JP2016219743A - 発光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】光取出しが良好な発光装置を提供する。
【解決手段】発光装置１０は、発光装置１０の発光面側に位置する第１の面２１と、第１の面２１に対向する第２の面２２と、第１の面２１と第２の面２２との間に位置する側面２３と、を有する発光素子２０と、樹脂を含む材料から形成され、発光素子２０の側面２３の少なくとも一部を覆い、発光面側に位置する第１の面３１を有する透光性部材３０と、透光性部材３０の外面３３を覆い、発光面側に位置する第１の面４１を有する被覆部材４０と、発光素子２０の第１の面２１と、透光性部材３０の第１の面３１及び被覆部材４０の第１の面４１を覆う波長変換部材５０と、透光性部材３０の外面３３と被覆部材４０との間に設けられ、無機材料から成る第１反射膜７１と、被覆部材４０の第１の面４１と波長変換部材５０との間に設けられ、無機材料から成る第２反射膜７２と、を含む光反射膜７０と、を備える。
【選択図】図２

Description

本開示は、発光装置に関する。

発光素子の側面を、光反射性の樹脂材料から形成された被覆部材で覆った発光装置が知られている（例えば特許文献１〜３）。これらの発光装置では、発光素子と被覆部材の間に透光性部材を配置し、発光素子の側面から出射される光を、その透光性部材を通して発光装置の発光面側へと取り出すことにより、発光装置の光取出し効率の向上を図っている。被覆部材は、ハウジングの代わりに発光装置の強度を保持する機能と、透光性部材内を通過して被覆部材に到達した光を反射する機能とを有している。

また、発光装置の発光面側に波長変換部材を配置することにより、発光素子からの光の一部を波長変換して発光素子とは異なる発光色を発する発光装置が知られている（例えば特許文献１〜３）。波長変換部材は、少なくとも発光素子および透光性部材の光取り出し面側を覆うように設けることにより、発光素子から発光面方向に出射される光と、発光素子から透光性部材を通って発光面方向に出射される光とを波長変換することができる。さらに、波長変換部材を、被覆部材の少なくとも一部を覆うように形成することもできる（例えば特許文献１〜３）。波長変換部材に入射した光の一部は、波長変換部材中の蛍光体によって波長を変換されると共に散乱され、その散乱された光の一部は、被覆部材によって反射されながら、波長変換部材の全体に伝搬する。これにより、波長変換部材の面積を広くすることにより、発光装置の発光面を拡大することができる。

特開２０１２−２２７４７０号公報 特開２０１３−０１２５４５号公報 国際公開第２０１３／００５６４６号

しかし、被覆部材の材料や厚み等によっては、被覆部材で十分に光を反射できないおそれがある。

そこで、本発明の一実施形態は、光取出しが良好な発光装置およびその製造方法を提供することを目的とする。

本発明の一実施形態に係る発光装置は、
発光装置の発光面側に位置する第１の面と、前記第１の面に対向する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に位置する側面と、を有する発光素子と、
樹脂を含む材料から形成され、前記発光素子の前記側面の少なくとも一部を覆い、前記発光面側に位置する第１の面を有する透光性部材と、
前記透光性部材の外面を覆い、前記発光面側に位置する第１の面を有する被覆部材と、
前記発光素子の前記第１の面と、前記透光性部材の前記第１の面及び前記被覆部材の前記第１の面を覆う波長変換部材と、
前記透光性部材の前記外面と前記被覆部材との間に設けられ、無機材料から成る第１反射膜と、前記被覆部材の前記第１の面と前記波長変換部材との間に設けられ、無機材料から成る第２反射膜と、を含む光反射膜と、を備える。

本発明の一実施形態に係る発光装置を製造する方法は、
波長変換部材上に、発光素子を配置する工程と、
前記発光素子の側面を透光性部材で覆う工程と、
前記透光性部材の外面を無機物である第１反射膜で覆う工程と、
前記透光性部材から露出した前記波長変換部材を、無機物である第２反射膜で覆う工程と、
前記第１反射膜及び第２反射膜を被覆部材で覆う工程と、を含む。

本発明の一実施形態によれば、機械的強度の低下および光漏れ増加を抑制しつつ、被覆部材の厚さを薄くすることができる。

図１は、実施の形態１に係る発光装置の概略平面図である。 図２は、図１のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。 図３は、図１のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。 図４は、図２に示す発光素子の拡大断面図である。 図５（ａ）、図５（ｂ）は、実施の形態１に係る発光装置の第１の製造方法を説明するための概略平面図である。 図６（ａ）、図６（ｂ）は、実施の形態１に係る発光装置の第１の製造方法を説明するための概略平面図である。 図７（ａ）、図７（ｂ）は、実施の形態１に係る発光装置の第１の製造方法を説明するための概略平面図である。 図８（ａ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った概略断面図、図８（ｂ）は、図５（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿った概略断面図、図８（ｃ）は、図６（ａ）のＤ−Ｄ線に沿った概略断面図である。 図９（ａ）は、図６（ｂ）のＥ−Ｅ線に沿った概略断面図、図９（ｂ）は、図７（ａ）のＦ−Ｆ線に沿った概略断面図、図９（ｃ）は、図７（ｂ）のＧ−Ｇ線に沿った概略断面図である。 図１０（ａ）、図１０（ｂ）は、実施の形態１に係る発光装置の第２の製造方法を説明するための概略平面図である。 図１１（ａ）は、図１０（ａ）のＨ−Ｈ線に沿った概略断面図、図１１（ｂ）は、図１０（ｂ）のＩ−Ｉ線に沿った概略断面図である。 図１２は、実施の形態２に係る発光装置の概略平面図である。 図１３は、図１２のＪ−Ｊ線に沿った概略断面図である。

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」及び、それらの用語を含む別の用語）を用いる。それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が限定されるものではない。また、複数の図面に表れる同一符号の部分は同一の部分または部材を示す。

＜実施の形態１＞
図１、図２（ａ）に示す本実施の形態に係る発光装置１０は、発光素子２０と、発光素子２０の側面２３側に設けられた透光性部材３０と、透光性部材３０の外面３３を覆う被覆部材４０とを含む。発光装置１０は、発光面として機能する第１の面（上面）１１側に、波長変換部材５０を備えることができる。波長変換部材５０は、発光素子２０の第１の面（上面）２１、透光性部材３０の第１の面（上面）２１、および被覆部材４０の第１の面（上面）４１を覆っている。被覆部材４０と透光性部材３０との間、および被覆部材４０と波長変換部材５０との間には、光反射膜７０が設けられている。
被覆部材４０と透光性部材３０との間に光反射膜７０を備えることにより、発光素子２０から透光性部材３０を通過する光が被覆部材４０に到達する前に、その光を光反射膜７０で反射することができる。また、被覆部材４０と波長変換部材５０との間に光反射膜７０を備えることにより、波長変換部材５０の内部を伝搬する光が被覆部材４０に到達する前に、その光をその光を光反射膜７０で反射することができる。よって、被覆部材４０の光反射率の低下を考慮せずに、被覆部材４０を任意に設計することができる。

図４に示すように、発光素子２０は、透光性基板２７と、透光性基板２７の下面側に形成された半導体積層体２８とを含むことができる。発光素子２０は、透光性基板２７側の第１の面（上面）２１と、第１の面２１と対向する半導体積層体２８側の第２の面（下面）２２と、第１の面２１と第２の面２２との間に位置する複数の側面２３とを有している。第１の面２１は、発光装置１０の発光面側に位置する。
透光性基板２７としては、例えばサファイア基板が利用できる。
発光素子２０の第２の面（下面）２２側には、発光素子２０に通電するための一対の電極２５１、２５２が設けられている。なお、本明細書において、発光素子２０の「第２の面２２」は、電極２５１、２５２を含まない状態における発光素子２０の面を指している。よって、本実施の形態では、第２の面２２は、半導体積層体２８の下面と一致する。

再び図２を参照すると、発光素子２０の側面２３は、透光性部材３０によって覆われている。透光性部材３０は、発光素子２０の側面２３から出射される光を発光装置１０の発光面（第１の面）１１方向に導光する。発光素子２０の側面２３と被覆部材４０との間に透光性部材３０を設けることにより、発光素子２０の側面２３に到達した光は、側面２３から透光性部材３０へと取り出すことができる。このように、発光素子２０の側面２３に透光性部材３０を設けることにより、光の損失を抑制して、発光装置１０の光取出し効率を向上できる。

透光性部材３０の外面３３は、発光素子２０の第２の面２２側から第１の面２１側に向かって外向きに傾斜するのが好ましい。つまり、図２に示すような断面図において、透光性部材３０の左右の外面３３が、発光装置１０の発光面（第１の面）１１に向かって広がっているのが好ましい。発光素子２０の側面２３から出射されて、透光性部材３０の中を伝搬する光は、傾斜した外面３３に到達する。ここで、外面３３を覆う光反射膜７０で光を反射したときに、光を発光装置１０の第１の面１１の方向に向けることができる。これにより、発光装置１０の光取出し効率を向上させることができる。

図２に示す発光素子２０の断面図において、側面２３と透光性部材３０の外面３３とのなす角度（これを「傾斜角度θ_１」とする）は、４０°〜６０°であるのが好ましく、例えば４５°にすることができる。傾斜角度θ_１が大きいと、透光性部材３０の第１の面３１の外形（図１では、略円形に描かれている）が大きくなり、光取出し効率が向上する。一方、傾斜角度θ_１が小さいと、第１の面３１の外形が小さくなるので、上面視における発光装置１０の一辺の寸法を小さくすることができる（すなわち、発光装置１０を小型化できる）。光取出し効率と、発光装置１０の小型化とを考慮すると、傾斜角度θ_１＝４５°であるのが最適である。

発光素子２０の側面２３が、第２の面２２に対して傾斜している場合には、透光性部材３０の効果が顕著になる。例えば、発光素子２０の製造工程において、透光性基板２７（例えばサファイア基板）の劈開によって発光素子２０を個片化している場合には、発光素子２０の側面２３が第２の面２２に対して垂直にならない場合がある。例えば、断面視において、発光素子２０の外形は、平行四辺形（図３参照）または台形となり得る。発光素子２０の第１の面２１と第２の面２２が平行で、対向する２つの側面２３が平行で、各側面２３は、第１の面２１および第２の面２２に対して傾斜する。このような発光素子２０の側面２３を、透光性部材３０を設けずに被覆部材４０で直接覆った場合、一方の側面２３については第２の面２２とのなす角度が鈍角になるので、当該一方の側面２３を覆う被覆部材４０で反射された光は、発光素子２０の第１の面２１に向かってそのまま発光装置１０の発光面（第１の面１１）から外部に取り出され得る。しかし、他方の側面２３については、第２の面２２とのなす角度が鋭角になるので、当該他方の側面２３を覆う被覆部材４０で反射された光は、発光素子２０の第２の面２２に向かってしまい、発光素子２０内から取り出される前に、発光素子２０内で光の強度が減衰し得る。この他方の側面２３を透光性部材３０で覆うことにより、他方の側面２３に到達した光は、第２の面２２側に反射される代わりに、透光性部材３０を通して発光装置１０の第１の面１１側に取り出すことができる。

半導体積層体２８は、第１導電型半導体層２８１、発光層２８２および第２導電型半導体層２８３の３つの半導体層を含んでいる（図４）。図２を参照すると、発光素子２０（正確には、図４に示す半導体積層体２８の発光層２８２）で発光した光は、半導体積層体２８から透光性基板２７を通って、または半導体積層体２８から発光素子２０の側面２３および透光性部材３０を通って、発光装置１０の第１の面１１側に取り出される。透光性部材３０は、発光素子２０の側面２３の少なくとも一部を覆っている。
透光性部材３０が側面の一部２３を覆う場合には、半導体積層体２８の側面に露出した３つの半導体層２８１、２８２、２８３のうち、第１導電型半導体層２８１の側面および発光層２８２の側面は全て透光性部材３０で覆われているのが好ましい。

図２に示すように、透光性部材３０が、さらに発光素子２０の第１の面２１の全面を覆ってもよい。発光素子２０の第１の面２１上に存在する膜状の透光性部材３０ｔにより、発光素子２０の第１の面２１を保護することができる。また、膜状の透光性部材３０ｔは、第１の面２１と波長変換部材５０とを接着させる接着部材としても機能しうる。

図２に示すように、被覆部材４０は、透光性部材３０の外面３３を覆っている。被覆部材４０と透光性部材３０の外面３３の間には、後述する光反射膜７０（第１の反射膜７１）が配置されている。被覆部材４０は、光の反射率の高い材料（光反射性材料）から形成されていても、光の反射率の低い、例えば光の透過率や光の吸収率の高い材料から形成されていてもよい。被覆部材４０は、さらに、発光素子２０の電極２５１、２５２の側面２５１ｃ、２５２ｃと、発光素子２０の第２の面（下面）２２のうち電極２５１、２５２が設けられていない部分と、を覆っていてもよい。

発光装置１０の第１の面１１側に設けられた波長変換部材５０は、発光素子２０の第１の面（上面）２１、透光性部材３０の第１の面（上面）３１、及び被覆部材４０の第１の面（上面）４１を覆っている。それらの第１の面（上面）２１、３１、４１は、発光装置１０の発光面（第１の面１１）側に位置している。波長変換部材５０と被覆部材４０の第１の面４１との間には、後述する光反射膜７０（第２反射膜７２）が配置されている。

発光装置１０は、発光素子２０で発光した光、および波長変換部材５０で波長変換された光を発光面（発光装置１０の第１の面１１）側に反射するための光反射膜７０を備えることができる。光反射膜７０は、第１反射膜７１、第２反射膜７２、第３反射膜７３および第４反射膜７４を含み得る。第１〜第４反射膜について、個々に説明する。

（第１反射膜７１）
透光性部材３０の外面３３と被覆部材４０との間には、第１反射膜７１が設けられている。これにより、発光素子２０の側面２３から透光性部材３０に取り出された光を、第１反射膜７１で反射して、発光装置１０の第１の面（上面）１１側から取り出すことができる。

第１反射膜７１を設けない場合、透光性部材３０の外面３３は、被覆部材４０で覆われる。被覆部材４０に、光反射率の高い材料（例えば白色の樹脂材料）を使用することにより、光を透光性部材３０の外面３３を覆う被覆部材４０で反射させることは可能である。しかし、被覆部材４０の壁厚が薄い場合には、光の一部が被覆部材４０を透過してしまう恐れがある。また、被覆部材４０に添加する添加物には、光反射率を低下させるものを選択できない。例えば、カーボンブラックは黒色で光を吸収するため、カーボンブラックを被覆部材４０に添加すると、透光性部材３０の外面３３に到達した光の一部が被覆部材４０に吸収され得るため、発光装置１０の光取出し効率が低下するおそれがある。

しかしながら、透光性部材３０と被覆部材４０との間に第１反射膜７１を設けることにより、透光性部材３０の外面３３に到達した光は第１反射膜７１によって実質的に全て反射され、被覆部材４０に到達しない。そのため、（被覆部材４０の光反射率が低いことに起因する）発光装置１０の光取出し効率の低下を抑制できる。これにより、例えば、被覆部材４０に、任意の添加物（例えば、カーボンブラック等の添加物）を添加することができる。

（第２反射膜７２）
被覆部材４０の第１の面４１と波長変換部材５０の第２の面５２との間には、第２反射膜７２が設けられている。これにより、波長変換部材５０で波長変換された後に被覆部材４０の第１の面４１方向に向かう光を第２反射膜７２で反射して、発光装置１０の第１の面１１側から取り出すことができる。

発光素子１０で発光した光は、発光素子２０の上面２１から膜状の透光性部材３０ｔを通って、または透光性部材３０の上面３１から、波長変換部材５０に入射する。波長変換部材５０は、蛍光体等の波長変換材料を含んでおり、それらの波長変換材料に光が照射されることにより、光の波長が変換される。このとき、波長変換された光は波長変換材料によって散乱され、その一部は、波長変換部材５０の第２の面（下面）５２に向かう。
第２反射膜７２を設けない場合、散乱光の一部は、波長変換部材５０の第２の面５２と接触する被覆部材４０の第１の面（上面）４１に向かう。被覆部材４０に、光反射率の高い材料（例えば白色の樹脂材料）を使用することにより、その光を、被覆部材４０の第１の面４１で反射させることは可能である。しかし、カーボンブラック等の光反射率を低下させ得る添加物を被覆部材４０に添加すると、波長変換部材５０の第２の面５２に到達した光の一部が被覆部材４０に吸収され得るため、発光装置１０の光取出し効率が低下する。

しかしながら、波長変換部材５０と被覆部材４０との間に第２反射膜７２を設けることにより、被覆部材４０の第１の面４１に到達した光は第２反射膜７２によって実質的に全て反射され、被覆部材４０に到達しない。そのため、（被覆部材４０の光反射率が低いことに起因する）発光装置１０の光取出効率の低下が抑制でき、被覆部材４０に、任意の添加物（例えば、カーボンブラック等の添加物）を添加することができる。

（第３反射膜７３、第４反射膜７４）
電極２５１、２５２の側面２５１ｃ、２５２ｃと被覆部材４０との間に、第３反射膜７３を設けてもよい。また、発光素子２０の第２の面２２のうち、電極２５１、２５２が形成されていない領域（これを「露出領域」と称する）と被覆部材４０との間に、第４反射膜７４を設けてもよい。これにより、発光素子２０の発光層２８２（図４参照）で発生して、発光素子２０の第２の面（下面）２２方向に向かう光を、第３反射膜７３で効率よく反射して、発光素子２０の側面２３または第１の面（上面）２１から、発光素子２０の外に取り出すことができる。

第３反射膜７３を設けない場合、発光素子２０の第２の面２２の露出領域は、被覆部材４０で覆われる。被覆部材４０に、光反射率の高い材料（例えば白色の樹脂材料）を使用することにより、露出領域に向かう光を、発光素子２０の第２の面２２で反射させることは可能である。しかし、カーボンブラック等の光反射率を低下させ得る添加物を被覆部材４０に添加すると、発光素子２０の露出領域に到達した光の一部が被覆部材４０に吸収され得るため、発光装置１０の光取出し効率が低下する。

しかしながら、発光素子２０の露出領域と被覆部材４０との間に第４反射膜７４を設けることにより、発光素子２０の第２の面２２の露出領域に到達した光は第４反射膜７４によって実質的に全て反射され、被覆部材４０に到達しない。そのため、（被覆部材４０の光反射率が低いことに起因する）発光装置１０の光取出効率の低下が抑制でき、被覆部材４０に、任意の添加物（例えば、カーボンブラック等の添加物）を添加することができる。

なお、発光素子２０の下面２２に設けられた電極２５１、２５２に向かう光は、電極２５１、２５２によって反射されるので、電極２５１、２５２の側面２５１ｃ、２５２ｃを覆う第３反射膜７３に到達する光は実質的にない。しかしながら、第３反射膜７３を設けることにより、第２反射膜７２と電極２５１、２５２の側面２５１ｃ、２５２ｃとの間に隙間が生じるのを抑制して、発光装置１０の光取出し効率を向上させることができる。

上述の通り、第１反射膜７１、第３反射膜７３、第４反射膜７４は、発光素子２０の発光層２８２（図４参照）で発生した光の反射に寄与する。一方、第２反射膜７２は、主に、波長変換部材５０で波長変換された光の反射に寄与する。このように、反射膜の反射すべき光の波長は、光反射膜７０の部位によってそれぞれ異なる。

また、第１反射膜７１は透光性部材３０との密着性が高いのが好ましく、第２反射膜７２は波長変換部材５０との密着性が高いのが好ましく、第３反射膜７３は電極２５１、２５２との密着性が高いのが好ましく、そして第４反射膜７４は、半導体積層体２８との密着性が高いのが好ましい。このように、光反射膜７０の接着性を向上すべき対象は、光反射膜７０の部位によってそれぞれ異なる。

よって、光反射膜７０の第１〜第４反射膜７１〜７４を、それぞれ好ましい材料から形成することもできる。しかしながら、各反射膜を全て別部材で形成すると、各反射膜を製造する工程を個々に設ける必要があり、製造工程の複雑化と発光装置１０の製造コストの増加とに繋がりうる。

製造コストを抑制するためには、第１〜第４反射膜７１〜７４のすくなくとも２つ以上が同一の材料から形成されるのが好ましい。これにより、製造工程の簡略化を図ることができる。例えば、第１反射膜７１と第２反射膜７２とを同一の材料から形成することができる。これにより、第１反射膜７１と第２反射膜７２とを同一の工程で形成できるので、製造工程の簡略化を図ることができる。また、第１反射膜７１と第２反射膜７２とを連続膜から形成できるので、第１反射膜７１と第２反射膜７２の間に隙間が発生するのを抑制することができる。

光反射膜７０は無機材料から形成することができる。例えば、誘電体多層膜、金属膜などの無機材料から形成できる。なお、光反射膜７０の一部を誘電体多層膜、別の一部を金属膜から形成してもよく、光反射膜７０の全体を誘電体多層膜または金属膜のいずれか一方から形成してもよい。

誘電体多層膜は絶縁体材料の多層膜から形成されるため、電極２５１、２５２および半導体積層体２８の表面に直接形成しても短絡が生じない点で有利である。よって、電極２５１、２５２と接触し得る第３反射膜７３と、電極２５１、２５２および半導体積層体２８と接触し得る第４反射膜７４とは、誘電体多層膜から形成するのが好ましい。
誘電体多層膜は、特定波長の光を反射するように設計されるため、反射できる光の波長範囲が狭い。第３反射膜７３および第４反射膜７４は、主に、発光素子２０から発せられる光の反射に寄与するため、反射可能な波長域の狭い誘電体多層膜であっても、高効率で光を反射させることができる。

金属膜は、比較的広範囲の波長域で高い反射率を有する。よって、金属膜は短絡の問題がなく、波長の異なる光が混在しうる部分に形成するのに適している。第１反射膜７１および第２反射膜７２は、電極２５１、２５２および半導体積層体２８と接触しないので、金属膜から形成するのが好ましい。特に、第２反射膜７２は、発光素子２０から発せられる光と、波長変換部材５０で波長変換された光とを含む混合光を反射する必要があるため、反射可能な波長域の広い金属膜（例えば、ＡｇまたはＡｇ合金の金属膜）から形成するのが好ましい。

第３反射膜７３および第４反射膜７４を金属膜から形成することもできるが、その場合には、電極２５１、２５２の側面２５１ｃ、２５２ｃおよび発光素子２０の第２の面２２の露出領域を、透光性の絶縁膜（例えば酸化ケイ素）で覆い、その絶縁膜の上に金属膜から成る第３反射膜７３および第４反射膜７４を形成する。

さらに、第１〜第４反射膜７１〜７４は、誘電体多層膜と金属膜とを積層した積層反射膜としてもよい。具体的には、発光素子２０側に誘電体多層膜を配置し、被覆部材４０側に金属膜を配置する。発光素子２０の半導体積層体２８および電極２５１、２５２と、金属膜との間に誘電体多層膜が配置されるので、半導体積層体２８および電極２５１、２５２と金属層との短絡を防止できる。なお、発光素子２０から発せられる光と、波長変換部材５０で波長変換された光とを含む混合光の場合、その一部の光は積層反射膜を通過し得る。誘電体多層膜を通過した一部の光は、誘電体多層膜を覆う金属層によって反射することができるので、光が被覆部材４０に到達するのを抑制できる。

＜第１の製造方法＞
図５〜図９を参照しながら、本実施の形態に係る発光装置１０の第１の製造方法について説明する。第１の製造方法では、複数の発光装置１０を同時に製造することができる。

工程１−１．透光性部材３０の配置
波長変換シート５００の第２の面５２０上に、透光性部材３０を形成するための液状樹脂材料３００を、分離した複数の島状に塗布する（図５（ａ）、図８（ａ））。このとき、比較的大きい波長変換シート５００を用いて、１枚の波長変換シート５００の上に複数の島状の液状樹脂材料３００を配置する。島状に設けられた各液状樹脂材料３００は、平面視において任意の形状にすることができ、例えば、円形、楕円形、正方形、長方形が挙げられる。なお、隣接する島状の液状樹脂材料３００の間隔が広すぎると、同時に形成できる発光装置１０の個数が減少して、発光装置１０の量産の効率が悪くなるので、液状樹脂材料３００は適切な間隔で配置するのが望ましい。

工程１−２．発光素子２０の固定と液状樹脂材料３００の硬化
図５（ｂ）、図８（ｂ）に示すように、島状の各液状樹脂材料３００の上に、発光素子２０を配置する。このとき、発光素子２０の第１の面２１を、波長変換部材５０の第２の面５２と向かい合わせて配置する。発光素子２０を島状の液状樹脂材料３００の上に配置するだけで、もしくは配置した上で発光素子２０を押圧することにより、表面張力によって液状樹脂材料３００は発光素子２０の側面２３に這い上がり、液状樹脂材料３００の外面３０３（後の透光性部材３０の外面３３）は下向きに拡がった形状になる。その後に液状樹脂材料３００を加熱等によって硬化させて、透光性部材３０を得る。
液状樹脂材料３００の平面視の形状は、発光素子２０の配置または押圧により変形し、最終製品である発光装置１０が備える透光性部材３０の第１の面３１（図１、図２参照）の外形とほぼ一致する形状となる。

なお、この製造方法では、液状樹脂材料３００の一部が、波長変換シート５００と発光素子２０との間に、膜状に存在する。この膜状の液状樹脂材料３００を硬化して形成される膜状の透光性部材３０ｔは、波長変換シート５００と発光素子２０との接着剤としても機能しうる。膜状の透光性部材３０ｔの厚さは、接着性と発光装置１０の放熱性を考慮して決定するのが好ましい。具体的には、図１、図２に示す発光装置１０を発光させたときに、波長変換部材５０からの発熱を、発光素子２０を経由して実装基板側に効率よく伝導させることができるように、膜状の透光性部材３０ｔの厚さは、例えば２〜３０μｍとすることができ、４〜２０μｍが好ましく、５〜１０μｍ程度が最も好ましい。

工程１−３．光反射連続膜７００の形成
図６（ａ）、図８（ｃ）に示すように、発光素子２０、透光性部材３０および波長変換シート５００を、光反射連続膜７００で覆う。この光反射連続膜７００は、各発光装置１０に個片化した後に、光反射膜７０となる（図１、図２参照）。光反射連続膜７００は、透光性部材３０の外面３３を覆う第１部分７１０（個片化後の第１反射膜７１）と、透光性部材３０から露出した波長変換シート５００を覆う第２部分７２０（個片化後の第２反射膜７２）とを含む。光反射連続膜７００は、さらに、電極２５１、２５２の側面２５１ｃ、２５２ｃを覆う第３部分７３０（個片化後の第３反射膜７３）と、発光素子２０の第２の面２２の露出領域を覆う第４部分７４０（個片化後の第４反射膜７４）とを含み得る。さらに、電極２５１、２５２の表面２５１ｓ、２５２ｓを覆う第５部分７５０も含み得る。

光反射連続膜７００を構成する第１〜第４部分７１０〜７４０は、例えばスパッタリング、ＣＶＤ、塗布、スプレー等の成膜法により形成することができる。第１〜第４部分７１０〜７４０は、個別に形成することもできるが、同時に形成するのが好ましい。
光反射連続膜７００が金属材料から形成される場合、電極２５１、２５２の表面と発光素子２０の第２の面２２（半導体積層体２８が露出している）とに絶縁膜を形成して、光反射連続膜７００と、電極２５１、２５２および半導体積層体２８とを絶縁する。あるいは、光反射連続膜７００のうち、第３部分と第４部分７３０、７４０（電極２５１、２５２と、発光素子２０の第２の面２２とを覆う部分）を除去して、光反射連続膜７００と、電極２５１、２５２および半導体積層体２８との短絡を防止してもよい。

なお、第１反射膜、第２反射膜、第３反射膜及び第４反射膜から成る群から選択される２つ以上の反射膜が同一の材料から成る場合、それら同一の材料からなる反射膜を同時に形成することができる。例えば、第１反射膜と第２反射膜が金属膜であり、第３反射膜と第４反射膜が誘電体多層膜や絶縁性の微粒子の層である場合には、第１反射膜と第２反射膜、第３反射膜と第４反射膜をそれぞれ同一の工程で製造できる。

工程１−４．被覆部材４００の形成
透光性部材３０の外面３３および波長変換シート５００の第２の面５２０を覆う光反射連続膜７００（第１部分７１０、第２部分７２０）、被覆部材４００で覆う（図６（ｂ）、図９（ａ））。この被覆部材４００は、各発光装置１０に個片化した後に、被覆部材４０となる。さらに、発光素子２０の第２の面２２の露出部分および電極２５１、２５２の側面２５１ｃ、２５２ｃを覆う光反射連続膜７００（第３部分７３０、第４部分７４０）も、被覆部材４００で覆うのが好ましい。発光素子２０の電極２５１、２５２の表面２５１ｓ、２５２ｓを覆う光反射連続膜７００（第５部分７５０）も被覆部材４００で覆われるように、被覆部材４００の厚さ（−ｚ方向の寸法）を調節する。図９（ａ）に示すように、波長変換シート５００上に配置された複数の発光素子２０の周囲に設けた複数の透光性部材３０は、連続する１つの被覆部材４００で覆われる。
その後、発光素子２０の電極２５１、２５２が露出するように、公知の加工方法により被覆部材４００および光反射連続膜７００の第５部分７５０を除去する（図７（ａ）、図１１（ｂ））。

工程１−５．発光装置１０の個片化
隣接する発光素子２０の中間を通る破線Ｘ_１、破線Ｘ_２、破線Ｘ_３および破線Ｘ_４（図８（ｂ）、図１１（ａ））に沿って、被覆部材４００、光反射連続膜７００および波長変換シート５００をダイサー等で切断する。これにより、個々の発光装置１０に個片化される（図７（ｂ）、図９（ｂ））。このように、発光素子２０を１つ含む発光装置１０を、同時に複数製造することができる。

なお、個片化した発光装置１０において、発光装置１０の側面１３（図７（ｂ）に示す被覆部材４０の側面４０ｃ）に透光性部材３０が露出すると、発光素子２０からの発光が、透光性部材３０を通って発光装置１０の側面１３から横方向に漏れてしまう。よって、透光性部材３０が発光装置１０の側面１３から露出することのないように、隣接する発光素子２０間の間隔や、透光性部材３０の粘度等を調節するのが好ましい。

この製造方法によれば、波長変換シート５００上に液状樹脂材料３００を島状に塗布した上に発光素子２０を配置することで、発光素子２０の接着と透光性部材３０の形成を同時に行うことができる。これにより、量産性を向上させることができる。。

＜第２の製造方法＞
図１０〜図１１を参照しながら、本実施の形態に係る発光装置１０の第２の製造方法について説明する。液状樹脂材料３００を形成する前に、波長変換シート５００上に発光素子２０を固定する点で第１の製造方法と異なる。その他の点については、第１の製造方法と同様である。なお、第１の製造方法と同様の工程については、説明を省略する。

工程２−１．発光素子２０の固定
波長変換シート５００の第２の面５２０上に発光素子２０を配置する（図１０（ａ）、図１１（ａ））。このとき、発光素子２０の第１の面２１を、波長変換部材５０の第２の面５２と向かい合わせて配置する。波長変換シート５００は、各発光装置１０に個片化した後に、波長変換部材５０となる。比較的大きい波長変換シート５００を用いて、１枚の波長変換シート５００の上に、複数の発光素子２０を配置する。隣接する発光素子２０は、所定の間隔をあけて配置される。なお、隣接する発光素子２０の間隔が広すぎると、同時に形成できる発光装置１０の個数が減少して、発光装置１０の量産の効率が悪くなるので、発光素子２０は、適切な間隔で配置するのが望ましい。
発光素子２０は、透光性の接着剤等により波長変換部材５０に固定することができる。また、波長変換部材５０自体が接着性を有する場合（半硬化状態等である場合）には、接着剤を使わずに固定してもよい。

工程２−２．透光性部材３０の形成
発光素子２０の側面２３の一部と、波長変換部材５０の第２の面５２のうち発光素子２０の近傍領域とを覆うように、透光性部材３０を形成する（図１０（ｂ）、図１１（ｂ））。透光性部材３０の原材料となる液状樹脂材料３０Ｌを、ディスペンサ等を用いて、発光素子２０と波長変換部材５０との境界に沿って塗布する。ある発光素子２０の周囲に形成された液状樹脂材料３０Ｌと、その発光素子２０と隣接して配置された発光素子２０の周囲に形成された液状樹脂材料３０Ｌとが接触しないように、液状樹脂材料３０Ｌを形成する。液状樹脂材料３０Ｌは、波長変換部材５０の上に広がるとともに、表面張力によって発光素子２０の側面２３を這い上がる。その後に、液状樹脂材料３０Ｌを加熱等によって硬化させて、透光性部材３０を得る。

その後、第１の製造方法の工程１−３．と同様に光反射膜７０を形成し、工程１−４．と同様に被覆部材４００を形成し、工程１−５．と同様に、発光装置１０を個片化する。これにより、発光素子２０を１つ含む発光装置１０を、同時に複数製造することができる。
この製造方法によれば、発光素子２０と波長変換部材５０との間に、膜状の透光性部材３０ｔ（図２参照）が形成されない。よって、第２の製造方法は、発光素子２０と波長変換部材５０とを直接接触させたい場合、またはそれらの間に、透光性部材３０とは異なる部材を配置したい場合に好適である。

＜実施の形態２＞
図１２、図１３に示すように、本実施の形態に係る発光装置１５は、実施の形態１に係る発光装置１０と比較して、波長変換部材５０１の側面５０１ｂが被覆部材４０３で覆われている点と、被覆部材４０３が２層構造になっている点で相違する。その他の点については、実施の形態１と同様である。

本実施の形態に係る発光装置１５は、発光素子２０と、発光素子２０の第１の面２１を覆う波長変換部材５０１と、発光素子２０の側面２３側に設けられた透光性部材３０と、透光性部材３０の外面３３を覆う被覆部材４０３とを含んでいる。本実施の形態では、被覆部材４０３は、波長変換部材５０１の側面５０１ｂを覆う第１の被覆部材４０１と、透光性部材３０の外面３３を覆う第２の被覆部材４０２とを含む。

波長変換部材５０１の側面５０１ｂを被覆部材４０３（第１の被覆部材４０１）で覆うことにより、発光素子２０からの発光が、波長変換部材５０１の内部を伝搬して側面５０１ｂから横方向に漏れるのを抑制できる。発光装置１５からの発光の大部分は、発光装置１５の発光面として機能する第１の面（上面）１６から取り出される。すなわち、発光装置１５からの光は、ほぼｚ方向に出射されるので、発光装置１５の光の指向性を高めることができる。

本実施の形態では、光反射膜７０は、実施の形態１と同様に、被覆部材４０と透光性部材３０の外面３３との間、被覆部材４０と波長変換部材５０１との間、被覆部材４０と発光素子２０電極２５１、２５２の側面との間、および被覆部材４０と発光素子２０の下面の露出部との間に設けられている。さらに、本実施の形態では、第１の被覆部材４０１と第２の被覆部材４０２との間に形成されていてもよい。

以下に、実施の形態１〜３の発光装置１０の各構成部材に適した材料等について説明する。
（発光素子２０）
発光素子２０としては、例えば発光ダイオード等の半導体発光素子を用いることができる。半導体発光素子は、透光性基板２７と、その上に形成された半導体積層体２８とを含むことができる。

（透光性基板２７）
発光素子２０の透光性基板２７には、例えば、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）、スピネル（ＭｇＡｌ_２Ｏ_４）のような透光性の絶縁性材料や、半導体積層体２８からの発光を透過する半導体材料（例えば、窒化物系半導体材料）を用いることができる。

（半導体積層体２８）
半導体積層体２８は、複数の半導体層を含む。半導体積層体２８の一例としては、第１導電型半導体層（例えばｎ型半導体層）２８１、発光層（活性層）２８２および第２導電型半導体層（例えばｐ型半導体層）２８３の３つの半導体層を含むことができる（図４参照）。半導体層には、例えば、ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体、ＩＩ−ＶＩ族化合物半導体等の半導体材料から形成することができる。具体的には、Ｉｎ_ＸＡｌ_ＹＧａ_{１−Ｘ−Ｙ}Ｎ（０≦Ｘ、０≦Ｙ、Ｘ＋Ｙ≦１）等の窒化物系の半導体材料（例えばＩｎＮ、ＡｌＮ、ＧａＮ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＩｎＧａＡｌＮ等）を用いることができる。

（電極２５１、２５２、２５７、２５８）
発光素子２０の電極２５１、２５２、２５７、２５８としては、電気良導体を用いることができ、例えばＣｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｓｎ等の金属が好適である。
一対の電極を構成する２つの電極２５１、２５２の各々は、任意の形状にすることができる。例えば、図１〜２に示す発光装置１０では、電極２５１、２５２は、一方向（ｙ方向）に伸びた直方体とすることができる。電極２５１、２５２は、同じ形状でなくてもよい。また、２つの電極２５１、２５２は、互いに離間していれば、任意に配置することができる。図１に示すように、本実施の形態では、２つの電極２５１、２５２は、各電極の長軸がｙ方向と一致するように平行に配置されている。

（透光性部材３０）
透光性部材３０は、透光性樹脂、ガラス等の透光性材料から形成することができる。透光性樹脂としては、特に、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性の透光性樹脂であるのが好ましい。透光性部材３０は発光素子２０の側面２３と接触しているので、点灯時に発光素子２０で発生する熱の影響を受けやすい。熱硬化性樹脂は、耐熱性に優れているので、透光性部材３０に適している。なお、透光性部材３０は、光の透過率が高いことが好ましい。そのため、通常は、透光性部材３０に、光を反射、吸収又は散乱する添加物は添加されないことが好ましい。しかし、望ましい特性を付与するために、透光性部材３０に添加物を添加するのが好ましい場合もある。例えば、透光性部材３０の屈折率を調整するため、または硬化前の透光性部材（液状樹脂材料３００）の粘度を調整するために、各種フィラーを添加してもよい。

発光装置１０の平面視において、透光性部材３０の第１の面３１の外形は、少なくとも発光素子２０の第２の面２２の外形よりも大きくされている。透光性部材３０の第１の面３１の外形は、さまざまな形状にすることができ、例えば、図１に示すような円形、図１２に示すような角丸の四角形、および楕円形、正方形、長方形等の形状にすることができる。

また、透光性部材３０の第１の面３１の外形形状は、他の条件に基づいて決定してもよい。例えば、発光装置１０を光学レンズ（二次レンズ）と組み合わせて使用する場合、第１の面３１の外形を円形にするのが好ましくと、発光装置１０から出射される発光も円形に近くなるので、光学レンズによって集光しやすくなる。一方、発光装置１０の小型化が望まれる場合には、第１の面３１の外形を角丸の四角形にするのが好ましく、発光装置１０の上面１１の寸法を小さくすることができる。

（被覆部材４０、４０３）
被覆部材４０、４０３は、ガラス材料、樹脂材料等の無機材料から形成することができ、特に、樹脂材料から形成するのが好ましい。樹脂材料としては、特に、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂が好適である。
被覆部材４０、４０３には、所望の特性を付与するために、添加剤を添加するのが好ましい。添加剤としては、成形性を改善するための成形性改良剤、機械的強度を高めるための補強材、耐熱性を向上するための添加剤等が挙げられる。特に、機械的強度を高めるために、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、ガラス繊維などを添加するのが好ましい。

（波長変換部材５０）
波長変換部材５０は、蛍光体と透光性材料とを含んでいる。透光性材料としては、透光性樹脂、ガラス等が使用できる。特に、透光性樹脂が好ましく、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、メチルペンテン樹脂、ポリノルボルネン樹脂などの熱可塑性樹脂を用いることができる。特に、耐光性、耐熱性に優れるシリコーン樹脂が好適である。

蛍光体は、発光素子２０からの発光で励起可能なものが使用される。例えば、青色発光素子又は紫外線発光素子で励起可能な蛍光体としては、セリウムで賦活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体（Ｃｅ：ＹＡＧ）；セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体（Ｃｅ：ＬＡＧ）；ユウロピウムおよび／又はクロムで賦活された窒素含有アルミノ珪酸カルシウム系蛍光体（ＣａＯ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２）；ユウロピウムで賦活されたシリケート系蛍光体（（Ｓｒ，Ｂａ）_２ＳｉＯ_４）；βサイアロン蛍光体、ＣＡＳＮ系蛍光体、ＳＣＡＳＮ系蛍光体等の窒化物系蛍光体；ＫＳＦ系蛍光体（Ｋ_２ＳｉＦ_６：Ｍｎ）；硫化物系蛍光体、量子ドット蛍光体などが挙げられる。これらの蛍光体と、青色発光素子又は紫外線発光素子と組み合わせることにより、様々な色の発光装置（例えば白色系の発光装置）を製造することができる。
波長変換部材５０には、粘度を調整する等の目的で、各種のフィラー等を含有させてもよい。

なお、発光素子の表面は、波長変換部材５０に代えて、蛍光体を含まない透光性の材料で被覆されてもよい。また、この透光性の材料にも、粘度を調整する等の目的で、各種のフィラー等を含有させてもよい。

（光反射膜７０（第１反射膜７１、第２反射膜７２、第３反射膜７３、第４反射膜７４））
光反射膜７０を構成する各反射膜（第１反射膜７１、第２反射膜７２、第３反射膜７３、第４反射膜７４）は、無機材料から形成するのが好ましい。
各反射膜は、金属材料又は絶縁性材料等のうち、光の反射率の高いもので形成することができる。なお、絶縁性材料としては、材料自体が反射率の高いもの以外に、誘電体多層膜も含む。各材料について以下に詳述する。

・金属材料
各反射膜に適した金属材料としては、例えば銀、銀合金、アルミニウム、金、プラチナ等が挙げられる。特に、耐硫化性に優れた銀合金が好ましく、当該分野で公知の銀合金のいずれを用いてもよい。反射膜の厚さは、特に限定されるものではなく、発光素子から出射される発光を効果的に反射することができる厚さ（例えば、約２０ｎｍ〜約１μｍ）、特に５０ｎｍ以上の厚さであるのが好ましい。

・誘電体多層膜（DBR）
誘電体多層膜（DBR）は、所定波長の光を選択的に反射することができる反射膜であり、屈折率の異なる２種類の誘電体膜を所定の厚さで交互に積層した構造を有する。具体的には、任意に形成された酸化膜等からなる下地層の上に、低屈折率層と高屈折率層とを、反射すべき光の１／４波長の厚さで交互に積層することにより、当該所定波長の光を高効率で反射することができる。
誘電体膜には、例えば、Si、Ti、Zr、Nb、Ta、Alからなる群より選択された少なくとも一種の酸化物又は窒化物を用いることができ、スパッタリング又はＣＶＤにより成膜することができる。例えば、低屈折率層をSiO₂、高屈折率層をNb₂O₅、TiO₂、ZrO₂又はTa₂O₅等とすることができる。具体的には、下地層側から順番に（Nb₂O₅／SiO₂）_n（ｎ＝２〜５）が挙げられる。
DBRの総膜厚は、約０．２〜１μｍ程度とすることができる。

光反射膜は、１０〜５００ｎｍ程度の粒径の微粒子が層状に形成されたものであってもよい。
微粒子の材料としては、光反射率の高い酸化チタン、酸化ジルコニウム等を好ましく用いることができる。微粒子を層状に形成する方法としては、揮発性の溶剤に微粒子を混合させたものを透光性部材３３の外面を被覆するよう設けた後に、溶剤を揮発させる等があげられる。
絶縁物の微粒子を光反射膜として用いることにより、誘電体多層膜を用いる場合と同様に、電極２５１、２５２および半導体積層体２８の表面に直接形成しても短絡が生じない点で有利である。また、酸化チタンのような反射可能な波長域の広い材料を用いることにより、金属膜を用いる場合と同様に、発光素子２０から発せられる光と、波長変換部材５０で波長変換された光とを含む混合光を効率的に反射することができる。

第１〜第４反射膜７１〜７４は、全てまたは一部を同一の材料から形成してもよく、あるいは全てを異なる材料から形成してもよい。また、第１〜第４反射膜７１〜７４の中で異なる材料が用いられていてもよい。例えば、第１反射膜７１は、第３反射膜７３に近い部分においては、短絡等のリスクが低減できる誘電体多層膜や絶縁性の微粒子で形成され、第２反射膜７２に近い部分においては、金属膜で形成されていてもよい。

以上、本発明に係るいくつかの実施形態について例示したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り任意のものとすることができることは言うまでもない。

１０、１５ 発光装置
１１ 発光装置の第１の面（上面）
２０ 発光素子
２１ 発光素子の第１の面（上面）
２２ 発光素子の第２の面（下面）
２３ 発光素子の側面
２８ 半導体積層体
２５１、２５２ 電極
３０ 透光性部材
３３ 透光性部材の外面
４０ 被覆部材
５０ 波長変換部材
７０ 光反射膜

Claims (13)

1. 発光装置の発光面側に位置する第１の面と、前記第１の面に対向する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に位置する側面と、を有する発光素子と、
   樹脂を含む材料から形成され、前記発光素子の前記側面の少なくとも一部を覆い、前記発光面側に位置する第１の面を有する透光性部材と、
   前記透光性部材の外面を覆い、前記発光面側に位置する第１の面を有する被覆部材と、
   前記発光素子の前記第１の面と、前記透光性部材の前記第１の面及び前記被覆部材の前記第１の面を覆う波長変換部材と、
   前記透光性部材の前記外面と前記被覆部材との間に設けられ、無機材料から成る第１反射膜と、前記被覆部材の前記第１の面と前記波長変換部材との間に設けられ、無機材料から成る第２反射膜と、を含む光反射膜と、を備える、発光装置。
2. 前記第１反射膜と前記第２反射膜とが同一の無機材料から成る請求項１に記載の発光装置。
3. 前記発光素子は、その第２の面側に電極を有し、
   前記被覆部材は、前記電極の側面と、前記発光素子の前記第２の面のうち前記電極が設けられていない露出領域とを覆っており、
   前記光反射膜は、
   前記電極の前記側面と前記被覆部材との間に設けられ、無機材料から成る第３反射膜と、
   前記発光素子の前記露出領域と前記被覆部材との間に設けられ、無機材料から成る第４反射膜と、をさらに含む請求項１または２に記載の発光装置。
4. 前記第１反射膜、前記第２反射膜、前記第３反射膜及び前記第４反射膜の２つ以上が同一の無機材料から成る請求項３に記載の発光装置。
5. 前記光反射膜の少なくとも一部が誘電体多層膜から成る請求項１〜４のいずれか１項に記載の発光装置。
6. 前記光反射膜の少なくとも一部が金属膜から成る請求項１〜５のいずれか１項に記載の発光装置。
7. 前記被覆部材が、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、ガラス繊維から成る群から選択される１つ以上の補強材を含有する樹脂材料を含む請求項１〜６のいずれか１項に記載の発光装置。
8. 前記透光性部材の前記外面は、前記発光素子の第２の面側から第１の面側に向かって外向きに傾斜している、請求項１〜７のいずれか１項に記載の発光装置。
9. 波長変換部材上に、発光素子を配置する工程と、
   前記発光素子の側面を透光性部材で覆う工程と、
   前記透光性部材の外面を無機材料である第１反射膜で覆う工程と、
   前記透光性部材から露出した前記波長変換部材を、無機材料である第２反射膜で覆う工程と、
   前記第１反射膜及び第２反射膜を被覆部材で覆う工程と、を含む発光装置の製造方法。
10. 前記透光性部材の前記外面は、前記発光素子の第２の面側から第１の面側に向かって外向きに傾斜している、請求項９に記載の製造方法。
11. 前記第１反射膜で覆う工程と前記第２反射膜で覆う工程とを、同時に行う請求項９または１０に記載の製造方法。
12. 前記発光素子は第２の面側に電極を有しており、
    前記被覆部材で覆う工程前に、
    前記電極の側面を第３反射膜で覆う工程と、
    前記発光素子の前記第２の面のうち前記電極で覆われていない領域を第４反射膜で覆う工程と、をさらに含み、
    前記被覆部材で覆う工程において、前記被覆部材により、前記第３反射膜と前記第４反射膜とをさらに覆うことを特徴とする請求項９〜１１のいずれか１項に記載の製造方法。
13. 前記第１反射膜、前記第２反射膜、前記第３反射膜及び前記第４反射膜から成る群から選択される２つ以上の反射膜が同一の材料から成り、
    前記同一の材料から成る前記反射膜を同時に形成することを特徴とする請求項１２に記載の製造方法。

Images