JP4628602B2 - ロボットアーム - Google Patents
ロボットアーム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4628602B2 JP4628602B2 JP2001222488A JP2001222488A JP4628602B2 JP 4628602 B2 JP4628602 B2 JP 4628602B2 JP 2001222488 A JP2001222488 A JP 2001222488A JP 2001222488 A JP2001222488 A JP 2001222488A JP 4628602 B2 JP4628602 B2 JP 4628602B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- link
- rotation
- arms
- posture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
- Y10T74/20317—Robotic arm including electric motor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
- Y10T74/20329—Joint between elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Automobile Manufacture Line, Endless Track Vehicle, Trailer (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、相対的な角度（挟角）を変化させる一対のアームを備えたロボットアームおよびそれを備えたロボットに関し、特に駆動アームの先端側に従動側アームを装着する場合に好適なロボットアームに係る。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハや精密部品等のワーク（被処理物）をその製造工程に従って移送したり、所定の作業台上にローディングしたりする場合、その搬送用ロボットには、屈曲により伸縮動作をするようなロボットアームが多用されている。
【０００３】
この種のロボットアームとしては、例えば特許第２８０８８２６号公報や特開平１０−１５６７７０号公報等に記載されるように、平行な複数のリンクで構成したロボットアームの関節部に、これらハンド側の複数のリンクを互いに平行姿勢に保ちつつ同期回転させる歯車を設けて、ハンドを前後に直線的に移動させるようにしたものがある。
【０００４】
特許第２８０８８２６号公報に記載されたものでは、伸縮する一対の屈曲式の移し換えアームをそれぞれ２組の平行リンクと関節部の同期歯車機構とで構成するとともに、両移し換えアームの基端部を旋回台に支持させており、この旋回台に一対の移し換えアームを伸縮駆動するための２組のモータ、カップリングおよび伝動軸などが設けられている。また、旋回台の外周には歯車が形成されており、これに噛合する歯車を介し、旋回台に隣接する旋回用駆動モータによって旋回駆動されるようになっている。
【０００５】
また、特開平１０−１５６７７０号公報に記載されたものでは、駆動側平行リンク機構に同期歯車を有する関節を介して従動側平行リンクを装着して、それぞれ出没動作する一対のロボットアームを構成しており、両アームの駆動側平行リンク機構と駆動用モータとの間に、両アームの駆動回転角がアーム突出時には大きく、アーム没入時には小さくなるよう、すなわち、トランスファチャンバに接近する後退時の移動量を抑えるように、モータ回転角に対し回転伝達量が変化する伝達リンク機構が設けられている。
【０００６】
さらに、特公平７−７３８３３号公報に記載されるいわゆるフロッグ-レッグ型のように、左右の屈曲アームの先端側アーム部分に同期歯車機構を設けるとともに両アームに跨がるキャリアハンドを装着し、両屈曲アームの基端側アーム部分を同期させながら伸縮駆動するものも知られている。このものでは、基端側のアーム部分に対し、前記先端側アーム部分とキャリアハンドが逆向きに２組装着され、キャリアハンドの一方が前に進むと他方がこれと同方向に移動しながら後退するというように、逆向きの一対のキャリアハンドによって逆位相の動作がなされるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、平行リンクおよび同期歯車機構を備えた従来のロボットアームにあっては、特許第２８０８８２６号公報に記載されたもののように、２つの移し換えアームを伸縮および旋回させるために、３つもの駆動モータが必要となり、搬送ロボットが大型化するばかりか、コスト高になるという問題があった。
【０００８】
特開平１０−１５６７７０号公報に記載のものでは、駆動モータが２つで済むものの、支持台が無限旋回できないという問題があった。また、駆動モータを旋回台に収納する構成であることから、支持台を無限旋回させるためにはモータの電気配線接続のためにブラシリングのような機構が必要となり、構成が複雑にならざるを得なかった。
【０００９】
一方、特公平７−７３８３３号公報に記載のものでは、没入する搬送台は中央の回転軸線に接近し得るが、中央の回転軸線を越えることができないため、搬送ロボットが旋回する場合の最外周の半径を小さくすることができないという問題があった。
【００１０】
そこで本発明は、２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームを提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、同軸配置された第１および第２の駆動軸に、基端部がそれぞれ連結された第１および第２のアームと、第１および第２のアームの先端部に、回動可能にそれぞれ連結された第１および第２の回動出力部材と、第１のアームと第１の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第１のアームに平行な第１の姿勢保持リンクを有し、第１のアームに対する第１の回動出力部材の回動姿勢を制御する第１の姿勢制御部、および、第２のアームと第２の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第２のアームに平行な第２の姿勢保持リンクを有し、第２のアームに対する第２の回動出力部材の回動姿勢を制御する第２の姿勢制御部を有する姿勢制御機構と、一端側で第１のアームに回動可能に連結され、他端側で第１の姿勢保持リンクに回動可能に連結されたリンクよりなるクランク部と、一端側で前記クランク部の一端に一体に連結されて第１のアームに回動可能に連結されたリンク部とを有するてこ部材、および、一端側で前記リンク部の他端に回動可能に連結され、他端側で第２のアームに回動可能に連結された連結リンクを有し、第２のアームの回動操作を第１のアームに伝達する操作機構とを備えることを特徴とするロボットアームである。
【００１２】
このロボットアームでは、第１および第２のアームが相対的に回動すると、姿勢制御機構が操作され、第１および第２のアームに対する第１および第２の回動出力部材の回動姿勢が制御される。また、両アームの同方向および同速度の回動により、ロボットアーム全体が旋回する。
【００１３】
この構成では、第１および第２のアームの駆動モータを旋回台に支持させたり、旋回台を旋回させるモータを別に設けたりする必要がなく、２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームとなる。
【００１７】
前記てこ部材のクランク部が第１のアームに回動可能に連結された連結点を、第１の駆動軸の回動中心から所定半径の位置に配置するのが好ましい。この構成では、第１および第２のアームの回動半径の範囲内に、てこ部材および連結リンクを容易に配置できる。
【００１８】
前記てこ部材のリンク部の長さと前記連結リンクの長さとの和が、第１の駆動軸の回動中心から前記てこ部材のクランク部が第１のアームに回動可能に連結された連結点までの半径方向距離と、第２の駆動軸の回動中心から前記連結リンクが第２のアームに回動可能に連結された連結点までの半径方向距離との和よりも大きくなるように設定するのが好ましい。
【００１９】
この構成により、思案点を生じさせることなく、第１および第２の回動出力部材の安定した姿勢制御を行うことができる。
【００２０】
また、本発明は、同軸配置された第１および第２の駆動軸に、基端部がそれぞれ連結された第１および第２のアームと、第１および第２のアームの先端部に、回動可能にそれぞれ連結された第１および第２の回動出力部材と、第１のアームと第１の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第１のアームに平行な第１の姿勢保持リンクを有し、第１のアームに対する第１の回動出力部材の回動姿勢を制御する第１の姿勢制御部、および、第２のアームと第２の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第２のアームに平行な第２の姿勢保持リンクを有し、第２のアームに対する第２の回動出力部材の回動姿勢を制御する第２の姿勢制御部を有する姿勢制御機構と、第１又は第２の駆動軸に回動自在に同軸支持された支持部と、一端側で前記支持部に連結され、他端側で第１および第２の姿勢保持リンクにそれぞれ回動可能に連結されたクランク部と、一端側で前記支持部に連結されたリンク部とを有するてこ部材、および、一端側で前記リンク部の他端に回動可能に連結され、他端側で第２又は第１のアームに回動可能に連結された連結リンクを有し、第２のアームの回動操作を第１のアームに、又は第１のアームの回動操作を第２のアームに伝達する操作機構とを備えることを特徴とするロボットアームである。このようにすると、第１および第２のアームの間において、一方のアームにおける回転操作がてこ部材を介して他方のアームにも伝達されることになり、第１および第２のアームの間における操作機構がきわめて簡素に構成されることとなる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２４】
（第１実施形態）
図１〜図４は本発明に係るロボットアームおよびロボットの第１実施形態を示す図であり、本発明を半導体ウエハ等のハンドリング用ロボットに適用した例を示している。
【００２５】
これらの図に示すように、本実施形態のロボット１０は、図中左右に位置するアーム１１、１２を有している。両アーム１１、１２の先端部には一対のハンド１３Ｌ、１３Ｒが装着されており、これらハンド１３Ｌ、１３Ｒは、搬送対象物（ワーク）である半導体ウエハ等をハンドリング可能なように、例えばそのワークの被把持部形状に対応する凹部１３ａを有している。なお、ここでハンドとは、把持のみならず、載置台のようなものをも含み、ハンドの作業内容に応じて公知の各種タイプのものを任意に使用できる（以下の実施例についても同様である）。ハンド１３Ｌ、１３Ｒが同一形状でも異なる形状でもよいことはいうまでもない。
【００２６】
アーム１１、１２は、同軸配置された２軸の駆動軸２１、２２に連結された基端部を有し、これら駆動軸２１、２２によって回動可能に支持されている。また、これら駆動軸２１、２２を介して、アーム１１、１２は図示しないそれぞれの駆動モータにより、互いに独立して駆動される。
【００２７】
また、アーム１１、１２の先端側には一対の回動出力部材１４Ａ、１４Ｂが回動可能に支持されており、アーム１１、１２の基端側には駆動軸２１、２２と同軸な連結軸１５が設けられている。そして、一対の回動出力部材１４Ａ、１４Ｂのうち片方の回動出力部材１４Ａは、片方の姿勢保持リンク１６Ａを介して、連結軸１５に一体結合された中間支点リンク１７の一端部１７ａに、残りの片方の回動出力部材１４Ｂは残りの片方の姿勢保持リンク１６Ｂを介して中間支点リンク１７の他端部１７ｂに、それぞれ連結されている。
【００２８】
前記アーム１１、１２、ハンド１３Ｌ、１３Ｒ、回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよび中間支点リンク１７は、中間支点リンク１７の一端側（連結軸１５の中心から姿勢保持リンク１６Ａとの連結点まで）を一辺とする平行四辺形をなす片方の姿勢制御部３１と、中間支点リンク１７の他端側（連結軸１５の中心から姿勢保持リンク１６Ｂとの連結点まで）を一辺とする平行四辺形をなす残りの片方の姿勢制御部３２とを構成しており、これら双方の姿勢制御部３１、３２によって、両回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよびハンド１３Ｌ、１３Ｒのアーム１１、１２に対する回動姿勢を制御する姿勢制御機構３０が構成されている。
【００２９】
この姿勢制御機構３０は、てこ部材４１および連結リンク４２からなる操作機構４０によって操作される。操作機構４０のてこ部材４１は、アーム１２（一方のアーム）に回動可能に支持されたクランク部４１ａと、一端側でこのクランク部４１ａに一体に連結されてアーム１２に回動可能に支持されたリンク部４１ｂとを有するベルクランク状となっており、リンク部４１ｂはその他端側でクランク部４１ａの回動中心から所定回動半径の節点４１ｃを形成している。また、操作機構４０の連結リンク４２は、てこ部材４１のリンク部４１ｂをアーム１１に回動可能に連結するものである。
【００３０】
ここで、てこ部材４１のリンク部４１ｂの長さと連結リンク４２の長さとの和は、アーム１２の回動中心からてこ部材４１のクランク部４１ａが支持された支持点までの半径方向距離Ｌｂと、アーム１１の回動中心から連結リンク４２が支持された支持点までの半径方向距離Ｌａとの和よりも大きくなっており、思案点が生じない機構、すなわち、操作機構４０による操作範囲で、てこ部材４１のリンク部４１ｂ、連結リンク４２およびアーム１１、１２が一直線状に重なり、姿勢が不安定となる状態が生じない機構となっている。
【００３１】
また、てこ部材４１は一対の姿勢制御部３１、３２のうち片方の姿勢制御部３２を操作するが、本実施形態の姿勢保持リンク１６Ｂはてこ部材４１のクランク部４１ａの先端に回動可能に連結された一対のリンク２３、２４からなり、クランク部４１ａと連動する一対の平行クランク機構を形成している。また、この片方の姿勢制御部３２へのてこ部材４１の回動操作は、中間支点リンク１７によって、一対の姿勢制御部３１、３２のうち残りの姿勢制御部３１に伝達されるようになっており、中間支点リンク１７は操作伝達機構を構成している。
【００３２】
図２に示すように、アーム１１、１２、中間支点リンク１７、てこ部材４１のリンク部４１ｂおよび連結リンク４２は、相互の回動が干渉しないように、これらを駆動軸２１、２２の軸方向に適宜ずらしたり、複数の回動部材を同一回動中心で結合したりして構成されている。
【００３３】
次に、その動作について説明する。
【００３４】
このように構成された本実施形態のロボットにおいては、一対のアーム１１、１２が独立して駆動されながら相対的に回動する。具体的には、例えばアーム１１、１２が図３に示す回動位置から図１に示すような回動位置に回動する場合、駆動軸２２によって一方のハンド１３Ｒを伸張させるためにアーム１２が回転方向一方側（この場合、図３中で左回転）に駆動されるとともに、アーム１１が回転方向他方側（この場合、図３中で右回転）に駆動される。
【００３５】
このような動作状態においては、アーム１１、１２の回動に応じ、てこ部材４１と連結リンク４２が両アーム１１、１２に対して回動するが、てこ部材４１のクランク部４１ａと回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよび中間支点リンク１７との回動姿勢が常時平行に保たれることから、一対の回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよびハンド１３Ｌ、１３Ｒの回動姿勢は、常時互いに平行に保たれる。すなわち、アーム１１、１２のなす角度（挟角）の変化により、てこ部材４１がアーム１２に対して回動すると、姿勢制御機構３０の片方の姿勢制御部３２がてこ部材４１によって操作されるが、これと同時に、その姿勢制御部３２への回動操作が、姿勢制御部３２の一部を構成する中間支点リンク１７の他端部１７ｂから、操作伝達機構である中間支点リンク１７を介して、他の片方の姿勢制御部３１にも伝達される。したがって、片方の姿勢制御部３２において、てこ部材４１のクランク部４１ａと回動出力部材１４Ｂおよび中間支点リンク１７の他端部１７ｂとの回動姿勢が常時平行に保たれるのと同時に、他の片方の姿勢制御部３１において、中間支点リンク１７の一端部１７ａと回動出力部材１４Ａとの回動姿勢が常時てこ部材４１のクランク部４１ａに対し平行に保たれることになる。
【００３６】
また、このような動作状態においては、駆動軸２２によるアーム１２の回動角をθとし、駆動軸２１によるアーム１１の回動角をφとすると、回動出力部材１４Ａ、１４Ｂ等の回動姿勢を保ち得るように、回転角φが回転角θより小さい角度に制御される。具体的には、このφの値は回転角θに対して所定の計算式で計算された値となり、図４に示すようなグラフで表されるが、その回転角φのデータを予めデータテーブルとしてメモリに記憶させておくこともできる。
【００３７】
このようにして、図３に示すような動作開始位置への復帰状態から図１に示すような搬送状態へと動作するときには、前進する側のハンド１３Ｒは大きく前進動作するが、後退するハンド１３Ｌ側の引き戻しの動作量は小さく抑えられる。したがって、狭い作業空間内においても、所要のワーク搬送動作を行うことができる。また、図３に示すような動作開始位置への復帰状態から、図１とは逆の動作をするときには、前進する側のハンド１３Ｌは大きく前進動作するが、後退するハンド１３Ｒ側の引き戻しの動作量は同様に小さく抑えられる。
【００３８】
一方、アーム１１、１２が、駆動軸２１、２２によって駆動され、同方向に同速度で回動すると、アーム１１、１２を含む可動部分全体が、駆動軸２１、２２の回動中心軸線回りに旋回する。このとき、アーム１１、１２は相対的に回動しないので、姿勢制御機構３０の姿勢制御部３２へのてこ部材４１からの回転操作はなされない。したがって、両アーム１１、１２に対する一対の回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよびハンド１３Ｌ、１３Ｒの回動姿勢が保持されることになる。
【００３９】
このような本実施形態のロボットでは、全体の旋回動作のためにアーム１１、１２の駆動モータを従来のように旋回台に支持させたり、その旋回台を旋回させたりする必要がなくなり、しかも、アーム１１、１２を駆動軸２１、２２の軸回りに無限に旋回させることができる。
【００４０】
また、本実施形態は、簡素なロボットアーム１１、１２の間にてこ部材４１と連結リンク４２からなる非常に簡素な操作機構４０を構成して、２軸駆動としながらも、ハンド側の姿勢制御と全体の無限旋回を両立させているので、構成がきわめて簡素なロボットとなる。
【００４１】
さらに、本実施形態においては、てこ部材４１のリンク部４１ｂの長さと連結リンク４２の長さとの和が、アーム１２の回動中心からてこ部材４１のクランク部４１ａの支持点までの半径方向距離Ｌｂと、アーム１１の回動中心から連結リンク４２の支持点までの半径方向距離Ｌａとの和よりも大きいので、思案点が生じることがなく、回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよびハンド１３Ｌ、１３Ｒの安定した姿勢制御を行うことができる。
【００４２】
（第２実施形態）
図５〜図９は本発明に係るロボットアームおよびロボットの第２実施形態を示す図であり、本発明を伸縮可能なロボットアームを用いた半導体ウエハ等のハンドリングロボットに適用した例を示している。
【００４３】
なお、本実施形態のロボットは、上述した第１実施形態の姿勢制御機構３０、操作機構４０および操作伝達機構を有しているので、これらに関しては図１〜３と同様の符号を付し、第１実施形態と相違する構成について説明する。
【００４４】
図５〜図７に示すように、本実施形態のハンドリングロボットは、それぞれ関節部５１ａ、５２ａにおいて逆方向に「く」の字形状に屈曲するアーム形状をなし、その屈曲形状の変化により伸縮する平行リンク機構からなる伸縮アーム５１、５２を備えており、更に、両アーム５１、５２の先端部に装着された所定形状のハンド５３Ａ、５３Ｂと、伸縮アーム５１、５２を駆動する２軸の駆動軸２１、２２と、を備えている。
【００４５】
平行リンクで構成された伸縮アーム５１、５２の関節構造やアーム構造は従来の構成と共通するものであってもよいので、ここでは詳述はしないが、伸縮アーム５１、５２は共に、一方の駆動軸２１で駆動されるアーム部分１１と、このアーム部分１１に対する片方の回動出力部材１４Ａの回動に従動する一方の従動側アーム６１と、他方の駆動軸２２で駆動されるアーム部分１２と、このアーム部分１２に対する残りの片方の回動出力部材１４Ｂの回動に従動する他方の従動側アーム６２とを備えており、両アーム５１、５２の回動によって伸縮するロボットアームが構成されている。
【００４６】
また、従動側アーム６１、６２の先端側には、リンク５４Ａ、５４Ｂを介してハンド５３Ａ、５３Ｂが装着されており、ハンド５３Ａ、５３Ｂは、所定のワークＷをハンドリング可能な形状、例えばワークＷの被把持部形状に対応するＵ字形で、凹部を有している。さらに、図７に示すような作動開始位置への復帰状態において、駆動軸２１、２２上にリンク５４Ａ、５４Ｂが重ならないように構成されている。
【００４７】
アーム５１、５２の関節部には、基端側と先端側のアームを連動させる同期回転機構が装着されている。この同期回転機構は公知の同期歯車やタイミングプーリ等であってもよいが、例えば図８に示すように、回動出力部材１４Ａに一体に連結する第１リンク７１ａおよびこれと同一長さの第１リンク７１ｂを、これらより長い第２リンク７２ａの両端部に連結し、両第１リンク７１ａ、７１ｂを第２リンク７２ａと交差する連結用の第２リンク７２ｂで連結して構成された一方の両クランク機構７０を具備している。この一方の両クランク機構７０は、第２リンク７２ａに対し、一対の第１リンク７１ａ、７１ｂを互いに逆方向に連動して回動させるようになっている。
【００４８】
また、第１リンク７１ａの一端部に揺動自在に連結された一対の第３リンク７３ａ、７３ｂのうち、一方の第３リンク７３ａを第２リンク７２ａと一体に、他方の第３リンク７３ｂを一方の従動側アーム６１の片側のリンク６１ａと一体に結合して、更に第３リンク７３ａ、７３ｂ同士を第４リンク７４で連結することで、一方のクランク機構７０と相似形状をとり得る他方の両クランク機構８０が構成されている。この両クランク機構８０は、第１リンク７１ａに対して、第２リンク７２ａの一部である第３リンク７３ａと第３リンク７３ｂとを互いに逆方向に連動して回動させるようになっている。この他方のクランク機構８０は、図８から明らかなように、一部のリンク間の挟角αを形成する構成要素（リンク）が一方のクランク機構７０と共通している。
【００４９】
すなわち、両クランク機構７０、８０は、リンク７２ａと一つのリンク間挟角αが等しい二つの三角形状をなし、逆クランクとして作用する四節リンク機構となっており、これによってアーム５１、５２に対する回動出力部材１４Ａ、１４Ｂの回動に連動して従動側アーム６１、６２が回動できるようになっている。
【００５０】
本実施形態においては、駆動軸２１、２２（駆動手段）によって駆動されるアーム５１、５２の先端側に回動出力部材１４Ａ、１４Ｂに従動する従動側アーム６１、６２が装着され、屈曲によって伸縮するロボットアームが構成され、構成の簡素な２軸駆動のロボットが実現できる。
【００５１】
その他の作用効果は、上述の実施形態と同様である。
【００５２】
（第３実施形態）
図１０は本発明に係るロボットアームの第３実施形態を示す図である。
【００５３】
なお、本実施形態のロボットは、上述した第１実施形態における操作伝達機構に代えて、第１実施形態の操作機構４０と同様な操作機構４０Ａ、４０Ｂを一対のアーム１１、１２を挟んで左右逆の向きに装着し、操作機構４０Ａ、４０Ｂが全体として平行四辺形をなす４節リンク機構を構成するようにしたものである。
【００５４】
すなわち、操作機構４０Ａのてこ部材４１による片方の姿勢制御部３２への回動操作と同様の操作を、操作機構４０Ａとは左右の向きが異なる操作機構４０Ｂによって、残りの片方の姿勢制御部３１にも加えるようにして、左右一対のクランク部４１ａが絶えず平行になるようにしている。
【００５５】
このようにしても、上述の実施形態と同様な効果が期待できる。
【００５６】
（第４実施形態）
図１１は本発明に係るロボットアームの第４実施形態を示す図である。
【００５７】
なお、本実施形態のロボットは、上述した第３実施形態の操作機構４０Ａ、４０Ｂの連結リンク４２とアーム１１、１２とは異なる支持部９１ａ、９２ａを有するアーム９１、９２に支持させ、両アーム９１、９２のなす角度や可動範囲を支持部９１ａ、９２ａの形状によって適宜変更できるようにしたものである。
【００５８】
このようにしても、上述の実施形態と同様な効果が期待できる。
【００５９】
さらに、本実施形態においては、一対の連結リンク４２のアーム９１、９２への連結点が、一対のてこ部材４１のアーム１１、１２への支持点から離れた支持部９１ａ、９２ａ上になるように、複数のリンク連結点が分散して配置されているので、駆動軸２１、２２付近でアーム１１、１２、てこ部材４１およびリンク４２を多層に配置する必要がなく、構成が簡素となる。
【００６０】
なお、支持部９１ａ、９２ａはアームの長手方向に対し直交するよう突出したものであってもよい。
【００６１】
（第５実施形態）
図１２は本発明に係るロボットアームの第５実施形態を示す図である。
【００６２】
この実施形態は図１０に示した第３実施形態において、ベルクランク状のてこ部材に代えて、そのクランク部をプーリ１４１p（あるいはタイミングギア、他の伝動歯車でもよい）に変更したてこ部材１４１Ａ、１４１Ｂを採用し、それに対応してワイヤ又はベルト１３６Ａ、１３６Ｂ等を用いた姿勢制御機構１３１、１３２を構成したものである。このようにして、スカラー型ロボットにも適用できる。
【００６３】
本実施形態においても、上述の実施形態と同様な効果が期待できる。
【００６４】
なお、上述の各実施形態は２つの駆動軸が同軸配置され、一方および他方のアームの回動中心も駆動軸線と一致するものとしていたが、駆動軸とアームの回動中心をずらして配置することもできる。また、てこ部材のリンク長さと連結リンクの長さの比や、てこ部材のアームへの連結位置は任意である。
【００６５】
（第６実施形態）
図１３〜図１７は本発明に係るロボットアームの第６実施形態を示す図である。
【００６６】
本実施形態のロボットは、姿勢制御機構および操作機構がそれぞれ上述の実施形態とは異なる。
【００６７】
本実施形態においては、図１３および図１４に示すように、てこ部材１４１が、クランク部１４１ａ、リンク部１４１ｂおよびこれらを連結して駆動軸２２に回動自在に支持された支点部１４１ｃで構成され、この支点部１４１ｃの中心（支持点）を一方および他方のアーム１１１、１１２の回動中心位置に配置したものとなっており、そのクランク部１４１ａは両アーム１１１、１１２に支持された一対の姿勢制御部１３１、１３２の平行リンク１３６Ａ、１３６Ｂにそれぞれ連結されている。ここで、アーム１１１、１１２は駆動軸２１、２２によって互いに独立して駆動され、駆動軸２１、２２が相対回転するときてこ部材１４１のリンク部１４１ｂと各アーム１１１、１１２とのなす角度が変化し得るよう、てこ部材１４１が回動操作されるようになっている。なお、図１３は一方のハンド１３Ｌを装着した先端側のアーム１１５Ａおよび基端側のアーム１１１を伸張させた状態を、図１６は他方のハンド１３Ｒを装着した先端側のアーム１１５Ｂおよび基端側のアーム１１２を伸張させた状態を、それぞれ示しており、図１５はハンド１３Ｌ、１３Ｒをホームポジションに位置させた待機状態を示している。
【００６８】
姿勢制御部１３１、１３２は、てこ部材１４１のクランク部１４１ａに連結する平行リンク１３６Ａ、１３６Ｂと、アーム１１１、１１２、てこ部材１４１および回動出力部材１１４とで平行クランク機構を構成したもので、各アーム１１１、１１２に対するてこ部材１４１のクランク部１４１ａの傾きが、各アーム１１１、１１２に対する回動出力部材１１４の傾きと常に同一になるようになっている。また、回動出力部材１１４は、アーム１１１、１１２の先端に固定された姿勢保持用の固定歯車１１３に噛合すると共に先端側のアーム１１５Ａ、１１５Ｂを駆動する可動歯車１１４ａと、可動歯車１１４ａを支持する可動キャリア１１４ｂとを有するもので、そのキャリア１１４ｂは各アーム１１１、１１２の先端に回動可能に支持されている。
【００６９】
てこ部材１４１は姿勢制御部１３１、１３２を操作する一対のてこ部材を一体化したものである。そして、そのてこ部材１４１を操作する操作機構１４０は、アーム１１１、１１２又は駆動軸２１、２２に一体に連結された操作部１１１ａ、１１２ａと、リンク１４２Ａ、１４２ＢおよびＴ字形の連結リンク１４３を含んで構成されており、アーム１１１、１１２がこの操作機構１４０を介してそれぞれてこ部材１４１のリンク部１４１ｂに連結されている。なお、図１３において、１１６Ａ、１１６Ｂは、先端側のアーム１１５Ａ、１１５Ｂに対しそれぞれ平行に配置された平行リンクである。また、本実施形態においては、図１３中の右側のハンド１３Ｒおよびアーム１１５Ｂ、１１６Ｂが左側のハンド１３Ｌおよびアーム１１５Ａ、１１６Ａよりも上側に配置されており、この上下の配置によって、両ハンド１３Ｌ、１３Ｒはホームポジションにおいて上下に重なるようになっている。
【００７０】
本実施形態においては、一対の姿勢制御部１３１、１３２のうち一方の姿勢制御部１３１に連結されたてこ部材１４１を近接する他方のてこ部材と兼用しているので、一方の姿勢制御部１３１への操作入力を他方の姿勢制御部１３２にも容易に伝達でき、両姿勢制御部１３１、１３２の間の操作伝達機構をきわめて簡素に構成することができる。
【００７１】
なお、上述のてこ部材に代えて、てこ部材１４１のクランク部１４１ａを２つのクランク部としたてこ部材を採用することもできる。例えば、図１７に示すように、一方のクランク部１４１ａにリンク１３６Ａが連結され、このクランク部１４１ａに対し角度ψをなす他方のクランク部１４１ｄにリンク１３６Ｂが連結されたものが考えられる。なお、図１７において、支点部１４１ｃは駆動軸２１の外側に両駆動軸２１、２２と同軸に配置されている。
【００７２】
このように構成することにより、アーム１１１、１１２の向き（相対角度）や、２つのハンド１３Ｌ、１３Ｒのそれぞれの姿勢（回動角度）を任意に設定することができる。
【００７３】
（第７実施形態）
図１８〜図２０は本発明に係るロボットアームの第７実施形態を示す図である。なお、図１８は一方のハンド１３Ｌを装着した先端側アーム１１５Ａおよび基端側アーム１１１を伸張させた状態を、図２０は他方のハンド１３Ｒを装着した先端側アーム１１５Ｂおよび基端側アーム１１２を伸張させた状態を、それぞれ示しており、図１９はハンド１３Ｌ、１３Ｒをホームポジションに位置させた待機状態を示している。
【００７４】
本実施形態のロボットは、ロボットアームの基本構成が上述の実施形態とは異なり、駆動軸２１で駆動される基端側アーム１１１は略同長の第１アーム部１１１ｆと第２アーム部１１１ｓとを一直線に配置したものとなっている。ただし、これら基端側の第１アーム部１１１ｆおよび第２アーム部１１１ｓの先端側には、上述の実施形態と同様に、それぞれ姿勢保持用の固定歯車１１３と、この固定歯車１１３に噛合する可動歯車１１４ａを可動キャリア１１４ｂで保持した回動出力部材１１４とが装着されており、可動歯車１１３と一体的に回動するようこの歯車１１３にそれぞれ一端側で連結された先端側のアーム部材１１５Ａ、１１５Ｂと、このアーム部材１１５Ａ、１１５Ｂの他端側に支持されたハンド１３Ｌ、１３Ｒとがそれぞれ設けられている。
【００７５】
一方、駆動軸２２で駆動される操作用のアーム１１２は一対のアーム部１１２ａ、１１２ｂを所定交差角をなして連結した「く」の字形の屈曲形状になっており、この操作用のアーム１１２にはリンク１２１Ｌ、１２１Ｒを介して、姿勢制御機構１３１、１３２が連結されている。
【００７６】
各姿勢制御機構１３１、１３２は、上述のてこ部材と同様なベルクランク状のてこ部材１４１Ｌ、１４１Ｒと、アーム１１１の第１アーム部１１１ｆおよび第２アーム部１１１ｓに対し平行に配置された平行リンク１４２Ａ、１４２Ｂと、先端側アーム部材１１５Ａ、１１５Ｂに対し平行に配置された平行リンク１１６Ａ、１１６Ｂとを含んで構成されており、基端側のアーム部１１１ｆ、１１１ｓと、先端側アーム部材１１５と、姿勢制御機構１３１、１３２とは、全体として左右一対の「く」の字形の屈曲アームを構成している。
【００７７】
また、てこ部材１４１Ｌ、１４１Ｒは第１アーム部１１１ｆおよび第２アーム部１１１ｓにそれぞれ回動中心軸線から所定距離を隔てた支持点で回動可能に支持されており、図１９に示すように、各てこ部材１４１Ｌ、１４１Ｒは、姿勢制御機構１３１、１３２を操作するよう一方のアーム１１１に回動可能に支持されたクランク部１４１ａと、一端側でそのクランク部１４１ａに一体に連結されてアーム１１１に回動可能に支持されるとともに、他端側でクランク部１４１ａの回動中心から所定回動半径の位置にリンク１２１との連結をなす節点を形成するリンク部１４１ｂとを有している。
【００７８】
本実施形態においても、上述の実施形態と同様な効果が期待できる。すなわち、基端側のアーム１１１と操作用のアーム１１２とが相対的に回動すると、てこ部材１４１および連結リンク１２１を介して姿勢制御機構１３１、１３２が操作され、両アーム１１１、１１２に対する一対の回動出力部材１１４およびこれと一体的に回動する先端側アーム部材１１５Ａ、１１５Ｂとの回動姿勢が制御される。また、両アーム１１１、１１２の同方向および同速度の回動により、ロボットアーム全体が旋回する。この構成では、一方および他方のアーム１１１、１１２の駆動モータを旋回台に支持させたり、旋回台を旋回させるモータを別に設けたりする必要がないのに加え、２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームとなるものである。
【００７９】
なお、上述の各実施形態は２つの駆動軸が同軸配置され、一方および他方のアームの回動中心も駆動軸線と一致するものとしていたが、駆動軸とアームの回動中心をずらして配置することもできる。また、てこ部材のリンク長さと連結リンクの長さの比や、てこ部材のアームへの連結位置は任意である。
【００８０】
【発明の効果】
本発明によれば、一方および他方のアームの相対回動によって、てこ部材および連結リンクを介して姿勢制御機構を操作し、両アームに対する一対の回動出力部材の回動姿勢を制御するようにし、更に、両アームの同方向および同速度の回動により、全体の旋回ができるようにしているので、一方および他方のアームの駆動モータを旋回台に支持させたり、旋回台を旋回させるモータを別に設けたりする必要をなくし、２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るロボットアームの第１実施形態を示すその概略構成図である。
【図２】 本発明に係るロボットアームの一実施形態の要部の概略構成図であり、
（ａ）はその平面図、（ｂ）はその回動中心軸線に沿って切断した断面図である。
【図３】 本発明に係るロボットアームの一実施形態を示すその概略構成図で、図１の状態からアームを互いに逆方向に所定角度回動させた状態を示している。
【図４】 本発明に係るロボットアームの一実施形態におけるてこ部材側のアームの回転角度θに対する連結リンク側のアームの回転角度φの変化を示すグラフである。
【図５】 本発明に係るロボットアームの第２実施形態を示すその概略構成図である。
【図６】 図５の要部拡大図である。
【図７】 本発明に係るロボットアームの第２実施形態のを示すその概略構成図で、図６の状態からアーム基端部を互いに逆の向きに所定角度回動させた状態を示している。
【図８】 本発明に係るロボットアームの第２実施形態を示すその関節部の概略構成図である。
【図９】 本発明に係るロボットアームの第２実施形態を示すその関節部の概略構成図で、図８の状態から基端側アーム部分を互いに逆向きに所定角度回動させた状態を示している。
【図１０】 本発明に係るロボットアームの第３実施形態を示すその要部概略構成図である。
【図１１】 本発明に係るロボットアームの第４実施形態を示すその要部概略構成図である。
【図１２】 本発明に係るロボットアームの第５実施形態を示すその要部概略構成図である。
【図１３】 本発明に係るロボットアームの第６実施形態を示すその要部概略構成図で、一方のアームを伸張させた状態を示している。
【図１４】 第６実施形態のロボットアームの要部説明図である。
【図１５】 本発明に係るロボットアームの第６実施形態を示すその要部概略構成図で、一方および他方のアームを収縮させた状態を示している。
【図１６】 本発明に係るロボットアームの第６実施形態を示すその要部概略構成図で、他方のアームを伸張させた状態を示している。
【図１７】 第６実施形態のロボットアームの要部変形態様の説明図である。
【図１８】 本発明に係るロボットアームの第７実施形態を示すその要部概略構成図で、一方のアームを伸張させた状態を示している。
【図１９】 本発明に係るロボットアームの第７実施形態を示すその要部概略構成図で、一方および他方のアームを収縮させた状態を示している。
【図２０】 本発明に係るロボットアームの第７実施形態を示すその要部概略構成図で、他方のアームを伸張させた状態を示している。
【符号の説明】
１１、１２、９１、９２、１１１、１１２ アーム
１３Ｌ、１３Ｒ ハンド
１３ａ 凹部
１４Ａ、１４Ｂ 回動出力部材
１６Ａ、１６Ｂ 姿勢保持リンク
１７ 中間支点リンク（連結リンク）
１７ａ 一端部
１７ｂ 他端部
２１、２２ 駆動軸
２３、２４ リンク
３０、１３０ 姿勢制御機構
３１、３２、１３１、１３２ 一対の姿勢制御部
４０、４０Ａ、４０Ｂ 操作機構
４１、１４１、１４１Ａ、１４１Ｂ、１４１Ｌ、１４１Ｒ てこ部材
４１ａ、１４１ａ クランク部
４１ｂ、１４１ｂ リンク部
４１ｃ 節点
４２、１４２ 連結リンク
５１、５２ 伸縮アーム
５３Ａ、５３Ｂ ハンド
５３ａ 凹部
５４Ａ、５４Ｂ リンク
６１、６２ 従動側アーム
６１ａ リンク
６２ 従動側アーム
７０、８０ 両クランク機構
９１ａ、９２ａ 支持部
１１１、１１２ アーム
１１１ａ、１１２ａ 操作部
１１１ｆ 第１アーム部
１１１ｓ 第２アーム部
１１２ａ、１１２ｂ アーム部
１１３ 固定歯車
１１４ 回動出力部材
１２１Ｌ、１２１Ｒ リンク
１３１、１３２ 姿勢制御機構
１４０ 操作機構
１４１ｃ 支点部
１４２Ａ、１４２Ｂ リンク
１４３ 連結リンク
【発明の属する技術分野】
本発明は、相対的な角度（挟角）を変化させる一対のアームを備えたロボットアームおよびそれを備えたロボットに関し、特に駆動アームの先端側に従動側アームを装着する場合に好適なロボットアームに係る。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハや精密部品等のワーク（被処理物）をその製造工程に従って移送したり、所定の作業台上にローディングしたりする場合、その搬送用ロボットには、屈曲により伸縮動作をするようなロボットアームが多用されている。
【０００３】
この種のロボットアームとしては、例えば特許第２８０８８２６号公報や特開平１０−１５６７７０号公報等に記載されるように、平行な複数のリンクで構成したロボットアームの関節部に、これらハンド側の複数のリンクを互いに平行姿勢に保ちつつ同期回転させる歯車を設けて、ハンドを前後に直線的に移動させるようにしたものがある。
【０００４】
特許第２８０８８２６号公報に記載されたものでは、伸縮する一対の屈曲式の移し換えアームをそれぞれ２組の平行リンクと関節部の同期歯車機構とで構成するとともに、両移し換えアームの基端部を旋回台に支持させており、この旋回台に一対の移し換えアームを伸縮駆動するための２組のモータ、カップリングおよび伝動軸などが設けられている。また、旋回台の外周には歯車が形成されており、これに噛合する歯車を介し、旋回台に隣接する旋回用駆動モータによって旋回駆動されるようになっている。
【０００５】
また、特開平１０−１５６７７０号公報に記載されたものでは、駆動側平行リンク機構に同期歯車を有する関節を介して従動側平行リンクを装着して、それぞれ出没動作する一対のロボットアームを構成しており、両アームの駆動側平行リンク機構と駆動用モータとの間に、両アームの駆動回転角がアーム突出時には大きく、アーム没入時には小さくなるよう、すなわち、トランスファチャンバに接近する後退時の移動量を抑えるように、モータ回転角に対し回転伝達量が変化する伝達リンク機構が設けられている。
【０００６】
さらに、特公平７−７３８３３号公報に記載されるいわゆるフロッグ-レッグ型のように、左右の屈曲アームの先端側アーム部分に同期歯車機構を設けるとともに両アームに跨がるキャリアハンドを装着し、両屈曲アームの基端側アーム部分を同期させながら伸縮駆動するものも知られている。このものでは、基端側のアーム部分に対し、前記先端側アーム部分とキャリアハンドが逆向きに２組装着され、キャリアハンドの一方が前に進むと他方がこれと同方向に移動しながら後退するというように、逆向きの一対のキャリアハンドによって逆位相の動作がなされるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、平行リンクおよび同期歯車機構を備えた従来のロボットアームにあっては、特許第２８０８８２６号公報に記載されたもののように、２つの移し換えアームを伸縮および旋回させるために、３つもの駆動モータが必要となり、搬送ロボットが大型化するばかりか、コスト高になるという問題があった。
【０００８】
特開平１０−１５６７７０号公報に記載のものでは、駆動モータが２つで済むものの、支持台が無限旋回できないという問題があった。また、駆動モータを旋回台に収納する構成であることから、支持台を無限旋回させるためにはモータの電気配線接続のためにブラシリングのような機構が必要となり、構成が複雑にならざるを得なかった。
【０００９】
一方、特公平７−７３８３３号公報に記載のものでは、没入する搬送台は中央の回転軸線に接近し得るが、中央の回転軸線を越えることができないため、搬送ロボットが旋回する場合の最外周の半径を小さくすることができないという問題があった。
【００１０】
そこで本発明は、２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームを提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、同軸配置された第１および第２の駆動軸に、基端部がそれぞれ連結された第１および第２のアームと、第１および第２のアームの先端部に、回動可能にそれぞれ連結された第１および第２の回動出力部材と、第１のアームと第１の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第１のアームに平行な第１の姿勢保持リンクを有し、第１のアームに対する第１の回動出力部材の回動姿勢を制御する第１の姿勢制御部、および、第２のアームと第２の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第２のアームに平行な第２の姿勢保持リンクを有し、第２のアームに対する第２の回動出力部材の回動姿勢を制御する第２の姿勢制御部を有する姿勢制御機構と、一端側で第１のアームに回動可能に連結され、他端側で第１の姿勢保持リンクに回動可能に連結されたリンクよりなるクランク部と、一端側で前記クランク部の一端に一体に連結されて第１のアームに回動可能に連結されたリンク部とを有するてこ部材、および、一端側で前記リンク部の他端に回動可能に連結され、他端側で第２のアームに回動可能に連結された連結リンクを有し、第２のアームの回動操作を第１のアームに伝達する操作機構とを備えることを特徴とするロボットアームである。
【００１２】
このロボットアームでは、第１および第２のアームが相対的に回動すると、姿勢制御機構が操作され、第１および第２のアームに対する第１および第２の回動出力部材の回動姿勢が制御される。また、両アームの同方向および同速度の回動により、ロボットアーム全体が旋回する。
【００１３】
この構成では、第１および第２のアームの駆動モータを旋回台に支持させたり、旋回台を旋回させるモータを別に設けたりする必要がなく、２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームとなる。
【００１７】
前記てこ部材のクランク部が第１のアームに回動可能に連結された連結点を、第１の駆動軸の回動中心から所定半径の位置に配置するのが好ましい。この構成では、第１および第２のアームの回動半径の範囲内に、てこ部材および連結リンクを容易に配置できる。
【００１８】
前記てこ部材のリンク部の長さと前記連結リンクの長さとの和が、第１の駆動軸の回動中心から前記てこ部材のクランク部が第１のアームに回動可能に連結された連結点までの半径方向距離と、第２の駆動軸の回動中心から前記連結リンクが第２のアームに回動可能に連結された連結点までの半径方向距離との和よりも大きくなるように設定するのが好ましい。
【００１９】
この構成により、思案点を生じさせることなく、第１および第２の回動出力部材の安定した姿勢制御を行うことができる。
【００２０】
また、本発明は、同軸配置された第１および第２の駆動軸に、基端部がそれぞれ連結された第１および第２のアームと、第１および第２のアームの先端部に、回動可能にそれぞれ連結された第１および第２の回動出力部材と、第１のアームと第１の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第１のアームに平行な第１の姿勢保持リンクを有し、第１のアームに対する第１の回動出力部材の回動姿勢を制御する第１の姿勢制御部、および、第２のアームと第２の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第２のアームに平行な第２の姿勢保持リンクを有し、第２のアームに対する第２の回動出力部材の回動姿勢を制御する第２の姿勢制御部を有する姿勢制御機構と、第１又は第２の駆動軸に回動自在に同軸支持された支持部と、一端側で前記支持部に連結され、他端側で第１および第２の姿勢保持リンクにそれぞれ回動可能に連結されたクランク部と、一端側で前記支持部に連結されたリンク部とを有するてこ部材、および、一端側で前記リンク部の他端に回動可能に連結され、他端側で第２又は第１のアームに回動可能に連結された連結リンクを有し、第２のアームの回動操作を第１のアームに、又は第１のアームの回動操作を第２のアームに伝達する操作機構とを備えることを特徴とするロボットアームである。このようにすると、第１および第２のアームの間において、一方のアームにおける回転操作がてこ部材を介して他方のアームにも伝達されることになり、第１および第２のアームの間における操作機構がきわめて簡素に構成されることとなる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２４】
（第１実施形態）
図１〜図４は本発明に係るロボットアームおよびロボットの第１実施形態を示す図であり、本発明を半導体ウエハ等のハンドリング用ロボットに適用した例を示している。
【００２５】
これらの図に示すように、本実施形態のロボット１０は、図中左右に位置するアーム１１、１２を有している。両アーム１１、１２の先端部には一対のハンド１３Ｌ、１３Ｒが装着されており、これらハンド１３Ｌ、１３Ｒは、搬送対象物（ワーク）である半導体ウエハ等をハンドリング可能なように、例えばそのワークの被把持部形状に対応する凹部１３ａを有している。なお、ここでハンドとは、把持のみならず、載置台のようなものをも含み、ハンドの作業内容に応じて公知の各種タイプのものを任意に使用できる（以下の実施例についても同様である）。ハンド１３Ｌ、１３Ｒが同一形状でも異なる形状でもよいことはいうまでもない。
【００２６】
アーム１１、１２は、同軸配置された２軸の駆動軸２１、２２に連結された基端部を有し、これら駆動軸２１、２２によって回動可能に支持されている。また、これら駆動軸２１、２２を介して、アーム１１、１２は図示しないそれぞれの駆動モータにより、互いに独立して駆動される。
【００２７】
また、アーム１１、１２の先端側には一対の回動出力部材１４Ａ、１４Ｂが回動可能に支持されており、アーム１１、１２の基端側には駆動軸２１、２２と同軸な連結軸１５が設けられている。そして、一対の回動出力部材１４Ａ、１４Ｂのうち片方の回動出力部材１４Ａは、片方の姿勢保持リンク１６Ａを介して、連結軸１５に一体結合された中間支点リンク１７の一端部１７ａに、残りの片方の回動出力部材１４Ｂは残りの片方の姿勢保持リンク１６Ｂを介して中間支点リンク１７の他端部１７ｂに、それぞれ連結されている。
【００２８】
前記アーム１１、１２、ハンド１３Ｌ、１３Ｒ、回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよび中間支点リンク１７は、中間支点リンク１７の一端側（連結軸１５の中心から姿勢保持リンク１６Ａとの連結点まで）を一辺とする平行四辺形をなす片方の姿勢制御部３１と、中間支点リンク１７の他端側（連結軸１５の中心から姿勢保持リンク１６Ｂとの連結点まで）を一辺とする平行四辺形をなす残りの片方の姿勢制御部３２とを構成しており、これら双方の姿勢制御部３１、３２によって、両回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよびハンド１３Ｌ、１３Ｒのアーム１１、１２に対する回動姿勢を制御する姿勢制御機構３０が構成されている。
【００２９】
この姿勢制御機構３０は、てこ部材４１および連結リンク４２からなる操作機構４０によって操作される。操作機構４０のてこ部材４１は、アーム１２（一方のアーム）に回動可能に支持されたクランク部４１ａと、一端側でこのクランク部４１ａに一体に連結されてアーム１２に回動可能に支持されたリンク部４１ｂとを有するベルクランク状となっており、リンク部４１ｂはその他端側でクランク部４１ａの回動中心から所定回動半径の節点４１ｃを形成している。また、操作機構４０の連結リンク４２は、てこ部材４１のリンク部４１ｂをアーム１１に回動可能に連結するものである。
【００３０】
ここで、てこ部材４１のリンク部４１ｂの長さと連結リンク４２の長さとの和は、アーム１２の回動中心からてこ部材４１のクランク部４１ａが支持された支持点までの半径方向距離Ｌｂと、アーム１１の回動中心から連結リンク４２が支持された支持点までの半径方向距離Ｌａとの和よりも大きくなっており、思案点が生じない機構、すなわち、操作機構４０による操作範囲で、てこ部材４１のリンク部４１ｂ、連結リンク４２およびアーム１１、１２が一直線状に重なり、姿勢が不安定となる状態が生じない機構となっている。
【００３１】
また、てこ部材４１は一対の姿勢制御部３１、３２のうち片方の姿勢制御部３２を操作するが、本実施形態の姿勢保持リンク１６Ｂはてこ部材４１のクランク部４１ａの先端に回動可能に連結された一対のリンク２３、２４からなり、クランク部４１ａと連動する一対の平行クランク機構を形成している。また、この片方の姿勢制御部３２へのてこ部材４１の回動操作は、中間支点リンク１７によって、一対の姿勢制御部３１、３２のうち残りの姿勢制御部３１に伝達されるようになっており、中間支点リンク１７は操作伝達機構を構成している。
【００３２】
図２に示すように、アーム１１、１２、中間支点リンク１７、てこ部材４１のリンク部４１ｂおよび連結リンク４２は、相互の回動が干渉しないように、これらを駆動軸２１、２２の軸方向に適宜ずらしたり、複数の回動部材を同一回動中心で結合したりして構成されている。
【００３３】
次に、その動作について説明する。
【００３４】
このように構成された本実施形態のロボットにおいては、一対のアーム１１、１２が独立して駆動されながら相対的に回動する。具体的には、例えばアーム１１、１２が図３に示す回動位置から図１に示すような回動位置に回動する場合、駆動軸２２によって一方のハンド１３Ｒを伸張させるためにアーム１２が回転方向一方側（この場合、図３中で左回転）に駆動されるとともに、アーム１１が回転方向他方側（この場合、図３中で右回転）に駆動される。
【００３５】
このような動作状態においては、アーム１１、１２の回動に応じ、てこ部材４１と連結リンク４２が両アーム１１、１２に対して回動するが、てこ部材４１のクランク部４１ａと回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよび中間支点リンク１７との回動姿勢が常時平行に保たれることから、一対の回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよびハンド１３Ｌ、１３Ｒの回動姿勢は、常時互いに平行に保たれる。すなわち、アーム１１、１２のなす角度（挟角）の変化により、てこ部材４１がアーム１２に対して回動すると、姿勢制御機構３０の片方の姿勢制御部３２がてこ部材４１によって操作されるが、これと同時に、その姿勢制御部３２への回動操作が、姿勢制御部３２の一部を構成する中間支点リンク１７の他端部１７ｂから、操作伝達機構である中間支点リンク１７を介して、他の片方の姿勢制御部３１にも伝達される。したがって、片方の姿勢制御部３２において、てこ部材４１のクランク部４１ａと回動出力部材１４Ｂおよび中間支点リンク１７の他端部１７ｂとの回動姿勢が常時平行に保たれるのと同時に、他の片方の姿勢制御部３１において、中間支点リンク１７の一端部１７ａと回動出力部材１４Ａとの回動姿勢が常時てこ部材４１のクランク部４１ａに対し平行に保たれることになる。
【００３６】
また、このような動作状態においては、駆動軸２２によるアーム１２の回動角をθとし、駆動軸２１によるアーム１１の回動角をφとすると、回動出力部材１４Ａ、１４Ｂ等の回動姿勢を保ち得るように、回転角φが回転角θより小さい角度に制御される。具体的には、このφの値は回転角θに対して所定の計算式で計算された値となり、図４に示すようなグラフで表されるが、その回転角φのデータを予めデータテーブルとしてメモリに記憶させておくこともできる。
【００３７】
このようにして、図３に示すような動作開始位置への復帰状態から図１に示すような搬送状態へと動作するときには、前進する側のハンド１３Ｒは大きく前進動作するが、後退するハンド１３Ｌ側の引き戻しの動作量は小さく抑えられる。したがって、狭い作業空間内においても、所要のワーク搬送動作を行うことができる。また、図３に示すような動作開始位置への復帰状態から、図１とは逆の動作をするときには、前進する側のハンド１３Ｌは大きく前進動作するが、後退するハンド１３Ｒ側の引き戻しの動作量は同様に小さく抑えられる。
【００３８】
一方、アーム１１、１２が、駆動軸２１、２２によって駆動され、同方向に同速度で回動すると、アーム１１、１２を含む可動部分全体が、駆動軸２１、２２の回動中心軸線回りに旋回する。このとき、アーム１１、１２は相対的に回動しないので、姿勢制御機構３０の姿勢制御部３２へのてこ部材４１からの回転操作はなされない。したがって、両アーム１１、１２に対する一対の回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよびハンド１３Ｌ、１３Ｒの回動姿勢が保持されることになる。
【００３９】
このような本実施形態のロボットでは、全体の旋回動作のためにアーム１１、１２の駆動モータを従来のように旋回台に支持させたり、その旋回台を旋回させたりする必要がなくなり、しかも、アーム１１、１２を駆動軸２１、２２の軸回りに無限に旋回させることができる。
【００４０】
また、本実施形態は、簡素なロボットアーム１１、１２の間にてこ部材４１と連結リンク４２からなる非常に簡素な操作機構４０を構成して、２軸駆動としながらも、ハンド側の姿勢制御と全体の無限旋回を両立させているので、構成がきわめて簡素なロボットとなる。
【００４１】
さらに、本実施形態においては、てこ部材４１のリンク部４１ｂの長さと連結リンク４２の長さとの和が、アーム１２の回動中心からてこ部材４１のクランク部４１ａの支持点までの半径方向距離Ｌｂと、アーム１１の回動中心から連結リンク４２の支持点までの半径方向距離Ｌａとの和よりも大きいので、思案点が生じることがなく、回動出力部材１４Ａ、１４Ｂおよびハンド１３Ｌ、１３Ｒの安定した姿勢制御を行うことができる。
【００４２】
（第２実施形態）
図５〜図９は本発明に係るロボットアームおよびロボットの第２実施形態を示す図であり、本発明を伸縮可能なロボットアームを用いた半導体ウエハ等のハンドリングロボットに適用した例を示している。
【００４３】
なお、本実施形態のロボットは、上述した第１実施形態の姿勢制御機構３０、操作機構４０および操作伝達機構を有しているので、これらに関しては図１〜３と同様の符号を付し、第１実施形態と相違する構成について説明する。
【００４４】
図５〜図７に示すように、本実施形態のハンドリングロボットは、それぞれ関節部５１ａ、５２ａにおいて逆方向に「く」の字形状に屈曲するアーム形状をなし、その屈曲形状の変化により伸縮する平行リンク機構からなる伸縮アーム５１、５２を備えており、更に、両アーム５１、５２の先端部に装着された所定形状のハンド５３Ａ、５３Ｂと、伸縮アーム５１、５２を駆動する２軸の駆動軸２１、２２と、を備えている。
【００４５】
平行リンクで構成された伸縮アーム５１、５２の関節構造やアーム構造は従来の構成と共通するものであってもよいので、ここでは詳述はしないが、伸縮アーム５１、５２は共に、一方の駆動軸２１で駆動されるアーム部分１１と、このアーム部分１１に対する片方の回動出力部材１４Ａの回動に従動する一方の従動側アーム６１と、他方の駆動軸２２で駆動されるアーム部分１２と、このアーム部分１２に対する残りの片方の回動出力部材１４Ｂの回動に従動する他方の従動側アーム６２とを備えており、両アーム５１、５２の回動によって伸縮するロボットアームが構成されている。
【００４６】
また、従動側アーム６１、６２の先端側には、リンク５４Ａ、５４Ｂを介してハンド５３Ａ、５３Ｂが装着されており、ハンド５３Ａ、５３Ｂは、所定のワークＷをハンドリング可能な形状、例えばワークＷの被把持部形状に対応するＵ字形で、凹部を有している。さらに、図７に示すような作動開始位置への復帰状態において、駆動軸２１、２２上にリンク５４Ａ、５４Ｂが重ならないように構成されている。
【００４７】
アーム５１、５２の関節部には、基端側と先端側のアームを連動させる同期回転機構が装着されている。この同期回転機構は公知の同期歯車やタイミングプーリ等であってもよいが、例えば図８に示すように、回動出力部材１４Ａに一体に連結する第１リンク７１ａおよびこれと同一長さの第１リンク７１ｂを、これらより長い第２リンク７２ａの両端部に連結し、両第１リンク７１ａ、７１ｂを第２リンク７２ａと交差する連結用の第２リンク７２ｂで連結して構成された一方の両クランク機構７０を具備している。この一方の両クランク機構７０は、第２リンク７２ａに対し、一対の第１リンク７１ａ、７１ｂを互いに逆方向に連動して回動させるようになっている。
【００４８】
また、第１リンク７１ａの一端部に揺動自在に連結された一対の第３リンク７３ａ、７３ｂのうち、一方の第３リンク７３ａを第２リンク７２ａと一体に、他方の第３リンク７３ｂを一方の従動側アーム６１の片側のリンク６１ａと一体に結合して、更に第３リンク７３ａ、７３ｂ同士を第４リンク７４で連結することで、一方のクランク機構７０と相似形状をとり得る他方の両クランク機構８０が構成されている。この両クランク機構８０は、第１リンク７１ａに対して、第２リンク７２ａの一部である第３リンク７３ａと第３リンク７３ｂとを互いに逆方向に連動して回動させるようになっている。この他方のクランク機構８０は、図８から明らかなように、一部のリンク間の挟角αを形成する構成要素（リンク）が一方のクランク機構７０と共通している。
【００４９】
すなわち、両クランク機構７０、８０は、リンク７２ａと一つのリンク間挟角αが等しい二つの三角形状をなし、逆クランクとして作用する四節リンク機構となっており、これによってアーム５１、５２に対する回動出力部材１４Ａ、１４Ｂの回動に連動して従動側アーム６１、６２が回動できるようになっている。
【００５０】
本実施形態においては、駆動軸２１、２２（駆動手段）によって駆動されるアーム５１、５２の先端側に回動出力部材１４Ａ、１４Ｂに従動する従動側アーム６１、６２が装着され、屈曲によって伸縮するロボットアームが構成され、構成の簡素な２軸駆動のロボットが実現できる。
【００５１】
その他の作用効果は、上述の実施形態と同様である。
【００５２】
（第３実施形態）
図１０は本発明に係るロボットアームの第３実施形態を示す図である。
【００５３】
なお、本実施形態のロボットは、上述した第１実施形態における操作伝達機構に代えて、第１実施形態の操作機構４０と同様な操作機構４０Ａ、４０Ｂを一対のアーム１１、１２を挟んで左右逆の向きに装着し、操作機構４０Ａ、４０Ｂが全体として平行四辺形をなす４節リンク機構を構成するようにしたものである。
【００５４】
すなわち、操作機構４０Ａのてこ部材４１による片方の姿勢制御部３２への回動操作と同様の操作を、操作機構４０Ａとは左右の向きが異なる操作機構４０Ｂによって、残りの片方の姿勢制御部３１にも加えるようにして、左右一対のクランク部４１ａが絶えず平行になるようにしている。
【００５５】
このようにしても、上述の実施形態と同様な効果が期待できる。
【００５６】
（第４実施形態）
図１１は本発明に係るロボットアームの第４実施形態を示す図である。
【００５７】
なお、本実施形態のロボットは、上述した第３実施形態の操作機構４０Ａ、４０Ｂの連結リンク４２とアーム１１、１２とは異なる支持部９１ａ、９２ａを有するアーム９１、９２に支持させ、両アーム９１、９２のなす角度や可動範囲を支持部９１ａ、９２ａの形状によって適宜変更できるようにしたものである。
【００５８】
このようにしても、上述の実施形態と同様な効果が期待できる。
【００５９】
さらに、本実施形態においては、一対の連結リンク４２のアーム９１、９２への連結点が、一対のてこ部材４１のアーム１１、１２への支持点から離れた支持部９１ａ、９２ａ上になるように、複数のリンク連結点が分散して配置されているので、駆動軸２１、２２付近でアーム１１、１２、てこ部材４１およびリンク４２を多層に配置する必要がなく、構成が簡素となる。
【００６０】
なお、支持部９１ａ、９２ａはアームの長手方向に対し直交するよう突出したものであってもよい。
【００６１】
（第５実施形態）
図１２は本発明に係るロボットアームの第５実施形態を示す図である。
【００６２】
この実施形態は図１０に示した第３実施形態において、ベルクランク状のてこ部材に代えて、そのクランク部をプーリ１４１p（あるいはタイミングギア、他の伝動歯車でもよい）に変更したてこ部材１４１Ａ、１４１Ｂを採用し、それに対応してワイヤ又はベルト１３６Ａ、１３６Ｂ等を用いた姿勢制御機構１３１、１３２を構成したものである。このようにして、スカラー型ロボットにも適用できる。
【００６３】
本実施形態においても、上述の実施形態と同様な効果が期待できる。
【００６４】
なお、上述の各実施形態は２つの駆動軸が同軸配置され、一方および他方のアームの回動中心も駆動軸線と一致するものとしていたが、駆動軸とアームの回動中心をずらして配置することもできる。また、てこ部材のリンク長さと連結リンクの長さの比や、てこ部材のアームへの連結位置は任意である。
【００６５】
（第６実施形態）
図１３〜図１７は本発明に係るロボットアームの第６実施形態を示す図である。
【００６６】
本実施形態のロボットは、姿勢制御機構および操作機構がそれぞれ上述の実施形態とは異なる。
【００６７】
本実施形態においては、図１３および図１４に示すように、てこ部材１４１が、クランク部１４１ａ、リンク部１４１ｂおよびこれらを連結して駆動軸２２に回動自在に支持された支点部１４１ｃで構成され、この支点部１４１ｃの中心（支持点）を一方および他方のアーム１１１、１１２の回動中心位置に配置したものとなっており、そのクランク部１４１ａは両アーム１１１、１１２に支持された一対の姿勢制御部１３１、１３２の平行リンク１３６Ａ、１３６Ｂにそれぞれ連結されている。ここで、アーム１１１、１１２は駆動軸２１、２２によって互いに独立して駆動され、駆動軸２１、２２が相対回転するときてこ部材１４１のリンク部１４１ｂと各アーム１１１、１１２とのなす角度が変化し得るよう、てこ部材１４１が回動操作されるようになっている。なお、図１３は一方のハンド１３Ｌを装着した先端側のアーム１１５Ａおよび基端側のアーム１１１を伸張させた状態を、図１６は他方のハンド１３Ｒを装着した先端側のアーム１１５Ｂおよび基端側のアーム１１２を伸張させた状態を、それぞれ示しており、図１５はハンド１３Ｌ、１３Ｒをホームポジションに位置させた待機状態を示している。
【００６８】
姿勢制御部１３１、１３２は、てこ部材１４１のクランク部１４１ａに連結する平行リンク１３６Ａ、１３６Ｂと、アーム１１１、１１２、てこ部材１４１および回動出力部材１１４とで平行クランク機構を構成したもので、各アーム１１１、１１２に対するてこ部材１４１のクランク部１４１ａの傾きが、各アーム１１１、１１２に対する回動出力部材１１４の傾きと常に同一になるようになっている。また、回動出力部材１１４は、アーム１１１、１１２の先端に固定された姿勢保持用の固定歯車１１３に噛合すると共に先端側のアーム１１５Ａ、１１５Ｂを駆動する可動歯車１１４ａと、可動歯車１１４ａを支持する可動キャリア１１４ｂとを有するもので、そのキャリア１１４ｂは各アーム１１１、１１２の先端に回動可能に支持されている。
【００６９】
てこ部材１４１は姿勢制御部１３１、１３２を操作する一対のてこ部材を一体化したものである。そして、そのてこ部材１４１を操作する操作機構１４０は、アーム１１１、１１２又は駆動軸２１、２２に一体に連結された操作部１１１ａ、１１２ａと、リンク１４２Ａ、１４２ＢおよびＴ字形の連結リンク１４３を含んで構成されており、アーム１１１、１１２がこの操作機構１４０を介してそれぞれてこ部材１４１のリンク部１４１ｂに連結されている。なお、図１３において、１１６Ａ、１１６Ｂは、先端側のアーム１１５Ａ、１１５Ｂに対しそれぞれ平行に配置された平行リンクである。また、本実施形態においては、図１３中の右側のハンド１３Ｒおよびアーム１１５Ｂ、１１６Ｂが左側のハンド１３Ｌおよびアーム１１５Ａ、１１６Ａよりも上側に配置されており、この上下の配置によって、両ハンド１３Ｌ、１３Ｒはホームポジションにおいて上下に重なるようになっている。
【００７０】
本実施形態においては、一対の姿勢制御部１３１、１３２のうち一方の姿勢制御部１３１に連結されたてこ部材１４１を近接する他方のてこ部材と兼用しているので、一方の姿勢制御部１３１への操作入力を他方の姿勢制御部１３２にも容易に伝達でき、両姿勢制御部１３１、１３２の間の操作伝達機構をきわめて簡素に構成することができる。
【００７１】
なお、上述のてこ部材に代えて、てこ部材１４１のクランク部１４１ａを２つのクランク部としたてこ部材を採用することもできる。例えば、図１７に示すように、一方のクランク部１４１ａにリンク１３６Ａが連結され、このクランク部１４１ａに対し角度ψをなす他方のクランク部１４１ｄにリンク１３６Ｂが連結されたものが考えられる。なお、図１７において、支点部１４１ｃは駆動軸２１の外側に両駆動軸２１、２２と同軸に配置されている。
【００７２】
このように構成することにより、アーム１１１、１１２の向き（相対角度）や、２つのハンド１３Ｌ、１３Ｒのそれぞれの姿勢（回動角度）を任意に設定することができる。
【００７３】
（第７実施形態）
図１８〜図２０は本発明に係るロボットアームの第７実施形態を示す図である。なお、図１８は一方のハンド１３Ｌを装着した先端側アーム１１５Ａおよび基端側アーム１１１を伸張させた状態を、図２０は他方のハンド１３Ｒを装着した先端側アーム１１５Ｂおよび基端側アーム１１２を伸張させた状態を、それぞれ示しており、図１９はハンド１３Ｌ、１３Ｒをホームポジションに位置させた待機状態を示している。
【００７４】
本実施形態のロボットは、ロボットアームの基本構成が上述の実施形態とは異なり、駆動軸２１で駆動される基端側アーム１１１は略同長の第１アーム部１１１ｆと第２アーム部１１１ｓとを一直線に配置したものとなっている。ただし、これら基端側の第１アーム部１１１ｆおよび第２アーム部１１１ｓの先端側には、上述の実施形態と同様に、それぞれ姿勢保持用の固定歯車１１３と、この固定歯車１１３に噛合する可動歯車１１４ａを可動キャリア１１４ｂで保持した回動出力部材１１４とが装着されており、可動歯車１１３と一体的に回動するようこの歯車１１３にそれぞれ一端側で連結された先端側のアーム部材１１５Ａ、１１５Ｂと、このアーム部材１１５Ａ、１１５Ｂの他端側に支持されたハンド１３Ｌ、１３Ｒとがそれぞれ設けられている。
【００７５】
一方、駆動軸２２で駆動される操作用のアーム１１２は一対のアーム部１１２ａ、１１２ｂを所定交差角をなして連結した「く」の字形の屈曲形状になっており、この操作用のアーム１１２にはリンク１２１Ｌ、１２１Ｒを介して、姿勢制御機構１３１、１３２が連結されている。
【００７６】
各姿勢制御機構１３１、１３２は、上述のてこ部材と同様なベルクランク状のてこ部材１４１Ｌ、１４１Ｒと、アーム１１１の第１アーム部１１１ｆおよび第２アーム部１１１ｓに対し平行に配置された平行リンク１４２Ａ、１４２Ｂと、先端側アーム部材１１５Ａ、１１５Ｂに対し平行に配置された平行リンク１１６Ａ、１１６Ｂとを含んで構成されており、基端側のアーム部１１１ｆ、１１１ｓと、先端側アーム部材１１５と、姿勢制御機構１３１、１３２とは、全体として左右一対の「く」の字形の屈曲アームを構成している。
【００７７】
また、てこ部材１４１Ｌ、１４１Ｒは第１アーム部１１１ｆおよび第２アーム部１１１ｓにそれぞれ回動中心軸線から所定距離を隔てた支持点で回動可能に支持されており、図１９に示すように、各てこ部材１４１Ｌ、１４１Ｒは、姿勢制御機構１３１、１３２を操作するよう一方のアーム１１１に回動可能に支持されたクランク部１４１ａと、一端側でそのクランク部１４１ａに一体に連結されてアーム１１１に回動可能に支持されるとともに、他端側でクランク部１４１ａの回動中心から所定回動半径の位置にリンク１２１との連結をなす節点を形成するリンク部１４１ｂとを有している。
【００７８】
本実施形態においても、上述の実施形態と同様な効果が期待できる。すなわち、基端側のアーム１１１と操作用のアーム１１２とが相対的に回動すると、てこ部材１４１および連結リンク１２１を介して姿勢制御機構１３１、１３２が操作され、両アーム１１１、１１２に対する一対の回動出力部材１１４およびこれと一体的に回動する先端側アーム部材１１５Ａ、１１５Ｂとの回動姿勢が制御される。また、両アーム１１１、１１２の同方向および同速度の回動により、ロボットアーム全体が旋回する。この構成では、一方および他方のアーム１１１、１１２の駆動モータを旋回台に支持させたり、旋回台を旋回させるモータを別に設けたりする必要がないのに加え、２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームとなるものである。
【００７９】
なお、上述の各実施形態は２つの駆動軸が同軸配置され、一方および他方のアームの回動中心も駆動軸線と一致するものとしていたが、駆動軸とアームの回動中心をずらして配置することもできる。また、てこ部材のリンク長さと連結リンクの長さの比や、てこ部材のアームへの連結位置は任意である。
【００８０】
【発明の効果】
本発明によれば、一方および他方のアームの相対回動によって、てこ部材および連結リンクを介して姿勢制御機構を操作し、両アームに対する一対の回動出力部材の回動姿勢を制御するようにし、更に、両アームの同方向および同速度の回動により、全体の旋回ができるようにしているので、一方および他方のアームの駆動モータを旋回台に支持させたり、旋回台を旋回させるモータを別に設けたりする必要をなくし、２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係るロボットアームの第１実施形態を示すその概略構成図である。
【図２】 本発明に係るロボットアームの一実施形態の要部の概略構成図であり、
（ａ）はその平面図、（ｂ）はその回動中心軸線に沿って切断した断面図である。
【図３】 本発明に係るロボットアームの一実施形態を示すその概略構成図で、図１の状態からアームを互いに逆方向に所定角度回動させた状態を示している。
【図４】 本発明に係るロボットアームの一実施形態におけるてこ部材側のアームの回転角度θに対する連結リンク側のアームの回転角度φの変化を示すグラフである。
【図５】 本発明に係るロボットアームの第２実施形態を示すその概略構成図である。
【図６】 図５の要部拡大図である。
【図７】 本発明に係るロボットアームの第２実施形態のを示すその概略構成図で、図６の状態からアーム基端部を互いに逆の向きに所定角度回動させた状態を示している。
【図８】 本発明に係るロボットアームの第２実施形態を示すその関節部の概略構成図である。
【図９】 本発明に係るロボットアームの第２実施形態を示すその関節部の概略構成図で、図８の状態から基端側アーム部分を互いに逆向きに所定角度回動させた状態を示している。
【図１０】 本発明に係るロボットアームの第３実施形態を示すその要部概略構成図である。
【図１１】 本発明に係るロボットアームの第４実施形態を示すその要部概略構成図である。
【図１２】 本発明に係るロボットアームの第５実施形態を示すその要部概略構成図である。
【図１３】 本発明に係るロボットアームの第６実施形態を示すその要部概略構成図で、一方のアームを伸張させた状態を示している。
【図１４】 第６実施形態のロボットアームの要部説明図である。
【図１５】 本発明に係るロボットアームの第６実施形態を示すその要部概略構成図で、一方および他方のアームを収縮させた状態を示している。
【図１６】 本発明に係るロボットアームの第６実施形態を示すその要部概略構成図で、他方のアームを伸張させた状態を示している。
【図１７】 第６実施形態のロボットアームの要部変形態様の説明図である。
【図１８】 本発明に係るロボットアームの第７実施形態を示すその要部概略構成図で、一方のアームを伸張させた状態を示している。
【図１９】 本発明に係るロボットアームの第７実施形態を示すその要部概略構成図で、一方および他方のアームを収縮させた状態を示している。
【図２０】 本発明に係るロボットアームの第７実施形態を示すその要部概略構成図で、他方のアームを伸張させた状態を示している。
【符号の説明】
１１、１２、９１、９２、１１１、１１２ アーム
１３Ｌ、１３Ｒ ハンド
１３ａ 凹部
１４Ａ、１４Ｂ 回動出力部材
１６Ａ、１６Ｂ 姿勢保持リンク
１７ 中間支点リンク（連結リンク）
１７ａ 一端部
１７ｂ 他端部
２１、２２ 駆動軸
２３、２４ リンク
３０、１３０ 姿勢制御機構
３１、３２、１３１、１３２ 一対の姿勢制御部
４０、４０Ａ、４０Ｂ 操作機構
４１、１４１、１４１Ａ、１４１Ｂ、１４１Ｌ、１４１Ｒ てこ部材
４１ａ、１４１ａ クランク部
４１ｂ、１４１ｂ リンク部
４１ｃ 節点
４２、１４２ 連結リンク
５１、５２ 伸縮アーム
５３Ａ、５３Ｂ ハンド
５３ａ 凹部
５４Ａ、５４Ｂ リンク
６１、６２ 従動側アーム
６１ａ リンク
６２ 従動側アーム
７０、８０ 両クランク機構
９１ａ、９２ａ 支持部
１１１、１１２ アーム
１１１ａ、１１２ａ 操作部
１１１ｆ 第１アーム部
１１１ｓ 第２アーム部
１１２ａ、１１２ｂ アーム部
１１３ 固定歯車
１１４ 回動出力部材
１２１Ｌ、１２１Ｒ リンク
１３１、１３２ 姿勢制御機構
１４０ 操作機構
１４１ｃ 支点部
１４２Ａ、１４２Ｂ リンク
１４３ 連結リンク
Claims (4)
- 同軸配置された第１および第２の駆動軸に、基端部がそれぞれ連結された第１および第２のアームと、
第１および第２のアームの先端部に、回動可能にそれぞれ連結された第１および第２の回動出力部材と、
第１のアームと第１の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第１のアームに平行な第１の姿勢保持リンクを有し、第１のアームに対する第１の回動出力部材の回動姿勢を制御する第１の姿勢制御部、および、第２のアームと第２の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第２のアームに平行な第２の姿勢保持リンクを有し、第２のアームに対する第２の回動出力部材の回動姿勢を制御する第２の姿勢制御部を有する姿勢制御機構と、
一端側で第１のアームに回動可能に連結され、他端側で第１の姿勢保持リンクに回動可能に連結されたリンクよりなるクランク部と、一端側で前記クランク部の一端に一体に連結されて第１のアームに回動可能に連結されたリンク部とを有するてこ部材、および、一端側で前記リンク部の他端に回動可能に連結され、他端側で第２のアームに回動可能に連結された連結リンクを有し、第２のアームの回動操作を第１のアームに伝達する操作機構とを備えることを特徴とするロボットアーム。 - 前記てこ部材のクランク部が第１のアームに回動可能に連結された連結点を、第１の駆動軸の回動中心から所定半径の位置に配置したことを特徴とする請求項１に記載のロボットアーム。
- 前記てこ部材のリンク部の長さと前記連結リンクの長さとの和が、第１の駆動軸の回動中心から前記てこ部材のクランク部が第１のアームに回動可能に連結された連結点までの半径方向距離と、第２の駆動軸の回動中心から前記連結リンクが第２のアームに回動可能に連結された連結点までの半径方向距離との和よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載のロボットアーム。
- 同軸配置された第１および第２の駆動軸に、基端部がそれぞれ連結された第１および第２のアームと、
第１および第２のアームの先端部に、回動可能にそれぞれ連結された第１および第２の回動出力部材と、
第１のアームと第１の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第１のアームに平行な第１の姿勢保持リンクを有し、第１のアームに対する第１の回動出力部材の回動姿勢を制御する第１の姿勢制御部、および、第２のアームと第２の回動出力部材とを含んで平行四辺形構造を構成する、第２のアームに平行な第２の姿勢保持リンクを有し、第２のアームに対する第２の回動出力部材の回動姿勢を制御する第２の姿勢制御部を有する姿勢制御機構と、
第１又は第２の駆動軸に回動自在に同軸支持された支持部と、一端側で前記支持部に連結され、他端側で第１および第２の姿勢保持リンクにそれぞれ回動可能に連結されたクランク部と、一端側で前記支持部に連結されたリンク部とを有するてこ部材、および、一端側で前記リンク部の他端に回動可能に連結され、他端側で第２又は第１のアームに回動可能に連結された連結リンクを有し、第２のアームの回動操作を第１のアームに、又は第１のアームの回動操作を第２のアームに伝達する操作機構とを備えることを特徴とするロボットアーム。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001222488A JP4628602B2 (ja) | 2001-04-05 | 2001-07-24 | ロボットアーム |
| TW091106731A TW544387B (en) | 2001-04-05 | 2002-04-03 | A robot arm mechanism |
| AT02252448T ATE363365T1 (de) | 2001-04-05 | 2002-04-04 | Mechanismus eines roboterarmes mit mehreren handhabungsgliedern |
| US10/115,098 US6705177B2 (en) | 2001-04-05 | 2002-04-04 | Robot arm mechanism |
| KR1020020018450A KR100625585B1 (ko) | 2001-04-05 | 2002-04-04 | 로보트 암기구 |
| DE60220330T DE60220330T2 (de) | 2001-04-05 | 2002-04-04 | Mechanismus eines Roboterarmes mit mehreren Handhabungsgliedern |
| EP02252448A EP1249318B1 (en) | 2001-04-05 | 2002-04-04 | A robot arm mechanism comprising a plurality of handling members |
| CNB021218536A CN100396449C (zh) | 2001-04-05 | 2002-04-04 | 机器人的臂机构 |
| HK03102251.7A HK1049976A1 (en) | 2001-04-05 | 2003-03-28 | A robot arm mechanism |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001107441 | 2001-04-05 | ||
| JP2001-107441 | 2001-04-05 | ||
| JP2001222488A JP4628602B2 (ja) | 2001-04-05 | 2001-07-24 | ロボットアーム |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010050458A Division JP4995295B2 (ja) | 2001-04-05 | 2010-03-08 | ロボットアーム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002361577A JP2002361577A (ja) | 2002-12-18 |
| JP4628602B2 true JP4628602B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=26613151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001222488A Expired - Lifetime JP4628602B2 (ja) | 2001-04-05 | 2001-07-24 | ロボットアーム |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6705177B2 (ja) |
| EP (1) | EP1249318B1 (ja) |
| JP (1) | JP4628602B2 (ja) |
| KR (1) | KR100625585B1 (ja) |
| CN (1) | CN100396449C (ja) |
| AT (1) | ATE363365T1 (ja) |
| DE (1) | DE60220330T2 (ja) |
| HK (1) | HK1049976A1 (ja) |
| TW (1) | TW544387B (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3804780B2 (ja) * | 2002-04-25 | 2006-08-02 | ナブテスコ株式会社 | ロボットアーム及びロボット |
| CN100342519C (zh) * | 2003-07-16 | 2007-10-10 | 东京毅力科创株式会社 | 搬送装置及驱动机构 |
| JP4513435B2 (ja) * | 2003-07-16 | 2010-07-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置 |
| KR100582697B1 (ko) * | 2003-07-16 | 2006-05-23 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 피처리 기판의 반송 장치 및 회전 위치를 검출하는 기능을갖는 구동 기구 |
| FR2863535B1 (fr) * | 2003-12-15 | 2009-01-30 | Commissariat Energie Atomique | Bloc d'actionnement d'un train de segments articules et interface manuelle les comprenant |
| CN101262985B (zh) * | 2005-09-16 | 2011-12-14 | 株式会社爱发科 | 输送机构、输送装置及真空处理装置 |
| US7673384B2 (en) * | 2006-04-27 | 2010-03-09 | Genesis Systems Group, Llc | Nut runner and hexabot robot |
| US7946800B2 (en) * | 2007-04-06 | 2011-05-24 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms |
| ITBO20070318A1 (it) * | 2007-05-03 | 2008-11-04 | Marchesini Group Spa | Stazione per la pesatura di contenitori |
| KR20100029087A (ko) * | 2007-05-08 | 2010-03-15 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 기계적 스위치 메카니즘을 이용한 복수의 가동 암들을 갖는 기판 이송 장치 |
| US8267636B2 (en) | 2007-05-08 | 2012-09-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
| TWI367144B (en) * | 2009-05-05 | 2012-07-01 | Univ Chung Yuan Christian | Three-link toggle type positioning platform |
| CN103503127B (zh) | 2011-03-11 | 2016-05-11 | 布鲁克斯自动化公司 | 基底处理工具 |
| CN103192372B (zh) * | 2012-01-06 | 2015-03-11 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 连杆型机械手 |
| DE102012012184A1 (de) * | 2012-06-19 | 2013-12-19 | Kuka Roboter Gmbh | Vorgabe synchronisierter Roboterbewegungen |
| CN103659807A (zh) * | 2012-09-12 | 2014-03-26 | 上海通彩自动化设备有限公司 | 三次元机械手自动化生产设备 |
| US9255699B2 (en) * | 2013-02-08 | 2016-02-09 | Rite-Hite Holding Corporation | Motion sensing dock lighting systems |
| CN103612256B (zh) * | 2013-11-28 | 2016-03-30 | 东莞职业技术学院 | 大行程水平移动平台 |
| CN103707291A (zh) * | 2013-12-17 | 2014-04-09 | 广西大学 | 一种多自由度并联机构式可控码垛机器人 |
| CN103707288A (zh) * | 2013-12-17 | 2014-04-09 | 广西大学 | 一种多自由度码垛机器人 |
| RU2716293C1 (ru) * | 2019-01-29 | 2020-03-11 | Александр Андреевич Никитин | Гибкий исполнительный орган манипулятора |
| USD933283S1 (en) | 2019-08-28 | 2021-10-12 | Rite-Hite Holding Corporation | Fan and light mounting system |
| CA189648S (en) | 2019-03-08 | 2022-01-28 | Rite Hite Holding Corp | Mounting device for fan and light |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05129418A (ja) * | 1991-11-07 | 1993-05-25 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アーム |
| JPH09262788A (ja) * | 1996-01-25 | 1997-10-07 | Daikin Ind Ltd | ワーク搬送ロボット |
| JP2000150617A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-30 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
| JP2000167788A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-06-20 | Nsk Ltd | 搬送ロボット装置 |
| JP2000208588A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-07-28 | Teijin Seiki Co Ltd | ロボットア―ム及びその駆動装置 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4756662A (en) * | 1986-03-31 | 1988-07-12 | Agency Of Industrial Science & Technology | Varible compliance manipulator |
| CN2050648U (zh) * | 1989-05-19 | 1990-01-03 | 王荣兴 | 广告、服务用机器人 |
| US5447409A (en) | 1989-10-20 | 1995-09-05 | Applied Materials, Inc. | Robot assembly |
| JP2808826B2 (ja) | 1990-05-25 | 1998-10-08 | 松下電器産業株式会社 | 基板の移し換え装置 |
| CN1060732A (zh) * | 1991-09-13 | 1992-04-29 | 王荣兴 | 广告机器人与样品转动盘及使用方法 |
| CN2164962Y (zh) * | 1993-06-17 | 1994-05-18 | 北京工业大学 | 机器人用伺服驱动型导轨滚轮运动机构 |
| US5994864A (en) * | 1995-09-11 | 1999-11-30 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot controller |
| SE511804C2 (sv) * | 1996-03-14 | 1999-11-29 | Abb Ab | Anordning för relativ förflyttning av två element |
| WO1997035690A1 (fr) | 1996-03-22 | 1997-10-02 | Komatsu Ltd. | Robot de manutention |
| CN2262940Y (zh) * | 1996-09-16 | 1997-09-24 | 福建省石狮市石狮林边玩具塑料厂 | 一种机器人玩具的传动机构 |
| US6336374B1 (en) * | 1997-01-14 | 2002-01-08 | Asea Brown Boveri A.B. | Device for relative displacement of two elements |
| JPH10249757A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-22 | Komatsu Ltd | 搬送用ロボット |
| JP3908366B2 (ja) * | 1997-12-24 | 2007-04-25 | 本田技研工業株式会社 | 人型作業ロボットの腕体構造 |
| SE512931C2 (sv) * | 1998-04-29 | 2000-06-05 | Abb Ab | Anordning för relativ förflyttning av två element |
| CN2359070Y (zh) * | 1999-03-25 | 2000-01-19 | 上海大学 | 细小管道内机器人移动装置 |
| US6499936B2 (en) * | 2001-02-17 | 2002-12-31 | Yokogawa Electric Corporation | Transfer system |
-
2001
- 2001-07-24 JP JP2001222488A patent/JP4628602B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-04-03 TW TW091106731A patent/TW544387B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-04-04 CN CNB021218536A patent/CN100396449C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-04 AT AT02252448T patent/ATE363365T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-04-04 EP EP02252448A patent/EP1249318B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-04 KR KR1020020018450A patent/KR100625585B1/ko active IP Right Grant
- 2002-04-04 US US10/115,098 patent/US6705177B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-04 DE DE60220330T patent/DE60220330T2/de not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-03-28 HK HK03102251.7A patent/HK1049976A1/xx not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05129418A (ja) * | 1991-11-07 | 1993-05-25 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アーム |
| JPH09262788A (ja) * | 1996-01-25 | 1997-10-07 | Daikin Ind Ltd | ワーク搬送ロボット |
| JP2000208588A (ja) * | 1998-11-13 | 2000-07-28 | Teijin Seiki Co Ltd | ロボットア―ム及びその駆動装置 |
| JP2000150617A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-30 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
| JP2000167788A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-06-20 | Nsk Ltd | 搬送ロボット装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1249318A3 (en) | 2005-01-19 |
| KR100625585B1 (ko) | 2006-09-20 |
| DE60220330D1 (de) | 2007-07-12 |
| CN100396449C (zh) | 2008-06-25 |
| KR20020079469A (ko) | 2002-10-19 |
| ATE363365T1 (de) | 2007-06-15 |
| US20020144782A1 (en) | 2002-10-10 |
| EP1249318B1 (en) | 2007-05-30 |
| US6705177B2 (en) | 2004-03-16 |
| CN1382564A (zh) | 2002-12-04 |
| DE60220330T2 (de) | 2008-01-31 |
| EP1249318A2 (en) | 2002-10-16 |
| JP2002361577A (ja) | 2002-12-18 |
| HK1049976A1 (en) | 2003-06-06 |
| TW544387B (en) | 2003-08-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4628602B2 (ja) | ロボットアーム | |
| US4805477A (en) | Multiple joint robot part | |
| US20100011899A1 (en) | Humanoid robot | |
| JP3339840B2 (ja) | 水平多関節型産業用ロボット及びその制御方法 | |
| US7086307B2 (en) | Parallel control arm with two branches | |
| JP2000208588A (ja) | ロボットア―ム及びその駆動装置 | |
| JP4995295B2 (ja) | ロボットアーム | |
| JP3804780B2 (ja) | ロボットアーム及びロボット | |
| JP2009269122A (ja) | ワーク搬送用ロボット | |
| US20010033144A1 (en) | Robot system | |
| JP2002066966A (ja) | 搬送ロボット | |
| WO2000005762A1 (fr) | Bras de transfert | |
| JP2006281380A (ja) | ロボットハンド | |
| JP2003209155A (ja) | 搬送アーム | |
| JP7261082B2 (ja) | 歩行ロボット | |
| JP2004273779A (ja) | 被処理体の搬送装置 | |
| JP2000042970A (ja) | 多関節アーム式搬送装置 | |
| JP4933805B2 (ja) | マニピュレータ、及び駆動力伝達機構 | |
| JP3719354B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JPH11254375A (ja) | パラレルロボット | |
| JP5463174B2 (ja) | 関節装置及び基板搬送装置 | |
| JPH11309684A (ja) | ハンドリングロボット | |
| JPH07276270A (ja) | 平行リンク方式多関節ロボット | |
| JP2002200583A (ja) | 搬送アーム | |
| WO2024024044A1 (ja) | 多関節ロボット |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20041013 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080526 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091224 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100308 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100914 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101021 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101109 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101110 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4628602 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |