JP2017187425A

JP2017187425A - 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び、バルーンカテーテルの製造方法

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Publication number: JP2017187425A
Application number: JP2016077489A
Authority: JP
Inventors: 聖康四丸; Masayasu Yotsumaru
Original assignee: Kaneka Corp
Current assignee: Kaneka Corp
Priority date: 2016-04-07
Filing date: 2016-04-07
Publication date: 2017-10-12

Abstract

【課題】被検査物に含まれる欠陥を容易に検出可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置（１）は、ドットマトリクス状又はスリット状に光を出射する光源部（６０）と、光源部（６０）からの光（Ａ）を第１方向へ偏光する第１偏光部（７）と、第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光部（４）とを備え、第１偏光部（７）と第２偏光部（４）との間に被検査物（２）を挿入するための空間が設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び、バルーンカテーテルの製造方法に関する。

被検査物の透過光により、当該被検査物に含まれる欠陥を検査する方法が知られている。

特許文献１に開示された検査装置は、光源と、波長調整フィルタと、一組の偏光板と、ＣＣＤカメラとを有している。この検査装置の検査対象となる被検査物は、透明又は半透明の板状部材である。被検査物は一組の偏光板の間に配置される。光源は、蛍光灯又はハロゲンランプ等からなる面状光源である。一組の偏光板は、偏光方向が互いに平行となるように配置されている。波長調整フィルタは、光源からの出射光の波長を、被検査物において吸収度が高くなる波長へと変換する。

特許文献１の検査装置では、光源からの出射光は、順に、波長調整フィルタ、一組の偏光板のうち一方の偏光板、被検査物、一方の偏光板のうち他方の偏光板を透過し、ＣＣＤカメラへと入射する。被検査物に欠陥が含まれていると、ＣＣＤカメラへの入射光に変化が生じ、欠陥箇所の光量が、他の箇所の光量と比べて減少する。また、当該欠陥箇所の偏光状態が他の箇所の偏光状態とは異なる。

特許文献１の検査装置は、ＣＣＤへの入射光を画像解析することで、光量が減少している箇所や偏光状態が他の箇所とは異なる箇所を検出することにより、被検査物に含まれる欠陥を検出する。

特開平７‐２７０３２５号公報（１９９５年１０月２０日公開）

特許文献１の検査装置では、面状光源から出射された面状の光を被検査物へ照射している。しかし、面状の光は欠陥箇所で拡散してしまい、欠陥箇所と、欠陥箇所以外の箇所とのコントラストが十分に確保できない。このため、欠陥箇所を正確に特定することができない。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、被検査物に含まれる欠陥の検出が容易な欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び、バルーンカテーテルの製造方法を提供することである。

上記の課題を解決するために、本発明の欠陥検査装置は、光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査装置であって、ドットマトリクス状又はスリット状に光を出射する光源部と、上記光源部からの出射光を第１方向へ偏光する第１偏光部と、上記第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光部とを備え、上記第１偏光部と第２偏光部との間に上記被検査物を挿入するための空間が設けられていることを特徴とする。

上記構成によると、上記被検査物に含まれる欠陥を検査する場合、上記第１偏光部と上記第２偏光部との間の空間に、上記被検査物が配置される。ここで、当該被検査物に欠陥が含まれていると、当該欠陥箇所は、他の箇所と比べて、透過した光の光量が異なったり、又は、偏光状態が異なったりする。このため、上記光源部から出射され、上記第１偏光部、上記被検査物、及び、上記第２偏光部をこの順に透過した光の光量及び偏光状態を確認することで、上記被検査物に含まれる欠陥を検査することができる。

さらに、上記構成によると、上記光源部は、ドットマトリクス状又はスリット状の光を出射するため、当該光源部から出射される光は拡散光が抑制された光となる。このように、拡散光が抑制された光が上記被検査物に照射されるため、拡散光が抑制されていない面状の光が上記被検査物に照射される場合と比べて、光の拡散を抑制することができる。このため、拡散光が抑制されていない面状の光を上記被検査物に照射する場合と比べて、上記被検査物のうち、当該被検査物に含まれる欠陥箇所と、それ以外の箇所との光量差を大きくすることができる。この結果、上記被検査物に含まれる欠陥を容易に検出することができる。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記光源部は、面状に光を出射する面発光照射部と、当該面発光照射部の出射面を覆って配置されており、ドットマトリクス状又はスリット状に開口部が設けられているマスクとを有していてもよい。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記光源部は、面状に光を出射する面発光照射部と、当該面発光照射部の出射面を覆って配置されており、当該光源部からの出射光を上記第１方向へ偏光する第３偏光部とを有していてもよい。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記光源部は、ドットマトリクス状に配置された複数の点光源を有していてもよい。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記第１方向への偏光及び上記第２方向への偏光は直線偏光であって、上記第１方向と上記第２方向とが成す角は、０度以上９０度以下であってもよい。また、本発明の欠陥検査装置において、上記第１方向への偏光及び上記第２方向への偏光は直線偏光であって、上記第１方向と上記被検査物の延伸方向とが成す角は、０度以上４５度以下であってもよい。

このように、第１方向と上記第２方向とが成す角を種々の方向へ変更することで、上記被検査物において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記光源部は、上記被検査物への出射光の一部を遮光する遮光部を含んでいてもよい。これにより、光源部からの出射光における偏光の強度を調整することができる。このため、被検査物に含まれる欠陥の有無、及び、欠陥の大きさを容易に判別することができる。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記光源部は、独立して点灯及び消灯の制御が可能な、複数の発光領域を備えていてもよい。上記被検査物に対し、種々の方向から光を照射することで、上記被検査物において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記光源部からの出射光を、上記被検査物へ反射するための反射部をさらに備えていてもよい。

上記被検査物に対し、種々の方向から光を照射することで、上記被検査物において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。また、被検査物表面の凹凸をより鮮明にすることができるため、欠陥を容易に発見することができる。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記光源部は、第２偏光部に対し傾斜するように配置されていてもよい。

上記構成によると、上記光源部から、上記被検査物に対し斜め方向から光が照射される。これにより、上記被検査物の陰影（被検査物表面の凹凸）をはっきりさせることができる。そのため、上記被検査物に含まれる欠陥を容易に発見することができる。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記光源部を複数備え、上記複数の光源部は、それぞれからの出射光の光軸が互いに傾斜するように配置されていてもよい。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記第１偏光部を複数備え、上記複数の第１偏光部は、上記複数の光源部それぞれの出射面側に対向配置されていてもよい。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記光源部から出射され、上記第１偏光部及び上記第２偏光部を透過した透過光を撮像する撮像部を備えていてもよい。上記構成によると、作業者が目視で上記欠陥の有無を検査する場合と比べて、安定して上記欠陥の有無を検査することができる。また、上記構成に欠陥の判定部を加えることで、容易に欠陥の有無や種類の判別の自動化を行うことができる。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記第１偏光部と、上記マスクであるブラックマトリクスを有する液晶パネルと、上記面発光照射部であるバックライトとを含む液晶ディスプレイを備えていてもよい。上記構成によると、発光色や発光範囲を制御でき、より高機能な上記欠陥検査装置を構成することができる。

また、本発明の欠陥検査装置において、上記被検査物はバルーンカテーテルであってもよい。上記構成によると、いわゆるフィッシュアイ等、発見し難い欠陥であっても容易に発見することができる。このため、欠陥がないバルーンカテーテルを容易に得ることができる。

上記の課題を解決するために、本発明の欠陥検査方法は、光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査方法であって、ドットマトリクス状又はスリット状に光を出射する出射ステップと、第１偏光部を用いて、上記出射ステップにて出射された出射光を第１方向へ偏光する第１偏光ステップと、上記第１偏光部との間に空間を設けて配置された第２偏光部を用いて、上記第１偏光ステップにて第１方向へ偏光された光を、第２方向へ偏光する第２偏光ステップとを含み、上記第２偏光ステップにおいて、上記第１偏光部と第２偏光部との間に設けられた空間に上記被検査物を挿入することを特徴とする。上記構成によると、上記被検査物に含まれる欠陥を容易に検出することができる。

また、本発明のバルーンカテーテルの製造方法は、上記欠陥検査方法によって欠陥の有無を検査する工程を含むことを特徴とする。上記構成によると、上記バルーンカテーテルに含まれる欠陥を容易に検出することができるため、上記欠陥検査方法によって欠陥の有無を検査する工程を含まない場合と比べて、欠陥がないバルーンカテーテルを容易に得ることができる。

本発明は、被検査物に含まれる欠陥を容易に検出することができるという効果を奏する。

本発明の実施形態１に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。上記欠陥検査装置の照射部の一例である液晶ディスプレイの構成を表す斜視図である。上記液晶ディスプレイのバックライトの構成を表す断面図である。上記液晶ディスプレイのフィルタ層の構成を表す断面図である。ドットマトリクス状又はスリット状に配置されたマスクパターンの変形例を表す図である。本発明の実施形態１の変形例に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態２に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態３に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態４に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態５に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態６に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態７に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態８に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態９に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態１０に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態１１に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。偏光を含まない面状の拡散光を照射する光源部から、被検査物に光を照射したときの撮像画像を表す図である。偏光を含まない面状の平行光を出射する光源部から、被検査物に光を照射したときの撮像画像を表す図である。本発明の実施形態５に係る欠陥検査装置を用いて撮像した撮像画像を表す図である。本発明の実施形態５に係る欠陥検査装置を用いて撮像した撮像画像を表す図である。本発明の実施形態１４に係る欠陥検査装置を用いて撮像した撮像画像を表す図である。本発明の実施形態１３に係る欠陥検査装置を用いて撮像した撮像画像を表す図である。本発明の実施形態１２に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態１３に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態１４に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態１５に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態１６に係る欠陥検査装置の構成を表す図である。本発明の実施形態５に係る欠陥検査装置を用いて撮像した撮像画像を表す図である。

〔実施形態１〕
（欠陥検査装置１の構成）
図１は、本発明の実施形態１に係る欠陥検査装置１の構成を表す図である。欠陥検査装置１は、照射部３と、第２偏光部４とを有する。欠陥検査をする際、検査対象である被検査物２は、照射部３と、第２偏光部４との間に配置される。

被検査物２は、透明又は半透明の物体である。被検査物２は板状であってもよいし、凹凸を含む立体的な形状を有する物体であってもよい。本実施形態では、被検査物２の一例として、曲面を有する立体的形状（円筒形状）であるバルーンカテーテルであるものとする。

バルーンカテーテルの作製時に検出すべき代表的な欠陥として、いわゆるフィッシュアイと呼ばれる欠陥が存在する。バルーンカテーテルは、熱を加えつつ樹脂から構成される筒状部材を膨らませることでバルーンを作製する。フィッシュアイは、このバルーンを作製する工程において、当該バルーンに形成される、バルーンの中心に核を持つ深い欠陥である。

バルーンカテーテルのうち、フィッシュアイが形成されている部分は構造が脆弱である。このため、フィッシュアイは、欠陥検査工程において、検出すべき欠陥である。バルーンカテーテルは、種々の大きさのものが使用されているが、一例として、バルーンの外径は１ｍｍ〜３０ｍｍ程度である。また、バルーンに形成されるフィッシュアイも種々の大きさのものが存在するが、一例として、０．０２〜０．１ｍｍ^２程度である。

照射部３は、第１偏光部７と、光源部６０とを備えている。光源部６０は、被検査物２の欠陥検査のため、被検査物２に、ドットマトリクス状又はスリット状であって拡散光が抑制された光Ａを照射する。光源部６０は、面光源である面発光照射部５と、面発光照射部５の出射面側に配置されたマスク６とを有する。

なお、面発光照射部５と、マスク６と、第１偏光部７とは接触していてもよいし、離間していてもよい。

面発光照射部５は、マスク６との距離が近いことが好ましい。面発光照射部５から出射された光Ａであって被検査物２を透過する光量を多くし、検査しやすくするためである。

第１偏光部７は、マスク６の表面側（照射部３が配置されている側とは反対側）に配置されている。換言すると、第１偏光部７は、光源部６０の出射面側に対向配置されている。

第２偏光部４と、照射部３とは互いに平行であってもよく、一方が他方に対し傾斜するように配置されていてもよい。第２偏光部４と、照射部３とが互いに平行である場合には、光量のロスを少なくすることができる。

第１偏光部７と、第２偏光部４とは一対の偏光板である。第１偏光部７と、第２偏光部４とは、間に被検査物２が配置できる程度に空間を設けて離間している。第１偏光部７と、第２偏光部４とは、それぞれ、透過光を直線方向に偏光（直線偏光）してもよいし、円方向に偏光（円偏光）してもよい。本実施形態では、第１偏光部７と、第２偏光部４とは、偏光軸が直交する、いわゆるクロスニコルの関係になるように、互いに平行に配置された偏光板である。なお、第１偏光部７と第２偏光部４との配置は、クロスニコルの関係に限定されるものではなく、第１偏光部７の偏光軸と、第２偏光部４の偏光軸とが平行となるように配置されていてもよい。

マスク６は、マトリクス状に配置された複数の開口部６ａを有する。マスク６は、面発光照射部５から出射された面状の光を、マトリクス状に配置された複数の開口部６ａを透過させることで拡散光を抑制する。図１においては、開口部６ａは円形状であり、行方向（横方向）及び列方向（縦方向）に整列して配置されている。なお、マスク６の開口部６ａは、スリット状に設けられていてもよい。

面発光照射部５は、面状に光を出射する構成であればよい。一例として、面発光照射部５として、液晶ディスプレイに使用されているバックライトを用いることができる。面発光照射部５の構成の例としては、一又は複数の光源の出射面に拡散板の裏面（主面）を対向配置することで拡散板の表面（主面）から面状に光を出射させる構成や、拡散板の側面に一又は複数の光源の出射面を対向配置することで拡散板の表面（主面）から面状に光を出射させる構成等を挙げることができる。

（欠陥検査装置が有する照射部の構成例）
図２は、欠陥検査装置１の照射部３の一例である液晶ディスプレイ３０の構成を表す斜視図である。図３は液晶ディスプレイ３０のバックライト１０の構成を表す断面図である。図１に示す照射部３として、液晶ディスプレイ３０を用いてもよい。

液晶ディスプレイ３０は、バックライト１０と、液晶パネル２０と、偏光板３５・３６とを有する。さらに、液晶ディスプレイ３０は、図示しない、駆動回路、電源回路、接続コネクタ、ケース等を有する。バックライト１０及び液晶パネル２０は光源部６０（図１参照）と対応し、バックライト１０は面発光照射部５（図１参照）と対応し、液晶パネル２０はマスク６（図１参照）と対応し、偏光板３５は第１偏光部７（図１参照）と対応する。

バックライト１０は面状光源である。バックライト１０は、順に積層された、ケース１１と、導光板１２と、拡散板１３と、レンズフィルム１４とを備え、さらに、導光板１２の側面に対向して配置された蛍光管１５を備えている。本実施形態においてバックライト１０は、いわゆるサイドライト方式の照射装置である。

図３に示すように、蛍光管１５は、導光板１２の一方の側面に対向して配置されている。導光板１２は、蛍光管１５が配置されている側の側面から、逆側の側面にかけて次第に厚さが薄くなる形状である。導光板１２の表面（主面）に、拡散板１３と、レンズフィルム１４とが順に積層されている。なお、導光板１２の裏面（主面）と対向するように反射板を配置してもよい。

導光板１２は、蛍光管１５からの光を液晶パネル２０の裏面全面に行き渡させる。レンズフィルム１４は、光を集光するフィルムである。

蛍光管１５から出射した光は、導光板１２の裏面にて全反射するか、反射板により反射し、導光板１２の表面から面状に出射する。導光板１２の表面から出射した光は、拡散板１３と、レンズフィルム１４とを順に透過することで、バックライト１０から面状の光が出射される。

なお、バックライト１０は、光源として蛍光管１５を用いているが、これに限らず、ＬＥＤ、又は、その他の光源を用いてもよい。

液晶パネル２０は、ＴＦＴアレイ基板３１と、液晶層２４と、液晶層２４を介してＴＦＴアレイ基板３１に対向して配置されている対向基板３２とを有している。

ＴＦＴアレイ基板３１は、ガラス基板２１と、ガラス基板２１に積層されているＴＦＴアレイ２２と、ＴＦＴアレイ２２及びガラス基板２１に積層されている配向膜２３とを有している。なお、図示しないが、ガラス基板２１上には、各画素毎に配置されている透明電極である画素電極や、各種配線等も配置されている。ＴＦＴアレイ２２は、複数のＴＦＴ素子からなる。複数のＴＦＴ素子は各画素毎に配置され、各画素の駆動を切り替えるスイッチング素子として機能する。

対向基板３２は、ガラス基板２８と、ガラス基板２８に積層されているフィルタ層２７と、フィルタ層２７に積層されている共通電極２６と、共通電極２６に積層されている配向膜２５とを有している。

液晶層２４は、ネマティック液晶であり、層の厚さは、一例として５μｍ程度である。層の厚さを保つため、液晶層２４内にはスペーサが分散されている。

配向膜２３・２５は、液晶分子を均一に配向させるための高分子膜である。配向膜２３・２５は、液晶層２４を介して対向配置されている。

図４は、フィルタ層２７の構成を表す断面図である。フィルタ層２７は、マスク６に対応する。

図４に示すように、フィルタ層２７は、カラーフィルタ層２７ＲＧＢと、格子状のブラックマトリクス２７ＢＭとを有する。カラーフィルタ層２７ＲＧＢは、赤色光を透過する赤色カラーフィルタと、緑色光を透過する緑色カラーフィルタと、青色光を透過する青色カラーフィルタとを有する。各画素毎に、赤色カラーフィルタと、緑色カラーフィルタと、青色カラーフィルタとのうち何れかが配置されている。なお、欠陥検査装置１は、カラーフィルタ層２７ＲＧＢを省略した構成としてもよい。

ブラックマトリクス２７ＢＭは、カラーフィルタ層２７ＲＧＢ以外を透過する光を遮光する。ブラックマトリクス２７ＢＭによって区画されている領域内は透過部２７ＤＯＴである。透過部２７ＤＯＴはドットマトリクス状にガラス基板２８上に配置されている。透過部２７ＤＯＴは、マスク６の開口部６ａに対応する。

共通電極２６は、カラーフィルタ層２７ＲＧＢ及びブラックマトリクス２７ＢＭに積層されており、対向基板３２のうち、画素形成領域の全面に設けられている。共通電極２６は、ＴＦＴアレイ基板３１に設けられている画素電極と一対の電極である。共通電極２６と、画素電極との間の電位差によって、液晶分子の向きが制御される。これにより、各画素の透過率が制御される。共通電極２６は透明電極であり、例えば、ＩＴＯからなる。

図２に示すように、偏光板３５は、ガラス基板２８のうち、フィルタ層２７が積層されている面とは逆側の面に接着されている。偏光板３５は、第１偏光部７と対応する。

また、偏光板３６は、ＴＦＴアレイ基板３１におけるガラス基板２１のうち、ＴＦＴアレイ２２が積層されている面とは逆側の面に設けられている。偏光板３６の偏光軸は、偏光板３５と一対で液晶パネル２０をディスプレイとして機能させることができる方向であればよい。

偏光板３６は、液晶パネル２０を、後述の実施形態１３・１４に記載したような、各画素毎に点灯制御して画像表示させるディスプレイとして機能させる際に、偏光板３５と一対として必要となる偏光板である。このため、液晶パネル２０を単に光源として使用するだけの場合（つまり、液晶パネル２０に画像を表示させない場合）は、偏光板３６を省略してもよい。

透過部２７ＤＯＴのドットピッチ（間隔）は、被検査物２のサイズ等に応じて、適宜、設定すればよい。

液晶パネル２０として、例えば、２３インチ、画素数が１９２０（横：水平方向）×１０８０（縦：垂直方向）、９６ｐｐｉ、ドットピッチ（透過部２７ＤＯＴの間隔）が０．２６４６ｍｍ程度の一般的にテレビ用として用いられている液晶パネルを用いることができる。

このように、液晶パネル２０によりマスク６を構成することで、より安価に欠陥検査装置１を得ることができる。

透過部２７ＤＯＴのドットピッチは、一般的に用いられている液晶パネルの画素ピッチと同様である。

（マスクパターンの変形例）
図５は、ドットマトリクス状に配置されたマスクパターンの変形例を表す図であり、（ａ）は、行方向（横方向）及び列方向（縦方向）に整列した開口部６ａを有するマスク６の構成を表す図であり、（ｂ）は開口部６Ａａが互い違いに配置されたマスク６Ａの構成を表す図であり、（ｃ）は四角形状の開口部６Ｂａがドットマトリクス状に配置されたマスク６Ｂの構成を表す図であり、（ｄ）は六角形状の開口部６Ｃａがドットマトリクス状に配置されたマスク６Ｃの構成を表す図であり、（ｅ）は三角形状の開口部６Ｄａがドットマトリクス状に配置されたマスク６Ｄの構成を表す図であり、（ｆ）はスリット状の開口部を有するマスク又は偏光板である場合のマスク６Ｅの構成を表す図である。

マスク６は、面発光照射部５の出射面から出射された面状の光を、複数のドットマトリクス状の光へ変換できればよく、例えば、図５の（ａ）〜（ｅ）に示すように、開口部の形状や配置は適宜変更すればよい。なお、図５の（ａ）〜（ｅ）に示す開口部の形状や配置は一例であり、図５の（ａ）〜（ｅ）に示す形状や配置に限定されるものではない。さらに、マスク６は、図５の（ｆ）に示すように、開口部が設けられたマスクに限らず、スリット状の開口部を有するマスク、又は直線偏光を透過する偏光板であってもよい。

図５の（ａ）に示すように、マスク６は、円形状であって、ドットマトリクス状に、行方向（横方向）及び列方向（縦方向）に整列した開口部６ａが設けられている。

図５の（ｂ）に示すように、マスク６Ａは、円形状であって、互い違いに配置された開口部６Ａａが設けられている。

なお、ドットマトリクス状に配置された開口部は、円形状以外にも、楕円形状等、種々の形状を取り得る。

また、ドットマトリクス状に配置された開口部は、多角形であってもよい。

図５の（ｃ）に示すように、マスク６Ｂは、四角形状であって、ドットマトリクス状に、行方向（横方向）及び列方向（縦方向）に整列した開口部６Ｂａが設けられている。

図５の（ｄ）に示すように、マスク６Ｃは、六角形状であって、ドットマトリクス状に配置された開口部６Ｂａが設けられている。

図５の（ｅ）に示すように、マスク６Ｄは、三角形状であって、ドットマトリクス状に、行方向（横方向）及び列方向（縦方向）に整列した開口部６Ｄａが設けられている。なお、ドットマトリクス状に配置された開口部は、五角形状、又は、七角形状以上の多角形であってもよい。

図５の（ｆ）に示すように、マスク（第３偏光部）６Ｅは、スリット状の開口部を有するマスク、又は、透過光を直線方向に偏光（直線偏光）する偏光板である。なお、マスク６Ｅを用いた欠陥検査装置は、図２３を用いて実施形態１２にて後述する。

（欠陥検査装置１の変形例）
図６は本発明の実施形態１の変形例に係る欠陥検査装置１Ａの構成を表す図である。

図１に示した欠陥検査装置１においては、面発光照射部５の出射面とマスク６とは離間している例を表した。しかし、図６に示す欠陥検査装置１Ａが有する照射部３Ａのように、面発光照射部５の出射面とマスク６の裏面とは接触していてもよい。

（欠陥検査装置１・１Ａによる作用効果）
このように、欠陥検査装置１・１Ａは、ドットマトリクス状に光Ａを出射する光源部６０・６０Ａと、光源部６０・６０Ａから出射された光Ａを第１方向へ偏光する第１偏光部７と、第２偏光部４とを備えている。そして、第１偏光部７と第２偏光部４との間には、被検査物２を挿入するための空間が設けられており、第２偏光部４は、第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する。

また、本実施形態に係る欠陥検査方法は、ドットマトリクス状に光を出射する出射ステップと、第１偏光部７を用いて、上記出射ステップにて出射された出射光を第１方向へ偏光する第１偏光ステップと、上記第１偏光部７との間に空間を設けて配置された第２偏光部４を用いて、上記第１偏光ステップにて第１方向へ偏光された光を、第２方向へ偏光する第２偏光ステップとを含み、上記第２偏光ステップにおいて、上記第１偏光部７と第２偏光部４との間に設けられた空間に被検査物２を挿入する。

これによると、被検査物２に含まれる欠陥を検査する場合、作業者、または、ロボットにより、第１偏光部７と第２偏光部４との間の空間に被検査物２が配置される。

そして、面発光照射部５から出射された面状の光Ａは、マスク６にドットマトリクス状に設けられた開口部６ａを通過することで、第１偏光部７及び第２偏光部４に対して略垂直となる方向に光軸が延伸することで拡散光が抑制された光となる。そして、開口部６ａを通過した光、すなわち、光源部６０・６０Ａから出射された光Ａは、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を、この順に透過し、作業者９が目視する。

なお、本実施形態に係る欠陥検査装置１・１Ａにおいては、第２偏光部４を透過した光４を撮像する撮像部等は設けられておらず、被検査物２に含まれる欠陥の検査は、作業者９が目視確認により行うものとする。

また、被検査物２の配置方向は特に限定されるものではないが、本実施形態では、被検査物２は、被検査物２の延伸方向が、第１偏光部７が偏光する第１方向と直角となるように配置されている。

ここで、被検査物２に欠陥が含まれていると、当該欠陥箇所は、他の箇所と比べて、透過した光の光量が異なったり、又は、偏光状態が異なったりする。このため、作業者９は、光源部６０・６０Ａから出射し、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過した光Ａの光量及び偏光状態を確認することで、被検査物２に含まれる欠陥を検査することができる。

さらに、光源部６０・６０Ａは、ドットマトリクス状の光Ａを出射するため、光源部６０・６０Ａから出射される光Ａは拡散光が抑制された光となる。このように、欠陥検査装置１・１Ａによると、拡散光が抑制された光である光Ａが被検査物２に照射されるため、マスクを通さない偏光を含む面状の光（拡散光）が被検査物２に照射される場合と比べて、光Ａが、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４それぞれを透過する際に拡散してしまうことを抑制することができる。このため、マスクを通さない偏光を含む面状の光（拡散光）を被検査物２に照射する場合と比べて、被検査物２のうち、被検査物２に含まれる欠陥箇所と、それ以外の箇所との光量差を大きくすることができる。この結果、被検査物２に含まれる欠陥を容易に検出することができる。このため、作業者の欠陥検出能力に依存せず、安定して欠陥を検出することができる。

ここで、一般的に、偏光を含まない面状の拡散光を被検査物２に直接照射することで被検査物２に含まれる欠陥の有無を検出する場合、被検査物２が、平面からなる板状の場合と比べて、立体的形状、特に、曲面を有する立体的形状の場合の方が、欠陥の検出をし難い。これは、平面のみからなる形状と比べて、曲面を有する形状の場合、当該曲面と光の成す角によって、すなわち、被検査物２を見る角度によって、欠陥の見え方が極端に変化するためである。

しかし、欠陥検査装置１・１Ａは、上述のように、第１偏光部７及び第２偏光部４を備えることに加え、さらに、被検査物２に対しドットマトリクス状の光Ａを照射する光源部６０・６０Ａを備えている。このため、被検査物２が、曲面を有する立体的形状であるバルーンカテーテルであっても、バルーンカテーテルに含まれる欠陥部分と、それ以外の部分との光量差（コントラスト）を大きくすることができる。このため、バルーンカテーテルにおいて、いわゆるフィッシュアイ等、発見し難い欠陥であっても容易に発見することができる。このため、偏光を含まない面状の拡散光をバルーンカテーテルに直接照射する照射装置を有する一般的な欠陥検査装置と比べて、欠陥がないバルーンカテーテルを容易に得ることができる。

また、バルーンカテーテルには、表面に、バルーン作製工程にて、欠陥ではない程度の微細な凹凸が形成される場合がある。偏光を含まない面状の平行光をバルーンカテーテルに直接照射する一般的な欠陥検査装置の場合、この欠陥ではない程度の微細な凹凸と、フィッシュアイ等、検出すべき欠陥との光量差が小さく、両者の区別がつかない場合がある。

一方、欠陥検査装置１・１Ａは、上述のように、第１偏光部７及び第２偏光部４を備えることに加え、さらに、被検査物２に対しドットマトリクス状の光Ａを照射する光源部６０を備えている。このため、被検査物２に含まれる異物と、それ以外の箇所との光量差が大きいため、当該異物が、欠陥ではない程度の微細な凹凸であるか、フィッシュアイ等、検出すべき欠陥であるかを、偏光の強さを比較することで容易に判定することができる。

なお、光Ａではなく、偏光を含まない光をバルーンカテーテルに斜めに照射し、その反射光を見ることでも、バルーンカテーテルを見る角度によっては、バルーンカテーテルに含まれるフィッシュアイ等の欠陥を確認することができる場合がある。しかし、偏光を含まない光をバルーンカテーテルに斜めに照射した場合、バルーンカテーテルを見る角度が少しでも変わると見えなくなる。

一方、偏光を含む拡散光を抑制した光をバルーンカテーテルに照射し透過させた場合、バルーンカテーテルを見る角度が多少変わっても、フィッシュアイ等の欠陥の見え方は大きく変わらず、発見しやすい。このように、偏光を含む拡散光を抑制した光をバルーンカテーテルに照射し透過させた方が、検査時の角度依存性が少ない。このため、被検査物２の位置や向きの変更をせず、または、最小限の変更ですむため、効率よく欠陥を検査することができる。

また、第１偏光部７の偏光軸と、第２偏光部４の偏光軸との互いの角度を変更することで、被検査物２における目視確認できなかった欠陥が、目視確認できるようになる場合がある。

例えば、第１偏光部７を透過することで偏光する方向である第１方向と、第２偏光部４を透過することで偏光する方向である第２方向とが成す角は、０度以上９０度以下となるように、第１偏光部７と、第２偏光部４との相対位置が変更されてもよい。

このように、第１方向と上記第２方向とが成す角を種々の方向へ変更することで、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

なお、第１偏光部７と、第２偏光部４との相対位置の変更は、作業者が行ってもよいし、欠陥検査装置１・１Ａに、第１偏光部７と、第２偏光部４とを、互いの相対位置を変更可能に支持する偏光部支持部を設けてもよい。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２について、図７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図７は、本発明の実施形態２に係る欠陥検査装置１Ｂの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｂは、欠陥検査装置１（図１参照）が有していた照射部３に換えて照射部３Ｂを有している。照射部３Ｂは、照射部３が有していた光源部６０に換えて、複数の点光源５Ａａがドットマトリクス状に配置された光源部５Ａを有している。

一例として、点光源５Ａａは、例えば、白色のＬＥＤからなる。なお、点光源５Ａａは、ＬＥＤに限定されず、蛍光灯等、他の点光源であってもよい。また、発光色も白色に限定されず、赤色、青色、緑色、又は、これらの組み合わせにより得られる任意の色としてもよい。

このように、欠陥検査装置１Ｂが有する光源部５Ａは、ドットマトリクス状に配置された複数の点光源５Ａａを有している。これにより、ドットマトリクス状に開口部が設けられているマスクが無くても、光源部５Ａは、ドットマトリクス状に光Ａを出射し、拡散光を抑制した光を得ることができる。

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３について、図８に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１、２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図８は、本発明の実施形態３に係る欠陥検査装置１Ｃの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｃは、欠陥検査装置１Ｂ（図７参照）が有していた照射部３Ｂに換えて照射部３Ｃを有している。照射部３Ｃは、照射部３Ｂにさらに、拡散板８とマスク６とを加えた構成である。

照射部３Ｃは、光源部６０Ｃと、第１偏光部７とを備えている。光源部６０Ｃは、ドットマトリクス状に配置された複数の点光源５Ａａと、点光源５Ａａの出射面を覆って配置された拡散板８と、拡散板８の出射面（点光源５Ａａとの対向面とは逆側面）側に配置されたマスク６とを備えている。マスク６には、ドットマトリクス状に開口部６ａが設けられている。

欠陥検査装置１Ｃによると、点光源５Ａａから出射した光Ａは、拡散板８に入射すると、拡散板８の出射面から拡散して出射する。そして、拡散板８の出射面から出射した光Ａはマスク６にドットマトリクス状に設けられた開口部６ａを通過することで、第１偏光部７及び第２偏光部４に対して略垂直となる方向に光軸が延伸する。これにより光Ａは拡散光が抑制される。そして、開口部６ａを通過した光、すなわち、光源部６０Ｃから出射された光Ａは、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を、この順に透過し、作業者９が目視する。

欠陥検査装置１Ｃの光源部６０Ｃの構成によれば、例えば、点光源５Ａａとして、比較的入手し易い直径５ｍｍ程度の一般的な点光源（ＬＥＤ）を用いても、ドットマトリクス状の光Ａを得ることができる。そのため、比較的容易かつ低コストに光源部６０Ｃを構成することができる。このように、光源部６０Ｃの構成によっても、拡散光が抑制された光Ａを得ることができる。

〔実施形態４〕
本発明の実施形態４について、図９に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜３にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図９は、本発明の実施形態４に係る欠陥検査装置１Ａの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ａは、図６に示した欠陥検査装置１Ａと同様の構成である。

被検査物２に目視確認し難い欠陥が含まれている場合、被検査物２の向きを種々に変更することで、目視確認できなかった欠陥が、目視確認できるようになる場合がある。この場合、作業者は、被検査物２の欠陥検査装置１に対する相対的な向きや位置を変更する。

図９に示す例では、第１偏光部７の偏光軸（第１方向への偏光）と、被検査物２の延伸方向（つまり、被検査物２の長手方向）とが成す角がθとなるように、作業者は、被検査物２の向きを変更する。θは０度以上９０度以下である。または、θは０度以上４５度以下であってもよい。

このように、被検査物２に対する光Ａの照射角度を種々に変更することで、被検査物２に含まれる種々の深さ位置に形成された欠陥を発見することができる。特に被検査物２が配向を持つ場合に有効である。

また、欠陥検査装置１Ａに、被検査物２を、向きや位置を変更可能に支持する被検査物支持部を設けてもよい。

〔実施形態５〕
本発明の実施形態５について、図１０に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜４にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１０は、本発明の実施形態５に係る欠陥検査装置１Ｄの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｄは、図６に示した欠陥検査装置１Ａの構成に加え、撮像部４０を備えている点で、欠陥検査装置１Ａと相違する。

撮像部４０は、レンズ部４１とカメラ部４２とを備えている。撮像部４０は、第１偏光部７及び第２偏光部４を介して、光源部６０Ａとは逆側、すなわち、第２偏光部４の上方に配置されている。撮像部４０は、レンズ部４１を光源部６０Ａ側に向けて配置されている。カメラ部４２は、レンズ部４１を通過した光を電気信号に変換する撮像素子を含んでいる。さらに、カメラ部４２は、撮像素子から出力される電気信号から撮影画像を画像生成部、当該画像生成部が生成した撮影画像に欠陥が含まれているか否かを判定する欠陥判定部とを含む。なお、画像生成部、欠陥判定部等は、カメラ部４２の外部に設けてもよい。

撮像部４０は、光源部６０Ａから出射した光Ａであって、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過した光を撮像する電子機器である。そして、撮像部４０は、画像処理により、撮像した画像に、欠陥が含まれているか否かの判定を行う。これにより、作業者が目視で被検査物２の欠陥の有無を検査する場合と比べて、容易に欠陥の有無や種類の判別の自動化を行うことができる。

また、マスク６によって拡散光が抑制された偏光を含む光Ａを被検査物２に照射した場合、マスク６が無い場合と比べて、被検査物２に含まれる欠陥箇所と、それ以外の箇所との光量差（コントラスト）を大きくとることができる。

ここで、人は薄い濃淡を認識することで欠陥の有無を判定することができるが、画像処理の場合、ある程度コントラストが高くないと、欠陥の有無を判定することができない。すなわち、薄い濃淡でも欠陥の有無を判定できる作業者による目視確認とは異なり、撮像部４０により欠陥の有無を判定する場合、コントラストが低いと、安定して欠陥の有無の判定をすることができない。

このため、コントラストが高いことは、撮像部４０を用いて正確に欠陥検査を行うために重要である。

なお、撮像部４０は、図６に示した欠陥検査装置１Ａ、図７に示した欠陥検査装置１Ｂ、図８に示した欠陥検査装置１Ｃ、及び、図９に示した欠陥検査装置１Ａのそれぞれに配置してもよい。

また、欠陥検査装置１Ｄは、撮像部４０内、又は、撮像部４０とは別に、撮像部４０による撮像画像から、欠陥の有無や欠陥の大きさを判定する判定部を備えていてもよい。これにより、容易に欠陥の有無や種類の判別の自動化を行うことができる。

〔実施形態６〕
本発明の実施形態６について、図１１に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜５にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１１は、本発明の実施形態６に係る欠陥検査装置１Ｅの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｅは、図１０に示した欠陥検査装置１Ｄの構成のうち、光源部６０Ａに換えて、光源部６０Ｅを備えている点で、欠陥検査装置１Ｄと相違する。

光源部６０Ｅは、面発光照射部５Ｅと、面発光照射部５Ｅの出射面側に配置されたマスク６とを備えている。

面発光照射部５Ｅは、面状の光を出射する光源である。さらに、面発光照射部５Ｅは、独立して点灯及び消灯の制御が可能な、複数の発光領域６０Ｅａ〜６０Ｅｃを備えている。

発光領域（光源部）６０Ｅａ・６０Ｅｃは、面発光照射部５Ｅのうち両端の領域である。発光領域６０Ｅｂは、発光領域６０Ｅａと、発光領域６０Ｅｃとに挟まれた中央部分の領域である。

撮像部４０のレンズ部４１へ垂直に入射する光の軸を撮像軸Ｚとすると、発光領域６０Ｅｂから出射した光は、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過し、撮像軸Ｚに沿って、略垂直にレンズ部４１へ入射する。

一方、発光領域６０Ｅａ（または、発光領域６０Ｅｃ）から出射した光Ｂは、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過し、撮像軸Ｚとは非平行に進行し、レンズ部４１へ入射する。すなわち、発光領域６０Ｅａ・６０Ｅｃは、撮像軸Ｚからずらして、平行光を、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過させて、撮像部４０へ入射させるための領域である。

このように、発光領域６０Ｅａ・６０Ｅｃは、出射する光Ｂの光軸が、第１偏光部７及び第２偏光部４に対し斜めになるように配置されている。

換言すると、複数の発光領域６０Ｅａ・６０Ｅｃは、それぞれから出射する光Ｂの光軸が互いに傾斜するように配置されている。

このため、欠陥検査装置１Ｅによると、被検査物２に対し、種々の方向から光Ｂを照射することができる。これにより、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

また、被検査物２表面の凹凸をより鮮明にすることができるため、欠陥を容易に発見することができる。

なお、欠陥検査装置１Ｅは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

〔実施形態７〕
本発明の実施形態７について、図１２に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜６にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１２は、本発明の実施形態７に係る欠陥検査装置１Ｆの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｆは、図１０に示した欠陥検査装置１Ｄの構成に加え、さらに、照射部３Ｆを備えている点で欠陥検査装置１Ｄと相違する。すなわち、欠陥検査装置１Ｆは複数の照射部３Ａ・３Ｆを備えている。

照射部３Ｆは、光源部６０Ａと、光源部６０Ａの出射面側に対向配置された第１偏光部７とを備えている。

照射部３Ａは、光源部６０Ａ、第１偏光部７、及び、第２偏光部４が平行となるように配置されている。これにより、光源部６０Ａの中央部分から出射した光Ａは、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過し、レンズ部４１へ略垂直に入射する。

一方、照射部３Ｆは、第２偏光部４に対し、光源部６０Ａ及び第１偏光部７が傾斜するように配置されている。これにより、照射部３Ｆの光源部６０Ａから出射した光Ｆは、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過し、レンズ部４１に対し、略垂直よりも小さい角度で入射する。

このように、欠陥検査装置１Ｆは、照射部３Ａの光源部６０Ａと、照射部３Ｆの光源部６０Ａとを備えている。そして、照射部３Ａの光源部６０Ａと、照射部３Ｆの光源部６０Ａとは、それぞれからから出射する光Ａ・Ｆの光軸が互いに傾斜するように配置されている。

このため、欠陥検査装置１Ｆによると、被検査物２に対し、種々の方向から光を照射することができる。これにより、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

なお、欠陥検査装置１Ｆは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

また、欠陥検査装置１Ｆは、照射部３Ｆを２つ以上有していてもよい。すなわち、図１２において、照射部３Ａよりも紙面奥側に配置された照射部３Ｆとは別に、例えば、さらに、照射部３Ａよりも紙面手前側にも照射部３Ｆが配置されていてもよい。この場合、紙面手前側の照射部３Ｆの光源部６０Ａと、照射部３Ａの光源部６０Ａとは、それぞれからから出射する光Ｆ・光Ａの光軸が互いに傾斜するように配置される。

〔実施形態８〕
本発明の実施形態８について、図１３に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜７にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１３は、本発明の実施形態８に係る欠陥検査装置１Ｇの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｇは、図１２に示した欠陥検査装置１Ｆの構成のうち、照射部３Ｆに換えて、面発光照射部５Ｇを備えている点で欠陥検査装置１Ｆと相違する。面発光照射部５Ｇは、ドットマトリクス状又はスリット状の光を出射しない光源であり、面状に光Ｇを出射する。

一方、面発光照射部５Ｇは、第２偏光部４に対し、出射面が傾斜するように配置されている。これにより、面発光照射部５Ｇから出射した光Ｇは、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過し、レンズ部４１に対し、略垂直よりも小さい角度で入射する。

このように、欠陥検査装置１Ｇは、照射部３Ａの光源部６０Ａと、面発光照射部５Ｇとを備えている。そして、照射部３Ａの光源部６０Ａと、面発光照射部５Ｇとは、それぞれからから出射する光Ａ・Ｇの光軸が互いに傾斜するように配置されている。

このため、欠陥検査装置１Ｇによると、被検査物２に対し、種々の方向から光を照射することができる。これにより、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

なお、欠陥検査装置１Ｇは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

また、欠陥検査装置１Ｇは、面発光照射部５Ｇを２つ以上有していてもよい。すなわち、図１３において、照射部３Ａよりも紙面奥側に配置された面発光照射部５Ｇとは別に、例えば、さらに、照射部３Ａよりも紙面手前側にも面発光照射部５Ｇが配置されていてもよい。この場合、紙面手前側の面発光照射部５Ｇと、照射部３Ａの光源部６０Ａとは、それぞれからから出射する光Ｇ・光Ａの光軸が互いに傾斜するように配置される。

〔実施形態９〕
本発明の実施形態９について、図１４に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜８にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１４は、本発明の実施形態９に係る欠陥検査装置１Ｈの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｈは、図１０に示した欠陥検査装置１Ｄの構成に加え、さらに、波長変換フィルタ５０を備えている点で欠陥検査装置１Ｄと相違する。

波長変換フィルタ５０は、第１偏光部７と、第２偏光部４との間に配置されている。波長変換フィルタ５０は、光源部６０Ａから出射された光Ａを、異なる波長に変換し透過するフィルタである。被検査物２は、波長変換フィルタ５０と、第２偏光部４との間に配置される。

光源部６０Ａから出射したドットマトリクス状の光Ａは、第１偏光部７を透過すると、次に、波長変換フィルタ５０を透過することで、波長変換フィルタ５０を透過する前とは異なる特定の波長成分を有する光Ａへ変換される。そして、波長変換フィルタ５０を透過した光Ａは、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過し、レンズ部４１へ入射する。

被検査物２に含まれる欠陥は、透過する光の波長によって見え方が異なる場合がある。

そこで、上述のように、欠陥検査装置１Ｈによると、波長変換フィルタ５０によって波長が変換された光Ａを被検査物２に照射することで、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査したり、見えなかった欠陥を見やすくしたりすることができる。

なお、欠陥検査装置１Ｈは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

〔実施形態１０〕
本発明の実施形態１０について、図１５に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜９にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１５は、本発明の実施形態１０に係る欠陥検査装置１Ｉの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｉは、図１４に示した欠陥検査装置１Ｈの構成のうち、波長変換フィルタ５０の位置が異なる点で欠陥検査装置１Ｈと相違する。

欠陥検査装置１Ｉでは、波長変換フィルタ５０は、第１偏光部７と、第２偏光部４との間ではなく、第２偏光部４と撮像部４０との間に配置されている。被検査物２は、第１偏光部７、第２偏光部４との間に配置される。

光源部６０Ａから出射したドットマトリクス状の光Ａは、第１偏光部７、被検査物２、及び第２偏光部４を透過すると、次に、波長変換フィルタ５０を透過することで、波長変換フィルタ５０を透過する前とは異なる特定の波長成分を有する光Ａへ変換される。そして、波長変換フィルタ５０を透過した光Ａはレンズ部４１へ入射する。

欠陥検査装置１Ｉによると、被検査物２を透過した光Ａを波長変換フィルタ５０によって波長を変換することで、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査したり、見えなかった欠陥を見やすくしたりすることができる。

なお、欠陥検査装置１Ｉは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

〔実施形態１１〕
本発明の実施形態１１について、図１６に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜１０にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１６は、本発明の実施形態１１に係る欠陥検査装置１Ｊの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｊは、図１３に示した欠陥検査装置１Ｇの構成のうち、面発光照射部５Ｇに換えて、反射部６５を備えている点で欠陥検査装置１Ｇと相違する。反射部６５は板状の反射板である。反射部６５は第２偏光部４の下方であって、被検査物２の側方または上方に位置する。反射部６５は反射面を第１偏光部７及び第２偏光部４に対して傾斜させて配置されている。

光源部６０Ａから出射された光Ａは、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を透過し、撮像部４０へ入射する。

光源部６０Ａから出射された他の光Ｊ１は、第１偏光部７を透過し、反射部６５で反射し、被検査物２の表面で反射する。そして、光Ｊ１は、被検査物２の表面で反射すると、第２偏光部４を透過し、撮像部４０へ入射する。

このように、欠陥検査装置１Ｊは、照射部３Ａの光源部６０Ａと、反射部６５とを備えている。そして、反射部６５は、光源部６０Ａとは重ならないように、反射面が傾斜して配置されている。

このため、欠陥検査装置１Ｊによると、被検査物２に対し、種々の方向から光を照射することができる。これにより、被検査物２において種々の位置に含まれる欠陥を検査することができる。

なお、欠陥検査装置１Ｊは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

また、反射部６５は、板状の反射板に限定されず、光Ｊ１が反射部６５へ入射する方向に窪んだ曲面の反射面を有する反射板であってもよい。これにより、反射部６５は、例えば、入射した光Ｊ１を反射すると共に集光して被検査物２の表面に照射するようになっていてもよい。

また、欠陥検査装置１Ｊは、反射部６５を２つ以上有していてもよい。すなわち、図１６において、照射部３Ａよりも紙面奥側に配置された反射部６５とは別に、例えば、さらに、照射部３Ａよりも紙面手前側にも反射部６５が配置されていてもよい。この場合、紙面手前側の反射部６５は反射面を第１偏光部７及び第２偏光部４に対して傾斜させて配置される。

〔実施形態１２〕
本発明の実施形態１２について、図２３に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜１１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図２３は、本発明の実施形態１２に係る欠陥検査装置１Ｋの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｋは、欠陥検査装置１（図１参照）が有していた光源部６０に換えて、光源部６０Ｋを有している。

光源部６０Ｋは、被検査物２の欠陥検査のため、被検査物２に、スリット状であって拡散光が抑制された光Ａを照射する。光源部６０Ｋは、面光源である面発光照射部５と、面発光照射部５の出射面側に配置されたマスク６Ｅとを有する。

マスク６Ｅはスリット状に開口部が設けられたマスクである。マスク６Ｅは、スリットの延伸方向が第１偏光部７の偏光軸と平行となるように配置されている。または、マスク６Ｅは偏光板であってもよい。マスク６Ｅが偏光板により構成されている場合、マスク６Ｅは、偏光軸が第１偏光部７の偏光軸と平行となるように配置される。

欠陥装置１Ｋによると、面発光照射部５から出射した光Ａは、マスク６Ｅを透過することで、第１偏光部７の偏光軸と平行な方向に光軸が延伸する。これにより、光Ａは拡散光が抑制される。そして、マスク６Ｅを透過した光、すなわち、光源部６０Ｋから出射された光Ａは、第１偏光部７、被検査物２、及び、第２偏光部４を、この順に透過し、作業者９が目視する。このように、光源部６０Ｋの構成によっても、拡散光が抑制された光Ａを得ることができる。

なお、欠陥検査装置１Ｋは、撮像部４０及び上記判定部を備えていてもよい。

〔実施形態１３〕
本発明の実施形態１３について、図２４に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜１２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図２４は、本発明の実施形態１３に係る欠陥検査装置１Ｌの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｌは、欠陥検査装置１Ｄ（図１０参照）が有していた照射部３Ａに換えて、照射部３Ｌを有している。照射部３Ｌは、光源部６０Ａと、第１偏光部７に加え、遮光部７１を備えている。

遮光部７１は、第１偏光部７上であって被検査物２の下方に配置されている。遮光部７１は、光源部６０Ａからの出射光を遮光する部材により構成されている。遮光部７１は環状を有しており、中心部近傍に開口部を有している。これにより、遮光部７１は、光源部６０Ａから出射した光Ａの一部を遮光すると共に、遮光部７１の開口部からは光Ａを透過する。そして、当該光Ａは、被検査物２、及び、第２偏光部４をこの順に透過し、撮像部４０へ入射する。

遮光部７１の開口部の大きさを変更することで、第１偏光部７を透過した光Ａの偏光の強さを調整することができる。

これにより、被検査物２に含まれる欠陥の有無や欠陥の大きさなどを判定し易くすることができる。

照射部３Ｌとして、図２に示した液晶ディスプレイ３０を用いる場合、遮光部７１は部材として第１偏光部７上に配置するのではなく、液晶パネル２０（図２参照）の各画素の点灯を制御することで、液晶パネル２０に画像として表示させてもよい。これにより、遮光部７１や遮光部７１の開口部の大きさを細かく、また、速やかに変更することができるため、欠陥検査の利便性を向上させることができる。

なお、欠陥検査装置１Ｌは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

〔実施形態１４〕
本発明の実施形態１４について、図２５に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜１３にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図２５は、本発明の実施形態１４に係る欠陥検査装置１Ｍの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｍは、欠陥検査装置１Ｌ（図２４参照）が有していた照射部３Ｌに換えて照射部３Ｍを有している。照射部３Ｍは、遮光部７１に換えて遮光部７２を有している。

遮光部７２は、第１偏光部７上であって被検査物２の下方に配置されている。遮光部７２は、光源部６０Ａからの出射光を遮光する部材により構成されている。遮光部７２は、遮光部７１のような環状ではなく、中心部近傍に開口部を有していない。これにより、遮光部７２は、光源部６０Ａから出射した光Ａの一部を遮光する。遮光部７２は遮光部７１よりも多くの光Ａを遮光する。遮光部７２により遮光されなかった光Ａは、被検査物２、及び、第２偏光部４をこの順に透過し、撮像部４０へ入射する。

遮光部７２により、光源部６０Ａからの出射光であって第１偏光部７を透過した光Ａの一部が遮光されることで遮光された部分は被検査物２に対して間接光が照射される状態となる。つまり、欠陥検査装置１Ｍによると、非遮光部からの偏光を照射した状態と、遮光部からの間接光を照射した状態という２つの状態を同時に撮像することができる。また、撮像範囲全体を遮光することにより、撮像部４０への入射光の全てを偏光から間接光へ切替えることもできる。

照射部３Ｍとして、図２に示した液晶ディスプレイ３０を用いる場合、遮光部７２は部材として第１偏光部７上に配置するのではなく、液晶パネル２０（図２参照）の各画素の点灯を制御することで、液晶パネル２０に画像として表示させてもよい。これにより、遮光部７２の大きさを細かく、また、速やかに変更することができるため、欠陥検査の利便性を向上させることができる。

なお、欠陥検査装置１Ｍは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

〔実施形態１５〕
本発明の実施形態１５について、図２６に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜１４にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図２６は、本発明の実施形態１５に係る欠陥検査装置１Ｎの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｎは、欠陥検査装置１Ｍ（図２５参照）が有していた照射部３Ｍに換えて照射部３Ｎを有している。照射部３Ｎは、遮光部７２に換えて遮光部７３を有している。

遮光部７３は、第１偏光部７上であって被検査物２の下方に配置されている。遮光部７３は、スリット状の開口部を有する。一例として、遮光部７３は、被検査物２の長手方向と平行に延伸している。遮光部７３のスリット状の開口部も被検査物２の長手方向と平行に延伸している。このように、遮光部７３は、スリット状の開口部が、被検査物２の長手方向と平行に延伸しているため、被検査物２の長手方向を一度に広範囲に撮影することができる。被検査物２の撮影範囲が狭い場合は、遮光部７１（図２４参照）を用いればよいし、被検査物２の撮影範囲が広い場合は、遮光部７３を用いればよい。被検査物２を撮影範囲によって、種々の遮光部を用いることで、効率よく被検査物２の欠陥検査を行うことができる。

照射部３Ｎとして、図２に示した液晶ディスプレイ３０を用いる場合、遮光部７３は部材として第１偏光部７上に配置するのではなく、液晶パネル２０（図２参照）の各画素の点灯を制御することで、液晶パネル２０に画像として表示させてもよい。これにより、遮光部７３の大きさを細かく、また、速やかに変更することができるため、欠陥検査の利便性を向上させることができる。

なお、欠陥検査装置１Ｎは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

〔実施形態１６〕
本発明の実施形態１６について、図２７に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１〜１５にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図２７は、本発明の実施形態１６に係る欠陥検査装置１Ｏの構成を表す図である。欠陥検査装置１Ｏは、欠陥検査装置１Ｄ（図１０参照）が有していた照射部３Ａを、第２偏光部４に対し傾斜させた構成である。

欠陥検査装置１Ｏによると、照射部３Ａから、被検査物２に対し斜め方向から光が照射される。これにより、被検査物２の陰影（被検査物表面２の凹凸）をはっきりさせることができる。そのため、被検査物２に含まれる欠陥を容易に発見することができる。

なお、本実施の形態では、第１偏光部７も第２偏光部４に対し傾斜するように配置されているが、第１偏光部７と第２偏光部４とは互いに平行に配置され、光源部６０Ａが第１偏光部７及び第２偏光部４に対し傾斜するように配置されていてもよい。

また、欠陥検査装置１Ｏは、撮像部４０を省略した構成とし、被検査物２の欠陥を作業者９が目視確認する構成であってもよい。

〔実施形態１７〕
本発明の実施形態１７について説明する。上述した欠陥検査装置１・１Ａ〜１Ｏは、バルーンカテーテルにおけるフィッシュアイ等を発見するための外観検査以外にも、他の検査に用いることができる。以下、幾つか例を挙げる。

（チューブ溶着検査への応用例）
バルーンカテーテルは、製造工程において、バルーンとチューブとを溶着したり、チューブ同士を溶着したりすることで作製される。欠陥検査装置１・１Ａ〜１Ｏを用いて、このバルーンとチューブとの溶着部における溶着前後の溶着状態、または、チューブ同士の溶着部における溶着前後の溶着状態を確認する、または、溶着状態の変化をリアルタイムで確認することができる。このバルーンとチューブとの溶着部、または、バルーンとチューブとの溶着部には応力が発生するため、偏光により、溶着の範囲を確認することができる。

図２８は、欠陥検査装置１Ｄ（図１０）において、撮像部４０により、被検査物２であるバルーンカテーテルの溶着部及び未溶着部を撮像した画像である。図２８において「溶着部」と示す領域は、溶着されたことで当該「溶着部」以外の領域とは異なり偏光ムラがとなっている。一方、「未溶着部」と示す領域は偏光ムラは見えず、チューブの内側に挿入されたチューブが見える。このように、「溶着部」と、「未溶着部」とでは偏光が明らかに変わっているため、溶着部および未溶着部それぞれの範囲や溶着状態を容易に確認することができる。

（チューブ引張り試験への応用例）
欠陥検査装置１・１Ａ〜１Ｏは、バルーンカテーテルのチューブを引張った結果を検査するチューブ引張り試験による欠陥検査に用いることもできる。欠陥検査装置１・１Ａ〜１Ｏを用いて、チューブ引張り試験において試験前後の応力状態を確認する、または、応力状態をリアルタイムで確認する。チューブが引張られることで延伸した部分は他に比べて応力の違いがでるため、偏光により確認することができる。

（膜厚ムラの欠陥検出への応用例）
欠陥検査装置１・１Ａ〜１Ｏは、バルーンカテーテルの膜厚ムラの結果検査に用いることもできる。膜厚ムラとはバルーンカテーテルにおいて膜厚の変化がある箇所である。膜厚によって偏光の状態や偏光色が変化するため、これにより膜厚ムラ有無や程度を検査することができる。

〔実施例１〕
偏光を含むドットマトリクス状の光を照射する光源部と、偏光を含まない面状の光を照射する光源部とでの欠陥の見え方の違いを確認する実験を行った。

図１７は、偏光を含まない面状の拡散光を照射する光源部から、被検査物２に光を照射したときの撮像画像を表す図である。

図１８は、偏光を含まない面状の平行光を出射する光源部から、被検査物２に光を照射したときの撮像画像を表す図である。

なお、図１７〜図１９に示す「マーキング」は、欠陥の位置を特定するために被検査物２の欠陥の近傍に記した油性ペンによるマーキングである。

図１７及び図１８において、被検査物２は共にバルーンカテーテルである。また、図１７及び図１８において、第１偏光部７及び第２偏光部４は用いていない。

図１７に示すように、面状に拡散光を出射する光源部から被検査物２に光を偏光することなく照射すると、被検査物２に照射された光は拡散し、画像全体が明るい。このため、被検査物２において、欠陥が存在しているか否かの判定は困難である。

一方、図１８に示すように、面状に平行光を出射する光源部から、被検査物２に平行光を偏光することなく照射すると、光の拡散は図１７より抑えられている。これにより、被検査物２において、欠陥の箇所の光量差は、図１７よりも大きい。このため、図１８は、図１７と比べては欠陥箇所の判定がし易いといえる。しかし、図１８では、欠陥ではない程度の微小な凹凸も多数見える。このため、図１８に示す撮像画像においても、検出する必要がない程度の凹凸と、フィッシュアイ等、検出すべき欠陥との区別がつかない。

図１９は、第１偏光部７と第２偏光部４とで被検査物２を挟み、かつ、ドットマトリクス状に光を出射する光源部から、拡散光が抑制された光を被検査物２に照射したときの撮像画像を表す図である。つまり、図１９は、欠陥検査装置１Ｄ（図１０）の構成による撮像部４０により撮像した画像である。

図１９でも、被検査物２はバルーンカテーテルである。図１９に示すように、欠陥箇所と、それ以外の箇所との光量差を適度に得ることができているため、被検査物２にフィッシュアイが形成されていることを、容易に見つけることができる。

このように、第１偏光部７と第２偏光部４とで被検査物２を挟み、かつ、ドットマトリクス状に光を出射する光源部から、平行光ではなく適度に拡散光を抑えた光を被検査物２に照射すると、被検査物２にフィッシュアイが形成されていることを、容易に見つけることができることが分かった。

〔実施例２〕
バルーンカテーテルの製造工程での欠陥検査工程では、バルーンカテーテルに含まれる欠陥の有無だけではなく、欠陥の大きさの判別のし易さも指標となる。欠陥検査装置１Ｄ（図１０）、欠陥検査装置１Ｌ（図２４）、欠陥検査装置１Ｍ（図２５）を用いて、バルーンカテーテルに含まれる欠陥の大きさの判別のし易さの評価を行った。なお、図２０〜図２２に示す「マーキング」は、欠陥の位置を特定するために被検査物２の欠陥の近傍に記した油性ペンによるマーキングである。図２０〜図２２において、被検査物２は共にバルーンカテーテルである。

図２０は、図１９を得た欠陥検査装置と同様に、第１偏光部７と第２偏光部４とで被検査物２を挟み、かつ、ドットマトリクス状に光を出射する光源部から、拡散光が抑制された光を被検査物２に照射したときの撮像画像を表す図である。つまり、図２０は、欠陥検査装置１Ｄ（図１０）の構成による撮像部４０により被検査物２を撮像した撮像画像である。

図２０に示すように、欠陥検査装置１Ｄによると、欠陥の有無は容易に判定できる撮像画像を撮像部４０により撮像することができた。しかし、欠陥検査装置１Ｄによると、被検査物２を透過した光Ａの偏光が若干強く、欠陥の輪郭が分かり難くい。このため、欠陥検査装置１Ｄによると、欠陥の大きさ判定がし難い。

図２１は、欠陥検査装置１Ｍ（図２５）の構成による撮像部４０により被検査物２を撮像した遮光された部分の撮像画像である。

図２１に示すように、欠陥検査装置１Ｍによると、遮光された部分は被検査物２に対して間接光のみが照射された状態となるため、欠陥の輪郭ははっきりしている。このため、欠陥の大きさを明確に判定することができる。しかし、欠陥検査装置１Ｍによると、欠陥周辺の、欠陥ではない凹凸も表れているため、欠陥検査装置１Ｄでの撮像画像（図２０）と比べては欠陥の有無の判定がし難い。なお、撮像部４０による撮像画面の一部を遮光することで１つの画面に図２０の撮像画像と、図２１の撮像画像とを撮像することもできる。

図２２は、欠陥検査装置１Ｌ（図２４）の構成による撮像部４０により被検査物２を撮像した撮像画像である。

図２４に示すように、欠陥検査装置１Ｌによると、偏光の強さを調整することができる。このため、欠陥の輪郭をはっきりさせつつ、欠陥以外の凹凸が表れないように、偏光の強度を調整することができる。このため、欠陥の有無と、欠陥の大きさとを明確に判定することができる。つまり、欠陥検査装置１Ｌにより撮像した撮像画像（図２２）は、図２０に示した撮像画像における欠陥の有無の判別のし易さと、図２１に示した撮像画像における欠陥の大きさの判別のし易さとの両方のメリットを有する撮像画像を得ることができた。

また、欠陥検査装置１Ｌ（図２４）ではなく、欠陥検査装置１Ｎ（図２６）の構成による撮像部４０により被検査物２を撮像した場合も、図２２に示した撮影画像のように、欠陥の有無の判別のし易さと、欠陥の大きさの判別のし易さとの両方のメリットを有する撮像画像を得ることができると考えられる。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

１、１Ａ〜１Ｏ欠陥検査装置
２被検査物
３、３Ａ〜３Ｃ・３Ｆ・３Ｌ・３Ｍ・３Ｎ照射部
４第２偏光部
５、５Ｅ、５Ｇ面発光照射部
５Ａ、６０・６０Ａ・６０Ｃ・６０Ｅ光源部
５Ａａ点光源
６、６Ａ〜６Ｃマスク
６Ｅマスク（第３偏光部）
６ａ・６Ａａ・６Ｂａ・６Ｃａ開口部
７第１偏光部
８、１３拡散板
９作業者
１０バックライト
１１ケース
１２導光板
１４レンズフィルム
１５蛍光管
２０液晶パネル
２１、２８ガラス基板
２２ＴＦＴアレイ
２３、２５配向膜
２４液晶層
２６共通電極
２７フィルタ層
２７ＢＭブラックマトリクス（マスク）
２７ＤＯＴ透過部
２７ＲＧＢカラーフィルタ層
３０液晶ディスプレイ（照射部）
３１ＴＦＴアレイ基板
３２対向基板
３５偏光板（第１偏光部）
３６偏光板
４０撮像部
４１レンズ部
４２カメラ部
５０波長変換フィルタ
６０Ａ光源
６０Ｅａ・６０Ｅｂ・６０Ｅｃ発光領域（光源部）
６５反射部
７１・７２・７３遮光部

Claims

光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
ドットマトリクス状又はスリット状に光を出射する光源部と、
上記光源部からの出射光を第１方向へ偏光する第１偏光部と、
上記第１方向へ偏光された光を第２方向へ偏光する第２偏光部とを備え、
上記第１偏光部と第２偏光部との間に上記被検査物を挿入するための空間が設けられていることを特徴とする欠陥検査装置。
上記光源部は、面状に光を出射する面発光照射部と、当該面発光照射部の出射面を覆って配置されており、ドットマトリクス状又はスリット状に開口部が設けられているマスクとを有することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
上記光源部は、面状に光を出射する面発光照射部と、当該面発光照射部の出射面を覆って配置されており、当該光源部からの出射光を上記第１方向へ偏光する第３偏光部とを有することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
上記光源部は、ドットマトリクス状に配置された複数の点光源を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
上記第１方向への偏光及び上記第２方向への偏光は直線偏光であって、
上記第１方向と上記第２方向とが成す角は、０度以上９０度以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
上記第１方向への偏光及び上記第２方向への偏光は直線偏光であって、
上記第１方向と上記被検査物の延伸方向とが成す角は、０度以上４５度以下であることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
上記光源部は、上記被検査物への出射光の一部を遮光する遮光部を含むことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
上記光源部は、独立して点灯及び消灯の制御が可能な、複数の発光領域を備えていることを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
上記光源部からの出射光を、上記被検査物へ反射するための反射部をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
上記光源部は、第２偏光部に対し傾斜するように配置されていることを特徴とする請求項１〜９の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
上記光源部を複数備え、
上記複数の光源部は、それぞれからの出射光の光軸が互いに傾斜するように配置されていることを特徴とする請求項１〜１０の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
上記第１偏光部を複数備え、
上記複数の第１偏光部は、上記複数の光源部それぞれの出射面側に対向配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の欠陥検査装置。
上記光源部から出射され、上記第１偏光部及び上記第２偏光部を透過した透過光を撮像する撮像部を備えていることを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
上記第１偏光部と、上記マスクであるブラックマトリクスを有する液晶パネルと、上記面発光照射部であるバックライトとを含む液晶ディスプレイを備えていることを特徴とする請求項２に記載の欠陥検査装置。
上記被検査物はバルーンカテーテルであることを特徴とする請求項１〜１４の何れか１項に記載の欠陥検査装置。
光を透過する被検査物に含まれる欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
ドットマトリクス状又はスリット状に光を出射する出射ステップと、
第１偏光部を用いて、上記出射ステップにて出射された出射光を第１方向へ偏光する第１偏光ステップと、
上記第１偏光部との間に空間を設けて配置された第２偏光部を用いて、上記第１偏光ステップにて第１方向へ偏光された光を、第２方向へ偏光する第２偏光ステップとを含み、
上記第２偏光ステップにおいて、上記第１偏光部と第２偏光部との間に設けられた空間に上記被検査物を挿入することを特徴とする欠陥検査方法。
請求項１６に記載の欠陥検査方法によって欠陥の有無を検査する工程を含むことを特徴とするバルーンカテーテルの製造方法。