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JP2013159540A - Scribing device - Google Patents

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JP2013159540A
JP2013159540A JP2012025091A JP2012025091A JP2013159540A JP 2013159540 A JP2013159540 A JP 2013159540A JP 2012025091 A JP2012025091 A JP 2012025091A JP 2012025091 A JP2012025091 A JP 2012025091A JP 2013159540 A JP2013159540 A JP 2013159540A
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JP
Japan
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scribing
air
slider block
scribe
brittle material
Prior art date
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Pending
Application number
JP2012025091A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshiyuki Sakai
敏行 酒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd filed Critical Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority to JP2012025091A priority Critical patent/JP2013159540A/en
Priority to KR1020130008578A priority patent/KR20130091673A/en
Priority to CN2013100483074A priority patent/CN103241932A/en
Priority to TW102105220A priority patent/TW201332918A/en
Publication of JP2013159540A publication Critical patent/JP2013159540A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
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    • F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
    • F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
    • F16C32/0625—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via supply slits

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a slider block from warping due to the weight of a scribing head in a scribing device which moves a scribing head along a beam through a slider block.SOLUTION: The shape of a slider block 17, in which a scribing head is installed, is formed into a shape of a frame which surrounds a beam 12.

Description

本発明は脆性材料基板にスクライブラインを形成するスクライブ装置に関し、特にスクライブヘッドの保持に関するものである。   The present invention relates to a scribe device for forming a scribe line on a brittle material substrate, and more particularly to holding a scribe head.

従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルに成るように分断される。このマザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。   Conventionally, in a flat panel display such as a liquid crystal display panel or a liquid crystal projector substrate, a mother glass substrate is bonded together in a manufacturing process and then divided into a single panel having a predetermined size. The cutting of the brittle material substrate such as the mother glass substrate includes a scribe process and a break process, and a scribe device is used in the scribe process.

図１は、従来のスクライブ装置の一例を示す概略斜視図である。このスクライブ装置１００は、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。   FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a conventional scribing apparatus. In the scribing apparatus 100, a moving base 101 is held so as to be movable in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed with the moving table 101. The ball screw 103 is rotated by driving the motor 104, and moves the moving base 101 in the y-axis direction along the guide rails 102a and 102b. A motor 105 is provided on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 on the xy plane and positions it at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on the table 106 and held by a vacuum suction means (not shown). Two CCD cameras 108 that image the alignment marks of the brittle material substrate 107 are provided on the scriber.

スクライブ装置１００には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１１０がｘ軸方向に沿って支柱１１１ａ，１１１ｂにより架設されている。ブリッジ１１０は横方向にビーム１１２が設けられ、ビーム１１２の長手方向にリニアモータ１１３が設けられる。リニアモータ１１３はスクライブヘッド１１４をｘ軸方向に沿って移動させる駆動源である。スクライブヘッド１１４の下端部には、スクライビングホイールを有するチップホルダ１１５が取付けられている。   In the scribe device 100, a bridge 110 is installed by struts 111 a and 111 b along the x-axis direction so as to straddle the moving table 101 and the upper table 106. The bridge 110 is provided with a beam 112 in the lateral direction, and a linear motor 113 is provided in the longitudinal direction of the beam 112. The linear motor 113 is a drive source that moves the scribe head 114 along the x-axis direction. A tip holder 115 having a scribing wheel is attached to the lower end portion of the scribe head 114.

図２は支柱１１１ａ，１１１ｂに張架されたビーム１１２とビーム１１２に取付けられたスクライブヘッド１１４を示す概略図である。本図に示すように、リニアモータ１１３の可動部にはスライドベース１１６が取付けられ、スライドベース１１６に更にスクライブヘッド１１４が取付けられている。スクライブヘッド１１４はチップホルダ１１５を昇降動可能に保持している。チップホルダ１１５は下部に円板状のホイールチップ（以下、単にチップという）１１７を回転可能に保持するものである。ホイールチップ１１７は脆性材料基板に適切な荷重にて圧接しながら転動してスクライブラインを形成する。スクライブヘッド１１４には、その内部にそうした昇降動作を可能とする昇降部、例えば空気圧制御を用いるエアーシリンダーやリニアモータによる電動昇降部などが設けられている。   FIG. 2 is a schematic view showing the beam 112 stretched between the columns 111 a and 111 b and the scribe head 114 attached to the beam 112. As shown in the figure, a slide base 116 is attached to the movable part of the linear motor 113, and a scribe head 114 is further attached to the slide base 116. The scribe head 114 holds the chip holder 115 so as to be movable up and down. The chip holder 115 holds a disk-shaped wheel chip (hereinafter simply referred to as a chip) 117 rotatably at the lower part. The wheel chip 117 rolls while being pressed against the brittle material substrate with an appropriate load to form a scribe line. The scribe head 114 is provided with an elevating unit that enables such an elevating operation, for example, an air cylinder using air pressure control or an electric elevating unit using a linear motor.

又特許文献２にはモータによって送りねじを回転させ、送りねじに沿ってスクライブヘッドを脆性材料基板上で平行に移動させスクライブを行うスクライブ装置が提案されている。   Patent Document 2 proposes a scribing device that performs scribing by rotating a feed screw by a motor and moving a scribe head in parallel on the brittle material substrate along the feed screw.

国際公開ＷＯ２００９／１５７４４０号International Publication WO2009 / 157440 特開２００４−１０４５２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-10452

しかるに特許文献１及び２のスクライブ装置では、いずれもスクライブヘッドはリニアモータや送りねじの側方に張り出して取付けられている。そのためスクライブヘッドの重みによって図２の時計方向に回転モーメントが生じる。従ってスライドベースが歪みを受けやすく、スクライビング時にスクライブ位置の位置ずれが生じ易くなり、スクライブ位置の精度が低下するという問題点があった。   However, in the scribing devices of Patent Documents 1 and 2, the scribing head is attached to the side of the linear motor or the feed screw. Therefore, a rotational moment is generated in the clockwise direction in FIG. 2 due to the weight of the scribe head. Therefore, there is a problem that the slide base is easily distorted, the scribe position is liable to be displaced during scribing, and the accuracy of the scribe position is lowered.

本発明はこのような従来のスクライブ位置の問題点に鑑みてなされたものであって、スライドベースをスクライブヘッドの重みによる歪みを受けにくい形状とし、スクライブ位置の精度を向上させるようにすることを技術的課題とする。   The present invention has been made in view of the problems of the conventional scribing position, and is intended to improve the accuracy of the scribing position by making the slide base into a shape that is difficult to be distorted by the weight of the scribing head. Technical issue.

この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、脆性材料基板が設置されるテーブルと、前記テーブルに設置される脆性材料基板の面に平行な面を含むビームを有するブリッジと、前記ビームの各面を取り囲むように形成されたスライダブロックと、前記スライダブロックを前記ビームに沿って直線移動させるリニアモータと、前記スライダブロックに取付けられ、前記脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、を具備するものである。   In order to solve this problem, a scribing apparatus of the present invention includes a table on which a brittle material substrate is installed, a bridge having a beam including a plane parallel to the surface of the brittle material substrate installed on the table, and the beam. A slider block formed so as to surround each surface, a linear motor that linearly moves the slider block along the beam, and a scribe wheel that is attached to the slider block and holds a scribing wheel that scribes the brittle material substrate. And a head.

ここで前記スライダブロックは、前記ビームに対向する面に配置され、前記ビームに向けて空気を噴出する複数のエアパッドと、前記エアパッドに空気を供給する空気供給部と、を有するようにしてもよい。   Here, the slider block may include a plurality of air pads that are arranged on a surface facing the beam, and eject air toward the beam, and an air supply unit that supplies air to the air pad. .

ここで前記エアパッドは、前記ビームの夫々の面に対して少なくとも３個設けられているようにしてもよい。   Here, at least three air pads may be provided for each surface of the beam.

ここで前記スライダブロックは、枠状に形成されているようにしてもよい。   Here, the slider block may be formed in a frame shape.

このような特徴を有する本発明によれば、スライダブロックがビームを取り囲むようにしているため、スクライブヘッドの重みによるスライダブロックの歪みを抑えることができる。従ってスクライビングの位置精度を向上させることができるという効果が得られる。   According to the present invention having such a feature, since the slider block surrounds the beam, distortion of the slider block due to the weight of the scribe head can be suppressed. Therefore, the effect that the scribing position accuracy can be improved is obtained.

図１は従来のスクライブ装置の概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a conventional scribing apparatus. 図２は従来のスクライブ装置のビームとスクライブヘッドを示す図である。FIG. 2 is a view showing a beam and a scribe head of a conventional scribe device. 図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置の概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view of the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図４は本発明の実施の形態によるスクライブ装置に用いられるビームとスライダブロックを示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing beams and slider blocks used in the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図５はスライダブロックの詳細を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing details of the slider block. 図６はスライダブロックのＡ−Ａ線断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of the slider block taken along line AA. 図７は本発明の実施の形態によるスクライブ装置のブロック図である。FIG. 7 is a block diagram of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention. 図８は複数のビームに複数のスライダブロックを取付けた状態を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a state in which a plurality of slider blocks are attached to a plurality of beams.

図３は本発明の実施の形態によるスクライブ装置を示す斜視図である。このスクライブ装置において、前述した従来例と同一部分は同一符号を付している。本実施の形態によるスクライブ装置１も、移動台１０１が一対の案内レール１０２ａ、１０２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。ボ−ルネジ１０３は移動台１０１と螺合している。ボールネジ１０３はモータ１０４の駆動により回転し、移動台１０１を案内レール１０２ａ，１０２ｂに沿ってｙ軸方向に移動させる。移動台１０１の上面にはモータ１０５が設けられている。モータ１０５はテーブル１０６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１０７はこのテーブル１０６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。スクライブ装置１の上部には、脆性材料基板１０７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１０８が設けられている。   FIG. 3 is a perspective view showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention. In this scribing apparatus, the same parts as those in the conventional example described above are denoted by the same reference numerals. Also in the scribing apparatus 1 according to the present embodiment, the movable table 101 is held so as to be movable in the y-axis direction along the pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed with the moving table 101. The ball screw 103 is rotated by driving the motor 104, and moves the moving base 101 in the y-axis direction along the guide rails 102a and 102b. A motor 105 is provided on the upper surface of the movable table 101. The motor 105 rotates the table 106 on the xy plane and positions it at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on the table 106 and held by a vacuum suction means (not shown). Two CCD cameras 108 that image the alignment marks of the brittle material substrate 107 are provided on the top of the scribe device 1.

スクライブ装置１には、移動台１０１とその上部のテーブル１０６をまたぐようにブリッジ１０がｘ軸方向に沿って架設されている。ブリッジ１０は左右の一対の支柱１１ａ，１１ｂとその間のビーム１２から成り、ビーム１２はテーブル１０６から所定間隔を隔ててテーブル１０６の面に平行に設けられている。ビーム１２は断面が一定の細長い部材であり、両側の側面には夫々長手方向に沿って溝１３Ａ，１３Ｂが形成されている。このビーム１２の長手方向にリニアモータ１４が設けられる。リニアモータ１４はスクライブヘッド１５をｘ軸方向に沿って移動させる駆動源である。スクライブヘッド１５の下端部には、スクライビングホイールを有するチップホルダ１６が取付けられている。スクライブヘッド１５やチップホルダ１６は従来のものと同様である。   In the scribe device 1, a bridge 10 is installed along the x-axis direction so as to straddle the movable table 101 and the table 106 on the upper side thereof. The bridge 10 includes a pair of left and right support columns 11 a and 11 b and a beam 12 therebetween. The beam 12 is provided in parallel to the surface of the table 106 at a predetermined interval from the table 106. The beam 12 is an elongated member having a constant cross section, and grooves 13A and 13B are formed along the longitudinal direction on both side surfaces. A linear motor 14 is provided in the longitudinal direction of the beam 12. The linear motor 14 is a drive source that moves the scribe head 15 along the x-axis direction. A tip holder 16 having a scribing wheel is attached to the lower end portion of the scribe head 15. The scribe head 15 and the chip holder 16 are the same as those in the prior art.

図４はスクライブ装置１のスライダブロックが取付けられるビームと支柱の異なった方向からの斜視図を示している。このビーム１２を周囲から取り囲むように、枠状に形成されたスライダブロック１７が設けられる。スライダブロック１７にはスクライブヘッド１５が取付けられるが、図４では省略して示している。以下スライダブロック１７について詳細に説明する。   FIG. 4 shows perspective views from different directions of the beam and the column to which the slider block of the scribing apparatus 1 is attached. A slider block 17 formed in a frame shape is provided so as to surround the beam 12 from the periphery. A scribe head 15 is attached to the slider block 17 but is omitted from FIG. Hereinafter, the slider block 17 will be described in detail.

図５はスライダブロック１７を拡大して示す斜視図であり、図６はそのＡ−Ａ線断面図である。これらの図に示すようにスライダブロック１７は枠状の部材であって、ビーム１２を取り囲むように形成されている。スライダブロック１７は平板状部材が組み合わせて構成されている。ビーム１２の溝１３Ａの内側には、スライダブロック１７の位置を検出するためのリニアスケール１８が設けられている。   FIG. 5 is an enlarged perspective view showing the slider block 17, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line AA. As shown in these drawings, the slider block 17 is a frame-like member and is formed so as to surround the beam 12. The slider block 17 is configured by combining flat members. A linear scale 18 for detecting the position of the slider block 17 is provided inside the groove 13A of the beam 12.

スライダブロック１７の上面、左右側面及び下面には、図示のように夫々３箇所にエアパッド２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃが設けられる。ここでエアパッド２１Ａ，２２Ａ，２３Ａ，２４Ａのみが円形であり、他は矩形状となっている。エアパッドはアルミニウム製の平板状部材であり、表面がアルマイト処理されている。また側方には空気取込み孔を有し、ビーム１２と対向する面には空気取り込み孔に連通する多数の小孔が設けられている。エアパッドは円形の方が安定した浮力が得られるが、各面の隣接する２つの矩形のエアパッド２１Ｂ，２１Ｃ，２２Ｂ，２２Ｃ，２３Ｂ，２３Ｃ，２４Ｂ，２４Ｃを左右に設けることで、その間をチューブによって配管可能としている。各エアパッドは全て側方にプラグが突出しており、各プラグは柔軟なパイプによって連結されており、スライダブロック１７の側方のプラグ２５に連結されている。プラグ２５は外部より空気を取り入れるためのものであり、後述するエアポンプに連結されている。   As shown in the figure, air pads 21A, 21B, 21C, 22A, 22B, 22C, 23A, 23B, 23C, 24A, 24B, and 24C are provided on the upper surface, left and right side surfaces, and the lower surface of the slider block 17, respectively. Here, only the air pads 21A, 22A, 23A, and 24A are circular, and the others are rectangular. The air pad is a flat plate member made of aluminum, and the surface thereof is anodized. In addition, an air intake hole is provided on the side, and a large number of small holes communicating with the air intake hole are provided on the surface facing the beam 12. A circular air pad can provide more stable buoyancy, but two rectangular air pads 21B, 21C, 22B, 22C, 23B, 23C, 24B, and 24C adjacent to each side are provided on the left and right sides, and a tube is interposed between them. Piping is possible. Each air pad has a laterally projecting plug, and each plug is connected by a flexible pipe and connected to a side plug 25 of the slider block 17. The plug 25 is for taking in air from the outside, and is connected to an air pump described later.

各エアパッドの中心には外向きに移動可能軸が設けられており、各エアパッドは、夫々軸方向にわずかに移動自在となり、図示しないばねによってビーム１２の方向に付勢されている。   An axially movable shaft is provided at the center of each air pad. Each air pad is slightly movable in the axial direction, and is biased toward the beam 12 by a spring (not shown).

次に本実施の形態によるスクライブ装置１の構成について、ブロック図を用いて説明する。図７はスクライブ装置１の制御系を示すブロック図である。本図において２台のＣＣＤカメラ１０８からの出力は画像処理部４１を介して制御部４２に与えられる。制御部４２はスクライブラインを形成するためにＸモータ駆動部４４、Ｙモータ駆動部４５を制御するものである。これらのモータ駆動部４３，４４は夫々リニアモータ１４，モータ１０４を直接駆動するものである。又回転用モータ駆動部４５はモータ１０５を駆動し、テーブル１０６上に配置された脆性材料基板１０７を回転させると共に、角度ずれがあるときにその角度ずれを打ち消すものである。更に制御部４２にはエアポンプ駆動部４６、チップホルダ昇降駆動部４７やモニタ４８が接続される。エアポンプ駆動部４６はリニアモータ１４によってスクライブヘッドを直線的に移動させる際に、エアポンプ４９を同時に駆動するものである。又チップホルダ昇降駆動部４７は、スクライブ時にホイールチップが脆性材料基板の表面上を適切な荷重にて圧接するように駆動するものである。ここでエアポンプ駆動部４６とエアポンプ４９とは、スクライブヘッドの移動時にエアパッドに空気を供給する空気供給部を構成している。   Next, the configuration of the scribing apparatus 1 according to the present embodiment will be described using a block diagram. FIG. 7 is a block diagram showing a control system of the scribing apparatus 1. In this figure, outputs from two CCD cameras 108 are given to the control unit 42 via the image processing unit 41. The control unit 42 controls the X motor driving unit 44 and the Y motor driving unit 45 in order to form a scribe line. These motor drive units 43 and 44 directly drive the linear motor 14 and the motor 104, respectively. The rotation motor driving unit 45 drives the motor 105 to rotate the brittle material substrate 107 disposed on the table 106 and cancels the angular deviation when there is an angular deviation. Further, an air pump drive unit 46, a chip holder lifting drive unit 47 and a monitor 48 are connected to the control unit 42. The air pump drive unit 46 drives the air pump 49 simultaneously when the linear motor 14 moves the scribe head linearly. The tip holder lifting / lowering drive unit 47 drives the wheel tip so as to press the surface of the brittle material substrate with an appropriate load during scribing. Here, the air pump drive unit 46 and the air pump 49 constitute an air supply unit that supplies air to the air pad when the scribe head moves.

次に本実施の形態によるスクライブ装置の動作について説明する。スライダブロック１７がビーム１２の所定位置に停止している状態では、各エアパッドには外部より空気が供給されず図示しないばねによりビーム１２に向けて付勢され、ビーム１２の面に接触している。そしてスクライブ時にはリニアモータ１４によりスライダブロック１７を移動させる。このときエアポンプ駆動部４６よりエアポンプ４９が起動し、プラグ２５を介して各面のエアパッド２１Ａ〜２４Ｃに圧縮空気が供給される。これによって各エアパッド２１Ａ〜２４Ｃよりビーム１２に向けて空気が同じ圧力で噴出する。すると、ばねの付勢力に抗してエアパッドがビーム１２の各面からわずかに浮上し、スライダブロック１７の各面のエアパッドの位置でビーム１２との間隔が等しくなる。そのためスライダブロック１７の姿勢が安定する。同時にスクライブブロック１７の移動に伴う摺動抵抗も軽減されることとなり、ビーム１２に沿って容易に直線移動させることができる。そしてこの移動中にはスクライブヘッド１５が下降し、脆性材料基板に対してスクライビングホイールを転動させてスクライブが行われる。これによりスクライブの位置精度を向上させることができる。   Next, the operation of the scribing apparatus according to this embodiment will be described. In a state where the slider block 17 is stopped at a predetermined position of the beam 12, air is not supplied from the outside to each air pad but is urged toward the beam 12 by a spring (not shown) and is in contact with the surface of the beam 12. . At the time of scribing, the slider block 17 is moved by the linear motor 14. At this time, the air pump 49 is activated by the air pump drive unit 46, and compressed air is supplied to the air pads 21 </ b> A to 24 </ b> C on each surface via the plug 25. As a result, air is ejected from the air pads 21A to 24C toward the beam 12 at the same pressure. Then, the air pad slightly floats from each surface of the beam 12 against the urging force of the spring, and the distance from the beam 12 becomes equal at the position of the air pad on each surface of the slider block 17. Therefore, the posture of the slider block 17 is stabilized. At the same time, the sliding resistance accompanying the movement of the scribe block 17 is reduced, and the linear movement can be easily performed along the beam 12. During this movement, the scribing head 15 is lowered, and the scribing wheel is rolled with respect to the brittle material substrate to perform scribing. Thereby, the position accuracy of scribe can be improved.

又スクライブが終了すると、リニアモータ１４の駆動が停止すると共にエアポンプ４９も停止する。従って空気の供給が停止され、各エアパッドがビーム１２に当接して停止する。   When the scribing is finished, the driving of the linear motor 14 is stopped and the air pump 49 is also stopped. Accordingly, the supply of air is stopped, and each air pad comes into contact with the beam 12 and stops.

尚この実施の形態では各面に複数のエアパッドを設けているが、単に枠状のスライダブロックを用いて位置を安定化させるようにしてもよい。又エアパッドの数は各面に３つであることが好ましいが、３以上であってもよい。   In this embodiment, a plurality of air pads are provided on each surface. However, the position may be stabilized by simply using a frame-like slider block. The number of air pads is preferably three on each surface, but may be three or more.

尚この実施の形態ではビーム１２に沿って１つのスクライブヘッドを直線的に移動自在としているが、１つのビームに複数のスライダブロックを設け、同一のビームに複数のスライダブロックを移動させるようにしてもよい。又２枚の脆性材料基板を貼り合わせた貼り合わせ基板を分断するために、上下よりスクライブを行う場合には、図８に示すように、上下に平行な一対のビーム１２Ａ，１２Ｂを設け、各ビームに少なくとも１つのスライダブロック、ここではスライダブロック１７Ａ〜１７Ｄを移動自在に配置するようにしてもよい。   In this embodiment, one scribe head is linearly movable along the beam 12. However, a plurality of slider blocks are provided for one beam, and a plurality of slider blocks are moved to the same beam. Also good. In addition, when scribe is performed from above and below to sever a bonded substrate obtained by bonding two brittle material substrates, a pair of beams 12A and 12B parallel to the top and bottom are provided as shown in FIG. At least one slider block, here the slider blocks 17A to 17D, may be movably disposed on the beam.

更にこの実施の形態ではスライダブロックを枠状となるように形成しているが、いずれか一面、例えば下面にはスリットを設け、枠状でなく切欠き部分を設けるようにしてもよい。こうすればわずかに軽量化になるだけでなく、外部からのパイプの供給部分として用いることもできる。   Further, in this embodiment, the slider block is formed in a frame shape, but a slit may be provided on any one surface, for example, the lower surface, and a notched portion may be provided instead of the frame shape. This not only reduces the weight slightly, but can also be used as an external pipe supply.

本発明はビームに沿ってスライダブロックを介して直線状にスクライブヘッドを移動させる際にスクライブヘッドの姿勢を安定にすることができるので、脆性材料基板をスクライブするスクライブ装置に好適である。   The present invention can stabilize the posture of the scribe head when the scribe head is moved linearly along the beam via the slider block, and thus is suitable for a scribe device for scribing a brittle material substrate.

１０ ブリッジ
１１ａ，１１ｂ 支柱
１２，１２Ａ，１２Ｂ ビーム
１３Ａ，１３Ｂ 溝
１４ リニアモータ
１５ スクライブヘッド
１６ チップホルダ
１７，１７Ａ，１７Ｂ スライダブロック
２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ エアパッド 10 Bridge 11a, 11b Post 12, 12A, 12B Beam 13A, 13B Groove 14 Linear motor 15 Scribe head 16 Tip holder 17, 17A, 17B Slider block 21A, 21B, 21C, 22A, 22B, 22C, 23A, 23B, 23C, 24A, 24B, 24C Air pad

Claims (4)

脆性材料基板が設置されるテーブルと、
前記テーブルに設置される脆性材料基板の面に平行な面を含むビームを有するブリッジと、
前記ビームの各面を取り囲むように形成されたスライダブロックと、
前記スライダブロックを前記ビームに沿って直線移動させるリニアモータと、
前記スライダブロックに取付けられ、前記脆性材料基板をスクライブするスクライビングホイールを保持するスクライブヘッドと、を具備するスクライブ装置。 A table on which a brittle material substrate is installed;
A bridge having a beam including a plane parallel to the plane of the brittle material substrate placed on the table;
A slider block formed so as to surround each surface of the beam;
A linear motor that linearly moves the slider block along the beam;
And a scribing head attached to the slider block and holding a scribing wheel for scribing the brittle material substrate. 前記スライダブロックは、
前記ビームに対向する面に配置され、前記ビームに向けて空気を噴出する複数のエアパッドと、
前記エアパッドに空気を供給する空気供給部と、を有する請求項１記載のスクライブ装置。 The slider block is
A plurality of air pads arranged on a surface facing the beam and ejecting air toward the beam;
The scribing apparatus according to claim 1, further comprising: an air supply unit that supplies air to the air pad. 前記エアパッドは、前記ビームの夫々の面に対して少なくとも３個設けられている請求項２記載のスクライブ装置。   The scribing apparatus according to claim 2, wherein at least three air pads are provided for each surface of the beam. 前記スライダブロックは、枠状に形成されている請求項１〜３のいずれか１項記載のスクライブ装置。   The scribing device according to claim 1, wherein the slider block is formed in a frame shape.
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