JP2023055728A - 硬化性組成物、膜、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、画像表示装置、及び、高分子化合物 - Google Patents
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Abstract
Description
また、特許文献2には、電着塗料組成物であって、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸などからなる群から選択されたカルボン酸化合物 0.5~30質量%、特定の構造のグリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートと第四級アンモニウム塩の反応物 0.5~30質量%、炭素数2~5のヒドロキシアルキルアクリレートとヒドロキシアルキルメタクリレートからなる群から選択された少なくとも一つの水酸基を含有するモノマー 10~40質量%、炭素数2~5のアルキルアクリレートとアルキルメタクリレートからなる群から選択された不飽和モノマー10~70質量%を60~120℃で反応させて得られた重量平均分子量が3,000~30,00であり、1~2.5μmの乾燥塗膜の厚さとした際に3.0-6.0の誘電率を有するアクリレート共重合体 10~15質量%、及び、アントラキノン系顔料とフタロシアニン系顔料から選択される平均粒子径20~150nmの顔料 1~5質量%を含む電着塗料組成物が記載されている。
本発明の目的は、支持体との密着性に優れた膜が形成される硬化性組成物を提供することである。また、上記硬化性組成物から形成された膜、カラーフィルタ、上記硬化性組成物を用いたカラーフィルタの製造方法、上記膜又は上記カラーフィルタを含む固体撮像素子及び画像表示装置、新規な高分子化合物を提供することである。
<1> 顔料、並びに、下記条件1及び下記条件2の少なくとも一方を満たす樹脂を含む
硬化性組成物;
条件1:上記樹脂が、アニオン構造、上記アニオン構造とイオン結合する第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基を同一の側鎖に有する構成単位を含む;
条件2:上記樹脂が、第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基が連結された基を側鎖に有する構成単位を含む。
<2> 上記樹脂が下記式(A1)で表される構成単位、及び、下記式(B1)で表される構成単位の少なくとも一方を含む、<1>に記載の硬化性組成物。
式(A1)中、RA1は水素原子又はアルキル基を表し、AA1は酸基からプロトンが乖離した基を含む構造を表し、RA2及びRA3はそれぞれ独立に、アルキル基又はアラルキル基を表し、LA1はmAが1である場合には1価の置換基を表し、mAが2以上である場合にはmA価の連結基を表し、LA2はnA+1価の連結基を表し、LA3は2価の連結基を表し、RA4は水素原子又はアルキル基を表し、nAは1以上の整数を表し、mAは1以上の整数を表し、mAが2以上の場合には、2以上のRA2、2以上のRA3及び2以上のLA2はそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよく、mAが2以上の場合には、第四級アンモニウムカチオンを含む構造であるmA個の構造のうち、ある構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つは、別の構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つと環構造を形成してもよく、nA及びmAよりなる群から選ばれた少なくとも一方が2以上の場合には、2以上のLA3及び2以上のRA4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RA2、RA3及びLA2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい;
式(B1)中、RB1は水素原子又はアルキル基を表し、LB1は2価の連結基を表し、RB2及びRB3はそれぞれ独立に、アルキル基を表し、LB2はnB+1価の連結基を表し、LB3は2価の連結基を表し、RB4は水素原子又はアルキル基を表し、nBは1以上の整数を表し、nBが2以上の場合には、2以上のLB3及び2以上のRB4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RB2、RB3、LB1及びLB2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい。
<3> 上記式(A1)中のnAが1であり、LA2及びLA3の結合が下記式(C1)~下記式(C4)により表される基のうちいずれか1つを表すか、又は、上記式(B1)中のnBが1であり、LB2及びLB3が下記式(C1)~下記式(C4)により表される基のうちいずれか1つを表す、<2>に記載の硬化性組成物;
式(C1)~式(C4)中、LC1、LC2及びLC3はそれぞれ独立に、単結合又は2価の連結基を表し、波線部は式(A1)又は式(B1)中の窒素原子との結合部位を、*は式(A1)中のRA4が結合した炭素原子又は式(B1)中のRB4が結合した炭素原子との結合部位を、それぞれ表す。
<4> 上記樹脂における、式(A1)で表される構成単位、及び、式(B1)で表される構成単位の含有量が、1質量%~60質量%である、<1>~<3>のいずれか1つに記載の硬化性組成物。
<5> 上記樹脂が、ラジカル重合性基を有し、かつ、式(A1)で表される構成単位、及び、式(B1)で表される構成単位とは異なる構成単位Dを更に含む、<1>~<4>のいずれか1つに記載の硬化性組成物。
<6> 上記樹脂が、上記構成単位Dとして、下記式(D1)で表される構成単位を更に含む、<5>に記載の硬化性組成物。
式(D1)中、RD1~RD3はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、XD1は、-COO-、-CONRD6-又はアリーレン基を表し、RD6は、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、RD4は、2価の連結基を表し、LD1は、下記式(D2)、式(D3)又は式(D3’)により表される基を表し、RD5は、(n+1)価の連結基を表し、XD2は、酸素原子又はNRD7-を表し、RD7は、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、RDは水素原子又はメチル基を表し、nDは1以上の整数を表し、nDが2以上の場合、2以上のXD2及び2以上のRDはそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。
式(D2)、式(D3)及び式(D3’)中、XD3は、酸素原子又は-NH-を表し、XD4は、酸素原子又はCOO-を表し、Re1~Re3はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、Re1~Re3のうちの少なくとも2つが結合し、環構造を形成していてもよく、XD5は、酸素原子又は-COO-を表し、Re4~Re6はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、Re4~Re6のうちの少なくとも2つが結合し、環構造を形成していてもよく、*及び波線部は他の構造との結合位置を表す。
<7> 上記樹脂が下記式(D5)で表される構成単位を更に含む、<1>~<6>のいずれか1つに記載の硬化性組成物。
式(D5)中、RD9は、水素原子又はアルキル基を表し、XD6は、酸素原子又はNRC-を表し、RCは水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、LD3は2価の連結基を表し、YD1はアルキレンオキシ基又はアルキレンカルボニルオキシ基を表し、ZD1は、炭素数1~20の脂肪族炭化水素基又は炭素数6~20の芳香族炭化水素基を表し、pは1以上の整数を表し、pが2以上である場合、p個のYD1は同一であってもよいし異なっていてもよい。
<8> 光重合開始剤として、オキシム化合物を含む、<1>~<7>のいずれか1つに記載の硬化性組成物。
<9> 重合性化合物を更に含む、<1>~<8>のいずれか1つに記載の硬化性組成物。
<10> カラーフィルタの着色層又は赤外線吸収層形成用である、<1>~<9>のいずれか1つに記載の硬化性組成物。
<11> <1>~<10>のいずれか1つに記載の硬化性組成物から形成された膜。
<12> <1>~<10>のいずれか1つに記載の硬化性組成物から形成されたカラーフィルタ。
<13> <1>~<10>のいずれか1つに記載の硬化性組成物を支持体上に適用して組成物層を形成する工程と、
上記組成物層をパターン状に露光する工程と、
未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程と、を含む
カラーフィルタの製造方法。
<14> <1>~<10>のいずれか1つに記載の硬化性組成物を支持体上に適用して組成物層を形成し、上記組成物層を硬化して硬化層を形成する工程と、
上記硬化層上にフォトレジスト層を形成する工程と、
露光及び現像することにより上記フォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程と、
上記レジストパターンをエッチングマスクとして上記硬化層をエッチングする工程と、を含む、
カラーフィルタの製造方法。
<15> <11>に記載の膜又は<12>に記載のカラーフィルタを含む固体撮像素子。
<16> <11>に記載の膜又は<12>に記載のカラーフィルタを含む画像表示装置。
<17> 下記式(A1)で表される構成単位、及び、下記式(B1)で表される構成単位の少なくとも一方を含む、高分子化合物;
式(A1)中、RA1は水素原子又はアルキル基を表し、AA1は酸基からプロトンが乖離した基を含む構造を表し、RA2及びRA3はそれぞれ独立に、アルキル基又はアラルキル基を表し、LA1はmAが1である場合には1価の置換基を表し、mAが2以上である場合にはmA価の連結基を表し、LA2はnA+1価の連結基を表し、LA3は2価の連結基を表し、RA4は水素原子又はアルキル基を表し、nAは1以上の整数を表し、mAは1以上の整数を表し、mAが2以上の場合には、2以上のRA2、2以上のRA3及び2以上のLA2はそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよく、mAが2以上の場合には、第四級アンモニウムカチオンを含む構造であるmA個の構造のうち、ある構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つは、別の構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つと環構造を形成してもよく、nA及びmAよりなる群から選ばれた少なくとも一方が2以上の場合には、2以上のLA3及び2以上のRA4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RA2、RA3及びLA2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい;
式(B1)中、RB1は水素原子又はアルキル基を表し、LB1は2価の連結基を表し、RB2及びRB3はそれぞれ独立に、アルキル基を表し、LB2はnB+1価の連結基を表し、LB3は2価の連結基を表し、RB4は水素原子又はアルキル基を表し、nBは1以上の整数を表し、nBが2以上の場合には、2以上のLB3及び2以上のRB4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RB2、RB3、LB1及びLB2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい。
<18> 上記式(A1)中のnAが1であり、LA2及びLA3の結合が下記式(C1)~下記式(C4)により表される基のうちいずれか1つを表すか、又は、上記式(B1)中のnBが1であり、LB2及びLB3が下記式(C1)~下記式(C4)により表される基のうちいずれか1つを表す、<17>に記載の高分子化合物;
式(C1)~式(C4)中、LC1、LC2及びLC3はそれぞれ独立に、2価の連結基を表し、波線部は式(A1)又は式(B1)中の窒素原子との結合部位を、*は式(A1)中のRA4が結合した炭素原子又は式(B1)中のRB4が結合した炭素原子との結合部位を、それぞれ表す。
本明細書において、「~」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さない基(原子団)と共に置換基を有する基(原子団)をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X線、電子線等の活性光線又は放射線が挙げられる。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレート及びメタクリレートの双方、又は、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリル及びメタクリルの双方、又は、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルの双方、又は、いずれかを表す。
本明細書において、構造式中のMeはメチル基を表し、Etはエチル基を表し、Buはブチル基を表し、Phはフェニル基を表す。
本明細書において、重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィ)法により測定したポリスチレン換算値である。
本明細書において、近赤外線とは、波長700~2,500nmの光をいう。
本明細書において、固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の質量をいう。
本明細書において、顔料とは、溶剤に対して溶解しにくい化合物を意味する。例えば、顔料は、23℃の水100g及び23℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100gに対する溶解度がいずれも0.1g以下であることが好ましく、0.01g以下であることがより好ましい。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、特段の記載がない限り、組成物は、組成物に含まれる各成分として、その成分に該当する2種以上の化合物を含んでもよい。また、特段の記載がない限り、組成物における各成分の含有量とは、その成分に該当する全ての化合物の合計含有量を意味する。
本明細書において、特段の記載がない限り、構造式中の波線部又は*(アスタリスク)は他の構造との結合部位を表す。
本明細書において、好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
本発明の硬化性組成物は、
顔料、並びに、下記条件1及び下記条件2の少なくとも一方を満たす樹脂(以下、「特定樹脂」ともいう。)を含む。
条件1:上記樹脂が、アニオン構造、上記アニオン構造とイオン結合する第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基を同一の側鎖に有する構成単位を含む;
条件2:上記樹脂が、第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基が連結された基を側鎖に有する構成単位を含む。
この第四級アンモニウム構造同士の静電相互作用により、第四級アンモニウムカチオン構造と同一の側鎖に含まれるラジカル重合性基の重合において、特定樹脂の分子内でのラジカル重合性基の重合(分子内架橋)が抑制され、例えば、特定樹脂の分子間など、ある特定樹脂分子と、他の特定樹脂分子との間での重合(分子間架橋)が起こりやすいため、支持体との密着性に優れた膜が得られると推測される。
ここで、特許文献1及び2のいずれの文献にも、上述の条件1及び条件2の少なくとも一方を満たす樹脂を含む硬化性組成物については、記載も示唆もない。
また、本発明の硬化性組成物が、後述する重合性化合物を更に含む場合、上述の第四級アンモニウム構造同士の静電相互作用により、樹脂同士の重合よりも、樹脂と重合性化合物との間での重合が更に起こりやすいため、硬化性組成物の硬化性に優れやすく、硬化性組成物を硬化して得られるパターンのパターン形状に更に優れやすいと考えられる。
本発明の硬化性組成物が特定樹脂を含むことにより、硬化性組成物の保存安定性も向上しやすい。これは、上述の静電相互作用により、顔料の凝集が抑制される等の理由によるものであると推測される。
本発明の硬化性組成物が特定樹脂を含むことにより、上記パターンの形成時における現像残渣の発生が抑制されやすい。これは、側鎖に上記第四級アンモニウム構造を含むことにより特定樹脂の親水性が向上し、現像残渣が除去されやすいためであると推測される。
本発明の硬化性組成物が特定樹脂を含むことにより、引き置き欠陥が抑制されやすい。「引き置き欠陥」とは、硬化性組成物を支持体等に付与して組成物層を形成した後、露光、現像等によるパターニングまである程度の期間(例えば、12時間~3日間等)が経過した場合に、得られるパターンに欠陥(例えば、組成物層に粒状の凝集物が時間経過で発生する。このような成分は現像除去が難しい為、支持体上に残留し欠陥となる等)が認められるという現象である。本発明の硬化性組成物においては、上述の静電相互作用により、上記組成物層においても顔料の凝集の発生が抑制されるため、引き置き欠陥が抑制されやすいと推測される。
また、本発明の硬化性組成物は、固体撮像素子用の硬化性組成物として好ましく用いることができ、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタの画素形成用の硬化性組成物としてより好ましく用いることができる。
また、本発明の硬化性組成物は、表示装置用の硬化性組成物として好ましく用いることもでき、表示装置に用いられるカラーフィルタの画素形成用の着色組成物としてより好ましく用いることができる。
また、本発明の硬化性組成物は、カラーマイクロレンズの形成用の組成物として用いることもできる。カラーマイクロレンズの製造方法としては、特開2018-010162号公報に記載された方法などが挙げられる。
本発明の硬化性組成物は、顔料を含有する。
顔料としては、白色顔料、黒色顔料、有彩色顔料、透明顔料、近赤外線吸収顔料が挙げられる。なお、本発明において、白色顔料は純白色のみならず、白に近い明るい灰色(例えば灰白色、薄灰色など)の顔料などを含む。
また、顔料は、無機顔料、有機顔料のいずれでもよく、分散安定性をより向上させやすいという理由から有機顔料であることが好ましい。
また、顔料は、波長400~2,000nmの範囲に極大吸収波長を有するものが好ましく、波長400~700nmの範囲に極大吸収波長を有するものがより好ましい。
また、波長400~700nmの範囲に極大吸収波長を有する顔料(好ましくは有彩色顔料)を用いた場合においては、本発明の硬化性組成物は、カラーフィルタにおける着色層又は赤外線吸収層形成用の硬化性組成物として好ましく用いることができる。
着色層としては、例えば、赤色着色層、緑色着色層、青色着色層、マゼンタ色着色層、シアン色着色層、イエロー色着色層などが挙げられる。
有彩色顔料としては、特に限定されず、公知の有彩色顔料を用いることができる。有彩色顔料としては、波長400~700nmの範囲に極大吸収波長を有する顔料が挙げられる。例えば、黄色顔料、オレンジ色顔料、赤色顔料、緑色顔料、紫色顔料、青色顔料などが挙げられる。これらの具体例としては、例えば、以下が挙げられる。
C.I.Pigment Orange(以下、単に「PO」ともいう。) 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等(以上、オレンジ色顔料)、
C.I.Pigment Red(以下、単に「PR」ともいう。) 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279,294(キサンテン系、Organo Ultramarine、Bluish Red),295(アゾ系),296(アゾ系)等(以上、赤色顔料)、
C.I.Pigment Green(以下、単に「PG」ともいう。) 7,10,36,37,58,59,62,63等(以上、緑色顔料)、
C.I.Pigment Violet(以下、単に「PV」ともいう。) 1,19,23,27,32,37,42,60(トリアリールメタン系),61(キサンテン系)等(以上、紫色顔料)、
C.I.Pigment Blue(以下、単に「PB」ともいう。) 1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,29,60,64,66,79,80,87(モノアゾ系),88(メチン/ポリメチン系)等(以上、青色顔料)。
また、本発明の硬化性組成物は、上記緑色顔料と黄色顔料とを同時に含むことも好ましい。この場合の黄色顔料としては、PY 150及び/又はPY 185が好ましく挙げられる。
また、緑色顔料として、1分子中のハロゲン原子数が平均10~14個であり、臭素原子数が平均8~12個であり、塩素原子数が平均2~5個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開第2015/118720号に記載の化合物が挙げられる。また、緑色顔料として中国特許出願公開第106909027号明細書に記載の化合物、リン酸エステルを配位子として有するフタロシアニン化合物などを用いることもできる。
また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開2012-247591号公報の段落0022~0030、特開2011-157478号公報の段落0047に記載の化合物が挙げられる。
また、黄色顔料として、特開2017-201003号公報に記載されている顔料、特開2017-197719号公報に記載されている顔料を用いることができる。
また、黄色顔料として、下記式(I)により表されるアゾ化合物及びその互変異性構造のアゾ化合物よりなる群から選ばれる少なくとも1種のアニオンと、2種以上の金属イオンと、メラミン化合物とを含む金属アゾ顔料を用いることもできる。
式中、R1及びR2はそれぞれ独立して、-OH又はNR5R6であり、R3及びR4はそれぞれ独立して、=O又は=NR7であり、R5~R7はそれぞれ独立して、水素原子又はアルキル基である。R5~R7が表すアルキル基の炭素数は1~10が好ましく、1~6がより好ましく、1~4が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐及び環状のいずれであってもよく、直鎖又は分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は置換基を有していてもよい。置換基は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、アルコキシ基、シアノ基及びアミノ基が好ましい。
赤色顔料として、特開2017-201384号公報に記載の構造中に少なくとも1つ臭素原子が置換したジケトピロロピロール系顔料、特許第6248838号の段落番号0016~0022に記載のジケトピロロピロール系顔料などを用いることもできる。また、赤色顔料として、芳香族環に対して、酸素原子、硫黄原子又は窒素原子が結合した基が導入された芳香族環基がジケトピロロピロール骨格に結合した構造を有する化合物を用いることもできる。このような化合物としては、式(DPP1)により表される化合物であることが好ましく、式(DPP2)により表される化合物であることがより好ましい。
(1)赤色顔料と青色顔料とを含有する態様。
(2)赤色顔料と青色顔料と黄色顔料とを含有する態様。
(3)赤色顔料と青色顔料と黄色顔料と紫色顔料とを含有する態様。
(4)赤色顔料と青色顔料と黄色顔料と紫色顔料と緑色顔料とを含有する態様。
(5)赤色顔料と青色顔料と黄色顔料と緑色顔料とを含有する態様。
(6)赤色顔料と青色顔料と緑色顔料とを含有する態様。
(7)黄色顔料と紫色顔料とを含有する態様。
白色顔料としては、酸化チタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、シリカ、タルク、マイカ、水酸化アルミニウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸アルミニウム、中空樹脂粒子、硫化亜鉛などが挙げられる。白色顔料は、チタン原子を有する粒子が好ましく、酸化チタンがより好ましい。また、白色顔料は、波長589nmの光に対する25℃における屈折率が2.10以上の粒子であることが好ましい。前述の屈折率は、2.10~3.00であることが好ましく、2.50~2.75であることがより好ましい。
黒色顔料としては特に限定されず、公知のものを用いることができる。例えば、カーボンブラック、チタンブラック、グラファイト等が挙げられ、カーボンブラック、チタンブラックが好ましく、チタンブラックがより好ましい。チタンブラックとは、チタン原子を含有する黒色粒子であり、低次酸化チタンや酸窒化チタンが好ましい。チタンブラックは、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。例えば、酸化珪素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、又は、酸化ジルコニウムでチタンブラックの表面を被覆することが可能である。また、特開2007-302836号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。黒色顔料として、カラーインデックス(C.I.)Pigment Black 1,7等が挙げられる。チタンブラックは、個々の粒子の一次粒子径及び平均一次粒子径のいずれもが小さいことが好ましい。具体的には、平均一次粒子径が10~45nmであることが好ましい。チタンブラックは、分散物として用いることもできる。例えば、チタンブラック粒子とシリカ粒子とを含み、分散物中のSi原子とTi原子との含有比が0.20~0.50の範囲に調整された分散物などが挙げられる。上記分散物については、特開2012-169556号公報の段落0020~0105の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M-C、13R-N、13M-T(商品名:三菱マテリアル(株)製)、ティラック(Tilack)D(商品名:赤穂化成(株)製)などが挙げられる。
近赤外線吸収顔料は、有機顔料であることが好ましい。また、近赤外線吸収顔料は、波長700nmを超え1,400nm以下の範囲に極大吸収波長を有することが好ましい。また、近赤外線吸収顔料の極大吸収波長は、1,200nm以下であることが好ましく、1,000nm以下であることがより好ましく、950nm以下であることが更に好ましい。また、近赤外線吸収顔料は、波長550nmにおける吸光度A550と極大吸収波長における吸光度Amaxとの比であるA550/Amaxが0.1以下であるものが好ましく、0.05以下であることがより好ましく、0.03以下であることが更に好ましく、0.02以下であることが特に好ましい。下限は、特に限定はないが、例えば、0.0001以上とすることができ、0.0005以上とすることもできる。上述の吸光度の比が上記範囲であれば、可視光透明性及び近赤外線遮蔽性に優れた近赤外線吸収顔料とすることができる。なお、本発明において、近赤外線吸収顔料の極大吸収波長及び各波長における吸光度の値は、近赤外線吸収顔料を含む硬化性組成物を用いて形成した膜の吸収スペクトルから求めた値である。
透明顔料としては、例えば、酸化チタン、酸化ジルコニウム、シリカ、酸化亜鉛、硫酸バリウム、炭酸バリウム、アルミナホワイト、炭酸カルシウム、ステアリン酸カルシウムなどが挙げられる。
これらの中でも、着色力が小さいものが好ましく、酸化チタン又は酸化ジルコニウムがより好ましく、酸化ジルコニウムが更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、顔料誘導体を含んでもよい。本発明では、顔料と顔料誘導体を併用することも好ましい態様である。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、フタロシアニン系骨格、アンスラキノン系骨格、キナクリドン系骨格、ジオキサジン系骨格、ペリノン系骨格、ペリレン系骨格、チオインジゴ系骨格、イソインドリン系骨格、イソインドリノン系骨格、キノフタロン系骨格、スレン系骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、キノフタロン系骨格、イソインドリン系骨格およびフタロシアニン系骨格が好ましく、アゾ系骨格およびベンゾイミダゾロン系骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸基としては、スルホ基、カルボキシ基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。顔料誘導体の具体例としては、後述の実施例に記載の化合物や、特開2011-252065号公報の段落番号0162~0183に記載された化合物が挙げられる。顔料誘導体の含有量は、顔料100質量部に対して1~30質量部が好ましく、3~20質量部がさらに好ましい。顔料誘導体は、1種のみを用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
本発明の硬化性組成物は、下記条件1及び下記条件2の少なくとも一方を満たす樹脂(特定樹脂)を含む。
条件1:上記樹脂が、アニオン構造、上記アニオン構造とイオン結合する第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基を同一の側鎖に有する構成単位を含む。
条件2:上記樹脂が、第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基が連結された基を側鎖に有する構成単位を含む。
条件1又は条件2における側鎖の分子量(分子量分布を有する場合には、重量平均分子量)は50~1500であることが好ましく、100~1000であることがより好ましい。
また、特定樹脂は、付加重合型樹脂であることが好ましく、アクリル樹脂であることがより好ましい。特定樹脂が付加重合型樹脂である場合、条件1又は条件2における側鎖が、付加重合により形成される分子鎖に結合する分子鎖であって、付加重合以外の方法により形成された分子鎖である態様が挙げられる。
上記条件1におけるアニオン構造、上記アニオン構造とイオン結合する第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基を同一の側鎖に有する構成単位において、アニオン構造と第四級アンモニウムカチオン構造とは、イオン結合していてもよいし、解離していてもよい。
また、条件1における側鎖は、アニオン構造と、第四級アンモニウムカチオン構造と、ラジカル重合性基と、をそれぞれ少なくとも1つ有していればよく、アニオン構造、第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基よりなる群から選ばれた少なくとも1種を1つの側鎖に複数有していてもよい。
上記条件1におけるアニオン構造としては、特に限定されないが、カルボキシラートアニオン、スルホナートアニオン、ホスホナートアニオン、ホスフィナートアニオン、フェノラートアニオン等の酸基に由来するアニオンが挙げられ、カルボキシラートアニオンが好ましい。
また、上記条件1におけるアニオン構造は、樹脂の主鎖に直結していてもよい。例えば、アクリル樹脂におけるアクリル酸に由来する構成単位に含まれるカルボキシ基(側基、side group)がアニオン化した場合に、樹脂の主鎖に直結したアニオン構造となる。
また、アニオン構造と第四級アンモニウムカチオン構造が結合した場合の主鎖と第四級アンモニウムカチオン構造との距離(原子数)は、4~70元素が好ましく、4~50元素がより好ましく、4~30元素が更に好ましい。
本明細書において、高分子化合物中の2つの構造の距離とは、2つの構造を最短で結ぶ連結基の原子数をいう。
第四級アンモニウムカチオン構造とラジカル重合性基との距離は、2~30元素が好ましく、3~20元素がより好ましく、4~15元素が更に好ましい。
ラジカル重合性基と主鎖との距離は、6~100元素が好ましく、6~70元素がより好ましく、6~50元素が更に好ましい。
上記条件1における第四級アンモニウムカチオン構造としては、窒素原子に結合する4つの炭素原子が含まれる4つの基のうち、少なくとも3つが炭化水素基である構造が好ましく、少なくとも3つがアルキル基であることがより好ましい。
上記窒素原子に結合する4つの炭素原子を含む4つの基のうち、少なくとも1つはラジカル重合性基との結合部位を含む連結基である。上記連結基は、2価~6価の連結基であることが好ましく、2価~4価の連結基であることがより好ましく、2価又は3価の連結基であることがより好ましい。上記連結基としては、後述の式(A1)におけるLA2により表される基が挙げられる。
また、上記窒素原子に結合する4つの炭素原子を含む4つの基のうち、1つのみが上記連結基であることが好ましい。
上記4つの炭素原子を含む4つの基のうち、2つ又は3つが炭素数1~4のアルキル基であることが好ましく、2つが炭素数1~4のアルキル基であり、かつ、残りの2つの基のうち、1つが炭素数4~20の炭化水素基であることが好ましい。また、上記2つ又は3つのアルキル基は同一の基であってもよいし、異なる基であってもよい。
上記炭素数1~4のアルキル基としては、メチル基又はエチル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。
上記炭素数4~20の炭化水素基としては、炭素数4~20のアルキル基、又は、ベンジル基が好ましい。
上記条件1において、側鎖が複数の第四級アンモニウムカチオン構造を含む場合、第四級アンモニウムカチオン構造同士は連結基を介して結合しており、第四級アンモニウムカチオン構造同士が環構造を形成していてもよい。形成される環構造としては、下記式により表される環構造が挙げられる。下記式において、*はラジカル重合性基との結合部位を含む連結基との結合部位を表す。
ラジカル重合性基としては、エチレン性不飽和基を有する基が好ましい。エチレン性不飽和基を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリルアミド基、(メタ)アクリロキシ基、ビニルフェニル基などが挙げられ、反応性の観点からは(メタ)アクリロキシ基又はビニルフェニル基が好ましく、(メタ)アクリロキシ基がより好ましい。
上記条件2における側鎖において、第四級アンモニウムカチオン構造と、ラジカル重合性基とは連結されている。すなわち、1つの側鎖が少なくとも1つの第四級アンモニウムカチオン構造と、少なくとも1つのラジカル重合性基と、の両方を有する。
上記条件2における側鎖は、第四級アンモニウムカチオン構造と、ラジカル重合性基と、をそれぞれ少なくとも1つ有していればよく、第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基よりなる群から選ばれた少なくとも1種を1つの側鎖に複数有していてもよい。
また、主鎖と第四級アンモニウムカチオン構造との距離(原子数)は、4~20元素が好ましく、4~15元素がより好ましく、4~10元素が最も好ましい。
第四級アンモニウムカチオン構造と重合性基との距離は、2~30元素が好ましく、3~20元素がより好ましく、4~15元素が更に好ましい。
重合性基と主鎖との距離は、6~50元素が好ましく、6~30元素がより好ましく、6~20元素が更に好ましい。
上記条件2における第四級アンモニウムカチオン構造としては、窒素原子に結合する4つの炭素原子を含む4つの基のうち、少なくとも2つが炭化水素基である構造が好ましく、少なくとも2つがアルキル基であることがより好ましい。
上記炭化水素基としては、アルキル基又はアリール基が好ましく、アルキル基又はフェニル基がより好ましい。
上記アルキル基としては、炭素数1~4のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基であることがより好ましく、メチル基であることが更に好ましい。また、上記2つのアルキル基は同一の基であってもよいし、異なる基であってもよい。
上記窒素原子に結合する4つの炭素原子を含む4つの基のうち、少なくとも1つはラジカル重合性基との結合部位を含む連結基であり、少なくとも1つは特定樹脂における主鎖との結合部位を含む連結基である。
上記ラジカル重合性基との連結基は、2価~6価の連結基であることが好ましく、2価~4価の連結基であることがより好ましく、2価又は3価の連結基であることがより好ましい。上記連結基としては、後述の式(B1)におけるLB2により表される基が挙げられる。
上記特定樹脂における主鎖との結合部位を含む連結基は、2価の連結基であることが好ましい。上記連結基としては、後述の式(B1)におけるLB1により表される基が挙げられる。
上記条件2における第四級アンモニウムカチオン構造の対アニオンは、特定樹脂中に存在してもよいし、硬化性組成物に含まれる他の成分中に存在してもよいが、特定樹脂中に存在することが好ましい。
ラジカル重合性基としては、エチレン性不飽和基を有する基が好ましい。エチレン性不飽和基を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリルアミド基、(メタ)アクリロキシ基、ビニルフェニル基などが挙げられ、反応性の観点からは(メタ)アクリロキシ基又はビニルフェニル基が好ましく、(メタ)アクリロキシ基がより好ましい。
上記樹脂は、下記式(A1)で表される構成単位、及び、下記式(B1)で表される構成単位の少なくとも一方を含むことが好ましい。
下記式(A1)で表される構成単位を含む樹脂は、条件1を満たす樹脂であり、下記式(B1)で表される構成単位を含む樹脂は、条件2を満たす樹脂である。
式(A1)中、RA1は水素原子又はアルキル基を表し、AA1は酸基からプロトンが乖離した基を含む構造を表し、RA2及びRA3はそれぞれ独立に、アルキル基又はアラルキル基を表し、LA1はmAが1である場合には1価の置換基を表し、mAが2以上である場合にはmA価の連結基を表し、LA2はnA+1価の連結基を表し、LA3は2価の連結基を表し、RA4は水素原子又はアルキル基を表し、nAは1以上の整数を表し、mAは1以上の整数を表し、mAが2以上の場合には、2以上のRA2、2以上のRA3及び2以上のLA2はそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよく、mAが2以上の場合には、第四級アンモニウムカチオンを含む構造であるmA個の構造のうち、ある構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つは、別の構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つと環構造を形成してもよく、nA及びmAよりなる群から選ばれた少なくとも一方が2以上の場合には、2以上のLA3及び2以上のRA4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RA2、RA3及びLA2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい;
式(B1)中、RB1は水素原子又はアルキル基を表し、LB1は2価の連結基を表し、RB2及びRB3はそれぞれ独立に、アルキル基を表し、LB2はnB+1価の連結基を表し、LB3は2価の連結基を表し、RB4は水素原子又はアルキル基を表し、nBは1以上の整数を表し、nBが2以上の場合には、2以上のLB3及び2以上のRB4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RB2、RB3、LB1及びLB2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい。
式(A1)中、AA1は酸基からプロトンが乖離した基を含む構造を表し、酸基としてはカルボキシ基、スルホ基、リン酸基、ホスホン酸基、フェノール性ヒドロキシ基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。AA1に含まれる酸基は1つであっても複数であってもよく、1つであることが好ましい。また、AA1における酸基は、式(A1)中のRA1が結合した炭素原子と直接結合してもよいし、連結基を介して結合してもよい。上記連結基としては、炭化水素基、エーテル結合(-O-)、エステル結合(-COO-)、アミド結合(-CONH-)及び、これらが2以上結合した基が好ましい。上記炭化水素基としては、2価の炭化水素基が挙げられ、アルキレン基又はアリーレン基が好ましく、炭素数1~20のアルキレン基又はフェニレン基がより好ましい。また、本明細書において、特段の記載がない限り、アミド結合における水素原子はアルキル基、アリール基等の公知の置換基により置換されていてもよい。
式(A1)中、RA2及びRA3はそれぞれ独立に、アルキル基であることが好ましく、炭素数1~10のアルキル基がより好ましく、炭素数1~4のアルキル基がより好ましく、メチル基又はエチル基が更に好ましく、メチル基が特に好ましい。
式(A1)中、RA2又はRA3がアラルキル基である場合、炭素数7~22のアラルキル基が好ましく、炭素数7~10のアラルキル基がより好ましく、ベンジル基が更に好ましい。
式(A1)中、LA1はmAが2以上である場合、mA価の炭化水素基が好ましく、飽和脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素、又はこれらが2以上結合した構造からmA個の水素原子を除いた基がより好ましい。mAが1である場合、LA1はアルキル基、アリール基、又は、アラルキル基が好ましく、炭素数4~20のアルキル基、又は、ベンジル基がより好ましい。
式(A1)中、LA2は後述する式(C1-1)~式(C4-1)により表される基のうちいずれか1つであることが好ましい。
式(A1)中、LA3はエーテル結合(-O-)、エステル結合(-COO-)、アミド結合(-NHCO-)、アルキレン基、又は、アリーレン基が好ましく、エステル結合又はフェニレン基がより好ましい。
式(A1)中、RA4は水素原子又は炭素数1~4のアルキル基が好ましく、水素原子又はメチル基がより好ましい。
式(A1)中、nAは1~10であることが好ましく、1~4であることがより好ましく、1又は2であることが更に好ましく、1であることが特に好ましい。
式(A1)中、mAは1~10であることが好ましく、1~4であることがより好ましく、1~3であることが更に好ましい。
式(B1)中、LB1は2価の連結基を表し、炭化水素基、エーテル結合(-O-)、エステル結合(-COO-)、アミド結合(-CONH-)及び、これらが2以上結合した基が好ましい。上記炭化水素基としては、2価の炭化水素基が挙げられ、アルキレン基又はアリーレン基が好ましく、炭素数1~20のアルキレン基又はフェニレン基がより好ましい。
式(B1)中、RB2及びRB3はそれぞれ独立に、炭素数1~10のアルキル基が好ましく、炭素数1~4のアルキル基がより好ましく、メチル基又はエチル基が更に好ましく、メチル基が特に好ましい。
式(B1)中、LB2は後述する式(C1-1)~式(C4-1)により表される基のうちいずれか1つであることが好ましい。
式(B1)中、LB3はエーテル結合(-O-)、エステル結合(-COO-)、アミド結合(-NHCO-)、アルキレン基、又は、アリーレン基が好ましく、エステル結合又はフェニレン基がより好ましい。
式(B1)中、nBは1~10であることが好ましく、1~4であることがより好ましく、1又は2であることが更に好ましく、1であることが特に好ましい。
式(C1-1)~式(C4-1)中、LC11はnC1+1価の連結基を表し、LC21はnC2+1価の連結基を表し、LC31はnC3+1価の炭化水素基を表し、nC1~nC3はそれぞれ独立に、1以上の整数を表し、波線部は式(A1)又は式(B1)中の窒素原子との結合部位を、*は式(A1)中のRA4が結合した炭素原子又は式(B1)中のRB4が結合した炭素原子との結合部位を、それぞれ表す。
また、式(C3-1)におけるLC21は、式(C3-1)中のシクロヘキサン環のいずれの炭素原子に結合してもよいことを表している。
式(C1-1)又は式(C2-1)中、nC1は1~10であることが好ましく、1~4であることが好ましく、1又は2であることがより好ましい。
式(C3-1)中、nC2は1~10であることが好ましく、1~4であることが好ましく、1又は2であることがより好ましい。
式(C4-1)中、nC3は1~10であることが好ましく、1~4であることが好ましく、1又は2であることがより好ましい。
式(A1)において、LA2が式(C4-1)により表される基である場合、LA3はフェニレン基であることが好ましい。
式(B1)において、LB2が式(C1-1)、式(C2-1)又は式(C3-1)により表される基である場合、LB3はエステル結合であることが好ましい。
式(B1)において、LB2が式(C4-1)により表される基である場合、LB3はフェニレン基であることが好ましい。
式(C1)~式(C4)中、LC1、LC2及びLC3はそれぞれ独立に、単結合又は2価の連結基を表し、波線部は式(A1)又は式(B1)中の窒素原子との結合部位を、*は式(A1)中のRA4が結合した炭素原子又は式(B1)中のRB4が結合した炭素原子との結合部位を、それぞれ表す。
また、式(C3)におけるLC2は、式(C3)中のシクロヘキサン環のいずれの炭素原子に結合してもよいことを表している。
式(C3)中、LC2は2価の炭化水素基、エーテル結合、エステル結合、又は、これらが2以上結合した基が好ましく、アルキレン基、アリーレン基、エーテル結合、エステル結合、又は、これらが2以上結合した基がより好ましく、炭素数1~20のアルキレン基、フェニレン基、エーテル結合、又は、これらが2以上結合した基がより好ましい。
式(C4)中、LC3は2価の炭化水素基、エーテル結合、エステル結合、又は、これらが2以上結合した基が好ましく、アルキレン基、アリーレン基、エーテル結合、エステル結合、又は、これらが2以上結合した基がより好ましく、炭素数1~20のアルキレン基がより好ましい。
また、これらの構造において、第四級アンモニウムカチオン構造を有する構成単位の少なくとも一部が、下記式(A1-1-1)(式(A-1)における部分構造である。)に対する式(A1-1-1’)で表される構造となっていてもよい。
具体的には、第四級アンモニウムカチオン構造を有する構成単位に含まれる上述の式(C1)で表される構造が、上述の式(C2)で表される構造となっていてもよい。式(A1-1-1’)のような構造は、一例としては、アミン化合物と、エポキシ基及びアクリロイル基を有する化合物との反応において、構造異性体として存在する。
また特定樹脂は、式(B1)で表される構成単位を、1種単独で有していても、2種以上を有していてもよい。
式(A1)で表される構成単位、及び、式(B1)で表される構成単位の含有量(2種以上含む場合は、合計含有量)は、特定樹脂の全質量に対し、1質量%~60質量%であることが好ましく、5質量%~40質量%であることがより好ましく、5~20質量%であることが更に好ましい。
特定樹脂は、ラジカル重合性基を有し、かつ、式(A1)で表される構成単位、及び、式(B1)で表される構成単位とは異なる構成単位Dを更に含むことも好ましい。
構成単位Dにおけるラジカル重合性基としては、エチレン性不飽和基を有する基が好ましい。エチレン性不飽和基を有する基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリルアミド基、(メタ)アクリロキシ基、ビニルフェニル基などが挙げられ、反応性の観点からは(メタ)アクリロキシ基又はビニルフェニル基が好ましく、(メタ)アクリロキシ基がより好ましい。
特定樹脂は、上記構成単位Dとして、下記式(D1)で表される構成単位を更に含むことが好ましい。
式(D1)中、RD1~RD3はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、XD1は、-COO-、-CONRD6-又はアリーレン基を表し、RD6は、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、RD4は、2価の連結基を表し、LD1は、下記式(D2)、式(D3)又は式(D3’)により表される基を表し、RD5は、(n+1)価の連結基を表し、XD2は、酸素原子又はNRD7-を表し、RD7は、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、RDは水素原子又はメチル基を表し、nDは1以上の整数を表し、nDが2以上の場合、2以上のXD2及び2以上のRDはそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。
式(D2)、式(D3)及び式(D3’)中、XD3は、酸素原子又は-NH-を表し、XD4は、酸素原子又はCOO-を表し、Re1~Re3はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、Re1~Re3のうちの少なくとも2つが結合し、環構造を形成していてもよく、XD5は、酸素原子又は-COO-を表し、Re4~Re6はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、Re4~Re6のうちの少なくとも2つが結合し、環構造を形成していてもよく、*及び波線部は他の構造との結合位置を表す。
上記効果が得られる理由は不明であるが、以下のように推測される。
式(D1)により表される構成単位を有する樹脂においては、側鎖に極性基である式(D2)、式(D3)又は式(D3’)により表される基を有することにより、組成物中において、上記(メタ)アクリロイル基が動く幅が大きくなり、反応性に優れると考えられる。また、式(D2)、式(D3)又は式(D3’)により表される基を有することにより、樹脂同士の凝集を抑制し、分散性に優れ、より上記(メタ)アクリロイル基が反応しやすくなるため、上記深部硬化性に優れる硬化性組成物が得られやすいと考えられる。
また、式(D1)により表される構成単位を含むことにより、主鎖から離れた位置に式(D2)、式(D3)又は式(D3’)により表される基を介して高反応性の(メタ)アクリロイル基を導入することができる。これにより、樹脂分子内の(メタ)アクリロイル基同士で反応するのではなく、樹脂分子間又は組成物中の他の架橋成分(例えば、重合性化合物など)と反応する確率が高められ、顔料濃度の高い組成物中でも効率良く架橋反応が進行し、深部硬化性及びパターン形状を向上できると考えられる。
また、式(D1)により表される構成単位は、比較的長い側鎖構造を有し、式(D2)、式(D3)又は式(D3’)により表される極性基を側鎖に有するため、顔料への吸着性を高め、かつ、顔料粒子同士の凝集を抑制する立体的な反発性を発現すると考えられる。その結果、顔料の分散性が向上されると考えられる。
更に、特定樹脂が後述する式(D4)により表される構成単位を有することにより、主鎖から離れた位置に吸着性基となるカルボン酸を導入することができ、顔料吸着性を高め分散安定性を向上することができると考えられる。
また、式(D1)により表される構成単位を導入することにより、基板密着性及びパターン形状も、上記深部硬化性に優れることにより、改良され、更に、後述する式(D4)により表される構成単位を有することにより、硬化性組成物の分散安定性が向上されると考えられる。
式(D1)におけるXD1は、深部硬化性の観点から、-COO-又はCONRD6-であることが好ましく、-COO-であることがより好ましい。XD1がアリーレン基である場合、炭素数6~20の2価の芳香族炭化水素基であることが好ましく、フェニレン基又はナフチレン基がより好ましく、フェニレン基が更に好ましい。XD1が-COO-である場合、-COO-における炭素原子が式(D1)中のRD1が結合した炭素原子と結合することが好ましい。XD1が-CONRD6-である場合、-CONRD6-における炭素原子が式(D1)中のRD1が結合した炭素原子と結合することが好ましい。
RD6は、水素原子又はアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。
式(D1)におけるRD4は、深部硬化性の観点から、炭化水素基、又は、2以上の炭化水素基とエーテル結合及びエステル結合よりなる群から選ばれた1以上の構造とが結合した基であることが好ましく、炭化水素基、又は、2以上の炭化水素基と1以上のエステル結合とが結合した基であることがより好ましい。
また式(D1)におけるRD4は、アルキレン基、エーテル基、カルボニル基、フェニレン基、シクロアルキレン基、及び、エステル結合よりなる群から選ばれた2以上の基を結合した基であることが好ましく、アルキレン基、エーテル基、及び、エステル結合よりなる群から選ばれた2以上の基を結合した基であることがより好ましい。
また、式(D1)におけるRD4は、深部硬化性の観点から、総原子数2~60の基であることが好ましく、総原子数2~50の基であることがより好ましく、総原子数2~40の基であることが特に好ましい。
更に、深部硬化性の観点から、RD4が、炭化水素基、アルキレンオキシ基、アルキレンカルボニルオキシ基及び下記構造により表されるいずれかの基よりなる群から選ばれた基であり、かつ上記RD5が、アルキレン基、又は、2以上のアルキレン基とエーテル結合及びエステル結合よりなる群から選ばれた1以上の構造とが結合した基であることが特に好ましい。
また、上記式中、LF1及びLF2はそれぞれ独立に、炭化水素基を表し、nは0以上の整数を表す。
LF1及びLF2はそれぞれ独立に、炭素数2~20のアルキレン基である態様も好ましい。
LF1及びLF2は同一の基である態様も好ましい。
nは0~100である態様も好ましい。
式(D1)におけるRD5は、深部硬化性の観点から、2価の連結基であることが好ましく、アルキレン基、又は、2以上のアルキレン基とエーテル結合及びエステル結合よりなる群から選ばれた1以上の構造とが結合した基であることがより好ましく、アルキレンオキシアルキレン基であることが更に好ましく、メチレンオキシ-n-ブチレン基であることが特に好ましい。
また、式(D1)におけるRD5は、深部硬化性の観点から、総原子数2~40の基であることが好ましく、総原子数2~30の基であることがより好ましく、総原子数2~20の基であることが特に好ましい。
式(D1)におけるXD2は、深部硬化性の観点から、酸素原子であることが好ましい。
RD7は、水素原子又はアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。
RDは、水素原子であることが好ましい。
上記式(D2)、式(D3)及び式(D3’)において、*がRD4との結合部位であり、波線部がRD5との結合部位であることが好ましい。
式(D2)におけるXD3は、深部硬化性及び分散性の観点から、酸素原子であることが好ましい。
また、LD1が、式(D2)により表される基である場合、深部硬化性及び分散性の観点から、RD4が、エチレン基、n-プロピレン基、イソプロピレン基、n-ブチレン基及びイソブチレン基よりなる群から選ばれた基であり、かつRD5が、エチレン基であることが特に好ましい。
式(D3)又は式(D3’)におけるXD4は、深部硬化性、パターン形状及び現像残渣抑制の観点から、-COO-であることが好ましい。XD4が上記-COO-である場合、-COO-における酸素原子と、Re1が結合した炭素原子と、が結合することが好ましい。
式(D3)又は式(D3’)におけるRe1~Re3は、深部硬化性、パターン形状及び現像残渣抑制の観点から、水素原子であることが好ましい。
また、LD1が、式(D3)又は式(D3’)により表される基である場合、深部硬化性、パターン形状及び現像残渣抑制の観点から、RD4が、炭化水素基、2以上の炭化水素基とエーテル結合及びエステル結合よりなる群から選ばれた1以上の構造とが結合した基、又は、下記構造により表されるいずれかの基であり、かつRD5が、アルキレン基、又は、2以上のアルキレン基とエーテル結合及びエステル結合よりなる群から選ばれた1以上の構造とが結合した基であることが特に好ましい。
また、式(D3)により表される基としては、下記式(D3-1)又は式(D3-2)により表される基が好ましく挙げられる。
また、式(D3-1)、及び、式(D3-2)の構造において、少なくとも一部が、下記式(D3-1)に対する式(D3-1’)、下記式(D3-2)に対する式(D3-2’)で表される構造となっていてもよい。式(D3-1’)のような構造は、一例としては、カルボン酸化合物と、エポキシ基及びアクリロイル基を有する化合物との反応において、構造異性体として存在する。式(D3-2’)のような構造は、一例としては、フェノール化合物と、エポキシ基及びアクリロイル基を有する化合物との反応において、構造異性体として存在する。
式(D1)により表される構成単位の含有量は、現像性、パターン形状、分散安定性、及び、深部硬化性の観点から、特定樹脂の全質量に対し、1~80質量%であることが好ましく、1~70質量%であることがより好ましく、1~60質量%であることが特に好ましい。
特定樹脂は、分散安定性、及び、現像性の観点から、下記式(D4)により表される構成単位を更に有することが好ましい。
式(D4)中、RD8は、水素原子又はアルキル基を表し、XD5は、-COO-、-CONRB-又はアリーレン基を表し、RBは、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、LD2は、炭素数1~10の脂肪族炭化水素基、炭素数6~20の芳香族炭化水素基、又は、炭素数1~10の脂肪族炭化水素基及び炭素数6~20の芳香族炭化水素基よりなる群から選ばれた2以上の基とエーテル結合及びエステル結合よりなる群から選ばれた1以上の基とを結合した基を表し、更に、LD2は、XD5がアリーレン基である場合、単結合であってもよい。
式(D4)におけるXD5は、分散安定性の観点から、-COO-又は-CONRB-であることが好ましく、-COO-であることがより好ましい。XD5が-COO-である場合、-COO-における炭素原子が式(D4)中のRD8が結合した炭素原子と結合することが好ましい。XD5が-CONRDB-である場合、-CONRDB-における炭素原子が式(D4)中のRD8が結合した炭素原子と結合することが好ましい。
RBは、水素原子又はアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。
式(D4)におけるLD2は、分散安定性の観点から、炭素数1~10の脂肪族炭化水素基、又は、2以上の炭素数1~10の脂肪族炭化水素基と1以上のエステル結合とを結合した基であることが好ましく、炭素数1~10の脂肪族炭化水素基であることが更に好ましく、炭素数1~10のアルキレン基であることが特に好ましい。
式(D4)により表される構成単位の含有量は、現像性、パターン形状、及び、分散安定性の観点から、特定樹脂の全質量に対し、20質量%~80質量%であることが好ましく、20質量%~70質量%であることがより好ましく、20質量%~60質量%であることが特に好ましい。
特定樹脂は、分散安定性の観点から、下記式(D5)により表される構成単位を更に有することが好ましく、分散安定性、及び、現像性の観点から、上記式(D4)により表される構成単位、及び、下記式(D5)により表される構成単位を更に有することがより好ましい。
式(D5)におけるXD6は、分散安定性の観点から、酸素原子であることが好ましい。
RCは、水素原子又はアルキル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。
式(D5)におけるLD3は、分散安定性の観点から、総原子数2~30の基であることが好ましく、総原子数3~20の基であることがより好ましく、総原子数4~10の基であることが特に好ましい。
また、式(D5)におけるLD3は、分散安定性の観点から、ウレタン結合又はウレア結合を有する基であることが好ましく、ウレタン結合を有する基であることがより好ましく、アルキレン基とウレタン結合とが結合した基であることが特に好ましい。
上記アルキレンカルボニルオキシ基の炭素数は、分散安定性の観点から、2~30であることが好ましく、3~10であることがより好ましく、5~8であることが特に好ましい。
分散安定性の観点から、pは、1以上の整数であり、3以上の整数であることが好ましい。
また、pは100以下であることが好ましく、60以下であることがより好ましく、40以下であることが特に好ましい。
式(D5)におけるZD1は、分散安定性の観点から、炭素数1~20の脂肪族炭化水素基であることが好ましく、炭素数4~20のアルキル基であることがより好ましく、炭素数6~20のアルキル基であることが特に好ましい。
また、ZD1における上記アルキル基は、分散安定性の観点から、分岐アルキル基であることが好ましい。
また、a個のオキシアルキレンカルボニル構造又はアルキレンオキシ構造とb個のオキシアルキレンカルボニル構造又はアルキレンオキシ構造はランダムに配列していることが好ましい。
式(D5)により表される構成単位の含有量は、現像性、及び、分散安定性の観点から、特定樹脂の全質量に対し、5質量%~80質量%であることが好ましく、5質量%~70質量%であることがより好ましく、5質量%~60質量%であることが特に好ましい。
特定樹脂は、上述した式(A1)、式(B1)、式(D1)、式(D4)及び式(D5)により表される構成単位以外のその他の構成単位を有していてもよい。
その他の構成単位としては、特に制限はなく、公知の構成単位を有することができる。
-重量平均分子量-
特定樹脂の重量平均分子量(Mw)は、1,000以上であることが好ましく、1,000~200,000であることがより好ましく、1,000~100,000であることが特に好ましい。
特定樹脂のエチレン性不飽和結合価は、深部硬化性、パターン形状、及び、基板密着性の観点から、0.01mmol/g~2.5mmol/gであることが好ましく、0.05mmol/g~2.3mmol/gであることがより好ましく、0.1mmol/g~2.2mmol/gであることが更に好ましく、0.1mmol/g~2.0mmol/gであることが特に好ましい。
特定樹脂のエチレン性不飽和結合価は、特定樹脂の固形分1gあたりのエチレン性不飽和基のモル量を表したものであり、実施例に記載の方法により測定される。
特定樹脂の酸価は、現像性の観点からは、30~110mgKOH/gであることが好ましく、40~90mgKOH/gであることがより好ましい。
上記酸価は、実施例に記載の方法により測定される。
特定樹脂のアミン価は、支持体との密着性の観点からは、0.03~0.8mmol/gであることが好ましく、0.1~0.5mmol/gであることがより好ましい。
上記アミン価は、実施例に記載の方法により測定される。
特定樹脂の含有量は、支持体との密着性、及び、保存安定性の観点から、硬化性組成物の全固形分に対して、10~45質量%であることが好ましく、12~40質量%であることがより好ましく、14~35質量%であることが特に好ましい。
また、特定樹脂の含有量は、支持体との密着性、及び、保存安定性の観点から、顔料の含有量100質量部に対して、20~60質量部含有することが好ましく、22~55質量部であることがより好ましく、24~50質量部であることが特に好ましい。
例えば、上記特定樹脂の前駆体を公知の方法により合成した後、高分子反応により、上記式(A1)又は式(B1)により表される構成単位におけるラジカル重合性基を有する基を導入する方法が挙げられる。
上記式(A1)により表される構成単位は、上記特定樹脂の前駆体が有するカルボキシ基と、アミン化合物と、エポキシ基及びアクリロイル基を有する化合物との反応等により導入される。また、上記式(A1)により表される構成単位は、上記特定樹脂の前駆体が有するアミン化合物と、ハロゲノ基及びアクリロイル基を有する化合物との反応により導入される。
上記式(B1)により表される構成単位は、上記特定樹脂の前駆体が有するアミノ基と、エポキシ基及びアクリロイル基を有する化合物との反応により導入される。また、上記式(B1)により表される構成単位は、上記特定樹脂の前駆体が有するアミノ基と、ハロゲノ基及びアクリロイル基を有する化合物との反応により導入される。
上記式(D1)により表される構成単位は、上記特定樹脂の前駆体が有するカルボキシ基と、エポキシ基およびアクリロイル基を有する化合物との反応、ならびに、上記特定樹脂の前駆体が有するヒドロキシ基と、イソシアナト基およびアクリロイル基を有する化合物との反応等により導入される。
これらの合成方法はあくまで一例であり、特定樹脂の合成方法は特に限定されるものではない。
また、特定樹脂が星型高分子化合物、又は、特定末端基を有する星型高分子化合物である場合、これらの高分子化合物は、例えば、特開2007-277514号公報に記載の合成法を参考に合成することができる。
上記特定樹脂の組成を均一化する方法としては、例えば、異なるモノマー種の消費速度を合わせるように反応系内にモノマーを滴下する手法が挙げられる。一般的には、消費速度の遅いモノマー種の反応系内の初期濃度を上げ、消費速度の速いモノマー種を滴下することで反応系内での濃度差を作ることで反応速度を合わすことが可能である。
硬化性組成物の全固形分中における特定樹脂の含有量は、5~50質量%が好ましい。下限は、8質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましい。上限は、40質量%以下が好ましく、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。また、硬化性組成物の全固形分中における酸基を有する特定樹脂の含有量は、5~50質量%が好ましい。下限は、10質量%以上が好ましく、15質量%以上がより好ましい。上限は、40質量%以下が好ましく、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、重合性化合物を含有することが好ましい。上述の特定樹脂に該当する化合物は、重合性化合物には該当しないものとする。重合性化合物としては、ラジカル、酸又は熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。本発明において、重合性化合物は、例えば、エチレン性不飽和基を有する化合物であることが好ましい。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。本発明で用いられる重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることが好ましい。
本発明の硬化性組成物は光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤は、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。
また、本発明において用いられる光重合開始剤の波長365nmにおけるモル吸光係数は、本発明の効果がより得られやすい観点から、1,000L・mol-1・cm-1以上であることが好ましく、3,000L・mol-1・cm-1以上であることがより好ましく、5,000L・mol-1・cm-1以上であることが更に好ましい。また最大値は、特に限定されないが、100,000L・mol-1・cm-1以下であることが好ましい。 光重合開始剤のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、分光光度計(Varian社製Cary-5 spectrophotometer)にて、酢酸エチル溶媒を用い、0.01g/Lの濃度で測定することが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、その他の樹脂を更に含んでもよい。本発明において、上述の特定樹脂に該当する化合物は、その他の樹脂には該当しないものとする。その他の樹脂は、例えば、顔料などの粒子を硬化性組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。ただし、その他の樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。
本発明の硬化性組成物は、その他の樹脂として酸基を有する樹脂を含むことが好ましい。この態様によれば、硬化性組成物の現像性を向上させることができ、矩形性に優れた画素を形成しやすい。酸基としては、カルボキシ基、リン酸基、スルホ基、フェノール性ヒドロキシ基などが挙げられ、カルボキシ基が好ましい。酸基を有する樹脂は、例えば、アルカリ可溶性樹脂として用いることができる。
本明細書において、構成単位の含有量をモル%で記載する場合には、構成単位はモノマー単位と同義であるものとする。
式(ED2)中、Rは、水素原子又は炭素数1~30の有機基を表す。式(ED2)の詳細については、特開2010-168539号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
式(X)中、R1は、水素原子又はメチル基を表し、R2は炭素数2~10のアルキレン基を表し、R3は、水素原子又はベンゼン環を含んでもよい炭素数1~20のアルキル基を表す。nは1~15の整数を表す。
本発明の硬化性組成物は、分散剤としての樹脂を含むこともできる。分散剤としては、酸性分散剤(酸性樹脂)、塩基性分散剤(塩基性樹脂)が挙げられる。ここで、酸性分散剤(酸性樹脂)とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤(酸性樹脂)は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を100モル%としたときに、酸基の量が70モル%以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤(酸性樹脂)が有する酸基は、カルボキシ基が好ましい。酸性分散剤(酸性樹脂)の酸価は、20~180mgKOH/gが好ましく、30~150mgKOH/gがより好ましく、50~100mgKOH/gがさらに好ましい。また、塩基性分散剤(塩基性樹脂)とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤(塩基性樹脂)は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を100モル%としたときに、塩基性基の量が50モル%を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基であることが好ましい。
本発明において用いられる分散剤としては、硬化性基を有する樹脂も好適にあげられる。
上記分散剤における硬化性基としては、エチレン性不飽和基が好ましく、ビニル基、ビニルフェニル基、アリル基、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリルアミド基、及び、マレイミド基よりなる群から選ばれた少なくとも1種がより好ましく、(メタ)アクリロイル基が更に好ましく、アクリロイル基が特に好ましい。
また、硬化性基を有する樹脂は、硬化性基を側鎖に有することが好ましく、側鎖の分子末端に有することも好ましい。
また、分散剤の好ましい重量平均分子量は、10,000~100,000であることが好ましい。
硬化性基を有する樹脂としては、上述の式(D1)で表される構成単位を含む樹脂が挙げられ、上述の式(D1)で表される構成単位と、上述の式(D4)で表される構成単位及び上述の式(D5)で表される構成単位よりなる群から選ばれた少なくとも1種と、を含む樹脂が好ましく、上述の式(D1)で表される構成単位と、上述の式(D4)で表される構成単位及び上述の式(D5)で表される構成単位を含む樹脂がより好ましい。
また、上記硬化性基を有する樹脂は、上述の条件1及び条件2のいずれをも満たさない樹脂である。
本発明の硬化性組成物がその他の樹脂を含む場合、硬化性組成物の全固形分中におけるその他の樹脂の含有量は、0.5~50質量%が好ましい。下限は、1質量%以上が好ましく、2質量%以上がより好ましい。上限は、40質量%以下が好ましく、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。また、硬化性組成物の全固形分中における酸基を有する樹脂の含有量は、0.5~50質量%が好ましい。下限は、1質量%以上が好ましく、2質量%以上がより好ましい。上限は、40質量%以下が好ましく、35質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、環状エーテル基を有する化合物を含有することができる。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。環状エーテル基を有する化合物は、エポキシ基を有する化合物であることが好ましい。エポキシ基を有する化合物としては、1分子内にエポキシ基を1つ以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を2つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は、1分子内に1~100個有することが好ましい。エポキシ基の数の上限は、例えば、10個以下とすることもでき、5個以下とすることもできる。エポキシ基の数の下限は、2個以上が好ましい。エポキシ基を有する化合物としては、特開2013-011869号公報の段落番号0034~0036、特開2014-043556号公報の段落番号0147~0156、特開2014-089408号公報の段落番号0085~0092に記載された化合物、特開2017-179172号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
本発明の硬化性組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。この態様によれば、得られる膜の支持体との密着性をより向上させることができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、(メタ)アクリロイル基及びエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、特開2009-288703号公報の段落番号0018~0036に記載の化合物、特開2009-242604号公報の段落番号0056~0066に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の硬化性組成物は、溶剤を含有することができる。溶剤としては、有機溶剤が挙げられる。溶剤は、各成分の溶解性や硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開第2015/166779号の段落番号0223を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤を好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、2-ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド、3-ブトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミドなどが挙げられる。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類(ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等)は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある(例えば、有機溶剤全量に対して、50質量ppm(parts per million)以下とすることもでき、10質量ppm以下とすることもでき、1質量ppm以下とすることもできる)。
本発明の硬化性組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-tert-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、tert-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’-チオビス(3-メチル-6-tert-ブチルフェノール)、2,2’-メチレンビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、N-ニトロソフェニルヒドロキシルアミン塩(アンモニウム塩、第一セリウム塩等)が挙げられる。中でも、p-メトキシフェノールが好ましい。硬化性組成物の全固形分中における重合禁止剤の含有量は、0.0001~5質量%が好ましい。
本発明の硬化性組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開第2015/166779号の段落番号0238~0245を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは3,000~50,000であり、例えば、14,000である。上記の化合物中、構成単位の割合を示す%はモル%である。
本発明の硬化性組成物は、上述した顔料以外の他の着色剤を含有してもよい。他の着色剤としては、例えば、染料が挙げられる。
〔染料〕
染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。染料は、有彩色染料であってもよく、近赤外線吸収染料であってもよい。有彩色染料としては、ピラゾールアゾ化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、アントラピリドン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物、キサンテン化合物、フタロシアニン化合物、ベンゾピラン化合物、インジゴ化合物、ピロメテン化合物が挙げられる。また、特開2012-158649号公報に記載のチアゾール化合物、特開2011-184493号公報に記載のアゾ化合物、特開2011-145540号公報に記載のアゾ化合物を用いることもできる。また、黄色染料として、特開2013-054339号公報の段落番号0011~0034に記載のキノフタロン化合物、特開2014-026228号公報の段落番号0013~0058に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。近赤外線吸収染料としては、ピロロピロール化合物、リレン化合物、オキソノール化合物、スクアリリウム化合物、シアニン化合物、クロコニウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、ピリリウム化合物、アズレニウム化合物、インジゴ化合物及びピロメテン化合物が挙げられる。また、特開2017-197437号公報に記載のスクアリリウム化合物、国際公開第2017/213047号の段落番号0090~0107に記載のスクアリリウム化合物、特開2018-054760号公報の段落番号0019~0075に記載のピロール環含有化合物、特開2018-040955号公報の段落番号0078~0082に記載のピロール環含有化合物、特開2018-002773号公報の段落番号0043~0069に記載のピロール環含有化合物、特開2018-041047号公報の段落番号0024~0086に記載のアミドα位に芳香族環を有するスクアリリウム化合物、特開2017-179131号公報に記載のアミド連結型スクアリリウム化合物、特開2017-141215号公報に記載のピロールビス型スクアリリウム骨格又はクロコニウム骨格を有する化合物、特開2017-082029号公報に記載されたジヒドロカルバゾールビス型のスクアリリウム化合物、特開2017-068120号公報の段落番号0027~0114に記載の非対称型の化合物、特開2017-067963号公報に記載されたピロール環含有化合物(カルバゾール型)、特許第6251530号公報に記載されたフタロシアニン化合物などを用いることもできる。
また、他の着色剤の含有量は、顔料の100質量部に対して5~50質量部であることが好ましい。上限は、45質量部以下であることが好ましく、40質量部以下であることがより好ましい。下限は、10質量部以上であることが好ましく、15質量部以上であることが更に好ましい。
また、本発明の硬化性組成物は他の着色剤を実質的に含有しないこともできる。本発明の硬化性組成物が他の着色剤を実質的に含まない場合、本発明の硬化性組成物の全固形分中における他の着色剤の含有量が0.1質量%以下であることが好ましく、0.05質量%以下であることがより好ましく、含有しないことが特に好ましい。
本発明の硬化性組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開2012-208374号公報の段落番号0052~0072、特開2013-068814号公報の段落番号0317~0334、特開2016-162946号公報の段落番号0061~0080の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の具体例としては、下記構造の化合物などが挙げられる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、UV-503(大東化学(株)製)などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としては、ミヨシ油脂製のMYUAシリーズ(化学工業日報、2016年2月1日)が挙げられる。
本発明の硬化性組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性ヒドロキシ基に隣接する部位(オルト位)に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数1~22の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。リン系酸化防止剤としてはトリス[2-[[2,4,8,10-テトラキス(1,1-ジメチルエチル)ジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン-6-イル]オキシ]エチル]アミン、トリス[2-[(4,6,9,11-テトラ-tert-ブチルジベンゾ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン-2-イル)オキシ]エチル]アミン、亜リン酸エチルビス(2,4-ジ-tert-ブチル-6-メチルフェニル)などが挙げられる。酸化防止剤の市販品としては、例えば、アデカスタブ AO-20、アデカスタブ AO-30、アデカスタブ AO-40、アデカスタブ AO-50、アデカスタブ AO-50F、アデカスタブ AO-60、アデカスタブ AO-60G、アデカスタブ AO-80、アデカスタブ AO-330(以上、(株)ADEKA)などが挙げられる。
本発明の硬化性組成物は、酸化剤を含有することができる。
酸化剤には、上述の重合禁止剤としても働く化合物が含まれる場合がある。
酸化剤としては、たとえばキノン化合物、キノジメタン化合物などが挙げられる。キノン化合物としてはベンゾキノン、ナフトキノン、アントラキノン、クロラニル、ジクロロジシアノベンゾキノン(DDQ)などを用いることができる。キノジメタン化合物としては7,7,8,8-テトラシアノキノジメタン(TCNQ)、2-フルオロ-7,7,8,8-テトラシアノキノジメタン(FTCNQ)、2,5-ジフルオロ-7,7,8,8-テトラシアノキノジメタン(F2TCNQ)、テトラフルオロテトラシアノキノジメタン(F4TCNQ)などを用いることができる。
酸化剤は含有する顔料又は染料の最低空軌道(LUMO)よりも低いことが好ましい。酸化剤のLUMOは好ましくは-3.5eV以下であり、より好ましくは-3.8eV以下であり、最も好ましくは-4.0eV以下である。
硬化性組成物の全固形分中における酸化剤の含有量は、0.0001~10質量%であることが好ましく、0.0005~5質量%であることがより好ましく、0.001~1質量%であることが最も好ましい。酸化剤は1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。2種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の硬化性組成物は、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開2012-003225号公報の段落番号0183以降(対応する米国特許出願公開第2013/0034812号明細書の段落番号0237)の記載、特開2008-250074号公報の段落番号0101~0104、0107~0109等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明の硬化性組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、100~250℃で加熱するか、又は酸/塩基触媒存在下で80~200℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開第2014/021023号、国際公開第2017/030005号、特開2017-008219号公報に記載された化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤の市販品としては、アデカアークルズGPA-5001((株)ADEKA製)等が挙げられる。
本発明の硬化性組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や硬化性組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を6種6層の樹脂で構成する多層ボトルや6種の樹脂を7層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開2015-123351号公報に記載の容器が挙げられる。
また、本発明の硬化性組成物や、イメージセンサを製造するために用いられる組成物の収容容器としては、容器内壁からの金属溶出を防ぎ、組成物の保存安定性を高め、成分変質を抑制する目的で、収容容器の内壁をガラス製やステンレス製などにすることも好ましい。
本発明の硬化性組成物の保存条件としては特に限定はなく、従来公知の方法を用いることができる。また、特開2016-180058号公報に記載された方法を用いることもできる。
本発明の硬化性組成物は、前述の成分を混合して調製できる。硬化性組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解及び/又は分散して硬化性組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜2つ以上の溶液又は分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して硬化性組成物を調製してもよい。
本発明の膜は、上述した本発明の硬化性組成物から形成された膜である。
本発明の膜は、本発明の硬化性組成物を硬化してなる硬化膜であることが好ましい。また、本発明の膜は、本発明の硬化性組成物の硬化物よりなる膜であることが好ましい。
本発明の膜は、カラーフィルタ、近赤外線透過フィルタ、近赤外線カットフィルタ、ブラックマトリクス、遮光膜、屈折率調整膜などに用いることができる。例えば、カラーフィルタの着色層として好ましく用いることができる。
本発明の膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、20μm以下が好ましく、10μm以下がより好ましく、5μm以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上がさらに好ましい。
本発明のカラーフィルタは、本発明の硬化性組成物から形成されたカラーフィルタである。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の膜を有することが好ましい。本発明の膜をカラーフィルタに用いる場合においては、顔料として、有彩色顔料を用いることが好ましい。
本発明のカラーフィルタの膜厚は、20μm以下が好ましく、10μm以下がより好ましく、5μm以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上が更に好ましい。本発明のカラーフィルタは、CCD(電荷結合素子)やCMOS(相補型金属酸化膜半導体)などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、硬化性組成物を支持体上に適用して組成物層を形成する工程(組成物層形成工程)と、上記組成物層をパターン状に露光する工程(露光工程)と、未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程(現像工程)と、を含む。
以下、各工程について説明する。
組成物層形成工程では、本発明の硬化性組成物を用いて、支持体上に硬化性組成物層を形成する。支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、シリコン基板などが挙げられ、シリコン基板であることが好ましい。また、シリコン基板には、電荷結合素子(CCD)、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、シリコン基板には、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。また、シリコン基板には、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。
硬化性組成物の付与方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法(ドロップキャスト);スリットコート法;スプレー法;ロールコート法;回転塗布法(スピンコーティング);流延塗布法;スリットアンドスピン法;プリウェット法(たとえば、特開2009-145395号公報に記載されている方法);インクジェット(例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式)、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法;金型等を用いた転写法;ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット-特許に見る無限の可能性-、2005年2月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法(特に115ページ~133ページ)や、特開2003-262716号公報、特開2003-185831号公報、特開2003-261827号公報、特開2012-126830号公報、特開2006-169325号公報などに記載の方法が挙げられる。また、硬化性組成物の塗布方法については、国際公開第2017/030174号、国際公開第2017/018419号の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
次に、硬化性組成物層をパターン状に露光する(露光工程)。例えば、硬化性組成物層に対し、ステッパー露光機やスキャナ露光機などを用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。
次に、硬化性組成物層の未露光部を現像除去してパターン(画素)を形成する。硬化性組成物層の未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の硬化性組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。現像液としては、下地の素子や回路などにダメージを起さない有機アルカリ現像液が望ましい。現像液の温度は、例えば、20~30℃が好ましい。現像時間は、20~180秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。
追加露光処理を行う場合、露光に用いられる光は、波長400nm以下の光であることが好ましい。また、追加露光処理は、韓国公開特許第10-2017-0122130号公報に記載の方法で行ってもよい。
また、画素上の水の接触角は適宜好ましい値に設定することができるが、典型的には、50~110°の範囲である。接触角は、例えば接触角計CV-DT・A型(協和界面科学(株)製)を用いて測定できる。
上記製造方法は、カラーフィルタの画素の製造方法であるが、本発明の硬化性組成物によれば、例えば、カラーフィルタの画素間に設けられるブラックマトリックスも製造される。ブラックマトリックスは、例えば、本発明の硬化性組成物に顔料として黒色顔料を添加したものを用いる以外は、上記画素の製造方法と同様に、パターン露光、現像を行い、更に必要に応じてポストベークを行うことにより製造することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法の第二の態様は、本発明の硬化性組成物を支持体上に適用して組成物層を形成し、上記組成物層を硬化して硬化層を形成する工程(硬化層形成工程)と、上記硬化層上にフォトレジスト層を形成する工程(フォトレジスト層形成工程)と、露光及び現像することにより上記フォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程(レジストパターン形成工程)と、上記レジストパターンをエッチングマスクとして上記硬化層をエッチングする工程(エッチング工程)と、を含む。
以下、各工程について説明する。
硬化層形成工程においては、本発明の硬化性組成物を、支持体上に付与し、硬化して硬化層を形成する。
支持体としては、上述の組成物層形成工程における支持体が好ましく用いられる。
また、硬化性組成物の付与方法としては、上述の組成物膜形成工程における付与方法が好ましく用いられる。
付与された硬化性組成物の硬化方法としては、特に限定されず、光又は熱により硬化することが好ましい。
光による硬化を行う場合、光としては、硬化性組成物に含まれる開始剤に応じて適宜選択すればよいが、例えば、g線、i線、等の紫外線が好ましく用いられる。露光量は5~1,500mJ/cm2が好ましく、10~1,000mJ/cm2がより好ましく、10~500mJ/cm2が更に好ましい。
熱による硬化を行う場合、加熱温度は、120~250℃であることが好ましく、160~230℃であることがより好ましい。加熱時間は、加熱手段により異なるが、ホットプレート上で加熱する場合、例えば3~30分間が好ましく、オーブン中で加熱する場合、例えば30~90分間が好ましい。
フォトレジスト層形成工程においては、上記硬化層上にフォトレジスト層が形成される。
フォトレジスト層の形成においては、例えば、公知のネガ型又はポジ型の感光性組成物が用いられ、ポジ型の感光性組成物が好ましい。
上記感光性組成物を上記硬化層上に塗布し、必要に応じて乾燥を行うことにより、フォトレジスト層が得られる。
フォトレジスト層の形成方法としては、特に限定されず、公知の方法により行えばよい。
フォトレジスト層の厚さとしては、0.1~3μmが好ましく、0.2~2.5μmがより好ましく、0.3~2μmがより好ましい。
レジストパターン形成工程においては、上記フォトレジスト層をパターン状に露光し、現像することによりレジストパターンが形成される。
上記露光及び現像は、特に限定されず、公知の方法により行われる。
エッチング工程においては、上記レジストパターンを介して上記硬化層がエッチングされる。
エッチング方法としては、特に限定されず、公知の方法により行えばよいが、例えば、ドライエッチングによる方法が挙げられる。
本発明におけるカラーフィルタの製造方法の第二の態様は、上記エッチング工程後、レジストパターンを剥離する工程を更に含んでもよい。
レジストパターンの剥離方法としては、特に限定されず、公知の方法が用いられる。
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の膜又は本発明のカラーフィルタを含む。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の膜を含み、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
本発明の画像表示装置は、上述した本発明の膜又は本発明のカラーフィルタを含む。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木昭夫著、(株)工業調査会、1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男編集、(株)工業調査会、1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
本発明の高分子化合物は、上述の式(A1)で表される構成単位、及び、上述の式(B1)で表される構成単位の少なくとも一方を含む。
本発明の高分子化合物は、上述の本発明の硬化性組成物における特定樹脂と同様であり、好ましい態様も同様である。
三口フラスコに、モノマー2として濃度(固形分含有量)が50質量%の後述するマクロモノマーB-1溶液、モノマー1としてモノマーA-1、PGMEA(プロピレングリコール1-モノメチルエーテル2-アセタート)を導入し、混合物を得た。
窒素を吹き込みながら、上記混合物を撹拌した。次に、窒素をフラスコ内に流しながら、混合物を75℃まで昇温した。次に、混合物に、ドデシルメルカプタン(0.82g)、次いで、2,2’-アゾビス(2-メチルプロピオン酸メチル)0.43g、以下「V-601」ともいう。)を添加し、重合反応を開始した。
混合物を75℃で2時間加熱した後、更にV-601(0.43g)を混合物に追加した。2時間後、更にV-601(0.43g)を混合物に追加した。
更に2時間反応後、混合物を90℃に昇温し、3時間撹拌した。上記操作により、重合反応は終了した。
反応終了後、空気下でアミン化合物としてジメチルドデシルアミン(F-1)と重合禁止剤として2,2,6,6,-テトラメチルピペリジン1-オキシル(Q-1、TEMPO)を加えた後、反応性化合物として4-ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル(モノマーC-1)を滴下した。
滴下終了後、空気下、90℃、24時間反応を続けた後、酸価測定により反応終了を確認した。得られた混合物に30質量%溶液になるようPGMEAを追加することで樹脂PA-1を得た。
モノマーB-1(溶液中の固形分量)、モノマーA-1、モノマーC-1、F-1及びQ-1の使用量は、後述の表1に記載の通りとした。
得られた特定樹脂PA-1の重量平均分子量は17,200、酸価は70mgKOH/mgであった。
特定樹脂PA-1は、上述の条件1を満たす樹脂であり、また、上述の式(A1)で表される構成単位を有する樹脂である。
各マクロモノマー、及び、樹脂の重量平均分子量(Mw)は、下記測定条件の下、GPC(Gel permeation chromatography)測定により算出した。樹脂の重量平均分子量は表1又は表2に記載した。
装置:HLC-8220GPC(東ソー(株)製)
検出器:示差屈折計(RI検出器)
プレカラム TSKGUARDCOLUMN MP(XL)6mm×40mm(東ソー(株)製)
サンプル側カラム:以下4本を直結〔全て東ソー(株)製〕
TSK-GEL Multipore-HXL-M 7.8mm×300mm
リファレンス側カラム:サンプル側カラムに同じ
恒温槽温度:40℃
移動相:テトラヒドロフラン
サンプル側移動相流量:1.0mL/分
リファレンス側移動相流量:0.3mL/分
試料濃度:0.1質量%
試料注入量:100μL
データ採取時間:試料注入後16分~46分
サンプリングピッチ:300ms(ミリ秒)
また、各樹脂の酸価は水酸化ナトリウム水溶液を用いた中和滴定により求めた。具体的には、得られた樹脂を溶媒に溶解させた溶液に、電位差測定法を用いて水酸化ナトリウム水溶液で滴定し、樹脂の固形1gに含まれる酸のミリモル数を算出し、次に、その値を水酸化カリウム(KOH)の分子量56.1をかけることにより求めた。樹脂の酸価は表1又は表2の「酸価」の欄に記載した。表1又は表2中、酸価の単位は(mgKOH/g)である。
下記方法により、各樹脂のC=C価を測定した。
アルカリ処理により特定樹脂からエチレン性不飽和基部位(例えば、上記特定樹脂の式D1により表される構成単位において、アクリロキシ基を有する場合は、アクリル酸)の低分子成分(a)を取り出し、その含有量を高速液体クロマトグラフィー(HPLC)により測定し、その測定値に基づいて下記式からエチレン性不飽和結合価(C=C価)を算出した。
具体的には、特定樹脂0.1gをテトラヒドロフラン/メタノール混合液(50mL/15mL)に溶解させ、4mol/L水酸化ナトリウム水溶液10mLを加え、40℃で2時間反応させた。反応液を4mol/Lメタンスルホン酸水溶液10.2mLで中和し、その後、イオン交換水5mLとメタノール2mLを加えた混合液を100mLメスフラスコに移液し、メタノールでメスアップすることでHPLC測定サンプルを調製し、以下の条件で測定する。なお、低分子成分(a)の含有量は別途作成した低分子成分(a)の検量線から算出し、エチレン性不飽和結合価は下記式より算出した。特定樹脂のC=C価は表1又は表2の「C=C価」の欄に記載した。表1又は表2中、C=C価の単位は(mmol/g)である。
エチレン性不飽和結合価(mmol/g)=(低分子成分(a)含有量(ppm)/低分子成分(a)の分子量(g/mol))/(調液ポリマーの秤量値(g)×(ポリマー液の固形分濃度(%)/100)×10)
-HPLC測定条件-
測定機器: Agilent-1200(アジレント・テクノロジー(株)製)
カラム: Phenomenex社製 Synergi 4u Polar-RP 80A,250mm×4.60mm(内径)+ガードカラム
カラム温度:40℃
分析時間:15分
流速:1.0mL/min(最大送液圧力:182bar(18.2MPa))
注入量:5μl
検出波長:210nm
溶離液:テトラヒドロフラン(安定剤不含HPLC用)/バッファー溶液(リン酸0.2体積%及びトリエチルアミン0.2体積%を含有するイオン交換水溶液)=55/45(体積%)
なお、本明細書において、体積%は25℃における値である。
試料約 0.5gを精密に量り、酢酸50mL を加えて溶かし、0.1 mol/L 過塩素酸酢酸溶液で電気滴定法(電位差滴定)電位差自動滴定装置(AT-710M;京都電子工業(株)製)を用い、により滴定した。また、同様の方法で空試験を行って補正した。
アミン価=a×5.611/c
a:0.1mol/L 過塩素酸の消費量(mL)
c:試料の量(g)
樹脂のアミン価は表1又は表2の「アミン価」の欄に記載した。表1又は表2中、アミン価の単位は(mmol/g)である。
使用するモノマー1、モノマー2、モノマー3、反応性化合物、アミン化合物、及び、重合禁止剤を表1に記載のものに変更した以外は、PA-1の合成方法と同様の方法によりPA-2~PA-22を合成した。モノマー3を添加する場合、モノマー3はモノマー1及びモノマー2の混合物に更に添加した。
表1中、「含有量」の欄に記載の数値の単位は「g」である。表1中、「-」と記載した成分は使用しなかった。
PA-2~PA-22は、上述の条件1を満たす樹脂であり、また、上述の式(A1)で表される構成単位を有する樹脂である。
表1中、「構成単位A1」の欄の記載は、上述の式(A1-1)~式(A1-17)のいずれかにより表される構成単位であって、各樹脂に含まれる構成単位を示している。
使用するモノマー1、モノマー2、モノマー3、反応性化合物、アミン化合物、及び、重合禁止剤を表1に記載のものに変更した以外は、PA-1の合成方法と同様の方法によりPZ-1を合成した。
樹脂PZ-1は、アミン化合物としてF-8を用いた為四級アンモニウムカチオン構造とラジカル重合性基が連結された構造を形成できず、上述の条件1及び条件2のいずれをも満たさない樹脂である。
〔モノマー1〕
・A-1:アロニックスM-5300、ω-カルボキシ-ポリカプロラクトンモノアクリレート(東亞合成(株)製)
・A-2:ライトエステルHO-MS、2-メタクリロイロキシエチルコハク酸(共栄社化学製)
・A-3:ライトエステルHOA-HH、2-アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸(共栄社化学製)
・A-4:βCEA、β-カルボキシエチルアクリレート(ダイセル・オルネクス製)
・A-5:ビニル安息香酸(東京化成工業(株)製)
・A-6:CB-12-メタクリロイロキシエチルフタル酸(新中村化学工業(株)製)
・A-7:12-methacrylamidododecanoic acid(合成品、公知の方法により合成した。)
・A-8:4-(4-(acryloyloxy)butoxy)benzoic acid(合成品、公知の方法により合成した。)
・A-9:メタクリル酸
・A-10:ビニルスルホン酸(東京化成工業(株)製)
・A-11:ビニルホスホン酸(東京化成工業(株)製)
・A-12:10-(Phosphonooxy)decyl Methacrylate(富士フイルム和光純薬(株)製)
・B-1:下記合成例B1による合成品
・B-2:下記合成例B2による合成品
・B-3:下記合成例B3による合成品
・B-4:ブレンマーPSE1300(日油(株)製)、ステアロキシポリエチレングリコールモノメタクリレート
・B-5:ブレンマー75ANEP-600(日油(株)製)ノニルフェノキシ(エチレングリコール-ポリプロピレングリコール)モノアクリレート
・B-6:ブレンマー50POEP800B(日油(株)製)オクトキシポリエチレングリコール-ポリプロピレングリコールモノメタクリレート
B-1~B-6の少なくとも1種の化合物をモノマー2として用いることにより、上述の式(D5)で表される構成単位が特定樹脂に導入される。
オキシアルキレンカルボニル基からなる構成単位を含有する、モノマー2であるマクロモノマーB-1(単に「B-1」ともいう。)の合成方法を以下に示す。
フラスコに、ε-カプロラクトン(1256.62部、環状化合物に該当する。)、及び、2-エチル-1-ヘキサノール(143.38部、開環重合開始剤に該当する。)を導入し、混合物を得た。次に、窒素を吹き込みながら、上記混合物を撹拌した。
次に、混合物にモノブチル錫オキシド(0.63部)を加え、得られた混合物を90℃に加熱した。6時間後、1H-NMR(nuclear magnetic resonance)を用いて、混合物中における2-エチル-1-ヘキサノールに由来するシグナルが消失したのを確認後、混合物を110℃に加熱した。窒素下にて110℃で2時間重合反応を続けた後、1H-NMRでε-カプロラクトンに由来するシグナルの消失を確認した後、80℃に降温し、上記化合物を含有する混合物に2,6-ジ-t-ブチル-4-メチルフェノール(0.78部)を添加した後、更に、得られた混合物に対して、2-メタクリロイロキシエチルイソシアネート(174.15部)を30分かけて滴下した。滴下終了から1時間後、1H-NMRにて2-メタクリロイロキシエチルイソシアネート(MOI)に由来するシグナルが消失したのを確認後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)(1575.57部)を混合物に添加し、濃度が50質量%のマクロモノマーB-1溶液を得た。マクロモノマーB-1の構造は、1H-NMRにより確認した。得られたマクロモノマーB-1の重量平均分子量は3,000であった。
2-エチル-1-ヘキサノール(143.38g)を、ステアリルアルコール(297.88g)に変更した以外は、B-1の合成と同様にしてB-2を合成した。
B-2の構造(式(B-2)に示した)は、1H-NMRにより確認した。得られたB-2の重量平均分子量は3,400であった。
フラスコに、ε-カプロラクトン(243.45部、環状化合物に該当する。)、δ-バレロラクトン(60.86部、環状化合物に該当する。)、及び、2-エチル-1-ヘキサノール(35.69部、開環重合開始剤に該当する。)を導入し、混合物を得た。次に、窒素を吹き込みながら、上記混合物を撹拌した。
次に、混合物にモノブチル錫オキシド(0.156部)を加え、得られた混合物を90℃に加熱した。6時間後、1H-NMR(nuclear magnetic resonance)を用いて、混合物中における2-エチル-1-ヘキサノールに由来するシグナルが消失したのを確認後、混合物を110℃に加熱した。窒素下にて110℃で12時間重合反応を続けた後、1H-NMRでε-カプロラクトン及びδ-バレロラクトンに由来するシグナルの消失を確認した後、80℃に降温し、上記化合物を含有する混合物に2,6-ジ-t-ブチル-4-メチルフェノール(0.19部)を添加した後、更に、得られた混合物に対して、2-メタクリロイロキシエチルイソシアネート(42.52部)を30分かけて滴下した。滴下終了から1時間後、1H-NMRにて2-メタクリロイロキシエチルイソシアネート(MOI)に由来するシグナルが消失したのを確認後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)(382.87部)を混合物に添加し、濃度が50質量%のマクロモノマーB-3溶液を得た。マクロモノマーB-3の構造は、1H-NMRにより確認した。得られたマクロモノマーB-3の重量平均分子量は3,000であった。
・E-1:ベンジルメタクリレート(東京化成工業(株)製)
・E-3:2-エチルヘキシルメタクリレート(東京化成工業(株)製)
・E-4:アロニックスM120(東亞合成(株)製)2-(2-((2-ethylhexyl)oxy)ethoxy)ethyl acrylate
・E-5:メタクリル酸ジシクロペンタニル(東京化成工業(株)製)
・E-6:2-メトキシエチルアクリレート(東京化成工業(株)製)
・E-7:2-(メタクリロイルオキシ)エチルトリメチルアンモニウムクロリド(東京化成工業(株)製)
・C-1:4HBAGE、4-ヒドロキシブチル アクリレート グリシジルエーテル(日本化成工業(株)製)
・C-2:3,4-エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート((株)ダイセル製)
・C-3:グリシジルアクリレート(東京化成工業(株)製)
・C-4:9-(oxiran-2-yl)nonyl acrylate(下記合成品)
・C-5:3-(oxiran-2-ylmethoxy)-3-oxopropyl acrylate(下記合成品)
・C-6:2-methyl-2-(((oxiran-2-ylmethoxy)carbonyl)amino)propane-1,3-diyl diacrylate(下記合成品)
・C-7:GMA、グリシジルメタクリレート(東京化成工業(株)製)
・C-8:アリルグリシジルエーテル(東京化成工業(株)製)
・C-9:クロロメチルスチレン(東京化成工業(株)製)
10-ウンデセン-1-オール(東京化成工業(株)製) 200g、DMAc:ジメチルアセトアミド 1,378gを投入したフラスコを氷冷しながら3-クロロプロピオニルクロリド(東京化成工業(株)製) 153.65gを滴下し、1.5時間氷冷下で撹拌した。1H-NMRにて原料アルコールの消失及び目的物を確認し、撹拌を止めた。酢酸エチル 2,000mlを加え、3.5質量%塩酸水溶液 2,000mlで2回水洗し、5質量%重曹水 2,000mlにて2回水洗し、有機層を硫酸マグネシウムにて乾燥し、溶媒を減圧留去することで中間体 296gを得た。その中間体 192gとジクロロメタン 918gを投入したフラスコに水浴下でメタクロロ過安息香酸:mCPBA 200gを1時間おきに5回分割添加し、終夜撹拌した。
1H-NMRにて原料の末端ニ重結合のピークが消失したのを確認し、反応液に対し5質量%重曹水を 1,487g加え2時間撹拌した。その後、酢酸エチル 500mlを加え、抽出し、5質量%チオ硫酸ナトリウム水溶液 500mlを加え1時間撹拌し、水層を廃棄し、有機層を減圧濃縮することで中間体 211.5gを得た。
上記中間体 210g、塩化メチレン 822g、p-メトキシフェノール 182.3mgを加え氷冷下でジアザビシクロウンデセン 231gと塩化メチレン 441gの混合液を10℃以下を保持しながら滴下した。
1H-NMRにて生成物を確認し、酢酸 91.1g、塩化メチレン 147gの混合液を10℃以下を保持しながら滴下し、室温にて2時間撹拌した。
塩化メチレンを減圧濃縮し、ヘキサンを1,050gを加え水 420gで水洗し、5質量%重曹水 420gにて水洗し、目的物であるC-4 137.9gを得た。
β-カルボキシエチルアクリレート 23.3g、p-メトキシフェノール 87mg、クロロホルム 117g、グリシドール 16.8g、N、N-ジメチルアミノピリジン 1.98gをフラスコに加え、氷冷下で1-(3-ジメチルアミノプロピル)-3-エチルカルボジイミド塩酸塩 37.26gを分割添加し、1時間撹拌した。その後、0.1規定(0.1mol/L)塩酸水 150mlで水洗した後、水 150mlで水洗し、有機層を減圧濃縮し、目的物であるC-5 20gを得た。
フラスコに、グリシドール(アルドリッチ製) 5.0g、酢酸ブチル 53g、p-メトキシフェノール 0.04g、カレンズBEI(昭和電工(株)製) 14.5g、ネオスタンU600(日東化成(株)製) 0.04gを加え、ゆっくりと60℃に昇温させた。60℃で4時間重合反応を続けた後、1H-NMRでカレンズBEIに由来するシグナルの消失を確認し、水50gを加え撹拌させた。分液し水層を廃棄することにより得られた有機層を再度水50gで洗浄した。洗浄後の有機層に、硫酸マグネシウム3gを加え、ろ過した後、2,6-ジt-ブチル-4-メチルフェノール(0.4g)を加えて濃縮することでC-6を12g得た。
・F-1:ジメチルドデシルアミン(東京化成工業(株)製)
・F-2:ジメチルブチルアミン(東京化成工業(株)製)
・F-3:ジメチルベンジルアミン(東京化成工業(株)製)
・F-4:2,4,6-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール(東京化成工業(株)製)
・F-5:2-(ジメチルアミノメチル)フェノール
・F-6:N,N-ジメチルピペラジン(東京化成工業(株)製)
・F-7:トリエチルアミン(東京化成工業(株)製)
・F-8:TBAB(テトラブチルアンモニウムブロミド)(東京化成工業(株)製)
・Q-1:TEMPO free radical:2,2,6,6,-テトラメチルピペリジン1-オキシル
・Q-2:4-hydroxy-TEMPO free radical:4-ヒドロキシ-2,2,6,6,-テトラメチルピペリジン2-オキシル
・Q-3:p-メトキシフェノール
特開2007-277514号公報に記載の合成法にて得た連鎖移動剤CTA-1(下記構造)の20質量%溶液 36.25質量部、及びメタクリル酸 18質量部、メタクリル酸メチル 20質量部の混合溶液を、30質量%1-メトキシ-2-プロパノール溶液になるよう調製し、窒素気流下、75℃に加熱した。
これにアゾビスイソブチロニトリル(AIBN、和光純薬工業(株)製、開始剤) 0.5質量部を加えて3時間加熱後、再度AIBN 0.5部を加えて、窒素気流下、90℃で3時間反応させた。その後、室温(25℃、以下同様)まで冷却し空気に置換した後、4-ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル 20質量部、ジメチルドデシルアミン 4.02質量部、TEMPO(2,2,6,6,-テトラメチルピペリジン1-オキシル) 0.023質量部を加え、90℃、36時間加熱撹拌した。
その後、室温まで冷却し、アセトンで希釈した。多量のメタノールを用いて再沈殿させた後、真空乾燥させることにより、高分子化合物PA-26:ポリスチレン換算の重量平均分子量18,600、酸価88.5mgKOH/g、C=C価1.44mmol/g、アミン価0.27mmol/gの固体(特定樹脂PA-26)65.1質量部を得た。
PA-26は、上述の条件1を満たす樹脂であり、上述の式(A1)で表される構成単位を有する樹脂である。
特開2007-277514号公報に記載の合成法にて得た連鎖移動剤CTA-15(下記構造)の30質量%溶液24.17質量部、及びメタクリル酸 10質量部、メタクリル酸メチル 29.59質量部の混合溶液を、30質量%1-メトキシ-2-プロパノール溶液になるよう調製し、窒素気流下、75℃に加熱した。
これにV-601 0.5質量部を加えて3時間加熱後、再度V-601 0.5質量部を加えて、窒素気流下、90℃で3時間反応させた。その後、室温まで冷却し空気に置換した後、グリシジルメタクリレート 14.21質量部、ジメチルドデシルアミン 4質量部、TEMPO 0.023質量部を加え、90℃、36時間加熱撹拌した。
その後、室温まで冷却し、アセトンで希釈した。多量のメタノールを用いて再沈殿させた後、真空乾燥させることにより、高分子化合物PA-27:ポリスチレン換算の重量平均分子量13,800、酸価21mgKOH/g、C=C価1.54mmol/g、アミン価0.29mmol/gの固体51.5質量部を得た。
PA-27は、上述の条件1を満たす樹脂であり、上述の式(A1)で表される構成単位を有する樹脂である。
三口フラスコに、モノマー2として濃度(固形分含有量)が50質量%のマクロモノマーB-1溶液、モノマー1としてω-カルボキシ-ポリカプロラクトンモノアクリレート、モノマー4としてアクリル酸2-(ジメチルアミノ)エチル、PGMEA 171gを導入し、混合物を得た。
窒素を吹き込みながら、上記混合物を撹拌した。次に、窒素をフラスコ内に流しながら、混合物を75℃まで昇温した。次に、混合物に、ドデシルメルカプタン 1.34g、次いで、V-601 0.7gを添加し、重合反応を開始した。混合物を75℃で2時間加熱した後、更にV-601 0.7gを混合物に追加した。2時間後、更にV-601 0.7gを混合物に追加した。
更に2時間反応後、混合物を90℃に昇温し、3時間撹拌した。上記操作により、重合反応は終了した。
反応終了後、空気下でTEMPO(Q-1)を加えた後、4-ヒドロキシブチル アクリレート グリシジルエーテル (C-1)を滴下した。
滴下終了後、空気下、90℃、24時間反応を続けた。得られた混合物に30質量%溶液になるようPGMEAを追加することで樹脂PB-2を得た。
モノマー2(溶液中の固形分量)、モノマー1、モノマー4、C-1、及びQ-1の使用量は、後述の表2に記載の通りとした。
得られた樹脂PB-2の重量平均分子量は17,800、酸価は75mgKOH/mg19,200、酸価は60mgKOH/mgであった。
特定樹脂PB-2は、上述の条件2を満たす樹脂であり、上述の式(B1)で表される構成単位を有する樹脂である。
使用するモノマー1、モノマー2、モノマー3、モノマー4、反応性化合物、及び、重合禁止剤を表1に記載のものに変更した以外は、PA-1の合成方法と同様の方法によりPB-1、及び、PB-3~PB-18を合成した。モノマー3を添加する場合、モノマー3はモノマー1、モノマー2及びモノマー4の混合物に更に添加した。
表2中、「含有量」の欄に記載の数値の単位は「質量%」である。表2中、「-」と記載した成分は使用しなかった。
表2中、「構成単位B1」の欄の記載は、上述の式(B1-1)~式(B1-12)のいずれかにより表される構成単位であって、各樹脂に含まれる構成単位を示している。
PB-1、及び、PB-3~PB-18は、上述の条件2を満たす樹脂であり、また、上述の式(B1)で表される構成単位を有する樹脂である。
使用するモノマー1、モノマー2、モノマー3、モノマー4、反応性化合物、及び、重合禁止剤を表2に記載のものに変更した以外は、PB-2の合成方法と同様の方法によりPZ-2を合成した。
樹脂PZ-2は、モノマー4としてE-1、E-7を用いた為四級アンモニウムカチオン構造とラジカル重合性基が連結された構造を形成できず、上述の条件1及び条件2のいずれをも満たさない樹脂である。
・D-1:アクリル酸2-(ジメチルアミノ)エチル(東京化成工業(株)製)
・D-2:メタクリル酸2-(ジエチルアミノ)エチル(東京化成工業(株)製)
・D-3:2-(((2-(dimethylamino)ethoxy)carbonyl)amino)ethyl acrylate(合成品、Bulletin of the Chemical Society of Japan, 2011, vol. 84, # 11, p. 1215 - 1226を参考に合成した。)
・D-4:N,N-dimethyl-1-(4-vinylphenyl)methanamine(合成品、Angewandte Chemie - International Edition, 2007, vol. 46, # 46, p. 8869 - 8871を参考に合成した。)
特開2007-277514号公報に記載の合成法にて得た連鎖移動剤CTA-1(上記構造)の20質量%溶液 36.25質量部、及びメタクリル酸 12質量部、メタクリル酸2-(ジメチルアミノ)エチル 5.46質量部、メタクリル酸メチル 14質量部の混合溶液を、30質量%1-メトキシ-2-プロパノール溶液になるよう調製し、窒素気流下、75℃に加熱した。
これにAIBN 0.5質量部を加えて3時間加熱後、再度AIBN 0.5質量部を加えて、窒素気流下、90℃で3時間反応させた。その後、室温(25℃、以下同様)まで冷却し空気に置換した後、4-ヒドロキシブチル アクリレート グリシジルエーテル 15質量部、TEMPO 0.023質量部を加え、90℃、36時間加熱撹拌した。
その後、室温まで冷却し、アセトンで希釈した。多量のメタノールを用いて再沈殿させた後、真空乾燥させることにより、高分子化合物PB-19:ポリスチレン換算の重量平均分子量14,600、酸価67.4mgKOH/g、C=C価1.39mmol/g、アミン価0.71mmol/gの固体(特定樹脂PB-19)62.9質量部を得た。
PB-19は、上述の条件2を満たす樹脂であり、上述の式(B1)で表される構成単位を有する樹脂である。
特開2007-277514号公報に記載の合成法にて得た連鎖移動剤CTA-24(下記構造)の30質量%溶液 24.17質量部、メタクリル酸2-(ジメチルアミノ)エチル 14.32質量部、及びメタクリル酸2-ヒドロキシエチル 6.51質量部の混合溶液に対し30質量%1-メトキシ-2-プロパノール溶液になるよう調製し、窒素気流下、75℃に加熱した。
これにV-601 0.5質量部を加えて3時間加熱後、再度V-601 0.5質量部を加えて、窒素気流下、90℃で3時間反応させた。その後、室温(25℃、以下同様)まで冷却し空気に置換した後、4-ヒドロキシブチル アクリレート グリシジルエーテル 20.02質量部、TEMPO 0.023質量部を加え、90℃、36時間加熱撹拌した。その後、室温まで冷却し空気に置換した後、昭和電工(株)製カレンズBEI 11.96質量部、日東化成社製ネオスタンU600 0.61質量部、TEMPO 0.023質量部を加え、90℃、36時間加熱撹拌した。
その後、室温まで冷却し、アセトンで希釈した。多量のメタノールを用いて再沈殿させた後、真空乾燥させることにより、高分子化合物PB-20:ポリスチレン換算の重量平均分子量19500、酸価12.5mgKOH/g、C=C価3.33mmol/g、アミン価1.67mmol/gの固体(特定樹脂PB-20)57.4質量部を得た。
PB-20は、上述の条件2を満たす樹脂であり、上述の式(B1)で表される構成単位を有する樹脂である。
下記表3~表5記載の顔料、分散助剤(顔料誘導体)、樹脂、重合禁止剤、及び、溶剤を混合したのち、直径0.3mmのジルコニアビーズ230質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて5時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して分散液を製造した。下記の表3~表5に記載の含有量を示す数値は質量部である。
また、例えば顔料分散液R-12における「樹脂」の「種類」欄のPA-12/P1=1/1等の記載は、樹脂として、PA-12と、P1とを1/1(質量比)の割合で使用し、その合計使用量が4.2質量部であることを示している。
また、表3~表5中、「-」の記載は該当する化合物を含有しないことを示している。
・PR254:C.I.Pigment Red 254
・PR264:C.I.Pigment Red 264
・PR272:C.I.Pigment Red 272
・PY139:C.I.Pigment Yellow 139
・PY150:C.I.Pigment Yellow 150
・PB15:6:C.I.Pigment Blue 15:6
・PV23:C.I.Pigment Violet 23
・PG58:C.I.Pigment Green 58
・PG36:C.I.Pigment Green 36
・PY185:C.I.Pigment Yellow 185
・TiON:酸窒化チタン
・TiN:窒化チタン
・K1:下記構造の化合物
・K2:下記構造の化合物
・PA-1~PA-27:上記合成例における合成品
・PB-1~PB-20:上記合成例における合成品
・PZ-1~PZ-2:上記合成例における合成品
・Q1:TEMPO free radical:2,2,6,6,-テトラメチルピペリジン1-オキシル
・Q2:4-hydroxy-TEMPO free radical:4-ヒドロキシ-2,2,6,6,-テトラメチルピペリジン2-オキシル
・Q3:p-メトキシフェノール
・J1:PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
・J2:シクロヘキサノン
・J3:シクロペンタノン
・J4:PGME(プロピレングリコールモノメチルエーテル)
各実施例及び比較例において、下記表6~表8に記載の原料を混合して硬化性組成物を調製した。
表6~表8中、「顔料分散液1」又は「顔料分散液2」の欄の「R-1」、「Y-1」等の記載は、上述した「顔料分散液R-1」、「顔料分散液Y-1」等を使用したことを意味している。
また、例えば「顔料分散液1」等の欄の「R-13/R-19=9/1」等の記載は、顔料分散液として「R-13」及び「R-19」を合計で44.8質量部を含有し、かつ、「R-13」及び「R-19」の含有質量比が9:1であること等を示している。
また、表6~表8中、「-」の記載は該当する化合物を含有しないことを示している。
・I1:IRGACURE OXE02(BASF社製)
・I2:IRGACURE OXE03(BASF社製)
・I3:IRGACURE OXE04(BASF社製)
・I4:下記式(I4)で表される構造の化合物
・I5:アデカアークルズNCI-831((株)ADEKA製)
・I6:IRGACURE 369(BASF社製)
・M1:下記式(M)で表される化合物、a+b+c=3
・M2:下記式(M)で表される化合物、a+b+c=4
・M3:下記式(M)で表される化合物、a+b+c=5の化合物とa+b+c=6の化合物を1:3(質量比)で混合したもの
・M4:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)
・M5:下記式(M5)で表される化合物
・M6:下記式(M6)で表される化合物
・H1:メガファックF-781F(DIC(株)製)
各実施例又は比較例において得られた硬化性組成物を、それぞれ、予めヘキサメチルジシラザンを噴霧した8インチ(1インチは2.54cm)のシリコンウエハの上に、乾燥後膜厚が0.8μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、100℃で120秒間プリベークした。
塗布基板をi線ステッパー露光装置FPA-i5+(キヤノン(株)製)を使用して、塗布膜に365nmの波長で、1.1μm四方のアイランドパターンを有するマスクを通し、50~1,700mJ/cm2の露光量でi線を照射した。露光後、アルカリ現像液CD-2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を使用して、25℃、40秒間の条件で現像した。その後、流水で30秒間リンスした後、スプレー乾燥し、着色パターンを得た。
上記着色パターンは、硬化性組成物を用いて形成された膜に該当する。
得られた着色パターンについて、走査型電子顕微鏡((株)日立製作所製S-9220)を用いてパターン上方から観察し、パターンサイズ計測を行った。また光学顕微鏡を用いて密着性の評価を行った。全てのパターンが密着している時のパターンサイズを下記評価基準に従って5段階で評価した。評価結果は、表6~表8の「密着感度」の欄に記載した。
評価結果が5に近いほど、支持体との密着性に優れているといえる。評価結果は、3、4又は5が好ましく、4又は5がより好ましく、5が最も好ましい。
〔評価基準〕
5:パターンサイズが0.9μm以上1.0μm未満で密着している。
4:パターンサイズが1.0μm以上1.05μm未満で密着している。
3:パターンサイズが1.05μm以上1.1μm未満で密着している。
2:パターンサイズが1.1μm以上1.2μm未満で密着している。
1:パターンサイズが1.2μm以上でないと密着しない。
以下の方法により、各実施例又は比較例において得られた硬化性組成物を用いてそれぞれパターン状の硬化物を形成し、上記硬化物のエッジ形状(パターン形状)を評価した。
上記パターン状の硬化物は、硬化性組成物を用いて形成された膜に該当する。
シリコンウエハ上に、乾燥後の膜厚が0.9μmになるように、硬化性組成物層(組成物膜)を形成した。硬化性組成物層の形成は、スピンコートを用いて行った。上記膜厚となるよう、スピンコートの回転数を調整した。塗布後の硬化性組成物層を、シリコンウエハを下にしてホットプレート上に載置して乾燥した。ホットプレートの表面温度は100℃で、乾燥時間は、120秒間とした。
得られた硬化性組成物層を、以下の条件で露光した。
露光は、i線ステッパー(商品名「FPA-3000iS+」、キャノン社製)を用いて行った。硬化性組成物膜に対して、線形20μm(幅20μm、長さ4mm)を有するマスクを介して400mJ/cm2の露光量(照射時間0.5秒)でi線を照射(露光)した。
硬化後の硬化性組成物層を、以下の条件により現像し、パターン状の硬化膜を得た。
硬化後の硬化性組成物層に対して、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)0.3質量%水溶液を用いて、23℃で、60秒間のパドル現像を5回繰り返し、パターン状の硬化物を得た。その後、パターン状の硬化物をスピンシャワーを用いてリンスし、更に純水で洗浄した。
上記で得られたパターン状の硬化物を、クリーンオーブンCLH-21CDH(光洋サーモ社製)を用いて220℃で300秒間加熱した。
更に、加熱後のパターン状の硬化物を、表面温度220℃のホットプレートに載置し、300秒間加熱した。
上記のパターン状の硬化物を走査型電子顕微鏡で撮影し、1.5μmパターン断面のエッジ形状を下記基準にて評価した。
図1に示すように、ウエハ4上に形成されたパターン状の硬化物1のパターンエッジ部2における底部の切れ込みの長さTを測定した。なお、図1において、L1は露光領域、L2は未露光領域に相当する。評価は以下の基準により行った。評価結果は、表6~表8の「パターン形状」の欄に記載した。
アンダーカット幅が小さいほど、パターン形状に優れるといえる。評価結果は、A又はAAであることが好ましく、AAであることがより好ましい。
-評価基準-
「AA」:アンダーカット幅(上記長さT)が0μmを超え、0.05μm以下だった。
「A」:アンダーカット幅が0.05μmを超え、0.15μm以下だった。
「B」:アンダーカット幅が0.15μmを超え、0.25μm以下だった。
「C」:アンダーカット幅が0.25μmを超えた。
〔1.硬化性組成物の露光感度(初期)〕
各実施例及び比較例において、それぞれ、調製直後の各硬化性組成物を、ガラス基板上にスピンコートを用いて塗布し、乾燥して膜厚1.0μmの硬化性組成物層を形成した。スピンコートの条件は、まず、回転数:300rpm(rotation per minute)で、5秒間、次いで、800rpmで20秒間とした。また、乾燥条件は100℃で80秒とした。
上記により得られた塗膜に対して、i線ステッパー露光装置FPA-3000i5+(Canon(株)製)を用いて、波長365nmの光を、1μmのラインアンドスペースを有するパターンマスクを通して10~1,600mJ/cm2の露光量で照射し、露光した。次に、60%CD-2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)現像液を使用して、露光後の硬化性組成物膜を、25℃、60秒間の条件で現像し、パターン状の硬化膜を得た。その後、パターン状の硬化膜を流水で20秒間リンスした後、エアー乾燥した。
上記パターン状の硬化膜は、硬化性組成物を用いて形成された膜に該当する。
上記露光において、光が照射された領域の現像後のパターン線幅が、1.0μm以上となる最小の露光量を露光感度とし、この露光感度を初期の露光感度とした。
調製直後の硬化性組成物を密閉容器に封入し、器内温度が45℃に設定された恒温器(EYELA/LTI-700)内に保持し、30日間経過後に取り出した。取り出した硬化性組成物を用いて、調製直後の硬化性組成物を用いて行ったのと同様の試験を行い、露光感度を求めた。これを経時後の露光感度とした。
初期の露光感度と、経時後の露光感度から、以下の式で求められる露光感度の変動率(%)を算出した。上記変動率(%)の値が小さいほど、硬化性組成物の保存安定性が優れていることを示す。
(式)変動率=[(経時後の露光感度-初期の露光感度)/初期の露光感度]×100
評価結果は、表6~表8の「保存安定性」の欄に記載した。評価結果は、3、4又は5が好ましく、4又は5がより好ましく、5が最も好ましい。
「5」:変動率が0%~3%だった。
「4」:変動率が3%を超え、6%以下だった。
「3」:変動率が6%を超え、10%以下だった。
「2」:変動率が10%を超え、15%以下だった。
「1」:変動率が15%を超えていた。
上記の〔1.硬化性組成物の露光感度(初期)〕の試験において、上記現像後のパターン線幅が1.0μm以上となる最小の露光量で得られた硬化膜を、ガラス基板ごと220℃のオーブンで1時間加熱した。硬化膜を加熱した後、ガラス基板上の、露光工程において光が照射されなかった領域(未露光部)に存在する残渣の数をSEM(Scanning Electron Microscope、倍率:20,000倍)にて観察し、未露光部残渣を評価した。評価は以下の基準により行い、結果を表6~表8の「現像残渣」の欄に示した。
残渣の個数が少ないほど、現像残渣の発生が抑制されているといえる。評価結果は、3、4又は5が好ましく、4又は5がより好ましく、5が最も好ましい。
「5」:パターンが形成され、未露光部には、残渣が全く観察されなかった。
「4」:パターンが形成され、未露光部1.0μm四方に残渣が1~3個観察された。
「3」:パターンが形成され、未露光部1.0μm四方に残渣が4~10個観察された。
「2」:パターンが形成され、未露光部1.0μm四方に残渣が11個以上観察された。
「1」:現像不良でパターンが形成されなかった。
各実施例及び比較例における硬化性組成物を、それぞれ乾燥後の膜厚が0.9μmになるようにスピンコート法でガラス基板上に塗布し、その後、ホットプレート上にて、硬化性組成物を塗布したガラス基板を100℃で2分間加熱して塗膜を得た。24時間後に、上述の「パターン形状の評価」と同じ条件で露光、現像、ポストベーク工程を経てパターン状の硬化物を得た。
このパターン状の硬化物を光学顕微鏡MT-3600LW(FLOVEL製)を用いて観察することにより、引き置き欠陥(異物発生の有無)を評価した。異物が少ないほど貯蔵安定性が良好であり、引き置き欠陥が抑制されているといえる。評価結果は、3、4又は5が好ましく、4又は5がより好ましく、5が最も好ましい。
「5」:パターン状の硬化物上に異物が認められない。
「4」:パターン状の硬化物上に認められる異物が5個未満である。
「3」:パターン状の硬化物上に認められる異物が5~10個である。
「2」:パターン状の硬化物上に認められる異物が11~50個である。
「1」:パターン状の硬化物上に認められる異物が51~100個である。
各実施例及び比較例において、下記表9に記載の原料を混合して硬化性組成物を調製した。
表9中、「顔料分散液1」又は「顔料分散液2」の欄の「R-1」、「Y-1」等の記載は、上述した「顔料分散液R-1」、「顔料分散液Y-1」等を使用したことを意味している。
また、表9中、「-」の記載は該当する化合物を含有しないことを示している。
〔下塗り層付ガラス基板の作製〕
ガラス基板(コーニング1737)を0.5質量%水酸化ナトリウム水溶液で超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク(200℃/20分)を行った。次いで、洗浄したガラス基板上に乾燥後の膜厚が0.1μmになるようにスピンコーターを用いてCT-4000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を塗布し、ホットプレートを用いて220℃で1時間加熱乾燥させて、下塗り層付ガラス基板を調製した。
上記下塗り層付ガラス基板を用いた以外は、上述の「密着感度(密着性)評価」に記載の評価方法と同様の方法により評価した。評価結果は、表9の「ガラス基板密着感度」の欄に記載した。
比較例1における硬化性組成物は、条件1又は条件2の少なくとも一方を満たす樹脂を含まず、支持体との密着性に優れた膜が形成されなかった。
比較例2における硬化性組成物は、条件1又は条件2の少なくとも一方を満たす樹脂を含まず、支持体との密着性に優れた膜が形成されなかった。
上記硬化性組成物と色が重複しないように、Green組成物、Blue組成物、Red組成物のうちのいずれか1つを製膜後の膜厚が1.0μmになるようにスピンコート法で塗布した。例えば、実施例1~50の硬化性組成物の色は、Redであり、実施例51~56の硬化性組成物の色は、Blueであり、実施例57~64の硬化性組成物の色は、Greenである。
実施例1~50のRed組成物、57~64のGreen組成物、又は、51~56のBlue組成物のいずれかと、上記組成物と色が重ならないように、後述のRed組成物、後述のGreen組成物、及び、後述のBlue組成物よりなる群から選ばれる2種の組成物と、の計3色の組成物(Red組成物、Green組成物、及び、Blue組成物、いずれか1色の組成物が実施例1~64の組成物である。)をそれぞれ準備した。
次いで、ホットプレートを用いて、100℃で2分間加熱した。次いで、i線ステッパー露光装置FPA-3000i5+(キヤノン(株)製)を用い、1,000mJ/cm2で2μm四方のドットパターンのマスクを介して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、更に純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用いて、200℃で5分間加熱することで、Red組成物、Green組成物、及び、Blue組成物をそれぞれパターニングし、赤、緑及び青の着色パターン(Bayerパターン)を形成した。
なお、Bayerパターンとは、米国特許第3,971,065号明細書に開示されているような、一個の赤色(Red)素子と、二個の緑色(Green)素子と、一個の青色(Blue)素子とを有する色フィルタ素子の2×2アレイを繰り返したパターンである。
得られた固体撮像素子について、画像の取り込みを行い、画像性能を評価した。実施例1~実施例64で得られたいずれの組成物を使用した場合でも、低照度の環境下であっても画像をはっきりと認識できた。
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Red組成物を調製した。
Red顔料分散液:51.7質量部
樹脂4(40質量%PGMEA溶液):0.6質量部
重合性化合物4:0.6質量部
光重合開始剤1:0.3質量部
界面活性剤1:4.2質量部
PGMEA:42.6質量部
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Green組成物を調製した。
Green顔料分散液:73.7質量部
樹脂4(40質量%PGMEA溶液):0.3質量部
重合性化合物1:1.2質量部
光重合開始剤1:0.6質量部
界面活性剤1:4.2質量部
紫外線吸収剤(UV-503、大東化学(株)製):0.5質量部
PGMEA:19.5質量部
下記成分を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、Blue組成物を調製した。
Blue顔料分散液:44.9質量部
樹脂4(40質量%PGMEA溶液):2.1質量部
重合性化合物1:1.5質量部
重合性化合物4:0.7質量部
光重合開始剤1:0.8質量部
界面活性剤1:4.2質量部
PGMEA:45.8質量部
下記組成における成分を混合し、撹拌した後、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して、赤外線透過フィルタ形成用組成物を調製した。
顔料分散液1-1:46.5質量部
顔料分散液1-2:37.1質量部
重合性化合物5:1.8質量部
樹脂4:1.1質量部
光重合開始剤2:0.9質量部
界面活性剤1:4.2質量部
重合禁止剤(p-メトキシフェノール):0.001質量部
シランカップリング剤:0.6質量部
PGMEA:7.8質量部
顔料分散液2-1:1,000質量部
重合性化合物(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート):50質量部
樹脂:17質量部
光重合開始剤(1-[4-(フェニルチオ)]-1,2-オクタンジオン-2-(O-ベンゾイルオキシム)):10質量部
PGMEA:179質量部
アルカリ可溶性重合体FA-1:17質量部(固形分濃度35質量部)
反応容器に、ベンジルメタクリレート14部、N-フェニルマレイミド12部、2-ヒドロキシエチルメタクリレート15部、スチレン10部及びメタクリル酸20部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200部に溶解し、更に2,2’-アゾイソブチロニトリル3部及びα-メチルスチレンダイマー5部を投入した。反応容器内を窒素パージ後、撹拌及び窒素バブリングしながら80℃で5時間加熱し、アルカリ可溶性重合体FA-1を含む溶液(固形分濃度35質量%)を得た。この重合体は、ポリスチレン換算の重量平均分子量が9,700、数平均分子量が5,700であり、Mw/Mnが1.70であった。
C.I.ピグメントブラック32を60部、C.I.ピグメントブルー15:6を20部、C.I.ピグメントイエロー139を20部、日本ルーブリゾール(株)製のソルスパース76500を80部(固形分濃度50質量%)、アルカリ可溶性重合体F-1を含む溶液を120部(固形分濃度35質量%)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを700部混合し、ペイントシェーカーを用いて8時間分散し、着色剤分散液2-1を得た。
C.I.Pigment Red 254を9.6質量部、C.I.Pigment Yellow 139を4.3質量部、分散剤(Disperbyk-161、BYKChemie社製)を6.8質量部、PGMEAを79.3質量部とからなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合及び分散して、顔料分散液を調製した。その後更に、減圧機構付き高圧分散機NANO-3000-10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2,000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行った。この分散処理を10回繰り返し、Red顔料分散液を得た。
C.I.Pigment Green 36を6.4質量部、C.I.Pigment
Yellow 150を5.3質量部、分散剤(Disperbyk-161、BYKChemie社製)を5.2質量部、PGMEAを83.1質量部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合及び分散して、顔料分散液を調製した。その後更に、減圧機構付き高圧分散機NANO-3000-10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2,000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行った。この分散処理を10回繰り返し、Green顔料分散液を得た。
C.I.Pigment Blue 15:6を9.7質量部、C.I.Pigment Violet 23を2.4質量部、分散剤(Disperbyk-161、BYKChemie社製)を5.5部、PGMEAを82.4部からなる混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm径)により3時間混合及び分散して、顔料分散液を調製した。その後更に、減圧機構付き高圧分散機NANO-3000-10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、2,000kg/cm3の圧力下で流量500g/minとして分散処理を行った。この分散処理を10回繰り返し、Blue顔料分散液を得た。
下記組成の混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO-3000-10(日本ビーイーイー(株)製))で、3時間、混合、分散して、顔料分散液1-1を調製した。
・赤色顔料(C.I.Pigment Red 254)及び黄色顔料(C.I.Pigment Yellow 139)からなる混合顔料:11.8質量部
・樹脂(Disperbyk-111、BYKChemie社製):9.1質量部
・PGMEA:79.1質量部
下記組成の混合液を、0.3mm径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル(減圧機構付き高圧分散機NANO-3000-10(日本ビーイーイー(株)製))で、3時間、混合、分散して、顔料分散液1-2を調製した。
・青色顔料(C.I.Pigment Blue 15:6)及び紫色顔料(C.I.Pigment Violet 23)からなる混合顔料:12.6質量部
・樹脂(Disperbyk-111、BYKChemie社製):2.0質量部
・樹脂A:3.3質量部
・シクロヘキサノン:31.2質量部
・PGMEA:50.9質量部
・重合性化合物4:下記構造
・光重合開始剤2:下記構造
2:硬化物のパターンエッジ部
4:支持体(ウエハ)
L1:露光領域
L2:未露光領域
T:硬化物のパターンエッジ部における底部の切れ込みの長さ
Claims (23)
- 顔料、並びに、下記条件1及び下記条件2の少なくとも一方を満たす樹脂を含み、
前記樹脂が下記式(D5)で表される構成単位を更に含む、
硬化性組成物;
条件1:前記樹脂が、アニオン構造、前記アニオン構造とイオン結合する第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基を同一の側鎖に有する構成単位を含み、前記アニオン構造が前記樹脂と共有結合しており、前記アニオン構造に対して、ラジカル重合性基及び第四級アンモニウムカチオン構造を有する化合物がイオン結合した構造を有する;
条件2:前記樹脂が、第四級アンモニウムカチオン構造、及び、ラジカル重合性基が連結された基を側鎖に有する構成単位を含み、
前記条件2における第四級アンモニウムカチオン構造の対アニオンは前記樹脂中に存在し、
前記条件2における前記ラジカル重合性基は、(メタ)アリル基、(メタ)アクリルアミド基、又は、(メタ)アクリロキシ基である。
式(D5)中、RD9は、水素原子又はアルキル基を表し、XD6は、酸素原子又はNRC-を表し、RCは水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、LD3は2価の連結基を表し、YD1はアルキレンカルボニルオキシ基を表し、ZD1は、炭素数1~20の脂肪族炭化水素基又は炭素数6~20の芳香族炭化水素基を表し、pは1以上の整数を表し、pが2以上である場合、p個のYD1は同一であってもよいし異なっていてもよい。 - 前記樹脂が下記式(A1)で表される構成単位、及び、下記式(B1)で表される構成単位の少なくとも一方を含む、請求項1に記載の硬化性組成物。
式(A1)中、RA1は水素原子又はアルキル基を表し、AA1は酸基からプロトンが乖離した基を含む構造を表し、RA2及びRA3はそれぞれ独立に、アルキル基又はアラルキル基を表し、LA1はmAが1である場合には1価の置換基を表し、mAが2以上である場合にはmA価の連結基を表し、LA2はnA+1価の連結基を表し、LA3は2価の連結基を表し、RA4は水素原子又はアルキル基を表し、nAは1以上の整数を表し、mAは1以上の整数を表し、mAが2以上の場合には、2以上のRA2、2以上のRA3及び2以上のLA2はそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよく、mAが2以上の場合には、第四級アンモニウムカチオンを含む構造であるmA個の構造のうち、ある構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つは、別の構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つと環構造を形成してもよく、nA及びmAよりなる群から選ばれた少なくとも一方が2以上の場合には、2以上のLA3及び2以上のRA4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RA2、RA3及びLA2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい;
式(B1)中、RB1は水素原子又はアルキル基を表し、LB1は2価の連結基を表し、RB2及びRB3はそれぞれ独立に、アルキル基を表し、LB2はnB+1価の連結基を表し、LB3は2価の連結基を表し、RB4は水素原子又はアルキル基を表し、nBは1以上の整数を表し、nBが2以上の場合には、2以上のLB3及び2以上のRB4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RB2、RB3、LB1及びLB2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい。 - 前記樹脂における、式(A1)で表される構成単位、及び、式(B1)で表される構成単位の含有量が、1質量%~60質量%である、請求項2又は3に記載の硬化性組成物。
- 前記樹脂における、式(A1)で表される構成単位、及び、式(B1)で表される構成単位の含有量が、前記樹脂の全質量に対し、5質量%以上である、請求項2又は3に記載の硬化性組成物。
- 前記樹脂が、前記条件1を満たす樹脂である、請求項1~5のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 前記樹脂が前記条件2を満たす場合、前記樹脂は下記式(D4)で表される構成単位を更に含み、前記樹脂の酸価が40~90mgKOH/gである、請求項1~6のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
式(D4)中、RD8は、水素原子又はアルキル基を表し、XD5は、-COO-、-CONRB-又はアリーレン基を表し、RBは、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、LD2は、炭素数1~10の脂肪族炭化水素基、炭素数6~20の芳香族炭化水素基、又は、炭素数1~10の脂肪族炭化水素基及び炭素数6~20の芳香族炭化水素基よりなる群から選ばれた2以上の基とエーテル結合及びエステル結合よりなる群から選ばれた1以上の基とを結合した基を表し、更に、LD2は、XD5がアリーレン基である場合、単結合であってもよい。 - 前記樹脂が、ラジカル重合性基を有し、かつ、式(A1)で表される構成単位、及び、式(B1)で表される構成単位とは異なる構成単位Dを更に含む、請求項1~7のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 前記樹脂が、前記構成単位Dとして、下記式(D1)で表される構成単位を更に含む、請求項8に記載の硬化性組成物。
式(D1)中、RD1~RD3はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、XD1は、-COO-、-CONRD6-又はアリーレン基を表し、RD6は、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、RD4は、2価の連結基を表し、LD1は、下記式(D2)、式(D3)又は式(D3’)により表される基を表し、RD5は、(n+1)価の連結基を表し、XD2は、酸素原子又はNRD7-を表し、RD7は、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、RDは水素原子又はメチル基を表し、nDは1以上の整数を表し、nDが2以上の場合、2以上のXD2及び2以上のRDはそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。
式(D2)、式(D3)及び式(D3’)中、XD3は、酸素原子又は-NH-を表し、XD4は、酸素原子又はCOO-を表し、Re1~Re3はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、Re1~Re3のうちの少なくとも2つが結合し、環構造を形成していてもよく、XD5は、酸素原子又は-COO-を表し、Re4~Re6はそれぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表し、Re4~Re6のうちの少なくとも2つが結合し、環構造を形成していてもよく、*及び波線部は他の構造との結合位置を表す。 - 光重合開始剤として、オキシム化合物を含む、請求項1~9のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 重合性化合物を更に含む、請求項1~10のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- カラーフィルタの着色層又は赤外線吸収層形成用である、請求項1~11のいずれか1項に記載の硬化性組成物。
- 請求項1~12のいずれか1項に記載の硬化性組成物から形成された膜。
- 請求項1~12のいずれか1項に記載の硬化性組成物から形成されたカラーフィルタ。
- 請求項1~12のいずれか1項に記載の硬化性組成物を支持体上に適用して組成物層を形成する工程と、
前記組成物層をパターン状に露光する工程と、
未露光部を現像除去して着色パターンを形成する工程と、を含む
カラーフィルタの製造方法。 - 請求項1~12のいずれか1項に記載の硬化性組成物を支持体上に適用して組成物層を形成し、前記組成物層を硬化して硬化層を形成する工程と、
前記硬化層上にフォトレジスト層を形成する工程と、
露光及び現像することにより前記フォトレジスト層をパターニングしてレジストパターンを得る工程と、
前記レジストパターンをエッチングマスクとして前記硬化層をエッチングする工程と、を含む、
カラーフィルタの製造方法。 - 請求項13に記載の膜又は請求項14に記載のカラーフィルタを含む固体撮像素子。
- 請求項13に記載の膜又は請求項14に記載のカラーフィルタを含む画像表示装置。
- 下記式(A1)で表される構成単位、及び、下記式(B1)で表される構成単位の少なくとも一方、並びに、下記式(D5)で表される構成単位を含み、
式(B1)で表される構成単位を含む場合、第四級アンモニウムカチオン構造の対アニオンは高分子化合物中に存在し、
式(B1)で表される構成単位を含む場合、ラジカル重合性基を有し、かつ、式(A1)で表される構成単位、及び、式(B1)で表される構成単位とは異なる構成単位Dを更に含む、
高分子化合物;
式(A1)中、RA1は水素原子又はアルキル基を表し、AA1は酸基からプロトンが乖離した基を含む構造を表し、RA2及びRA3はそれぞれ独立に、アルキル基又はアラルキル基を表し、LA1はmAが1である場合には1価の置換基を表し、mAが2以上である場合にはmA価の連結基を表し、LA2はnA+1価の連結基を表し、LA3は2価の連結基を表し、RA4は水素原子又はアルキル基を表し、nAは1以上の整数を表し、mAは1以上の整数を表し、mAが2以上の場合には、2以上のRA2、2以上のRA3及び2以上のLA2はそれぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよく、mAが2以上の場合には、第四級アンモニウムカチオンを含む構造であるmA個の構造のうち、ある構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つは、別の構造に含まれるRA2及びRA3よりなる群から選ばれた少なくとも1つと環構造を形成してもよく、nA及びmAよりなる群から選ばれた少なくとも一方が2以上の場合には、2以上のLA3及び2以上のRA4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RA2、RA3及びLA2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい;
式(B1)中、RB1は水素原子又はアルキル基を表し、LB1は2価の連結基を表し、RB2及びRB3はそれぞれ独立に、アルキル基を表し、LB2はnB+1価の連結基を表し、LB3はエーテル結合(-O-)、エステル結合(-COO-)、アミド結合(-NHCO-)、又はアルキレン基を表し、RB4は水素原子又はアルキル基を表し、nBは1以上の整数を表し、nBが2以上の場合には、2以上のLB3及び2以上のRB4はそれぞれ同一であってもよいし異なっていてもよく、RB2、RB3、LB1及びLB2のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい。
式(D5)中、RD9は、水素原子又はアルキル基を表し、XD6は、酸素原子又はNRC-を表し、RCは水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、LD3は2価の連結基を表し、YD1はアルキレンカルボニルオキシ基を表し、ZD1は、炭素数1~20の脂肪族炭化水素基又は炭素数6~20の芳香族炭化水素基を表し、pは1以上の整数を表し、pが2以上である場合、p個のYD1は同一であってもよいし異なっていてもよい。 - 前記式(A1)で表される構成単位を含む、請求項19又は20に記載の高分子化合物。
- 前記式(B1)で表される繰返し単位を含む場合、式(D4)で表される構成単位を更に有し、酸価が40~90mgKOH/gである、請求項19~21のいずれか1項に記載の高分子化合物。
式(D4)中、RD8は、水素原子又はアルキル基を表し、XD5は、-COO-、-CONRB-又はアリーレン基を表し、RBは、水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、LD2は、炭素数1~10の脂肪族炭化水素基、炭素数6~20の芳香族炭化水素基、又は、炭素数1~10の脂肪族炭化水素基及び炭素数6~20の芳香族炭化水素基よりなる群から選ばれた2以上の基とエーテル結合及びエステル結合よりなる群から選ばれた1以上の基とを結合した基を表し、更に、LD2は、XD5がアリーレン基である場合、単結合であってもよい。 - 式(A1)で表される構成単位、及び、式(B1)で表される構成単位の含有量が、高分子化合物の全質量に対し、5質量%以上である、請求項19~22のいずれか1項に記載の高分子化合物。
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