JP2934736B2 - テレビ受像機 - Google Patents
テレビ受像機Info
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Description
星テレビ局またはケーブルテレビ局または個別に設けら
れたテレビ映像の録画装置(ビデオデッキ、レーザーデ
ィスク、光磁気ディスク等)より送られる映像信号を具
体的に表示する装置を提案する。
たはケーブルテレビ局または個別に設けられたテレビ映
像の録画装置(ビデオデッキ、レーザーディスク、光磁
気ディスク等)より送られる映像信号を具体的に表示す
る装置としては、ブラウン管、CRTと呼ばれる真空管
中で電子線を飛ばして、対象物となる蛍光面を発光させ
る方式が取られていた。
く普及していたが、近年世の中の要求によって、20イ
ンチはおろか30インチをゆうに超える大きさのものま
で出現するに至っている。
30インチほどあり、またそれを形成するガラスの厚み
も強度を保つために1センチを超えるようになった。ま
た、他の装置として、輝度の高いブラウン管を光学系で
拡大表示してスクリーンに映し出す方式も提案され、表
示面積の大きな物に利用されている。その構成の概略を
図2に示す。
テレビ受像機の場合、表示面が30インチを越えると全
体の重量は100kgを優に越えることになった。一般
の家庭において100kgを越えた重量物を置くには、
よっぽど場所を限定しなければ難しいものがある。ま
た、その重量はレイアウト変更等が生じた場合に、人力
で移動させることは難しくなり、一般家庭への普及の障
害となっていた。
ョン型のテレビ受像機が提案されているが、元になる高
輝度ブラウン管の輝度向上にも限界があり、拡大画面に
おける輝度自体は非常に低いものとなっていた。そのた
め、画面が暗いばかりではなく、光学系で拡大している
ために、正面でのコントラスト比は高いものの、斜め方
向からのコントラスト比はブラウン管方式に比べて非常
に劣っていた。しかしながら、本方式は重量の点におい
ては、ブラウン管方式の50%程度ですむため、問題解
決の一つとなった。図2のプロジェクションテレビ20
1は、ブラウン管または液晶表示装置204、チューナ
ー205、光学系203、反射板202、画面206よ
りなる。本発明は、図2の符号204で示される部分の
液晶表示装置に関するものである。
スシリコンを使った薄膜トランジスタ方式の液晶パネル
をその元となる表示体として使用した実施例がよく提案
されている。重量はブラウン管方式に比べて、30%程
度ですむために一般家庭への普及を助ける要因の一つと
なった。しかし、ブラウン管方式に比べて、表示輝度が
まだまだ低く、光源の強度を上げる方向で検討が進めら
れているが、光源強度をあげた場合、液晶パネルの温度
上昇と光照射に伴う薄膜トランジスタのOFF時におけ
る抵抗値の低下で、満足する表示ができないのが現実で
ある。
提案された強誘電性液晶を用いたディスプレイがある。
図3にその概念図を示す。強誘電性液晶は自発分極を有
するために、螺旋がほどけるまで液晶層の厚みを薄くし
た場合、界面安定状態(SSFLC)が出来、一度電界
を加えたあとは、その電界を取り去っても透過または非
透過の状態が継続するメモリー効果を得ることが出来
た。このメモリー状態を利用することによって、TFT
のアクティブマトリックスLCDと同じような、スタテ
ィック的な駆動が可能になっている。
非透過の2個の安定状態しかとらないために、情報の多
様化にともなう階調表示を苦手としていた。特にこれら
の液晶電気光学装置を映像目的に使用する場合、階調表
示は不可欠なものである。これを解決する方法として、
単位画素を面積的に多分割して複数のドットで構成する
ことにより、階調を表示することがなされている。例え
ば、単位画素を面積比で1:2:4に分割し、それらの
ON/OFFの組み合わせで8階調を得る等が考案され
ている。図4a、b に2階調表示の時の電極構造と、
8階調表示の時の電極構造を示す。
のデーター信号を加えなければならないため、外部回路
が非常に複雑になってきてしまい、コストの上昇および
外部回路接続時の歩留りの低下が生じてしまった。また
さらに、分割のために電極間の絶縁区間をとるため、開
口率の低下が起きてしまっている。例えば、250μm
ピッチ、25μmギャップの単位画素を考えた場合、分
割をしない場合の開口率は81%であるのに対して、同
一ギャップで分割した場合、63%まで低下してしまう
ことが判る。またさらに、分割のために一番細い電極
(103)の幅は、前記ピッチ、ギャップの場合、25
μmとなってしまう。液晶表示装置として1000×1
000画素のものをITOのシート抵抗が5Ω以下のも
のを使い作製した場合でも、データー方向の電極は端か
ら端まで約50kΩの抵抗を有することになる。これで
は、電極の両端における液晶にかかる電界強度が異な
り、均一な表示が出来なくなってしまうことになり、現
実性に欠けていた。そこで、より現実的に階調が制御で
きる手段が求められていた。
マトリックス液晶装置に階調表示をさせるのではなく照
明のための光源強度を時間的に変化させることで階調表
示を可能にしたものである。照明のための光源強度を時
間的に変化させる手段として本発明においては、第2の
液晶装置の透過率をコントロールするものである。本発
明においては上記の階調表示を可能とするための構成と
して、基板上に電極およびリードを有する第一の基板
と、基板上に電極およびリードを有する第二の基板とに
よって、強誘電性を示す液晶組成物と前記液晶組成物を
少なくとも初期において配向する手段とを挟持する第一
の装置と、基板上に電極およびリードを有する第一の基
板と、基板上に電極およびリードを有する第二の基板と
によって、強誘電性を示す液晶組成物と前記液晶組成物
を少なくとも初期において配向する手段とを挟持する第
二の装置を、光源と映像を出力するスクリーン間の光路
上に設けた構成をゆうする。この液晶を用いた第1、第
2の装置は、例えば、基板上にマトリックス構成を有す
る液晶装置であって、それぞれの画素にPチャネル型薄
膜トランジスタとNチャネル型薄膜トランジスタとを相
補型の構成をせしめて設け、該相補型トランジスタの出
力を前記画素に連結せしめた構成を有するものである。
また、前記第二の液晶表示装置は、光の透過率が概略2
0対21対22対、・・、対2n(nは任意の数)に時
間を追って変化する事を特徴とする。本発明の一例とし
て図1にプロジェクション型テレビ受像機を示す。図1
において80が前記第1の装置であり、81が前記第2
の装置である。また82は光源ランプ、86はチューナ
ー及びコントロール部分、85は投影用光学系、84は
反射板、83はスクリーンである。本発明においては、
80、81の装置として液晶表示装置をもちいている
が、他の透過性を有する表示装置を用いることもでき
る。また、この例のようにリヤプロジェクター型に限ら
ず、あらゆる形式の投影型のプロジェクターに応用でき
ることはいまでもない。
基板と、基板上に電極およびリードを有する第二の基板
とによって、強誘電性を示す液晶組成物と前記液晶組成
物を少なくとも初期において配向する手段とを挟持する
第一の装置に対し、階調表示を行なうために、3枚の画
面を一組として行なうものとする。本項では説明を簡易
にするため、3ビットからなる光強度を用いて説明を加
える
示が可能になる。第一の装置として図5に示す様に画素
数が2×2のマトリクスを有するものとする。
G0、G1、G2、、、G7としたとき、A1画素(1
06)のレベルをG0、A2画素(107)のレベルを
G3、B1画素(108)のレベルをG5、B2画素
(109)のレベルをG7と表示させる場合、1枚目の
画面では、第二の装置の透過率変化によって、光強度を
1とし、第一の装置上の画素をそれぞれ、A1画素はO
FF(光の未透過)、A2画素はON(光の透過)、B
1画素はON(光の透過)、B2画素もON(光の透
過)の状態とする。
化によって、光強度を2とし、第一の装置上の画素をそ
れぞれ、A1画素はOFF(光の未透過)、A2画素は
ON(光の透過)、B1画素はOFF(光の未透過)、
B2画素はON(光の透過)の状態とする。
化によって、光強度を4とし、第一の装置上の画素をそ
れぞれ、A1画素はOFF(光の未透過)、A2画素は
OFF(光の未透過)、B1画素はON(光の透過)、
B2画素はON(光の透過)の状態とする。
ON/OFF)第一の装置の操作の仕方を示されてい
る。
の画素を透過、未透過すなわちON、OFFとすること
によって、表1に示してあるように対応画素の階調レベ
ル変化させることができる。このように第一の装置と第
二の装置を操作することによって、3画面1組で8階調
の表示まで行なうことが出来る。また、本説明では、3
ビット(n=3)による説明にて代用したが、請求項で
しめしたnは任意の数であり、他の値でもよいことは言
うまでもない。
て、薄膜トランジスタを用いた、アクティブマトリクス
液晶装置を用いた。先ず、このアクティブマトリクス型
液晶装置の製造手順から説明を加える。本実施例では図
6に示すような回路構成すなわちインバータ型の回路構
成を用いた液晶表示装置を用い、強誘電液晶(FLC)
を用いた液晶表示装置の説明を行う。この回路構成に対
応する実際の電極等の配置構成を図7に示している。こ
れらは説明を簡単にする為2×2に相当する部分のみ記
載されている。また、実際の駆動信号波形を図8に示
す。これも説明を簡単にする為に4×4のマトリクス構
成とした場合の信号波形で説明を行う。
置の作製方法を図9および図10を使用して説明する。
図9(A)において、石英ガラス等の高価でない700
℃以下、例えば約600℃の熱処理に耐え得るガラス5
0上にマグネトロンRF(高周波)スパッタ法を用いて
ブロッキング層51としての酸化珪素膜を1000〜3
000Åの厚さに作製する。プロセス条件は酸素100
%雰囲気、成膜温度15℃、出力400〜800W、圧
力0.5Paとした。ターゲットに石英または単結晶シ
リコンを用いた成膜速度は30〜100Å/分であっ
た。
相)法、スパッタ法またはプラズマCVD法により形成
した。減圧気相法で形成する場合、結晶化温度よりも1
00〜200℃低い450〜550℃、例えば530℃
でジシラン(Si2H6)またはトリシラン(Si3H
8)をCVD装置に供給して成膜した。反応炉内圧力は
30〜300Paとした。成膜速度は50〜250Å/
分であった。NTFTとPTFTとのスレッシュホール
ド電圧(Vth)に概略同一に制御するため、ホウ素を
ジボランを用いて1×1015〜1×1018cm−3
の濃度として成膜中に添加してもよい。
を1×10−5Pa以下とし、単結晶シリコンをターゲ
ットとして、アルゴンに水素を20〜80%混入した雰
囲気で行った。例えばアルゴン20%、水素80%とし
た。成膜温度は150℃、周波数は13.56MHz、
スパッタ出力は400〜800W、圧力は0.5Paで
あった。
場合、温度は例えば300℃とし、モノシラン(SiH
4)またはジシラン(Si2H6)を用いた。これらを
PCVD装置内に導入し、13.56MHzの高周波電
力を加えて成膜した。
酸素が5×1021cm−3以下であることが好まし
い。この酸素濃度が高いと、結晶化させにくく、熱アニ
ール温度を高くまたは熱アニール時間を長くしなければ
ならない。また少なすぎると、バックライトによりオフ
状態のリーク電流が増加してしまう。そのため4×10
19〜4×1021cm−3の範囲とした。水素は4×
1020cm−3であり、珪素4×1022cm−3と
して比較すると1原子%であった。また、ソース、ドレ
インに対してより結晶化を助長させるため、酸素濃度を
7×1019cm−3以下、好ましくは1×1019c
m−3以下とし、ピクセル構成するTFTのチャネル形
成領域のみに酸素をイオン注入法により5×1020〜
5×1021cm−3となるように添加してもよい。そ
の時周辺回路を構成するTFTには光照射がなされない
ため、この酸素の混入をより少なくし、より大きいキャ
リア移動度を有せしめることは、高周波動作をさせるた
める有効である。
〜5000Å、例えば1500Åの厚さに作製の後、4
50〜700℃の温度にて12〜70時間非酸化物雰囲
気にて中温の加熱処理、例えば水素雰囲気下にて600
℃の温度で保持した。珪素膜の下の基板表面にアモルフ
ァス構造の酸化珪素膜が形成されているため、この熱処
理で特定の核が存在せず、全体が均一に加熱アニールさ
れる。即ち、成膜時はアモルファス構造を有し、また水
素は単に混入しているのみである。
造から秩序性の高い状態に移り、一部は結晶状態を呈す
る。特にシリコンの成膜後の状態で比較的秩序性の高い
領域は特に結晶化をして結晶状態となろうとする。しか
しこれらの領域間に存在する珪素により互いの結合がな
されるため、珪素同志は互いにひっばりあう。レーザラ
マン分光により測定すると単結晶の珪素のピーク522
cm−1より低周波側にシフトしたピークが観察され
る。それの見掛け上の粒径は半値巾から計算すると、5
0〜500Åとマイクロクリスタルのようになっている
が、実際はこの結晶性の高い領域は多数あってクラスタ
構造を有し、各クラスタ間は互いに珪素同志で結合(ア
ンカリング)がされたセミアモルファス構造の被膜を形
成させることができた。
ンダリ(以下GBという)がないといってもよい状態を
呈する。キャリアは各クラスタ間をアンカリングされた
個所を通じ互いに容易に移動し得るため、いわゆるGB
の明確に存在する多結晶珪素よりも高いキャリア移動度
となる。即ちホール移動度(μh)=10〜200cm
2/VSec、電子移動度(μe)=15〜300cm
2/VSecが得られる。
く、900〜1200℃の高温アニールにより被膜を多
結晶化すると、核からの固相成長により被膜中の不純物
の偏析がおきて、GBには酸素、炭素、窒素等の不純物
が多くなり、結晶中の移動度は大きいが、GBでのバリ
ア(障壁)を作ってそこでのキャリアの移動を阻害して
しまう。結果として10cm2/Vsec以上の移動度
がなかなか得られないのが実情である。即ち、本実施例
ではかくの如き理由により、セミアモルファスまたはセ
ミクリスタル構造を有するシリコン半導体を用いてい
る。
てパターニングし図9(A)を得た。このパターニング
したシリコン膜52上に酸化珪素膜54をゲイト絶縁膜
として500〜2000Å例えば1000Åの厚さに形
成した。これはブロッキング層としての酸化珪素膜の作
製と同一条件とした。この成膜中に弗素を少量添加し、
ナトリウムイオンの固定化をさせてもよい。
21cm−3の濃度に入ったシリコン膜またはこのシリ
コン膜とその上にモリブデン(Mo)、タングステン
(W),MoSi2またはWSi2との多層膜を形成し
た。これを第2のフォトマスクにてパターニングして
図9(B)を得た。PTFT用のゲイト電極9、NTF
T用のゲイト電極19を形成した。例えばチャネル長1
0μm、ゲイト電極としてリンドープ珪素を0.2μ
m、その上にモリブデンを0.3μmの厚さに形成し
た。図9(C)において、フォトレジスト57をフォト
マスクを用いて形成し、PTFT用のソース10、ド
レイン12に対し、ホウ素を1〜5×1015cm−2
のドーズ量でイオン注入法により添加した。次に図9
(D)の如く、NTFTをフォトマスクを用いて形成
した。NTFT用のソース20、ドレイン18としてリ
ンを1〜5×1015cm−2のドーズ量でイオン注入
法により添加した。
た。しかし図9(B)において、ゲイト電極9、19を
マスクとしてシリコン膜上の酸化珪素を除去し、その
後、ホウ素、リンを直接珪素膜中にイオン注入してもよ
い。
熱アニールを行った。PTFTのソース10、ドレイン
12、NTFTのソース20、ドレイン18を不純物を
活性化してP+、N+として作製した。またゲイト電極
9、19下にはチャネル形成領域11、21がセミアモ
ルファス半導体として形成されている。
がらも、700℃以上にすべての工程で温度を加えるこ
とがなくC/TFTを作ることができる。そのため、基
板材料として、石英等の高価な基板を用いなくてもよ
く、本発明の大画素の液晶表示装置にきわめて適したプ
ロセスである。
(D)で2回行った。しかし図9(A)のアニールは求
める特性により省略し、双方を図9(D)のアニールに
より兼ね製造時間の短縮を図ってもよい。図10(A)
において、層間絶縁物65を前記したスパッタ法により
酸化珪素膜の形成として行った。この酸化珪素膜の形成
はLPCVD法、光CVD法、常圧CVD法を用いても
よい。例えば0.2〜0.6μmの厚さに形成し、その
後、フォトマスクを用いて電極用の窓66を形成し
た。さらに、これら全体にアルミニウムをスパッタ法に
より形成し、リード71、72およびコンタクト67、
68をフォトマスクを用いて作製した後、表面を平坦
化用有機樹脂69例えば透光性ポリイミド樹脂を塗布形
成し、再度の電極穴あけをフォトマスクにて行った。
補型構成とし、かつその出力端を液晶装置の一方の画素
の電極を透明電極としてそれに連結するため、スパッタ
法によりITO(インジューム・スズ酸化膜)を形成し
た。それをフォトマスクによりエッチングし、画素電
極17を構成させた。このITOは室温〜150℃で成
膜し、200〜400℃の酸素または大気中のアニール
により成就した。
TFT22と画素電極である透明導電膜の電極17とを
同一ガラス基板50上に作製した。得られたTFTの特
性はPTFTで移動度は20(cm2/Vs)、Vth
は−5.9(V)で、NTFTで移動度は40(cm2
/Vs)、Vthは5.0(V)であった。
ンバータ型であっても全く同じであることは、いうまで
もない。上記の様な方法に従って作製し第一の基板を得
た。
透明電極上にオフセット法によってNMP(Nメチル2
ピロリドン)で希釈したポリイミド溶液を印刷し、その
後50℃で仮焼成、280℃窒素中で1時間焼成をした
後、ラビングを行い、液晶組成物の初期配向の手段と
し、第二の基板とした。
電性を示す液晶組成物と、酸化珪素よりなる2.5μm
径を有する粒子を1mm2あたり200個の割合で分散
させて挟持させ、周囲をエポキシ樹脂で固定して第一の
装置を作製した。
る第一の基板と、基板のほぼ全面に透明電極を設け、該
透明電極上にオフセット法によってNMP(Nメチル2
ピロリドン)で希釈したポリイミド溶液を印刷し、その
後50℃で仮焼成、280℃窒素中で1時間焼成をした
後、ラビングを行い、液晶組成物の初期配向の手段とし
た第二の基板とによって、強誘電性を示す液晶組成物
と、酸化珪素よりなる2.5μm径を有する粒子を1m
m2あたり200個の割合で分散させて挟持させ、周囲
をエポキシ樹脂で固定して第二の装置を作製した。
び第二の装置(81)、光源(82)、スクリーン(8
3)、ミラー(84)、光学系(85)、チューナー
(86)を設置してテレビ受像機を得た。
る。
は、横640×縦480個を有しており、走査方向48
0本のリードには、23.15μ秒間書込みのための信
号が加えられる。従って、1画面では11.11m秒を
有し、3画面1組として33.33m秒となっている。
間には全体の1/4をONにして、透過光強度を最高時
の1/4とした。第二の期間には全体の2/4をONに
して、透過光強度を最高時の2/4とした。第三の期間
には全てをONにして、透過光強度を最高とした。
した。また、同様に4画面を1組として、16段階の階
調表示も確認している。
クスによる表示装置を第一の装置としている。
酸化珪素膜を形成した1.1mm厚のソーダライムガラ
ス基板上に、DCスパッタ法によって、ITO(インジ
ューム酸化錫)を1100Å形成した。その後、フォト
リソ法を用いて640本の並行電極とリードを形成して
第一の基板とした。さらに、その表面にスパッタ法によ
り1000Åの酸化珪素膜を形成した1.1mm厚のソ
ーダライムガラス基板上に、DCスパッタ法によって、
ITO(インジューム酸化錫)を1100Å形成した。
その後、フォトリソ法を用いて480本の並行電極とリ
ードを形成した後、オフセット方によってNMP(Nメ
チル2ピロリドン)で希釈したポリイミド溶液を印刷
し、その後50℃で仮焼成、280℃窒素中で1時間焼
成をした後、ラビングを行い、液晶組成物の初期配向の
手段とした第二の基板とした。
電性を示す液晶組成物と、酸化珪素よりなる2.5μm
径を有する粒子を1mm2あたり200個の割合で分散
させて挟持させ、周囲をエポキシ樹脂で固定して第一の
装置を作製した。
ものを用いた。
る。
は、横640×縦480個を有しており、走査方向48
0本のリードには、34.72μ秒間書込みのための信
号が加えられる。図11にその駆動波形を示す。また、
1画面では16.67m秒を有し、2画面1組として3
3.33m秒となっている。
間には全体の1/2をONにして、透過光強度を最高時
の1/2とした。第二の期間には全てをONにして、透
過光強度を最高とした。
した。
二の装置に、光硬化型変成アクリル樹脂のネットワーク
中にネマチック液晶を分散させた液晶装置を用いて液晶
表示装置を作製したところ良好な階調表示をえることが
出来た。本実施例においては、図6に示すインバータ型
の相補型トランジスタを用いたが、図6においてPTF
TとNTFTの位置を入れ換えてバッファ型の構成にし
てもよい。
て、従来ブラウン管を利用したテレビ受像機に比べて、
70%程度の重量の削減ができた。 本発明を用いるこ
とによって、従来の強誘電性液晶を用いた液晶表示装置
では困難とされていた階調表示が可能となった。これに
よって、情報量の増加が見込まれ、テレビ受像機として
も広範囲での仕様が可能になった。
図をしめす。
を示す。
Claims (3)
- 【請求項1】 光源と映像を投影するスクリーン間の光
路上に、画像を表示するためのマトリクス構成を有する
第1の液晶装置が前記スクリーン側に、一定時間内にお
いて光の透過率が概略22対21対22対・・・対2n
(nは任意の数)に時間を追って変化する第2の液晶装
置が前記光源側に設けられ、 前記第2の液晶装置の前記光の透過率の変化に合わせて
前記第1の液晶装置の各画素をそれぞれONまたはOF
Fさせて階調表示を行うことを特徴とするテレビ受像
機。 - 【請求項2】 請求項1において、前記第1の液晶装置
を構成している各液晶は、強誘電性液晶であり、 前記第2の液晶装置は、複数の電極およびリードを有す
る第1の基板と、ほぼ全面に透明電極が設けられた第2
の基板と、前記第1の基板と前記第2の基板とによって
挟持された強誘電性液晶とを有し、かつ、前記複数の電
極のうち全体の2 0 /2 n 、2 1 /2 n 、2 2 /2 n 、
・・・、2 n /2 n に時間を追って電圧を印加すること
により、光の透過率が概略2 0 対2 1 対2 2 対・・・対
2 n (nは任意の数)に変化する ことを特徴とするテレ
ビ受像機。 - 【請求項3】 請求項1において、前記第1の液晶装置
の各画素には、Pチャネル型薄膜トランジスタとNチャ
ネル型薄膜トランジスタとよりなる相補型トランジスタ
の出力が連結されていることを特徴とするテレビ受像
機。
Priority Applications (5)
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KR1019920000368A KR960011732B1 (ko) | 1991-01-17 | 1992-01-14 | 전기 광학 장치 |
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US08/233,983 US5666173A (en) | 1991-01-17 | 1994-04-28 | Electro-optical device |
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