JP4075323B2 - Circuit board bonding method - Google Patents
Circuit board bonding method Download PDFInfo
- Publication number
- JP4075323B2 JP4075323B2 JP2001131519A JP2001131519A JP4075323B2 JP 4075323 B2 JP4075323 B2 JP 4075323B2 JP 2001131519 A JP2001131519 A JP 2001131519A JP 2001131519 A JP2001131519 A JP 2001131519A JP 4075323 B2 JP4075323 B2 JP 4075323B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- terminal
- terminal row
- terminals
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29199—Material of the matrix
- H01L2224/2929—Material of the matrix with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/29198—Material with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials in the form of a matrix with a filler, i.e. being a hybrid material, e.g. segmented structures, foams
- H01L2224/29298—Fillers
- H01L2224/29299—Base material
- H01L2224/293—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/838—Bonding techniques
- H01L2224/8385—Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
- H01L2224/83851—Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester being an anisotropic conductive adhesive
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/06—Polymers
- H01L2924/078—Adhesive characteristics other than chemical
- H01L2924/0781—Adhesive characteristics other than chemical being an ohmic electrical conductor
- H01L2924/07811—Extrinsic, i.e. with electrical conductive fillers
Landscapes
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は回路基板の接合方法に関し、詳細には、接合すべき2つの回路基板の熱膨張率の違いによる端子列の位置ずれを防止できる回路基板の接合方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば液晶表示装置の製造方法では、液晶表示パネルの一方の回路基板とフレキシブル回路基板とをその間に異方性導電接着剤等のコネクタ部材を介して熱圧着接合する方法がよく用いられる。
【0003】
図9はこのような回路基板の接合方法で用いられている従来の回路基板の接合装置の一例の一部の斜視図を示したものである。この接合装置は、吸着機構(図示せず)付きの固定台1、固定台1の横にX、Y方向(水平方向)へ移動可能に配置された吸着機構(図示せず)付きの可動台2、固定台1の上方に上下方向移動可能に配置されボンディングツール3等を備えている。
【0004】
固定台1上には、液晶表示パネル4が位置決めされて吸着配置されるようになっている。液晶表示パネル4は、上ガラス基板5と下ガラス基板6とがほぼ方形枠状のシール材(図示せず)を介して貼り合わされ、シール材の内側における両ガラス基板5、6間に液晶(図示せず)が封入され、上ガラス基板5の上面に上偏光板7が貼り付けられ、下ガラス基板6の下面に下偏光板(図示せず)が貼り付けられたものからなっている。この場合、下ガラス基板6の所定の1辺部は上ガラス基板5から突出され、該突出部6a上にはITO等の透明な金属からなる複数の入力端子8(図10参照)が設けられ、入力端子8上には帯状の異方性導電接着剤9が仮圧着されて配置されている。異方性導電接着剤9は、図10に示すように、熱硬化性樹脂10中に多数の導電性粒子11を含有させたものからなっている。
【0005】
可動台2上には、フレキシブル回路基板12が位置決めされて吸着配置されるようになっている。フレキシブル回路基板12は、ポリイミド等からなるベースフィルム13の上面中央部に液晶表示パネル駆動用のLSI等からなる半導体チップ14がCOF(chip on film)方式で搭載され、ベースフィルム13の一端部下面に銅等からなる複数の接続端子15(図10参照)が半導体チップ14に接続されて設けられたものからなっている。
【0006】
次に、この接合装置でフレキシブル回路基板12の一端部に配列された端子部を液晶表示パネル4の下ガラス基板6の突出部6a上の端子配列部に接合する場合について説明する。まず、固定台1上に液晶表示パネル4を所定の位置に位置決めして吸着配置する。この場合、下ガラス基板6の突出部6a上には帯状の異方性導電接着剤9が配置されている。また、可動台2上にフレキシブル回路基板12を所定の位置に位置決めして吸着配置する。この状態では、フレキシブル回路基板12の一端部は可動台2から所定の量だけ突出され、異方性導電接着剤9上に位置させられている。
【0007】
次に、この状態において、図示していないが、フレキシブル回路基板12の一端部および下ガラス基板6の突出部6aの各X、Y方向位置をそれぞれカメラ等を備えた画像処理位置検出装置により検出する。そして、この検出結果に基づいて、可動台2をX、Y方向に適宜に移動させ、フレキシブル回路基板12の一端部の下ガラス基板6の突出部6aに対する位置合わせを行う。次に、ボンディングツール3を下降させ、その下面により、フレキシブル回路基板12の一端部下面を下ガラス基板6の突出部6a上の異方性導電接着剤9の上面に圧接させる。そして、ボンディングツール3による加熱加圧により、フレキシブル回路基板12の一端部下面を液晶表示パネル4の突出部6a上の適正位置に異方性導電接着剤9を介して接合し、夫々の各端子を異方性導電接着剤9中の導電性粒子を介して導電接続する。
【0008】
この理想的な接合状態を図10に示す。ただし、図10では、図示の都合上、接続端子15および入力端子8はそれぞれ多数個ある中の3個しか図示していない。この理想接合状態は、ベースフィルム13の熱膨張率が液晶表示パネル4の下ガラス基板6の熱膨張率と等しい場合に得られるものであり、接続端子15の配列ピッチと入力端子8の配列ピッチは同じであり、互いに対向する接続端子15と入力端子8とはその間に介在されて適宜に弾性変形した導電性粒子11を介して導電接続されている。また、接続端子15を含むフレキシブル回路基板12の一端部下面と入力端子8を含む下ガラス基板6の突出部6a上面とは熱硬化性樹脂10を介して接着されている。
【0009】
ところで、フレキシブル回路基板12のポリイミド等からなるベースフィルム13の熱膨張率が液晶表示パネル4の下ガラス基板6の熱膨張率よりも大きいため、接合時におけるボンディングツール3の加熱温度が通常200〜300℃程度の高温となることにより、ベースフィルム13の接続端子15を含む部分のX方向への伸び量(以下、単に、伸び量という)が下ガラス基板6の突出部6aの入力端子8を含む部分のX方向への伸び量(以下、単に、伸び量という)よりも大きくなってしまう。すなわち、図11に示すように、ベースフィルム13および下ガラス基板6の各温度は、接合開始前は共に室温であり、接合が開始されて加熱されても共にほぼ同じように上昇し、接合終了時点では、ベースフィルム13の温度は接合温度T1となり、下ガラス基板6の温度はベースフィルム13の接合温度T1よりもやや低い接合温度T2となる。しかし、図12に示すように、接合終了時点においては、ベースフィルム13の伸び量L1は下ガラス基板6の伸び量L2よりも相当に大きくなってしまう。伸び量L1、L2の定義については、後で説明する。
【0010】
そこで、これらの伸び量L1、L2の差(L1−L2)を考慮して、接合前の初期の状態においては、図13に示すように、フレキシブル回路基板12の接続端子15の配列ピッチP1を下ガラス基板6の突出部6aの入力端子8の配列ピッチP2よりも上記伸び量の差(L1−L2)が相殺されるように所定量だけ小さくしている。ここで、伸び量L1、L2とは、各端子15、8の配列ピッチP1、P2のそれぞれの合計値の各増加量のことであり、つまり図13に示す左右両端の各端子15a、15bおよび8a、8bの各幅方向中心間の長さの増加量のことである。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来の接合方法では、フレキシブル回路基板12の一端部の下ガラス基板6の突出部6aに対する位置合わせを行っているだけであり、ベースフィルム13および下ガラス基板6の接合時の加熱による伸びの基点を制御することは困難である。この伸びの基点位置はヒータチップの当接具合等によって微妙に変ってくるものであり、ベースフィルム13および下ガラス基板6の接合時の加熱による伸びの基点が図13においてA−A線で示すように左右方向の中心である場合には、ベースフィルム13および下ガラス基板6がそれぞれ左右方向に均等に伸びることにより、図10に示すように、接続端子15の配置位置と入力端子8の配置位置とをほぼ同じとすることができる。しかし、ベースフィルム13および下ガラス基板6の接合時の加熱による伸びの基点が例えば図13においてB−B線で示すように右端部である場合には、ベースフィルム13および下ガラス基板6が共にほとんど左方向へのみ伸びることにより、図14に示すように、接続端子15の配置位置と入力端子8の配置位置とがずれてしまう。この結果、接続端子15と入力端子8との対向面積が減少し、その間に介在される導電性粒子11の個数が減少し、接続抵抗が高くなってしまうという問題があった。特に、接続端子15および入力端子8の配列ピッチの微細化を行う場合には、大きな支障となってしまう。
この発明の目的は、接合すべき2つの回路基板の熱膨張率の違いによるそれぞれ端子列間の位置ずれを防止し、双方の端子列の対応する各端子同士を正確に対向させて確実に導電接続する回路基板の接合方法を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の回路基板の接合方法は、請求項1に記載のように、複数の端子が配列された第1の端子列を備える第1の回路基板と前記第1の端子列の各端子に対応する複数の端子が配列された第2の端子列を備える第2の回路基板とを、それぞれの前記第1の端子列と前記第2の端子列を対向させて、熱硬化性樹脂中に導電性粒子を含有させた異方性導電接着剤からなるコネクタ部材により接合し、前記第1の端子列と前記第2の端子列との対応する端子とを前記コネクタ部材を介して導電接続する回路基板の接合方法において、前記第1の端子列と前記第2の端子列の配列ピッチを予め異ならせて形成した前記第1、第2の回路基板のうち少なくとも一方の回路基板と前記コネクタ部材とを、前記熱硬化性樹脂がその中に含有する前記導電性粒子の流動を抑制できる程度に硬化させ、且つ前記第1の端子列と前記第2の端子列の各端子配列ピッチが同一となる温度に予備加熱する予備工程と、前記予備工程の後、前記第1の回路基板と前記第2の回路基板とを前記第1の端子列と前記第2の端子列のそれぞれの対応する端子同士が対向するように位置合せする位置決め工程と、前記位置決め工程の後、前記第1の回路基板と前記第2の回路基板とを、その間に前記コネクタ部材を介在させてさらに加熱しつつ加圧し、前記第1の端子列と前記第2の端子列を接合する接合工程とを具備することを特徴とするものである。
この請求項1に記載の発明によれば、接合する前に両回路基板のうち少なくとも一方の回路基板と前記コネクタ部材とを、前記熱硬化性樹脂がその中に含有する前記導電性粒子の流動を抑制できる程度に硬化させ、且つ前記第1の端子列と前記第2の端子列の各端子配列ピッチが同一となる温度まで予備加熱した後、対応する各端子同士が対向するように位置合せするので、この後の接合工程における接合すべき2つの回路基板の熱膨張率の違いや伸びの基点の違いによる端子列の位置ずれを防止し、端子列同士を常に対応する端子同士を正確に対向させて確実に導電接続することができる。
本発明においては、請求項2に記載のように、前記予備工程終了時点における前記第1の回路基板と前記第2の回路基板の各温度は、前記接合工程における前記第1の端子列と前記第2の端子列の各伸び量が等しくなる温度に設定される。
そして、請求項3に記載のように、本発明は、前記第1の回路基板の方が前記第2の回路基板より熱膨張率が大きく、予備工程前の状態で前記第1の端子列より前記第2の端子列の方が端子ピッチが大きい回路基板同士の接合に好適である。
また、本発明は、請求項4に記載のように、前記第1の回路基板は液晶表示パネルの一方の回路基板であり、前記第2の回路基板はフレキシブル回路基板である回路基板同士の接合に好適である。
本願のもう一つの発明の回路基板の接合方法は、請求項5に記載のように、第1の回路基板の第1の端子列を形成する複数の第1の端子と、第2の回路基板に前記第1の端子にそれぞれ対応して配列され第2の端子列形成する第2の端子とを、熱硬化性の絶縁性樹脂中に導電性粒子を含有させてなる異方性導電接着剤を介して電気的に接合する回路基板の接合方法において、配列ピッチを予め異ならして形成した第1の端子列と第2の端子列がそれぞれに形成された前記第1、第2の回路基板のうち一方の回路基板と共に前記異方性導電接着剤を、前記導電性粒子の流動が抑制される程度の硬さに硬化させ、且つ前記第1の端子列と前記第2の端子列の各端子配列ピッチが同一となる温度に加熱する予備工程と、前記予備工程終了後、前記第1の回路基板と前記第2の回路基板とをその間に前記異方性導電接着剤を挟んで加熱しつつ加圧し、前記絶縁性樹脂を前記予備工程で硬化させた状態よりも更に硬化させ、前記第1の端子列と前記第2の端子列とを前記導電性粒子を介して導電接続する接合工程とを具備することを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1はこの発明の一実施形態としての回路基板の接合装置の要部の斜視図を示したものである。この接合装置は、吸着機構(図示せず)付きの固定台21を備えている。固定台21の上方にはボンディングツール22が配置されている。ボンディングツール22はヒータチップ23を備え、吸着機構(図示せず)付きの支持板24の下面の一方側に取り付けられている。ヒータチップ23を含むボンディングツール22は、複数の加熱温度設定が瞬時に行える加熱温度制御機能を備えている。支持板24の下面の他方側の4角には吸着脚25が設けられている。吸着脚25の下面は、吸着機構の作用により、大気圧よりも低い圧力面となるようになっている。吸着脚25の下面の高さ位置はボンディングツール22の下面の高さ位置とほぼ同じ位置となっている。そして、ヒータチップ23、支持板24および吸着脚25は、一体となって、X、Y、Z方向(位置決め用)およびXY平面内での回転角θ(姿勢調整用)方向に移動されるようになっている。
【0014】
固定台21上には、液晶表示パネル31がX、Y、θ方向に位置決めされて吸着配置されるようになっている。液晶表示パネル31は、上ガラス基板32と下ガラス基板33とがほぼ方形枠状のシール材(図示せず)を介して貼り合わされ、シール材の内側における両ガラス基板32、33間に液晶(図示せず)が封入され、上ガラス基板32の上面に上偏光板34が貼り付けられ、下ガラス基板33の下面に下偏光板(図示せず)が貼り付けられたものからなっている。この場合、下ガラス基板33の所定の1辺部は上ガラス基板32から突出され、該突出部33a上にはITO等の透明な金属からなる複数の入力端子35(図2参照)が設けられ、入力端子35上には帯状の異方性導電接着剤36が仮圧着されて配置されるようになっている。異方性導電接着剤36は、図2に示すように、熱硬化性樹脂37中に多数の導電性粒子38を含有させたものからなっている。
【0015】
4つの吸着脚25の下面には、フレキシブル回路基板41がX、Y、θ方向に位置決めされて吸着配置されるようになっている。フレキシブル回路基板41は、ポリイミド等からなるベースフィルム42の上面中央部に液晶表示パネル駆動用のLSI等からなる半導体チップ43がCOF(chip on film)方式で搭載され、ベースフィルム42の一端部下面に銅等からなる複数の接続端子44(図2参照)が半導体チップ43に接続されて設けられたものからなっている。
【0016】
次に、この接合装置でフレキシブル回路基板41の一端部を液晶表示パネル31の下ガラス基板33の突出部33a上に接合する場合について説明する。まず、固定台21上に液晶表示パネル31をX、Y、θ方向に位置と姿勢を決めて吸着配置する。この場合、下ガラス基板33の突出部33a上には帯状の異方性導電接着剤36が仮圧着されて配置されている。また、4つの吸着脚25の下面にフレキシブル回路基板41をX、Y、θ方向に位置決めして吸着配置する。この状態では、フレキシブル回路基板41の接続端子44が並設された一端部が熱圧着ヘッドとなるヒータチップ23先端面に密接するように配置されている。なお、ヒーターチップ先端面にも吸着機能を持たせ、この先端面にフレキシブル回路基板41の一端部を吸着させるようにしてもよい。
【0017】
ここで、図1では、ボンディングツール22が、固定台21上に吸着配置された液晶表示パネル31の突出部33aの上方に位置するように図示しているが、この時点では、ボンディングツール22は上限位置においてY方向に移動されて固定台21と対向しない待機位置に位置させられている。この状態におけるベースフィルム42の接続端子44と下ガラス基板33の入力端子35との関係を図2に示す。ただし、図2では、図示の都合上、接続端子44および入力端子35はそれぞれ多数個の内の3個しか図示していない。この図2に示す状態では、つまり接合前の初期の状態では、図6に示す本加熱加圧終了時点におけるベースフィルム42の伸び量L1と下ガラス基板33の伸び量L2との差(L1−L2)を考慮して、接続端子44の配列ピッチP1は入力端子35の配列ピッチP2よりも上記伸び量の差(L1−L2)が相殺されるように所定量だけ小さくなっている。
【0018】
次に、ボンディングツール22が待機位置に位置する状態において、ヒーターチップ23を含むボンディングツール22による予備加熱により、ベースフィルム42の接続端子44が並設された一端部を予め設定された予熱温度となるまで加熱する。すると、図5に示すように、下ガラス基板33の温度は室温に保たれたままであるが、ベースフィルム42の温度は上昇して予め設定された予熱温度T3となる。これにより、図6に示すように、下ガラス基板33は伸びないが、ベースフィルム42は予め設定された量L3だけ伸びる。ここで、ベースフィルム42の伸び量L3を、図2に示す入力端子35の配列ピッチP2と接続端子44の配列ピッチP1との差(P2−P1)の合計値となるように予め設定しておくと、図3に示すように、接続端子44の配列ピッチP3は入力端子35の配列ピッチP2と等しくなる。
【0019】
次に、この状態において、図示していないが、フレキシブル回路基板41の一端部および下ガラス基板33の突出部33aの各X、Y方向位置をそれぞれカメラ等を備えた画像処理位置検出装置により検出する。そして、この検出結果に基づいて、待機位置に位置するボンディングツール22をX、Y方向に適宜に移動させ、フレキシブル回路基板41の一端部の下ガラス基板33の突出部33aに対する位置合わせを行い、フレキシブル回路基板41の接続端子44を対応する入力端子35の上方の整合位置に正確に位置させる。
【0020】
次に、ボンディングツール22をZ方向に所定量だけ下降させ、フレキシブル回路基板41の一端部下面を下ガラス基板33の突出部33a上の異方性導電接着剤36の上面に圧接させる。そして、ヒーターチップ23を発熱させ本加熱温度にまでボンディングツール22を加熱して本加熱加圧を行う。、この本加熱加圧により、図5に示すように、、ベースフィルム42の温度が予熱温度T3からさらに上昇して本加熱加圧終了時点で予定の接合温度T1となると同時に、下ガラス基板33の温度が室温から上昇して本加熱加圧終了時点で予定した接合温度T2となる。これにより、図6に示すように、ベースフィルム42はさらに(L1−L3)だけ伸びて当初からの伸び量が所期の伸び量L1となり、下ガラス基板33は所期の量L2だけ伸びる。ここで、L2=(L1−L3)となるように予め予備加熱温度T3を設定しておくことにより、本加熱加圧時におけるベースフィルム42の一端部の伸び量と下ガラス基板33の突出部33aの伸び量とは同じとなる。
【0021】
この結果、ベースフィルム13および下ガラス基板6の伸びの基点が図3においてA−A線で示すように左右方向の中心であっても、B−B線で示すように右端部であっても、つまりどこであっても、図4に示すように、接続端子44の配列ピッチと入力端子35の配列ピッチとが等しく拡大され、接続端子44が対応する入力端子35に正確に対向して重畳した配置となる。そして、この状態では、互いに対向する接続端子44と入力端子35とはその間に介在されて適宜に弾性変形した導電性粒子38を介して確実に導電接続されている。また、接続端子44を含むフレキシブル回路基板41の一端部下面と入力端子35を含む下ガラス基板33の突出部33a上面とは熱硬化性樹脂37を介して接着されている。
【0022】
以上のように、この接合方法では、本加熱加圧前にフレキシブル回路基板41を予備加熱してその接続端子間のピッチを接合すべき入力端子間のピッチと同一にすると共に位置合わせをした後に本加熱加圧を行い、その本加熱加圧におけるフレキシブル回路基板41の一端部の伸び量(L1−L3)と下ガラス基板33の突出部33aの伸び量L2が等しくなるように、フレキシブル回路基板41の一端部の予熱温度T3を設定したから、接合すべきベースフィルム42と下ガラス基板33の熱膨張率の違いおよび伸びの基点の相違による端子列の位置ずれが防止され、端子列同士を常に確実に所期の通り導電接続することができる。
【0023】
なお、上記実施形態では、ベースフィルム42のみを予備加熱する場合について説明したが、これら限らず、ベースフィルム42をボンディングツール22で予備加熱するとともに、下ガラス基板33を加熱手段(図示せず)を備えた固定台21で予備加熱するようにしてもよい。次に、この場合におけるベースフィルム42および下ガラス基板33の各温度変化とベースフィルム42および下ガラス基板33の各伸び量について、図7および図8を参照して説明する。
【0024】
まず、図7に示すように、ベースフィルム42および下ガラス基板33の各温度は、接合前の初期の状態では共に室温である。そして、ベースフィルム42および下ガラス基板33の予備加熱を別々に開始し、ベースフィルム42の温度を予め設定された予熱温度T4(T4>T3)まで上昇させ、下ガラス基板33の温度を予め設定された予熱温度T5に上昇させる。これにより、図8に示すように、ベースフィルム42側の端子配列部は予め設定された量L4(L4>L3)だけ伸び、下ガラス基板33側の端子配列部は予め設定された量L5だけ伸びる。なお、T3およびL3は前述した実施形態での予備加熱温度およびそれによる伸び量である。ここで、(L4−L5)=L3となるように予めそれぞれの予備加熱温度T4、T5を設定しておくと、予備加熱後における接続端子44の配列ピッチと入力端子35の配列ピッチとは等しくなる。
【0025】
次に、本加熱加圧を所定時間実施し、ベースフィルム42の温度を予熱温度T4からさらに上昇させて本加熱加圧終了時点で予定した接合温度T1とし、、下ガラス基板33の温度を予熱温度T5からさらに上昇して本加熱加圧終了時点で予定した接合温度T2とする。これにより、図8に示すように、ベースフィルム42はさらに(L1−L4)だけ伸びて当初からの伸び量が所期の伸び量L1となり、下ガラス基板33はさらに(L2−L5)だけ伸びて当初からの伸び量が所期の伸び量L2となる。ここで、(L1−L4)=(L2−L5)となるように各予備加熱温度T4、T5を予め設定しておくことにより、本加熱加圧時におけるベースフィルム42の端子配列部の伸び量と下ガラス基板33の突出部33aの伸び量とは同じとなる。したがって、この場合も、接合すべきベースフィルム42と下ガラス基板33の熱膨張率の違いおよび伸びの基点の相違による端子列の位置ずれが防止され、端子列同士を常に確実に所期の通り導電接続することができる。
【0026】
ところで、ポリイミド等からなるベースフィルム42の場合、予熱温度T3、T4は通常約100℃以上である。一方、室温状態におけるベースフィルム42の寸法が吸湿により変化している場合がある。しかし、このような場合でも、ベースフィルム42は予備加熱されて予熱温度T3、T4になると十分に乾燥され、予備加熱による伸び量L3、L4を含む所期の寸法となり、そしてこの時点で上述の実施形態と同様に位置合わせを行うので、ベースフィルム42の吸湿による寸法変化の影響を無くすことができる。
【0027】
また、下ガラス基板33を予備加熱する場合には、その突出部33a上に配置された異方性導電接着剤36も予備加熱されることになる。この場合、下ガラス基板33の予熱温度T5を、予備加熱によって熱硬化性樹脂37を導電性粒子38の流動が抑制される程度の硬さに硬化させる温度に設定すると、本加熱加圧時に熱硬化性樹脂37が過度に流動することがなく、導電性粒子38の移動が軽減され、本加熱加圧後における導電性粒子38の分布を均一にすることができる。
【0028】
なお、上記実施形態において、フレキシブル回路基板41の代わりに、TAB(tape automated bonding)、TCP(tape carrier package)、半導体チップ等を液晶表示パネル31の突出部33a上に接合するようにしてもよい。さらに、固定台21上に吸着配置される一方の回路基板の熱膨張率がこれに接合される他方の回路基板の熱膨張率よりも大きい場合には、一方の回路基板を予め設定された予熱温度まで予備加熱するようにしてもよく、あるいは他方の回路基板を予め設定された冷却温度まで予備冷却するようにしてもよい。加えて、上記実施形態において、ベースフィルム42を室温のままとし、下ガラス基板33を予め設定された冷却温度まで予備冷却するようにしてもよい。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、接合する前に両回路基板のうち少なくとも一方の回路基板と前記コネクタ部材とを、前記熱硬化性樹脂がその中に含有する前記導電性粒子の流動を抑制できる程度に硬化させ、且つ前記第1の端子列と前記第2の端子列の各端子配列ピッチが同一となる温度まで予備加熱した後、対応する各端子同士が対向するように位置合せするので、この後の接合工程における接合すべき2つの回路基板の熱膨張率の違いや伸びの基点の違いによる端子列の位置ずれを防止し、端子列同士を常に対応する端子同士を正確に対向させることができ、また異方性導電接着剤の導電性粒子の流動が抑制されるので、前記端子同士を確実に導電接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態としての回路基板の接合装置の要部を示す斜視図。
【図2】図1に示す接合装置において、フレキシブル回路基板を下ガラス基板上に接合する前の初期の状態を示す断面図。
【図3】図2に示す状態からフレキシブル回路基板を予備加熱した状態を示す断面図。
【図4】図3に示す状態からフレキシブル回路基板を下ガラス基板上に接合した状態を示す断面図。
【図5】図2〜図4に示す場合におけるフレキシブル回路基板および下ガラス基板の各温度変化を示す図。
【図6】図5に示す場合におけるフレキシブル回路基板および下ガラス基板の各伸び量を示す図。
【図7】フレキシブル回路基板および下ガラス基板の各温度変化の他の例を示す図。
【図8】図7に示す場合におけるフレキシブル回路基板および下ガラス基板の各伸び量を示す図。
【図9】従来の回路基板の接合装置の一例の一部を示す斜視図。
【図10】図9に示す接合装置において、フレキシブル回路基板を下ガラス基板上に接合した状態を示す断面図。
【図11】上記従来例において、フレキシブル回路基板および下ガラス基板の各温度変化を示す図。
【図12】図11に示す場合におけるフレキシブル回路基板および下ガラス基板の伸び量を示す図。
【図13】図9に示す接合装置において、フレキシブル回路基板を下ガラス基板上に接合する前の初期の状態を示す断面図。
【図14】図13においてベースフィルムおよび下ガラス基板の伸びの基点がB−B線で示すように右端部である場合の接合後の状態を説明するために示す断面図。
【符号の説明】
21 固定台
22 ボンディングツール
23 ヒーターチップ
24 支持板
25 吸着脚
31 液晶表示パネル
32 上ガラス基板
33 下ガラス基板
33a 突出部
35 入力端子
36 異方性導電接着剤
37 熱硬化性樹脂
38 導電性粒子
41 フレキシブル回路基板
42 ベースフィルム
43 半導体チップ
44 接続端子[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a circuit board bonding method, and more particularly, to a circuit board bonding method capable of preventing a positional shift of a terminal row due to a difference in thermal expansion coefficient between two circuit boards to be bonded.
[0002]
[Prior art]
For example, in a method for manufacturing a liquid crystal display device, a method in which one circuit board of a liquid crystal display panel and a flexible circuit board are bonded by thermocompression bonding through a connector member such as an anisotropic conductive adhesive therebetween is often used.
[0003]
FIG. 9 is a partial perspective view of an example of a conventional circuit board bonding apparatus used in such a circuit board bonding method. This joining apparatus includes a
[0004]
On the
[0005]
A
[0006]
Next, a description will be given of a case where the terminal portion arranged at one end portion of the
[0007]
Next, in this state, although not shown, the X and Y direction positions of one end portion of the
[0008]
This ideal bonding state is shown in FIG. However, in FIG. 10, for convenience of illustration, only three of the
[0009]
By the way, since the thermal expansion coefficient of the
[0010]
Therefore, in consideration of the difference (L1−L2) between the elongation amounts L1 and L2, in the initial state before joining, as shown in FIG. 13, the arrangement pitch P1 of the
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the said conventional joining method, only the position alignment with respect to the
The object of the present invention is to prevent positional displacement between the respective terminal arrays due to the difference in thermal expansion coefficient between the two circuit boards to be joined, and to ensure that the corresponding terminals of both terminal arrays are accurately opposed to each other. It is to provide a method for joining circuit boards to be connected.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The circuit board bonding method according to the present invention corresponds to the first circuit board including the first terminal array in which a plurality of terminals are arranged and each terminal of the first terminal array as described in
According to the first aspect of the present invention, before joining, at least one of the circuit boards is bonded.And the connector member are cured to such an extent that the flow of the conductive particles contained in the thermosetting resin can be suppressed, and each terminal arrangement of the first terminal row and the second terminal row is arranged. After preheating up to a temperature at which the pitch is the same, the corresponding terminals are aligned so that they face each other.To prevent misalignment of terminal rows due to differences in thermal expansion coefficients and elongation base points of the two circuit boards to be joined, and to make sure that the terminal rows always correspond to each other with their corresponding terminals accurately facing each other. Can do.
In the present invention, as described in
According to a third aspect of the present invention, in the present invention, the first circuit board has a higher coefficient of thermal expansion than the second circuit board, and the first circuit board is in a state before the preliminary process. The second terminal row is more suitable for joining circuit boards having a larger terminal pitch.The
The present invention also provides:Claim 4As described above, the first circuit board is one circuit board of a liquid crystal display panel, and the second circuit board is suitable for joining circuit boards that are flexible circuit boards.
The circuit board bonding method of another invention of the present application is as follows:Claim 5A plurality of first terminals forming a first terminal row of the first circuit board, and second terminals arranged on the second circuit board corresponding to the first terminals, respectively. In the circuit board joining method in which the second terminals to be formed are electrically joined to each other through an anisotropic conductive adhesive containing conductive particles in a thermosetting insulating resin.The anisotropic conductive adhesive is used together with one of the first circuit board and the second circuit board on which the first terminal row and the second terminal row formed with different arrangement pitches in advance are formed. And hardened to such a degree that the flow of the conductive particles is suppressed, and heated to a temperature at which the terminal arrangement pitches of the first terminal row and the second terminal row are the same.After the preliminary step and the preliminary step are completed, the first circuit board and the second circuit board are pressed while being heated with the anisotropic conductive adhesive interposed therebetween, and the insulating resin is added to the preliminary circuit board. It is further characterized by comprising a bonding step of further curing than the state cured in the step, and conductively connecting the first terminal row and the second terminal row via the conductive particles. is there.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a perspective view of a main part of a circuit board bonding apparatus according to an embodiment of the present invention. This joining apparatus includes a fixed
[0014]
On the fixed
[0015]
On the lower surface of the four
[0016]
Next, a case where one end portion of the
[0017]
Here, in FIG. 1, the
[0018]
Next, in a state where the
[0019]
Next, in this state, although not shown, the X and Y direction positions of one end portion of the
[0020]
Next, the
[0021]
As a result, even if the base point of elongation of the
[0022]
As described above, in this joining method, after the
[0023]
In the above embodiment, the case where only the
[0024]
First, as shown in FIG. 7, the temperatures of the
[0025]
Next, the main heating and pressing are performed for a predetermined time, and the temperature of the
[0026]
By the way, in the case of the
[0027]
When the
[0028]
In the above embodiment, instead of the
[0029]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, at least one of the circuit boards before joining is provided.And the connector member are cured to such an extent that the flow of the conductive particles contained in the thermosetting resin can be suppressed, and each terminal arrangement of the first terminal row and the second terminal row is arranged. After preheating to a temperature where the pitch is the same,Align so that each corresponding terminal faces each otherSo in the subsequent joining processIt is possible to prevent the positional deviation of the terminal rows due to the difference in thermal expansion coefficient between the two circuit boards to be joined and the difference in the base point of elongation, and the terminals always corresponding to each other can be accurately opposed to each other.Since the flow of the conductive particles of the anisotropic conductive adhesive is suppressed, the terminals areConductive connection can be ensured.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a main part of a circuit board bonding apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing an initial state before the flexible circuit board is bonded onto the lower glass substrate in the bonding apparatus shown in FIG. 1;
3 is a cross-sectional view showing a state in which a flexible circuit board is preheated from the state shown in FIG. 2;
4 is a cross-sectional view showing a state in which a flexible circuit board is bonded onto a lower glass substrate from the state shown in FIG. 3;
FIG. 5 is a diagram showing changes in temperature of the flexible circuit board and the lower glass substrate in the case shown in FIGS.
6 is a view showing the amount of elongation of each of the flexible circuit board and the lower glass substrate in the case shown in FIG.
FIG. 7 is a view showing another example of each temperature change of the flexible circuit board and the lower glass substrate.
8 is a diagram showing the amount of elongation of each of the flexible circuit board and the lower glass substrate in the case shown in FIG.
FIG. 9 is a perspective view showing a part of an example of a conventional circuit board bonding apparatus.
10 is a cross-sectional view showing a state in which a flexible circuit board is bonded onto a lower glass substrate in the bonding apparatus shown in FIG. 9;
FIG. 11 is a diagram showing changes in temperature of the flexible circuit board and the lower glass substrate in the conventional example.
12 is a view showing the elongation amount of the flexible circuit board and the lower glass substrate in the case shown in FIG.
13 is a cross-sectional view showing an initial state before the flexible circuit board is bonded onto the lower glass substrate in the bonding apparatus shown in FIG. 9;
14 is a cross-sectional view for explaining a state after joining in the case where the base point of elongation of the base film and the lower glass substrate is the right end as shown by the line BB in FIG. 13;
[Explanation of symbols]
21 fixed base
22 Bonding tool
23 Heater chip
24 Support plate
25 Adsorption legs
31 LCD panel
32 Upper glass substrate
33 Lower glass substrate
33a protrusion
35 Input terminal
36 Anisotropic conductive adhesive
37 Thermosetting resin
38 conductive particles
41 Flexible circuit board
42 Base film
43 Semiconductor chip
44 connection terminals
Claims (5)
前記第1の端子列と前記第2の端子列の配列ピッチを予め異ならせて形成した前記第1、第2の回路基板のうち少なくとも一方の回路基板と前記コネクタ部材とを、前記熱硬化性樹脂がその中に含有する前記導電性粒子の流動を抑制できる程度に硬化させ、且つ前記第1の端子列と前記第2の端子列の各端子配列ピッチが同一となる温度に予備加熱する予備工程と、
前記予備工程の後、前記第1の回路基板と前記第2の回路基板とを前記第1の端子列と前記第2の端子列のそれぞれの対応する端子同士が対向するように位置合せする位置決め工程と、
前記位置決め工程の後、前記第1の回路基板と前記第2の回路基板とを、その間に前記コネクタ部材を介在させてさらに加熱しつつ加圧し、前記第1の端子列と前記第2の端子列を接合する接合工程とを具備することを特徴とする回路基板の接合方法。A second circuit including a first circuit board having a first terminal array in which a plurality of terminals are arranged and a second terminal array in which a plurality of terminals corresponding to the respective terminals of the first terminal array are arranged. The substrate is joined by a connector member made of an anisotropic conductive adhesive containing conductive particles in a thermosetting resin with the first terminal row and the second terminal row facing each other. In the circuit board joining method for conductively connecting the corresponding terminals of the first terminal row and the second terminal row via the connector member,
At least one of the first and second circuit boards formed by differentiating the arrangement pitch of the first terminal row and the second terminal row in advance and the connector member, the thermosetting Preliminarily preheated to a temperature at which the terminal arrangement pitch of the first terminal row and the second terminal row is the same, and the resin is cured to such an extent that the flow of the conductive particles contained therein can be suppressed. Process ,
After the preliminary step, the first circuit board and the second circuit board are positioned so that the corresponding terminals of the first terminal row and the second terminal row face each other. Process,
After the positioning step, the first circuit board and the second circuit board are pressurized while further heating with the connector member interposed therebetween, and the first terminal row and the second terminal A circuit board bonding method comprising: a bonding step of bonding rows.
配列ピッチを予め異ならして形成した第1の端子列と第2の端子列がそれぞれに形成された前記第1、第2の回路基板のうち一方の回路基板と共に前記異方性導電接着剤を、前記導電性粒子の流動が抑制される程度の硬さに硬化させ、且つ前記第1の端子列と前記第2の端子列の各端子配列ピッチが同一となる温度に加熱する予備工程と、
前記予備工程終了後、前記第1の回路基板と前記第2の回路基板とをその間に前記異方性導電接着剤を挟んでさらに加熱しつつ加圧し、前記絶縁性樹脂を前記予備工程で硬化させた状態よりも更に硬化させ、前記第1の端子列と前記第2の端子列とを前記導電性粒子を介して導電接続する接合工程とを具備することを特徴とする回路基板の接合方法。A plurality of first terminals that form a first terminal row of the first circuit board, and a second that is arranged on the second circuit board so as to correspond to the first terminals and form a second terminal row In the circuit board joining method, the terminal is electrically joined via an anisotropic conductive adhesive containing conductive particles in a thermosetting insulating resin.
The anisotropic conductive adhesive is used together with one of the first circuit board and the second circuit board on which the first terminal row and the second terminal row formed with different arrangement pitches in advance are formed. A preliminary step of curing the conductive particles to such a degree that the flow of the conductive particles is suppressed, and heating to a temperature at which the terminal arrangement pitches of the first terminal row and the second terminal row are the same ;
After completion of the preliminary process, the first circuit board and the second circuit board are pressed with further heating with the anisotropic conductive adhesive interposed therebetween, and the insulating resin is cured in the preliminary process. A circuit board bonding method comprising: a bonding step of further curing the first terminal row and the second terminal row through the conductive particles; and a step of conductively connecting the first terminal row and the second terminal row via the conductive particles. .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001131519A JP4075323B2 (en) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | Circuit board bonding method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001131519A JP4075323B2 (en) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | Circuit board bonding method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002329958A JP2002329958A (en) | 2002-11-15 |
JP4075323B2 true JP4075323B2 (en) | 2008-04-16 |
Family
ID=18979694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001131519A Expired - Fee Related JP4075323B2 (en) | 2001-04-27 | 2001-04-27 | Circuit board bonding method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4075323B2 (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2890235B1 (en) * | 2005-08-30 | 2007-09-28 | Commissariat Energie Atomique | METHOD FOR HYBRIDIZING SOLD PROTUBERANCES OF DIFFERENT SIZES OF TWO COMPONENTS BETWEEN THEM AND DEVICE COMPRISING TWO HYBRID COMPONENTS BETWEEN THEM THEREIN |
JP4797634B2 (en) * | 2006-01-13 | 2011-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | Wiring board connecting method and wiring board connecting apparatus |
JP4731340B2 (en) * | 2006-02-02 | 2011-07-20 | 富士通株式会社 | Manufacturing method of semiconductor device |
JP4821551B2 (en) * | 2006-10-05 | 2011-11-24 | パナソニック株式会社 | Electronic component crimping method and apparatus |
JP5315277B2 (en) * | 2010-03-29 | 2013-10-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | FPD module assembly equipment |
JP2019062056A (en) * | 2017-09-26 | 2019-04-18 | ブラザー工業株式会社 | Electrode connection method |
CN112135439B (en) * | 2020-09-17 | 2022-11-22 | 成都大超科技有限公司 | Magnetic jig and multilayer FPC welding method |
-
2001
- 2001-04-27 JP JP2001131519A patent/JP4075323B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002329958A (en) | 2002-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2809522B2 (en) | Connection method between liquid crystal display element and flexible substrate | |
CN111145643B (en) | Bonding method and display device | |
JP2003289090A (en) | Thermocompression bonding device and method therefor | |
JP4075323B2 (en) | Circuit board bonding method | |
KR100533766B1 (en) | Thermocompression bonding device and method therefor | |
JPH05134265A (en) | Method for connecting terminal of heat sealed film substrate | |
KR20090128370A (en) | Printed circuit board assembly and electronic device | |
KR19980064126A (en) | PCC Crimping Device of Liquid Crystal Panel | |
JP5159259B2 (en) | Crimping device and flat panel display manufacturing device | |
JPH11312759A (en) | Face-down bonding substrate or printed wiring board or flexible wiring board or forming method of the substrate | |
JP2002341786A (en) | Printed circuit board and method for manufacturing flat display device using the same | |
JPH11242236A (en) | Pcb press-fixing device for liquid crystal panel | |
CN114527589A (en) | Binding device and manufacturing method of display panel | |
JP3997838B2 (en) | Driver IC crimping apparatus and crimping method | |
TWI282007B (en) | Equipment and method for fabricating a liquid crystal display | |
JP2005086145A (en) | Manufacturing methods of thermocompression bonding device and display device | |
JP2011097095A (en) | Pressure bonding apparatus and method for manufacturing flat panel display | |
JPH0428289A (en) | Connecting method of terminal train | |
JP2004279699A (en) | Apparatus and method for pressure bonding flexible board and method for manufacturing electrooptic panel | |
JP7394314B2 (en) | Component mounting equipment and component mounting method | |
CN118666508A (en) | Display panel manufacturing method | |
JPH05198936A (en) | Connecting method for heat seal connector | |
US20120188733A1 (en) | Substrate mounting structure, display device equipped therewith, and substrate mounting method | |
JP2003068798A (en) | Semiconductor mounting method and semiconductor mounting device | |
JP4077544B2 (en) | Manufacturing method of liquid crystal display device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050201 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060206 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060413 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070529 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110208 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110208 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120208 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120208 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130208 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130208 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140208 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |