JP2016140815A - 透明板清掃システム - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、透明板の両面を容易かつ確実に清掃することができると共に透明板への異物の残存を低減することのできる透明板清掃システムを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、透明板を搬送しつつ上記透明板の第１面を清掃する第１清掃装置、上記第１清掃装置から搬出された透明板を反転させる反転装置、上記反転装置によって反転された透明板を搬送しつつ上記透明板の第２面を清掃する第２清掃装置、及び上記第２清掃装置から搬出された透明板の第１面及び／又は第２面に付着する異物を除去可能な異物除去装置を備える透明板清掃システムである。上記第１清掃装置及び／又は第２清掃装置が、上記透明板に接触する繊維製の清掃布を備えるとよい。また、この繊維製の清掃布を有する上記第１清掃装置及び／又は第２清掃装置が、清掃布に洗浄液を供給する洗浄液供給機構を備えるとよい。
【選択図】図１

Description

本発明は、透明板清掃システムに関する。

携帯電話やスマートフォン等には、ガラス基板が用いられている。ガラス基板は、ガラス基板の製造装置によって製造される。ガラス基板を製造する際には、ガラス基板の表面に切削により生ずるガラス粉等が付着する場合がある。また、ガラス基板の搬送中にも埃等が付着するおそれがある。これらのガラス粉や埃等を取り除くためにはガラス基板の表面を清掃する必要がある。

透明板を清掃する装置としては、透明板の両端を把持してブラシによって透明板の両面を清掃する装置が提案されているが（特開平８−８９９１０号公報）、この装置では把持している透明板両端を清掃できない。

また、ベルトコンベア上に敷いた清浄な布の上に透明板を載置して、アルコールを含んだ布で透明板の上面全体の汚れを払拭する清掃装置が提案されている（中国特許出願公開第１０２６９８９８８号）。この装置では、透明板は把持されず搬送されるので、透明板の両端部分も清掃できる。しかし、この装置では透明板の片面しか清掃できない。

透明板の全面及び両面を清掃する場合は、特許文献２に記載の装置で片面を清掃し、透明板を裏返して同じ装置に清掃装置に供給する作業を挿んで透明板の両面を清掃する必要がある。この場合、特許文献２に記載のような清掃装置を使用して、繊維製の布を用いて透明板を清掃すると、この布に含まれる繊維や埃等が透明板に付着する場合がある。

さらに、装置内では、各部材が接触しながら作動しているため、例えば金属製の軸と軸受のように金属製の部材が接触し擦れ合う為、金属粉等が生じることもある。このような装置では、金属粉等の異物が透明板に付着する可能性もある。

特開平８−８９９１０号公報 中国特許出願公開第１０２６９８９８８号

そこで、本発明は、透明板の全面及び両面を容易かつ確実に清掃することができると共に透明板への異物の残存を低減することのできる透明板清掃システムを提供することを課題とする。

上記課題を解決するためになされた発明は、
透明板を搬送しつつ上記透明板の第１面を清掃する第１清掃装置、
上記第１清掃装置から搬出された透明板を反転させる反転装置、
上記反転装置によって反転された透明板を搬送しつつ上記透明板の第２面を清掃する第２清掃装置、及び
上記第２清掃装置から搬出された透明板の第１面及び／又は第２面に付着する異物を除去可能な異物除去装置
を備える透明板清掃システムである。

当該透明板清掃システムによれば、第１清掃装置によって透明板の第１面が清掃され、第１面清掃後の透明板が反転装置によって反転され、この反転された透明板の第２面（第１面の反対側の面）が第２清掃装置によって清掃される。このため、当該透明板清掃システムは、人が介在することなく透明板の両面を清掃できる。また、当該透明板清掃システムは、上述のように第２清掃装置から搬出された透明板の第１面及び／又は第２面に付着する異物を除去可能な異物除去装置を備えているので、仮に上記清掃段階で透明板に異物が付着したとしても、異物除去装置によって異物を的確に除去することかできる。

上記第１清掃装置及び／又は第２清掃装置は、上記透明板に接触する繊維製の清掃布を備えているとよい。これにより繊維製の清掃布によって透明板の第１面及び／又は第２面を容易かつ確実に清掃することができる。さらに、清掃段階で繊維製の清掃布によって透明板に繊維等の異物が付着したとしても、上述のよう当該透明板清掃システムは異物除去装置を有するので、上記異物を的確に除去することかできる。

上記清掃布を備える第１清掃装置及び／又は第２清掃装置は、上記清掃布に洗浄液を供給する洗浄液供給機構をさらに備えるとよい。これにより、洗浄液を含浸させた清掃布によって透明板をより確実に清掃することができる。

長尺状の清掃布を備える第１清掃装置及び／又は第２清掃装置が、上記清掃布と上記透明板とが接触する搬送方向少なくとも二つの清掃箇所を有し、上記搬送方向上流側の清掃箇所における清掃布の洗浄液含浸量が、下流側の清掃箇所における清掃布の洗浄液含浸量よりも多いことが好ましい。

これにより、洗浄液を十分に含浸した清掃布によって透明板を確実に清掃できると共に、洗浄液による筋等の発生を的確に抑制できる。つまり、多量の洗浄液を含浸した清掃布で清掃しただけの場合、透明板に洗浄液による筋が残る場合があるが、上記構成を採用することで、搬送方向上流側において透明板を洗浄液含浸量の多い清掃布の部分で清掃でき、搬送方向下流側において透明板を洗浄液含浸量の少ない（又は洗浄液を含浸しない）清掃布の部分で清掃することができ、これにより洗浄液による筋等の発生を的確に抑制できる。洗浄液含浸量の多い清掃布の部分で清掃することで、清掃面に付着した汚れを分解することができ、その後洗浄液含浸量の少ない清掃布の一部で拭き取ることで洗浄液を用いない場合や洗浄液供給量が一定の場合に比べて汚れを除去しやすい。なお、清掃箇所が三か所以上の場合において、「搬送方向上流側の清掃箇所における清掃布の洗浄液含浸量が、下流側の清掃箇所における清掃布の洗浄液含浸量よりも多い」とは、清掃箇所のうち清掃布の最も洗浄液含浸量の多い清掃箇所における洗浄液含浸量が、搬送方向最下流の清掃箇所における清掃布の洗浄液含浸量よりも多いことを意味する。

当該透明板清掃システムは、上記清掃布を備える第１清掃装置及び／又は第２清掃装置は、上記清掃布の一部を上記透明板に向けて押圧する第１清掃部材、上記清掃布を上記透明板搬送方向と逆方向に送る送給機構、及び上記清掃布の第１清掃部材よりも清掃布送給方向上流側の部分を透明板に向けて押圧する第２清掃部材をさらに備え、上記洗浄液供給機構が、清掃布の第１清掃部材と第２清掃部材との間の部分に洗浄液を供給する構成を採用するとよい。

これにより、洗浄液供給機構によって洗浄液が供給された清掃布の部分が、第１清掃部材によって透明板搬送方向上流側の透明板に押圧され、清掃布と透明板とが接触した状態で相対的に移動することで、洗浄液を含む清掃布の部分で透明板を清掃できる。また、透明板搬送方向下流側においては、第２清掃部材によって洗浄液含浸量の少ない（又は洗浄液を含浸しない）清掃布の部分が透明板に押圧されることで、この透明板を清掃できる。このため、洗浄液を十分に含浸した清掃布によって透明板を清掃できると共に、洗浄液による筋等の発生を的確に抑制でき、より確実な清掃を行うことができる。また、清掃布は、透明板搬送方向と逆方向に送られるので、透明板搬送方向下流側（清掃布送給方向上流側）において未使用（未接触）の清掃布によって透明板を清掃し、透明板搬送方向上流側（清掃布送給方向下流側）において使用後（接触済）の清掃布によって透明板を清掃できる。このため、透明板搬送方向につれて汚れの少ない清掃布の部分で透明板を清掃することができる。なお、送給機構が清掃布を透明板搬送方向と逆方向に送るとは、少なくとも清掃布が透明板と接触する箇所において清掃布が透明板の搬送方向と逆方向に送られていることを意味し、透明板と接触していない箇所の送給方向は問わない。

上記異物除去装置は、透明板の第１面又は第２面に接触する粘着面を有する粘着部材を備えるとよい。これにより、粘着部材の粘着面によって、透明板に付着する異物を除去することができる。

上記異物除去装置は、上記粘着部材の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着力回復機構をさらに備えるとよい。これにより、粘着部材の粘着面から付着した異物を粘着力回復機構によって除去することができるので、粘着部材の粘着面の粘着力が回復し、当該透明板清掃システムを長期間好適な状態で運転することができる。

上記異物除去装置は、透明板を挟んで互いに対向する二つの上記粘着部材を備えるとよい。これにより、透明板の両面（第１面及び第２面）において付着する異物の除去を行うことができる。

当該透明板清掃システムは、上記異物除去機構から排出される透明板を検査する検査装置をさらに備えるとよい。これにより、検査装置によって透明板の欠陥等を発見することができる。さらに、清掃段階で透明板に繊維等の異物が付着したとしても、上述のよう当該透明板清掃システムは異物除去装置を有するので、上記異物を的確に除去することかできるため、上記検査装置において上記異物によって透明板の欠陥と判断されるおそれが少ない。

本発明の透明板清掃システムは、透明板の両面を容易かつ確実に清掃することができると共に透明板への異物の残存を低減することができる。

本発明の第１実施形態の透明板清掃システムを示す模式的側面図である。 図１の透明板清掃システムの第１清掃装置の模式的側面図である。 図２の第１清掃装置の押圧ヘッドの模式的側面図である。 図１の透明板清掃システムの反転装置を示す模式的平面図である。 図４の反転装置の模式的側面図である。 図１と異なる透明板清掃システムを示す模式的側面図である。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。先ず、図１から図５を参照しながら、本発明の第１実施形態の透明板清掃システム１について説明する。

［第１実施形態］
図１の透明板清掃システム１は、例えばスマートフォンに用いられるカバーガラスやタッチパネル等の透明板Ｐを清掃するためのシステムである。より具体的には、本実施形態の透明板清掃システム１は、自動的に、透明板Ｐの両面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２）を清掃すると共に異物を除去し、さらに透明板Ｐの欠陥を検査するシステムである。

本実施形態の透明板清掃システム１は、透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第１面ｐ１を清掃する第１清掃装置１０Ａ、この第１清掃装置１０Ａから搬出された透明板Ｐを反転させる反転装置３０、この反転装置３０によって反転された透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第２面ｐ２（第１面ｐ１の反対面）を清掃する第２清掃装置１０Ｂ、この第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去可能な異物除去装置５０、及び上記異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する検査装置７０を備えている。なお、図１等に示すように、第１清掃装置１０Ａの透明板Ｐの搬送方向Ｘと、第２清掃装置１０Ｂの透明板Ｐの搬送方向Ｘとは、同一方向である。ここで、搬送方向Ｘは、第１清掃装置１０Ａから第２清掃装置１０Ｂに向かう方向である。また、本実施形態の透明板清掃システム１は、第１清掃装置１０Ａに透明板Ｐを供給するローダ装置９０を有している。

本実施形態の透明板清掃システム１は、各種装置の動作を制御等する制御装置（図示省略）をさらに備えている。

＜第１清掃装置及び第２清掃装置＞
本実施形態の第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、一方向（搬送方向Ｘ）に透明板Ｐを搬送する搬送機構１１、及びこの搬送機構１１によって搬送される透明板Ｐの清掃面に長尺状の清掃布Ｃの一部を接触させて清掃面を清掃すべく清掃布を送給する送給機構２５を備えている。具体的には、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、図２及び図３に示すように、透明板Ｐを搬送する搬送機構１１、透明板Ｐに接触する長尺状の清掃布Ｃ、清掃布Ｃを透明板Ｐに向けて押圧するための二つの押圧ヘッド１３、清掃布Ｃを送る送給機構２５、及び清掃布Ｃに洗浄液を供給する洗浄液供給機構２８を有している。この搬送機構１１、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８は、上記制御装置によって動作が制御されている。なお、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、後述するように一部の構成（例えば載置用長尺シート）において相違し、他の部分は同一構成を有している。また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、搬送機構１１、清掃布Ｃ、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８を内蔵する筐体１０ｈを有している。この筐体１０ｈ（図１参照）は、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂにおける透明板Ｐの清掃が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。なお、この筐体１０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

（搬送機構）
搬送機構１１は、清掃対象物である透明板Ｐを搬送方向Ｘに搬送する機構である。搬送機構１１は薄板状物である透明板Ｐを透明板Ｐの平面方向に搬送し、具体的には、本実施形態においては、搬送機構１１は、透明板Ｐを清掃面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２のいずれか一方）が上方を向いた状態で載置され、水平方向に搬送する機構である。なお、「平面方向に搬送する」とは、透明板Ｐの清掃面（上記第１面ｐ１及び第２面ｐ２）に沿った方向のうちの１つの方向に搬送することを意味する。

第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第２面ｐ２（清掃対象である第１面ｐ１の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは、第２面ｐ２全面が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟み込まれ、上方に位置する面（第１面ｐ１）が清掃される。この第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１としては、例えばベルトコンベアから構成できる。

第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第１面ｐ１（清掃対象である第２面ｐ２の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは第１面ｐ１が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟み込まれ、第２面ｐ２が清掃される。この第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１としては、例えば図１に示すようにベルトコンベアと、このベルトコンベア上に供給され、ベルトコンベアと同じ速度で移動する清浄な載置用長尺シート１２とを有するものが採用できる。このように第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１が、載置用長尺シート１２を有することで、第１清掃装置１０Ａによって清掃された透明板Ｐの第１面ｐ１が載置用長尺シート１２に接触した状態で載置されることとなり、第１面ｐ１が第２清掃装置１０Ｂ内で汚れることを防止できる。なお、本実施形態では、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐの高さ（上下高さ）は、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐの高さ未満である。

上記ベルトコンベアについてさらに詳述する。ベルトコンベアは、搬送ベルト１１ａ、搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃを備えている。搬送ベルト１１ａは無端状のベルト部材からなり、この搬送ベルト１１ａが搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃに架け渡されており、搬送駆動ローラ１１ｃの回転に伴って搬送ベルト１１ａが循環すると共に搬送従動ローラ１１ｂも回転する。この搬送従動ローラ１１ｂは、後述する搬送方向Ｘにおいて上流側に位置する押圧ヘッド１３のさらに上流側に配され、搬送駆動ローラ１１ｃは、後述する搬送方向Ｘにおいて下流側に位置する押圧ヘッド１３のさらに下流側に配されている。なお、搬送駆動ローラ１１ｂと搬送従動ローラ１１ｃとの配設箇所を逆とすることも可能である。

また、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１は、上記ローダ装置９０（図１参照）から透明板Ｐを受け取り、清掃後に反転装置３０に受け渡す第１受渡領域Ａ１（図５参照）まで透明板Ｐを搬送する。また、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、反転装置３０から第２受渡領域Ａ２（図５参照）において透明板Ｐを受け取り、透明板Ｐの排出領域まで透明板Ｐを搬送して排出する。

（清掃布）
清掃布Ｃは、清掃箇所において透明板Ｐに接触されながら動かされることで透明板Ｐの清掃面（上側に位置する面）を清掃する。清掃布Ｃは、清掃箇所において一方の面が透明板Ｐの清掃面に対面するよう供給され、上記押圧ヘッド１３によって透明板Ｐの清掃面に押し付けられながら清掃面を拭き取ることで清掃面を清掃する。

この清掃布Ｃとしては、繊維製のものが用いられ、例えば織物が用いられる。この繊維としては、天然繊維、合成繊維等、種々のものが採用可能である。また繊維製の清掃布Ｃとして不織布を用いることもできる。不織布を用いる場合、不織布としては、乾式法、湿式法、メルトブロー法によってフリースが形成されるものを用いることができる。

（押圧ヘッド）
二つの上記押圧ヘッド１３は、図１及び図２に示すようにそれぞれ透明板Ｐの搬送方向Ｘに順次並べて配置されている。

各押圧ヘッド１３には、図２及び図３に示すように清掃布Ｃの一部を透明板Ｐに向けて押圧する第１清掃部材１４、及び清掃布Ｃの第１清掃部材１４よりも搬送方向Ｘの下流側の部分を透明板Ｐに向けて押圧する第２清掃部材１５が取付けられている。つまり、本実施形態においては、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、それぞれ清掃布Ｃと透明板Ｐとが接触する清掃箇所が、透明板搬送方向に並べて４箇所設けられている。なお、本実施形態においては、二つの押圧ヘッド１３は同一構成を有している。この第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５は、例えばシリコン等の弾性部材で形成されたパッド状の部材である。

各押圧ヘッド１３は、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５それぞれを清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向に往復動させる清掃部材駆動機構（図示省略）を有している。なお、「清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向」とは、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５が清掃布Ｃを透明板Ｐの清掃面に接触させることのできる平面内における搬送方向Ｘの直交方向であることを意味し、具体的には清掃面と平行な面上であり且つ搬送方向Ｘの直交方向を意味する。

上記ヘッド１３は、上下動可能に設けられている。つまり、搬送機構１１（搬送ベルト）に対して接近及び離反可能に設けられている。このため、清掃作業に際しては、ヘッド１３を下降させることで清掃布Ｃを透明板Ｐの清掃面に接触させることができ、またメンテナンス作業等に際してはヘッド１３を上昇させることができる。

（送給機構）
図１を参照して送給機構２５について説明する。上記清掃布Ｃは、上述のように送給機構２５によって送られる。ここで、送給機構２５は、主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂを有している。清掃布Ｃは、この主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂに架け渡され、主動ローラ２５ａの回転によって透明板Ｐの清掃後の清掃布Ｃの部分は主動ローラ２５ａに巻き取られる。このとき、従動ローラ２５ｂから未使用の清掃布が繰り出される。

送給機構２５は、透明板Ｐの搬送方向Ｘと逆方向（図２のＹ方向）に清掃布Ｃを送るよう設けられている（図２参照）。つまり、清掃布Ｃは、送給機構２５によって、清掃箇所（透明板Ｐと接触する箇所）において清掃布Ｃが搬送方向Ｘの逆方向（図２のＹ方向）に送られる。上記主動ローラ２５ａは、全ての清掃部材１４，１５よりも搬送方向Ｘの上流側に配置され、上記従動ローラ２５ｂは、全ての清掃部材１４，１５よりも搬送方向Ｘの下流側に配置されている。なお、本実施形態においては、送給機構２５は、清掃布Ｃを連続的に送るが、間欠的に送ることも可能であり、例えば清掃箇所において透明板Ｐに接触する際に清掃布Ｃを送り、接触しない時に清掃布Ｃの送給を停止するよう設けることも可能である。

また、送給機構２５は、二つの上記押圧ヘッド１３の間に位置する清掃布Ｃの一部を、透明板Ｐから離間させるようにガイドしている。具体的には、送給機構２５は、二つの押圧ヘッド１３間においてベルトコンベアの上方に配されたローラ２６を有している。送給機構２５では、このローラ２６に二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃが架け渡されていることで二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃの一部が透明板Ｐから離間されている。

このローラ２６は、テンションローラから構成されている。つまり、送給機構２５はテンションローラを有するテンション調整部を備え、清掃布Ｃに作用するテンションがテンション調整部によって調整されている。具体的には、テンション調整部は、上下に並べて配された二つのテンションローラを有し、上方のテンションローラは搬送方向Ｘの下流側に配置された押圧ヘッド１３における清掃布Ｃの一部のテンションを調整し、下方のテンションローラは搬送方向Ｘの上流側に配置された押圧ヘッド１３における清掃布Ｃの一部のテンションを調整している。

（洗浄液供給機構）
上記清掃布Ｃには、上述のように洗浄液供給機構２８によって洗浄液が供給される。このため、洗浄液が含浸された清掃布Ｃによって透明板Ｐが清掃される。本実施形態において洗浄液供給機構２８は、搬送方向Ｘにおいて第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５間に位置する清掃布Ｃの一部にそれぞれ洗浄液を供給すると共に、後述するように押圧ヘッド１３よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する清掃布Ｃの一部にも洗浄液を供給している。

洗浄液供給機構２８は、図３に示すように第１清掃部材１４と第２清掃部材１５との間に設けられた供給ノズル２８ｂを有している。この供給ノズル２８ｂは、清掃布Ｃの清掃面に接触する側の面から洗浄液を供給している。具体的には、供給ノズル２８ｂは、第１清掃部材１４と第２清掃部材１５との間において清掃布Ｃの透明板Ｐに対面する面、より具体的には清掃布Ｃの下側の面に直接洗浄液を供給している。

供給ノズル２８ｂは図示しない洗浄液貯蔵タンクに接続されている。供給ノズル２８ｂは、上方に向かって洗浄液を供給する。供給ノズル２８ｂから供給された洗浄液は、清掃布Ｃに含浸して透明板Ｐの清掃面に到達する。供給ノズルから供給される洗浄液の量は、透明板Ｐに付着した汚れを分解可能であり、且つ清掃部材１５により清掃布Ｃの一部が押圧されて拭き取り動作が行われたとしても筋が残らないように調整されている。供給ノズル２８ｂは、先細形状となっている。本実施形態では、上述のような構成となっているが、清掃布Ｃの上方から下方に向かって洗浄液を供給する構成を採用することもできる。

上記洗浄液としては、特に限定されるものではないが、アルコールが好適に用いられ、中でもエタノールが特に好適に用いられる。

また、当該透明板清掃システム１は、洗浄液供給機構２８として、透明板Ｐの搬送方向Ｘの下流側に配置された押圧ヘッド１３よりも清掃布Ｃの供給方向Ｙの上流側に位置している清掃布Ｃの部分に洗浄液を供給する洗浄液供給部２８ａをさらに有している（図１参照）。換言すれば、この洗浄液供給部２８ａは、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５よりも清掃布Ｃの供給方向Ｙの上流側に位置する清掃布Ｃの部分に洗浄液を供給している。この洗浄液供給部２８ａとしては、噴射ノズル等の種々のものを採用可能である。なお、この洗浄液供給部２８ａにおける洗浄液の供給量は、清掃部材１４，１５における洗浄液の供給量よりも少ない。

＜反転装置＞
図１、図４及び図５を参照して反転装置３０について説明する。反転装置３０は、上述のように第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から搬出された透明板Ｐを反転させて、第２清掃装置１０Ｂ（図１参照）に供給する装置である。具体的には、第１清掃装置１０Ａから順次第１受渡領域Ａ１（図５参照）に供給される透明板Ｐを、第２受渡領域Ａ２（図５参照）において第２清掃装置１０Ｂに受け渡している。

この反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着し、第２受渡領域Ａ２において上記透明板Ｐを解放する保持部（吸着部３２）と、この保持部（吸着部３２）が一端側に付設されているアーム３３と、このアーム３３の他端側を支持する回転部３５とを備えている。なお、反転装置３０は、上記吸着部３２、アーム３３及び回転部３５等を内蔵する筐体３０ｈ（図１参照）を有し、この筐体３０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため反転装置３０における透明板Ｐの反転及び搬送が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。この反転装置３０の筐体３０ｈの搬入口は第１清掃装置１０Ａの筐体１０ｈの搬出口と気密に連結され、また、反転装置３０の筐体３０ｈの搬出口は第２清掃装置１０Ｂの筐体１０ｈの搬入口と気密に連結されている。なお、この反転装置３０の筐体３０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

さらに、反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１に配設された仮受部材３１と、回転部３５に対して上記アーム３３を上記吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する突出機構３４とを備える。反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において一つの透明板Ｐを下側から支持する仮受部材３１を備えている。具体的には、仮受部材３１は、第１受渡領域Ａ１において第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から排出された透明板Ｐの第２面ｐ２を一時的に支持する。吸着部３２は、仮受部材３１に支持されている透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着する。アーム３３は伸縮可能である。具体的には、アーム３３は、吸着部３２が一端側に付設されており、回転部３５に支持される上記他端から吸着部３２が付設される上記一端に向かう方向に伸縮可能である。突出機構３４は、回転部３５とアーム３３との間に設けられ、上述のように回転部３５に対してアーム３３を吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する機構である。具体的には、突出機構３４は、アーム３３の上記他端側を支持するエアシリンダからなる。回転部３５は、突出機構３４が固定され、これにより上述のようにアーム３３を支持している。回転部３５は、吸着部３２に吸着される透明板Ｐと平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能である。具体的には、この回転軸は、水平方向（透明板Ｐを搬送する方向に垂直な方向）であり、また吸着部３２の吸引する方向に垂直な方向に設けられている。反転装置３０は、複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４を備えており、これら複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４はそれぞれ対をなし、一対の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４は、それぞれ回転部３５の回転軸を中心に略回転対称に配設されている。なお、「略回転対称」とは、完全に回転対称である場合のみならず、第１受渡領域Ａ１における一の透明板Ｐの吸着と第２受渡領域Ａ２における他の透明板Ｐの解放とを同時に行うことができる程度に配置されている場合を含むものである。例えば、略回転対称となる一対の受渡領域（又はアーム或いは吸着部３２）の一方と回転軸との距離が、他方と回転軸との距離の９０％以上１１０％以下である場合であっても、受渡領域同士は略回転対称である。回転軸に対する角度差も同様であり、具体的には例えば略回転対称となる一対の受渡領域（又はアーム或いは吸着部３２）の一方と回転軸とを結ぶ仮想直線と、他方と回転軸とを結ぶ仮想直線とが、１０°未満となるような場合も、受渡領域同士は略回転対称である。

＜異物除去装置＞
図１を参照して異物除去装置５０について説明する。異物除去装置５０は、上述のように第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去するための装置である。当該透明板清掃システム１では、繊維製の清掃布Ｃ等に起因する異物が透明板Ｐに付着していたとしても上記異物除去装置５０によって除去することができる。

この異物除去装置５０は、透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に接触する粘着面を有する粘着部材と、この粘着部材の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着力回復機構５３を備えている。本実施形態において、異物除去装置５０は、透明板Ｐを挟んで互いに対向する二つの粘着ローラ５１（粘着部材）を備えている。具体的には、異物除去装置５０は、透明板Ｐを挟んで上下に対向する一対の粘着ローラ５１（粘着部材）を備え、この粘着ローラ５１は、外周面に粘着力を有する。粘着ローラ５１は、透明板Ｐの異物が除去できる程度の粘着力があればよく、ウレタン、ゴムによって形成されているローラ、または表面に接着剤等を塗布したテープなどが巻きつけられたローラであってもよい。

また、異物除去装置５０は、図１に示すように第２清掃装置１０Ｂが排出した透明板Ｐが載置されるフリーローラ５２を有しており、上下一対の上記粘着ローラ５１は互いに駆動モータ（図示省略）によって回転され、粘着ローラ５１の回転によって透明板Ｐが下流側に搬送される。

上記粘着力回復機構５３は、粘着ローラ５１の粘着面に接触可能な長尺状の粘着テープ５３ａを有している。この粘着テープ５３ａは、上下一対の粘着ローラ５１それぞれに対して設けられる。

上記粘着テープ５３ａは、上記粘着ローラ５１の粘着面（外周面）よりも強い粘着力を有する粘着面を有しており、この粘着テープ５３ａの粘着面が粘着ローラ５１の粘着面に貼着され剥離されることで粘着ローラ５１に付着した異物を除去することができる。

異物除去装置５０は、上記粘着テープ５３ａを送る粘着テープ送給機構５４を有している。ここで、粘着テープ送給機構５４は、粘着テープ５３ａの粘着面が外向きになるよう掛け渡される粘着テープローラ５４ａを有している。粘着テープ用ローラ５４ａに掛け渡される粘着テープ５３ａの粘着面が粘着ローラ５１の粘着面と対面しており、粘着テープ用ローラ５４ａが粘着ローラ５１に対して近接・離反するように移動する。このため、粘着テープ用ローラ５４ａが粘着ローラ５１に接近すると、粘着テープ５３ａが粘着ローラ５１に接触し、粘着テープ用ローラ５４ａが粘着ローラ５１から離反すると粘着テープ５３ａが粘着ローラ５１から離間する。この粘着ローラ５４ａの粘着ローラ５１への接近及び離反は所定時間経過毎又は透明板を所定枚数清掃する毎に行われるので、粘着テープ５３ａと粘着ローラ５１との接触も同様のタイミングで行われる。なお、粘着テープ用ローラ５４ａの移動は、特に限定されるものではないが、例えば上下に移動し、シリンダ等によって制御される。

なお、異物除去装置５０は、上記粘着ローラ５１及び粘着力回復機構５３等を内蔵する筐体５０ｈを有し、この筐体５０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため上述のような異物除去が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。また、異物除去装置５０の筐体５０ｈの搬入口は第２清掃装置１０Ｂの筐体１０ｈの搬出口と気密に連結されている。なお、この異物除去装置５０の筐体５０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

＜検査装置＞
上記検査装置７０は、上述のように異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する装置である。

この検査装置７０は、透明板Ｐを搬送する機構（図示省略）、搬送される透明板Ｐに光線を照射する照明部７１、及び光線を照射された透明板Ｐを撮像するカメラ７２を有している。なお、検査装置７０は、上記照明部７１及びカメラ７２等を内蔵する筐体７０ｈを有し、この筐体７０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため透明板Ｐの検査は気密状態で行われる。この検査装置７０の筐体７０ｈの搬入口は異物除去装置５０の筐体５０ｈの搬出口と気密に連結されている。なお、この検査装置７０の筐体７０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

本実施形態においては、検査装置７０は、複数対の上記照明部７１及びカメラ７２を有しており、複数対の照明部７１及びカメラ７２によって、反射光や透過光等による種々の画像が撮像される。当該透明板清掃システム１にあっては、上記画像が上記制御装置に送信され、制御装置によって透明板Ｐの良否判定を行い得る。

＜利点＞
当該透明板清掃システム１によれば、第１清掃装置１０Ａによって透明板Ｐの第１面ｐ１が清掃され、第１面ｐ１清掃後の透明板Ｐが反転装置３０によって反転され、この反転された透明板Ｐの第２面ｐ２が第２清掃装置１０Ｂによって清掃されるため、人が介在することなく透明板Ｐの両面を清掃できる。

また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、それぞれ搬送機構１１によって透明板Ｐを搬送しつつ、この透明板Ｐの清掃面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２）を一枚の長尺状の清掃布Ｃの一方の面によって複数回清掃でき、このため、複数の清掃箇所において所望の清掃を行うことができ、透明板Ｐの両面を確実に清掃することができる。また、複数の清掃箇所において清掃布Ｃを反転させることなく清掃布Ｃの一方の面によって清掃面を清掃するので、清掃布Ｃを反転させる手段を設ける必要がなく、コスト高及びメンテンナンスの複雑性を抑制することができる。

また、清掃布Ｃは、上述のように一枚の清掃布Ｃの一方の面で複数回清掃面を清掃し、かつ清掃布Ｃは透明板搬送方向Ｘと逆方向に送られるので、透明板搬送方向Ｘ下流側（清掃布送給方向上流側）において未使用（未接触）の清掃布Ｃによって透明板Ｐを清掃し、透明板搬送方向Ｘ上流側（清掃布送給方向下流側）において使用後（接触済）の清掃布Ｃによって透明板Ｐを清掃できる。このため、清掃布Ｃの各部分を複数回の清掃に用いることができると共に、透明板搬送方向Ｘにつれて汚れの少ない状態の清掃布Ｃで透明板Ｐを清掃することができる。

また、第１清掃装置１０Ａから第２清掃装置１０Ｂへ透明板が搬送される際に、反転装置３０を介することで、透明板を搬送中に反転できるので効率よく搬送できる。

また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、清掃布Ｃに洗浄液を供給する洗浄液供給機構２８を備えているので、洗浄液を含有する清掃布Ｃによって透明板Ｐの清掃面を好適に清掃することができる。

さらに、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、透明板搬送方向二箇所にそれぞれ上記押圧ヘッド１３が配置され、清掃布Ｃの送給機構２５が、二つの押圧ヘッド１３の間に位置する清掃布Ｃの一部を透明板Ｐから離間させるようにガイドする構成を採用しているので、各押圧ヘッド１３で所望の清掃を行うことができる。特に、この二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃを透明板Ｐから離間させるようにガイドする構成として、テンションローラ２６を採用しているので、各押圧ヘッド１３において清掃布Ｃに十分なテンションを与えることができ、より確実な清掃を行うことができる。

上記洗浄液供給機構２８は、押圧ヘッド１３の清掃布供給方向上流側の清掃布Ｃにも筋が残らない程度に微量な洗浄液を供給しているので、完全に乾燥した清掃布Ｃによるよりも若干洗浄液が含浸されている清掃布Ｃによって清掃することで、より綺麗に清掃面を清掃することができ、より確実な清掃が可能となる。

また、第１押圧パッド１４及び第２押圧パッド１５が、清掃時において上記透明板搬送方向の直交方向かつ上記清掃面の平面方向に往復動するので、清掃布Ｃが第１押圧パッド１４及び第２押圧パッド１５によって透明板Ｐの清掃面に押圧され、透明板Ｐの清掃面に接触された清掃布Ｃが透明板搬送方向Ｘの直交方向に移動するため、清掃布Ｃによって清掃面をより確実に清掃することができる。

また、当該透明板清掃システム１は、上述のように第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去可能な異物除去装置５０を備えているので、仮に上記清掃段階で透明板Ｐに繊維製の清掃布Ｃ等が起因する異物が付着したとしても、異物除去装置５０によって異物を的確に除去することかできる。

上記異物除去装置５０は、粘着ローラ５１の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着テープ５３ａを備えているので、粘着ローラ５１の粘着面から付着した異物を粘着テープ５３ａによって除去することができ、これにより粘着ローラ５１の粘着面の粘着力が回復し、当該透明板清掃システム１を長期間好適な状態で運転することができる。

また、異物除去装置５０は、粘着テープ５３ａを送る粘着テープ送給機構５４を有し、この粘着テープ送給機構５４は、間欠的に粘着テープ５３ａを粘着ローラ５１に接触させるよう設けられているので、粘着テープの使用量を低減しつつ、粘着ローラ５１の異物を除去できる粘着力を一定以上に維持することができる。

さらに、当該透明板清掃システム１は、異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する検査装置７０を備えるので、検査装置７０によって透明板Ｐの欠陥等を発見することができると共に、清掃段階で透明板Ｐに繊維等の異物が付着したとしても、上述のように異物除去装置５０によって上記異物を的確に除去することかできるため、上記検査装置７０において上記異物によって透明板Ｐの欠陥と判断されるおそれが少ない。

［その他の実施形態］
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更（構成の置換、付加及び削除）が含まれることが意図される。

上記実施形態では、清掃布Ｃを用いたが、本発明はこれに限らず清掃用の部材としてブラシやスポンジ、紙などを用いてもよい。

つまり、上記実施形態においては、第２清掃装置の搬送機構で搬送される透明板Ｐの高さ（上下高さ）は、第１清掃装置の搬送機構で搬送される透明板Ｐの高さ未満であるものについて説明したが、本発明はこれに限定されず、第１清掃装置及び第２清掃装置の搬送装置で搬送される透明板の高さが同一であっても良い。但し、当該透明板清掃システム１において、第１清掃装置の搬送装置が透明板を搬送する高さ（位置）と第２清掃装置の搬送装置が透明板を搬送する高さ（位置）とが異なり、両搬送装置が透明板を搬送する高さ（位置）の間に回転部の回転軸が上下方向位置するように設けることが好ましく、これにより、反転装置が、平面視で回転部に重なるように透明板を保持できるので、第１受渡領域と第２受渡領域とを近く設定でき、当該透明板清掃システム１の専有面積を小さくできる。具体的には、図６に示すように、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐが、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐよりも高いものも、本発明の意図する範囲内である。なお、図６において、第一実施形態と同一の構成及び機能を有する部材については同一符号を用いた。

また、上記実施形態においては、第２清掃装置の筐体の搬出口と異物除去装置の筐体の搬入口とを気密に接続しているものについて説明したが、第２清掃装置と異物除去装置との間に別途ローダを配置することも可能である。さらに、検査装置の下流側にラミネート装置を配置し、検査終了後の透明板の両面に保護フィルムを貼着することも可能である。

上記の実施形態では、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂの搬送機構としてベルトコンベアを用いたが本発明はこれに限らず、透明板Ｐの下面を吸着した状態で搬送方向Ｘに向かって移動可能な搬送機構等を用いてもよい。

上記の実施形態では、反転装置３０を用いたが、本発明はこれに限らず別の反転装置を用いてもよい。

上記実施形態では、第１清掃部材と第２清掃部材としてそれぞれ同形状のパッドを用いるものを図示しているが、各パッドの形状を異ならしめることも可能である。

上記の実施形態では、１枚の清掃布で２つの押圧ヘッド１３を用いて清掃したが、本発明はこれに限らず、２枚以上の清掃布を用いた構成であってもよい。１枚の清掃布に対して２箇所以上で透明板Ｐを清掃する構成であればよい。

上記の実施形態では、２つの押圧ヘッド１３を備えた構成を採用したが、本発明はこれに限らず、清掃対象、状況や環境等に応じて１つの押圧ヘッドしか備えていない構成や３つ以上の押圧ヘッドを備えた構成であってもよい。

上記の実施形態では、搬送方向Ｘにおいて上流側の押圧ヘッドに設けられた供給ノズルと、搬送方向Ｘにおいて下流側の押圧ヘッドに設けられた供給ノズルの洗浄液供給量は同じ程度であるが、本発明はこれに限らず、透明板の材質や種類、洗浄機の材質や種類等様々な要因に基づいて、一方の供給ノズルが他方の供給ノズルよりも多量の洗浄液を供給するようにしてもよい。

また、上記実施形態においては清掃装置が洗浄液供給機構２８を有するものについて説明したが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではなく、洗浄液供給機構２８を設けた場合にあっても上記実施形態の供給箇所に限定されず、清掃対象物等に応じて適宜設計変更可能である。例えば、上記実施形態においては、洗浄液供給機構２８が、透明板搬送方向最上流の押圧ヘッドの清掃布供給方向上流側の清掃布にも洗浄液を供給する構成を採用したが、この部分に洗浄液を供給しないよう設計変更可能である。

また、上記実施形態では、第１清掃装置、反転装置、第２清掃装置、異物除去装置及び検査装置を備える透明板清掃システム１について説明したが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば第１清掃装置、反転装置、第２清掃装置及び異物除去装置のみを備えるものも本発明の意図する範囲内である。また、第１清掃装置、反転装置、第２清掃装置及び異物除去装置それぞれの間に他のユニットを備えるものも本発明の意図する範囲内である。例えば、第２清掃装置と異物除去装置との間にローダー装置などが入ってもよい。

上記の実施形態の異物除去装置では、粘着ローラ５１により透明板Ｐが搬送される構成を採用したが、本発明はこれに限らず、フリーローラの一部にモータを設けて透明板Ｐを搬送するようにしてもよい。

上記の実施形態の異物除去装置では、粘着テープ５３ａを給送するため、粘着テープ給送機構５４を設けているが、本発明はこれに限らず、粘着テープ５３ａを巻き取ることで給送するようにしてもよい。

また、異物除去装置を設ける場合にあっても、上記実施形態のように異物除去装置が透明板の両面の異物を除去可能に設けられているものに限定されるわけではなく、透明板の一つの清掃面（例えば透明板の一方の面のみ）の異物を除去可能に設けることも可能である。なお、上述のように清掃装置が繊維製の清掃布を用いて清掃を行うものである場合、その清掃布で清掃された清掃面の異物を異物除去装置が除去可能に設けられていることが好ましく、これにより繊維製の清掃布に起因して付着する異物を異物除去装置によって好適に除去することができる。また、異物除去の方法として粘着ローラ５１の代わりに透明板から異物を除去するための他の方法を用いてもよい。例えば、分子間力、電磁力、吸引等の方法を用いて異物を除去してもよい。

さらに、第１清掃装置又は第２清掃装置が繊維製の清掃布を用いて清掃する場合には、既述のように洗浄液を清掃布に含浸させることが好ましいが、本願発明は必ずしもこれに限定されるものではない。

本発明の透明板清掃システム１は、携帯機器の表示装置に用いられるガラス基板等の透明板の清掃に好適に利用できる。

１０Ａ 第１清掃装置
１０Ｂ 第２清掃装置
１０ｃ 筐体
１１ 搬送機構（ベルトコンベア）
１３ 押圧ヘッド
１４ 第１清掃部材
１５ 第２清掃部材
２５ 送給機構
３０ 反転装置
５０ 異物除去装置
５１ 粘着ローラ（粘着部材）
５３ 粘着力回復機構
７０ 検査装置
Ｃ 清掃布
Ｐ 透明板
Ｘ 透明板の搬送方向
Ｙ 清掃布の搬送方向

Claims (10)

1. 透明板を搬送しつつ上記透明板の第１面を清掃する第１清掃装置、
   上記第１清掃装置から搬出された透明板を反転させる反転装置、
   上記反転装置によって反転された透明板を搬送しつつ上記透明板の第２面を清掃する第２清掃装置、及び
   上記第２清掃装置から搬出された透明板の第１面及び／又は第２面に付着する異物を除去可能な異物除去装置
   を備える透明板清掃システム。
2. 上記第１清掃装置及び／又は第２清掃装置が、上記透明板に接触する繊維製の清掃布を備えている請求項１に記載の透明板清掃システム。
3. 上記反転装置が、上記第１清掃装置から上記第２清掃装置に透明板を搬送中に反転させる請求項２に記載の透明板清掃システム。
4. 上記清掃布を含む第１清掃装置及び／又は第２清掃装置が、上記清掃布に洗浄液を供給する洗浄液供給機構をさらに備える請求項２又は請求項３に記載の透明板清掃システム。
5. 上記清掃布が長尺状であり、上記清掃布を含む第１清掃装置及び／又は第２清掃装置が、上記清掃布と上記透明板とが接触する搬送方向少なくとも二つの清掃箇所を有し、
   上記搬送方向上流側の清掃箇所における清掃布の洗浄液含浸量が、上記搬送方向下流側の清掃箇所における清掃布の洗浄液含浸量よりも多い請求項４に記載の透明板清掃システム。
6. 上記清掃布を含む第１清掃装置及び／又は第２清掃装置が、
   上記清掃布の一部を上記透明板に向けて押圧する第１清掃部材、
   上記清掃布の第１清掃部材よりも清掃布送給方向上流側の部分を透明板に向けて押圧する第２清掃部材をさらに備え、
   上記洗浄液供給機構が、清掃布の第１清掃部材と第２清掃部材との間の部分に洗浄液を供給する請求項４又は請求項５に記載の透明板清掃システム。
7. 上記異物除去装置が、透明板の第１面又は第２面に接触する粘着面を有する粘着部材を備える請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の透明板清掃システム。
8. 上記異物除去装置が、上記粘着部材の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着力回復機構をさらに備える請求項７に記載の透明板清掃システム。
9. 上記異物除去装置が、透明板を挟んで互いに対向する二つの上記粘着部材を備える請求項７又は請求項８に記載の透明板清掃システム。
10. 上記異物除去機構から排出される透明板を検査する検査装置をさらに備える請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の透明板清掃システム。
    

Images