JP3597733B2 - 磁気式変位検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば自動車のステアリングシャフトに連結されて、ステアリングホイールの操舵角を検出する磁気式変位検出装置に係り、特に直線移動する移動体の検出を高精度に実現できるようにした磁気式変位検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図9は、従来の磁気式変位検出装置40を示す平面図である。
この磁気式変位検出装置40は、検出体41、固定部材42、磁石43、及び磁気検出手段であるホール素子44を有している。
【0003】
検出体41は、棒状のガイド部材45に支持され、前記ガイド部材45に沿って検出体41が直線的に移動する。また検出体41には、前記検出体41の移動方向の一方がN極に他方がS極に着磁された直方体形状からなる磁石43が設けられている。さらに前記磁石43の対向面には、固定部材42が図示しないケースに固定されている。固定部材42には、磁石43と対向する面にホール素子44が設けられている。前記ホール素子44は、前記磁石43から発せられる磁力のうちのz方向成分の強度を検出するものである。
【0004】
例えばステアリングホイールの操舵角を検出する磁気式変位検出装置では、ステアリングホイールと共に回転する回転体の回転力が前記検出体41の直線移動力に変換される。この検出体41と共に磁石43がホール素子44に対向して移動し、このときの磁石43から発せられる磁界のz方向の成分の変化をホール素子44を介して検出することにより、前記ステアリングホイールの回転角度を知ることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
この種の磁気式変位検出装置40では、ホール素子44によりz方向すなわち検出体41の移動方向と直交する方向の磁界の強さが検出される。そしてこのz方向の磁界の検出値の変化に基づいて、検出体41の移動量が認識される。
【0006】
しかし、図9に示すように従来の磁石43はホール素子44との対向面が移動方向へフラットであるため、磁石43の移動方向の両端付近では、移動距離に対するz方向への磁界強度の変化率が比較的大きいが、磁石43の移動方向の中心部分では磁力線E0が前記移動方向に向けてほぼフラットな領域が広くなり、磁石43の移動距離に対するz方向の磁界強度の変化率が極端に小さくなる。
【0007】
そのため、検出体41と磁石43の移動距離に対するz方向の磁界強度の変化率が前記移動方向に対してリニアでなくなる。よって、検出体41の移動距離を正確に把握することが困難である。
【0008】
前記のステアリングホイールの操舵角を検出する場合には、ステアリングホイールと共に回転する回転体により前記検出体41が移動させられ、またこれと共に回転体の回転角度を前記ホール素子44による検出よりも高い分解能で検出する他の回転検出手段が設けられている。そして、ホール素子44が前記磁石43の中心から前後の端部まで移動する範囲で、例えば前記回転体の±720度の粗検出が行われ、さらにその間に前記回転検出手段により、さらに細かな回転体の回転角度が検出される。このときホール素子44からの検出値に基づく検出角度を基準として、さらに前記回転検出手段により細かな角度が認識される。
【0009】
このような装置において、前記検出体41の移動距離の検出の精度が低下して回転体の回転角度と検出値との間に誤差が生じると、前記回転体の細かな角度検出のときの基準値が変動し、ステアリングホイールの回転角度の検出に誤差を生じることになる。
【0010】
本発明は、上記課題を解決するものであり、磁石を有する検出体と磁気検出手段とが相対的に移動するものにおいて、前記相対移動量を前記磁気検出手段によって可能な限りリニアに検出できるようにした磁気式変位検出装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、直線状に移動する検出体と、前記検出体に対向して設けられる固定部材とを有し、前記検出体と固定部材のいずれか一方には、前記検出体の移動方向にN極とS極とが向けられた磁石が設けられ、他方には磁気検出手段が設けられ、前記磁石から発せられる磁力を磁気検出手段で検出することにより前記検出体の移動を検出する磁気式変位検出装置において、
前記磁石と磁気検出手段との間の距離は、磁石の中心付近が最も近く、磁石の端部で前記中心付近よりも遠くなる形状であることを特徴とするものである。
【0012】
上記のように磁石の中心部を、磁気検出手段に向けて凸形状にしておくと、移動方向の前後の全長にわたって磁石の移動方向に直交する方向の磁界の変化率がリニアまたはリニアに近くなり、検出体と磁気検出装置の相対移動距離を、前記磁界の変化により高い精度で検出できるようになる。
【0013】
例えば、前記磁石は、前記磁気検出手段との対向面がR形状(正確なR形状以外の凸曲面を含む)である。
【0014】
この場合、前記磁石または磁気検出手段が移動する方向での磁石の幅をW、前記磁石と磁気検出手段とが対向する方向での磁石の厚さをHとすると、前記磁石の形状比率は、W=10〜20、H=1〜5、R=20〜50の関係であることが好ましい。
あるいは、前記磁石は、前記磁気検出手段との対向面が台形である。
【0015】
この場合、前記磁石または磁気検出手段が移動する方向での磁石の幅をW、前記磁石と磁気検出手段とが対向する方向での磁石の厚さをH、前記台形の両端部のテーパーの前記H方向の切欠き長さをY、前記テーパーの前記W方向の切欠き長さをXとすると、前記磁石の形状比率は、W=10〜20、H=1〜5、X=4.25〜4.75、Y=0.4〜0.6の関係であることが好ましい。
【0016】
例えば、前記検出体には、回転体が設けられ、この回転体の回転動作により前記検出体が直線動作し、さらに前記磁石と前記磁気検出手段での検出出力よりも高い分解能で前記回転体の回転角度を検出する他の検出手段が設けられているものにおいて本発明は有効である。
【0017】
この場合、前記磁気検出手段で検出された磁界強度の変化による位置認識を基準として前記他の検出手段からの検出出力により前記回転体の細かな回転角度を認識する。よって、前記検出体と磁気検出手段とで高精度な位置検出を可能とすると、前記細かな回転角度を認識するときの基準値のずれが生じなくなり、回転体の回転角度を高精度に検出できるようになる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について図1ないし図8を参照して説明する。図1は本発明の磁気式変位検出装置が搭載された角度センサの内部構造を示す平面図、図2は本発明の磁気式変位検出装置に用いられる磁石の形状を示す平面図、図3は磁石の形状の変形例を示す平面図、図4は、図2に示す磁石から発せられる磁力線を仮想的に示す模式図である。なお、以下では、自動車のステアリングホイールの操舵角を高精度に検出できる角度センサについて説明する。
【0019】
図1に示す角度センサ1は、プラスチック等の合成樹脂材料からなるケース2内に、磁気式変位検出装置10として、検出体4と、磁石5と、ホール素子(磁気検出手段)6と、固定部材7とを有している。さらに前記磁気式変位検出装置10には、回転体3が設けられており、この回転体3の回転動作を検出体4の直線動作へと変換し、このときの直線動作の変位をホール素子6により検出している。
【0020】
回転体3は、合成樹脂材料等を円筒状に形成したものであり、ケース2に対して回転可能に支持されている。その外周面には複数のはす歯歯車3aが全周に渡って形成されている。また回転体3には、合成樹脂材料により円盤状に形成された減速歯車8が設けられている。
【0021】
減速歯車8は、円盤の中心部にD字形状の貫通孔が形成され(図示せず)、さらに外周面には複数のはす歯歯車8aが全周に渡って形成され、はす歯歯車8aは前記はす歯歯車3aと噛合している。また減速歯車8には、棒状の回転軸9が回転可能に取り付けられている。
【0022】
前記回転軸9は、前記減速歯車8が取り付けられる部分の断面がD字形状であり、このD字形状の部分と、前記減速歯車8のD字形状の部分とが嵌合し、回転軸9の中央付近に固定される。
【0023】
また回転軸9は、黄銅やアルミニウム等の金属材料からなり、中央部から一端側にかけて螺旋状のスクリュー溝9aが形成され、ケース2に対して回転可能に支持されている。また回転軸9には検出体4が設けられている。
【0024】
検出体4は、移動方向の一端面から多端面にかけて貫通孔が穿設されている。この貫通孔には内周面に前記回転軸9に形成されたスクリュー溝9aと噛合するねじ山(図示せず)が形成されている。また検出体4の下面には、磁石5がインサート形成等によって取り付けられている。前記検出体4はx方向へ直線的に移動するように前記ケース2内で案内されている。よって前記回転体3が回転し減速歯車8と回転軸9が回転することにより、検出体4および磁石5が矢印B方向(x方向)へ往復移動する。
【0025】
磁石5は、フェライト等の磁性材料により形成され、移動方向に長尺な形状を有している。また磁石5は、移動方向の一端側にN極5aが着磁され、他端側にS極5bが着磁されている。すなわちこの磁石5は、x方向の一端がN極、他端がS極となるように分極されて着磁されている。磁石5に対向して固定部材7が設けられ、この固定部材7は、前記ケース2に固定されている。
【0026】
固定部材7は、平板状の絶縁基板からなり、この絶縁基板上には所望の導電パターンが形成されている。この導電パターンには、電気回路を構成する抵抗やコンデンサ等の図示しない電気部品が実装されている。また固定部材7上には、前記磁石5に対向する側にホール素子6が設けられている。
【0027】
ホール素子6は、磁気エネルギーを電気エネルギーに変換する磁電変換素子であり、固定部材7に支持されたホルダ16によって保持されている。このホール素子6により、前記磁石5から得られる磁界のうちのz軸成分の磁界強度が検出される。
【0028】
前記磁石5の形状は、図2に示すように、x−z平面で切断したときの断面(あるいは側面からみたときの平面)がR形状、具体的には前記断面が、長方形の長手方向の一片がR形状(かまぼこ型)である。なおこのR形状とは、正確な円弧面であってもよいし、円弧面に近似した凸曲面であってもよい。このとき磁石5のx方向を幅Wとし、z方向を厚さHとし、曲面の径をRとすると、W=10〜20mm、H=1〜5mm及びR=20〜50mmとなる形状にすることが好ましい。なお、このときの磁石5と磁気検出手段としてのホール素子6との間の距離(L)は、0.8mmに固定する。
【0029】
上記により、図4に示す仮想的な磁力線Eを発する磁石5が得られる。すなわち、磁石5はN極からS極に向けて磁力線を放出するものであり、図示されているように、図4に示す形状を有する磁石5から発せられる磁力線Eは、磁石5の両端部から放出されるだけではなく、磁石5の曲面部5Aからも放出される。磁石5の中央付近における磁力線E上のP点では、磁力線Eの接線方向の磁力の大きさと向きを磁界Hで表わすとすると、磁界Hのz方向のベクトル成分は、磁界Hzで表わすことができる。このように磁石5の中央付近においてホール素子6側(z方向)へ充分な大きさのベクトル成分を有する磁力を出力できる。
【0030】
上記のように磁石5のホール素子6側の一面をR形状とすることにより、磁石5の中央付近において、従来の直方体形状を有する磁石ではほとんど発せられなかった磁力のz方向へのベクトル成分が発せられるようになる。さらに、磁石5の端部ほど磁力線が密であった従来の直方体形状を有する磁石よりも磁力線の密度が疎になり、ホール素子6の出力が急激に変化することがなくなる。したがって、前記形状を有する磁石5は、磁石5の一端から他端にかけてホール素子6を走査したときに、その走査距離(移動距離)に対するz方向への磁界のベクトル成分Hzの変化率を従来よりもリニアにできる。
【0031】
また磁石5の形状の変形例として、図3に示すように、磁石のx−z軸平面で切断される断面形状が台形を有する磁石15であってもよい。
【0032】
前記磁石15は、図示されているように、直方体からなる磁石のホール素子6側の両角部を均等に切り落として傾斜面(テーパー)15c,15cを形成している。また磁石15は、x方向を幅Wとし、z方向を厚さHとし、傾斜面15cのx軸方向の切欠き長さをXとし、傾斜面15cのz方向の切欠き長さをYとすると、W=10〜20mm、H=1〜5mm、X=4.25〜4.75mm、及びY=0.4〜0.6mmとなる形状であることが好ましい。これにより、ホール素子6を走査したときの走査距離(移動距離)に対する磁力のz方向のベクトル成分Hzのリニアリティを向上できる。
【0033】
ここで、図2に示すように対向面がR形状の場合、回転体3の回転角度に対するホール素子6での前記ベクトル成分Hzの検出強度の変化を図7に示す。この場合の既定値は、W=14mmであり、Rを変動させるものとする。なお、図7(図8についても同様)においては、磁気検出手段と磁石の磁気検出手段側の先端部との距離は、0.8mmに固定した。
【0034】
その結果、Rが55mmのときでは、回転体が0(deg)から1440°(deg)までのいずれの角度においても所定の変動幅(製品化するにあたって許容可能な幅、本実施の形態では図7での0〜1440°までの出力変化に対して±5%の範囲)に収めることができる。なお、Rが前記よりも小さい15mmであったり、Rが前記よりも大きい55mmである場合には、前記変動幅から大きく外れる。上記手段によりRの値を絞り込んでいくことによって、Rは20〜50mmとすることが好ましいことが導き出され、そのときの厚さHは1〜5mmとすることが望ましい。
【0035】
また図3に示すように、磁石の対向面が台形の場合、回転体3の回転角度に対するホール素子6での前記ベクトル成分Hzの検出強度の変化を図8に示す。この場合の既定値は、W=12mm、H=1.5mm、X=3mmであり、Yを変動させるものとする。その結果、Yが0.4〜0.6mmとしたときに、回転体が0(deg)から1440°(deg)までのいずれの角度であっても所定の変動幅(前記のように0〜1440°までの出力変化に対して±5%の範囲)から大きく外れることはなくほぼ変動幅内に収めることができる。Yが0.4mmよりも小さく、または0.6mmよりも大きいときには、出力電圧は変動幅から大きく外れる。上記のようにしてYの値を絞り込んでいくことによって、Yは0.4〜0.6mmからなる範囲とすることが好ましいことが導き出される。一方、Yを固定してXを変化させた場合には、Xは4.25〜4.75mmとすることが好ましいことが導き出される。また、Yを固定した場合またはXを固定した場合とも、W=10〜20mm、H=1〜5mmとすることが望ましい。
【0036】
また前記角度センサ1には、さらに別の磁気式の回転検出装置20が設けられる。
【0037】
回転検出装置20は、第2の磁石21と、第2のホール素子22と、第3のホール素子23とから構成される。第2の磁石21は、前記磁石5(15)と同様にフェライト等の磁性材料からリング状に形成されている。第2の磁石21の外周面には、磁石21が1回転する間にN極とS極とが1回ずつまたは2回ずつホール素子22を通過するように着磁されている。またこの第2の磁石21は前記減速歯車8の近傍で前記回転軸9に固定されている。
【0038】
上記により、前記磁気式変位検出装置10では、回転体3のラフな回転角度を検出し、前記回転検出装置20では、回転体3のさらに細かな回転角度を検出することができる。
【0039】
次に、角度センサ1の組立方法について説明する。
図1に示すように、ホール素子6と第2のホール素子22と第3のホール素子23とが、ケース2内に設けられた固定部材7上に取り付けられる。このとき前記第2の磁石21に対して第2のホール素子22と90°の角度を成すように第3のホール素子23が設けられる。そして回転軸9には、減速歯車8が嵌め込まれ、さらにリング状の第2の磁石21が嵌め込まれる。さらに減速歯車8の第2の磁石21とは反対側に検出体4がねじ込まれ、磁石5がスクリュー溝9aの中央部に位置するように検出体4を回転軸9で支持する。この回転軸9をケース2内にて回転可能に支持する。そして、ケース2内に回転体3を収納するが、このとき回転体3のはす歯歯車3aと減速歯車8のはす歯歯車8aとが噛合するように収納される。さらに、図示しないカバー部材にて塞がれる。なお、第3のホール素子23は、カバー部材側に設けてもよい。
【0040】
次に、角度センサ1の動作について説明する。なお、回転体3は、ニュートラル状態から右(時計回り方向)と左(半時計回り方向)にそれぞれ2回転するようになっている。なお、2回転に限られるものではない。また回転体3が回転すると減速歯車8と回転軸9とが一緒に回転し、回転体3が1回転する間に減速歯車8が4回転する。
【0041】
回転体3をニュートラル状態から反時計回り方向に2回転させた場合には、回転体3の回転動作により減速歯車8が一方向へ回転し、減速歯車8とともに回転軸9が一方向へ回転する。そして回転軸9のスクリュー溝9aが検出体4のねじ山(図示せず)と噛合しながら回転することにより、回転軸9の回転運動が検出体4の直線運動に変換される。検出体4は、磁石5とともに回転軸9の矢印B方向に移動してスクリュー溝9aの一端側に位置する。また回転体3を前記状態から時計回り方向に2回転させた場合には、前記とは逆方向に減速歯車8と回転軸9とが回転する。これにより、検出体4は、前記とは反対方向に移動してスクリュー溝9aの中央に位置する。さらに、回転体3を時計回り方向に2回転させた場合には、検出体4は、スクリュー溝9aの他端側に位置する。
【0042】
次に、回転体3の回転角度の検出方法について説明する。
上記のようにして形成された角度センサ1は、磁石5とホール素子6とによって第1の検出手段が構成され、第2の磁石21と第2のホール素子22および第3のホール素子23とによって第2の検出手段および第3の検出手段が構成される。
【0043】
前記第1の検出手段は、ステアリングホイールが回転することにより、ホール素子6が磁石5の移動を検出して、漸次増加又は減少する第1の検出信号31を生成する。このとき、第1の検出信号31は、ステアリングホイールが4回転する間に0.5V(ボルト)から4.5Vまでリニアに変化する。これによって、回転体3と一体的に回転するステアリングホイールのニュートラル位置からの粗回転角度(おおよその回転角度)及び回転方向が検出できる。
【0044】
図5に示すマイコン25は、ステアリングホイールの回転角度算出手段であり、前記角度センサ1が自動車に搭載される。これにより、自動車のサスペンションやオートマチックトランスミッション等の制御機構部26に接続される。マイコン25は、ケーブル18を介して第1、第2、第3の検出信号31,32,33を入力信号として受け取って、これらの信号を重畳させて、第1の検出信号31に基づいてステアリングホイールのニュートラル位置からの粗回転角度及び回転方向を検出し、第2の検出信号32と第3の検出信号33に基づいてステアリングホイールの微回転角度(正確な回転角度)を検出する。
【0045】
すなわち、第1の検出信号31の検出により、ステアリングホイールの回転角度がどの範囲、すなわち図6で示す区間n番目(nは正数)の角度範囲であるのか、区間n−1番目の範囲であるのか、区間n+1番目の範囲であるのか等の粗回転角度を検出する。また図6に示すように、ステアリングホイールが1回転する間に回転軸9が4回転するため、1区間でSin(サイン)カーブが4箇所生成される。
【0046】
一方、第2の検出信号32と第3の検出信号33の検出により、両者の信号が入力されると交わるU点,V点の電圧値Vwと電圧値Vzを求める。そして、電圧値Vz−Vw間の範囲から外れている一方の信号と、電圧値Vz−Vw間の範囲内にある他方の出力信号を特定する。つまり、第2の検出信号32と第3の検出信号33のうち、一方の信号と、他方の信号は、U点とV点との交点を除く任意の位置において、同時に電圧値Vz−Vw間の範囲から外れたり、あるいは同時に電圧値Vz−Vw間の範囲内に入ることはなく、したがって、前記のように電圧値Vz−Vw間の範囲から外れている一方の信号を特定すれば、他方の信号は電圧値Vz−Vw間の範囲内にあることとなり、該他方の信号をステアリングホイールの微回転角度の検出のための信号として処理する。
【0047】
次に、マイコン25は、電圧値Vz−Vw間の範囲内にある他方の信号が第2の検出信号32か第3の検出信号33かを判断するとともに、電圧値Vz−Vw間の範囲から外れている一方の信号が電圧値Vwより大きいか、もしくは電圧値Vzより小さいか、のいずれであるかを判断することによって、電圧値Vz−Vw間の範囲内にある他方の信号がh1,h2,h3,h4のどの範囲の信号であるかを判断する。このような動作を行なって図6の区間nの範囲において太線で表わした傾斜部32a,33a,32b,33bが得られる。そして、マイコン25は、この第2、第3の検出信号32,33の傾斜部32a,33a,32b,33bを用いてステアリングホイールの微回転角度を検出する。
【0048】
上記のように、第2、第3の検出信号32,33を交互に用いて第1の検出信号31を傾斜部32a,33a,32b,33bで補完するようにして利用すれば、ステアリングホイールのニュートラル位置からの回転角度を広い範囲に渡って精度よく且つリアルタイムにて検出することができる。
【0049】
そして、第1の検出信号31を全領域(この場合−720°〜720°)に渡って補完しようとしたときでも、第2,第3の検出信号32,33は、同一周期であって、第2の検出信号32の位相と第3の検出信号33の位相とは1/4周期ずらして設定されているので、無信号領域が存在することはなく、常にステアリングホイールの角度変化に対する出力電圧の変化が大きく且つ直線的である傾斜部32a,33a,32b,33bを用いて微回転角度を検出でき、したがってステアリングホイールの回転角度を全領域に渡って精度よく且つリアルタイムに検出できる。そして、上記により検出されたステアリングホイールの回転角度及び回転方向は、マイコン25から自動車の制御機構部26に送られ、自動車のサスペンション制御、オートマチックトランスミッション制御等をきめ細かく行なうようになっている。
【0050】
本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、磁石5の形状が、階段状、山型などであってもよい。またホール素子6からリニアな出力が得られるものであれば、ホール素子6側の面だけではなく、それと反対側の面の形状を適宜変更してもよい。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、リニアに磁束密度が変化する形状からなる磁石を用いることにより、回転体を回転させたときに、全回転角度においてリニアな出力を得ることができ、得られた出力値を直接処理することができるため、リアルタイムで処理することができる。
【0052】
また、検出した出力情報を一旦保持しておくためのメモリー等が必要ないため、構造がそれほど複雑にならず、コスト的に安価に製造できる。
【0053】
例えば、自動車のステアリングシャフトに装着することにより、ニュートラル位置からの左右の回転角度を詳細に検出できる。よって、ステアリングホイールの回転角度と、そのときの車速との関係において、サスペンションの強弱やオートマチックトランスミッションの変速比等を制御して自動車の姿勢制御を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気式変位検出装置を角度センサに搭載したときの内部構造を示す平面図、
【図2】本発明の磁気式変位検出装置に用いられる磁石の形状を示す平面図、
【図3】図2に示す磁石の形状の変形例を示す平面図、
【図4】図2に示す磁石から発せられる仮想的な磁力線を示す模式図、
【図5】本発明の磁気式変位検出装置の使用形態を示す模式図、
【図6】第1,第2,第3の検出信号の波形を示す出力特性図、
【図7】磁石の対向面をR形状としたときの、回転体の回転角度に対する磁気検出出力の変化率を示す線図、
【図8】磁石の対向面を台形状としたときの、回転体の回転角度に対する磁気検出出力の変化率を示す線図、
【図9】従来の磁気式変位検出装置を示す平面図、
【符号の説明】
1 角度センサ
2 ケース
3 回転体
3a はす歯歯車
4 検出体
5,15 磁石
6 ホール素子
7 固定部材
8 減速歯車
8a はす歯歯車
9 回転軸
9a スクリュー溝
10 磁気式変位検出装置
15c 傾斜面
Claims (6)
- 直線状に移動する検出体と、前記検出体に対向して設けられる固定部材とを有し、前記検出体と固定部材のいずれか一方には、前記検出体の移動方向にN極とS極とが向けられた磁石が設けられ、他方には磁気検出手段が設けられ、前記磁石から発せられる磁力を磁気検出手段で検出することにより前記検出体の移動を検出する磁気式変位検出装置において、
前記磁石と磁気検出手段との間の距離は、磁石の中心付近が最も近く、磁石の端部で前記中心付近よりも遠くなる形状であることを特徴とする磁気式変位検出装置。 - 前記磁石は、前記磁気検出手段との対向面がR形状である請求項1記載の磁気式変位検出装置。
- 前記磁石または磁気検出手段が移動する方向での磁石の幅をW、前記磁石と磁気検出手段とが対向する方向での磁石の厚さをHとすると、前記磁石の形状比率は、W=10〜20、H=1〜5、R=20〜50の関係である請求項2記載の磁気式変位検出装置。
- 前記磁石は、前記磁気検出手段との対向面が台形である請求項1記載の磁気式変位検出装置。
- 前記磁石または磁気検出手段が移動する方向での磁石の幅をW、前記磁石と磁気検出手段とが対向する方向での磁石の厚さをH、前記台形の両端部のテーパーの前記H方向の切欠き長さをY、前記テーパーの前記W方向の切欠き長さをXとすると、前記磁石の形状比率は、W=10〜20、H=1〜5、X=4.25〜4.75、Y=0.4〜0.6の関係である請求項4記載の磁気式変位検出装置。
- 前記検出体には、回転体が設けられ、この回転体の回転動作により前記検出体が直線動作し、さらに前記磁石と前記磁気検出手段での検出出力よりも高い分解能で前記回転体の回転角度を検出する他の検出手段が設けられている請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気式変位検出装置。
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