JP2014075536A - Optical module and cap for optical module - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光モジュール及び光モジュール用キャップに関する。 The present invention relates to an optical module and an optical module cap.
従来、光モジュールでは、ステム上に設けられたレーザ素子は、窓部を有するキャップによって封止される。このキャップは、溶接によりステムに接着される(特許文献1及び特許文献2参照)。
Conventionally, in an optical module, a laser element provided on a stem is sealed by a cap having a window portion. This cap is bonded to the stem by welding (see
しかしながら、溶接工程では、アーク放電などを用いてキャップをステムに接着するので、溶接時に熱が発生する。この熱によってレーザ素子にダメージが与えられるおそれがある。 However, in the welding process, since the cap is bonded to the stem using arc discharge or the like, heat is generated during welding. This heat may damage the laser element.
そこで本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであって、キャップの取り付け時におけるレーザ素子へのダメージを抑制可能な構造を有する光モジュール及び光モジュール用キャップを提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention has been made to solve such problems, and provides an optical module having a structure capable of suppressing damage to a laser element when the cap is attached, and an optical module cap. With the goal.
上記課題を解決するため、本発明に係る光モジュールは、(a)ステムと、(b)前記ステム上に設けられた半導体レーザ素子と、(c)前記半導体レーザ素子を前記ステム上において覆うキャップと、を備える。前記ステムは、前記ステムの外周面に設けられた第1螺子部を有し、前記キャップは、筒状の側壁部と、前記側壁部の一端を覆う天井部と、前記側壁部の他端の内周面に設けられた第2螺子部と、を有し、前記第1螺子部と前記第2螺子部とは、互いに嵌め合わされる。 In order to solve the above problems, an optical module according to the present invention includes: (a) a stem; (b) a semiconductor laser element provided on the stem; and (c) a cap that covers the semiconductor laser element on the stem. And comprising. The stem includes a first screw portion provided on an outer peripheral surface of the stem, and the cap includes a cylindrical side wall portion, a ceiling portion covering one end of the side wall portion, and the other end of the side wall portion. A second screw portion provided on an inner peripheral surface, and the first screw portion and the second screw portion are fitted together.
この光モジュールにおいては、ステムの外周面に第1螺子部が設けられ、キャップが有する側壁部の他端における内周面に第2螺子部が設けられている。そして、第1螺子部と第2螺子部とが互いに嵌め合わされる。このように、ネジ止めによってキャップをステムに取り付けることができる。このため、溶接を行うことなくキャップをステムに取り付けることができ、キャップの取り付け時における半導体レーザ素子へのダメージを抑制することが可能となる。 In this optical module, the first screw portion is provided on the outer peripheral surface of the stem, and the second screw portion is provided on the inner peripheral surface at the other end of the side wall portion of the cap. Then, the first screw portion and the second screw portion are fitted together. In this way, the cap can be attached to the stem by screwing. For this reason, it is possible to attach the cap to the stem without performing welding, and it is possible to suppress damage to the semiconductor laser element when the cap is attached.
前記ステムは、第1部材と、前記第1部材上に設けられた第2部材と、を有してもよく、前記第1部材と、前記第2部材と、前記半導体レーザ素子とは、前記側壁部の軸線方向に沿って順に配置されてもよく、前記第1部材は、前記第2部材が設けられた第1部分と、前記第1部分を前記軸線方向を軸として囲む第2部分と、を含んでもよく、前記第1螺子部は前記第2部材の外周面に設けられていてもよい。この場合、第1螺子部と第2螺子部とを嵌め合わせ、キャップの他端がステムの第1部材の第2部分に当接するまで締めることができる。このため、ステムに対するキャップの位置を規定することが可能となる。 The stem may include a first member and a second member provided on the first member, and the first member, the second member, and the semiconductor laser element include: The first member may be disposed in order along the axial direction of the side wall, and the first member includes a first portion provided with the second member, and a second portion surrounding the first portion with the axial direction as an axis. The first screw portion may be provided on the outer peripheral surface of the second member. In this case, the first screw portion and the second screw portion can be fitted together and tightened until the other end of the cap contacts the second portion of the first member of the stem. For this reason, it becomes possible to prescribe | regulate the position of the cap with respect to a stem.
前記キャップの他端は、前記第2部分と接触を成していてもよい。この場合、キャップの他端とステムの第1部材の第2部分とが接触を成すことにより、キャップとステムとによって囲まれた空間の気密性を向上することができる。 The other end of the cap may be in contact with the second portion. In this case, when the other end of the cap and the second portion of the first member of the stem are in contact, the airtightness of the space surrounded by the cap and the stem can be improved.
光モジュールは、封止部材をさらに備えてもよい。この場合、前記封止部材は、前記他端と前記第2部分との間に挟まれていてもよい。この場合、封止部材によって、キャップとステムとによって囲まれた空間の気密性をさらに向上することができる。 The optical module may further include a sealing member. In this case, the sealing member may be sandwiched between the other end and the second portion. In this case, the sealing member can further improve the airtightness of the space surrounded by the cap and the stem.
前記キャップは金属から構成されていてもよい。金属製のキャップを用いた場合においても、溶接を行うことなくステムに取り付けることができ、キャップの取り付け時における半導体レーザ素子へのダメージを抑制することが可能となる。 The cap may be made of metal. Even when a metal cap is used, it can be attached to the stem without welding, and damage to the semiconductor laser element during attachment of the cap can be suppressed.
光モジュールは、前記天井部に設けられたレンズをさらに備えてもよい。天井部にレンズを有するキャップを用いた場合においても、溶接を行うことなくステムに取り付けることができ、キャップの取り付け時における半導体レーザ素子へのダメージを抑制することが可能となる。 The optical module may further include a lens provided on the ceiling. Even when a cap having a lens on the ceiling is used, the cap can be attached to the stem without welding, and damage to the semiconductor laser element when the cap is attached can be suppressed.
前記第2螺子部は螺旋状に延びる凸部であってもよいし、前記第2螺子部は螺旋状に延びる凹部であってもよい。 The second screw portion may be a convex portion extending in a spiral shape, and the second screw portion may be a concave portion extending in a spiral shape.
本発明に係る光モジュール用キャップは、半導体レーザ素子をステム上において覆うためのキャップである。この光モジュール用キャップは、筒状の側壁部と、前記側壁部の一端を覆う天井部と、前記側壁部の他端の内周面に設けられた螺子部と、を備える。 The cap for an optical module according to the present invention is a cap for covering the semiconductor laser element on the stem. The optical module cap includes a cylindrical side wall, a ceiling that covers one end of the side wall, and a screw provided on the inner peripheral surface of the other end of the side wall.
この光モジュール用キャップにおいては、側壁部の他端の内周面に第2螺子部が設けられている。この光モジュール用キャップを、外周面に第1螺子部が設けられたステムに取り付ける場合、ネジ止めによって光モジュール用キャップをステムに取り付けることができる。このため、溶接を行うことなく光モジュール用キャップをステムに取り付けることができ、キャップの取り付け時における半導体レーザ素子へのダメージを抑制することが可能となる。 In this optical module cap, a second screw portion is provided on the inner peripheral surface of the other end of the side wall portion. When this optical module cap is attached to a stem having a first screw portion on the outer peripheral surface, the optical module cap can be attached to the stem by screwing. For this reason, it is possible to attach the optical module cap to the stem without performing welding, and it is possible to suppress damage to the semiconductor laser element when the cap is attached.
本発明によれば、キャップの取り付け時におけるレーザ素子へのダメージを抑制できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the damage to the laser element at the time of attachment of a cap can be suppressed.
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
図1は、本実施形態に係る光モジュールを概略的に示す図である。図1に示されるように、光モジュール1は、例えば軸線Xを軸とした同軸型の光モジュールであって、パッケージ10と、半導体レーザ素子11と、サブマウント12と、搭載部材13と、を備えている。
FIG. 1 is a diagram schematically showing an optical module according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the
パッケージ10は、半導体レーザ素子11、サブマウント12及び搭載部材13を覆うように設けられている。半導体レーザ素子11、サブマウント12及び搭載部材13は、パッケージ10によって提供される気密の空間内に収容されている。また、パッケージ10は、ステム20と、複数のリードピン23と、キャップ30と、レンズ31と、を有している。
The
ステム20は、軸線Xに交差する面20aを有し、この面20a上に半導体レーザ素子11、サブマウント12及び搭載部材13が搭載される。ステム20は、例えば鉄などから構成されている。また、ステム20には、軸線X方向に延びる複数の貫通孔20dが設けられている。これらの貫通孔20dにはリードピン23が通されており、リードピン23とステム20との間は封止部材24によって封止されている。封止部材24としては、低融点ガラスなどが用いられる。
The
キャップ30は、ステム20上に設けられ、軸線Xを軸とした中空の円筒部材である。キャップ30は、例えば鉄ニッケル合金などから構成されている。このキャップ30は、軸線Xを軸とした筒状の側壁部30aと、側壁部30aの一端を覆う天井部30bとを有している。また、側壁部30aの他端は、ステム20に固定されている。天井部30bには、軸線X周りに開口部30cが設けられている。レンズ31は、この開口部30cに嵌合されて保持されており、レンズ31と開口部30cとの間は低融点ガラスなどの封止部材によって封止されている。
The
半導体レーザ素子11は、例えばIII族窒化物の半導体レーザ素子であって、活性層を含む。この半導体レーザ素子11は、軸線Xに沿って光を出力する。サブマウント12は、半導体レーザ素子11を搭載する。半導体レーザ素子11とサブマウント12とは、導電性の接着剤を介して互いに固定されている。搭載部材13は、例えばヒートシンクであって、熱伝導性に優れた金属から構成されている。この搭載部材13は、ステム20上に設けられる。搭載部材13は、ステム20の面20aに接合されている。また、搭載部材13は、軸線Xに沿った搭載面13aを有し、搭載面13aにサブマウント12を搭載する。
The
次に、ステム20とキャップ30とを固定するための構造をより詳細に説明する。図2は、図1の光モジュールの軸線Xに沿った断面を概略的に示す図である。図2に示されるように、ステム20は、第1部材21及び第2部材22を含む。第1部材21は、軸線Xを軸とした円板状の部材であって、軸線Xに交差する支持面21aと、支持面21aと反対側の裏面21bと、を有している。第1部材21の軸線X方向の長さH1は、例えば0.5mm程度、第1部材21の外径D1は、例えば5.6mm程度である。また、第1部材21は、第1部分211と第2部分212とを含む。第1部分211は、軸線Xを含み、例えば3.2mm程度の外径を有する。この第1部分211には、軸線X方向に延びる複数の貫通孔21dが設けられている。第2部分212は、第1部分211を軸線X周りに囲む環状の部分である。
Next, the structure for fixing the
第2部材22は、軸線Xを軸とした円柱状の部材であって、第1部材21の第1部分211上に設けられており、第2部分212上には設けられていない。第2部材22は、軸線Xに交差する支持面22aと、第1部材21の支持面21aに接合を成す固定面22bを有している。この支持面22aは、面20aを成している。すなわち、第1部材21と、第2部材22と、半導体レーザ素子11とは、軸線X方向に沿って順に配置されている。第2部材22の軸線X方向の長さH2は、例えば1〜3mm程度、第2部材22の外径D2は、例えば3.2mm程度である。第1部材21の外周面21cから第2部材22の外周面22cまでの距離D12は、例えば1.15mm程度である。第2部材22には、第1部材21の貫通孔21dと対応する位置に、軸線X方向に延びる複数の貫通孔22dが設けられている。第2部材22の貫通孔22dと第1部材21の貫通孔21dとは、繋がっており、ステム20を軸線X方向に貫く貫通孔20dを成している。また、第2部材22は、外周面22cに設けられた第1螺子部22sを有している。この第1螺子部22sは、外周面22cよりも窪んだネジ溝(凹部)であって、外周面22cの全体にわたり螺旋状に延びている。
The
キャップ30は、側壁部30aの他端の内周面30dに設けられた第2螺子部30sを有している。この第2螺子部30sは、内周面30dから突出したネジ山(凸部)であって、内周面30dに沿って螺旋状に延びている。側壁部30aの外径Doutは例えば3.6mm程度、内径Dinは例えば3.2mm程度である。第2部材22の第1螺子部22sとキャップ30の第2螺子部30sとは、ネジ止めされて互いに嵌め合わされる。第1螺子部22sと第2螺子部30sとがネジ止めされた状態で、キャップ30の他端は、第1部材21の第2部分212の支持面21aに接触を成している。
The
第1螺子部22sの底部と貫通孔20dとの距離Wは、ネジ止めのために加えられる力が封止部材24に影響を及ばさない程度の大きさであって、例えば0.3mm程度である。この距離Wに応じて、第1螺子部22sの深さ及び第2螺子部30sの高さが定められる。
The distance W between the bottom portion of the
次に、光モジュール1の製造方法を説明する。図3は、図1の光モジュールの製造方法を示す図である。図3に示されるように、まず、ステム準備工程S01では、ステム20を準備する。具体的に説明すると、まず、第1部材21及び第2部材22を準備する。第1部材21は、例えば鉄から構成された所定の大きさを有する板材を準備し、この板材の予め定められた位置に複数の貫通孔21dを形成することにより形成される。この第1部材21は、貫通孔21dが設けられた第1部分211と、第1部分211を囲む第2部分212とを有する。第2部材22は、例えば鉄から構成された所定の大きさを有する板材を準備し、この板材の予め定められた位置に複数の貫通孔22dを形成することにより形成される。そして、第2部材22の外周面に、例えばダイスを用いた切削加工によって、第1螺子部22sを形成する。次に、複数の貫通孔21dと複数の貫通孔22dとをそれぞれ位置合わせしながら、第1部材21の第1部分211上に第2部材22を例えば銀ロウを用いて接合する。これによって、ステム20が形成される。また、貫通孔21dと貫通孔22dとによって、貫通孔20dが形成される。
Next, a method for manufacturing the
次に、キャップ準備工程S02では、キャップ30を準備する。例えば固形溶着剤を使用して、キャップ30の天井部30bに設けられた開口部30cにレンズ31を取り付けることによって、キャップ30を形成する。このとき、固形溶着剤を加熱溶融することによって、レンズ31を開口部30cに固着する。そして、キャップ30の他端の内周面30dに、例えばタップを用いた切削加工によって、第2螺子部30sを形成する。リードピン取付工程S03では、複数のリードピン23を複数の貫通孔20dにそれぞれ挿通し、封止部材24によってリードピン23をステム20に固定する。搭載部材及びサブマウント搭載工程S04では、第2部材22の支持面22a上に搭載部材13を配置し、支持面22aと搭載部材13とを接合する。そして、搭載部材13の搭載面13aにサブマウント12を搭載する。半導体レーザ素子搭載工程S05では、例えば導電性の接着剤を用いて、半導体レーザ素子11をサブマウント12に固定する。ワイヤボンディング工程S06では、リードピン23と半導体レーザ素子11又はサブマウント12とをワイヤを用いて接続する。
Next, in the cap preparation step S02, the
キャップ取付工程S07では、ステム20とキャップ30とをネジ止めして互いに固定する。具体的に説明すると、第2部材22の外周面22cに設けられた第1螺子部22sと、キャップ30の内周面30dに設けられた第2螺子部30sとをネジ止めして、互いに嵌め合わせる。そして、キャップ30の他端が第1部材21の第2部分212と接触を成すまでネジ止めする。以上のようにして、光モジュール1が作製される。
In the cap attachment step S07, the
光モジュール1では、ステム20の第2部材22の外周面22cに第1螺子部22sが設けられ、キャップ30の側壁部30aの他端の内周面30dに第2螺子部30sが設けられている。そして、第1螺子部22sと第2螺子部30sとが互いに嵌め合わされる。このように、ネジ止めによってキャップ30をステム20に取り付けることができる。このため、溶接を行うことなくキャップ30をステム20に取り付けることができるので、溶接時の熱及びアーク放電などによる半導体レーザ素子11へのダメージを防止できる。その結果、キャップシール時における半導体レーザ素子11へのダメージを抑制することが可能となる。
In the
また、キャップ30の他端は、ステム20の第1部材21の第2部分212と接触を成している。このため、第1螺子部22sと第2螺子部30sとの間から、パッケージ10内のガスが外部にリークしたとしても、キャップ30の他端と第2部分212との接触によって、パッケージ10内のガスの外部へのリーク量を低減できる。その結果、パッケージ10によって提供される空間の気密性を向上することができる。
Further, the other end of the
また、キャップ30の他端が第2部分212と接触を成すことによって、ステム20に対するキャップ30の位置を規定することができる。すなわち、半導体レーザ素子11に対するレンズ31の位置を規定することができる。これにより、キャップ30が第2部分212に当接するまでキャップ30とステム20とをネジ止めすればよく、ネジ止めの微調整が不要となる。
Further, when the other end of the
図4は、キャップ30の変形例を概略的に示す下方斜視図である。図4に示されるように、このキャップ30は、封止部材32をさらに備える点において、上述した実施形態のキャップ30と相違している。
FIG. 4 is a lower perspective view schematically showing a modified example of the
封止部材32は、環状の部材であって、キャップ30の他端の下周縁に沿ってキャップ30に設けられている。この封止部材32は、例えば樹脂から構成されている。変形例のキャップ30を用いた光モジュール1では、封止部材32が、側壁部30aの他端とステム20の第1部材21の第2部分212との間に挟まれている。
The sealing
以上の変形例のキャップ30を用いた場合においても、上述した実施形態の光モジュール1と同様の効果が奏される。また、変形例のキャップ30を用いた場合、封止部材32は、側壁部30aの他端とステム20の第1部材21の第2部分212との間に挟まれる。このため、封止部材32によってステム20とキャップ30との間を封止することができ、パッケージ10によって提供される空間の気密性をさらに向上することができる。
Even when the
なお、本発明に係る光モジュール及び光モジュール用キャップは上記実施形態に記載したものに限定されない。例えば、上記実施形態では、第1螺子部22sが螺旋状の凹部で第2螺子部30sが凸部であるが、第1螺子部22sが凸部で第2螺子部30sが凹部であってもよい。
The optical module and the optical module cap according to the present invention are not limited to those described in the above embodiment. For example, in the above embodiment, the
また、第1螺子部22s及び第2螺子部30sは、螺旋状に連続している必要はなく、第1螺子部22sと第2螺子部30sとによってステム20とキャップ30とをネジ止めできる形状であればよい。
Further, the
1…光モジュール、11…半導体レーザ素子、20…ステム、21…第1部材、22…第2部材、22c…外周面、22s…第1螺子部、30…キャップ、30a…側壁部、30b…天井部、30d…内周面、30s…第2螺子部、31…レンズ、32…封止部材、211…第1部分、212…第2部分、X…軸線。
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記ステム上に設けられた半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子を前記ステム上において覆うキャップと、
を備え、
前記ステムは、前記ステムの外周面に設けられた第1螺子部を有し、
前記キャップは、筒状の側壁部と、前記側壁部の一端を覆う天井部と、前記側壁部の他端の内周面に設けられた第2螺子部と、を有し、
前記第1螺子部と前記第2螺子部とは、互いに嵌め合わされることを特徴とする光モジュール。 Stem,
A semiconductor laser element provided on the stem;
A cap that covers the semiconductor laser element on the stem;
With
The stem has a first screw portion provided on the outer peripheral surface of the stem,
The cap includes a cylindrical side wall, a ceiling that covers one end of the side wall, and a second screw provided on the inner peripheral surface of the other end of the side wall.
The optical module, wherein the first screw part and the second screw part are fitted together.
前記第1部材と、前記第2部材と、前記半導体レーザ素子とは、前記側壁部の軸線方向に沿って順に配置されており、
前記第1部材は、前記第2部材が設けられた第1部分と、前記第1部分を前記軸線方向を軸として囲む第2部分と、を含み、
前記第1螺子部は前記第2部材の外周面に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光モジュール。 The stem includes a first member and a second member provided on the first member,
The first member, the second member, and the semiconductor laser element are sequentially arranged along the axial direction of the side wall portion,
The first member includes a first portion provided with the second member, and a second portion surrounding the first portion with the axial direction as an axis,
The optical module according to claim 1, wherein the first screw portion is provided on an outer peripheral surface of the second member.
前記封止部材は、前記他端と前記第2部分との間に挟まれていることを特徴とする請求項2に記載の光モジュール。 A sealing member,
The optical module according to claim 2, wherein the sealing member is sandwiched between the other end and the second portion.
筒状の側壁部と、
前記側壁部の一端を覆う天井部と、
前記側壁部の他端の内周面に設けられた螺子部と、
を備えることを特徴とする光モジュール用キャップ。 A cap for covering the semiconductor laser element on the stem,
A cylindrical side wall,
A ceiling portion covering one end of the side wall portion;
A screw portion provided on the inner peripheral surface of the other end of the side wall portion;
An optical module cap comprising:
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3002833U (en) * | 1994-04-06 | 1994-10-04 | 方礎股▲ふん▼有限公司 | Semiconductor laser |
JP2007225696A (en) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Mitsubishi Electric Corp | Optical module manufacturing method, optical module, and optical module member |
JP2008153529A (en) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical transmitter |
JP2011221249A (en) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Qd Laser Inc | Optical transmitter/receiver |
JP2012015223A (en) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Sanyo Electric Co Ltd | Semiconductor laser device and optical device |
-
2012
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3002833U (en) * | 1994-04-06 | 1994-10-04 | 方礎股▲ふん▼有限公司 | Semiconductor laser |
JP2007225696A (en) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Mitsubishi Electric Corp | Optical module manufacturing method, optical module, and optical module member |
JP2008153529A (en) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical transmitter |
JP2011221249A (en) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Qd Laser Inc | Optical transmitter/receiver |
JP2012015223A (en) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Sanyo Electric Co Ltd | Semiconductor laser device and optical device |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140414 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20141104 |