JP2656190B2 - 電磁弁マニホールド - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電磁弁マニホールドに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造装置等のＦＡ（ファ
クトリーオートメーション）にはアクチュエータを駆動
する電磁弁マニホールドが多数使用されている。この半
導体製造装置においては、クリーンルームの容量あるい
は重量制限のため、それに使用される電磁弁についても
小型軽量化の要求がある。

【０００３】従来、このような電磁弁マニホールドとし
ては、図５に示すものが使用されている。すなわち、一
対のシリンダポート５０はマニホールドブロック５１の
端面に配設され、そのマニホールドブロック５１の内部
には３本の給排気通路５２、２本のパイロット圧通路５
３が形成されている。又、マニホールドブロック５１の
上部にはソレノイド５４等から構成されるパイロット弁
部５５及びスプール５６を有する主弁切換部５７が、図
６に示す貫通ネジ５８によって螺着されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記従来技
術においては、マニホールドブロック５１の同一面上に
主弁切換部５７と一対のパイロット弁部５５とを取り付
けている。従って、マニホールドブロック５１には３本
の給排通路５２からそれぞれ延びる通路、２本のパイロ
ット圧通路５３から延びる通路が同方向に合計５本配列
される。さらに、マニホールドブロック５１には主弁切
換部５７と一対のシリンダポート５０との間に位置する
合計２本の通路が形成されている。それらの２本の通路
は主弁切換部５７の近傍において、前記５本の通路と平
行をなしている。そして、これらの合計７本の通路は、
すべてマニホールドブロック５１の同一面に開口してい
る。このため、マニホールドブロック５１の通路開口部
の面積を小面積にすることが不可能で、結果としてマニ
ホールドブロック５１の大型化を招いている。

【０００５】一方、主弁切換部５７は、一対のパイロッ
ト弁部５５間に配置されているため、マニホールドブロ
ック５１が大型であるにもかかわらず同部５７小型化せ
ざるを得ない。このため、大径のスプール５６を使用で
きず、大きな流量を得ることができない。しかも、図６
から明らかなように、主弁切換部５７を固定するネジ５
８が同切換部５７のケーシングを貫通するため、スプー
ル５６はネジ５８と干渉しないようにいっそう小径のも
のしか使用できない。従って、流量はいっそう少なくな
るという問題があった。

【０００６】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものであって、その目的
とするところは、小型軽量でしかも流量が大きくとれる
電磁弁マニホールドを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では流路の切り換えを行うスプールが移動可
能に配設された主弁切換部と、前記スプールに切換え動
作を発生させるパイロット弁部と、前記主弁切換部とパ
イロット弁部とを連結するマニホールドブロックと、複
数のシリンダポートが配設され、前記主弁切換部と連結
したポート接続部とから成る電磁弁マニホールドにおい
て、前記ポート接続部とマニホールドブロックとは主弁
切換部を挟んでその両側に対向して配設されたことをそ
の要旨としている。

【０００８】

【作用】上記構成により、主弁切換部及びパイロット弁
部がマニホールドブロックの異なる面に配置され、マニ
ホールドブロックのポートは、同ブロックの両側に分散
配置される。従って、ポートを有する面の面積を大きく
する必要がない。また、主弁切換部とパイロット弁部と
が分離配置されるため、主弁切換部の大きさに対する制
約がなくなる。さらに、主弁切換部を固定するためのネ
ジが同部のハウジングを貫通することがない。このた
め、大径のスプールを使用できる。

【０００９】

【実施例】以下に本発明を具体化した一実施例について
図面に従って説明する。図１に示すように、本電磁弁マ
ニホールドは主弁切換部１、マニホールドブロック２、
ポート接続部３、パイロット弁部４から構成され、主弁
切換部１の両側にマニホールドブロック２及びポート接
続部３が対向して配置されている。主弁切換部１のハウ
ジング５内にはスプール孔６が形成されるとともに、ス
プール７が２位置に切り換え配置可能に収容されてお
り、スプール７の両端に対応する位置に室Ｒ１，Ｒ２が
形成されている。この室Ｒ１，Ｒ２内には一対のピスト
ン８，９が摺動可能に、前記スプール７の両端を押圧す
るように配設されている。

【００１０】前記パイロット弁部４は第１及び第２のソ
レノイド１０，１１駆動源とするパイロット弁１２，１
３を有し、ソレノイド１０，１１の通電、非通電により
パイロット弁１２，１３が開閉され、パイロット圧が発
生される。このパイロット弁部４の側面には、ソレノイ
ド１０，１１の動作を制御する電気回路及び配線を収容
する配線・電子回路部１４が付設されている。

【００１１】主弁切換部１とパイロット弁部４との間に
マニホールドブロック２が配設されている。このマニホ
ールドブロック２はアルミニウムからなり、その内部に
はパイロット弁１２，１３と室Ｒ１，Ｒ２を連通させ室
Ｒ１，Ｒ２にパイロット圧を供給するパイロット圧通路
１５，１６、パイロット弁１２，１３にパイロット圧と
なる圧力を供給する圧力供給通路１７及びパイロット圧
排気用のパイロット圧排気通路１８が形成されている。
又、マニホールドブロック２にはスプール７の室と連通
する排気通路１９及び空圧供給通路２０が、それぞれ穿
孔形成されている。

【００１２】ポート接続部３には第１及び第２のシリン
ダポートを形成する継手２１，２２が埋設されており、
それらの継手２１，２２はポートを介して主弁切換部１
に連通されている。

【００１３】以上の、主弁切換部１、マニホールドブロ
ック２、ポート接続部３、パイロット弁部４の４つのモ
ジュールはそれぞれ分解可能である。そして、ポート接
続部３はポート接続部３を貫通するネジ２３によって主
弁切換部１のハウジング５に螺着され、マニホールドブ
ロック２はパイロット弁部４とに挟まれて、パイロット
弁部４からマニホールドブロック２を貫通し、主弁切換
部１のハウジジング５に止着される貫通ネジ２４によっ
て固定されている。

【００１４】そして、図３に示すように主弁切換部１の
ハウジング５において前述の貫通ネジ２３，２４のネジ
穴２５，２６はそのスプール孔６に干渉しないように穿
設されている。

【００１５】上述の電磁弁マニホールドにより多数のア
クチュエータを作動させる場合には、図２に示すよう
に、電磁弁マニホールドをレール２７に複数個連結搭載
して使用する。

【００１６】以上のように、この実施例の電磁弁マニホ
ールドにおいては、主弁切換部１の両側にマニホールド
ブロック２とポート接続部３とを配置したため、すなわ
ち、パイロット弁部４を主弁切換部１の反対側において
マニホールドブロック２に固定できる。このため、マニ
ホールドブロック２のポートは、同ブロック２の両側に
分散配置される。従って、ポートを有する面の面積を大
きくする必要がなく、結果として、マニホールドブロッ
ク２の小型化が可能となり、マニホールド全体の小型化
が可能となる。

【００１７】また、主弁切換部１とパイロット弁部４と
が分離配置されるため、主弁切換部１の両側にパイロッ
ト弁部４が配置される従来とは異なり、主弁切換部１の
大きさに対する制約がなくなり、その主弁切換部１の大
型化を図ることができる。このため、全体を小型化でき
るにもかかわらず、スプール径を大きくできて大流量を
得ることができる。

【００１８】さらに、主弁切換部１を固定するためのネ
ジが同部１のハウジング５を貫通することがないので、
ハウジング５の大きさに比して、スプール７の径を大き
くでき、前記と同様に大流量を得ることができる。しか
もこの実施例では上記各モジュールが別個に交換可能な
ため、容量の変更に容易に対処できるとともに、メンテ
ナンスが容易である。

【００１９】なお、この発明は前記実施例の構成に限定
されるものではなく、下記のように発明の趣旨から逸脱
しない範囲で、任意に変更して具体化することも可能で
ある。

【００２０】（１） 排気通路１９とパイロット圧排気
通路１８及び、空圧供給通路２０と圧力供給通路１７と
をそれぞれ連通してもよい。 （２） パイロット弁部４、主弁切換部１等をマニホー
ルドブロック２の図示上部に配設すること。

【００２１】（３） 図４に示すように、１つのマニホ
ールドブロック２８を挟み込むように複数の主弁切換部
１及びパイロット弁部４を配設する。このため、流量を
増大することができ、メンテナンス及びパイロット弁部
４の交換が容易となる。

【００２２】（４） 図５に示すように、主弁切換部
１、マニホルドブロック２、ポート接続部３を貫通ネジ
２３の代わりに、プレス品等の固定バンド２９によって
結合すること。

【００２３】

【発明の効果】本発明によれば、全体の小型化が可能で
あるとともに、スプールの径を大きくすることができ流
量増加を図ることが可能であるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を具体化した電磁弁マニホールドの一実
施例を示す断面図である。

【図２】同じく電磁弁マニホールドの斜視図である。

【図３】（ａ）主弁切換部の右側面図である。 （ｂ）主弁切換部の断面図である。 （ｃ）主弁切換部の左側面図である。

【図４】電磁弁マニホールドの別例を示す斜視図であ
る。

【図５】電磁弁マニホールドの別例を示す要部断面図で
ある。

【図６】電磁弁マニホールドの従来例を示す断面図であ
る。

【図７】従来例の主弁切換部の断面図である。

【符号の説明】

１ 主弁切換部、２ マニホールドブロック、３ ポー
ト接続部、４ パイロット弁部、７ スプール、１５，
１６ パイロット圧通路、１７ 圧力供給通路、１８
パイロット圧排気通路、２１，２２ 継手。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流路の切り換えを行うスプールが移動可
   能に配設された主弁切換部と、 前記スプールに切換え動作を発生させるパイロット弁部
   と、 前記主弁切換部とパイロット弁部とを連結するマニホー
   ルドブロックと、 複数のシリンダポートが配設され、前記主弁切換部と連
   結したポート接続部とから成る電磁弁マニホールドにお
   いて、 前記ポート接続部とマニホールドブロックとは主弁切換
   部を挟んでその両側に対向して配設されたことを特徴と
   する電磁弁マニホールド。