JP2013190519A - 光量調整機構 - Google Patents

Abstract

【課題】減光率の変更を可能としつつ、所定のビーム径を有する光束内において径方向で見た透過率に差が生じることを防止することのできる光量調整機構を提供する。
【解決手段】光量調整機構１０は、平坦な入射面を形成し、入射面に沿う方向で見て連続的に変化する透過率とされた入射側フィルタ部材１１と、平坦な出射面を形成し、入射側フィルタ部材１１と等しい光学濃度勾配を有する出射側フィルタ部材１２と、を備え、入射側フィルタ部材１１において、入射面から入射させた光束に対する透過率を連続的に変化させる方向を位置調整方向Ｐとして、出射側フィルタ部材１２は、透過率を減少させる方向を、入射側フィルタ部材１１における透過率を減少させる方向とは反対の向きとしつつ位置調整方向Ｐに沿わせて入射側フィルタ部材１１と並列され、入射側フィルタ部材１１との位置調整方向Ｐへの相対的な移動が可能である。
【選択図】図１０

Description

本発明は、透過させる光の光量を調整する光量調整機構に関する。

光源装置や受光装置等では、ＮＤフィルタを用いて所望の光量に減少させることにより、光量を調整することが考えられている。このようなＮＤフィルタは、大別すると、透過率が場所に拘らず一様な透過率固定式と、透過率が場所により変化する透過率可変式とに分けられる。透過率固定式のものとしては、光学ガラス中に光吸収物質を分散させて形成される吸収型フィルタや、ガラス基板上に蒸着膜を形成して形成される反射型フィルタがある。透過率可変式のものとしては、ガラス基板上に形成する蒸着膜の厚さを変化させて形成されるものがある。また、透過率可変式のものとしては、銀塩フィルムの光学濃度を連続的に調整して形成されるものがある。さらに、透過率可変式のものとしては、ガラス基板上に蒸着膜を形成し、その蒸着膜に複数の微小開口を設けることで、ガラス基板上の微細な領域において無数の蒸着膜がない箇所を存在させて形成されるものがある（例えば、特許文献１参照）。

このため、透過率可変式のＮＤフィルタを光路内に配するとともに、ＮＤフィルタの透過率が変化する方向で見た当該ＮＤフィルタの光路上に存在する箇所を変化させることで、光路上での減光率を変更することができ、光量を調節することができる。また、透過率の異なる複数の透過率固定式のＮＤフィルタを用いるとともに、それらを適宜交換することにより、光路上での減光率を変更することができ、光量を調整することができる。

特開２０１０−１１２９６４号公報

ところが、透過率可変式のＮＤフィルタは、透過率が場所により変化する構成、すなわち場所の変化に応じて減光率を変更させる構成である。ここで、光量調整フィルタを透過される光束は、所定のビーム径（進行方向に直交する方向（以下、径方向ともいう）で見た大きさ）を有している。このため、透過率可変式のＮＤフィルタでは、透過させる単一の光束内において径方向で見て透過率に差（差異）が生じてしまう。

また、透過率固定式のＮＤフィルタでは、透過させる単一の光束内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することはできる。しかしながら、透過率固定式のＮＤフィルタでは、透過率の異なる複数のものの交換により減光率を変更することから、段階的にしか光量を調整することができない。

本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的は、減光率の変更を可能としつつ、所定のビーム径を有する光束内において径方向で見た透過率に差が生じることを防止することのできる光量調整機構を提供することにある。

請求項１に記載の発明の光量調整機構は、平坦な入射面を形成し、該入射面に沿う方向で見て連続的に変化する透過率とされた入射側フィルタ部材と、平坦な出射面を形成し、該入射側フィルタ部材と等しい光学濃度勾配を有する出射側フィルタ部材と、を備え、前記入射側フィルタ部材において、前記入射面から入射させた光束に対する透過率を連続的に変化させる方向を位置調整方向として、前記出射側フィルタ部材は、透過率を減少させる方向を、前記入射側フィルタ部材における透過率を減少させる方向とは反対の向きとしつつ前記位置調整方向に沿わせて前記入射側フィルタ部材と並列され、該入射側フィルタ部材との前記位置調整方向への相対的な移動が可能であることを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光量調整機構であって、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも一方は、所定の透過率の部材からなり前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有することを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の光量調整機構であって、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とは、前記入射面から入射させた光束に対する前記出射面から出射させた光束との透過偏角をなくすべく、互いの屈折率と互いの楔形状の頂角とを設定して構成されていることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の光量調整機構であって、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、前記入射側フィルタ部材の基板は、前記入射面に直交する厚さ方向で見た該入射面の反対側に、該入射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な入射側接合面を有し、前記出射側フィルタ部材の基板は、前記出射面に直交する厚さ方向で見た該出射面の反対側に、該出射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な出射側接合面を有し、前記入射側フィルタ部材の基板と前記出射側フィルタ部材の基板とは、前記入射側接合面と前記出射側接合面とを所定の間隔で並行に対向させて配置され、前記出射側フィルタ部材は、前記出射面から出射させる光束に対して該出射面を直交させる姿勢とされ、前記位置調整方向は、前記入射側接合面と前記出射側接合面とに沿う方向であることを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項２に記載の光量調整機構であって、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、前記入射側フィルタ部材の基板は、前記入射面に直交する厚さ方向で見た該入射面の反対側に、該入射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な入射側接合面を有し、前記出射側フィルタ部材の基板は、前記出射面に直交する厚さ方向で見た該出射面の反対側に、該出射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な出射側接合面を有し、前記入射側フィルタ部材の基板と前記出射側フィルタ部材の基板とは、前記入射側接合面と前記出射側接合面とを所定の間隔で並行に対向させて配置され、前記入射側フィルタ部材は、前記入射面から入射させる光束に対して該入射面を直交させる姿勢とされ、前記位置調整方向は、前記入射側接合面と前記出射側接合面とに沿う方向であることを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項２に記載の光量調整機構であって、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、前記入射側フィルタ部材の基板は、前記入射面に直交する厚さ方向で見た該入射面の反対側に、該入射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な入射側接合面を有し、前記出射側フィルタ部材の基板は、前記出射面に直交する厚さ方向で見た該出射面の反対側に、該出射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な出射側接合面を有し、前記入射側フィルタ部材の基板と前記出射側フィルタ部材の基板とは、前記入射側接合面と前記出射側接合面とを所定の間隔で並行に対向させて配置され、前記入射側フィルタ部材は、前記入射面から入射させる光束に対して該入射面を直交させる姿勢とされ、前記出射側フィルタ部材は、前記出射面から出射させる光束に対して該出射面を直交させる姿勢とされ、前記位置調整方向は、前記入射側接合面と前記出射側接合面とに沿う方向であることを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、請求項１に記載の光量調整機構であって、前記入射側フィルタ部材は、所定の透過率の部材からなり前記入射面としての第１光路面を形成する第１基板と、該第１基板よりも低い所定の透過率の部材からなり平坦な第２光路面を形成する第２基板と、を備え、前記第１基板は、前記第１光路面に直交する厚さ方向で見た前記第１光路面の反対側に、該第１光路面に対して第１の所定の角度で傾斜された平坦な第１接合面を有し、前記第２基板は、前記第２光路面に直交する厚さ方向で見た前記第２光路面の反対側に、該第２光路面に対して第２の所定の角度で傾斜された平坦な第２接合面を有し、前記第１基板と前記第２基板とは、前記第１光路面に入射する前の光束の進行方向と、該光束が前記第１基板および前記第２基板を経て前記第２光路面から出射された後の進行方向と、を互いに平行とすべく、互いの屈折率と前記第１の所定の角度と前記第２の所定の角度とに基づいて、前記第１接合面と前記第２接合面とが第３の所定の角度を為して対向する位置関係とされ、前記出射側フィルタ部材は、所定の透過率の部材からなり前記出射面としての第３光路面を形成する第３基板と、該第３基板よりも低い所定の透過率の部材からなり平坦な第４光路面を形成する第４基板と、を備え、前記第３基板は、前記第３光路面に直交する厚さ方向で見た前記第３光路面の反対側に、該第３光路面に対して第４の所定の角度で傾斜された平坦な第３接合面を有し、前記第４基板は、前記第４光路面に直交する厚さ方向で見た前記第４光路面の反対側に、該第４光路面に対して第５の所定の角度で傾斜された平坦な第４接合面を有し、前記第３基板と前記第４基板とは、前記第４光路面に入射する前の光束の進行方向と、該光束が前記第３基板および前記第４基板を経て前記第３光路面から出射された後の進行方向と、を互いに平行とすべく、互いの屈折率と前記第４の所定の角度と前記第５の所定の角度とに基づいて、前記第３接合面と前記第４接合面とが第６の所定の角度を為して対向する位置関係とされていることを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の光量調整機構であって、前記第１基板と前記第２基板とは、略等しい屈折率とされ、前記第１の所定の角度と第２の所定の角度とは、互いに等しい大きさとされ、前記第３の所定の角度は、前記第１接合面と前記第２接合面とを平行とする大きさとされ、前記第３基板と前記第４基板とは、略等しい屈折率とされ、前記第４の所定の角度と第５の所定の角度とは、互いに等しい大きさとされ、前記第６の所定の角度は、前記第３接合面と前記第４接合面とを平行とする大きさとされていることを特徴とする。

請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の光量調整機構であって、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とは、前記入射面から前記入射側フィルタ部材内へと入射させた光束に対して該入射側フィルタ部材から出射された光束におけるずれ量を、前記出射側フィルタ部材内へと入射させた光束に対して該出射側フィルタ部材の前記出射面から出射させた光束におけるずれ量で打ち消すべく、相対的な位置が設定されていることを特徴とする。

請求項１０に記載の発明は、請求項８に記載の光量調整機構であって、さらに、前記入射面から入射させた光束に対する前記出射面から出射させた光束のずれ量を打ち消す補正光学部材を備えることを特徴とする。

請求項１１に記載の発明は、請求項９に記載の光量調整機構であって、前記第１基板と前記第２基板とは、前記第１接合面と前記第２接合面とが面当接されて結合され、前記第３基板と前記第４基板とは、前記第３接合面と前記第４接合面とが面当接されて結合されていることを特徴とする。

請求項１２に記載の発明は、請求項１に記載の光量調整機構であって、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも一方は、光の透過を許す部材に蒸着膜が設けられて形成されていることを特徴とする。

請求項１３に記載の発明は、請求項１に記載の光量調整機構であって、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも一方は、濃度フィルムであることを特徴とする。

請求項１４に記載の発明は、所定の透過率の部材からなり平坦な第１光路面を形成する第１基板と、該第１基板よりも低い所定の透過率の部材からなり平坦な第２光路面を形成する第２基板と、前記第１基板と同一の部材からなり平坦な第３光路面を形成する第３基板と、前記第２基板と同一の部材からなり平坦な第４光路面を形成する第４基板と、を備え、前記第１基板は、前記第１光路面に直交する厚さ方向で見た前記第１光路面の反対側に、該第１光路面に対して所定の角度で傾斜された平坦な第１接合面を有し、前記第２基板は、前記第２光路面の前記第１光路面との平行な状態を維持しつつ前記第１接合面に面当接可能な第２接合面を有し、前記第１基板と前記第２基板とが、略等しい屈折率とされ、前記第１基板と前記第２基板とは、前記第１接合面と前記第２接合面とが面当接されて結合され、前記第３基板は、前記第３光路面を前記厚さ方向に直交させて設けられるとともに、該厚さ方向で見た前記第３光路面の反対側に、該第３光路面に対して前記所定の角度で傾斜された平坦な第３接合面を有し、前記第４基板は、前記第４光路面を前記厚さ方向に直交させて設けられるとともに、前記第４光路面の前記第３光路面との平行な状態を維持しつつ前記第３接合面に面当接可能な第４接合面を有し、前記第３基板と前記第４基板とは、前記第３接合面と前記第４接合面とが面当接されて結合され、前記第１基板と前記第３基板とは、前記厚さ方向に直交する方向を位置調整方向として、該位置調整方向での相対的な位置が設定されると、互いに重なりあった箇所における前記厚さ方向で見た厚さ寸法の合計値が、前記位置調整方向での位置に拘らず一定とする位置関係とされていることを特徴とする。

請求項１５に記載の発明は、請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の光量調整機構であって、さらに、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とを保持する保持機構を備え、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とは、前記保持機構により前記位置調整方向へと相対的に移動可能に保持されていることを特徴とする。

請求項１６に記載の発明は、請求項１５に記載の光量調整機構であって、前記保持機構は、前記入射側フィルタ部材を前記位置調整方向に移動可能に保持する入射側移動機構部と、前記出射側フィルタ部材を前記位置調整方向に移動可能に保持する出射側移動機構部と、を有することを特徴とする。

本発明の光量調整機構によれば、所定のビーム径を有する光束を、入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材との双方を通過させることにより、その光束における径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。

また、位置調整方向での入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材との位置を適宜調整することにより、全体としての透過率を変化させることができる。

上記した構成に加えて、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも一方は、所定の透過率の部材からなり前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有することとすると、透過率と楔形状の頂角の角度とを選択することにより、簡易に任意の濃度勾配に設定することが可能となる。

また、このような構成のフィルタ部材は、フィルム等に比べて部材内の透過率を精密に均一にすることが可能であるとともに、光学部材の入射面および出射面を精度よく平坦に加工することが可能であるため、光束における径方向で見た透過率の差をより精密に少なくすることができ、減光率の精度、濃度方向の位置調整量に対する、減光率変化の直線性を向上することができる。

さらに、位置調整方向で見た入射位置に応じて光量を減少（減光）することができ、入射位置の変化に対する減光率の変化を連続的なものとすることができる。

ついで、楔形状を呈する基板が、所定の透過率の部材から形成されていることから、厚さ方向で見た当該基板での通過距離に対する減光率の関係性を一定なものとすることができるので、減光率の調整を容易なものとすることができる。

上記した構成に加えて、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とは、前記入射面から入射させた光束に対する前記出射面から出射させた光束との透過偏角をなくすべく、互いの屈折率と互いの楔形状の頂角とを設定して構成されていることとすると、所定光路に光量調整機構を組み込む（差し入れて用いる）場合、組込み前後で、光線（光路）に偏角が生じないため、所定光路を構成する出射位置と受光位置との調整をやり直す必要がないので、簡易に所定光路における光量を適宜調節することができる。

上記した構成に加えて、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、前記入射側フィルタ部材の基板は、前記入射面に直交する厚さ方向で見た該入射面の反対側に、該入射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な入射側接合面を有し、前記出射側フィルタ部材の基板は、前記出射面に直交する厚さ方向で見た該出射面の反対側に、該出射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な出射側接合面を有し、前記入射側フィルタ部材の基板と前記出射側フィルタ部材の基板とは、前記入射側接合面と前記出射側接合面とを所定の間隔で並行に対向させて配置され、前記出射側フィルタ部材は、前記出射面から出射させる光束に対して該出射面を直交させる姿勢とされ、前記位置調整方向は、前記入射側接合面と前記出射側接合面とに沿う方向であることとする、あるいは、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、前記入射側フィルタ部材の基板は、前記入射面に直交する厚さ方向で見た該入射面の反対側に、該入射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な入射側接合面を有し、前記出射側フィルタ部材の基板は、前記出射面に直交する厚さ方向で見た該出射面の反対側に、該出射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な出射側接合面を有し、前記入射側フィルタ部材の基板と前記出射側フィルタ部材の基板とは、前記入射側接合面と前記出射側接合面とを所定の間隔で並行に対向させて配置され、前記入射側フィルタ部材は、前記入射面から入射させる光束に対して該入射面を直交させる姿勢とされ、前記位置調整方向は、前記入射側接合面と前記出射側接合面とに沿う方向であることする、と、光量調節により光路が平行ずれすること（光束における平行変化が生じること）を防止することができる。このため、光量調節装置の前後に配される光学系で、光路の平行ずれ（平行変化）を生じさせないので、レンズの収差による誤差、光路内での透過率の不均一による誤差を除くことができる。

また、所定のビーム径を有する光束を、入射側フィルタ部材の基板と出射側フィルタ部材の基板との双方を通過させることにより、その光束における径方向で見た透過率に差が生じることを防止することができる。

さらに、対象とする光束に対する入射側フィルタ部材の基板の位置を調整することで当該基板での通過距離を調整し、かつ出射側フィルタ部材の基板の位置を調整することで当該基板内での通過距離を調整することにより、互いに同一の透過率とされた両基板を通過する距離を調整することができることから、入射側フィルタ部材の基板内での通過距離の調整を連続的なものとすることができるとともに、出射側フィルタ部材の基板内での通過距離の調整を連続的なものとすることができるので、全体としての透過率を連続的に調整することができる。

ついで、所定のビーム径を有する光束を、入射側フィルタ部材の基板において厚さ方向での両端に渡って通過させるとともに、出射側フィルタ部材の基板において厚さ方向での両端に渡って通過させることにより、その光束の径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。

上記した構成に加えて、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、前記入射側フィルタ部材の基板は、前記入射面に直交する厚さ方向で見た該入射面の反対側に、該入射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な入射側接合面を有し、前記出射側フィルタ部材の基板は、前記出射面に直交する厚さ方向で見た該出射面の反対側に、該出射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な出射側接合面を有し、前記入射側フィルタ部材の基板と前記出射側フィルタ部材の基板とは、前記入射側接合面と前記出射側接合面とを所定の間隔で並行に対向させて配置され、前記入射側フィルタ部材は、前記入射面から入射させる光束に対して該入射面を直交させる姿勢とされ、前記出射側フィルタ部材は、前記出射面から出射させる光束に対して該出射面を直交させる姿勢とされ、前記位置調整方向は、前記入射側接合面と前記出射側接合面とに沿う方向であることとすると、光量調節により光路が平行ずれすること（光束における平行変化が生じること）を防止することができる。このため、光量調節装置の前後に配される光学系で、光路の平行ずれ（平行変化）を生じさせないので、レンズの収差による誤差、光路内での透過率の不均一による誤差を除くことができる。

また、所定光路に光量調整機構を組み込む（差し入れて用いる）場合、組込み前後で、光線（光路）に偏角が生じないため、所定光路を構成する出射位置と受光位置との調整をやり直す必要がないので、簡易に所定光路における光量を適宜調節することができる。

上記した構成に加えて、前記入射側フィルタ部材は、所定の透過率の部材からなり前記入射面としての第１光路面を形成する第１基板と、該第１基板よりも低い所定の透過率の部材からなり平坦な第２光路面を形成する第２基板と、を備え、前記第１基板は、前記第１光路面に直交する厚さ方向で見た前記第１光路面の反対側に、該第１光路面に対して第１の所定の角度で傾斜された平坦な第１接合面を有し、前記第２基板は、前記第２光路面に直交する厚さ方向で見た前記第２光路面の反対側に、該第２光路面に対して第２の所定の角度で傾斜された平坦な第２接合面を有し、前記第１基板と前記第２基板とは、前記第１光路面に入射する前の光束の進行方向と、該光束が前記第１基板および前記第２基板を経て前記第２光路面から出射された後の進行方向と、を互いに平行とすべく、互いの屈折率と前記第１の所定の角度と前記第２の所定の角度とに基づいて、前記第１接合面と前記第２接合面とが第３の所定の角度を為して対向する位置関係とされ、前記出射側フィルタ部材は、所定の透過率の部材からなり前記出射面としての第３光路面を形成する第３基板と、該第３基板よりも低い所定の透過率の部材からなり平坦な第４光路面を形成する第４基板と、を備え、前記第３基板は、前記第３光路面に直交する厚さ方向で見た前記第３光路面の反対側に、該第３光路面に対して第４の所定の角度で傾斜された平坦な第３接合面を有し、前記第４基板は、前記第４光路面に直交する厚さ方向で見た前記第４光路面の反対側に、該第４光路面に対して第５の所定の角度で傾斜された平坦な第４接合面を有し、前記第３基板と前記第４基板とは、前記第４光路面に入射する前の光束の進行方向と、該光束が前記第３基板および前記第４基板を経て前記第３光路面から出射された後の進行方向と、を互いに平行とすべく、互いの屈折率と前記第４の所定の角度と前記第５の所定の角度とに基づいて、前記第３接合面と前記第４接合面とが第６の所定の角度を為して対向する位置関係とされていることとすると、光量調節により光路が平行ずれすること（光束における平行変化が生じること）を防止することができる。このため、光量調節装置の前後に配される光学系で、光路の平行ずれ（平行変化）を生じさせないので、レンズの収差による誤差、光路内での透過率の不均一による誤差を除くことができる。

また、所定光路に光量調整機構を組み込む（差し入れて用いる）場合、組込み前後で、光線（光路）に偏角が生じないため、所定光路を構成する出射位置と受光位置との調整をやり直す必要がないので、簡易に所定光路における光量を適宜調節することができる。

さらに、光束の径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。

しかも、第１基板と第２基板との屈折率の設定自由度を高めつつ入射する前と出射された後との光束（光）の進行方向を互いに平行なものとすることができる。

ついで、第３基板と第４基板との屈折率の設定自由度を高めつつ入射する前と出射された後との光束（光）の進行方向を互いに平行なものとすることができる。

第１基板および第３基板が、所定の透過率の部材から形成されていることから、厚さ方向で見た第１基板および第３基板での通過距離に対する減光率の関係性を一定なものとすることができるので、減光率の調整を容易なものとすることができる。

上記した構成に加えて、前記第１基板と前記第２基板とは、略等しい屈折率とされ、前記第１の所定の角度と第２の所定の角度とは、互いに等しい大きさとされ、前記第３の所定の角度は、前記第１接合面と前記第２接合面とを平行とする大きさとされ、前記第３基板と前記第４基板とは、略等しい屈折率とされ、前記第４の所定の角度と第５の所定の角度とは、互いに等しい大きさとされ、前記第６の所定の角度は、前記第３接合面と前記第４接合面とを平行とする大きさとされていることとすると、簡単な構成で、光量調節装置の前後に配される光学系で、光路の平行ずれ（平行変化）を生じさせないので、レンズの収差による誤差、光路内での透過率の不均一による誤差を除くことができる。

また、所定光路に光量調整機構を組み込む（差し入れて用いる）場合、組込み前後で、光線（光路）に偏角が生じないため、所定光路を構成する出射位置と受光位置との調整をやり直す必要がないので、簡易に所定光路における光量を適宜調節することができる。

さらに、光束の径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。

上記した構成に加えて、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とは、前記入射面から前記入射側フィルタ部材内へと入射させた光束に対して該入射側フィルタ部材から出射された光束におけるずれ量を、前記出射側フィルタ部材内へと入射させた光束に対して該出射側フィルタ部材の前記出射面から出射させた光束におけるずれ量で打ち消すべく、相対的な位置が設定されていることとすると、所定光路に光量調整機構を組み込む（差し入れて用いる）場合、組込み前後で、光線（光路）に位置ずれが生じない（透過偏角および光軸段差がない）ので、所定光路を構成する出射位置と受光位置との調整をやり直す必要がないので、簡易に所定光路における光量を適宜調節することができる。

また、入射側フィルタ部材および出射側フィルタ部材で互いに打ち消すだけで良いことから、簡易な構成とすることができる。

上記した構成に加えて、さらに、前記入射面から入射させた光束に対する前記出射面から出射させた光束のずれ量を打ち消す補正光学部材を備えることとすると、所定光路に光量調整機構を組み込む（差し入れて用いる）場合、組込み前後で、光線（光路）に位置ずれが生じない（透過偏角および光軸段差がない）ので、所定光路を構成する出射位置と受光位置との調整をやり直す必要がないので、簡易に所定光路における光量を適宜調節することができる。

また、入射側フィルタ部材および出射側フィルタ部材による光束のずれ量に応じた補正光学部材を設けるだけで良いことから、簡易な構成とすることができる。

上記した構成に加えて、前記第１基板と前記第２基板とは、前記第１接合面と前記第２接合面とが面当接されて結合され、前記第３基板と前記第４基板とは、前記第３接合面と前記第４接合面とが面当接されて結合されていることとすると、入射側フィルタ部材および出射側フィルタ部材における各基板の経時変化による位置ずれを少なくすることができ、高精度化に貢献することができる。

また、簡易な構成とすることができ、各基板（入射側フィルタ部材および出射側フィルタ部材）の保持およびその調整のための構造も簡易なものとすることができる。

さらに、対象とする光束を入射側フィルタ部材内で直進させることができる。このため、所定の光学系の光路に対して適用することをより容易なものとすることができる。

ついで、厚さ方向に沿って入射する光束を、厚さ方向に直交する面で見た位置を実質的に変化させることなく厚さ方向に沿って出射させることができる。このため、所定の光学系の光路に対して適宜挿入したり離脱させたりしてもその光路（その光軸位置）の変更を招くことがないので、当該光学系の光路を通過する光量を適宜調節することができる。

上記した構成に加えて、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも一方は、光の透過を許す部材に蒸着膜が設けられて形成されていること、あるいは、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも一方は、濃度フィルムであること、とすると、簡易な構成とすることができる。

上記した構成に加えて、さらに、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とを保持する保持機構を備え、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とは、前記保持機構により前記位置調整方向へと相対的に移動可能に保持されていることとすると、保持機構により位置調整方向での入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材との相対的な位置を調整するだけで、全体としての透過率を調整することができる。

上記した構成に加えて、前記保持機構は、前記入射側フィルタ部材を前記位置調整方向に移動可能に保持する入射側移動機構部と、前記出射側フィルタ部材を前記位置調整方向に移動可能に保持する出射側移動機構部と、を有することとすると、位置調整方向での入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材との相対的な位置の調整をより容易なものとすることができる。

本願発明に係る光量調整機構１の構成を模式的に示す断面図である。 光量調整機構１の入射側フィルタ部材２の構成を示す斜視図である。 光量調整機構１の入射側フィルタ部材２の構成を示す図２とは異なる説明図であり、（ａ）が正面図で示し、（ｂ）が側面図で示している。 入射側フィルタ部材２における透過率特性を示すグラフであり、横軸を入射側フィルタ部材２の一端を基準とする長さ方向での位置ｐｐとし、縦軸を透過率Ｔとしている。 入射側フィルタ部材２における光学濃度特性を示すグラフであり、横軸を入射側フィルタ部材２の一端を基準とする長さ方向での位置ｐｐとし、縦軸を光学濃度ＯＤとしている。 光量調整機構１における入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３の位置関係と、その示された位置関係における光量調整機構１、入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３の光学濃度特性を示すグラフと、を併せて示す説明図であり、そのグラフにおいて、横軸を光量調整機構１の一端を基準とする位置調整方向Ｐでの位置ｐｈとし、縦軸を光学濃度ＯＤとしている。 光量調整機構１における入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３の図６とは異なる位置関係と、その示された位置関係における光量調整機構１、入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３の光学濃度特性を示すグラフと、を併せて示す説明図であり、そのグラフにおいて、横軸を光量調整機構１の一端を基準とする位置調整方向Ｐでの位置ｐｈとし、縦軸を光学濃度ＯＤとしている。 透過率可変式のＮＤフィルタ６を用いて減光率を変更させる例を示す。 透過率固定式の複数のＮＤフィルタ７を用いて減光率を変更させる例を示す。 本発明に係る光量調整機構の一例としての光量調整機構１０の基本構成を模式的に示す断面図である。 光量調整機構１０の基本構成を模式的に示す斜視図である。 入射側フィルタ部材１１における作用を説明するための説明図である。 第１基板１３における光学的な特性（位置調整方向Ｐでの位置に対する全透過率Ｄの変化）を示すグラフであり、縦軸を全透過率Ｄとし、横軸を位置調整方向Ｐでの位置としている。 入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２とを有する光量調整機構１０における作用を説明するための説明図であり、（ａ）は第１基板１３（その第１光路面１５）の位置調整方向Ｐの中心位置に光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂが入射した状態を示し、（ｂ）は（ａ）の光束が第１基板１３および第３基板１９を通過する様子を示し、（ｃ）は第１基板１３（その第１光路面１５）の位置調整方向Ｐの正側の位置に光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂが入射した状態を示し、（ｄ）は（ｃ）の光束が第１基板１３および第３基板１９を通過する様子を示し、（ｅ）は第１基板１３（その第１光路面１５）の位置調整方向Ｐの負側の位置に光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂが入射した状態を示し、（ｆ）は（ｅ）の光束が第１基板１３および第３基板１９を通過する様子を示している。 光量調整機構１０を用いる光量調整装置５０の構成を概略的に示す説明図である。 光量調整機構１０において、光路方向Ｏｐに対して対象とする光（光束）の進行方向を傾斜させた例を示す説明図である。 光量調整機構の入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材とにおける各基板の位置関係が異なる例の光量調整機構を示す説明図であり、（ａ）は他の例としての光量調整機構１０Ａを示し、（ｂ）は他の例としての光量調整機構１０Ｂを示し、（ｃ）は他の例としての光量調整機構１０Ｃを示している。 光量調整機構の入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材とにおける各基板の形状および大きさ寸法が異なる例の光量調整機構を示す説明図であり、（ａ）は他の例としての光量調整機構１０Ｄを示し、（ｂ）は他の例としての光量調整機構１０Ｅを示している。 実施例２の光量調整機構１０Ｆの入射側フィルタ部材１１Ｆを示す図１２と同様の説明図である。 光量調整機構１０Ｆを示す図１４と同様の説明図である。 光量調整機構１０Ｆにおいて、入射面（第１光路面１５）に傾斜して光路方向Ｏｐを設定した様子を示す図２０と同様の説明図である。 光量調整機構１０Ｆにおける他の効果を説明するための説明図であり、（ａ）が、入射側フィルタ部材１１Ｆの位置が位置調整方向Ｐの負側とされるとともに、出射側フィルタ部材１２Ｆの位置が位置調整方向Ｐの正側とされた状態を示し、（ｂ）が、入射側フィルタ部材１１Ｆの位置が位置調整方向Ｐの正側とされるとともに、出射側フィルタ部材１２Ｆの位置が位置調整方向Ｐの負側とされた状態を示す。 他の例としての光量調整機構１０Ｆ´を示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｆ´´を示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｖを示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｖ´を示す図１４と同様の説明図である。 実施例３の光量調整機構１０Ｇを示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｇ´を示す図１４と同様の説明図である。 実施例４の光量調整機構１０Ｈの入射側フィルタ部材１１Ｈを示す図１２と同様の説明図である。 光量調整機構１０Ｈを示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｗを示す図１４と同様の説明図である。 実施例５の光量調整機構１０Ｉを示す図１４と同様の説明図であり、（ａ）は第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとが全面に渡り当接された様子を示し、（ｂ）は第１接合面１６Ｉにおける位置調整方向Ｐ´の正側の端部と第３接合面２２Ｉにおける位置調整方向Ｐ´の負側の端部とが当接された様子を示している。 他の例としての光量調整機構１０Ｉ´を示す図１４と同様の説明図であり、（ａ）は第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとが全面に渡り対向された様子を示し、（ｂ）は第１接合面１６Ｉにおける位置調整方向Ｐ´の正側の端部と第３接合面２２Ｉにおける位置調整方向Ｐ´の負側の端部とが対向された様子を示している。 光量調整機構１０Ｉ´における他の効果を説明するための説明図であり、（ａ）が、入射側フィルタ部材１１Ｉ´の位置が位置調整方向Ｐの負側とされるとともに、出射側フィルタ部材１２Ｉ´の位置が位置調整方向Ｐの正側とされた状態を示し、（ｂ）が、入射側フィルタ部材１１Ｉ´の位置が位置調整方向Ｐの正側とされるとともに、出射側フィルタ部材１２Ｉ´の位置が位置調整方向Ｐの負側とされた状態を示す。 他の例としての光量調整機構１０Ｘを示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｘ´を示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｉ´´を示す図１４と同様の説明図であり、（ａ）は第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとが全面に渡り対向された様子を示し、（ｂ）は第１接合面１６Ｉにおける位置調整方向Ｐの正側の端部と第３接合面２２Ｉにおける位置調整方向Ｐの負側の端部とが対向された様子を示している。 他の例としての光量調整機構１０Ｙを示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｙ´を示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｙ´の姿勢を図３９から変化させた様子を示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｙ´´を示す図１４と同様の説明図である。 他の例としての光量調整機構１０Ｊを示す図１１と同様の説明図である。

以下に、本発明に係る光量調整機構の発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。

先ず、本願発明に係る光量調整機構の概念について説明する。図１は、本願発明に係る光量調整機構１の構成を模式的に示す断面図である。図２は、光量調整機構１の入射側フィルタ部材２の構成を示す斜視図である。図３は、光量調整機構１の入射側フィルタ部材２の構成を示す図２とは異なる説明図であり、（ａ）が正面図で示し、（ｂ）が側面図で示している。図４は、入射側フィルタ部材２における透過率特性を示すグラフであり、横軸を入射側フィルタ部材２の一端を基準とする長さ方向での位置ｐｐとし、縦軸を透過率Ｔとしている。図５は、入射側フィルタ部材２における光学濃度特性を示すグラフであり、横軸を入射側フィルタ部材２の一端を基準とする長さ方向での位置ｐｐとし、縦軸を光学濃度ＯＤとしている。図６は、光量調整機構１における入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３の位置関係と、その示された位置関係における光量調整機構１、入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３の光学濃度特性を示すグラフと、を併せて示す説明図であり、そのグラフにおいて、横軸を光量調整機構１の一端を基準とする位置調整方向Ｐでの位置ｐｈとし、縦軸を光学濃度ＯＤとしている。図７は、光量調整機構１における入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３の図６とは異なる位置関係と、その示された位置関係における光量調整機構１、入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３の光学濃度特性を示すグラフと、を併せて示す説明図であり、そのグラフにおいて、横軸を光量調整機構１の一端を基準とする位置調整方向Ｐでの位置ｐｈとし、縦軸を光学濃度ＯＤとしている。

本願発明に係る光量調整機構１は、光量調整のために用いられるＮＤ（Ｎｅｕｔｒａｌ Ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタとして機能するものであり、入射された光を透過させる際にその光量を減少させて出射する作用を有する。この光量調整機構１は、基本的な概念としては、減光率の変更を可能としつつ、所定のビーム径を有する光束内において径方向で見た透過率に差が生じることを防止することを目的とし、図１に示すように、入射側に設けられる入射側フィルタ部材２と、出射側に設けられる出射側フィルタ部材３と、を備える。その入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とは、基本的に同様の構成であることから、以下では、入射側フィルタ部材２の構成について説明し、出射側フィルタ部材３については省略する。

その入射側フィルタ部材２は、この例では、図２および図３に示すように、ガラス基板４にクロム膜５が設けられて形成されている。そのガラス基板４は、直方体形状の薄板とされており、この例では、ソーダ石灰ガラスから形成されている。ガラス基板４は、図３（ａ）を正面視した面において縦方向を幅方向かつ横方向を長さ方向として、幅方向が寸法ｌとされかつ長さ方向が寸法ｓとされた矩形状を呈する。また、ガラス基板４は、図３（ｂ）を正面視した横方向を厚さ方向として、全体に渡って均一な厚さ寸法ｔとされている。ガラス基板４では、図３（ａ）を正面視した面に、クロム膜５（図示の例では濃淡で示す）が周知の方法によりコーティング（形成）されている。そのクロム膜５は、長さ方向での位置の変化に応じて厚さ寸法が連続的に変化し（図示の例では濃淡で示す）、長さ方向で見て等しい位置での厚さ寸法が、幅方向で見た両端に渡って等しいものとされて形成されている。クロム膜５の厚さ寸法の変化は、以下のように設定している。

まず、入射側フィルタ部材２における長さ方向での一端を基準とした長さ方向での位置を位置ｐｐ（図３参照）として、位置ｐｐでの入射側フィルタ部材２の透過率を透過率Ｔとする。すると、入射側フィルタ部材２は、図４に示す透過率特性としている。ここで、透過率Ｔを光学濃度ＯＤに変換する。その光学濃度ＯＤは、次式（１）で定義される。

ＯＤ＝ｌｏｇ_１０（１／Ｔ） ・・・・・（１）
この式（１）で定義された光学濃度ＯＤを用いるのは、複数の光学部材（この例では入射側フィルタ部材２や出射側フィルタ部材３）が重ねられた際、それぞれの光学濃度ＯＤを加算することにより全体（この例では光量調整機構１）としての光学濃度ＯＤを算出することができることによる。この光学濃度ＯＤは、数値が大きいほど減光率（光量を減少させる割合）が高くなる。

すると、入射側フィルタ部材２は、図５に示す光学濃度特性となる。本願発明では、入射側フィルタ部材２は、長さ方向での位置ｐｐに対する光学濃度ＯＤの変化が正比例の関係となるように、換言すると図５のようなグラフで表した場合に光学濃度特性を直線で示すことができるように、光学濃度ＯＤすなわち透過率Ｔを設定する。この光学濃度ＯＤ（透過率Ｔ）は、この例の入射側フィルタ部材２では、クロム膜５の厚さ寸法により規定される。このため、入射側フィルタ部材２では、長さ方向での位置ｐｐに対する光学濃度ＯＤの変化が正比例の関係となるように、換言すると図５のようなグラフで表した場合に光学濃度特性を直線で示すことができるように、クロム膜５の厚さ寸法を設定している。この明細書では、図５に示す光学濃度特性としての直線の傾き、換言すると位置ｐｐに対する光学濃度ＯＤの変化の割り合いを光学濃度勾配という。

この例の光量調整機構１では、明確な図示は略すが、上述したように、出射側フィルタ部材３が入射側フィルタ部材２と同様の構成とされている。このため、出射側フィルタ部材３では、図５のようなグラフで表した場合に光学濃度特性が直線で示すものとされており、その光学濃度勾配が入射側フィルタ部材２と等しいものとされている。

この光量調整機構１は、図１に示すように、入射側フィルタ部材２を入射側に配置しかつ出射側フィルタ部材３を出射側に配置して、互いの厚さ方向が一致されて入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とが並列されて構成される。このとき、光量調整機構１では、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３との並列方向であって各厚さ方向を光路方向Ｏｐとして、その光路方向Ｏｐで入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とのそれぞれの少なくとも一部を対向させる。なお、図１および図６では、全体を対向させた状態を示し、図７では、一部を対向させた状態を示している。このため、光路方向Ｏｐは、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とを通過する。ここで、光路方向Ｏｐ（各フィルタ部材の厚さ方向）に直交する方向であって、位置の変化に伴い入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３における光学濃度ＯＤ（透過率Ｔ）が変化する方向（互いの長さ方向）を位置調整方向Ｐとする。

光量調整機構１では、入射側フィルタ部材２における光学濃度ＯＤが減少する側（図１、図６および図７では正面視して右向き）位置調整方向Ｐの正側とすると、出射側フィルタ部材３が位置調整方向Ｐにおいて正側から負側へ向けて光学濃度ＯＤが減少する姿勢となるように、相対的な向き（姿勢）が設定されている。すなわち、光量調整機構１では、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３との光学濃度ＯＤの変化を、位置調整方向Ｐでの位置に対して逆向きとするように、相対的な向き（姿勢）が設定されている。

この光量調整機構１では、入射側に位置された入射側フィルタ部材２に光路方向Ｏｐに沿って光（光束Ｂ（図１参照））が入射されると、入射側フィルタ部材２および出射側フィルタ部材３を通過する際、適宜減光されて（光量が適宜減少されて）、光路方向Ｏｐに沿って出射側に位置された出射側フィルタ部材３から出射される。以下では、光量調整機構１における光量調節の作用について、図６および図７を用いて説明する。その図６および図７では、グラフにおいて、入射側フィルタ部材２における光学濃度ＯＤを特性線Ｃｌ（２）で表し、出射側フィルタ部材３における光学濃度ＯＤを特性線Ｃｌ（３）で表している。また、グラフにおいて、光量調整機構１において、光路方向Ｏｐで入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とが重ねられた位置調整方向Ｐでの位置ｐｈ（箇所）での光学濃度ＯＤを特性線Ｃｌ（１）で表している。

上述したように、複数の光学部材が重ねられた際、それぞれの光学濃度ＯＤを加算することにより全体としての光学濃度ＯＤを算出することができる。このため、光量調整機構１における特性線Ｃｌ（１）は、図６および図７のグラフにおいて、特性線Ｃｌ（２）が示す値（光学濃度ＯＤ）と特性線Ｃｌ（３）が示す値（光学濃度ＯＤ）とを加算したものとなる。ここで、本願発明の光量調整機構１では、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とが、光学濃度特性が直線で示すものとされるとともに互いに等しい光学濃度勾配とされている。光量調整機構１では、その入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とが、位置調整方向Ｐでの位置に対して光学濃度ＯＤの変化が逆向きとされて相対的な向き（姿勢）が設定されている。このため、光量調整機構１では、特性線Ｃｌ（１）が横軸と平行な直線となり、位置調整方向Ｐでの位置に拘らず光学濃度ＯＤとして一定の値を示すこととなる（図６および図７参照）。この光学濃度ＯＤとしての一定の値、すなわち特性線Ｃｌ（１）における縦軸方向での位置は、特性線Ｃｌ（２）が示す値（光学濃度ＯＤ）と特性線Ｃｌ（３）が示す値（光学濃度ＯＤ）とを加算したものであることから、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３との位置調整方向Ｐでの相対的な位置関係（重ねられた箇所）に応じて変化することとなる（図６および図７参照）。

これにより、光量調整機構１では、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３との位置調整方向Ｐでの相対的な位置関係を変化させることにより、その入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とが重なる箇所での光路方向Ｏｐの光学濃度ＯＤ（特性線Ｃｌ（１））を連続的に変化させることができる。また、光量調整機構１では、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３との位置調整方向Ｐでの相対的な位置関係を固定（決定）することにより、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とが重なる箇所での光路方向Ｏｐの光学濃度ＯＤ（特性線Ｃｌ（１））を、位置調整方向Ｐでの位置ｐｈに拘らず一定の値に決定（設定）することができる。

次に、ＮＤフィルタを用いて減光率を変更させることで光量を調節する際の技術の課題について、図８および図９を用いて説明する。図８は、透過率可変式のＮＤフィルタ６を用いて減光率を変更させる例を示し、図９は、透過率固定式の複数のＮＤフィルタ７を用いて減光率を変更させる例を示す。この図８および図９においても、以下の説明では、透過率が変化する方向を位置調整方向Ｐとする。その透過率可変式のＮＤフィルタ６（図８参照）は、ガラス基板上に蒸着膜を設けて形成されており、その蒸着膜の厚さが位置調整方向Ｐでの位置の変化により連続的に変化するものとされている（図８では濃淡で示す）。また、透過率固定式のＮＤフィルタ７（図９参照）は、ガラス基板上に蒸着膜を設けて形成されており、その蒸着膜の厚さが一様とされている。

図８に示すように、透過率可変式のＮＤフィルタ６では、所定のビーム径を有する光束Ｂの光路上に存在させる位置を位置調整方向Ｐで調整することにより、光束Ｂの光量を連続的に変化させることができる。なお、ここで、ビーム径とは、光束Ｂの径方向で見て、光束Ｂの強度のピーク値に対して所定の割合の強度を有する幅をいう。ところが、ＮＤフィルタ６は、透過率すなわち蒸着膜の厚さが位置調整方向Ｐでの位置の変化により連続的に変化する構成であることから、光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）を生じさせてしまう（符号Ｂｐで示す円を参照）。

透過率固定式のＮＤフィルタを用いる場合、図９に示すように、単一のものでは透過率が一様であることから、互いに異なる透過率とされた複数（図示の例では４つ）のＮＤフィルタ７（個別に示す場合には、ＮＤフィルタ７ａ、ＮＤフィルタ７ｂ、ＮＤフィルタ７ｃ、ＮＤフィルタ７ｄとする）を用いることが考えられる。このものでは、複数（図示の例では４つ）のＮＤフィルタ７のうち、所定のビーム径を有する光束Ｂの光路上に存在させるＮＤフィルタ７（図示の例ではＮＤフィルタ７ｂ）を選択することにより、光束Ｂの光量を変化させることができる。また、このものでは、光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することはできる。ところが、ＮＤフィルタ７は、互いに異なる透過率（蒸着膜の厚さ）の複数のＮＤフィルタ（ＮＤフィルタ７ａ、ＮＤフィルタ７ｂ、ＮＤフィルタ７ｃ、ＮＤフィルタ７ｄ）の交換により減光率を変更することから、段階的にしか光量を調整することができない。

これに対して、本願発明の光量調整機構１では、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３との位置調整方向Ｐでの相対的な位置関係を固定することにより、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とが重なる箇所での光路方向Ｏｐの光学濃度ＯＤ（特性線Ｃｌ（１））を、位置調整方向Ｐでの位置ｐｈに拘らず一定の値に決定（設定）することができることから、光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。

また、光量調整機構１では、入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３との位置調整方向Ｐでの相対的な位置関係を変化させることにより、その入射側フィルタ部材２と出射側フィルタ部材３とが重なる箇所での光路方向Ｏｐの光学濃度ＯＤ（特性線Ｃｌ（１））を連続的に変化させることができることから、光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止しつつ、その光束Ｂの光量を連続的に変化させることができる。

このように、本願発明に係る光量調整機構では、光学濃度特性を直線で示すものとする（入射面に沿う方向で見て連続的に変化する透過率とする）とともに互いに等しい光学濃度勾配とされた入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材とを、位置調整方向Ｐでの位置に対する光学濃度ＯＤの変化（透過率を減少させる方向）を逆向きとして相対的な向き（姿勢）が設定することにより、光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止しつつ、その光束Ｂの光量を連続的に変化させることができる。このため、以下で示す各実施例における光量調整機構は、いずれも入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材とを光学濃度特性を直線で示すものとする（入射面に沿う方向で見て連続的に変化する透過率とする）とともに互いに等しい光学濃度勾配とし、位置調整方向での位置に対する光学濃度の変化（透過率を減少させる方向）を逆向きとして、入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材との相対的な向き（姿勢）を設定して構成されている。これにより、以下で示す各実施例における光量調整機構は、いずれも光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止しつつ、その光束Ｂの光量を連続的に変化させることができる。

次に、本願発明に係る光量調整機構における具体的な構成の一例である実施例１の光量調整機構１０について説明する。先ず、光量調整機構１０の基本的な構成について説明する。図１０は、光量調整機構１０の基本構成を模式的に示す断面図であり、図１１は、光量調整機構１０の基本構成を模式的に示す斜視図である。

本発明に係る実施例１の光量調整機構１０は、光量調整のために用いられるＮＤ（Ｎｅｕｔｒａｌ Ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタとして機能するものであり、入射された光を透過させる際にその光量を減少させて出射する作用を有する。この光量調整機構１０は、図１０および図１１に示すように、入射側に設けられる入射側フィルタ部材１１と、出射側に設けられる出射側フィルタ部材１２と、を備える。

その入射側フィルタ部材１１は、第１基板１３と第２基板１４とを有する。その第１基板１３は、全体に均一（一様）な所定の透過率の第１透過部材から形成されている。ここで、全体に均一な所定の透過率とは、内方を通過する光に対して、通過する単位距離で見た透過率（単位距離辺りの減光率）が一定であることをいう。このような第１透過部材は、例えば、光の透過を許す材質に光の吸収および／または散乱作用を有する材料を所定の濃度で均一に混入し、当該材質を凝固（固化）させることにより形成することができる。その第１透過部材として、実施例１では、透過率が５０％（ＮＤ５０）のものを用いており、その屈折率が１．５０４とされている。

第２基板１４は、全体に均一（一様）であって第１透過部材（第１基板１３）よりも高い透過率であり、その第１透過部材（第１基板１３）と略等しい屈折率の第２透過部材から形成されている。その第２透過部材として、実施例１では、Ｓ−ＢＳＬ７（（株）オハラ商品名）を用いており、その屈折率が１．５１６３３であるものを選定する。

第１基板１３は、次のように形成される。先ず、立体形状の第１透過部材を用いて、少なくとも１つの平坦な面（１５）を形成する。この立体形状とは、その平坦な面を第１光路面１５とするとともに、その第１光路面１５に直交する方向を厚さ方向Ｔ１（図１０参照）として、後述する第１接合面１６を形成しつつ厚さ方向Ｔ１で見て第１光路面１５と当該第１接合面１６との間の充満を可能とすることをいう。次に、立体形状の第１透過部材において、第１光路面１５と厚さ方向Ｔ１で見た反対側となる（第１光路面１５に対して厚さ方向Ｔ１側に位置する）箇所に、第１接合面１６としての平坦な面を、切削加工や研磨加工等により形成する。その第１接合面１６は、第１光路面１５に対して所定の角度θ（図１０参照）を為すものとする。この後、立体形状の第１透過部材において、厚さ方向Ｔ１に直交する方向に位置する箇所すなわち厚さ方向Ｔ１で見た形状を適宜成形することにより、第１基板１３を形成する。実施例１では、厚さ方向Ｔ１に直交する方向に位置する箇所が、互いに隣接する面が直交するように成形されており、第１基板１３は、厚さ方向Ｔ１で見て矩形状とされている。このため、第１基板１３は、平坦な第１光路面１５と、そこに対して傾斜された平坦な第１接合面１６と、を有し、第１光路面１５と第１接合面１６との交線に平行な方向で見てＶ字形状となる楔形状を呈している。この第１基板１３に第２基板１４が結合される。

その第２基板１４は、次のように形成される。先ず、立体形状の第２透過部材を用いて、少なくとも１つの平坦な面（１７）を形成する。この立体形状とは、その平坦な面を第２光路面１７とするとともに、その第２光路面１７に直交する方向を厚さ方向Ｔ２（図１０参照）として、後述する第２接合面１８を形成しつつ厚さ方向Ｔ２で見て第２光路面１７と当該第２接合面１８との間の充満を可能とすることをいう。次に、立体形状の第２透過部材において、第２光路面１７と厚さ方向Ｔ２で見た反対側となる（第２光路面１７に対して厚さ方向Ｔ２側に位置する）箇所に、第２接合面１８としての平坦な面を、切削加工や研磨加工等により形成する。その第２接合面１８は、第２光路面１７に対して、第１光路面１５と第１接合面１６とが為す角度に等しい所定の角度θ（図１０参照）を為すものとする。このため、第２接合面１８は、第２光路面１７を第１光路面１５と平行な状態とした際、第１接合面１６と面当接することが可能である、換言すると第１接合面１６と平行な状態となる。この後、立体形状の第２透過部材において、厚さ方向Ｔ２に直交する方向に位置する箇所すなわち厚さ方向Ｔ２で見た形状を適宜成形することにより、第２基板１４を形成する。このため、第２基板１４は、平坦な第２光路面１７と、そこに対して傾斜された平坦な第２接合面１８と、を有し、第２光路面１７と第２接合面１８との交線に平行な方向で見てＶ字形状となる楔形状を呈している。実施例１では、厚さ方向Ｔ２に直交する方向に位置する箇所が、互いに隣接する面が直交するように成形されており、第２基板１４は、厚さ方向Ｔ２で見て矩形状とされている。また、実施例１では、厚さ方向Ｔ１で見た第１基板１３と、厚さ方向Ｔ２で見た第２基板１４と、が等しい大きさ寸法の長方形とされている。

その後、第１光路面１５と第２光路面１７とを平行としつつ第１接合面１６と第２接合面１８とを面当接させて互いに接合することにより、第１基板１３と第２基板１４とを結合して、入射側フィルタ部材１１を形成する。実施例１では、第１接合面１６と第２接合面１８とが面全体で互いに当接されている。このため、入射側フィルタ部材１１では、第１基板１３における厚さ方向Ｔ１と、第２基板１４における厚さ方向Ｔ２と、が一致されている。この入射側フィルタ部材１１は、厚さ方向（入射側厚さ方向（Ｔ１、Ｔ２））に直交する両面が第１光路面１５と第２光路面１７とにより規定された全体に直方体形状を呈する。

次に、出射側フィルタ部材１２について説明する。この出射側フィルタ部材１２は、第３基板１９と第４基板２０とを有する。その第３基板１９は、第１基板１３と同一の部材から形成されている。なお、ここで第１基板１３と同一の部材とは、少なくとも同一の透過率であることをいい、望ましくは全く等しい部材であることをいう。実施例１では、第３基板１９は、上述した第１透過部材から形成されている。その第３基板１９は、平坦な第３光路面２１と、その第３光路面２１に対して第１基板１３での第１光路面１５と第１接合面１６とが為す角度に等しい所定の角度θを為す平坦な第３接合面２２と、を有する。第３基板１９は、実施例１では、第３光路面２１が第１光路面１５に相当し、かつ第３接合面２２が第１接合面１６に相当して、第１基板１３と等しい形状および大きさ寸法とされている。この第３基板１９において、第３光路面２１に直交する方向を厚さ方向Ｔ３とする。このため、第３基板１９は、平坦な第３光路面２１と、そこに対して傾斜された平坦な第３接合面２２と、を有し、第３光路面２１と第３接合面２２との交線に平行な方向で見てＶ字形状となる楔形状を呈している。

また、第４基板２０は、第２基板１４と同一の部材から形成されている。なお、ここで第２基板１４と同一の部材とは、少なくとも同一の透過率であることをいい、望ましくは全く等しい部材であることをいう。実施例１では、第４基板２０は、上述した第２透過部材から形成されている。この第４基板２０は、平坦な第４光路面２３と、その第４光路面２３に対して第２基板１４での第２光路面１７と第２接合面１８とが為す角度に等しい所定の角度θを為す平坦な第４接合面２４と、を有する。この第４基板２０は、実施例１では、第４光路面２３が第２光路面１７に相当し、かつ第４接合面２４が第２接合面１８に相当して、第２基板１４と等しい形状および大きさ寸法とされている。この第４基板２０において、第４光路面２３に直交する方向を厚さ方向Ｔ４とする。このため、第４基板２０は、平坦な第４光路面２３と、そこに対して傾斜された平坦な第４接合面２４と、を有し、第４光路面２３と第４接合面２４との交線に平行な方向で見てＶ字形状となる楔形状を呈している。このような構成であることから、実施例１では、厚さ方向Ｔ３で見た第３基板１９と、厚さ方向Ｔ４で見た第４基板２０と、が等しい大きさ寸法の長方形とされている。

出射側フィルタ部材１２は、入射側フィルタ部材１１と同様に、第３光路面２１と第４光路面２３とを平行としつつ第３接合面２２と第４接合面２４とを面当接させて接合することにより、第３基板１９と第４基板２０とが結合されて形成される。実施例１では、第３接合面２２と第４接合面２４とが面全体で互いに当接されている。このため、出射側フィルタ部材１２では、第３基板１９における厚さ方向Ｔ３と、第４基板２０における厚さ方向Ｔ４とが一致されている。この出射側フィルタ部材１２は、厚さ方向（出射側厚さ方向（Ｔ３、Ｔ４））に直交する両面が第３光路面２１と第４光路面２３とにより規定された全体に直方体形状を呈する。

光量調整機構１０は、実施例１では、第１光路面１５と第２光路面１７と第３光路面２１と第４光路面２３とを互いに平行な位置関係とするとともに、入射側フィルタ部材１１を入射側に配置しかつ出射側フィルタ部材１２を出射側に配置して、入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２とが並列されて構成される。このとき、光量調整機構１０では、各光路面に直交する方向（入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２との並列方向であって各厚さ方向）を光路方向Ｏｐとして、その光路方向Ｏｐで第２光路面１７と第４光路面２３とのそれぞれの少なくとも一部を対向させる（図１０および図１１では、全体を対向させた状態を示している）。このため、光路方向Ｏｐは、第１光路面１５と第３光路面２１とを通過する。

ここで、第１基板１３において、厚さ方向Ｔ１（光路方向Ｏｐ）に直交する方向であって、位置の変化に伴い第１基板１３の厚さ寸法が変化する方向を位置調整方向Ｐとする。換言すると、位置調整方向Ｐは、位置の変化に伴い第１光路面１５を基準とする第１接合面１６までの距離（間隔）を連続して変化させる方向である。また、実施例１では、位置調整方向Ｐは、位置の変化に伴い第３光路面２１を基準とする第３接合面２２までの距離（間隔）を連続して変化させる方向でもある。光量調整機構１０では、相対的に位置設定された第１基板１３における厚さ寸法が減少する側（図１０を正面視して右向き）を位置調整方向Ｐの正側とすると、第３基板１９が位置調整方向Ｐにおいて正側から負側へ向けて厚さ寸法が減少する姿勢となるように、入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２との相対的な向き（姿勢）が設定されている。すなわち、光量調整機構１０では、第１基板１３と第３基板１９との厚さ寸法の変化を、位置調整方向Ｐでの位置に対して逆向きとするように、入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２との相対的な向き（姿勢）が設定されている。

この光量調整機構１０では、入射側に位置された入射側フィルタ部材１１（その第１基板１３の第１光路面１５）に、光路方向Ｏｐに沿って光（光束Ｂ（図１１参照））が入射されると、入射側フィルタ部材１１および出射側フィルタ部材１２を通過する際、適宜減光されて（光量が適宜減少されて）、光路方向Ｏｐに沿って出射側に位置された出射側フィルタ部材１２（その第３基板１９の第３光路面２１）から出射される。以下では、この作用について、図１２から図１４を併せて用いて説明する。その図１２は、入射側フィルタ部材１１における作用を説明するための説明図であり、図１３は、第１基板１３における光学的な特性（位置調整方向Ｐでの位置に対する全透過率Ｄの変化）を示すグラフであり、図１４は、入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２とを有する光量調整機構１０における作用を説明するための説明図である。

図１２に示すように、光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂ（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３）は、その進行方向が第１光路面１５に直交するものであることから、その第１光路面１５における入射位置に拘らず当該第１光路面１５から第１基板１３内へと進入する。その光束Ｂは、第１基板１３内においても光路方向Ｏｐに沿って進行し、第１接合面１６に至る。ここで、その第１接合面１６は、光路方向Ｏｐに対して傾斜されているが、第２基板１４の第２接合面１８と面当接されている。また、その第２基板１４は、第１基板１３と略等しい屈折率とされている。このため、光束Ｂは、第１接合面１６すなわち第１基板１３から出射される際に、屈折することはなく（厳密には屈折するが極めて微小である）、光路方向Ｏｐに沿って第２接合面１８から第２基板１４内へと進入する。その後、光束Ｂは、第２基板１４内においても光路方向Ｏｐに沿って進行し、第２光路面１７に至る。その光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂは、その進行方向が第２光路面１７に直交するものであることから、その第２光路面１７における出射位置に拘らず、当該第２光路面１７から光路方向Ｏｐに沿って第２基板１４外に出射される。

このように、入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２も同様である）では、屈折率の略等しい第１基板１３と第２基板１４とが、第１接合面１６と第２接合面１８とを面当接させた状態で結合されて構成されていることから、光路方向Ｏｐに沿って入射する光束Ｂ（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３）を、光路方向Ｏｐに直交する面で見た位置を実質的に変化させることなく光路方向Ｏｐに沿って出射させることができる。ここで、第１基板１３と第２基板１４との屈折率を完全に一致させることが望ましいが、互いの屈折率を略等しいものとしても第１接合面１６と第２接合面１８との接合位置での屈折を極めて小さくすることができ、光路方向Ｏｐに直交する面で見た位置の変化を実質的になくすという同様の効果を得られることから、第１基板１３と第２基板１４とを略等しい屈折率としている。この略等しい屈折率とは、光路方向Ｏｐに沿って入射する光束に対して、出射する光束における光路方向Ｏｐに直交する面で見た位置の変化を実質的になくすことができることをいう。その位置の変化を実質的になくすとは、所定の光学系の光路において、入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２も同様である）が挿入された状態と、挿入されていない状態と、における光軸のずれ量が許容範囲内であることをいう。この具体例として、後述する光量調整装置５０（図１５参照）で見ると、その遮蔽筐体５３における入射側開口部６１から出射側開口部６２へと至る光路において、光量調整機構１０の有無に拘らず、入射側開口部６１に接続された入射側導光部材４３の一端部４３ａから出射された光束を、出射側開口部６２に接続された出射側導光部材４４の一端部４４ａで取得（受光）を可能とすることをいう。

このとき、光束Ｂ（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３）は、入射側フィルタ部材１１において、第１基板１３内を光路方向Ｏｐすなわち厚さ方向Ｔ１に沿って透過している。その第１基板１３は、上述したように、通過する単位距離で見た透過率（単位距離辺りの減光率）が一定とされていることから、光束Ｂは、第１基板１３を通過した距離に応じて光量が減少（減光）される。ここで、第１基板１３すなわち第１透過部材の単位距離１ｍｍ辺りの透過率をｄとし、第１基板１３内における通過距離をＬｍｍとすると、その全透過率Ｄ（Ｌｍｍの厚さ寸法の第１基板１３に対する透過率）は、通過距離をＬ変数とする指数関数、Ｄ＝ｄ^Ｌで表すことができる。

また、光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂは、第１光路面１５における位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて、第１基板１３内の通過距離が漸次的に連続して変化する。詳細には、図１２に示すように、入射側フィルタ部材１１の第１基板１３（その第１光路面１５）において、位置調整方向Ｐの負側の端部に入射する光束を光束Ｂ１とし、位置調整方向Ｐの中心位置に入射する光束を光束Ｂ２とし、位置調整方向Ｐの正側の端部に入射する光束を光束Ｂ３とすると、第１基板１３内の通過距離は、光束Ｂ１の通過距離Ｌ１、光束Ｂ２の通過距離Ｌ２、光束Ｂ３の通過距離Ｌ３の順に漸次的に短くなる。ここで、光路方向Ｏｐでの第１基板１３内の通過距離は、光路方向Ｏｐで見た第１光路面１５と第１接合面１６との距離（間隔）、すなわち第１基板１３の厚さ寸法により規定される。その第１光路面１５は、光路方向Ｏｐに対して直交する平坦面であり、かつ第１接合面１６は、位置調整方向Ｐの正側に交線を有し第１光路面１５に対して所定の角度θとなる平坦面である。このため、光路方向Ｏｐでの第１基板１３内の通過距離は、第１光路面１５（第１基板１３）への入射位置の位置調整方向Ｐでの位置の変化に応じて連続して変化する。このため、第１基板１３では、全透過率Ｄが位置調整方向Ｐでの位置の変化（差異）に応じて変化する図１３に示すような光学的な特性を有する。これにより、明確な図示は略すが、第１基板１３では、位置調整方向Ｐでの位置に対する光学濃度ＯＤの変化を示す光学濃度特性（図５等参照）が、位置調整方向Ｐの負側から正側へ向けて光学濃度ＯＤを減少させる直線で示すものとなる。

これらのことから、光路方向Ｏｐに沿って第１基板１３を通過する光束Ｂ（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３）は、第１光路面１５における位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて、光量が減少（減光）されることとなる。すなわち、第１基板１３（入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２（第３基板１９）も同様である））では、上記した構成とすることにより、位置調整方向Ｐでの位置の変化に対する透過率の変化を、指数関数の関係性で連続的に変化するものとしている。なお、実際には、光束Ｂでは、第２基板１４内においても、その透過率に応じて同様の減光作用が生じることとなり、入射側フィルタ部材１１における透過率は、第１基板１３での通過距離に応じた透過率と、第２基板１４での通過距離とに応じた透過率と、を乗算したものとなる。しかしながら、実施例１では、第２基板１４の透過率が、第１基板１３よりも高いものとされかつ極めて大きな値とされていることから、この説明では第２基板１４（以下の第４基板２０も同様）による光量減少（減光）の作用を省略する。

その入射側フィルタ部材１１により光量が減少（減光）されて光路方向Ｏｐに進行する光束Ｂは、図１１および図１４に示すように、出射側フィルタ部材１２の第４基板２０の第４光路面２３へと進行する。その光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂは、その進行方向が第４光路面２３に直交するものであることから、その第４光路面２３における入射位置に拘らず当該第４光路面２３から第４基板２０内へと進入する。その光束Ｂは、第４基板２０内においても光路方向Ｏｐに沿って進行し、第４接合面２４に至る。ここで、その第４接合面２４は、光路方向Ｏｐに対して傾斜されているが、第３基板１９の第３接合面２２に面当接されている。また、その第３基板１９は、第１基板１３と第２基板１４との関係と同様に、第４基板２０と略等しい屈折率とされている。このため、光束Ｂは、第４接合面２４すなわち第４基板２０から出射される際に、屈折することはなく（厳密には屈折するが極めて微小である）、光路方向Ｏｐに沿って第３接合面２２から第３基板１９内へと進入する。その後、光束Ｂは、第３基板１９内においても光路方向Ｏｐに沿って進行し、第３光路面２１に至る。その光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂは、その進行方向が第３光路面２１に直交するものであることから、その第３光路面２１における入射位置に拘らず、当該第３光路面２１から光路方向Ｏｐに沿って第３基板１９外に出射される。このとき、光束Ｂは、入射側フィルタ部材１１と同様に、第３接合面２２における位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて、第３基板１９内の通過距離が漸次的に連続して変化し、光量の減少（減光）量が漸次的に連続して変化する。このため、光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１の第１基板１３の第１光路面１５が入射面として機能し、出射側フィルタ部材１２の第３基板１９の第３光路面２１が出射面として機能する。

ここで、従来のように、透過率の異なる複数の蒸着膜を形成する構成のＮＤフィルタでは、各蒸着膜の透過率で減光率が設定されることから、減光率の変化が段階的になってしまう。また、基板に所定の透過率の蒸着膜を設けるとともにその膜厚を変化させる構成のＮＤフィルタでは、膜厚の変化量を大きくすることが困難であることから、減光率を変更可能な幅（レンジ）を大きくすることが困難であるとともに、膜厚の調整が容易ではないことから、漸次的に連続する減光率の変化を得ることが困難である。さらに、基板に設けた反射膜に微小開口を形成するとともに反射膜における微小開口の占める面積割合を変化させる構成のＮＤフィルタでは、微小開口の占有面積割合の変化による透過率の微小な変化の調整が困難であることから、漸次的に連続する変化の減光率とすることが困難である。

これに対し、光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２も同様である）の第１基板１３が、通過する単位距離で見た透過率（単位距離辺りの減光率）を一定とするとともに、その第１光路面１５が光路方向Ｏｐに対して交わる（実施例１では直交する）平坦面とされかつ第１接合面１６が位置調整方向Ｐの正側に交線を有し第１光路面１５に対して所定の角度θとなる平坦面とされている。このため、入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２も同様である）における透過率は、第１基板１３での通過距離に応じて変化することとなり、その通過距離が位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて漸次的に変化することから、その位置調整方向Ｐでの入射位置の変化に対する減光率の変化を連続的なものとすることができる。

この光量調整機構１０では、所定のビーム径を有する光束Ｂにおいて、その進行方向に直交する方向（以下、径方向ともいう）で見て透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。以下では、これについて説明する。なお、ここで、ビーム径とは、光束Ｂの径方向で見て、光束Ｂの強度のピーク値に対して所定の割合の強度を有する幅をいう。また、以下の説明では、光束Ｂにおける位置調整方向Ｐでの最も負側（図１４を正面視して左側）の光路を通過するものを光束部分ｂ１とし、最も正側の光路を通過するものを光束部分ｂ２とする。

図１４（ａ）に示すように、所定のビーム径を有する光束Ｂが、光路方向Ｏｐに沿って、光量調整機構１０の入射側フィルタ部材１１の第１基板１３（その第１光路面１５）に、位置調整方向Ｐの中心位置（図１２における光束Ｂ２の位置）で入射するものとする。換言すると、光束Ｂを位置調整方向Ｐの中心位置に入射させるように、光路に対する入射側フィルタ部材１１の位置を調整する。すると、光束Ｂでは、光束部分ｂ１が第１基板１３内を通過距離Ｌ１１だけ進行し、光束部分ｂ２が第１基板１３内を通過距離Ｌ１２だけ進行する。その後、光束Ｂは、第２基板１４を通過し第２光路面１７から光路方向Ｏｐに沿って、入射側フィルタ部材１１の外部に出射される。

その後、光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、出射側フィルタ部材１２の第４基板２０（その第４光路面２３）に、位置調整方向Ｐの中心位置（図１２における光束Ｂ２の位置）で入射するものとする。換言すると、光束Ｂを位置調整方向Ｐの中心位置に入射させるように、光路に対する出射側フィルタ部材１２の位置を調整する。その光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、第４基板２０を通過して第３基板１９内へと進行する。その後、光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、第３基板１９の第３光路面２１から出射側フィルタ部材１２の外部に出射される。すると、光束Ｂでは、光束部分ｂ１が第３基板１９内を通過距離Ｌ１３だけ進行し、光束部分ｂ２が第３基板１９内を通過距離Ｌ１４だけ進行する。

この光量調整機構１０では、上述したように、位置調整方向Ｐで見ると、負側から正側へ向けて第１基板１３の厚さ寸法が減少するとともに、正側から負側へ向けて第３基板１９の厚さ寸法が減少するように、入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２との向きが設定されている。また、第１基板１３での第１光路面１５と第１接合面１６とが為す角度と、第３基板１９での第３光路面２１と第３接合面２２とが為す角度と、がともに所定の角度θ（図１０参照）とされている。さらに、第１基板１３と第３基板１９とは、全体に均一（一様）で同一の透過率の部材（実施例１では同一の第１透過部材）から形成されている。これらのことから、光束Ｂでは、図１４（ｂ）に示すように、光束部分ｂ１において、第１基板１３内を通過した通過距離Ｌ１１と、第３基板１９内を通過した通過距離Ｌ１３と、の合計値を通過距離Ｌ１０とすると、光束部分ｂ２における第１基板１３内を通過した通過距離Ｌ１２と、第３基板１９内を通過した通過距離Ｌ１４との合計値も通過距離Ｌ１０となる。このため、光量調整機構１０では、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂにおいて、第１基板１３（その第１光路面１５および第１接合面１６）と第３基板１９（その第３接合面２２および第３光路面２１）との双方を通過させることにより、第１透過部材を通過した距離を径方向で見た位置（光路方向Ｏｐに直交する方向での位置）に拘らず一定（図１４（ａ）、（ｂ）の例では通過距離Ｌ１０）とすることができる。これにより、光量調整機構１０では、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。このとき、光量調整機構１０では、位置調整方向Ｐでの第１光路面１５（第１基板１３）に対する入射位置に拘らず、位置調整方向Ｐでの第３光路面２１（第３基板１９）に対する入射位置を適宜設定しても、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た透過率の差（差異）が生じることの防止の効果を得ることができる。これは、光量調整機構１０では、第１基板１３と第３基板１９との厚さ寸法の変化が位置調整方向Ｐでの位置に対して逆向きとするとともに、第１基板１３での第１光路面１５と第１接合面１６とが為す角度と、第３基板１９での第３光路面２１と第３接合面２２とが為す角度と、をともに所定の角度θとしていることによる。換言すると、第１基板１３と第３基板１９とが、位置調整方向Ｐでの位置に対して互いに等しい指数関数に従う関係性で変化する透過率とされているとともに、その透過率の変化が位置調整方向Ｐでの位置に対して逆向きとされていることによる。すなわち、第１基板１３（入射側フィルタ部材）と第３基板１９（出射側フィルタ部材）とが、光学濃度特性を直線で示すものとされているとともに互いに等しい光学濃度勾配とされ、位置調整方向Ｐでの位置に対する光学濃度ＯＤの変化（透過率を減少させる方向）を逆向きとして相対的な向き（姿勢）が設定されていることによる。

さらに、光量調整機構１０では、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して径方向で見た透過率を均一なものとしつつ、その透過率を連続的に変化させることができる。以下では、これについて説明する。

図１４（ｃ）に示すように、所定のビーム径を有する光束Ｂが、光路方向Ｏｐに沿って、光量調整機構１０の入射側フィルタ部材１１の第１基板１３（その第１光路面１５）に、位置調整方向Ｐの正側の位置（図１２における光束Ｂ３の位置）で入射するものとする。換言すると、光束Ｂを位置調整方向Ｐの正側の位置に入射させるように、光路に対する入射側フィルタ部材１１の位置を調整する。すると、光束Ｂでは、光束部分ｂ１が第１基板１３内を通過距離Ｌ２１だけ進行し、光束部分ｂ２が第１基板１３内を通過距離Ｌ２２だけ進行する。その後、光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、第２基板１４を通過し第２光路面１７から入射側フィルタ部材１１の外部に出射される。

その後、光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、出射側フィルタ部材１２の第４基板２０（その第４光路面２３）に、位置調整方向Ｐの負側の位置（図１２における光束Ｂ１の位置）で入射するものとする。換言すると、光束Ｂを位置調整方向Ｐの負側の位置に入射させるように、光路に対する出射側フィルタ部材１２の位置を調整する。その光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、第４基板２０を通過して第３基板１９内へと進行する。すると、光束Ｂでは、光束部分ｂ１が第３基板１９内を通過距離Ｌ２３だけ進行し、光束部分ｂ２が第３基板１９内を通過距離Ｌ２４だけ進行する。その後、光束Ｂは、第３基板１９の第３光路面２１から光路方向Ｏｐに沿って、出射側フィルタ部材１２の外部に出射される。

この光束Ｂでは、図１４（ｄ）に示すように、光束部分ｂ１における第１基板１３内を通過した通過距離Ｌ２１と第３基板１９内を通過した通過距離Ｌ２３との合計値と、光束部分ｂ２における第１基板１３内を通過した通過距離Ｌ２２と第３基板１９内を通過した通過距離Ｌ２４との合計値と、がともに通過距離Ｌ２０となる。この通過距離Ｌ２０は、上述した図１４（ａ）の状態における通過距離Ｌ１０（図１４（ｂ）参照）よりも短いものとなり、光束Ｂに対する透過率を上昇させる（透過した光束Ｂの光量が増加）ことができる。

加えて、図１４（ｅ）に示すように、所定のビーム径を有する光束Ｂが、光路方向Ｏｐに沿って、光量調整機構１０の入射側フィルタ部材１１の第１基板１３（その第１光路面１５）に、位置調整方向Ｐの負側の位置（図１２における光束Ｂ１の位置）で入射するものとする。換言すると、光束Ｂを位置調整方向Ｐの負側の位置に入射させるように、光路に対する入射側フィルタ部材１１の位置を調整する。すると、光束Ｂでは、光束部分ｂ１が第１基板１３内を通過距離Ｌ３１だけ進行し、光束部分ｂ２が第１基板１３内を通過距離Ｌ３２だけ進行する。その後、光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、第２基板１４を通過し第２光路面１７から入射側フィルタ部材１１の外部に出射される。

その後、光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、出射側フィルタ部材１２の第４基板２０（その第４光路面２３）に、位置調整方向Ｐの正側の位置（図１２における光束Ｂ３の位置）で入射するものとする。換言すると、光束Ｂを位置調整方向Ｐの正側の位置に入射させるように、光路に対する出射側フィルタ部材１２の位置を調整する。その光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、第４基板２０を通過して第３基板１９内へと進行する。すると、光束Ｂでは、光束部分ｂ１が第３基板１９内を通過距離Ｌ３３だけ進行し、光束部分ｂ２が第３基板１９内を通過距離Ｌ３４だけ進行する。その後、光束Ｂは、第３基板１９の第３光路面２１から光路方向Ｏｐに沿って、出射側フィルタ部材１２の外部に出射される。

この光束Ｂでは、図１４（ｆ）に示すように、光束部分ｂ１における第１基板１３内を通過した通過距離Ｌ３１と第３基板１９内を通過した通過距離Ｌ３３との合計値と、光束部分ｂ２における第１基板１３内を通過した通過距離Ｌ３２と第３基板１９内を通過した通過距離Ｌ３４との合計値と、がともに通過距離Ｌ３０となる。この通過距離Ｌ３０は、上述した図１４（ａ）の状態における通過距離Ｌ１０（図１４（ｂ）参照）よりも長いものとなり、光束Ｂに対する透過率を低減させる（透過した光束Ｂの光量が低下）ことができる。

これらのことから、光量調整機構１０では、光路に対する入射側フィルタ部材１１の位置（位置調整方向Ｐで見た入射側フィルタ部材１１への光束Ｂの入射位置）と、光路に対する出射側フィルタ部材１２の位置（位置調整方向Ｐで見た出射側フィルタ部材１２への光束Ｂの入射位置）と、を適宜調整することにより、光束Ｂの透過量すなわち全体としての減光率を適宜調整することができる。このとき、光量調整機構１０では、対象とする光束Ｂに対する入射側フィルタ部材１１の位置調整方向Ｐでの位置の変化により第１基板１３内での通過距離を調整し、かつ出射側フィルタ部材１２の位置調整方向Ｐでの位置の変化により第３基板１９内での通過距離を調整するものであることから、第１基板１３内での通過距離の変化を連続的なもの（指数関数の関係性を有するもの）とすることができるとともに、第３基板１９内での通過距離の変化を連続的なもの（指数関数の関係性を有するもの）とすることができるので、全体としての透過率を連続的（指数関数の関係性を有するもの）に変化させることができる。この所定のビーム径を有する光束Ｂに対して径方向で見た透過率を均一なものとしつつ、その全体としての透過率を連続的に変化させることができることは、上述したように、入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材との位置調整方向Ｐでの位置に対する光学濃度ＯＤの特性線を用いた光量調整機構における光学濃度ＯＤの変化の態様（図６よび図７参照）からも明らかである。

また、光量調整機構１０では、入射面としての第１光路面１５から第１基板１３へと入射させ、かつ第２基板１４を通過した後第２光路面１７から出射させて入射側フィルタ部材１１を通過させるとともに、第４光路面２３から第４基板２０へと入射させ、かつ第３基板１９を通過した後出射面としての第３光路面２１から出射させて出射側フィルタ部材１２を通過させることにより、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。この光路長（光学的距離）とは、実際に物質を透過した距離となる通過距離に、当該物質の屈折率を乗算したものをいう。これは以下のことによる。光量調整機構１０では、上述したように、入射側フィルタ部材１１において第１基板１３と第２基板１４とが互いに略等しい屈折率とされており、かつ出射側フィルタ部材１２において第４基板２０と第３基板１９とが互いに略等しい屈折率とされている。また、光量調整機構１０では、上述したように、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た位置に拘らず入射側フィルタ部材１１の第１基板１３での通過距離と出射側フィルタ部材１２の第３基板１９での通過距離とが互いに等しくなる。このことは、入射側フィルタ部材１１の第２基板１４での通過距離と出射側フィルタ部材１２の第４基板２０での通過距離とにおいても同様である。このため、光量調整機構１０では、厚さ方向Ｔ１での両端に渡って第１基板１３を通過させるとともに厚さ方向Ｔ２での両端に渡って第２基板１４を通過させることで、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材１１を通過させ、かつ厚さ方向Ｔ４での両端に渡って第４基板２０を通過させるとともに厚さ方向Ｔ３での両端に渡って第３基板１９を通過させることで、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材１２を通過させることにより、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。このことから、光量調整機構１０では、実質的に減光作用を生じさせる第１基板１３と第３基板１９とだけで見た場合であっても、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。

次に、この光量調整機構１０の適用例について、図１５を用いて説明する。この図１５は、光量調整機構１０を用いる光量調整装置５０の構成を概略的に示す説明図である。この光量調整装置５０は、発光部４１から光路方向Ｏｐに出射された光を適宜調整して受光部４２に受光させるものである。光量調整装置５０は、入射側移動機構５１と、出射側移動機構５２と、遮蔽筐体５３と、を有する。

その入射側移動機構５１は、光量調整機構１０を構成する入射側フィルタ部材１１を、位置調整方向Ｐでの位置を調整可能に保持するものである。入射側移動機構５１は、入射側保持枠５４と、入射側保持軸５５と、入射側操作部５６と、を有する。この入射側移動機構５１では、入射側保持枠５４に入射側保持軸５５が位置調整方向Ｐに移動可能に保持されている。この入射側保持枠５４は、図示は略すが遮蔽筐体５３に固定されている。入射側保持軸５５は、一端で入射側フィルタ部材１１を保持するとともに、他端に入射側操作部５６が設けられている。この入射側保持軸５５は、その軸線回りに入射側操作部５６が回転操作されることにより、入射側保持枠５４および遮蔽筐体５３に対して当該軸線方向に移動可能とされて（矢印Ａ１参照）おり、その移動方向が保持する入射側フィルタ部材１１での位置調整方向Ｐに一致されている。また、入射側保持軸５５は、位置調整方向Ｐへの移動に拘らず、入射側保持枠５４および遮蔽筐体５３に対して、入射面（第１光路面１５）が光路方向Ｏｐに直交する姿勢を維持させて入射側フィルタ部材１１を保持している。さらに、入射側保持軸５５は、遮蔽筐体５３内に形成される光路（後述する入射側開口部６１と出射側開口部６２との間）上への挿入およびそこからの離脱を可能とするとともに、当該光路上での位置調整方向Ｐでの位置を調整可能に、入射側フィルタ部材１１を保持している。その入射側移動機構５１の出射側（図１５を正面視して下側）に出射側移動機構５２が設けられている。

その出射側移動機構５２は、光量調整機構１０を構成する出射側フィルタ部材１２を、入射側移動機構５１に保持された入射側フィルタ部材１１と光路方向Ｏｐに所定の間隔を置きつつ位置調整方向Ｐでの位置を調整可能に保持するものである。出射側移動機構５２は、出射側保持枠５７と、出射側保持軸５８と、出射側操作部５９と、を有する。この出射側移動機構５２では、出射側保持枠５７に出射側保持軸５８が位置調整方向Ｐに移動可能に保持されている。この出射側保持枠５７は、図示は略すが遮蔽筐体５３に固定されている。出射側保持軸５８は、一端で出射側フィルタ部材１２を保持するとともに、他端に出射側操作部５９が設けられている。この出射側保持軸５８は、その軸線回りに出射側操作部５９が回転操作されることにより、出射側保持枠５７および遮蔽筐体５３に対して当該軸線方向に移動可能とされて（矢印Ａ２参照）おり、その移動方向が出射側フィルタ部材１２での位置調整方向Ｐに一致されている。また、出射側保持軸５８は、位置調整方向Ｐへの移動に拘らず、出射側保持枠５７および遮蔽筐体５３に対して、出射面（第３光路面２１）が光路方向Ｏｐに直交する姿勢を維持させて出射側フィルタ部材１２を保持している。さらに、出射側保持軸５８は、遮蔽筐体５３内に形成される光路（後述する入射側開口部６１と出射側開口部６２との間）上への挿入およびそこからの離脱を可能とするとともに、当該光路上での位置調整方向Ｐでの位置を調整可能に、出射側フィルタ部材１２を保持している。

遮蔽筐体５３は、光量調整機構１０が適宜挿入および離脱される光路を規定するとともに、その光路に外部からの光が進入することを防止する。この遮蔽筐体５３には、光路方向Ｏｐで対を為す入射側開口部６１と出射側開口部６２とが設けられている。遮蔽筐体５３は、入射側開口部６１から出射側開口部６２に至る光路を規定している。その遮蔽筐体５３の内方に、光路方向Ｏｐに沿って、入射側開口部６１側に入射側移動機構５１により位置調整方向Ｐへの移動可能とされた入射側フィルタ部材１１が設けられているとともに、出射側開口部６２側に出射側移動機構５２により位置調整方向Ｐへの移動可能とされた出射側フィルタ部材１２が設けられている。

この遮蔽筐体５３の入射側開口部６１には、入射側導光部材４３の一端部４３ａが接続されている。その入射側導光部材４３は、他端部４３ｂが発光部４１に対応されている。入射側導光部材４３は、実施例１では、光ファイバ４３ｃと他端側レンズ４３ｄと一端側レンズ４３ｅとを有する。その他端側レンズ４３ｄは、入射側導光部材４３の他端部４３ｂに設けられており、発光部４１から出射された光を光ファイバ４３ｃの入射端面に集光する。一端側レンズ４３ｅは、入射側導光部材４３の一端部４３ａに設けられており、光ファイバ４３ｃの出射端面から出射された光を光路方向Ｏｐに平行な光束とする。

また、遮蔽筐体５３の出射側開口部６２には、出射側導光部材４４の一端部４４ａが接続されている。この出射側導光部材４４は、他端部４４ｂが受光部４２に対応されている。出射側導光部材４４は、実施例１では、光ファイバ４４ｃと一端側レンズ４４ｄと他端側レンズ４４ｅとを有する。その一端側レンズ４４ｄは、出射側導光部材４４の一端部４４ａに設けられており、入射側導光部材４３の一端部４３ａから光路方向Ｏｐに出射された光（入射側開口部６１から出射側開口部６２に至る光路上の光）を光ファイバ４４ｃの入射端面に集光する。他端側レンズ４４ｅは、出射側導光部材４４の他端部４４ｂに設けられており、光ファイバ４４ｃの出射端面から出射された光を受光部４２の受光面（図示せず）に集光する。

このため、光量調整装置５０では、遮蔽筐体５３内において、発光部４１から出射された光を入射側開口部６１から光路方向Ｏｐに出射させるとともに、その光路方向Ｏｐに沿って進行し出射側開口部６２に到達した光を受光部４２で受光させることができる。また、光量調整装置５０では、入射側開口部６１から出射側開口部６２に至る光路方向Ｏｐに沿う光路上において、光量調整機構１０としての入射面（入射側フィルタ部材１１の第１基板１３の第１光路面１５）と出射面（出射側フィルタ部材１２の第３基板１９の第３光路面２１）とが、光路方向Ｏｐに直交させて配置することが可能とされている。その光量調整機構１０は、遮蔽筐体５３内において、入射側移動機構５１により入射側フィルタ部材１１が光路方向Ｏｐに直交する位置調整方向Ｐに移動自在に保持されるとともに、出射側移動機構５２により出射側フィルタ部材１２が位置調整方向Ｐに移動可能に保持されている。

これにより、光量調整装置５０では、入射側開口部６１から出射側開口部６２に至る光路上での光量調整機構１０の透過率を適宜設定する、すなわち入射側移動機構５１および出射側移動機構５２による当該光路上での入射側フィルタ部材１１および出射側フィルタ部材１２の位置を適宜設定することにより、発光部４１から出射された光を所定の減光率で減光させて受光部４２に受光させることができる。このことから、光量調整装置５０では、入射側移動機構５１および出射側移動機構５２が、位置調整方向Ｐへの相対的な移動を可能とすべく入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２とを保持する光量調整機構における保持機構として機能する。また、光量調整装置５０では、入射側移動機構５１が、遮蔽筐体５３内に規定される光路に対して位置調整方向Ｐへと移動可能に入射側フィルタ部材１１を保持する光量調整機構における入射側移動機構として機能するとともに、出射側移動機構５２が、遮蔽筐体５３内に規定される光路に対して位置調整方向Ｐへと移動可能に出射側フィルタ部材１２を保持する光量調整機構における出射側移動機構として機能する。なお、実施例１では、光量調整装置５０は、遮蔽筐体５３内に規定される光路上であって、出射側移動機構５２の出射側（図１５を正面視して下側）にＮＤフィルタ６３を適宜設けることが可能とされている。

この光量調整装置５０は、例えば、発光部４１から対象物へ向けて出射された出射光に対する当該対象物からの反射光を受光部４２で受光することにより、当該対象物における出射光に対する反射率を測定する機器において、測定可能な幅（レンジ）を拡大すべく受光部４２での受光信号を増幅させる構成とする場合、その増幅部の適切な形成に有用である。これは、例えば、反射光量で見て測定対象とする範囲を複数に区画するとともに、各区画範囲での受光部４２での受光光量に対する増幅部における増幅値（増幅率）を設定するものとすると、各区画範囲における受光部４２での受光光量とそれに対する受光部４２からの受光信号との関係性を示す測定値のサンプリング数を増加させるほど適切な増幅値（増幅率）の設定が可能となる。このため、透過率を連続的に変化させることのできる光量調整機構１０により受光部４２での受光光量を連続的に調節することで、様々な受光光量に対する受光信号の測定値を計測することができるので、より適切に増幅値（増幅率）を設定することができ、増幅部のより適切な形成を可能とすることができる。

このように、本発明に係る実施例１の光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１の第１基板１３の第１光路面１５と出射側フィルタ部材１２の第３基板１９の第３光路面２１とを平行な位置関係とするとともに、位置調整方向Ｐでの位置に対して透過率（全透過率）が減少する方向を第１基板１３と第３基板１９とで逆向きとして、入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２とが並列されていることから、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに光束Ｂを、入射側フィルタ部材１１（その第１基板１３）と出射側フィルタ部材１２（その第３基板１９）との双方を通過させることにより、その光束Ｂにおける径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。

また、光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１の第１基板１３の第１光路面１５と出射側フィルタ部材１２の第３基板１９の第３光路面２１とを平行な位置関係とするとともに、位置調整方向Ｐでの位置に対して透過率（全透過率）が減少する方向を第１基板１３と第３基板１９とで逆向きとして、入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２とを並列させた状態で、位置調整方向Ｐへと相対的に位置関係を変更可能とされていることから、入射側フィルタ部材１１（その第１基板１３）と出射側フィルタ部材１２（その第３基板１９）との位置調整方向Ｐでの位置関係を適宜設定することにより、全体としての透過率を変化させる（対象とする光束Ｂでの減光率を調整する）ことができる。

さらに、光量調整機構１０では、対象とする光束Ｂに対する入射側フィルタ部材１１の位置調整方向Ｐでの位置の変化により第１基板１３内での通過距離を調整し、かつ出射側フィルタ部材１２の位置調整方向Ｐでの位置の変化により第３基板１９内での通過距離を調整することにより、互いに同一の透過率とされた（上記した実施例１では等しい第１透過部材からなる）第１基板１３と第３基板１９とを通過する距離を調整するものであることから、第１基板１３内での通過距離の変化を連続的なものとすることができるとともに、第３基板１９内での通過距離の変化を連続的なものとすることができるので、全体としての透過率を連続的に変化させることができる。

光量調整機構１０では、第１基板１３と第３基板１９との厚さ寸法の変化が位置調整方向Ｐでの位置に対して逆向きとするとともに、第１基板１３での第１光路面１５と第１接合面１６とが為す角度と、第３基板１９での第３光路面２１と第３接合面２２とが為す角度と、をともに所定の角度θとしていることから、位置調整方向Ｐでの第１光路面１５（第１基板１３）に対する入射位置に拘らず、位置調整方向Ｐでの第３光路面２１（第３基板１９）に対する入射位置を適宜設定しても、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して径方向で見た透過率の差（差異）が生じることの防止の効果を得ることができる。

光量調整機構１０では、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂを、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材１１を通過させるとともに、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材１２を通過させることにより、その光束Ｂの径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。このため、透過させた所定のビーム径を有する光束Ｂにおいて、径方向で見た位置に拘らず、所定の量だけ光量を減少させることができるとともに、他の性質の変化が生じることを防止することができる。換言すると、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、光量を均一に減少させることを除くと、なんらの変化を招くことなく透過させることができる。

光量調整機構１０では、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂを、入射側フィルタ部材１１において厚さ方向Ｔ１での両端に渡って第１基板１３を通過させるとともに、出射側フィルタ部材１２において厚さ方向Ｔ３での両端に渡って第３基板１９を通過させることにより、その光束Ｂの径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。このため、透過させた所定のビーム径を有する光束Ｂにおいて、径方向で見た位置に拘らず、所定の量だけ光量を減少させることができるとともに、他の性質の変化が生じることを防止することができる。

光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２も同様である）の第１基板１３が、通過する単位距離で見た透過率（単位距離辺りの減光率）を一定とするとともに、その第１光路面１５が光路方向Ｏｐに対して交わる（実施例１では直交する）平坦面とされかつ第１接合面１６が位置調整方向Ｐの正側に交線を有し第１光路面１５に対して所定の角度θとなる平坦面とされていることから、第１光路面１５における位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて光量を減少（減光）することができ、その位置調整方向Ｐでの入射位置の変化に対する減光率の変化を連続的なものとすることができる。

光量調整機構１０では、実質的な減光率を規定する第１基板１３（第３基板１９も同様である）が、全体に均一（一様）な透過率の部材（第１透過部材）を用いて、第１光路面１５としての平坦面を設けかつその第１光路面１５と厚さ方向Ｔ１で見た反対側となる箇所に第１接合面１６としての平坦な面を設けることにより形成されていることから、容易に連続する減光率の変化を得ることができるとともに、容易に減光率の変更可能な幅（レンジ）を大きくすることができる。

光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２も同様である）が、屈折率の略等しい第１基板１３と第２基板１４とが、第１接合面１６と第２接合面１８とを面当接させた状態で結合されて構成されていることから、光路方向Ｏｐに沿って入射する光束Ｂを、光路方向Ｏｐに直交する面で見た位置を実質的に変化させることなく光路方向Ｏｐに沿って出射させることができる。換言すると、光量調整機構１０では、入射する際の光束Ｂと出射される際の光束Ｂとにおける進行する方向が為す角度（以下では、透過偏角ともいう）に変化を生じさせることを防止することができ、かつ入射する際の光束Ｂと出射される際の光束Ｂとにおける光路方向Ｏｐに直交する面で見た位置に変化（差異（以下では、光軸段差ともいう））を生じさせることを防止することができる。このため、所定の光学系の光路に対して適宜挿入したり離脱させたりしてもその光路（その光軸位置）の変更を招くことがないので、当該光学系の光路を通過する光量を適宜調節することができる。

光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２も同様である）が、屈折率の略等しい第１基板１３と第２基板１４とが、第１接合面１６と第２接合面１８とを面当接させた状態で結合されて構成されていることから、入射した光束Ｂが第１基板１３から第２基板１４へと進行する際、位置調整方向Ｐで見た位置の差異による通過距離に変化（以下では、平行変化ともいう）が生じることを防止することができる。

光量調整機構１０では、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂを、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材１１を通過させるとともに、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材１２を通過させることにより、入射する際の光束Ｂと出射される際の光束Ｂとにおいて、透過偏角をなくすことができかつ光軸段差をなくすことができるとともに、光束Ｂにおける平行変化をなくすことができる。

光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１および出射側フィルタ部材１２が、光路方向Ｏｐに沿って入射する光束Ｂを、光路方向Ｏｐに直交する面で見た位置を実質的に変化させることなく光路方向Ｏｐに沿って出射させることができることから、位置調整方向Ｐでの相対的な入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２との位置関係に拘らず、所定の光学系の光路に対して適宜挿入したり離脱させたりしてもその光路（その光軸位置）の変更を招くことがない（透過偏角および光軸段差がない）ので、当該光学系の光路を通過する光量を適宜調節することができる。

光量調整機構１０では、実質的な減光率を規定する第１基板１３と第３基板１９とが、全体に均一（一様）で同一の透過率の部材（実施例１では同一の第１透過部材）から形成されていることから、光路方向Ｏｐで見た第１基板１３および第３基板１９での通過距離に対する減光率の関係性を一定なものとすることができるので、減光率の調整を容易なものとすることができる。

光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２も同様である）の第１基板１３が、全体に均一（一様）で同一の透過率の部材からなり平坦な第１光路面１５およびそこと所定の角度θを為す平坦な第１接合面１６を有するものであればよいことから、第１透過部材からなる立体形状を第１光路面１５としての平坦面を設けかつその第１光路面１５と厚さ方向Ｔ１で見た反対側となる箇所に第１接合面１６としての平坦な面を設けるだけで形成することができる、すなわち第１透過部材を適宜切削加工や研磨加工等により成形するだけで形成することができることから、容易にかつ高い精度で製造することができる。

光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１（出射側フィルタ部材１２も同様である）において、第１透過部材を適宜切削加工や研磨加工等により成形して第１基板１３を形成するとともに、第２透過部材を適宜切削加工や研磨加工等により成形して第２基板１４を形成して、その第１光路面１５と第２光路面１７とを平行としつつ第１接合面１６と第２接合面１８とを面当接させて互いに接合して第１基板１３と第２基板１４とを結合させることにより得ることができるので、容易にかつ高い精度で製造することができる。

光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１の第１基板１３の第１光路面１５と出射側フィルタ部材１２の第３基板１９の第３光路面２１とを平行な位置関係とするとともに、位置調整方向Ｐでの位置に対する厚さ寸法の変化を第１基板１３と第３基板１９とで逆向きとして、入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２とを並列させた状態で、位置調整方向Ｐへと相対的に位置関係を変更可能とすることにより、得ることができるので、容易にかつ高い精度で製造することができる。

光量調整機構１０では、入射側フィルタ部材１１および出射側フィルタ部材１２を高い精度で形成することができることから、入射側フィルタ部材１１および出射側フィルタ部材１２における直線で示す光学濃度特性およびその光学濃度勾配を高い精度で設定することができるので、精密に光量を調整することができる。

したがって、本発明に係る光量調整機構１０では、減光率の変更を可能としつつ、所定のビーム径を有する光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。

なお、上記した実施例１では、第１基板１３（第３基板１９）の第１透過部材として、透過率が５０％（ＮＤ５０（波長の変化に対して透過率が一定な（波長依存性のない）部材））のもの（部材）が用いられていたが、異なる透過率の部材であってもよく、波長依存性を有する部材であってもよく、上記した実施例１に限定されるものではない。この波長依存性を有する第１透過部材の例として、ＬＢ８０（フィルタの特性としてのＪＩＳ−Ｂ７１２５に規定されるＢＲ変換能力が８０ミレッド）の色温度変換機能を有するもの（部材）があげられる。この色温度変換機能を有する部材は、屈折率が１．５４８であるとする。この部材（屈折率が１．５４８）からなる第１透過部材を用いて第１基板１３（第３基板１９）を形成する場合、第２基板１４（第４基板２０）の第２透過部材として、例えば、上記した実施例１と同様の第２透過部材であって、その屈折率が１．５４８１４であるものを選定して形成することにより、略等しい屈折率とすることができる。

また、上記した実施例１では、光量を調整する対象とする光（光束）に対して、その進行方向が光路方向Ｏｐに沿う方向となるように光量調整機構１０（入射側フィルタ部材１１および出射側フィルタ部材１２）を配していたが、対象とする光（光束）の進行方向が光路方向Ｏｐに対して傾斜させて光量調整機構１０を配してもよく（図１６参照）、上記した実施例１に限定されるものではない。この場合、図１６に示すように、対象とする光束Ｂ（光）において、光量調整機構１０（その入射側フィルタ部材１１）に入射する前と光量調整機構１０（その出射側フィルタ部材１２）から出射された後とで、進行方向が互いに平行ではある（透過偏角はない）が、その進行方向に直交する面で見た位置が変化（平行移動）してしまう（光軸段差は生じてしまう）。しかしながら、このことを除くと上記した各効果を得ることができる。ここで、図示は略すが、透過性を有する平行平板（例えば、後述する補正光学部材３１（図２４参照））を適宜傾斜させて設けることにより、光軸段差もないものとすることができる。

さらに、上記した実施例１では、入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２とにおける第１基板１３と第２基板１４と第３基板１９と第４基板２０との位置関係が、図１０、図１１、図１４および図１５に示すものとされていたが、位置調整方向Ｐでの位置に対する厚さ寸法の変化を第１基板１３と第３基板１９とで逆向きとし、かつ第１基板１３での第１光路面１５と第１接合面１６とが為す角度と第３基板１９での第３光路面２１と第３接合面２２とが為す角度とをともに所定の角度θとし、さらに第１基板１３と第３基板１９とを全体に均一（一様）で同一の透過率の部材（実施例１では同一の第１透過部材）から形成するものであればよく、上記した実施例１に限定されるものではない。この各基板の位置関係の他の例を、図１７に示す。なお、以下の説明では、光路方向Ｏｐを上下方向ともいい、位置調整方向Ｐを左右方向ともいう。図１７（ａ）に示す光量調整機構１０Ａは、入射側フィルタ部材１１Ａを上記した実施例１の入射側フィルタ部材１１と同様の構成とするとともに、出射側フィルタ部材１２Ａを上記した実施例１の出射側フィルタ部材１２を上下反転させた構成としたものである。すなわち、この光量調整機構１０Ａの出射側フィルタ部材１２Ａでは、第３基板１９の第３光路面２１が、入射側フィルタ部材１１Ａの第２基板１４の第２光路面１７と光路方向Ｏｐで対向されるとともに、第４基板２０の第４光路面２３で光量調整機構１０Ａの出射面を構成している。図１７（ｂ）に示す光量調整機構１０Ｂは、入射側フィルタ部材１１Ｂを上記した実施例１の入射側フィルタ部材１１を上下および左右に反転させた構成とするとともに、出射側フィルタ部材１２Ｂを上記した実施例１の出射側フィルタ部材１２を上下および左右に反転させた構成としたものである。すなわち、この光量調整機構１０Ｂの入射側フィルタ部材１１Ｂでは、第２基板１４の第２光路面１７で光量調整機構１０Ｂの入射面を構成するとともに、第１基板１３の第１光路面１５が出射側フィルタ部材１２Ｂと光路方向Ｏｐで対向される。また、光量調整機構１０Ｂの出射側フィルタ部材１２Ｂでは、第３基板１９の第３光路面２１が、入射側フィルタ部材１１Ｂの第１基板１３の第１光路面１５と光路方向Ｏｐで対向されるとともに、第４基板２０の第４光路面２３で光量調整機構１０Ｂの出射面を構成している。図１７（ｃ）に示す光量調整機構１０Ｃは、入射側フィルタ部材１１Ｃを上記した入射側フィルタ部材１１Ｂと同様の構成とするとともに、出射側フィルタ部材１２Ｃを上記した実施例１の出射側フィルタ部材１２を左右反転させた構成としたものである。この図１７に示す各光量調整機構１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃでは、いずれも所定のビーム径を有する光束Ｂに対して径方向で見た透過率を均一なものとしつつ、その透過率を連続的に変化させることができる。また、この各光量調整機構１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃでは、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂを、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材（１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ）を通過させるとともに、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材（１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ）を通過させることにより、その光束Ｂの径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。さらに、各光量調整機構１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃでは、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂを、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材（１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ）を通過させるとともに、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材（１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ）を通過させることにより、入射する際の光束Ｂと出射される際の光束Ｂとにおいて、透過偏角をなくすことができかつ光軸段差をなくすことができるとともに、光束Ｂにおける平行変化をなくすことができる。

上記した実施例１では、第１基板１３と第２基板１４と第３基板１９と第４基板２０とが同一の形状および大きさ寸法とされていたが、位置調整方向Ｐでの位置に対する厚さ寸法の変化を第１基板１３と第３基板１９とで逆向きとし、かつ第１基板１３での第１光路面１５と第１接合面１６とが為す角度と第３基板１９での第３光路面２１と第３接合面２２とが為す角度とをともに所定の角度θとし、さらに第１基板１３と第３基板１９とを全体に均一（一様）で同一の透過率の部材（実施例１では同一の第１透過部材）から形成するものであればよく、上記した実施例１に限定されるものではない。この異なる形状および大きさ寸法の各基板により構成された例を図１８に示す。図１８（ａ）に示す光量調整機構１０Ｄは、入射側フィルタ部材１１Ｄを上記した実施例１の入射側フィルタ部材１１と同様の構成とするとともに、出射側フィルタ部材１２Ｄを上記した実施例１の出射側フィルタ部材１２に比べて小さな大きさ寸法としたものである。図１８（ｂ）に示す光量調整機構１０Ｅは、入射側フィルタ部材１１Ｅにおいて、第１基板１３Ｅを上記した実施例１の第１基板１３と同様の構成とし、かつ第２基板１４Ｅを上記した実施例１の第２基板１４に比べて大きな大きさ寸法とするとともに、出射側フィルタ部材１２Ｅにおいて、第４基板２０Ｅを上記した実施例１の第４基板２０と同様の構成とし、かつ第３基板１９Ｅを上記した実施例１の第３基板１９に比べて大きな大きさ寸法であって大きな厚さ寸法としたものである。この図１８に示す各光量調整機構１０Ｄ、１０Ｅでは、いずれも所定のビーム径を有する光束Ｂに対して径方向で見た透過率を均一なものとしつつ、その透過率を連続的に変化させることができる。また、この各光量調整機構１０Ｄ、１０Ｅでは、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂを、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材（１１Ｄ、１１Ｅ）を通過させるとともに、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材（１２Ｄ、１２Ｅ）を通過させることにより、その光束Ｂの径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。さらに、各光量調整機構１０Ｄ、１０Ｅでは、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂを、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材（１１Ｄ、１１Ｅ）を通過させるとともに、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材（１２Ｄ、１２Ｅ）を通過させることにより、入射する際の光束Ｂと出射される際の光束Ｂとにおいて、透過偏角をなくすことができかつ光軸段差をなくすことができるとともに、光束Ｂにおける平行変化をなくすことができる。

上記した実施例１では、第１基板１３と第２基板１４と第３基板１９と第４基板２０とがそれぞれの厚さ方向（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４）で見て矩形状とされていたが、平坦な光路面と、その厚さ方向で見た反対側に光路面に対して所定の角度で傾斜された平坦な接合面と、を有するものであれば、厚さ方向で見た形状は他の形状（例えば、円形や楕円形等）であってもよく、上記した実施例１に限定されるものではない。

上記した実施例１では、光量調整機構における保持機構が、入射側開口部６１から出射側開口部６２へと至る光路を規定する遮蔽筐体５３に固定された入射側移動機構５１および出射側移動機構５２により構成されていたが、位置調整方向Ｐへの相対的な移動を可能とすべく入射側フィルタ部材１１と出射側フィルタ部材１２とを保持するものであればよく、上記した実施例１に限定されるものではない。

上記した実施例１では、位置調整方向Ｐを厚さ方向Ｔ１（光路方向Ｏｐ）に直交する方向としていたが、第１光路面１５および第３光路面２１を通過する単一の直線光路（実施例１では光路方向Ｏｐ）に交わる方向であって、位置の変化に伴い第１光路面１５（第３光路面２１）を基準とする第１接合面１６（第３接合面２２）までの距離（間隔）を連続して変化させる方向であればよく、上記した実施例１に限定されるものではない。

上記した実施例１では、光路方向Ｏｐを厚さ方向Ｔ１に一致させるものとしていたが、第１光路面１５を経て入射側フィルタ部材１１を通過させるとともに第３光路面２１を経て出射側フィルタ部材１２を通過させることができるものであればよく、上記した実施例１に限定されるものではない。

次に、本発明の実施例２の光量調整機構１０Ｆについて、図１９から図２１を用いて説明する。この実施例２は、光量調整機構１０Ｆの入射側フィルタ部材１１Ｆおよび出射側フィルタ部材１２Ｆの構成が実施例１の光量調整機構１０とは異なる例である。この実施例２の光量調整機構１０Ｆは、基本的な構成は上記した実施例１の光量調整機構１０と同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。図１９は、光量調整機構１０Ｆの入射側フィルタ部材１１Ｆを示す図１２と同様の説明図である。図２０は、光量調整機構１０Ｆを示す図１４と同様の説明図である。図２１は、光量調整機構１０Ｆにおいて、入射面（第１光路面１５）に傾斜して光路方向Ｏｐを設定した様子を示す図２０と同様の説明図である。図２２は、光量調整機構１０Ｆにおける他の効果を説明するための説明図であり、（ａ）が、入射側フィルタ部材１１Ｆの位置が位置調整方向Ｐの負側とされるとともに、出射側フィルタ部材１２Ｆの位置が位置調整方向Ｐの正側とされた状態を示し、（ｂ）が、入射側フィルタ部材１１Ｆの位置が位置調整方向Ｐの正側とされるとともに、出射側フィルタ部材１２Ｆの位置が位置調整方向Ｐの負側とされた状態を示す。なお、図２１の例では、位置の変化に伴い第１基板１３および第３基板１９の厚さ寸法が変化する方向であって、光路方向Ｏｐを通りかつ入射面（第１光路面１５）および出射面（第３光路面２１）に沿う方向を位置調整方向Ｐに設定している。

入射側フィルタ部材１１Ｆでは、図１９に示すように、第１基板１３と第２基板１４との間に所定の間隔Ｓ１を設けている。すなわち、第１接合面１６と第２接合面１８とが、互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ１を置いて対向されて、第１基板１３と第２基板１４との相対的な位置関係が設定されている。また、光量調整機構１０Ｆでは、出射側フィルタ部材１２Ｆも同様に、第３接合面２２と第４接合面２４とが、互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ２を置いて対向されて、第３基板１９と第４基板２０との相対的な位置関係が設定されている（図２０参照）。

この実施例２の入射側フィルタ部材１１Ｆに対して、光路方向Ｏｐに沿って光束Ｂ（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３）が進行してきたものとする。その光束Ｂは、第１光路面１５における入射位置に拘らず当該第１光路面１５から第１基板１３内へと進入し、第１基板１３内においても光路方向Ｏｐに沿って進行し、第１接合面１６に至る。その第１接合面１６は、光路方向Ｏｐに対して傾斜されているとともに、周辺雰囲気（空気）との境界面とされていることから、光束Ｂは、第１基板１３の屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第１接合面１６への入射角度と、に応じて屈折されて、第１基板１３外に出射されて、第２基板１４（その第２接合面１８）へと向かう。

その後、光束Ｂは、第２接合面１８から第２基板１４内へと進入する。このとき、光束Ｂの進行方向と第２接合面１８とは、直交関係とはされていないことから、第２基板１４の屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第２接合面１８への光束Ｂの入射角度と、に応じて屈折されて、第２基板１４内へと進入する。ここで、第１基板１３と第２基板１４とが略等しい屈折率とされているとともに、第１接合面１６と第２接合面１８とが平行とされている。このため、光束Ｂは、第２接合面１８から第２基板１４内へと進入する際の屈折により、第２基板１４内において光路方向Ｏｐに沿って進行し、第２光路面１７に至る。その光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂは、その進行方向が第２光路面１７に直交するものであることから、その第２光路面１７における出射位置に拘らず、当該第２光路面１７から光路方向Ｏｐに沿って第２基板１４外に出射される。

このとき、光束Ｂ（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３）は、入射側フィルタ部材１１Ｆにおいて、第１基板１３内を光路方向Ｏｐすなわち厚さ方向Ｔ１に沿って透過していることから、実施例１の入射側フィルタ部材１１と同様に、第１基板１３を通過した距離に応じて光量が減少（減光）される。その第１基板１３内の通過距離は、第１光路面１５における位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて、第１基板１３内の通過距離が漸次的に連続して変化する。位置調整方向Ｐの負側の端部に入射する光束を光束Ｂ１とし、位置調整方向Ｐの中心位置に入射する光束を光束Ｂ２とし、位置調整方向Ｐの正側の端部に入射する光束を光束Ｂ３とすると、第１基板１３内の通過距離は、光束Ｂ１の通過距離Ｌ１、光束Ｂ２の通過距離Ｌ２、光束Ｂ３の通過距離Ｌ３の順に漸次的に短くなるので、光束Ｂ１、光束Ｂ２、光束Ｂ３の順に漸次的に光量の減少量が少なくなる。

このように、入射側フィルタ部材１１Ｆ（出射側フィルタ部材１２Ｆも同様である）では、屈折率の略等しい第１基板１３と第２基板１４とが、第１接合面１６と第２接合面１８とが互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ１を置いて対向されて、構成されていることから、光路方向Ｏｐに沿って入射する光束Ｂ（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３）を、第１光路面１５における位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて光量を減少（減光）させて、光路方向Ｏｐに沿って出射させることができる。なお、入射側フィルタ部材１１Ｆ（出射側フィルタ部材１２Ｆも同様である）では、光路方向Ｏｐに直交する面で見た入射位置に対する出射位置が、第１基板１３および第２基板１４の屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第１接合面１６および第２接合面１８の光路方向Ｏｐに対する傾斜角度と、第１接合面１６と第２接合面１８との所定の間隔Ｓ１と、に応じて変化（平行移動）する。

また、入射側フィルタ部材１１Ｆ（出射側フィルタ部材１２Ｆも同様である）では、光路方向Ｏｐに対して傾斜する方向に進行する光束Ｂ４に対しても、その進行方向の光路方向Ｏｐに対する傾斜角度に応じて、第１基板１３内の通過距離が変化することを除くと、同様の効果を得ることができる。このとき、入射側フィルタ部材１１Ｆ（出射側フィルタ部材１２Ｆも同様である）では、屈折率の略等しい第１基板１３と第２基板１４とが、第１接合面１６と第２接合面１８とが互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ１を置いて対向されて、構成されていることから、入射する光束Ｂ４を、第１光路面１５における位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて光量を減少（減光）させて、入射したときと平行な方向で出射させることができる。

この入射側フィルタ部材１１Ｆおよび出射側フィルタ部材１２Ｆを有する光量調整機構１０Ｆでは、図２０および図２１に示すように、光路に対する入射側フィルタ部材１１Ｆの位置（位置調整方向Ｐで見た入射側フィルタ部材１１Ｆへの光束Ｂの入射位置）と、光路に対する出射側フィルタ部材１２Ｆの位置（位置調整方向Ｐで見た出射側フィルタ部材１２Ｆへの光束Ｂの入射位置）と、を適宜調整することにより、光束Ｂの透過量すなわち全体としての減光率を適宜調整することができる。このとき、光量調整機構１０Ｆでは、対象とする光束Ｂに対する入射側フィルタ部材１１Ｆの位置調整方向Ｐでの位置の変化により第１基板１３内での通過距離を調整し、かつ出射側フィルタ部材１２Ｆの位置調整方向Ｐでの位置の変化により第３基板１９内での通過距離を調整するものであることから、第１基板１３内での通過距離の変化を連続的なものとすることができるとともに、第３基板１９内での通過距離の変化を連続的なものとすることができるので、全体としての透過率を連続的に変化させることができる。また、光量調整機構１０Ｆでは、入射側フィルタ部材１１Ｆおよび出射側フィルタ部材１２Ｆが、それぞれ入射する光（光束）の進行方向と平行な方向に出射させつつ光量を減少（減光）させることができるので、入射する光（光束）の進行方向と平行な方向に出射させつつ、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して径方向で見た透過率を均一なものとして、その透過率を連続的に変化させることができる。加えて、光量調整機構１０Ｆでは、厚さ方向Ｔ１での両端に渡って第１基板１３を通過させるとともに厚さ方向Ｔ２での両端に渡って第２基板１４を通過させることで、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材１１Ｆを通過させ、かつ厚さ方向Ｔ４での両端に渡って第４基板２０を通過させるとともに厚さ方向Ｔ３での両端に渡って第３基板１９を通過させることで、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材１２Ｆを通過させることにより、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。しかも、各光量調整機構１０Ｆでは、厚さ方向Ｔ１での両端に渡って第１基板１３を通過させるとともに厚さ方向Ｔ２での両端に渡って第２基板１４を通過させることで、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材１１Ｆを通過させ、かつ厚さ方向Ｔ４での両端に渡って第４基板２０を通過させるとともに厚さ方向Ｔ３での両端に渡って第３基板１９を通過させることで、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材１２Ｆを通過させることにより、入射する際の光束Ｂと出射される際の光束Ｂとにおいて、透過偏角をなくすことができる。ついで、各光量調整機構１０Ｆでは、屈折率の略等しい第１基板１３と第２基板１４とが、第１接合面１６と第２接合面１８とが互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ１を置いて対向されて、入射側フィルタ部材１１Ｆが構成されているとともに、屈折率の略等しい第３基板１９と第４基板２０とが、第３接合面２２と第４接合面２４とが互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ２を置いて対向されて、出射側フィルタ部材１２Ｆが構成されていることから、厚さ方向Ｔ１（Ｔ２）での両端に渡って入射側フィルタ部材１１Ｆを通過させるとともに厚さ方向Ｔ３（Ｔ４）での両端に渡って出射側フィルタ部材１２Ｆを通過させることで、光束Ｂにおける平行変化をなくすことができる。

実施例２の光量調整機構１０Ｆでは、基本的に実施例１のレンズ鏡胴１０と同様の構成であることから、対象とする光束Ｂ（光）において、光量調整機構１０Ｆ（その入射側フィルタ部材１１Ｆ）に入射する前と光量調整機構１０Ｆ（その出射側フィルタ部材１２Ｆ）から出射された後とで、その進行方向に直交する面で見た位置が変化（平行移動）することを除くと、基本的に実施例１と同様の効果を得ることができる。

加えて、実施例２の光量調整機構１０Ｆでは、広がり角を有する光束Ｂ´に対して用いた場合であっても、入射側フィルタ部材１１Ｆと出射側フィルタ部材１２Ｆとの位置調整方向Ｐでの相対的な位置に変化に拘らず、光路が変化することを防止することができる。これについて、図２２を用いて説明する。図２２に示す例では、実施例１と同様の発光部４１（図６参照）から出射された光を、入射側レンズ４５で進行するに連れて径寸法が増大する拡大光束として入射側フィルタ部材１１Ｆ（その第１基板１３）に入射させるとともに、その入射側フィルタ部材１１Ｆおよび出射側フィルタ部材１２Ｆを経て、出射側フィルタ部材１２Ｆ（第３基板１９）から出射された光束を出射側レンズ４６で集光して受光部４２で受光させる。この光量調整機構１０Ｆでは、図２２の（ａ）と（ｂ）とを比較しても明らかなように、入射側フィルタ部材１１Ｆと出射側フィルタ部材１２Ｆとの位置調整方向Ｐでの相対的な位置を変化させても、光学的距離すなわち光路長が等しいことから、入射側フィルタ部材１１Ｆと出射側フィルタ部材１２Ｆとにおける通過距離に変化が生じることはない。なお、図２２（ｂ）では、理解容易のために、（ａ）における光（光線）の軌跡を破線で示している。このことから、広がり角を有する光束Ｂ´における周辺光（進行するに連れて径寸法が大きくされた箇所）においても、実質的に全く同様の光路長とすることができる。このため、光量調整機構１０Ｆでは、入射側レンズ４５と出射側レンズ４６との相対的な位置関係を固定したままで、入射側レンズ４５および出射側レンズ４６も変更することなく、その間を通る光の光量を適宜調節することができる。このことは、実施例１の光量調整機構１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅにおいても、入射側フィルタ部材（１１等）と出射側フィルタ部材（１２等）との位置調整方向Ｐでの相対的な位置に拘らず光学的距離すなわち光路長が等しいことから、同様の効果を得ることができる。

したがって、実施例２の光量調整機構１０Ｆでは、減光率の変更を可能としつつ、所定のビーム径を有する光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。

なお、上記した実施例２では、入射側フィルタ部材１１Ｆにおける第１接合面１６および第２接合面１８と、出射側フィルタ部材１２Ｆにおける第３接合面２２および第４接合面２４と、が、それぞれ同一の傾斜方向とされていたが、図２３に示す光量調整機構１０Ｆ´のような位置関係とすることもできる。この光量調整機構１０Ｆ´の出射側フィルタ部材１２Ｆ´では、光路方向Ｏｐを上下方向として、上記した出射側フィルタ部材１２Ｆを上下反転させた構成とされている。光量調整機構１０Ｆ´では、第３基板１９の第３光路面２１が、入射側フィルタ部材１１Ｆの第２基板１４の第２光路面１７と光路方向Ｏｐで対向されるとともに、第４基板２０の第４光路面２３で出射面を構成している。このため、光量調整機構１０Ｆ´では、入射側フィルタ部材１１Ｆと出射側フィルタ部材１２Ｆ´とが平行な状態、すなわち入射側フィルタ部材１１Ｆの第１光路面１５および第２光路面１７と、出射側フィルタ部材１２Ｆ´の第３光路面２１および第４光路面２３と、の４つの光路面が互いに平行とされている。また、光量調整機構１０Ｆ´では、位置調整方向Ｐでの位置に対する厚さ寸法の変化を第１基板１３と第３基板１９とで逆向きとされている。そして、光量調整機構１０Ｆ´では、入射側フィルタ部材１１Ｆにおいて互いに平行とされた第１接合面１６および第２接合面１８の間隔Ｓ１と、出射側フィルタ部材１２Ｆ´において互いに平行とされた第３接合面２２および第４接合面２４の間隔Ｓ２と、が等しいものとされている。加えて、光量調整機構１０Ｆ´では、入射側フィルタ部材１１Ｆにおいて互いに平行とされた第１接合面１６および第２接合面１８の傾斜方向と、出射側フィルタ部材１２Ｆ´において互いに平行とされた第３接合面２２および第４接合面２４の傾斜方向と、が逆向きとされている。換言すると、第１接合面１６および第２接合面１８が存在する面と、第３接合面２２および第４接合面２４が存在する面と、が互いに交わるものとされている。この光量調整機構１０Ｆ´では、位置調整方向Ｐで見て、入射側フィルタ部材１１Ｆにおける入射する前の光束Ｂ（光）に対する出射された後の光束Ｂ（光）の位置の変化（平行移動）する方向と、出射側フィルタ部材１２Ｆ´における入射する前の光束Ｂ（光）に対する出射された後の光束Ｂ（光）の位置の変化（平行移動）する方向と、を逆向きとしつつその変化量（平行移動量）を等しくすることができるので、入射側フィルタ部材１１Ｆおよび出射側フィルタ部材１２Ｆ´を通過させることにより、光束Ｂ（光）の位置の変化（平行移動）を打ち消す（相殺する）ことができる。このため、光量調整機構１０Ｆ´では、光量調整機構１０Ｆと同様の効果を得ることができるとともに、対象とする光束Ｂ（光）において、光量調整機構１０Ｆ´（その入射側フィルタ部材１１Ｆ）に入射する前と光量調整機構１０Ｆ´（その出射側フィルタ部材１２Ｆ´）から出射された後とで、その進行方向に直交する面で見た位置を実質的に変化させることなくす、すなわち透過偏角および光軸段差をなくすことができる。

また、上記した実施例２では、入射側フィルタ部材１１Ｆと出射側フィルタ部材１２Ｆとにより光量調整機構１０Ｆが構成されていたが、図２４に示す光量調整機構１０Ｆ´´のような構成とすることもできる。この光量調整機構１０Ｆ´´は、光量調整機構１０Ｆと同様の入射側フィルタ部材１１Ｆと出射側フィルタ部材１２Ｆとに、補正光学部材３１を加えたものである。その補正光学部材３１は、光量調整の対象とする光の透過を許す部材で形成されており、直方体形状を呈する。すなわち、補正光学部材３１は、光路方向Ｏｐを上下方向とし、上側を入射面３１ａとしかつ下側を出射面３１ｂとして、入射面３１ａと出射面３１ｂとが平行とされた平行平板状を呈する。補正光学部材３１は、光路方向Ｏｐで見て、出射側フィルタ部材１２Ｆの出射側に設けられており、その第３基板１９の第３光路面２１に入射面３１ａが光路方向Ｏｐで対向されている。また、補正光学部材３１は、入射面３１ａおよび出射面３１ｂを光路方向Ｏｐに対して傾斜させて設けられている。このため、光量調整機構１０Ｆ´´では、入射側フィルタ部材１１Ｆおよび出射側フィルタ部材１２Ｆを透過した光束Ｂが、入射面３１ａから補正光学部材３１内へと進行して出射面３１ｂから出射される。ここで、入射面３１ａおよび出射面３１ｂでは、光束Ｂの進行方向（光路方向Ｏｐ）に対して傾斜されているとともに、周辺雰囲気（空気）との境界面とされていることから、光束Ｂは、補正光学部材３１の屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、入射面３１ａへの入射角度と、出射面３１ｂからの出射角度と、に応じて屈折されることとなる。また、入射面３１ａと出射面３１ｂとは、互いに平行とされていることから、補正光学部材３１へと入射する前の光束Ｂと、補正光学部材３１から出射された後の光束Ｂと、では、互いに平行な方向で進行する。この光量調整機構１０Ｆ´´では、入射側フィルタ部材１１Ｆに入射する前の光束Ｂと、入射側フィルタ部材１１Ｆおよび出射側フィルタ部材１２Ｆを透過した光束Ｂと、における位置の変化量を打ち消すことが可能とすべく、補正光学部材３１の屈折率、その補正光学部材３１の厚さ寸法（入射面３１ａと出射面３１ｂとの間隔）および光路方向Ｏｐに対する傾斜姿勢（傾斜角度および傾斜方向）を設定している。このため、光量調整機構１０Ｆ´´では、光量調整機構１０Ｆと同様の効果を得ることができるとともに、対象とする光束Ｂ（光）において、光量調整機構１０Ｆ´´（その入射側フィルタ部材１１Ｆ）に入射する前と光量調整機構１０Ｆ´´（その出射側フィルタ部材１２Ｆ）から出射された後とで、その進行方向に直交する面で見た位置を実質的に変化させることなくす、すなわち透過偏角および光軸段差をなくすことができる。

さらに、上記した実施例２では、入射側フィルタ部材１１Ｆと出射側フィルタ部材１２Ｆとにより光量調整機構１０Ｆが構成されていたが、図２５に示す光量調整機構１０Ｖのような構成とすることもできる。この光量調整機構１０Ｖは、第１基板１３Ｖおよび第２基板１４Ｖを有する入射側フィルタ部材１１Ｖと、第３基板１９Ｖおよび第４基板２０Ｖを有する出射側フィルタ部材１２Ｖと、からなる。その第１基板１３Ｖは、第１光路面１５Ｖと第１接合面１６Ｖとが所定の角度θ１の角度を為して実施例１の第１透過部材から形成され、第２基板１４Ｖは、第２接合面１８Ｖと第２光路面１７Ｖとが同じく所定の角度θ１の角度を為して実施例１の第２透過部材から形成されている。この入射側フィルタ部材１１Ｖでは、第１接合面１６Ｖと第２接合面１８Ｖとが所定の間隔Ｓ１で平行とされて、第１基板１３Ｖと第２基板１４Ｖとの位置関係が規定されている。また、第３基板１９Ｖは、第３光路面２１Ｖと第３接合面２２Ｖとが所定の角度θ２の角度を為して第４透過部材から形成され、第４基板２０Ｖは、第４接合面２４Ｖと第４光路面２３Ｖとが同じく所定の角度θ１の角度を為して第５透過部材から形成されている。この出射側フィルタ部材１２Ｖでは、第３接合面２２Ｖと第４接合面２４Ｖとが所定の間隔Ｓ２で平行とされて、第３基板１９Ｖと第４基板２０Ｖとの位置関係が規定されている。その第４透過部材は、第１透過部材と異なる屈折率および透過率とされており、第１透過部材と同様に形成されている。第５透過部材は、第２透過部材と異なる屈折率であって第４透過部材と等しい屈折率とされ、第２透過部材と同様に形成されている。この第３基板１９Ｖでは、第４透過部材における透過率を鑑みて、第１基板１３Ｖと同様に直線で示す光学濃度特性であってその光学濃度勾配を第１基板１３Ｖと等しくすべく、所定の角度θ２が設定されている。このため、光量調整機構１０Ｖでは、光量調整機構１０Ｆと同様の効果を得ることができる。

ついで、上記した実施例２では、入射側フィルタ部材１１Ｆと出射側フィルタ部材１２Ｆとにより光量調整機構１０Ｆが構成されていたが、図２６に示す光量調整機構１０Ｖ´のような構成とすることもできる。この光量調整機構１０Ｖ´は、第１基板１３Ｖ´および第２基板１４Ｖ´を有する入射側フィルタ部材１１Ｖ´と、第３基板１９Ｖ´および第４基板２０Ｖ´を有する出射側フィルタ部材１２Ｖ´と、からなる。その第１基板１３Ｖ´は、第１光路面１５Ｖ´と第１接合面１６Ｖ´とが所定の角度θ３の角度を為して実施例１の第１透過部材から形成され、第２基板１４Ｖ´は、第２接合面１８Ｖ´と第２光路面１７Ｖ´とが同じく所定の角度θ３の角度を為して実施例１の第２透過部材から形成されている。この入射側フィルタ部材１１Ｖ´では、第１接合面１６Ｖ´と第２接合面１８Ｖ´とが所定の間隔Ｓ１で平行とされて、第１基板１３Ｖ´と第２基板１４Ｖ´との位置関係が規定されている。また、第３基板１９Ｖ´は、第３光路面２１Ｖ´と第３接合面２２Ｖ´とが所定の角度θ４の角度を為して第６透過部材から形成され、第４基板２０Ｖ´は、第４接合面２４Ｖ´と第４光路面２３Ｖ´とが同じく所定の角度θ４の角度を為して実施例１の第２透過部材から形成されている。この出射側フィルタ部材１２Ｖ´では、第３接合面２２Ｖ´と第４接合面２４Ｖ´とが所定の間隔Ｓ２で平行とされて、第３基板１９Ｖ´と第４基板２０Ｖ´との位置関係が規定されている。その第６透過部材は、第１透過部材と等しい屈折率とされ、かつその第１透過部材と異なる透過率とされており、第１透過部材と同様に形成されている。この第３基板１９Ｖ´では、第６透過部材における透過率を鑑みて、第１基板１３Ｖ´と同様に直線で示す光学濃度特性であってその光学濃度勾配を第１基板１３Ｖ´と等しくすべく、所定の角度θ４が設定されている。このため、光量調整機構１０Ｖ´では、光量調整機構１０Ｆと同様の効果を得ることができる。

次に、本発明の実施例３の光量調整機構１０Ｇについて、図２７を用いて説明する。この実施例３は、光量調整機構１０Ｇの入射側フィルタ部材１１Ｇおよび出射側フィルタ部材１２Ｇの配置関係が実施例１の光量調整機構１０とは異なる例である。この実施例３の光量調整機構１０Ｇは、基本的な構成は上記した実施例１の光量調整機構１０と同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。図２７は、光量調整機構１０Ｇを示す図１４と同様の説明図である。

光量調整機構１０Ｇでは、図２７に示すように、実施例１の光量調整機構１０と同様に、第１接合面１６と第２接合面１８とを面当接させて第１基板１３と第２基板１４とが結合されて構成された入射側フィルタ部材１１Ｇと、第３接合面２２と第４接合面２４とを面当接させて第３基板１９と第４基板２０とが結合されて構成された出射側フィルタ部材１２Ｇと、を有する。この光量調整機構１０Ｇでは、実施例１の光量調整機構１０と比較して、入射側フィルタ部材１１Ｇと出射側フィルタ部材１２Ｇとが、光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐを含む面に直交する軸線回りで互いに反対方向に回転された配置関係とされている。ここで、第１基板１３の厚さ方向Ｔ１および第２基板１４の厚さ方向Ｔ２を、入射側フィルタ部材１１Ｇの入射側厚さ方向Ｔ１１とし、第３基板１９の厚さ方向Ｔ３および第４基板２０の厚さ方向Ｔ４を、出射側フィルタ部材１２Ｇの出射側厚さ方向Ｔ１２とする。

入射側フィルタ部材１１Ｇは、光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐを含む面に直交する軸線回りで、図２７を正面視して時計周り方向に所定の回転角度φだけ回転されて設けられている。この入射側フィルタ部材１１Ｇでは、入射側厚さ方向Ｔ１１が光路方向Ｏｐに対して回転角度φの傾斜を為すとともに、第１光路面１５と第２光路面１７とが光路方向Ｏｐに直交する面に対して回転角度φの傾斜を為している。

出射側フィルタ部材１２Ｇは、光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐを含む面に直交する軸線回りで、図２７を正面視して反時計周り方向に所定の回転角度φだけ回転されて設けられている。この出射側フィルタ部材１２Ｇでは、出射側厚さ方向Ｔ１２が光路方向Ｏｐに対して回転角度φ（−φ）の傾斜を為すとともに、第３光路面２１と第４光路面２３とが光路方向Ｏｐに直交する方向に対して回転角度φ（−φ）の傾斜を為している。なお、出射側フィルタ部材１２Ｇは、その出射側厚さ方向Ｔ１２で見た厚さ寸法が、入射側フィルタ部材１１Ｇを入射側厚さ方向Ｔ１１で見た厚さ寸法と等しくされている。

このため、光量調整機構１０Ｇでは、互いに対向される入射側フィルタ部材１１Ｇの第２光路面１７と、出射側フィルタ部材１２Ｇの第４光路面２３と、が光路方向Ｏｐに直交する面を中心としつつ角度２φを為す位置関係とされている。

この実施例３の光量調整機構１０Ｇに対して、光路方向Ｏｐに沿って光束Ｂが進行してきたものとする。その光束Ｂは、入射側フィルタ部材１１Ｇの第１光路面１５における入射位置に拘らず当該第１光路面１５から第１基板１３内へと進入する。その第１光路面１５は、光路方向Ｏｐに対して、直交状態から回転角度φで傾斜されているとともに、周辺雰囲気（空気）との境界面とされていることから、光束Ｂは、第１基板１３の屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第１光路面１５への入射角度（所定の回転角度φ）と、に応じて屈折されて、第１基板１３内へと進入する。その光束Ｂは、実施例１の入射側フィルタ部材１１内での作用と同様に、入射側フィルタ部材１１Ｇ内では屈折されることなく第２光路面１７へと向かう。その第２光路面１７は、光路方向Ｏｐに対して、直交状態から回転角度φで傾斜されているとともに、周辺雰囲気（空気）との境界面とされていることから、光束Ｂは、第２基板１４の屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第２光路面１７への入射角度と、に応じて屈折されて、第２基板１４外に出射される。このとき、第１基板１３の屈折率と第２基板１４の屈折率とが略等しいものとされるとともに、第１光路面１５と第２光路面１７とが平行とされていることから、光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って第２基板１４外に出射される。その光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って、出射側フィルタ部材１２Ｇ（その第４基板２０（その第４光路面２３）へと向かう。

その光束Ｂは、第４光路面２３における入射位置に拘らず当該第４光路面２３から、第４基板２０の屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第４光路面２３への入射角度（回転角度φ（−φ））と、に応じて屈折されて、第４基板２０内へと進入する。その光束Ｂは、実施例１の出射側フィルタ部材１２内での作用と同様に、出射側フィルタ部材１２Ｇ内では屈折されることなく第３光路面２１へと向かう。光束Ｂは、第３基板１９の屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第３光路面２１への入射角度（回転角度φ（−φ））と、に応じて屈折されて、第３基板１９外に出射される。このとき、第４基板２０の屈折率と第３基板１９の屈折率とが略等しいものとされるとともに、第４光路面２３と第３光路面２１とが平行とされていることから、光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って第３基板１９外に出射される。

このとき、光束Ｂは、第１光路面１５における入射位置に拘らず入射側フィルタ部材１１Ｇ（第１基板１３）内での進行方向が一定であるとともに、第４光路面２３における入射位置に拘らず出射側フィルタ部材１２Ｇ（第３基板１９）内での進行方向が一定である。このため、光量調整機構１０Ｇでは、実施例１の光量調整機構１０と同様に、第１光路面１５における位置調整方向Ｐで見た光束Ｂの入射位置に応じて、その光束Ｂの第１基板１３および第３基板１９内の通過距離を漸次的に連続して変化させることができる。光量調整機構１０Ｇでは、第１基板１３および第３基板１９を通過した距離に応じて光量を減少（減光）させることから、光路に対する入射側フィルタ部材１１Ｇの位置（位置調整方向Ｐで見た入射側フィルタ部材１１Ｇへの光束Ｂの入射位置）と、光路に対する出射側フィルタ部材１２Ｇの位置（位置調整方向Ｐで見た出射側フィルタ部材１２Ｇへの光束Ｂの入射位置）と、を適宜調整することにより、光束Ｂの透過量すなわち全体としての減光率を適宜調整することができる。

このとき、光量調整機構１０Ｇでは、対象とする光束Ｂに対する入射側フィルタ部材１１Ｇの位置調整方向Ｐでの位置の変化により第１基板１３内での通過距離を調整し、かつ出射側フィルタ部材１２Ｇの位置調整方向Ｐでの位置の変化により第３基板１９内での通過距離を調整するものであることから、第１基板１３内での通過距離の変化を連続的なものとすることができるとともに、第３基板１９内での通過距離の変化を連続的なものとすることができるので、全体としての透過率を連続的に変化させることができる。

また、光量調整機構１０Ｇでは、第１基板１３と第３基板１９との厚さ寸法の変化が位置調整方向Ｐでの位置に対して逆向きとされていることから、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して径方向で見た透過率を均一なものとして、その透過率を連続的に変化させることができる。

さらに、光量調整機構１０Ｇでは、厚さ方向Ｔ１での両端に渡って第１基板１３を通過させるとともに厚さ方向Ｔ２での両端に渡って第２基板１４を通過させることで、厚さ方向Ｔ１１での両端に渡って入射側フィルタ部材１１Ｇを通過させ、かつ厚さ方向Ｔ４での両端に渡って第４基板２０を通過させるとともに厚さ方向Ｔ３での両端に渡って第３基板１９を通過させることで、厚さ方向Ｔ１２での両端に渡って出射側フィルタ部材１２Ｇを通過させることにより、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。

ついで、光量調整機構１０Ｇでは、入射側フィルタ部材１１Ｇ（その入射側厚さ方向Ｔ１１）が光路方向Ｏｐに対して所定の回転角度φの傾斜を為すとともに、出射側フィルタ部材１２Ｇ（その出射側厚さ方向Ｔ１２）が光路方向Ｏｐに対して所定の回転角度φ（−φ）の傾斜を為していることから、対象とする光束Ｂ（光）において、光量調整機構１０（その入射側フィルタ部材１１）に入射する前と光量調整機構１０（その出射側フィルタ部材１２）から出射された後とで、互いに等しい進行方向とする（透過偏角をなくす）ことができるとともに、その進行方向に直交する面で見た位置を実質的に等しいものとする（光軸段差をなくす）ことができる。これは、入射側フィルタ部材１１Ｇにおける入射する前の光束Ｂ（光）に対する出射された後の光束Ｂ（光）の位置の変化（平行移動）する方向と、出射側フィルタ部材１２Ｇにおける入射する前の光束Ｂ（光）に対する出射された後の光束Ｂ（光）の位置の変化（平行移動）する方向と、を逆向きとしつつその変化量（平行移動量）を等しくすることができるので、入射側フィルタ部材１１Ｇおよび出射側フィルタ部材１２Ｇを通過させることにより、光束Ｂ（光）の位置の変化（平行移動）を打ち消す（相殺する）ことができることによる。

実施例３の光量調整機構１０Ｇでは、基本的に実施例１のレンズ鏡胴１０と同様の構成であることから、基本的に実施例１と同様の効果を得ることができる。

したがって、実施例３の光量調整機構１０Ｇでは、減光率の変更を可能としつつ、所定のビーム径を有する光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。

なお、上記した実施例３では、入射側フィルタ部材１１Ｇにおいて第１接合面１６と第２接合面１８とが接合されて第１基板１３と第２基板１４とが結合され、かつ出射側フィルタ部材１２Ｇにおいて第３接合面２２と第４接合面２４とが接合されて第３基板１９と第４基板２０とが結合されていたが、図２８に示す光量調整機構１０Ｇ´としてもよい。この光量調整機構１０Ｇ´では、入射側フィルタ部材１１Ｇ´が、第１接合面１６と第２接合面１８とが、互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ３を置いて対向されて、第１基板１３と第２基板１４との相対的な位置関係が設定されて構成されている。また、出射側フィルタ部材１２Ｇ´が、光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐを含む面に直交する軸線回りで図２８を正面視して１回転されるとともに、第３接合面２２と第４接合面２４とが、互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ３を置いて対向されて、第３基板１９と第４基板２０との相対的な位置関係が設定されて構成されている。これらのことを除くと、光量調整機構１０Ｇ´は、光量調整機構１０Ｇと同様の構成とされている。この光量調整機構１０Ｇ´では、入射側フィルタ部材１１Ｇ´および出射側フィルタ部材１２Ｇ´において互いに等しい所定の間隔Ｓ３が設定されていることから、入射側フィルタ部材１１Ｇ´と出射側フィルタ部材１２Ｇ´とで入射する前の光束Ｂ（光）に対する出射された後の光束Ｂ（光）の位置の変化量（平行移動量）を互いに等しくできるので、光量調整機構１０Ｇと同様の効果を得ることができる。また、光量調整機構１０Ｇ´では、屈折率の略等しい第１基板１３と第２基板１４とが、第１接合面１６と第２接合面１８とが互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ３を置いて対向されて、入射側フィルタ部材１１Ｇ´が構成されているとともに、屈折率の略等しい第３基板１９と第４基板２０とが、第３接合面２２と第４接合面２４とが互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ３を置いて対向されて、出射側フィルタ部材１２Ｇ´が構成されていることから、厚さ方向Ｔ１での両端に渡って入射側フィルタ部材１１Ｇ´を通過させるとともに厚さ方向Ｔ１２での両端に渡って出射側フィルタ部材１２Ｇ´を通過させることで、光束Ｂにおける平行変化をなくすことができる。

次に、本発明の実施例４の光量調整機構１０Ｈについて、図２９および図３０を用いて説明する。この実施例４は、光量調整機構１０Ｈの入射側フィルタ部材１１Ｈおよび出射側フィルタ部材１２Ｈの構成が実施例１の光量調整機構１０とは異なる例である。この実施例４の光量調整機構１０Ｈは、基本的な構成は上記した実施例１の光量調整機構１０と同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。図２９は、光量調整機構１０Ｈの入射側フィルタ部材１１Ｈを示す図１２と同様の説明図である。図３０は、光量調整機構１０Ｈを示す図１４と同様の説明図である。

光量調整機構１０Ｈでは、図３０に示すように、第１基板１３Ｈおよび第２基板１４Ｈを有する入射側フィルタ部材１１Ｈと、第３基板１９Ｈおよび第４基板２０Ｈを有する出射側フィルタ部材１２Ｈと、からなる。この入射側フィルタ部材１１Ｈと出射側フィルタ部材１２Ｈとは、それらの中間位置で光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐと直交する軸線を中心として互いに点対称とされて、同様の構成とされている。換言すると、入射側フィルタ部材１１Ｈと出射側フィルタ部材１２Ｈとは、第１基板１３Ｈと第３基板１９Ｈとが同一の構成であるとともに、第２基板１４Ｈと第４基板２０Ｈとが同一の構成であり、かつ第１基板１３Ｈおよび第２基板１４Ｈの相対的な位置関係と第３基板１９Ｈおよび第４基板２０Ｈの相対的な位置関係とが互いに等しいものとされている。このことから、以下では、入射側フィルタ部材１１Ｈの構成について説明し、出射側フィルタ部材１２Ｈについては省略する。

入射側フィルタ部材１１Ｈは、図２９に示すように、第１基板１３Ｈと第２基板１４Ｈとを有する。その第１基板１３Ｈは、実施例１の第１基板１３と同様の第１透過部材から形成されている。第１基板１３Ｈは、立体形状の第１透過部材を用いて、少なくとも１つの平坦な面を形成して第１光路面１５Ｈとするとともに、そこに直交する方向を厚さ方向Ｔ１で見た反対側となる（第１光路面１５Ｈに対して厚さ方向Ｔ１側に位置する）箇所に、平坦な面を形成して第１接合面１６Ｈとし、残りの面を適宜成形することにより形成する。その第１接合面１６Ｈは、第１光路面１５Ｈに対して所定の角度αを為すものとする。第１基板１３Ｈは、実施例４では、光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐを含む面で見て、所定の角度αを為す頂点を有する三角形状とされている。その第１接合面１６Ｈと光路方向Ｏｐで対向して、第２基板１４Ｈが設けられる。

その第２基板１４Ｈは、全体に均一（一様）であって第１透過部材（第１基板１３Ｈ）よりも高い透過率であり、その第１透過部材（第１基板１３Ｈ）と異なる屈折率の第３透過部材から形成されている。この第３透過部材の屈折率の選定方法については後述する。第２基板１４Ｈは、立体形状の第３透過部材を用いて、少なくとも１つの平坦な面を形成して第２光路面１７Ｈとするとともに、そこに直交する方向を厚さ方向Ｔ２で見た反対側となる（第２光路面１７Ｈに対して厚さ方向Ｔ２側に位置する）箇所に、平坦な面を形成して第２接合面１８Ｈとし、残りの面を適宜成形することにより形成する。その第２接合面１８Ｈは、第２光路面１７Ｈに対して所定の角度βを為すものとする。第２基板１４Ｈは、実施例４では、光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐを含む面で見て、光路方向Ｏｐに平行な上底および下底を有する台形状とされている。

この入射側フィルタ部材１１Ｈでは、光路方向Ｏｐで第１接合面１６Ｈと第２接合面１８Ｈとを間隔を置いて対向させつつ、互いが存在する面が所定の角度γを為すように、互いの位置関係が設定されている。入射側フィルタ部材１１Ｈでは、実施例１の入射側フィルタ部材１１と同様に、第１基板１３Ｈの第１光路面１５Ｈを入射面とし、第２基板１４Ｈの第２光路面１７Ｈを出射面とする。この入射側フィルタ部材１１Ｈでは、第１基板１３Ｈにおける屈折率および所定の角度αと、第２基板１４Ｈにおける屈折率および所定の角度βと、それらの間の傾斜関係（第１接合面１６Ｈと第２接合面１８Ｈとにおける所定の角度γ）と、が、光量の調整の対象とする光束Ｂ（光）において、入射面（第１基板１３Ｈ）に入射する前と出射面（第２基板１４Ｈ）から出射された後とで、進行方向が互いに平行とする観点から設定されている。換言すると、入射側フィルタ部材１１Ｈでは、上記した観点から、第１基板１３Ｈ（第１透過部材）に対する第２基板１４Ｈ（第３透過部材）の屈折率の関係に応じて、第１基板１３Ｈにおける所定の角度αと、第２基板１４Ｈにおける所定の角度βと、それらの第１接合面１６Ｈと第２接合面１８Ｈとにおける所定の角度γと、が設定されている。このため、入射側フィルタ部材１１Ｈにおいて、第１基板１３Ｈの所定の角度αが第１の所定の角度となり、第２基板１４Ｈの所定の角度βが第２の所定の角度となり、第１接合面１６Ｈと第２接合面１８Ｈと所定の角度γが第３の所定の角度となる。また、出射側フィルタ部材１２Ｈにおいて、第３基板１９Ｈの所定の角度αが第４の所定の角度となり、第４基板２０Ｈの所定の角度βが第５の所定の角度となり、第３接合面２２Ｈと第４接合面２４Ｈと所定の角度γが第６の所定の角度となる。

この入射側フィルタ部材１１Ｈに対して、光路方向Ｏｐに沿って光束Ｂが進行してきたものとする。その光束Ｂは、入射側フィルタ部材１１Ｈの第１光路面１５Ｈにおける入射位置に拘らず当該第１光路面１５Ｈから第１基板１３Ｈ内へと進入する。その第１光路面１５Ｈは、光路方向Ｏｐに対して、直交状態から傾斜されているとともに周辺雰囲気（空気）との境界面とされていることから、光束Ｂは、第１基板１３Ｈの屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第１光路面１５Ｈへの入射角度と、に応じて屈折されて、第１基板１３Ｈ内へと進入して、第１接合面１６Ｈに至る。その第１接合面１６Ｈは、周辺雰囲気（空気）との境界面とされていることから、光束Ｂは、第１基板１３Ｈの屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第１接合面１６Ｈへの入射角度（進行方向に対する第１接合面１６Ｈの角度）と、に応じて屈折されて、第１基板１３Ｈ外に出射されて、第２基板１４Ｈ（その第２接合面１８Ｈ）へと向かう。

その後、光束Ｂは、第２接合面１８Ｈから第２基板１４Ｈ内へと進入する。このとき、光束Ｂの進行方向と第２接合面１８Ｈとは、第２基板１４Ｈの屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第２接合面１８Ｈへの光束Ｂの入射角度と、に応じて屈折されて、第２基板１４Ｈ内へと進入して、第２光路面１７Ｈに至る。その第２光路面１７Ｈは、周辺雰囲気（空気）との境界面とされていることから、光束Ｂは、第２基板１４Ｈの屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第２光路面１７Ｈへの入射角度（進行方向に対する第２光路面１７Ｈの角度）と、に応じて屈折されて、第２基板１４Ｈ外に出射される。ここで、入射側フィルタ部材１１Ｈでは、第１基板１３Ｈにおける屈折率および所定の角度αと、第２基板１４Ｈにおける屈折率および所定の角度βと、それらの間の傾斜関係（第１接合面１６Ｈと第２接合面１８Ｈとにおける所定の角度γ）と、が、上述した観点から設定されていることから、光束Ｂは、第２光路面１７Ｈから第２基板１４Ｈ外へと出射する際の屈折により、光路方向Ｏｐに沿って進行する。すなわち、透過偏角をなくすことができる。

このとき、光束Ｂは、入射側フィルタ部材１１Ｈにおいて、第１基板１３Ｈ内を厚さ方向Ｔ１を含む方向に沿って透過していることから、実施例１の入射側フィルタ部材１１と同様に、第１基板１３Ｈを通過した距離に応じて光量が減少（減光）される。その第１基板１３Ｈ内の通過距離は、第１光路面１５Ｈにおける位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて、第１基板１３Ｈ内の通過距離が漸次的に連続して変化する。このように、入射側フィルタ部材１１Ｈ（出射側フィルタ部材１２Ｈも同様である）では、光路方向Ｏｐに沿って入射する光束Ｂを、第１光路面１５Ｈにおける位置調整方向Ｐで見た入射位置に応じて光量を減少（減光）させて、光路方向Ｏｐに沿って出射させることができる。なお、入射側フィルタ部材１１Ｈ（出射側フィルタ部材１２Ｈも同様である）では、光路方向Ｏｐに沿って入射する光束Ｂが出射する位置は、光路方向Ｏｐに直交する面で見て、第１基板１３Ｈおよび第２基板１４Ｈの屈折率と、周辺雰囲気（空気）の屈折率と、第１光路面１５Ｈ、第１接合面１６Ｈ、第２接合面１８Ｈおよび第２光路面１７Ｈの光路方向Ｏｐに対する傾斜角度と、第１接合面１６Ｈと第２接合面１８Ｈとの距離（間隔）と、に応じて変化（平行移動）する。

この入射側フィルタ部材１１Ｈおよび出射側フィルタ部材１２Ｈを有する光量調整機構１０Ｈでは、図３０に示すように、光路に対する入射側フィルタ部材１１Ｈの位置（位置調整方向Ｐで見た入射側フィルタ部材１１Ｈへの光束Ｂの入射位置）と、光路に対する出射側フィルタ部材１２Ｈの位置（位置調整方向Ｐで見た出射側フィルタ部材１２Ｈへの光束Ｂの入射位置）と、を適宜調整することにより、光束Ｂの透過量すなわち全体としての減光率を適宜調整することができる。このとき、光量調整機構１０Ｈでは、対象とする光束Ｂに対する入射側フィルタ部材１１Ｈの位置調整方向Ｐでの位置の変化により第１基板１３Ｈ内での通過距離を調整し、かつ出射側フィルタ部材１２Ｈの位置調整方向Ｐでの位置の変化により第３基板１９Ｈ内での通過距離を調整するものであることから、第１基板１３Ｈ内での通過距離の変化を連続的なものとすることができるとともに、第３基板１９Ｈ内での通過距離の変化を連続的なものとすることができるので、全体としての透過率を連続的に変化させることができる。このとき、光量調整機構１０Ｈでは、入射側フィルタ部材１１Ｈおよび出射側フィルタ部材１２Ｈが、それぞれ入射する光（光束）の進行方向と平行な方向に出射させつつ光量を減少（減光）させることができるので、入射する光（光束）の進行方向と平行な方向に出射させ（透過偏角をなくし）つつ、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して径方向で見た透過率を均一なものとして、その透過率を連続的に変化させることができる。加えて、光量調整機構１０Ｈでは、厚さ方向Ｔ１での両端に渡って第１基板１３Ｈを通過させるとともに厚さ方向Ｔ２での両端に渡って第２基板１４Ｈを通過させることで、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材１１Ｈを通過させ、かつ厚さ方向Ｔ４での両端に渡って第４基板２０Ｈを通過させるとともに厚さ方向Ｔ３での両端に渡って第３基板１９Ｈを通過させることで、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材１２Ｈを通過させることにより、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。

実施例４の光量調整機構１０Ｈでは、基本的に実施例１のレンズ鏡胴１０と同様の構成であることから、対象とする光束Ｂ（光）において、光量調整機構１０Ｈ（その入射側フィルタ部材１１Ｈ）に入射する前と光量調整機構１０Ｈ（その出射側フィルタ部材１２Ｈ）から出射された後とで、その進行方向に直交する面で見た位置が変化（平行移動（光軸段差がある））することと、入射側フィルタ部材１１Ｈ（出射側フィルタ部材１２Ｈも同様である）の第１接合面１６Ｈと第２接合面１８Ｈとが間隔を置きつつ所定の角度γで対向していることから平行変化が生じてしまうことと、を除くと、基本的に実施例１と同様の効果を得ることができる。

それに加えて、光量調整機構１０Ｈでは、入射側フィルタ部材１１Ｈ（出射側フィルタ部材１２Ｈも同様である）において、第３透過部材として、第１透過部材（第１基板１３Ｈ）と略等しい屈折率の適切な材料を用意することが困難であっても、第１基板１３Ｈの屈折率および所定の角度αと、用いる第３透過部材の屈折率と、に基づいて、第２基板１４Ｈにおける所定の角度β、および第１接合面１６Ｈと第２接合面１８Ｈとにおける所定の角度γを設定することにより、光量の調整の対象とする光束Ｂ（光）において、入射面（第１基板１３Ｈ）に入射する前と出射面（第２基板１４Ｈ）から出射された後とで、進行方向が互いに平行とすることができる。このため、第１基板１３Ｈ（第１透過部材）と第２基板１４Ｈ（第３透過部材）との屈折率の設定自由度を高めつつ入射する前と出射された後との光束Ｂ（光）の進行方向を互いに平行なものとすることができる。

したがって、実施例４の光量調整機構１０Ｈでは、減光率の変更を可能としつつ、所定のビーム径を有する光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。

なお、実施例４の光量調整機構１０Ｈでは、入射側フィルタ部材１１Ｈの第２基板１４Ｈ（出射側フィルタ部材１２Ｈの第４基板２０Ｈも同様である）が、第１透過部材（第１基板１３Ｈ）と異なる屈折率の第３透過部材から形成されていたが、第１透過部材（第１基板１３Ｈ）と等しい屈折率の部材（例えば、実施例１と同様の第２透過部材）で形成するものであってもよく、上記した実施例４に限定されるものではない。このような構成とする場合、入射側フィルタ部材１１Ｈ（出射側フィルタ部材１２Ｈも同様である）において、上記した観点から、互いに等しい屈折率の第１基板１３Ｈ（第１透過部材）および第２基板１４Ｈ（第２透過部材）に応じて、第１基板１３Ｈにおける所定の角度αと、第２基板１４Ｈにおける所定の角度βと、それらの第１接合面１６Ｈと第２接合面１８Ｈとにおける所定の角度γと、を設定すればよい。

また、実施例４では、入射側フィルタ部材１１Ｈと出射側フィルタ部材１２Ｈとにより光量調整機構１０Ｈが構成されていたが、図３１に示す光量調整機構１０Ｗのような構成とすることもできる。この光量調整機構１０Ｗは、第１基板１３Ｗおよび第２基板１４Ｗを有する入射側フィルタ部材１１Ｗと、第３基板１９Ｗおよび第４基板２０Ｗを有する出射側フィルタ部材１２Ｗと、からなる。その第１基板１３Ｗは、第１光路面１５Ｗと第１接合面１６Ｗとが所定の角度α１の角度を為して実施例１の第１透過部材から形成され、第２基板１４Ｗは、第２接合面１８Ｗと第２光路面１７Ｗとが同じく所定の角度β１の角度を為して第２基板１４Ｈと同様の第３透過部材から形成されている。この入射側フィルタ部材１１Ｗでは、第１接合面１６Ｗと第２接合面１８Ｗとが所定の角度γ１を為して、第１基板１３Ｗと第２基板１４Ｗとの位置関係が規定されている。入射側フィルタ部材１１Ｗでは、入射側フィルタ部材１１Ｈと同様に、上記した観点から、第１基板１３Ｗ（第１透過部材）に対する第２基板１４Ｗ（第３透過部材）の屈折率の関係に応じて、所定の角度α１と所定の角度β１と所定の角度γ１と、が設定されている。また、第３基板１９Ｗは、第３光路面２１Ｗと第３接合面２２Ｗとが所定の角度α２の角度を為して第６透過部材から形成され、第４基板２０Ｗは、第４接合面２４Ｗと第４光路面２３Ｗとが所定の角度β２の角度を為して第７透過部材から形成されている。この出射側フィルタ部材１２Ｗでは、第３接合面２２Ｗと第４接合面２４Ｗとが所定の角度γ２を為して、第３基板１９Ｗと第４基板２０Ｗとの位置関係が規定されている。その第６透過部材は、第１透過部材と異なる屈折率および透過率とされており、実施例１の第１透過部材と同様に形成されている。第７透過部材は、第３透過部材と異なる屈折率であって第６透過部材と等しい屈折率とされ、実施例１の第２透過部材と同様に形成されている。この第３基板１９Ｗでは、第６透過部材における透過率を鑑みて、第１基板１３Ｗと同様に直線で示す光学濃度特性であってその光学濃度勾配を第１基板１３Ｗと等しくすべく、所定の角度α２が設定されている。それを有する出射側フィルタ部材１２Ｗでは、入射側フィルタ部材１１Ｈと同様に、上記した観点から、第３基板１９Ｗ（第６透過部材）に対する第４基板２０Ｗ（第７透過部材）の屈折率の関係および第３基板１９Ｗにおける所定の角度α２に応じて、所定の角度β２と所定の角度γ２と、が設定されている。このため、光量調整機構１０Ｗでは、光量調整機構１０Ｈと同様の効果を得ることができる。このことから、光量調整機構１０Ｗでは、入射側フィルタ部材１１Ｗにおいて、第１基板１３Ｗの所定の角度α１が第１の所定の角度となり、第２基板１４Ｗの所定の角度β１が第２の所定の角度となり、第１接合面１６Ｗと第２接合面１８Ｗと所定の角度γ１が第３の所定の角度となる。また、光量調整機構１０Ｗでは、出射側フィルタ部材１２Ｗにおいて、第３基板１９Ｗの所定の角度α２が第４の所定の角度となり、第４基板２０Ｗの所定の角度β２が第５の所定の角度となり、第３接合面２２Ｗと第４接合面２４Ｗと所定の角度γ２が第６の所定の角度となる。

次に、本発明の実施例５の光量調整機構１０Ｉについて、図３２を用いて説明する。この実施例５は、光量調整機構１０Ｉの入射側フィルタ部材１１Ｉおよび出射側フィルタ部材１２Ｉの構成が実施例１の光量調整機構１０とは異なる例である。この実施例５の光量調整機構１０Ｉは、基本的な構成は上記した実施例１の光量調整機構１０と同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。図３２は、光量調整機構１０Ｉを示す図１４と同様の説明図である。

光量調整機構１０Ｉでは、図３２に示すように、入射側フィルタ部材１１Ｉが第１基板１３Ｉから構成され、かつ出射側フィルタ部材１２Ｉが第３基板１９Ｉから構成されている。この入射側フィルタ部材１１Ｉおよび出射側フィルタ部材１２Ｉ、すなわち第１基板１３Ｉおよび第３基板１９Ｉは、それらの中間位置で光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐ´と直交する軸線を中心として互いに点対称とされて、同様の構成とされている。

入射側フィルタ部材１１Ｉの第１基板１３Ｉは、実施例１の第１基板１３と同様の第１透過部材から形成されている。第１基板１３Ｉは、立体形状の第１透過部材を用いて、少なくとも１つの平坦な面を形成して第１光路面１５Ｉとするとともに、そこに直交する方向を厚さ方向Ｔ１で見た反対側となる（第１光路面１５Ｉに対して厚さ方向Ｔ１側に位置する）箇所に、平坦な面を形成して第１接合面１６Ｉとし、残りの面を適宜成形することにより形成する。その第１接合面１６Ｉは、第１光路面１５Ｉに対して所定の角度δを為すものとする。第１基板１３Ｉは、実施例５では、光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐ´を含む面で見て、所定の角度δを為す頂点を有する三角形状とされている。その第１接合面１６Ｉと光路方向Ｏｐで対向して、出射側フィルタ部材１２Ｉすなわち第３基板１９Ｉが設けられる。

出射側フィルタ部材１２Ｉの第３基板１９Ｉは、第１基板１３Ｉと同様の第１透過部材から形成されている。第３基板１９Ｉは、立体形状の第１透過部材を用いて、少なくとも１つの平坦な面を形成して第３光路面２１Ｉとするとともに、そこに直交する方向を厚さ方向Ｔ３で見た反対側となる（第３光路面２１Ｉに対して厚さ方向Ｔ３側に位置する）箇所に、平坦な面を形成して第３接合面２２Ｉとし、残りの面を適宜成形することにより形成する。その第３接合面２２Ｉは、第３光路面２１Ｉに対して第１基板１３Ｉでの第１光路面１５Ｉと第１接合面１６Ｉとが為す角度に等しい所定の角度δを為すものとする。第３基板１９Ｉは、実施例５では、光路方向Ｏｐおよび位置調整方向Ｐ´を含む面で見て、所定の角度δを為す頂点を有する三角形状とされている。

この光量調整機構１０Ｉでは、光路方向Ｏｐに直交する方向で見て、第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとの厚さ寸法の変化を逆向きとして、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとを面当接させた状態で、第１基板１３Ｉ（入射側フィルタ部材１１Ｉ）と第３基板１９Ｉ（出射側フィルタ部材１２Ｉ）とを設けている。光量調整機構１０Ｉでは、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとを面当接させた状態を維持したまま、第１接合面１６Ｉおよび第３接合面２２Ｉが存在する面に沿う方向に入射側フィルタ部材１１Ｉ（第１基板１３Ｉ）と出射側フィルタ部材１２Ｉ（第３基板１９Ｉ）とが相対的に移動可能とされている（図３２の（ａ）および（ｂ）参照）。この光量調整機構１０Ｉでは、入射側フィルタ部材１１Ｉ（第１基板１３Ｉ）と出射側フィルタ部材１２Ｉ（第３基板１９Ｉ）との相対的な位置に拘らず、第１光路面１５Ｉと第３光路面２１Ｉとが平行とされている。

このため、光量調整機構１０Ｉでは、第１接合面１６Ｉおよび第３接合面２２Ｉが存在する面に沿う方向が、第１光路面１５Ｉおよび第３光路面２１Ｉを通過する単一の直線光路（実施例５では光路方向Ｏｐ）に交わる方向であって、位置の変化に伴い第１光路面１５Ｉ（第３光路面２１Ｉ）を基準とする第１接合面１６Ｉ（第３接合面２２Ｉ）までの距離（間隔）を連続して変化させる方向としての位置調整方向Ｐ´となる。また、光量調整機構１０Ｉでは、第１基板１３Ｉにおける厚さ方向Ｔ１と、第３基板１９Ｉにおける厚さ方向Ｔ３と、が一致されている。光量調整機構１０Ｉでは、第１基板１３Ｉの第１光路面１５Ｉを入射面とし、第３基板１９Ｉの第３光路面２１Ｉを出射面とする。

この光量調整機構１０Ｉに対して、光路方向Ｏｐに沿って光束Ｂが進行してきたものとする。その光束Ｂは、入射側フィルタ部材１１Ｉの第１光路面１５Ｉにおける入射位置に拘らず当該第１光路面１５Ｉから第１基板１３Ｉ内へと進入する。その第１光路面１５Ｉは、光路方向Ｏｐに対して直交されていることから、光束Ｂは、光路方向Ｏｐに沿って第１基板１３Ｉ内へと進入して、第１接合面１６Ｉに至る。ここで、その第１接合面１６Ｉは、光路方向Ｏｐに対して傾斜されているが、第３基板１９Ｉの第３接合面２２Ｉと面当接されている。また、その第３基板１９Ｉは、第１基板１３Ｉと同一の部材で形成されて互いに等しい屈折率とされている。このため、光束Ｂは、第１接合面１６Ｉすなわち第１基板１３Ｉから出射される際に、屈折することはなく光路方向Ｏｐに沿って第３接合面２２Ｉから第３基板１９Ｉ内へと進入する。その後、光束Ｂは、第３基板１９Ｉ内においても光路方向Ｏｐに沿って進行し、第３光路面２１Ｉに至る。その光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂは、その進行方向が第３光路面２１Ｉに直交するものであることから、その第３光路面２１Ｉにおける出射位置に拘らず、当該第３光路面２１Ｉから光路方向Ｏｐに沿って第３基板１９Ｉ外に出射される。

このとき、光束Ｂは、入射側フィルタ部材１１Ｉにおいて第１基板１３Ｉ内を厚さ方向Ｔ１に沿って透過しているとともに、出射側フィルタ部材１２Ｉにおいて第３基板１９Ｉ内を厚さ方向Ｔ３に沿って透過していることから、光量調整機構１０Ｉを厚さ方向（Ｔ１、Ｔ３）に透過していることとなる。この光量調整機構１０Ｉでは、上述したように、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとを面当接させた状態を維持したまま、位置調整方向Ｐ´に入射側フィルタ部材１１Ｉ（第１基板１３Ｉ）と出射側フィルタ部材１２Ｉ（第３基板１９Ｉ）とが相対的に移動可能とされていることから、その相対的な位置関係に応じて厚さ方向（Ｔ１、Ｔ３）での大きさ寸法（厚さ寸法）が調整可能とされている（図３２の（ａ）および（ｂ）参照）。

このため、光量調整機構１０Ｉでは、光路に対する位置調整方向Ｐ´で見た入射側フィルタ部材１１Ｉの位置と、光路に対する位置調整方向Ｐ´で見た出射側フィルタ部材１２Ｉの位置と、を適宜調整することにより、光束Ｂの透過量すなわち全体としての減光率を適宜調整することができる。

また、光量調整機構１０Ｉでは、第１基板１３Ｉにおいて、入射面となる平坦な第１光路面１５Ｉに対して、所定の角度δを為す平坦な第１接合面１６Ｉにより、光路方向Ｏｐ（光束Ｂの進行方向）での厚さ寸法が規定されているとともに、第３基板１９Ｉにおいて、出射面となる平坦な第３光路面２１Ｉに対して、所定の角度δを為す平坦な第３接合面２２Ｉにより、光路方向Ｏｐ（光束Ｂの進行方向）での厚さ寸法が規定されている。このため、光量調整機構１０Ｉでは、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとを面当接させた状態を維持しつつ第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとを位置調整方向Ｐ´に相対的に移動して厚さ寸法を調整することにより、厚さ寸法の変化（第１基板１３Ｉ内での通過距離の変化および第３基板１９Ｉ内での通過距離の変化）を連続的なものとすることができる。このため、全体としての減光率の変化を連続的なものとすることができる。

さらに、光量調整機構１０Ｉでは、同一の形状とされた第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとが、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとを面当接させた状態を維持したまま位置調整方向Ｐ´に相対的に移動されるものであることから、その相対的な位置関係に拘らず入射面となる第１光路面１５Ｉと出射面となる第３光路面２１Ｉとが常に平行とされている。このため、光量調整機構１０Ｉでは、厚さ寸法の変更すなわち減光率の変更に拘らず、光路方向Ｏｐに沿って入射する光束Ｂを、光路方向Ｏｐ（光束Ｂの進行方向）に直交する面で見た位置を変化させることなく（透過偏角および光軸段差をなくして）、光路方向Ｏｐ（光束Ｂの進行方向）に沿って出射させることができる。

光量調整機構１０Ｉでは、第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとの相対的な位置関係に拘らず入射面となる第１光路面１５Ｉと出射面となる第３光路面２１Ｉとが常に平行とされていることから、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して径方向で見た透過率を均一なものとして、その透過率を連続的に変化させることができる。

光量調整機構１０Ｉでは、厚さ方向Ｔ１での両端に渡って第１基板１３Ｉを通過させることで厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材１１Ｉを通過させ、かつ厚さ方向Ｔ３での両端に渡って第３基板１９Ｉを通過させることで厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材１２Ｉを通過させることにより、所定のビーム径を有する光束Ｂに対して、その径方向で見た位置に拘らず光学的距離すなわち光路長を等しくすることができる。

光量調整機構１０Ｉでは、所定のビーム径を有し光路方向Ｏｐに沿う光束Ｂを、厚さ方向での両端に渡って入射側フィルタ部材１１Ｉを通過させるとともに、厚さ方向での両端に渡って出射側フィルタ部材１２Ｉを通過させることにより、入射する際の光束Ｂと出射される際の光束Ｂとにおける平行変化をなくすことができる。

実施例５の光量調整機構１０Ｉでは、基本的に実施例１のレンズ鏡胴１０と同様の構成であることから、基本的に実施例１と同様の効果を得ることができる。

それに加えて、光量調整機構１０Ｉでは、入射側フィルタ部材１１Ｉを第１基板１３Ｉのみの簡易な構成とすることができるとともに、出射側フィルタ部材１２Ｉを第３基板１９Ｉのみの簡易な構成とすることができる。

したがって、実施例５の光量調整機構１０Ｉでは、減光率の変更を可能としつつ、所定のビーム径を有する光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。

なお、上記した実施例５では、光量を調整する対象とする光（光束）に対して、その進行方向が光路方向Ｏｐに沿う方向となるように光量調整機構１０Ｉ（入射側フィルタ部材１１Ｉおよび出射側フィルタ部材１２Ｉ）を配していたが、対象とする光（光束）の進行方向を光路方向Ｏｐに対して傾斜させてもよく（図３２の光束Ｂ５参照）、上記した実施例５に限定されるものではない。この場合、対象とする光束Ｂ５（光）において、光量調整機構１０Ｉ（その入射側フィルタ部材１１Ｉ）に入射する前と光量調整機構１０Ｉ（その出射側フィルタ部材１２Ｉ）から出射された後とで、進行方向が互いに平行ではある（透過偏角はない）が、その進行方向に直交する面で見た位置が変化（平行移動）してしまう（光軸段差は生じてしまう）。しかしながら、このことを除くと上記した各効果を得ることができる。

また、上記した実施例５では、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとを面当接させた状態を維持しつつ第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとを位置調整方向Ｐ´に相対的に移動する構成とされていたが、図３３に示す光量調整機構１０Ｉ´としてもよい。この光量調整機構１０Ｉ´では、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとが、互いに平行な状態を維持したまま所定の間隔Ｓ４を置いて対向されて、第１基板１３Ｉ（入射側フィルタ部材１１Ｉ´）と第３基板１９Ｉ（出射側フィルタ部材１２Ｉ´）との相対的な位置関係が設定されて構成されている。これらのことを除くと、光量調整機構１０Ｉ´は、光量調整機構１０Ｉと同様の構成とされている。この光量調整機構１０Ｉ´では、入射側フィルタ部材１１Ｉ´および出射側フィルタ部材１２Ｉ´において所定の間隔Ｓ４が設定されていることから、入射する前の光束Ｂ、Ｂ５（光）に対して出射された後の光束Ｂ、Ｂ５（光）の位置が変化（平行移動）する（光軸段差は生じる）ことを除くと、光量調整機構１０Ｉと同様の効果を得ることができる。また、光量調整機構１０Ｉ´では、第１基板１３Ｉ（入射側フィルタ部材１１Ｉ´）と第３基板１９Ｉ（出射側フィルタ部材１２Ｉ´）との相対的な移動方向が、光量調整機構１０Ｉと同様に位置調整方向Ｐ´とされていることから、第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとの相対的な位置関係に拘らず第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとを常に所定の間隔Ｓ４で対向させることができるので（図３３の（ａ）、（ｂ）参照）、第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとの相対的な位置関係に拘らず入射する前の光束Ｂ、Ｂ５（光）に対する出射された後の光束Ｂ、Ｂ５（光）の位置の変化量（平行移動量）を一定のものとすることができる。さらに、光量調整機構１０Ｉ´では、第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとの相対的な位置関係に拘らず第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとを常に所定の間隔Ｓ４で対向させることから、第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとの相対的な位置関係に拘らず入射する前後の光束Ｂ、Ｂ５における平行変化をなくすことができる。加えて、光量調整機構１０Ｉ´では、図３４に示すように、広がり角を有する光束Ｂ´に対して用いた場合であっても、光束Ｂ´の入射させる位置（その光軸位置）を変化させなければ、出射される光束Ｂ´の位置（その光軸位置）が変化することを防止することができる。図３４に示す例では、実施例２の図２２に示す例と同様に、発光部４１から出射された光を、入射側レンズ４５で進行するに連れて径寸法が増大する拡大光束として入射側フィルタ部材１１Ｉ´（その第１基板１３Ｉ）に入射させるとともに、その入射側フィルタ部材１１Ｉ´および出射側フィルタ部材１２Ｉ´を経て、出射側フィルタ部材１２Ｉ´（第３基板１９Ｉ）から出射された光束を出射側レンズ４６で集光して受光部４２で受光させている。このため、光量調整機構１０Ｉ´では、基本的に入射側レンズ４５と出射側レンズ４６との相対的な位置関係を固定したままで、その間を通る光の光量を適宜調節することができる。なお、光量調整機構１０Ｉ´では、図２２に示す光量調整機構１０Ｆとは異なり、周辺光における光路長に変化は生じてしまう。

さらに、上記した図３３に示す例では、入射側フィルタ部材１１Ｉ´と出射側フィルタ部材１２Ｉ´とにより光量調整機構１０Ｉ´が構成されていたが、図３５に示す光量調整機構１０Ｘのような構成とすることもできる。この光量調整機構１０Ｘは、第１基板１３Ｘ有する入射側フィルタ部材１１Ｘと、第３基板１９Ｘを有する出射側フィルタ部材１２Ｘと、からなる。その第１基板１３Ｘは、上記した第１基板１３Ｉ´すなわち第１基板１３Ｉと同様の構成である。第３基板１９Ｘは、基本的に第３基板１９Ｉと同様の構成であって、第３基板１９Ｉよりも大きな構成とされるとともに、その先端箇所が切り欠かれて構成されている。このため、光量調整機構１０Ｘでは、光量調整機構１０Ｉ´と同様の効果を得ることができる。

ついで、上記した図３３に示す例では、入射側フィルタ部材１１Ｉ´と出射側フィルタ部材１２Ｉ´とにより光量調整機構１０Ｉ´が構成されていたが、図３６に示す光量調整機構１０Ｘ´のような構成とすることもできる。この光量調整機構１０Ｘ´は、第１基板１３Ｘ´を有する入射側フィルタ部材１１Ｘ´と、第３基板１９Ｘ´を有する出射側フィルタ部材１２Ｘ´と、からなる。その第１基板１３Ｘ´は、第１光路面１５Ｘ´と第１接合面１６Ｘ´とが所定の角度δ１の角度を為して実施例１の第１透過部材から形成されている。第３基板１９Ｘ´は、第３光路面２１Ｘ´と第３接合面２２Ｘ´とが所定の角度δ２の角度を為して第８透過部材から形成されている。その第８透過部材は、第１透過部材と異なる屈折率および透過率とされており、実施例１の第１透過部材と同様に形成されている。この第３基板１９Ｘ´では、第８透過部材における透過率を鑑みて、第１基板１３Ｘ´と同様に直線で示す光学濃度特性であってその光学濃度勾配を第１基板１３Ｘ´と等しくすべく、所定の角度δ２が設定されている。このため、光量調整機構１０Ｘ´では、入射される前後における光束Ｂの進行方向が変化する（透過偏角および光軸段差が生じる）ことを除くと、光量調整機構１０Ｉ´と同様の効果を得ることができる。なお、この光量調整機構１０Ｘ´では、第１基板１３Ｘ´（入射側フィルタ部材１１Ｘ´）と第３基板１９Ｘ´（出射側フィルタ部材１２Ｘ´）とが互いに異なる屈折率とされた透過部材から構成されていたが、透過率のみが互いに異なる透過部材で構成するものであってもよい。また、光量調整機構１０Ｘ´では、光束Ｂの進行方向に対して第１基板１３Ｘ´（入射側フィルタ部材１１Ｘ´）の第１光路面１５Ｘ´を直交させているが、第３基板１９Ｘ´（出射側フィルタ部材１２Ｘ´）の第３光路面２１Ｘ´から直交する進行方向で光束Ｂを出射させる位置関係で用いてもよい。

上記した実施例５では、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとを面当接させた状態を維持しつつ第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとを位置調整方向Ｐ´に相対的に移動する構成とされていたが、図３７に示す光量調整機構１０Ｉ´´としてもよい。この光量調整機構１０Ｉ´´では、基本的な構成は図３３に示す光量調整機構１０Ｉ´と同様であって、第１基板１３Ｉ（入射側フィルタ部材１１Ｉ´´）と第３基板１９Ｉ（出射側フィルタ部材１２Ｉ´´）との相対的な移動方向が位置調整方向Ｐ（光路方向Ｏｐに直交する方向であり図３７を正面視して左右方向）とされている。すなわち、光量調整機構１０Ｉ´´では、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとが、互いに平行な状態を維持したまま、第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとが位置調整方向Ｐに相対的に移動することにより、第１基板１３Ｉ内での通過距離および第３基板１９Ｉ内での通過距離を調整する。このため、光量調整機構１０Ｉ´´では、第１基板１３Ｉと第３基板１９Ｉとの位置調整方向Ｐでの相対的な位置関係に応じて、第１接合面１６Ｉと第３接合面２２Ｉとの間隔が変化し、入射する前の光束Ｂ、Ｂ５（光）に対する出射された後の光束Ｂ、Ｂ５（光）の位置の変化量（平行移動量）が変化する（光束Ｂ、Ｂ５における平行変化が生じる）。このことを除くと、光量調整機構１０Ｉ´´は、光量調整機構１０Ｉ´と同様の効果を得ることができる。

上記した図３７に示す例では、入射側フィルタ部材１１Ｉ´´と出射側フィルタ部材１２Ｉ´´とにより光量調整機構１０Ｉ´´が構成されていたが、図３８に示す光量調整機構１０Ｙのような構成とすることもできる。この光量調整機構１０Ｙは、第１基板１３Ｙ有する入射側フィルタ部材１１Ｙと、第３基板１９Ｙを有する出射側フィルタ部材１２Ｙと、からなる。その第１基板１３Ｙは、上記した第１基板１３Ｉと同様の構成である。第３基板１９Ｙは、基本的に第３基板１９Ｉと同様の構成であって、第３基板１９Ｉよりも大きな構成とされるとともに、その先端箇所が切り欠かれて構成されている。このため、光量調整機構１０Ｙでは、光量調整機構１０Ｉ´´と同様の効果を得ることができる。

上記した図３７に示す例では、入射側フィルタ部材１１Ｉ´´と出射側フィルタ部材１２Ｉ´´とにより光量調整機構１０Ｉ´´が構成されていたが、図３９に示す光量調整機構１０Ｙ´のような構成とすることもできる。この光量調整機構１０Ｙ´は、第１基板１３Ｙ´を有する入射側フィルタ部材１１Ｙ´と、第３基板１９Ｙ´を有する出射側フィルタ部材１２Ｙ´と、からなる。その第１基板１３Ｙ´は、第１光路面１５Ｙ´と第１接合面１６Ｙ´とが所定の角度δ３の角度を為して実施例１の第１透過部材から形成されている。第３基板１９Ｙ´は、第３光路面２１Ｙ´と第３接合面２２Ｙ´とが所定の角度δ４の角度を為して第９透過部材から形成されている。その第９透過部材は、第１透過部材と異なる屈折率および透過率とされており、実施例１の第１透過部材と同様に形成されている。この第３基板１９Ｙ´では、第９透過部材における透過率を鑑みて、第１基板１３Ｙ´と同様に直線で示す光学濃度特性であってその光学濃度勾配を第１基板１３Ｙ´と等しくすべく、所定の角度δ４が設定されている。また、光量調整機構１０Ｙ´では、光量の調整の対象とする光束Ｂ（光）において、第１光路面１５Ｙ´（入射面（第１基板１３Ｙ´））に入射する前と第３光路面２１Ｙ´（出射面（第３基板１９Ｙ´））から出射された後とで、進行方向が互いに平行とする観点から、第１接合面１６Ｙ´と第３接合面２２Ｙ´とが為す角度が設定されて、第１基板１３Ｙ´と第３基板１９Ｙ´との位置関係が規定されている。このため、光量調整機構１０Ｙ´では、光量調整機構１０Ｉ´´と同様の効果を得ることができる。なお、この光量調整機構１０Ｙ´では、第１光路面１５Ｙ´（入射面（第１基板１３Ｙ´））に入射する前と第３光路面２１Ｙ´（出射面（第３基板１９Ｙ´））から出射された後とで、進行方向が互いに平行とする観点から第１基板１３Ｙ´と第３基板１９Ｙ´との位置関係が規定されていたが、図４０に示すように、進行方向を互いに平行とすることのない位置関係で第１基板１３Ｙ´と第３基板１９Ｙ´と設けてもよい。

上記した図４０に示す例では、入射側フィルタ部材１１Ｉ´´と出射側フィルタ部材１２Ｉ´´とにより光量調整機構１０Ｙ´が構成されていたが、図４１に示す光量調整機構１０Ｙ´´のような構成とすることもできる。この光量調整機構１０Ｙ´´では、入射側フィルタ部材１１Ｙ´´の構成が光量調整機構１０Ｙ´とは異なるものとされたものであり、出射側フィルタ部材１２Ｙ´は光量調整機構１０Ｙ´と同様の構成とされている。その入射側フィルタ部材１１Ｙ´´は、明確な図示は略すが、図１から図７に示す入射側フィルタ部材２と同様に構成されており、ガラス基板に蒸着膜としてのクロム膜が設けられて形成されている。この入射側フィルタ部材１１Ｙ´´は、光量調整機構１０Ｙ´の第１基板１３Ｙ´（図４０参照）と同様に直線で示す光学濃度特性であってその光学濃度勾配を図４０に示す例の第１基板１３Ｙ´すなわちこの例の出射側フィルタ部材１２Ｙ´と等しくすべく、蒸着膜（クロム膜）の厚さ寸法とその変化率とが設定されている。このため、光量調整機構１０Ｙ´´では、光量調整機構１０Ｙ´と同様の効果を得ることができる。なお、この光量調整機構１０Ｙ´´では、光束Ｂの進行方向に対して入射側フィルタ部材１１Ｙ´´の第１光路面１５Ｙ´´を直交させているが、第３基板１９Ｙ´（出射側フィルタ部材１２Ｙ´）の第３光路面２１Ｙ´から直交する進行方向で光束Ｂを出射させてもよい。また、光量調整機構１０Ｙ´´では、入射側フィルタ部材１１Ｙ´´を蒸着膜（クロム膜）を設けたガラス基板で形成していたが、出射側フィルタ部材１２Ｙ´を蒸着膜（クロム膜）を設けたガラス基板で形成してもよい。さらに、光量調整機構１０Ｙ´´では、入射側フィルタ部材１１Ｙ´´を、蒸着膜（クロム膜）を設けたガラス基板で形成していたが、直線で示す光学濃度特性であってその光学濃度勾配を出射側フィルタ部材と等しくするものであれば、濃度フィルムで形成するものであってもよい。その濃度フィルムは、透明フィルムドットプリンタ等を用いて濃淡を印刷することや、銀塩フィルムに濃淡を現像することにより形成することができる。このことは、出射側フィルタ部材１２Ｙ´に変えて設ける場合であっても同様である。

なお、上記した例および各実施例では、本発明に係る光量調整機構の一例としての光量調整機構１、１０〜１０Ｉ、１０Ｖ〜１０Ｙ（´や´´で示したものも含む）について説明したが、平坦な入射面を形成し、該入射面に沿う方向で見て連続的に変化する透過率とされた入射側フィルタ部材と、平坦な出射面を形成し、該入射側フィルタ部材と等しい光学濃度勾配を有する出射側フィルタ部材と、を備え、前記入射側フィルタ部材において、前記入射面から入射させた光束に対する透過率を連続的に変化させる方向を位置調整方向として、前記出射側フィルタ部材は、透過率を減少させる方向を、前記入射側フィルタ部材における透過率を減少させる方向とは反対の向きとしつつ前記位置調整方向に沿わせて前記入射側フィルタ部材と並列され、該入射側フィルタ部材との前記位置調整方向への相対的な移動が可能である光量調整機構であればよく、上記した各実施例に限定されるものではない。

また、上記した例および各実施例では、入射側フィルタ部材（１１等）および出射側フィルタ部材（１２等）において、全体に均一（一様）で同一の透過率の部材からなる楔形状の第１基板（１３等）または第３基板（１９等）を有するものとされていたが、位置調整方向Ｐ（Ｐ´）で見て連続的に変化する透過率とされているとともに、透過率を減少させる方向を互いに反対の向きとして入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材とが並列されているもの、すなわち入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材とを光学濃度特性を直線で示すものとするとともに互いに等しい光学濃度勾配とし、位置調整方向Ｐ（Ｐ´）での位置に対する光学濃度の変化（透過率を減少させる方向）を逆向きとして、入射側フィルタ部材と出射側フィルタ部材との相対的な向き（姿勢）を設定して構成されているものであればよく、上記した各実施例に限定されるものではない。このような他の例としては、例えば、図４２に示すような光量調整機構１０Ｊとしてもよい。この光量調整機構１０Ｊでは、第１基板２５（その表面）に複数の蒸着膜２６を形成して入射側フィルタ部材１１Ｊを構成するとともに、第２基板２７（その表面）に複数の蒸着膜２８を形成して出射側フィルタ部材１２Ｊを構成している。その第１基板２５および第２基板２７は、光の透過を許す部材（例えば、図１から図７に示す入射側フィルタ部材２に用いたガラス基板）からなり、所定の面積の入射面を形成可能な板状を呈している。各蒸着膜２６および各蒸着膜２８は、第１基板２５または第２基板２７における位置調整方向Ｐでの透過率を変化させる、望ましくは指数関数的に変化させる透過率設定部を構成するものであり、それぞれが所定の透過率に設定されている。この各蒸着膜２６および各蒸着膜２８は、例えば、図１から図７に示す入射側フィルタ部材２と同様のクロム膜で形成することができる。各蒸着膜２６および各蒸着膜２８は、位置調整方向Ｐに直交する方向に伸長しかつ、位置調整方向Ｐで所定の幅寸法とされている。図４２の例では各蒸着膜２６は、第１基板２５における形成された位置が、位置調整方向Ｐでの正側から負側へ向かうに連れて指数関数的に透過率が減少されている。また、図４２の例では、各蒸着膜２８は、第２基板２７における形成された位置が、位置調整方向Ｐでの負側から正側へ向かうに連れて指数関数的に透過率が減少されており、位置調整方向Ｐでの透過率の変化の態様（指数関数で示される）が各蒸着膜２６と互いに等しくかつ各蒸着膜２６とは反対向きとされている。この光量調整機構１０Ｊであっても、光量調整機構１、１０〜１０Ｉ、１０Ｖ〜１０Ｙ（´や´´で示したものも含む）と同様に、減光率の変更を可能としつつ、所定のビーム径を有する光束Ｂ内において径方向で見た透過率に差（差異）が生じることを防止することができる。また、他の例としては、図示は略すが、第１基板２５および第２基板２７（図４２参照）（その表面）に設ける透過率設定部として、均一な厚さで微小開口が形成された反射膜を設けるとともにその反射膜における微小開口の占める面積割合を入射面における位置の差異に応じて変化させて構成したりしてもよい。さらに、他の例としては、図示は略すが、上述した濃度フィルムで形成するものであってもよい。

さらに、上記した例および実施例１では、本発明に係る光量調整機構を用いた光量調整装置５０として光量調整機構１０を用いた例を示していたが、基本構成や実施例１のなお書きや実施例２から実施例５で示した光量調整機構１、１０Ａ〜１０Ｉ、１０Ｖ〜１０Ｙ（´や´´で示したものも含む）を用いるものであってもよく、上記した実施例１に限定されるものではない。

以上、本発明の光量調整機構を例および各実施例に基づき説明してきたが、具体的な構成についてはこの例および各実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。

１、１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ、１０Ｆ´、１０Ｆ´´、１０Ｇ´、１０Ｇ、１０Ｈ、１０Ｉ、１０Ｉ´、１０Ｉ´´、１０Ｊ、１０Ｖ、１０Ｖ´、１０Ｗ、１０Ｘ、１０Ｘ´、１０Ｙ、１０Ｙ´、１０Ｙ´´ 光量調整機構
２、１１、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ、１１Ｅ、１１Ｆ、１１Ｆ´、１１Ｇ´、１１Ｇ、１１Ｈ、１１Ｉ、１１Ｉ´、１１Ｉ´´、１１Ｊ、１１Ｖ、１１Ｖ´、１１Ｗ、１１Ｘ、１１Ｘ´、１１Ｙ、１１Ｙ´、１１Ｙ´´ 入射側フィルタ部材
３、１２、１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ、１２Ｅ、１２Ｆ、１２Ｆ´、１２Ｇ´、１２Ｇ、１２Ｈ、１２Ｉ、１２Ｉ´、１２Ｉ´´、１２Ｊ、１２Ｖ、１２Ｖ´、１２Ｗ、１２Ｘ、１２Ｘ´、１２Ｙ、１２Ｙ´、１２Ｙ´´ 出射側フィルタ部材
１３、１３Ｅ、１３Ｈ、１３Ｉ、１３Ｖ、１３Ｖ´、１３Ｗ、１３Ｘ、１３Ｘ´、１３Ｙ、１３Ｙ´ 第１基板
１４、１４Ｅ、１４Ｈ、１４Ｖ、１４Ｖ´、１４Ｗ 第２基板
１５、１５Ｈ、１５Ｉ、１５Ｖ、１５Ｖ´、１５Ｗ、１５Ｘ、１５Ｘ´、１５Ｙ、１５Ｙ´、１５Ｙ´´ 第１光路面
１６、１６Ｈ、１６Ｉ、１６Ｖ、１６Ｖ´、１６Ｗ、１６Ｘ、１６Ｘ´、１６Ｙ、１６Ｙ´、１６Ｙ´´ 第１接合面
１７、１７Ｈ、１７Ｖ、１７Ｖ´、１７Ｗ 第２光路面
１８、１８Ｈ、１８Ｖ、１８Ｖ´、１８Ｗ 第２接合面
１９、１９Ｅ、１９Ｈ、１９Ｉ、１９Ｖ、１９Ｖ´、１９Ｗ、１９Ｘ、１９Ｘ´、１９Ｙ、１９Ｙ´、１９Ｙ´´ 第３基板
２０、２０Ｅ、２０Ｈ、２０Ｖ、２０Ｖ´、２０Ｗ 第４基板
２１、２１Ｈ、２１Ｉ、２１Ｖ、２１Ｖ´、２１Ｗ、２１Ｘ、２１Ｘ´、２１Ｙ、２１Ｙ´、２１Ｙ´´ 第３光路面
２２、２２Ｈ、２２Ｉ、２２Ｖ、２２Ｖ´、２２Ｗ、２２Ｘ、２２Ｘ´、２２Ｙ、２２Ｙ´、２２Ｙ´´ 第３接合面
２３、２３Ｈ、２３Ｖ、２３Ｖ´、２３Ｗ 第４光路面
２４、２４Ｈ、２４Ｖ、２４Ｖ´、２４Ｗ 第４接合面
３１ 補正光学部材
５０ （光量調整機構の一つの適用例としての）光量調整装置
５１ 入射側移動機構
５２ 出射側移動機構
Ｏｐ （入射する前の光束と出射された後の光束との進行方向としての）光路方向
Ｐ、Ｐ´ 位置調整方向
Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４ 厚さ方向
θ、θ１、θ２、θ３、θ４、α、β、δ、δ１、δ２ 所定の角度
α１ （第１の所定の角度の一例としての）所定の角度
β１ （第２の所定の角度の一例としての）所定の角度
γ、γ１ （第３の所定の角度の一例としての）所定の角度
α２ （第４の所定の角度の一例としての）所定の角度
β２ （第５の所定の角度の一例としての）所定の角度
γ、γ２ （第６の所定の角度の一例としての）所定の角度
φ 所定の回転角度

Claims (16)

1. 平坦な入射面を形成し、該入射面に沿う方向で見て連続的に変化する透過率とされた入射側フィルタ部材と、
   平坦な出射面を形成し、該入射側フィルタ部材と等しい光学濃度勾配を有する出射側フィルタ部材と、を備え、
   前記入射側フィルタ部材において、前記入射面から入射させた光束に対する透過率を連続的に変化させる方向を位置調整方向として、
   前記出射側フィルタ部材は、透過率を減少させる方向を、前記入射側フィルタ部材における透過率を減少させる方向とは反対の向きとしつつ前記位置調整方向に沿わせて前記入射側フィルタ部材と並列され、該入射側フィルタ部材との前記位置調整方向への相対的な移動が可能であることを特徴とする光量調整機構。
2. 前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも一方は、所定の透過率の部材からなり前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有することを特徴とする請求項１に記載の光量調整機構。
3. 前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、
   前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とは、前記入射面から入射させた光束に対する前記出射面から出射させた光束との透過偏角をなくすべく、互いの屈折率と互いの楔形状の頂角とを設定して構成されていることを特徴とする請求項２に記載の光量調整機構。
4. 前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、
   前記入射側フィルタ部材の基板は、前記入射面に直交する厚さ方向で見た該入射面の反対側に、該入射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な入射側接合面を有し、
   前記出射側フィルタ部材の基板は、前記出射面に直交する厚さ方向で見た該出射面の反対側に、該出射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な出射側接合面を有し、
   前記入射側フィルタ部材の基板と前記出射側フィルタ部材の基板とは、前記入射側接合面と前記出射側接合面とを所定の間隔で並行に対向させて配置され、
   前記出射側フィルタ部材は、前記出射面から出射させる光束に対して該出射面を直交させる姿勢とされ、
   前記位置調整方向は、前記入射側接合面と前記出射側接合面とに沿う方向であることを特徴とする請求項２に記載の光量調整機構。
5. 前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、
   前記入射側フィルタ部材の基板は、前記入射面に直交する厚さ方向で見た該入射面の反対側に、該入射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な入射側接合面を有し、
   前記出射側フィルタ部材の基板は、前記出射面に直交する厚さ方向で見た該出射面の反対側に、該出射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な出射側接合面を有し、
   前記入射側フィルタ部材の基板と前記出射側フィルタ部材の基板とは、前記入射側接合面と前記出射側接合面とを所定の間隔で並行に対向させて配置され、
   前記入射側フィルタ部材は、前記入射面から入射させる光束に対して該入射面を直交させる姿勢とされ、
   前記位置調整方向は、前記入射側接合面と前記出射側接合面とに沿う方向であることを特徴とする請求項２に記載の光量調整機構。
6. 前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも他方は、前記位置調整方向で見て厚さ寸法が漸減する楔形状を呈する基板を有し、
   前記入射側フィルタ部材の基板は、前記入射面に直交する厚さ方向で見た該入射面の反対側に、該入射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な入射側接合面を有し、
   前記出射側フィルタ部材の基板は、前記出射面に直交する厚さ方向で見た該出射面の反対側に、該出射面に対して所定の角度で傾斜された平坦な出射側接合面を有し、
   前記入射側フィルタ部材の基板と前記出射側フィルタ部材の基板とは、前記入射側接合面と前記出射側接合面とを所定の間隔で並行に対向させて配置され、
   前記入射側フィルタ部材は、前記入射面から入射させる光束に対して該入射面を直交させる姿勢とされ、
   前記出射側フィルタ部材は、前記出射面から出射させる光束に対して該出射面を直交させる姿勢とされ、
   前記位置調整方向は、前記入射側接合面と前記出射側接合面とに沿う方向であることを特徴とする請求項２に記載の光量調整機構。
7. 前記入射側フィルタ部材は、所定の透過率の部材からなり前記入射面としての第１光路面を形成する第１基板と、該第１基板よりも低い所定の透過率の部材からなり平坦な第２光路面を形成する第２基板と、を備え、
   前記第１基板は、前記第１光路面に直交する厚さ方向で見た前記第１光路面の反対側に、該第１光路面に対して第１の所定の角度で傾斜された平坦な第１接合面を有し、
   前記第２基板は、前記第２光路面に直交する厚さ方向で見た前記第２光路面の反対側に、該第２光路面に対して第２の所定の角度で傾斜された平坦な第２接合面を有し、
   前記第１基板と前記第２基板とは、前記第１光路面に入射する前の光束の進行方向と、該光束が前記第１基板および前記第２基板を経て前記第２光路面から出射された後の進行方向と、を互いに平行とすべく、互いの屈折率と前記第１の所定の角度と前記第２の所定の角度とに基づいて、前記第１接合面と前記第２接合面とが第３の所定の角度を為して対向する位置関係とされ、
   前記出射側フィルタ部材は、所定の透過率の部材からなり前記出射面としての第３光路面を形成する第３基板と、該第３基板よりも低い所定の透過率の部材からなり平坦な第４光路面を形成する第４基板と、を備え、
   前記第３基板は、前記第３光路面に直交する厚さ方向で見た前記第３光路面の反対側に、該第３光路面に対して第４の所定の角度で傾斜された平坦な第３接合面を有し、
   前記第４基板は、前記第４光路面に直交する厚さ方向で見た前記第４光路面の反対側に、該第４光路面に対して第５の所定の角度で傾斜された平坦な第４接合面を有し、
   前記第３基板と前記第４基板とは、前記第４光路面に入射する前の光束の進行方向と、該光束が前記第３基板および前記第４基板を経て前記第３光路面から出射された後の進行方向と、を互いに平行とすべく、互いの屈折率と前記第４の所定の角度と前記第５の所定の角度とに基づいて、前記第３接合面と前記第４接合面とが第６の所定の角度を為して対向する位置関係とされていることを特徴とする請求項１に記載の光量調整機構。
8. 前記第１基板と前記第２基板とは、略等しい屈折率とされ、
   前記第１の所定の角度と第２の所定の角度とは、互いに等しい大きさとされ、
   前記第３の所定の角度は、前記第１接合面と前記第２接合面とを平行とする大きさとされ、
   前記第３基板と前記第４基板とは、略等しい屈折率とされ、
   前記第４の所定の角度と第５の所定の角度とは、互いに等しい大きさとされ、
   前記第６の所定の角度は、前記第３接合面と前記第４接合面とを平行とする大きさとされていることを特徴とする請求項７に記載の光量調整機構。
9. 前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とは、前記入射面から前記入射側フィルタ部材内へと入射させた光束に対して該入射側フィルタ部材から出射された光束におけるずれ量を、前記出射側フィルタ部材内へと入射させた光束に対して該出射側フィルタ部材の前記出射面から出射させた光束におけるずれ量で打ち消すべく、相対的な位置が設定されていることを特徴とする請求項８に記載の光量調整機構。
10. 請求項８に記載の光量調整機構であって、
    さらに、前記入射面から入射させた光束に対する前記出射面から出射させた光束のずれ量を打ち消す補正光学部材を備えることを特徴とする光量調整機構。
11. 前記第１基板と前記第２基板とは、前記第１接合面と前記第２接合面とが面当接されて結合され、
    前記第３基板と前記第４基板とは、前記第３接合面と前記第４接合面とが面当接されて結合されていることを特徴とする請求項９に記載の光量調整機構。
12. 前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも一方は、光の透過を許す部材に蒸着膜が設けられて形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光量調整機構。
13. 前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材との少なくとも一方は、濃度フィルムであることを特徴とする請求項１に記載の光量調整機構。
14. 所定の透過率の部材からなり平坦な第１光路面を形成する第１基板と、該第１基板よりも低い所定の透過率の部材からなり平坦な第２光路面を形成する第２基板と、前記第１基板と同一の部材からなり平坦な第３光路面を形成する第３基板と、前記第２基板と同一の部材からなり平坦な第４光路面を形成する第４基板と、を備え、
    前記第１基板は、前記第１光路面に直交する厚さ方向で見た前記第１光路面の反対側に、該第１光路面に対して所定の角度で傾斜された平坦な第１接合面を有し、
    前記第２基板は、前記第２光路面の前記第１光路面との平行な状態を維持しつつ前記第１接合面に面当接可能な第２接合面を有し、
    前記第１基板と前記第２基板とが、略等しい屈折率とされ、
    前記第１基板と前記第２基板とは、前記第１接合面と前記第２接合面とが面当接されて結合され、
    前記第３基板は、前記第３光路面を前記厚さ方向に直交させて設けられるとともに、該厚さ方向で見た前記第３光路面の反対側に、該第３光路面に対して前記所定の角度で傾斜された平坦な第３接合面を有し、
    前記第４基板は、前記第４光路面を前記厚さ方向に直交させて設けられるとともに、前記第４光路面の前記第３光路面との平行な状態を維持しつつ前記第３接合面に面当接可能な第４接合面を有し、
    前記第３基板と前記第４基板とは、前記第３接合面と前記第４接合面とが面当接されて結合され、
    前記第１基板と前記第３基板とは、前記厚さ方向に直交する方向を位置調整方向として、該位置調整方向での相対的な位置が設定されると、互いに重なりあった箇所における前記厚さ方向で見た厚さ寸法の合計値が、前記位置調整方向での位置に拘らず一定とする位置関係とされていることを特徴とする光量調整機構。
15. 請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の光量調整機構であって、
    さらに、前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とを保持する保持機構を備え、
    前記入射側フィルタ部材と前記出射側フィルタ部材とは、前記保持機構により前記位置調整方向へと相対的に移動可能に保持されていることを特徴とする光量調整機構。
16. 前記保持機構は、前記入射側フィルタ部材を前記位置調整方向に移動可能に保持する入射側移動機構部と、
    前記出射側フィルタ部材を前記位置調整方向に移動可能に保持する出射側移動機構部と、を有することを特徴とする請求項１５に記載の光量調整機構。