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JP2015108881A - Method for manufacturing touch panel substrate with cured film, photosensitive resin composition, photosensitive element, and touch panel - Google Patents

Method for manufacturing touch panel substrate with cured film, photosensitive resin composition, photosensitive element, and touch panel Download PDF

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JP2015108881A
JP2015108881A JP2013250315A JP2013250315A JP2015108881A JP 2015108881 A JP2015108881 A JP 2015108881A JP 2013250315 A JP2013250315 A JP 2013250315A JP 2013250315 A JP2013250315 A JP 2013250315A JP 2015108881 A JP2015108881 A JP 2015108881A
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meth
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cured film
photosensitive layer
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攻治 安部
Koji Abe
攻治 安部
真弓 佐藤
Mayumi Sato
真弓 佐藤
耕士 米田
Koji Yoneda
耕士 米田
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a touch panel substrate with a cured film, which has a cured film having sufficient antirust property even in a thin film state and having excellent alkali developability on a predetermined touch panel substrate.SOLUTION: A photosensitive layer 20 comprising the following photosensitive resin composition is disposed on a touch panel substrate 100: the photosensitive resin composition comprises a binder polymer having a carboxyl group and having an acid value of 80 to 100 mgKOH/g, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator. A predetermined part of the photosensitive layer 20 is cured by irradiation with actinic rays L, and then the photosensitive layer 20 other than the predetermined part is removed so as to form a cured film 22 in the predetermined part of the photosensitive layer 20, covering a part of or the whole of the substrate 100.

Description

本発明は、硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法、それに用いる感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、並びにタッチパネルに関する。   The present invention relates to a method for producing a substrate for a touch panel with a cured film, a photosensitive resin composition and a photosensitive element used therein, and a touch panel.

パソコン、テレビ等の大型電子機器からカーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、OA・FA機器等の表示機器などには液晶表示素子又はタッチパネル(タッチセンサー)が用いられている。これらの液晶表示素子又はタッチパネルには透明導電電極材からなる電極が設けられている。透明導電電極材としては、酸化インジウムスズ(Indium−Tin−Oxide:ITO)、酸化インジウム又は酸化スズが知られている。これらの材料は高い可視光透過率を示すことから液晶表示素子用基板等に用いる電極材として主流になっている。   Liquid crystal display elements or touch panels (touch sensors) are used in large electronic devices such as personal computers and televisions, small electronic devices such as car navigation systems, mobile phones, and electronic dictionaries, and display devices such as OA / FA devices. These liquid crystal display elements or touch panels are provided with electrodes made of a transparent conductive electrode material. As the transparent conductive electrode material, indium tin oxide (Indium-Tin-Oxide: ITO), indium oxide or tin oxide is known. Since these materials exhibit high visible light transmittance, they are mainly used as electrode materials used for substrates for liquid crystal display elements.

タッチパネルはすでに各種の方式が実用化されている。近年、静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。静電容量方式タッチパネルでは、導電体である指先がタッチ入力面に接触すると、指先と導電膜との間で静電容量が結合し、コンデンサを形成する。このため、静電容量方式タッチパネルは、指先の接触位置における電荷の変化を捉えることによって、その座標を検出している。   Various types of touch panels have already been put to practical use. In recent years, the use of capacitive touch panels has progressed. In a capacitive touch panel, when a fingertip that is a conductor comes into contact with a touch input surface, capacitance is coupled between the fingertip and the conductive film to form a capacitor. For this reason, the capacitive touch panel detects the coordinates by capturing the change in charge at the contact position of the fingertip.

特に、投影型静電容量方式のタッチパネルは、指先の多点検出が可能であるため、複雑な指示を行うことができるという良好な操作性を備えている。投影型静電容量方式のタッチパネルは、その操作性の良さから、携帯電話、携帯型音楽プレーヤといった小型の表示装置を有する機器における表示面上の入力装置として利用が進んでいる。   In particular, the projected capacitive touch panel can detect multiple points on the fingertip, and thus has good operability such that a complicated instruction can be given. Projection capacitive touch panels are increasingly used as input devices on display surfaces in devices having small display devices such as mobile phones and portable music players because of their good operability.

一般に、投影型静電容量方式のタッチパネルでは、X軸とY軸とによる2次元座標を表現するために、複数のX電極と、当該X電極に直交する複数のY電極とが、2層構造を形成している。   In general, in a projected capacitive touch panel, a plurality of X electrodes and a plurality of Y electrodes orthogonal to the X electrodes have a two-layer structure in order to express two-dimensional coordinates based on the X axis and the Y axis. Is forming.

ところで、タッチパネルの額縁領域はタッチ位置を検出できない領域であるから、その額縁領域の面積を狭くすることが製品価値を向上させるための重要な要素である。額縁領域には、タッチ位置の検出信号を伝えるために、金属配線が必要となるが、額縁面積の狭小化を図るためには、金属配線の幅を狭くする必要がある。一般的に、金属配線には銅が使用される。   By the way, since the frame region of the touch panel is a region where the touch position cannot be detected, reducing the area of the frame region is an important element for improving the product value. In the frame area, metal wiring is required to transmit a touch position detection signal, but in order to reduce the frame area, it is necessary to reduce the width of the metal wiring. Generally, copper is used for metal wiring.

しかしながら、上述のようなタッチパネルにおいては、指先に接触される際に水分、塩分等の腐食成分がセンシング領域から内部に侵入することがある。タッチパネルの内部に腐食成分が侵入すると、金属配線が腐食し、電極と駆動用回路との間の電気抵抗の増加、又は断線のおそれがあった。   However, in the touch panel as described above, corrosive components such as moisture and salt may intrude into the inside from the sensing region when touching the fingertip. When a corrosive component enters the inside of the touch panel, the metal wiring is corroded, and there is a risk of an increase in electrical resistance between the electrode and the drive circuit, or disconnection.

金属配線の腐食を防ぐために、金属配線上に透明性の高い感光性樹脂組成物からなる感光層を設けて、露光、現像する方法が知られている(例えば、特許文献1〜3)。   In order to prevent corrosion of metal wiring, a method is known in which a photosensitive layer made of a highly transparent photosensitive resin composition is provided on the metal wiring, and exposure and development are performed (for example, Patent Documents 1 to 3).

国際公開第2013/084873号International Publication No. 2013/084873 国際公開第2013/084886号International Publication No. 2013/084886 国際公開第2013/084883号International Publication No. 2013/084883

しかし、上記特許文献に記載の手法では、防錆性と現像性を両立する上で改善の余地があった。   However, the methods described in the above patent documents have room for improvement in achieving both rust prevention and developability.

本発明は、タッチパネル用基材上に、薄膜であっても充分な防錆性を有し、アルカリ現像性に優れる硬化膜を有する硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、そのような硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、並びに硬化膜付きタッチパネル用基材を備えるタッチパネルを提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a method for producing a base material for a touch panel with a cured film having a cured film having sufficient rust prevention properties and excellent alkali developability on a base material for a touch panel. And Moreover, an object of this invention is to provide the touchscreen provided with the photosensitive resin composition and photosensitive element which can form such a cured film, and the base material for touchscreens with a cured film.

上記課題を解決するために本発明者らは鋭意検討した結果、特定のバインダポリマ、光重合性化合物、及び光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物が充分な現像性を有するとともに、光硬化によって形成した膜が薄膜(例えば、15μm以下)であっても充分な防錆性を示し、銅等の金属の腐食を充分に防止できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的態様を下記に示す。   As a result of intensive investigations by the present inventors to solve the above problems, a photosensitive resin composition containing a specific binder polymer, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator has sufficient developability, and light It has been found that even if the film formed by curing is a thin film (for example, 15 μm or less), it exhibits sufficient rust prevention properties and can sufficiently prevent corrosion of metals such as copper, and has completed the present invention. Specific embodiments are shown below.

<1>タッチパネル用基材上に、カルボキシル基を有し、かつ酸価が80〜100mgKOH/gであるバインダポリマと、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物からなる感光層を設け、該感光層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に前記感光層の前記所定部分以外を除去し、前記基材の一部又は全部を被覆する前記感光層の前記所定部分の硬化膜を形成する、硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。
<2>バインダポリマのガラス転移温度が60℃以上である、<1>に記載の硬化膜付きタッチパネルの製造方法。
<3>光重合性化合物がトリメチロールプロパン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジトリメチロールプロパン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ペンタエリスリトール骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、グリセリン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジグリセリン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物からなる群より選択される少なくとも1種の3以上の(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリレート化合物を含む、<1>又は<2>に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。
<4>感光性樹脂組成物が、トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物、及びテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物を更に含有する、<1>〜<3>のいずれか一項に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。
<5>感光性樹脂組成物が、リン酸エステル化合物を更に含有する、<1>〜<4>のいずれか一項に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。
<6>光重合開始剤がオキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物を含有する、<1>〜<5>のいずれか一項に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。
<7>支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた前記感光性樹脂組成物からなる感光層と、を備える感光性エレメントを用意し、該感光性エレメントの感光層を前記基材上に転写して前記感光層を設ける、<1>〜<6>のいずれか一項に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。
<8>カルボキシル基を有し、かつ酸価が80〜100mgKOH/gであるバインダポリマと、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有する、タッチパネル用基材上に硬化膜を形成するための、感光性樹脂組成物。
<9>バインダポリマのガラス転移温度が60℃以上である、<8>に記載の感光性樹脂組成物。
<10>光重合性化合物がトリメチロールプロパン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジトリメチロールプロパン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ペンタエリスリトール骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、グリセリン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジグリセリン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物からなる群より選択される少なくとも1種の3以上の(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリレート化合物を含む、<8>又は<9>に記載の感光性樹脂組成物。
<11>トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物及びテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物を更に含有する、<8>〜<10>のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
<12>リン酸エステル化合物を更に含有する、<8>〜<11>のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
<13>光重合開始剤がオキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物を含有する、<8>〜<12>のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
<14>支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた<8>〜<13>のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光層と、を備える、感光性エレメント。
<15>感光層の厚みが15μm以下である、<14>に記載の感光性エレメント。
<16><1>〜<7>のいずれか一項に記載の方法により得られる硬化膜付きタッチパネル用基材を備える、タッチパネル。
<1> A photosensitive resin composition containing a binder polymer having a carboxyl group and an acid value of 80 to 100 mgKOH / g, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator on a touch panel substrate. The photosensitive layer is provided with a photosensitive layer comprising a product, and a predetermined portion of the photosensitive layer is cured by irradiation with actinic rays, and then the photosensitive layer is removed except for the predetermined portion to cover a part or all of the substrate. The manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film which forms the cured film of the said predetermined part.
The manufacturing method of the touchscreen with a cured film as described in <1> whose glass transition temperature of <2> binder polymer is 60 degreeC or more.
<3> A trifunctional or higher (meth) acrylate compound having a trimethylolpropane skeleton, a trifunctional or higher (meth) acrylate compound having a ditrimethylolpropane skeleton, and a trifunctional or higher functional having a pentaerythritol skeleton. (Meth) acrylate compounds, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compounds having a dipentaerythritol skeleton, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compounds having a glycerol skeleton, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compounds having a diglycerin skeleton, and For a touch panel with a cured film according to <1> or <2>, comprising at least one (meth) acrylate compound having 3 or more (meth) acryloyl groups selected from the group consisting of these alkylene oxide-modified compounds A method for producing a substrate.
<4> The photosensitive resin composition according to any one of <1> to <3>, further including at least one compound selected from the group consisting of a triazole compound, a thiadiazole compound, and a tetrazole compound. Of manufacturing a base material for a touch panel with a cured film.
The manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film as described in any one of <1>-<4> in which a <5> photosensitive resin composition further contains a phosphate ester compound.
The manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film as described in any one of <1>-<5> in which a <6> photoinitiator contains an oxime ester compound or a phosphine oxide compound.
<7> A photosensitive element comprising a support film and a photosensitive layer made of the photosensitive resin composition provided on the support film is prepared, and the photosensitive layer of the photosensitive element is transferred onto the substrate. And the manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film as described in any one of <1>-<6> which provides the said photosensitive layer.
<8> A cured film is formed on a touch panel substrate containing a binder polymer having a carboxyl group and an acid value of 80 to 100 mgKOH / g, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator. A photosensitive resin composition.
<9> The photosensitive resin composition according to <8>, wherein the binder polymer has a glass transition temperature of 60 ° C. or higher.
<10> A trifunctional or higher-functional (meth) acrylate compound having a trimethylolpropane skeleton, a trifunctional or higher functional (meth) acrylate compound having a ditrimethylolpropane skeleton, or a trifunctional or higher functional (having a pentaerythritol skeleton). (Meth) acrylate compounds, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compounds having a dipentaerythritol skeleton, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compounds having a glycerol skeleton, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compounds having a diglycerin skeleton, and The photosensitive resin composition according to <8> or <9>, comprising at least one (meth) acrylate compound having 3 or more (meth) acryloyl groups selected from the group consisting of these alkylene oxide-modified compounds. .
<11> The photosensitive resin composition according to any one of <8> to <10>, further containing at least one compound selected from the group consisting of a triazole compound, a thiadiazole compound, and a tetrazole compound.
<12> The photosensitive resin composition according to any one of <8> to <11>, further containing a phosphate ester compound.
The photosensitive resin composition as described in any one of <8>-<12> in which a <13> photoinitiator contains an oxime ester compound or a phosphine oxide compound.
A photosensitive element provided with a <14> support film and the photosensitive layer which consists of the photosensitive resin composition as described in any one of <8>-<13> provided on this support film.
<15> The photosensitive element according to <14>, wherein the photosensitive layer has a thickness of 15 μm or less.
<16> A touch panel provided with the base material for touchscreens with a cured film obtained by the method as described in any one of <1>-<7>.

本発明によれば、タッチパネル用基材上に、透明性が高く、充分な現像性を有するとともに、薄膜であっても防錆性に優れる硬化膜を有する硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、そのような硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、並びに硬化膜付きタッチパネル用基材を備えるタッチパネルを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, on the base material for touchscreens, while having transparency, sufficient developability, even if it is a thin film, the manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film which has a cured film excellent in rust prevention property Can be provided. Moreover, according to this invention, a touch panel provided with the photosensitive resin composition and photosensitive element which can form such a cured film, and the base material for touch panels with a cured film can be provided.

また、本発明によれば、静電容量式タッチパネルの金属電極を保護することができる。更に、本発明によれば、金属電極と金属電極の間を絶縁するために用いることもできる。   Moreover, according to this invention, the metal electrode of an electrostatic capacitance type touch panel can be protected. Furthermore, according to this invention, it can also be used in order to insulate between a metal electrode.

本発明の感光性エレメントの一実施形態を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows one Embodiment of the photosensitive element of this invention. 本発明の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。It is a schematic cross section for demonstrating one Embodiment of the manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film of this invention. 静電容量式のタッチパネルの一例を示す模式上面図である。It is a model top view which shows an example of an electrostatic capacitance type touch panel. 静電容量式のタッチパネルの別の例を示す模式上面図である。It is a schematic top view which shows another example of an electrostatic capacitance type touch panel. (a)は、図3に示されるC部分のV−V線に沿った部分断面図であり、(b)は、別の態様を示す部分断面図である。(A) is the fragmentary sectional view in alignment with the VV line | wire of C part shown by FIG. 3, (b) is a fragmentary sectional view which shows another aspect. 透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the electrostatic capacitance type touch panel in which a transparent electrode exists in the same plane. 透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの一例を示す一部切欠き斜視図である。It is a partially cutaway perspective view showing an example of a capacitive touch panel in which transparent electrodes are present on the same plane. 図7中のVIII−VIII線に沿った部分断面図である。FIG. 8 is a partial cross-sectional view taken along line VIII-VIII in FIG. 7. 透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法の一例を説明するための図であり、(a)は透明電極を備える基板を示す一部切欠き斜視図であり、(b)は得られる静電容量式タッチパネルを示す一部切欠き斜視図である。It is a figure for demonstrating an example of the manufacturing method of the capacitive touch panel in which a transparent electrode exists in the same plane, (a) is a partially notched perspective view which shows the board | substrate provided with a transparent electrode, (b) FIG. 3 is a partially cutaway perspective view showing the obtained capacitive touch panel. 透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法の一例を説明するための図であり、(a)は図9中のXa−Xa線に沿った部分断面図であり、(b)は絶縁膜を設ける工程を示す部分断面図であり、(c)は図9中のXc−Xc線に沿った部分断面図である。It is a figure for demonstrating an example of the manufacturing method of the electrostatic capacitance type touch panel in which a transparent electrode exists in the same plane, (a) is a fragmentary sectional view along the Xa-Xa line | wire in FIG. ) Is a partial cross-sectional view showing a step of providing an insulating film, and (c) is a partial cross-sectional view taken along line Xc-Xc in FIG. 9. 透明電極配線の上に絶縁フィルムを設け、その上に引き出し配線が設けられ、開口部によって透明電極と引き出し配線が接続されているタッチパネルの一例を示す部分平面図である。It is a partial top view which shows an example of the touchscreen which provided the insulating film on the transparent electrode wiring, provided the lead-out wiring on it, and the transparent electrode and the lead-out wiring were connected by the opening part.

以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to the following embodiments.

本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート又はメタクリレートを意味し、「(メタ)アクリロイル基」とは、アクリロイル基又はメタクリロイル基を意味する。「アルキレンオキサイド変性」とは、(ポリ)オキシアルキレン鎖を有することを意味し、「(ポリ)オキシアルキレン鎖」とは、オキシアルキレン鎖又はポリオキシアルキレン鎖を意味する。「(EO)変性」とは、(ポリ)オキシエチレン鎖を有することを意味する。   In the present specification, “(meth) acrylic acid” means acrylic acid or methacrylic acid, “(meth) acrylate” means acrylate or methacrylate, and “(meth) acryloyl group” An acryloyl group or a methacryloyl group is meant. “Alkylene oxide modification” means having a (poly) oxyalkylene chain, and “(poly) oxyalkylene chain” means an oxyalkylene chain or a polyoxyalkylene chain. “(EO) modified” means having a (poly) oxyethylene chain.

本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また、本明細書において「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。   In this specification, the term “process” is not limited to an independent process, and is included in the term if the intended action of the process is achieved even when it cannot be clearly distinguished from other processes. . Moreover, the numerical value range shown using "to" in this specification shows the range which includes the numerical value described before and behind "to" as a minimum value and a maximum value, respectively.

本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。   In the present specification, the content of each component in the composition is the total amount of the plurality of substances present in the composition unless there is a specific notice when there are a plurality of substances corresponding to each component in the composition. means.

本明細書においてタッチパネル用基材の硬化膜は、保護膜として、電極を有するセンシング領域、金属配線を有する額縁領域、又はその他の領域に設けることができる。タッチパネル用基材の保護膜は、いずれかの領域のみに設けてもよく、複数の領域に設けてもよい。更には、センシング領域に形成された電極の一部に設ける等、保護膜を設ける位置及び範囲は、その使用の目的等に応じて適宜選択することが可能である。
また、本明細書においてタッチパネル用基材の硬化膜は、絶縁膜として、電極と電極の間を絶縁したい領域に設けることができる。
In this specification, the cured film of the base material for touch panels can be provided as a protective film in the sensing area | region which has an electrode, the frame area | region which has metal wiring, or another area | region. The protective film of the base material for touch panels may be provided only in one of the regions, or may be provided in a plurality of regions. Furthermore, the position and range of providing the protective film, such as being provided on a part of the electrode formed in the sensing region, can be appropriately selected according to the purpose of use.
Further, in this specification, the cured film of the base material for a touch panel can be provided as an insulating film in a region where insulation between the electrodes is desired.

図1は、本発明の感光性エレメントの一実施形態を示す模式断面図である。図1に示される感光性エレメント1は、支持フィルム10と、支持フィルム上に設けられた本発明に係る感光性樹脂組成物からなる感光層20と、感光層20の支持フィルム10とは反対側に設けられた保護フィルム30から構成される。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the photosensitive element of the present invention. A photosensitive element 1 shown in FIG. 1 includes a support film 10, a photosensitive layer 20 made of the photosensitive resin composition according to the present invention provided on the support film, and the opposite side of the photosensitive layer 20 from the support film 10. It is comprised from the protective film 30 provided in.

本実施形態の感光性エレメントは、タッチパネル用基材の保護膜の形成に好適に用いることができる。   The photosensitive element of this embodiment can be used suitably for formation of the protective film of the base material for touchscreens.

支持フィルム10としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン又はポリエーテルサルフォンからなるフィルムが挙げられる。   Examples of the support film 10 include a film made of polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, or polyether sulfone.

支持フィルム10の厚さは、被覆性の確保と、支持フィルムを介して露光する際の解像度の低下を抑制する観点から、5〜100μmであることが好ましく、10〜70μmであることがより好ましく、15〜60μmであることが更に好ましい。   The thickness of the support film 10 is preferably 5 to 100 μm, more preferably 10 to 70 μm, from the viewpoint of ensuring coverage and suppressing a decrease in resolution when exposed through the support film. More preferably, it is 15-60 micrometers.

感光層20を構成する本発明に係る感光性樹脂組成物は、特定のバインダポリマ(以下、(A)成分ともいう)と、光重合性化合物(以下、(B)成分ともいう)と、光重合開始剤(以下、(C)成分ともいう)と、を含有する。   The photosensitive resin composition according to the present invention constituting the photosensitive layer 20 includes a specific binder polymer (hereinafter also referred to as (A) component), a photopolymerizable compound (hereinafter also referred to as (B) component), light A polymerization initiator (hereinafter also referred to as component (C)).

本実施形態に係る感光性樹脂組成物によれば、現像性及び基材への密着性を確保しつつ、例えば15μm以下の厚みであっても充分な防錆性を有する保護膜を形成することができる。   According to the photosensitive resin composition according to the present embodiment, a protective film having sufficient rust prevention property is formed even when the thickness is, for example, 15 μm or less, while ensuring developability and adhesion to a substrate. Can do.

本実施形態において、(A)成分であるバインダポリマは、特定の酸価を有するものであれば特に制限はないが、(a1)(メタ)アクリル酸に由来する構成単位、及び(a2)(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を含有する共重合体が好ましい。   In the present embodiment, the binder polymer as the component (A) is not particularly limited as long as it has a specific acid value, but (a1) a structural unit derived from (meth) acrylic acid, and (a2) ( A copolymer containing a structural unit derived from a (meth) acrylic acid alkyl ester is preferred.

(a2)(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、及び(メタ)アクリル酸ヒドロキシルエチルが挙げられる。   (A2) Examples of (meth) acrylic acid alkyl esters include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic. The acid hydroxyethyl is mentioned.

上記共重合体は、更に、上記の(a1)成分又は(a2)成分と共重合可能なモノマーを構成単位に含有していてもよい。   The copolymer may further contain a monomer copolymerizable with the component (a1) or the component (a2) in the structural unit.

上記の(a1)成分又は(a2)成分と共重合可能なモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸ベンジル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2、2、3、3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、アクリルアミド、アクリロニトリル、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、及びビニルトルエンが挙げられる。(A)成分であるバインダポリマを合成する際、上記のモノマーは、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Examples of the monomer copolymerizable with the component (a1) or the component (a2) include, for example, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meth) acrylate, (meth ) Glycidyl acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, acrylamide, acrylonitrile, diacetone acrylamide, Styrene and vinyl toluene are mentioned. When synthesizing the binder polymer as the component (A), the above monomers may be used alone or in combination of two or more.

(A)成分であるバインダポリマの分子量は、特に制限はないが、塗工性及び塗膜強度、現像性の見地から、通常、重量平均分子量(GPCを用いて、標準ポリスチレン換算で測定した値)が10,000〜200,000であることが好ましく、30,000〜150,000であることがより好ましく、50,000〜100,000であることが更に好ましく、50,000〜70,000であることが極めて好ましい。なお、重量平均分子量の測定条件は、本願明細書の実施例と同一の測定条件とする。   The molecular weight of the binder polymer as component (A) is not particularly limited, but from the viewpoint of coating properties, coating film strength, and developability, it is usually a weight average molecular weight (a value measured in terms of standard polystyrene using GPC). ) Is preferably 10,000 to 200,000, more preferably 30,000 to 150,000, still more preferably 50,000 to 100,000, and 50,000 to 70,000. It is very preferable that In addition, the measurement conditions of a weight average molecular weight shall be the same measurement conditions as the Example of this-application specification.

(A)成分であるバインダポリマの酸価は、80〜100mgKOH/gであるが、85〜100mgKOH/gであることが好ましく、90〜100mgKOH/gであることが更に好ましい。(A)成分の酸価が80mgKOH/g以上であることによって、現像工程により感光性樹脂組成物層を選択的に除去してパターンを形成する工程において、公知の各種現像液によって容易に現像することが可能である。また、(A)成分の酸価が100mgKOH/g以下であることによって、基材、電極等の保護膜として機能させる際の水分、塩分等の腐食成分への耐性を充分向上させることができる。   The acid value of the binder polymer as component (A) is 80 to 100 mgKOH / g, preferably 85 to 100 mgKOH / g, and more preferably 90 to 100 mgKOH / g. When the acid value of the component (A) is 80 mgKOH / g or more, in the step of selectively removing the photosensitive resin composition layer in the development step to form a pattern, development is easily performed with various known developers. It is possible. Moreover, when the acid value of the component (A) is 100 mgKOH / g or less, resistance to corrosive components such as moisture and salt when functioning as a protective film for a substrate, an electrode and the like can be sufficiently improved.

バインダポリマの酸価は、次のようにして測定することができる。すなわち、まず、酸価を測定すべきバインダポリマ1gを精秤した後、アセトンを30g添加し、これを均一に溶解する。なお、バインダポリマに合成溶媒、希釈溶媒等の揮発分が含まれる場合は、予め、揮発分の沸点よりも10℃程度高い温度で1〜4時間加熱し、揮発分を除去しておく。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1Nの水酸化カリウム(KOH)水溶液を用いて滴定を行う。測定対象であるバインダポリマのアセトン溶液を中和するのに必要なKOHのmg数を算出することで、酸価を求める。
バンインダポリマを合成溶媒、希釈溶媒等と混合した溶液を測定対象とする場合には、次式により酸価を算出する。
酸価=0.1×Vf×56.1/(Wp×I/100)
式中、VfはKOHの滴定量(mL)を示し、Wpは測定したバインダポリマを含有する溶液の重量(g)を示し、Iは測定したバインダポリマを含有する溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
The acid value of the binder polymer can be measured as follows. That is, first, 1 g of a binder polymer whose acid value is to be measured is precisely weighed, then 30 g of acetone is added, and this is uniformly dissolved. In addition, when volatile matters, such as a synthesis solvent and a dilution solvent, are contained in a binder polymer, it heats for about 1 to 4 hours at about 10 degreeC higher than the boiling point of a volatile matter beforehand, and removes a volatile matter. Next, an appropriate amount of phenolphthalein as an indicator is added to the solution, and titration is performed using a 0.1N potassium hydroxide (KOH) aqueous solution. The acid value is determined by calculating the number of mg of KOH required to neutralize the acetone solution of the binder polymer to be measured.
When a solution obtained by mixing vaninda polymer with a synthetic solvent, a diluting solvent, or the like is an object to be measured, the acid value is calculated by the following formula.
Acid value = 0.1 × Vf × 56.1 / (Wp × I / 100)
In the formula, Vf represents the titration amount (mL) of KOH, Wp represents the weight (g) of the solution containing the measured binder polymer, and I represents the ratio of the nonvolatile content in the solution containing the measured binder polymer ( Mass%).

本発明の(A)成分は、防錆性と現像性を両立する観点から、ガラス転移温度が60〜100℃であることが好ましく、62〜99℃であることが更に好ましく、62〜85℃であることが特に好ましく、65〜79℃であることが極めて好ましい。   The component (A) of the present invention preferably has a glass transition temperature of 60 to 100 ° C, more preferably 62 to 99 ° C, and more preferably 62 to 85 ° C from the viewpoint of achieving both rust prevention and developability. It is particularly preferable that the temperature is 65 to 79 ° C.

15μm以下の硬化膜の場合、水分、塩分等の腐食成分が膜内に含まれやすくなるため充分な防錆性を得ることが困難となる。一方、防錆性を向上させるため、酸価を低く抑えただけでは、透明性、充分な現像性及び基材への密着性を確保することが困難となる傾向にあるが、特定のバインダポリマを用いることによって現像性及び防錆性をより高水準で両立することができる。   In the case of a cured film of 15 μm or less, corrosive components such as moisture and salt are easily contained in the film, so that it is difficult to obtain sufficient rust prevention properties. On the other hand, it is difficult to ensure transparency, sufficient developability and adhesion to a substrate only by keeping the acid value low in order to improve rust prevention. By using this, it is possible to achieve both developability and rust prevention at a higher level.

(B)成分である光重合性化合物は、トリメチロールプロパン骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、ジトリメチロールプロパン骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、ペンタエリスリトール骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、グリセリン骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、ジグリセリン骨格を有する(メタ)アクリレート化合物及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物からなる群より選択される少なくとも1種の(メタ)アクリレート化合物(以下、(b)成分ともいう。)を含むことが好ましい。上記(メタ)アクリレート化合物は、2以上の(メタ)アクリロイル基を有する、2官能以上の(メタ)アクリレート化合物であることが好ましく、3以上の(メタ)アクリロイル基を有する、3官能以上の(メタ)アクリレート化合物であることがより好ましい。   The photopolymerizable compound as component (B) is a (meth) acrylate compound having a trimethylolpropane skeleton, a (meth) acrylate compound having a ditrimethylolpropane skeleton, a (meth) acrylate compound having a pentaerythritol skeleton, or dipentaerythritol. At least one (meth) selected from the group consisting of a (meth) acrylate compound having a skeleton, a (meth) acrylate compound having a glycerin skeleton, a (meth) acrylate compound having a diglycerin skeleton, and these alkylene oxide-modified compounds. It preferably contains an acrylate compound (hereinafter also referred to as component (b)). The (meth) acrylate compound is preferably a bifunctional or higher functional (meth) acrylate compound having two or more (meth) acryloyl groups, and has a trifunctional or higher functionality having 3 or more (meth) acryloyl groups. More preferred is a (meth) acrylate compound.

ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、下記一般式(1)で表される化合物が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylate compound having a skeleton derived from ditrimethylolpropane include a compound represented by the following general formula (1).

Figure 2015108881
Figure 2015108881

上記一般式(1)中、Rは、水素原子、又は(メタ)アクリロイル基を示し、Lはアルキレンオキシ基を示す。nは、0又は1の整数を示す。なお、4つのRはそれぞれ同一であっても異なっていてもよいが、このうち少なくとも2つが(メタ)アクリロイル基である。アルキレンオキシ基としては、エチレンオキシ基又はプロピレンオキシ基が好ましい。 In the general formula (1), R 1 represents a hydrogen atom or a (meth) acryloyl group, and L 1 represents an alkyleneoxy group. n represents an integer of 0 or 1. The four R 1 groups may be the same or different, but at least two of them are (meth) acryloyl groups. As the alkyleneoxy group, an ethyleneoxy group or a propyleneoxy group is preferable.

ジグリセリン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、下記一般式(2)で表される化合物が挙げられる。   Examples of the (meth) acrylate compound having a skeleton derived from diglycerin include a compound represented by the following general formula (2).

Figure 2015108881
Figure 2015108881

上記一般式(2)中、Rは、水素原子、又は(メタ)アクリロイル基を示し、Lはアルキレンオキシ基を示す。nは、0又は1の整数を示す。なお、4つのRはそれぞれ同一であっても異なっていてもよいが、このうち少なくとも2つが(メタ)アクリロイル基である。アルキレンオキシ基としては、エチレンオキシ基又はプロピレンオキシ基が好ましい。 In the general formula (2), R 2 represents a hydrogen atom or a (meth) acryloyl group, and L 2 represents an alkyleneoxy group. n represents an integer of 0 or 1. The four R 2 groups may be the same or different, but at least two of them are (meth) acryloyl groups. As the alkyleneoxy group, an ethyleneoxy group or a propyleneoxy group is preferable.

上記一般式(1)で表される化合物としては、下記式(3)で表されるジトリメチロールプロパンテトラアクリレートが最も好ましい。ジトリメチロールプロパンテトラアクリレートは、T−1420(T)(日本化薬株式会社製、商品名)として商業的に入手可能である。   As the compound represented by the general formula (1), ditrimethylolpropane tetraacrylate represented by the following formula (3) is most preferable. Ditrimethylolpropane tetraacrylate is commercially available as T-1420 (T) (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).

Figure 2015108881
Figure 2015108881

ここで、ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物は、例えば、ジトリメチロールプロパンと、(メタ)アクリル酸とをエステル化する方法、又は、中性触媒使用によるエステル交換法により得ることができる。当該化合物には、アルキレンオキシ基で変性された化合物も包含される。上記の化合物は、一分子中におけるエステル結合の数が2以上であることが好ましく、エステル結合の数が2〜4の化合物が混合していてもよい。   Here, the (meth) acrylate compound having a skeleton derived from ditrimethylolpropane is obtained by, for example, a method of esterifying ditrimethylolpropane and (meth) acrylic acid, or a transesterification method using a neutral catalyst. Can do. The compound also includes a compound modified with an alkyleneoxy group. In the above compound, the number of ester bonds in one molecule is preferably 2 or more, and a compound having 2 to 4 ester bonds may be mixed.

また、ジグリセリン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物は、例えば、ジグリセリンと、(メタ)アクリル酸とをエステル化する方法、又は、中性触媒使用によるエステル交換法により得ることができる。当該化合物には、アルキレンオキシ基で変性された化合物も包含される。上記の化合物は、一分子中におけるエステル結合の数が2以上であることが好ましく、エステル結合の数が2〜4の化合物が混合していてもよい。   The (meth) acrylate compound having a skeleton derived from diglycerin can be obtained by, for example, a method of esterifying diglycerin and (meth) acrylic acid or a transesterification method using a neutral catalyst. The compound also includes a compound modified with an alkyleneoxy group. In the above compound, the number of ester bonds in one molecule is preferably 2 or more, and a compound having 2 to 4 ester bonds may be mixed.

上記のジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、ジグリセリン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物としては、電極腐食の抑制力及び現像容易性をより向上させる観点から、アルキレンオキサイド変性ジトリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート化合物、アルキレンオキサイド変性ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート化合物、アルキレンオキサイド変性ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート化合物、アルキレンオキサイド変性ジグリセリンジ(メタ)アクリレート化合物、アルキレンオキサイド変性ジグリセリントリ(メタ)アクリレート化合物、及びアルキレンオキサイド変性ジグリセリンテトラ(メタ)アクリレート化合物から選択される少なくとも1種の化合物を含むことが好ましく、アルキレンオキサイド変性ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート化合物及びアルキレンオキサイド変性ジグリセリンテトラ(メタ)アクリレート化合物から選択される少なくとも1種の化合物を含むことがより好ましい。   As the (meth) acrylate compound having a skeleton derived from ditrimethylolpropane and the (meth) acrylate compound having a skeleton derived from diglycerin, from the viewpoint of further improving the resistance to electrode corrosion and the ease of development, alkylene oxide modification Ditrimethylolpropane di (meth) acrylate compound, alkylene oxide modified ditrimethylolpropane tri (meth) acrylate compound, alkylene oxide modified ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate compound, alkylene oxide modified diglycerin di (meth) acrylate compound, alkylene oxide modified di At least selected from glycerin tri (meth) acrylate compounds and alkylene oxide modified diglycerin tetra (meth) acrylate compounds Preferably comprises one compound, and more preferably contains at least one compound selected from alkylene oxide-modified ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate compound and alkylene oxide-modified diglycerin tetra (meth) acrylate compound.

ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレートとしては、例えば、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物が挙げられる。これらのうち、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート及びアルキレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートが好ましい。   Examples of the (meth) acrylate having a skeleton derived from dipentaerythritol include dipentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth). ) Acrylates, and these alkylene oxide modified compounds. Of these, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and alkylene oxide-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate are preferred.

トリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えばトリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物が挙げられる。これらのうち、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート及びアルキレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートが好ましい。
ペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えばペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物が挙げられる。これらのうち、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート及びアルキレンオキサイド変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレートが好ましい。
グリセリン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えばグリセリンジ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物が挙げられる。これらのうち、グリセリントリ(メタ)アクリレート及びアルキレンオキサイド変性グリセリントリ(メタ)アクリレートが好ましい。
Examples of the (meth) acrylate compound having a skeleton derived from trimethylolpropane include trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, and these alkylene oxide-modified compounds. Of these, trimethylolpropane tri (meth) acrylate and alkylene oxide-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate are preferred.
Examples of the (meth) acrylate compound having a skeleton derived from pentaerythritol include pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, and alkylene oxide-modified compounds thereof. Of these, pentaerythritol tetra (meth) acrylate and alkylene oxide-modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate are preferred.
Examples of the (meth) acrylate compound having a glycerin-derived skeleton include glycerin di (meth) acrylate, glycerin tri (meth) acrylate, and alkylene oxide-modified compounds thereof. Of these, glycerol tri (meth) acrylate and alkylene oxide-modified glycerol tri (meth) acrylate are preferred.

上記の化合物は、1種を単独で又は2種以上組み合わせて用いることができる。   Said compound can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

本実施形態の感光性樹脂組成物における(A)成分及び(B)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、(A)成分が40〜80質量部、(B)成分が20〜60質量部であることが好ましく、(A)成分が50〜70質量部、(B)成分が30〜50質量部であることがより好ましく、(A)成分が55〜65質量部、(B)成分が35〜45質量部であることが更に好ましい。   The content of the component (A) and the component (B) in the photosensitive resin composition of the present embodiment is such that the component (A) is 40 to 80 with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). It is preferable that a mass part and (B) component are 20-60 mass parts, It is more preferable that (A) component is 50-70 mass parts, (B) component is 30-50 mass parts, (A) More preferably, the component is 55 to 65 parts by mass, and the component (B) is 35 to 45 parts by mass.

(A)成分の含有量を上記範囲内とすることにより、塗布性あるいは感光性エレメントでのフィルム性を充分に確保しつつ、感度及び光硬化性を充分に確保することができる。   By making content of (A) component into the said range, sensitivity and photocurability can fully be ensured, ensuring sufficient coating property or the film property in a photosensitive element.

本実施形態の感光性樹脂組成物は、上記(b)成分以外の光重合性化合物を含有することができる。光重合性化合物として、例えば、上記(b)成分と、単官能モノマー及び多官能モノマーのうちの一種以上とを組み合わせて用いることができる。単官能モノマーとしては、例えば、上記(A)成分のバインダポリマの合成に用いられるモノマーとして例示した(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステル及びそれらと共重合可能なモノマーが挙げられる。   The photosensitive resin composition of this embodiment can contain a photopolymerizable compound other than the component (b). As the photopolymerizable compound, for example, the component (b) can be used in combination with one or more of a monofunctional monomer and a polyfunctional monomer. Examples of the monofunctional monomer include (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid alkyl ester and monomers copolymerizable therewith exemplified as monomers used for the synthesis of the binder polymer of the component (A).

多官能モノマーとしては、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレンポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−メタクリロキシポリプロポキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アクリロキシポリエトキシポリプロポキシフェニル)プロパン、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレートが挙げられる。   Examples of the polyfunctional monomer include polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene polypropylene glycol di (meth) acrylate, 2,2-bis (4-acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2 , 2-bis (4-methacryloxypolypropoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-acryloxypolyethoxypolypropoxyphenyl) propane, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate.

(b)成分である光重合性化合物と、単官能モノマー又は(b)成分以外の多官能モノマーを組み合わせて用いる場合、これらのモノマーの配合割合に特に制限はないが、光硬化性及び電極腐食の抑制力を得る観点から、(b)成分である光重合性化合物の割合が、感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物の合計量100質量部に対して、30質量部以上であることが好ましく、50質量部以上であることがより好ましく、75質量部以上であることが更に好ましい。   When the photopolymerizable compound as component (b) and a monofunctional monomer or a polyfunctional monomer other than component (b) are used in combination, there is no particular limitation on the blending ratio of these monomers, but photocurability and electrode corrosion From the viewpoint of obtaining an inhibitory power, the proportion of the photopolymerizable compound as the component (b) is 30 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the total amount of the photopolymerizable compound contained in the photosensitive resin composition. It is preferably 50 parts by mass or more, and more preferably 75 parts by mass or more.

(C)成分である光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、N,N,N’,N’−テトラメチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N,N’,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン;2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナントラキノン、2−メチル−1,4−ナフトキノン、2,3−ジメチルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;1,2−オクタンジオン、1−[4−(フェニルチオ)フェニル−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、クマリン化合物、オキサゾール化合物などが挙げられる。   As the photopolymerization initiator as component (C), benzophenone, N, N, N ′, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (Michler ketone), N, N, N ′, N′-tetraethyl -4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-methyl-1- [4 Aromatic ketones such as-(methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1; 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, 2-tert-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3- Benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquino Quinones such as 1-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 2-methyl-1,4-naphthoquinone, 2,3-dimethylanthraquinone; benzoin methyl ether Benzoin ether compounds such as benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether, benzoin compounds such as benzoin, methyl benzoin and ethyl benzoin; 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl-, 2- (O-benzoyl) Oxime)], ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like; benzyldimethyl ketal and the like A benzyl derivative of 2- (o-chloro) Enyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole 2,4,5-tria such as dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer Reel imidazole dimer; acridine derivatives such as 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9′-acridinyl) heptane; N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives, coumarin compounds, oxazole compounds, etc. .

ところで、タッチパネル用基材のように透明性が要求される基材に硬化膜を形成する際には、視認性又は美観を考慮すると、硬化膜の透明性はより高いことが好ましい。しかし、その一方で、透明性が高い薄膜の感光層をパターニングする場合、解像性が低下する傾向にあることを本発明者らは見出している。この原因について本発明者らは、感光層の厚みが小さくなると、基材からの光散乱の影響を受けやすく、ハレーションが発生するためと考えている。   By the way, when forming a cured film on a base material that requires transparency, such as a touch panel base material, it is preferable that the transparency of the cured film is higher in view of visibility or aesthetics. However, on the other hand, the present inventors have found that when patterning a thin photosensitive layer having high transparency, the resolution tends to decrease. The present inventors consider that the reason is that when the thickness of the photosensitive layer is reduced, it is easily affected by light scattering from the base material and halation occurs.

なお、タッチパネル用基材の他に透明性が要求される基材としては、プラズマディスプレイパネル(PDP)用、液晶ディスプレイ(LCD)モジュール用、フラットパネルディスプレイ(FPD)用の基材が挙げられる。   In addition to the base material for touch panels, the base material for which transparency is required includes base materials for plasma display panels (PDP), liquid crystal display (LCD) modules, and flat panel displays (FPD).

これに対し、上記光重合開始剤がオキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物を含有することによって、更に充分な解像度でパターン形成が可能となる。   On the other hand, when the photopolymerization initiator contains an oxime ester compound or a phosphine oxide compound, it is possible to form a pattern with a further sufficient resolution.

なお、上記の効果が得られる理由を、オキシムエステル化合物に含まれるオキシム部位又はホスフィンオキサイド化合物に含まれるホスフィンオキサイド部位が、比較的高い光分解効率を有しつつも僅かな漏れ光では分解しない適度な閾値を有するために、漏れ光による影響が抑制された結果であると、本発明者らは推察する。   The reason why the above effect can be obtained is that the oxime moiety contained in the oxime ester compound or the phosphine oxide moiety contained in the phosphine oxide compound has a relatively high photolysis efficiency but does not decompose with slight light leakage. The present inventors infer that the influence of leakage light is suppressed because of having a large threshold.

これらの中でも、形成する硬化膜の透明性、及び膜厚を15μm以下としたときのパターン形成能から、オキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物が好ましい。オキシムエステル化合物としては、下記一般式(4)で表される化合物、下記一般式(5)で表される化合物、又は下記一般式(6)で表される化合物が挙げられる。   Among these, an oxime ester compound or a phosphine oxide compound is preferable from the transparency of the cured film to be formed and the pattern forming ability when the film thickness is 15 μm or less. Examples of the oxime ester compound include a compound represented by the following general formula (4), a compound represented by the following general formula (5), and a compound represented by the following general formula (6).

Figure 2015108881
Figure 2015108881

式(4)中、R及びRは、それぞれ炭素数1〜12のアルキル基、炭素数4〜10のシクロアルキル基又はフェニル基を示し、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基又はフェニル基であることが好ましく、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基又はフェニル基であることがより好ましく、メチル基、シクロペンチル基又はフェニル基であることが更に好ましい。
は、OH、COOH、O(CH)OH、O(CHOH、COO(CH)OH又はCOO(CHOHを示し、O(CH)OH、O(CHOH、COO(CH)OH又はCOO(CHOHであることが好ましく、O(CHOH又はCOO(CHOHであることがより好ましい。尚、芳香環には、R以外の置換基を有してもよい。また、式(4)で表される化合物はRを有していても有していなくてもよい。
In Formula (4), R 3 and R 4 each represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, or a phenyl group, and an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or 4 carbon atoms. Is preferably a cycloalkyl group having 6 to 6 carbon atoms or a phenyl group, more preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 6 carbon atoms or a phenyl group, and a methyl group, cyclopentyl group or phenyl group. More preferably, it is a group.
R 5 represents OH, COOH, O (CH 2 ) OH, O (CH 2 ) 2 OH, COO (CH 2 ) OH or COO (CH 2 ) 2 OH, and O (CH 2 ) OH, O (CH 2 ) 2 OH, COO (CH 2 ) OH or COO (CH 2 ) 2 OH is preferred, and O (CH 2 ) 2 OH or COO (CH 2 ) 2 OH is more preferred. The aromatic ring may have a substituent other than R 5 . The compound represented by formula (4) may not have have a R 5.

Figure 2015108881
Figure 2015108881

式(5)中、Rは、それぞれ炭素数1〜6のアルキル基を示し、プロピル基であることが好ましい。Rは、NO又はArCO(ここで、Arはアリール基を示す。)を示し、Arとしては、トリル基が好ましい。R及びRは、それぞれ炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましい。尚、芳香環には、R以外の置換基を有してもよい。 Wherein (5), R 6 are each an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, it is preferably a propyl group. R 7 represents NO 2 or ArCO (wherein Ar represents an aryl group), and Ar is preferably a tolyl group. R 8 and R 9 each represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group, and preferably a methyl group, a phenyl group or a tolyl group. The aromatic ring may have a substituent other than R 7 .

Figure 2015108881
Figure 2015108881

式(6)中、R10は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、エチル基であることが好ましい。R11はアセタール結合を有する有機基であり、下記式(9)に示す化合物が有するR11に対応する置換基であることが好ましい。R12及びR13は、それぞれ炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。尚、芳香環には、R11以外の置換基を有してもよい。 In Formula (6), R 10 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and is preferably an ethyl group. R 11 is an organic group having an acetal bond, and is preferably a substituent corresponding to R 11 in the compound represented by the following formula (9). R 12 and R 13 each represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group or a tolyl group, preferably a methyl group, a phenyl group or a tolyl group, and more preferably a methyl group. The aromatic ring may have a substituent other than R 11 .

上記式(4)で表される化合物としては、例えば、下記式(7)で表される化合物が挙げられる。これは、アデカクルーズNCI−930(株式会社ADEKA製、商品名)として入手可能である。

Figure 2015108881
As a compound represented by the said Formula (4), the compound represented by following formula (7) is mentioned, for example. This is available as Adeka Cruise NCI-930 (trade name, manufactured by ADEKA Corporation).
Figure 2015108881

上記式(5)で表される化合物としては、例えば、下記式(8)で表される化合物が挙げられる。この化合物は、DFI−091(ダイトーケミックス株式会社製、商品名)として入手可能である。

Figure 2015108881
As a compound represented by the said Formula (5), the compound represented by following formula (8) is mentioned, for example. This compound is available as DFI-091 (trade name, manufactured by Daito Chemix Co., Ltd.).
Figure 2015108881

上記式(6)で表される化合物としては、例えば、下記式(9)で表される化合物が挙げられる。アデカオプトマーN−1919(株式会社ADEKA製、商品名)として入手可能である。   As a compound represented by the said Formula (6), the compound represented by following formula (9) is mentioned, for example. It is available as Adekaoptomer N-1919 (manufactured by ADEKA, trade name).

Figure 2015108881
Figure 2015108881

上記ホスフィンオキサイド化合物としては、下記一般式(10)及び一般式(11)で表される化合物が挙げられる。速硬化性、透明性の観点から、下記一般式(10)で表される化合物が好ましい。   Examples of the phosphine oxide compound include compounds represented by the following general formula (10) and general formula (11). From the viewpoint of fast curability and transparency, a compound represented by the following general formula (10) is preferred.

Figure 2015108881
Figure 2015108881

Figure 2015108881
Figure 2015108881

上記一般式(10)中、R14、R15及びR16はそれぞれ独立に、炭素数1〜20のアルキル基又はアリール基を示す。上記一般式(11)中、R17、R18及びR19はそれぞれ独立に、炭素数1〜20のアルキル基又はアリール基を示す。 In said general formula (10), R <14> , R < 15 > and R < 16 > show a C1-C20 alkyl group or an aryl group each independently. In said general formula (11), R <17> , R <18> and R < 19 > show a C1-C20 alkyl group or an aryl group each independently.

上記一般式(10)におけるR14、R15及びR16が、炭素数1〜20のアルキル基の場合、該アルキル基は直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、また該アルキル基の炭素数は5〜10であることがより好ましい。上記一般式(11)におけるR17、R18及びR19が炭素数1〜20のアルキル基の場合、該アルキル基は直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、また該アルキル基の炭素数は5〜10であることがより好ましい。 When R 14 , R 15 and R 16 in the general formula (10) are alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, the alkyl group may be any of linear, branched and cyclic, Moreover, it is more preferable that carbon number of this alkyl group is 5-10. When R 17 , R 18 and R 19 in the general formula (11) are an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, the alkyl group may be linear, branched or cyclic, More preferably, the alkyl group has 5 to 10 carbon atoms.

上記一般式(10)におけるR14、R15及びR16がアリール基の場合、該アリール基は置換基を有していてもよい。該置換基としては、例えば、炭素数1〜6のアルキル基及び炭素数1〜4のアルコキシ基を挙げることができる。上記一般式(11)におけるR17、R18及びR19がアリール基の場合、該アリール基は置換基を有していてもよい。該置換基としては例えば、炭素数1〜6のアルキル基及び炭素数1〜4のアルコキシ基を挙げることができる。 When R 14 , R 15 and R 16 in the general formula (10) are an aryl group, the aryl group may have a substituent. Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. When R 17 , R 18 and R 19 in the general formula (11) are an aryl group, the aryl group may have a substituent. Examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.

これらの中でも、上記一般式(10)は、R14、R15及びR16がアリール基であることが好ましく、一般式(11)で表わされる化合物は、R17、R18及びR19がアリール基であることが好ましい。 Among these, in the general formula (10), R 14 , R 15 and R 16 are preferably aryl groups, and the compound represented by the general formula (11) has R 17 , R 18 and R 19 as aryl. It is preferably a group.

上記一般式(10)で表わされる化合物としては、形成する硬化膜の透明性、及び膜厚を15μm以下としたときのパターン形成能から、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドが好ましい。2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイドは、例えば、DAROCUR−TPO(BASFジャパン社製、商品名)として商業的に入手可能である。   As the compound represented by the general formula (10), 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide is obtained from the transparency of the cured film to be formed and the pattern forming ability when the film thickness is 15 μm or less. preferable. 2,4,6-Trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide is commercially available, for example, as DAROCUR-TPO (trade name, manufactured by BASF Japan).

(C)成分である光重合開始剤の含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、0.1〜20質量部であることが好ましく、0.5〜10質量部であることがより好ましく、1.0〜3質量部であることが更に好ましい。   The content of the photopolymerization initiator that is the component (C) is preferably 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B), and 0.5 to More preferably, it is 10 mass parts, and it is still more preferable that it is 1.0-3 mass parts.

(C)成分の含有量を上記範囲内とすることにより、光感度が充分となるとともに、露光の際に組成物の表面での吸収が増大することを抑え内部の光硬化性を向上することができる。   By making the content of the component (C) within the above range, the photosensitivity becomes sufficient, and the increase in absorption on the surface of the composition during exposure is suppressed, and the internal photocurability is improved. Can do.

本実施形態の感光性樹脂組成物は、防錆性と現像性を両立する点から、トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物、及びテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物(以下、(D)成分ともいう)を更に含有することが好ましい。   The photosensitive resin composition of this embodiment is at least one compound selected from the group consisting of a triazole compound, a thiadiazole compound, and a tetrazole compound (hereinafter referred to as (D)) from the viewpoint of achieving both rust prevention and developability. It is preferable to further contain a component).

上記トリアゾール化合物としては、ベンゾトリアゾール、1H−ベンゾトリアゾール−1−アセトニトリル、ベンゾトリアゾール−5−カルボン酸、1H−ベンゾトリアゾール−1−メタノール、カルボキシベンゾトリアゾール、3−メルカプトトリアゾール等のメルカプト基を含むトリアゾール化合物、3−アミノ−5−メルカプトトリアゾール等のアミノ基を含むトリアゾール化合物などが挙げられる。   Examples of the triazole compound include benzotriazole, 1H-benzotriazole-1-acetonitrile, benzotriazole-5-carboxylic acid, 1H-benzotriazole-1-methanol, carboxybenzotriazole, triazole containing a mercapto group such as 3-mercaptotriazole. Examples thereof include triazole compounds containing an amino group such as compounds and 3-amino-5-mercaptotriazole.

上記チアジアゾール化合物としては、2−アミノ−5−メルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2,1,3−ベンゾチアジアゾール等が挙げられる。   Examples of the thiadiazole compound include 2-amino-5-mercapto-1,3,4-thiadiazole, 2,1,3-benzothiadiazole and the like.

上記テトラゾール化合物としては、下記一般式(12)で表わされる化合物が挙げられる。   Examples of the tetrazole compound include compounds represented by the following general formula (12).

Figure 2015108881
Figure 2015108881

上記一般式(12)中のR20及びR21は、各々独立に、水素、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、フェニル基、アミノフェニル基、炭素数7〜20のアルキルフェニル基、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基又は炭素数2〜10のカルボキシアルキル基を示す。 R 20 and R 21 in the general formula (12) are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, a phenyl group, an aminophenyl group, or 7 carbon atoms. A C-20 alkylphenyl group, an amino group, a mercapto group, a C1-C10 alkyl mercapto group, or a C2-C10 carboxyalkyl group is shown.

アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、iso−プロピル基、ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、オクタデシル基、ノナデシル基、イコシル基等が挙げられる。   As the alkyl group, methyl group, ethyl group, propyl group, iso-propyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, Examples include an undecyl group, a tridecyl group, a tetradecyl group, a pentadecyl group, an octadecyl group, a nonadecyl group, and an icosyl group.

シクロアルキル基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基等が挙げられ、アルキルフェニル基としては、例えば、メチルフェニル基、エチルフェニル基等が挙げられる。   Examples of the cycloalkyl group include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, and a cyclooctyl group. Examples of the alkylphenyl group include a methylphenyl group and an ethylphenyl group.

アルキルメルカプト基としては、例えば、メチルメルカプト基、エチルメルカプト基等が挙げられ、カルボキシアルキル基としては、例えば、カルボキシメチル基、カルボキシエチル基等が挙げられる。   Examples of the alkyl mercapto group include a methyl mercapto group and an ethyl mercapto group. Examples of the carboxyalkyl group include a carboxymethyl group and a carboxyethyl group.

上記一般式(12)で表されるテトラゾール化合物の具体例としては、1H−テトラゾール、5−アミノ−1H−テトラゾール、5−メチル−1H−テトラゾール、1−メチル−5−エチル−テトラゾール、1−メチル−5−メルカプト−テトラゾール、5−(2−アミノフェニル)−1H−テトラゾール、1−シクロヘキシル−5−メルカプト−テトラゾール、1−フェニル−5−メルカプト−テトラゾール、1−カルボキシメチル−5−メルカプト−テトラゾール、5−フェニル−1H−テトラゾール、1−フェニル−テトラゾール等が挙げられる。   Specific examples of the tetrazole compound represented by the general formula (12) include 1H-tetrazole, 5-amino-1H-tetrazole, 5-methyl-1H-tetrazole, 1-methyl-5-ethyl-tetrazole, 1- Methyl-5-mercapto-tetrazole, 5- (2-aminophenyl) -1H-tetrazole, 1-cyclohexyl-5-mercapto-tetrazole, 1-phenyl-5-mercapto-tetrazole, 1-carboxymethyl-5-mercapto- Examples include tetrazole, 5-phenyl-1H-tetrazole, and 1-phenyl-tetrazole.

上記一般式(12)で表されるテトラゾール化合物は、その水溶性塩であってもよい。具体例としては、1−カルボキシメチル−5−メルカプト−テトラゾールのナトリウム、カリウム、リチウム等のアルカリ金属塩等が挙げられる。   The tetrazole compound represented by the general formula (12) may be a water-soluble salt thereof. Specific examples include alkali metal salts of 1-carboxymethyl-5-mercapto-tetrazole such as sodium, potassium and lithium.

これらの中でも、電極腐食の抑制力、金属電極との密着性、現像容易性、透明性の観点から、1H−テトラゾール、5−アミノ−1H−テトラゾール又は1−メチル−5−メルカプト−1H−テトラゾールが好ましい。   Among these, 1H-tetrazole, 5-amino-1H-tetrazole, or 1-methyl-5-mercapto-1H-tetrazole from the viewpoints of the ability to suppress electrode corrosion, adhesion to metal electrodes, ease of development, and transparency Is preferred.

これらのテトラゾール化合物及びその水溶性塩は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   These tetrazole compounds and water-soluble salts thereof may be used alone or in combination of two or more.

また、保護層を設ける電極表面が銅、銀、ニッケル等の金属を有している場合、現像性を更に向上させる観点から、感光性樹脂組成物はアミノ基を有するテトラゾール化合物を更に含有することが好ましい。この場合、現像残渣を低減することができ、良好なパターンで硬化膜を形成することが容易となる。この理由としては、アミノ基を有するテトラゾール化合物の配合によって、現像液に対する溶解性と金属との密着力のバランスが良好となることが考えられる。   Moreover, when the electrode surface which provides a protective layer has metals, such as copper, silver, and nickel, from a viewpoint which further improves developability, the photosensitive resin composition should further contain the tetrazole compound which has an amino group. Is preferred. In this case, development residue can be reduced, and it becomes easy to form a cured film with a good pattern. The reason for this may be that the balance between the solubility in the developer and the adhesion between the metal and the metal is improved by blending the tetrazole compound having an amino group.

アミノ基を有するテトラゾール化合物を含有する場合、上記の効果が得られることから、本実施形態に係る感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、銅等の金属層を形成して導電性を向上させたタッチパネルの額縁領域における電極を保護するための保護膜の形成に好適である。   When the tetrazole compound having an amino group is contained, the above effect can be obtained. Therefore, the photosensitive resin composition and the photosensitive element according to the present embodiment form a metal layer such as copper to improve conductivity. It is suitable for forming a protective film for protecting the electrode in the frame region of the touch panel.

本実施形態の感光性樹脂組成物における(D)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、0.05〜10.0質量部とすることが好ましく、0.1〜2.0質量部とすることがより好ましく、0.2〜1.0質量部とすることが更に好ましい。   Content of (D) component in the photosensitive resin composition of this embodiment shall be 0.05-10.0 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component and (B) component. Preferably, it is more preferable to set it as 0.1-2.0 mass parts, and it is still more preferable to set it as 0.2-1.0 mass part.

(D)成分の含有量を上記範囲内とすることにより、現像性又は解像度を維持しつつ、電極腐食の抑制力及び金属電極との密着性を向上させる効果を充分に得ることができる。   By setting the content of the component (D) within the above range, it is possible to sufficiently obtain the effect of improving the resistance to electrode corrosion and the adhesion to the metal electrode while maintaining developability or resolution.

本実施形態の感光性樹脂組成物は、金属電極との密着性の観点から、更にリン酸エステル化合物を含有させることが好ましい。リン酸エステル化合物としては、例えば、2−メタクリロイロキシエチルアシッドホスフェート(共栄社化学株式会社製、商品名「ライトエステルP−1M」、「ライトエステルP−2M」)、エチレンオキサイド変性リン酸ジメタクリレート(日本化薬株式会社製、商品名「PM−21」)、アシッドホスホオキシエチルメタクリレート(ユニケミカル株式会社製、商品名「ホスマーM」)、リン酸含有エポキシメタクリレート(第一工業製薬株式会社製、商品名「ニューフロンティアS−23A」)等のリン酸(メタ)アクリレート化合物;ビニルホスホン酸(BASF株式会社製、商品名「VPA−90」、「VPA−100」)等のリン酸ビニル化合物等の分子中に炭素−炭素二重結合を有するリン酸化合物などが挙げられる。   The photosensitive resin composition of the present embodiment preferably further contains a phosphate ester compound from the viewpoint of adhesion to the metal electrode. Examples of the phosphoric acid ester compound include 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade names “light ester P-1M” and “light ester P-2M”), ethylene oxide-modified phosphoric acid dimethacrylate. (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name “PM-21”), Acid Phosphooxyethyl methacrylate (Uni Chemical Co., trade name “Phosmer M”), Phosphoric acid-containing epoxy methacrylate (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) , Trade name "New Frontier S-23A") and other phosphoric acid (meth) acrylate compounds; vinyl phosphonic acid (BASF Corporation, trade names "VPA-90", "VPA-100") and other vinyl phosphate compounds And phosphoric acid compounds having a carbon-carbon double bond in the molecule.

本実施形態の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、シランカップリング剤、レベリング剤、可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、重合禁止剤等を(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、各々0.01〜20質量部程度含有させることができる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   The photosensitive resin composition of the present embodiment includes a silane coupling agent, a leveling agent, a plasticizer, a filler, an antifoaming agent, a flame retardant, a stabilizer, an antioxidant, a fragrance, and a thermal crosslinking agent as necessary. The polymerization inhibitor and the like can be contained in an amount of about 0.01 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). These can be used alone or in combination of two or more.

本実施形態の感光性樹脂組成物は、可視光線透過率の最小値が90%以上であることが好ましく、92%以上であることがより好ましく、95%以上であることが更に好ましい。   The photosensitive resin composition of this embodiment preferably has a minimum visible light transmittance of 90% or more, more preferably 92% or more, and still more preferably 95% or more.

一般的な可視光波長域の光線である400〜700nmの波長域における透過率の最小値が90%以上であれば、例えば、タッチパネル(タッチセンサー)の表示部分の透明電極も保護する場合、タッチパネル(タッチセンサー)の額縁領域の金属層(例えば、ITO電極上に銅層を形成した層など)を保護したときに、表示部分の端部から保護層が見える場合等において、表示部分での表示品質、色合い、又は、輝度が低下することを抑制することができる。   If the minimum value of the transmittance in the wavelength range of 400 to 700 nm, which is a light beam in a general visible light wavelength range, is 90% or more, for example, when the transparent electrode of the display portion of the touch panel (touch sensor) is also protected, the touch panel Display on the display part when the protective layer is visible from the edge of the display part when the metal layer (for example, a layer in which a copper layer is formed on the ITO electrode) of the frame area of the (touch sensor) is protected It is possible to suppress a decrease in quality, hue, or luminance.

また、本実施形態の感光性樹脂組成物は、タッチパネルの視認性を更に向上させる観点から、CIELAB表色系でのbが−0.2〜1.0であることが好ましく、−0.0〜0.7であることがより好ましく、0.1〜0.4であることが更に好ましい。bが0.8以上又は−0.2以下では、可視光線透過率が90%未満である場合と同様に、表示部分での表示品質、色合いが低下する傾向がある。なお、CIELAB表色系でのbの測定は、例えばコニカミノルタ製分光測色計「CM−5」を使用し、bが0.1〜0.2である厚さ0.7mmのガラス基板に厚み5μmの感光性樹脂組成物層を形成し、紫外線を照射して感光性樹脂組成物層を光硬化した後、D65光源、視野角2°に設定して測定することにより得られる。 In the photosensitive resin composition of the present embodiment, from the viewpoint of further improving the visibility of the touch panel, b * in the CIELAB color system is preferably −0.2 to 1.0, and −0. It is more preferably 0 to 0.7, and still more preferably 0.1 to 0.4. When b * is 0.8 or more or −0.2 or less, the display quality and color tone in the display portion tend to be reduced as in the case where the visible light transmittance is less than 90%. In addition, the measurement of b * in the CIELAB color system uses, for example, a Konica Minolta spectrocolorimeter “CM-5”, and a glass with a thickness of 0.7 mm and b * of 0.1 to 0.2. It is obtained by forming a photosensitive resin composition layer having a thickness of 5 μm on a substrate, photo-curing the photosensitive resin composition layer by irradiating ultraviolet rays, and then measuring by setting a D65 light source and a viewing angle of 2 °.

感光層20は、本実施形態の感光性樹脂組成物を塗布液とし、これを支持体フィルム上に塗布、乾燥することにより形成できる。塗布液は、上述した本実施形態の感光性樹脂組成物を構成する各成分を溶剤に均一に溶解又は分散することにより得ることができる。   The photosensitive layer 20 can be formed by using the photosensitive resin composition of the present embodiment as a coating solution, and applying and drying this on a support film. The coating liquid can be obtained by uniformly dissolving or dispersing each component constituting the photosensitive resin composition of the present embodiment described above in a solvent.

溶剤としては、特に制限はなく、公知のものが使用でき、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、クロロホルム、塩化メチレン等が挙げられる。これら溶剤は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上の溶剤からなる混合溶剤として用いてもよい。   The solvent is not particularly limited and known ones can be used. For example, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, toluene, methanol, ethanol, propanol, butanol, methylene glycol, ethylene glycol, propylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, Examples include ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, chloroform, and methylene chloride. These solvents may be used alone or as a mixed solvent composed of two or more solvents.

塗布方法としては、例えば、ドクターブレードコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ロールコーティング法、スクリーンコーティング法、スピナーコーティング法、インクジェットコーティング法、スプレーコーティング法、ディップコーティング法、グラビアコーティング法、カーテンコーティング法、ダイコーティング法等が挙げられる。   Application methods include, for example, doctor blade coating method, Meyer bar coating method, roll coating method, screen coating method, spinner coating method, inkjet coating method, spray coating method, dip coating method, gravure coating method, curtain coating method, die coating Examples thereof include a coating method.

乾燥条件に特に制限はないが、乾燥温度は、60〜130℃とすることが好ましく、乾燥時間は、0.5〜30分とすることが好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular in drying conditions, It is preferable that drying temperature shall be 60-130 degreeC, and it is preferable that drying time shall be 0.5-30 minutes.

感光層の厚さは、保護膜として充分な効果を発揮し、かつ部分的な電極保護膜形成により生じるタッチパネル(タッチセンサー)表面の段差が充分小さくなるうえでは、乾燥後の厚さで15μm以下であることが好ましく、2〜10μmであることがより好ましく、3〜8μmであることが更に好ましい。   The thickness of the photosensitive layer is 15 μm or less in terms of the thickness after drying in order to exhibit a sufficient effect as a protective film and to sufficiently reduce the level difference on the surface of the touch panel (touch sensor) caused by the formation of a partial electrode protective film. It is preferable that it is 2-10 micrometers, and it is still more preferable that it is 3-8 micrometers.

本実施形態においては、感光層20が、可視光線透過率が90%以上であることが好ましく、92%以上であることがより好ましく、95%以上であることが更に好ましい。また、感光層20が、CIELAB表色系でのbが−0.2〜1.0となるよう調整されることが好ましい。 In the present embodiment, the photosensitive layer 20 preferably has a visible light transmittance of 90% or more, more preferably 92% or more, and still more preferably 95% or more. The photosensitive layer 20 is preferably adjusted so that b * in the CIELAB color system is −0.2 to 1.0.

保護フィルム30(カバーフィルム)としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、及びポリエチレン−酢酸ビニル共重合体とポリエチレンの積層フィルム等からなるフィルムが挙げられる。   Examples of the protective film 30 (cover film) include polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene-vinyl acetate copolymer, and a film made of a laminated film of polyethylene-vinyl acetate copolymer and polyethylene.

以上、感光性エレメントについて説明したが、本発明においては、上述した本実施形態の感光性樹脂組成物の塗布液を、タッチパネル用基材上に塗布し、乾燥して、感光性樹脂組成物からなる感光層を設けてもよい。この場合、塗布方法としては、上述した感光性エレメントにおける感光層の場合と同様の方法を挙げることができる。また、この用途の場合においても、感光層は上述した、膜厚、可視光線透過率、CIELAB表色系でのbの条件を満たすことが好ましい。 As described above, the photosensitive element has been described. In the present invention, the photosensitive resin composition coating liquid of the present embodiment described above is applied onto a base material for a touch panel, dried, and then from the photosensitive resin composition. A photosensitive layer may be provided. In this case, examples of the coating method include the same methods as those for the photosensitive layer in the photosensitive element described above. Also in this application, it is preferable that the photosensitive layer satisfies the above-described conditions of film thickness, visible light transmittance, and b * in the CIELAB color system.

次に、本発明に係る硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法について説明する。図2は、本発明の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法の一実施形態を説明するための模式断面図である。   Next, the manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film which concerns on this invention is demonstrated. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view for explaining an embodiment of the method for producing a base material for a touch panel with a cured film of the present invention.

本実施形態の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法は、タッチパネル用電極110及び120を有するタッチパネル用基材100上に、上記の感光性樹脂組成物からなる感光層20を設ける第1工程と、感光層20の所定部分を活性光線の照射により硬化させる第2工程と、露光後に所定部分以外の感光層を除去し、電極の一部又は全部を被覆する感光性樹脂組成物の硬化物からなる硬化膜(保護膜)22を形成する第3工程とを備える。こうして、硬化膜付きタッチパネル用基材が得られる。得られる硬化膜付きタッチパネル用基材は、硬化膜付きタッチパネル(タッチセンサー)200として用いることができる。   The manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film of this embodiment is the 1st process which provides the photosensitive layer 20 which consists of said photosensitive resin composition on the base material 100 for touchscreens which has the electrodes 110 and 120 for touchscreens. A second step of curing a predetermined portion of the photosensitive layer 20 by irradiation with actinic rays; and from a cured product of the photosensitive resin composition that removes the photosensitive layer other than the predetermined portion after exposure and covers a part or all of the electrode And a third step of forming a cured film (protective film) 22. In this way, the base material for touchscreens with a cured film is obtained. The base material for touch panels with a cured film obtained can be used as the touch panel (touch sensor) 200 with a cured film.

本実施形態で使用される基材には特に制限はなく、一般にタッチパネル(タッチセンサー)用として用いられる、ガラス板、プラスチック板、セラミック板等の基板が挙げられる。この基板上には、タッチパネル用電極が設けられる。電極としては、ITO、Cu、Al、Mo、Ag等の電極、TFT等が挙げられる。また、基板上には、絶縁層が設けられていてもよい。   There is no restriction | limiting in particular in the base material used by this embodiment, Substrates, such as a glass plate, a plastic plate, a ceramic board, generally used for touchscreens (touch sensor) are mentioned. A touch panel electrode is provided on the substrate. Examples of the electrode include electrodes such as ITO, Cu, Al, Mo, and Ag, and TFT. Further, an insulating layer may be provided over the substrate.

図2に示されるタッチパネル用電極110及び120を有するタッチパネル用基材100は、例えば、以下の手順で得ることができる。PETフィルムなどの基材上に、ITO、Cuの順にスパッタ法により金属膜を形成した後、金属膜上にエッチング用感光性フィルムを貼り付け、所望のレジストパターンを形成し、不要なCuを塩化鉄水溶液等のエッチング液で除去した後、レジストパターンをはく離除去する。   The base material 100 for touch panels which has the electrodes 110 and 120 for touch panels shown by FIG. 2 can be obtained in the following procedures, for example. A metal film is formed on a substrate such as a PET film by sputtering in the order of ITO and Cu, and then a photosensitive film for etching is pasted on the metal film to form a desired resist pattern, and unnecessary Cu is chlorinated. After removing with an etching solution such as an iron aqueous solution, the resist pattern is peeled off.

本実施形態の第1工程では、本実施形態の感光性エレメント1の保護フィルム30を除去した後、感光性エレメントを加熱しながら、タッチパネル用基材100のタッチパネル用電極110及び120が設けられている表面に感光層20を圧着することにより積層する(図2の(a)を参照)。   In the first step of the present embodiment, after removing the protective film 30 of the photosensitive element 1 of the present embodiment, the touch panel electrodes 110 and 120 of the touch panel substrate 100 are provided while heating the photosensitive element. The photosensitive layer 20 is laminated on the existing surface by pressure bonding (see FIG. 2A).

圧着手段としては、圧着ロールが挙げられる。圧着ロールは、加熱圧着できるように加熱手段を備えたものであってもよい。   Examples of the pressing means include a pressing roll. The pressure roll may be provided with a heating means so that it can be heat-pressure bonded.

加熱圧着する場合の加熱温度は、感光層とタッチパネル用基材との密着性を充分確保しながら、感光層の構成成分が熱硬化又は熱分解されにくいよう、10〜180℃とすることが好ましく、20〜160℃とすることがより好ましく、30〜150℃とすることが更に好ましい。   The heating temperature for thermocompression bonding is preferably 10 to 180 ° C. so that the components of the photosensitive layer are not easily cured or thermally decomposed while ensuring sufficient adhesion between the photosensitive layer and the touch panel substrate. It is more preferable to set it as 20-160 degreeC, and it is still more preferable to set it as 30-150 degreeC.

また、加熱圧着時の圧着圧力は、感光層とタッチパネル用基材との密着性を充分確保しながら、基材の変形を抑制する観点から、線圧で50〜1×10N/mとすることが好ましく、2.5×10〜5×10N/mとすることがより好ましく、5×10〜4×10N/mとすることが更に好ましい。 In addition, the pressure during thermocompression bonding is 50 to 1 × 10 5 N / m in terms of linear pressure from the viewpoint of suppressing deformation of the base material while ensuring sufficient adhesion between the photosensitive layer and the touch panel base material. It is preferable to set it as 2.5 * 10 < 2 > -5 * 10 < 4 > N / m, and it is still more preferable to set it as 5 * 10 < 2 > -4 * 10 < 4 > N / m.

感光性エレメント1を上記のように加熱すれば、基材を予熱処理することは必要ではないが、感光層と基材との密着性を更に向上させる点から、基材を予熱処理することが好ましい。このときの予熱温度は、30〜180℃とすることが好ましい。   If the photosensitive element 1 is heated as described above, it is not necessary to pre-heat the base material. However, in order to further improve the adhesion between the photosensitive layer and the base material, the base material may be pre-heated. preferable. The preheating temperature at this time is preferably 30 to 180 ° C.

本実施形態においては、感光性エレメントを用いる代わりに、本実施形態の感光性樹脂組成物を塗布液として基材100のタッチパネル用電極110及び120が設けられている表面に塗布し、乾燥して感光層20を形成することができる。   In the present embodiment, instead of using the photosensitive element, the photosensitive resin composition of the present embodiment is applied as a coating liquid to the surface of the substrate 100 where the touch panel electrodes 110 and 120 are provided and dried. The photosensitive layer 20 can be formed.

本実施形態の第2工程では、感光層20に、フォトマスク130を介して、活性光線Lをパターン状に露光する(図2の(b)を参照)。   In the second step of the present embodiment, the photosensitive layer 20 is exposed to an actinic ray L in a pattern via a photomask 130 (see FIG. 2B).

露光の際、感光層20上の支持フィルム10が透明の場合には、そのまま露光することができ、不透明の場合には除去してから露光する。感光層の保護という点からは、支持フィルムとして透明な重合体フィルムを用い、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露光することが好ましい。   At the time of exposure, when the support film 10 on the photosensitive layer 20 is transparent, it can be exposed as it is, and when it is opaque, it is removed and then exposed. From the viewpoint of protecting the photosensitive layer, it is preferable to use a transparent polymer film as the support film, and expose the polymer film while leaving the polymer film remaining.

露光に用いられる活性光線の光源としては、公知の活性光源が使用でき、例えば、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等が挙げられる。   As a light source of actinic light used for exposure, a known actinic light source can be used, and examples thereof include a carbon arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, and a xenon lamp.

このときの、活性光線の照射量は、通常、1×10〜1×10J/mであり、照射の際に、加熱を伴うこともできる。この活性光線照射量が、1×10J/m未満では、光硬化の効果が不充分となる傾向があり、1×10J/mを超えると、感光層が変色する傾向がある。 The irradiation amount of actinic rays at this time is usually 1 × 10 2 to 1 × 10 4 J / m 2 , and heating can be accompanied during irradiation. If the irradiation amount of actinic rays is less than 1 × 10 2 J / m 2 , the photocuring effect tends to be insufficient, and if it exceeds 1 × 10 4 J / m 2 , the photosensitive layer tends to discolor. is there.

本実施形態の第3工程では、露光後の感光層を現像液で現像して未露光部を除去し、基材の一部又は全部を被覆する本実施形態の感光性樹脂組成物の硬化物からなる保護膜22を形成する。形成される保護膜22は所定のパターンを有することができる。   In the third step of the present embodiment, the exposed photosensitive layer is developed with a developer to remove the unexposed portion, and the cured product of the photosensitive resin composition of the present embodiment that covers a part or all of the substrate. A protective film 22 made of is formed. The formed protective film 22 can have a predetermined pattern.

なお、露光後、感光層に支持フィルムが積層されている場合にはそれを除去した後、現像液による未露光部を除去する現像が行われる。   In addition, after exposure, when the support film is laminated | stacked on the photosensitive layer, after removing it, the image development which removes the unexposed part by a developing solution is performed.

現像方法としては、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、シャワー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像を行い、不要部を除去する方法が挙げられる。中でも、環境、安全性の観点からアルカリ水溶液を用いることが好ましい。   As a development method, development is performed by a known method such as spraying, showering, rocking dipping, brushing, scraping, etc., using a known developing solution such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, or an organic solvent, and unnecessary portions are removed. The method of doing is mentioned. Among these, it is preferable to use an alkaline aqueous solution from the viewpoint of environment and safety.

アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化アルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等)、炭酸アルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等)、アルカリ金属リン酸塩(リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等)、アルカリ金属ピロリン酸塩(ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等)、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミンなどが挙げられる。中でも、炭酸ナトリウム又は水酸化テトラメチルアンモニウムが好ましい。   Examples of the base of the alkaline aqueous solution include alkali hydroxide (lithium, sodium or potassium hydroxide, etc.), alkali carbonate (lithium, sodium or potassium carbonate or bicarbonate, etc.), alkali metal phosphate (potassium phosphate, etc.) , Sodium phosphate, etc.), alkali metal pyrophosphates (sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, etc.), tetramethylammonium hydroxide, triethanolamine and the like. Among these, sodium carbonate or tetramethylammonium hydroxide is preferable.

現像温度及び時間は、本実施形態の感光性樹脂組成物の現像性に合わせて調整することができる。   The development temperature and time can be adjusted according to the developability of the photosensitive resin composition of the present embodiment.

また、アルカリ水溶液中には、界面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させることができる。   Further, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for accelerating development, and the like can be mixed in the alkaline aqueous solution.

また、現像後、光硬化後の感光層に残存したアルカリ水溶液の塩基を、有機酸、無機酸又はこれらの酸水溶液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知方法により酸処理(中和処理)することができる。   Further, the base of the alkaline aqueous solution remaining in the photosensitive layer after development and photocuring is converted into an acid by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing or scraping using an organic acid, an inorganic acid or an aqueous acid solution thereof. It can be treated (neutralized).

更に、酸処理(中和処理)の後、水洗する工程を行うこともできる。   Furthermore, after the acid treatment (neutralization treatment), a step of washing with water can be performed.

現像後、必要に応じて、露光(例えば、5×10〜2×10J/m)により、硬化物を更に硬化させてもよい。なお、本実施形態の感光性樹脂組成物は、現像後の加熱工程なしでも金属に対して優れた密着性を示すが、必要に応じて、現像後の露光の代わりに、又は露光と合わせて、加熱処理(80〜250℃)を施してもよい。 After development, the cured product may be further cured by exposure (for example, 5 × 10 3 to 2 × 10 4 J / m 2 ) as necessary. Note that the photosensitive resin composition of the present embodiment exhibits excellent adhesion to a metal even without a heating step after development, but if necessary, instead of exposure after development or in combination with exposure. Heat treatment (80 to 250 ° C.) may be performed.

上述のように、本実施形態の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、タッチパネル用基材の硬化膜を形成するための使用に好適である。   As described above, the photosensitive resin composition and the photosensitive element of the present embodiment are suitable for use for forming a cured film of a base material for a touch panel.

また、本発明は、本発明に係る感光性樹脂組成物を含む硬化膜の形成材料を提供することができる。この硬化膜の形成材料は、上述した本実施形態の感光性樹脂組成物を含むことができ、更に上述した溶媒を含有する塗布液であることが好ましい。   Moreover, this invention can provide the formation material of the cured film containing the photosensitive resin composition which concerns on this invention. The material for forming the cured film can contain the photosensitive resin composition of the present embodiment described above, and is preferably a coating solution containing the solvent described above.

次に、図3〜図5を用いて、本発明に係る硬化膜の使用箇所の一例を説明する。図3は、静電容量式タッチパネルの一例を示す模式上面図である。図3に示されるタッチパネルは、透明基板101の片面にタッチ位置座標を検出するためのタッチ画面102があり、この領域の静電容量変化を検出するための透明電極103及び透明電極104が基板101上に設けられている。透明電極103及び透明電極104はそれぞれタッチ位置の静電容量の変化を検出し、X位置座標及びY位置座標とする。   Next, an example of the place where the cured film according to the present invention is used will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a schematic top view illustrating an example of a capacitive touch panel. The touch panel shown in FIG. 3 has a touch screen 102 for detecting touch position coordinates on one surface of the transparent substrate 101, and the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 for detecting a change in capacitance in this region are the substrate 101. It is provided above. The transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 detect a change in electrostatic capacitance at the touch position, respectively, and set it as an X position coordinate and a Y position coordinate.

透明基板101上には、透明電極103及び透明電極104からタッチ位置の検出信号を外部回路に伝えるための引き出し配線105が設けられている。また、引き出し配線105と透明電極103及び透明電極104とは、透明電極103及び透明電極104上に設けられた接続電極106により接続されている。また、引き出し配線105の透明電極103及び透明電極104との接続部と反対側の端部には、外部回路との接続端子107が設けられている。本発明の感光性樹脂組成物は、引き出し配線105、接続電極106及び接続端子107の保護膜122としての硬化膜パターンを形成するために好適に用いることができる。この際に、センシング領域にある電極を同時に保護することもできる。図3では、保護膜122により、引き出し配線105、接続電極106、センシング領域の一部電極及び接続端子107の一部を保護しているが、保護膜を設ける箇所は適宜変更してもよい。例えば、図4に示すように、タッチ画面102を全て保護するように保護膜123を設けてもよい。   On the transparent substrate 101, a lead-out wiring 105 for transmitting a touch position detection signal from the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 to an external circuit is provided. The lead-out wiring 105 is connected to the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 by a connection electrode 106 provided on the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104. A connection terminal 107 for connecting to an external circuit is provided at the end of the lead-out wiring 105 opposite to the connection portion between the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104. The photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used for forming a cured film pattern as the protective film 122 for the lead-out wiring 105, the connection electrode 106, and the connection terminal 107. At this time, the electrodes in the sensing region can be protected at the same time. In FIG. 3, the lead-out wiring 105, the connection electrode 106, a part of the sensing region electrode, and a part of the connection terminal 107 are protected by the protective film 122, but the location where the protective film is provided may be changed as appropriate. For example, as shown in FIG. 4, a protective film 123 may be provided so as to protect the entire touch screen 102.

図5を用いて、図3に示したタッチパネルにおいて、透明電極と引き出し配線との接続部の断面構造を説明する。図5は、図3に示されるC部分のV−V線に沿った部分断面図であり、透明電極104と引き出し配線105の接続部を説明するための図である。図5の(a)に示すように、透明電極104と引き出し配線105とは、接続電極106を介して電気的に接続されている。図5の(a)に示すように、透明電極104の一部、引き出し配線105及び接続電極106の全部が、保護膜122としての硬化膜パターンで覆われている。同様に、透明電極103と引き出し配線105とは、接続電極106を介して電気的に接続されている。なお、図5の(b)に示すように、透明電極104と引き出し配線105とが直接、電気的に接続されていてもよい。本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、上記構造部分の保護膜としての硬化膜パターンを形成するために好適に使用できる。   With reference to FIG. 5, a cross-sectional structure of a connection portion between the transparent electrode and the lead-out wiring in the touch panel shown in FIG. 3 will be described. FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line VV of the portion C shown in FIG. 3 and is a diagram for explaining a connection portion between the transparent electrode 104 and the lead-out wiring 105. As shown in FIG. 5A, the transparent electrode 104 and the lead wiring 105 are electrically connected via the connection electrode 106. As shown in FIG. 5A, a part of the transparent electrode 104, the lead-out wiring 105, and the connection electrode 106 are all covered with a cured film pattern as the protective film 122. Similarly, the transparent electrode 103 and the lead wiring 105 are electrically connected via the connection electrode 106. As shown in FIG. 5B, the transparent electrode 104 and the lead-out wiring 105 may be directly electrically connected. The photosensitive resin composition and photosensitive element of this invention can be used conveniently in order to form the cured film pattern as a protective film of the said structure part.

本実施形態における、タッチパネルの製造方法について説明する。まず、タッチパネル用基材である透明基板101上に、透明電極(X位置座標)103を形成する。続いて、絶縁層(図示せず)を介して、透明電極(Y位置座標)104を形成する。透明電極103及び透明電極104の形成は、透明基板101上に形成した透明電極層を、エッチングする方法などを用いることができる。   The manufacturing method of the touch panel in this embodiment is demonstrated. First, a transparent electrode (X position coordinate) 103 is formed on a transparent substrate 101 that is a base material for a touch panel. Subsequently, a transparent electrode (Y position coordinate) 104 is formed through an insulating layer (not shown). The transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 can be formed by a method of etching the transparent electrode layer formed on the transparent substrate 101.

次に、透明基板101の表面に、外部回路と接続するための引き出し配線105と、この引き出し配線と透明電極103及び透明電極104を接続する接続電極106を形成する。引き出し配線105及び接続電極106は、透明電極103及び透明電極104の形成後に形成しても、各透明電極形成時に同時に形成してもよい。引き出し配線105及び接続電極106の形成は、金属スパッタリング後、エッチング法などを用いることができる。引き出し配線105は、例えば、フレーク状の銀を含有する導電ペースト材料を使って、スクリーン印刷法を用いて、接続電極106を形成するのと同時に形成することができる。次に、引き出し配線105と外部回路とを接続するための接続端子107を形成する。   Next, on the surface of the transparent substrate 101, a lead-out wiring 105 for connecting to an external circuit and a connection electrode 106 for connecting the lead-out wiring with the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 are formed. The lead-out wiring 105 and the connection electrode 106 may be formed after the transparent electrode 103 and the transparent electrode 104 are formed, or may be formed at the same time as each transparent electrode is formed. The lead-out wiring 105 and the connection electrode 106 can be formed by etching after metal sputtering. The lead-out wiring 105 can be formed at the same time as the connection electrode 106 is formed by screen printing using a conductive paste material containing flaky silver, for example. Next, a connection terminal 107 for connecting the lead wiring 105 and an external circuit is formed.

上記工程により形成された透明電極103、透明電極104、引き出し配線105、接続電極106、及び接続端子107を覆うように、本実施形態に係る感光性エレメント1を圧着し、上記電極上に感光層20を設ける。次に、転写した感光層20に対し、所望の形状にフォトマスクを介してパターン状に活性光線Lを照射する。活性光線Lを照射した後、現像を行い、感光層20の所定部分以外を除去することで、感光層20の所定部分の硬化物からなる保護膜122を形成する。このようにして、保護膜122を備えるタッチパネル、すなわち保護膜122付きタッチパネル用基材(透明基板101)を備えるタッチパネルを製造することができる。   The photosensitive element 1 according to this embodiment is pressure-bonded so as to cover the transparent electrode 103, the transparent electrode 104, the lead-out wiring 105, the connection electrode 106, and the connection terminal 107 formed by the above process, and a photosensitive layer is formed on the electrode. 20 is provided. Next, the actinic ray L is irradiated to the transferred photosensitive layer 20 in a desired shape through a photomask. After irradiating the actinic ray L, development is performed to remove portions other than the predetermined portion of the photosensitive layer 20, thereby forming a protective film 122 made of a cured product of the predetermined portion of the photosensitive layer 20. In this manner, a touch panel including the protective film 122, that is, a touch panel including the touch panel base material (transparent substrate 101) with the protective film 122 can be manufactured.

次に、図6〜図10を用いて、本発明に係る硬化膜の使用箇所を説明する。本発明の硬化膜は、例えば、図7〜図10の絶縁膜124としても好適に使用することができる。   Next, the use location of the cured film which concerns on this invention is demonstrated using FIGS. The cured film of the present invention can be suitably used, for example, as the insulating film 124 in FIGS.

図6は、透明電極(X位置座標)103及び透明電極(Y位置座標)104が同一平面上に存在する静電容量式タッチパネルの一例を示す平面図である。図7は、その一部切欠き斜視図である。図8は、図7中のVIII−VIII線に沿った部分断面図である。上記静電容量式タッチパネルは、透明基板101上に、静電容量変化を検出して、X位置座標とする透明電極103と、Y位置座標とする透明電極104とを有する。これらのX、Y位置座標とするそれぞれの透明電極103、104には、タッチパネルとしての電気信号を制御するドライバ素子回路(図示せず)の制御回路に接続するための引き出し配線105a及び105bを有する。   FIG. 6 is a plan view showing an example of a capacitive touch panel in which the transparent electrode (X position coordinate) 103 and the transparent electrode (Y position coordinate) 104 exist on the same plane. FIG. 7 is a partially cutaway perspective view thereof. 8 is a partial cross-sectional view taken along line VIII-VIII in FIG. The capacitive touch panel includes a transparent electrode 103 that detects a change in capacitance and uses X position coordinates, and a transparent electrode 104 uses Y position coordinates on a transparent substrate 101. Each of the transparent electrodes 103 and 104 having the X and Y position coordinates has lead-out wirings 105a and 105b for connecting to a control circuit of a driver element circuit (not shown) that controls an electrical signal as a touch panel. .

透明電極(X位置座標)103と透明電極(Y位置座標)104とが交差する部分には、絶縁膜124が設けられている。   An insulating film 124 is provided at a portion where the transparent electrode (X position coordinate) 103 and the transparent electrode (Y position coordinate) 104 intersect.

透明電極(X位置座標)103及び透明電極(Y位置座標)104が同一平面上に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法について説明する。   A method of manufacturing a capacitive touch panel in which the transparent electrode (X position coordinates) 103 and the transparent electrode (Y position coordinates) 104 are present on the same plane will be described.

静電容量式タッチパネルの製造方法は、例えば、透明導電材料を用いた公知の方法により、透明電極(X位置座標)103と、後にY位置座標を検出する透明電極104となる透明電極の一部を透明基板101上に予め形成した基板を用いてもよい。図9は、透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法の一例を説明するための図であり、(a)は透明電極を備える基板を示す一部切欠き斜視図であり、(b)は得られる静電容量式タッチパネルを示す一部切欠き斜視図である。図10は、透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネルの製造方法の一例を説明するための図である。   A method for manufacturing a capacitive touch panel is, for example, a known method using a transparent conductive material, and a part of a transparent electrode that becomes a transparent electrode (X position coordinate) 103 and a transparent electrode 104 that later detects a Y position coordinate. Alternatively, a substrate formed in advance on the transparent substrate 101 may be used. FIG. 9 is a diagram for explaining an example of a method for manufacturing a capacitive touch panel in which transparent electrodes are present on the same plane, and (a) is a partially cutaway perspective view showing a substrate provided with transparent electrodes. (B) is a partially cutaway perspective view showing the obtained capacitive touch panel. FIG. 10 is a diagram for explaining an example of a method for manufacturing a capacitive touch panel in which transparent electrodes exist on the same plane.

まず、図9(a)及び図10(a)に示されるような、透明電極(X位置座標)103と、透明電極の一部104aとが予め形成された基板を用意し、透明電極103の一部(透明電極の一部104aに挟まれる部分)に絶縁膜124を設ける(図10の(b))。その後、公知の方法により、導電パターンが形成される。この導電パターンにより透明電極のブリッジ部104bを形成することができる(図10(c))。この透明電極のブリッジ部104bにより、予め形成された透明電極の一部104a同士を導通することができ、透明電極(Y位置座標)104が形成される。   First, as shown in FIG. 9A and FIG. 10A, a substrate on which a transparent electrode (X position coordinate) 103 and a part 104a of the transparent electrode are formed in advance is prepared. An insulating film 124 is provided on a part (a part sandwiched by a part 104a of the transparent electrode) ((b) of FIG. 10). Thereafter, a conductive pattern is formed by a known method. With this conductive pattern, the bridge portion 104b of the transparent electrode can be formed (FIG. 10C). By this transparent electrode bridge portion 104 b, a part of the transparent electrodes 104 a formed in advance can be connected to each other, and a transparent electrode (Y position coordinate) 104 is formed.

予め形成された透明電極は、例えば、ITOなどを用いた公知の方法により形成されてもいてもよい。また、引き出し配線105a及び105bは、透明導電材料の他、Cu、Ag等の金属などを用いた公知の方法で形成することが可能である。また、引き出し配線105a及び105bが予め形成された基板を用いてもよい。   The previously formed transparent electrode may be formed by a known method using ITO or the like, for example. The lead wires 105a and 105b can be formed by a known method using a metal such as Cu or Ag in addition to the transparent conductive material. Alternatively, a substrate on which the lead wirings 105a and 105b are formed in advance may be used.

図11は、その他の静電容量式タッチパネルの一例を示す部分平面図である。図11に記載の構成は、タッチパネルの狭額縁化を意図したものである。図11では、透明基板101上の透明電極104から延びた透明電極配線104c上に透明絶縁膜125が設けられており、更に透明絶縁膜125上に引き出し配線105が設けられている。透明絶縁膜125の必要箇所の上下には開口部108が設けられており、透明電極104と引き出し配線105とが接続、導通されている。本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、上記構造の部分絶縁膜としての樹脂硬化膜パターンの形成のための使用に好適である。   FIG. 11 is a partial plan view showing an example of another capacitive touch panel. The configuration described in FIG. 11 is intended to narrow the frame of the touch panel. In FIG. 11, the transparent insulating film 125 is provided on the transparent electrode wiring 104 c extending from the transparent electrode 104 on the transparent substrate 101, and the lead-out wiring 105 is further provided on the transparent insulating film 125. Openings 108 are provided above and below the necessary portion of the transparent insulating film 125, and the transparent electrode 104 and the lead-out wiring 105 are connected and conducted. The photosensitive resin composition and photosensitive element of the present invention are suitable for use for forming a cured resin film pattern as a partial insulating film having the above structure.

以下、実施例を挙げて本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

[バインダポリマ溶液(A1)の作製]
撹拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表1に示す(1)を仕込み、窒素ガス雰囲気下で80℃に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表1に示す(2)を4時間かけて均一に滴下した。(2)の滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、重量平均分子量が60,000、酸価が91mgKOH/g、ガラス転移温度が70℃のバインダポリマの溶液(固形分45質量%)(A1)を得た。
[Preparation of Binder Polymer Solution (A1)]
A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet and a thermometer was charged with (1) shown in Table 1, heated to 80 ° C. in a nitrogen gas atmosphere, and the reaction temperature was 80 ° C. ± 2 While maintaining the temperature, (2) shown in Table 1 was added dropwise uniformly over 4 hours. After the dropwise addition of (2), stirring was continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours, a solution of a binder polymer having a weight average molecular weight of 60,000, an acid value of 91 mgKOH / g, and a glass transition temperature of 70 ° C. (solid content: 45 mass) %) (A1) was obtained.

Figure 2015108881
Figure 2015108881

なお、重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。GPCの条件を以下に示す。
GPC条件
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製、製品名)
カラム:Gelpack GL−R420、Gelpack GL−R430、Gelpack GL−R440(以上、日立化成株式会社製、製品名)
カラム仕様:直径10.7mm × 300mm
溶離液:テトラヒドロフラン
試料濃度:NV(不揮発分濃度)50質量%の樹脂溶液を120mg採取、5mLのTHFに溶解
注入量:200μL
圧力:4.9MPa
測定温度:40℃
流量:2.05mL/分
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製、製品名)
The weight average molecular weight (Mw) was measured by gel permeation chromatography (GPC), and was derived by conversion using a standard polystyrene calibration curve. The GPC conditions are shown below.
GPC conditions Pump: Hitachi L-6000 type (manufactured by Hitachi, Ltd., product name)
Column: Gelpack GL-R420, Gelpack GL-R430, Gelpack GL-R440 (above, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., product name)
Column specifications: Diameter 10.7mm x 300mm
Eluent: Tetrahydrofuran Sample concentration: Collecting 120 mg of NV (non-volatile content) 50% by weight resin solution and dissolving in 5 mL of THF Injection volume: 200 μL
Pressure: 4.9 MPa
Measurement temperature: 40 ° C
Flow rate: 2.05 mL / min Detector: Hitachi L-3300 type RI (manufactured by Hitachi, Ltd., product name)

[酸価の測定方法]
酸価は、次のようにして測定した。まず、バインダポリマの溶液を、130℃で1時間加熱し、揮発分を除去して、固形分を得た。そして、酸価を測定すべきポリマ1.0gを精秤した後、このポリマにアセトンを30g添加し、これを均一に溶解した。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1NのKOH水溶液を用いて滴定を行った。そして、バインダポリマのアセトン溶液を中和するのに必要なKOHのmg数を次式により算出し、酸価を求めた。酸価=0.1×Vf×56.1/(Wp×I/100)式中、VfはKOHの滴定量(mL)を示し、Wpは測定したポリマ溶液の重量(g)を示し、Iは測定したポリマ溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
[Measurement method of acid value]
The acid value was measured as follows. First, the binder polymer solution was heated at 130 ° C. for 1 hour to remove volatile components to obtain a solid content. Then, after precisely weighing 1.0 g of a polymer whose acid value is to be measured, 30 g of acetone was added to the polymer and dissolved uniformly. Next, an appropriate amount of an indicator, phenolphthalein, was added to the solution, and titration was performed using a 0.1N aqueous KOH solution. Then, the number of mg of KOH required to neutralize the acetone solution of the binder polymer was calculated according to the following formula to determine the acid value. Acid value = 0.1 × Vf × 56.1 / (Wp × I / 100) In the formula, Vf represents the titration amount (mL) of KOH, Wp represents the weight (g) of the measured polymer solution, and I Indicates the ratio (% by mass) of the non-volatile content in the measured polymer solution.

[ガラス転移温度の測定方法]
ガラス転移温度(℃)は、以下のFoxの式より算出されるものである。
Tg(℃)=(w1/Tg1+w2/Tg2+・・・+wk/Tgk)−273
但し、Tgは共重合体のガラス転移温度であり、Tg1、Tg2、・・・・・Tgkは各単量体成分の単独共重合体のガラス転移温度であり、w1、w2・・・・・wkは各単量体成分のモル分率を表し、w1+w2+・・・・・wk=1である。
[Measurement method of glass transition temperature]
The glass transition temperature (° C.) is calculated from the following Fox equation.
Tg (° C.) = (W1 / Tg1 + w2 / Tg2 +... + Wk / Tgk) -273
Where Tg is the glass transition temperature of the copolymer, Tg1, Tg2,... Tgk is the glass transition temperature of the homopolymer of each monomer component, w1, w2. wk represents the molar fraction of each monomer component, and w1 + w2 +... wk = 1.

(実施例1)[硬化膜を形成するための感光性樹脂組成物溶液(V−1)の調製]
表2に示す材料を、攪拌機を用いて15分間混合し、硬化膜を形成するための感光性樹脂組成物溶液(V−1)を調整した。
(Example 1) [Preparation of photosensitive resin composition solution (V-1) for forming a cured film]
The materials shown in Table 2 were mixed for 15 minutes using a stirrer to prepare a photosensitive resin composition solution (V-1) for forming a cured film.

[硬化膜を形成するための感光性エレメント(E−1)の作製]
支持フィルムとして厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを使用し、感光性樹脂組成物溶液(V−1)を支持フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶剤を除去し、感光性樹脂組成物からなる感光層(感光性樹脂組成物層)を形成した。得られた感光層の厚さは5μmであった。
[Production of photosensitive element (E-1) for forming a cured film]
A polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm was used as the support film, and the photosensitive resin composition solution (V-1) was uniformly applied on the support film using a comma coater, and 3 in a hot air convection dryer at 100 ° C. The solvent was removed by drying for minutes to form a photosensitive layer (photosensitive resin composition layer) made of the photosensitive resin composition. The resulting photosensitive layer had a thickness of 5 μm.

次いで、得られた感光層の上に25μmの厚さのポリエチレンフィルムを、カバーフィルムとして張り合わせて、硬化膜を形成するための感光性エレメント(E−1)を作製した。   Next, a polyethylene film having a thickness of 25 μm was laminated as a cover film on the obtained photosensitive layer to produce a photosensitive element (E-1) for forming a cured film.

[硬化膜の透過率の測定]
得られた感光性エレメント(E−1)のポリエチレンフィルムをはがしながら、厚さ1mmのガラス基板上に、感光層が接するようにラミネータ(日立化成株式会社製、商品名HLM−3000型)を用いて、ロール温度120℃、基板送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×10Pa(厚さが1mm、縦10cm×横10cmの基板を用いたため、このときの線圧は9.8×10N/m)の条件でラミネートして、ガラス基板上に、感光層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。
[Measurement of transmittance of cured film]
While peeling the polyethylene film of the obtained photosensitive element (E-1), a laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name HLM-3000) is used so that the photosensitive layer is in contact with a 1 mm thick glass substrate. In this case, a substrate having a roll temperature of 120 ° C., a substrate feed speed of 1 m / min, and a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 4 × 10 5 Pa (thickness of 1 mm, length of 10 cm × width of 10 cm is used. 8 × 10 3 N / m) was laminated to prepare a laminate in which a photosensitive layer and a support film were laminated on a glass substrate.

次いで、得られた積層体の感光層に、平行光線露光機(オーク製作所株式会社製、EXM1201)を使用して、感光層側より露光量5×10J/mで(i線(波長365nm)における測定値)、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、厚さ5.0μmの感光層からなる硬化膜を有する透過率測定用試料を得た。 Next, a parallel light exposure machine (EXM1201 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) was used for the photosensitive layer of the obtained laminate, and the exposure amount was 5 × 10 2 J / m 2 from the photosensitive layer side (i-line (wavelength The measured value at 365 nm) was irradiated with ultraviolet rays, and then the support film was removed to obtain a transmittance measurement sample having a cured film composed of a photosensitive layer having a thickness of 5.0 μm.

次いで、得られた試料を日立計測器サービス株式会社製の紫外可視分光光度計(U−3310)を使用して、測定波長域400〜700nmで可視光線透過率を測定した。得られた感光層の波長400nmにおける透過率は、波長700nmにおいて97%、波長550nmにおいて96%、波長400nmにおいて94%であり、400〜700nmにおける透過率の最小値は94%であり、良好な透過率を確保できていた。   Next, the visible light transmittance of the obtained sample was measured in a measurement wavelength range of 400 to 700 nm using an ultraviolet-visible spectrophotometer (U-3310) manufactured by Hitachi Instrument Service Co., Ltd. The transmittance of the obtained photosensitive layer at a wavelength of 400 nm is 97% at a wavelength of 700 nm, 96% at a wavelength of 550 nm, and 94% at a wavelength of 400 nm, and the minimum value of the transmittance at 400 to 700 nm is 94%. The transmittance was secured.

[硬化膜のbの測定]
得られた感光性エレメント(E−1)のポリエチレンフィルムをはがしながら、厚さ0.7mmのガラス基板(b:0.1〜0.2)上に、感光層が接するようにラミネート([硬化膜の透過率の測定]に記載の条件と同一)して、ガラス基板上に、感光層及び支持体フィルムが積層された基板を作製した。
[Measurement of b * of cured film]
While peeling the polyethylene film of the obtained photosensitive element (E-1), a laminate ([[ *] ) is placed so that the photosensitive layer is in contact with a 0.7 mm thick glass substrate (b * : 0.1 to 0.2). The same conditions as described in Measurement of transmittance of cured film] were prepared, and a substrate in which a photosensitive layer and a support film were laminated on a glass substrate was produced.

次いで、得られた感光層に、平行光線露光機(オーク製作所株式会社製、EXM1201)を使用して、感光層側より露光量5×10J/mで(i線(波長365nm)における測定値)紫外線を照射した後、支持体フィルムを除去し、更に感光層側上方より露光量1×10J/mで(i線(波長365nm)における測定値)紫外線を照射し、厚さ5.0μmの感光層の硬化物からなる保護膜(光硬化した硬化膜)を有するb測定用試料を得た。 Next, the obtained photosensitive layer was subjected to an exposure amount of 5 × 10 2 J / m 2 from the photosensitive layer side (i-line (wavelength 365 nm)) using a parallel light exposure machine (EXM1201 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.). Measurement value) After irradiating with ultraviolet rays, the support film is removed, and further, irradiated with ultraviolet rays at an exposure amount of 1 × 10 4 J / m 2 (measured value at i-line (wavelength 365 nm)) from the upper side of the photosensitive layer. A b * measurement sample having a protective film (photocured cured film) made of a cured product of a photosensitive layer having a thickness of 5.0 μm was obtained.

次いで、得られた試料をコニカミノルタ株式会社製の分光測色計(CM−5)を使用して、光源設定D65、視野角2°でCIELAB表色系でのbを測定したところ、感光層のbは0.44であり、良好なbを有していることが確認された。 Next, the obtained sample was measured for b * in the CIELAB color system using a spectrocolorimeter (CM-5) manufactured by Konica Minolta Co., Ltd. with a light source setting of D65 and a viewing angle of 2 °. The b * of the layer was 0.44 and was confirmed to have good b * .

[感光層のアルカリ現像性試験]
得られた感光性エレメント(E−1)のポリエチレンフィルムをはがしながら、スパッタ銅付きポリイミドフィルム(東レフィルム加工株式会社製)上に、感光層が接するようラミネート([硬化膜の透過率の測定]に記載の条件と同一)して、スパッタ銅上に、感光層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。
[Alkali developability test of photosensitive layer]
While peeling off the polyethylene film of the obtained photosensitive element (E-1), a laminate ([Measurement of transmittance of cured film] is made so that the photosensitive layer comes into contact with a polyimide film with sputtered copper (manufactured by Toray Film Processing Co., Ltd.). To obtain a laminate in which a photosensitive layer and a support film are laminated on sputtered copper.

次いで、感光層上に積層されている支持フィルムを除去し、感光層側より0.75MPaの圧力で1.0重量%炭酸ナトリウム(和光純薬工業株式会社製)水溶液を噴射し、感光層が完全に除去されるまでの時間及び除去後の感光層の形状を観察し現像性を評価した。
A : 感光層除去までの時間が15秒以内であり、かつ感光層が溶解する。
B : 感光層除去までの時間が30秒以内であり、かつ感光層が完全に溶解する。
C : 感光層除去までの時間が30秒以内であるが、感光層は溶解されずに剥離された状態で残存する。
D : 感光層除去までの時間が30秒よりも長く、かつ感光層は溶解されずに剥離された状態で残存する。
評価用試料を観察したところ、感光層が除去されるまでの時間は14秒であり、かつ感光層が溶解したため評価はAであった。
Next, the support film laminated on the photosensitive layer is removed, and an aqueous solution of 1.0% by weight sodium carbonate (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) is sprayed from the photosensitive layer side at a pressure of 0.75 MPa. The developing time was evaluated by observing the time until complete removal and the shape of the photosensitive layer after removal.
A: The time until the photosensitive layer is removed is within 15 seconds, and the photosensitive layer is dissolved.
B: The time until the photosensitive layer is removed is within 30 seconds, and the photosensitive layer is completely dissolved.
C: The time until the photosensitive layer is removed is within 30 seconds, but the photosensitive layer remains in a peeled state without being dissolved.
D: The time until removal of the photosensitive layer is longer than 30 seconds, and the photosensitive layer remains in a peeled state without being dissolved.
When the sample for evaluation was observed, the time until the photosensitive layer was removed was 14 seconds, and the evaluation was A because the photosensitive layer was dissolved.

[硬化膜の塩水噴霧試験]
得られた感光性エレメント(E−1)のポリエチレンフィルムをはがしながら、スパッタ銅付きポリイミドフィルム(東レフィルム加工株式会社製)上に、感光層が接するようにラミネート([硬化膜の透過率の測定]に記載の条件と同一)して、スパッタ銅上に、感光層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。
[Salt spray test of cured film]
While peeling off the polyethylene film of the obtained photosensitive element (E-1), the laminate ([Measurement of transmittance of cured film] was made so that the photosensitive layer was in contact with the polyimide film with sputtered copper (manufactured by Toray Film Processing Co., Ltd.). To produce a laminate in which a photosensitive layer and a support film are laminated on sputtered copper.

次いで、得られた積層体の感光層に、平行光線露光機(オーク製作所株式会社製、EXM1201)を使用して、感光層側より露光量5×10J/mで(i線(波長365nm)における測定値)紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、感光層側より露光量1×10J/mで(i線(波長365nm)における測定値)紫外線を照射し、厚さ5.0μmの感光層の硬化物からなる保護膜が形成された塩水耐性評価用試料を得た。 Next, a parallel light exposure machine (EXM1201 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) was used for the photosensitive layer of the obtained laminate, and the exposure amount was 5 × 10 2 J / m 2 from the photosensitive layer side (i-line (wavelength (Measured value at 365 nm) After irradiating with ultraviolet rays, the support film was removed, and the photosensitive layer side was irradiated with ultraviolet rays (measured value at i-line (wavelength 365 nm)) with an exposure amount of 1 × 10 4 J / m 2 to obtain a thickness. A sample for evaluating salt water resistance in which a protective film made of a cured product of a photosensitive layer having a thickness of 5.0 μm was formed.

次いで、JIS規格(Z 2371)を参考に、塩水噴霧試験機(スガ試験機株式会社製STP−90V2)を用いて、試験槽内に前述の試料を載置し、濃度50g/Lの塩水(pH=6.7)を試験槽温度35℃、噴霧量1.5mL/hで48時間噴霧した。噴霧終了後、塩水を拭き取って、評価用試料の表面状態を観察し、以下の評点に従って評価した。
A : 保護膜表面に全く変化なし。
B : 保護膜表面にごくわずかな痕跡が見えるが、銅は変化なし。
C : 保護膜表面に痕跡が見えるが、銅は変化なし。
D : 保護膜表面に痕跡があり、かつ銅が変色する。
評価用試料の表面状態を観察したところ、保護膜表面に全く変化なく評価はAであった。
Next, referring to the JIS standard (Z 2371), using a salt spray tester (STP-90V2 manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd.), the above-mentioned sample was placed in the test tank, and the salt water (concentration 50 g / L) ( pH = 6.7) was sprayed for 48 hours at a test bath temperature of 35 ° C. and a spraying amount of 1.5 mL / h. After spraying, the salt water was wiped off, the surface state of the sample for evaluation was observed, and evaluation was performed according to the following scores.
A: No change on the surface of the protective film.
B: Slight traces are visible on the surface of the protective film, but copper remains unchanged.
C: Traces are visible on the surface of the protective film, but copper is unchanged.
D: There is a trace on the surface of the protective film, and copper is discolored.
When the surface state of the sample for evaluation was observed, the evaluation was A with no change on the surface of the protective film.

(実施例2〜10)
表1に示す成分を用いて、A1と同様にA2〜A5のバインダポリマ溶液を得た。表2(表中、各成分の数値の単位は質量部)に示す成分を用いて得られた各感光性樹脂組成物溶液を用いた以外は、実施例1と同様に感光性エレメントを作製し、アルカリ現像性試験、塩水噴霧試験、並びに透過率及びbの測定を行った(実施例2〜10)。表2に示すように、実施例2〜10においても、アルカリ現像性及び耐塩水性評価がいずれも良好な結果であった。また、実施例2〜10において、測定波長域400〜700nmで可視光線透過率は90%以上を示し、bは−0.2〜1.0の範囲を充分満たしていた。
(Examples 2 to 10)
Using the components shown in Table 1, A2-A5 binder polymer solutions were obtained in the same manner as A1. A photosensitive element was prepared in the same manner as in Example 1 except that each photosensitive resin composition solution obtained using the components shown in Table 2 (in the table, the numerical unit of each component is part by mass) was used. The alkali developability test, the salt spray test, and the transmittance and b * were measured (Examples 2 to 10). As shown in Table 2, also in Examples 2 to 10, both the alkali developability and the salt water resistance evaluation were good results. In Examples 2 to 10, the visible light transmittance was 90% or more in the measurement wavelength range of 400 to 700 nm, and b * sufficiently satisfied the range of -0.2 to 1.0.

Figure 2015108881

光重合性化合物:
T−1420(T):ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート(日本化薬株式会社製)、
RP−1040:EO変性ペンタエリスリトールテトラアクリレート(日本化薬株式会社製)
光重合開始剤:
OXE−01:1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(o−ベンゾイルオキシム)](BASF株式会社製、商品名:IRGACURE OXE 01)、
D−TPO:2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド(BASF株式会社製、商品名:DAROCUR−TPO)
その他:
PM−21:2−ヒドロキシエチルメタクリレートの6−ヘキサノリド付加重合物と無水リン酸との反応生成物(日本化薬株式会社製)、
AW−500:2,2’−メチレン−ビス(4−エチル−6−Tert−ブチルフェノール)(アンテージW−500、川口化学株式会社製)、
B6030:5−アミノ−1H−テトラゾール(千代田ケミカル株式会社製、商品名:チオエールB−6030)、
ADDITIVE8032:有機変性シリコーンオイル(東レ・ダウコーニング株式会社製)、
MEK:メチルエチルケトン(東燃化学株式会社製)
Figure 2015108881

Photopolymerizable compound:
T-1420 (T): ditrimethylolpropane tetraacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.),
RP-1040: EO-modified pentaerythritol tetraacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
Photopolymerization initiator:
OXE-01: 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (o-benzoyloxime)] (manufactured by BASF Corporation, trade name: IRGACURE OXE 01),
D-TPO: 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide (manufactured by BASF Corporation, trade name: DAROCUR-TPO)
Other:
PM-21: reaction product of 6-hexanolide addition polymer of 2-hydroxyethyl methacrylate and phosphoric anhydride (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.),
AW-500: 2,2′-methylene-bis (4-ethyl-6-tert-butylphenol) (Antage W-500, manufactured by Kawaguchi Chemical Co., Ltd.)
B6030: 5-amino-1H-tetrazole (manufactured by Chiyoda Chemical Co., Ltd., trade name: thioale B-6030),
ADDITIVE 8032: Organically modified silicone oil (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd.),
MEK: Methyl ethyl ketone (manufactured by Tonen Chemical Corporation)

(比較例1〜8)
表1に示す成分を用いて、A1と同様にA6〜A10のバインダポリマ溶液を得た。表3(表中、各成分の数値の単位は質量部)に示す成分を用いて得られた感光性樹脂組成物溶液を用いた以外は、実施例1と同様に感光性エレメントを作製し、アルカリ現像性試験、塩水噴霧試験を行った(比較例1〜8)。表3に示すように、比較例1〜8においては、アルカリ現像性及び耐塩水性評価がいずれも劣る結果であった。
(Comparative Examples 1-8)
Using the components shown in Table 1, A6 to A10 binder polymer solutions were obtained in the same manner as A1. A photosensitive element was prepared in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin composition solution obtained using the components shown in Table 3 (in the table, the numerical unit of each component is part by mass) was used. An alkali developability test and a salt spray test were performed (Comparative Examples 1 to 8). As shown in Table 3, in Comparative Examples 1 to 8, the alkali developability and the salt water resistance evaluation were both inferior.

Figure 2015108881
Figure 2015108881

1…感光性エレメント、10…支持フィルム、20…感光層、22…保護膜、30…保護フィルム、100…タッチパネル用基材、101…透明基板、102…タッチ画面、103…透明電極(X位置座標)、104…透明電極(Y位置座標)、104a…透明電極の一部、104b…透明電極のブリッジ部、104c…透明電極配線、105,105a,105b…引き出し配線、106…接続電極、107…接続端子、108…開口部、110,120…タッチパネル用電極、122,123…保護膜、124,125…絶縁膜、130…フォトマスク、200…硬化膜付きタッチパネル用基材。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive element, 10 ... Support film, 20 ... Photosensitive layer, 22 ... Protective film, 30 ... Protective film, 100 ... Base material for touch panels, 101 ... Transparent substrate, 102 ... Touch screen, 103 ... Transparent electrode (X position) (Coordinates), 104 ... transparent electrode (Y position coordinates), 104a ... part of the transparent electrode, 104b ... bridge portion of the transparent electrode, 104c ... transparent electrode wiring, 105, 105a, 105b ... extraction wiring, 106 ... connection electrode, 107 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Connection terminal, 108 ... Opening part, 110, 120 ... Electrode for touch panels, 122, 123 ... Protective film, 124, 125 ... Insulating film, 130 ... Photomask, 200 ... Base material for touch panels with cured film.

Claims (16)

タッチパネル用基材上に、カルボキシル基を有し、かつ酸価が80〜100mgKOH/gであるバインダポリマと、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物からなる感光層を設け、該感光層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に前記感光層の前記所定部分以外を除去し、前記基材の一部又は全部を被覆する前記感光層の前記所定部分の硬化膜を形成する、硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。   It consists of a photosensitive resin composition containing a binder polymer having a carboxyl group and an acid value of 80 to 100 mgKOH / g, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator on a touch panel substrate. A photosensitive layer is provided, and a predetermined portion of the photosensitive layer is cured by irradiation with actinic rays, and then the photosensitive layer that covers a part or all of the base material is removed by removing other than the predetermined portion of the photosensitive layer. The manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film which forms the cured film of a part. 前記バインダポリマのガラス転移温度が60℃以上である、請求項1に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。   The manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film of Claim 1 whose glass transition temperature of the said binder polymer is 60 degreeC or more. 前記光重合性化合物が、トリメチロールプロパン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジトリメチロールプロパン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ペンタエリスリトール骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、グリセリン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジグリセリン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物からなる群より選択される少なくとも1種の3以上の(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリレート化合物を含む、請求項1又は2に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。   The photopolymerizable compound is a trifunctional or higher functional (meth) acrylate compound having a trimethylolpropane skeleton, a trifunctional or higher functional (meth) acrylate compound having a ditrimethylolpropane skeleton, or a trifunctional or higher functional (meta) having a pentaerythritol skeleton. ) Acrylate compounds, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compounds having a dipentaerythritol skeleton, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compounds having a glycerol skeleton, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compounds having a diglycerin skeleton, and the like The base material for touchscreens with a cured film of Claim 1 or 2 containing the (meth) acrylate compound which has at least 1 sort (s) of 3 or more (meth) acryloyl groups selected from the group which consists of an alkylene oxide modification compound of these. Production method. 前記感光性樹脂組成物が、トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物、及びテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物を更に含有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。   4. The cured film according to claim 1, wherein the photosensitive resin composition further contains at least one compound selected from the group consisting of a triazole compound, a thiadiazole compound, and a tetrazole compound. Manufacturing method of base material for touch panels. 前記感光性樹脂組成物が、リン酸エステル化合物を更に含有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。   The manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film as described in any one of Claims 1-4 in which the said photosensitive resin composition further contains a phosphate ester compound. 前記光重合開始剤がオキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物を含有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。   The manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film as described in any one of Claims 1-5 in which the said photoinitiator contains an oxime ester compound or a phosphine oxide compound. 支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた前記感光性樹脂組成物からなる感光層と、を備える感光性エレメントを用意し、該感光性エレメントの感光層を前記基材上に転写して前記感光層を設ける、請求項1〜6のいずれか一項に記載の硬化膜付きタッチパネル用基材の製造方法。   Preparing a photosensitive element comprising a support film and a photosensitive layer made of the photosensitive resin composition provided on the support film, transferring the photosensitive layer of the photosensitive element onto the substrate, The manufacturing method of the base material for touchscreens with a cured film as described in any one of Claims 1-6 which provides a photosensitive layer. カルボキシル基を有し、かつ酸価が80〜100mgKOH/gであるバインダポリマと、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有する、タッチパネル用基材上に硬化膜を形成するための、感光性樹脂組成物。   For forming a cured film on a substrate for a touch panel, which contains a binder polymer having a carboxyl group and an acid value of 80 to 100 mgKOH / g, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator. , Photosensitive resin composition. 前記バインダポリマのガラス転移温度が60℃以上である、請求項8に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 8 whose glass transition temperature of the said binder polymer is 60 degreeC or more. 前記光重合性化合物がトリメチロールプロパン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジトリメチロールプロパン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ペンタエリスリトール骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、グリセリン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物、ジグリセリン骨格を有する3官能以上の(メタ)アクリレート化合物及びこれらのアルキレンオキサイド変性化合物からなる群より選択される少なくとも1種の3以上の(メタ)アクリロイル基を有する(メタ)アクリレート化合物を含む、請求項8又は9に記載の感光性樹脂組成物。   The photopolymerizable compound is a tri- or higher-functional (meth) acrylate compound having a trimethylolpropane skeleton, a tri- or higher-functional (meth) acrylate compound having a ditrimethylolpropane skeleton, or a tri- or higher-functional (meth) having a pentaerythritol skeleton. Acrylate compound, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compound having dipentaerythritol skeleton, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compound having glycerin skeleton, trifunctional or higher functional (meth) acrylate compound having diglycerin skeleton, and these The photosensitive resin composition of Claim 8 or 9 containing the (meth) acrylate compound which has at least 1 sort (s) of 3 or more (meth) acryloyl groups selected from the group which consists of an alkylene oxide modification compound. トリアゾール化合物、チアジアゾール化合物及びテトラゾール化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物を更に含有する、請求項8〜10のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 8-10 which further contains the at least 1 sort (s) of compound selected from the group which consists of a triazole compound, a thiadiazole compound, and a tetrazole compound. リン酸エステル化合物を更に含有する、請求項8〜11のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 8-11 which further contains a phosphate ester compound. 前記光重合開始剤がオキシムエステル化合物又はホスフィンオキサイド化合物を含有する、請求項8〜12のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 8-12 in which the said photoinitiator contains an oxime ester compound or a phosphine oxide compound. 支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた請求項8〜13のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光層と、を備える、感光性エレメント。   A photosensitive element comprising: a support film; and a photosensitive layer made of the photosensitive resin composition according to any one of claims 8 to 13 provided on the support film. 前記感光層の厚みが15μm以下である、請求項14に記載の感光性エレメント。   The photosensitive element of Claim 14 whose thickness of the said photosensitive layer is 15 micrometers or less. 請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法により得られる硬化膜付きタッチパネル用基材を備える、タッチパネル。   A touch panel provided with the base material for touchscreens with a cured film obtained by the method as described in any one of Claims 1-7.
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