JP3330512B2

JP3330512B2 - 弾性表面波素子

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Publication number: JP3330512B2
Application number: JP10046297A
Authority: JP
Inventors: 仁柳原; 芝　　隆司; 克美伊藤; 章綱湯原
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1997-04-17
Filing date: 1997-04-17
Publication date: 2002-09-30
Anticipated expiration: 2017-04-17
Also published as: US6057630A; JPH10294639A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電性基板上に入
出力すだれ状電極が設けられてなる弾性表面波素子に係
り、特に、テレビジョン受像機のバンドパスフィルタな
どとして好適な弾性表面波素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波素子（以下、ＳＡＷ（Surfac
e Acoustic Wave）素子という）は、一般に、テレビジ
ョン受像機用のバンドパスフィルタなどとして用いられ
ている。このＳＡＷ素子は、圧電性基板上にすだれ状に
配置された電極指からなる入力すだれ状電極（以下、入
力ＩＤＴ（Inter Digital Transduser）という）と出力
すだれ状電極（以下、出力ＩＤＴという）とから構成さ
れており、これら入力ＩＤＴと出力ＩＤＴとは圧電性基
板上に所定の距離を隔てて配置され、これらＩＤＴ間を
伝播する弾性表面波を利用して所望の周波数特性を得る
ものである。

【０００３】図８はかかるＳＡＷ素子の一般的な構成を
示す図であって、１は圧電性基板、２は入力ＩＤＴ、３
は出力ＩＤＴ、４はアース電極、５はメインローブ、６
はサイドローブ、７，８はバスバー、９は電極指であ
る。

【０００４】同図において、圧電性基板１上に入力ＩＤ
Ｔ２と出力ＩＤＴ３とが対向して配置されており、この
圧電性基板１の材料としては、リチームナイオベート
（ＬｉＮｂＯ₃）やリチームタンタレート（ＬｉＴａ
Ｏ₃）などが代表的なものである。

【０００５】これら入力ＩＤＴ２と出力ＩＤＴ３とは、
２つのバスバー７，８夫々に電極指９がすだれ状に設け
られ、バスバー７の電極指９とバスバー８の電極指９と
が、ここでは、夫々２本ずつ対となって、交互に交差し
て配置されてスプリット型電極をなしており、これらＩ
ＤＴ２，３のいずれか一方を電極指交差幅が一定の正規
型電極とし、他方を電極指交差幅が順次異なる重み付き
型電極としている。

【０００６】かかる構成のＳＡＷ素子では、入力ＩＤＴ
２に入力された電気信号は弾性表面波に変換されて出力
ＩＤＴ３に伝播し、出力ＩＤＴ３でこの弾性表面波が電
気信号に変換されるが、かかる弾性表面波を利用するＳ
ＡＷフィルタでは、かかる動作によって所望のフィルタ
特性が得られる。

【０００７】一般的に、このようなＳＡＷフィルタで
は、上記のように、ＩＤＴ２，３のいずれか一方を正規
型電極とし、他方を重み付き型電極としているが、ここ
では、入力ＩＤＴ２を交差幅Ｗ１の正規型電極とし、出
力ＩＤＴ３を最大交差幅Ｗ２の重み付き型電極とする。
出力ＩＤＴ３の電極指交差幅Ｗ２は、中央部での最大交
差幅を有するメインローブ５とこの中央部から両側にい
くに従って小さくなる電極指のサイドローブ５から構成
されている。また、入出力ＩＤＴ２，３間には、電気的
な直達波を低減させるためのアース電極４が設けられ
る。

【０００８】ところで、ＳＡＷ素子では、所望とするフ
ィルタ特性が複雑で，広帯域あるいは帯域外抑圧度を大
きくするに従って、入出力ＩＤＴ２，３を構成する電極
指９の個数を増加させることが必須となる。しかし、こ
の電極指の個数を増加されると、ＳＡＷ素子の周波数振
幅特性や郡遅延時間特性などの所望周波数帯域内でリッ
プルが大きくなる傾向がある。かかるリップルなどを抑
圧する例として、特公昭５７−６１２１１号公報や特公
平３−１２４８５号公報などに開示される方法が知られ
ている。

【０００９】ＳＡＷフィルタでの理想的なタイムドメイ
ン特性は、重み付き型電極３の電極指交差幅Ｗ２と相似
した形状をなしている。しかし、実際にＳＡＷ素子のタ
イムドメイン特性を測定すると、図９に示すような応答
波形が得られる。

【００１０】即ち、弾性表面波が出力ＩＤＴ３に到達す
ると、この出力ＩＤＴ３の各電極指９を通過する毎に、
図９に示すように、この通過した電極指での電極指交差
幅Ｗ２に応じた振幅の電気信号が得られる。この場合、
出力ＩＤＴ３の中央部での電極指交差幅Ｗ２が最大で最
外端電極指９ａ，９ｂがある両電極端での電極指交差幅
Ｗ２が最小となるから、弾性表面波が出力ＩＤＴ３を通
過するに従い、得られる電気信号の振幅は最初が小さく
て次第に大きくなり、メインローブＡで最大になった
後、サイドローブ６で次第に小さくなっていくはずであ
るが、実際には、入力ＩＤＴ２側の最外端電極指９ａの
部分を弾性表面波が通過するときに発生する応答波形
は、図９において、本来符号Ｃで示すように、この最外
端電極指９ａでの電極指交差幅Ｗ２に応じて小さい振幅
となるべきところ、符号Ｃ’で示すように、非常に大き
な振幅となっている。同様にして、入力ＩＤＴ２とは反
対側の最外端電極指９ｂの部分を弾性表面波が通過する
ときに発生する応答波形は、図９において、本来符号Ｄ
で示すように、この最外端電極指９ｂでの電極指交差幅
Ｗ２に応じて小さい振幅となるべきところ、符号Ｄ’で
示すように、非常に大きな振幅となっている。

【００１１】また、弾性表面波が出力ＩＤＴ３を通過し
たとみられる時間後も、図９に示すように、符号Ｅで示
すような大きな応答波形が得られることになる。

【００１２】以上のような振幅が大きい不所望な応答波
形Ｃ’，Ｄ’，Ｅが発生することにより、このＳＡＷ素
子の周波数振幅特性や群遅延時間特性の所望周波数帯域
内に大きなリップルが生ずることになる。

【００１３】弾性表面波素子に発生する不要応答波形は
別モードのものであり、これを発生原因をもとに分ける
と、次の３種類に大別することができる。（１）基板端面反射波：入出力ＩＤＴ２，３を通過して
圧電性基板１の端面で反射し、出力ＩＤＴ３に到達する
不要波（２）電極端反射波：出力ＩＤＴ３の入力ＩＤＴ２とは
反対側の電極端で反射し、再び出力ＩＤＴ３を逆方向に
進む弾性表面波によって発生する不要応答波。これが図
９に示す不要応答波形Ｅである。（３）最外端電極指発生波：出力ＩＤＴ３の両電極端で
発生する不要応答波。これが図９に示す不要応答波形
Ｃ’，Ｄ’である。

【００１４】上記（１）の基板端面反射波は、図８にお
いて、入力ＩＤＴ２の最外端電極指９ｄと圧電性基板１
の端部との間、及び出力ＩＤＴ３の最外端電極指９ｂと
圧電性基板１の端部との間に、夫々、弾性表面波吸収材
（アブソーバ）を形成することにより、抑圧することが
できる。

【００１５】また、上記（２）の電極端反射波の抑圧方
法については、上記特公昭５７−６１２１１号公報にそ
の一例が開示されている。これは、入力ＩＤＴを重み付
き型電極とし、出力ＩＤＴを正規型電極として、この重
み付き型電極で発生した弾性表面波がこの重み付き型電
極の正規型電極とは反対側の電極端で反射したことによ
る反射波を抑圧するものであって、弾性表面波の波長を
λとして、λ/４の電極幅のダミー電極を重み付き型電
極のこの電極端の最外端電極指に形成するものである。
この最外端電極指で反射された弾性表面波とこのダミー
電極の外側端部で反射された弾性表面波とは位相差がλ
/２、即ち、１８０°であり、これらが互いに打ち消し
合って抑圧されることになる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来で
は、発生する不要応答波形を一応低減することができる
ものであったが、ＳＡＷ素子の周波数振幅特性や群遅延
時間特性の所望周波数帯域内のリップルを充分に抑圧す
るためには、さらに、上記（３）の最外端電極指発生波
を含めた全ての不要応答波形を抑圧することが必要であ
るが、従来、このようなことは配慮されていなかった。

【００１７】また、上記（２）の電極端反射波として
は、図８において、出力ＩＤＴ３としての重み付き型電
極の最外端電極指９ｂでの反射波ばかりでなく、入力Ｉ
ＤＴ２としての正規型電極での出力ＩＤＴ３とは反対側
の最外端電極指９ｄの反射波も不要応答波形の発生原因
となる。即ち、この反射波は、正規型電極２を通過して
重み付き型電極３に達するものであり、これが電極指交
差幅Ｗ２が最大の中央部で応答波形として現われる。こ
れは、図９に示していないが、見掛け上メインローブ応
答波形に隠れてしまう。このような電極端反射波につい
ても、従来では、配慮されていなかった。

【００１８】以上のことからして、従来のＳＡＷ素子で
は、周波数振幅特性や群遅延時間特性の所望周波数帯域
内のリップルをある程度低減することはできても、いま
だ充分に抑圧することができるまでには至っていない。

【００１９】本発明の目的は、かかる問題を解消し、不
要応答波形を充分に抑圧して、所望周波数帯域内での周
波数振幅特性や群遅延時間特性を改善した高品質なＳＡ
Ｗ素子を提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、入力すだれ状電極と出力すだれ状電極と
の互いに反対側の最外端電極指に、λ/４の電極幅のダ
ミー電極を設ける。

【００２１】いずれのすだれ状電極においても、その上
記最外端電極指部分では、この最外端電極指での反射波
とこのダミー電極の外端での反射波とは位相差がλ/
２、即ち、１８０゜となり、互いに打ち消し合って抑圧
されることになる。従って、入力すだれ状電極と出力す
だれ状電極とで発生する電極端反射波を抑圧できる。

【００２２】本発明は、さらに、出力すだれ状電極の信
号取出しを行なうＨｏｔ電極での両側の最外端電極指に
夫々、長さがこの最外端電極指の長さの１/２倍の長さ
で電極幅がλ/２のダミー電極を設ける。

【００２３】本願の発明者が行なった実験の結果を検討
したところ、上記（３）の最外端電極指発生波につい
て、次のことが判明した。重み付き型電極の最外端電
極指の２〜３対分に弾性表面波吸収材を形成することに
より、この最外端電極指付近から発生する不要応答波形
が抑圧される。重み付き型電極の最外端電極指の場所
を変えても、不要応答波形が発生する場所はこの最外端
電極指付近である。正規型電極に通常のＳＡＷフィル
タで使用するのと同じ信号を加え、重み付き型電極の対
向する電極指双方をＨｏｔ(＋）電極とした場合でも、
この重み付き型電極の最外端電極指付近から不要応答波
形が観測された。極性がHotである最外端電極指付近
から不要応答波形が発生し、アース側の最外端電極指か
らは不要応答波形は発生しない。

【００２４】以上のことは正規型電極についても同様で
あり、従って、すだれ状電極の対向する電極指間の印加
信号に対する正規な応答とは別に、圧電性基板上の電極
とステムなどのアース側電極との間で電荷が発生し、こ
の電荷がすだれ状電極の最外端電極指に集中することに
より、そこから大きな不要応答波形が生ずるものであ
る。

【００２５】かかる不要応答波形を抑圧するためには、
この最外端電極指において、そこで発生する最外端電極
指発生波とは逆位相（即ち、位相差が１８０゜）の最外
端電極指発生波を、さらに、発生させればよく、互いに
逆位相のこれら最外端電極指発生波同士で打ち消し合う
ようにすればよい。

【００２６】そこで、本願の発明者等は、実験の結果、
上記のように、出力ＩＤＴの両側の（Ｈｏｔ側の）最外
端電極指に、その電極指の長さの１/２倍の長さでλ/２
の電極幅のダミー電極を設けることにより、最外端電極
指発生波の良好な抑圧効果を得たものである。ＳＡＷ素
子の周波数振幅特性や群遅延時間特性をより向上させる
には、上記の電極幅がλ／４のダミー電極と上記の電極
幅がλ／２のダミー電極との両方を設けることが好まし
い。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
より説明する。図１は本発明によるＳＡＷ（弾性表面
波）素子の第１の実施形態を示す構成図であって、１０
ａ，１０ｂ，１１，１２はダミー電極、１３は位相補正
用のダミー電極であり、図８に対応する部分には同一符
号をつけて重複する説明を省略する。この実施形態は、
国内用ディジタルＣＡＴＶ（Cable Tevision）用のＳＡ
Ｗフィルタに適用したものとする。

【００２８】図１において、かかるＳＡＷフィルタで
は、圧電性基板１としてＬｉＴａＯ₃を用い、入力ＩＤ
Ｔ２として正規型電極を、出力ＩＤＴ３として重み付き
型電極を用いた。また、これらＩＤＴ２，３間に直達波
を抑圧するためのアース電極４を設けた。このアース電
極４は、電極材料としてアルミニュームを、薄膜形成技
術により、蒸着形成し、フォトリソグラフィ技術により
パターニングして作製した。

【００２９】ＩＤＴ２，３の電極構造は、弾性表面波波
長をλとして、λ/８の間隔のスプリット型電極を採用
し、電極の膜厚は７０００Åとした。また、バスバー７
側をＨｏｔ側とし、バスバー８側をアース側とした。

【００３０】図２は図１のＩＤＴ２，３の要部を拡大し
て示す図であって、９ｂ’は最外端電極指であり、図１
に対応する部分には同一符号をつけている。

【００３１】図２において、重み付き型電極３のＨｏｔ
のバスバー７側での入力ＩＤＴ２とは反対側の最外端電
極指９ｂに、この最外端電極指９ｂの長さＬ₂に等しい
長さ（ここで、各電極指の長さとは、バスバー７，８の
外側の辺からこの電極指の先端までの長さをいう）で、
かつλ/４の電極幅のダミー電極１１が設けられ、この
ダミー電極１１にさらに、最外端電極指９ｂの長さＬ₂
の１/２に等しい長さ（＝Ｌ₂/２）でλ/２の電極幅のダ
ミー電極１０ｂが設けられている。また、この重み付き
型電極３のＨｏｔのバスバー７側での入力ＩＤＴ２側の
最外端電極指９ａに、この最外端電極指９ａの長さＬ₁
の１/２に等しい長さ（＝Ｌ₁/２）で λ/２の電極幅
のダミー電極１０ａが設けられている。

【００３２】一方、入力ＩＤＴ２には、出力ＩＤＴ３と
は反対側の最外端電極指９ｄ（図１）に、この最外端電
極指９ｄの長さの１／２倍の長さで電極幅がλ/４のダ
ミー電極１２が設けられ、また、出力ＩＤＴ３側の最外
端電極指９ｃに位相補正用のダミー電極１３が設けられ
ている。

【００３３】かかる構成において、入力ＩＤＴ２で発生
した弾性表面波が出力ＩＤＴ３に達すると、Ｈｏｔ側の
最外端電極指９ａで図９に示したような最外端電極指発
生波Ｃ'(詳しくは、(Ｃ'−Ｃ）)が発生するが、これと
ともに、この最外端電極指９ａに設けられたダミー電極
１０ａにより、最外端電極指発生波Ｃ'とはλ/２、即
ち、１８０゜の位相差の不要発生波が発生する。この場
合、ダミー電極１０ａの長さは、上記のように、Ｈｏｔ
側の最外端電極指９ａの長さＬの１/２であるから、こ
の最外端電極指９ａのダミー電極１０ａが設けられてい
ない部分で発生する最外端電極指発生波Ｃ'とダミー電
極１０ａで発生する不要発生波とは大きさがほぼ等し
く、これらが互いに打ち消しあって最外端電極指発生波
Ｃ'が抑圧される。従って、この最外端電極指９ａから
は、図９に示すようなその電極指交差幅Ｗ２に応じた大
きさの応答波形Ｃが得られることになる。

【００３４】また、この弾性表面波が他方の電極端に達
すると、そのＨｏｔ側の最外端電極指９ｂにおいて、上
記の最外端電極指９ａの場合と同様、ダミー電極１１の
みが設けられている部分とダミー電極１１，１０ｂが設
けられている部分とで互いにλ/２の位相差の最外端電
極指発生波が発生し、これらが互いに打ち消しあって図
９に示したような最外端電極指発生波（Ｄ'−Ｄ）が抑
圧され、この最外端電極指９ｂでの電極指交差幅Ｗ２に
応じた大きさの応答波形Ｄが得られることになる。

【００３５】さらに、図９に示したように、この最外端
電極指９ｂとこれに対向するアース側の最外端電極指９
ｂ'とで弾性表面波の反射による電極端反射波Ｅが発生
するが、最外端電極指９ｂに電極幅λ/４のダミー電極
１１と電極幅λ/２のダミー電極１０ｂとが設けられて
いることから、最外端電極指９ｂ側から発生する電極端
反射波は、最外端電極指９ｂ'側から発生する電極端反
射波に対し、１８０゜の位相差を持っている（即ち、最
外端電極指９ｂ'側から発生する電極端反射波に対し、
最外端電極指９ｂのダミー電極１１のみが設けられてい
る部分からの電極端反射波はλ／２（＝２×λ／４）の
位相差を有し、最外端電極指９ｂのダミー電極１１，１
０ａが設けられている部分からの電極端反射波は３λ／
２（＝２×３λ／４）の位相差を有する）。このため、
これら最外端電極指９ｂ，９ｂ'から発生する電極端反
射波は互いに打ち消し合い、図９に示したような電極端
反射波Ｅが抑圧される。

【００３６】さらにまた、入力ＩＤＴ２で発生する出力
ＩＤＴ３側とは逆方向に進む弾性表面波は、この入力Ｉ
ＤＴ２の出力ＩＤＴ３とは反対側の電極端で反射され、
この電極端反射波が出力ＩＤＴ３に伝達されることによ
り、上記リップルを生じさせる不所望な応答波形が発生
するが、この実施形態では、図１で説明したように、入
力ＩＤＴ２の出力ＩＤＴ３とは反対側の最外端電極指９
ｄに上記のダミー電極１２が設けられており、これによ
り、この電極端反射波に対してλ/２の位相差の電極端
反射波も発生してこれらが互いに打ち消し合うようにし
ている。従って、かかる入力ＩＤＴ２に発生する電極端
反射波も抑圧することができる。

【００３７】このようにして、この実施形態では、出力
ＩＤＴ３で発生する最外端電極指発生波やＩＤＴ２，３
で発生する電極端反射波を効果的に抑圧することがで
き、これにより、周波数振幅特性や群遅延時間特性での
所望周波数帯域内でリップルが生じないようにすること
ができる。

【００３８】なお、弾性表面波が出力ＩＤＴ３に達する
と、ダミー電極１０ａによって部分的に位相のずれが生
ずる。即ち、この弾性表面波のダミー電極１０ａを通っ
た部分と通らない部分とで若干の位相差が生ずる。位相
補正用のダミー電極１３はこれを防止するためのもので
ある。

【００３９】位相補正用のダミー電極１３の長さは、出
力ＩＤＴ３の開口長をＬ₀とすると、この開口長Ｌ₀から
ダミー電極１０ａの長さを引いた長さ、即ち、Ｌ₀−（Ｌ₁/２）であり、電極幅が出力ＩＤＴ３のダミー電極１０ａに等
しくλ/２である。そして、この位相補正用のダミー電
極１３は、弾性表面波の進行方向にみて、出力ＩＤＴ３
のダミー電極１０ａと対向しないように、位置付けられ
ている。即ち、入力ＩＤＴ２で発生した弾性表面波の一
部がこの位相補正用のダミー電極１３を通り、残りが出
力ＩＤＴ３のダミー電極１０ａを通過する。これによ
り、入力ＩＤＴ２から出力ＩＤＴ３に入力する弾性表面
波は、全体が同相となる。

【００４０】図３はこの実施形態におけるタイムドメイ
ン特性を示す図である。図９と比較して明らかなよう
に、最外端電極指発生波が抑圧されて重み付き型電極の
電極指交差幅Ｗ２のエンベロープに相似な特性が得ら
れ、また、電極端反射波も抑圧されて、周波数振幅特性
の所望周波数帯域内でのリップルが大幅に低減し、郡遅
延時間特性においても、従来の約１００nsecのリップル
を約５０nsecに半減することができた。

【００４１】図４は本発明によるＳＡＷ素子の第２の実
施形態を示す構成図、第５図はその要部を拡大して示す
図であって、図１，図２に対応する部分には同一符号を
付けている。

【００４２】先の第１の実施形態１では、ダミー電極１
０ａ，１０ｂと位相補正用のダミー電極１３とをベタ電
極としたが、この第２の実施形態は、図４及び図５に示
すように、幅λ／８の電極指を同じ幅λ／８の間隔を置
いて並べたスプリット型の電極構造としている。これ以
外の構成は、先の第１の実施形態と同様である。

【００４３】この第２の実施形態においても、最外端電
極指発生波や電極端反射波を充分に抑圧でき、先の第１
の実施形態１と同様の効果が得られた。

【００４４】なお、以上説明した第１，第２の実施形態
においては、電極端反射波の抑圧のためのダミー電極１
１をＨｏｔであるバスバー７側の最外端電極指９ｂに設
けたが、このダミー電極１１は電極指交差幅Ｗ２が最小
の最外端電極指９ｂに設けるものであるから、この最外
端電極指９ｂの長さＬ２はこれに対向するバスバー８側
の最外端電極指９ｂ’の長さとほとんど等しい。従っ
て、このダミー電極１１はこの最外端電極指９ｂ'に設
けるようにしてもよく、上記と同様の効果が得られる。
入力ＩＤＴ２のダミー電極１２についても同様である。

【００４５】図６は本発明によるＳＡＷ素子の第３の実
施形態を示す構成図であって、９ａ’は最外端電極
指、１０ａ',１０ｂ'はダミー電極であり、前出図面に
対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略
する。

【００４６】先の第１，２の実施形態では、出力ＩＤＴ
３からの信号取出し法として、この出力ＩＤＴ３の一方
のバスバー側をＨｏｔとし、他方のバスバー側をアース
とする非平行で行なうものを例としたが、この第３の実
施形態では、信号取出しを出力ＩＤＴ３の両方とも接地
しない平行取出しで行なうものとしている。

【００４７】図６において、バスバー７，８側双方がＨ
ｏｔになるので、バスバー７側の最外端電極指９ａ,９
ｂばかりでなく、バスバー８側の最外端電極指９ａ'，
９ｂ'でも最外端電極指発生波が生ずる。そこで、この
第３の実施形態においては、このバスバー８側の最外端
電極指９ａ'にその長さＬ₃の１/２の長さで電極幅がλ/
２のダミー電極１０ａ'を、最外端電極指９ｂ'にその長
さＬ₄の１／２の長さで電極幅がλ/２のダミー電極１０
ｂ’を夫々設ける。これにより、最外端電極指９ａ'，
９ｂ'で生ずる最外端電極指発生波を抑圧することがで
きる。

【００４８】ここで、出力ＩＤＴ３の入力ＩＤＴ２とは
反対側の最外端電極指で発生する電極端反射波について
みると、いま、最外端電極指９ｂ'で発生する最外端電
極指反射波を位相０の基準波とすると、この最外端電極
指９ｂ'に設けられたダミー電極１０ｂ'で生ずる最外端
電極指反射波は、基準波に対して２×λ/２＝λだけ遅
れて同相となるが、最外端電極指９ｂに設けられたダミ
ー電極１１で生ずる最外端電極指反射波が基準波に対し
て２×λ/４＝λ/２（即ち、１８０゜）だけ位相が遅
れ、最外端電極指９ｂに設けられたダミー電極１１で生
ずる最外端電極指反射波が基準波に対して２×３λ/４
＝３λ/２(即ち、３６０゜＋１８０゜）だけ位相が遅れ
るから、これら４ヵ所からの最外端電極指反射波が互い
に打ち消し合って抑圧されることになる。

【００４９】なお、ここでは、出力ＩＤＴ３の入力ＩＤ
Ｔ２とは反対側の最外端電極指で発生する電極端反射波
を抑圧するためのダミー電極１１を最外端電極指９ｂに
設けているが、この最外端電極指９ｂに対向する最外端
電極指９ｂ’に設けるようにしてもよい。

【００５０】また、入力ＩＤＴ２での出力ＩＤＴ３側の
最外端電極指に設ける位相補正用のダミー電極１３は、
この場合、長さがＬ₀−｛（Ｌ₁＋Ｌ₃）/２｝であって、勿論、弾性表面波の進行方向にみて、出力Ｉ
ＤＴ３のダミー電極１０ａ，１０ａ’に対向しないよう
に配置される。

【００５１】このようにして、この第３の実施形態にお
いても、先の各実施形態と同様の効果が得られる。

【００５２】なお、以上の実施形態においては、ＩＤＴ
２，３を構成する電極指をその幅がλ/８のスプリット
タイプとしたが、本発明はソリッドタイプのものであっ
てもよく、同様にして電極端反射波や最外端電極指発生
波を抑圧することができる。

【００５３】また、ダミー電極１０ａ,１０ｂ,１０ａ',
１０ｂ'の電極幅をλ／２とし、ダミー電極１１，１２
の電極幅をλ/４としたが、夫々をλ/２の奇数倍（＝ｎ
λ＋（λ/２）），λ/４の奇数倍（＝ｎλ＋（λ/
４））としてもよく、同様の効果が得られる。

【００５４】さらに、先の各実施形態において、入力Ｉ
ＤＴ２側に設けていた位相調整用のダミー電極１３を、
入力ＩＤＴ２から離して、入力ＩＤＴ２と出力ＩＤＴ３
との間の適当な位置に配置するようにしてもよいし、さ
らには、図７に示すように、かかるダミー電極１３を設
けないようにしても、電極端反射波や最外端電極指反射
波の抑圧効力を発揮する。

【００５５】さらにまた、図１で示したように、入力Ｉ
ＤＴ２に、その電極端反射波を抑圧するためのダミー電
極１２を設けたが、これを除いてもよく、これによって
フィルタ特性が大きく劣化することがなく、良好なフィ
ルタ特性を得られる。

【００５６】なお、上記実施形態では、重み付き型電極
の最外端電極指の長さが開口長のほぼ１/２となるもの
として説明したが、以下に、最外端電極指の長さが前記
条件からずれた設計となっている場合の本発明の第５，
第６の実施形態について説明する。

【００５７】図１０（ａ）は本発明の第５の実施形態
を、同図（ｂ）は本発明の第６の実施形態を夫々示すも
のであって、前出図面に対応する部分には同一符号を付
けている。これらはいずれも、前出の第３の実施形態と
同様、信号取り出しを接地しない平行取り出しで行なっ
たときの上記出力ＩＤＴ３での入力ＩＤＴ２とは反対側
の最外端電極指部分を拡大して示すものである。

【００５８】第５の実施形態は、図１０（ａ）におい
て、重み付き型電極の夫々の最外端電極指９ｂ，９ｂ’
に、それらの長さＬ₂，Ｌ₄の１/４の整数倍であって、
かつ長さが互いに異なる λ/４の整数倍の幅のダミー電
極を配置したものであり、先の実施形態と同様の効果が
得られる。

【００５９】第６の実施形態は、図１０（ｂ）におい
て、重み付き型電極の夫々の最外端電極指９ｂ，９ｂ’
に、それらの長さＬ₂，Ｌ₄の１/２の長さでλ/４の整数
倍の幅のダミー電極１１を設け、さらに、長さＬ₂，Ｌ₄
の１/４の長さのλ/４の整数倍の幅のダミー電極１０
ｂ，１０ｂ’を、最外端電極指９ｂ，９ｂ’のダミー電
極１１が設けられていない部分とダミー電極１１とに設
けたものであり、先の実施形態と同様の効果が得られ
る。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＩＤＴの端部に生ずる電極端反射波や最外端電極指発生
波を、さらには、基板端面反射波をも同時に抑圧するこ
とができて、周波数振幅特性や群遅延時間特性での所望
周波数帯域内でのリップルが生じないようにすることが
でき、従って、ＩＤＴの電極指の本数を多くすることが
できて、良好な特性のＳＡＷ素子の設計余裕度を増すこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による弾性表面波素子の第１の実施形態
を示す構成図である。

【図２】図１に示した実施形態の要部拡大図である。

【図３】図１に示した実施形態のフィルタ特性を示す図
である。

【図４】本発明による弾性表面波素子の第２の実施形態
を示す構成図である。

【図５】図４に示した実施形態の要部拡大図である。

【図６】本発明による弾性表面波素子の第３の実施形態
の要部拡大図である。

【図７】本発明による弾性表面波素子の第４の実施形態
の要部拡大図である。

【図８】従来の弾性表面波素子の一例を示す構成図であ
る。

【図９】図８に示した弾性表面波素子のフィルタ特性を
示す図である。

【図１０】本発明による弾性表面波素子の第５，第６の
実施形態の要部拡大図である。

【符号の説明】

１圧電性基板２正規型電極３重み付き型電極４アース電極５メインローブ６サブローブ７，８バスバー９ａ，９ｂ，９ａ’，９ｂ’，９ｃ，９ｄ最外端電極
指１０ａ，１０ｂ，１０ａ’，１０ｂ’，１１，１２ダ
ミー電極１３位相補正用のダミー電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者湯原章綱神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所マルチメディアシステム開発本部内審査官山崎慎一 (56)参考文献特開昭58−83418（ＪＰ，Ａ) 特開昭56−122215（ＪＰ，Ａ) 特開昭58−191513（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H03H 9/145 H03H 9/25

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電性基板上に電気信号を弾性表面波に
変換する入力すだれ状電極と該入力すだれ状電極からの
該弾性表面波を電気信号に変換する出力すだれ状電極と
が対向して設けられてなる弾性表面波素子において、該出力すだれ状電極の該入力すだれ状電極とは反対側の
最外端電極指にλ/４の電極幅（但し、λは該弾性表面
波の波長）のダミー電極を設け、かつ、該出力すだれ状電極の信号取出しを行なうＨｏｔ
電極での両最外端電極指に夫々、電極幅がλ/２で長さ
が該最外端電極指の長さの１/２のダミー電極を設けた
ことを特徴とする弾性表面波素子。
【請求項２】請求項１記載の弾性表面波素子におい
て、前記入力すだれ状電極と前記出力すだれ状電極との間の
前記弾性表面波の伝送路中に、長さＬがほぼＬ＝Ｌ ₀ −Ｌ ₁ （但し、Ｌ ₀ は前記出力すだれ状電極の電極長，Ｌ ₁ は電
極幅がλ/２の前記ダミー電極の長さ）で電極幅がλ/２の位相調整用のダミー電極を、前記弾
性表面波の伝達方向にみて、前記出力すだれ状電極に設
けられた電極幅がλ/２の前記ダミー電極に対向しない
ように、設けたことを特徴とする弾性表面波素子。
【請求項３】請求項２記載の弾性表面波素子におい
て、前記位相調整用のダミー電極は、前記入力すだれ状電極
の前記出力すだれ状電極に近い側の最外端電極指に設け
たことを特徴とする弾性表面波素子。
【請求項４】請求項１〜３のいずれか１つに記載の弾
性表面波素子において、電極幅がλ／２のダミー電極が前記入力側すだれ状電極
の両最外端電極指に設けられたことを特徴とする弾性表
面波素子。