JP4616231B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、シートの片面側に接着剤層を設けただけのシンプルな層構造となる帯状シートを用い、当該帯状シートに閉ループの軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートを被着体に貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付する押圧手段と、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離する引き裂き手段とを備える、という構成を採っている。
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付した後、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離し、次いで、前記不要シート部分を巻き取る、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
更に、前記実施形態では、破断防止用切り込み11Cが非切り込み部11Bの内側に形成された場合を示したが、この破断防止用切り込み11Cは、外側に設けることを妨げない。
また、帯状シートSは、予め切り込み11を設けた接着用シートS2を形成したものを採用したが、帯状シートS2を繰り出す過程において、適宜なダイカット装置等で切り込んで接着用シートS2を形成しつつ当該接着用シートS2を貼付することもできる。
更に、押圧手段は、押圧ローラに限らず、テーブル16の上方を水平方向に移動し、そのエッヂで接着用シートS2を貼付するブレード部材等に代替することもできる。
11 切り込み
11A 切り込み部
11B 非切り込み部
11C 破断防止用切り込み
12 引裂部
16 テーブル
18 引き裂き手段
30 移動部材
31 クランパ
33 シリンダ(駆動装置)
15 押圧ローラ(押圧手段)
A 接着剤層
S 帯状シート
S1 シート基材
S2 接着用シート
S3 不要シート部分
RF リングフレーム(被着体)
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付する押圧手段と、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離する引き裂き手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記引き裂き手段は前記被着体を支持するテーブルに配置され、当該引き裂き手段は、前記不要シート部分の接着剤層側に位置して前記帯状シートの幅方向両側に設けられた移動部材と、前記不要シート部分の非接着剤層側に位置して当該不要シート部分を前記移動部材との間にそれぞれ挟み込むクランパと、前記移動部材とクランパとを引き裂き方向に駆動して前記帯状シートをエキスパンドする駆動装置とを含んで構成されていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記クランパは、前記接着用シートを被着体に貼付する際に、前記押圧手段に干渉しない位置に退避可能に設けられていることを特徴とする請求項2記載のシート貼付装置。
- 片面側に接着剤層が設けられているとともに、所定間隔ごとに略閉ループ状の軌跡に沿う断続的な切り込みによって形成された接着用シートと、当該接着用シートの外側に位置する不要シート部分に設けられた引裂部とを備えた帯状シートを用い、当該帯状シートを繰り出して前記接着用シートをテーブル上に支持された被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記接着用シートを押圧して当該接着用シートを被着体に貼付した後、前記断続的な切り込み及び引裂部に引き裂き力を付与して前記接着用シートと不要シート部分とを分離し、次いで、前記不要シート部分を巻き取ることを特徴とするシート貼付方法。 - 前記断続的な切り込みは切り込み部と非切り込み部とからなり、非切り込み部の内側及び/又は外側に、当該非切り込み部の長さよりも長い破断防止用切り込みが設けられ、前記接着用シートと不要シート部分とを分離する際に、前記破断防止用切り込みが前記閉ループの軌跡から外れた方向に向かう破断を堰き止めることを特徴とする請求項4記載のシート貼付方法。
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