JP4803195B2

JP4803195B2 - 基板検査装置及び基板検査方法

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Publication number: JP4803195B2
Application number: JP2008065376A
Authority: JP
Inventors: 健一戒田; 昇東; 義明粟田; 和英永尾; 英樹角
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2008-03-14
Filing date: 2008-03-14
Publication date: 2011-10-26
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Description

本発明は、基板上の部品搭載位置に部品を搭載させることができるかどうかの部品搭載前検査を行う基板検査装置及び基板検査方法に関するものである。

部品実装機は、位置決めされた基板に対して搭載ヘッドを移動させ、部品供給部より供給される部品をピックアップして基板上の部品搭載位置に搭載する。部品実装ラインにおける部品実装機の上流側（基板の流れの上流側）には基板検査装置が配置され、基板検査装置は認識カメラにより部品搭載前の基板上の部品搭載位置を認識して、その部品搭載位置に部品を搭載できるかどうかの検査（部品搭載前検査）を行う（特許文献１、２）。

基板検査装置によって部品を搭載することができないと判定された部品搭載位置（不良箇所）には部品実装機は部品搭載を行わないが、基板には不良箇所を示すマーキングがなされるため、オペレータは部品実装機から排出された基板の不良箇所を目視検査して修繕できるものは修繕することができる。そして、オペレータが不良箇所を修繕した基板を部品実装ラインに再投入し、はじめの検査（通常の基板投入時における部品搭載前検査）で不良箇所と判定された部品搭載位置が改めて部品搭載可能と判断されれば、その部品搭載位置に部品搭載がなさるので、その基板を良品として扱うことができるようになる。
特開２００７−１４９８１７号公報特開２００５−５２９０号公報

しかしながら、実装ラインに再投入された基板には既に多くの部品が搭載されているにも拘らず、基板検査装置は基板上の全ての部品搭載位置を対象として部品搭載前検査を行うことになる。そうすると、部品が既に搭載されており、本来部品搭載前検査が不要な部品搭載位置についてまで検査が行われるので効率が悪い（ひいては実装ライン全体のスループットが低下する）という問題点があった。また、部品搭載位置に部品が搭載されると、部品搭載位置はそこに搭載された部品によって隠れてしまうことが多いため、再投入時における部品搭載前検査において、はじめの検査において設定した認識カメラの視野と同じ視野で部品搭載位置を認識しようとすると、その視野内に部品搭載位置を認識することができず、異常と判断されてシステムエラーが発生する場合があった。

そこで本発明は、基板が再投入された場合に効率よく部品搭載前検査を行うことができ、システムエラーの発生も防止することができる基板検査装置及び基板検査方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の基板検査装置は、位置決めされた基板に対して移動自在に設けられた認識カメラと、認識カメラにより基板上の部品搭載位置を認識させて、その部品搭載位置に部品を搭載させることができるかどうかの部品搭載前検査を行う検査実行部とを有した基板検査装置であって、検査実行部を再投入時モードに設定する再投入時モード設定部を備え、検査実行部は、再投入時モード設定部により再投入時モードが設定されていないときには、部品搭載の対象となっている全ての部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行い、再投入時モード設定部により再投入時モードが設定されているときには、はじめに部品搭載位置を認識カメラに認識させて、その部品搭載位置に部品が搭載されているかどうかの部品有無検査を行い、その結果部品が搭載されていなかった部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行う。

請求項２に記載の基板検査装置は、請求項１に記載の基板検査装置であって、位置決めされた基板に対して搭載ヘッドを移動させてその基板上の部品搭載位置に部品を搭載する部品実装機に備えられ、認識カメラは、搭載ヘッドとは独立して移動自在に設けられたカメラヘッドに取り付けられている。

請求項３に記載の基板検査方法は、位置決めされた基板に対して移動自在に設けられた認識カメラにより基板上の部品搭載位置を認識させて、その部品搭載位置に部品を搭載させることができるかどうかの部品搭載前検査を行う基板検査方法であって、再投入時モード設定部により再投入時モードが設定されていないときには、部品搭載の対象となっている全ての部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行い、再投入時モードが設定されているときには、はじめに部品搭載位置を認識カメラに認識させて、その部品搭載位置に部品が搭載されているかどうかの部品有無検査を行い、その結果部品が搭載されていなかった部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行う。

本発明では、再投入時モードが設定されていない通常の基板投入時には部品搭載の対象となっている全ての部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行うが、再投入時モードが設定されている基板の再投入時には、はじめに部品搭載位置を認識カメラに認識させて、その部品搭載位置に部品が搭載されているかどうかの部品有無検査を行い、その結果部品が搭載されていなかった部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行うようになっている。このため、部品が既に搭載されている部品搭載位置に対する不要な部品搭載前検査が行われることがなく、効率よく部品搭載前検査を行うことができる。

また、基板の再投入時における部品有無検査は、認識カメラの視野を部品の有無を検査するのに適した視野（部品搭載位置に部品が搭載されていることを前提とした視野）で行うことになるため、部品が搭載位置に搭載されていない場合には部品搭載位置が認識される（その後部品搭載位置の良否を判定するのに適した視野に切り換えれば部品搭載位置の良否判定を行うことができる）一方、部品搭載位置に部品が搭載されている場合にはその部品が認識されることになるので異常と判断されることはなく、システムエラーが発生するようなこともない。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機の斜視図、図２は本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機の平面図、図３は本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機の制御系統を示すブロック図、図４は本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機により部品実装がなされる基板の一例の平面図、図５及び図６は本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機が実行する部品実装手順の流れを示すフローチャートである。

図１及び図２において、基板検査装置付き部品実装機１はスクリーン印刷機、部品実装機、検査機及びリフロー炉等から成る実装ラインを構成するひとつの装置（部品実装機）として機能するものである。

この基板検査装置付き部品実装機１（以下、単に部品実装機１と称する）は、カバー部材２の内部の基台３上に基板Ｂを一定の水平方向（Ｘ軸方向）に搬送し、かつ位置決めを行う基板搬送部としての搬送コンベア４を備えており、搬送コンベア４の上方には搬送コンベア４による基板Ｂの搬送方向（Ｘ軸方向）と水平に直交する方向（Ｙ軸方向）に延びたＹ軸テーブル５が設けられている。Ｙ軸テーブル５には２つのＹ軸スライダ６がＹ軸テーブル５に沿って（すなわちＹ軸方向に）移動自在に設けられており、各Ｙ軸スライダ６にはＸ軸方向に延びたＸ軸テーブル７の一端が取り付けられている。各Ｘ軸テーブル７にはＸ軸テーブル７に沿って（すなわちＸ軸方向に）移動自在な移動ステージ８が設けられている。これら２つの移動ステージ８の一方には複数の吸着ノズル９を備えた搭載ヘッド１０が設けられており、他方の移動ステージ８には視野を下方に向けた認識カメラ１１を備えたカメラヘッド１２が設けられている。

図１及び図２において、搬送コンベア４の搭載ヘッド１０側の側方領域には搭載ヘッド１０に部品Ｐ（図１）を供給する複数の部品供給部（例えばテープフィーダ）１３がＸ軸方向に並んで設けられている。搭載ヘッド１０には撮像面を下方に向けた基板カメラ１４が設けられており、基台３上には撮像面を上方に向けた部品カメラ１５が設けられている。

図３において、部品実装機１には、搬送コンベア４を駆動する搬送コンベア駆動モータ１６ａ、各Ｙ軸スライダ６をＹ軸テーブル５に沿って移動させるＹ軸スライダ移動機構１６ｂ、各移動ステージ８をＸ軸テーブル７に沿って移動させる移動ステージ移動機構１６ｃ及び各吸着ノズル９を個別に昇降及び上下軸（Ｚ軸）回りの回転を行わせ、また各吸着ノズル９に部品Ｐの吸着動作を行わせるノズル駆動機構１６ｄが備えられている。

これら搬送コンベア駆動モータ１６ａ、Ｙ軸スライダ移動機構１６ｂ、移動ステージ移動機構１６ｃ及びノズル駆動機構１６ｄは部品実装機１に備えられた制御装置１７（図３）によって作動制御がなされ、搬送コンベア４による基板Ｂの搬送及び位置決めや、搭載ヘッド１０及びカメラヘッド１２の移動制御並びに各吸着ノズル９の昇降制御等が行われる。ここで、認識カメラ１１（カメラヘッド１２）は搭載ヘッド１０とは独立して移動させることができ、搭載ヘッド１０と同様、搬送コンベア４に位置決めされた基板Ｂに対して移動自在となっている。

認識カメラ１１、基板カメラ１４及び部品カメラ１５は制御装置１７によってその作動制御がなされ、認識カメラ１１、基板カメラ１４及び部品カメラ１５からの撮像結果は制御装置１７に入力される（図３）。また、制御装置１７に繋がる記憶部１８には、各部品供給部１３に収容されている部品Ｐの種類や、各部品Ｐの基板Ｂ上での搭載位置（部品搭載位置Ｌ。図４参照）及び各部品Ｐの基板Ｂへの搭載順序等のデータを含む種々のデータが記憶されている。

図１及び図２において、カバー部材２にはディスプレイ１９及び入力部２０を備えた操作パネル２１が設けられており、この部品実装機１のオペレータはディスプレイ１９に表示される画像を見ながら入力部２０から所要の入力操作を行うことができるようになっている。

また、搬送コンベア４の一端側（基板Ｂの流れの上流側）には、この部品実装機１から一旦搬出された基板Ｂが再投入されるときにオペレータによって操作される再投入スイッチ２２が備えられている（図３参照）。再投入スイッチ２２がオペレータによって操作されると、その操作信号は制御装置１７に入力され（図３）、制御装置１７の作業状態が再投入時モードに設定される。

次に、図５のフローチャートを用いて部品実装機１により部品Ｐを基板Ｂに搭載する部品実装手順の流れについて説明する。ここで示す部品実装機１による部品実装手順の流れは、本発明の一実施の形態における基板検査方法の実行手順を含んだものとなっている。

部品実装機１による部品実装において、制御装置１７は先ず、搬送コンベア４を駆動して上流側の装置から投入（移送）された基板Ｂを部品実装機１内に搬入し（図５におけるステップＳＴ１）、その基板Ｂを所定位置に位置決めする（ステップＳＴ２）。このステップＳＴ２では、制御装置１７は、搭載ヘッド１０を基板Ｂの上方に移動させ、搭載ヘッド１０に設けられた基板カメラ１４に基板Ｂの位置決めマーク（図示せず）の認識（撮像）を行わせて、基板Ｂの基準位置からの位置ずれを求める。

制御装置１７は、ステップＳＴ２が終了したら、部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）を行う。この部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）では、制御装置１７は先ず、現在再投入時モードが設定されているかどうかの判断を行う（ステップＳＴ３）。制御装置１７は、ステップＳＴ３において、現在再投入時モードが設定されていないことを検知したときにはステップＳＴ４に進んで部品搭載前検査工程（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）を行う。この部品搭載前検査工程（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）では、制御装置１７は、基板Ｂ上の部品搭載位置Ｌの上方にカメラヘッド１２を（すなわち認識カメラ１１を）移動させて、その部品搭載位置Ｌの認識を行った後（ステップＳＴ４）、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐを搭載することが可能であるかどうかの判定（良否判定）を行い（ステップＳＴ５）、その判定結果を記憶部１８に記憶する（ステップＳＴ６）。そして、この部品搭載前検査工程（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）の後の判断ステップ（ステップＳＴ７）で、検査対象となっている全ての部品搭載位置Ｌについての検査が終了したかどうかの判断を行い、その結果、検査対象となっている全ての部品搭載位置Ｌについての検査が終了していなかったときにはステップＳＴ３に戻ってまだ検査を行っていない部品搭載位置Ｌについての検査を行い、検査対象となっている全ての部品搭載位置Ｌについての検査が終了していたときにはこの部品搭載前検査プロセスを終了する。

制御装置１７は、ステップＳＴ４における認識では、認識カメラ１１の視野を部品搭載位置Ｌの良否を判定するのに適した視野（部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されていないのを前提とした視野）に設定して行う。また、ステップＳＴ５における良否判定では、具体的には、基板Ｂ上の部品搭載位置Ｌが汚損されていなかどうか、或いは、搭載しようとしている部品Ｐがシールド部品である場合に、そのシールド部品によって覆われる部品（このシールド部品によって覆われる部品は、この部品実装機１の上流側に配置された他の部品実装機によって基板Ｂ上に実装される）が基板Ｂ上の所定の位置に正常に搭載されているかどうか等の判定を行う。

一方、制御装置１７は、ステップＳＴ３において、現在再投入時モードが設定されていることを検知したときには部品有無検査工程（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９）に進むが、このように部品有無検査工程（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９）に進むのは基板Ｂを再投入した場合である（後述）。

制御装置１７は、部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）が終了したら、次の部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）を行う。部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）は、直前の部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）の良否判定ステップ（ステップＳＴ５）で良好判定を行った全ての部品搭載位置Ｌへ部品Ｐを搭載するプロセスである。

この部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）では、制御装置１７は、搭載ヘッド１０を移動させて、部品供給部１３の部品供給口１３ａ（図２）に供給される部品Ｐを搭載ヘッド１０の吸着ノズル９にピックアップ（吸着）させた後（ステップＳＴ１０）、その搭載ヘッド１０を部品カメラ１５の直上に移動させ、部品カメラ１５に部品Ｐの認識（撮像）を行わせて、部品Ｐの吸着ノズル９に対する位置ずれを求めたうえで（ステップＳＴ１１）、その部品Ｐを部品搭載位置Ｌに搭載する（ステップＳＴ１２）という一連の部品搭載工程（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１２）を、ステップＳＴ１２の後の判断ステップ（ステップＳＴ１３）で、部品搭載対象となっている（部品搭載前検査プロセスの良否判定ステップで良好判定を行った）全ての部品搭載位置Ｌについての部品搭載工程（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１２）が終了したことを検知するまで継続する。

この部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）によって、部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）の良否判定ステップ（ステップＳＴ５）で良好判定を行った全ての部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されることになるが、これは、部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）のステップＳＴ５で不良判定がなされた部品搭載位置Ｌ（不良箇所）については部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）がスキップされて、その部品搭載位置Ｌには部品Ｐが搭載されないことを意味する。

制御装置１７は、上記部品搭載工程（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１２）では、ステップＳＴ２で求めた基板Ｂの基準位置からの位置ずれと、ステップＳＴ１１で求めた部品Ｐの吸着ノズル９に対する位置ずれが補正されるようにする。

部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）が終了したら、次の部品搭載後検査プロセス（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７）を行う。部品搭載後検査プロセス（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７）は、上述の部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）で部品Ｐが搭載された全ての部品搭載位置Ｌ（すなわち部品搭載後の基板Ｂ上の部品搭載位置Ｌ）を検査対象として認識カメラ１１によって認識し、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐが正しく搭載されているかどうかの検査を行うプロセスである。

この部品搭載後検査プロセス（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７）では、制御装置１７は、部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）で部品搭載がなされた基板Ｂ上の部品搭載位置Ｌの上方にカメラヘッド１２を（すなわち認識カメラ１１を）移動させて、その部品搭載位置Ｌの認識を行った後（ステップＳＴ１４）、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐが正しく搭載されているかどうかの判定（良否判定）を行い（ステップＳＴ１５）、その判定結果を記憶部１８に記憶する（ステップＳＴ１６）という一連の部品搭載後検査工程（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１６）を、ステップＳＴ１６の後の判断ステップ（ステップＳＴ１７）で、検査対象となっている全ての部品搭載位置Ｌについての部品搭載後検査工程（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１６）が終了したことを検知するまで継続する。

制御装置１７は、ステップＳＴ１４における認識では、認識カメラ１１の視野を部品Ｐの有無を検査するのに適した視野（部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されているのを前提とした視野。通常、部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されていないのを前提とした視野よりも広い）に設定して行うことも可能である。

部品搭載後検査プロセス（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７）が終了したら、制御装置１７は次のステップＳＴ１８に進む。

ステップＳＴ１８では、制御装置１７は、搬送コンベア４上の基板Ｂに対して良否判定を行う。ここでは部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）で不良箇所が認められた（従って部品搭載プロセスで部品Ｐが搭載されなかった）基板Ｂ及び部品搭載後検査プロセス（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７）で不良箇所が認められた基板Ｂを不良基板と判定し、部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）及び部品搭載後検査プロセス（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７）のいずれにおいても不良箇所が認められなかった基板Ｂを良好基板と判定する。なお、このステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７の工程を実行するかどうかは任意であり、必ずしも実行しなくてもよい。また、特定の部品Ｐについてだけ行うようにしてもよい。

制御装置１７は、ステップＳＴ１８が終了したら、不良基板と判定した基板Ｂに対して所要の処理（不良基板処理）を行う（ステップＳＴ１９）。このステップＳＴ１９における不良基板処理には、不良基板に対し、その不良箇所をオペレータが特定して目視検査できるようなマーキングを施す処理が含まれる。

制御装置１７はこのステップＳＴ１９が終了したら、搬送コンベア４により基板Ｂを部品実装機１の下流側の装置に排出する（図１及び図２中に示す矢印Ａ。ステップＳＴ２０）。これにより部品実装機１による一連の部品実装工程が終了する。

ここで、ステップＳＴ２０において部品実装機１から基板Ｂが搬出された後、その基板Ｂに付されたマークからその基板Ｂが不良基板であること及びその不良箇所を認識したオペレータがその基板Ｂを取り上げて不良箇所を修繕したときは、オペレータはその基板Ｂを部品実装機１に再投入することができる。基板Ｂの再投入は、オペレータがその基板Ｂを搬送コンベア４の上流側に投入することによって行うが、オペレータはその基板Ｂの再投入の際、再投入スイッチ２２を操作して制御装置１７の作業状態を再投入時モードに設定する。

基板Ｂが搬送コンベア４に投入されると、制御装置１７は前述の部品実装工程をステップＳＴ１から実行するが、部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）のステップＳＴ３において、現在再投入時モードが設定された状態であると判断するので、部品有無検査工程（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９）に進む。

制御装置１７は、部品有無検査工程（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９）では、基板Ｂ上の部品搭載位置Ｌの上方にカメラヘッド１２を（すなわち認識カメラ１１を）移動させて、その部品搭載位置Ｌの認識を行い（ステップＳＴ８）、次いで、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐが既に搭載されているかどうかの判定（部品有無判定）を行う（ステップＳＴ９）。

制御装置１７は、上記ステップＳＴ８における認識では、認識カメラ１１の視野を部品Ｐの有無を検査するのに適した視野（部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されているのを前提とした視野）に設定して行うことも可能である。

制御装置１７は、ステップＳＴ９において部品Ｐが搭載されていないと判断した部品搭載位置Ｌを検査対象として記憶部１８に記憶するとともに、その検査対象として記憶した部品搭載位置Ｌに対して前述の部品搭載前検査工程（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）を行ってステップＳＴ７に進む。一方、制御装置１７は、ステップＳＴ９において部品Ｐが搭載されていると判断した部品搭載位置Ｌを検査対象外として記憶部１８に記憶するとともに、その検査対象外として記憶した部品搭載位置Ｌに対しては、部品搭載前検査工程（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）をスキップしてステップＳＴ７に進む。

ステップＳＴ７では、検査対象となっている全ての部品搭載位置Ｌについての検査が終了するまでステップＳＴ３に戻ることになるので、再投入された基板Ｂの全ての部品搭載位置Ｌについて部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）が実行されることとなり、部品Ｐが搭載されていない部品搭載位置Ｌについては、部品搭載前検査工程（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）が行われる。

このように、本実施の形態における部品実装機１では、再投入時モードが設定されているときには、はじめに部品搭載位置Ｌを認識カメラ１１に認識させて、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されているかどうかの部品有無検査工程（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９）を行い、その結果部品Ｐが搭載されていなかった部品搭載位置Ｌに対して部品搭載前検査工程（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）を行う。

制御装置１７は、再投入された基板Ｂについて、全ての部品搭載位置Ｌを対象とした部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）が終了したら、次いで、その部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）の良否判定ステップ（ステップＳＴ５）で良好判定を行った部品搭載位置Ｌに対して前述の部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）を行う。

制御装置１７は、部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）が終了したら、部品搭載後検査プロセス（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７）を行う。ここでは、直前の部品搭載プロセス（ステップＳＴ１０〜ステップＳＴ１３）で部品搭載が行われた全ての部品搭載位置Ｌ（ステップＳＴ９で検査対象として記憶部１８に記憶した部品搭載位置Ｌ）を対象として部品搭載後検査工程（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１６）を行う。なお、ここでもステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７の工程を実行するかどうかは任意である。

部品搭載後検査プロセス（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７）が終了したら、再投入された基板Ｂに対する良否判定（ステップＳＴ１８）及び不良基板と判定した基板Ｂに対しての所要の処理（ステップＳＴ１９）を行って、基板Ｂを排出する（ステップＳＴ２０）。基板Ｂを排出したら、制御装置１７は、それまで設定されていた再投入モードを解除する。

これまでの説明から分かるように、本実施の形態における部品実装機（基板検査装置付き部品実装機）１は、搬送コンベア４により位置決めされた基板Ｂに対して移動自在な認識カメラ１１、認識カメラ１１により基板Ｂ上の部品搭載位置Ｌを認識させて、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐを搭載させることができるかどうかの部品搭載前検査（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６の部品搭載前検査工程）を行う検査実行部としての制御装置１７及び制御装置１７を再投入時モードに設定する再投入時モード設定部としての再投入スイッチ２２を備えて本発明の一実施の形態における基板検査装置を構成しており、制御装置１７は再投入スイッチ２２の操作により再投入時モードが設定されていないときには、部品搭載の対象となっている全ての部品搭載位置Ｌに対して部品搭載前検査（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６の部品搭載前検査工程）を行い、再投入スイッチ２２の操作により再投入時モードが設定されているときには、はじめに部品搭載位置Ｌを認識カメラに認識させて、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されているかどうかの部品有無検査（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９の部品有無検査工程）を行い、その結果部品Ｐが搭載されていなかった部品搭載位置Ｌに対して部品搭載前検査（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６の部品搭載前検査工程）を行うようになっている。

また、本実施の形態における基板検査方法は、位置決めされた基板Ｂに対して移動自在に設けられた認識カメラ１１により基板Ｂ上の部品搭載位置Ｌを認識させて、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐを搭載させることができるかどうかの部品搭載前検査を行うものであって、再投入スイッチ２２の操作により再投入時モードが設定されていないときには、はじめに部品搭載の対象となっている全ての部品搭載位置Ｌに対して部品搭載前検査（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６の部品搭載前検査工程）を行い、再投入時モードが設定されているときには、部品搭載位置Ｌを認識カメラ１１に認識させて、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されているかどうかの部品有無検査（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９の部品有無検査工程）を行い、その結果部品Ｐが搭載されていなかった部品搭載位置Ｌに対して部品搭載前検査（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６の部品搭載前検査工程）を行うようになっている。

このように本実施の形態における基板検査装置（基板検査方法）では、再投入時モードが設定されていない通常の基板投入時には部品搭載の対象となっている全ての部品搭載位置Ｌに対して部品搭載前検査（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６の部品搭載前検査工程）を行うが、再投入時モードが設定されている基板Ｂの再投入時には、はじめに部品搭載位置Ｌを認識カメラ１１に認識させて、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されているかどうかの部品有無検査（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９の部品有無検査工程）を行い、その結果部品Ｐが搭載されていなかった部品搭載位置Ｌに対して部品搭載前検査（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６の部品搭載前検査工程）を行うようになっている。このため、部品Ｐが既に搭載されている部品搭載位置Ｌに対する不要な部品搭載前検査が行われることがなく、効率よく部品搭載前検査を行うことができる。

また、基板Ｂの再投入時における部品有無検査（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９の部品有無検査工程）は、認識カメラ１１の視野を部品Ｐの有無を検査するのに適した視野（部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されていることを前提とした視野）で行うことになるため、部品Ｐが部品搭載位置に搭載されていない場合には部品搭載位置Ｌが認識される（その後部品搭載位置Ｌの良否を判定するのに適した視野に切り換えれば部品搭載位置Ｌの良否判定を行うことができる）一方、部品搭載位置Ｌに部品Ｐが搭載されている場合にはその部品Ｐが認識されることになるので異常と判断されることはなく、システムエラーが発生するようなこともない。

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に限定されない。例えば、上述の実施の形態では、部品有無検査工程（ステップＳＴ８及びステップＳＴ９）を全部品Ｐに対して行うためのループが部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）のループを利用した構成となっていたが、このような構成ではなく、図６のフローチャートのように、部品搭載位置Ｌの認識を行った後（ステップＳＴ８ａ）、その部品搭載位置Ｌに部品Ｐが既に搭載されているかどうかの判定（部品有無判定）を行い（ステップＳＴ９ａ）、その判定結果を記憶部１８に記憶する（ステップＳＴ９ｂ）という一連の工程（ステップＳＴ８ａ〜ステップＳＴ９ｂ）を、ステップＳＴ９ｂの後の判断ステップ（ステップＳＴ９ｃ）で、基板Ｂ上の全ての部品搭載位置Ｌについての上記工程（ステップＳＴ８ａ〜ステップＳＴ９ｂ）が終了したことを検知するまで継続する部品有無検査プロセス（ステップＳＴ８ａ〜ステップＳＴ９ｃ）を行うようにしてもよい。この場合、次の部品搭載前検査プロセス（ステップＳＴ３〜ステップＳＴ９）では、上記部品有無検査プロセス（ステップＳＴ８ａ〜ステップＳＴ９ｃ）において部品Ｐが搭載されていないと判定した部品搭載位置Ｌのみを検査対象として部品搭載前検査工程（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）を行うようにすればよい。なお、図６のフローチャートにおいて、図５のフローチャートと同じ符号を付したステップの内容は、図５のフローチャートの場合と同じである。

また、上述の実施の形態では、認識カメラ１１が、部品実装機１に搭載ヘッド１０とは独立して移動自在に設けられたカメラヘッド１２に取り付けられており、基板検査装置は部品実装機１と一体に（部品実装機１の一部として）構成されたものとなっていたが、基板検査装置は必ずしも部品実装機１と一体に構成されていなければならないわけではなく、部品実装機１とは別個の装置として部品実装機１の上流側に設置されるのであってもよい。しかし、上述の実施の形態のように、基板検査装置が部品実装機１と一体に構成されているのであれば、部品実装ラインにおける装置の台数を減らすことができるので、大幅なコストダウンを図ることができ、また、搭載前検査（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）を行った後、基板Ｂを移送させることなく、そのまま部品Ｐの搭載を行うことができるので、極めて正確な部品搭載を行うことができるという利点がある。更に、上述したように、部品搭載後検査プロセス（ステップＳＴ１４〜ステップＳＴ１７）も行うことができるので、その分、更に部品実装ラインにおける装置の台数を減らすことができる。

基板が再投入された場合に効率よく部品搭載前検査を行うことができ、システムエラーの発生も防止することができる基板検査装置及び基板検査方法を提供する。

本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機の斜視図本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機の平面図本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機の制御系統を示すブロック図本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機により部品実装がなされる基板の一例の平面図本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機が実行する部品実装手順の流れを示すフローチャート本発明の一実施の形態における基板検査装置付き部品実装機が実行する部品実装手順の流れを示すフローチャート

符号の説明

１基板検査装置付き部品実装機（基板検査装置、部品実装機）
１０搭載ヘッド
１１認識カメラ
１２カメラヘッド
１７制御装置（検査実行部）
２２再投入スイッチ（再投入時モード設定部）
Ｂ基板
Ｌ部品搭載位置
Ｐ部品

Claims

位置決めされた基板に対して移動自在に設けられた認識カメラと、認識カメラにより基板上の部品搭載位置を認識させて、その部品搭載位置に部品を搭載させることができるかどうかの部品搭載前検査を行う検査実行部とを有した基板検査装置であって、検査実行部を再投入時モードに設定する再投入時モード設定部を備え、検査実行部は、再投入時モード設定部により再投入時モードが設定されていないときには、部品搭載の対象となっている全ての部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行い、再投入時モード設定部により再投入時モードが設定されているときには、はじめに部品搭載位置を認識カメラに認識させて、その部品搭載位置に部品が搭載されているかどうかの部品有無検査を行い、その結果部品が搭載されていなかった部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行うことを特徴とする基板検査装置。
位置決めされた基板に対して搭載ヘッドを移動させてその基板上の部品搭載位置に部品を搭載する部品実装機に備えられ、認識カメラは、搭載ヘッドとは独立して移動自在に設けられたカメラヘッドに取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
位置決めされた基板に対して移動自在に設けられた認識カメラにより基板上の部品搭載位置を認識させて、その部品搭載位置に部品を搭載させることができるかどうかの部品搭載前検査を行う基板検査方法であって、再投入時モード設定部により再投入時モードが設定されていないときには、部品搭載の対象となっている全ての部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行い、再投入時モードが設定されているときには、はじめに部品搭載位置を認識カメラに認識させて、その部品搭載位置に部品が搭載されているかどうかの部品有無検査を行い、その結果部品が搭載されていなかった部品搭載位置に対して部品搭載前検査を行うことを特徴とする基板検査方法。