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JP4508085B2 - Electronic component mounting equipment - Google Patents

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JP4508085B2
JP4508085B2 JP2005327220A JP2005327220A JP4508085B2 JP 4508085 B2 JP4508085 B2 JP 4508085B2 JP 2005327220 A JP2005327220 A JP 2005327220A JP 2005327220 A JP2005327220 A JP 2005327220A JP 4508085 B2 JP4508085 B2 JP 4508085B2
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
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Description

本発明は、電子部品の実装に用いられる電子部品の実装用装置に関するものである。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus used for mounting electronic components.

電子部品の実装工程においては、基板の表面に導電性ペーストや半田クリームの塗布やスクリーン印刷を行う工程、導電性ペースト等が塗布・印刷された基板の表面に電子部品を搭載する工程、熱圧着やリフローにより電子部品を機械的及び電気的に基板に接合する工程、基板が多数個取り基板である場合には個々の基板にダイシングする工程等により基板に種々の加工が行われる。これらの工程は、各々の工程に必要な設備を備えた専用の実装用装置において実施される。各実装用装置の間には、基板を前工程から後工程に搬送する搬送機構が設けられており、各実装用装置には、基板の搬出入を行う開口部が設けられている。   In the mounting process of electronic parts, the process of applying conductive paste or solder cream or screen printing on the surface of the board, the process of mounting electronic parts on the surface of the board coated with conductive paste, etc., thermocompression bonding Various processes are performed on the substrate by a process of mechanically and electrically joining the electronic component to the substrate by reflow or a process of dicing each substrate when the substrate is a multi-piece substrate. These processes are performed in a dedicated mounting apparatus equipped with facilities necessary for each process. Between each mounting apparatus, the conveyance mechanism which conveys a board | substrate from a pre-process to a post process is provided, and the opening part which carries in and out of a board | substrate is provided in each mounting apparatus.

実装用装置内には、基板の位置決め等を行うために高速で移動する各種の駆動系が備えられている。そのため、オペレータの手や指等が開口部から実装用装置内に進入する等の事故を防止することを目的として、様々な安全対策を施した実装用装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。
特開2004−343023号公報
In the mounting apparatus, there are provided various drive systems that move at high speed in order to position the substrate. Therefore, a mounting apparatus with various safety measures has been proposed for the purpose of preventing an accident such as an operator's hand or finger entering the mounting apparatus from the opening (for example, Patent Document 1). reference).
JP 2004-343023 A

この特許文献1に開示されたものは、開口部に蛇腹式のスライドドアが設けられており、基板の搬出入時にはスライドドアを開放して基板を実装用装置内に搬出入し、実装用装置内で基板に所定の加工を施す際にはスライドドアを閉鎖することによりオペレータの安全を確保している。   The device disclosed in Patent Document 1 is provided with a bellows type slide door at an opening, and when the substrate is carried in and out, the slide door is opened to carry the substrate into and out of the mounting device. When the substrate is subjected to predetermined processing, the safety of the operator is ensured by closing the slide door.

しかしながら、基板の搬出入の度にスライドドアの開閉動作を伴うため、作業が煩雑であり生産効率の低下につながる。また、不注意によりスライドドアを閉鎖しないまま実装用装置を稼動する可能性があり安全管理上の問題がある。   However, since the sliding door is opened and closed every time the substrate is carried in and out, the work is complicated and the production efficiency is reduced. Moreover, there is a possibility of operating the mounting device without closing the sliding door due to carelessness, which causes a problem in safety management.

そこで本発明は、生産効率を低下させることなくオペレータの安全を確保することができる電子部品の実装用装置を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus that can ensure the safety of an operator without reducing the production efficiency.

請求項1記載の発明は、函体内に搬入された基板に所定の加工を行って函体外に搬出する電子部品の実装用装置であって、前記函体に設けられて基板が搬入及び/又は搬出される開口部と、搬入及び/又は搬出される基板が通過できる程度に前記開口部の上部を狭め上方向に移動可能な上シャッタと前記開口部の下部を狭め下方向に移動可能な下シャッタのうち少なくとも何れか一方のシャッタと、前記上シャッタと前記下シャッタのうち少なくとも何れか一方のシャッタがそれぞれ上下方向に移動したことを検知するセンサを備え、前記センサが、前記上シャッタと前記下シャッタのうち少なくとも何れか一方のシャッタがそれぞれ上下方向に移動したことを検知すると、前記所定の加工を行う駆動系の動作を停止する。   The invention according to claim 1 is an apparatus for mounting an electronic component that performs predetermined processing on a board carried into the box and carries it out of the box, and is provided in the box so that the board can be carried in and / or An upper shutter that can be moved upward by narrowing the upper part of the opening and the lower part of the opening that can be moved downward by narrowing the upper part of the opening so that the substrate to be carried in and / or carried out can pass through. A sensor that detects that at least one of the shutters and at least one of the upper shutter and the lower shutter has moved in the vertical direction, and the sensor includes the upper shutter and the shutter; When it is detected that at least one of the lower shutters has moved up and down, the operation of the drive system for performing the predetermined processing is stopped.

請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記上シャッタが、前記実装用装置に形成されて上下方向に延びる長孔に上下移動自在に保持され、この長孔の下部に係止された状態において、前記搬入及び/又は搬出される基板が通過できる程度に前記開口
部の上部を狭め、前記下シャッタが、前記実装用装置に形成されて上下方向に延びる長孔に上下移動自在に保持され、この長孔の上部に一時係止手段により係止された状態において、前記搬入及び/又は搬出される基板が通過できる程度に前記開口部の下部を狭める。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the upper shutter is held by a long hole formed in the mounting apparatus and extending in the vertical direction so as to be movable up and down. In the stopped state, the upper portion of the opening is narrowed to such an extent that the substrate to be carried in and / or out can pass, and the lower shutter moves up and down into a long hole formed in the mounting device and extending in the vertical direction. The lower portion of the opening is narrowed to such an extent that the substrate to be carried in and / or carried out can pass in a state where the substrate is held freely and is held by the upper portion of the elongated hole by the temporary locking means.

請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、前記センサが透過型センサであり、前記上シャッタ及び前記下シャッタが前記係止された状態において、前記上シャッタ及び前記下シャッタにそれぞれ形成されたセンサ孔を通過する光が遮光されることにより前記上シャッタと前記下シャッタのうち少なくとも何れか一方のシャッタがそれぞれ上下方向に移動したことを検知する。   According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the invention, the sensor is a transmissive sensor, and the upper shutter and the lower shutter are respectively in a state where the upper shutter and the lower shutter are locked. When light passing through the formed sensor hole is blocked, it is detected that at least one of the upper shutter and the lower shutter has moved in the vertical direction.

本発明によれば、基板が通過できる程度に開口部を狭めるシャッタを設け、開口部に接近したオペレータの手や指等がシャッタに接触してこれを移動させると装置の駆動系を停止するようになっているので、生産効率を低下させることなくオペレータの安全を確保することができる。   According to the present invention, a shutter that narrows the opening to such an extent that the substrate can pass is provided, and when the operator's hand or finger approaching the opening contacts and moves the shutter, the drive system of the apparatus is stopped. Therefore, the safety of the operator can be ensured without reducing the production efficiency.

本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図、図2は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の正面図、図3(a)は本発明の一実施の形態における基板支持装置の平面図、図3(b)は本発明の一実施の形態における基板支持装置の平面図、図4(a)は本発明の一実施の形態における基板支持装置の一部側断面図、図4(b)は本発明の一実施の形態における基板支持装置の一部側断面図、図4(c)は本発明の一実施の形態における基板支持装置の一部側断面図、図5は本発明の一実施の形態における基板支持装置の平面図及び一部拡大平面図、図6(a)は本発明の一実施の形態における基板支持装置の動作説明図、図6(b)は本発明の一実施の形態における基板支持装置の動作説明図、図7(a)は本発明の一実施の形態におけるマスクと基板と認識手段の位置関係を示す平面図、図7(b)は本発明の一実施の形態におけるマスクと基板と認識手段の位置関係を示す平面図、図8(a)は本発明の一実施の形態における認識手段の平面図、図8(b)は本発明の一実施の形態におけるマスクと基板と認識手段の位置関係を示す側面図、図9は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の函体の側面図、図10(a)は本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の正面図、図10(b)は本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の平面図、図10(c)は本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の背面図、図11(a)は本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の動作説明図、図11(b)は本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の動作説明図、図12は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の制御系の構成図、図13(a)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図、図13(b)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図、図14(a)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図、図14(b)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図、図15(a)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図、図15(b)は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図、図16は本発明の一実施の形態における可動爪の動作を示すフローチャートである。   An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a side view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3A is an embodiment of the present invention. FIG. 3B is a plan view of the substrate support apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 4A is a partial cross-sectional side view of the substrate support apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 4B is a partial cross-sectional side view of the substrate support apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 4C is a partial side cross-sectional view of the substrate support apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 5 is a plan view and a partially enlarged plan view of the substrate support apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 6A is an operation explanatory view of the substrate support apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. ) Is an explanatory diagram of the operation of the substrate supporting apparatus in one embodiment of the present invention, FIG. FIG. 7 is a plan view showing the positional relationship between the mask, the substrate and the recognition means in one embodiment of the present invention, and FIG. 7B is a plan view showing the positional relationship between the mask, the substrate and the recognition means in one embodiment of the present invention. FIG. 8A is a plan view of the recognition means in one embodiment of the present invention, and FIG. 8B is a side view showing the positional relationship between the mask, the substrate and the recognition means in one embodiment of the present invention. 9 is a side view of the box of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 10A is a front view of the shutter mechanism according to the embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 10C is a rear view of the shutter mechanism according to the embodiment of the present invention, and FIG. 11A is an operation explanatory view of the shutter mechanism according to the embodiment of the present invention. FIG. 11B shows an embodiment of the present invention. FIG. 12 is a configuration diagram of a control system of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 13A is an operation description of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 13B is an operation explanatory diagram of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 14A is an operation explanatory diagram of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. ) Is an explanatory diagram of the operation of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 15A is an explanatory diagram of the operation of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 16 is a flowchart showing the operation of the movable nail in the embodiment of the present invention.

まず、スクリーン印刷装置の全体構成について、図1及び図2を参照して説明する。図1及び図2において、スクリーン印刷装置1は、所定のパターン孔2aが形成されたマスク2に位置合わせされた基板3の表面にペーストをパターン印刷する装置である。スクリーン印刷装置1は、基板3を保持する基板保持手段4と、この基板保持手段4をマスク2に対して相対的に移動させて基板3とマスク2の位置合わせを行う基板移動手段5と、マスク2と基板3の間で水平移動してマスク2を下方から認識するとともに基板3を上方か
ら認識する認識手段6と、マスク2の表面に供給されたペーストを塗り拡げてパターン孔2aに滞留させて基板3の表面にパターン印刷するスキージユニット7を備えている。
First, the overall configuration of the screen printing apparatus will be described with reference to FIGS. 1 and 2. 1 and 2, a screen printing apparatus 1 is an apparatus for pattern printing a paste on the surface of a substrate 3 aligned with a mask 2 in which a predetermined pattern hole 2a is formed. The screen printing apparatus 1 includes a substrate holding unit 4 that holds the substrate 3, a substrate moving unit 5 that moves the substrate holding unit 4 relative to the mask 2 to align the substrate 3 and the mask 2, Recognizing means 6 that moves horizontally between the mask 2 and the substrate 3 to recognize the mask 2 from below and recognizes the substrate 3 from above, and spreads the paste supplied on the surface of the mask 2 and stays in the pattern hole 2a. Thus, a squeegee unit 7 for printing a pattern on the surface of the substrate 3 is provided.

基板保持手段4は、基板3をX方向に搬送する搬送レール8と、搬送レール8により搬送される基板3を対向する辺で挟持して保持するクランパ10により構成される。クランパ10は、一対の搬送レール8にそれぞれ備えられて対をなしており、クランパ移動手段11の駆動により互いに接離するようになっている。クランパ10を互いに隔離させた状態では、基板搬送時に基板3の移動を妨げることがなく、クランパ10を互いに近接させた状態では、基板3の対向する辺を挟持して基板3を所定の位置に保持するようになっている。   The substrate holding means 4 includes a transport rail 8 that transports the substrate 3 in the X direction, and a clamper 10 that sandwiches and holds the substrate 3 transported by the transport rail 8 at opposite sides. The clampers 10 are respectively provided on the pair of transport rails 8 to form a pair, and are brought into contact with and separated from each other by driving of the clamper moving means 11. In the state where the clampers 10 are separated from each other, the movement of the substrate 3 is not hindered when the substrates are transported, and in the state where the clampers 10 are close to each other, the opposite sides of the substrate 3 are sandwiched to bring the substrate 3 into a predetermined position. It comes to hold.

基板移動手段5は、基板保持手段4により保持された基板3を水平方向(X、Y、θ方向)に移動させるYテーブル20、Xテーブル21、θテーブル22と、鉛直方向(Z方向)に移動させるZテーブル23を積層して構成されており、Zテーブル23はθテーブル22の上部に取り付けられたプレート24の上方に配設されている。Zテーブル23は平面視して矩形状であり、送り方向が鉛直方向である4本のボールねじ25と4隅で螺合した状態で水平に支持されている(図1では側面の2本のボールねじを示しており、図2では正面の2本のボールねじを示している。)。プレート24には、ボールねじ25を回転させる駆動手段としてのモータ26が設けられている。ボールねじ25とモータ26にはそれぞれプーリ27、28が設けられており、プーリ27、28に調帯されたタイミングベルト29によりモータ26の回転駆動が4つのボールねじ25に伝達されるようになっている。これにより、4つのボールねじ25が同期して回転し、Zテーブル23は水平を保った状態で昇降する。このように構成されるYテーブル20及びXテーブル21、θテーブル22、Zテーブル23の駆動を制御して基板保持手段4をマスク2に対して相対的に移動させることにより基板3とマスク2の位置合わせがなされる。   The substrate moving means 5 includes a Y table 20, an X table 21, and a θ table 22 that move the substrate 3 held by the substrate holding means 4 in the horizontal direction (X, Y, θ direction), and the vertical direction (Z direction). The Z table 23 to be moved is laminated, and the Z table 23 is disposed above the plate 24 attached to the upper portion of the θ table 22. The Z table 23 has a rectangular shape in plan view, and is horizontally supported in a state where it is screwed at four corners with four ball screws 25 whose feed direction is the vertical direction (FIG. 1 shows two side screws). A ball screw is shown, and two ball screws on the front are shown in FIG. The plate 24 is provided with a motor 26 as a driving means for rotating the ball screw 25. The ball screw 25 and the motor 26 are provided with pulleys 27 and 28, respectively, and the rotational drive of the motor 26 is transmitted to the four ball screws 25 by a timing belt 29 adjusted to the pulleys 27 and 28. ing. As a result, the four ball screws 25 rotate in synchronism, and the Z table 23 moves up and down while maintaining the level. By controlling the driving of the Y table 20, the X table 21, the θ table 22, and the Z table 23 configured as described above, the substrate holding means 4 is moved relative to the mask 2 to thereby move the substrate 3 and the mask 2. Alignment is made.

基板保持手段4の下方には、基板3を昇降させて基板3の表面とクランパ10の上面を相対的にレベル合わせする基板昇降手段30が配設されている。基板昇降手段30は、平面視して矩形状の可動テーブル31を主体として構成されており、送り方向が鉛直方向である4本のボールねじ32と4隅で螺合した状態で水平に支持されている(図1では側面の2本のボールねじを示しており、図2では正面の2本のボールねじを示している。)。Zテーブル23には、ボールねじ32を回転させる駆動手段としてのモータ33が設けられている。ボールねじ32とモータ33にはそれぞれプーリ34、35が設けられており、プーリ34、35に調帯されたタイミングベルト36によりモータ33の回転駆動が4つのボールねじ32に伝達されるようになっている。これにより、4つのボールねじ32が同期して回転し、可動プレート31は水平を保った状態で昇降する。可動プレート31の上部には、基板3の鉛直下方となる位置にスペーサ37が設けられている。スペーサ37を基板3の裏面に当接させた状態で可動プレート31を昇降させることにより、基板3がクランパ10に対して昇降して基板3の表面とクランパ10の上面とを相対的にレベル合わせすることができる。   Below the substrate holding means 4, there is disposed a substrate elevating means 30 that moves the substrate 3 up and down to relatively level the surface of the substrate 3 and the upper surface of the clamper 10. The substrate elevating means 30 is mainly composed of a rectangular movable table 31 in plan view, and is horizontally supported in a state where it is screwed at four corners with four ball screws 32 whose feed direction is the vertical direction. (FIG. 1 shows two ball screws on the side surface, and FIG. 2 shows two ball screws on the front surface.) The Z table 23 is provided with a motor 33 as drive means for rotating the ball screw 32. The ball screw 32 and the motor 33 are provided with pulleys 34 and 35, respectively, and the rotational drive of the motor 33 is transmitted to the four ball screws 32 by the timing belt 36 adjusted to the pulleys 34 and 35. ing. As a result, the four ball screws 32 rotate synchronously, and the movable plate 31 moves up and down while maintaining the level. A spacer 37 is provided above the movable plate 31 at a position vertically below the substrate 3. By moving the movable plate 31 up and down while the spacer 37 is in contact with the back surface of the substrate 3, the substrate 3 moves up and down relative to the clamper 10, and the surface of the substrate 3 and the upper surface of the clamper 10 are relatively leveled. can do.

図2において、スクリーン印刷装置1は函体1aに覆われて遮蔽されており、函体1aの側壁1bには、スクリーン印刷装置1に対して搬出入される基板3が通過する開口部40が形成されている。この開口部40を介して、側壁1bの外側に配置された搬入路41及び搬出路42と搬送レール8の間で基板3の受け渡しが行われる。搬送レール8は、側壁1bの近傍まで延伸されており、搬送レール8の端部には側壁1bとのクリアランスを調整する調整部9が設けられている。   In FIG. 2, the screen printing apparatus 1 is covered and shielded by a box 1a, and an opening 40 through which a substrate 3 carried in and out of the screen printing apparatus 1 passes is formed on the side wall 1b of the box 1a. Is formed. The substrate 3 is transferred through the opening 40 between the carry-in rail 41 and the carry-in passage 41 and the carry-out passage 42 arranged outside the side wall 1b. The conveyance rail 8 is extended to the vicinity of the side wall 1b, and an adjustment unit 9 for adjusting a clearance from the side wall 1b is provided at an end of the conveyance rail 8.

次に、基板保持手段4について、図3乃至図6を参照して詳説する。図3(a)において、クランパ10は、一対の搬送レール8にそれぞれ備えられて対をなしており、基板3
の対向する辺を挟持して基板3を保持している。クランパ10の上面には凹部12が形成されており、この凹部12に可動爪13が設けられている。図4(a)において、可動爪13は、厚さが0.1mm程度の可撓性を有する板状部材からなり、鉤状に屈曲させて段違いの平板部13a、13bを有する形状に形成されている。下段の平板部13aは、クランパ10の内部に設けられたアクチュエータ14の可動部14aに取り付けられている。上段の平板部13bは、その上面がクランパ10の上面と同レベルにされてクランパ10の上方に突出しないようになっている。アクチュエータ14は、磁力や圧力を用いた駆動部14bと、上述した可動部14aから構成されており、駆動部14bの駆動を制御することにより可動部14aがY方向に水平移動する。可動部14aの水平移動に伴って可動爪13が水平移動し、可動爪13の上段の平板部13bが基板3の上方に突出した位置(図4(a)の矢印a)と、基板3の上方から退避した位置(図4(b)の矢印b)に選択的に移動する。
Next, the substrate holding means 4 will be described in detail with reference to FIGS. In FIG. 3A, the clamper 10 is provided on each of the pair of transport rails 8 to form a pair.
The substrate 3 is held with the opposite sides of the substrate 3 being sandwiched. A recess 12 is formed on the upper surface of the clamper 10, and a movable claw 13 is provided in the recess 12. In FIG. 4A, the movable claw 13 is made of a flexible plate member having a thickness of about 0.1 mm, and is formed in a shape having flat plate portions 13a and 13b that are bent in a bowl shape. ing. The lower flat plate portion 13 a is attached to the movable portion 14 a of the actuator 14 provided inside the clamper 10. The upper flat plate portion 13 b has an upper surface at the same level as the upper surface of the clamper 10 so as not to protrude above the clamper 10. The actuator 14 includes a drive unit 14b that uses magnetic force or pressure and the movable unit 14a described above, and the movable unit 14a moves horizontally in the Y direction by controlling the drive of the drive unit 14b. With the horizontal movement of the movable portion 14a, the movable claw 13 moves horizontally, the position where the upper flat plate portion 13b of the movable claw 13 protrudes above the substrate 3 (arrow a in FIG. 4A), It selectively moves to a position retracted from above (arrow b in FIG. 4B).

可動爪13が基板3の上方に突出した位置(図4(a)の矢印a)にあるときは、基板3の上方への移動が拘束されるようになっている。印刷後の基板3は、クランパ10に保持された状態で下降させてマスク2から離隔させるので、マスク2の裏面に付着したペーストが基板3の表面に粘着してクランパ10から基板3が浮き上がって脱落するのを可動爪13により防止することができる。   When the movable claw 13 is at a position protruding above the substrate 3 (arrow a in FIG. 4A), the upward movement of the substrate 3 is restricted. The printed substrate 3 is lowered while being held by the clamper 10 and separated from the mask 2, so that the paste adhered to the back surface of the mask 2 adheres to the surface of the substrate 3 and the substrate 3 is lifted from the clamper 10. The movable claw 13 can prevent the dropout.

なお、基板3の表面とクランパ10の上面のレベル合わせは、スペーサ37を基板3の裏面に当接させた状態で可動プレート31を昇降させることにより基板3の高さ位置を調整することにより行われる。従って、可動爪13の上段の平板部13bが基板3の上方に突出した位置(図4(a)の矢印a)にあるときは、基板3の表面が可動爪13の上段の平板部13bの裏面に接触する程度に基板3の高さが調整される。基板3の厚さに応じてこの高さ調整量は変更されるが、基板の厚みデータの入力ミス等に起因して、図4(c)に示すように基板3が上昇し過ぎた場合であっても、可撓性を有する可動爪13は上方に湾曲して可動爪13自体や基板3の破損を防ぐようになっている。また、基板3が高い印刷精度を要求しない基板である場合には、基板3の表面がクランパ10の上面とほぼ同一の高さとなるように基板3の高さを調整しても、可動爪13の厚みが薄いので、マスク2と基板3の間の可動爪13の周辺に生じる隙間によって印刷品質を悪化させることはない。   The level adjustment of the surface of the substrate 3 and the upper surface of the clamper 10 is performed by adjusting the height position of the substrate 3 by moving the movable plate 31 up and down while the spacer 37 is in contact with the back surface of the substrate 3. Is called. Therefore, when the upper flat plate portion 13b of the movable claw 13 is at a position protruding above the substrate 3 (arrow a in FIG. 4A), the surface of the substrate 3 is the upper flat plate portion 13b of the movable claw 13. The height of the substrate 3 is adjusted to such an extent that it contacts the back surface. This height adjustment amount is changed according to the thickness of the substrate 3, but when the substrate 3 is raised too much as shown in FIG. Even in such a case, the flexible movable claw 13 is curved upward to prevent the movable claw 13 itself or the substrate 3 from being damaged. Further, when the substrate 3 is a substrate that does not require high printing accuracy, even if the height of the substrate 3 is adjusted so that the surface of the substrate 3 is almost the same as the upper surface of the clamper 10, the movable claw 13 Therefore, the print quality is not deteriorated by the gap generated around the movable claw 13 between the mask 2 and the substrate 3.

一方、可動爪13が基板3の上方から退避した位置(図4(b)の矢印b)にあるときは、基板3の上方への移動が拘束されず、基板3の表面とクランパ10の上面が同レベルとなるまで基板3を上昇させることができる。これにより、印刷時に基板3をマスクに面接させた際に、マスク2と基板3の間に可動爪13の厚さに相当するクリアランスが生じることがなく、マスク2の裏面と基板3の表面を隙間なく面接させることができる。この状態で印刷を行うと、パターン孔2aに滞留するペーストが他の部分にはみ出すことがない。基板3がファインピッチ基板である場合には、可動爪13を基板3の上方から退避した位置(図4(b)の矢印b)に位置させて印刷を行うことにより印刷精度を向上させることができる。また、スクリーン印刷装置1のメンテナンス作業時においても、可動爪13を基板3の上方から退避した位置(図4(b)の矢印b)に位置させることにより、クランパ10から突出した可動爪13にオペレータが接触して負傷する等の事故を未然に防止してメンテナンス作業時の安全性を高めることができる。   On the other hand, when the movable claw 13 is at the position retracted from above the substrate 3 (arrow b in FIG. 4B), the upward movement of the substrate 3 is not restricted, and the surface of the substrate 3 and the upper surface of the clamper 10 Can be raised up to the same level. Thus, when the substrate 3 is brought into contact with the mask during printing, there is no clearance corresponding to the thickness of the movable claw 13 between the mask 2 and the substrate 3, and the back surface of the mask 2 and the surface of the substrate 3 are Interview can be done without gaps. When printing is performed in this state, the paste staying in the pattern hole 2a does not protrude into other portions. When the substrate 3 is a fine pitch substrate, the printing accuracy can be improved by performing printing by positioning the movable claw 13 at a position (arrow b in FIG. 4B) retracted from above the substrate 3. it can. Further, even during the maintenance work of the screen printing apparatus 1, the movable claw 13 protrudes from the clamper 10 by positioning the movable claw 13 at a position retracted from above the substrate 3 (arrow b in FIG. 4B). It is possible to prevent accidents such as an operator coming into contact and injury, and improve safety during maintenance work.

可動爪13が基板3の上方から退避した位置(図4(b)の矢印b)にある状態で印刷を行う場合には、基板3の上方への移動を拘束するものがなくなるので、基板3をスペーサ37側に吸引することでクランパ10からの浮き上がりによる脱落を防止する。   When printing is performed in a state in which the movable claw 13 is in a position retracted from above the substrate 3 (arrow b in FIG. 4B), there is no restriction on the upward movement of the substrate 3, so that the substrate 3 Is attracted to the spacer 37 side to prevent it from falling off from the clamper 10.

なお、図3(b)に示すように、複数の可動爪13をクランパ10に設けるようにして
もよい。複数の可動爪13のうち基板3のX方向における幅に対応する可動爪13(図3(b)においては両端の可動爪を除く3つの可動爪)を選択して基板3の上方に突出させることにより、基板3の脱落を確実に防止することができる。
Note that a plurality of movable claws 13 may be provided in the clamper 10 as shown in FIG. Among the plurality of movable claws 13, the movable claws 13 corresponding to the width in the X direction of the substrate 3 (three movable claws excluding the movable claws at both ends in FIG. 3B) are selected and protruded above the substrate 3. Thus, it is possible to reliably prevent the substrate 3 from falling off.

このように、基板3を保持するクランパ10に可動爪13を設けて基板の上方に突出した位置と基板の上方から退避した位置とに選択的に移動可能にしているので、メンテナンス時には可動爪13を退避させることにより作業の安全性が確保される。また、可動爪13を退避させて基板3の表面とクランパ10の上面のレベルを合わせることにより基板3の表面とマスク2の裏面を隙間なく面接させることができるので、高度な印刷品質が期待できる。   As described above, the movable claw 13 is provided on the clamper 10 that holds the substrate 3 so that the movable claw 13 can be selectively moved between the position protruding above the substrate and the position retracted from above the substrate. The safety of work is ensured by evacuating. Further, by retracting the movable claw 13 and matching the level of the surface of the substrate 3 and the upper surface of the clamper 10, the surface of the substrate 3 and the back surface of the mask 2 can be brought into contact with each other without any gap, so that high printing quality can be expected. .

図5において、一対の搬送レール8の上面には溝状の搬送路8aが形成されており、この搬送路8aに基板3の側部を保持させて搬送姿勢を安定させている。搬送レール8の両端部に設けられた調整部9と側壁1bの間にはクリアランスc1が形成されている(拡大図を参照)。このクリアランスc1は、基板3とマスク2の位置合わせの際に基板移動手段5の駆動によりマスク2に対して相対的に移動する基板保持手段4のX方向及びθ方向における移動代となっている。このクリアランスc1により、搬送レール8のX方向及びθ方向における移動スペースが確保され、クランパ10に保持された基板3をX方向及びθ方向に移動させることができるようになっている。   In FIG. 5, a groove-shaped transport path 8a is formed on the upper surface of the pair of transport rails 8, and the transport path 8a holds the side portion of the substrate 3 to stabilize the transport posture. A clearance c1 is formed between the adjustment portion 9 provided at both ends of the transport rail 8 and the side wall 1b (see an enlarged view). The clearance c1 is a movement allowance in the X direction and θ direction of the substrate holding means 4 that moves relative to the mask 2 by driving the substrate moving means 5 when the substrate 3 and the mask 2 are aligned. . The clearance c1 secures movement space in the X direction and θ direction of the transport rail 8, and the substrate 3 held by the clamper 10 can be moved in the X direction and θ direction.

調整部9は、搬送レール8の端部に取り付けられた支持部8bに挿通された棒状体8cの一端部に取り付けられている。棒状体8cは支持部8bに挿通されて基板3の搬送方向に移動可能であり、これにより調整部9は搬送レール8の端部に対して接離自在となっている。支持部8bと調整部9の間には、付勢手段であるバネ8dが棒状体8cの外周に設けられており、調整部9を搬送レール8の端部から離反する方向(矢印a)に付勢している。棒状体8cの他端部にはストッパ8eが設けられており、バネ8dにより付勢されている調整部9と搬送レール8の端部との最大の離反距離をクリアランスc2に規制している。調整部9の上面は、搬送レール8の上面に形成された搬送路8aと同様の断面形状を有する搬送路9eが形成されており、搬送路8aと一体となって基板3の搬送路を形成している。   The adjusting portion 9 is attached to one end portion of a rod-like body 8c inserted through a support portion 8b attached to the end portion of the transport rail 8. The rod-like body 8 c is inserted into the support portion 8 b and can move in the transport direction of the substrate 3, whereby the adjusting portion 9 can be brought into contact with and separated from the end of the transport rail 8. Between the support portion 8b and the adjustment portion 9, a spring 8d as an urging means is provided on the outer periphery of the rod-shaped body 8c, and the adjustment portion 9 is moved away from the end of the transport rail 8 (arrow a). Energized. A stopper 8e is provided at the other end portion of the rod-like body 8c, and the maximum separation distance between the adjustment portion 9 biased by the spring 8d and the end portion of the transport rail 8 is regulated by the clearance c2. The upper surface of the adjustment unit 9 is formed with a conveyance path 9e having the same cross-sectional shape as the conveyance path 8a formed on the upper surface of the conveyance rail 8, and forms a conveyance path for the substrate 3 integrally with the conveyance path 8a. is doing.

このように構成される調整部9を搬送レール8の端部に対して接離させることにより、基板3の搬送路のX方向における延長を調整することができる。また、搬送路と側壁1bのクリアランスを調整することができる。調整部9をバネ8dによる付勢力に抗して搬送レール8側(矢印b)に移動させると、クリアランスc2が減少した分だけクリアランスc1が拡大し、最大クリアランスc3(c3=c1+c2)まで拡大されるようになっている。従って、基板3とマスク2の位置合わせのための基板保持手段4のX方向及びθ方向への移動代がクリアランスc1を超えて必要な場合には、調整部9を搬送レール8側に移動させることによりクリアランスを最大c3まで拡大させることができる。これにより、搬送レール8のX方向及びθ方向における移動スペースが増大して、クランパ10に保持された基板3をX方向及びθ方向に大きく移動させることができる。   By extending the adjusting unit 9 configured as described above to and away from the end of the transport rail 8, the extension of the transport path of the substrate 3 in the X direction can be adjusted. In addition, the clearance between the conveyance path and the side wall 1b can be adjusted. When the adjustment unit 9 is moved toward the conveyance rail 8 (arrow b) against the biasing force of the spring 8d, the clearance c1 is increased by the amount of the decrease of the clearance c2, and is expanded to the maximum clearance c3 (c3 = c1 + c2). It has become so. Therefore, when the movement allowance in the X direction and θ direction of the substrate holding means 4 for alignment between the substrate 3 and the mask 2 is necessary beyond the clearance c1, the adjustment unit 9 is moved to the transport rail 8 side. As a result, the clearance can be increased up to c3. Thereby, the movement space of the conveyance rail 8 in the X direction and the θ direction is increased, and the substrate 3 held by the clamper 10 can be greatly moved in the X direction and the θ direction.

なお、調整部9の搬送レール8側(矢印b)への移動は、位置合わせ時に搬送レール8がX方向及びθ方向にクリアランスc1を超えて移動する際に、調整部9が側壁1bに当接することにより行われる。例えば、図6(a)に示すように、位置合わせのために必要なX方向への移動代がクリアランスc1により確保されるスペースより大きい場合には、調整部9a、9bが側壁1bに当接して搬送レール8側に移動することにより、最大でクリアランスc3に相当するスペースがX方向における移動代として確保されるようになる。また、図6(b)に示すように、位置合わせのために必要なθ方向への移動代がクリアランスc1により確保されるスペースより大きい場合には、調整部9b、9cが側壁1b
に当接して搬送レール8側に移動することにより、最大でクリアランスc3に相当するスペースがθ方向への移動スペースとして確保されるようになる。
The adjustment unit 9 moves toward the conveyance rail 8 (arrow b) when the conveyance rail 8 moves beyond the clearance c1 in the X direction and θ direction during alignment, so that the adjustment unit 9 contacts the side wall 1b. It is done by touching. For example, as shown in FIG. 6A, when the movement allowance in the X direction necessary for alignment is larger than the space secured by the clearance c1, the adjusting portions 9a and 9b abut against the side wall 1b. By moving to the transport rail 8 side, a space corresponding to the clearance c3 at the maximum is secured as a movement allowance in the X direction. Further, as shown in FIG. 6B, when the movement allowance in the θ direction necessary for alignment is larger than the space secured by the clearance c1, the adjusting portions 9b and 9c are arranged on the side wall 1b.
The space corresponding to the clearance c3 is secured as a moving space in the θ direction at the maximum by moving to the conveyance rail 8 side.

このように、搬送レール8の端部に対して接離する調整部9を設け、搬送路の基板搬送方向における長さを調整可能にしているので、基板受け渡し時における基板3の搬送姿勢の安定と、基板位置合わせ時における基板保持手段4の移動代の確保を両立して実現することができる。すなわち、基板受け渡し時には、搬送レール8の搬送路8aと調整部9の搬送路9eが離反した状態で一体となって基板3の搬送路を長くすることにより、搬送路と搬出路41(搬入路42)とのクリアランスが小さくなって基板3搬送姿勢を安定させることができる。また、基板3とマスク2の位置合わせの際には、搬送レール8の搬送路8aと調整部9の搬送路9eが近接して基板3の搬送路を短くすることにより、基板保持手段4の移動代となるクリアランスc3を大きく確保することができる。   As described above, the adjustment unit 9 that is in contact with and away from the end portion of the transport rail 8 is provided so that the length of the transport path in the substrate transport direction can be adjusted, so that the transport posture of the substrate 3 during the substrate delivery is stable. And securing of the movement allowance of the substrate holding means 4 at the time of substrate alignment can be realized at the same time. That is, at the time of substrate delivery, the conveyance path and the carry-out path 41 (carry-in path) are integrated by lengthening the conveyance path of the substrate 3 integrally with the conveyance path 8a of the conveyance rail 8 and the conveyance path 9e of the adjustment unit 9 being separated from each other. 42) and the substrate 3 transport posture can be stabilized. Further, when aligning the substrate 3 and the mask 2, the transport path 8 a of the transport rail 8 and the transport path 9 e of the adjustment unit 9 are close to each other to shorten the transport path of the substrate 3. A large clearance c3 as a movement allowance can be secured.

なお、図2において、Zテーブル23の駆動により昇降する搬送レール8の高さ位置が何れの位置にある場合であっても、開口部40から調整部9が突出することがないように、調整部9は鉛直方向(Z方向)に長尺に形成されている。支持部8bについても調整部9の長さに対応した長さに形成されており、適当な距離を置いて棒状体8c、バネ8d、ストッパ8eが複数設けられている。   In FIG. 2, the adjustment unit 9 is adjusted so that the adjustment unit 9 does not protrude from the opening 40 regardless of the position of the height of the conveyance rail 8 that moves up and down by driving the Z table 23. The part 9 is formed long in the vertical direction (Z direction). The support portion 8b is also formed in a length corresponding to the length of the adjustment portion 9, and a plurality of rod-like bodies 8c, springs 8d, and stoppers 8e are provided at an appropriate distance.

次に、認識手段6について、図2及び図7、図8を参照して詳説する。図2及び図7(b)において、認識手段6はX方向に延伸されたXビーム50に設けられてX方向に移動自在となっている。Xビーム50はマスク2のX方向における長さを超えて延伸されており、認識手段6がマスク2と基板3の間に進退できるようになっている。認識手段6は、認識時にはマスク2と基板3の間に進出してマスク2と基板3の位置を認識し、印刷時にはマスク2と基板3の間から退避してマスク2と位置合わせされる基板3の上昇を妨げないようにしている。Xビーム50はY方向に延伸するYビーム51に設けられて、Y方向に移動自在になっている。Xビーム50及びYビーム51の駆動を制御することにより、認識手段6を基板3とマスク2の間に進退させるとともにマスク2と基板3の間で任意の位置に移動させることができる。   Next, the recognition means 6 will be described in detail with reference to FIG. 2, FIG. 7, and FIG. 2 and 7B, the recognition means 6 is provided on the X beam 50 extended in the X direction and is movable in the X direction. The X beam 50 extends beyond the length of the mask 2 in the X direction so that the recognition means 6 can advance and retract between the mask 2 and the substrate 3. The recognition means 6 advances between the mask 2 and the substrate 3 at the time of recognition and recognizes the positions of the mask 2 and the substrate 3. At the time of printing, the substrate is retracted from between the mask 2 and the substrate 3 and aligned with the mask 2. 3 is not disturbed. The X beam 50 is provided on a Y beam 51 that extends in the Y direction, and is movable in the Y direction. By controlling the driving of the X beam 50 and the Y beam 51, the recognition means 6 can be moved back and forth between the substrate 3 and the mask 2 and can be moved to any position between the mask 2 and the substrate 3.

図7(a)、(b)において、基板3の表面及びマスク2の裏面には、位置合わせの基準となる第1の被認識部3m及び第2の被認識部2mがそれぞれ設けられている。第1の被認識部3mと第2の被認識部2mを重ね合わせることにより基板3とマスク2が位置合わせされるようになっている。   In FIGS. 7A and 7B, a first recognized portion 3m and a second recognized portion 2m, which are alignment references, are provided on the front surface of the substrate 3 and the back surface of the mask 2, respectively. . The substrate 3 and the mask 2 are aligned by overlapping the first recognized portion 3m and the second recognized portion 2m.

図8(a)、(b)において、認識手段6はブラケット52を介してXビーム50に取り付けられている。認識手段6は、CCDカメラ等の撮像手段からなる第1の認識手段53と第2の認識手段54から構成され、第1の認識手段53と第2の認識手段54はY方向にオフセット(オフセット量c)された状態で並列されている。図8(b)において、第1の認識手段53は受光部53aを鉛直下方に向けて配置されており、基板3に設けられた第1の被認識部3mを認識するようなっている。一方、第2の認識手段54は受光部54aを鉛直上方に向けて配置されており、マスク2に設けられた第2の被認識部2mを認識するようなっている。基板3及びマスク2の認識時には、基板3をマスク2に対してY方向にオフセット(オフセット量c)し、第1の被認識部3mと第2の被認識部2mをY方向にオフセット(オフセット量c)させる。これにより、第1の被認識部3mの上方に位置に第1の認識手段53を位置させるとともに第2の被認識部2mの下方に第2の認識手段54を位置させることができ、同時認識が可能となって効率的である。   In FIGS. 8A and 8B, the recognition means 6 is attached to the X beam 50 via a bracket 52. The recognizing unit 6 includes a first recognizing unit 53 and a second recognizing unit 54 which are imaging units such as a CCD camera. The first recognizing unit 53 and the second recognizing unit 54 are offset in the Y direction (offset). In parallel with the quantity c). In FIG. 8B, the first recognition means 53 is arranged with the light receiving portion 53a facing vertically downward, and recognizes the first recognized portion 3m provided on the substrate 3. On the other hand, the second recognition means 54 is arranged with the light receiving portion 54a facing vertically upward, and recognizes the second recognized portion 2m provided on the mask 2. When recognizing the substrate 3 and the mask 2, the substrate 3 is offset in the Y direction with respect to the mask 2 (offset amount c), and the first recognized portion 3m and the second recognized portion 2m are offset in the Y direction (offset). Amount c). As a result, the first recognizing means 53 can be positioned above the first recognized portion 3m and the second recognizing means 54 can be positioned below the second recognized portion 2m. Is possible and efficient.

このように構成される認識手段6は、移動手段であるXビーム50及びYビーム51の駆動を制御することにより、基板3とマスク2の間に進退するとともに第1の被認識部3
m及び第2の被認識部2mを含む範囲で水平移動して第1の認識手段53と第2の認識手段54により第1の被認識部3m及び第2の被認識部2mを撮像する。撮像された画像データは、制御部60(図12参照)で解析され、基板3とマスク2の位置ずれ量が検出される。検出された位置ずれ量に基づいてYテーブル20及びXテーブル21、θテーブル22の駆動を制御することにより基板3の位置補正を行い、基板3とマスク2のX、Y、θ方向(水平方向)における位置合わせが行われる。なお、この位置合わせにおいては、第1の認識手段43と第2の認識手段44のオフセット量cを考慮してYテーブル20の駆動を制御するようにしてもよいし、オフセットされた状態で基板3の位置補正を行い、その後オフセット量cだけ基板3を移動させるようにしてもよい。
The recognizing means 6 configured as described above moves forward and backward between the substrate 3 and the mask 2 by controlling the driving of the X beam 50 and the Y beam 51 which are moving means, and the first recognized portion 3.
The first recognizing unit 53 and the second recognizing unit 54 image the first recognizing unit 3m and the second recognizing unit 2m by moving horizontally within a range including m and the second recognizing unit 2m. The captured image data is analyzed by the control unit 60 (see FIG. 12), and the amount of positional deviation between the substrate 3 and the mask 2 is detected. The position of the substrate 3 is corrected by controlling the driving of the Y table 20, the X table 21, and the θ table 22 based on the detected displacement amount, and the X, Y, and θ directions (horizontal direction) of the substrate 3 and the mask 2 are corrected. ) Is aligned. In this alignment, the driving of the Y table 20 may be controlled in consideration of the offset amount c of the first recognition means 43 and the second recognition means 44, or the substrate is in an offset state. 3 may be corrected, and then the substrate 3 may be moved by the offset amount c.

基板3とマスク2の水平方向における位置合わせが終了すると、次にZ方向(鉛直方向)における位置合わせが行われる。鉛直方向における位置合わせは、Zテーブル23を上昇させて基板3の上面をマスク2の裏面に面接させることにより行われる。   When the alignment between the substrate 3 and the mask 2 in the horizontal direction is completed, the alignment in the Z direction (vertical direction) is performed next. The alignment in the vertical direction is performed by raising the Z table 23 and bringing the upper surface of the substrate 3 into contact with the back surface of the mask 2.

ところで、Zテーブル23は、ボールねじ25により鉛直方向に送られて昇降するように構成されているので、ボールねじ25の加工精度に起因する誤差やボールねじ25の取り付けの際に生じる施工誤差等により、昇降の過程でX、Y、θ方向における位置にずれが生じることがある。Zテーブル23のX、Y、θ方向における位置精度は、ボールねじ25による送り量に比例して低下する。これにより、認識手段6を移動させるためにマスク2とクリアランスを確保した状態でX、Y、θ方向における位置合わせされた基板3を上昇させてマスクの裏面に面接させる場合、Zテーブル23の上昇により基板3のX、Y、θ方向に位置ずれが生じ、基板3とマスク2の位置合わせ精度が低下する。   By the way, the Z table 23 is configured to be moved up and down by being sent in the vertical direction by the ball screw 25. Therefore, an error caused by the processing accuracy of the ball screw 25, a construction error caused when the ball screw 25 is attached, and the like. As a result, the position in the X, Y, and θ directions may shift during the ascending / descending process. The positional accuracy of the Z table 23 in the X, Y, and θ directions decreases in proportion to the feed amount by the ball screw 25. As a result, when the substrate 3 aligned in the X, Y, and θ directions is lifted and brought into contact with the back surface of the mask while the clearance is secured with the mask 2 to move the recognition means 6, the Z table 23 is lifted. As a result, the substrate 3 is displaced in the X, Y, and θ directions, and the alignment accuracy between the substrate 3 and the mask 2 is lowered.

そのため、本実施の形態においては、図8(b)に示すように、第1の認識手段43と第2の認識手段44を水平方向(Y方向)にオフセットして並列させることにより認識手段6の高さを抑えているので、認識の際に必要なクリアランスdを小さく抑えることができる。これにより、Z方向における位置合わせの際のZテーブル23の上昇ストロークを短くすることができるので、基板3とマスク2の位置合わせ精度の低下を抑制することができ、印刷品質の信頼性を向上させることができる。   Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 8B, the recognition means 6 is formed by offsetting the first recognition means 43 and the second recognition means 44 in parallel in the horizontal direction (Y direction). Therefore, the clearance d required for recognition can be kept small. Thereby, since the rising stroke of the Z table 23 at the time of alignment in the Z direction can be shortened, a decrease in alignment accuracy between the substrate 3 and the mask 2 can be suppressed, and the reliability of print quality is improved. Can be made.

次に、開口部40に設けられたシャッタ機構について、図9乃至図11を参照して詳説する。図9において、函体1aの側壁1bには基板受け渡しの際の基板3の通路となる開口部40が形成されている。函体1a内で開口部40の近傍にはシャッタ機構45が設けられている。   Next, the shutter mechanism provided in the opening 40 will be described in detail with reference to FIGS. In FIG. 9, an opening 40 is formed on the side wall 1b of the box 1a to be a passage for the substrate 3 when the substrate is transferred. A shutter mechanism 45 is provided in the vicinity of the opening 40 in the box 1a.

図10(a)において、シャッタ機構45は、基板3が通過できる程度に開口部40の上部及び下部を狭める上シャッタ43及び下シャッタ44と、上シャッタ43及び下シャッタ44をそれぞれ上下動可能に保持するシャッタ保持部46を備えている。シャッタ保持部46は、開口部40の両側方に立設されている。   10A, the shutter mechanism 45 can move the upper shutter 43 and the lower shutter 44, and the upper shutter 43 and the lower shutter 44, which narrow the upper and lower portions of the opening 40 so that the substrate 3 can pass, respectively. A shutter holding unit 46 is provided. The shutter holding part 46 is erected on both sides of the opening 40.

シャッタ保持部46には上下方向に延びる長孔46a、46bが上下に形成されている。上シャッタ43は上の長孔46aにビス46cにより取り付けられており、長孔46に沿って上下方向に移動できるようになっている。下シャッタ44は下の長孔46bにビス46cにより取り付けられており、長孔46bに沿って上下方向に移動できるようになっている。上シャッタ43は長孔46aの下部に係止された状態において、基板3が通過できる程度に開口部40の上部を狭めており、下シャッタ44は長孔46bの上部に係止された状態において、基板3が通過できる程度に開口部40の下部を狭めている。   In the shutter holding portion 46, elongated holes 46a and 46b extending in the vertical direction are formed vertically. The upper shutter 43 is attached to the upper elongated hole 46 a by a screw 46 c and can move in the vertical direction along the elongated hole 46. The lower shutter 44 is attached to the lower long hole 46b by screws 46c, and can move in the vertical direction along the long hole 46b. In the state where the upper shutter 43 is locked to the lower part of the long hole 46a, the upper part of the opening 40 is narrowed to the extent that the substrate 3 can pass, and the lower shutter 44 is locked to the upper part of the long hole 46b. The lower portion of the opening 40 is narrowed so that the substrate 3 can pass through.

図10(b)において、上シャッタ43と下シャッタ44の両端は平面視して鉤型に形成されており、図10(c)に示すように、上シャッタ43から下方に延出する鉤部43
aと下シャッタ44から上方に延出する鉤部44aとが重なり合う部分を有している。鉤部43aと鉤部44aの重なり合う部分にはセンサ孔43b、44bが形成されており、上シャッタ43及び下シャッタ44が、それぞれ長孔46aの下部及び長孔46bの上部に係止された状態において、センサ孔43b、44bが重なり合うようになっている。鉤部44aの上部には、シャッタ保持部46に設けられたマグネット47と磁着する金属部分が設けられており、金属部分がマグネット47に磁着することにより下シャッタ44が長孔46bの上部で一時係止されるようになっている。下シャッタ44にオペレータの手や指、若しくは異物等が接触すると、磁着による一時係止状態が解除され、落下して下方に移動するようになっている。
In FIG. 10B, both ends of the upper shutter 43 and the lower shutter 44 are formed in a bowl shape in plan view, and as shown in FIG. 43
a and a flange portion 44 a extending upward from the lower shutter 44 overlap with each other. Sensor holes 43b and 44b are formed in the overlapping portion of the flange part 43a and the flange part 44a, and the upper shutter 43 and the lower shutter 44 are respectively engaged with the lower part of the long hole 46a and the upper part of the long hole 46b. The sensor holes 43b and 44b overlap each other. A metal portion that is magnetically attached to the magnet 47 provided in the shutter holding portion 46 is provided on the upper portion of the flange portion 44a, and the lower shutter 44 is located above the elongated hole 46b by magnetically attaching the metal portion to the magnet 47. It is designed to be locked temporarily. When the operator's hand, fingers, foreign matter, or the like comes into contact with the lower shutter 44, the temporarily locked state due to the magnetic attachment is released, and it falls and moves downward.

図10(b)、(c)において、シャッタ保持部46には透過型のセンサ48が設けられており、上シャッタ43及び下シャッタ44がそれぞれ長孔46aの下部及び長孔46bの上部に係止されてセンサ孔43b、44bが重なり合った状態において、センサ光48aが投受光されるようになっている。センサ48は、センサ孔43b、44bの相対位置がずれてセンサ光48aが遮光されたことを検出することにより、上シャッタ43と下シャッタ44のうち少なくとも何れか一方のシャッタがそれぞれ上下方向に移動したことを検知する。例えば、図11(a)に示すように、上シャッタ43が上方に移動すると、センサ孔43bも上方に移動してセンサ孔44bとの相対位置がずれるので、センサ光48aが鉤部43aにより遮光される。また、図11(b)に示すように、下シャッタ44が下方に移動すると、センサ孔44bも下方に移動してセンサ孔43bとの相対位置がずれるので、センサ光48aが鉤部44aにより遮光される。このようにセンサ光48aが遮光されたことを検出することにより、上シャッタ43と下シャッタ44のうち少なくとも何れか一方のシャッタがそれぞれ上下方向に移動したことを検知するようになっている。   10B and 10C, the shutter holding unit 46 is provided with a transmissive sensor 48, and the upper shutter 43 and the lower shutter 44 are respectively engaged with the lower part of the long hole 46a and the upper part of the long hole 46b. In a state where the sensor holes 43b and 44b are overlapped with each other, the sensor light 48a is projected and received. The sensor 48 detects that the sensor light 48a is shielded by shifting the relative positions of the sensor holes 43b and 44b, so that at least one of the upper shutter 43 and the lower shutter 44 moves in the vertical direction. Detecting that For example, as shown in FIG. 11A, when the upper shutter 43 is moved upward, the sensor hole 43b is also moved upward and the relative position with respect to the sensor hole 44b is shifted, so that the sensor light 48a is blocked by the flange 43a. Is done. As shown in FIG. 11B, when the lower shutter 44 moves downward, the sensor hole 44b also moves downward and the relative position with respect to the sensor hole 43b shifts, so that the sensor light 48a is blocked by the flange 44a. Is done. By detecting that the sensor light 48a is blocked in this way, it is detected that at least one of the upper shutter 43 and the lower shutter 44 has moved in the vertical direction.

センサ48は制御部60(図12参照)に検出信号を送信し、制御部60が検出信号を受信すると、スクリーン印刷装置1の各種の駆動系を停止させるようになっている。これにより、オペレータの手や指、若しくは異物が開口部40に接近し、センサ光48aと交差して遮光するか、センサ光48aには交差せずとも上シャッタ43や下シャッタ44に接触してこれらを上下方向に移動させることにより、スクリーン印刷装置1の各種の駆動系が停止してオペレータの安全を確保するようになっている。図10(c)に示すように、上シャッタ43と下シャッタ44は開口部40の上部及び下部を基板3が通過できる程度に狭める距離sで近接しており、センサ光48aは上シャッタ43と下シャッタ44の離間距離sの略中央部を走査しているので、開口部40内に進入するオペレータの手や指は、センサ光48a又は上シャッタ43若しくは下シャッタ44により確実に検出されるようになっている。また、上シャッタ43と下シャッタ44の移動を利用して一つのセンサ48により開口部40全体を検出可能エリアとしているので、複数のセンサを設ける必要がなく経済的で簡素な構造のものにすることができる。   The sensor 48 transmits a detection signal to the control unit 60 (see FIG. 12), and when the control unit 60 receives the detection signal, various drive systems of the screen printing apparatus 1 are stopped. As a result, the operator's hand, finger, or foreign object approaches the opening 40 and blocks the light by crossing the sensor light 48a, or touches the upper shutter 43 or the lower shutter 44 without crossing the sensor light 48a. By moving these in the vertical direction, various drive systems of the screen printing apparatus 1 are stopped to ensure the safety of the operator. As shown in FIG. 10C, the upper shutter 43 and the lower shutter 44 are close to each other by a distance s that narrows the upper and lower portions of the opening 40 so that the substrate 3 can pass. Since the substantially central portion of the separation distance s of the lower shutter 44 is scanned, the operator's hand or finger entering the opening 40 is surely detected by the sensor light 48a or the upper shutter 43 or the lower shutter 44. It has become. Further, since the entire opening 40 is made a detectable area by one sensor 48 using the movement of the upper shutter 43 and the lower shutter 44, it is not necessary to provide a plurality of sensors, and the structure is economical and simple. be able to.

このように、基板3が通過できる程度に開口部40を狭める上下一組のシャッタ43、44を設け、開口部40に接近したオペレータの手や指等がシャッタ43,44に接触してこれを移動させるとスクリーン印刷装置1の駆動系を停止するように構成されているので、安全対策のための特別な作業を必要とせず、生産効率を低下させることなくオペレータの安全を確保することができる。   In this way, a pair of upper and lower shutters 43 and 44 that narrow the opening 40 to such an extent that the substrate 3 can pass are provided, and an operator's hand or finger approaching the opening 40 comes into contact with the shutters 43 and 44. Since it is configured to stop the drive system of the screen printing apparatus 1 when it is moved, no special work for safety measures is required, and the operator's safety can be ensured without reducing the production efficiency. .

次に、スクリーン印刷装置1の制御系の構成について、図12を参照して説明する。制御部60は、上述したスキージユニット7、搬送レール8、クランパ駆動手段11、アクチュエータ14、Yテーブル20、Xテーブル21、θテーブル22、モータ26、33、センサ48、Xビーム50、Yビーム51、第1の認識手段53、第2の認識手段54と接続されており、シーケンスデータ60aに基づいて上記各動作を制御する。制御部6
0は記憶領域を含んでおり、シーケンスデータ60a、基板データ60b、各種の制御パラメータ60c等を記憶している。操作・入力部61は、シーケンスデータ60aや基板データ60b、制御パラメータ60cの入力や、上記各動作のマニュアル操作等を行うためのドライビームやキーボード等の操作・入力手段により構成されている。表示部62は、制御部50による制御状態や入力事項の案内等を可視表示するCRTや液晶パネル等の表示手段により構成されている。
Next, the configuration of the control system of the screen printing apparatus 1 will be described with reference to FIG. The control unit 60 includes the squeegee unit 7, the transport rail 8, the clamper driving means 11, the actuator 14, the Y table 20, the X table 21, the θ table 22, the motors 26 and 33, the sensor 48, the X beam 50, and the Y beam 51. The first recognition means 53 and the second recognition means 54 are connected to control each operation described above based on the sequence data 60a. Control unit 6
0 includes a storage area and stores sequence data 60a, substrate data 60b, various control parameters 60c, and the like. The operation / input unit 61 includes operation / input means such as a dry beam and a keyboard for inputting sequence data 60a, substrate data 60b, and control parameters 60c, and performing manual operations of the above-described operations. The display unit 62 is configured by a display means such as a CRT or a liquid crystal panel that visually displays a control state by the control unit 50 and guidance of input items.

本実施の形態におけるスクリーン印刷装置1は以上のように構成されており、以下、スクリーン印刷装置1におけるスクリーン印刷動作について、図13乃至図15を参照して説明する。   The screen printing apparatus 1 in the present embodiment is configured as described above. Hereinafter, the screen printing operation in the screen printing apparatus 1 will be described with reference to FIGS.

図13(a)において、搬送レール8により所定の位置に搬入された基板3を可動テーブル31により上昇させてクランパ10により保持する。   In FIG. 13A, the substrate 3 carried into a predetermined position by the transport rail 8 is raised by the movable table 31 and held by the clamper 10.

図13(b)において、基板移動手段5の駆動により、基板3をマスク2に対してオフセット(矢印e)させる。   In FIG. 13B, the substrate 3 is offset (arrow e) with respect to the mask 2 by driving the substrate moving means 5.

図14(a)において、認識手段6を移動させ、第1の被認識部3mと第2の被認識部2mを認識する。基板3とマスク2はオフセットされているので、第1の認識手段53、第2の認識手段54により第1の被認識部3mと第2の被認識部2mを同時に認識することができる。認識結果は制御部60において解析されて基板3とマスク2の位置ずれ量が検出される。   In FIG. 14A, the recognition means 6 is moved to recognize the first recognized portion 3m and the second recognized portion 2m. Since the substrate 3 and the mask 2 are offset, the first recognition unit 53 and the second recognition unit 54 can simultaneously recognize the first recognized portion 3m and the second recognized portion 2m. The recognition result is analyzed by the control unit 60, and the positional deviation amount between the substrate 3 and the mask 2 is detected.

図14(b)において、制御部60で検出された位置ずれ量に基づいて基板移動手段5の駆動を制御し、基板3の位置補正を行って基板3とマスク2の位置合わせを行う。これにより、基板3の表面がマスク2の裏面に当接する(矢印f)。上述したように、この位置合わせは基板3のオフセットを考慮して行われ、オフセット方向(矢印e)と反対方向(矢印g)に基板3を移動する動作を含んでいる。認識手段6は、基板3とマスク2の間から退避して基板3の上昇動作を妨げないようにしている。   In FIG. 14B, the driving of the substrate moving means 5 is controlled based on the amount of displacement detected by the control unit 60, the position of the substrate 3 is corrected, and the substrate 3 and the mask 2 are aligned. Thereby, the surface of the substrate 3 comes into contact with the back surface of the mask 2 (arrow f). As described above, this alignment is performed in consideration of the offset of the substrate 3 and includes an operation of moving the substrate 3 in the opposite direction (arrow g) to the offset direction (arrow e). The recognizing means 6 retreats from between the substrate 3 and the mask 2 so as not to prevent the ascending operation of the substrate 3.

図15(a)において、スキージユニット7のスキージ7cをマスク2の表面に当接させた状態で摺動させることにより、マスク2の表面に供給されたペーストを塗り拡げてパターン孔2aに滞留させて基板3の表面にパターン印刷する。なお、スキージユニット7は、図1及び図2に示すように、フレーム7aに支持されてマスク2の上方をY方向に水平移動できるようになっており、昇降手段7bによりスキージ7cを下降させてマスク2の表面に当接させる。   In FIG. 15A, by sliding the squeegee 7c of the squeegee unit 7 in contact with the surface of the mask 2, the paste supplied to the surface of the mask 2 is spread and retained in the pattern hole 2a. The pattern is printed on the surface of the substrate 3. As shown in FIGS. 1 and 2, the squeegee unit 7 is supported by a frame 7a so as to be horizontally movable in the Y direction above the mask 2. The squeegee 7c is lowered by an elevating means 7b. It is brought into contact with the surface of the mask 2.

図15(b)において、ペーストがパターン印刷された基板3を下降させてマスク2から離隔する。   In FIG. 15B, the substrate 3 on which the paste is printed is lowered and separated from the mask 2.

上述したスクリーン印刷動作においては、クランパ10に設けられた可動爪13が、基板3の上方に突出した位置(図4(a)の矢印a)と基板3の上方から退避した位置(図4(b)の矢印b)に選択的に移動するようになっている。以下、可動爪13の移動について図16に示すフローチャートを参照して説明する。   In the above-described screen printing operation, the movable claw 13 provided on the clamper 10 protrudes above the substrate 3 (arrow a in FIG. 4A) and retreats from above the substrate 3 (FIG. 4 ( It moves selectively to the arrow b) of b). Hereinafter, the movement of the movable claw 13 will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

スクリーン印刷が開始すると、まずスクリーン印刷の対象となる基板3が、可動爪13を基板の上方から退避した位置に位置させる必要がある基板であるかどうかを判断する(ST1)。この判断は、オペレータが基板3を視認して判断してもよく、また、認識手段6により基板3の品種を認識して基板データ60bと照合することにより判断してもよい。基板3がファインピッチ基板等の特に印刷精度が求められる基板である場合には、可動
爪13を基板3の上方から退避した位置に位置させる必要がある基板であると判断され、可動爪13を基板3の上方から退避させる(ST2)。その後、基板3の表面をクランパ10の上面と略同レベルにレベル合わせする。これにより、マスク2の裏面と基板3の表面を隙間なく面接させることができ、パターン孔2aに滞留するペーストが基板3の表面の印刷部位以外の部分にはみ出すことがなくなる。
When screen printing is started, it is first determined whether or not the substrate 3 to be screen-printed is a substrate that requires the movable claw 13 to be located at a position retracted from above the substrate (ST1). This determination may be made by the operator visually recognizing the substrate 3 or by recognizing the type of the substrate 3 by the recognition means 6 and collating it with the substrate data 60b. In the case where the substrate 3 is a substrate such as a fine pitch substrate that requires particularly high printing accuracy, it is determined that the movable claw 13 needs to be positioned at a position retracted from above the substrate 3, and the movable claw 13 is The substrate 3 is retracted from above (ST2). Thereafter, the surface of the substrate 3 is leveled to approximately the same level as the upper surface of the clamper 10. As a result, the back surface of the mask 2 and the surface of the substrate 3 can be in contact with each other without any gap, and the paste staying in the pattern hole 2a does not protrude beyond the printed portion on the surface of the substrate 3.

印刷対象の基板3が、ファインピッチ基板ではない通常の基板である場合には、可動爪13が基板3の上方に突出する(ST3)。これにより、基板3の上方への移動が拘束されるため、印刷動作(ST4)において基板3がマスク2の裏面に付着したペーストに粘着してクランパ10から脱落することが防止される。   When the substrate 3 to be printed is a normal substrate that is not a fine pitch substrate, the movable claw 13 protrudes above the substrate 3 (ST3). As a result, the upward movement of the substrate 3 is restricted, so that the substrate 3 is prevented from sticking to the paste adhering to the back surface of the mask 2 and falling off from the clamper 10 in the printing operation (ST4).

印刷動作(ST4)を行う過程においては、可動爪13を基板3の上方から退避させる必要があるかどうかが判断される(ST5)。例えば、メンテナンス時において、オペレータがスクリーン印刷装置1に設けられた安全カバー等を開いた場合には、可動爪13を基板3の上方から退避させる必要があると判断され、可動爪13を基板3の上方から退避させる(ST6)。可動爪13を基板3の上方から退避させると、基板3の取り出しがスムーズになるとともにメンテナンス時のオペレータの安全性を高めることができる。   In the process of performing the printing operation (ST4), it is determined whether or not the movable claw 13 needs to be retracted from above the substrate 3 (ST5). For example, when the operator opens a safety cover or the like provided in the screen printing apparatus 1 during maintenance, it is determined that the movable claw 13 needs to be retracted from above the substrate 3, and the movable claw 13 is moved to the substrate 3. Is retracted from above (ST6). By retracting the movable claw 13 from above the substrate 3, the substrate 3 can be taken out smoothly and the safety of the operator during maintenance can be improved.

基板3へのスクリーン印刷が終了すると、次の基板3への段取り替えの必要性が判断され(ST7)、段取り替えが必要である場合には、次の基板3の搬入に備えて可動爪13を基板3の上方から退避させる(ST8)。   When the screen printing on the substrate 3 is completed, it is determined whether or not the next substrate 3 needs to be changed (ST7). If the change is necessary, the movable claw 13 is prepared in preparation for the next loading of the substrate 3. Is retracted from above the substrate 3 (ST8).

なお、以上記載した構成、動作等は、本発明の一実施の形態であって、本発明を上記の構成、動作等に限定するものではない。   The configuration, operation, and the like described above are one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to the above configuration, operation, and the like.

本発明の電子部品の実装用装置によれば、基板が通過できる程度に開口部を狭めるシャッタを設け、開口部に接近したオペレータの手や指等がシャッタに接触してこれを移動させると装置の駆動系を停止するようになっているので、生産効率を低下させることなくオペレータの安全を確保することができるという利点を有し、電子部品の実装分野において有用である。   According to the electronic component mounting apparatus of the present invention, a shutter is provided that narrows the opening to the extent that the substrate can pass, and when an operator's hand or finger approaching the opening contacts the shutter and moves it, the apparatus is moved. This is advantageous in that the safety of the operator can be ensured without deteriorating the production efficiency, and is useful in the field of electronic component mounting.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図The side view of the screen printing apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の正面図The front view of the screen printing apparatus in one embodiment of this invention (a)本発明の一実施の形態における基板支持装置の平面図(b)本発明の一実施の形態における基板支持装置の平面図(A) Plan view of substrate support apparatus in one embodiment of the present invention (b) Plan view of substrate support apparatus in one embodiment of the present invention (a)本発明の一実施の形態における基板支持装置の一部側断面図(b)本発明の一実施の形態における基板支持装置の一部側断面図(c)本発明の一実施の形態における基板支持装置の一部側断面図(A) Partial sectional view of a substrate supporting apparatus according to an embodiment of the present invention (b) Partial sectional view of a substrate supporting apparatus according to an embodiment of the present invention (c) One embodiment of the present invention Sectional side sectional view of substrate support device 本発明の一実施の形態における基板支持装置の平面図及び一部拡大平面図The top view and partially expanded plan view of the board | substrate support apparatus in one embodiment of this invention (a)本発明の一実施の形態における基板支持装置の動作説明図(b)本発明の一実施の形態における基板支持装置の動作説明図(A) Operation explanatory diagram of substrate support apparatus in one embodiment of the present invention (b) Operation explanatory diagram of substrate support apparatus in one embodiment of the present invention (a)本発明の一実施の形態におけるマスクと基板と認識手段の位置関係を示す平面図(b)本発明の一実施の形態におけるマスクと基板と認識手段の位置関係を示す平面図(A) Plan view showing the positional relationship between the mask, substrate and recognition means in one embodiment of the present invention (b) Plan view showing the positional relationship between the mask, substrate and recognition means in one embodiment of the present invention (a)本発明の一実施の形態における認識手段の平面図(b)本発明の一実施の形態におけるマスクと基板と認識手段の位置関係を示す側面図(A) Plan view of recognition means in one embodiment of the present invention (b) Side view showing the positional relationship between the mask, substrate and recognition means in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の函体の側面図The side view of the box of the screen printer in one embodiment of the present invention (a)本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の正面図(b)本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の平面図(c)本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の背面図(A) Front view of shutter mechanism in one embodiment of the present invention (b) Plan view of shutter mechanism in one embodiment of the present invention (c) Rear view of shutter mechanism in one embodiment of the present invention (a)本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の動作説明図(b)本発明の一実施の形態におけるシャッタ機構の動作説明図(A) Operation explanatory diagram of shutter mechanism in one embodiment of the present invention (b) Operation explanatory diagram of shutter mechanism in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の制御系の構成図1 is a configuration diagram of a control system of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. (a)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図(A) Operation explanatory diagram of screen printing apparatus in one embodiment of the present invention (b) Operation explanatory diagram of screen printing apparatus in one embodiment of the present invention (a)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図(A) Operation explanatory diagram of screen printing apparatus in one embodiment of the present invention (b) Operation explanatory diagram of screen printing apparatus in one embodiment of the present invention (a)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図(b)本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の動作説明図(A) Operation explanatory diagram of screen printing apparatus in one embodiment of the present invention (b) Operation explanatory diagram of screen printing apparatus in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態における可動爪の動作を示すフローチャートThe flowchart which shows operation | movement of the movable nail | claw in one embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1a 函体
3 基板
5 基板移動手段(駆動系)
30 基板昇降手段(駆動系)
40 開口部
43 上シャッタ
44 下シャッタ
43b、44b センサ孔
46a、46b 長孔
48 センサ
1a Box 3 Substrate 5 Substrate moving means (drive system)
30 Substrate elevating means (drive system)
40 opening 43 upper shutter 44 lower shutter 43b, 44b sensor hole 46a, 46b long hole 48 sensor

Claims (3)

函体内に搬入された基板に所定の加工を行って函体外に搬出する電子部品の実装用装置であって、
前記函体に設けられて基板が搬入及び/又は搬出される開口部と、搬入及び/又は搬出される基板が通過できる程度に前記開口部の上部を狭め上方向に移動可能な上シャッタと前記開口部の下部を狭め下方向に移動可能な下シャッタのうち少なくとも何れか一方のシャッタと、前記上シャッタと前記下シャッタのうち少なくとも何れか一方のシャッタがそれぞれ上下方向に移動したことを検知するセンサを備え、
前記センサが、前記上シャッタと前記下シャッタのうち少なくとも何れか一方のシャッタがそれぞれ上下方向に移動したことを検知すると、前記所定の加工を行う駆動系の動作を停止することを特徴とする電子部品の実装用装置。
A device for mounting electronic components that performs predetermined processing on a substrate carried into a box and then carries it out of the box.
An opening provided in the box and through which a substrate is carried in and / or out; an upper shutter which is narrowed at an upper portion of the opening and is movable upward so that a substrate to be carried in and / or out can pass through; It is detected that at least one of the lower shutters that can move downward by narrowing the lower part of the opening, and that at least one of the upper shutter and the lower shutter has moved up and down. With sensors,
When the sensor detects that at least one of the upper shutter and the lower shutter has moved in the vertical direction, the operation of the drive system for performing the predetermined processing is stopped. Equipment for mounting components.
前記上シャッタが、前記実装用装置に形成されて上下方向に延びる長孔に上下移動自在に保持され、この長孔の下部に係止された状態において、前記搬入及び/又は搬出される基板が通過できる程度に前記開口部の上部を狭め、
前記下シャッタが、前記実装用装置に形成されて上下方向に延びる長孔に上下移動自在に保持され、この長孔の上部に一時係止手段により係止された状態において、前記搬入及び/又は搬出される基板が通過できる程度に前記開口部の下部を狭めることを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装用装置。
In the state where the upper shutter is formed in the mounting device and is vertically held in a long hole extending in the vertical direction and is locked to the lower portion of the long hole, the substrate to be carried in and / or out is Narrow the top of the opening to the extent that it can pass,
In the state where the lower shutter is formed in the mounting apparatus and is vertically held by a long hole extending in the vertical direction and is locked to the upper part of the long hole by a temporary locking means, the carrying-in and / or The apparatus for mounting an electronic component according to claim 1, wherein the lower portion of the opening is narrowed to such an extent that the substrate to be unloaded can pass.
前記センサが透過型センサであり、前記上シャッタ及び前記下シャッタが前記係止された状態において、前記上シャッタ及び前記下シャッタにそれぞれ形成されたセンサ孔を通過する光が遮光されることにより前記上シャッタと前記下シャッタのうち少なくとも何れか一方のシャッタがそれぞれ上下方向に移動したことを検知することを特徴とする請求項2記載の電子部品の実装用装置。   The sensor is a transmissive sensor, and in a state where the upper shutter and the lower shutter are locked, light passing through sensor holes respectively formed in the upper shutter and the lower shutter is blocked. 3. The electronic component mounting apparatus according to claim 2, wherein at least one of the upper shutter and the lower shutter is detected to move in the vertical direction.
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