JP2014224693A5 - 圧電性の結晶体の極性及び／又は表裏を判定できるようにする装置及び方法 - Google Patents

Description

上述の点に鑑み、本発明は、圧電性を有する結晶体の極性及び／又は表裏を判定できるようにする装置及び方法を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、本発明の実施例に係る装置は、圧電性の結晶体の極性及び／又は前記結晶体としてのウエハの分極方向に依存する表裏を判定できるようにする装置であって、前記結晶体に対して力を加える力付与部と、前記力に応じて発生する電圧の波形を検出して出力する電圧波形検出部と、を有する。

また、本発明の実施例に係る方法は、圧電性の結晶体の極性及び／又は前記結晶体としてのウエハの分極方向に依存する表裏を判定する方法であって、力付与部が前記結晶体に対して力を加える力付与ステップと、電圧波形検出部が前記力に応じて発生する電圧の波形を検出して出力する電圧波形検出ステップと、を有する。

上述の手段により、本発明は、圧電性を有する結晶体の極性及び／又は表裏を判定できるようにする装置及び方法を提供することができる。

Claims (9)

1. 圧電性の結晶体の極性及び／又は前記結晶体としてのウエハの分極方向に依存する表裏を判定できるようにする装置であって、
   前記結晶体に対して力を加える力付与部と、
   前記力に応じて発生する電圧の波形を検出して出力する電圧波形検出部と、
   を有する装置。
2. 前記力による所定振動数の振動の波形と前記電圧の波形の位相差と予め登録される基準位相差との比較に基づいて前記結晶体の極性及び／又は前記ウエハの分極方向に依存する表裏を判定する判定部を有する、
   請求項１に記載の装置。
3. 前記電圧波形検出部は、前記結晶体の周縁の２箇所に配置される２つの電極を用いて前記電圧の波形を検出し、
   前記２つの電極によって定められる電極軸は、前記結晶体の分極方向に対して非垂直である、
   請求項１又は２に記載の装置。
4. 前記結晶体は、絶縁体によって支持される、
   請求項１乃至３の何れか一項に記載の装置。
5. 前記力付与部は、振動源としてピエゾ素子を用いる、
   請求項１乃至４の何れか一項に記載の装置。
6. 前記電極は、導電性ゴムで形成される、
   請求項３に記載の装置。
7. 前記結晶体は、前記ピエゾ素子と弾性押さえ部材とに挟まれる、
   請求項５に記載の装置。
8. 圧電性の結晶体の極性及び／又は前記結晶体としてのウエハの分極方向に依存する表裏を判定できるようにする方法であって、
   力付与部が前記結晶体に対して力を加える力付与ステップと、
   電圧波形検出部が前記力に応じて発生する電圧の波形を検出して出力する電圧波形検出ステップと、
   を有する方法。
9. 判定部が前記力による所定振動数の振動の波形と前記電圧の波形の位相差と予め登録される基準位相差との比較に基づいて前記結晶体の極性及び／又は前記ウエハの分極方向に依存する表裏を判定する判定ステップを有する、
   請求項８に記載の方法。