JP2023532673A - 形状記憶合金アクチュエータ及びその方法 - Google Patents

Abstract

ＳＭＡアクチュエータ及び関連の方法が説明されている。アクチュエータの一実施形態は、ベースと、複数の歪曲アームと、複数の歪曲アームのうちの一対の歪曲アームと接続された少なくとも第１の形状記憶合金ワイヤとを含む。アクチュエータの別の実施形態は、ベースと、形状記憶合金材料を含む少なくとも１つのバイモルフアクチュエータとを含む。バイモルフアクチュエータは、ベースに取り付けられている。

Description

本発明の実施形態は、形状記憶合金システムの分野に関する。より詳細には、本発明の実施形態は、形状記憶合金アクチュエータ及びそれに関連する方法の分野に関する。

形状記憶合金（ＳＭＡ：ｓｈａｐｅ ｍｅｍｏｒｙ ａｌｌｏｙ）システムは、オートフォーカス駆動装置として、例えばカメラレンズ素子と併用され得る可動アセンブリ又は構造を有する。これらのシステムは、遮蔽缶（ｓｃｒｅｅｎｉｎｇ ｃａｎ）などの構造によって取り囲まれ得る。可動アセンブリは、複数のボールなどの軸受によって、支持アセンブリ上で動くために支持される。リン青銅又はステンレス鋼などの金属から形成される撓み要素が、可動プレート及び撓み部を有する。撓み部は、静止支持アセンブリに対する可動アセンブリの移動を可能にすべく、可動プレートと静止支持アセンブリとの間に延びて、ばねとして機能する。ボールは、可動アセンブリがほとんど抵抗なく動くことを可能にする。可動アセンブリ及び支持アセンブリは、アセンブリ間に延びる４本の形状記憶合金（ＳＭＡ）ワイヤによって接続される。ＳＭＡワイヤのそれぞれは、一方の端部が支持アセンブリに取り付けられ、反対側の端部が可動アセンブリに取り付けられている。ＳＭＡワイヤへ電気駆動信号を印加することによって、サスペンションが作動する。しかしながら、これらのタイプのシステムは、システムの複雑さに悩まされており、結果的に、大きな設置面積及び高さが大きいクリアランスを必要とする、嵩張るシステムを生じる。さらに、現在のシステムは、コンパクトで低プロファイルの設置面積での高Ｚストローク範囲をもたらすことができていない。

ＳＭＡアクチュエータ及び関連の方法が説明されている。アクチュエータの一実施形態は、ベースと、複数の歪曲アーム（ｂｕｃｋｌｅ ａｒｍ）と、複数の歪曲アームのうちの一対の歪曲アームと接続された少なくとも第１の形状記憶合金ワイヤとを含む。アクチュエータの別の実施形態は、ベースと、形状記憶合金材料を含む少なくとも１つのバイモルフアクチュエータとを含む。バイモルフアクチュエータは、ベースに取り付けられている。

本発明の実施形態は、添付図面の図面において、限定ではなく、例として説明され、図面では、同様の参照符号は同様の要素を示す。

一実施形態による歪曲アクチュエータとして構成されたＳＭＡアクチュエータを含むレンズアセンブリを示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態によるＳＭＡワイヤアクチュエータを含むオートフォーカスアセンブリの展開図を示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むオートフォーカスアセンブリを示す。 センサを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを示す。 レンズキャリッジを備える、一実施形態による歪曲アクチュエータとして構成されたＳＭＡアクチュエータの上面図及び側面図を示す。 実施形態によるＳＭＡアクチュエータのある区分の側面図を示す。 歪曲アクチュエータの一実施形態の複数の図を示す。 レンズキャリッジを備える、一実施形態によるバイモルフアクチュエータを示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むオートフォーカスアセンブリの切り欠き図を示す。 いくつかの実施形態によるバイモルフアクチュエータの図を示す。 いくつかの実施形態によるバイモルフアクチュエータの図を示す。 いくつかの実施形態によるバイモルフアクチュエータの図を示す。 一実施形態によるバイモルフアクチュエータの一実施形態の図を示す。 一実施形態によるバイモルフアクチュエータの端部パッド断面を示す。 一実施形態によるバイモルフアクチュエータの中心供給パッド断面を示す。 一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータの展開図を示す。 一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータの側面図を示す。 一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータの側面図を示す。 一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを含むアセンブリの展開図を示す。 一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態による２つの歪曲アクチュエータ及びカプラを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態による積層板ハンモックを備える歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。 一実施形態による積層板ハンモックを備える歪曲アクチュエータ２４０２を含むＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 一実施形態による積層板ハンモックを含む歪曲アクチュエータを示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの積層板ハンモックを示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの積層形成された圧着接続部を示す。 積層板ハンモックを備える歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態による歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。 一実施形態による歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 一実施形態による歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの一対の歪曲アームの２ヨークキャプチャジョイントを示す。 歪曲アクチュエータにＳＭＡワイヤを取り付けるために使用される、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの抵抗溶接圧着部を示す。 ２ヨークキャプチャジョイントを備える歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態によるＳＭＡバイモルフ液体レンズを示す。 一実施形態による斜視的なＳＭＡバイモルフ液体レンズを示す。 一実施形態によるＳＭＡバイモルフ液体レンズの断面及び底面図を示す。 一実施形態による、バイモルフアクチュエータを備えるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 一実施形態によるバイモルフアクチュエータを備えるＳＭＡアクチュエータを示す。 ワイヤ長を、バイモルフアクチュエータを越えて延ばすための、バイモルフアクチュエータの長さ及びＳＭＡワイヤ用のボンディングパッドのロケーションを示す。 一実施形態によるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの小区分の展開図を示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの小区分を示す。 一実施形態による５軸センサシフトシステムを示す。 一実施形態による５軸センサシフトシステムの展開図を示す。 一実施形態による、全ての動きに関してこの回路に組み込まれるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態による、全ての動きに関してこの回路に組み込まれるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態による５軸センサシフトシステムの断面を示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを示す。 画像センサを異なるｘ位置及びｙ位置に動かしたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ上面図を示す。 ボックスバイモルフオートフォーカスとして構成された、一実施形態によるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態によるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態によるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 一実施形態によるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 ２軸レンズシフトＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。 ２軸レンズシフトＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの断面を示す。 一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの断面を示す。 一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡの展開図を示す。 ３軸センサシフトＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの断面を示す。 一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータ構成要素を示す。 一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのフレキシブルセンサ回路を示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの断面を示す。 一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータを示す。 一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのフレキシブルセンサ回路を示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの断面を示す。 一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータを示す。 一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのフレキシブルセンサ回路を示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。 バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの断面を示す。 一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのボックスバイモルフアクチュエータを示す。 一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのフレキシブルセンサ回路を示す。 複数の実施形態によるＳＭＡアクチュエータのバイモルフアクチュエータの例示的な寸法を示す。 一実施形態による折り畳みカメラ用のレンズ系を示す。 一実施形態による液体レンズを含むレンズ系のいくつかの実施形態を示す。 一実施形態による、アクチュエータに配置される、プリズムである屈曲レンズを示す。 一実施形態によるオフセットの設けられたバイモルフアームを示す。 一実施形態によるオフセット及びリミッタの設けられたバイモルフアームを示す。 一実施形態によるオフセット及びリミッタの設けられたバイモルフアームを示す。 一実施形態によるオフセットの設けられたバイモルフアームを含むベースの実施形態を示す。 一実施形態によるオフセットの設けられた２つのバイモルフアームを含むベースの実施形態を示す。 一実施形態による荷重点延長部を含む歪曲アームを示す。 一実施形態による荷重点延長部９８１０を含む歪曲アーム９８０１を示す。 一実施形態による荷重点延長部を含むバイモルフアームを示す。 一実施形態による荷重点延長部を含むバイモルフアームを示す。 一実施形態によるＳＭＡ光学式手ぶれ補正機構を示す。 一実施形態による可動部のＳＭＡ材料取り付け部４０を示す。 一実施形態による、抵抗溶接されたＳＭＡワイヤが取り付けられている静止プレートのＳＭＡ取り付け部を示す。 一実施形態による歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータ４５を示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ用の島を含む抵抗溶接圧着部を示す。 一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ用の島を含む抵抗溶接圧着部を示す。 一実施形態による、バイモルフビームの曲げ面ｚオフセット、トラフ幅、及びピーク力の関係を示す。 一実施形態によるバイモルフアクチュエータ全体を含むボックスの近似であるボックス体積がどのようにバイモルフ構成要素当たりの仕事量と関係するかの例を示す。 一実施形態による歪曲アクチュエータを使用して作動される液体レンズを示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定端部の背面図を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。 代替的な実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。 代替的な実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。 代替的な実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。 代替的な実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定された荷重点端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定された荷重点端部を示す。 一実施形態によるバイモルフアームの固定された荷重点端部を示す。 代替的な一実施形態によるバイモルフアームの固定された荷重点端部を示す。

ＳＭＡアクチュエータの実施形態が本明細書で説明されており、この実施形態は、コンパクトな設置面積を含み、及び本明細書ではｚストロークと称される正のｚ軸方向（ｚ方向）において高い作動高さ、例えば動きをもたらす。ＳＭＡアクチュエータの実施形態は、ＳＭＡ歪曲アクチュエータ及びＳＭＡバイモルフアクチュエータを含む。ＳＭＡアクチュエータは、一般に触覚フィードバックセンサ及びデバイス、並びにアクチュエータが使用される他のシステムに見られるような振動感覚を生じるように２つの面を機械的にぶつけるために、多くの応用、例えば、限定されるものではないが、オートフォーカスアクチュエータとしてのレンズアセンブリ、微小流体ポンプ（ｍｉｃｒｏ－ｆｌｕｉｄｉｃ ｐｕｍｐ）、センサシフト、光学式手ぶれ補正（ｏｐｔｉｃａｌ ｉｍａｇｅ ｓｔａｂｉｌｉｚａｔｉｏｎ）、光学ズームアセンブリで使用され得る。例えば、本明細書で説明するアクチュエータの実施形態は、ユーザにアラーム、通知、警報、触った領域又は押したボタンの応答をもたらすように構成された、セルラー方式携帯電話やウェアラブルデバイスにおいて使用するための触覚フィードバックアクチュエータとして使用され得る。さらに、２つ以上のＳＭＡアクチュエータが、より大きなストロークを達成するためにシステムにおいて使用され得る。

様々な実施形態に関し、ＳＭＡアクチュエータは、４ミリメートル超のｚストロークを有する。さらに、様々な実施形態のためのＳＭＡアクチュエータは、ＳＭＡアクチュエータがその初期の作動停止位置にあるとき、ｚ方向において２．２ミリメートル以下の高さを有する。レンズアセンブリにおいてオートフォーカスアクチュエータとして構成されたＳＭＡアクチュエータの様々な実施形態は、レンズ内径（ＩＤ）よりも３ミリメートル大きいくらいの小ささの設置面積を有し得る。様々な実施形態によれば、ＳＭＡアクチュエータは、一方向において、限定されるものではないが、センサ、ワイヤ、トレース、及びコネクターを含む構成要素を収容するように幅広である設置面積を有し得る。いくつかの実施形態によれば、ＳＭＡアクチュエータの設置面積は、一方向において０．５ミリメートル大き、例えばＳＭＡアクチュエータの長さは、幅よりも０．５ミリメートル長い。

図１ａは、一実施形態による歪曲アクチュエータとして構成されたＳＭＡアクチュエータを含むレンズアセンブリを示す。図１ｂは、一実施形態による歪曲アクチュエータとして構成されたＳＭＡアクチュエータを示す。歪曲アクチュエータ１０２はベース１０１と接続されている。図１ｂに示すように、ＳＭＡワイヤ１００は、歪曲アクチュエータ１０２に取り付けられており、ＳＭＡワイヤ１００が作動して収縮すると、これにより歪曲アクチュエータ１０２を撓ませるため、各歪曲アクチュエータ１０２の少なくとも中心部１０４が、ｚストローク方向、例えば矢印１０８によって示すような正のｚ方向に動く。いくつかの実施形態によれば、圧着構造１０６などのワイヤ保持具を通してワイヤの一方の端部に電流が供給されると、ＳＭＡワイヤ１００は作動する。電流は、ＳＭＡワイヤ１００を流れて、ＳＭＡワイヤ１００が作製されるＳＭＡ材料の固有の抵抗に起因して、ＳＭＡワイヤを加熱する。ＳＭＡワイヤ１００の他方の側は、圧着構造１０６などのワイヤ保持具を有し、圧着構造は、ＳＭＡワイヤ１００をグランドに接続して回路を完成させる。十分な温度へのＳＭＡワイヤ１００の加熱は、ワイヤ特有の材料特性によって、マルテンサイトからオーステナイト結晶構造へ変化させ、それにより、ワイヤの長さを変化させる。電流の変化によって温度を変化させ、それゆえ、ワイヤの長さを変化させ、これが、少なくともｚ方向におけるアクチュエータの動きを制御するために、アクチュエータを作動させたり、作動停止させたりすることに使用される。当業者は、ＳＭＡワイヤに電流をもたらすために他の技術が使用され得ることを理解するであろう。

図２は、一実施形態によるＳＭＡバイモルフアクチュエータとして構成されたＳＭＡアクチュエータを示す。図２に示すように、ＳＭＡアクチュエータは、ベース２０４と接続されたバイモルフアクチュエータ２０２を含む。バイモルフアクチュエータ２０２はＳＭＡリボン２０６を含む。バイモルフアクチュエータ２０２は、ＳＭＡリボン２０６が縮むと、バイモルフアクチュエータ２０２の少なくとも固定されていない端部をｚストローク方向２０８に動かすように構成される。

図３は、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むオートフォーカスアセンブリの展開図を示す。図示の通り、ＳＭＡアクチュエータ３０２は、本明細書で説明する複数の実施形態による歪曲アクチュエータとして構成される。オートフォーカスアセンブリはまた、光学式手ぶれ補正機構（ＯＩＳ：ｏｐｔｉｃａｌ ｉｍａｇｅ ｓｔａｂｉｌｉｚａｔｉｏｎ）３０４と、当業界で公知のものを含む技術を使用して１つ以上の光学レンズを保持するように構成されたレンズキャリッジ３０６と、戻しばね３０８と、垂直方向滑り軸受３１０と、ガイドカバー３１２とを含む。本明細書で説明されるものを含む技術を使用して、ＳＭＡワイヤが作動され、及び歪曲アクチュエータ３０２を引いて撓ませると、ＳＭＡアクチュエータ３０２がｚストローク方向、例えば正のｚ方向に動くため、レンズキャリッジ３０６は、垂直方向滑り軸受ｎｍｇ３１０に接触しながらスライドするように構成される。戻しばね３０８は、当業界で公知のものを含む技術を使用して、レンズキャリッジ３０６上で、ストローク方向とは反対方向に力を加えるように構成される。戻しばね３０８は、様々な実施形態によれば、ＳＭＡワイヤが作動停止されるようにＳＭＡワイヤの張力が低下されると、ｚストローク方向とは反対方向にレンズキャリッジ３０６を動かすように構成される。ＳＭＡワイヤの張力が初期値まで低下されると、レンズキャリッジ３０６は、ｚストローク方向の最も低い高さまで動く。図４は、図３に示す一実施形態によるＳＭＡワイヤアクチュエータを含むオートフォーカスアセンブリを示す。

図５は、センサを含む、一実施形態によるＳＭＡワイヤアクチュエータを示す。様々な実施形態に関し、センサ５０２は、当業界で公知のものを含む技術使用して、ｚ方向におけるＳＭＡアクチュエータの動き、又はそのＳＭＡアクチュエータが動いている構成要素の動きを測定するように構成される。ＳＭＡアクチュエータは、本明細書で説明するものと同様の１本以上のＳＭＡワイヤ５０８を使用して作動するように構成された１つ以上の歪曲アクチュエータ５０６を含む。例えば、図４を参照して説明されたオートフォーカスアセンブリにおいて、センサは、当業界で公知のものを含む技術を使用して、レンズキャリッジ３０６がｚ方向５０４において初期位置から動く動きの量を決定するように構成される。いくつかの実施形態によれば、センサは、トンネル磁気抵抗（ＴＭＲ：ｔｕｎｎｅｌ ｍａｇｎｅｔｏ ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）センサである。

図６は、レンズキャリッジ６０４が装着された、一実施形態による歪曲アクチュエータとして構成されたＳＭＡアクチュエータ６０２の上面図及び側面図を示す。図７は、図６に示す実施形態によるＳＭＡアクチュエータ６０２のある区分の側面図を示す。図７に示す実施形態によれば、ＳＭＡアクチュエータ６０２はスライドベース７０２を含む。一実施形態によれば、スライドベース７０２は、当業界で公知のものを含む技術を使用して、ステンレス鋼などの金属で形成される。しかしながら、当業者は、スライドベース７０２を形成するために他の材料が使用され得ることを理解するであろう。さらに、いくつかの実施形態によるスライドベース７０２は、ＳＭＡアクチュエータ６０２と接続されたばねアーム６１２を有する。様々な実施形態によれば、ばねアーム６１２は、２つの機能を果たすように構成される。第１の機能は、物体、例えばレンズキャリッジ６０４を、ガイドカバーの垂直スライド面へと押し込むのを助けることである。この例に関し、ばねアーム６１２は、レンズキャリッジ６０４に上方へと前もって負荷をかけてこの面に押し付けるようにし、レンズが作動中に傾かないようにすることを保証する。いくつかの実施形態に関し、垂直スライド面７０８は、ガイドカバーと係合するように構成される。ばねアーム６１２の第２の機能は、ＳＭＡワイヤ６０８が、ＳＭＡアクチュエータ６０２をｚストローク方向、正のｚ方向に動かした後、例えば負のｚ方向に、ＳＭＡアクチュエータ６０２を引いて後退させるのを助けることである。それゆえ、ＳＭＡワイヤ６０８が作動されると、それらは収縮して、ＳＭＡアクチュエータ６０２をｚストローク方向に動かし、及びＳＭＡワイヤ６０８が作動停止されると、ばねアーム６１２が、ＳＭＡアクチュエータ６０２をｚストローク方向とは反対方向に動かすように構成される。

ＳＭＡアクチュエータ６０２はまた、歪曲アクチュエータ７１０を含む。様々な実施形態に関し、歪曲アクチュエータ７１０は、ステンレス鋼などの金属で形成される。さらに、歪曲アクチュエータ７１０は、歪曲アーム６１０と、１つ以上のワイヤ保持具６０６とを含む。図６及び図７に示す実施形態によれば、歪曲アクチュエータ７１０は、４個のワイヤ保持具６０６を含む。４個のワイヤ保持具６０６は、それぞれ、ＳＭＡワイヤ６０８の端部を受容し、ＳＭＡワイヤ６０８のその端部を保持するように構成されて、ＳＭＡワイヤ６０８が歪曲アクチュエータ７１０に取り付けられるようにする。様々な実施形態に関し、４個のワイヤ保持具６０６は、ＳＭＡワイヤ６０８の一部分をしっかりと締め付けるように構成される圧着部であり、ワイヤを圧着部に取り付けられるようにする。当業者は、当業界で公知の技術、例えば、限定されるものではないが、接着剤、はんだ付け、及び機械的な取り付けを使用してＳＭＡワイヤ６０８がワイヤ保持具６０６に取り付けられてもよいことを理解するであろう。スマート記憶合金（ＳＭＡ：ｓｍａｒｔ ｍｅｍｏｒｙ ａｌｌｏｙ）ワイヤ６０８は、一対のワイヤ保持具６０６間に延びて、ＳＭＡワイヤ６０８が作動されると、歪曲アクチュエータ７１０の歪曲アーム６１０が動くように構成されて、その一対のワイヤ保持具６０６が互いに近くに引かれるようにする。様々な実施形態によれば、ＳＭＡワイヤ６０８は、ＳＭＡワイヤ６０８に電流が流されると、歪曲アーム６１０の位置を動かして制御するように電気的に作動される。ＳＭＡワイヤ６０８は、電流が取り除かれる又は閾値を下回ると、作動停止される。これにより、その一対のワイヤ保持具６０６を離れるように動かし、及びＳＭＡワイヤ６０８が作動されると、歪曲アーム６１０はその反対方向に動く。様々な実施形態によれば、歪曲アーム６１０は、ＳＭＡワイヤがその初期位置で作動停止されると、スライドベース７０２に対して５度の初期角度を有するように構成される。そして、様々な実施形態によれば、フルストロークでは、又はＳＭＡワイヤが十分に作動されるとき、歪曲アーム６１０は、スライドベース７０２に対して１０～１２度を有するように構成される。

図６及び図７に示す実施形態によれば、ＳＭＡアクチュエータ６０２はまた、スライドベース７０２とワイヤ保持具６０６との間に構成された滑り軸受７０６を含む。滑り軸受７０６は、スライドベース７０２と歪曲アーム６１０及び／又はワイヤ保持具６０６との間のいずれの摩擦も最小限にするように構成される。いくつかの実施形態用の滑り軸受は、滑り軸受７０６に取り付けられる。様々な実施形態によれば、滑り軸受はポリオキシメチレン（ＰＯＭ：ｐｏｌｙｏｘｙｍｅｔｈｙｌｅｎｅ）で形成される。当業者は、歪曲アクチュエータとベースとの間のいずれの摩擦も低下させるために他の構造が使用され得ることを理解するであろう。

様々な実施形態によれば、スライドベース７０２は、アセンブリベース７０４、例えばオートフォーカスアセンブリ用のオートフォーカスベースと接続するように構成される。いくつかの実施形態によれば、アクチュエータベース７０４は、エッチングされたシムを含む。そのようなエッチングされたシムは、ＳＭＡアクチュエータ６０２がアセンブリ、例えばオートフォーカスアセンブリの一部であるときに、ワイヤと圧着部との間にクリアランスをもたらすために使用され得る。

図８は、ｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸に対する歪曲アクチュエータ８０２の一実施形態の複数の図を示す。図８における向きのように、歪曲アーム８０４は、ＳＭＡワイヤが本明細書で説明するように作動されたり作動停止されたりすると、ｚ軸で動くように構成される。図８に示す実施形態によれば、歪曲アーム８０４は、ハンモック部８０６などの中心部によって互いに接続される。様々な実施形態によれば、ハンモック部８０６は、歪曲アクチュエータが作用する物体の一部分、例えば本明細書で説明されるものを含む技術を使用して歪曲アクチュエータによって動かされるレンズキャリッジを支えるように構成される。いくつかの実施形態によれば、ハンモック部８０６は、作動中歪曲アクチュエータに横剛性（ｌａｔｅｒａｌ ｓｔｉｆｆｎｅｓｓ）をもたらすように構成される。他の実施形態に関し、歪曲アクチュエータはハンモック部８０６を含まない。これらの実施形態によれば、歪曲アームは、物体に作用してそれを動かすように構成される。例えば、歪曲アームは、レンズキャリッジの特徴に直接作用してそれを上方へ押すように構成される。

図９は、一実施形態によるＳＭＡバイモルフアクチュエータとして構成されたＳＭＡアクチュエータを示す。ＳＭＡバイモルフアクチュエータは、本明細書で説明したものを含むバイモルフアクチュエータ９０２を含む。図９に示す実施形態によれば、バイモルフアクチュエータ９０２のそれぞれの一方の端部９０６がベース９０８に取り付けられる。いくつかの実施形態によれば、一方の端部９０６はベース９０８に溶接される。しかしながら、当業者は、ベース９０８に一方の端部９０６を取り付けられるために他の技術が使用され得ることを理解するであろう。図９はまた、バイモルフアクチュエータ９０２が作動時にｚ方向に丸まって、キャリッジ９０４をｚ方向に持ち上げるように構成されるように配置されたレンズキャリッジ９０４を示す。いくつかの実施形態に関し、戻しばねが使用されて、バイモルフアクチュエータ９０２を初期位置へ押し戻す。戻しばねが、本明細書で説明するように、バイモルフアクチュエータをそれらの初期の作動停止位置へ押し下げるのを支援するように構成され得る。バイモルフアクチュエータの設置面積は小さいため、ＳＭＡアクチュエータは、現在のアクチュエータ技術よりも設置面積を小さくして作製することができる。

図１０は、位置センサ、例えばＴＭＲセンサを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むオートフォーカスアセンブリの切り欠き図を示す。オートフォーカスアセンブリ１００２は、可動ばね１００６に取り付けられた位置センサ１００４と、本明細書で説明したものなどのＳＭＡアクチュエータを含むオートフォーカスアセンブリのレンズキャリッジ１０１０に取り付けられた磁石１００８とを含む。位置センサ１００４は、当業界で公知のものを含む技術を使用して、位置センサ１００４からの磁石１００８の距離に基づいて、レンズキャリッジ１０１０がｚ方向１００５において初期位置から動く量を決定するように構成される。いくつかの実施形態によれば、位置センサ１００４は、光学式手ぶれ補正機構アセンブリの可動ばね１００６のばねアーム上の複数の電気トレースを使用して、コントローラ又はプロセッサー、例えば中央処理装置と電気的に接続される。

図１１ａ～図１１ｃは、いくつかの実施形態によるバイモルフアクチュエータの図を示す。様々な実施形態によれば、バイモルフアクチュエータ１１０２は、ビーム１１０４、及び１つ以上のＳＭＡ材料１１０６、例えばＳＭＡリボン１１０６ｂ（例えば、図１１ｂの実施形態によるＳＭＡリボンを含むバイモルフアクチュエータの斜視図に示すような）又はＳＭＡワイヤ１１０６ａ（例えば、図１１ａの実施形態によるＳＭＡワイヤを含むバイモルフアクチュエータの断面図に示すような）を含む。ＳＭＡ材料１１０６は、本明細書で説明するものを含む技術を使用して、ビーム１１０４に取り付けられる。いくつかの実施形態によれば、ＳＭＡ材料１１０６は、接着フィルム材料１１０８を使用してビーム１１０４に取り付けられる。様々な実施形態に関し、ＳＭＡ材料１１０６の端部は、当業界で公知のものを含む技術を使用して、ＳＭＡ材料１１０６に電流を供給するように構成されたコンタクト１１１０に電気的及び機械的に接続される。様々な実施形態によれば、コンタクト１１１０（例えば、図１１ａ及び図１１ｂに示すような）は、金メッキ銅パッドである。複数の実施形態によれば、およそ１ミリメートルの長さを有するバイモルフアクチュエータ１１０２は、より大きなストロークと、５０ミリニュートン（ｍＮ）の押す力とを生成するように構成され、及び例えば図１１ｃに示すように、レンズアセンブリの一部として使用される。いくつかの実施形態によれば、１ミリメートル超の長さを有するバイモルフアクチュエータ１１０２の使用によって、１ミリメートルの長さのものよりも大きなストロークを生成するが、それよりも弱い力を生成する。一実施形態に関し、バイモルフアクチュエータ１１０２は、２０マイクロメートル厚さのＳＭＡ材料１１０６、２０マイクロメートル厚さの絶縁体１１１２、例えばポリイミド絶縁体、及び３０マイクロメートル厚さのステンレス鋼ビーム１１０４すなわちベース金属を含む。様々な実施形態は、コンタクト１１１０を含む接触層とＳＭＡ材料１１０６との間に配置される第２の絶縁体１１１４を含む。いくつかの実施形態によれば、第２の絶縁体１１１４は、ＳＭＡ材料１１０６を、コンタクト１１１０として使用されない接触層の部分から絶縁するように構成される。いくつかの実施形態に関し、第２の絶縁体１１１４は、ポリイミド絶縁体のようなカバーコート層である。当業者は、所望の設計特性を満たすために他の寸法及び材料が使用され得ることを理解するであろう。

図１２は、一実施形態によるバイモルフアクチュエータの一実施形態の図を示す。図１２に示すような実施形態は、電力を供給するための中央給電部１２０４を含む。電力は、本明細書で説明されるものなどのＳＭＡ材料１２０２（ワイヤ又はリボン）の中心に供給される。ＳＭＡ材料１２０２の端部は、端部パッド１２０３における帰路としてのビーム１２０６すなわちベース金属に接地される。端部パッド１２０３は、接触層１２１４の残りの部分から電気的に絶縁される。複数の実施形態によれば、ビーム１２０６すなわちベース金属が、ＳＭＡワイヤのようなＳＭＡ材料１２０２の全長に沿ってＳＭＡ材料１２０２に近接していることにより、電流がオフにされる、すなわちバイモルフアクチュエータが停止するとき、ワイヤがより高速に冷却される。より迅速なワイヤの非活性化及びアクチュエータ応答時間という結果となる。ＳＭＡワイヤ又はリボンの熱プロファイルが改善される。例えば、熱プロファイルは、より均一になって、より多い総電流がワイヤへ信頼性高く送給され得る。均一なヒートシンクがなければ、ワイヤの複数の部分、例えば中心領域が過熱されて損傷される可能性があるため、信頼性高く動作させるために、電流の減少及び動きの減少が必要とされる。中央給電部１２０４は、より迅速な応答時間のために、ＳＭＡ材料１２０２のより速いワイヤの活性化／作動（より迅速な加熱）及び電力消費の減少（より低い抵抗経路長）の利益をもたらす。これにより、より高い動きの頻度で動作するための、より迅速なアクチュエータの動き及び能力を可能にする。

図１２に示すように、ビーム１２０６は中心金属１２０８を含み、該中心金属１２０８は、中央給電部１２０４を形成するようにビーム１２０６の残りの部分から絶縁されている。本明細書で説明したものなどの絶縁体１２１０が、ビーム１２０６の上側を覆って配置される。絶縁体１２１０は、１つ以上の開口又はビア１２１２を有して、ビーム１２０６への電気的なアクセスをもたらし、例えば接触層の接地セクション１２１４ｂに接続し、及び中心金属１２０８への接触をもたらして中央給電部１２０４を形成するように構成される。いくつかの実施形態によれば、本明細書で説明したものなどの接触層１２１４が、電力セクション１２１４ａ及び接地セクション１２１４ｂを含んで、電力供給コンタクト１２１６及び接地コンタクト１２１８によって、バイモルフアクチュエータへ作動／制御信号を提供する。本明細書で説明したものなどのカバーコート層１２２０が、接触層１２１４の上側を覆って配置されて、電気的な接続が望まれる接触層１２１４の複数の部分（例えば、１つ以上のコンタクト）を除いて、接触層を電気的に絶縁する。

図１３は、図１２に示すような、一実施形態によるバイモルフアクチュエータの端部パッド断面を示す。上述の通り、端部パッド１２０３は、端部パッド１２０３と接触層１２１４との間に形成された間隙１２２２によって、接触層１２１４の残りの部分から電気的に絶縁される。いくつかの実施形態によれば、間隙は、当業界で公知のものを含むエッチング技術を使用して形成される。端部パッド１２０３は、端部パッド１２０３をビーム１２０６と電気的に接続するように構成されたビアセクション１２２４を含む。ビアセクション１２２４は、絶縁体１２１０に形成されたビア１２１２に形成されている。ＳＭＡ材料１２０２は端部パッド１２１３に電気的に接続される。ＳＭＡ材料１２０２は、限定されるものではないが、はんだ付け、抵抗溶接、レーザ溶接、及びダイレクトプレーティングを含む技術を使用して、端部パッド１２１３に電気的に接続され得る。

図１４は、図１２に示すような、一実施形態によるバイモルフアクチュエータの中央給電部の断面を示す。中央給電部１２０４は、接触層１２１４を通して電力供給装置に電気的に接続され、並びに絶縁体１２１０に形成されたビア１２１２に形成された中央給電部１２０４にあるビアセクション１２２６によって、中心金属１２０８と電気的及び熱的に接続される。

本明細書で説明するアクチュエータは、複数の歪曲アクチュエータ及び又は複数のバイモルフアクチュエータを使用するアクチュエータアセンブリを形成するために使用され得る。一実施形態によれば、アクチュエータは、達成され得るストローク距離を長くするために、重なり合って積み重ねられ得る。

図１５は、一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータの展開図を示す。本明細書で説明する複数の実施形態によれば、２つの歪曲アクチュエータ１３０２、１３０４は、それらの互いに対向する動きを使用するように、互いに対して配置される。様々な実施形態に関し、２つの歪曲アクチュエータ１３０２、１３０４は、レンズキャリッジ１３０６を位置決めするために、互いに逆の関係で動くように構成される。例えば、第１の歪曲アクチュエータ１３０２は、第２の歪曲アクチュエータ１３０４へ送られる電力信号の逆電力信号を受信するように構成される。

図１６は、一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。歪曲アクチュエータ１３０２、１３０４は、各歪曲アクチュエータ１３０２、１３０４の歪曲アーム１３１０、１３１２が互いに対面し、及び各歪曲アクチュエータ１３０２、１３０４のスライドベース１３１４、１３１６が２つの歪曲アクチュエータの外面であるように構成される。様々な実施形態によれば、各ＳＭＡアクチュエータ１３０２、１３０４のハンモック部１３０８が、１つ以上の歪曲アクチュエータ１３０２、１３０４が作用する物体、例えば本明細書で説明されるものを含む技術を使用して歪曲アクチュエータによって動かされるレンズキャリッジ１３０６の一部分を支えるように構成される。

図１７は、一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータの側面図を示し、レンズキャリッジなどの物体を正のｚ方向又は上向きの方向に動かすＳＭＡワイヤ１３１８の方向を示す。

図１８は、一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータの側面図を示し、レンズキャリッジなどの物体を負のｚ方向又は下向きの方向に動かすＳＭＡワイヤ１３１８の方向を示す。

図１９は、一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを含むアセンブリの展開図を示す。歪曲アクチュエータ１９０２、１９０４は、各歪曲アクチュエータ１９０２、１９０４の歪曲アーム１９１０、１９１２が２つの歪曲アクチュエータの外面であり、及び各歪曲アクチュエータ１９０２、１９０４のスライドベース１９１４、１９１６が互いに対面するように構成される。様々な実施形態によれば、各ＳＭＡアクチュエータ１９０２、１９０４のハンモック部１９０８が、１つ以上の歪曲アクチュエータ１９０２、１９０４が作用する物体、例えば本明細書で説明されるものを含む技術を使用して歪曲アクチュエータによって動かされるレンズキャリッジ１９０６の一部分を支えるように構成される。いくつかの実施形態に関し、ＳＭＡアクチュエータは、第２の歪曲アクチュエータ１９０４を受容するように構成されたベース部１９１８を含む。ＳＭＡアクチュエータはまた、カバー部１９２０を含み得る。図２０は、ベース部及びカバー部を含む、一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。

図２１は、一実施形態による２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。いくつかの実施形態に関し、歪曲アクチュエータ１９０２、１９０４は、第１の歪曲アクチュエータ１９０２のハンモック部１９０８が第２の歪曲アクチュエータ１９０４のハンモック部から約９０度回転されるように、互いに対して配置される。９０度の形態は、レンズキャリッジ１９０６などの物体のピッチ及びロールの回転を可能にする。これにより、レンズキャリッジ１９０６の動きをより良好に制御する。様々な実施形態に関し、差動電力信号が各歪曲アクチュエータ対のＳＭＡワイヤに与えられ、それによって、ＯＩＳの動きの傾斜を生じさせるためのレンズキャリッジのピッチ及びロールの回転を提供するようにする。

２つの歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータの実施形態は、戻しばねを不要とする。２つの歪曲アクチュエータの使用によって、位置フィードバックにＳＭＡワイヤ抵抗を使用するときのヒステリシスを改善し得る／減少させ得る。２つの歪曲アクチュエータを含む、互いに対抗する力を生じるＳＭＡアクチュエータは、戻しばねを含むものよりも低いヒステリシスに起因して、より正確な位置制御を支援する。いくつかの実施形態、例えば図２２に示す実施形態に関し、２つの歪曲アクチュエータ２２０２、２２０４を含むＳＭＡアクチュエータは、各歪曲アクチュエータ２２０２、２２０４の左側及び右側のＳＭＡワイヤ２２１８ａ、２２１８ｂへ差動電力を使用して２軸の傾斜をもたらす。例えば、左側ＳＭＡワイヤ２２１８ａは、右側ＳＭＡワイヤ２２１８ｂよりも高い電力で作動される。これにより、レンズキャリッジ２２０６の左側面を下方に動かし、及び右側面を上方に動かす（傾ける）。第１の歪曲アクチュエータ２２０２のＳＭＡワイヤは等しい力で保持されて、いくつかの実施形態に関し、傾く動きを引き起こすために異なって押すためのＳＭＡワイヤ２２１８ａ、２２１８ｂ用の支点の機能を果たす。ＳＭＡワイヤに与えられる電力信号を逆にすることによって、例えば第２の歪曲アクチュエータ２２０２のＳＭＡワイヤに等しい電力を供給し、並びに第２の歪曲アクチュエータ２２０４の左側及び右側のＳＭＡワイヤ２２１８ａ、２２１８ｂへ差動電力を使用することによって、他方の方向におけるレンズキャリッジ２２０６の傾斜を生じる。これは、いずれかの運動軸においてレンズキャリアなどの物体を傾ける能力を提供するか、又は良好な動的な傾斜のためにレンズとセンサとの間のいずれの傾斜も調整し得、これにより、全ピクセルにわたってより良好な画質を生じる。

図２３は、一実施形態による２つの歪曲アクチュエータ及びカプラを含むＳＭＡアクチュエータを示す。ＳＭＡアクチュエータは、本明細書で説明したものなどの２つの歪曲アクチュエータを含む。第１の歪曲アクチュエータ２３０２は、カプラ、例えばカプラリング２３０５を使用して第２の歪曲アクチュエータ２３０４と接続するように構成される。歪曲アクチュエータ２３０２、２３０４は、第１の歪曲アクチュエータ２３０２のハンモック部２３０８が第２の歪曲アクチュエータ２３０４のハンモック部２３０９から約９０度回転されるように、互いに対して配置される。移動させるためのペイロード、例えばレンズ又はレンズアセンブリが、第１の歪曲アクチュエータ２３０２のスライドベースに配置されるように構成されたレンズキャリッジ２３０６に取り付けられる。

様々な実施形態に関し、等しい電力が第１の歪曲アクチュエータ２３０２及び第２の歪曲アクチュエータ２３０４のＳＭＡワイヤに供給され得る。これは、正のｚ方向におけるＳＭＡアクチュエータのｚストロークを最大にし得る。いくつかの実施形態に関し、ＳＭＡアクチュエータのストロークは、２つの歪曲アクチュエータを含む他のＳＭＡアクチュエータのストロークの２倍以上に等しいｚストロークを有し得る。いくつかの実施形態に関し、追加的なばねが、電力信号がＳＭＡアクチュエータから除去されるときにアクチュエータアセンブリ及びペイロードを下方に押し戻すのを支援するように押すために、２つの歪曲部に追加され得る。等しく且つ反対の電力信号が、第１の歪曲アクチュエータ２３０２及び第２の歪曲アクチュエータ２３０４のＳＭＡワイヤに印加される。これは、ＳＭＡアクチュエータを、ある歪曲アクチュエータによって正のｚ方向に動かし、及びある歪曲アクチュエータによって負のｚ方向に動かすことができるようにし、これにより、ＳＭＡアクチュエータの位置の正確な制御を可能にする。さらに、等しく且つ反対の電力信号（差動電力信号）が、第１の歪曲アクチュエータ２３０２及び第２の歪曲アクチュエータ２３０４の左側及び右側のＳＭＡワイヤに印加され、レンズキャリッジ２３０６などの物体を、２つの軸の少なくとも一方の方向に傾ける。

図２３に示すものなどの、２つの歪曲アクチュエータ及びカプラを含むＳＭＡアクチュエータの実施形態は、追加的な歪曲アクチュエータ及び複数の対の歪曲アクチュエータと接続されて、単一のＳＭＡアクチュエータのものよりも大きい所望のストロークを達成できる。

図２４は、一実施形態による積層板ハンモックを備える歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。本明細書で説明するように、いくつかの実施形態に関し、ＳＭＡシステムは、オートフォーカス駆動装置として、１つ以上のカメラレンズ素子と併用されるように構成される。図２４に示すように、ＳＭＡシステムは、様々な実施形態によれば、ＳＭＡワイヤが作動停止されるためにＳＭＡワイヤ２４０８の張力が低下されるときに、レンズキャリッジ２４０６をｚストローク方向とは反対方向に動かすように構成された戻しばね２４０３を含む。いくつかの実施形態に関し、ＳＭＡシステムはハウジング２４０９を含み、このハウジングは、戻しばね２４０３を受容し、滑り軸受の機能を果たして、レンズキャリッジをｚストローク方向に案内するように構成される。ハウジング２４０９はまた、歪曲アクチュエータ２４０２に配置されるように構成される。歪曲アクチュエータ２４０２は、本明細書で説明したものと同様のスライドベース２４０１を含む。歪曲アクチュエータ２４０２は、ハンモック部、例えば積層板で形成された積層ハンモック２４０６と接続された歪曲アーム２４０４を含む。歪曲アクチュエータ２４０２はまた、積層形成された圧着接続部２４１２などのＳＭＡワイヤ取り付け構造を含む。

図２４に示すように、スライドベース２４０１は、任意選択的なアダプタプレート２４１４上に配置される。アダプタプレートは、ＳＭＡシステム又は歪曲アクチュエータ２４０２を、ＯＩＳ、追加的なＳＭＡシステム、又は他の構成要素などの別のシステムと嵌合するように構成される。図２５は、一実施形態による積層板ハンモックを備える歪曲アクチュエータ２４０２を含むＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステム２５０１を示す。

図２６は、一実施形態による積層板ハンモックを含む歪曲アクチュエータを示す。歪曲アクチュエータ２４０２は歪曲アーム２４０４を含む。本明細書で説明するように、歪曲アーム２４０４は、ＳＭＡワイヤ２４１２が作動されたり作動停止されたりするときに、ｚ軸において動くように構成される。ＳＭＡワイヤ２４０８は、積層形成された圧着接続部２４１２を使用して、歪曲アクチュエータに取り付けられる。図２６に示す実施形態によれば、歪曲アーム２４０４は、中心部、例えば積層板ハンモック２４０６によって、互いに接続される。様々な実施形態によれば、積層板ハンモック２４０６は、歪曲アクチュエータが作用する物体、例えば本明細書で説明されるものを含む技術を使用して歪曲アクチュエータによって動かされるレンズキャリッジの一部分を支えるように構成される。

図２７は、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの積層板ハンモックを示す。いくつかの実施形態に関し、積層板ハンモック２４０６の材料は低剛性材料であるため、作動の動きに抵抗しない。例えば、積層板ハンモック２４０６は、第１のポリイミド層に配置された銅層を使用して形成され、銅には第２のポリイミド層が配置されている。いくつかの実施形態に関し、積層板ハンモック２４０６は、当業界で公知のものを含む技術を使用して、堆積及びエッチングを使用して歪曲アーム２４０４上に形成される。他の実施形態に関し、積層板ハンモック２４０６は、歪曲アーム２４０４とは別々に形成されて、溶接、接着剤、及び当業界で公知の他の技術を含む技術を使用して歪曲アーム２４０４に取り付けられる。様々な実施形態に関し、グルー又は他の接着剤を積層板ハンモック２４０６に使用して、歪曲アーム２４０４がレンズキャリッジに対して確実に適所に留まるようにする。

図２８は、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの積層形成された圧着接続部を示す。積層形成された圧着接続部２４１２は、ＳＭＡワイヤ２４０８を歪曲アクチュエータに取り付け、及びＳＭＡワイヤ２４０８との電気回路接合部を生み出すように構成される。様々な実施形態に関し、積層形成された圧着接続部２４１２は、絶縁体の１つ以上の層で形成された積層板と、圧着部に形成された導電層の１つ以上の層とを含む。

例えば、ポリイミド層が、圧着部２４１３を形成するステンレス鋼部分の少なくとも一部分に配置される。次に、銅などの導電層がポリイミド層に配置され、これは、歪曲アクチュエータに配置される１つ以上の信号トレース２４１５と電気的に接続される。また、圧着部を、ＳＭＡワイヤと接触するように変形することによって、ＳＭＡワイヤを導電層と電気接触させる。それゆえ、１つ以上の信号トレースと接続された導電層は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用してＳＭＡワイヤに電力信号を印加するために使用される。いくつかの実施形態に関し、第２のポリイミド層が、導電層がＳＭＡワイヤと接触しない領域において、導電層にわたって形成される。いくつかの実施形態に関し、積層形成された圧着接続部２４１２は、当業界で公知のものを含む堆積及びエッチング技術を使用して、圧着部２４１３に形成される。他の実施形態に関し、積層形成された圧着接続部２４１２及び１つ以上の電気トレースは、圧着部２４１３及び歪曲アクチュエータとは別々に形成されて、溶接、接着剤、及び当業界で公知の他の技術を含む技術を使用して、圧着部２４１２及び歪曲アクチュエータに取り付けられる。

図２９は、積層板ハンモックを備える歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。図２９に示すように、電力信号が印加されるとき、ＳＭＡワイヤは収縮するか又は短縮して、歪曲アーム及び積層板ハンモックを正のｚ方向に動かす。同様に、物体と接触している積層板ハンモックは、その物体、例えばレンズキャリッジを正のｚ方向に動かす。電力信号を減少させるか又は除去すると、ＳＭＡワイヤは長くなって、歪曲アーム及び積層板ハンモックを負のｚ方向に動かす。

図３０は、一実施形態による歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの展開図を示す。本明細書で説明するように、いくつかの実施形態に関し、ＳＭＡシステムは、オートフォーカス駆動装置として、１つ以上のカメラレンズ素子と併用されるように構成される。図３０に示すように、ＳＭＡシステムは戻しばね３００３を含み、この戻しばねは、様々な実施形態によれば、ＳＭＡワイヤが作動停止されてＳＭＡワイヤ３００８の張力が低下されるときに、レンズキャリッジ３００５をｚストローク方向とは反対方向に動かすように構成される。いくつかの実施形態に関し、ＳＭＡシステムは、戻しばね３００３に配置された補強材３０００を含む。いくつかの実施形態に関し、ＳＭＡシステムは、戻しばね３００３を受容して滑り軸受の機能を果たしてレンズキャリッジをｚストローク方向に案内するように構成された２つの部分で形成されたハウジング３００９を含む。ハウジング３００９はまた、歪曲アクチュエータ３００２に配置されるように構成される。歪曲アクチュエータ３００２は、本明細書で説明したものと同様の、２つの部分で形成されるスライドベース３００１を含む。スライドベース３００１は分かれて、２つの側面を電気的に絶縁し（例えば一方の側面は接地であり、他方の側面は、電力である）、これは、いくつかの実施形態によれば、電流がスライドベース３００１の複数の部分を通ってワイヤへ流れるためである。

歪曲アクチュエータ３００２は歪曲アーム３００４を含む。各対の歪曲アクチュエータ３００２は、歪曲アクチュエータ３００２の別個の部分に形成される。歪曲アクチュエータ３００２はまた、ＳＭＡワイヤ取り付け構造、例えば抵抗溶接ワイヤ圧着部３０１２を含む。ＳＭＡシステムは、任意選択的に、ＳＭＡワイヤ３００８を１つ以上の制御回路に電気的に接続するためのフレックス回路３０２０を含む。

図３０に示すように、スライドベース３００１は、任意選択的なアダプタプレート３０１４に配置される。アダプタプレートは、ＳＭＡシステム又は歪曲アクチュエータ３００２が、別のシステム、例えばＯＩＳ、追加的なＳＭＡシステム、又は他の構成要素と嵌合するように構成される。図３１は、一実施形態による歪曲アクチュエータ３００２を含むＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステム３１０１を示す。

図３２は、一実施形態による歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを含む。歪曲アクチュエータ３００２は歪曲アーム３００４を含む。本明細書で説明するように、歪曲アーム３００４は、ＳＭＡワイヤ３０１２が作動されたり作動停止されたりするときにｚ軸で動くように構成される。ＳＭＡワイヤ２４０８は抵抗溶接ワイヤ圧着部３０１２に取り付けられる。図３２に示す実施形態によれば、歪曲アーム３００４は、２ヨークキャプチャジョイント（ｔｗｏ ｙｏｋｅ ｃａｐｔｕｒｅ ｊｏｉｎｔ）を使用して、中心部を用いずに、レンズキャリッジなどの物体と嵌合するように構成される。

図３３は、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの一対の歪曲アームの２ヨークキャプチャジョイントを示す。図３３はまた、任意選択的なフレックス回路をスライドベースに取り付けるために使用されるメッキパッドを示す。いくつかの実施形態に関し、メッキパッドは、金を使用して形成される。図３４は、ＳＭＡワイヤを歪曲アクチュエータに取り付けるために使用される、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータのための抵抗溶接圧着部を示す。いくつかの実施形態に関し、グルー又は接着剤はまた、機械的な強度及び仕事を支援するために、動作及び衝撃荷重中の疲労歪み解放部（ｆａｔｉｇｕｅ ｓｔｒａｉｎ ｒｅｌｉｅｆ）として、溶接部の上部に配置され得る。

図３５は、２ヨークキャプチャジョイントを備える歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。図３５に示すように、電力信号が印加されると、ＳＭＡワイヤは収縮又は短縮して、歪曲アームを正のｚ方向に動かす。２ヨークキャプチャジョイントは物体と接触し、次に、その物体、例えばレンズキャリッジを正のｚ方向に動かす。電力信号が減少又は除去されると、ＳＭＡワイヤは長くなって、歪曲アームを負のｚ方向に動かす。ヨークキャプチャ特徴は、歪曲アームがレンズキャリッジに対して正しい位置に確実に留まるようにする。

図３６は、一実施形態によるＳＭＡバイモルフ液体レンズを示す。ＳＭＡバイモルフ液体レンズ３５０１は、液体レンズサブアセンブリ３５０２と、ハウジング３５０４と、ＳＭＡアクチュエータ３５０６を備える回路とを含む。様々な実施形態に関し、ＳＭＡアクチュエータは、４個のバイモルフアクチュエータ３５０８、例えば本明細書で説明する実施形態を含む。バイモルフアクチュエータ３５０８は、可撓膜３５１２上に位置する成形リング３５１０を押すように構成される。リングは、膜３５１２／液体３５１４を曲げて（ｗａｒｐｓ）、膜３５１２／液体３５１４を通る光路を変化させる。液体包含リング３５１６を使用して、膜３５１２とレンズ３５１８との間に液体３５１４を含むようにする。バイモルフアクチュエータからの等しい力は、Ｚ方向（レンズに対して垂直）に画像の焦点を変化させ、それにより、オートフォーカスとして機能することを可能にする。バイモルフアクチュエータ３５０８からの差動力が、光線をＸ、Ｙ軸方向において動かすことができ、それにより、いくつかの実施形態による光学式手ぶれ補正機構（ｏｐｔｉｃａｌ ｉｍａｇｅ ｓｔａｂｉｌｉｚｅｒ）として機能することを可能にする。ＯＩＳ機能及びＡＦ機能の双方とも、各アクチュエータを適切に制御して、同時に達成され得る。いくつかの実施形態に関し、３個のアクチュエータが使用される。ＳＭＡアクチュエータ３５０６を備える回路は、ＳＭＡアクチュエータを作動させるために、制御信号用の１つ以上のコンタクト３５２０を有する。４個のＳＭＡアクチュエータを含むいくつかの実施形態によれば、ＳＭＡアクチュエータ３５０６を備える回路は、各ＳＭＡアクチュエータ用の４個の電力回路制御コンタクトと、共通のリターンコンタクトとを含む。

図３７は、一実施形態による斜視的なＳＭＡバイモルフ液体レンズを示す。図３８は、一実施形態によるＳＭＡバイモルフ液体レンズの底面の断面図を示す。
図３９は、一実施形態によるバイモルフアクチュエータを備えるＳＭＡアクチュエータ３９０２を含むＳＭＡシステムを示す。ＳＭＡアクチュエータ３９０２は、本明細書で説明する技術を使用する４個のバイモルフアクチュエータを含む。図４０に示すように、バイモルフアクチュエータのうちの２個は、正のｚストロークアクチュエータ３９０４として構成され、及び２個は、負のｚストロークアクチュエータ３９０６として構成され、これは、一実施形態によるバイモルフアクチュエータを備えるＳＭＡアクチュエータ３９０２を示す。反対側に位置するアクチュエータ３９０６、３９０４は、全ストローク範囲にわたって両方向において動きを制御するように構成される。これは、傾斜を補償するために制御コードを調整する能力を提供する。様々な実施形態に関し、構成要素の上部に取り付けられた２本のＳＭＡワイヤ３９０８は、正のｚストローク変位を可能にする。構成要素の底部に取り付けられた２本のＳＭＡワイヤは、負のｚストローク変位を可能にする。いくつかの実施形態に関し、各バイモルフアクチュエータは、物体に係合するためにタブを使用して、物体、例えばレンズキャリッジ３９１０に取り付けられる。ＳＭＡシステムは、ｚストローク軸に対して垂直な軸において、例えばｘ軸及びｙ軸の方向において、レンズキャリッジ３９１０の安定性を提供するように構成された上部ばね３９１２を含む。さらに、上部スペーサ３９１４が、上部ばね３９１２とＳＭＡアクチュエータ３９０２との間に配置されるように構成される。底部スペーサ３９１６が、ＳＭＡアクチュエータ３９０２と底部ばね３９１８との間に配置されるように構成される。底部ばね３９１８は、ｚストローク軸に対して垂直な軸において、例えばｘ軸及びｙ軸の方向において、レンズキャリッジ３９１０の安定性を提供するように構成される。底部ばね３９１８は、本明細書で説明したものなど、ベース３９２０に配置されるように構成される。

図４１は、ＳＭＡワイヤ４２０６がバイモルフアクチュエータを越えるワイヤ長で延びるための、バイモルフアクチュエータ４１０３の長さ４１０２、及びボンディングパッド４１０４のロケーションを示す。バイモルフアクチュエータよりも長いワイヤが使用されて、ストローク及び力を増大させる。それゆえ、バイモルフアクチュエータ４１０３を越える、そのＳＭＡワイヤ４２０６の延長部の長さ４１０８を使用して、バイモルフアクチュエータ４１０３用のストローク及び力を設定する。

図４２は、一実施形態によるＳＭＡバイモルフアクチュエータ４２０２を含むＳＭＡシステムの展開図を示す。様々な実施形態によれば、ＳＭＡシステムは、別個の金属材料及び非導電接着剤を使用して、ＳＭＡワイヤに独立して電力供給するための１つ以上の電気回路を生み出すように構成される。いくつかの実施形態は、ＡＦサイズの影響力がなく、及び本明細書で説明したものなどの４個のバイモルフアクチュエータを含む。バイモルフアクチュエータのうちの２個は正のｚストロークアクチュエータ、及び２個は負のｚストロークアクチュエータとして構成される。図４３は、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの小区分の展開図を示す。小区分は、負のアクチュエータ信号接続部４３０２と、バイモルフアクチュエータ４３０６を備えるベース４３０４とを含む。負のアクチュエータ信号接続部４３０２は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用してバイモルフアクチュエータ４３０６のＳＭＡワイヤを接続するためのワイヤボンディングパッド４３０８を含む。負のアクチュエータ信号接続部４３０２は、接着層４３１０を使用してベース４３０４に取り付けられる。小区分はまた、本明細書で説明されるものを含む技術を使用してバイモルフアクチュエータ４３０６のＳＭＡワイヤ４３１２を接続するためのワイヤボンディングパッド４３１６を備える正のアクチュエータ信号接続部４３１４を含む。正のアクチュエータ信号接続部４３１４は、接着層４３１８を使用してベース４３０４に取り付けられる。ベース４３０４、負のアクチュエータ信号接続部４３０２、及び正のアクチュエータ信号接続部４３１４のそれぞれは、金属、例えばステンレス鋼で形成される。ベース４３０４、負のアクチュエータ信号接続部４３０２、及び正のアクチュエータ信号接続部４３１４のそれぞれにある接続パッド４３２２は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用してバイモルフアクチュエータ４３０６を作動させるために、制御信号と接地を電気的に接続するように構成される。いくつかの実施形態に関し、接続パッド４３２２は金メッキされる。図４４は、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータの小区分を示す。いくつかの実施形態に関し、金メッキパッドは、はんだボンディング又は他の公知の電気的終端方法のために、ステンレス鋼層に形成される。さらに、形成されたワイヤボンディングパッドは、電力信号のためのＳＭＡワイヤを電気的に接続するために、信号ジョイントに使用される。

図４５は、一実施形態による５軸センサシフトシステムを示す。５軸センサシフトシステムは、物体、例えば画像センサを１つ以上のレンズに対して５軸で動かすように構成される。これは、Ｘ／Ｙ／Ｚ軸の並進及びピッチ／ロールの傾斜を含む。任意選択的に、システムは、Ｚの動きを行うために、上部にある別個のＡＦと一緒に、Ｘ／Ｙ軸の並進及びピッチ／ロールの傾斜で、４軸のみを使用するように構成される。他の実施形態は、画像センサに対して１つ以上のレンズを動かすように構成された５軸センサシフトシステムを含む。いくつかの実施形態に関し、静的なレンズスタックは、上部カバーに取り付けられ、（内部にあるオレンジ可動キャリッジには触れずに）ＩＤ内に挿入する。

図４６は、一実施形態による５軸センサシフトシステムの展開図を示す。５軸センサシフトシステムは、２つの回路構成要素、即ちフレキシブルセンサ回路４６０２及びバイモルフアクチュエータ回路４６０４、並びに本明細書で説明されるものを含む技術を使用してバイモルフ回路構成要素に築かれた８～１２個のバイモルフアクチュエータ４６０６を含む。５軸センサシフトシステムは、１つ以上のレンズを保持するように構成された可動キャリッジ４６０８と、外側ハウジング４６１０とを含む。バイモルフアクチュエータ回路４６０４は、一実施形態によれば、本明細書で説明したものなどの８～１２個のＳＭＡアクチュエータを含む。ＳＭＡアクチュエータは、本明細書で説明する他の５軸システムと同様に、５軸、例えばｘ方向、ｙ方向、ｚ方向、ピッチ及びロールで可動キャリッジ４６０８を動かすように構成される。

図４７は、一実施形態による、全ての動きに関してこの回路に組み込まれるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示す。ＳＭＡアクチュエータの実施形態は、８～１２個のバイモルフアクチュエータ４６０６を含み得る。しかしながら、他の実施形態は、それよりも多数又は少数を含み得る。図４８は、対応する外側ハウジング４８０４内に収まるように部分的に形成される、一実施形態による、全ての動きに関してこの回路に組み込まれるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータ４８０２を示す。図４９は、一実施形態による５軸センサシフトシステムの断面を示す。

図５０は、バイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ５００２を示す。ＳＭＡアクチュエータ５００２は、画像センサ、レンズ、又は他の様々なペイロードをｘ及びｙ方向に動かすために、４個の側面装着ＳＭＡバイモルフアクチュエータ５００４を使用するように構成される。図５１は、画像センサ、レンズ、又は他の様々なペイロードを異なるｘ位置及びｙ位置へ動かしたバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータの上面図を示す。

図５２は、ボックスバイモルフオートフォーカスとして構成された、一実施形態によるバイモルフアクチュエータ５２０２を含むＳＭＡアクチュエータを示す。本明細書で説明したものなどの４個の上部及び底部装着ＳＭＡバイモルフアクチュエータは、オートフォーカスの動きのためにｚストローク方向における動きを生じるために、一緒に動くように構成される。図５３は、一実施形態によるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示し、その２個の上部装着バイモルフアクチュエータ５３０２は、１つ以上のレンズを押し下げるように構成される。図５４は、一実施形態によるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示し、及びその２個の底部装着バイモルフアクチュエータ５４０２は、１つ以上のレンズを押し上げるように構成される。図５５は、一実施形態によるバイモルフアクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータを示して、本明細書で説明したものなどの４個の上部及び底部装着ＳＭＡバイモルフアクチュエータ５５０２が、１つ以上のレンズを動かして傾斜の動きを生じるために使用されることを示す。

図５６は、２軸レンズシフトＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。いくつかの実施形態に関し、２軸レンズシフトＯＩＳは、レンズをＸ／Ｙ軸で動かすように構成される。いくつかの実施形態に関し、Ｚ軸の動きは、本明細書で説明したものなどの別個のＡＦにより生じる。４個のバイモルフアクチュエータは、ＯＩＳの動きのために、オートフォーカスの側面を押す。図５７は、２軸レンズシフトＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータ５８０６を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ５８０２を含むＳＭＡシステムの展開図を示す。図５８は、２軸レンズシフトＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータ５８０６を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ５８０２を含むＳＭＡシステムの断面を示す。図５９は、システムに収まるように成形される前に製造されるような、２軸レンズシフトＯＩＳとして構成されたＳＭＡシステムにおいて使用するための、一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータ５８０２を示す。そのようなシステムは、高ＯＩＳストロークＯＩＳ（例えば、±２００ｕｍ以上）を有するように構成され得る。さらに、そのような実施形態は、４個の滑り軸受、例えばＰＯＭ滑り軸受を使用して、広範囲の動き及び良好なＯＩＳの動的な傾斜を有するように構成される。実施形態は、ＡＦ設計（例えば、ＶＣＭ又はＳＭＡ）と簡単に統合されるように構成される。

図６０は、５軸レンズシフトＯＩＳ及びオートフォーカスとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。いくつかの実施形態に関し、５軸レンズシフトＯＩＳ及びオートフォーカスは、レンズをＸ／Ｙ／Ｚ軸で動かすように構成される。いくつかの実施形態に関し、ピッチ及びヨー軸の動きは、動的な傾斜調整を可能とするためである。８個のバイモルフアクチュエータが、本明細書で説明する技術を使用してオートフォーカス及びＯＩＳの動きをもたらすために使用される。図６１は、５軸レンズシフトＯＩＳ及びオートフォーカスとして構成された、一実施形態によるバイモルフアクチュエータ６２０４を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ６２０２を含むＳＭＡシステムの展開図を示す。図６２は、５軸レンズシフトＯＩＳ及びオートフォーカスとして構成されたバイモルフアクチュエータ６２０４を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ６２０２を含むＳＭＡシステムの断面を示す。図６３は、システム内に収まるように成形される前に製造されるような、５軸レンズシフトＯＩＳ及びオートフォーカスとして構成されたＳＭＡシステムにおいて使用するための、一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータ６２０２を示す。そのようなシステムは、高ＯＩＳストロークＯＩＳ（例えば、±２００ｕｍ以上）及び高オートフォーカスストローク（例えば、４００ｕｍ以上）を有するように構成され得る。さらに、こうした実施形態は、いかなる傾斜もなくすように調整し、別個のオートフォーカスアセンブリを不要にすることができる。

図６４は、外側へ押すボックスとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。いくつかの実施形態に関し、バイモルフアクチュエータアセンブリは、レンズキャリッジなどの物体を包み込むように構成される。回路アセンブリは、レンズキャリッジと一緒に低Ｘ／Ｙ／Ｚ剛性のための可撓部を動かすためである。回路の後端パッドは静的である。外側へ押すボックスは、４個のバイモルフアクチュエータ又は８個のバイモルフアクチュエータ双方用の構成にされ得る。そのため、外側へ押すボックスは、Ｘ及びＹ軸で動くＯＩＳの側面では、４バイモルフアクチュエータとして構成され得る。外側へ押すボックスは、ｚ軸で動くオートフォーカス用の上部及び底部にある４バイモルフアクチュエータとして構成され得る。外側へ押すボックスは、ｘ、ｙ、及びｚ軸の動きで、ＯＩＳ及びオートフォーカス用の上部、底部、及び複数の側面の８バイモルフアクチュエータとして構成され得、及び３軸の傾斜（ピッチ／ロール／ヨー）を可能にする。図６５は、外側へ押すボックスとして構成されたバイモルフアクチュエータ６６０４を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ６６０２を含むＳＭＡシステムの展開図を示す。それゆえ、ＳＭＡアクチュエータは、バイモルフアクチュエータが外側ハウジング６５０４に作用して、本明細書で説明する技術を使用してレンズキャリッジ６５０６を動かすように構成される。図６６は、レンズキャリッジ６６０４を受容するように部分的に成形された、外側へ押すボックスとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ６６０２を含むＳＭＡシステムを示す。図６７は、システム内に収まるように成形される前に製造されるような、外側へ押すボックスとして構成された、一実施形態によるバイモルフアクチュエータ６６０４を含むＳＭＡアクチュエータ６６０２を含むＳＭＡシステムを示す。

図６８は、３軸センサシフトＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ６８０２を含むＳＭＡシステムを示す。いくつかの実施形態に関し、Ｚ軸の動きは、別個のオートフォーカスシステムからくる。４個のバイモルフアクチュエータは、センサキャリッジ６８０４の複数の側面を押して、本明細書で説明する技術を使用してＯＩＳに動きをもたらすように構成される。図６９は、３軸センサシフトＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ６８０２を含むＳＭＡの展開図を示す。図７０は、３軸センサシフトＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータ６８０６を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ６８０２を含むＳＭＡシステムの断面を示す。図７１は、システム内に収まるように成形される前に製造されるような、３軸センサシフトＯＩＳとして構成されたＳＭＡシステムにおいて使用するための、一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータ６８０２の構成要素を示す。図７２は、３軸センサシフトＯＩＳとして構成された、一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのフレキシブルセンサ回路を示す。そのようなシステムは、高ＯＩＳストロークＯＩＳ（例えば、±２００ｕｍ以上）及び高オートフォーカスストローク（例えば、４００ｕｍ以上）を有するように構成され得る。さらに、そのような実施形態は、４個の滑り軸受、例えばＰＯＭ滑り軸受を使用して、広範囲の２つの軸の動き及び良好なＯＩＳの動的な傾斜を有するように構成される。実施形態は、ＡＦ設計（例えば、ＶＣＭ又はＳＭＡ）と簡単に統合されるように構成される。

図７３は、６軸センサシフトＯＩＳ及びオートフォーカスとして構成されたバイモルフアクチュエータ７３０４を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ７３０２を含むＳＭＡシステムを示す。いくつかの実施形態に関し、６軸センサシフトＯＩＳ及びオートフォーカスは、Ｘ／Ｙ／Ｚ／ピッチ／ヨー／ロール軸においてレンズを動かすように構成される。いくつかの実施形態に関し、ピッチ及びヨー軸の動きは、動的な傾斜調整を可能とするためである。８個のバイモルフアクチュエータが、本明細書で説明する技術を使用してオートフォーカス及びＯＩＳの動きをもたらすために使用される。図７４は、６軸センサシフトＯＩＳ及びオートフォーカスとして構成されたバイモルフアクチュエータ７４０４を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ７４０２を含むＳＭＡシステムの展開図を示す。図７５は、６軸センサシフトＯＩＳ及びオートフォーカスとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ７４０２を含むＳＭＡシステムの断面を示す。図７６は、システム内に収まるように成形される前に製造されるような、６軸センサシフトＯＩＳ及びオートフォーカスとして構成されたＳＭＡシステムにおいて使用するための、一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータ７４０２を示す。図７７は、３軸センサシフトＯＩＳとして構成された、一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのフレキシブルセンサ回路を示す。そのようなシステムは、高ＯＩＳストロークＯＩＳ（例えば、±２００ｕｍ以上）及び高オートフォーカスストローク（例えば、４００ｕｍ以上）を有するように構成され得る。さらに、そのような実施形態は、どんな傾斜も調整し、及び別個のオートフォーカスアセンブリの必要性を除去することができるようにする。

図７８は、２軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。いくつかの実施形態に関し、２軸カメラ傾斜ＯＩＳは、ピッチ／ヨー軸でカメラを動かすように構成される。４個のバイモルフアクチュエータは、本明細書で説明する技術を使用するＯＩＳのピッチ及びヨーの動きのためのカメラ全体の動きのために、オートフォーカスの上部及び底部を押すために使用される。図７９は、２軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータ７９０４を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ７９０２を含むＳＭＡシステムの展開図を示す。図８０は、２軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの断面を示す。図８１は、システム内に収まるように成形される前に製造されるような、２軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成されたＳＭＡシステムにおいて使用するための、一実施形態によるボックスバイモルフアクチュエータを示す。図８２は、２軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成された、一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのフレキシブルセンサ回路を示す。そのようなシステムは、高ＯＩＳストロークＯＩＳ（例えば、±３度以上）を有するように構成され得る。実施形態は、オートフォーカス（ＡＦ）設計（例えば、ＶＣＭ又はＳＭＡ）と簡単に統合されるように構成される。

図８３は、３軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムを示す。いくつかの実施形態に関し、２軸カメラ傾斜ＯＩＳは、ピッチ／ヨー／ロール軸でカメラを動かすように構成される。４個のバイモルフアクチュエータは、本明細書で説明する技術を使用するＯＩＳのピッチ及びヨーの動きのためのカメラ全体の動きのために、オートフォーカスの上部及び底部を押すために使用され、及び４個のバイモルフアクチュエータは、本明細書で説明する技術を使用するＯＩＳのロールの動きのためのカメラ全体の動きのためにオートフォーカスの複数の側面を押すために使用される。図８４は、３軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータ８４０４を含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ８４０２を含むＳＭＡシステムの展開図を示す。図８５は、３軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成されたバイモルフアクチュエータを含む、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータを含むＳＭＡシステムの断面を示す。図８６は、システム内に収まるように成形される前に製造されるような３軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成された、一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのボックスバイモルフアクチュエータを示す。図８７は、３軸カメラ傾斜ＯＩＳとして構成された、一実施形態によるＳＭＡシステムにおいて使用するためのフレキシブルセンサ回路を示す。そのようなシステムは、高ＯＩＳストロークＯＩＳ（例えば、±３度以上）を有するように構成され得る。実施形態は、ＡＦ設計（例えば、ＶＣＭ又はＳＭＡ）と簡単に統合されるように構成される。

図８８は、複数の実施形態によるＳＭＡアクチュエータのバイモルフアクチュエータに関する例示的な寸法を示す。寸法は、好ましい実施形態であるが、当業者は、ＳＭＡアクチュエータの所望の特性に基づいて、他の寸法が使用され得ることを理解するであろう。

図８９は、一実施形態による折り畳みカメラ（ｆｏｌｄｅｄ ｃａｍｅｒａ）用のレンズ系を示す。折り畳みカメラは、１つ以上のレンズ８９０３ａ～ｄを含むレンズ系８９０１へ光を折り曲げるように構成された屈曲レンズ（ｆｏｌｄｉｎｇ ｌｅｎｓ）８９０２を含む。いくつかの実施形態に関し、屈曲レンズは、プリズム及びレンズのいずれかの１つ以上である。レンズ系８９０１は、光が屈曲レンズ８９０２に到達する前に光が移動する方向に対して平行な透過軸８９０６に対してある角度をなす主軸８９０４を有するように構成される。例えば、折り畳みカメラは、カメラ付き携帯電話システムにおいて使用されて、透過軸８９０６の方向におけるレンズ系８９０１の高さを低くする。

レンズ系の実施形態は、本明細書で説明したものなどの１つ以上の液体レンズを含む。図８９に示す実施形態は、本明細書で説明したものなどの２つの液体レンズ８９０３ｂ、８９０３ｄを含む。１つ以上の液体レンズ８９０３ｂ、８９０３ｄは、本明細書で説明するものを含む技術を使用して作動されるように構成される。液体レンズが、限定されるものではないが、歪曲アクチュエータ、バイモルフアクチュエータ、及び他のＳＭＡアクチュエータを含むアクチュエータを使用して作動される。図１０８は、一実施形態による歪曲アクチュエータ６０を使用して作動される液体レンズを含む。液体レンズは、成形リングカプラ６４、液体レンズアセンブリ６１、本明細書で説明したものなどの１つ以上の歪曲アクチュエータ６０、スライドベース６５、及びベース６２を含む。１つ以上の歪曲アクチュエータ６０は、例えば本明細書で説明するように、液体レンズアセンブリ６１の可撓膜の形状を変化させて光線を動かす又は成形するように成形リング／カプラ６４を動かすように構成される。いくつかの実施形態に関し、３又は４個のアクチュエータが使用される。液体レンズが、単独で又は他のレンズと組み合わせて、オートフォーカス又は光学式手ぶれ補正機構として機能するように構成され得る。液体レンズがまた、他の方法で画像センサ上へ像を方向付けるように構成され得る。

図９０は、画像センサ９００４上に像を結ぶために、液体レンズ９００２ａ～９００２ｈを含むレンズ系９００１のいくつかの実施形態を示す。図示の通り、液体レンズ９００２ａ～９００２ｈは、任意のレンズ形状を含み得、及び本明細書で説明するものを含む技術を使用して、レンズを通る光路を調整するように動的に構成されるような構成され得る。

折り畳みカメラ用のレンズ系は、作動される屈曲レンズ９１００を含むように構成される。作動される屈曲レンズの例は、図９１に示すものなどのプリズムの傾斜である。図９１に示す例では、屈曲レンズは、アクチュエータ９１０４に配置されたプリズム９１０２である。アクチュエータは、限定されるものではないが、本明細書で説明したものを含むＳＭＡアクチュエータを含む。いくつかの実施形態に関し、プリズムの傾斜は、本明細書で説明したものなどの４個のバイモルフアクチュエータ９１０６を含むＳＭＡアクチュエータに配置される。いくつかの実施形態によれば、作動される屈曲レンズ９１００は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用して、光学式手ぶれ補正機構として構成される。例えば、作動される屈曲レンズは、図３９に示すものなどのＳＭＡシステムを含むように構成される。作動される屈曲レンズの別の例は、図２１に示すものなどのＳＭＡアクチュエータを含み得る。しかしながら、屈曲レンズはまた、他のアクチュエータを含んでもよい。

図９２は、一実施形態によるオフセット付きバイモルフアームを示す。バイモルフアーム９２０１は、形成済みのオフセット９２０３を有するバイモルフビーム９２０２を含む。形成済みのオフセット９２０３は、オフセットが設けられていないバイモルフアームよりも高い力を生成するという機械的利益を高める。いくつかの実施形態によれば、オフセットの深さ９２０４（本明細書では、曲げ面ｚオフセット９２０４とも称する）及びオフセットの長さ９２０６（本明細書では、トラフ幅９２０６とも称する）は、バイモルフアームの特性、例えばピーク力を規定するように構成される。例えば、図１０６のグラフは、一実施形態による、バイモルフビーム９２０２の曲げ面ｚオフセット９２０４、トラフ幅９２０６、及びピーク力の関係を示す。

バイモルフアームは、１つ以上のＳＭＡ材料、例えば本明細書で説明したものなどのＳＭＡリボン又はＳＭＡワイヤ９２１０を含む。ＳＭＡ材料は、本明細書で説明するものを含む技術を使用してビームに取り付けられる。いくつかの実施形態に関し、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ９２１０は、バイモルフアームの固定端部９２１２及びバイモルフアームの荷重点端部９２１４に取り付けられるため、形成済みのオフセット９２０３は、ＳＭＡ材料が取り付けられる両端部間にある。様々な実施形態に関し、ＳＭＡ材料の複数の端部は、当業界で公知のものを含む技術を使用してＳＭＡ材料に電流を供給するように構成されたコンタクトに電気的及び機械的に接続される。オフセットが設けられたバイモルフアームは、本明細書で説明したものなどのＳＭＡアクチュエータ及びシステムに含まれ得る。

図９３は、一実施形態によるオフセット及びリミッタが設けられたバイモルフアームを示す。バイモルフアーム９３０１は、形成済みのオフセット９３０３と、形成済みのオフセット９３０３に隣接するリミッタ９３０４とを有するバイモルフビーム９３０２を含む。オフセット９３０３は、オフセットが設けられていないバイモルフアーム９３０１よりも高い力を生成するという機械的利益を高め、及びリミッタ９３０４は、バイモルフアクチュエータの固定されていない荷重点端部９３０６から離れるような方向におけるアームの動きを防止する。形成済みのオフセット９３０３及びリミッタ９３０４が設けられたバイモルフアーム９３０１は、本明細書で説明したものなどのＳＭＡアクチュエータ及びシステムに含まれ得る。バイモルフアーム９３０１は、１つ以上のＳＭＡ材料、例えば本明細書で説明したものなどの、本明細書で説明されるものを含む技術を使用してバイモルフアーム９３０１に取り付けられたＳＭＡリボン又はＳＭＡワイヤ９３０８を含む。

図９４は、一実施形態によるオフセット及びリミッタの設けられたバイモルフアームを示す。バイモルフアーム９４０１は、形成済みのオフセット９４０３と、形成済みのオフセット９４０３に隣接するリミッタ９４０４とを有するバイモルフビーム９４０２を含む。リミッタ９４０４は、バイモルフアーム９４０１用のベース９４０６の一部として形成される。ベース９４０６は、バイモルフアーム９４０１を受容するように構成され、及びバイモルフビームのオフセット部を受容するように構成された凹部９４０８を含む。リミッタ９４０４として構成された凹部の底部は、形成済みのオフセット９４０３に隣接する。ベース９４０６はまた、作動されていないときにバイモルフアームの複数の部分を支持するように構成された１つ以上の部分９４１０を含み得る。形成済みのオフセット９４０３及びリミッタ９４０４が設けられたバイモルフアーム９４０１は、本明細書で説明したものなどのＳＭＡアクチュエータ及びシステムに含まれ得る。バイモルフアーム９４０１は、１つ以上のＳＭＡ材料、例えば本明細書で説明されるものを含む技術を使用してバイモルフアーム９４０１に取り付けられた、本明細書で説明したものなどのＳＭＡリボン又はＳＭＡワイヤを含む。

図９５は、一実施形態によるオフセットの設けられたバイモルフアームを含むベースの実施形態を示す。バイモルフアーム９５０１は、形成済みのオフセット９５０４を有するバイモルフビーム９５０２を含む。バイモルフアームはまた、本明細書で説明されるものを含む技術を使用してリミッタを含み得る。バイモルフアーム９５０１は、１つ以上のＳＭＡ材料、例えば本明細書で説明されるものを含む技術を使用してバイモルフアーム９５０１に取り付けられた、本明細書で説明したものなどのＳＭＡリボン又はＳＭＡワイヤ９５０６を含む。

図９６は、一実施形態によるオフセットの設けられた２つのバイモルフアームを含むベース９６０８の実施形態を示す。各バイモルフアーム９６０１ａ、９６０１ｂは、形成済みのオフセット９６０４ａ、９６０４ｂを有するバイモルフビーム９６０２ａ、９６０２ｂを含む。各バイモルフアーム９６０１ａ、９６０１ｂは、１つ以上のＳＭＡ材料、例えば本明細書で説明されるものを含む技術を使用してバイモルフアーム９５０１に取り付けられた、本明細書で説明したものなどのＳＭＡリボン又はＳＭＡワイヤ９６０６ａ、９６０６ｂを含む。各バイモルフアーム９６０１ａ、９６０１ｂはまた、本明細書で説明されるものを含む技術を使用してリミッタを含み得る。いくつかの実施形態は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用して形成された３つ以上のバイモルフアームを含むベースを含む。いくつかの実施形態によれば、バイモルフアーム９６０１は、ベース９６０８と一体的に形成される。他の実施形態に関し、バイモルフアーム９６０２ａ、９６０２ｂの１つ以上は、ベース９６０８とは別々に形成され、及び限定されるものではないが、はんだ付け、抵抗溶接、レーザ溶接、及び接着剤を含む技術を使用してベース９６０８に取り付けられる。いくつかの実施形態に関し、２つ以上のバイモルフアーム９６０１ａ、９６０１ｂは、単一の物体に作用するように構成される。これにより、物体に加えられる力を増大させる能力を可能にする。下記の図１０７のグラフは、バイモルフアクチュエータ全体を含むボックスの近似であるボックス体積が、バイモルフ構成要素当たりの仕事量にどのように関連するかの例を示す。ボックス体積は、バイモルフアクチュエータの長さ９６１２、バイモルフアクチュエータの幅９６１０、及びバイモルフアクチュエータの高さ９６１４（まとめて「ボックス体積」と呼ぶ）を使用して概算される。

図９７は、一実施形態による荷重点延長部を含む歪曲アームを示す。歪曲アーム９７０１は、ビーム部９７０２と、ビーム部９７０２から延びる１つ以上の荷重点延長部９７０４ａ、９７０４ｂとを含む。歪曲アーム９７０１の各端部９７０６ａ、９７０６ｂは、本明細書で説明されるものを含む技術を使用してプレート又は他のベースに取り付けられる又はそれと一体的に形成されるように構成される。いくつかの実施形態によれば、１つ以上の荷重点延長部９７０４ａ、９７０４ｂは、ビーム部９７０２の荷重点９７１０ａ、９７１０ｂからオフセットしてビーム部９７０２に取り付けられる又はそれと一体的に形成される。荷重点９７１０ａ、９７１０ｂは、歪曲アーム９７０１の力を別の物体へ伝達するように構成される、ビーム部９７０２の部分である。いくつかの実施形態に関し、荷重点９７１０ａ、９７１０ｂはビーム部９７０２の中心である。他の実施形態に関し、荷重点９７１０ａ、９７１０ｂは、ビーム部９７０２の中心以外の位置にある。荷重点延長部９７０４ａ、９７０４ｂは、ビーム部９７０２に接合される点からビーム部９７０２の荷重点９７１０ａ、９７１０ｂの方へ向かって、ビーム部９７０２の長手方向軸の方向に延びるように構成される。いくつかの実施形態に関し、荷重点延長部９７０４ａ、９７０４ｂの端部は、ビーム部９７０２の少なくとも荷重点９７１０ａ、９７１０ｂまで延びる。歪曲アーム９７０１は、１つ以上のＳＭＡ材料、例えば本明細書で説明したものなどのＳＭＡリボン又はＳＭＡワイヤ９７１２を含む。ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ９７１２は、ビーム部９７０２の反対側に位置する両端部に取り付けられる。ＳＭＡ材料は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用して、ビーム部の反対側に位置する両端部に取り付けられる。いくつかの実施形態に関し、荷重点延長部９７０４ａ、９７０４ｂの長さは、歪曲アーム９７０１の関連の平らな（作動されていない）ビーム部９７０２の長手方向長内に含まれる任意の長さとなるように構成され得る。

図９８は、作動位置にある、一実施形態による荷重点延長部９８１０を含む歪曲アーム９８０１を示す。ビーム部９８０２の反対側に位置する両端部に取り付けられたＳＭＡ材料は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用して作動される。荷重点９８０４は、歪曲アーム９８０１が、延長部の設けられていない歪曲アームよりもストローク範囲を大きくすることができるようにする。それゆえ、荷重点延長部を含む歪曲アームは、最大垂直ストロークをより大きくできる。荷重点延長部が設けられた歪曲アームは、本明細書で説明したものなどのＳＭＡアクチュエータ及びシステムに含まれ得る。

図９９は、一実施形態による荷重点延長部を含むバイモルフアームを示す。バイモルフアーム９９０１は、ビーム部９９０２と、ビーム部から延びる１つ以上の荷重点延長部９９０４ａ、９９０４ｂとを含む。バイモルフアーム９９０１の一方の端部は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用して、プレート又は他のベースに取り付けられるか又はそれと一体的に形成されるように構成される。取り付け又は一体的に形成された端部に対して反対側に位置するビーム部９９０２の端部は、固定されておらず、自由に動くことができる。いくつかの実施形態によれば、１つ以上の荷重点延長部９９０４ａ、９９０４ｂは、ビーム部９９０２の自由端部からオフセットしてビーム部９９０２に取り付けられるか又はそれと一体的に形成される。荷重点延長部９９０４ａ、９９０４ｂは、ビーム部９９０２に接合される点から、ビーム部９９０２の長手方向軸を含む平面から離れる方向に延びるように構成される。例えば、１つ以上の荷重点延長部９９０４ａ、９９０４ｂは、作動時にビーム部の自由端部が延びる方向に延びる。バイモルフアーム９９０１のいくつかの実施形態は、ビーム部の長手方向軸を含む平面とある角度、例えば１度～９０度を形成する長手方向軸を有する１つ以上の荷重点延長部９９０４ａ、９９０４ｂを含む。いくつかの実施形態に関し、荷重点延長部９９０４ａ、９９０４ｂの端部９９１０ａ、９９１０ｂは、動かされるように構成された物体に係合するように構成される。

バイモルフアーム９９０１は、１つ以上のＳＭＡ材料、例えば本明細書で説明したものなどのＳＭＡリボン又はＳＭＡワイヤ９９０６を含む。ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ９９０６は、ビーム部９９０２の反対側に位置する両端部に取り付けられる。ＳＭＡ材料は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用して、ビーム部９９０２の反対側に位置する両端部に取り付けられる。いくつかの実施形態に関し、荷重点延長部９９０４ａ、９９０４ｂの長さは、任意の長さとなるように構成され得る。いくつかの実施形態によれば、荷重点延長部９９０４ａ、９９０４ｂの端部９９１０ａ、９９１０ｂによる物体の係合点のロケーションは、ビーム部９９０２の長手方向長に沿って任意の点にあるように構成され得る。ビーム部が平らである（作動されていない）ときの荷重点延長部の端部のビーム部の上方の高さは、任意の高さとなるように構成され得る。いくつかの実施形態に関し、荷重点延長部は、バイモルフアームが作動されるときに、バイモルフアームの他の部分の少なくとも上方にあるように構成され得る。

図１００は、作動位置にある、一実施形態による荷重点延長部を含むバイモルフアームを示す。ビーム部２の反対側に位置する両端部に取り付けられたＳＭＡ材料は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用して作動される。荷重点延長部１０は、バイモルフアーム１が、延長部が設けられていないバイモルフアームよりもストローク力を大きくすることができるようにする。それゆえ、荷重点延長部１０を含むバイモルフアーム１は、バイモルフアーム１によってより大きな力が加えられることができるようにする。荷重点延長部１０が設けられたバイモルフアーム１は、本明細書で説明したものなどのＳＭＡアクチュエータ及びシステムに含まれ得る。

図１０１は、一実施形態によるＳＭＡ光学式手ぶれ補正機構を示す。ＳＭＡ光学式手ぶれ補正機構２０は、可動プレート２２及び静止プレート２４を含む。可動プレート２２は、可動プレート２２と一体的に形成されるばねアーム２６を含む。いくつかの実施形態に関し、可動プレート２２及び静止プレート２４は、それぞれ、ユニタリーのワンピースプレートとなるように形成される。可動プレート２２は、第１のＳＭＡ材料取り付け部２８ａ及び第２のＳＭＡ材料取り付け部２８ｂを含む。静止プレート２４は、第１のＳＭＡ材料取り付け部３０ａ及び第２のＳＭＡ材料取り付け部３０ｂを含む。各ＳＭＡ材料取り付け部２８、３０は、抵抗溶接接合を使用して、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤをプレートに固定するように構成される。可動プレート２２の第１のＳＭＡ材料取り付け部２８ａは、それと静止プレートの第１のＳＭＡ材料取り付け部３０ａとの間に配置された第１のＳＭＡワイヤ３２ａ、及びそれと静止プレート２４の第２のＳＭＡ取り付け部３０ｂとの間に配置された第２のＳＭＡワイヤ３２ｂを含む。可動プレート２２の第２のＳＭＡ材料取り付け部２８ｂは、それと静止プレートの第２のＳＭＡ材料取り付け部３０ｂとの間に配置された第３のＳＭＡワイヤ３２ｃ、及びそれと静止プレート２４の第１のＳＭＡ取り付け部３０ａとの間に配置された第４のＳＭＡワイヤ３２ｄを含む。本明細書で説明されるものを含む技術を使用する各ＳＭＡワイヤの作動によって、可動プレート２２を、静止プレート２４から離れるように動かす。図１０２は、一実施形態による可動部のＳＭＡ材料取り付け部４０を示す。ＳＭＡ材料取り付け部は、ＳＭＡ材料取り付け部４０に抵抗溶接されたＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ４１を有するように構成される。図１０３は、一実施形態による、抵抗溶接されたＳＭＡワイヤ４３が取り付けられている、静止プレートのＳＭＡ取り付け部４２を示す。

図１０４は、一実施形態による歪曲アクチュエータを含むＳＭＡアクチュエータ４５を示す。歪曲アクチュエータ４６は、本明細書で説明するものなどの歪曲アーム４７を含む。歪曲アーム４７は、本明細書で説明されるものを含む技術を使用して、ＳＭＡワイヤ４８が作動されたり作動停止されたりするときに、ｚ軸において動くように構成される。各ＳＭＡワイヤ４８は、抵抗溶接を使用して、それぞれの抵抗溶接ワイヤ圧着部４９に取り付けられる。各抵抗溶接ワイヤ圧着部４９は、ＳＭＡワイヤ４８の少なくとも１つの側面上で歪曲アーム４７を形成する金属５１から隔離された島５０を含む。島構造は、ＳＭＡワイヤの少なくとも１つの側面を、図１０１に示すＯＩＳ応用などのベース金属層に形成された、隔離された島構造に接続するために、他のアクチュエータ、光学式手ぶれ補正機構、及びオートフォーカスシステムにおいて使用され得る。

図１０５は、ここで説明するものを含む技術を使用して、ＳＭＡワイヤ４８を歪曲アクチュエータ４６に取り付けるために使用される、一実施形態によるＳＭＡアクチュエータ用の島を含む抵抗溶接圧着部を示す。図１０５ａは、ＳＭＡアクチュエータ４５の底部部分を示す。いくつかの実施形態によれば、ＳＭＡアクチュエータ４５は、ステンレス鋼ベース層５１から形成される。ポリイミド層などの誘電体層５２が、ステンレス鋼ベース層５１の底部部分に配置される。いくつかの実施形態によれば、導体層５３が、誘電体層５２にあるビアによってステンレス鋼島５０に電気的に接続されて、ステンレス鋼島５０に溶接されたワイヤとステンレス鋼島に取り付けられた導体回路との間を電気接続できるようにする。いくつかの実施形態によれば、島５０が、ステンレス鋼ベース層からエッチングされて作られる。誘電体層５２は、ステンレス鋼ベース層５１内の島５０の位置を維持する。島５０は、抵抗溶接などの本明細書で説明されるものを含む技術を使用して、それにＳＭＡワイヤを取り付けるように構成される。図１０５ｂは、島５０を含むＳＭＡアクチュエータ４５の上部部分を示す。いくつかの実施形態に関し、グルー又は接着剤も溶接部の上部に配置されて、動作及び衝撃荷重中の疲労歪み解放としての機械的な強度及び仕事を支援し得る。

図１０８は、一実施形態による歪曲アクチュエータが設けられたＳＭＡアクチュエータを含むレンズ系を含む。レンズ系は、ベース６２に配置される液体レンズアセンブリ６１を含む。レンズ系はまた、歪曲アクチュエータ６０と機械的に接続される成形リング／カプラ６４を含む。本明細書で説明したものなどの歪曲アクチュエータ６０を含むＳＭＡアクチュエータは、ベース６２に配置されるスライドベース６５に配置される。ＳＭＡアクチュエータは、本明細書で説明されるものを含む技術を使用して歪曲アクチュエータ６０を作動させることによって、液体レンズアセンブリ６１の光軸に沿って成形リング／カプラ６４を動かすように構成される。これにより、成形リング／カプラ６４を動かして、液体レンズアセンブリ内での液体レンズの焦点を変化させる。

図１０９は、一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。バイモルフアームの固定されていない荷重点端部７０は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ７２を取り付けるための平坦面７１を含む。ＳＭＡワイヤ７２は、抵抗溶接７３によって平坦面７１に取り付けられる。抵抗溶接７３は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。

図１１０は、一実施形態による、バイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。バイモルフアームの固定されていない荷重点端部７６は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ７８を取り付けるための平坦面７７を含む。ＳＭＡワイヤ７８は、図１０９に示すものと同様の抵抗溶接によって平坦面７７に取り付けられる。接着剤７９が抵抗溶接に配置される。これにより、ＳＭＡワイヤ７８と固定されていない荷重点端部７６との間のより信頼性の高い接合を可能にする。接着剤７９は、限定されるものではないが、導電接着剤、非導電接着剤、及び当業界で公知の他の接着剤を含む。

図１１１は、一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。バイモルフアームの固定されていない荷重点端部８０は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ８２を取り付けるための平坦面８１を含む。金属中間層８４が平坦面８１に配置される。金属中間層８４は、限定されるものではないが、金層、ニッケル層、又は合金層を含む。ＳＭＡワイヤ８２は、抵抗溶接８３によって平坦面８１に配置された金属中間層８４に取り付けられる。抵抗溶接８３は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。金属中間層８４は、固定されていない荷重点端部８０とのより良好な接着を可能にする。

図１１２は、一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部を示す。バイモルフアームの固定されていない荷重点端部８８は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ９０を取り付けるための平坦面８９を含む。金属中間層９２が平坦面８９に配置される。金属中間層９２は、限定されるものではないが、金層、ニッケル層、又は合金層を含む。ＳＭＡワイヤ９０は、図１１１に示すものと同様の抵抗溶接によって平坦面８９に取り付けられる。接着剤９１が抵抗溶接に配置される。これにより、ＳＭＡワイヤ９０と固定されていない荷重点端部８８との間のより信頼性の高い接合を可能にする。接着剤９１は、限定されるものではないが、導電接着剤、非導電接着剤、及び当業界で公知の他の接着剤を含む。

図１１３は、一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。バイモルフアームの固定端部９５は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ９７を取り付けるための平坦面９６を含む。ＳＭＡワイヤ９７は、抵抗溶接９８によって平坦面９６に取り付けられる。抵抗溶接９８は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。

図１１４は、一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。バイモルフアームの固定端部１２０は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ１２２を取り付けるための平坦面１２１を含む。ＳＭＡワイヤ１２２は、図１１３に示すものと同様の抵抗溶接によって平坦面１２１に取り付けられる。接着剤１２３が抵抗溶接に配置される。これにより、ＳＭＡワイヤ１２２と固定端部１２０との間のより信頼性の高い接合を可能にする。接着剤１２３は、限定されるものではないが、導電接着剤、非導電接着剤、及び当業界で公知の他の接着剤を含む。

図１１５は、一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。バイモルフアームの固定端部１２６は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ１２８を取り付けるための平坦面１２７を含む。金属中間層１３０が平坦面１２７に配置される。金属中間層１３０は、限定されるものではないが、金層、ニッケル層、又は合金層を含む。ＳＭＡワイヤ１２８は、抵抗溶接１２９によって平坦面１２７に配置された金属中間層１３０に取り付けられる。抵抗溶接１２９は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。金属中間層１３０は、固定端部１２６とのより良好な接着を可能にする。

図１１６は、一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。バイモルフアームの固定端部１３５は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ１３７に取り付けるための平坦面１３６を含む。金属中間層１３８が平坦面１３６に配置される。金属中間層１３６は、限定されるものではないが、金層、ニッケル層、又は合金層を含む。ＳＭＡワイヤ１３７は、図１１５に示すものと同様の抵抗溶接によって平坦面１３６に取り付けられる。接着剤１３９が抵抗溶接に配置される。これにより、ＳＭＡワイヤ１３７と固定端部１３５との間のより信頼性の高い接合を可能にする。接着剤１３９は、限定されるものではないが、導電接着剤、非導電接着剤、及び当業界で公知の他の接着剤を含む。

図１１７は、一実施形態によるバイモルフアームの固定端部の背面図を示す。バイモルフアーム１４３は、本明細書で説明する複数の実施形態に従うように構成される。バイモルフアームの固定端部１４３は、固定端部１４３の外側部分１４５から隔離される島１４４を含む。これにより、島１４４を外側部分１４５から電気的に絶縁及び／又は熱的に隔離することを可能にした。いくつかの実施形態に関し、バイモルフアームの固定端部１４３の対向する側面に取り付けられたＳＭＡ材料は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤと、ビアを通して電気的に接続される。島１４４は、本明細書で説明したものなどの絶縁体１４６に配置される。島１４４は、当業界で公知のものを含むエッチング技術を使用して形成され得る。

図１１８は、一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部７０を示す。バイモルフアームの固定されていない荷重点端部７０は、抵抗溶接領域７３から延びる放射表面エリア７４を含むように構成された平坦面７１を含む。放射表面エリア７４は、先端部７６及び基端部７５を含む。平坦面７１は、該平坦面７１に固定されたＳＭＡワイヤ７２などのＳＭＡ材料を有するように構成される。いくつかの実施形態によれば、ＳＭＡワイヤ７２は、抵抗溶接領域７３で抵抗溶接によって平坦面７１に固定される。抵抗溶接は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。他の実施形態では、ＳＭＡワイヤ７２は、本明細書に説明されるものを含む他の取付技術を使用して、平坦面７１に固定される。

固定されていない荷重点端部７０の温度低下は、ＳＭＡワイヤ７２の相転移温度に依存する。放射表面エリア７４は、固定されていない荷重点端部７０の表面積を大幅に増大させる。

増加した表面積は、固定されていない荷重点端部７０の温度低下を向上させる。増大した表面積により、作動中の形状記憶合金の相転移を防止するための冷却が可能となる。
図１１９は、一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部１７０を示す。バイモルフアームの固定されていない荷重点端部１７０は、抵抗溶接領域１７３から延びる放射表面エリア１７４を含むように構成された平坦面１７１を含む。

放射表面エリア１７４は、先端部１７６及び基端部１７５を含む。平坦面１７１は、該平坦面１７１に固定されたＳＭＡワイヤ１７２などのＳＭＡ材料を有するように構成される。いくつかの実施形態によれば、ＳＭＡワイヤ１７２は、抵抗溶接領域１７３に対する抵抗溶接によって平坦面１７１に固定される。他の実施形態では、ＳＭＡワイヤ１７２は、本明細書に説明されるものを含む他の取付技術を使用して、平坦面１７１固定される。

また、固定されていない荷重点端部１７０は、抵抗溶接領域１７３によって分離された基端側開口１７８及び先端側開口１７９を含む。基端側開口１７８及び先端側開口１７９は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。開口１７８，１７９は完全に貫通した形状として示されているが、いくつかの例では、開口１７８，１７９は部分的にエッチングされてもよい。

基端側開口１７８及び先端側開口１７９は、平坦面１７１を物理的に中断し、抵抗溶接領域１７３の位置を画定する。開口１７８，１７９は、いくつかの実施形態によれば、抵抗溶接領域１７３の近傍でワイヤ１７２と平坦面１７１との間の干渉を緩和するように構成される。

図１２０は、一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部２７０を示す。バイモルフアームの固定されていない荷重点端部２７０は、抵抗溶接領域２７３から延びる放射表面エリア２７４を含むように構成された平坦面２７１を含む。平坦面２７１は、該平坦面２７１に固定されたＳＭＡワイヤ２７２などのＳＭＡ材料を有するように構成される。いくつかの実施形態によれば、ＳＭＡワイヤ２７２は、抵抗溶接領域２７３に対する抵抗溶接によって平坦面２７１に固定される。他の実施形態では、ＳＭＡワイヤ２７２は、本明細書に説明されるものを含む他の取付技術を使用して、平坦面２７１に固定される。

また、固定されていない荷重点端部２７０は、抵抗溶接領域２７３によって分離された基端側開口２７８および先端側開口２７９を含む。また、固定されていない荷重点端部２７０は、ＳＭＡワイヤ２７２の一部に対応する長尺の開口２８０を含む。長尺の開口２８０は、ＳＭＡワイヤ２７２のためのワイヤクリアランスを形成するために除去されてもよい。いくつかの実施形態では、長尺の開口２８０は、基端側開口２７８から延びる。開口２７８，２７９，２８０は完全に貫通した形状として示されているが、いくつかの例では、開口２７８，２７９，２８０は部分的にエッチングされてもよい。

基端側開口２７８及び先端側開口２７９は、平坦面２７１を物理的に中断し、抵抗溶接領域２７３の位置を画定する。同様に、長尺の開口２８０は、平坦面２７１を物理的に中断し、ＳＭＡワイヤ２７２の位置を画定する。開口２７８，２７９，２８０は、いくつかの実施形態によれば、抵抗溶接領域２７３の近傍でワイヤ２７２と平坦面２７１との間の干渉を緩和するように構成される。

図１２１は、一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部３７０を示す。平坦面３７１は、該平坦面３７１に固定されたＳＭＡワイヤ３７２などのＳＭＡ材料を有するように構成される。いくつかの実施形態によると、ＳＭＡワイヤ３７２は、抵抗溶接領域３７３に対する抵抗溶接によって、平坦面３７１に固定される。抵抗溶接領域３７３は、非線形開口３７８によって少なくとも部分的に分離される。いくつかの構成では、非線形開口３７８は、抵抗溶接領域３７３の９０％までを物理的に分離するためにＵ字形である。抵抗溶接領域３７３は、非線形開口３７８によって画定された溶接舌部上に取り付けられ得る。他の実施形態では、ＳＭＡワイヤ３７２は、本明細書に説明されるものを含む他の取付技術を使用して、平坦面３７１固定される。非線形開口３７８は完全に貫通した形状として示されているが、いくつかの例では、非線形開口３７８は部分的にエッチングされてもよい。

放射表面エリア３７４から増大した表面積により、作動中の形状記憶合金の相転移を防止するための冷却が可能となる。いくつかの代替実施形態では、抵抗溶接領域３７３は、固定されていない荷重点端部３７０から完全にエッチングされてもよい。代替的に、抵抗溶接領域３７３は、舌部のコンプライアンスを増大させるために部分的エッチングスロットを含むこともできる。

図１２２は、一実施形態によるバイモルフアームの固定されていない荷重点端部４７０を示す。隣接する平坦面４７１は、ＳＭＡワイヤ４７２などのＳＭＡ材料を固定するために設けられる。ＳＭＡワイヤ４７２は、抵抗溶接領域４７３によって平坦面４７１に固定され、抵抗溶接領域４７３は、非線形開口４７８によって少なくとも部分的に分離されている。

抵抗溶接領域４７３は、非線形開口４７８内の部分的エッチングスロット４７９を使用して取り付けられ得る。いくつかの構成では、非線形開口４７８は、平坦面４７１を物理的に中断し、抵抗溶接領域４７３の位置を画定する。開口１７８，１７９は、いくつかの実施形態によれば、抵抗溶接領域１７３の近傍でワイヤ１７２と平坦面１７１との間の干渉を緩和するように構成される。開口１７８，１７９は完全に貫通した形状として示されているが、いくつかの例では、開口１７８，１７９は部分的にエッチングされてもよい。

放射表面エリア４７４から増大した表面積により、作動中の形状記憶合金の相転移を防止するための冷却が可能となる。
開示された実施形態は、バイモルフアームの固定端部に適用されてもよい。図１２３乃至図１２５は、開示される実施形態を組み込む固定端部の例示的な実施形態として本明細書で提供される。

図１２３は、一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。バイモルフアームの固定端部９５は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ９７を取り付けるための平坦面９６を含む。ＳＭＡワイヤ９７は、抵抗溶接領域９８によって平坦面９６に取り付けられる。抵抗溶接領域９８は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。

固定端部９５は、抵抗溶接領域９８によって分離された基端側開口９３および先端側開口９４を含む。基端側開口９３及び先端側開口９４は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。

基端側開口９３及び先端側開口９４は、平坦面９６を物理的に中断し、抵抗溶接９８の位置を画定する。開口９３，９４は、いくつかの実施形態によれば、抵抗溶接領域９８の近傍でＳＭＡワイヤ９７と平坦面９６との間の干渉を緩和するように構成される。開口９３，９４は完全に貫通した形状として示されているが、いくつかの例では、開口９３，９４は部分的にエッチングされてもよい。

図１２４は、一実施形態によるバイモルフアームの固定端部を示す。バイモルフアームの固定端部１９５は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ１９７に取り付けるための平坦面１９６を含む。ＳＭＡワイヤ１９７は、抵抗溶接領域１９８にて抵抗溶接によって平坦面１９６に固定される。抵抗溶接領域１９８は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。

また、固定端部１９５は、抵抗溶接領域１９８によって分離された基端側開口１９３及び先端側開口１９４を含む。基端側開口１９３及び先端側開口１９４は、当業界で公知のものを含む技術を使用して形成される。

また、固定端部１９５は、ＳＭＡワイヤ１９７の一部に対応する長尺の開口１６０を含む。長尺の開口１６０は、ＳＭＡワイヤ１９７のためのワイヤクリアランスを形成するために除去されてもよい。いくつかの実施形態では、長尺の開口１６０は、先端側開口１９４から延びる。

基端側開口１９３及び先端側開口１９４は、抵抗溶接領域１９８を少なくとも部分的に分離する。長尺の開口１６０は、平坦面１９６を物理的に中断し、ＳＭＡワイヤ１９７の位置を画定する。開口１９４，１９６は、いくつかの実施形態によれば、抵抗溶接領域１９８の近傍でＳＭＡワイヤ１９７と平坦面１９６との間の干渉を緩和するように構成される。開口１９４，１９６は完全に貫通した形状として示されているが、いくつかの例では、開口１９４，１９６は部分的にエッチングされてもよい。

図１２５は、一実施形態によるバイモルフアームの固定端部２９５を示す。バイモルフアームの固定端部２９５は、ＳＭＡ材料、例えばＳＭＡワイヤ２９７に取り付けるための平坦面２９６を含む。ＳＭＡワイヤ２９７は、抵抗溶接領域２９８にて抵抗溶接によって平坦面２９６に固定される。

抵抗溶接領域２９８は、非線形開口２９４によって少なくとも部分的に分離される。いくつかの構成では、非線形開口２９４は、抵抗溶接領域２９８の９０％までを物理的に分離するためにＵ字形である。抵抗溶接２９８は、非線形開口２９４によって画定された溶接舌部上に取り付けられ得る。

非線形開口２９４は、平坦面２９６を物理的に中断し、抵抗溶接領域２９８の位置を画定する。線形開口２９４は、いくつかの実施形態によれば、抵抗溶接領域２９８の近傍でＳＭＡワイヤ２９７と平坦面２９６との間の干渉を緩和するように構成される。いくつかの代替実施形態では、抵抗溶接領域２９８は、固定端部２９５から完全にエッチングされてもよい。代替的に、抵抗溶接領域２９８は、接触面積を低減するために部分的エッチングスロットを含むこともできる。

代替的な実施形態を図１２６に示す。この実施形態では、抵抗溶接領域２９８内の非線形開口２９４は、図１２５に示されるものから１８０度回転されている。
便利な用語として本明細書で使用されるような「上部」、「底部」、「上方」、「下方」、並びにｘ方向、ｙ方向、及びｚ方向などの用語は、任意の特定の空間的又は重力の向きではなく、複数の部分の互いに対する空間関係を示すことを理解されたい。それゆえ、用語は、アセンブリが、図面に示し且つ本明細書で説明する特定の向きに向けられるか、その向きから逆さまにされているか、又は任意の他の回転変動かに関わらず、構成要素の部分のアセンブリを含むものとする。

本明細書で使用されるような用語「本発明」は、単一の必須要素又は要素の群を有する単一の発明のみが提示されることを意味すると解釈されるべきではないことが認識されるであろう。同様に、用語「本発明」は、いくつかの別々の発明を含み、それら発明はそれぞれ、別々の発明であるとみなされ得ることも認識される。本発明は、好ましい実施形態及びその図面に関して詳細に説明されてきたが、当業者には、本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、本発明の実施形態の様々な適応及び修正が成し遂げられ得ることが明白である。さらに、本明細書で説明する技術は、２、３、４、５、６、又はそれを上回る、一般的にｎ個のバイモルフアクチュエータ及び歪曲アクチュエータを有する装置を作製するために使用され得る。従って、上記で説明された詳細な説明及び添付図面は、本発明の範囲を限定することを意図するものではなく、これは、以下の特許請求の範囲及びそれらの適切に解釈される法的均等物からのみ推測されるべきであることが理解される。

Claims (20)

1. アクチュエータであって、
   ビーム部と、
   固定端部と、
   荷重点端部と
   を備え、
   前記ビーム部は、前記固定端部と前記荷重点端部との間に配置され、
   前記荷重点端部は、ＳＭＡ材料を取り付けるように構成された抵抗溶接領域を含む平坦面を含む、アクチュエータ。
2. 前記固定端部及び前記荷重点端部に取り付けられたＳＭＡ材料を備える請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記荷重点端部は、前記抵抗溶接領域によって分離された先端側開口および基端側開口を含む、請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記荷重点端部は、前記ＳＭＡ材料の一部に対応する長尺の開口を含む、請求項２に記載のアクチュエータ。
5. 前記荷重点端部は、前記抵抗溶接領域によって分離された先端側開口及び基端側開口と、前記ＳＭＡ材料の一部に対応する長尺の開口とを含み、前記長尺の開口は前記先端側開口から延びる、請求項２に記載のアクチュエータ。
6. 前記荷重点端部は、前記抵抗溶接領域を画定する非線形開口を含む、請求項１に記載のアクチュエータ。
7. 前記抵抗溶接領域は、前記荷重点端部から完全にエッチングされる、請求項６に記載のアクチュエータ。
8. 前記抵抗溶接領域は、前記非線形開口によって部分的にエッチングされる、請求項６に記載のアクチュエータ。
9. 前記荷重点端部は、前記抵抗溶接領域から延びる少なくとも１つの放射表面エリアをさらに含む、請求項１に記載のアクチュエータ。
10. アクチュエータであって、
    ビーム部と、
    固定端部と、
    荷重点端部であって、前記ビーム部が前記固定端部と前記荷重点端部との間に配置される、荷重点端部と、
    前記固定端部及び前記荷重点端部に取り付けられたＳＭＡ材料と
    を備え、
    前記固定端部は、
    前記ＳＭＡ材料の抵抗溶接を含む平坦面を含む、アクチュエータ。
11. 前記固定端部は、前記抵抗溶接領域によって分離された先端側開口及び基端側開口を含む、請求項１０に記載のアクチュエータ。
12. 前記固定端部は、前記ＳＭＡ材料の一部に対応する長尺の開口を含む、請求項１０に記載のアクチュエータ。
13. 前記固定端部は、前記抵抗溶接領域によって分離された先端側開口及び基端側開口と、前記ＳＭＡ材料の一部に対応する長尺の開口とを含み、前記長尺の開口は、前記先端側開口から延びる、請求項１０に記載のアクチュエータ。
14. 前記固定端部は、前記抵抗溶接のための抵抗溶接領域を画定する非線形開口を含む、請求項１０に記載のアクチュエータ。
15. 前記抵抗溶接のための前記抵抗溶接領域は、前記荷重点端部から完全にエッチングされる、請求項１４に記載のアクチュエータ。
16. 前記抵抗溶接のための前記抵抗溶接領域は、前記非線形開口によって部分的にエッチングされる、請求項１４に記載のアクチュエータ。
17. 前記荷重点端部は、前記抵抗溶接領域から延びる少なくとも１つの放射表面エリアをさらに含む、請求項１０に記載のアクチュエータ。
18. アクチュエータであって、
    ベースと、
    １つ以上のバイモルフアームと
    を備え、
    前記１つ以上のバイモルフアームは、
    ビーム部と、
    固定端部と、
    荷重点端部と
    を含み、
    前記ビーム部は、前記固定端部と前記荷重点端部との間に配置され、前記固定端部及び前記荷重点端部の少なくとも一方は、抵抗溶接領域を含む平坦面を含む、アクチュエータ。
19. 前記固定端部及び前記荷重点端部の前記少なくとも一方は、前記抵抗溶接領域によって分離された先端側開口及び基端側開口を含む、請求項１８に記載のアクチュエータ。
20. 前記固定端部及び前記荷重点端部の前記少なくとも一方は、前記ＳＭＡ材料の一部に対応する長尺の開口を含む、請求項１８に記載のアクチュエータ。

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