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JP2017223880A - 振動波モータ及び振動波モータを有するレンズ装置 - Google Patents

振動波モータ及び振動波モータを有するレンズ装置 Download PDF

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JP2017223880A
JP2017223880A JP2016120415A JP2016120415A JP2017223880A JP 2017223880 A JP2017223880 A JP 2017223880A JP 2016120415 A JP2016120415 A JP 2016120415A JP 2016120415 A JP2016120415 A JP 2016120415A JP 2017223880 A JP2017223880 A JP 2017223880A
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Makoto Oikawa
真 追川
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Abstract

【課題】 従来の超音波モータでは、2種類のバネが必要で部品点数が多い。【解決手段】 圧電素子113と弾性体112とが固着された振動子111と、振動子111が接触する接触面101aを有する摩擦部材101と、振動子111と摩擦部材101とを加圧接触させる加圧手段118と、振動子111を保持する第1保持部材114と、加圧手段118を保持する第2保持部材120と、を有する振動波モータ100において、加圧手段118は、接触面101aの垂線方向に振動子111を加圧する加圧力F3と、振動子111と摩擦部材101とが相対移動する方向に第1保持部材114を押圧する押圧力F1と、を発生する。【選択図】 図4

Description

本発明は、押圧された振動子に楕円運動を発生させることにより振動子と摩擦部材とが相対的に移動する振動波モータと、その振動波モータを適用したレンズ装置に関する。
超音波モータでは、圧電素子が固着された弾性体の接触部と摩擦部材とを加圧接触状態となるように構成する。その加圧接触状態下で圧電素子に2相の電圧を印加して、弾性体に2相の超音波振動が励起されると、弾性体の接触部に楕円運動が生じ、摩擦部材が弾性体に対して相対的に移動する。特許文献1には、弾性体の接触部を摩擦部材に押し付けるための加圧バネ及び、摩擦部材と弾性体との相対移動方向の隙間をなくすためのガタ寄せバネの2種類のバネを有する超音波モータが開示されている。
特開2015−126692号公報
しかしながら、特許文献1に開示された超音波モータは2種類のバネを必要としており、部品点数が多いという問題があった。
本発明は、上述の問題を解決するためになされたものであり、部品点数が少ない振動波モータを実現することを目的とする。
本発明の振動波モータは、圧電素子と弾性体とが固着された振動子と、振動子が接触する接触面を有する摩擦部材と、振動子と摩擦部材とを加圧接触させる加圧手段と、振動子を保持する第1保持部材と、加圧手段を保持する第2保持部材と、を有する振動波モータにおいて、加圧手段は、接触面の垂線方向に振動子を加圧する加圧力と、振動子と摩擦部材とを相対移動させる方向に第1保持部材を押圧する押圧力とを発生することを特徴とする。
本発明によれば、部品点数が少ない振動波モータを提供することができる。
本発明の振動波モータ100の分解斜視図である。 (A)本発明の振動波モータ100の平面図である。(B)正面図である。 第1保持部材114が振動子111を保持する状態を示す斜視図である。 (A)及び(B)本発明の振動波モータ100の拡大断面図である。 第2保持部材120の構成を示す斜視図である。 (A)加圧手段118のガタ寄せバネ部118bの構成を示す斜視図である。(B)正面図である。 本発明の振動波モータ100を有するレンズ装置の断面図である。
以下、本発明の実施形態について説明する。なお、本実施形態の振動波モータ100は、デジタルカメラ用のレンズ鏡筒などの駆動用アクチュエータとしてユニット化された直動駆動型モータを例に説明するが、使用用途はこれに限られない。
図1は、本発明の実施形態である振動波モータ100の分解斜視図である。なお、すべての図において、同一部材は同一記号で示される。本明細書において、後述する振動子111に発生する楕円運動により振動子111が移動する方向をX方向と定義する。また、後述する加圧手段118による加圧方向をZ方向と定義する。Z方向において、振動子111が後述する摩擦部材101から遠ざかる向きを+Z方向(若しくは上向き)、振動子111が摩擦部材101に近づく方向を−Z方向(若しくは下向き)と定義する。さらに、X方向とZ方向とに垂直な方向をY方向と定義する。
固定台102は、このユニット化された振動波モータ100の全体を保持している。摩擦部材101は、後述する振動子111が加圧接触する接触面101aを備えており、2本の固定ビス103で固定台102に固定されている。
本発明の振動波モータ100(超音波モータ)では、圧電素子113が弾性体112に接着剤などにより固着されており、圧電素子113と弾性体112とによって振動子111が構成されている。そして、弾性体112に圧電素子113が固着された状態において、圧電素子113に電圧を印加することにより超音波領域の周波数の振動を発生させ、弾性体112に楕円運動を発生させることができる。
弾性体112は、摩擦部材101に押圧されることにより、接触面101aと加圧接触状態になっている。そして、振動子111を構成する弾性体112に楕円運動を発生させることにより、振動子111と摩擦部材101とは相対移動することができる。弾性体112は、弾性体112のX方向の両端部に固定部112e(図3参照)を有し、この固定部112eにおいて、第1保持部材114に位置決め固定されるとともに、振動子111と第1保持部材114とは、一体的に移動するように構成される。
遮断部材115は、圧電素子113が発生する超音波領域の周波数の振動を減衰させることなく、この振動が小基台116に伝播することを遮断する機能を有している。なお、遮断部材115の材料としては、フェルト生地が適している。小基台116は、遮断部材115を介して圧電素子113と面接触し、後述する加圧手段118による加圧力F3を圧電素子113に伝える機能を有している。
加圧部材117は、加圧受け部材119が有する嵌合孔部119aに遊嵌され、摩擦部材101の接触面101aに対して概ね垂直な方向(Z方向)にのみ移動可能に保持される。そして、加圧手段118からの加圧力F3を、小基台116と遮断部材115とを介して振動子111に伝え、振動子111を摩擦部材101に加圧接触させる。
加圧受け部材119の外形は円板形状をしており、上述のように中央に丸孔である嵌合孔部119aを備え、嵌合孔部119aに加圧部材117を遊嵌保持する。そして、外周側面に形成されたネジ部が第2保持部材120のネジ孔120aに螺合することで、加圧受け部材119は、ネジ孔120aにねじ込み固定される。
加圧手段118は、Z方向の加圧力F3を発生する機能を有する、後述の圧縮コイルバネ部118aをその中央部に備えている。加圧手段118のZ方向の一方の端部は、加圧受け部材119に接しており、もう一方の端部は、加圧部材117に接するとともに、加圧部材117に加圧力F3を与える。そして、加圧力F3は、摩擦部材101の接触面101aの垂線方向に伝達される。つまり、−Z方向が加圧手段118による加圧方向である。その加圧力F3により振動子111と摩擦部材101とを加圧接触させる。また、加圧手段118は、X方向の隙間を詰める機能を有する、後述のガタ寄せバネ部118b(図6(A)参照)も備えている。
第1保持部材114と第2保持部材120との間には、転動部材である転動コロ121が介在することで、第1保持部材114は第2保持部材120に対しZ方向には相互移動が可能である。また、加圧手段118のガタ寄せバネ部118bによるX方向の隙間を詰める押圧力F1により、両者はX方向にガタなく位置が決められている。そして、第2保持部材120は、加圧受け部材119、加圧手段118及び加圧部材117を保持するとともに、転動コロ121を介して第1保持部材114を保持する。
転動ボール122が第2保持部材120に形成された四つの溝部120bと天板104に形成された溝部104b(図4(B)参照)との間に介在することで、第2保持部材120は、天板104に対して転動支持されている。なお、天板104は、4本の固定ビス105で固定台102に固定されている。
振動子111に発生した楕円運動により、振動子111が摩擦部材101に対してX方向に相対的に移動する際、固定台102、摩擦部材101、固定ビス103、天板104、固定ビス105が非可動部となる。一方、振動子111を含めた、第1保持部材114、遮断部材115と、小基台116と、加圧部材117、加圧手段118、加圧受け部材119、第2保持部材120、転動コロ121が可動部となる。つまり、本発明の振動波モータ100は、駆動源である振動子111自身が可動する自走式のモータユニットとなっている。なお、実際のレンズ鏡筒などに組み込まれる際には、第2保持部材120をフォーカス機構やズーム機構に連結して駆動する。
図2(A)は、ユニット化された振動波モータ100の平面図(−Z方向へ見た図)であり、図2(B)は、正面図である。固定台102には、摩擦部材101が二本の固定ビス103で固定され、さらに天板104がその四隅を4本の固定ビス105で固定されている。天板104の中央には、長方形開口104aが設けられており、第2保持部材120の突出部120cが天板104の長方形開口104aからZ方向に突出している。以上、上述した各部材が組込まれてユニット化され、振動波モータ100は構成される。
次に、振動波モータ100の構成部材について詳細に説明する。図3は、振動波モータ100の構成部材である、圧電素子113が固定された弾性体112と第1保持部材114とに関して、弾性体112と第1保持部材114とが接合された接合状態を示す斜視図(摩擦部材101に当接する側から見た図)である。弾性体112の略中央の矩形形状をしている接合部112aの一方の面には、2か所に突起部112bが形成される。当該突起部112bの頂端面には、接触面112cが形成されており、この接触面112cは摩擦部材101の接触面101aと当接する。接触面112cは、同一平面上の2か所に形成され、摩擦部材101の接触面101aとの当接状態を良好にするため、製造時には研磨工程などを経て、均一な面に仕上げられている。
一方、図3に示す接合部112aの他方の面(2か所の突起部112bが形成されている面の反対の面)には、圧電素子113が接着剤などにより固着されている。なお、接合部112aの他方の面と圧電素子113との固着は、固着されればその方法は限定されない。
圧電素子113に所望の交流電圧を印加することで圧電素子113を励振させ、弾性体112に2つの振動モードの振動を励起する。このとき、2つの振動モードの振動の位相が所望の位相差となるように設定することで、接触面112cには、図3の矢印で示すような楕円運動が発生する。この楕円運動をしている接触面112cが摩擦部材101の接触面101aに加圧接触することで、摩擦部材101と振動子111とは相対的に直進移動することができる。
弾性体112は、固定部112eで第1保持部材114に固定される。弾性体112と第1保持部材114の位置は、第1保持部材114に形成された位置決め軸114bで決められる。第1保持部材114の位置決め軸114bの周りには、−Z方向にわずかに突出する平面を有する接合面114aが形成されている(図4(A)参照)。固定部112eは、この接合面114aに接合するとともに、固定部112eに設けられた固定孔112fに位置決め軸114bが嵌合し、弾性体112と第1保持部材114とは一体的な構成になる。弾性体112の矩形形状の接合部112aと固定部112eとは腕部112dで接続されている。腕部112dは、Y方向に細く、かつZ方向に薄く形成されているため弾性を有しており、接合部112aの突起部112bに発生した振動が固定部112eに伝播するのを軽減している。
次に、振動波モータ100の構成部材の詳細を図4(A)及び(B)を用いて、詳細に説明する。図4(A)は、図2(A)の断面線IVA−IVAにおける断面図であって、加圧部材117の中心を通る面における拡大断面図である。図4(B)は、図2(B)の断面線IVB−IVBにおける断面図であって、加圧部材117の中心を通る面における断面図である。
図4(A)及び(B)における中心線201は、弾性体112の重心を通過し、接触面101aの法線を含む線である。摩擦部材101の上面である接触面101aには、弾性体112の二つの接触面112cが当接し、弾性体112と摩擦部材101とは、加圧接触状態にある。
弾性体112は、第1保持部材114に備えられた接合面114aで第1保持部材114と接合するとともに、位置決め軸114bが固定部112eの固定孔112fに嵌合する。なお、図4(A)において、転動コロ121の近傍に位置する固定孔112fは、位置決め軸114bの直径より大きな直径となっており、この位置において固定孔112fと位置決め軸114bとは、隙間を有する嵌合となっている。一方、転動コロ121から離れたところに位置する固定孔112fにおいては、固定孔112fと位置決め軸114bとは、隙間なく嵌合している。
圧電素子113は、遮断部材115を介して小基台116に面接触している。小基台116の上側中央には、当接部116aが設けられている。この当接部116aは、図4(A)の拡大断面図において円弧形状をしており、Y方向(図4(B)においては左右方向)に延在する円筒の一部からなる形状をしている。そして、この当接部116aには、加圧部材117の下端面117aが接触している。この下端面117aは、平面で形成されているため、当接部116aとの接触は、図4(A)のY方向(図4(B)においては左右方向)に長さを有する線接触となる。したがって、図4(A)に示す断面において、小基台116は、傾斜することが可能な構成となっている。この構成は、仮に製造時の寸法誤差や組み立て誤差、また外乱により部材の傾きが生じた場合でも、摩擦部材101の接触面101aに弾性体112の接触面112cが倣うように小基台116が傾くことができるため、良好な加圧接触状態を保つことに貢献する。
加圧受け部材119の中央に形成された嵌合孔部119aには、加圧部材117の嵌合軸部117bが嵌合保持されることで、加圧部材117はZ方向にのみ移動可能な構成となっている。第2保持部材120には、ネジ孔120aが形成されており、加圧受け部材119の外径側面に設けられた不図示のネジ部が螺合する。加圧受け部材119をネジ孔120aにねじ込む程度を調整することで、部品ばらつきによる加圧手段118の加圧力F3の調整を行うことができる。
天板104は、固定台102に固定され、加圧手段118の加圧力F3で弾性体112の接触面112cを摩擦部材101の接触面101aに加圧接触させたときの反力を受ける役割を担っている。その際、天板104に形成された溝部104bと第2保持部材120に形成された溝部120bとの間に転動ボール122を挟むことで、第2保持部材120と天板104とは転動支持されるようになっている。
図5は、第2保持部材120に係合する部材の構成を示す斜視図である。第2保持部材120には、溝部120bが4カ所形成されている。この4カ所の溝部120bと、対応する天板104に形成された溝部104bとの間に転動ボール122が挟み込まれた状態で、転動ボール122は転動することができる。これにより、第2保持部材120がZ方向の加圧接触の反力を受けながら、X方向に移動する際の摩擦抵抗を極力小さくすることができる。また、このように転動ボール122が挟持されることで、第2保持部材120のY方向の位置が決まるように構成されている。本発明の振動波モータ100では、4つの転動ボール122で加圧手段118の加圧力F3の反力を受けており、第2保持部材120は天板104に対して傾くことなく転動支持されている。
図6(A)は、加圧手段118が有する圧縮コイルバネ部118a及びガタ寄せバネ部118bを示す斜視図であり、図6(B)は正面図である。加圧手段118は、圧縮コイルバネ部118a及びトーションバネで形成されたガタ寄せバネ部118bにより構成されている。ガタ寄せバネ部118bは、圧縮コイルバネ部118aの巻初め部及び巻終わり部を圧縮コイルバネ部118aの外側に延出し、トーションバネとして形成されたバネ部であり、第1保持部材114に形成されたバネかけ部114cに掛けられている。バネかけ部114cのZ方向の先端部には、ガタ寄せバネ部118bの抜けを防止する、例えば−X方向に突出した突出部を有するような鍵形状の抜け止め部が形成されている。
第1保持部材114は、転動コロ121を支持する転動部材支持部114dを備え、転動部材支持部114dには、転動コロ121が転動する転動面114fが形成されている。また、転動部材支持部114dには、転動する転動コロ121が+Z方向に飛び出さないようにするための飛び出し防止部114eも設けられている。第1保持部材114には、+X方向において、転動部材支持部114dに対向して、突出部114gが二つ設けられている。
ガタ寄せバネ部118bによって、バネかけ部114cには、X方向の隙間を詰める押圧力F1が生じる。この押圧力F1により、第1保持部材114は+X方向に押圧される。一方、F2は、ガタ寄せバネ部118bで発生する隙間を詰める押圧力の反力であり、加圧部材117を−X方向に押す力として作用する。そのため、ガタ寄せバネ部118bによるX方向の隙間を詰める押圧力F1は、転動コロ121を−X方向に押し付ける力として伝わる。そして、隙間を詰める押圧力の反力F2の大きさは、2つの押圧力F1を合わせたものと同じ大きさとなる。
次に図6(B)を用いて、ガタ寄せバネ部118bがバネかけ部114cに当接する位置と転動コロ121との位置関係について説明する。一点鎖線Aで示されるように、ガタ寄せバネ部118bがバネかけ部114cに当接する位置と転動コロ121の位置とは、Z方向、すなわち接触面101aの垂線方向において略一致している。このように位置を揃えることで、隙間を詰める押圧力F1によって、第1保持部材114にY方向に平行な軸周りの回転モーメントが発生しない。したがって、第1保持部材114が隙間を詰める押圧力F1によって傾くこと、及び接触面112cと接触面101aとの接触が不安定となることが防止される。
本発明の振動波モータ100の加圧手段118には、振動子111を摩擦部材101に加圧接触させるためにZ方向の加圧力F3を発生する圧縮コイルバネ部118aと、X方向の押圧力F1を発生させるガタ寄せバネ部118bとが一体化されている。そして、圧縮コイルバネ部118aとガタ寄せバネ部118bの2つの機能は、加圧手段118に集約されている。この構成により、従来2種類のバネが必要であったところを1種類のバネだけで構成することが可能となる。振動波モータ100の構成に必要なバネの数を1種類減らすことで、部品点数の少ない振動波モータ100を実現することが可能となる。
図4(A)を参照すると、第2保持部材120は、転動コロ121を支持する転動部材支持部120dを備え、転動部材支持部120dには、転動コロ121が転動する転動面120fが形成されている。また、転動部材支持部120dには、転動する転動コロ121が−Z方向に飛び出さないようにするための飛び出し防止部120eも設けられている。第2保持部材120には、+X方向において、転動部材支持部120dに対向して、突出部120gが設けられている。
転動コロ121は、第1保持部材114の転動部材支持部114dと第2保持部材120の転動部材支持部120dとに当接している。そのため、図6(A)で説明したガタ寄せバネ部118bによる第1保持部材114をX方向に押す隙間を詰める押圧力F1は、第1保持部材114の転動部材支持部114dが転動コロ121を+X方向に押し付ける力となる。一方、加圧部材117は、嵌合軸部117bで加圧受け部材119と嵌合している。さらに、加圧受け部材119は、ネジ孔120aを介して第2保持部材120に固定されている。そのため、隙間を詰める押圧力の反力F2は、第2保持部材120の転動部材支持部120dが転動コロ121を−X方向に押し付ける力となる。
以上のような構成によって、ガタ寄せバネ部118bによる隙間を詰める押圧力F1と隙間を詰める押圧力の反力F2は、X方向と−X方向の両側から転動コロ121を挟み込む力となり、第1保持部材114と第2保持部材120との間のガタをなくしている。そして、突起部112bの接触面112cを摩擦部材101の接触面101aに加圧接触させるための加圧力F3を伝えるために、振動子111はZ方向に移動自由である必要がある。また、フォーカス機構やズーム機構に連結した第2保持部材120を精度よく駆動するためには、振動子111は第2保持部材120にガタなく保持されている必要がある。そこで、振動子111を保持した第1保持部材114と第2保持部材120とは、その両者の間に転動コロ121を挟んだ状態で加圧手段118によってガタ寄せされることで、X方向にはガタなく位置決めされている。そのため、弾性体112を保持した第1保持部材114と第2保持部材120とは、Z方向には自由に動けるが、X方向にはガタなく位置決めされる構成になっている。
(適用例)
図7は、本発明の振動波モータ100が組み込まれたレンズ装置1及びレンズ装置1に取り付けられた撮像装置27の断面図である。レンズ外筒11の−X方向の端部には、第1レンズL1を保持する保持枠12が取り付けられている。また、レンズ外筒11の+X方向の端部には、第3レンズL3が保持されている。レンズ外筒11の内部には、フォーカスレンズL2を保持する保持部材13が、X方向に移動可能に配置されている。保持部材13には、いずれもX方向に延在する丸孔13aと係合部13bとが形成されている。また、保持部材13には、YZ平面に対してX軸回りに±45°傾いた2つの斜面からなる切り欠き部13cが形成されており、後述する球面部120hと当接するように構成されている。
保持軸14は、保持部材13に形成された丸孔13aと係合することで、フォーカスレンズL2の保持部材13をX方向に移動可能に保持している。また、保持軸14は、レンズ外筒11と保持枠12に挟持されることにより、固定保持されている。回転止め軸15は、保持部材13に形成された不図示の断面がU字形状をした係合穴を有する係合部13bに係合しており、保持部材13のX方向の軸回りの位置を決めるとともに、X方向の軸周りの回転を防止する。
球面部120hは、第2保持部材120に形成されている。振動波モータ100は、第2保持部材120に形成された球面部120hと切り欠き部13cとの当接を介して、保持部材13及びフォーカスレンズL2を光軸方向であるX方向に駆動する。このように第2保持部材120のX方向の駆動力を保持部材13に伝えることで、保持部材13及びフォーカスレンズL2をX方向に駆動することができる。この際、球面部120hは、+Z方向に付勢されて切り欠き部13cに当接することにより、切り欠き部13cと球面部120hとは、X方向にガタなく当接することが可能となる。このような構成とすることで、第2保持部材120と保持部材13とは、X方向に一体的に動くことができるとともに、フォーカスレンズL2を振動波モータ100でオーバーシュートなく高精度に駆動制御することができる。
フォーカスレンズ位置検出手段16は、スケール17に赤外光16aを投光し、その反射光を受光する。スケール17には、低反射部と高反射部とを所定ピッチで交互に配列したパターンが形成されている。受光された反射光の強度変化の回数をカウントすることで、フォーカスレンズ位置検出手段16とスケール17との相対位置を検出する。スケール17は、保持部材13に貼り付けられているため、フォーカスレンズ位置検出手段16の検出結果から、保持部材13及び保持部材13に保持されたフォーカスレンズL2の位置を検出することができる。
レンズ装置1は、レンズ装置1を撮像装置27に取り付けるための撮像装置取付け部18を備える。撮像装置27が備えるレンズ装置取付け部21と撮像装置取付け部18とは、X軸周りのバヨネット連結することで、レンズ装置1と撮像装置27とを脱着可能に連結している。
被写体距離表示手段19は、レンズ外筒11の+Z方向の表面に取り付けられており、演算処理部20で算出された被写体距離を表示する。演算処理部20は、レンズ装置1における全ての演算、制御、記憶を担っている。演算処理部20の記憶領域には、レンズ情報が保存されており、被写体距離算出時に用いられる。このレンズ情報には、フォーカスレンズ位置検出手段16の検出結果と被写体距離とを対応するテーブル情報も含まれる。演算処理部20は、記憶領域に保存されているこのレンズ情報と、フォーカスレンズ位置検出手段16の検出結果とに基づいて、被写体距離を算出する被写体距離算出手段としての機能を果たしている。また、演算処理部20は、フォーカスレンズ位置検出手段16の検出結果に基づいて、フォーカス駆動信号を生成し、振動波モータ100に目標位置への駆動を指示するフォーカス駆動信号生成手段としての機能も果たしている。
撮像装置27の筐体であるカメラ外装22は、一方のX方向側面にレンズ装置取付け部21を有し、その内側にフォーカスレンズL2を透過した撮影光束OLを取り込むための円開口を有している。他方のX方向外面には、外部表示手段26が配置されている。
撮像素子23は、フォーカスレンズL2を透過した撮影光束OLの結像面近傍に配置されており、結像した被写体像を映像信号に変換する。カメラ演算処理部24は、撮像装置27における全ての演算、制御、記憶を担っている。記憶手段25は、カメラ演算処理部24からの指令信号に基づいて、撮像素子23で得られた映像信号を保存する記憶手段としての機能を果たしている。外部表示手段26は、カメラ演算処理部24からの指令信号に基づいて、撮像素子23で得られた映像信号を表示する。
撮像装置27にレンズ装置1が取り付けられた状態では、レンズ装置1の演算処理部20と撮像装置27のカメラ演算処理部24とは、点線で示す通信線が接続されて通信可能となるように構成されている。
以上、加圧力F3を発生する圧縮コイルバネ部118aと、X方向の隙間を詰める押圧力F1を発生するガタ寄せバネ部118bとを集約した加圧手段118を用いた、部品点数が少ない振動波モータ100を組み込んだレンズ装置1を実現することができる。以上、本発明の好ましい実施形態及び適用例について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
100 振動波モータ
101 摩擦部材
101a 接触面
111 振動子
112 弾性体
112c 接触面
113 圧電素子
114 第1保持部材
119 加圧受け部材
120 第2保持部材
121 転動コロ(転動部材)
118 加圧手段
118b ガタ寄せバネ部
F1 隙間を詰める力(押圧力)
F3 加圧力

Claims (10)

  1. 圧電素子と弾性体とが固着された振動子と、
    前記振動子が接触する接触面を有する摩擦部材と、
    前記振動子と前記摩擦部材とを加圧接触させる加圧手段と、
    前記振動子を保持する第1保持部材と、
    前記加圧手段を保持する第2保持部材と、を有する振動波モータにおいて、
    前記加圧手段は、前記接触面の垂線方向に前記振動子を加圧する加圧力と、前記振動子と前記摩擦部材とを相対移動させる方向に前記第1保持部材を押圧する押圧力と、を発生することを特徴とする振動波モータ。
  2. 前記相対移動の方向における前記第1保持部材と前記第2保持部材との間には、転動部材が挟持され、前記転動部材は、前記押圧力によりガタなく付勢されることを特徴とする、請求項1に記載の振動波モータ。
  3. 前記押圧力を発生させるために前記加圧手段の一部を前記第1保持部材に掛ける位置と、前記転動部材を前記第1保持部材に当接させる位置とは、前記垂線方向において略一致することを特徴とする、請求項2に記載の振動波モータ。
  4. 前記第2保持部材は、前記加圧手段が当接する加圧受け部材を備え、前記加圧受け部材が前記第2保持部材に螺合する程度を調整することで、前記加圧手段の前記加圧力を調整することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  5. 前記押圧力は、前記加圧手段に構成されたガタ寄せバネ部が発生することを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  6. 前記ガタ寄せバネ部は、トーションバネにより構成されていることを特徴とする、請求項5に記載の振動波モータ。
  7. 前記加圧力は、前記加圧手段に構成された圧縮コイルバネが発生することを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  8. 前記加圧力は、圧縮コイルバネが発生し、前記押圧力はトーションバネが発生し、前記加圧手段は、前記圧縮コイルバネと前記トーションバネとが一体化して構成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  9. 前記振動波モータは、超音波領域の振動を発生する超音波モータであることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の振動波モータ。
  10. 請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の振動波モータを有するレンズ装置。
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