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JP4616231B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents

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本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、片面側に接着剤層が設けられた帯状シートに断続的な切り込みを形成し、当該切り込みで囲まれる内側を接着用シートとして被着体に貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法に関する。
半導体ウエハ(以下、単に、「ウエハ」と称する)等の板状部材は、その処理工程において、ダイシングテープを介してリングフレームにマウントされたり、ウエハ回路面に保護シート等が貼付されたりすることが行われている。
前述したダイシングテープの貼付方法としては、帯状のダイシングテープを繰り出す途中で、当該ダイシングテープが仮着されているセパレータ(剥離シート)を剥離し、当該ダイシングテープをリングフレームとウエハに貼り付けた後にリングフレームの面内で閉ループ状に切断を行い、その外周側の不要テープ部分を巻き取って回収する、という構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。また、帯状のベースシート(剥離シート)に仮着された帯状のテープ基材を繰り出す際に、当該テープ基材に閉ループ状の切り込みを形成して所定形状のダイシングテープとし、当該ダイシングテープをピールプレートの先端でベースシートから剥離してリングフレームとウエハに貼付するという方法が知られている(特許文献2参照)。
特開2003−257898号公報 特開2006−073920号公報
しかしながら、特許文献1のシート貼付方法にあっては、リングフレーム上でカッター刃を移動させてダイシングテープを略円形に切断するものであるため、カッター刃がリングフレームを傷つけてしまう他、カッター刃自体の使用寿命を短くしてしまう、という固有の問題がある。この点、特許文献2に記載された方法は、ダイカットローラを用いてリングフレーム外形に略対応する閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みで囲まれるシート領域をダイシングテープとして貼付するものとなっているため、特許文献1の方法固有の問題は解消し得るものとなる。
しかしながら、特許文献2に記載されたシート貼付方法においては、シートの片面側に設けられた接着剤層にベースシートが仮着された帯状の原反が用いられるものであり、原反の層構造において、ベースシートが必須となって無駄を生ずる、という不都合がある。これは、テープ基材に形成される切り込みが連続した閉ループ状であるため、切り込みで囲まれる内側のダイシングテープをベースシート上に仮着させておかなければならないからである。また、ベースシートが必須であるため、ロール状の原反を用いたときの当該ロール径が大きくなりすぎる不都合の他、ロール径の小さい原反を用いた場合には、当該原反の消費サイクルが短くなり、原反の支持手段への装着作業が頻繁となって作業効率を低下させる、という不都合を招来する。
[発明の目的]
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、シートの片面側に接着剤層を設けただけのシンプルな層構造となる帯状シートを用い、当該帯状シートに閉ループの軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートを被着体に貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある
前記目的を達成するため、片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付する押圧手段と、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離する引き裂き手段とを備える、という構成を採っている。
本発明において、前記引き裂き手段は前記被着体を支持するテーブルに配置され、当該引き裂き手段は、前記不要シート部分の接着剤層側に位置して前記帯状シートの幅方向両側に設けられた移動部材と、前記不要シート部分の非接着剤層側に位置して当該不要シート部分を前記移動部材との間にそれぞれ挟み込むクランパと、前記移動部材とクランパとを引き裂き方向に駆動して前記帯状シートをエキスパンドする駆動装置とを含んで構成される、という構成を採ることができる。
また、前記クランパは、前記接着用シートを被着体に貼付する際に、前記押圧手段に干渉しない位置に退避可能に設けられている。
更に、本発明は、片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付した後、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離し、次いで、前記不要シート部分を巻き取る、という方法を採っている。
前記シート貼付方法において、前記切り込みは切り込み部と非切り込み部とからなり、非切り込み部の内側及び/又は外側に、当該非切り込み部の長さよりも長い破断防止用切り込みが設けられ、前記接着用シートと不要シート部分とを分離する際に、前記破断防止用切り込みが前記閉ループの軌跡から外れた方向に向かう破断を堰き止める、という方法を採用することが好ましい。
本発明によれば、押圧手段により接着用シートが被着体に貼付された後に、引き裂き手段を介して引き裂き力を付与する構成であるため、接着用シートを仮着するための剥離シートを有さないタイプの帯状シートを用いることが可能となり、剥離シートを無駄に消費することがない。また、接着用シートを被着体に貼付した状態で前記引き裂き力を付与するため、接着用シートが貼付された位置をしっかり保って不要シート部分との分離が可能となる。更に、剥離シートを有さない帯状シートを利用できることから、当該帯状シートをロール状に巻回して繰り出す構成としたときに、ロール径が極端に大きくなることがなく、また、同径の剥離シート付きロールに比べてロール交換頻度も低減して貼付効率を向上させることができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1には、本実施形態に係るシート貼付装置10の概略斜視図が示され、図2には、テーブルの概略斜視図が示され、図3には、テーブルの一部断面図が示されている。これらの図において、帯状シートSは、帯状に延びるシート基材S1と、このシート基材S1の片面側に設けられた接着剤層Aとからなる二層構造とされている。この帯状シートSの延出方向に沿う所定間隔を隔てた位置には、略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込み11によって接着用シートS2が形成されている一方、当該接着用シートS2を除く外側領域が不要シート部分S3として形成され、当該不要シート部分S3の領域内において、帯状シートSの幅方向略中央部には、帯状シートSの繰り出し方向に沿ってミシン目若しくはスリットからなる引裂部12が形成されている。この引裂部12は、隣り合う閉ループ状の切り込み11間に直線状に延びているが、それら引裂部12は連続しないように形成されている。
前記切り込み11は、切り込み部11Aと、非切り込み部11Bとが略円形の軌跡に沿って交互に連続し、非切り込み部11Bは、接着用シートS2と不要シート部分S3とを分離するときの抵抗を小さく保つ短い長さに設定されている。換言すれば、非切り込み部11Bの長さや形成数は、剥離シートを有さない帯状シートSから接着用シートS2が不用意に抜け出て脱落することがなく、しかも、容易に分離することができるように設定されていればよい。本実施形態では、非切り込み部11Bの内側に破断防止用切り込み11Cが形成されている。この破断防止用切り込み11Cは、引き裂き力が付与されたときに、接着用シートS2の内側領域に大きく破断が及ぶことがないように破断を堰き止めるためのものであり、非切り込み部11Bが隣り合う切り込み11Aの端部間に繋がるように切り裂くことができれば、破断防止用切り込み11Cが直接的に作用することはない。なお、破断防止用切り込み11Cは、非切り込み部11Bの長さよりも長く設けられ、これにより、引裂力を付与して非切り込み部11Bが切り込まれない場合があっても、接着用シートS2の内側領域に及び得る破断を堰き止めることが可能となっている。
前記シート貼付装置10は、図1ないし図3に示されるように、本実施形態では、被着体としてのウエハW及びリングフレームRFを一体化させるマウント装置としての作用をなすものとして構成されている。このシート貼付装置10は、図示しない繰出装置から繰り出された帯状シートSを押圧して前記接着用シートS2をウエハW及びリングフレームRFに貼付する押圧手段としての押圧ローラ15と、ウエハW及びリングフレームRFを支持するテーブル16と、前記切り込み11及び引裂部12に引き裂き力を付与して接着用シートS2と不要シート部分S3とを分離する引き裂き手段18とを備えて構成されている。
前記押圧ローラ15は、前記テーブル16の側方位置において、帯状シートSの繰出方向に沿って延びる単軸ロボット20に支持されている。この押圧ローラ15は、単軸ロボット20を介して略水平方向に移動可能に設けられているとともに、当該押圧ローラ15が帯状シートSの図中上面側となる非接着剤層側に接しながら回転して接着剤層AをウエハW及びリングフレームRFに貼り付けるようになっている。ここで、単軸ロボット20の一端側(図1中左端側)には、ガイドローラ21が回転可能な状態で固定され、当該ガイドローラ21の上方に配置される図示しない巻取装置を介して不要シート部分S3が巻き取られるように構成されている。
前記テーブル16は、前記リングフレームRF及びウエハWを吸着保持可能な上面構造を備えた昇降テーブル25と、当該昇降テーブル25の下面側に位置するベーステーブル26とからなる。ベーステーブル26の中央部には、図3に示されるように、エアシリンダ(以下「シリンダ」と称す)27が設けられているとともに、各コーナー近傍にはガイドシャフト28がそれぞれ設けられ、シリンダ27におけるロッド29の先端(上端)は昇降テーブル25の下面に連結されている。これにより、ロッド29の進退により、昇降テーブル25は接着用シートS2を貼付することのできる高さ位置に対し、前記ガイドシャフト28に沿って昇降可能とされている。
前記引き裂き手段18は、前記テーブル16に配置され、帯状シートSの幅方向両側に一対配置とされている。この引き裂き手段18は、前記不要シート部分S3の接着剤層A側にそれぞれ位置する移動部材30と、不要シート部分S3の非接着剤層側(上面側)に位置して当該不要シート部分S3を移動部材30との間にそれぞれ挟み込むクランパ31と、前記移動部材30とクランパ31とを引き裂き方向、すなわち、帯状シートSの幅方向に沿って離間する方向に駆動して当該帯状シートSを幅方向にエキスパンドする駆動装置としてのシリンダ33(図3参照)とを含んで構成されている。移動部材30は、昇降テーブル25の上面側に位置する平面部30Aと、当該平面部30Aの外側端部から下方に向けられた垂下面部30Bとからなる側面視略L字状に設けられ、当該垂下面部30Bにシリンダ33のロッド33Aが固定されている。これにより、ロッド33Aが進退することにより、一対の移動部材30が相互に離間、接近可能となり、離間したときに、帯状シートSを幅方向にエキスパンドすることとなる。なお、前記移動部材30における平面部30Aの上面は、フッ素樹脂加工、エンボス加工等の表面処理が施されており、これにより、不要シート部分S3が平面部30Aに強力に接着してしまうことを防止している。
前記クランパ31は、移動部材30の平面部30Aとで不要シート部分S3を挟み込む側面視略L型のクランプアーム35と、当該クランプアーム35を回転可能に支持する回転移動装置37とにより構成されている。このクランパ31は、前記接着用シートS2をウエハW及びリングフレームRFに貼付する際に、前記押圧ローラ15に干渉しない位置、すなわち、図3中二点鎖線で示されるように、昇降テーブル25の側面側に退避可能となっている。
次に、本実施形態における接着用シートS2の貼付方法について図4ないし図8をも参照しながら説明する。
先ず、図示しない繰出装置から帯状シートSを繰り出し、接着剤層Aが前記テーブル25の上方に相対する向きでガイドローラ21を経由して図示しない巻取装置に帯状シートSのリード端を固定する。そして、図2に示されるように、昇降テーブル25の上面に、適宜な搬送アーム等を介してリングフレームRFとウエハWが所定位置に載置され、吸着保持されて準備が完了する(図4参照)。このとき、押圧ローラ15は、図4に示されるように昇降テーブル25の右側に位置し、テーブル16は、昇降テーブル25が下降限にあってリングフレームRF及びウエハWが接着剤層Aには接触しない位置を保つとともに、移動部材30が相互に接近し、且つ、クランパ31が図3中二点鎖線で示される位置に保たれる。
帯状シートSの繰り出しが開始されて接着用シートS2がリングフレームRF及びウエハWの上方に位置したことが図示しないセンサ等により検出されると、帯状シートSの繰り出しが停止される。そして、図5に示されるように昇降テーブル25が上昇してリングフレームRF及びウエハWを接着用シートS2の接着剤層Aに接近させた後、図6に示されるように、押圧ローラ15がガイドローラ21方向に移動し(図6中実線で示す)、再び初期位置(図6中二点鎖線で示す)に復帰して帯状シートSをリングフレームRF及びウエハWに貼付する。
このようにして帯状シートSの貼付が終了すると、図7に示されるように、クランパ31が退避位置から回転して不要シート部分S3を平面部30Aとの間に挟み込んだ後、一対の移動部材30が相互に離間するようにシリンダ33によって駆動される。この駆動により、帯状シートSが幅方向にエキスパンドされ、このとき、前記切り込み11及び引裂部12に引き裂き力が付与され、接着用シートS2と不要シート部分S3とが分離されることとなる。
そして、クランパ31を退避状態に戻した後、図8に示されるように、昇降テーブル25を下降させると、リングフレームRF及びウエハWに接着用シートS2のみが貼付されて付随する状態となる。なお、前記平面部30A上は、非粘着処理が施されているため、下降するテーブル16によって不要接着シート部分S3が下方へ引っ張られることはない。この状態で、図示しない搬送アーム等を介して一体化されたリングフレームRF及びウエハWを昇降テーブル25から取り出して次工程若しくは所定のストッカに搬送し、新たなリングフレームRF及びウエハWを昇降テーブル25上に移載する。そして、上記同様の動作を繰り返すこととなる。
なお、前述した引き裂き力の付与によって、切り込み部11Aの端部間の非切り込み部11Bは、隣り合う切り込み部11Aを相互に繋がるように引き裂かれて破断することになるが、何らかの要因によって、そのような破断が形成されない場合には、接着用シートS2に破断が及び得ることとなる。しかしながら、この場合でも、切り込み部11Aの端部は、破断防止用切り込みC1に繋がることになるため、当該破断は、破断防止用切り込み11Cで堰き止められることとなり、接着用シートS2の内側深くには及ぶことはなく、接着用シートS2の貼付精度に大きな影響を与えることはない。
従って、このような実施形態によれば、剥離シートを有さない帯状シートSから接着用シートS2をリングフレームRF及びウエハWに貼付することができ、経済性と、貼付効率に優れたシート貼付装置10を提供することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
例えば、被着体として、リングフレームRFや半導体ウエハWを対象としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の板状部材等を対象とすることもできる。従って、切り込みは、略円形の軌跡に沿うものに限らず、多角形や、楕円の軌跡に沿うものであってもよい。
更に、前記実施形態では、破断防止用切り込み11Cが非切り込み部11Bの内側に形成された場合を示したが、この破断防止用切り込み11Cは、外側に設けることを妨げない。
また、帯状シートSは、予め切り込み11を設けた接着用シートS2を形成したものを採用したが、帯状シートS2を繰り出す過程において、適宜なダイカット装置等で切り込んで接着用シートS2を形成しつつ当該接着用シートS2を貼付することもできる。
更に、押圧手段は、押圧ローラに限らず、テーブル16の上方を水平方向に移動し、そのエッヂで接着用シートS2を貼付するブレード部材等に代替することもできる。
シート貼付装置の概略斜視図。 被着体を保持した状態を示すテーブルの概略斜視図。 テーブルの一部断面図。 接着用シートを被着体に貼付する初期段階を示す側面図。 昇降テーブルが上昇した状態を示す側面図。 押圧ローラで接着用シートを被着体に貼付する状態を示す側面図。 帯状シートを幅方向にエキスパンドした状態を示す斜視図。 接着用シートを被着体に貼付して昇降テーブルを下降させた状態を示す一部断面図。
符号の説明
10 シート貼付装置
11 切り込み
11A 切り込み部
11B 非切り込み部
11C 破断防止用切り込み
12 引裂部
16 テーブル
18 引き裂き手段
30 移動部材
31 クランパ
33 シリンダ(駆動装置)
15 押圧ローラ(押圧手段)
A 接着剤層
S 帯状シート
S1 シート基材
S2 接着用シート
S3 不要シート部分
RF リングフレーム(被着体)
W 半導体ウエハ(被着体)

Claims (5)

  1. 片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付装置において、
    前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付する押圧手段と、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離する引き裂き手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
  2. 前記引き裂き手段は前記被着体を支持するテーブルに配置され、当該引き裂き手段は、前記不要シート部分の接着剤層側に位置して前記帯状シートの幅方向両側に設けられた移動部材と、前記不要シート部分の非接着剤層側に位置して当該不要シート部分を前記移動部材との間にそれぞれ挟み込むクランパと、前記移動部材とクランパとを引き裂き方向に駆動して前記帯状シートをエキスパンドする駆動装置とを含んで構成されていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
  3. 前記クランパは、前記接着用シートを被着体に貼付する際に、前記押圧手段に干渉しない位置に退避可能に設けられていることを特徴とする請求項2記載のシート貼付装置。
  4. 片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付方法において、
    前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付した後、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離し、次いで、前記不要シート部分を巻き取ることを特徴とするシート貼付方法。
  5. 前記断続的な切り込みは切り込み部と非切り込み部とからなり、非切り込み部の内側及び/又は外側に、当該非切り込み部の長さよりも長い破断防止用切り込みが設けられ、前記接着用シートと不要シート部分とを分離する際に、前記破断防止用切り込みが前記閉ループの軌跡から外れた方向に向かう破断を堰き止めることを特徴とする請求項4記載のシート貼付方法。
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