JP2012110970A - 研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨パッド10は、湿式凝固法により作製されたウレタンシート2を有している。ウレタンシート2は、一面側にスキン層2aを有しており、スキン層2aより内側にナップ層2bを有している。ナップ層2bには、ウレタンシート2の厚さ方向に沿って縦長のセル3が形成されている。セル3の間には、セル3より小さい孔径の多数の微細孔が形成されている。スキン層2a、セル3および微細孔は網目状に連通している。ウレタンシート2は、成膜時の樹脂溶液として、界面活性剤を添加することなく、ポリウレタン樹脂、良溶媒のDMFおよび貧溶媒の水が混合され形成されたものである。界面活性剤の溶出がなく泡立ちが抑制される。
【選択図】図1
Description
本実施形態の研磨パッド10は、図1に示すように、湿式凝固法により成膜されたポリウレタン樹脂(軟質樹脂)製の樹脂シートとしてのウレタンシート2を有している。
研磨パッド10は、湿式凝固法により成膜したウレタンシート2にバフ処理を施した後、両面テープ7とウレタンシート2とを貼り合わせる貼り合わせ工程を経て製造される。湿式凝固法では、ポリウレタン樹脂を含む樹脂溶液を調製する準備工程(準備ステップ)、樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液中で樹脂溶液を凝固させてポリウレタン樹脂をシート状に形成するシート形成工程(シート形成ステップ)、シート状のポリウレタン樹脂を洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程を経てウレタンシート2を作製する。以下、工程順に説明する。
次に、本実施形態の研磨パッド10の作用等について説明する。
実施例1では、ポリエステル系ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂では、100%モジュラスが6MPaであり、水トレランス(凝固価R)が11.0を示した。水トレランスは、以下の手順で測定したものである。すなわち、ポリウレタン樹脂をDMFに溶解させ、樹脂固形分が1wt%のポリウレタン樹脂溶液を調製する。このポリウレタン樹脂溶液の100gを三角フラスコ(300ml容)に精秤採取し、三角フラスコを10ポイント活字原稿の上に載置する。三角フラスコ内のポリウレタン樹脂溶液をスターラで攪拌しながら、三角フラスコに20℃の環境下で水を滴下する。三角フラスコの上方から活字原稿を目視にて判読し、ポリウレタン樹脂溶液が白濁して原稿を判読できなくなったときまでに滴下された水の量を水トレランスとして読み取る。
実施例2〜実施例3では、表1に示すように、樹脂溶液の100部に対する水およびDMFの混合割合を変えたこと以外は実施例1と同様にした。すなわち、実施例2では水の5部、DMFの30部を混合し、実施例3では水の10部、DMFの25部を混合した。これにより、水添加率は、実施例2では16.7%となり水トレランスに対して1.52倍、実施例3では33.3%となり水トレランスに対して3.03倍となる。いずれも、水添加率が0.2R〜4.5Rの範囲を満たしている。
表1に示すように、比較例1では、樹脂溶液に水を混合せずDMFの35部を混合したこと以外は実施例1と同様にした。比較例2では、樹脂溶液の100部に対し、水の20部、DMFの15部を混合したこと以外は実施例1と同様にした。これにより、比較例2では、水添加率が66.7%となり水トレランスに対して6.06倍となる。従って、比較例2は、水添加率が0.2R〜4.5Rの範囲を満たさない研磨パッドである。
実施例4では、ポリエーテル系ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂では、100%モジュラスが8.5MPaであり、水トレランス(凝固価R)が4.6を示した。下表3に示すように、実施例4では、ポリウレタン樹脂を30wt%となるようにDMFに溶解させ、この溶液の100部に対して、貧溶媒の水の5部、DMFの30部および顔料等の添加剤を分散させた溶液の14部を混合し樹脂溶液を調製した。この樹脂溶液では、ポリウレタン樹脂に対する水の添加率が16.7%となる。水トレランスが4.6であることから、水添加率が水トレランスの3.63倍となり、0.2R〜4.5Rの範囲を満たしている。
表3に示すように、比較例3では、樹脂溶液に水を混合せずDMFの35部を混合したこと以外は実施例4と同様にした。比較例4では、樹脂溶液の100部に対し、水の10部、DMFの25部を混合したこと以外は実施例4と同様にした。これにより、比較例4では、水添加率が33.3%となり水トレランスに対して7.24倍となる。従って、比較例4は、水添加率が0.2R〜4.5Rの範囲を満たさない研磨パッドである。
実施例5では、ポリカーボネート系ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂では、100%モジュラスが8.5MPaであり、水トレランス(凝固価R)が3.8を示した。下表5に示すように、実施例5では、ポリウレタン樹脂を30wt%となるようにDMFに溶解させ、この溶液の100部に対して、貧溶媒の水の5部、DMFの30部および顔料等の添加剤を分散させた溶液の14部を混合し樹脂溶液を調製した。この樹脂溶液では、ポリウレタン樹脂に対する水の添加率が16.7%となる。水トレランスが3.8であることから、水添加率が水トレランスの4.39倍となり、0.2R〜4.5Rの範囲を満たしている。
表5に示すように、比較例5では、樹脂溶液に水を混合せずDMFの35部を混合したこと以外は実施例5と同様にした。比較例6では、樹脂溶液の100部に対し、水の10部、DMFの25部を混合したこと以外は実施例5と同様にした。これにより、比較例6では、水添加率が33.3%となり水トレランスに対して8.76倍となる。従って、比較例6は、水添加率が0.2R〜4.5Rの範囲を満たさない研磨パッドである。比較例7では、比較例5で用いたものと同様の樹脂溶液に発泡調整剤として陰イオン系界面活性剤(DIC株式会社製、クリスボンアシスターSD−11)を添加したこと以外は比較例5と同様にした。発泡調整剤の添加量は樹脂固形分に対して3wt%とした。すなわち、比較例7は従来の研磨パッドである。
各実施例および比較例の研磨パッドについて、以下のようにして泡立ち性を評価した。すなわち、それぞれの研磨パッドを直径740mmの円形に裁断し、研磨機(株式会社荏原製作所製、F−REX300)の定盤に貼着した後、定盤を20rpmで回転させ、水で研磨面Pの全体を濡らした。大型ブラシドレッサ(株式会社荏原製作所製、部品番号C−4111−216−0001「全面ハードブラシ本体」)を研磨機に装着し、14rpmで回転させながら465Paの圧力で研磨パッドに押し当てながら、研磨パッドのほぼ全域を30秒間ブラッシングした。ブラシドレッサを研磨パッドから離し、1分間放置後に目視で泡立ち具合を観察した。泡立ち性は、○:泡立ちが認められないもの、×:泡立ちが大きく研磨加工に支障の生じるもの、の2段階で評価した。泡立ち性の評価結果をそれぞれ表2、表4、表6にあわせて示した。
2 ウレタンシート(樹脂シート)
2a スキン層
2b ナップ層
3 セル(発泡)
10 研磨パッド
Claims (5)
- 湿式凝固法により軟質樹脂を含む樹脂溶液が凝固され内部に発泡が連続状に形成された樹脂シートを備えた研磨パッドにおいて、前記樹脂シートは、該樹脂シートを回転可能な定盤に貼着し水で濡らすとともに、前記定盤を20rpm〜30rpmの速度で回転させながら加圧下でブラッシングする泡立ち試験における泡立ちが無検出のものであることを特徴とする研磨パッド。
- 前記泡立ち試験は、前記樹脂シートにブラシを押し当て400Pa〜500Paの圧力を加えながら前記ブラッシングを少なくとも30秒間行い、少なくとも1分間放置後に目視観察することを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 請求項1または請求項2に記載の研磨パッドの製造方法であって、
軟質樹脂と、前記軟質樹脂を溶解する良溶媒と、前記軟質樹脂に対する貧溶媒とを混合した樹脂溶液を準備する準備ステップと、
前記樹脂溶液を凝固液中でシート状に凝固させ樹脂シートを形成するシート形成ステップと、
を含み、
前記準備ステップにおいて、前記貧溶媒の混合割合を、前記軟質樹脂の凝固価をRとしたときに、前記軟質樹脂の固形分に対する重量百分率で0.2R〜4.5Rの範囲とすることを特徴とする製造方法。 - 前記軟質樹脂はポリウレタン樹脂であり、前記貧溶媒は水を主成分とすることを特徴とする請求項3に記載の製造方法。
- 前記良溶媒はN,N−ジメチルホルムアミドないしN,N−ジメチルアセトアミドであり、前記貧溶媒は水であることを特徴とする請求項4に記載の製造方法。
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