JP2012028316A - 有機発光表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 134
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 56
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 89
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 24
- 238000001931 thermography Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 99
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 9
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 9
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 8
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 6
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Inorganic materials [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 polyphenylene vinylene Polymers 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- YOZHUJDVYMRYDM-UHFFFAOYSA-N 4-(4-anilinophenyl)-3-naphthalen-1-yl-n-phenylaniline Chemical compound C=1C=C(C=2C(=CC(NC=3C=CC=CC=3)=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=CC=1NC1=CC=CC=C1 YOZHUJDVYMRYDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MBPCKEZNJVJYTC-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(n-phenylanilino)phenyl]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=C1 MBPCKEZNJVJYTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- COOGPNLGKIHLSK-UHFFFAOYSA-N aluminium sulfide Chemical compound [Al+3].[Al+3].[S-2].[S-2].[S-2] COOGPNLGKIHLSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8428—Vertical spacers, e.g. arranged between the sealing arrangement and the OLED
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/18—Deposition of organic active material using non-liquid printing techniques, e.g. thermal transfer printing from a donor sheet
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8423—Metallic sealing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/871—Self-supporting sealing arrangements
- H10K59/8721—Metallic sealing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/871—Self-supporting sealing arrangements
- H10K59/8723—Vertical spacers, e.g. arranged between the sealing arrangement and the OLED
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/124—Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の有機発光表示装置は、互いに対向する第1基板101及び第2基板102と、第1基板101上にレーザー熱転写法により形成される有機発光部110と、第1基板101と第2基板102とを接合させる接合部材140と、第1基板101上に配置され、第1基板101の一面を基準として有機発光部110の最も高い部分より高く、接合部材140の高さより低い高さを有する支持部材130と、を備える。
【選択図】図2
Description
本発明において、前記第1基板の一面から前記画素電極までの高さが、前記第1基板の一面から前記画素定義膜までの高さより高い。
図1及び図2を参照すれば、本発明の一実施形態による有機発光表示装置は、第1基板101、第2基板102、有機発光部110、支持部材130、及び接合部材140を備える。
101a バッファ層、
111 活性層、
112 ゲート絶縁膜、
113 ゲート電極、
114 層間絶縁膜、
115 ソース電極、
116 ドレイン電極、
117 画素回路部、
121 画素電極、
122 画素定義膜、
123 中間層、
124 対向電極、
128 絶縁部、
130 支持部材、
140 接合部材、
150 ドナーフィルム、
151,151a,151b 転写層、
152 光熱変換層、
154 基材フィルム。
Claims (22)
- 互いに対向する第1基板及び第2基板と、
前記第1基板上にレーザー熱転写法により形成される有機発光部と、
前記第1基板と前記第2基板とを接合させる接合部材と、
前記第1基板上に配置され、前記第1基板の一面を基準として前記有機発光部の最も高い部分より高く、前記接合部材の高さより低い高さを有する支持部材と、を備えることを特徴とする有機発光表示装置。 - 前記支持部材は、前記第1基板の中心から見て前記有機発光部よりも前記第1基板の外側に配置され、前記接合部材よりも前記第1基板の内側に配置されることを特徴とする請求項1に記載の有機発光表示装置。
- 前記有機発光部は、
前記第1基板上に形成された画素回路部と、
前記画素回路部を覆う絶縁部と、
前記画素回路部と連結され、前記絶縁部上に形成される画素電極と、
前記画素電極を露出させる開口部を有し、前記絶縁部上に形成される画素定義膜と、
前記画素電極上に形成され、光を発生させる中間層と、
前記中間層上に形成される対向電極と、からなり、
前記中間層は、レーザー熱転写法により形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の有機発光表示装置。 - 前記画素回路部は、前記画素電極に対応するように、前記第1基板上に配置されることを特徴とする請求項3に記載の有機発光表示装置。
- 前記画素回路部は、薄膜トランジスタを備えるか、または配線を備えることを特徴とする請求項4に記載の有機発光表示装置。
- 前記第1基板の一面から前記画素電極までの高さは、前記第1基板の一面から前記画素定義膜までの高さより高いことを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項に記載の有機発光表示装置。
- 前記支持部材の高さは、前記第1基板の一面から前記画素電極までの高さよりさらに高く、前記接合部材の高さより低いことを特徴とする請求項6に記載の有機発光表示装置。
- 前記支持部材は、前記熱転写法による前記中間層の形成工程中に、ドナーフィルムを前記第1基板に積層する工程時、前記ドナーフィルムを支持して、前記ドナーフィルムが前記画素電極に付着することを防止することを特徴とする請求項3〜7のいずれか1項に記載の有機発光表示装置。
- 前記中間層は、低分子からなることを特徴とする請求項3〜8のいずれか1項に記載の有機発光表示装置。
- レーザー熱転写法を利用した有機発光表示装置の製造方法において、
アクセプター基板を準備するステップと、
前記アクセプター基板の外郭部に支持部材を形成するステップと、
前記支持部材にドナーフィルムが支持されるように、前記ドナーフィルムを前記アクセプター基板に積層するステップと、
前記ドナーフィルムの転写層を前記アクセプター基板に転写するステップと、
前記ドナーフィルムと前記アクセプター基板とを剥離するステップと、
前記アクセプター基板と封止基板とを接合部材で接合するステップと、を含むことを特徴とする有機発光表示装置の製造方法。 - 前記接合部材は、前記アクセプター基板の中心から見て前記支持部材よりも前記アクセプター基板の外側に配置されることを特徴とする請求項10に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記支持部材は、前記アクセプター基板の底面を基準として前記アクセプター基板の最も高い部分より高く、前記接合部材の高さより低いことを特徴とする請求項10または11に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記アクセプター基板は、複数個の発光領域と非発光領域とに区画されることを特徴とする請求項10〜12のいずれか1項に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記発光領域のうち一部の領域は、前記非発光領域の高さより高いことを特徴とする請求項13に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記支持部材は、前記発光領域の最も高い部分より高く、前記接合部材より低いことを特徴とする請求項14に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記積層するステップは、前記ドナーフィルムが前記支持部材に支持されて、前記転写層が前記発光領域に付着することを防止することを特徴とする請求項13〜15のいずれか1項に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記アクセプター基板は、
第1基板上に形成された画素回路部と、
前記画素回路部を覆う絶縁部と、
前記画素回路部と連結され、前記絶縁部上に形成される画素電極と、
前記画素電極を露出させる開口部を有し、前記絶縁部上に形成される画素定義膜と、からなることを特徴とする請求項10〜16のいずれか1項に記載の有機発光表示装置の製造方法。 - 前記画素回路部は、前記画素電極に対応するように、前記第1基板上に形成されることを特徴とする請求項17に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記画素回路部は、薄膜トランジスタを備えるか、または配線を備えることを特徴とする請求項18に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記第1基板の一面から前記画素電極までの高さは、前記第1基板の一面から前記画素定義膜までの高さより高いことを特徴とする請求項17〜19のいずれか1項に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記支持部材の高さは、前記第1基板の一面から前記画素電極までの高さよりさらに高く、前記接合部材の高さより低いことを特徴とする請求項20に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記支持部材は、前記熱転写法による前記中間層の形成工程中に、ドナーフィルムを前記第1基板に積層する工程時、前記ドナーフィルムを支持して、前記ドナーフィルムが前記画素電極に付着することを防止することを特徴とする請求項17〜21のいずれか1項に記載の有機発光表示装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2010-0069603 | 2010-07-19 | ||
KR1020100069603A KR101202352B1 (ko) | 2010-07-19 | 2010-07-19 | 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012028316A true JP2012028316A (ja) | 2012-02-09 |
JP5941251B2 JP5941251B2 (ja) | 2016-06-29 |
Family
ID=45466230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011134327A Active JP5941251B2 (ja) | 2010-07-19 | 2011-06-16 | 有機発光表示装置及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8410483B2 (ja) |
JP (1) | JP5941251B2 (ja) |
KR (1) | KR101202352B1 (ja) |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9132436B2 (en) | 2012-09-21 | 2015-09-15 | Applied Materials, Inc. | Chemical control features in wafer process equipment |
KR102103421B1 (ko) * | 2013-02-07 | 2020-04-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US10256079B2 (en) | 2013-02-08 | 2019-04-09 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing systems having multiple plasma configurations |
KR102006689B1 (ko) * | 2013-04-12 | 2019-08-02 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계 발광소자의 제조 방법 |
KR20140140416A (ko) * | 2013-05-29 | 2014-12-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광 디스플레이 장치 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기발광 디스플레이 장치 |
KR102134842B1 (ko) | 2013-07-12 | 2020-07-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광 디스플레이 장치 |
KR102151754B1 (ko) * | 2013-11-20 | 2020-09-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광 디스플레이 장치 및 그 제조방법 |
US9966240B2 (en) | 2014-10-14 | 2018-05-08 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for internal surface conditioning assessment in plasma processing equipment |
US11637002B2 (en) | 2014-11-26 | 2023-04-25 | Applied Materials, Inc. | Methods and systems to enhance process uniformity |
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KR20120009606A (ko) | 2012-02-02 |
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JP5941251B2 (ja) | 2016-06-29 |
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A621 | Written request for application examination |
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R250 | Receipt of annual fees |
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