Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP2013117269A - ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット - Google Patents

ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット Download PDF

Info

Publication number
JP2013117269A
JP2013117269A JP2011265392A JP2011265392A JP2013117269A JP 2013117269 A JP2013117269 A JP 2013117269A JP 2011265392 A JP2011265392 A JP 2011265392A JP 2011265392 A JP2011265392 A JP 2011265392A JP 2013117269 A JP2013117269 A JP 2013117269A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
seat
retainer
seat holder
holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011265392A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5802532B2 (ja
Inventor
Taichi Kitano
太一 北野
Tsutomu Shinohara
努 篠原
Michio Yamaji
道雄 山路
Ryutaro Nishimura
龍太郎 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2011265392A priority Critical patent/JP5802532B2/ja
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Priority to PCT/JP2012/080535 priority patent/WO2013084743A1/ja
Priority to CN201280029552.4A priority patent/CN103748392B/zh
Priority to SG2013086145A priority patent/SG2013086145A/en
Priority to US14/130,064 priority patent/US9285042B2/en
Priority to KR1020137032470A priority patent/KR101599117B1/ko
Priority to TW101145375A priority patent/TWI633249B/zh
Publication of JP2013117269A publication Critical patent/JP2013117269A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5802532B2 publication Critical patent/JP5802532B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/16Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/17Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Diaphragms And Bellows (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Lift Valve (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

【課題】シート交換を容易にすることができるダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニットを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム弁1は、シートホルダ5を保持するリテーナ12を備えている。シートホルダ5は、ボディ2に着脱可能に配置されてシート4を保持する。リテーナ12は、略円筒状で、シートホルダ5の外周縁部を受ける内向きフランジ部32を有しており、シートホルダ5を保持した状態でダイヤフラム保持部材10,11に着脱可能に取り付けられる。
【選択図】図1

Description

この発明は、ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニットに関し、特に、シートが着脱可能とされてシートホルダに保持されたダイヤフラム弁およびこのようなダイヤフラム弁で使用されるシートホルダユニットに関する。
ダイヤフラム弁として、流体通路が設けられたボディと、ボディに形成された流体通路の周縁に着脱可能に配置されたシートと、ボディに着脱可能に配置されてシートを保持するシートホルダと、シートに押圧・離間されることで流体通路の開閉を行うダイヤフラムと、ダイヤフラムの外周縁部をシートホルダとの間で挟持するダイヤフラム保持部材と、ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押さえを上下移動させる上下移動手段とを備えているものが知られている(特許文献1など)。
上記従来のダイヤフラム弁においては、シートが着脱可能とされてシートホルダに保持されており、シートが損傷した場合には、これだけを交換することができるようになっている。
特開2003−42314号公報
上記従来のものでは、シートホルダが塑性変形して、これを取り外すことができなくなると、シートの交換が困難になるという問題があった。
この発明の目的は、シート交換を容易にすることができるダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニットを提供することにある。
この発明によるダイヤフラム弁は、流体通路が設けられたボディと、ボディに形成された流体通路の周縁に配置されたシートと、ボディに着脱可能に配置されてシートを保持するシートホルダと、シートに押圧・離間されることで流体通路の開閉を行うダイヤフラムと、ダイヤフラムの外周縁部をシートホルダとの間で挟持するダイヤフラム保持部材と、ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押さえを上下移動させる上下移動手段とを備えているダイヤフラム弁において、シートホルダを保持するリテーナをさらに備えており、リテーナは、シートホルダを保持した状態でダイヤフラム保持部材に着脱可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
ダイヤフラム弁は、上下移動手段が開閉ハンドルなどの手動弁であってもよく、上下移動手段が適宜なアクチュエータとされた自動弁であってもよく、自動弁の場合のアクチュエータは、流体(空気)圧によるものでもよく、電磁力によるものでもよい。
「ダイヤフラム保持部材」は、ボディに固定されてダイヤフラムの外周縁部をシートホルダとの間で挟持する部材をいい、例えば、環状に形成されたダイヤフラム保持リングおよびこれをボディに固定するための部材からなるものとされるが、これに限られるものではなく、例えば、ボディの凹所に下端部が挿入されて上方にのびる円筒状ボンネットがダイヤフラム保持部材を兼ねるものであってもよい。
リテーナは、例えば、略円筒状で、シートホルダの外周縁部を受ける内向きフランジ部を有しているものとされるが、シートホルダがリテーナから脱落しない構造であれば、どのようなフランジ部の形状でもよく、内向きのフランジ部の代わりに、シートホルダを保持する突起形状を有する構成でもよい。。
シートは、長期間使用した場合に、交換されることが好ましく、この発明のダイヤフラム弁におけるシートの交換に際しては、リテーナを取り外すことで、リテーナに保持されたシートホルダおよびこれに保持されたシートを取り外すことができ、シートの交換(シートだけを交換してもよく、シートホルダおよびシートの両方を交換することもできる。)を容易に行うことができる。シートホルダは、ダイヤフラムの外周縁部を挟持することから、塑性変形する可能性があり、これに対し、リテーナは、ダイヤフラム保持部材に着脱可能に取り付けられていればよいので、塑性変形する可能性はほとんど無く、シートの交換の容易性が長期間に亘って維持される。
シートは、例えば合成樹脂製とされるが、金属製であってももちろんよい。シートホルダおよびリテーナは、金属製であることが好ましい。
ダイヤフラムは、例えば、ニッケル合金薄板からなるものとされ、円形に切り抜き、中央部を上方へ膨出させた逆皿形に形成される。ダイヤフラムは、例えば、ステンレス鋼薄板からなるものや、ステンレス鋼薄板とニッケル・コバルト合金薄板との積層体よりなるものとしてもよく、ダイヤフラムの材料は、特に限定されるものではない。また、ダイヤフラムは、1枚であっても、複数枚を重ねた積層体であってもよく、仕様や条件などによって自由に選択することができる。
この発明によるダイヤフラム弁用シートホルダユニットは、ボディに形成された流体通路の周縁に配置されるシートを保持するシートホルダと、シートホルダを保持するリテーナとからなり、ダイヤフラムをシートに押圧・離間させることで流体通路の開閉を行うダイヤフラム弁で使用されるダイヤフラム弁用シートホルダユニットであって、リテーナは、略円筒状で、シートホルダの外周縁部を受ける内向きフランジ部を有しているものとされていることを特徴とするものである。
シートホルダは、公知のものであり、例えば、孔あき円板状で、シートを保持する内周縁部と、所定間隔で流体流出通路に通じる複数の貫通孔が形成された中間環状部と、ダイヤフラムの外周縁部を挟持する外周縁部とからなるものとされる。
この発明のダイヤフラム弁用シートホルダユニットを使用することにより、ダイヤフラム弁におけるシートの交換に際しては、リテーナを取り外すことで、リテーナに保持されたシートホルダおよびこれに保持されたシートを取り外すことができ、シートの交換を容易に行うことができる。特に、シートホルダが塑性変形した場合、リテーナ無しの場合には、シートホルダを取り外すことが困難となるが、シートホルダをリテーナごと取り外すことにより、このような問題が解消される。
リテーナの周壁の上端部に、径方向に弾性変形可能な屈曲部が形成されていることが好ましい。
このようにすると、ダイヤフラム弁用シートホルダユニットのダイヤフラム弁への取付けが容易になり、かつダイヤフラム弁からの脱落を確実に防止することができる。
リテーナの周壁は、軸方向に延びる複数のスリットが設けられることで、4つ以上の円弧部に分割されており、前記屈曲部は、2つ以上の円弧部に形成されていることが好ましい。
このようにすると、屈曲部の弾性変形が大きくなり、取付けの容易性および脱落防止の確実性をより高めることができる。
なお、この明細書において、ダイヤフラムの軸線方向(弾性変形方向)を上下方向というものとするが、この方向は、便宜的なものであり、実際の取付けでは、上下方向が鉛直方向とされるだけでなく、水平方向とされることもある。
この発明のダイヤフラム弁によると、シートホルダを保持するリテーナをさらに備えており、リテーナは、シートホルダを保持した状態でダイヤフラム保持部材に着脱可能に取り付けられているので、シートの交換に際しては、リテーナを取り外すことで、リテーナに保持されたシートホルダおよびこれに保持されたシートを取り外すことができ、シートの交換を容易に行うことができる。しかも、ダイヤフラムの外周縁部を挟持することから塑性変形する可能性があるシートホルダに比べると、リテーナが塑性変形する可能性はほとんど無く、シートの交換の容易性が長期間に亘って維持される。また、リテーナを使用すると、リテーナによって、固定される部材同士の軸心や部材同士の位置関係を保持した状態にすることができるため、微調整等を必要とせずに、組立て作業が可能となる。
この発明のダイヤフラム弁用シートホルダユニットによると、ボディに形成された流体通路の周縁に配置されるシートを保持するシートホルダと、シートホルダの外周縁部を受ける内向きフランジ部を有している略円筒状リテーナとによってシートホルダユニットが構成されることで、シートの交換に際しては、シートホルダユニットを取り外すことで、リテーナに保持されたシートホルダおよびこれに保持されたシートを取り外すことができ、シートの交換を容易に行うことができる。しかも、ダイヤフラムの外周縁部を挟持することから塑性変形する可能性があるシートホルダに比べると、リテーナが塑性変形する可能性はほとんど無く、シートホルダユニットの使用により、シートの交換の容易性が長期間に亘って維持される。
図1は、この発明によるダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニットの1実施形態を示す縦断面図である。 図2は、ダイヤフラム弁用シートホルダユニットを構成するシートホルダを拡大して示す図で、(a)は平面図、(b)は、縦断面図である。 図3は、ダイヤフラム弁用シートホルダユニットを構成するリテーナを拡大して示す図で、(a)は平面図、(b)は、縦断面図である。
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
図1は、この発明によるダイヤフラム弁の1実施形態を示しており、ダイヤフラム弁(1)は、流体流入通路(2a)、流体流出通路(2b)および上方に向かって開口した凹所(2c)を有しているブロック状ボディ(2)と、ボディ(2)の凹所(2c)上部に下端部がねじ合わされて上方にのびる円筒状ボンネット(3)と、流体流入通路(2a)の周縁に設けられた環状のシート(4)と、ボディ(2)内のシート(4)の外周に設けられてシート(4)を保持するシートホルダ(5)と、シート(4)に押圧または離間されて流体通路(2a)を開閉するダイヤフラム(6)と、ダイヤフラム(6)の中央部を押さえるダイヤフラム押さえ(8)を下端に有し、ボンネット(3)内に上下移動自在に挿入されてダイヤフラム押さえ(8)を介してダイヤフラム(6)をシート(4)に押圧・離間させるステム(7)と、ステム(7)を下方に付勢する圧縮コイルばね(付勢部材)(9)と、ボンネット(3)内周に配置されてステム(7)の上下移動を案内しかつステム(7)の移動範囲を規制するガイド筒(10)と、ダイヤフラム(6)の外周縁部上面とガイド筒(10)の下端との間に配置されてダイヤフラム(6)の外周縁部をシートホルダ(5)の外周縁部との間で挟持するダイヤフラム保持リング(11)と、ステム(7)およびダイヤフラム押さえ(8)を流体通路(2a)を開閉するために圧縮空気で上下移動させる上下移動手段(図示略)とを備えている。
ガイド筒(10)は、厚肉部(10a)と、その上方に連なる薄肉部(10b)とからなる。厚肉部(10a)の内周は、薄肉部(10b)の内周よりも径が大きく、厚肉部(10a)の内周によって、ステム(7)に設けられたフランジ部(7a)の外周を案内するようになっている。厚肉部(10a)の外周は、薄肉部(10b)の外周よりも径が大きく、厚肉部(10a)の上面(厚肉部(10a)と薄肉部(10b)との間の段差面)によって、ボンネット(3)の下端面を受けている。したがって、ボンネット(3)がボディ(2)にねじ合わされることで、ガイド筒(10)は、ダイヤフラム保持リング(11)を下方に押圧する。こうして、ガイド筒(10)は、ステム(7)を案内するためだけでなく、ダイヤフラム保持リング(11)をボディ(2)に固定するための部材ともなっており、ガイド筒(10)とダイヤフラム保持リング(11)とを合わせたものがダイヤフラム(6)の外周縁部をシートホルダ(5)との間で挟持するダイヤフラム保持部材を構成している。
上記構成は、基本的には、公知の構成であり、この発明によるダイヤフラム弁(1)は、上記構成にさらに、シートホルダ(5)を保持して、ガイド筒(10)の下端部およびダイヤフラム保持リング(11)(ダイヤフラム保持部材)に着脱可能に取り付けられたリテーナ(12)をさらに備えている。
シートホルダ(5)およびリテーナ(12)によって、この発明によるダイヤフラム弁用シートホルダユニットが構成されている。
シートホルダ(5)は、金属製で孔あき円板状とされており、図2に詳しく示すように、シート(4)を保持する内周縁部(21)と、所定間隔で流体流出通路(2b)に通じる複数の貫通孔(22b)が形成された中間環状部(22)と、ダイヤフラム(6)の外周縁部を挟持する外周縁部(23)とからなる。シート(4)は、下方からシートホルダ(5)に嵌め入れられている。
図3に詳しく示すように、リテーナ(12)は、略円筒状で、シート(4)の外径にほぼ等しい内径を有しガイド筒(10)の下端部およびダイヤフラム保持リング(11)(ダイヤフラム保持部材)の外周に嵌め合わされる周壁(31)と、周壁(31)の下端部に設けられてシートホルダ(5)の外周縁部を受ける内向きフランジ部(32)とを有している。周壁(31)には、軸方向に延びるスリット(33)が4対設けられており、これにより、周壁(31)が4つの大円弧部(34)と4つの小円弧部(35)とに分割されている。小円弧部(35)の上端部に、大円弧部(34)の上端よりも上方に位置する上端面を有しかつ径方向内方に屈曲していて弾性変形可能な屈曲部(36)が形成されている。屈曲部(36)の最小内径は、フリーの状態で、ダイヤフラム保持リング(11)の外径より小さくなされており、これにより、ダイヤフラム保持リング(11)を強く保持可能とされている。
なお、屈曲部(36)は、十分な弾性変形が可能で、ガイド筒(10)の下端部やダイヤフラム保持リング(11)を保持可能であれば、大円弧部(34)の上端よりも上方に位置する上端面を有してなくても良い。内向きフランジ部(32)の厚さは、シートホルダ(5)がボンネット(3)等によってボディ(2)の凹所(2c)の底面に押圧される際に、シートホルダ(5)の下端部が凹所(2c)の底面に接触していることが出来る厚さであれば良い。また、内向きフランジ部(32)内にシートホルダ(5)を上方に付勢するような弾性部材を設け(図示省略)、リテーナ(12)がガイド筒(10)の下端部に保持されている状態ではシートホルダ(5)の下端部が内向きフランジ部(32)から突出しないようにし、ボディ(2)の凹所(2c)へ固定される際は、前記弾性部材の付勢力に抗してシートホルダ(5)が押圧され、内向きフランジ部(32)よりもシートホルダ(5)の下端部が突出し、凹所(2c)の底面に接触する構造でも良い。こうすることで、シートホルダ(5)の下端部が、ボディ(2)に固定するまでは内向きフランジ部(32)の中に保持されるため、シートホルダ(5)の下端部に傷が付く可能性を少なくすることができ、その傷によってシート(4)から流体が漏れることを防ぐことが出来る。また、リテーナ(12)がガイド筒(10)の下端部やダイヤフラム保持リング(11)に保持できれば良いので、リテーナ(12)に大円弧部(34)と屈曲部(36)を設けて弾性変形させなくても、例えば、リテーナ(12)をスリットの無い円筒形状、または円筒形状にスリットを形成し、ガイド筒(10)の外周にはテーパを形成することで、リテーナ(12)をガイド筒(10)の下端部に保持させることも出来る。
シート(4)は、シートホルダ(5)およびリテーナ(12)からなるダイヤフラム弁用シートホルダユニットに保持されて、ボディ(2)内に配置される。シート(4)は、通常、一定期間使用した場合に交換されるようになされており、シート(4)の交換に際しては、リテーナ(12)を取り外すことで、シートホルダ(5)およびこれに保持されたシート(4)を取り外すことができる。そして、シート(4)を交換し、必要に応じて、シートホルダ(5)も交換し、シートホルダ(5)およびリテーナ(12)からなるダイヤフラム弁用シートホルダユニットにシート(4)が保持された状態で、ボディ(2)内に戻される。こうして、シート(4)の交換を容易に行うことができる。リテーナ(12)は、塑性変形する可能性がほとんど無いので、通常、繰り返しての使用が可能であり、また、塑性変形しないことで、シート(4)の交換の容易性が長期間に亘って維持される。
(1):ダイヤフラム弁、(2):ボディ、(2a):流体流入通路、(2b):流体流出通路、(4):シート、(5):シートホルダ、(6):ダイヤフラム、(8):ダイヤフラム押さえ、(10):ガイド筒(ダイヤフラム保持部材)、(11):ダイヤフラム保持リング(ダイヤフラム保持部材)、(12):リテーナ、(31):周壁、(32):内向きフランジ部、(33):スリット、(34):大円弧部、(35):小円弧部、(36):屈曲部

Claims (4)

  1. 流体通路が設けられたボディと、ボディに形成された流体通路の周縁に配置されたシートと、ボディに着脱可能に配置されてシートを保持するシートホルダと、シートに押圧・離間されることで流体通路の開閉を行うダイヤフラムと、ダイヤフラムの外周縁部をシートホルダとの間で挟持するダイヤフラム保持部材と、ダイヤフラムの中央部を押圧するダイヤフラム押さえを上下移動させる上下移動手段とを備えているダイヤフラム弁において、
    シートホルダを保持するリテーナをさらに備えており、リテーナは、シートホルダを保持した状態でダイヤフラム保持部材に着脱可能に取り付けられていることを特徴とするダイヤフラム弁。
  2. ボディに形成された流体通路の周縁に配置されるシートを保持するシートホルダと、シートホルダを保持するリテーナとからなり、ダイヤフラムをシートに押圧・離間させることで流体通路の開閉を行うダイヤフラム弁で使用されるダイヤフラム弁用シートホルダユニットであって、リテーナは、略円筒状で、シートホルダの外周縁部を受ける内向きフランジ部を有しているものとされていることを特徴とするダイヤフラム弁用シートホルダユニット。
  3. リテーナの周壁の上端部に、径方向に弾性変形可能な屈曲部が形成されていることを特徴とする請求項2のダイヤフラム弁用シートホルダユニット。
  4. リテーナの周壁は、軸方向に延びる複数のスリットが設けられることで、4つ以上の円弧部に分割されており、前記屈曲部は、2つ以上の円弧部に形成されていることを特徴とする請求項2または3のダイヤフラム弁用シートホルダユニット。
JP2011265392A 2011-12-05 2011-12-05 ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット Active JP5802532B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011265392A JP5802532B2 (ja) 2011-12-05 2011-12-05 ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット
CN201280029552.4A CN103748392B (zh) 2011-12-05 2012-11-27 隔膜阀及隔膜阀用阀座保持器单元
SG2013086145A SG2013086145A (en) 2011-12-05 2012-11-27 Diaphragm valve and seat holder unit for diaphragm valve
US14/130,064 US9285042B2 (en) 2011-12-05 2012-11-27 Diaphragm valve and seat holder unit for diaphragm valve
PCT/JP2012/080535 WO2013084743A1 (ja) 2011-12-05 2012-11-27 ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット
KR1020137032470A KR101599117B1 (ko) 2011-12-05 2012-11-27 다이어프램 밸브 및 다이어프램 밸브용 시트 홀더 유닛
TW101145375A TWI633249B (zh) 2011-12-05 2012-12-04 隔膜閥及隔膜閥用座部保持器單元

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011265392A JP5802532B2 (ja) 2011-12-05 2011-12-05 ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013117269A true JP2013117269A (ja) 2013-06-13
JP5802532B2 JP5802532B2 (ja) 2015-10-28

Family

ID=48574117

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011265392A Active JP5802532B2 (ja) 2011-12-05 2011-12-05 ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9285042B2 (ja)
JP (1) JP5802532B2 (ja)
KR (1) KR101599117B1 (ja)
CN (1) CN103748392B (ja)
SG (1) SG2013086145A (ja)
TW (1) TWI633249B (ja)
WO (1) WO2013084743A1 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180091124A (ko) 2013-08-12 2018-08-14 가부시키가이샤 후지킨 다이어프램 밸브
WO2020085302A1 (ja) * 2018-10-26 2020-04-30 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
WO2020085300A1 (ja) * 2018-10-26 2020-04-30 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
CN114251482A (zh) * 2020-09-22 2022-03-29 和正丰科技股份有限公司 氟树脂膜片阀、氟树脂膜片手动阀以及氟树脂膜片气动阀
CN114643306A (zh) * 2022-05-19 2022-06-21 成都成高阀门有限公司 一种阀门的阀座压制工装
US11402029B2 (en) 2018-04-06 2022-08-02 Fujikin Incorporated Valve device, fluid control system, fluid control method, semiconductor manufacturing system, and semiconductor manufacturing method

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170033724A (ko) 2015-09-17 2017-03-27 바이트론 인더스트리즈 차이나 다이어프램 구조 및 이를 포함하는 다이어프램 밸브
EP3187758B1 (en) * 2016-01-04 2019-04-03 Danfoss A/S Capsule for a valve and valve
JP6307557B2 (ja) * 2016-06-17 2018-04-04 Ckd株式会社 流体制御弁
WO2018062516A1 (ja) * 2016-09-29 2018-04-05 日立金属株式会社 流量制御弁及びそれを用いた質量流量制御装置
JP6914159B2 (ja) * 2017-09-26 2021-08-04 株式会社キッツエスシーティー ダイヤフラムバルブの組立方法とその組立構造並びにダイヤフラムバルブ
KR102341939B1 (ko) * 2017-11-30 2021-12-22 가부시키가이샤 후지킨 밸브 장치, 이 밸브 장치를 사용한 유체제어장치 및 반도체 제조 장치
CN110735930A (zh) * 2018-07-18 2020-01-31 北京七星华创流量计有限公司 气体流量调节装置及质量流量控制器
WO2020066727A1 (ja) * 2018-09-26 2020-04-02 株式会社フジキン ダイヤフラムバルブ
JP7350342B2 (ja) * 2018-09-27 2023-09-26 株式会社フジキン バルブ、バルブの弁体ユニットの交換方法、および、バルブの組立方法
JPWO2021192753A1 (ja) * 2020-03-26 2021-09-30
EP4196703A1 (en) * 2020-11-30 2023-06-21 Parker-Hannifin Corporation Dual axis seat retainer

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05296374A (ja) * 1992-04-20 1993-11-09 Kiyohara Masako 管継手用リテーナ
JPH06193747A (ja) * 1992-12-25 1994-07-15 Hitachi Metals Ltd メタルダイアフラム弁
JPH06341560A (ja) * 1993-06-02 1994-12-13 Kiyohara Masako ダイヤフラム弁
JPH1026240A (ja) * 1996-07-10 1998-01-27 Benkan Corp リーク弁
JPH1099623A (ja) * 1996-09-30 1998-04-21 Benkan Corp 集積化ガスパネル用フィルターユニット
JPH10332003A (ja) * 1997-05-28 1998-12-15 Ckd Corp ガス制御バルブ
JP2003042314A (ja) * 2001-07-31 2003-02-13 Fujikin Inc ダイヤフラム弁
JP2003322263A (ja) * 2002-05-07 2003-11-14 Hitachi Metals Ltd メタルダイヤフラム弁の弁座シートの固定方法及びその固定冶具
JP2010144765A (ja) * 2008-12-16 2010-07-01 Hamlet Motoyama Japan:Kk ダイヤフラム弁

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63115970A (ja) * 1986-10-31 1988-05-20 Motoyama Seisakusho:Kk ダイヤフラム弁
US5366261A (en) * 1992-04-27 1994-11-22 Fujikin Incorporated Pipe joint with a gasket retainer
US5215286A (en) * 1992-05-26 1993-06-01 Nupro Company High pressure diaphragm valve
JP3372091B2 (ja) * 1993-11-15 2003-01-27 株式会社本山製作所 ダイヤフラム弁構造
JP3661040B2 (ja) * 1995-05-31 2005-06-15 忠弘 大見 流体制御装置
JP3605705B2 (ja) * 1995-07-19 2004-12-22 株式会社フジキン 流体制御器
TW397909B (en) * 1996-09-30 2000-07-11 Benkan Corp Integration gas controller
US6508266B2 (en) * 2000-03-31 2003-01-21 Toyo Stainless Steel Industries Co., Ltd. Diaphragm valve
KR100426709B1 (ko) * 2000-06-05 2004-04-14 가부시키가이샤 후지킨 오리피스 내장밸브
JP4119275B2 (ja) * 2003-02-18 2008-07-16 忠弘 大見 真空排気系用のダイヤフラム弁
EP2003379A1 (en) * 2007-06-12 2008-12-17 Luxembourg Patent Company S.A. High pressure diaphragm valve with exchangeable seat assembly
CN201502743U (zh) * 2009-09-21 2010-06-09 倪商伟 轻便型隔膜阀
CN201575189U (zh) * 2009-09-30 2010-09-08 周庆男 气动衬塑隔膜阀

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05296374A (ja) * 1992-04-20 1993-11-09 Kiyohara Masako 管継手用リテーナ
JPH06193747A (ja) * 1992-12-25 1994-07-15 Hitachi Metals Ltd メタルダイアフラム弁
JPH06341560A (ja) * 1993-06-02 1994-12-13 Kiyohara Masako ダイヤフラム弁
JPH1026240A (ja) * 1996-07-10 1998-01-27 Benkan Corp リーク弁
JPH1099623A (ja) * 1996-09-30 1998-04-21 Benkan Corp 集積化ガスパネル用フィルターユニット
JPH10332003A (ja) * 1997-05-28 1998-12-15 Ckd Corp ガス制御バルブ
JP2003042314A (ja) * 2001-07-31 2003-02-13 Fujikin Inc ダイヤフラム弁
JP2003322263A (ja) * 2002-05-07 2003-11-14 Hitachi Metals Ltd メタルダイヤフラム弁の弁座シートの固定方法及びその固定冶具
JP2010144765A (ja) * 2008-12-16 2010-07-01 Hamlet Motoyama Japan:Kk ダイヤフラム弁

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180091124A (ko) 2013-08-12 2018-08-14 가부시키가이샤 후지킨 다이어프램 밸브
US10145479B2 (en) 2013-08-12 2018-12-04 Fujikin Incorporated Diaphragm valve
US11402029B2 (en) 2018-04-06 2022-08-02 Fujikin Incorporated Valve device, fluid control system, fluid control method, semiconductor manufacturing system, and semiconductor manufacturing method
JPWO2020085300A1 (ja) * 2018-10-26 2021-09-24 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
TWI710723B (zh) * 2018-10-26 2020-11-21 日商富士金股份有限公司 閥裝置及氣體供給系統
CN112955685A (zh) * 2018-10-26 2021-06-11 株式会社富士金 阀装置和气体供给系统
WO2020085300A1 (ja) * 2018-10-26 2020-04-30 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
JPWO2020085302A1 (ja) * 2018-10-26 2021-09-24 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
WO2020085302A1 (ja) * 2018-10-26 2020-04-30 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
JP7299630B2 (ja) 2018-10-26 2023-06-28 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
JP7308542B2 (ja) 2018-10-26 2023-07-14 株式会社フジキン バルブ装置およびガス供給システム
CN114251482A (zh) * 2020-09-22 2022-03-29 和正丰科技股份有限公司 氟树脂膜片阀、氟树脂膜片手动阀以及氟树脂膜片气动阀
CN114251482B (zh) * 2020-09-22 2024-01-09 和正丰科技股份有限公司 氟树脂膜片阀以及氟树脂膜片气动阀
CN114643306A (zh) * 2022-05-19 2022-06-21 成都成高阀门有限公司 一种阀门的阀座压制工装
CN114643306B (zh) * 2022-05-19 2022-08-02 成都成高阀门有限公司 一种阀门的阀座压制工装

Also Published As

Publication number Publication date
CN103748392A (zh) 2014-04-23
WO2013084743A1 (ja) 2013-06-13
TWI633249B (zh) 2018-08-21
US20140319403A1 (en) 2014-10-30
KR20140005368A (ko) 2014-01-14
US9285042B2 (en) 2016-03-15
CN103748392B (zh) 2016-04-27
SG2013086145A (en) 2014-09-26
KR101599117B1 (ko) 2016-03-02
TW201341697A (zh) 2013-10-16
JP5802532B2 (ja) 2015-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5802532B2 (ja) ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット
WO2013084744A1 (ja) ダイヤフラム弁
JP6072648B2 (ja) ダイヤフラム弁
EP1996850B1 (en) Valve with a springy diaphragm
JP5933370B2 (ja) ダイヤフラム弁
WO2007104333A1 (en) One piece double membrane diaphragm valve
JP6002448B2 (ja) ダイヤフラム弁
CN112673201A (zh)
KR101809810B1 (ko) 다이어프램 밸브
JP6564593B2 (ja) ダイヤフラム弁
JP2010159790A (ja) ダイヤフラム弁用ダイヤフラム押さえおよびこれを備えたダイヤフラム弁
JP2014015001A (ja) タイヤ加硫金型用ベントプラグ及びタイヤ加硫金型
JP5582570B2 (ja) バルブ及びバルブ用シートパッキン
JP2019100370A (ja) アクチュエータ、バルブ、および流体制御装置
JP2016003755A (ja) バルブ
JP2015048862A (ja) ダイヤフラム弁
JP2009245197A (ja) 圧力調整器
CN103747892A (zh) 冲压金属板的冲头单元以及具有该冲头单元的金属板冲压设备

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20141114

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150804

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150831

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5802532

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250