JP2014074937A - Touch panel sensor substrate and manufacturing method of touch panel sensor substrate - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、基板の一面上に設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極パターンおよび第2方向に延びる複数の第2電極パターンを備えたタッチパネルセンサ基板に関する。また本発明は、タッチパネルセンサ基板の製造方法に関する。 The present invention relates to a touch panel sensor substrate that is provided on one surface of a substrate and includes a plurality of first electrode patterns extending in a first direction and a plurality of second electrode patterns extending in a second direction. The present invention also relates to a method for manufacturing a touch panel sensor substrate.
タッチパネル機能を実現するためのタッチパネルセンサとして、静電容量式のタッチパネルセンサが知られている。容量結合式タッチパネルセンサにおいては、人間の指などの外部導体がタッチパネルセンサに接触(接近)するときに発生する静電容量の変化を利用して、タッチパネルセンサ上における人間の指などの外部導体の位置を検出する。静電容量式タッチパネルセンサには表面型と投影型とがあるが、マルチタッチの認識(多点認識)への対応に適していることから、投影型が注目を浴びている。 As a touch panel sensor for realizing a touch panel function, a capacitive touch panel sensor is known. In a capacitively coupled touch panel sensor, a change in capacitance generated when an external conductor such as a human finger contacts (approaches) the touch panel sensor is used to detect the external conductor such as a human finger on the touch panel sensor. Detect position. Capacitive touch panel sensors include a surface type and a projection type. The projection type is attracting attention because it is suitable for multi-touch recognition (multi-point recognition).
このようなタッチパネルセンサの形態として、基板と、基板の一面上に設けられ、第1方向に延びる複数の第1電極パターンと、第1電極パターンと交差するよう配置され、第2方向に延びる複数の第2電極パターンと、を備えたタッチパネルセンサ基板が知られている。各第1電極パターンは、第1方向に沿って並べられた複数の第1電極部と、隣り合う2つの第1電極部を接続する第1接続部と、を含んでいる。同様に、各第2電極パターンは、第2方向に沿って並べられた複数の第2電極部と、隣り合う2つの第2電極部を接続する第2接続部と、を含んでいる。第1電極部および第2電極部は、基板の法線方向から見て第1電極部と第2電極部との間に所定の間隙が存在するよう、配置されている。また、第1接続部および第2接続部は、基板の法線方向から見て互いに交差するよう配置されており、また、第1接続部と第2接続部との間には絶縁層が介在されている。 As a form of such a touch panel sensor, a substrate, a plurality of first electrode patterns provided on one surface of the substrate and extending in the first direction, and a plurality of electrodes arranged to intersect the first electrode pattern and extending in the second direction. There is known a touch panel sensor substrate including the second electrode pattern. Each first electrode pattern includes a plurality of first electrode portions arranged along the first direction and a first connection portion that connects two adjacent first electrode portions. Similarly, each second electrode pattern includes a plurality of second electrode portions arranged along the second direction and a second connection portion that connects two adjacent second electrode portions. The first electrode portion and the second electrode portion are arranged such that a predetermined gap exists between the first electrode portion and the second electrode portion when viewed from the normal direction of the substrate. The first connection portion and the second connection portion are arranged so as to intersect each other when viewed from the normal direction of the substrate, and an insulating layer is interposed between the first connection portion and the second connection portion. Has been.
ところで、第1電極部および第2電極部を構成する材料の屈折率と、基板を構成する材料の屈折率とは、通常、大きく異なっている。このため、第1電極部または第2電極部が形成されている領域と、第1電極部と第2電極部との間の間隙に対応する領域との間で、光の透過率や反射率が大きく異なっている。この結果、第1電極部および第2電極部が視認されてしまい、これによって、タッチパネルセンサ基板の意匠性が損なわれてしまうことが考えられる。このような課題を解決するため、例えば特許文献1乃至3において、基板の法線方向から見て第1電極部と第2電極部との間の間隙と重なるよう配置され、第1電極部および第2電極部を構成する材料と同等の屈折率を有する材料から構成されたダミーパターンを設けることが提案されている。特許文献1乃至3において、ダミーパターンは、第1電極部または第2電極部の少なくとも一方と同一平面上に形成されている。 By the way, the refractive index of the material which comprises a 1st electrode part and a 2nd electrode part, and the refractive index of the material which comprises a board | substrate are usually large different. For this reason, light transmittance and reflectance between the region where the first electrode portion or the second electrode portion is formed and the region corresponding to the gap between the first electrode portion and the second electrode portion. Are very different. As a result, it is considered that the first electrode portion and the second electrode portion are visually recognized, thereby impairing the design of the touch panel sensor substrate. In order to solve such a problem, for example, in Patent Documents 1 to 3, the first electrode unit and the first electrode unit are arranged so as to overlap the gap between the first electrode unit and the second electrode unit as viewed from the normal direction of the substrate. It has been proposed to provide a dummy pattern made of a material having a refractive index equivalent to that of the material constituting the second electrode portion. In Patent Documents 1 to 3, the dummy pattern is formed on the same plane as at least one of the first electrode portion or the second electrode portion.
ダミーパターンが、例えば第1電極部と同一平面上に形成される場合、ダミーパターンと第1電極部との間には、ダミーパターンと第1電極部とが導通することを防ぐための隙間が設けられる。この隙間が大きいと、第1電極部およびダミーパターンが視認されてしまうことになるので、隙間の寸法は可能な限り小さいことが好ましい。しかしながら、製造装置の公差などを考慮すると、この隙間の最小寸法には限界があり、このため、第1電極部およびダミーパターンが少なからず視認されてしまうと考えられる。 When the dummy pattern is formed on the same plane as the first electrode part, for example, a gap is provided between the dummy pattern and the first electrode part to prevent conduction between the dummy pattern and the first electrode part. Provided. If this gap is large, the first electrode part and the dummy pattern will be visually recognized. Therefore, the size of the gap is preferably as small as possible. However, considering the tolerance of the manufacturing apparatus, there is a limit to the minimum dimension of the gap, and therefore, it is considered that the first electrode portion and the dummy pattern are not a little visible.
本発明は、このような課題を効果的に解決し得るタッチパネルセンサ基板およびタッチパネルセンサ基板の製造方法を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the manufacturing method of the touch panel sensor substrate which can solve such a subject effectively, and a touch panel sensor substrate.
本発明は、基板と、基板の一面上に設けられたタッチパネルセンサ部と、を備え、前記タッチパネルセンサ部は、絶縁層と、第1方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第1電極パターンと、第2方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第2電極パターンと、を有し、各第1電極パターンは、前記第1方向に沿って並べられた複数の第1電極部と、隣り合う2つの第1電極部を接続する第1接続部と、を含み、各第2電極パターンは、前記第2方向に沿って並べられた複数の第2電極部と、隣り合う2つの第2電極部を接続する第2接続部と、を含み、前記第1電極部および前記第2電極部は、前記基板の法線方向から見て前記第1電極部と前記第2電極部との間に所定の間隙が存在するよう、配置されており、前記絶縁層の面のうち前記基板側の面に配置される、透光性および導電性を有する要素を第1要素群と定義し、前記絶縁層の面のうち前記基板とは反対側の面に配置される、透光性および導電性を有する要素を第2要素群と定義するとき、前記第1電極部、前記第1接続部および前記第2電極部は、前記第1要素群または第2要素群の一方に含まれ、前記第2接続部は、前記第1要素群または前記第2要素群の他方に含まれ、前記第1要素群または前記第2要素群のうち前記第2接続部を含む要素群は、前記基板の法線方向から見て前記第1電極部と前記第2電極部との間の前記間隙と重なるよう配置され、透光性および導電性を有するダミーパターンをさらに含む、タッチパネルセンサ基板である。 The present invention includes a substrate and a touch panel sensor unit provided on one surface of the substrate, and the touch panel sensor unit extends in the first direction and has a plurality of translucent and conductive elements. One electrode pattern and a plurality of second electrode patterns extending in the second direction and having translucency and conductivity, and each of the first electrode patterns is arranged in a plurality along the first direction. Each of the second electrode patterns includes a plurality of second electrode parts arranged along the second direction, and a first connection part that connects two adjacent first electrode parts. A second connecting portion that connects two adjacent second electrode portions, and the first electrode portion and the second electrode portion are connected to the first electrode portion and the second electrode portion when viewed from the normal direction of the substrate. The insulating layer is disposed such that a predetermined gap exists between the second electrode portion and the second electrode portion. An element having translucency and conductivity, which is disposed on the substrate side of the surface, is defined as a first element group, and is disposed on the surface of the insulating layer opposite to the substrate. When the element having translucency and conductivity is defined as the second element group, the first electrode part, the first connection part, and the second electrode part are the first element group or the second element group. The second connection part is included in one of the first element group or the second element group and includes the second connection part of the first element group or the second element group. The group further includes a dummy pattern that is disposed so as to overlap the gap between the first electrode portion and the second electrode portion when viewed from the normal direction of the substrate, and has a translucency and conductivity. It is a sensor substrate.
本発明によるタッチパネルセンサ基板において、前記ダミーパターンは、前記第2接続部を構成する材料と同一の材料から構成されていてもよい。 In the touch panel sensor substrate according to the present invention, the dummy pattern may be made of the same material as that of the second connection portion.
本発明によるタッチパネルセンサ基板において、好ましくは、前記絶縁層の屈折率と前記基板の屈折率との差の絶対値が0.1以下である。 In the touch panel sensor substrate according to the present invention, preferably, the absolute value of the difference between the refractive index of the insulating layer and the refractive index of the substrate is 0.1 or less.
本発明によるタッチパネルセンサ基板において、前記基板が、ガラスを含み、前記絶縁層が、酸化珪素を含んでいてもよい。 In the touch panel sensor substrate according to the present invention, the substrate may include glass, and the insulating layer may include silicon oxide.
本発明によるタッチパネルセンサ基板において、前記タッチパネルセンサ部は、前記第1要素群と前記基板との間に設けられ、絶縁性を有するオーバーコート層をさらに備えていてもよい。 In the touch panel sensor substrate according to the present invention, the touch panel sensor unit may further include an insulating overcoat layer provided between the first element group and the substrate.
本発明によるタッチパネルセンサ基板において、好ましくは、前記オーバーコート層の屈折率と前記基板の屈折率との差の絶対値が0.1以下である。 In the touch panel sensor substrate according to the present invention, preferably, the absolute value of the difference between the refractive index of the overcoat layer and the refractive index of the substrate is 0.1 or less.
本発明によるタッチパネルセンサ基板において、前記オーバーコート層が、前記絶縁層を構成する材料と同一の材料から構成されていてもよい。 In the touch panel sensor substrate according to the present invention, the overcoat layer may be made of the same material as that of the insulating layer.
本発明によるタッチパネルセンサ基板は、前記基板の周縁部に配置され、前記基板と前記タッチパネルセンサ部の前記オーバーコート層との間に設けられ、遮光性を有する遮光層をさらに備えていてもよい。 The touch panel sensor substrate according to the present invention may further include a light shielding layer that is disposed on a peripheral portion of the substrate, is provided between the substrate and the overcoat layer of the touch panel sensor portion, and has a light shielding property.
本発明は、基板を準備する工程と、基板の一面上にタッチパネルセンサ部を設けるタッチパネルセンサ形成工程と、を備え、前記タッチパネルセンサ部は、絶縁層と、第1方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第1電極パターンと、第2方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第2電極パターンと、を有し、各第1電極パターンは、前記第1方向に沿って並べられた複数の第1電極部と、隣り合う2つの第1電極部を接続する第1接続部と、を含み、各第2電極パターンは、前記第2方向に沿って並べられた複数の第2電極部と、隣り合う2つの第2電極部を接続する第2接続部と、を含み、前記第1電極部および前記第2電極部は、前記基板の法線方向から見て前記第1電極部と前記第2電極部との間に所定の間隙が存在するよう、配置されており、前記タッチパネルセンサ形成工程は、前記基板の一面上に第1透明導電層を設ける工程と、前記第1透明導電層をパターニングして第1要素群を形成する工程と、前記第1要素群上に前記絶縁層を形成する工程と、前記絶縁層上に第2透明導電層を設ける工程と、前記第2透明導電層をパターニングして第2要素群を形成する工程と、を備え、前記第1電極部、前記第1接続部および前記第2電極部は、前記第1要素群または第2要素群の一方に含まれ、前記第2接続部は、前記第1要素群または前記第2要素群の他方に含まれ、前記第1要素群または前記第2要素群のうち前記第2接続部を含む要素群は、前記基板の法線方向から見て前記第1電極部と前記第2電極部との間の前記間隙と重なるよう配置され、透光性および導電性を有するダミーパターンをさらに含む、タッチパネルセンサ基板の製造方法である。 The present invention includes a step of preparing a substrate, and a touch panel sensor forming step of providing a touch panel sensor portion on one surface of the substrate, the touch panel sensor portion extending in a first direction, and having translucency and A plurality of first electrode patterns having conductivity, and a plurality of second electrode patterns extending in the second direction and having translucency and conductivity, each first electrode pattern extending in the first direction A plurality of first electrode portions arranged along the first connection portion and a first connection portion connecting two adjacent first electrode portions, wherein each second electrode pattern is arranged along the second direction. A plurality of second electrode portions and a second connection portion connecting two adjacent second electrode portions, wherein the first electrode portion and the second electrode portion are viewed from a normal direction of the substrate. A predetermined gap exists between the first electrode portion and the second electrode portion. The touch panel sensor forming step includes a step of providing a first transparent conductive layer on one surface of the substrate, and a step of patterning the first transparent conductive layer to form a first element group. A step of forming the insulating layer on the first element group, a step of providing a second transparent conductive layer on the insulating layer, and a step of patterning the second transparent conductive layer to form a second element group The first electrode portion, the first connection portion, and the second electrode portion are included in one of the first element group or the second element group, and the second connection portion is the first element group. An element group that is included in the other of the element group or the second element group and includes the second connection portion of the first element group or the second element group is the first group as viewed from the normal direction of the substrate. Arranged so as to overlap the gap between the electrode part and the second electrode part. Translucency and further comprising a dummy pattern having conductivity, a manufacturing method for a touch panel sensor substrate.
本発明によるタッチパネルセンサ基板の製造方法は、前記第1透明導電層を設ける工程の前に、前記基板の一面上に、絶縁性を有するオーバーコート層を形成する工程をさらに備えていてもよい。 The method for manufacturing a touch panel sensor substrate according to the present invention may further include a step of forming an insulating overcoat layer on one surface of the substrate before the step of providing the first transparent conductive layer.
本発明によるタッチパネルセンサ基板の製造方法において、前記オーバーコート層を形成する工程の前に、前記基板の一面上であって前記基板の周縁部に、遮光性を有する遮光層を形成する工程をさらに備えていてもよい。 In the method for manufacturing a touch panel sensor substrate according to the present invention, before the step of forming the overcoat layer, a step of forming a light shielding layer having a light shielding property on a peripheral surface of the substrate on one surface of the substrate is further performed. You may have.
本発明によれば、第1電極部および第2電極部が絶縁層の一方の側の面に配置され、ダミーパターンが絶縁層の他方の側の面に配置される。このため、第1電極部および第2電極部とダミーパターンとが導通するおそれがない。従って、第1電極部と第2電極部との間の間隙をダミーパターンによって十分に埋めることができる。このことにより、第1電極部、第2電極部およびダミーパターンが視認されることを抑制することができる。 According to the present invention, the first electrode portion and the second electrode portion are disposed on the surface on one side of the insulating layer, and the dummy pattern is disposed on the surface on the other side of the insulating layer. For this reason, there is no possibility that the first electrode part and the second electrode part are electrically connected to the dummy pattern. Therefore, the gap between the first electrode portion and the second electrode portion can be sufficiently filled with the dummy pattern. Thereby, it can suppress that a 1st electrode part, a 2nd electrode part, and a dummy pattern are visually recognized.
以下、図1乃至図4を参照して、本発明の実施の形態におけるタッチパネルセンサ基板10について説明する。まず図1および図2により、タッチパネルセンサ基板10の基板11の法線方向から見た場合のタッチパネルセンサ基板10の構造について説明する。
The touch
図1に示すように、タッチパネルセンサ基板10は、透光性を有する基板11と、基板11の一面11a上に設けられ、人間の指などの外部導体の位置を検出するためのタッチパネルセンサ部30と、を備えている。
As shown in FIG. 1, the touch
(基板)
基板11の材料は、タッチパネルセンサ基板10と組み合わされるLCDや有機ELなどの表示部(図示せず)からの光を外部に取り出すことができる限り特に限定されるものではない。例えば、基板11の材料として、透光性や耐久性等を考慮して、ガラスやポリマー等が用いられる。また、基板11の面のうちタッチパネルセンサ部30とは反対側にある面(以下、他面とも称する)には、擦り傷を防止するためのハードコート層などが形成されていてもよい。
(substrate)
The material of the
基板11の法線方向から見た場合、基板11は、基板11の周縁部に位置する非表示領域A2と、非表示領域A2の内側に位置し、表示部からの光に基づく映像を表示させるための表示領域A1とに区画されている。
When viewed from the normal direction of the
(タッチパネルセンサ部)
次にタッチパネルセンサ部30について説明する。なお説明の便宜上、図1においては、後述する絶縁層36が省略されている。
(Touch panel sensor)
Next, the touch
図1に示すように、タッチパネルセンサ部30は、基板11の一面11aの側の表示領域A1内に配置され、第1方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第1電極パターン31と、基板11の一面11aの側の表示領域A1内に配置され、第1方向とは異なる方向、例えば第1方向に直交する第2方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第2電極パターン32と、を有している。
As shown in FIG. 1, the touch
各第1電極パターン31は、第1方向に沿って並べられ、各々が略正方形の形状を有する複数の第1電極部31aと、隣り合う2つの第1電極部31aを接続する第1接続部31bと、を含んでいる。同様に、各第2電極パターン32は、第2方向に沿って並べられ、各々が略正方形の形状を有する複数の第2電極部32aと、隣り合う2つの第2電極部32aを接続する第2接続部32bと、を含んでいる。図1に示すように、第1接続部31bおよび第2接続部32bは、基板11の法線方向から見た場合に部分的に重なるよう配置されている。すなわち第1電極パターン31および第2電極パターン32は、第1接続部31bおよび第2接続部32bにおいて互いに交差するように構成されている。以下の説明において、基板11の法線方向から見た場合に第1接続部31bおよび第2接続部32bが互いに重なっている部分を「交差部分」と称することもある。
Each
人間の指などの外部導体がタッチパネルセンサ基板10に接近または接触する際、各第1電極パターン31に流れる信号に基づいて、外部導体の第2方向における位置を検出することができ、また各第2電極パターン32に流れる信号に基づいて、外部導体の第1方向における位置を検出することができる。なお、各電極部31a,32aの形状が正方形に限られることはなく、多角形や円形など様々な形状が適宜採用され得る。
When an external conductor such as a human finger approaches or touches the touch
また図1に示すように、基板11の非表示領域A2内には、各電極パターン31,32からの信号を外部へ取り出すための複数の端子部34が設けられている。また基板11には、各電極パターン31,32と対応する端子部34との間を電気的に接続するための複数の取出パターン33が設けられている。
Further, as shown in FIG. 1, the non-display area A 2 of the
また第1電極部31aおよび第2電極部32aは、基板11の法線方向から見て第1電極部31aと第2電極部32aとの間に所定の間隙が存在するよう、配置されている。また、タッチパネルセンサ基板10には、図1に示すように、基板11の法線方向から見て第1電極部31aと第2電極部32aとの間の間隙と重なるよう配置されたダミーパターン40がさらに設けられている。以下、図2を参照して、ダミーパターン40について説明する。図2は、図1において枠IIで囲まれた部分を拡大して示す平面図である。
The
図2において、第1電極部31aと第2電極部32aとの間の間隙が符号dで示されている。間隙dの寸法は、タッチ位置の検出精度の仕様などに応じて設定されるが、例えば数十〜100μm程度となっている。
In FIG. 2, a gap between the
後述するように、第1電極部31aおよび第2電極部32aと、ダミーパターン40とは、互いに異なる平面上に配置されている。具体的には、第1電極部31aおよび第2電極部32aは、絶縁層36の面のうち基板側の面に配置されており、一方、ダミーパターン40は、絶縁層36の面のうち基板11とは反対側の面に配置されている。このため本実施の形態によれば、製造上の公差やばらつきが生じたとしても、第1電極部31aおよび第2電極部32aとダミーパターン40とが導通することはない。このため、基板11の法線方向から見た場合に、第1電極部31aと第2電極部32aとの間の間隙dをダミーパターン40によって十分に埋めることができる。例えば、基板11の法線方向から見た場合に、第1電極部31aおよび第2電極部32aとダミーパターン40との間の隙間を2μm以下にすることができる。また、基板11の法線方向から見た場合に、第1電極部31aおよび第2電極部32aとダミーパターン40とが重なっていてもよい。第1電極部31aおよび第2電極部32aとダミーパターン40とが重なっている部分の幅は、好ましくは2μm以下となっている。
As will be described later, the
後述するように、第2接続部32bは、絶縁層36の面のうち基板11とは反対側の面に配置されている。すなわち、第2接続部32bとダミーパターン40とは同一平面上に配置されている。この場合、好ましくは、第2接続部32bとダミーパターン40との間には、図2に示すように、第2接続部32bとダミーパターン40とが導通することを防ぐための隙間sが設けられている。隙間sの寸法は、製造装置の公差などを考慮すると、例えば10〜30μmに設定されている。このように第2接続部32bとダミーパターン40との間に適切に隙間sを設けることにより、ダミーパターン40は、どこにも接続されていない、いわゆるフローティング状態のパターンになる。
As will be described later, the
ダミーパターン40を構成する材料としては、第1電極部31aおよび第2電極部32aを構成する材料と同様の光学特性を有する材料が用いられる。例えば、ダミーパターン40を構成する材料として、第1電極部31aおよび第2電極部32aと同様に、透光性および導電性を有する材料が用いられる。
As a material constituting the
次に図3A乃至図3Cを参照して、タッチパネルセンサ部30の層構成について説明する。図3A乃至図3Cはそれぞれ、図1のタッチパネルセンサ基板10のA−A線乃至C−C線に沿った縦断面図である。
Next, the layer configuration of the touch
図3A乃至図3Cにおいて、基板11の一面が符号11aで表されており、基板11の他面が符号11bで表されている。また基板11の一面11aには、絶縁層36が配置されている。
In FIG. 3A thru | or 3C, the one surface of the board |
図3Bに示すように、絶縁層36には、基板11の法線方向から見て第2電極部32aと重なる複数の貫通孔36cが形成されている。また上述の交差部分において、第2接続部32bは、絶縁層36の面36a上を延びるとともに貫通孔36cを通って第2電極部32aに接続されている。貫通孔36cの幅および貫通孔36cを通る第2接続部32bの幅は、例えば数十〜100μm程度となっている。
As shown in FIG. 3B, the insulating
図3A乃至図3Cにおいて、絶縁層36の面のうち基板11側の面が符号36bで表されており、絶縁層36の面のうち基板11とは反対側の面が符号36aで表されている。ここで、タッチパネルセンサ部30の各構成要素のうち、基板側の面36bに配置される、透光性および導電性を有する要素を第1要素群35Aと定義し、基板11とは反対側の面36aに配置される、透光性および導電性を有する要素を第2要素群35Bと定義する。この場合、図3A乃至図3Cに示すように、上述の第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aは、第1要素群35Aに含まれる。一方、上述の第2接続部32bは、第2要素群35Bに含まれる。このように、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aは同一平面上に配置されており、一方、第2接続部32bは、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aとは異なる平面上に設けられている。
3A to 3C, the surface of the insulating
ここで図3Aに示すように、上述のダミーパターン40は、絶縁層36の面のうち基板11とは反対側の面36aに配置されている。従って、ダミーパターン40は、第2接続部32bを含む要素群である、上述の第2要素群35Bに含まれる。すなわち、ダミーパターン40は、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aとは異なる平面上であって、第2接続部32bと同一の平面上に設けられている。このため図3Aに示すように、第1電極部31aおよび第2電極部32aとダミーパターン40とを導通させることなく、第1電極部31aと第2電極部32aとの間の間隙dをダミーパターン40によって十分に埋めることができる。
Here, as shown in FIG. 3A, the
次に、各電極パターン31,32および絶縁層36を構成する材料について説明する。
Next, the material which comprises each
各電極パターン31,32は、映像を表示させるための表示領域A1に配置される。このため各電極パターン31,32は、導電性および透光性を有する透明導電性材料から構成されている。透明導電性材料としては、例えば、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化亜鉛、酸化インジウム、アンチモン添加酸化錫、フッ素添加酸化錫、アルミニウム添加酸化亜鉛、カリウム添加酸化亜鉛、シリコン添加酸化亜鉛や、酸化亜鉛−酸化錫系、酸化インジウム−酸化錫系、酸化亜鉛−酸化インジウム−酸化マグネシウム系などの金属酸化物が用いられる。これらの金属酸化物が2種以上複合されてもよい。
The
絶縁層36も同様に、映像を表示させるための表示領域A1に配置される。このため絶縁層36を構成する材料は、絶縁性および透光性を有する材料から構成される。また絶縁層36は、絶縁層36の屈折率と基板11の屈折率との差の絶対値が好ましくは0.1以下であり、さらに好ましくは0.05以下であるよう、構成されている。例えば、基板11が無機ガラスを含む場合、絶縁層36は、酸化珪素などの無機材料を含んでいてもよい。また絶縁層36は、アクリル樹脂などの有機材料を含んでいてもよい。また絶縁層36を構成する材料は、感光性を有する感光性材料をさらに含んでいてもよい。感光性材料としては、例えば、紫外線の照射により硬化する光硬化性樹脂や、熱により硬化する熱硬化性樹脂が用いられる。
Similarly, the insulating
(取出パターンおよび端子部の層構成)
次に取出パターン33および端子部34の層構成について説明する。取出パターン33および端子部34を構成する材料は、各電極パターン31,32からの信号を適切に伝導することができる限りにおいて、特に限定されない。例えば図3Bおよび図3Cに示すように、取出パターン33および端子部34は、第1要素群35Aを形成する際に用いられる、後述する第1透明導電層35aを含んでいてもよい。また取出パターン33および端子部34は、金属材料から構成された遮光導電層35cをさらに含んでいてもよい。なお図3Bおよび図3Cにおいて、遮光導電層35cが第1透明導電層35aの基板11側に配置される例が示されているが、これに限られることはない。例えば遮光導電層35cが、第1透明導電層35aの基板11とは反対側に配置されてもよい。なお絶縁層36は、端子部34を少なくとも部分的に露出させるよう構成されている。
(Lead pattern and terminal layer structure)
Next, the layer configuration of the
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用および効果について説明する。ここでは、タッチパネルセンサ基板10の製造方法について、図4(a)〜(d)を参照して説明する。図4(a)〜(d)においては、基板11を図1のA−A線に沿って切断した場合の縦断面図が示されている。
Next, the operation and effect of the present embodiment having such a configuration will be described. Here, a method for manufacturing the touch
はじめに基板11を準備する。次に図4(a)に示すように、基板11の一面11a上に、透明導電性材料からなる第1透明導電層35aを、例えばスパッタリング法を用いて設ける。
First, the
次に第1透明導電層35aをパターニングして、図4(b)に示すように、第1電極部31a、第2電極部32aおよび第1接続部31b(図示せず)を含む第1要素群35Aを形成する。第1透明導電層35aをパターニングする方法が特に限られることはなく、公知の方法が適宜用いられる。例えば、はじめに、第1透明導電層35a上に、感光性樹脂を含むレジスト層を設け、次に、レジスト層を、形成されるべき第1要素群35Aに対応したパターンでパターニングする。その後、パターニングされたレジスト層をマスクとして第1透明導電層35aをエッチングする。これによって、透明導電性材料からなる第1電極部31a、第2電極部32aおよび第1電極部31aを含む第1要素群35Aを得ることができる。
Next, the first transparent
その後、図4(c)に示すように、第1要素群35A上に絶縁層36を形成する。例えば、はじめに、絶縁性を有する材料を第1要素群35A上に設け、次に、フォトリソグラフィー法などを用いて当該材料に上述の貫通孔36cを形成する。これによって、貫通孔36cが形成された絶縁層36を得ることができる。
Thereafter, as shown in FIG. 4C, an insulating
次に、図4(d)に示すように、絶縁層36上に、透明導電性材料からなる第2透明導電層35bを、例えばスパッタリング法を用いて設ける。次に、第1透明導電層35aをパターニングする工程の場合と同様にして、第2透明導電層35bをパターニングする。これによって、図3A乃至図3Cに示すように、透明導電性材料からなる第2接続部32bおよびダミーパターン40を含む第2要素群35Bを得ることができる。
Next, as shown in FIG. 4D, a second transparent
ここで本実施の形態によれば、第1電極部31a、第1接続部31bおよび第2電極部32aが絶縁層36の基板11側の面36bに配置され、第2接続部32bおよびダミーパターン40が絶縁層36の基板11とは反対側の面36aに配置される。このため、第1電極部31aおよび第2電極部32aとダミーパターン40とが導通するおそれがない。従って、第1電極部31aと第2電極部32aとの間の間隙dをダミーパターン40によって十分に埋めることができる。このことにより、第1電極部31a、第2電極部32aおよびダミーパターン40が視認されることを抑制することができる。
Here, according to the present embodiment, the
また本実施の形態によれば、第2接続部32bおよびダミーパターン40がいずれも、第2透明導電層35bをパターニングすることにより形成される。すなわち、ダミーパターン40は、第2接続部32bを構成する材料と同一の材料から、第2接続部32bを形成する工程と同一の工程によって得られる。このため、従来のタッチパネルセンサ基板10を製造する場合に比べて工数やコストを増大させることなく、ダミーパターン40を備えたタッチパネルセンサ基板10を製造することができる
Further, according to the present embodiment, both the
また本実施の形態によれば、絶縁層36は、絶縁層36の屈折率と基板11の屈折率との差の絶対値が好ましくは0.1以下であり、さらに好ましくは0.05以下であるよう、構成されている。このため、基板11と絶縁層36との間の界面において光が反射することを抑制することができる。これによって、基板11上に第1電極部31aおよび第2電極部32aが設けられている領域に比べて、ダミーパターン40が設けられている領域が目立ってしまうことを抑制することができる。このことにより、タッチパネルセンサ基板10の各パターン31,32,40が視認されることをさらに抑制することができる。
Further, according to the present embodiment, the insulating
次に、本実施の形態の効果を、比較の形態と比較して説明する。図12(a)(b)(c)は、比較の形態におけるダミーパターン60と電極部31a,32aとの関係を模式的に示す平面図である。また図11(a)(b)(c)は、本実施の形態におけるダミーパターン40と電極部31a,32aとの関係を模式的に示す平面図であり、図12(a)(b)(c)に対応する図である。ここでは、電極部31a,32aが視認されることを防ぐためには、基板11の法線方向から見た場合の電極部31a,32aとダミーパターン60との間の隙間がWよりも小さい必要があると仮定した上で、本実施の形態の効果を、比較の形態と比較して説明する。
Next, the effect of this embodiment will be described in comparison with a comparative embodiment. 12A, 12B, and 12C are plan views schematically showing the relationship between the
比較の形態においては、ダミーパターン60と電極部31a,32aとが同一平面上に配置されている。この場合に、ダミーパターン60を作製する際に許容される公差を、ダミーパターン60の縁部60aがとり得る位置に基づいて考える。図12(a)(b)(c)には、ダミーパターン60の縁部60aがとり得る位置の3つのパターンが示されている。第1のパターンは、図12(a)に示すように、ダミーパターン60の縁部60aと電極部31a,32aとの間の距離がWになる場合である。第2のパターンは、図12(c)に示すように、ダミーパターン60の縁部60aと電極部31a,32aとの間の距離がほぼゼロになる場合である。第3のパターンは、図12(a)に示す縁部60aの位置と図12(c)に示す縁部60aの位置とのほぼ中間に縁部60aが位置している場合であり、ダミーパターン60の縁部60aと電極部31a,32aとの間の距離がW/2になる場合である(図12(b)参照)。このように、比較の形態においては、ダミーパターン60を作製する際に許容される公差は、図12(b)に示す場合を中心とした、±W/2よりも小さい公差となる。
In the comparative form, the
次に、本実施の形態における、ダミーパターン40を作製する際に許容される公差について考える。本実施の形態においても、第1のパターンとして、比較の形態の場合と同様に、ダミーパターン40の縁部40aと電極部31a,32aとの間の距離がWになる場合が考えられる(図11(a)参照)。
Next, let us consider a tolerance allowed in manufacturing the
また本実施の形態においては、ダミーパターン40と電極部31a,32aとが互いに異なる平面上に配置されている。このため図11(c)に示すように、第2のパターンとして、基板11の法線方向から見た場合にダミーパターン40と電極部31a,32aとが重なっているという場合も考えらえる。ここで、電極部31a,32aが視認されることを防ぐ上で、ダミーパターン40と電極部31a,32aとが重なる部分の幅がどの程度許容されるかについて考える。
In the present embodiment,
ダミーパターン40と電極部31a,32aとが重なっている場合に、電極部31a,32aが視認されるかどうかは、ダミーパターン40と電極部31a,32aとが重なっている部分と、重なっていない部分との間での反射率および透過率の差に依存する。ここで、ダミーパターン40と電極部31a,32aとが重なっている部分は、2層の透明導電層35a,35bを含んでいる。一方、ダミーパターン40と電極部31a,32aとが重なっていない部分は、第1透明導電層35aまたは第2透明導電層35bのいずれか1層の透明導電層を含んでいる。すなわち、ダミーパターン40と電極部31a,32aとが重なっている部分と、重なっていない部分との間には、1層の透明導電層の有無に起因する反射率および透過率の差が存在している。
ところで、図11(a)に示すような、ダミーパターン40と電極部31a,32aとの間に隙間が存在する場合、隙間は、透明導電層を含んでおらず、一方、ダミーパターン40および電極部31a,32aはいずれも、第1透明導電層35aまたは第2透明導電層35bのいずれか1層の透明導電層を含んでいる。すなわち、隙間と、ダミーパターン40および電極部31a,32aとの間には、1層の透明導電層の有無に起因する反射率および透過率の差が存在している。このように、図11(a)に示す第1のパターンと、図11(c)に示す第2のパターンとは、電極部31a,32aが視認されるかどうかを決定する要素が、1層の透明導電層の有無に起因する反射率および透過率の差であるという点で類似している。
ここで、第1透明導電層35aおよび第2透明導電層35bの厚みが、光の波長より十分に小さく、例えば20〜30nm程度であり、このため、薄膜干渉の影響による透過率、反射率の変化量は、膜厚変化量に対し直線性が高いと仮定する。この場合、図11(a)に示す第1のパターンにおける、1層の透明導電層の有無に起因する反射率および透過率の差は、図11(c)に示す第2のパターンにおける、1層の透明導電層の有無に起因する反射率および透過率の差とほぼ同程度になる。従って、図11(c)に示す第2のパターンにおける、ダミーパターン40と電極部31a,32aとが重なる部分の幅に許容される寸法は、図11(a)に示す第1のパターンの場合と同様に、Wとなる。すなわち、図11(c)に示す第2のパターンにおいて、ダミーパターン40の縁部40aと電極部31a,32aとの間に許容される距離はWである。
When the
When a gap exists between the
Here, the thickness of the first transparent
図11(b)に示す第3のパターンは、図11(a)に示す縁部40aの位置と図11(c)に示す縁部40aの位置とのほぼ中間に縁部40aが位置している場合であり、ダミーパターン40が電極部31a,32a間の間隙に一致する場合である。従って、本実施の形態においては、ダミーパターン40を作製する際に許容される公差は、図11(b)に示す場合を中心とした、±Wの公差となる。
In the third pattern shown in FIG. 11B, the
以上のように、比較の形態においては、ダミーパターン60を作製する際に許容される公差が、±W/2よりも小さい公差となり、一方、本実施の形態においては、ダミーパターン40を作製する際に許容される公差が、±Wの公差となる。このように本実施の形態によれば、ダミーパターン40と電極部31a,32aとを互いに異なる平面上に配置することにより、ダミーパターン40を作製する際に許容される公差を、比較の形態の場合の2倍以上とすることができる。このため本実施の形態によれば、製造の安定性を高めることができる。
As described above, in the comparative embodiment, the tolerance allowed when manufacturing the
なお図11(a)〜(c)および図12(a)〜(c)に示す例においては、ダミーパターンの幅がばらつく場合を想定して、本実施の形態における許容公差と比較の形態における許容公差との差について検討した。しかしながら、ダミーパターンの幅がばらつく場合だけでなく、ダミーパターンの幅は一定ではあるがその位置がばらつく場合についても、本実施の形態における許容公差について、上述した利点と同様の利点を期待することができる。 In the examples shown in FIGS. 11A to 11C and FIGS. 12A to 12C, it is assumed that the width of the dummy pattern varies. The difference from the allowable tolerance was examined. However, not only the case where the width of the dummy pattern varies but also the case where the width of the dummy pattern is constant but the position thereof varies, the same advantage as the above-described advantage is expected for the allowable tolerance in the present embodiment. Can do.
第1の変形例
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。はじめに、第1の変形例について図5Aを参照して説明する。図5Aにおいては、タッチパネルセンサ基板10を図1のA−A線に沿って切断した場合の縦断面図が示されている。
First Modification Various changes can be made to the above-described embodiment. First, a first modification will be described with reference to FIG. 5A. 5A shows a longitudinal sectional view when the touch
図5Aに示すように、タッチパネルセンサ基板10のタッチパネルセンサ部30は、第1要素群35Aと基板11との間に設けられ、絶縁性を有するオーバーコート層37をさらに有していてもよい。基板11の一面11a上にオーバーコート層37を形成する工程は、上述の第1透明導電層35aを基板11に設ける工程の前に実施される。
As illustrated in FIG. 5A, the touch
オーバーコート層37は、絶縁層36と同様に、絶縁性および透光性を有する材料から構成されている。またオーバーコート層37は、オーバーコート層37の屈折率と基板11の屈折率との差の絶対値が好ましくは0.1以下であり、さらに好ましくは0.05以下であるよう、構成されている。例えばオーバーコート層37は、アクリル樹脂などの有機材料から構成されている。さらに好ましくは、オーバーコート層37は、オーバーコート層37の屈折率と絶縁層36の屈折率との差の絶対が0.1以下であり、さらに好ましくは0.05以下であるよう、構成されている。例えば、オーバーコート層37は、絶縁層36を構成する材料と同一の材料から構成されている。このようなオーバーコート層37をさらに設けることにより、基板11の法線方向から見た場合に、第1電極部31aおよび第2電極部32aと重なる部分の各層における光の反射および透過の態様と、ダミーパターン40と重なる部分の各層における光の反射および透過の態様とを、互いに類似したものにすることができる。このことにより、タッチパネルセンサ基板10の各パターン31,32,40が視認されることをさらに抑制することができる。
Similar to the insulating
第2の変形例
次に、第2の変形例について図6A乃至図7Bを参照して説明する。
Second Modified Example Next, a second modified example will be described with reference to FIGS. 6A to 7B.
図6Aは、本変形例によるタッチパネルセンサ基板10を示す平面図である。図6Aに示すように、タッチパネルセンサ基板10は、基板11の一面11aの周縁部に配置され、遮光性を有する遮光層12をさらに備えていてもよい。遮光層12は、図6Aに示すように、表示領域A1の周辺に位置する非表示領域A2内に設けられている。遮光層12は、遮光性を有する遮光性材料から構成される層である。このような遮光層12をタッチパネルセンサ基板10に設けることにより、タッチパネルセンサ基板10およびタッチパネルセンサ基板10が組み込まれた表示装置の意匠性を高めることができる。基板11の一面11a上であって11の周縁部に遮光層12を形成する工程は、上述のオーバーコート層37を形成する工程の前に実施される。
FIG. 6A is a plan view showing the touch
図6Bは、タッチパネルセンサ基板10が組み込まれた表示装置60を示す縦断面図である。図6Bに示すように、表示装置60は、映像を表示するための光を観察者側(図6Bにおける上側)に放射する表示部20と、表示部20に対して観察者側に配置されたタッチパネルセンサ基板10と、を備えている。図6Bに示すように、表示部20とタッチパネルセンサ基板10との間に、透光性を有する接着層25が設けられていてもよい。表示部20としては、LCD、PDP、有機ELなどの一般的な表示用デバイスを用いることができる。
FIG. 6B is a longitudinal sectional view showing the
図6Bに示すように、基板11は、入出力装置60の最も観察者側の面を構成する部材となっている。この場合、基板11は、好ましくは、衝撃や外部からの圧力から表示部20を適切に保護することができる程度の強度を有している。すなわち基板11は、表示部20を保護するための前面板として機能するよう構成されている。この場合、タッチパネルセンサ基板10は、タッチパネル機能を備えた前面板として機能することができる。
As shown in FIG. 6B, the
遮光層12を構成する遮光性材料は、表示部20からの光を遮蔽するまたは減衰させることができる限り特に限定されるものではない。例えば遮光性材料として、カーボンブラック、チタンブラック等の黒色着色材を含有する樹脂組成物を挙げることができる。なお、遮光性材料に含まれる着色剤の色が黒色に限られることはなく、白色など様々な色の着色剤が用いられ得る。
The light shielding material constituting the
図7Aおよび図7Bは、図6Aのタッチパネルセンサ基板10のA−A線に沿った縦断面図である。図7Aおよび図7Bに示すように、遮光層12は、基板11とオーバーコート層37との間に設けられている。また図7Bに示すように、遮光層12は、基板11の法線方向から見た場合に取出パターン33および端子部34を構成する遮光導電層35cと重なるよう配置されている。これによって、遮光導電層35cが観察者から視認されることを防ぐことができる。
7A and 7B are longitudinal sectional views taken along line AA of the touch
第3の変形例
次に、第3の変形例について図8A乃至図9を参照して説明する。
Third Modified Example Next, a third modified example will be described with reference to FIGS. 8A to 9.
上述の実施の形態および各変形例において、絶縁層36の基板側の面36bに配置される第1要素群35Aが、第1電極部31a、第2電極部32aおよび第1接続部31bを含み、絶縁層36の基板11とは反対側の面36aに配置される第2要素群35Bが、第2接続部32bおよびダミーパターン40を含む例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、第1要素群35Aが、第2接続部32bおよびダミーパターン40を含み、第2要素群35Bが、第1電極部31a、第2電極部32aおよび第1接続部31bを含んでいてもよい。
In the above-described embodiment and each modified example, the
図8A乃至図8Cにおいては、基板11を図1のA−A線乃至C−C線に沿って切断した場合の縦断面図が示されている。図8A乃至図8Cに示すように、第1電極部31a、第2電極部32aおよび第1接続部31bは、絶縁層36の基板11とは反対側の面36aに配置されている。一方、第2接続部32bは、絶縁層36の基板11側の面36bに配置されている。このように本変形例においても、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aは同一平面上に配置されており、一方、第2接続部32bは、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aとは異なる平面上に設けられている。この場合、図8Bに示すように、交差部分において、第2電極部32aが、絶縁層36の面36a上を延びるとともに貫通孔36cを通って第2接続部32bに接続されている。
8A to 8C show longitudinal sectional views when the
また本変形例においても、図8Aに示すように、基板11の法線方向から見て第1電極部31aと第2電極部32aとの間の間隙と重なるよう配置されたダミーパターン40が設けられている。ダミーパターン40は、絶縁層36の基板11側の面36bに配置されている。従って、ダミーパターン40は、第2接続部32bを含む要素群である、上述の第1要素群35Aに含まれる。すなわち、ダミーパターン40は、第1電極部31a,第1接続部31bおよび第2電極部32aとは異なる平面上であって、第2接続部32bと同一の平面上に設けられている。このため図8Aに示すように、第1電極部31aおよび第2電極部32aとダミーパターン40とを導通させることなく、第1電極部31aと第2電極部32aとの間の間隙dをダミーパターン40によって十分に埋めることができる。
Also in this modified example, as shown in FIG. 8A, a
次に、本変形例によるタッチパネルセンサ基板10の製造方法について、図9(a)〜(d)を参照して説明する。図9(a)〜(d)においては、基板11を図1のA−A線に沿って切断した場合の縦断面図が示されている。
Next, a method for manufacturing the touch
はじめに基板11を準備する。次に図9(a)に示すように、基板11の一面11a上に、透明導電性材料からなる第1透明導電層35aを、例えばスパッタリング法を用いて設ける。次に、第1透明導電層35aをパターニングする。これによって、図9(b)に示すように、透明導電性材料からなるダミーパターン40および第2接続部32b(図示せず)を含む第1要素群35Aを得ることができる。その後、図9(c)に示すように、第1要素群35A上に絶縁層36を形成する。例えば、はじめに、絶縁性を有する材料を第1要素群35A上に設け、次に、フォトリソグラフィー法などを用いて当該材料に上述の貫通孔36cを形成する。これによって、貫通孔36cが形成された絶縁層36を得ることができる。次に、図9(d)に示すように、絶縁層36上に、透明導電性材料からなる第2透明導電層35bを、例えばスパッタリング法を用いて設ける。その後、第2透明導電層35bをパターニングする。これによって、図8A乃至図8Cに示すように、透明導電性材料からなる第1電極部31a、第2電極部32aおよび第1接続部31bを含む第2要素群35Bを得ることができる。
First, the
本変形例において、第2接続部32bおよびダミーパターン40はいずれも、第1透明導電層35aをパターニングすることにより形成される。すなわち、ダミーパターン40は、第2接続部32bを構成する材料と同一の材料から、第2接続部32bを形成する工程と同一の工程によって得られる。このため、従来のタッチパネルセンサ基板10を製造する場合に比べて工数やコストを増大させることなく、ダミーパターン40を備えたタッチパネルセンサ基板10を製造することができる
In the present modification, both the
なお本変形例においても、図6A乃至図7Bに示す上述の第2の変形例の場合と同様に、タッチパネルセンサ基板10は、基板11の一面11aの周縁部に配置され、遮光性を有する遮光層12をさらに備えていてもよい。この場合、遮光層12を覆うとともに基板11と第1要素群35Aとの間に位置するオーバーコート層37が設けられていてもよい。遮光層12およびオーバーコート層37をさらに備えるタッチパネルセンサ基板10の一例を図10Aおよび図10Bに示す。図10Aおよび図10Bは、上述の第2の変形例における図7Aおよび図7Bに対応する図である。
In this modification as well, as in the case of the above-described second modification shown in FIGS. 6A to 7B, the touch
図10Aおよび図10Bに示す例においても、基板11は、好ましくは、衝撃や外部からの圧力から表示部20を適切に保護することができる程度の強度を有している。これによって、タッチパネルセンサ基板10は、タッチパネル機能を備え、表示部20を保護する前面板として機能することができる。また図10Bに示すように、遮光層12は、基板11の法線方向から見た場合に取出パターン33および端子部34を構成する遮光導電層35cと重なるよう配置されている。これによって、遮光導電層35cが観察者から視認されることを防ぐことができる。
Also in the example shown in FIGS. 10A and 10B, the
なお、上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。 In addition, although some modified examples with respect to the above-described embodiment have been described, naturally, a plurality of modified examples can be applied in combination as appropriate.
10 タッチパネルセンサ基板
11 基板
12 遮光層
30 タッチパネルセンサ部
31 第1電極パターン
31a 第1電極部
31b 第1接続部
32 第2電極パターン
32a 第2電極部
32b 第2接続部
35A 第1要素群
35B 第2要素群
36 絶縁層
37 オーバーコート層
40 ダミーパターン
DESCRIPTION OF
Claims (11)
基板の一面上に設けられたタッチパネルセンサ部と、を備え、
前記タッチパネルセンサ部は、絶縁層と、第1方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第1電極パターンと、第2方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第2電極パターンと、を有し、
各第1電極パターンは、前記第1方向に沿って並べられた複数の第1電極部と、隣り合う2つの第1電極部を接続する第1接続部と、を含み、
各第2電極パターンは、前記第2方向に沿って並べられた複数の第2電極部と、隣り合う2つの第2電極部を接続する第2接続部と、を含み、
前記第1電極部および前記第2電極部は、前記基板の法線方向から見て前記第1電極部と前記第2電極部との間に所定の間隙が存在するよう、配置されており、
前記絶縁層の面のうち前記基板側の面に配置される、透光性および導電性を有する要素を第1要素群と定義し、前記絶縁層の面のうち前記基板とは反対側の面に配置される、透光性および導電性を有する要素を第2要素群と定義するとき、前記第1電極部、前記第1接続部および前記第2電極部は、前記第1要素群または第2要素群の一方に含まれ、前記第2接続部は、前記第1要素群または前記第2要素群の他方に含まれ、
前記第1要素群または前記第2要素群のうち前記第2接続部を含む要素群は、前記基板の法線方向から見て前記第1電極部と前記第2電極部との間の前記間隙と重なるよう配置され、透光性および導電性を有するダミーパターンをさらに含む、タッチパネルセンサ基板。 A substrate,
A touch panel sensor provided on one surface of the substrate,
The touch panel sensor unit includes an insulating layer, a plurality of first electrode patterns extending in the first direction and having translucency and conductivity, and a plurality of second electrodes extending in the second direction and having translucency and conductivity. An electrode pattern,
Each first electrode pattern includes a plurality of first electrode portions arranged along the first direction, and a first connection portion that connects two adjacent first electrode portions,
Each second electrode pattern includes a plurality of second electrode parts arranged along the second direction, and a second connection part that connects two adjacent second electrode parts,
The first electrode part and the second electrode part are arranged such that a predetermined gap exists between the first electrode part and the second electrode part when viewed from the normal direction of the substrate,
An element having translucency and conductivity, which is disposed on the surface on the substrate side of the surface of the insulating layer, is defined as a first element group, and the surface on the opposite side of the substrate from the surface of the insulating layer. Is defined as a second element group, the first electrode part, the first connection part, and the second electrode part are the first element group or the first element group. It is included in one of the two element groups, and the second connection portion is included in the other of the first element group or the second element group,
Among the first element group or the second element group, the element group including the second connection part is the gap between the first electrode part and the second electrode part when viewed from the normal direction of the substrate. The touch panel sensor substrate further includes a dummy pattern disposed so as to overlap with the light-transmitting and conductive material.
前記絶縁層が、酸化珪素を含む、請求項3に記載のタッチパネルセンサ基板。 The substrate comprises glass;
The touch panel sensor substrate according to claim 3, wherein the insulating layer includes silicon oxide.
基板の一面上にタッチパネルセンサ部を設けるタッチパネルセンサ形成工程と、を備え、
前記タッチパネルセンサ部は、絶縁層と、第1方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第1電極パターンと、第2方向に延び、透光性および導電性を有する複数の第2電極パターンと、を有し、
各第1電極パターンは、前記第1方向に沿って並べられた複数の第1電極部と、隣り合う2つの第1電極部を接続する第1接続部と、を含み、
各第2電極パターンは、前記第2方向に沿って並べられた複数の第2電極部と、隣り合う2つの第2電極部を接続する第2接続部と、を含み、
前記第1電極部および前記第2電極部は、前記基板の法線方向から見て前記第1電極部と前記第2電極部との間に所定の間隙が存在するよう、配置されており、
前記タッチパネルセンサ形成工程は、
前記基板の一面上に第1透明導電層を設ける工程と、
前記第1透明導電層をパターニングして第1要素群を形成する工程と、
前記第1要素群上に前記絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層上に第2透明導電層を設ける工程と、
前記第2透明導電層をパターニングして第2要素群を形成する工程と、を備え、
前記第1電極部、前記第1接続部および前記第2電極部は、前記第1要素群または第2要素群の一方に含まれ、前記第2接続部は、前記第1要素群または前記第2要素群の他方に含まれ、
前記第1要素群または前記第2要素群のうち前記第2接続部を含む要素群は、前記基板の法線方向から見て前記第1電極部と前記第2電極部との間の前記間隙と重なるよう配置され、透光性および導電性を有するダミーパターンをさらに含む、タッチパネルセンサ基板の製造方法。 Preparing a substrate;
A touch panel sensor forming step of providing a touch panel sensor portion on one surface of the substrate,
The touch panel sensor unit includes an insulating layer, a plurality of first electrode patterns extending in the first direction and having translucency and conductivity, and a plurality of second electrodes extending in the second direction and having translucency and conductivity. An electrode pattern,
Each first electrode pattern includes a plurality of first electrode portions arranged along the first direction, and a first connection portion that connects two adjacent first electrode portions,
Each second electrode pattern includes a plurality of second electrode parts arranged along the second direction, and a second connection part that connects two adjacent second electrode parts,
The first electrode part and the second electrode part are arranged such that a predetermined gap exists between the first electrode part and the second electrode part when viewed from the normal direction of the substrate,
The touch panel sensor forming step includes:
Providing a first transparent conductive layer on one surface of the substrate;
Patterning the first transparent conductive layer to form a first element group;
Forming the insulating layer on the first element group;
Providing a second transparent conductive layer on the insulating layer;
Patterning the second transparent conductive layer to form a second element group,
The first electrode unit, the first connection unit, and the second electrode unit are included in one of the first element group or the second element group, and the second connection unit includes the first element group or the first element group. Included in the other of the two elements,
Among the first element group or the second element group, the element group including the second connection part is the gap between the first electrode part and the second electrode part when viewed from the normal direction of the substrate. The touch panel sensor substrate manufacturing method further includes a light-transmitting and conductive dummy pattern that is disposed so as to overlap.
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