JP3044938B2 - 静電容量形変位センサ - Google Patents
静電容量形変位センサInfo
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- JP3044938B2 JP3044938B2 JP4213554A JP21355492A JP3044938B2 JP 3044938 B2 JP3044938 B2 JP 3044938B2 JP 4213554 A JP4213554 A JP 4213554A JP 21355492 A JP21355492 A JP 21355492A JP 3044938 B2 JP3044938 B2 JP 3044938B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection electrode
- schmitt trigger
- output
- trigger inverter
- capacitance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は静電容量を用いて物体ま
での距離を検知する静電容量形の変位センサに関するも
のである。
での距離を検知する静電容量形の変位センサに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】静電容量によって物体の有無を検出する
静電容量形の近接スイッチが用いられている。このよう
な静電容量形近接スイッチでは、発振回路の特定の端子
を電極としており、物体の近接によってその電極の静電
容量が大きくなった場合に発振が開始する。従ってその
出力を包絡線検波して物体の有無を判別するように構成
されている。
静電容量形の近接スイッチが用いられている。このよう
な静電容量形近接スイッチでは、発振回路の特定の端子
を電極としており、物体の近接によってその電極の静電
容量が大きくなった場合に発振が開始する。従ってその
出力を包絡線検波して物体の有無を判別するように構成
されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかるにこのような従
来の静電容量形近接スイッチでは、発振条件が回路定数
のばらつきに大きく依存するため、近接スイッチの固体
差が大きくなる。又温度ドリフトも大きいため安定して
物体を検出することができなかった。又検出物体との距
離を静電容量値として検出するため、電極を被検出物体
に近づける必要がある。しかしながら電極と他の電子回
路部との間を大きくすれば、電極の固定の静電容量値が
大きくなる。従って電極部と電子回路部とを分離する、
いわゆるアンプ分離型のセンサを構成することが難しい
という欠点があった。
来の静電容量形近接スイッチでは、発振条件が回路定数
のばらつきに大きく依存するため、近接スイッチの固体
差が大きくなる。又温度ドリフトも大きいため安定して
物体を検出することができなかった。又検出物体との距
離を静電容量値として検出するため、電極を被検出物体
に近づける必要がある。しかしながら電極と他の電子回
路部との間を大きくすれば、電極の固定の静電容量値が
大きくなる。従って電極部と電子回路部とを分離する、
いわゆるアンプ分離型のセンサを構成することが難しい
という欠点があった。
【0004】本発明はこのような従来の問題点に鑑みて
なされたものであって、検出物体の接近を高精度で測定
できるようにすると共に、センサ部と他の電子回路部と
を分離してセンサ部を小型化できるようにすることを技
術的課題とする。
なされたものであって、検出物体の接近を高精度で測定
できるようにすると共に、センサ部と他の電子回路部と
を分離してセンサ部を小型化できるようにすることを技
術的課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、検知電極と、
検知電極に芯線の一端が接続されたシールド線と、シー
ルド線の芯線の他端に入力端が接続され、その出力端が
シールド線のアースラインに接続されたバッファ回路
と、入力端にバッファ回路の出力端が接続され、その出
力端とバッファ回路の入力端との間に帰還抵抗が接続さ
れ、ヒステリシスを有し、検知電極と検知物体との間の
静電容量及び帰還抵抗に基づく周期によって発振するシ
ュミットトリガインバータと、シュミットトリガインバ
ータの発振周期を検知する周期カウンタと、を具備し、
該周期に基づいて物体までの距離を検知することを特徴
とするものである。
検知電極に芯線の一端が接続されたシールド線と、シー
ルド線の芯線の他端に入力端が接続され、その出力端が
シールド線のアースラインに接続されたバッファ回路
と、入力端にバッファ回路の出力端が接続され、その出
力端とバッファ回路の入力端との間に帰還抵抗が接続さ
れ、ヒステリシスを有し、検知電極と検知物体との間の
静電容量及び帰還抵抗に基づく周期によって発振するシ
ュミットトリガインバータと、シュミットトリガインバ
ータの発振周期を検知する周期カウンタと、を具備し、
該周期に基づいて物体までの距離を検知することを特徴
とするものである。
【0006】
【作用】このような特徴を有する本発明によれば、検知
電極と物体との容量及びシュミットトリガインバータの
帰還抵抗の抵抗値により定まる発振周波数によってシュ
ミットトリガインバータより連続的に発振する発振出力
が得られる。この発振周期を検知することによって物体
までの距離を検出するようにしている。検知電極とシュ
ミットトリガインバータの入力端との間をシールド線及
びバッファ回路により接続し、バッファ回路の出力をシ
ールド線のアースラインに接続している。そのため検知
電極とシュミットトリガインバータの入力端と検知電極
の電位差がなくなる。このためセンサ回路と電子回路部
との距離を大きくすることができ、センサ部の分離型の
センサを実現できることとなる。
電極と物体との容量及びシュミットトリガインバータの
帰還抵抗の抵抗値により定まる発振周波数によってシュ
ミットトリガインバータより連続的に発振する発振出力
が得られる。この発振周期を検知することによって物体
までの距離を検出するようにしている。検知電極とシュ
ミットトリガインバータの入力端との間をシールド線及
びバッファ回路により接続し、バッファ回路の出力をシ
ールド線のアースラインに接続している。そのため検知
電極とシュミットトリガインバータの入力端と検知電極
の電位差がなくなる。このためセンサ回路と電子回路部
との距離を大きくすることができ、センサ部の分離型の
センサを実現できることとなる。
【0007】
【実施例】図1は本発明の一実施例による静電容量形近
接センサの全体構成を示すブロック図である。本図にお
いて検知電極1は一定の面積を有する電極であって、近
接スイッチの前面に固定される。そしてこの検知電極1
にはヒステリシスを有するシュミットトリガインバータ
2が接続される。シュミットトリガインバータ2には図
示のように帰還抵抗Rが入出力端間に接続されている。
この検知電極1と接地端間に物体が存在すればその間で
静電容量が生じる。この静電容量Cdは次式で示され
る。 Cd=εS/d ここでSは検知電極1の面積,dは物体までの距離,ε
は空気中の誘電率である。
接センサの全体構成を示すブロック図である。本図にお
いて検知電極1は一定の面積を有する電極であって、近
接スイッチの前面に固定される。そしてこの検知電極1
にはヒステリシスを有するシュミットトリガインバータ
2が接続される。シュミットトリガインバータ2には図
示のように帰還抵抗Rが入出力端間に接続されている。
この検知電極1と接地端間に物体が存在すればその間で
静電容量が生じる。この静電容量Cdは次式で示され
る。 Cd=εS/d ここでSは検知電極1の面積,dは物体までの距離,ε
は空気中の誘電率である。
【0008】シュミットトリガインバータ2はこの静電
容量Cdと帰還抵抗Rを時定数として発振するものであ
って、その出力は周期カウンタ3に与えられる。周期カ
ウンタ3はこのシュミットトリガインバータによる発振
回路の発振周期を測定するものであって、その出力はリ
ニアライザ4に与えられる。リニアライザ4は周期の変
化を物体までの距離に対する変化として直線化するもの
である。リニアライザ4の出力は表示回路5によって表
示され、又比較回路6より所定の閾値で比較されて、物
体の有無の判別信号として出力回路7より出力される。
容量Cdと帰還抵抗Rを時定数として発振するものであ
って、その出力は周期カウンタ3に与えられる。周期カ
ウンタ3はこのシュミットトリガインバータによる発振
回路の発振周期を測定するものであって、その出力はリ
ニアライザ4に与えられる。リニアライザ4は周期の変
化を物体までの距離に対する変化として直線化するもの
である。リニアライザ4の出力は表示回路5によって表
示され、又比較回路6より所定の閾値で比較されて、物
体の有無の判別信号として出力回路7より出力される。
【0009】次に本実施例の動作を説明する。まず電源
を投入すると、シュミットトリガインバータ2の電源電
圧は図2(a)に示すようにすぐに立上る。シュミット
トリガインバータ2は一定のヒステリシスを有するた
め、その入力レベルは最初は0レベルであり、帰還抵抗
Rを介して徐々にコンデンサCdが充電される。従って
電極1の電位は図2(b)に示すように徐々に上昇す
る。そしてシュミットトリガインバータ2の閾値を越え
れば出力は反転する。図2(c)はシュミットトリガイ
ンバータ2の出力を示している。反転後は抵抗Rを介し
てコンデンサCdの容量が放電することとなる。
を投入すると、シュミットトリガインバータ2の電源電
圧は図2(a)に示すようにすぐに立上る。シュミット
トリガインバータ2は一定のヒステリシスを有するた
め、その入力レベルは最初は0レベルであり、帰還抵抗
Rを介して徐々にコンデンサCdが充電される。従って
電極1の電位は図2(b)に示すように徐々に上昇す
る。そしてシュミットトリガインバータ2の閾値を越え
れば出力は反転する。図2(c)はシュミットトリガイ
ンバータ2の出力を示している。反転後は抵抗Rを介し
てコンデンサCdの容量が放電することとなる。
【0010】以後は図2(b),(c)に示すように一
定の周期で充放電を繰り返し、この周波数で発振する。
ここで物体が接近していなければCdは小さい値である
ため、高い周波数で発振する。そして物体が接近すれば
その物体までの距離をdとすると、発振周期は検知電極
1と物体までの距離dにほぼ比例している。従ってその
周期を周期カウンタ3によって計数し、リニアライザ4
を介して直線化することによって物体までの距離を表示
することができる。この場合には物体の面積が固定され
ている必要があるため、同一の物体までの距離を測定す
るものとする。又リニアライザ4はこの物体を規定の位
置に設定したときの出力によってあらかじめ校正してお
くものとする。こうすれば物体までの距離を正確に表示
することができる。又その物体までの距離に基づいたス
イッチング信号を出力することも可能となる。
定の周期で充放電を繰り返し、この周波数で発振する。
ここで物体が接近していなければCdは小さい値である
ため、高い周波数で発振する。そして物体が接近すれば
その物体までの距離をdとすると、発振周期は検知電極
1と物体までの距離dにほぼ比例している。従ってその
周期を周期カウンタ3によって計数し、リニアライザ4
を介して直線化することによって物体までの距離を表示
することができる。この場合には物体の面積が固定され
ている必要があるため、同一の物体までの距離を測定す
るものとする。又リニアライザ4はこの物体を規定の位
置に設定したときの出力によってあらかじめ校正してお
くものとする。こうすれば物体までの距離を正確に表示
することができる。又その物体までの距離に基づいたス
イッチング信号を出力することも可能となる。
【0011】次に本発明の第2実施例について図3を用
いて説明する。本実施例では検知電極1とシュミットト
リガインバータ2の入力端の間をシールド線で連結する
ことによって検知電極を有するセンサ部と電子回路部と
を分離できるようにしている。即ちシールド線11の芯
線の一端に検知電極1を接続し、他端にバッファ回路1
2の入力端を接続する。又バッファ回路12の出力端を
前述したシュミットトリガインバータ2に接続する。又
出力端をシールド線11のアースラインに接続する。又
帰還抵抗Rはシュミットトリガインバータ2の出力とバ
ッファ回路12の入力端に接続しておく。その他の構成
は第1実施例と同様である。ここで検知電極1とシール
ド線のアースライン間との電極の静電容量をCoとす
る。
いて説明する。本実施例では検知電極1とシュミットト
リガインバータ2の入力端の間をシールド線で連結する
ことによって検知電極を有するセンサ部と電子回路部と
を分離できるようにしている。即ちシールド線11の芯
線の一端に検知電極1を接続し、他端にバッファ回路1
2の入力端を接続する。又バッファ回路12の出力端を
前述したシュミットトリガインバータ2に接続する。又
出力端をシールド線11のアースラインに接続する。又
帰還抵抗Rはシュミットトリガインバータ2の出力とバ
ッファ回路12の入力端に接続しておく。その他の構成
は第1実施例と同様である。ここで検知電極1とシール
ド線のアースライン間との電極の静電容量をCoとす
る。
【0012】このように構成すればシールド線11の芯
線と検知電極1との接続点dと、シールド線のアース線
とバッファ回路12の入力端との接続点eとは常に同位
相,同電圧となる。そのため検知電極1に対して静電容
量Coの影響はなくなる。このためシールド線11によ
って検知電極を有するセンサ部と電子回路部とを分離す
ることができる。
線と検知電極1との接続点dと、シールド線のアース線
とバッファ回路12の入力端との接続点eとは常に同位
相,同電圧となる。そのため検知電極1に対して静電容
量Coの影響はなくなる。このためシールド線11によ
って検知電極を有するセンサ部と電子回路部とを分離す
ることができる。
【0013】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、シュミットトリガインバータを用いて常時発振さ
せ、その発振周期を検知するようにしているため、物体
までの距離を正確に検知することができる。又シールド
線を用いて電子回路部とセンサ部を分離することができ
るため、センサ部を小型化することができるという効果
が得られる。
ば、シュミットトリガインバータを用いて常時発振さ
せ、その発振周期を検知するようにしているため、物体
までの距離を正確に検知することができる。又シールド
線を用いて電子回路部とセンサ部を分離することができ
るため、センサ部を小型化することができるという効果
が得られる。
【図1】本発明の第1実施例による静電容量形センサの
全体構成を示すブロック図である。
全体構成を示すブロック図である。
【図2】本実施例の動作を示すタイムチャートである。
【図3】本発明の第2実施例による静電容量形変位セン
サの構成を示すブロック図である。
サの構成を示すブロック図である。
1 検知電極 2 シュミットトリガインバータ 3 周期カウンタ 4 リニアライザ 5 表示回路 6 比較回路 7 出力回路 11 シールド線 12 バッファ回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 7/00 - 7/34
Claims (1)
- 【請求項1】 検知電極と、 前記検知電極に芯線の一端が接続されたシールド線と、 前記シールド線の芯線の他端に入力端が接続され、その
出力端が前記シールド線のアースラインに接続されたバ
ッファ回路と、 入力端に前記バッファ回路の出力端が接続され、その出
力端と前記バッファ回路の入力端との間に帰還抵抗が接
続され、ヒステリシスを有し、前記検知電極と検知物体
との間の静電容量及び前記帰還抵抗に基づく周期によっ
て発振するシュミットトリガインバータと、 前記シュミットトリガインバータの発振周期を検知する
周期カウンタと、 を具備し、該周期に基づいて物体までの距離を検知する
ことを特徴とする静電容量形変位センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4213554A JP3044938B2 (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 静電容量形変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4213554A JP3044938B2 (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 静電容量形変位センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0634307A JPH0634307A (ja) | 1994-02-08 |
JP3044938B2 true JP3044938B2 (ja) | 2000-05-22 |
Family
ID=16641131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4213554A Expired - Lifetime JP3044938B2 (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 静電容量形変位センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3044938B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3241671B2 (ja) | 1998-11-30 | 2001-12-25 | 日本電気株式会社 | 高周波誘電体濾波器 |
JP4524011B2 (ja) * | 1999-09-24 | 2010-08-11 | 株式会社フォトニクス | 距離測定装置 |
US6872298B2 (en) * | 2001-11-20 | 2005-03-29 | Lifescan, Inc. | Determination of sample volume adequacy in biosensor devices |
WO2005108912A1 (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | National University Corporation Kanazawa University | 可視化センサ |
JP4736693B2 (ja) * | 2005-10-12 | 2011-07-27 | 株式会社Ihi | 膜厚計測装置及び方法 |
US8093913B2 (en) | 2008-04-24 | 2012-01-10 | Ihi Corporation | Film thickness measurement device and method |
JP5286566B2 (ja) * | 2008-11-20 | 2013-09-11 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 静電容量型距離センサ及び静電容量センサを備えた車高測定装置 |
JP5048799B2 (ja) * | 2010-03-17 | 2012-10-17 | アスモ株式会社 | 異物検出センサ |
US9647308B2 (en) | 2012-08-13 | 2017-05-09 | Nokia Solutions And Networks Oy | Dielectric filter having dielectric resonators disposed within a casing and secured by an intermediate member |
-
1992
- 1992-07-17 JP JP4213554A patent/JP3044938B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0634307A (ja) | 1994-02-08 |
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