fixed at an arbitrary position.

また、あおり旋回ステージは、台座部が、球体の位置を固定する締付け機能を有し、球体支持部は、締付け機能により締め付けられると球体を上方に押し上げるように球体に対して斜めの角度で接する球体接触面を有し、球体保持部は、上方に押し上げられた球体を押え付ける球体押え部を有し、球体接触部及び球体押え部により球体の位置が固定されることが好ましい。これにより、精密機器を回転及び屈析させる際の球体の動きを所望の位置で固定することができる。 In addition, the tilting stage of the tilt swing stage has a tightening function for fixing the position of the sphere, and the sphere support section comes into contact with the sphere at an oblique angle so as to push the sphere upward when tightened by the tightening function. It has a spherical contact surface, and the spherical body holding part preferably has a spherical body pressing part for pressing the spherical body pushed upward, and the position of the spherical body is preferably fixed by the spherical body contact part and the spherical body pressing part. Thereby, the movement of the sphere when rotating and bending the precision instrument can be fixed at a desired position.

また、あおり旋回ステージは，台座部が、球体に対して予圧を加え、球体の動きの程度を調整する与圧調整機能を有し、球体接触部及び球体押え部により球体の動きの程度が調整されることが好ましい。これにより、精密機器を回転及び屈析させる際の球体の動きの程度を調節することができる。 In addition, the tilting stage has a pressure adjustment function in which the pedestal part preloads the sphere and adjusts the degree of movement of the sphere, and the degree of movement of the sphere is adjusted by the sphere contact part and the sphere holding part. It is preferred that Thereby, the degree of movement of the sphere when the precision instrument is rotated and bent can be adjusted.

さらに、あおり旋回ステージは，回転板には、環状の目盛と対向する位置に回転基準線が印字され、回転板受け部に取付けられた環状の目盛は取付けネジを外すことで回転自在となることが好ましい。これにより、取付けネジを外すことで環状の目盛の位置が自在となり、目盛のゼロ位置を任意に設定できる。また、基準線により環状の目盛を読み込むことで精密機器の回転位置を測ることができる。 Furthermore, in the tilting stage, the rotation reference line is printed on the rotating plate at a position facing the annular scale, and the annular scale attached to the rotating plate receiving part can be rotated by removing the mounting screw. Is preferred. Thereby, the position of the annular scale becomes free by removing the mounting screw, and the zero position of the scale can be arbitrarily set. Further, the rotational position of the precision instrument can be measured by reading an annular scale from the reference line.

以上のように、本発明に係るあおり旋回機能付き手動ステージによれば、直進機能を有する手動ステージに回転機能及び屈析機能を結合させたあおり旋回機能付き手動ステージ、及び精密機器を回転及び屈析させるあおり旋回ステージを提供することができる。 As described above, according to the manual stage with the tilting function according to the present invention, the manual stage with the tilting function and the precision instrument, in which the rotating function and the bending function are combined with the manual stage having the straight traveling function, are rotated and bent. It is possible to provide a tilting stage for analysis.

本発明に係るあおり旋回機能付き手動ステージの１つの実施形態の概略構成を示す側面図である。It is a side view showing a schematic structure of one embodiment of a manual stage with a tilt turning function according to the present invention. 図１のあおり旋回機能付き手動ステージを略直交方向から見た側面図である。It is the side view which looked at the manual stage with a tilt turning function of FIG. 1 from the substantially orthogonal direction. 図１のあおり旋回機能についての断面図である。It is sectional drawing about the tilting turning function of FIG. あおり旋回機能付き手動ステージの回転機能を示す平面図である。It is a top view which shows the rotation function of the manual stage with a tilt turning function. あおり旋回機能付き手動ステージの屈析機能を示す側面図である。It is a side view which shows the bending function of the manual stage with a tilt turning function. あおり旋回機能付き手動ステージの屈析及び回転を組み合わせた機能を示す側面図である。It is a side view which shows the function which combined the bending and rotation of the manual stage with a tilt turning function. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸ軸ステージの平面図及び側面図である。It is the top view and side view of an X-axis stage with a tilting swivel function which are the object of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸ軸ステージ（ハンドル延長タイプ）の平面図及び側面図である。It is the top view and side view of an X-axis stage with a tilt turning function (handle extension type), which is a subject of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸＹ軸ステージの平面図及び側面図である。It is the top view and side view of an XY-axis stage with a tilting turning function, which are the subject of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＺ軸ステージの平面図及び側面図である。It is the top view and side view of a Z-axis stage with a tilting turning function which are the objects of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸ軸ステージの平面図及び側面図である。It is the top view and side view of an X-axis stage with a tilting swivel function which are the object of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＺ軸ステージの平面図及び側面図である。It is the top view and side view of a Z-axis stage with a tilting turning function which are the objects of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸ軸ステージの平面図及び側面図である。It is the top view and side view of an X-axis stage with a tilting swivel function which are the object of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸステージ（アリ溝送りネジタイプ）の平面図及び側面図である。It is a top view and a side view of an X stage with a tilt turning function (dovetail feed screw type) that is a subject of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸ軸ステージ（アリ溝スリム送りネジタイプ）の平面図及び側面図である。It is the top view and side view of an X-axis stage with a tilt turning function (a dovetail groove slim feed screw type) that is a subject of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸ軸ステージ（アリ溝送りネジタイプ）の平面図及び側面図である。It is the top view and side view of an X-axis stage with a swivel turning function (a dovetail groove feed screw type), which is an object of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸ軸ステージの平面図及び側面図である。It is the top view and side view of an X-axis stage with a tilting swivel function which are the object of the present invention. 本発明の対象となる、あおり旋回機能付きＸ軸粗微動ステージの平面図及び側面図である。It is the top view and side view of an X-axis coarse / fine movement stage with a tilt turning function, which are objects of the present invention. 本発明に係るあおり旋回ステージの１つの実施形態の概略構成を示す側面図である。It is a side view showing a schematic structure of one embodiment of a tilt turning stage according to the present invention. 図１９のあおり旋回ステージを略直交方向から見た側面図である。It is the side view which looked at the tilt rotation stage of FIG. 19 from the substantially orthogonal direction. 従来の一般的なＸ軸アリ溝式ステージを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional common X-axis dovetail-type stage. 従来の一般的なＸＹ軸アリ溝式ステージの側面図である。It is a side view of the conventional general XY axis dovetail type stage. 従来の一般的な回転ステージの側面図、平面図、及び底面図である。It is the side view, top view, and bottom view of the conventional general rotation stage.

（あおり旋回機能付き手動ステージ）
以下に、図面を用いて本発明に係るあおり旋回機能付き手動ステージの実施形態につき、詳細に説明する。本実施形態では、１つの例としてＸＹ軸アリ溝式ステージ２００にあおり旋回機能を付加したあおり旋回機能付き手動ステージ１について説明するが、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００に限らずＸ軸アリ溝式ステージ１００やＺ軸アリ溝式ステージなどについてもあおり旋回機能付きとすることができる。また、その他の機構の手動ステージである、送りネジ式ステージ、簡易ボール式ステージ、アリ溝スライドレール式ステージ、リニアボール式ステージ、クロスローラ式ステージなどもあおり旋回機能付き手動ステージ１とすることができる。 (Manual stage with tilting function)
Hereinafter, an embodiment of a manual stage with a tilt turning function according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In this embodiment, the manual stage 1 with the tilt turning function added to the XY axis dovetail type stage 200 as an example will be described. However, the present invention is not limited to the XY axis dovetail type stage 200 but the X axis dovetail type. The stage 100 and the Z-axis dovetail stage can also be provided with a turning function. There are also other stages of manual stages, such as feed screw stage, simple ball stage, dovetail slide rail stage, linear ball stage, cross roller stage, etc. it can.

図１に、あおり旋回機能付き手動ステージ１の側面図を示す。また、図２に、あおり旋回機能付き手動ステージ１を図１のＸ方向から見た側面図を示す。さらに、図３に、あおり旋回機能付き手動ステージ１のあおり旋回機能の部分を断面で示す。あおり旋回機能付き手動ステージ１は、屈析部２、回転部３、及び台座部４から構成される。そして、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００と屈析部２とが連結され、さらに屈析部２は、回転部３及び台座部４と連結されて一体化した製品となる。 FIG. 1 shows a side view of a manual stage 1 with a tilt turning function. FIG. 2 is a side view of the manual stage 1 with a tilt turning function as viewed from the X direction of FIG. Further, FIG. 3 shows a section of the tilt turning function of the manual stage 1 with the tilt turning function in a cross section. The manual stage 1 with a tilting swivel function includes a bending portion 2, a rotating portion 3, and a pedestal portion 4. Then, the XY-axis dovetail stage 200 and the bending portion 2 are connected, and the bending portion 2 is connected to the rotating portion 3 and the pedestal portion 4 to become an integrated product.

屈析部２は、支持板５、連結棒７、及び球体８から構成される。支持板５は、従来の手動ステージの１つの例であるＸＹ軸アリ溝式ステージ２００のベース板２０８に接続する。すなわち、支持板５にはベース板２０８の土台締結用孔２１０に対向する位置に連結用孔６が設けられ、締結具（図示せず）によりＸＹ軸アリ溝式ステージ２００を屈析部２に連結する。また、支持板５は、円筒状の連結棒７を介して球形の球体８に連結される。このように、屈析部２は、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００のベース板２０８と着脱自在に接続される。従って、あおり旋回機能付き手動ステージ１は、手動ステージの種類やサイズにかかわらず、Ｘ軸、ＸＹ軸、Ｚ軸などの直進機能を有する手動ステージに回転機能及び屈析機能を結合させことができる。 The bending portion 2 includes a support plate 5, a connecting rod 7, and a sphere 8. The support plate 5 is connected to a base plate 208 of an XY-axis dovetail stage 200 which is an example of a conventional manual stage. That is, the support plate 5 is provided with a connecting hole 6 at a position facing the base fastening hole 210 of the base plate 208, and the XY axis dovetail stage 200 is attached to the bending portion 2 by a fastener (not shown). Link. The support plate 5 is connected to a spherical sphere 8 via a cylindrical connecting rod 7. As described above, the bending portion 2 is detachably connected to the base plate 208 of the XY axis dovetail stage 200. Therefore, the manual stage 1 with the tilt turning function can combine the rotation function and the reflection function with the manual stage having the straight traveling function such as the X axis, the XY axis, and the Z axis regardless of the type and size of the manual stage. .

回転部３は、球体８を側方から屈析自在に保持する球体保持部９と、球体８と共に回転する回転板１０とを有する。図３に示すように、球体８と球体保持部９とは、球体接触部２４により接触する。この球体接触部２４は、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００が屈析する場合には、球体８が球体保持部９に対して滑動するように球体９の曲面に合わせた曲面を有する。また、この球体接触部２４は、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００が回転する場合には、球体８が球体保持部９と共に回転するように球体８を保持する。さらに、球体接触部２４は、球体８の側面上の中心点（Ｑ）を通る水平線（Ｙ）よりも上方であり球体８の曲面に沿った形状の部分を有する。これにより、後述するように、球体保持部９は球体接触部２４により、球体８の位置を固定する際、又は球体８の動きの程度を調節する際に、球体８が上方に浮き上がるのを阻止する機能を有する。 The rotating unit 3 includes a sphere holding unit 9 that holds the sphere 8 from the side so that it can be bent freely, and a rotating plate 10 that rotates together with the sphere 8. As shown in FIG. 3, the sphere 8 and the sphere holder 9 are brought into contact with each other through a sphere contact portion 24. The sphere contact portion 24 has a curved surface that matches the curved surface of the sphere 9 so that the sphere 8 slides relative to the sphere holding portion 9 when the XY axis dovetail stage 200 is bent. In addition, the sphere contact portion 24 holds the sphere 8 so that the sphere 8 rotates together with the sphere holding portion 9 when the XY axis dovetail stage 200 rotates. Furthermore, the sphere contact portion 24 has a portion that is above the horizontal line (Y) passing through the center point (Q) on the side surface of the sphere 8 and has a shape along the curved surface of the sphere 8. Thereby, as will be described later, the sphere holding unit 9 prevents the sphere 8 from floating upward when the position of the sphere 8 is fixed by the sphere contact unit 24 or when the degree of movement of the sphere 8 is adjusted. It has the function to do.

台座部４は、球体８を下方から支持する球体支持部１２と、環状目盛２１が取付けられ、回転板１０を回転自在に支持する円筒状の回転板受け部１１と、締結具（図示せず）により土台（図示せず）に固定されるベース部１５とを有する。図３に示すように、球体支持部１２は、下方で連結された一対の板からなり、球体８に対してそれぞれ内側に傾斜して低くなる球体接触面２３を有する。これにより、球体支持部１２は球体接触面２３により、後述するように、球体８の位置を固定する際、又は球体８の動きの程度を調節する際に、球体８を上方に浮き上がらせようとする機能を有する。また、ベース部１５は、球体支持部用固定孔２６を有し、締結具（図示せず）により球体支持部１２をベース部１５に固定する。 The pedestal portion 4 includes a sphere support portion 12 that supports the sphere 8 from below, a cylindrical rotary plate receiving portion 11 that is provided with an annular scale 21 and rotatably supports the rotary plate 10, and a fastener (not shown). ) And a base portion 15 fixed to a base (not shown). As shown in FIG. 3, the sphere support portion 12 is composed of a pair of plates connected below, and has a sphere contact surface 23 that inclines inwardly with respect to the sphere 8 and becomes lower. As a result, the sphere support portion 12 attempts to lift the sphere 8 upward by the sphere contact surface 23 when fixing the position of the sphere 8 or adjusting the degree of movement of the sphere 8, as will be described later. It has the function to do. Further, the base portion 15 has a sphere support portion fixing hole 26 and fixes the sphere support portion 12 to the base portion 15 with a fastener (not shown).

このように、球体８は、下方から球体支持部１２に支持され、側方から球体保持部９に保持される。球体支持部１２及び球体保持部９に対して球体８が滑動することにより、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００は、角度１８０°のあおりが可能になる。また、回転板１０が回転板受け部１１に対して滑動することによりＸＹ軸アリ溝式ステージ２００は、角度３６０°の回転が可能になる。 In this way, the sphere 8 is supported by the sphere support 12 from below and is held by the sphere holder 9 from the side. As the sphere 8 slides with respect to the sphere support 12 and the sphere holder 9, the XY axis dovetail stage 200 can tilt at an angle of 180 °. Further, when the rotating plate 10 slides with respect to the rotating plate receiving portion 11, the XY axis dovetail stage 200 can rotate at an angle of 360 °.

図４に、あおり旋回機能付き手動ステージ１の回転機能を示す。図４は、あおり旋回機能付き手動ステージ１を上部から見た図である。図４に示すように、球体８の平面上の中心点（Ｐ）回りにＡの方向に任意の角度で回転し、最大で３６０°回転する。ここで、あおり旋回機能付き手動ステージ１の「回転する」とは、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００などの手動ステージが、球体８の平面上の中心点（Ｐ）回りに「旋回する」ことをいう。 FIG. 4 shows the rotation function of the manual stage 1 with the tilt turning function. FIG. 4 is a view of the manual stage 1 with a tilt turning function as viewed from above. As shown in FIG. 4, it rotates at an arbitrary angle in the direction of A around the center point (P) on the plane of the sphere 8 and rotates 360 degrees at the maximum. Here, “rotating” of the manual stage 1 with the tilt turning function means that a manual stage such as the XY axis dovetail stage 200 “turns” around the center point (P) on the plane of the sphere 8. Say.

図１及び図２に示すように、回転板受け部１１に固定されて取付けられた環状目盛２１には、３６０°の目盛が印字される。また、図１に示すように、回転部３の回転板１０には、環状目盛２１に対応した位置に回転基準線２５が印字される。従って、回転部３が回転するとこの回転基準線２５により回転角度を読取ることができ、この回転基準線２５に基づいて手動ステージの回転位置を測ることができる。また、環状目盛２１は、回転板受け部１１にネジ（図示せず）により取付けられているが、このネジを外すことにより回転自在となり、環状目盛２１の位置を自在に設定できる。 As shown in FIGS. 1 and 2, a 360 ° scale is printed on the annular scale 21 fixedly attached to the rotating plate receiving portion 11. As shown in FIG. 1, a rotation reference line 25 is printed on the rotary plate 10 of the rotary unit 3 at a position corresponding to the annular scale 21. Accordingly, when the rotating unit 3 rotates, the rotation angle can be read from the rotation reference line 25, and the rotation position of the manual stage can be measured based on the rotation reference line 25. The annular scale 21 is attached to the rotary plate receiving portion 11 with a screw (not shown). However, the annular scale 21 can be rotated by removing the screw, and the position of the annular scale 21 can be freely set.

図５に、あおり旋回機能付き手動ステージ１の屈析機能を示す。図５は、あおり旋回機能付き手動ステージ１を側面から見た図である。図５に示すように、球体８の側面上の中心点（Ｑ）回りにＢの方向に任意の角度で屈析し、最大で１８０°屈析する。ここで、あおり旋回機能付き手動ステージ１の「屈析する」とは、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００などの手動ステージが、球体８の側面上の中心点（Ｑ）回りに「あおる」ことをいう。 FIG. 5 shows the bending function of the manual stage 1 with the tilt turning function. FIG. 5 is a side view of the manual stage 1 with a tilt turning function. As shown in FIG. 5, it refracts at an arbitrary angle in the direction of B around the center point (Q) on the side surface of the sphere 8 and refracts at a maximum of 180 °. Here, “curving” of the manual stage 1 with the tilting swivel function means that the manual stage such as the XY-axis dovetail type stage 200 “uplifts” around the center point (Q) on the side surface of the sphere 8. Say.

球体保持部９は、図２に示すようなＵ字型の連結棒収納部２０を有する。この連結棒収納部２０は、球体保持部９の対向する位置に２箇所設けられる。そして、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００が屈析する場合、屈析部２の連結棒７は連結棒収納部２０に納まるように屈析することで、球体保持部９と干渉することなく１８０°の屈析が可能となる。 The spherical body holding part 9 has a U-shaped connecting rod storage part 20 as shown in FIG. The connecting rod storage portion 20 is provided at two locations at positions where the spherical body holding portion 9 faces. When the XY-axis dovetail stage 200 is bent, the connecting rod 7 of the bending portion 2 is bent so as to be accommodated in the connecting rod storage portion 20, and 180 ° without interfering with the spherical body holding portion 9. It is possible to sag.

図６に、あおり旋回機能付き手動ステージ１の屈析及び回転を組み合わせた機能を示す。図６は、あおり旋回機能付き手動ステージ１を側面から見た図である。図６に示すように、球体８の側面上の中心点（Ｑ）回りにＢの方向に１８０°の角度に屈析した上で、さらに、球体８の平面上の中心点（Ｐ）回りに回転する。この場合、ＸＹ軸アリ溝式ステージ２００は、任意の角度に屈析した上で、さらに、球体８の平面上の中心点（Ｐ）回りに任意の角度で回転することが可能である。 FIG. 6 shows a function that combines the bending and rotation of the manual stage 1 with the tilt turning function. FIG. 6 is a side view of the manual stage 1 with the tilt turning function. As shown in FIG. 6, after refracting at an angle of 180 ° in the direction of B around the center point (Q) on the side surface of the sphere 8, and further around the center point (P) on the plane of the sphere 8. Rotate. In this case, the XY-axis dovetail stage 200 can be bent at an arbitrary angle and further rotated around the center point (P) on the plane of the sphere 8 at an arbitrary angle.

球体８の位置を固定する機構について説明する。図１及び図３に示すように、台座部４は、球体８を締め付けることでその位置に固定する締付け機能である締付けレバー１４を備える。上述したように、球体支持部１２は、球体８に対して内側が低くなるような斜めの角度で接する球体接触面２３を有する。このため、球体支持部１２の一方が締付けレバー１４により締め付けられると球体８を上方に押し上げる力が発生する。また、球体保持部９は、上方に押し上げられようとする球体８を押え付ける球体押え部２４を有する。従って、球体８は、この球体接触面２３及び球体押え部２４により移動が拘束され、これにより球体８の位置が固定する。この球体８を固定する機構は、締付けレバー１４を締め付けることで球体８の移動を拘束する機構であればこの機構に限らない。また、締付け機構は、締付けレバー１４で締め付ける機構だけではなく、例えば図２３の摺動固定ネジ３１４により締め付ける機構であっても良い。 A mechanism for fixing the position of the sphere 8 will be described. As shown in FIGS. 1 and 3, the pedestal portion 4 includes a tightening lever 14 that is a tightening function for fixing the sphere 8 to the position by tightening the sphere 8. As described above, the sphere support portion 12 has the sphere contact surface 23 that comes into contact with the sphere 8 at an oblique angle such that the inside is lowered. For this reason, when one side of the sphere support portion 12 is tightened by the tightening lever 14, a force that pushes up the sphere 8 upward is generated. The spherical body holding unit 9 includes a spherical body pressing unit 24 that presses the spherical body 8 that is about to be pushed upward. Accordingly, the movement of the sphere 8 is restricted by the sphere contact surface 23 and the sphere pressing portion 24, thereby fixing the position of the sphere 8. The mechanism for fixing the sphere 8 is not limited to this mechanism as long as it is a mechanism that restrains the movement of the sphere 8 by tightening the tightening lever 14. Further, the tightening mechanism is not limited to the mechanism for tightening with the tightening lever 14, but may be a mechanism for tightening with the sliding fixing screw 314 of FIG.

次に、球体８の動きの程度を調節する機構について説明する。図２に破線で示すように、台座部４は球体８に対して予圧を加え、球体８の動きの程度を調整する与圧調整ネジ１７を有する。図３に示すように、与圧調整ネジ１７は、締付けレバー１４とは逆方向に球体支持部１２の他方にねじ込んで、球体８を上方に押し上げる微妙な力を発生させる。与圧調整ネジ１７により球体８の動きの程度を調節する機構は、球体８の位置を固定する機構と同様に、球体支持部１２の球体接触面２３、及び球体保持部９の球体押え部２４により球体８の移動を拘束する機構である。この球体８の動きの程度を調節する機構は、与圧調整ネジ１７をねじ込むことで球体８の動きの程度を調節する機構であればこの機構に限らない。 Next, a mechanism for adjusting the degree of movement of the sphere 8 will be described. As shown by a broken line in FIG. 2, the pedestal portion 4 has a pressurizing adjustment screw 17 that applies a preload to the sphere 8 and adjusts the degree of movement of the sphere 8. As shown in FIG. 3, the pressurizing adjustment screw 17 is screwed into the other side of the sphere support portion 12 in the direction opposite to the tightening lever 14 to generate a delicate force that pushes up the sphere 8 upward. The mechanism for adjusting the degree of movement of the sphere 8 by the pressure adjusting screw 17 is similar to the mechanism for fixing the position of the sphere 8, and the sphere contact surface 23 of the sphere support 12 and the sphere presser 24 of the sphere holder 9. This is a mechanism for restraining the movement of the sphere 8. The mechanism for adjusting the degree of movement of the sphere 8 is not limited to this mechanism as long as the mechanism adjusts the degree of movement of the sphere 8 by screwing the pressurizing adjustment screw 17.

与圧調整ネジ１７は、締付けレバー１４により締め付けて球体８を固定するのとは異なり、球体８を回転及び屈析する際の球体８と球体支持部１２及び球体保持部９との滑りの程度を調整する。すなわち、与圧調整ネジ１７を締め付けすぎると、球体８の回転の際に球体８と回転板１０とが連動して回転し易くなるが、球体８の屈析の際に球体８の動作が重くなってしまう。一方、与圧調整ネジ１７が緩すぎると、球体８の屈析の際に球体８の動作が滑らかになるが、球体８の回転の際に球体８と回転板１０とが完全に連動せずに滑りが生じる虞がある。従って、与圧調整ネジ１７は、あおり旋回機能付き手動ステージ１に取付けられる精密機器などの重量などに合わせ、適切な球体８の拘束度を測りながら設定する必要がある。 Unlike the case where the pressure adjusting screw 17 is fastened by the tightening lever 14 to fix the sphere 8, the degree of slipping between the sphere 8 and the sphere support 12 and the sphere holder 9 when the sphere 8 is rotated and bent. Adjust. That is, if the pressurizing screw 17 is tightened too much, the sphere 8 and the rotating plate 10 are easily rotated in conjunction with the rotation of the sphere 8, but the operation of the sphere 8 is heavy when the sphere 8 is bent. turn into. On the other hand, if the pressurizing screw 17 is too loose, the operation of the sphere 8 becomes smooth when the sphere 8 is bent, but the sphere 8 and the rotating plate 10 are not completely interlocked when the sphere 8 rotates. There is a risk of slippage. Therefore, it is necessary to set the pressurizing adjustment screw 17 while measuring an appropriate degree of restraint of the sphere 8 in accordance with the weight of a precision instrument or the like attached to the manual stage 1 with the tilt turning function.

図７〜図１８には、本発明の対象となるあおり旋回機能付きアリ溝式手動ステージ１の一部を例示する。これらの図は、平面図及び側面図などにより記載されるが、各図面の表示は省略する。これらの例に限らず、あおり旋回機能付きアリ溝式手動ステージ１は、従来の全てのアリ溝式手動ステージである、例えば、Ｘ軸アリ溝式ステージ、ＸＹ軸アリ溝式ステージ、Ｚ軸アリ溝式ステージなどに適用される。 FIGS. 7 to 18 illustrate a part of the dovetail-type manual stage 1 with a tilt turning function, which is an object of the present invention. These drawings are described with a plan view and a side view, but the display of each drawing is omitted. The dovetail-type manual stage 1 with the tilt turning function is not limited to these examples, and is any conventional dovetail-type manual stage. For example, an X-axis dovetail stage, an XY-axis dovetail stage, a Z-axis dovetail stage Applicable to grooved stage.

（あおり旋回ステージ）
以下に、図面を用いて本発明に係るあおり旋回ステージの実施形態につき、詳細に説明する。図１９に、あおり旋回ステージ５０の側面図を示す。また、図２０に、あおり旋回ステージ５０を図１９のＹ方向から見た側面図を示す。さらに、図３には、あおり旋回ステージ５０が断面で示されている。あおり旋回ステージ５０は、屈析部２、回転部３、及び台座部４から構成される。そして、精密機器（図示せず）が屈析部２の支持板５に連結用孔６により連結され、さらに屈析部２は、回転部３及び台座部４と連結されて一体化した製品となる。これらの構成要素は、上述したあおり旋回機能付き手動ステージ１と同様であるため、その説明を省略する。 (Aori swing stage)
Hereinafter, an embodiment of a tilt turning stage according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 19 shows a side view of the tilt turning stage 50. 20 shows a side view of the tilt turning stage 50 as seen from the Y direction of FIG. Further, in FIG. 3, the tilting stage 50 is shown in cross section. The tilt turning stage 50 includes a bending portion 2, a rotating portion 3, and a pedestal portion 4. A precision instrument (not shown) is connected to the support plate 5 of the bending portion 2 by a connecting hole 6, and the bending portion 2 is connected to the rotating portion 3 and the pedestal portion 4 and integrated with the product. Become. Since these components are the same as those of the manual stage 1 with the tilt turning function described above, description thereof is omitted.

このように、あおり旋回ステージ５０は、Ｘ軸、ＸＹ軸、Ｚ軸といった方向への直進機能が不要であり、回転機能、屈析機能、及び回転と屈析を組み合わせた機能が要求される精密機器の場合に使用される。 As described above, the tilt turning stage 50 does not need a straight-ahead function in the X-axis, XY-axis, and Z-axis directions, and is required to have a rotation function, a bending function, and a function that combines rotation and bending. Used for equipment.

１あおり旋回機能付き手動ステージ、２屈析部、３回転部、４台座部、５支持板、６連結用孔、７連結棒、８球体、９球体保持部、１０回転板、１１回転板受け部、１２球体支持部、１３，１０６，２１０，３１３土台締結用孔、１４締付けレバー、１５ベース部、１７与圧調整ネジ、２０連結棒収納部、２１，３０１環状目盛、２３球体接触面、２４球体押え部、２５，３０２回転基準線、２６球体支持部用固定孔、５０あおり旋回ステージ１００Ｘ軸アリ溝ステージ、１０７，３０７精密機器取付け用孔、１０８，２０８ベース板、１０９，２０９ａ，２０９ｂ，３０９ハンドル、２００ＸＹ軸アリ溝ステージ、２０１ａ，２０１ｂ連結具、２０２上部ユニット、２０３下部ユニット、２０４摺動ユニット、２０５固定ユニット、２０６接着面、２０７ａ，２０７ｂ接続用孔、３００回転ステージ、３１４摺動固定ネジ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Manual stage with tilting rotation function, 2 Reflection part, 3 rotation part, 4 base part, 5 support plate, 6 connection hole, 7 connection rod, 8 sphere, 9 sphere holding part, 10 rotation plate, 11 rotation plate holder Part, 12 spherical body support part, 13, 106, 210, 313 base fastening hole, 14 clamping lever, 15 base part, 17 pressure adjusting screw, 20 connecting rod storage part, 21, 301 annular scale, 23 spherical contact surface, 24 Sphere holding part, 25, 302 Rotation reference line, 26 Sphere supporting part fixing hole, 50 tilt turning stage 100 X-axis dovetail stage, 107, 307 Precision equipment mounting hole, 108, 208 Base plate, 109, 209a, 209b, 309 Handle, 200 XY axis dovetail stage, 201a, 201b connector, 202 upper unit, 203 lower unit, 20 Sliding unit, 205 fixed unit, 206 the adhesive surface, 207a, 207b connecting holes, 300 rotary stage, 314 slide fixing screw.

Claims

A sliding part to which a precision instrument is attached and a fixed part to which a base plate fixed to a base by a fastener is connected are connected via a sliding mechanism, and the sliding part is slid by a handle operation and attached. In a manual stage that adjusts the position of precision equipment
A refracting section having a support plate for supporting a base plate of a manual stage, and a spherical sphere,
A sphere holding portion that holds a sphere holding portion having a shape that follows the curved surface of the sphere above the horizontal line that passes through the center point on the side surface of the sphere, and holds the sphere in a freely dissectable manner from the side; A rotating part having a rotating plate that rotates together with the sphere;
It consists of a pair of plates connected at the bottom, has a spherical contact surface that inclines in contact with the sphere, and has a spherical contact surface that supports the sphere from below, and an annular scale is attached. A pedestal portion having a cylindrical rotating plate receiving portion that rotatably supports the rotating plate, a base portion that is fixed to the base by a fastener, and a tightening function that fixes the position of the sphere by tightening the sphere support portion. and, with a,
Spherical support portion, and when tightened by the tightening function and pushes up the sphere upwards, ball holding portion, that the sphere rises pushed upward by trying to prevent the spherical pressing portion, the position of the sphere Ru fixed A manual stage with a tilting swivel function.

The manual stage with a tilting function according to claim 1, wherein the bending portion is detachably connected to the base plate of the manual stage via a fastener.

The manual stage with a tilt-turning function according to claim 1 or 2, wherein the pedestal part has a pressurizing adjustment function for applying a preload to the sphere and adjusting a degree of movement of the sphere, A manual stage with a tilting swivel function in which the degree of movement of the sphere is adjusted by the sphere presser .

4. A manual stage with a tilt-turning function according to claim 1 , wherein a rotation reference line is printed on the rotating plate at a position facing the annular scale, and is attached to the rotating plate receiving portion. annular scale tilt swivel function manual stages, wherein Rukoto Do rotatable by removing the mounting screws.

A refracting portion having a support plate to which a precision instrument is attached and a spherical sphere;
A sphere holding portion that holds a sphere holding portion having a shape that follows the curved surface of the sphere above the horizontal line that passes through the center point on the side surface of the sphere, and holds the sphere in a freely dissectable manner from the side; A rotating part having a rotating plate that rotates together with the sphere;
It consists of a pair of plates connected at the bottom, has a spherical contact surface that inclines in contact with the sphere, and has a spherical contact surface that supports the sphere from below, and an annular scale is attached. A pedestal having a cylindrical rotating plate receiving portion that rotatably supports the rotating plate, and a base portion fixed to the base by a fastener;
With
When the sphere support unit is tightened by the tightening function, the sphere support unit tries to push the sphere upward, and the sphere support unit tries to prevent the sphere from floating upward by the sphere presser unit, thereby fixing the position of the sphere. A tilting swivel stage characterized by

A tilt swivel stage according to claim 5,屈析unit is detachably connected via a precision mounted equipment fasteners tilt swivel stage, wherein Rukoto.

A tilt swivel stage according to claim 5 or 6, pedestal portion, preload the added to a sphere, has a preload adjustment function of adjusting the degree of motion of the sphere, the sphere contact portion and sphere presser A tilt-turn stage characterized in that the degree of movement of the sphere is adjusted by the section .

The tilting stage according to any one of claims 5 to 7 , wherein a rotation reference line is printed on the rotating plate at a position facing the annular scale, and the annular scale is attached to the rotating plate receiving portion. tilt swivel stage, wherein Rukoto Do rotatable by removing the mounting screws.