JP2013117269A - ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット - Google Patents
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 25
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
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Abstract
【解決手段】ダイヤフラム弁1は、シートホルダ5を保持するリテーナ12を備えている。シートホルダ5は、ボディ2に着脱可能に配置されてシート4を保持する。リテーナ12は、略円筒状で、シートホルダ5の外周縁部を受ける内向きフランジ部32を有しており、シートホルダ5を保持した状態でダイヤフラム保持部材10,11に着脱可能に取り付けられる。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 流体通路が設けられたボディと、ボディに形成された流体通路の周縁に配置されたシートと、ボディに着脱可能に配置されてシートを保持するシートホルダと、シートに押圧・離間されることで流体通路の開閉を行うダイヤフラムと、ダイヤフラムの外周縁部をシートホルダとの間で挟持するダイヤフラム保持部材と、ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押さえを上下移動させる上下移動手段とを備えているダイヤフラム弁において、
シートホルダを保持するリテーナをさらに備えており、リテーナは、シートホルダを保持した状態でダイヤフラム保持部材に着脱可能に取り付けられていることを特徴とするダイヤフラム弁。 - ボディに形成された流体通路の周縁に配置されるシートを保持するシートホルダと、シートホルダを保持するリテーナとからなり、ダイヤフラムをシートに押圧・離間させることで流体通路の開閉を行うダイヤフラム弁で使用されるダイヤフラム弁用シートホルダユニットであって、リテーナは、略円筒状で、シートホルダの外周縁部を受ける内向きフランジ部を有しているものとされていることを特徴とするダイヤフラム弁用シートホルダユニット。
- リテーナの周壁の上端部に、径方向に弾性変形可能な屈曲部が形成されていることを特徴とする請求項2のダイヤフラム弁用シートホルダユニット。
- リテーナの周壁は、軸方向に延びる複数のスリットが設けられることで、4つ以上の円弧部に分割されており、前記屈曲部は、2つ以上の円弧部に形成されていることを特徴とする請求項2または3のダイヤフラム弁用シートホルダユニット。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011265392A JP5802532B2 (ja) | 2011-12-05 | 2011-12-05 | ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット |
CN201280029552.4A CN103748392B (zh) | 2011-12-05 | 2012-11-27 | 隔膜阀及隔膜阀用阀座保持器单元 |
SG2013086145A SG2013086145A (en) | 2011-12-05 | 2012-11-27 | Diaphragm valve and seat holder unit for diaphragm valve |
US14/130,064 US9285042B2 (en) | 2011-12-05 | 2012-11-27 | Diaphragm valve and seat holder unit for diaphragm valve |
PCT/JP2012/080535 WO2013084743A1 (ja) | 2011-12-05 | 2012-11-27 | ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット |
KR1020137032470A KR101599117B1 (ko) | 2011-12-05 | 2012-11-27 | 다이어프램 밸브 및 다이어프램 밸브용 시트 홀더 유닛 |
TW101145375A TWI633249B (zh) | 2011-12-05 | 2012-12-04 | 隔膜閥及隔膜閥用座部保持器單元 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011265392A JP5802532B2 (ja) | 2011-12-05 | 2011-12-05 | ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013117269A true JP2013117269A (ja) | 2013-06-13 |
JP5802532B2 JP5802532B2 (ja) | 2015-10-28 |
Family
ID=48574117
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011265392A Active JP5802532B2 (ja) | 2011-12-05 | 2011-12-05 | ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9285042B2 (ja) |
JP (1) | JP5802532B2 (ja) |
KR (1) | KR101599117B1 (ja) |
CN (1) | CN103748392B (ja) |
SG (1) | SG2013086145A (ja) |
TW (1) | TWI633249B (ja) |
WO (1) | WO2013084743A1 (ja) |
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- 2012-11-27 KR KR1020137032470A patent/KR101599117B1/ko active IP Right Grant
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CN103748392A (zh) | 2014-04-23 |
WO2013084743A1 (ja) | 2013-06-13 |
TWI633249B (zh) | 2018-08-21 |
US20140319403A1 (en) | 2014-10-30 |
KR20140005368A (ko) | 2014-01-14 |
US9285042B2 (en) | 2016-03-15 |
CN103748392B (zh) | 2016-04-27 |
SG2013086145A (en) | 2014-09-26 |
KR101599117B1 (ko) | 2016-03-02 |
TW201341697A (zh) | 2013-10-16 |
JP5802532B2 (ja) | 2015-10-28 |
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