JP2825383B2 - 改良された酸素発生用陽極 - Google Patents
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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-
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-
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-
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- C23C8/02—Pretreatment of the material to be coated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C25B—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
- C25B11/00—Electrodes; Manufacture thereof not otherwise provided for
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
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Description
その表面の一部が使用時にえぐりとられ、平滑度を失っ
た使用済み電極材料と、その表面に、被覆接着強化のた
め、プラズマ溶射により平らにされ且つ所望の表面粗さ
を付与されたバルブ金属からなるプラズマ溶射塗布被覆
層と、その表面に白金族金属又はその酸化物を含有する
電気化学的に活性な表面被覆層を有する酸素発生用陽極
に関する。
の接着は、その被覆された金属を厳しい産業環境で使用
する際に特に重大なものである。普通、被覆前の表面処
理及び予備処理の操作は注意深く行われる。そのような
処理又は予備処理の操作では、清浄な表面にすることが
一番重要である。
電解触媒の被覆であり、これは頻々白金族の貴金属を含
有し、バルブ金属等の金属上に直接塗付される。電極基
材に塗付される電解触媒被覆の技術分野では、金属を単
に洗浄して極めて平滑な表面にする(米国特許第4,7
97,182号明細書)。フッ素化合物処理は表面を平
滑にする(米国特許第3,864,163号明細書)。
洗浄には、化学脱脂、電解脱脂又は酸化性の酸による処
理が含まれる(米国特許第3,864,163号明細
書)。洗浄後に機械的粗化により被覆用の表面を調製す
る(米国特許第3,778,307号明細書)。機械的
処理がサンドブラスト処理である場合には、その後エッ
チングする(米国特許第3,878,083号明細
書)。或いはその後に金属粉末の微粒混合物を火炎溶射
塗付してもよい(米国特許第4,849,085号明細
書)。
法は、電極基材上に多孔質酸化物の層を形成することで
あり、これはバルブ金属に電解触媒被覆を塗付する際に
有用なることが見出されていた。例えば、米国特許第
4,140,813号明細書に開示されているように、
電極基材金属上に酸化チタンを火炎溶射又はプラズマ溶
射した後に活性物質を電気化学的に塗付することができ
る。或いは米国特許第4,392,927号明細書に教
示されているように、電解触媒として活性な粒子を予か
じめ塗付する熱溶射材料は金属酸化物、窒化物等であっ
てもよい。
ば電気メッキ、電気錫メッキ、電気鋳造又は電解採取で
現在商業的に用いられている酸素発生用陽極に供するた
めの長寿命の被覆電極の提供は困難である。上記の操作
は連続操作であり、表面損傷の可能性を含む厳しい条件
に係わるものである。このような操作で被覆の接合を卓
越した状態に保ちつつ長期にわたり安定に操作できる電
極として被覆金属基材を提供できるようならば最も望ま
しいであろう。このような電極を新金属からだけでな
く、再被覆された金属から提供できることも極めて望ま
しいことである。
である固定被覆(locked on coatin
g)を与える金属表面が知見されたのである。斯く被覆
された電極基材は、最も厳しい産業環境でも極めて望ま
しい長寿命を持つことができる。本発明によれば、使用
時に表面の一部がえぐりとられ、平滑度を失った使用済
み電極材料の表面に均一な平面性をもち十分に固定され
た被覆を付与することができる。
粗さを有する電極基材表面を有する電極であり、斯かる
表面とは前記の基材上にプラズマ溶射塗付されたバルブ
金属表面であり、このプラズマ溶射塗付された表面は、
プロフィルメータ(profilometer)による
測定で、約6.4μm(250マイクロインチ)以上の
平均表面粗さ並びにプロフィルメータ上限閾値10.2
μm(400マイクロインチ)及びプロフィルメータ下
限閾値7.6μmを基準として、センチメートル当たり
平均約15.7個(40個/インチ)以上の表面ピーク
を有する。前記のプロフィルメータは、市販の表面粗さ
の測定装置である。その構造は、探触子アームが表面を
横切ると、表面粗さに比例した電流が誘起されて表面粗
さが測定できる。表面粗さは、プロフィルメータの測定
に基づいて、平均平面粗さ(Ra)、平均表面ピーク
(Nr)、最大ピークと最大谷部との平均距離(R
m)、平均ピーク高さ(Rz)で示す。前記の平均表面
ピーク数(Nr)を求めるには、断面曲線について可変
の予め決めた上限と下限の基準値(上限閾値と下限閾
値)を基準として、センチメートル当たりのピーク数
(Nr)を測定する。
を失った表面に被覆接着性強化のためのプラズマ金属表
面を整える方法であり、この方法は斯かる表面のえぐり
とられた部分にバルブ金属をプラズマ溶射して金属表面
の平面性を確立し、その後にプラズマ溶射して所望の表
面粗さを形成し、被覆接着性を強化したものである。
電気亜鉛メッキ、電気錫メッキ、銅箔メッキ、電気鋳造
又は電解採取及び硫酸ナトリウム電解を含む厳しい商業
操作下でも、斯かる電極は極めて望ましい使役寿命をも
つことができるのである。
タンタル、アルミニウム、ジルコニウム及びニオブを含
むバルブ金属が用いられる。凸凹性、耐食性及び入手性
の点で特に興味がもたれるものはチタンである。基材と
して好適な金属には、通常入手できる元素金属の他に、
一種以上のバルブ金属を含有する合金や金属間化合物並
びにセラミックやサーメットが包含される。例えば、チ
タンをニッケル、コバルト、鉄、マンガン又は銅の合金
にすることができる。更に詳しく述べると、グレード5
チタンは6.75重量%までのアルミニウムと4.5重
量%のバナジウムを含み、グレード6チタンは6%まで
のアルミニウムと3%の錫を含み、グレード7チタンは
0.25重量%までのパラジウムを含み、グレード10
チタンは10乃至13%のモリブデンと4.5乃至7.
5重量%のジルコニウムを含む等々である。
るという意味は、詳しくいえば通常入手できる条件の金
属すなわち少量の不純物を含む金属を使用することであ
る。すなわち、特に興味ある金属であるチタンでは、そ
の他の成分が合金であったり合金プラス不純物であるよ
うなものを含み、各種グレードが入手可能である。チタ
ンのグレードは、ASTM B265−79のチタンの
標準仕様に更に詳しく説明されている。
属表面にどのような処理を施すかに関係なく、電極基材
金属の表面は清浄であることが有利である。これは、電
極基材の金属表面を清浄にする何れの処理にても達成さ
れるが、古い被覆の除去が必要でなかったり、エッチン
グを用いるような場合には、以下で詳しく説明するよう
に、機械的清浄は最小にされるのが普通である。すなわ
ち、化学脱脂又は電解脱脂による普通の清浄化方法、或
いはその他の化学的清浄化操作を有利に用いることがで
きる。
る場合には、再被覆の前に上記の清浄化が必要かどうか
をチェックする必要がある。本発明に係る酸素発生用陽
極を使用する際に性能を最高度にするには、古い被覆を
除去することが好ましい。バルブ金属上の電気化学的に
活性な被覆に関する本発明の技術分野では、被覆除去の
化学的手段は周知である。すなわち、米国特許第3,5
73,100号明細書に教示されているように、本質的
に塩基性の材料の溶融物で処理した後すぐに酸洗いする
と、金属表面は好適に再構成される。また、米国特許明
細書第3,706,600号明細書に記載されているよ
うに、アルカリ金属水素化物を含有するアルカリ金属水
酸化物の溶融物で処理した後に鉱酸で処理すると有用で
ある。通常のゆすぎ工程や乾燥工程もこれらの操作の一
部を構成することができる。
後又は表面を調製して清浄にした後でバルブ金属に電解
触媒被覆を施こす場合、表面が粗くなる。これは、プラ
ズマ溶射塗付、普通は微粒状バルブ金属とくにチタン粉
を用いる手段により達成される。しかしながら、以下で
説明するように、金属は微粒形態で塗付されるとは云う
ものの、供給金属すなわち塗付される金属がワイヤ形態
等別の形態であってもよいのである。塗付法を代表とし
て微粒状金属の塗付で説明するのは、便宜上の理由であ
ると解されたい。このプラズマ溶射法では、金属を溶融
し、任意選択成分として少量の水素を含む不活性ガス例
えばアルゴンや窒素を電気アークで高温に加熱し、それ
により発生したプラズマ流中に溶融金属を散布するので
ある。本発明で使用する「プラズマ溶射」なる語は、プ
ラズマ溶射法が好適なのではあるが、一般に熱的溶射法
たとえば電磁流体力学的溶射法、火炎溶射法及びアーク
溶射法も含むものであると解されなければならない。
ラズマ溶射流の容積及び温度、微粒金属構成要素の供給
速度等は、その微粒金属構成要素が溶射流中でそれによ
り溶融し、実質的に溶融した形態のまま基材金属上に沈
着し、従って有孔構造を有する本質的に連続な被覆(す
なわち、溶射された粒子が見分けられない被覆)になる
ように選択される。代表的には、実施例で用いるような
溶射パラメータが満足な被覆を与える。普通、溶融溶射
時の基材金属は常温近くの温度に維持される。これは、
溶射時に基材上に空気流を当てたり、基材を溶射パス間
に空冷する等の手段により達成される。
代表的粒径範囲は20−100ミクロンであり、表面を
効率的に粗くするには全粒子が40−80ミクロンの範
囲に入ることが好ましい。相異なる粒径をもった金属粒
子も、容易にプラズマ溶射塗付される限り等しく好適で
ある。粒子金属の組成は、基材金属に関して前述したこ
とと同様であり、例えばチタンは幾つかのグレードの一
種であり、普通はグレード1チタンである。混合物例え
ば金属の混合物又は金属と他成分との混合物を塗付する
ことも考えられる。他成分には金属酸化物も含まれる。
金属と他成分との混合物では、例えば金属が過半量であ
って他成分が未半量である。このようなプラズマ溶射塗
付を基材金属表面のエッチングと組み合わせて用いるこ
とも考えられる。その際の夫々の処理は殆ど常に表面の
相異なる部分に施される。エッチングを使用する場合に
は、金属表面を激しくエッチングして粒界を深く出し、
三次元結晶粒を十分に露出させることが重要である。粒
界近傍の不純物が斯かる操作によりエッチングされるこ
とが好ましいのである。特に古い被覆が存在していて、
その被覆された基材が例えば電気メッキの陽極として使
用されている場合には、その金属製品は形状を損ない、
表面の平面性を失う可能性がある。代表的には、そのよ
うな形くずれは表面の欠損やえぐりとられた部分であろ
う。便宜上、欠損、引っかき傷及びえぐりとられた部分
を含む表面形くずれ並びに金属が実際に溶融・再固化す
る焼けを、全て本発明ではえぐりとられた部分と称す
る。これらのえぐりとられた部分は金属で充たされたり
充たされなかったりする。続いて再被覆の前に全表面を
エッチングする場合、充填域のエッチング効果は不良に
なることがあると予想される。また、基材のえぐりとら
れた部分が伸びたり、或いは基材が熱履歴及び/又は化
学的な作用を受けてエッチングに望ましい結果をもたら
さないこともある。従って、単に全表面をプラズマ溶射
することが特に望ましく、それによりこれらの基材欠陥
を克服することができる。場合によっては、プラズマ溶
射とエッチングとの組み合わせが有用になることも考え
られる。すなわち、えぐりとられた部分をプラズマ溶射
技術で埋めるのである。普通、形くずれしてない表面域
を先ずエッチングし、次にこの平らなエッチングされた
表面にマスクをかけて、残っているえぐりとられた部分
をプラズマ溶射塗付により埋め及び/又は表面処理す
る。つまり、プラズマ溶射を用いてえぐりとられた部分
を埋め且つ再活性化させることもできるし、或いは必ず
しも表面の平面性を回復させずに単にえぐりとられた部
分を再活性化させるためにプラズマ溶射を使用すること
もできる。再活性化とは、次に処理のためえぐりとられ
た部分を整えるプラズマ溶射塗付を意味する。このよう
にして、表面全体が被覆に必要な粗さをもつようにな
る。所望ならば、この同一処理時に望ましい平面度まで
磨き直してもよい。
処理履歴が重要になることがある。例えば、チタン等の
金属のエッチング準備には、焼きなまし等により不純物
を粒界に拡散させる状態調整が最も有用である。例え
ば、グレード1チタンを適正に焼きなますと、粒界にお
ける鉄不純物の濃度が増大する。好適調整が焼きなまし
であって、金属がグレード1チタンである場合、チタン
を約500℃以上の温度で約15分以上の時間にわたり
焼きなますことができる。操作効率の点からは、例えば
600−800℃といった高めの焼きなまし温度が有利
である。
しく攻撃する十分に活性なエッチング溶液で行う。代表
的エッチング溶液は酸性溶液であり、塩酸、硫酸、過塩
素酸、硫酸、シュウ酸、酒石酸及びリン酸並びにそれら
の混合物たとえば王水とすることができる。その他の使
用できるエッチング剤には、苛性エッチング剤たとえば
水酸化カリウム/過酸化水素混合溶液又は水酸化カリウ
ムと硝酸カリウムとの溶融物がある。操作効率の点か
ら、エッチング溶液は例えば18−22重量%塩酸溶液
のように強い即ちの濃厚な溶液であると有利である。更
には、この溶液はエッチング時に水溶液の場合には80
℃以上といった昇温に維持されると有利であり、頻々沸
騰条件若しくはその近傍、或いはそれより高い温度たと
えば還流状態に維持される。エッチングの後、エッチン
グされた金属表面をゆすぎ及び乾燥の工程に付して被覆
用の表面を準備することができる。エッチング及び焼き
なましに関する更に詳しい説明は米国特許出願第37
4,429号明細書に記載されており、その開示を引用
する。
は、その金属表面が約6.4μm(250マイクロイン
チ)以上の平均粗さ(Ra)及びセンチメートル当たり
平均約15.7個(40個/インチ)以上の表面ピーク
(Nr)を有する必要がある。センチメートル当たりの
表面ピーク数は、代表的には下限閾値7.6μm(30
0マイクロインチ)及び上限閾値10.2μm(400
マイクロインチ)を基準にして測定することができる。
約6.4μm(250マイクロインチ)未満の平均粗さ
を有する表面は、必要とされる被覆接着性の実質的強化
に望ましくない程平滑であり、センチメートル当たり平
均約15.7個未満の表面ピークを有する表面も同様で
ある。約10.2μm(400マイクロインチ)以上、
例えば約19.1乃至38.1μm(750−1500
マイクロインチ)までの範囲の平均粗さを有し、約5.
1μm(200マイクロインチ)未満の低いスポットを
含んでいない表面が有利である。表面平滑をうまく回避
するには、約5.3乃至5.6μm(210乃至220
マイクロインチ)未満の低いスポットを含まない表面で
あることが有利である。約7.6乃至約12.7μm
(300乃至500マイクロインチ)の表面粗さを有す
る表面が好適である。表面のセンチメートル当たりの平
均ピーク数は約23.6個(60個/インチ)以上であ
ると有利であって、約51.1個(130個/インチ)
以上であってもよいが、平均約31.4乃至約47.2
個/センチメートル(80乃至120個/インチ)であ
ることが好ましい。最大ピークと最大谷部との平均距離
(Rm)が約25.4μm(1000マイクロインチ)
以上であり、かつ、平均ピーク高さ(Rz)が約25.
4μm(1000マイクロインチ)である表面が更に有
利である。前記の表面特性は全てプロフィロメータによ
り測定される。Rm値が約38.1乃至88.9μm
(1500乃至3500マイクロインチ)であり、最大
谷部特性が約38.1乃至88.9μm(1500乃至
3500マイクロインチ)である被覆用表面が更に望ま
しい。
面は被覆される前に予備処理を含む種々の操作に付され
る。例えば、表面は溶剤洗浄等の清浄化操作に付され
る。或いは次のエッチングに付されたり、水素化処理や
窒化処理に付される。電気化学的に活性な材料で被覆す
る前に、米国特許第3,234,110号明細書に記載
されているように、基材を空気中で加熱したり或いはア
ノード酸化することにより酸化物層を付与することが提
案されている。ヨーロッパ特許出願第0,090,42
5号明細書は、基材に白金を電気メッキし、続いてそれ
にルテニウム、パラジウム又はイリジウムの酸化物を化
学沈着させることを提案している。主に保護中間部及び
導電中間部の役目をする下層上に電気化学的に活性な材
料の外層を沈着させる各種提案もなされている。英国特
許第1,344,540号明細書は、ルテニウム−チタ
ン酸化物又は同様な活性外層の下にコバルト又は鉛の酸
化物の電着層を使用することを開示している。米国特許
第4,272,354号明細書、同第3,882,00
2号明細書及び同第3,950,240号明細書には、
各種酸化錫ベースの下層が開示されている。
理を行った後に本発明が最も考慮する被覆は、電気化学
的に活性な被覆、代表的には白金又はその他の白金族金
属から付与されるものであり、それらを白金族金属酸化
物酸化物、マグネタイト、フェライト、コバルトスピネ
ル又は混合金属酸化物の被覆のような活性酸化物被覆と
表すことができる。このような被覆は、代表的には、電
気化学工業における陽極被覆用に開発されたものであ
る。これらは、水又は例えばアルコール溶剤を用いて被
覆する。この型の好適被覆は米国特許第3,265,5
26号明細書、同第3,632,498号明細書、同第
3,711,385号明細書及び同第4,528,08
4号明細書に一般的に記載されている。混合金属酸化物
被覆には、頻々、白金、パラジウム、ロジウム、イリジ
ウム及びルテニウム又はそれらの混合物を含む白金族金
属の酸化物並びにその他の金属を含むバルブ金属酸化物
の一種以上が包含される。上に列挙したものに加えて更
なる被覆には、二酸化マンガン、二酸化鉛、MxPt3
O4(Mはアルカリ金属であり、xは代表的には約0.
5を目標とする)のような白金酸塩の被覆、ニッケル−
酸化ニッケル及びニッケル−ランタニド酸化物がある。
付するために有用な何れの手段によっても金属に塗付さ
れると考えられる。このような方法には、浸漬・スピン
(dip spin)法や浸漬・排液(dip dra
in)法、ブラシ塗付法、ロール被覆法並びに静電スプ
レー等のスプレー塗付法がある。更には、スプレー塗付
法との組み合わせ技術、例えば浸漬・排液法とスプレー
塗付法との組み合わせを使用することもできる。電気化
学的に活性な被覆を与える前記の被覆組成物に関して
は、浸漬・排液変更法が最も有用である。前記の何れか
の被覆操作の後、液体被覆組成物から取り出し、被覆さ
れた金属表面を浸漬・排液するか、或いは強制空気乾燥
等その他の処理に付する。
度が約300乃至約600℃なることである。硬化時間
は各被覆層によって異なり、僅か数分から1時間以上ま
で変化する。例えば数層の被覆層を塗付した場合には硬
化時間は長めになる。しかしながら、昇温下での焼きな
まし条件及び斯かる昇温への長期露出と重複するような
硬化操作は、経済性の点から一般に回避される。一般
に、使用される硬化技術は、金属基材上の被覆の硬化に
使用できるものなら何れも可である。すなわち、コンベ
アオーブンを含むオーブン硬化が使用できる。更には、
赤外線硬化技術を使用することもできる。最も経済的な
硬化を行うには、オーブン硬化の使用が好適であり、電
解触媒被覆に用いられる硬化温度は約450乃至約55
0℃の範囲内である。このような温度であると、各々の
塗付された被覆層の硬化時間は、殆ど常に僅か数分、例
えば3乃至10分である。 以下の実施例は、本発明の
実施方法及び比較例を示すものである。しかしながら、
本発明の実施方法を示すこの実施例が、本発明を限定す
ると解されてはならない。
約7.5cm2の試料表面を有する各試料板の裏面にチ
タンのナットを溶接した。次にこの試料板を大きな裏打
ち用板金に載せて試料板をモザイク状に配した。この積
載配列は、以下の諸操作で一単位として取り扱いできる
試料板大型アレイとして機能した。この試料板を酸化ア
ルミニウムでグリットブラスト処理を施した後、アセト
ンでゆすいで乾燥した。
用いて、試料板上にチタン粉末の被覆を形成した。GH
スプレーノズルを備えたメトコ(Metoco)プラズ
マ溶射ガンを用いて試料板をこの粉末で被覆した。溶射
条件は、電流500アンベア;電圧45−50ボルト;
プラズマガス アルゴンとヘリウム;チタン供給速度1
−36kg(3ポンド)/時;溶射バンド幅 6.7ミ
リメートル;及び溶射距離64mmであり、その結果得
られたチタン試料板上のチタン層の厚みは約150ミク
ロンであった。
ルベルク社(HommelwerkGmbH)製のホン
メルモデルT1000C装置を用いて表面プロフィルメ
ータ測定に付した。試料板表面のプロフィルメータ測定
値は、装置を試料板の被覆された平らな面を横切るラン
ダムな向きに走らせて行った3個の別々の測定から平均
値を計算して決定した。この結果、三試料で測定した表
面粗さ(Ra)の平均値は夫々11.4、12.4及び
13.9μm(448、490及び548マイクロイン
チ)であり、ピーク数/cm(Nr)はこの三試料板の
夫々で29.9、24.8及び29.9(76.63及
び76個/インチ)であった。センチメートル当たりの
ピーク数は、7.6μm(300マイクロインチ、下
限)と10.2μm(400マイクロインチ、上限)の
閾値限界内で測定した。
素発生用陽極であって、使用済みの試料で表面がえぐり
とられ平滑度を失った電極基材表面をアルミナ粉でブラ
スト処理して前の被覆を除去した。この研磨法により前
の被覆が除去されたことが、蛍光X線により測定され
た。研磨処理の残渣を除去した後、得られた試料板をエ
ッチング処理した。95℃に加熱された20重量%の塩
酸水溶液に約1時間浸漬するとエッチング除去された。
試料板を熱塩酸から取り出した後、再度脱イオン水でゆ
すいて空気乾燥した。参考例1の方法で行ったプロフィ
ルメータ測定によると、試料の平らな表面での平均値
は、Ra4.6μm(180マイクロインチ)及びNr
12.2個/cm(31個/インチ)であった。
法を用い、試料にプラズマ溶射塗付チタンの被覆を施し
た。参考例1の方法で行ったプロフィルメータ測定によ
ると、試料の平らな表面での平均値は、Ra16.5μ
m(650マイクロインチ)及びNr27.2個/cm
(69個/インチ)であった。
Claims (3)
- 【請求項1】 白金族金属、又はその酸化物を含有す
る、電気化学的に活性な表面被覆層を有し、チタン、タ
ンタル、ニオブ、ジルコニウム、その合金及び金属間化
合物からなる群から選択された少なくとも1種を含有す
るバルブ金属からなり、その表面の一部が使用時にえぐ
りとられ、平滑度を失った使用済み電極材料と、 前記平滑度を失った電極材料の表面が、被覆接着強化の
ため、プラズマ溶射により、平らにされ且つ表面粗さを
付与された、チタン、タンタル、ニオブ、ジルコニウ
ム、その合金及び金属間化合物からなる群から選択され
た少なくとも1種を含有するバルブ金属からなるプラズ
マ溶射塗布被覆層と、 前記プラズマ溶射塗布被覆層の表面に被覆された、白金
族金属、又はその酸化物を含有する、電気化学的に活性
な表面被覆層とよりなり、 前記プラズマ溶射塗布被覆層がプロフィルメータによる
測定で6.4μm(250マイクロインチ)以上の平均
表面粗さ並びにプロフィルメータ上限閾値10.2μm
(400マイクロインチ)及びプロフィルメータ下限閾
値7.6μm(300マイクロインチ)を基準として、
センチメートル当たり15.7個(40個/インチ)以
上の平均表面ピークを有し、且つ前記プラズマ溶射塗布
被覆層のバルブ金属の粒子の大きさが20〜100ミク
ロンであることを特徴とする酸素発生用陽極。 - 【請求項2】 前記の電極が、陽極酸化槽、電気メッキ
槽又は電解採取槽の陽極である請求項1の電極。 - 【請求項3】 前記の電極が、電気亜鉛メッキ、電気錫
メッキ、硫酸ナトリウム電解又は銅箔メッキの陽極であ
る請求項1の電極。
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