JP2017033975A - Transport device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、基板を搬送するコンベア装置と、基板の両縁を挟持して基板をクランプするクランプ装置と、基板を下方から支持する支持部材とを備えた搬送装置に関するものである。 The present invention relates to a conveyor device that includes a conveyor device that transports a substrate, a clamp device that clamps the substrate by clamping both edges of the substrate, and a support member that supports the substrate from below.
搬送装置では、基板がコンベア装置によって所定の位置まで搬送される。そして、その基板が、支持部材によってコンベア装置から持ち上げられ、その持ち上げられた基板が、クランプ装置によってクランプされる。クランプ対象の基板には、反りが生じているものがあり、反りが生じた状態で基板がクランプされた場合には、基板に対する作業精度が低下する虞がある。このため、下記特許文献に記載されているように、反りの生じている基板を矯正した状態でクランプするための技術が開発されている。 In the transport device, the substrate is transported to a predetermined position by the conveyor device. Then, the substrate is lifted from the conveyor device by the support member, and the lifted substrate is clamped by the clamp device. Some substrates to be clamped are warped, and when the substrate is clamped in a state where the warp has occurred, there is a risk that the working accuracy for the substrate may be lowered. For this reason, as described in the following patent documents, a technique for clamping a warped substrate in a corrected state has been developed.
上記特許文献に記載の技術によれば、反りの生じている基板を矯正した状態でクランプすることが可能となる。しかしながら、上記特許文献に記載の搬送装置は、基板を上下方向において挟持する構造であるため、基板の両縁を左右方向に挟持して基板をクランプする構造の搬送装置に、上記特許文献に記載の技術を適用することはできない。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、基板の両縁を左右方向に挟持してクランプする構造の搬送装置において、反りの生じている基板を矯正した状態でクランプすることである。 According to the technique described in the above patent document, it is possible to clamp the warped substrate in a corrected state. However, since the transport device described in the above-mentioned patent document has a structure for sandwiching the substrate in the vertical direction, the transport device having a structure for clamping the substrate by sandwiching both edges of the substrate in the left-right direction is described in the above-mentioned patent document. The technology cannot be applied. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to correct a warped substrate in a transport device having a structure in which both edges of the substrate are clamped by clamping in the left-right direction. It is to clamp in the state.
上記課題を解決するために、本願に記載の搬送装置は、基板を搬送するコンベア装置と、1対の挟持部材を有し、それら1対の挟持部材の少なくとも一方を接近させ、基板の両縁を挟持することで、基板をクランプするクランプ装置と、前記1対の挟持部材の間に配設され、基板を下方から支持する支持部材とを備え、前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、前記支持部材によって前記コンベア装置から持ち上げ、その持ち上げられた基板を、前記クランプ装置によってクランプする搬送装置であって、当該搬送装置が、前記コンベア装置の上方に配設され、基板を上方から押圧する押圧部材と、基板の中央部が縁部より突出する状態である上反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御する第1クランプ部を有する制御装置とを備え、前記第1クランプ部が、前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、予め設定された設定高さまで、前記支持部材によって持ち上げる第1支持部材作動制御部と、前記支持部材によって持ち上げられた基板の中央部を、前記押圧部材によって下方に向かって押圧することで、基板を前記下反り状態に変形させる第1押圧部材作動制御部と、前記押圧部材によって押圧されている基板を、前記1対の挟持部材によって挟持する第1挟持部材作動制御部と、前記押圧部材による押圧を解除する第2押圧部材作動制御部とを有することを特徴とする。 In order to solve the above problems, a transport device described in the present application includes a conveyor device that transports a substrate and a pair of sandwiching members, and at least one of the pair of sandwiching members is brought close to both edges of the substrate. Is provided between the pair of clamping members and a support member that supports the substrate from below, and is conveyed to a predetermined position by the conveyor device. A transport device that lifts a substrate from the conveyor device by the support member and clamps the lifted substrate by the clamp device, the transport device being disposed above the conveyor device, A first member that controls the operation of the transport device in order to clamp the pressing member that is pressed from above and the substrate in a warped state in which the central portion of the substrate protrudes from the edge portion. A control device having a ramp unit, wherein the first clamp unit lifts the substrate transported to a predetermined position by the conveyor device up to a preset set height by the support member. And a first pressing member operation control unit that deforms the substrate into the warped state by pressing the central portion of the substrate lifted by the support member downward by the pressing member, and the pressing member It has a 1st clamping member operation | movement control part which clamps the board | substrate currently pressed by said pair of clamping members, and a 2nd pressing member operation | movement control part which cancels | releases the press by the said pressing member.
上記課題を解決するために、本願に記載の搬送装置は、基板を搬送するコンベア装置と、1対の挟持部材を有し、それら1対の挟持部材の少なくとも一方を接近させ、基板の両縁を挟持することで、基板をクランプするクランプ装置と、前記1対の挟持部材の間に配設され、基板を下方から支持する支持部材とを備え、前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、前記支持部材によって前記コンベア装置から持ち上げ、その持ち上げられた基板を、前記クランプ装置によってクランプする搬送装置であって、当該搬送装置が、前記コンベア装置の上方に配設され、基板を上方から押圧する押圧部材と、基板の縁部が中央部より突出する状態である下反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御する第2クランプ部を有する制御装置とを備え、前記第2クランプ部が、前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、予め設定された設定高さより設定距離低い位置まで、前記支持部材によって持ち上げる第2支持部材作動制御部と、前記支持部材によって持ち上げられた基板を、前記1対の挟持部材によって挟持する第2挟持部材作動制御部と、前記1対の挟持部材によって挟持された基板の縁部を、前記押圧部材によって下方に向かって押圧する第3押圧部材作動制御部と、前記押圧部材による押圧が解除された後に、前記1対の挟持部材によって挟持された基板を、前記支持部材によって、前記設定距離、上方に移動させる第3支持部材作動制御部とを有することを特徴とする。 In order to solve the above problems, a transport device described in the present application includes a conveyor device that transports a substrate and a pair of sandwiching members, and at least one of the pair of sandwiching members is brought close to both edges of the substrate. Is provided between the pair of clamping members and a support member that supports the substrate from below, and is conveyed to a predetermined position by the conveyor device. A transport device that lifts a substrate from the conveyor device by the support member and clamps the lifted substrate by the clamp device, the transport device being disposed above the conveyor device, A second member that controls the operation of the transporting device to clamp the pressing member that presses the substrate and the substrate in the downward warped state in which the edge of the substrate protrudes from the center portion. A control device having a ramp portion, wherein the second clamp portion lifts the substrate transported to a predetermined position by the conveyor device by the support member to a position lower than a preset set height by a set distance. 2 support member operation control unit; a second clamping member operation control unit that clamps the substrate lifted by the support member by the pair of clamping members; and an edge of the substrate sandwiched by the pair of clamping members A third pressing member operation control unit that presses downward by the pressing member, and a substrate held by the pair of holding members after the pressing by the pressing member is released, by the support member, And a third support member operation control unit that moves the set distance upward.
本願に記載の搬送装置では、上反り状態の基板が、コンベア装置によって所定の位置まで搬送され、その基板が予め設定された設定高さまで、支持部材によって持ち上げられる。次に、支持部材によって持ち上げられた基板が、中央部において、押圧部材によって下方に向かって押圧されることで、基板が下反り状態に変形される。そして、押圧部材によって押圧されている基板が、挟持部材によって挟持された後に、押圧部材による押圧が解除される。これにより、上反り状態の基板を矯正した状態で、挟持部材によってクランプすることが可能となる。 In the transport device described in the present application, the substrate in the warped state is transported to a predetermined position by the conveyor device, and the substrate is lifted by the support member to a preset height. Next, the substrate lifted by the support member is pressed downward by the pressing member at the central portion, so that the substrate is deformed into a downward warped state. And after the board | substrate currently pressed by the press member is clamped by the clamp member, the press by a press member is cancelled | released. Thereby, it becomes possible to clamp by the clamping member in the state which corrected the board | substrate of the curvature state.
また、本願に記載の搬送装置では、下反り状態の基板が、コンベア装置によって所定の位置まで搬送され、その基板が予め設定された設定高さより設定距離低い位置まで、支持部材によって持ち上げられる。次に、支持部材によって持ち上げられた基板が、挟持部材によって挟持され、その挟持された基板が、縁部において、押圧部材によって下方に向かって押圧される。そして、押圧部材による押圧が解除された後に、挟持部材によって挟持された基板が、支持部材によって設定距離、上方に移動される。これにより、下反り状態の基板を矯正した状態で、挟持部材によってクランプすることが可能となる。 Further, in the transport device described in the present application, the substrate in the downward warp state is transported to a predetermined position by the conveyor device, and the substrate is lifted by the support member to a position lower than the preset set height by a set distance. Next, the substrate lifted by the support member is sandwiched by the sandwiching member, and the sandwiched substrate is pressed downward by the pressing member at the edge. Then, after the pressing by the pressing member is released, the substrate held by the holding member is moved upward by a set distance by the supporting member. Thereby, it becomes possible to clamp by the clamping member in the state which corrected the board | substrate of the downward curvature state.
以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as modes for carrying out the present invention.
[第1実施例]
<はんだ印刷機の構成>
図1に、本発明の実施例のはんだ印刷機10を示す。はんだ印刷機10は、回路基板にクリームはんだを印刷するための装置である。はんだ印刷機10は、搬送装置20と、移動装置22と、スキージ装置24と、はんだ供給装置26と、マスク移動装置(図2参照)27と、押圧装置(図2参照)28とを備えている。
[First embodiment]
<Configuration of solder printer>
FIG. 1 shows a
搬送装置20は、図2に示すように、コンベア装置30と、クランプ装置32と、支持装置34とを備えている。コンベア装置30は、1対の搬送レール36,38と、1対のコンベアベルト40,42と、電磁モータ(図3参照)44とを有している。1対の搬送レール36,38は、X軸方向に延びるとともに、互いに向かい合った状態で、はんだ印刷機10のベース46の上に立設されている。なお、搬送レール36は、Y軸方向において、ベース46に固定的に設けられており、搬送レール38は、ボールねじ機構(図示省略)により搬送レール36に接近・離間する方向、つまり、Y軸方向にスライド可能にベース46上に設けられている。また、1対のコンベアベルト40,42は、1対の搬送レール36,38に対応して設けられており、各コンベアベルト40,42は、対応する搬送レール36,38に、ブラケット48,50を介して、X軸方向に延びるように保持されている。1対のコンベアベルト40,42は、上面において、回路基板52を支持し、その回路基板52は、電磁モータ44の駆動により、X軸方向に搬送される。
As shown in FIG. 2, the
クランプ装置32は、1対の挟持部材56,58と、電磁モータ(図3参照)60とを有している。挟持部材56は、搬送レール36の上端に固定されている。一方、挟持部材58は、搬送レール38の上端に、エアシリンダ(図3参照)61を介して、挟持部材56に接近・離間する方向、つまり、Y軸方向にスライド可能に配設されている。なお、エアシリンダ61のエア圧は任意に変更可能となっている。また、電磁モータ60は、搬送レール38をスライドさせるボールねじ機構を作動させるものであり、電磁モータ60の駆動により、搬送レール38が、搬送レール36に接近・離間する。これにより、挟持部材58が挟持部材56に接近・離間し、1対の挟持部材56,58の間の距離が任意に調整される。なお、クランプ装置32は、エンコーダ(図3参照)62を有している。エンコーダ62は、搬送レール38をスライドさせるボールねじ機構の回転角度を検出するものであり、エンコーダ62の検出値に基づいて、1対の搬送レール36,38の間の距離、つまり、1対の挟持部材56,58の間の距離が検出される。
The
支持装置34は、支持台64と、昇降装置(図3参照)66と、複数の支持ピン(図では3つ示されている)68とを有している。支持台64は、1対の搬送レール36,38の間に配設されており、昇降可能とされている。そして、昇降装置66の作動により、支持台64は、任意の高さに昇降する。また、複数の支持ピン68は、例えば、3×3列に並んだ状態、つまり、X方向に3列に並び、Y方向に3列に並んだ状態で、支持台64の上に立設されている。なお、支持ピン68は、支持台64に着脱可能とされている。
The
また、移動装置22は、図1に示すように、Y軸方向スライド機構70とX軸方向スライド機構72とによって構成されている。Y軸方向スライド機構70は、Y軸方向に移動可能にベース46上に設けられたY軸スライダ76を有している。そのY軸スライダ76は、電磁モータ(図3参照)78の駆動により、Y軸方向の任意の位置に移動する。また、X軸方向スライド機構72は、X軸方向に移動可能にY軸スライダ76の側面に設けられたX軸スライダ80を有している。そのX軸スライダ80は、電磁モータ(図3参照)82の駆動により、X軸方向の任意の位置に移動する。
Further, as shown in FIG. 1, the moving
スキージ装置24は、搬送装置20の上方において、Y軸スライダ76の下面側に取り付けられている。スキージ装置24は、スキージ(図示省略)を有しており、そのスキージは、下方に延び出す状態で、Y軸方向および、上下方向に移動可能にスキージ装置24によって保持されている。そして、スキージは、電磁モータ(図3参照)84の駆動により、Y軸方向に移動し、電磁モータ(図3参照)86の駆動により、上下方向に移動する。
The
はんだ供給装置26は、クリームはんだを供給する装置であり、クリームはんだを吐出する吐出口が、はんだ供給装置26の下面に形成されている。また、はんだ供給装置26は、X軸スライダ80に着脱可能に装着されている。
The
マスク移動装置27は、搬送装置20とスキージ装置24との間に配設されており、メタルマスクを任意の位置に移動させる。メタルマスクには、回路基板52のパッド等のパターンに合わせてパターン孔が形成されている。
The
押圧装置28は、メタルマスクと搬送装置20との間に配設されている。押圧装置28は、移動装置(図3参照)87と、押圧具(図2参照)88と、電磁モータ(図3参照)90とを有している。移動装置87は、押圧具88をXY方向の任意の位置に移動させる。押圧具88は、図2に示すように、概してブロック状をなし、上下方向に移動可能に移動装置87によって保持されている。そして、押圧具88は、電磁モータ90の駆動により上下方向に移動する。
The
さらに、はんだ印刷機10は、図3に示すように、制御装置100を備えている。制御装置100は、コントローラ102と、複数の駆動回路104とを備えている。複数の駆動回路104は、上記電磁モータ44,60,78,82,84,86,90、エアシリンダ61、昇降装置66、移動装置87に接続されている。コントローラ102は、CPU,ROM,RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路104に接続されている。これにより、搬送装置20、移動装置22、スキージ装置24、はんだ供給装置26、マスク移動装置27、押圧装置28の作動が、コントローラ102によって制御される。また、コントローラ102は、エンコーダ62に接続されている。これにより、コントローラ102は、エンコーダ62の検出値を取得し、1対の挟持部材56,58の間の距離を演算する。
Furthermore, the
<回路基板へのクリームはんだの印刷>
はんだ印刷機10では、上述した構成によって、回路基板52にクリームはんだが印刷される。具体的には、回路基板52が、コンベア装置30によって所定の作業位置まで搬送される。次に、支持装置34の支持台64が上昇され、回路基板52が、図4に示すように、複数の支持ピン68によってコンベアベルト40,42から持ち上げられる。この際、支持台64は、予め設定された設定高さHまで上昇される。この設定高さHは、回路基板52の上面と、クランプ装置32の挟持部材56,58の上面とが同じ高さ、つまり、面一となるように設定されている。なお、回路基板52が持ち上げられる際には、搬送レール38は、電磁モータ60によって搬送レール36から離間する方向に移動されている。
<Cream solder printing on circuit board>
In the
次に、回路基板52が持ち上げられると、図5に示すように、搬送レール38が、電磁モータ60によって搬送レール36に接近する方向に移動される。これにより、挟持部材58が挟持部材56に接近する方向に移動し、回路基板52が、挟持部材56,58によって挟持され、クランプされる。また、回路基板52の上に、マスク移動装置27の作動によりメタルマスク110が、載置される。なお、回路基板52の上に、メタルマスク110が載置される前に、撮像装置(図示省略)によってメタルマスク110に記されたマークと、回路基板52に記されたマークとが撮像され、その撮像データに基づいて、回路基板52とメタルマスク110との位置合わせが行われる。また、メタルマスク110のサイズは、回路基板52のサイズより大きいため、挟持部材56,58の上にも延び出しているが、回路基板52の上面と挟持部材56,58の上面とは面一とされているため、回路基板52とメタルマスク110とは密着しており、それらの間に隙間は殆ど無い。
Next, when the
回路基板52が、挟持部材56,58によってクランプされると、はんだ供給装置26が、移動装置22の作動により、回路基板52の上に載置されたメタルマスク110の所定の位置の上方に移動する。そして、はんだ供給装置26は、クリームはんだをメタルマスク110の上に供給する。はんだ供給装置26によるクリームはんだの供給が完了すると、スキージ装置24が、移動装置22の作動により、供給されたクリームはんだの上方に移動する。そして、スキージ装置24は、スキージを下方に移動させた後に、Y軸方向に移動させる。これにより、メタルマスク110の上面にクリームはんだが塗布され、パターン孔の内部にクリームはんだが入り込む。この際、回路基板52とメタルマスク110とは密着しており、それらの間に隙間がないため、回路基板52にクリームはんだを適切に印刷することが可能となる。
When the
しかしながら、回路基板52には、反りが生じているものがあり、反りが生じている回路基板52では、回路基板52とメタルマスク110との間に隙間が生じる。このため、回路基板52に適切にクリームはんだを印刷できず、印刷精度が低下する虞がある。詳しくは、例えば、回路基板52の中央部が縁部より突出した状態(以下、「上反り状態」と記載する場合がある)の回路基板52が、コンベア装置30によって搬送され、図6に示すように、その回路基板52が支持装置34によって持ち上げられる。そして、その状態で、回路基板52が挟持部材56,58によってクランプされると、回路基板52の中央部より下方に位置する縁部において、回路基板52とメタルマスク110との間に隙間が生じ、その部分では、クリームはんだの印刷が適切に行われない虞がある。また、挟持部材56,58のクランプにより、回路基板52の上反り状態が助長される。
However, some of the
このため、例えば、押圧装置28を用いて、回路基板52の上反り状態を矯正することが考えらえる。詳しくは、上反り状態の回路基板52が支持装置34によって持ち上げられている際に、図7に示すように、押圧装置28の押圧具88によって、回路基板52の中央部が押圧される。これにより、回路基板52は上反り状態が矯正される。ただし、押圧具88による押圧が解除されると、回路基板52は、上反り状態に復元する。そこで、例えば、回路基板52を支持する支持ピン68として、吸引機能を有する支持ピンを採用すれば、回路基板52を下方に向かって吸引することが可能となる。これにより、回路基板52の上反り状態への復元を防止し、回路基板52の矯正を維持することが可能となる。しかしながら、吸引機能を有する支持ピンを採用する場合には、コストアップ等が生じるため、好ましくない。
For this reason, for example, it is conceivable to correct the warping state of the
このようなことに鑑みて、はんだ印刷機10では、現状の構成物のみを利用して、上反り状態の回路基板52が、上反り状態が矯正された状態でクランプされる。詳しくは、まず、図8に示すように、回路基板52の中央部を支持するための支持ピン68、つまり、Y軸方向の中央に配列された支持ピン68が、支持台64から取り外される。そして、回路基板52が、コンベア装置30によって作業位置に搬送された後に、支持装置34の支持台64が上昇される。これにより、回路基板52が、複数の支持ピン68によってコンベアベルト40,42から持ち上げられる。この際、支持台64は、設定高さHまで上昇され、回路基板52の縁の上面は、回路基板52の反りにより、挟持部材56,58の上面より僅かに下方に位置する。
In view of the above, in the
次に、図9に示すように、押圧装置28の押圧具88によって、回路基板52の中央部が押圧される。この際、回路基板52の縁部が中央部より突出した状態(以下、「下反り状態」と記載する場合がある)となるように、回路基板52の中央部が押圧具88によって押圧される。これにより、回路基板52の上反り状態が矯正され、回路基板52の縁の上面と、挟持部材56,58の上面とが殆ど一致する。続いて、回路基板52が押圧具88によって押圧された状態で、図10に示すように、搬送レール38が、電磁モータ60によって搬送レール36に接近する方向に移動される。これにより、挟持部材58が挟持部材56に接近する方向に移動し、回路基板52が、挟持部材56,58によってクランプされる。この際、1対の挟持部材56,58の間の距離が、(X−A)となるように、電磁モータ60の作動が制御される。なお、Xは、反りが生じていない状態の回路基板52のY軸方向の長さ寸法であり、Aは、比較的小さな値(例えば、1mm程度)に設定された設定値である。これにより、回路基板52は、下反り状態で1対の挟持部材56,58によってクランプされる。そして、押圧具88による回路基板52の押圧が解除される。
Next, as shown in FIG. 9, the central portion of the
続いて、挟持部材58が、電磁モータ60によって挟持部材56から離間する方向に移動される。この際、図11に示すように、1対の挟持部材56,58の間の距離が、(X−B)となるように、電磁モータ60の作動が制御される。なお、Bは、Aより小さな値(例えば、0.3〜0.5mm程度)に設定された設定値である。これにより、回路基板52は、下反り状態に維持されるが、下反り状態が緩和された状態で、1対の挟持部材56,58によってクランプされる。この際、回路基板52は、下反り状態であるが、殆ど平坦な状態で、1対の挟持部材56,58によってクランプされる。このように、上述した手順に従って、回路基板52をクランプすることで、上反り状態の回路基板52を矯正し、殆ど平坦な状態でクランプすることが可能となる。また、回路基板52の上面と、挟持部材56,58の上面とを一致させることが可能となる。これにより、回路基板52へのクリームはんだの印刷精度を担保することが可能となる。
Subsequently, the clamping
また、下反り状態の回路基板52を従来の手法に従ってクランプしようとすると、クランプできない場合がある。詳しくは、回路基板52を1対の挟持部材56,58によってクランプするべく、図12に示すように、支持台64が設定高さHまで上昇された場合に、回路基板52の反り量が回路基板52の厚さを超えていると、回路基板52の縁が、挟持部材56の上面より上方に位置する。このような場合には、搬送レール38を搬送レール36に接近させても、挟持部材56,58によって回路基板52をクランプすることはできない。
In addition, if the
このようなことに鑑みて、はんだ印刷機10では、回路基板52を1対の挟持部材56,58によってクランプするべく、図13に示すように、支持台64が設定高さHから設定距離Cを減算した高さ(H−C)まで上昇させる。設定距離Cは、はんだ印刷機10で定められている回路基板52の反り量の許容値である。これにより、支持装置34によって支持された回路基板52の縁は、挟持部材56,58の上面より下方に位置する。なお、下反り状態の回路基板52をクランプする際には、支持台64の上に全ての支持ピン68がセットされる。
In view of the above, in the
次に、搬送レール38が、図14に示すように、電磁モータ60によって搬送レール36に接近する方向に移動される。これにより、回路基板52は、挟持部材56,58によってクランプされる。ただし、回路基板52から挟持部材58に、所定の力が加えられた場合に、挟持部材58がスライドするように、エアシリンダ61のエア圧が調整される。つまり、挟持部材56,58による回路基板52の挟持力が、所定の力より低くなるように、エアシリンダ61のエア圧が調整される。なお、その所定の力は、押圧装置28の押圧具88による押圧力に設定されている。
Next, as shown in FIG. 14, the
次に、回路基板52の両縁部が、図15に示すように、押圧装置28の押圧具88によって押圧される。これにより、回路基板52の下反り状態が矯正され、回路基板52が平坦となる。この際、押圧具88の押圧力が、回路基板52を介して、挟持部材58に伝達する。そして、その力によって、挟持部材58が、挟持部材56から離間する方向に押えられ、その方向にスライドする。これにより、回路基板52の矯正に伴う回路基板52の幅方向への伸長が、挟持部材58のスライドにより吸収される。ただし、挟持部材56,58の挟持力は生じているため、回路基板52は平坦な状態で挟持部材56,58によって挟持される。
Next, both edge portions of the
続いて、支持台64が設定距離C、上昇される。つまり、支持台64が、当初の高さ(H−C)から設定距離C、上昇されることで、図16に示すように、設定高さHまで上昇される。この際、挟持部材56,58に挟持されている回路基板52の縁が挟持部材56,58に摺動した状態で、回路基板52が持ち上げられる。これにより、回路基板52の上面と、挟持部材56,58の上面とが面一となる。このように、上述した手順に従って、回路基板52をクランプすることで、下反り状態の回路基板52を矯正し、平坦な状態でクランプすることが可能となる。また、回路基板52の上面と、挟持部材56,58の上面とを一致させることが可能となる。これにより、回路基板52へのクリームはんだの印刷精度を担保することが可能となる。
Subsequently, the
なお、第1実施例のはんだ印刷機10では、回路基板52の種類に応じて、上反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法と、下反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法との何れかが採用される。詳しくは、回路基板52は、一般的に、種類に応じて、上反り状態と下反り状態との何れかの状態となっている。つまり、例えば、A種の回路基板52は、殆ど下反り状態であり、B種の回路基板52は、殆ど上反り状態である。このため、A種の回路基板52に対するはんだの印刷作業が行われる際には、下反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法が採用され、B種の回路基板52に対するはんだの印刷作業が行われる際には、上反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法が採用される。そして、B種の回路基板52に対するはんだの印刷作業が行われる際には、複数の支持ピン68のうちの回路基板52の中央部を支持する支持ピン68が、支持台64から取り外される。
In the
[第2実施例]
第1実施例のはんだ印刷機10では、上述したように、回路基板52の種類に応じて、上反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法と、下反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法との何れかが採用される。これは、回路基板52は、一般的に、種類に応じて、上反り状態と下反り状態との何れかの状態となっているためである。しかしながら、稀に、同じ種類の回路基板52であっても、上反り状態の回路基板と下反り状態の回路基板とが混在している場合がある。つまり、A種の回路基板52は、殆ど下反り状態であるが、A種の回路基板が、稀に、上反り状態である場合がある。このようなことに鑑みて、第2実施例のはんだ印刷機では、回路基板の反り状態が検出され、検出結果に応じて、上反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法と、下反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法との何れかが採用される。
[Second Embodiment]
In the
具体的には、第2実施例のはんだ印刷機では、図17に示すように、支持台64に、上記実施例と同じ支持ピン68と、伸縮支持ピン120とが載置されている。また、押圧具88に距離センサ122が取り付けられている。なお、第2実施例のはんだ印刷機は、伸縮支持ピン120および、距離センサ122を除いて、第1実施例のはんだ印刷機10と略同じ構成である。このため、第2実施例では、伸縮支持ピン120および距離センサ122を中心に説明し、同様の機能の構成要素については、第1実施例のはんだ印刷機10と同じ符号を用いて、説明を省略する。
Specifically, in the solder printing machine of the second embodiment, as shown in FIG. 17, the same support pins 68 and extendable support pins 120 as in the above embodiment are placed on the
伸縮支持ピン120は、円筒部124と、ピン部126と、圧縮バネ128とを有している。円筒部124は、概して有底円筒状をなしている。ピン部126は、円筒部124の内部において、上端部を突出させた状態で、進退可能に保持されている。圧縮バネ128は、円筒部124の底面とピン部126の底面との間に圧縮された状態で配設されている。これにより、伸縮支持ピン120は、伸縮可能とされている。また、伸縮支持ピン120には、ストッパ(図示省略)が設けられており、ピン部126の突出量が制限されている。なお、伸縮支持ピン120の高さ寸法は、最も伸長した状態で、支持ピン68の高さ寸法と同じとされている。
The
また、複数の伸縮支持ピン120が、支持台64の上面において、Y軸方向における中央部に、X軸方向に並んで配列されている。一方、複数の支持ピン68が、支持台64の上面において、Y軸方向における両端部に、X軸方向に並んで配列されている。これにより、回路基板52は、中央部において伸縮支持ピン120により支持され、Y軸方向の両縁部において支持ピン68により支持される。
A plurality of expansion / contraction support pins 120 are arranged on the upper surface of the
また、距離センサ122は、押圧具88の側面に配設されている。距離センサ122は、下方に向かってレーザ光等を照射し、そのレーザ光が対象物により反射した光を受光する。そして、レーザ光の照射から反射光の受光までの時間に基づいて、距離センサ122と対象物との間の距離を検出する。このような原理により、距離センサ122は、コンベア装置30により搬送された回路基板52と距離センサ122との間の距離を検出する。
The
このような第2実施例のはんだ印刷機では、回路基板52が作業位置に搬送されると、距離センサ122によって、回路基板52の中央部と距離センサ122との間の距離L1と、回路基板52の縁部と距離センサ122との間の距離L2とが検出される。そして、検出値に基づいて、回路基板52の反り量ΔL(=|L1−L2|)が演算される。また、回路基板52が下反り状態であるか、上反り状態であるかが判定される。詳しくは、距離L1が距離L2より長い場合に、下反り状態であると判定され、距離L2が距離L1より長い場合に、上反り状態であると判定される。
In the solder printer of the second embodiment, when the
検出値に基づく演算および判定が終了すると、判定に応じたクランプ方法に従って、回路基板52がクランプされる。回路基板52が下反り状態である場合のクランプ方法は、第1実施例でのクランプ方法と同じであるため、説明を省略する。ただし、第2実施例においても、図13に示すように、回路基板52が支持装置34によって持ち上げられる際に、支持台64が設定高さHから設定距離Cを減算した高さ(H−C)まで上昇されるが、第2実施例での設定距離Cは、演算された回路基板52の反り量ΔLが用いられる。
When the calculation and determination based on the detection value is completed, the
これにより、許容値を超えて反っている回路基板52であっても、挟持部材56,58によってクランプすることが可能となる。詳しくは、第1実施例では、設定距離Cは、はんだ印刷機10で定められている回路基板52の反り量の許容値であった。つまり、反り量の許容値が、例えば、2mmである場合には、設定距離Cは2に設定される。このため、2mmを超えて反っている回路基板52は、クランプできない回路基板と判定されていた。一方、第2実施例では、設定距離Cは、演算された回路基板52の反り量ΔLに設定される。このため、例えば、2mmを超えて反っている回路基板52であっても、クランプすることが可能となる。
As a result, even the
また、回路基板52が上反り状態である場合のクランプ方法は、第1実施例でのクランプ方法と殆ど同じであるため、異なる箇所を中心に説明する。まず、第1実施例では、クランプ対象の回路基板が、上反り状態である場合には、支持台64から、回路基板52の中央部を支持する支持ピン68が取り外されていた。一方、第2実施例では、支持台64から、回路基板52の中央部を支持する伸縮支持ピン120は取り外されない。これは、伸縮支持ピン120は、支持ピン68と異なり、伸縮するためである。
In addition, the clamping method when the
詳しくは、クランプ対象の回路基板52が上反り状態である場合には、回路基板52が作業位置に搬送された後に、支持台64が設定高さHに上昇され、回路基板52が支持ピン68および伸縮支持ピン120によって持ち上げられる。そして、図18に示すように、押圧具88によって、回路基板52の中央部が押圧され、回路基板52は下反り状態とされる。この際、回路基板52の中央部は伸縮支持ピン120によって支持されているため、伸縮支持ピン120は押圧具88の押圧に伴って、収縮する。このように、第2実施例では、回路基板52の中央部を支持する支持ピンとして、伸縮支持ピン120が採用されているため、回路基板52の中央部を支持する支持ピンの取り外しを行う必要が無い。これにより、支持台64に伸縮支持ピン120を、常時、セットしておくことが可能となり、下反り状態の回路基板52と上反り状態の回路基板52との何れにも対応することが可能となる。
Specifically, when the
また、第1実施例では、回路基板52がクランプされる際に、エンコーダ62の検出値、つまり、1対の挟持部材56,58の間の距離を利用して、電磁モータ60の作動が制御されるが、第2実施例では、距離センサ122の検出値、つまり、距離センサ122と回路基板52との間の距離を利用して、電磁モータ60の作動が制御される。詳しくは、電磁モータ60の作動が制御される際に、距離センサ122によって、回路基板52の中央部と距離センサ122との間の距離L1が検出される。そして、その距離L1が、回路基板52の縁部と距離センサ122との間の距離L2に設定距離Dを加算した距離(L2+D)となるように、電磁モータ60の作動が制御される。これにより、回路基板52を、下反り状態に維持したままで、挟持部材56,58によってクランプすることが可能となる。なお、設定距離Dは、挟持部材56,58によってクランプされた回路基板52が僅かに下反り状態となるように設定された距離である。具体的には、例えば、第1実施例において、1対の挟持部材56,58の間の距離が(X−B)とされた状態でクランプされた回路基板52の反り量と同程度に回路基板52が反るように、設定距離Dは設定されている。
In the first embodiment, when the
このように、第2実施例のはんだ印刷機では、距離センサ122の検出結果に応じて、回路基板52が上反り状態であるか、下反り状態であるかが判定され、判定された回路基板52の反り状態に応じたクランプ方法が採用される。これにより、同じ種類の回路基板52に、上反り状態の回路基板と下反り状態の回路基板とが混在している場合であっても、適切に回路基板をクランプすることが可能となる。
As described above, in the solder printing machine according to the second embodiment, it is determined whether the
なお、制御装置100のコントローラ102は、図3に示すように、第1クランプ部130と、第2クランプ部132と、判定部134とを有している。第1クランプ部130は、上反り状態の回路基板52をクランプするための機能部である。第2クランプ部132は、下反り状態の回路基板52をクランプするための機能部である。判定部134は、距離センサ122の検出値に基づいて、回路基板52が下反り状態であるか上反り状態であるかを判定するための機能部である。
In addition, the
また、第1クランプ部130は、第1支持部材作動制御部140と、第1押圧部材作動制御部142と、第1狭持部材作動制御部144と、第2押圧部材作動制御部146と、第3狭持部材作動制御部148とを含む。第1支持部材作動制御部140は、上反り状態の回路基板52を支持する支持台64を設定高さHまで、支持装置34によって持ち上げるための機能部である。第1押圧部材作動制御部142は、第1支持部材作動制御部140の制御によって持ち上げられた回路基板52の中央部を押圧具88によって押圧するための機能部である。第1狭持部材作動制御部144は、第1押圧部材作動制御部142の制御によって押圧された回路基板52を、挟持部材56,58によって挟持するための機能部である。第2押圧部材作動制御部146は、第1押圧部材作動制御部142の制御による押圧具88の押圧を解除するための機能部である。第3狭持部材作動制御部148は、第2押圧部材作動制御部146による押圧の解除の後に、搬送レール38を作動させるための機能部である。
The
また、第2クランプ部132は、第2支持部材作動制御部150と、第2狭持部材作動制御部152と、第3押圧部材作動制御部154と、第3支持部材作動制御部156とを含む。第2支持部材作動制御部150は、下反り状態の回路基板52を支持する支持台64を高さ(H−C)まで、支持装置34によって持ち上げるための機能部である。第2狭持部材作動制御部152は、第2支持部材作動制御部150の制御によって持ち上げられた回路基板52を、挟持部材56,58によって挟持するための機能部である。第3押圧部材作動制御部154は、第2狭持部材作動制御部152の制御によって挟持された回路基板52の両縁部を押圧具88によって押圧するための機能部である。第3支持部材作動制御部156は、第3押圧部材作動制御部154の制御による押圧具88の押圧が解除された後に、設定距離C上昇させるための機能部である。
The
ちなみに、上記実施例において、搬送装置20は、搬送装置の一例である。コンベア装置30は、コンベア装置の一例である。クランプ装置32は、クランプ装置の一例である。挟持部材56,58は、挟持部材の一例である。エンコーダ62は、第1検出センサの一例である。支持ピン68は、支持部材および支持ピンの一例である。押圧具88は、押圧部材の一例である。制御装置100は、制御装置の一例である。伸縮支持ピン120は、支持部材および支持ピンの一例である。距離センサ122は、検出センサおよび第2検出センサの一例である。第1クランプ部130は、第1クランプ部の一例である。第2クランプ部132は、第2クランプ部の一例である。判定部134は、判定部の一例である。第1支持部材作動制御部140は、第1支持部材作動制御部の一例である。第1押圧部材作動制御部142は、第1押圧部材作動制御部の一例である。第1狭持部材作動制御部144は、第1狭持部材作動制御部の一例である。第2押圧部材作動制御部146は、第2押圧部材作動制御部の一例である。第3狭持部材作動制御部148は、第3狭持部材作動制御部の一例である。第2支持部材作動制御部150は、第2支持部材作動制御部の一例である。第2狭持部材作動制御部152は、第2狭持部材作動制御部の一例である。第3押圧部材作動制御部154は、第3押圧部材作動制御部の一例である。第3支持部材作動制御部156は、第3支持部材作動制御部の一例である。
Incidentally, in the above-described embodiment, the
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、はんだ印刷機の搬送装置に、本発明が適用されているが、装着作業機等の種々の対基板作業機の搬送装置に、本発明を適用することが可能である。 In addition, this invention is not limited to the said Example, It is possible to implement in the various aspect which gave various change and improvement based on the knowledge of those skilled in the art. Specifically, for example, in the above-described embodiment, the present invention is applied to the transfer device of the solder printer, but the present invention is applied to the transfer device of various anti-substrate work machines such as a mounting work machine. It is possible.
また、上記実施例では、1対の挟持部材56,58の間の距離が、エンコーダ62の検出値に基づいて演算され、間接的に検出されているが、1対の挟持部材56,58の間の距離を直接的に検出してもよい。つまり、エンコーダ62の代わりに、1対の挟持部材56,58の間の距離を検出する距離センサを設けてもよい。
In the above embodiment, the distance between the pair of clamping
また、上記実施例では、押圧具88は電磁モータ90の駆動により上下方向に移動するが、別の駆動源、例えば、エアシリンダ等の駆動により上下方向に移動してもよい。
Moreover, in the said Example, although the
20:搬送装置 30:コンベア装置 32:クランプ装置 56:挟持部材 58:挟持部材 62:エンコーダ(第1検出センサ) 68:支持ピン(支持部材) 88:押圧具(押圧部材) 100:制御装置 120:伸縮支持ピン(支持ピン)(支持部材) 122:距離センサ(検出センサ)(第2検出センサ) 130:第1クランプ部 132:第2クランプ部 134:判定部 140:第1支持部材作動制御部 142:第1押圧部材作動制御部 144:第1狭持部材作動制御部 146:第2押圧部材作動制御部 148:第3狭持部材作動制御部 150:第2支持部材作動制御部 152:第2狭持部材作動制御部 154:第3押圧部材作動制御部 156:第3支持部材作動制御部 20: Conveying device 30: Conveyor device 32: Clamp device 56: Clamping member 58: Clamping member 62: Encoder (first detection sensor) 68: Support pin (support member) 88: Pressing tool (pressing member) 100: Control device 120 : Telescopic support pin (support pin) (support member) 122: distance sensor (detection sensor) (second detection sensor) 130: first clamp unit 132: second clamp unit 134: determination unit 140: first support member operation control Unit 142: first pressing member operation control unit 144: first holding member operation control unit 146: second pressing member operation control unit 148: third holding member operation control unit 150: second support member operation control unit 152: Second holding member operation control unit 154: Third pressing member operation control unit 156: Third support member operation control unit
Claims (10)
1対の挟持部材を有し、それら1対の挟持部材の少なくとも一方を接近させ、基板の両縁を挟持することで、基板をクランプするクランプ装置と、
前記1対の挟持部材の間に配設され、基板を下方から支持する支持部材と
を備え、
前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、前記支持部材によって前記コンベア装置から持ち上げ、その持ち上げられた基板を、前記クランプ装置によってクランプする搬送装置であって、
当該搬送装置が、
前記コンベア装置の上方に配設され、基板を上方から押圧する押圧部材と、
基板の中央部が縁部より突出する状態である上反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御する第1クランプ部を有する制御装置と
を備え、
前記第1クランプ部が、
前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、予め設定された設定高さまで、前記支持部材によって持ち上げる第1支持部材作動制御部と、
前記支持部材によって持ち上げられた基板の中央部を、前記押圧部材によって下方に向かって押圧することで、基板を前記下反り状態に変形させる第1押圧部材作動制御部と、
前記押圧部材によって押圧されている基板を、前記1対の挟持部材によって挟持する第1挟持部材作動制御部と、
前記押圧部材による押圧を解除する第2押圧部材作動制御部と
を有することを特徴とする搬送装置。 A conveyor device for transporting the substrate;
A clamping device having a pair of clamping members, clamping at least one of the pair of clamping members, and clamping both edges of the substrate to clamp the substrate;
A support member disposed between the pair of sandwiching members and supporting the substrate from below;
The substrate transported to a predetermined position by the conveyor device is lifted from the conveyor device by the support member, and the transported device clamps the lifted substrate by the clamp device,
The transfer device
A pressing member disposed above the conveyor device and pressing the substrate from above;
A control device having a first clamp portion for controlling the operation of the transfer device in order to clamp the warped substrate in which the central portion of the substrate protrudes from the edge portion,
The first clamp part is
A first support member operation control unit that lifts the substrate transported to a predetermined position by the conveyor device to a preset height by the support member;
A first pressing member operation control unit that deforms the substrate into the downward warped state by pressing a center portion of the substrate lifted by the support member downward by the pressing member;
A first clamping member operation control unit for clamping the substrate pressed by the pressing member by the pair of clamping members;
And a second pressing member operation control unit for releasing the pressing by the pressing member.
1対の挟持部材を有し、それら1対の挟持部材の少なくとも一方を接近させ、基板の両縁を挟持することで、基板をクランプするクランプ装置と、
前記1対の挟持部材の間に配設され、基板を下方から支持する支持部材と
を備え、
前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、前記支持部材によって前記コンベア装置から持ち上げ、その持ち上げられた基板を、前記クランプ装置によってクランプする搬送装置であって、
当該搬送装置が、
前記コンベア装置の上方に配設され、基板を上方から押圧する押圧部材と、
基板の縁部が中央部より突出する状態である下反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御する第2クランプ部を有する制御装置と
を備え、
前記第2クランプ部が、
前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、予め設定された設定高さより設定距離低い位置まで、前記支持部材によって持ち上げる第2支持部材作動制御部と、
前記支持部材によって持ち上げられた基板を、前記1対の挟持部材によって挟持する第2挟持部材作動制御部と、
前記1対の挟持部材によって挟持された基板の縁部を、前記押圧部材によって下方に向かって押圧する第3押圧部材作動制御部と、
前記押圧部材による押圧が解除された後に、前記1対の挟持部材によって挟持された基板を、前記支持部材によって、前記設定距離、上方に移動させる第3支持部材作動制御部と
を有することを特徴とする搬送装置。 A conveyor device for transporting the substrate;
A clamping device having a pair of clamping members, clamping at least one of the pair of clamping members, and clamping both edges of the substrate to clamp the substrate;
A support member disposed between the pair of clamping members and supporting the substrate from below;
The substrate transported to a predetermined position by the conveyor device is lifted from the conveyor device by the support member, and the transported device clamps the lifted substrate by the clamp device,
The transfer device
A pressing member disposed above the conveyor device and pressing the substrate from above;
A control device having a second clamp portion for controlling the operation of the transfer device in order to clamp the substrate in a downward warped state in which the edge portion of the substrate protrudes from the central portion;
The second clamp part is
A second support member operation control unit that lifts the substrate transported to a predetermined position by the conveyor device by the support member to a position lower than a preset set height by a set distance;
A second clamping member operation control unit for clamping the substrate lifted by the support member by the pair of clamping members;
A third pressing member operation control unit that presses the edge of the substrate held by the pair of holding members downward by the pressing member;
A third support member operation control unit configured to move the substrate sandwiched by the pair of sandwiching members upward by the set distance by the support member after the pressing by the pressing member is released; A transport device.
前記設定距離が、前記検出センサによって検出された基板の反り量に相当する距離に設定されることを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 The transfer device includes a detection sensor that detects the amount of warpage of the substrate,
The transport apparatus according to claim 2, wherein the set distance is set to a distance corresponding to a warp amount of the substrate detected by the detection sensor.
前記制御装置が、
前記検出センサによって検出された基板の反り量に基づいて、クランプ予定の基板が前記下反り状態であるか否かを判定する判定部を有し、
前記第2クランプ部が、
前記判定部によってクランプ予定の基板が前記下反り状態であると判定された場合に、前記下反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御することを特徴とする請求項2または請求項3に記載の搬送装置。 The transfer device includes a detection sensor that detects the amount of warpage of the substrate,
The control device is
A determination unit that determines whether the substrate to be clamped is in the downward warping state based on the amount of warpage of the substrate detected by the detection sensor;
The second clamp part is
The operation of the transfer device is controlled to clamp the substrate in the downward warped state when the determination unit determines that the substrate to be clamped is in the downward warped state. Or the conveying apparatus of Claim 3.
前記支持部材によって持ち上げられた基板を、前記第3押圧部材作動制御部により前記押圧部材が基板を押圧する力より低い力で前記1対の挟持部材によって挟持し、
前記第3押圧部材作動制御部の前記押圧部材の押圧により、前記1対の挟持部材の少なくとも一方が移動させられることを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか1つ記載の搬送装置。 The second clamping member operation control unit is
The substrate lifted by the support member is clamped by the pair of clamping members with a force lower than the force with which the pressing member presses the substrate by the third pressing member operation control unit,
5. The transport device according to claim 2, wherein at least one of the pair of clamping members is moved by the pressing of the pressing member of the third pressing member operation control unit. .
前記制御装置が、
前記検出センサによって検出された基板の反り量に基づいて、クランプ予定の基板が前記上反り状態であるか否かを判定する判定部を有し、
前記第1クランプ部が、
前記判定部によってクランプ予定の基板が前記上反り状態であると判定された場合に、前記上反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 The transfer device includes a detection sensor that detects the amount of warpage of the substrate,
The control device is
A determination unit that determines whether or not a substrate to be clamped is in the warped state based on the amount of warpage of the substrate detected by the detection sensor;
The first clamp part is
The operation of the transfer device is controlled to clamp the warped substrate when the determination unit determines that the substrate to be clamped is in the warped state. The conveying apparatus as described in.
前記第2押圧部材作動制御部による前記押圧部材の押圧が解除された後に、基板の前記下反り状態を維持しつつ、前記下反り状態が緩和されるように、前記1対の挟持部材の少なくとも一方を移動させる第3挟持部材作動制御部を有することを特徴とする請求項1または請求項6に記載の搬送装置。 The first clamp part is
After the pressing of the pressing member by the second pressing member operation control unit is released, at least one of the pair of sandwiching members is maintained so that the downward warping state is relaxed while maintaining the downward warping state of the substrate. The conveying apparatus according to claim 1, further comprising a third clamping member operation control unit that moves one of the members.
前記第3挟持部材作動制御部が、
前記第1検出センサによって検出された距離が基板の幅より短くなるように、前記1対の挟持部材の少なくとも一方を移動させることを特徴とする請求項7に記載の搬送装置。 The transport device includes a first detection sensor for detecting a distance between the pair of clamping members,
The third clamping member operation control unit is
The transport apparatus according to claim 7, wherein at least one of the pair of holding members is moved so that a distance detected by the first detection sensor is shorter than a width of the substrate.
前記第3挟持部材作動制御部が、
前記第2検出センサによって検出される基板の中央部における検出距離が、前記第2検出センサによって検出される基板の縁部における検出距離より長くなるように、前記1対の挟持部材の少なくとも一方を移動させることを特徴とする請求項7に記載の搬送装置。 The transport device is provided above the conveyor device, and includes a second detection sensor for detecting a distance from the substrate,
The third clamping member operation control unit is
At least one of the pair of clamping members is arranged such that a detection distance at the center of the substrate detected by the second detection sensor is longer than a detection distance at an edge of the substrate detected by the second detection sensor. The transport device according to claim 7, wherein the transport device is moved.
前記複数の支持ピンのうちの基板の中央部を支持する1以上の支持ピンが、伸縮可能であることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1つに記載の搬送装置。 The support member is a plurality of support pins for supporting the substrate from below;
The transport apparatus according to claim 1, wherein one or more support pins that support a central portion of the substrate among the plurality of support pins are extendable and contractible.
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