JP3224832U - 基板エッチング処理装置における制御ボックスの散熱装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板エッチング処理装置における制御ボックスの散熱装置を提供する。【解決手段】基板エッチング処理装置４０における制御ボックス１０の散熱装置であって、制御ボックス１０と、空調冷却装置２０と、水冷却装置３０とを備え、該制御ボックス１０には、上方通気口及び下方通気口が形成され、該空調冷却装置２０は、中空殻体である機器室２１と、該機器室２１内に設置される熱交換ユニットとを含み、該機器室２１は、それぞれが上方通気口及び下方通気口に対応するように連通する吸気口及び排気口を有し、該熱交換ユニットの両端は、前記水冷却装置に連結される。【選択図】図４

Description

本考案は、基板製造工場に設置される空調設備に関し、特に基板エッチング処理装置における制御ボックスの散熱装置に関するものである。

既存の電気製品内には様々な回路基板が設置されており、それらの回路基板上には、特定用途に用いられ、或は異なる機能を持つ電子部品が連結されている。つまり、この回路基板により、電子部品を支持したり、各電子部品を互いに電子回路で接続することができる。また、回路基板の製造には、プリント工法や、写真工法、エッチング工法、メッキ工法などがあるが、それらの回路基板の製造工程は繁雑であり、例えば、工場内の基板エッチング処理装置によって、回路基板にエッチング液を吹き付けて、所定の電子回路以外の部分を除去する工程においては、様々な化学物質や特殊薬剤を使用するため、大量の廃水、廃液、廃棄物など有機汚染物質が工場内に充満してしまう。

図５に示すように、従来の基板エッチング処理装置には、制御ボックス５０が設置され、該制御ボックス５０上に空調冷却装置６０が配置されており、該制御ボックス５０の内部に設置されている様々な電子部品による制御及び調整により、基板エッチング処理装置７０が、設定された条件下で、回路基板にエッチング処理を施す。また、基板エッチング処理装置７０や制御ボックス５０はいずれも工場内に設置されているが、回路基板にエッチング液を吹き付けてエッチング処理を施す際には、エッチング液が水分子の状態で工場内に充満し、工場内の空気は、前記したような汚染物質或は腐食性を有する水気を含んでいることに加え、温度もエッチング処理加工が行われるにつれて徐々に上がっていくことから、工場全体が高温高湿の状態になるので、制御ボックス５０の内部に設置されている様々な電子部品に、高温による誤作動や不具合が発生し、さらに、工場内の高湿度の空気には、様々な腐食性を有する水分子状態のエッチング液も含まれるため、制御ボックス５０の内部に設置されている様々な電子部品が腐食して故障してしまう虞があった。

制御ボックス５０内の環境温度を制御するために、冷媒を用いる空調冷却装置６０が、従来の制御ボックス５０に設けられるようになったが、該空調冷却装置６０内には、低温ゾーンが形成され、実際に使用する時には、工場内の空気が、該空調冷却装置６０内に吸い込まれて、低温ゾーンを通過し、下方通気口５２から該制御ボックス５０に入り、内部の環境温度や電子部品を冷やして、温熱空気に変わり、その後、上方通気口５１から外部環境の工場へ排気される。しかしながら、従来技術の散熱装置は、工場内の高湿度且つ様々な腐食性を有する水気を含む空気を、制御ボックス５０内に導入することで、制御ボックス５０の内部に設置されている様々な電子部品が腐食して故障を起こす虞があった。

本考案は、上述した従来技術の欠点に鑑みて提案されたものであり、主な技術特徴は、水冷却装置によって生成した冷水を配管に通すことで、エッチング液の温度管理を行うと共に、簡易的な配管構造を利用して、冷水を、制御ボックスの外部に設置されている空調冷却装置の熱交換ユニット内に流し、制御ボックスから排出された温熱空気を、該熱交換ユニットにより熱交換を行って低温空気に変換し、その低温空気を制御ボックス内に流すことで、制御ボックス内の温度管理を行う、基板エッチング処理装置における制御ボックスの散熱装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するために、本考案は、基板エッチング処理装置における制御ボックスの散熱装置であって、制御ボックスと、空調冷却装置と、水冷却装置と、を備え、前記制御ボックスは、中空で開口を有するボックス本体を含み、該開口には、ドアパネルが設置され、該ボックス本体に、該ボックス本体の内部と連通する、上方通気口及び下方通気口が形成され、該上方通気口または下方通気口の少なくとも一方に、ファンが設置され、前記空調冷却装置は、中空殻体である機器室と、熱交換ユニットとを含み、該機器室は、前記制御ボックスのボックス本体に設置されると共に、吸気口と排気口を有し、該吸気口は、前記上方通気口に対応するように連通し、該排気口が前記下方通気口に対応するように連通し、該熱交換ユニットは、該機器室内に設置されると共に、導熱管と並列の複数のフィンとで形成され、該導熱管は、蛇行状に形成されると共に、該複数のフィンを貫通するように連結され、該導熱管の一端は入水口、他端は出水口であり、該入水口及び出水口は、該機器室外に突出するように延伸し、前記水冷却装置は、冷水管と温水管を有し、該冷水管と温水管の一端はそれぞれ、該水冷却装置に連結され、該冷水管の他端は、基板エッチング処理装置内の熱交換管路の一端及び前記熱交換ユニットにおける導熱管の入水口に接続され、該温水管の他端は、基板エッチング処理装置内の熱交換管路の他端及び前記熱交換ユニットにおける導熱管の出水口に接続され、該水冷却装置が生成した冷水は、該冷水管から流出して、前記空調冷却装置の熱交換ユニットと基板エッチング処理装置のエッチング液との間の熱交換によって温水にして、温水管を通して該水冷却装置内に流入させる。

前記機器室内における熱交換ユニットの下方にドレンパンがさらに設けられ、該ドレンパンは、皿状を呈すると共に、底部に排水パイプが連結される。

上記の技術手段によれば、本考案の散熱装置は、空調冷却装置が制御ボックス上に取り付けられ、空調冷却装置内に設置されている熱交換ユニットが、制御ボックスの内部と連通すると共に、水冷却装置における、エッチング液の温度を制御するための冷水管を分岐させて、制御ボックスの外部に設置される空調冷却装置の熱交換ユニットへ接続することで、冷水管内の冷水を熱交換ユニット内に流して熱交換した後、冷水を温水に変換し、更に、その温水を温水管から水冷却装置へ流し、変換された温水を再び冷水に変換して熱交換ユニットに流すことにより、制御ボックス内の温度を低温状態に維持する。このように、本考案では、制御ボックス内の空気のみを利用して循環させることで、工場内の高湿度、且つ様々な腐食性を有する水気を含む空気の制御ボックス内への進入を防止することで、制御ボックスの内部に設置されている様々な電子部品の腐食による損傷を防ぐ。

本考案の外観斜視図である。 本考案の正面図である。 本考案の側面図である。 本考案の使用状態を示す模式図である。 従来技術においての、基板エッチング装置及び制御ボックスが、工場内に設置されている状態を示す模式図である。

図１〜図３に示すように、本考案の基板エッチング処理装置における制御ボックスの散熱装置は、制御ボックス１０、空調冷却装置２０及び水冷却装置３０を備える。

前記制御ボックス１０は、中空で開口を有するボックス本体１１と、上方通気口１２と、下方通気口１３を含み、そのうちボックス本体１１の開口付近に、該開口を閉鎖状態或は開放状態とするドアパネルが設置される。尚、前記制御ボックス１０の内部には、様々な電子部品やパーツを取り付けることができる。また、少なくとも前記上方通気口１２或は下方通気口１３のうちのいずれか一つにファン１４が設置され、このファン１４により、ボックス本体１１内の空気を前記上方通気口１２及び下方通気口１３を通過させてもよい。図面に示す具体的な実施例においては、該ファン１４が該下方通気口１３に設置されている。

前記空調冷却装置２０は、前記制御ボックス１０のボックス本体１１に設置されると共に、機器室２１と、熱交換ユニット２２と、ドレンパン２３とを含み、図面に示す具体的な実施例においては、該空調冷却装置２０が該ボックス本体１１の外壁面に設置され、該機器室２１が中空殻体或は中空カバーであり、該吸気口２１１及び排気口２１２がそれぞれ、前記ボックス本体１１の上方通気口１２及び下方通気口１３と対応する箇所に設置され、該吸気口２１１が該上方通気口１２と連通し、該排気口２１２が該下方通気口１３と連通する。

前記熱交換ユニット２２は、並列の複数のフィンと蛇行状の導熱管とからなり、前記機器室２１内に取り付けられ、該導熱管は、湾曲状態で、該各フィンを貫通して、これらのフィンに熱的に接続され、該導熱管の内部には、熱交換用の流体、例えば、冷水が流通する。尚、前記熱交換ユニット２２の構造は、周知の従来技術であるため、詳細な構成は図示しない。また、前記各フィン及び導熱管は、導熱効果が優れた材料からなり、該導熱管の一端は出水口２２１、他端は入水口２２２であり、それら出水口２２１及び入水口２２２は、該機器室２１の外部に突出するように延伸する。

前記ドレンパン２３は、皿状を呈し、底部に排水パイプ２３１が連結され、前記機器室２１の内部における熱交換ユニット２２の下方に取り付けられて、熱交換ユニット２２で生じた水を受け止めて、排水パイプ２３１へ導く。

図４に示すように、本考案を、基板エッチング処理装置４０を備えた既存の工場に適用する場合、中空構造の基板エッチング処理槽４１を含む基板エッチング処理装置４０を、工場内に複数設置し、該基板エッチング処理槽４１の内部にエッチング液を貯溜すると共に、熱交換管路４２を配置し、これにより、エッチング液が熱交換管路４２の表面と接触して熱交換する。工場外には、冷水管３１と温水管３２を含む、水冷却装置３０がさらに設置され、該水冷却装置３０が生成した冷水を、該冷水管３１から出水し、前記エッチング液と熱交換することによって温水とし、その温水を、温水管３２を通して、該水冷却装置３０へ送水することで、エッチング液の温度管理を行う。尚、前記冷水管３１は、基板エッチング処理装置４０における熱交換管路４２の一端に接続されるのみならず、前記空調冷却装置２０における熱交換ユニット２２の入水口２２２へ分岐して接続され、さらに、該熱交換ユニット２２の出水口２２１が、前記温水管３２と接続される。図４においては、各配管における冷水や温水の流れ方向だけが概略的に示されているが、配管上の、設計された流れ方向に応じて設けられた様々な特定の機能を持つ部品は周知の従来技術であるため、詳細な構成は図示しない。

更に、図２及び図４に示すように、本考案の制御ボックスの散熱装置を、基板エッチング処理装置４０に隣接するように設置することで、工場本来に設置されている水冷却装置３０により、基板エッチング処理槽４１内のエッチング液の温度管理を行いつつ、簡単な配管工事のみで、制御ボックス１０に連結することができることから、制御ボックス１０内の温度管理を、安価で容易に行うことができる。また、冷水管３１を介して熱交換ユニット２２内に流入される冷水により、該熱交換ユニット２２における、導熱管及び各フィンの表面を低温状態とすることで、工場内の制御ボックス１０における、ボックス本体１１の内部に設置されている様々な電子部品を動作時に発熱させることによって生成された高温空気をファン１４によって、上方通気口１２を通して吸気口２１１から空調冷却装置２０内へ誘導し、この高温空気を熱交換ユニット２２と熱交換して低温空気に変換し、この低温空気を、排気口２１２から下方通気口１３を通して、前記ボックス本体１１内に誘導することで、該ボックス本体１１内に設置されている様々な電子部品を、所定の作業温度に維持するので、誤作動や不具合の発生を抑え、正常な動作状態を維持させることができる。

１０、５０ 制御ボックス
１１ ボックス本体
１２、５１ 上方通気口
１３、５２ 下方通気口
１４ ファン
２０、６０ 空調冷却装置
２１ 機器室
２２ 熱交換ユニット
２１１ 吸気口
２１２ 排気口
２２１ 出水口
２２２ 入水口
２３ ドレンパン
２３１ 排水パイプ
３０ 水冷却装置
３１ 冷水管
３２ 温水管
４０、７０ 基板エッチング処理装置
４１ 基板エッチング処理槽
４２ 熱交換管路

Claims (2)

1. 基板エッチング処理装置における制御ボックスの散熱装置であって、制御ボックスと、空調冷却装置と、水冷却装置と、を備え、
   前記制御ボックスは、中空で開口を有するボックス本体を含み、該開口には、ドアパネルが設置され、該ボックス本体に、該ボックス本体の内部と連通する、上方通気口及び下方通気口が形成され、該上方通気口または下方通気口の少なくとも一方に、ファンが設置され、
   前記空調冷却装置は、中空殻体である機器室と、熱交換ユニットとを含み、該機器室は、前記制御ボックスのボックス本体に設置されると共に、吸気口と排気口を有し、該吸気口は、前記上方通気口に対応するように連通し、該排気口が前記下方通気口に対応するように連通し、該熱交換ユニットは、該機器室内に設置されると共に、導熱管と並列の複数のフィンとで形成され、該導熱管は、蛇行状に形成されると共に、該複数のフィンを貫通するように連結され、該導熱管の一端は入水口、他端は出水口であり、該入水口及び出水口は、該機器室外に突出するように延伸し、
   前記水冷却装置は、冷水管と温水管を有し、該冷水管と温水管の一端はそれぞれ、該水冷却装置に連結され、該冷水管の他端は、基板エッチング処理装置内の熱交換管路の一端及び前記熱交換ユニットにおける導熱管の入水口に接続され、該温水管の他端は、基板エッチング処理装置内の熱交換管路の他端及び前記熱交換ユニットにおける導熱管の出水口に接続され、該水冷却装置が生成した冷水は、該冷水管から流出して、前記空調冷却装置の熱交換ユニットと基板エッチング処理装置のエッチング液との間の熱交換によって温水にして、温水管を通して該水冷却装置内に流入させることを特徴とする、基板エッチング処理装置における制御ボックスの散熱装置。
2. 前記機器室内における熱交換ユニットの下方にドレンパンがさらに設けられ、該ドレンパンは、皿状を呈すると共に、底部に排水パイプが連結されることを特徴とする前記請求項１に記載の、基板エッチング処理装置における制御ボックスの散熱装置。

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