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JP2022059155A - Cutting device - Google Patents

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JP2022059155A JP2020166710A JP2020166710A JP2022059155A JP 2022059155 A JP2022059155 A JP 2022059155A JP 2020166710 A JP2020166710 A JP 2020166710A JP 2020166710 A JP2020166710 A JP 2020166710A JP 2022059155 A JP2022059155 A JP 2022059155A
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Abstract

To provide a cutting device which even if cutting defect occurs once, enables reduction of the possibility that cutting defect occurs in a subsequent cutting step.SOLUTION: A cutting device is provided, comprising: a chuck table; a cutting unit; a camera unit; a sub-chuck table; and a control unit, the control unit has: a photographing indication section causing the camera unit to photograph first cutting mark of a workpiece and acquire a cutting result image; a measurement section based on the first cutting mark of a cutting result image, acquiring measured values of a plurality of measurement items having respective predetermined allowable range on a cutting mark; a dressing indication section causing a cutting blade to be dressed when the measured value of at least one measurement item exceeds the allowable range among the plurality of measurement items of the first cutting mark; and a notification section making the cutting device issue an alarm when cutting is resumed after dressing and the measured value of at least one measurement item exceeds the allowable range among the plurality of measurement items of a second cutting mark formed in a place different from the first cutting mark.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、チャックテーブルで保持された被加工物を切削する切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting device that cuts a workpiece held by a chuck table.

半導体ウェーハ、サファイア基板、炭化ケイ素基板、ガラス基板、樹脂パッケージ基板等の各種の板状の被加工物を、被加工物の表面に設定された分割予定ラインに沿って切削ブレードで切削することにより、被加工物に切削溝(切削痕)を形成する切削装置が知られている。 By cutting various plate-shaped workpieces such as semiconductor wafers, sapphire substrates, silicon carbide substrates, glass substrates, resin package substrates, etc. with a cutting blade along the planned division line set on the surface of the workpiece. , A cutting device that forms a cutting groove (cutting mark) in a workpiece is known.

切削後の被加工物の切削痕をカメラユニットで観察すると、通常、微細な欠け(チッピング)が観察される。しかし、切削中に何らかの原因で切削不良が発生すると、欠けのサイズが異常に大きくなることがある。 When observing the cutting marks of the workpiece after cutting with a camera unit, fine chipping is usually observed. However, if cutting defects occur during cutting for some reason, the size of the chip may become abnormally large.

そこで、切削中の適切なタイミングで切削痕を撮影し、予め定められた複数の測定項目(例えば、切削痕の幅、欠けのサイズ等)について測定を行い、切削不良が発生していないかを自動的に判定する所謂カーフチェックが行われる(例えば、特許文献1参照)。 Therefore, the cutting marks are photographed at an appropriate timing during cutting, and a plurality of predetermined measurement items (for example, the width of the cutting marks, the size of the chip, etc.) are measured to check whether cutting defects have occurred. A so-called calf check for automatic determination is performed (see, for example, Patent Document 1).

特開2013-74198号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-74198

カーフチェックの結果、切削不良の発生が判明した場合、切削不良の原因を解消することが求められるが、経験の浅いオペレータは、切削不良の原因を解消することなく、切削装置に対して切削の続行を指示する場合がある。しかし、この状態のまま切削を続行すると、以降の全ての被加工物に切削不良が生じる恐れがある。 If the calf check reveals that a cutting defect has occurred, it is required to eliminate the cause of the cutting defect, but an inexperienced operator can cut the cutting device without eliminating the cause of the cutting defect. You may be instructed to continue. However, if cutting is continued in this state, cutting defects may occur in all subsequent workpieces.

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、切削不良が一旦発生したとしても、以降の切削工程で、切削不良が発生する可能性を低減可能な切削装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a cutting apparatus capable of reducing the possibility of cutting defects occurring in the subsequent cutting steps even if cutting defects occur once. do.

本発明の一態様によれば、切削装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルを有し、該チャックテーブルで保持された該被加工物を、該被加工物に設定された分割予定ラインに沿って該スピンドルに装着された切削ブレードで切削する切削ユニットと、該チャックテーブルで保持された該被加工物を撮影するカメラユニットと、該切削ブレードをドレスするためのドレスボードを保持するサブチャックテーブルと、メモリ及びプロセッサを有する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該切削ユニットで切削された該被加工物の第1の切削痕を該カメラユニットに撮影させ切削結果画像を取得させる撮影指示部と、該切削結果画像の該第1の切削痕に基づいて、切削痕に関して予め定められ各々許容範囲を有する複数の測定項目の測定値を得る測定部と、該第1の切削痕の該複数の測定項目のうち少なくとも1つの測定項目の測定値が許容範囲を超えた場合に、該サブチャックテーブルで保持された該ドレスボードで該切削ブレードをドレスさせるドレス指示部と、該切削ブレードのドレスの後、該被加工物の切削が再開され、該第1の切削痕とは異なる場所に形成された第2の切削痕の該複数の測定項目のうち少なくとも1つの測定項目の測定値が該許容範囲を超えた場合に、該切削装置に警報を出させる報知部と、を有する切削装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, a cutting device having a chuck table for holding a workpiece and a spindle, and the workpiece held by the chuck table is set as the workpiece. A cutting unit that cuts with a cutting blade mounted on the spindle along the planned division line, a camera unit that photographs the workpiece held by the chuck table, and a dress board for dressing the cutting blade. The control unit includes a sub-chuck table for holding a cutting unit and a control unit having a memory and a processor, and the control unit causes the camera unit to take a picture of a first cutting mark of the workpiece cut by the cutting unit. An imaging instruction unit for acquiring a result image, a measuring unit for obtaining measurement values of a plurality of measurement items predetermined with respect to the cutting mark and each having an allowable range based on the first cutting mark of the cutting result image, and the said. A dress instruction for dressing the cutting blade with the dress board held by the sub-chuck table when the measurement value of at least one of the plurality of measurement items of the first cutting mark exceeds an allowable range. After dressing the portion and the cutting blade, cutting of the workpiece is resumed and at least one of the plurality of measurement items of the second cutting mark formed in a place different from the first cutting mark. Provided is a cutting device having a notification unit for issuing an alarm to the cutting device when the measured value of one measurement item exceeds the permissible range.

好ましくは、該複数の測定項目は、カーフの幅と、欠けのサイズと、欠けの面積と、を含む。 Preferably, the plurality of measurement items include the width of the calf, the size of the chip, and the area of the chip.

本発明の一態様に係る切削装置のドレス指示部は、第1の切削痕の複数の測定項目のうち少なくとも1つの測定項目の測定値が許容範囲を超えた場合に、サブチャックテーブルで保持されたドレスボードで切削ブレードをドレスさせる。 The dress indicator of the cutting apparatus according to one aspect of the present invention is held by a sub-chuck table when the measured value of at least one of the plurality of measurement items of the first cutting mark exceeds an allowable range. Dress the cutting blade with a dress board.

この様に、切削不良が一旦発生したとしても、切削装置が自動的に切削ブレードをドレスすることで切削不良の解消を試みるので、以降の切削工程では、切削不良が発生する可能性を低減できる。 In this way, even if a cutting defect occurs once, the cutting device automatically dresses the cutting blade to try to eliminate the cutting defect, so that the possibility of the cutting defect occurring in the subsequent cutting process can be reduced. ..

更に、切削ブレードのドレスの後、被加工物の切削が再開され、第1の切削痕とは異なる場所に、第2の切削痕が自動的に形成される。そして、この第2の切削痕の複数の測定項目のうち少なくとも1つの測定項目の測定値が許容範囲を超えた場合に、報知部は、切削装置に警報を出させる。 Further, after the cutting blade is dressed, the cutting of the workpiece is restarted, and the second cutting mark is automatically formed at a place different from the first cutting mark. Then, when the measured value of at least one of the plurality of measurement items of the second cutting mark exceeds the permissible range, the notification unit causes the cutting device to issue an alarm.

この様に、切削装置がドレスを行っても切削不良を解消できない場合には、切削装置が警報を出すことで、切削不良の原因解消をオペレータに促すことができる。それゆえ、例えば、経験の浅いオペレータであっても、経験豊富なオペレータを呼ぶなどして切削不良を解消できる。従って、以降の切削工程で、切削不良が発生する可能性を低減できる。 In this way, when the cutting device cannot eliminate the cutting defect even after dressing, the cutting device issues an alarm to urge the operator to eliminate the cause of the cutting defect. Therefore, for example, even an inexperienced operator can eliminate cutting defects by calling an experienced operator. Therefore, it is possible to reduce the possibility of cutting defects occurring in the subsequent cutting steps.

切削装置の斜視図である。It is a perspective view of a cutting device. 被加工物を切削する様子を示す一部断面側面図である。It is a partial cross-sectional side view which shows the state of cutting a work piece. 切削結果画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a cutting result image. 複数の測定項目を示す画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the image which shows a plurality of measurement items. 測定値を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the measured value. 切削装置を用いた切削方法のフロー図である。It is a flow chart of the cutting method using a cutting device.

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図1は、切削装置2の斜視図である。なお、図1では、切削装置2の構成要素の一部を機能ブロックで示している。また、以下の説明におけるX軸方向(加工送り方向)、Y軸方向(割り出し送り方向)及びZ軸方向(上下方向、高さ方向)は、互いに垂直である。 An embodiment according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view of the cutting device 2. In addition, in FIG. 1, a part of the constituent elements of the cutting apparatus 2 is shown by a functional block. Further, the X-axis direction (machining feed direction), the Y-axis direction (indexing feed direction), and the Z-axis direction (vertical direction, height direction) in the following description are perpendicular to each other.

切削装置2は、各構成要素を支持又は収容する基台4を備える。基台4の前方の角部には、開口4aが形成されており、この開口4a内には、昇降機構(不図示)によって昇降するカセットエレベータ6が設けられている。 The cutting device 2 includes a base 4 that supports or accommodates each component. An opening 4a is formed in the front corner of the base 4, and a cassette elevator 6 that moves up and down by an elevating mechanism (not shown) is provided in the opening 4a.

カセットエレベータ6の上面には、複数の被加工物11を収容するためのカセット8が載せられる。ここで、図2及び図3を参照し、被加工物11について説明する。被加工物11は、例えば、シリコン等の半導体材料で形成された円盤状のウェーハである。 A cassette 8 for accommodating a plurality of workpieces 11 is placed on the upper surface of the cassette elevator 6. Here, the workpiece 11 will be described with reference to FIGS. 2 and 3. The workpiece 11 is, for example, a disk-shaped wafer made of a semiconductor material such as silicon.

被加工物11の表面11a(図2参照)側には、互いに直交する複数の分割予定ライン13(ストリートとも称される。図3参照)が設定されている。複数の分割予定ライン13で区画される各領域には、IC(Integrated Circuit)等のデバイス15(図3参照)が形成されている。 On the surface 11a (see FIG. 2) side of the workpiece 11, a plurality of scheduled division lines 13 (also referred to as streets, see FIG. 3) orthogonal to each other are set. A device 15 (see FIG. 3) such as an IC (Integrated Circuit) is formed in each region partitioned by a plurality of scheduled division lines 13.

被加工物11の裏面11b(図2参照)側には、被加工物11よりも面積の大きいダイシングテープ17が貼り付けられている。また、ダイシングテープ17の外周部分には、金属で形成された環状のフレーム19が貼り付けられている。 A dicing tape 17 having a larger area than the workpiece 11 is attached to the back surface 11b (see FIG. 2) of the workpiece 11. Further, an annular frame 19 made of metal is attached to the outer peripheral portion of the dicing tape 17.

図1に示す様に、被加工物11は、ダイシングテープ17を介してフレーム19に支持された被加工物ユニット21の状態でカセット8に収容されている。なお、被加工物11の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。 As shown in FIG. 1, the workpiece 11 is housed in the cassette 8 in the state of the workpiece unit 21 supported by the frame 19 via the dicing tape 17. There are no restrictions on the material, shape, structure, size, etc. of the workpiece 11.

カセットエレベータ6の側方には、X軸方向に沿う長辺を有する矩形状の開口4bが形成されている。開口4bの下部には、ボールネジ式のX軸移動機構(加工送りユニット)(不図示)が配置されている。 A rectangular opening 4b having a long side along the X-axis direction is formed on the side of the cassette elevator 6. A ball screw type X-axis moving mechanism (machining feed unit) (not shown) is arranged below the opening 4b.

X軸移動機構の上部には、矩形状のテーブルカバー12が配置されており、テーブルカバー12のX軸方向の両側には、蛇腹状カバー14が配置されている。テーブルカバー12上には、被加工物11を保持するチャックテーブル16が配置されている。 A rectangular table cover 12 is arranged on the upper part of the X-axis moving mechanism, and bellows-shaped covers 14 are arranged on both sides of the table cover 12 in the X-axis direction. A chuck table 16 for holding the workpiece 11 is arranged on the table cover 12.

チャックテーブル16の下部には、モータ等の回転駆動源を有するθテーブル(不図示)が連結されている。θテーブルは、Z軸方向に略平行な回転軸の周りにおいて、チャックテーブル16を所定の角度範囲で回転させる。 A θ table (not shown) having a rotational drive source such as a motor is connected to the lower portion of the chuck table 16. The θ table rotates the chuck table 16 within a predetermined angle range around a rotation axis substantially parallel to the Z-axis direction.

チャックテーブル16の内部には、吸引路(不図示)が形成されており、吸引路の一端は、真空ポンプ等の吸引源(不図示)に接続されている。吸引源で生じた負圧は、チャックテーブル16の上面に伝達される。 A suction path (not shown) is formed inside the chuck table 16, and one end of the suction path is connected to a suction source (not shown) such as a vacuum pump. The negative pressure generated by the suction source is transmitted to the upper surface of the chuck table 16.

チャックテーブル16の上面は、X‐Y平面に対して略平行であり、被加工物11を吸引保持するための保持面16aとして機能する。なお、チャックテーブル16の周囲には、フレーム19を四方から固定するための4個のクランプ16bが設けられている。 The upper surface of the chuck table 16 is substantially parallel to the XY plane and functions as a holding surface 16a for sucking and holding the workpiece 11. Around the chuck table 16, four clamps 16b for fixing the frame 19 from all sides are provided.

テーブルカバー12の角部にはサブチャックテーブル18が配置される。図1では、テーブルカバー12のX軸方向の一方側の2つの角部においてY軸方向に沿って離れた態様で、2つのサブチャックテーブル18が配置される。 A sub-chuck table 18 is arranged at the corner of the table cover 12. In FIG. 1, two sub-chuck tables 18 are arranged at two corners on one side of the table cover 12 in the X-axis direction so as to be separated from each other along the Y-axis direction.

各サブチャックテーブル18は、チャックテーブル16よりも小型であり、上面視で矩形状である。サブチャックテーブル18内に形成されている流路は、上述の吸引源に接続されており、サブチャックテーブル18の上面は、矩形板状のドレスボード18aを吸引保持するための保持面となる。 Each sub-chuck table 18 is smaller than the chuck table 16 and has a rectangular shape when viewed from above. The flow path formed in the sub-chuck table 18 is connected to the above-mentioned suction source, and the upper surface of the sub-chuck table 18 serves as a holding surface for sucking and holding the rectangular plate-shaped dress board 18a.

ドレスボード18aは、例えば、ビトリファイド、レジノイド等の結合材にホワイトアランダム(WA)、グリーンカーボン(GC)等の砥粒が混合された混合材料を用いて形成されている。ドレスボード18aは、後述する切削ブレード44のドレス(目立て)に使用される。 The dress board 18a is formed by using, for example, a mixed material in which abrasive grains such as white random (WA) and green carbon (GC) are mixed with a binder such as vitrify and resinoid. The dress board 18a is used for dressing (dressing) the cutting blade 44, which will be described later.

開口4bの上方には、被加工物ユニット21をチャックテーブル16へ搬送する第1の搬送ユニット(不図示)が配置されている。開口4bの側方及び上方には、開口4bを跨ぐ様に、門型の支持構造20が配置されている。 Above the opening 4b, a first transport unit (not shown) for transporting the workpiece unit 21 to the chuck table 16 is arranged. A gate-shaped support structure 20 is arranged so as to straddle the opening 4b on the side and the upper side of the opening 4b.

支持構造20の前面上部には、割り出し送りユニットと、切り込み送りユニットと、をそれぞれ含む、2つの切削ユニット移動機構22が設けられている。各切削ユニット移動機構22は、支持構造20の前面に配置されY軸方向に略平行な一対のY軸ガイドレール24を共有している。 Two cutting unit moving mechanisms 22 including an indexing feed unit and a cutting feed unit are provided on the upper part of the front surface of the support structure 20. Each cutting unit moving mechanism 22 shares a pair of Y-axis guide rails 24 arranged on the front surface of the support structure 20 and substantially parallel to the Y-axis direction.

Y軸ガイドレール24には、Y軸移動プレート26がスライド可能に取り付けられている。1つのY軸移動プレート26の裏面(後面)側には、1つのナット部(不図示)が設けられており、1つのナット部には、Y軸方向に略平行な1つのY軸ボールネジ28が回転可能に結合されている。 A Y-axis moving plate 26 is slidably attached to the Y-axis guide rail 24. One nut portion (not shown) is provided on the back surface (rear surface) side of one Y-axis moving plate 26, and one Y-axis ball screw 28 substantially parallel to the Y-axis direction is provided on one nut portion. Are rotatably coupled.

1つのY軸ボールネジ28の一端部には、1つのY軸パルスモータ30が連結されている。Y軸パルスモータ30でY軸ボールネジ28を回転させれば、Y軸ガイドレール24に沿って1つのY軸移動プレート26が移動する。 One Y-axis pulse motor 30 is connected to one end of one Y-axis ball screw 28. When the Y-axis ball screw 28 is rotated by the Y-axis pulse motor 30, one Y-axis moving plate 26 moves along the Y-axis guide rail 24.

各Y軸移動プレート26の表面(前面)には、Z軸方向に略平行な一対のZ軸ガイドレール32が設けられている。Z軸ガイドレール32には、Z軸移動プレート34がスライド可能に取り付けられている。 A pair of Z-axis guide rails 32 substantially parallel to the Z-axis direction are provided on the surface (front surface) of each Y-axis moving plate 26. A Z-axis moving plate 34 is slidably attached to the Z-axis guide rail 32.

Z軸移動プレート34の裏面側(後面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Z軸方向に略平行なZ軸ボールネジ36が回転可能に結合されている。Z軸ボールネジ36の上端部には、Z軸パルスモータ38が連結されている。 A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (rear surface side) of the Z-axis moving plate 34, and a Z-axis ball screw 36 substantially parallel to the Z-axis direction is rotatably coupled to the nut portion. ing. A Z-axis pulse motor 38 is connected to the upper end of the Z-axis ball screw 36.

Z軸パルスモータ38でZ軸ボールネジ36を回転させれば、Z軸方向に沿ってZ軸移動プレート34が移動する。Z軸移動プレート34の下部には、切削ユニット40が連結されている。切削ユニット40は、角筒状のスピンドルハウジングを有する。 When the Z-axis ball screw 36 is rotated by the Z-axis pulse motor 38, the Z-axis moving plate 34 moves along the Z-axis direction. A cutting unit 40 is connected to the lower part of the Z-axis moving plate 34. The cutting unit 40 has a square cylindrical spindle housing.

スピンドルハウジングには、回転可能な態様で円柱状のスピンドル42(図2参照)の一部が収容されている。スピンドル42の一端部には、サーボモータ等の回転駆動源(不図示)が接続されている。 The spindle housing houses a part of a columnar spindle 42 (see FIG. 2) in a rotatable manner. A rotary drive source (not shown) such as a servomotor is connected to one end of the spindle 42.

スピンドル42の他端部には、円環状の切削ブレード44が装着されている。図2に示す切削ブレード44は、所謂ハブレス型(ワッシャー型とも呼ばれる)であるが、切削ブレード44は、所謂ハブ型であってもよい。 An annular cutting blade 44 is attached to the other end of the spindle 42. The cutting blade 44 shown in FIG. 2 is a so-called hubless type (also referred to as a washer type), but the cutting blade 44 may be a so-called hub type.

再び、図1に戻る。各切削ユニット40に隣接する位置には、カメラユニット46が設けられている。カメラユニット46は、CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)、CCD(Charge-Coupled Device)等のイメージセンサと、所定の光学系と、レンズと、を有する顕微鏡カメラを備える。 Return to FIG. 1 again. A camera unit 46 is provided at a position adjacent to each cutting unit 40. The camera unit 46 includes a microscope camera having an image sensor such as a CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor) or a CCD (Charge-Coupled Device), a predetermined optical system, and a lens.

カメラユニット46は、裏面11b側が保持面16aで保持された被加工物11の表面11a側を撮影する。カメラユニット46で撮影された表面11a側の画像は、例えば、被加工物11のアライメント、被加工物11の切削結果の解析等に利用される。 The camera unit 46 photographs the front surface 11a side of the workpiece 11 whose back surface 11b side is held by the holding surface 16a. The image on the surface 11a side taken by the camera unit 46 is used, for example, for alignment of the workpiece 11 and analysis of the cutting result of the workpiece 11.

開口4bに対して開口4aと反対側の位置には、円形の開口4cが設けられている。開口4c内には、切削後の被加工物11を洗浄するための洗浄ユニット48が配置されている。切削後の被加工物11は、第2の搬送ユニット(不図示)により、チャックテーブル16から洗浄ユニット48に搬送される。 A circular opening 4c is provided at a position opposite to the opening 4a with respect to the opening 4b. A cleaning unit 48 for cleaning the workpiece 11 after cutting is arranged in the opening 4c. The workpiece 11 after cutting is conveyed from the chuck table 16 to the cleaning unit 48 by a second transfer unit (not shown).

ここで、被加工物11を切削する手順について簡単に説明する。図2は、被加工物11を切削する様子を示す一部断面側面図である。被加工物11を切削する際には、まず、カセット8から1つの被加工物ユニット21を取り出し、被加工物11の裏面11b側を保持面16aで保持する。 Here, the procedure for cutting the workpiece 11 will be briefly described. FIG. 2 is a partial cross-sectional side view showing a state of cutting the workpiece 11. When cutting the workpiece 11, first, one workpiece unit 21 is taken out from the cassette 8 and the back surface 11b side of the workpiece 11 is held by the holding surface 16a.

次いで、1つのカメラユニット46で表面11a側を撮影し、得られた表面11a側の画像に基づいて、分割予定ライン13がX軸方向と略平行になる様に、θテーブルでチャックテーブル16の向きを調整する。 Next, the surface 11a side is photographed by one camera unit 46, and based on the obtained image on the surface 11a side, the chuck table 16 is placed on the θ table so that the scheduled division line 13 is substantially parallel to the X-axis direction. Adjust the orientation.

そして、高速で回転させた切削ブレード44を1つの分割予定ライン13の延長線上に位置付けると共に、保持面16aと裏面11bとの間に切削ブレード44の下端を位置付ける。 Then, the cutting blade 44 rotated at high speed is positioned on the extension line of one scheduled division line 13, and the lower end of the cutting blade 44 is positioned between the holding surface 16a and the back surface 11b.

この状態で、切削ブレード44とチャックテーブル16とをX軸移動機構により相対的にX軸方向に移動させると、被加工物11は1つの分割予定ライン13に沿って切削され、切削痕(切削溝)13aが形成される。 In this state, when the cutting blade 44 and the chuck table 16 are relatively moved in the X-axis direction by the X-axis moving mechanism, the workpiece 11 is cut along one scheduled division line 13 and a cutting mark (cutting) is made. Groove) 13a is formed.

一の方向に沿う全ての分割予定ライン13に沿って切削痕13aを形成した後、チャックテーブル16を90度回転させて、他の方向に沿う分割予定ライン13をX軸方向と略平行にする。その後、他の方向に沿う全ての分割予定ライン13に沿って切削痕13aを形成する。 After forming the cutting marks 13a along all the scheduled division lines 13 along one direction, the chuck table 16 is rotated 90 degrees to make the scheduled division lines 13 along the other directions substantially parallel to the X-axis direction. .. After that, a cutting mark 13a is formed along all the scheduled division lines 13 along the other directions.

この様に、被加工物11の切削を進める過程において、例えば、切削ブレード44で切削した長さが後述するカーフチェック条件に達した場合、カーフチェックを行うために、まず、カメラユニット46が切削痕13aを撮影する。これにより、被加工物11の切削結果画像50が得られる(図3参照)。 In this way, in the process of cutting the workpiece 11, for example, when the length cut by the cutting blade 44 reaches the calf check condition described later, the camera unit 46 first cuts in order to perform the calf check. The mark 13a is photographed. As a result, a cutting result image 50 of the workpiece 11 is obtained (see FIG. 3).

図3は、切削結果画像50の一例を示す図である。切削結果画像50は、チッピング(欠け)23のサイズ等の予め定められた複数の測定項目における切削痕13a(カーフ25)の測定値を得る際に利用される。 FIG. 3 is a diagram showing an example of a cutting result image 50. The cutting result image 50 is used to obtain the measured values of the cutting marks 13a (calf 25) in a plurality of predetermined measurement items such as the size of the chipping (chip) 23.

ここで再び、図1に戻る。切削装置2には、カメラユニット46で撮影された画像や、上述の測定値などを表示するための表示装置52が設けられている。本例の表示装置52は、例えば、表示部と入力部として機能するタッチパネルである。 Here, the process returns to FIG. The cutting device 2 is provided with a display device 52 for displaying an image taken by the camera unit 46, the above-mentioned measured value, and the like. The display device 52 of this example is, for example, a touch panel that functions as a display unit and an input unit.

切削装置2は、切削工程で問題が起きた場合、表示装置52に、エラーが生じた旨の警報を表示させることができる。切削装置2の上部には、切削装置2の状況を視覚的に示すための表示灯54が設けられている。 When a problem occurs in the cutting process, the cutting device 2 can cause the display device 52 to display an alarm indicating that an error has occurred. An indicator light 54 for visually indicating the state of the cutting device 2 is provided on the upper part of the cutting device 2.

表示灯54は、問題無く切削工程が進行中である場合、例えば、緑色で点灯し、切削工程で問題が起きた場合、例えば、赤色で点灯する。この赤色での点灯は、切削装置2がオペレータ等に向けて発する警報となる。更に、切削装置2には、切削工程で問題が起きた場合、所定の警告音(警報)を発生するスピーカ(不図示)が設けられてもよい。 The indicator lamp 54 lights up in green, for example, when the cutting process is in progress without any problem, and lights up in red, for example, when a problem occurs in the cutting process. This lighting in red is an alarm issued by the cutting device 2 to the operator or the like. Further, the cutting device 2 may be provided with a speaker (not shown) that emits a predetermined warning sound (alarm) when a problem occurs in the cutting process.

表示装置52、表示灯54及びスピーカは、切削工程で問題が起きたことをオペレータに知らせる報知ユニットとして機能し得る。切削装置2には、各構成要素の動作を制御する制御ユニット56が設けられている。 The display device 52, the indicator light 54, and the speaker can function as a notification unit for notifying the operator that a problem has occurred in the cutting process. The cutting device 2 is provided with a control unit 56 that controls the operation of each component.

制御ユニット56は、カセットエレベータ6、X軸移動機構、チャックテーブル16、第1及び第2の搬送ユニット、切削ユニット移動機構22、切削ユニット40、カメラユニット46、洗浄ユニット48、表示装置52、表示灯54、スピーカ等の動作を制御する。 The control unit 56 includes a cassette elevator 6, an X-axis moving mechanism, a chuck table 16, first and second transport units, a cutting unit moving mechanism 22, a cutting unit 40, a camera unit 46, a cleaning unit 48, a display device 52, and a display. It controls the operation of the light 54, the speaker, and the like.

制御ユニット56は、例えば、CPU(Central Processing Unit)に代表されるプロセッサ58と、DRAM(Dynamic Random Access Memory)、SRAM(Static Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)等の主記憶装置、及び、フラッシュメモリ、ハードディスクドライブ、ソリッドステートドライブ等の補助記憶装置、を含むメモリ60と、を有するコンピュータによって構成されている。 The control unit 56 includes, for example, a processor 58 represented by a CPU (Central Processing Unit), a main storage device such as a DRAM (Dynamic Random Access Memory), a SRAM (Static Random Access Memory), and a ROM (Read Only Memory), and a main storage device. It is composed of a computer having a memory 60 including a flash memory, a hard disk drive, an auxiliary storage device such as a solid state drive, and the like.

メモリ60の補助記憶装置には、所定のプログラムを含むソフトウェアが記憶されている。このソフトウェアに従いプロセッサ58を動作させることによって、制御ユニット56の機能が実現される。 Software including a predetermined program is stored in the auxiliary storage device of the memory 60. By operating the processor 58 according to this software, the function of the control unit 56 is realized.

メモリ60には、表示装置52を介してオペレータにより入力された、又は、被加工物11の種類等に応じて予め定められた、所定の条件が記憶されている。所定の条件は、切削ブレード44の回転数、チャックテーブル16の加工送り速度等の切削条件を含む。 The memory 60 stores predetermined conditions input by the operator via the display device 52 or predetermined according to the type of the workpiece 11. The predetermined conditions include cutting conditions such as the rotation speed of the cutting blade 44 and the machining feed rate of the chuck table 16.

所定の条件は、カーフチェック条件を更に含む。カーフチェック条件とは、切削痕13aに問題が無いか等の確認を行うための条件であり、例えば、所定の切削長さだけ被加工物11を切削した場合にカーフチェックが行われると定められている。 The predetermined conditions further include calf check conditions. The calf check condition is a condition for confirming whether or not there is a problem in the cutting mark 13a. For example, it is defined that the calf check is performed when the workpiece 11 is cut by a predetermined cutting length. ing.

なお、所定長さに代えて、所定の枚数だけ被加工物11を切削した場合にカーフチェックが行われるよう定めされていてもよい。カーフチェック条件は、オペレータが表示装置52を介して適宜、設定又は変更できる。 In addition, instead of the predetermined length, it may be specified that the calf check is performed when the workpiece 11 is cut by a predetermined number of sheets. The calf check condition can be appropriately set or changed by the operator via the display device 52.

メモリ60には、上述の切削及びカーフチェック条件に加えて、切削痕13aに関して予め定められた複数の測定項目の許容範囲も記憶される。図4は、表示装置52の一部に表示される、複数の測定項目を示す画像の一例を示す図である。 In addition to the above-mentioned cutting and calf check conditions, the memory 60 also stores an allowable range of a plurality of predetermined measurement items with respect to the cutting mark 13a. FIG. 4 is a diagram showing an example of an image showing a plurality of measurement items displayed on a part of the display device 52.

各測定項目の測定値は、メモリ60に格納されたプログラムにより実現される測定部62が、切削結果画像50に対してエッジ13b(図3、図5参照)を検出する画像処理を施したり、画像中の特徴領域のサイズを算出したりすることで得られる。 The measured values of each measurement item are subjected to image processing in which the measuring unit 62 realized by the program stored in the memory 60 performs image processing for detecting the edge 13b (see FIGS. 3 and 5) on the cutting result image 50. It can be obtained by calculating the size of the feature area in the image.

例えば、画像処理により切削痕13aのエッジ13bを検出する場合、測定部62は、切削結果画像50において隣接する画素の輝度の差分を算出する。なお、切削痕13aは、分割予定ライン13中の非切削領域に比べて暗く表示される。 For example, when the edge 13b of the cutting mark 13a is detected by image processing, the measuring unit 62 calculates the difference in the brightness of the adjacent pixels in the cutting result image 50. The cutting mark 13a is displayed darker than the non-cutting region in the scheduled division line 13.

切削結果画像50において、1画素は、例えば、1μmに対応しているので、カーフ25やチッピング23を構成する画素数を算出することにより、カーフ25の幅、チッピング23のサイズ等が測定される。 In the cutting result image 50, since one pixel corresponds to, for example, 1 μm, the width of the calf 25, the size of the chipping 23, and the like are measured by calculating the number of pixels constituting the calf 25 and the chipping 23. ..

複数の測定項目は、コントラスト値58a、センター位置のずれ量58b、チッピング23を除くカーフ25の幅58c、チッピング23を含むカーフ25の幅58d、ヘアラインセンターからチッピング23の外縁までの最大距離58e、最大のチッピング23のサイズ58f、チッピング23の総面積58g、Y軸方向のずれ量58hを含む(図4参照)。 The plurality of measurement items include a contrast value 58a, a deviation amount of the center position 58b, a width 58c of the calf 25 excluding the chipping 23, a width 58d of the calf 25 including the chipping 23, and a maximum distance 58e from the hairline center to the outer edge of the chipping 23. The size of the maximum chipping 23 is 58f, the total area of the chipping 23 is 58g, and the deviation amount in the Y-axis direction is 58h (see FIG. 4).

コントラスト値58aとは、切削結果画像50における、分割予定ライン13と切削痕13aとのコントラストを示す数値である。図4に示す画像では、コントラスト値58aは、カーフ点数と表示される。 The contrast value 58a is a numerical value indicating the contrast between the scheduled division line 13 and the cutting mark 13a in the cutting result image 50. In the image shown in FIG. 4, the contrast value 58a is displayed as the number of calf points.

コントラスト値58aの下限値は、カーフ点数の文字の右に表示される。コントラスト値58aの数値が高いほど、分割予定ライン13と、切削痕13aとの画像上の濃度さが大きいので、より正確な測定が可能になる。 The lower limit of the contrast value 58a is displayed to the right of the character of the calf score. The higher the value of the contrast value 58a, the higher the density on the image of the planned division line 13 and the cutting mark 13a, so that more accurate measurement becomes possible.

センター位置のずれ量58bとは、切削結果画像50における、ヘアライン(カメラユニット46のカメラにおける基準線)の中心線(不図示)と、切削痕13aの中心線13c(図5参照)との、位置ずれを意味する。 The deviation amount 58b of the center position is the center line (not shown) of the hairline (reference line in the camera of the camera unit 46) and the center line 13c (see FIG. 5) of the cutting mark 13a in the cutting result image 50. It means misalignment.

ずれ量58bが、(コール)の文字の右に示す上限値を超えた場合に、制御ユニット56は、オペレータにエラーを通知する。なお、(コール)の文字の右に示す上限値は、(アジャスト)の文字の右に示す上限値よりも大きい。 When the deviation amount 58b exceeds the upper limit value shown to the right of the character (call), the control unit 56 notifies the operator of an error. The upper limit value shown to the right of the (call) character is larger than the upper limit value shown to the right of the (adjust) character.

ずれ量58bが、(アジャスト)の文字の右に示す上限値を超え、且つ、(コール)の文字の右に示す上限値以下である場合に、制御ユニット56は、自動でヘアライン合わせを実行し、切削位置を補正する。 When the deviation amount 58b exceeds the upper limit value shown on the right side of the (adjust) character and is equal to or less than the upper limit value shown on the right side of the (call) character, the control unit 56 automatically executes hairline alignment. , Correct the cutting position.

チッピング23を除くカーフ25の幅58c(図5参照)とは、切削結果画像50における、カーフ25の両側に形成された複数のチッピング23を除くカーフ25の幅を意味する。なお、幅58cの上限値及び下限値は、それぞれ、上限及び下限の文字の右に表示される。 The width 58c of the calf 25 excluding the chipping 23 (see FIG. 5) means the width of the calf 25 excluding the plurality of chippings 23 formed on both sides of the calf 25 in the cutting result image 50. The upper limit value and the lower limit value of the width 58c are displayed to the right of the characters of the upper limit and the lower limit, respectively.

チッピング23を含むカーフ25の幅58dと(図5参照)は、切削結果画像50における、カーフ25の両側に形成された複数のチッピング23のうち、カーフ25の幅方向において最大のチッピング23のサイズ(長さ)を含む、切削痕13a及びチッピング23の幅の合計を意味する。幅58dの上限値は、(含チッピング)の文字の右に表示される。 The width 58d of the calf 25 including the chipping 23 and (see FIG. 5) are the size of the largest chipping 23 in the width direction of the calf 25 among the plurality of chippings 23 formed on both sides of the calf 25 in the cutting result image 50. It means the total width of the cutting mark 13a and the chipping 23 including (length). The upper limit of the width 58d is displayed to the right of the character (including chipping).

ヘアラインセンターからチッピング23の外縁までの最大距離58eとは、切削結果画像50における、ヘアラインの中心線から、カーフ25の幅方向に最大のチッピング23の外側端部まで、の距離を意味する。最大距離58eの上限値は、(センター~チッピング)の文字の右に表示される。 The maximum distance 58e from the hairline center to the outer edge of the chipping 23 means the distance from the center line of the hairline to the outermost end of the chipping 23 in the width direction of the calf 25 in the cutting result image 50. The upper limit of the maximum distance 58e is displayed to the right of the character (center to chipping).

最大のチッピング23のサイズ58fとは(図5参照)、切削結果画像50における、カーフ25の幅方向に最大のチッピング23のサイズ(長さ)を意味する。サイズ58fの上限値は、チッピング許容値の文字の右に表示される。 The maximum chipping 23 size 58f (see FIG. 5) means the maximum chipping 23 size (length) in the width direction of the calf 25 in the cutting result image 50. The upper limit of the size 58f is displayed to the right of the character of the chipping allowance.

チッピング23の総面積58gは、切削結果画像50において、幅58cよりも外側に突出している各チッピング23の外縁と、カーフ25を規定する2本の仮想的な直線と、で囲まれる、チッピング23の面積(図5で黒塗された領域)の総和を意味する。総面積58gの上限値は、チッピング面積の文字の右に表示される。 The total area of the chipping 23, 58 g, is surrounded by the outer edge of each chipping 23 protruding outward from the width 58c and the two virtual straight lines defining the calf 25 in the cutting result image 50. It means the total area of (the area painted in black in FIG. 5). The upper limit of the total area of 58 g is displayed to the right of the character of the chipping area.

Y軸方向のずれ量58hは、切削結果画像50における、実際の画像上のターゲットの位置と、デバイスデータにより設定したインデックスに基づいて算出されたターゲットの位置との、割り出し送り方向の位置ずれを意味する。 The deviation amount 58h in the Y-axis direction is the positional deviation in the index feed direction between the position of the target on the actual image and the position of the target calculated based on the index set by the device data in the cutting result image 50. means.

ターゲットとは、アライメント等に利用されるターゲットパターンであり、キーパターン、アライメントマーク等とも称される。Y軸方向のずれ量58hの上限値は、画像では、Y許容値(byターゲット)の文字の右に表示される。 The target is a target pattern used for alignment or the like, and is also referred to as a key pattern, an alignment mark, or the like. The upper limit of the deviation amount 58h in the Y-axis direction is displayed to the right of the character of the Y allowable value (by target) in the image.

なお、図4では、1つのカメラユニット46で得られた切削結果画像50を測定部62が処理する場合の許容値が、Z1軸の列に表示されている。また、他の1つのカメラユニット46で得られた切削結果画像50を測定部62が処理する場合の許容値が、Z2軸の列に表示されている。 In FIG. 4, the allowable value when the measuring unit 62 processes the cutting result image 50 obtained by one camera unit 46 is displayed in the column of the Z1 axis. Further, the allowable value when the measuring unit 62 processes the cutting result image 50 obtained by the other camera unit 46 is displayed in the column of the Z2 axis.

各測定値は、メモリ60に記憶されると共に、制御ユニット56により許容範囲を超えているか否か検査される。測定値が許容範囲を超えた場合(即ち、エラー時)の処理は、「CALL」、「DRESS」及び「RETRY」の内からオペレータにより予め選択される。 Each measured value is stored in the memory 60 and is inspected by the control unit 56 to see if it exceeds the permissible range. When the measured value exceeds the permissible range (that is, when an error occurs), the processing is preselected by the operator from among "CALL", "DRESS", and "RETRY".

「CALL」は、表示装置52、表示灯54、スピーカ等を通じて、アラームを出すことにより、切削装置2のエラーをオペレータに通知することを意味する。「DRESS」は、ドレスボード18aを使用して切削ブレード44をドレスすることを意味する。 “CALL” means notifying the operator of an error in the cutting device 2 by issuing an alarm through the display device 52, the indicator light 54, the speaker, and the like. "DRESS" means dressing the cutting blade 44 using the dress board 18a.

「RETRY」は、測定部62が、再度、カメラユニット46で取得した切削結果画像50に対して、画像処理、画像中の特徴領域のサイズの算出等を行うことを意味する。図4に示す例では、コントラスト値58aが下限値よりも小さい場合、「CALL」の処理が行われる。また、幅58cが下限値よりも小さい場合、「RETRY」の処理が行われる。 “RETRY” means that the measuring unit 62 performs image processing, calculation of the size of the feature region in the image, and the like on the cutting result image 50 acquired by the camera unit 46 again. In the example shown in FIG. 4, when the contrast value 58a is smaller than the lower limit value, the “CALL” process is performed. If the width 58c is smaller than the lower limit, the "RETRY" process is performed.

これに対して、幅58c,58d、最大距離58e、サイズ58f、及び、総面積58gが、それぞれの上限値よりも大きい場合「DRESS」の処理が行われる。なお、各測定項目に対する「CALL」、「DRESS」及び「RETRY」の選択は、図4に示す例に限定されるものではない。 On the other hand, when the width 58c, 58d, the maximum distance 58e, the size 58f, and the total area 58g are larger than the respective upper limit values, the processing of "DRESS" is performed. The selection of "CALL", "DRESS", and "RETRY" for each measurement item is not limited to the example shown in FIG.

図5は、切削結果画像50に対応する画像50aであり、測定値を説明するための図である。画像50aには、分割予定ライン13上に、切削痕13aのエッジ13b、切削痕13aの中心線13c等が、重ねて示されている。なお、デバイス15には、ハッチングが付されている。 FIG. 5 is an image 50a corresponding to the cutting result image 50, and is a diagram for explaining the measured value. In the image 50a, the edge 13b of the cutting mark 13a, the center line 13c of the cutting mark 13a, and the like are superimposed on the scheduled division line 13. The device 15 is provided with hatching.

ここで再び、図1に戻り、制御ユニット56の構成について更に説明する。メモリ60は、カメラユニット46に被加工物11の切削痕13aを撮影させる撮影指示部64を含む。 Here, returning to FIG. 1, the configuration of the control unit 56 will be further described. The memory 60 includes a shooting instruction unit 64 that causes the camera unit 46 to shoot a cutting mark 13a of the workpiece 11.

撮影指示部64は、上述したカーフチェック条件に達したときに、切削痕13aをカメラユニット46に撮影させる。撮影で得られた切削結果画像50に対して、測定部62が、各測定項目を算出することで測定値を得る。 When the above-mentioned calf check condition is reached, the shooting instruction unit 64 causes the camera unit 46 to shoot the cutting mark 13a. The measuring unit 62 calculates each measurement item with respect to the cutting result image 50 obtained by photographing, and obtains a measured value.

各測定項目の測定値のうち、少なくとも1つの測定項目の測定値が許容範囲を超えた場合(即ち、切削不良が発生した場合)、制御ユニット56は、切削ユニット40、切削ユニット移動機構22、X軸移動機構、チャックテーブル16等を動作させて、ドレスボード18aで切削ブレード44をドレスさせる。 When the measured value of at least one of the measured values of each measurement item exceeds the permissible range (that is, when a cutting defect occurs), the control unit 56 is the cutting unit 40, the cutting unit moving mechanism 22, The X-axis moving mechanism, the chuck table 16 and the like are operated to dress the cutting blade 44 with the dress board 18a.

この様に、切削ブレード44のドレスを自動的に実行させる指示は、制御ユニット56におけるドレス指示部66により行われる。ドレス指示部66は、例えば、メモリ60に格納されたプログラムである。 In this way, the instruction to automatically execute the dressing of the cutting blade 44 is given by the dress indicating unit 66 in the control unit 56. The dress indicator 66 is, for example, a program stored in the memory 60.

切削ブレード44のドレスでは、例えば、回転している切削ブレード44をドレスボード18aのX軸方向の外側に位置付けると共に、切削ブレード44の下端を、ドレスボード18aの上面から所定の深さに位置付ける。この状態で、切削ブレード44とドレスボード18aとをX軸移動機構により相対的にX軸方向に移動させる。 In the dress of the cutting blade 44, for example, the rotating cutting blade 44 is positioned outside the dress board 18a in the X-axis direction, and the lower end of the cutting blade 44 is positioned at a predetermined depth from the upper surface of the dress board 18a. In this state, the cutting blade 44 and the dress board 18a are relatively moved in the X-axis direction by the X-axis moving mechanism.

ドレスにより、切削ブレード44の切り刃の目つぶれ、目詰まり等が解消されるので、切削時のチッピング23のサイズ、チッピング23の発生頻度を低減できるようになる。なお、ドレスを行う際は、切削ブレード44でドレスボード18aに一本の溝を形成してもよく、複数本の溝を形成してもよい。 Since the dress eliminates the clogging, clogging, etc. of the cutting blade of the cutting blade 44, the size of the chipping 23 and the frequency of occurrence of the chipping 23 at the time of cutting can be reduced. When dressing, the cutting blade 44 may form one groove on the dress board 18a, or may form a plurality of grooves.

この様に、本実施形態では、少なくとも1つの測定項目の測定値が許容範囲を超えた場合に、自動的に切削ブレード44をドレスさせるので、切削不良が一旦発生したとしても、切削不良の解消を切削装置2において試みることができる。それゆえ、以降の切削工程では、切削不良が発生する可能性を低減できる。 As described above, in the present embodiment, when the measured value of at least one measurement item exceeds the permissible range, the cutting blade 44 is automatically dressed, so that even if a cutting defect occurs once, the cutting defect is eliminated. Can be tried in the cutting device 2. Therefore, in the subsequent cutting process, the possibility of cutting defects can be reduced.

切削ブレード44のドレスの後、被加工物11の切削が再開される。ドレス後の切削再開時には、直前に形成された切削痕13aとは割り出し送り方向において異なる位置や、直前に切削を施した被加工物11とは異なる被加工物11に、所定本数(例えば、1本)の切削痕13aが新たに形成される。 After dressing the cutting blade 44, cutting of the workpiece 11 is resumed. At the time of resuming cutting after dressing, a predetermined number (for example, 1) is placed in a position different from the cutting mark 13a formed immediately before in the indexing feed direction and in the workpiece 11 different from the workpiece 11 cut immediately before. The cutting mark 13a of the book) is newly formed.

なお、1本の分割予定ライン13には、1本の切削痕13aが形成される。そして、撮影指示部64の指示により、新たに形成された切削痕13aの切削結果画像50が取得され、測定部62により、新たに形成された切削痕13aの複数の測定項目について測定値が算出される。 In addition, one cutting mark 13a is formed on one scheduled division line 13. Then, according to the instruction of the photographing instruction unit 64, the cutting result image 50 of the newly formed cutting mark 13a is acquired, and the measuring unit 62 calculates the measured values for the plurality of measurement items of the newly formed cutting mark 13a. Will be done.

このときも、少なくとも1つの測定項目の測定値が許容範囲を超えた場合、制御ユニット56の報知部68は、表示装置52、表示灯54、スピーカ等を通じて警報を出させることにより、切削不良が発生した旨をオペレータに通知する。 Even at this time, if the measured value of at least one measurement item exceeds the permissible range, the notification unit 68 of the control unit 56 issues an alarm through the display device 52, the indicator lamp 54, the speaker, etc. Notify the operator that it has occurred.

報知部68は、例えば、メモリ60に格納されたプログラムにより実現される。報知部68が、切削装置2に警報を出させた場合、オペレータは、切削ブレード44の交換、加工送り速度、切削ブレード44の回転数等の切削条件の変更、複数の測定項目の許容範囲の緩和等を行うことにより、警報(アラーム)の解除を行う。 The notification unit 68 is realized by, for example, a program stored in the memory 60. When the notification unit 68 issues an alarm to the cutting device 2, the operator can replace the cutting blade 44, change the cutting conditions such as the machining feed rate and the rotation speed of the cutting blade 44, and set the allowable range of a plurality of measurement items. The alarm is canceled by mitigating the alarm.

この様に、切削装置2が自動的に切削不良を解消できない場合には、切削装置2が警報を出すことで、切削不良の原因解消をオペレータに促すことができる。それゆえ、例えば、経験の浅いオペレータであっても、経験豊富なオペレータを呼ぶなどして切削不良を解消できる。従って、以降の切削工程で、切削不良が発生する可能性を低減できる。 In this way, when the cutting device 2 cannot automatically eliminate the cutting defect, the cutting device 2 issues an alarm to urge the operator to eliminate the cause of the cutting defect. Therefore, for example, even an inexperienced operator can eliminate cutting defects by calling an experienced operator. Therefore, it is possible to reduce the possibility of cutting defects occurring in the subsequent cutting steps.

次に、図6を参照して、切削装置2を用いた切削方法について説明する。図6は、切削装置2を用いた切削方法のフロー図である。所定枚数の被加工物11の切削を開始する場合、オペレータが表示装置52に表示されている「フルオート開始」のボタンをタッチする。 Next, a cutting method using the cutting device 2 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a flow chart of a cutting method using the cutting device 2. When starting cutting of a predetermined number of workpieces 11, the operator touches the "Full Auto Start" button displayed on the display device 52.

複数の被加工物11の切削が切削装置2で行われるときに、1つ目の被加工物11をする場合(S2でNO)、被加工物11を保持面16aで保持して、アライメントを行い、切削ブレード44で被加工物11を切削する(切削工程S4)。 When the first workpiece 11 is to be cut (NO in S2) when the cutting of the plurality of workpieces 11 is performed by the cutting apparatus 2, the workpieces 11 are held by the holding surface 16a for alignment. Then, the workpiece 11 is cut by the cutting blade 44 (cutting step S4).

被加工物11を各分割予定ライン13に沿って順次切削し、カーフチェック条件に達していない場合(S6でNO)、切削工程S4に戻る。これに対して、カーフチェック条件に達した場合(S6でYES)、第1のカーフチェック工程S8に進む。 The workpiece 11 is sequentially cut along each scheduled division line 13, and if the calf check condition is not reached (NO in S6), the process returns to the cutting step S4. On the other hand, when the calf check condition is reached (YES in S6), the process proceeds to the first calf check step S8.

第1のカーフチェック工程S8では、撮影指示部64が例えば直前に加工した切削痕(第1の切削痕)13aをカメラユニット46に撮影させることで、切削結果画像50を得ると共に、切削結果画像50に基づいて、測定部62が各測定項目の測定値を得る。 In the first calf check step S8, the photographing instruction unit 64 causes the camera unit 46 to photograph, for example, the cutting mark (first cutting mark) 13a processed immediately before, thereby obtaining the cutting result image 50 and the cutting result image. Based on 50, the measuring unit 62 obtains the measured value of each measurement item.

切削痕13aについて、全ての測定値が許容範囲内である場合(S10でNO)、S2に戻る。これに対して、切削痕13aについて、少なくとも1つの測定値が許容範囲を超えている場合(S10でYES)、ドレス工程S12に進む。 If all the measured values of the cutting mark 13a are within the permissible range (NO in S10), the process returns to S2. On the other hand, when at least one measured value of the cutting mark 13a exceeds the allowable range (YES in S10), the process proceeds to the dressing step S12.

ドレス工程S12では、ドレス指示部66の指示により、切削ブレード44のドレスが自動的に実行される。それゆえ、以降の切削工程S4では、切削不良が発生する可能性を低減できる。 In the dressing step S12, the dressing of the cutting blade 44 is automatically executed according to the instruction of the dress indicating unit 66. Therefore, in the subsequent cutting step S4, the possibility of cutting defects can be reduced.

ドレス工程S12の後、確認用の切削工程S14が行われる。確認用の切削工程S14では、直前に形成された切削痕13aとは割り出し送り方向において異なる位置や、直前に切削を施した被加工物11とは異なる被加工物11に、所定本数(例えば、1本)の切削痕13aが新たに形成される。 After the dressing step S12, a confirmation cutting step S14 is performed. In the confirmation cutting step S14, a predetermined number (for example,) of the workpiece 11 different from the workpiece 11 formed immediately before the cutting mark 13a in the indexing feed direction and the workpiece 11 machined immediately before the cutting is performed. 1) cutting marks 13a are newly formed.

そして、撮影指示部64の指示により、新たに形成された切削痕13aの切削結果画像50が取得され、測定部62により、新たに形成された切削痕(第2の切削痕)13aの複数の測定項目について測定値が算出される(第2のカーフチェック工程S16)。 Then, the cutting result image 50 of the newly formed cutting mark 13a is acquired by the instruction of the photographing instruction unit 64, and a plurality of newly formed cutting marks (second cutting marks) 13a are acquired by the measuring unit 62. The measured value is calculated for the measurement item (second calf check step S16).

そして、全ての測定値が許容範囲内である場合(S18でNO)、S2に戻る。これに対して、少なくとも1つの測定値が許容範囲を超えた場合(S18でYES)、報知部68が、表示装置52、表示灯54、スピーカ等に警報を出させる(報知工程S20)。 Then, when all the measured values are within the allowable range (NO in S18), the process returns to S2. On the other hand, when at least one measured value exceeds the permissible range (YES in S18), the notification unit 68 causes the display device 52, the indicator lamp 54, the speaker, and the like to issue an alarm (notification step S20).

報知工程S20に進んだ場合、制御ユニット56は、切削装置2での被加工物11の自動切削を一旦停止させる。そして、異常原因を解消してアラームを解除しない限り「フルオート開始」のボタンをタッチしても自動切削は行われなくなる。 When the process proceeds to the notification step S20, the control unit 56 temporarily stops the automatic cutting of the workpiece 11 by the cutting device 2. Then, unless the cause of the abnormality is resolved and the alarm is cleared, automatic cutting will not be performed even if the "Full Auto Start" button is touched.

それゆえ、アラームを解除しない場合(S22でNO)、切削は終了する。これに対して、異常原因を解消してアラームを解除した場合(S22でYES)、制御ユニット56が「フルオート開始」のボタンを有効化するので、オペレータが「フルオート開始」のボタンをタッチすると、自動切削が再開される(S2に戻る)。 Therefore, if the alarm is not cleared (NO in S22), the cutting ends. On the other hand, when the cause of the abnormality is resolved and the alarm is canceled (YES in S22), the control unit 56 activates the "full auto start" button, so that the operator touches the "full auto start" button. Then, automatic cutting is restarted (returns to S2).

この様に、切削装置2が自動的に切削不良を解消できない場合には、切削装置2が警報を出すことで、切削不良の原因解消をオペレータに促すことができる。それゆえ、例えば、経験の浅いオペレータであっても、経験豊富なオペレータを呼ぶなどして切削不良を解消できる。従って、以降の切削工程S4で、切削不良が発生する可能性を低減できる。 In this way, when the cutting device 2 cannot automatically eliminate the cutting defect, the cutting device 2 issues an alarm to urge the operator to eliminate the cause of the cutting defect. Therefore, for example, even an inexperienced operator can eliminate cutting defects by calling an experienced operator. Therefore, in the subsequent cutting step S4, the possibility of cutting defects can be reduced.

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented as long as they do not deviate from the scope of the object of the present invention.

2:切削装置、4:基台、4a,4b,4c:開口
6:カセットエレベータ、8:カセット、12:テーブルカバー、14:蛇腹状カバー
11:被加工物、11a:表面、11b:裏面
13:分割予定ライン、13a:切削痕、13b:エッジ、13c:中心線
15:デバイス、17:ダイシングテープ、19:フレーム、21:被加工物ユニット
16:チャックテーブル、16a:保持面、16b:クランプ
18:サブチャックテーブル、18a:ドレスボード
20:支持構造、22:切削ユニット移動機構
23:チッピング、25:カーフ
24:Y軸ガイドレール、26:Y軸移動プレート
28:Y軸ボールネジ、30:Y軸パルスモータ
32:Z軸ガイドレール、34:Z軸移動プレート
36:Z軸ボールネジ、38:Z軸パルスモータ
40:切削ユニット、42:スピンドル、44:切削ブレード
46:カメラユニット、48:洗浄ユニット、52:表示装置、54:表示灯
50:切削結果画像、50a:画像
56:制御ユニット、58:プロセッサ
58a:コントラスト値、58b:ずれ量、58c,58d:幅、58e:最大距離、58f:サイズ、58g:総面積、58h:ずれ量
60:メモリ、62:測定部、64:撮影指示部、66:ドレス指示部、68:報知部
2: Cutting device, 4: Base, 4a, 4b, 4c: Opening 6: Cassette elevator, 8: Cassette, 12: Table cover, 14: Bellows-shaped cover 11: Work piece, 11a: Front surface, 11b: Back surface 13 : Scheduled division line, 13a: Cutting mark, 13b: Edge, 13c: Center line 15: Device, 17: Dying tape, 19: Frame, 21: Work piece unit 16: Chuck table, 16a: Holding surface, 16b: Clamp 18: Sub chuck table, 18a: Dress board 20: Support structure, 22: Cutting unit moving mechanism 23: Chipping, 25: Calf 24: Y-axis guide rail, 26: Y-axis moving plate 28: Y-axis ball screw, 30: Y Axis pulse motor 32: Z-axis guide rail, 34: Z-axis moving plate 36: Z-axis ball screw, 38: Z-axis pulse motor 40: cutting unit, 42: spindle, 44: cutting blade 46: camera unit, 48: cleaning unit , 52: Display device, 54: Indicator light 50: Cutting result image, 50a: Image 56: Control unit, 58: Processor 58a: Contrast value, 58b: Deviation amount, 58c, 58d: Width, 58e: Maximum distance, 58f: Size, 58g: Total area, 58h: Displacement amount 60: Memory, 62: Measurement unit, 64: Shooting instruction unit, 66: Dress instruction unit, 68: Notification unit

Claims (2)

切削装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、
スピンドルを有し、該チャックテーブルで保持された該被加工物を、該被加工物に設定された分割予定ラインに沿って該スピンドルに装着された切削ブレードで切削する切削ユニットと、
該チャックテーブルで保持された該被加工物を撮影するカメラユニットと、
該切削ブレードをドレスするためのドレスボードを保持するサブチャックテーブルと、
メモリ及びプロセッサを有する制御ユニットと、を備え、
該制御ユニットは、
該切削ユニットで切削された該被加工物の第1の切削痕を該カメラユニットに撮影させ切削結果画像を取得させる撮影指示部と、
該切削結果画像の該第1の切削痕に基づいて、切削痕に関して予め定められ各々許容範囲を有する複数の測定項目の測定値を得る測定部と、
該第1の切削痕の該複数の測定項目のうち少なくとも1つの測定項目の測定値が許容範囲を超えた場合に、該サブチャックテーブルで保持された該ドレスボードで該切削ブレードをドレスさせるドレス指示部と、
該切削ブレードのドレスの後、該被加工物の切削が再開され、該第1の切削痕とは異なる場所に形成された第2の切削痕の該複数の測定項目のうち少なくとも1つの測定項目の測定値が該許容範囲を超えた場合に、該切削装置に警報を出させる報知部と、
を有することを特徴とする切削装置。
It ’s a cutting device,
A chuck table that holds the workpiece and
A cutting unit having a spindle and cutting the workpiece held by the chuck table with a cutting blade mounted on the spindle along a planned division line set on the workpiece.
A camera unit that captures the workpiece held by the chuck table and
A sub-chuck table holding a dress board for dressing the cutting blade,
With a control unit having a memory and a processor,
The control unit is
An imaging instruction unit that causes the camera unit to photograph the first cutting mark of the workpiece cut by the cutting unit and acquires a cutting result image.
Based on the first cutting mark of the cutting result image, a measuring unit that obtains measured values of a plurality of measurement items that are predetermined with respect to the cutting mark and each has an allowable range.
A dress for dressing the cutting blade with the dress board held by the sub-chuck table when the measured value of at least one of the plurality of measurement items of the first cutting mark exceeds an allowable range. The indicator and
After dressing the cutting blade, cutting of the workpiece is resumed, and at least one of the plurality of measurement items of the second cutting mark formed at a place different from the first cutting mark. A notification unit that gives an alarm to the cutting device when the measured value of the above exceeds the allowable range.
A cutting device characterized by having.
該複数の測定項目は、
カーフの幅と、
欠けのサイズと、
欠けの面積と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の切削装置。
The plurality of measurement items are
The width of the calf and
The size of the chip and
The cutting apparatus according to claim 1, wherein the area of the chip is included.
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