JP2009049001A - Organic light-emitting device and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、フラットパネルディスプレイ等に用いられる有機発光装置及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an organic light emitting device used for a flat panel display or the like and a method for manufacturing the same.
近年、フラットパネルディスプレイとして、自発光型デバイスである有機発光装置が、注目されている。有機発光装置を構成する有機発光素子は、水分や酸素により、特性劣化を招き易く、わずかな水分により、有機化合物層と電極層との剥離が生じダークスポットの発生の原因となる。そのため、有機発光素子をエッチングガラスカバーで覆い、シール剤により周辺を貼り付け、内部に吸湿剤を装着して、シール面から浸入する水分を、吸湿剤で吸湿し、有機発光素子の寿命を確保している。 In recent years, organic light-emitting devices, which are self-luminous devices, have attracted attention as flat panel displays. The organic light-emitting element constituting the organic light-emitting device is liable to deteriorate characteristics due to moisture and oxygen, and a slight amount of moisture causes the organic compound layer and the electrode layer to peel off, causing dark spots. Therefore, cover the organic light-emitting element with an etching glass cover, attach the periphery with a sealant, attach a moisture absorbent inside, and absorb moisture entering the seal surface with the moisture absorbent, ensuring the life of the organic light-emitting element is doing.
しかし、薄型の有機発光装置による省スペースのフラットパネルディスプレイを実現するためには、発光エリア周辺の吸湿剤のスペースを無くし、さらに薄型化を図っていかなければならず、大量の吸湿剤を必要としない有機発光装置の封止方法が必要である。そのため、有機化合物層への水分や酸素の浸入を防止するための高機能なパッシベーション層による固体封止が要求されている。 However, in order to realize a space-saving flat panel display using a thin organic light emitting device, it is necessary to eliminate the space of the hygroscopic agent around the light emitting area and to make it thinner, and a large amount of hygroscopic agent is required. There is a need for an organic light emitting device sealing method that does not. Therefore, solid sealing with a highly functional passivation layer for preventing intrusion of moisture and oxygen into the organic compound layer is required.
ところで、一般的にパッシベーション層を形成する場合、有機発光素子外部の電気回路と電気的に接続する外部接続端子上にパッシベーション層が形成されないように、金属等で形成された板状のエリアマスクを用いて前記外部接続端子等をカバーする。しかしながら、有機発光素子を形成する基板やエリアマスクの撓みで、基板とエリアマスクとの間に隙間ができ、前記外部接続端子上にもパッシベーション層が形成される問題があった。そのため、エリアマスクを用いない方法が求められ、提案されている。 By the way, in general, when forming a passivation layer, a plate-shaped area mask made of metal or the like is used so that the passivation layer is not formed on the external connection terminal that is electrically connected to the electric circuit outside the organic light emitting element. Use to cover the external connection terminals and the like. However, there is a problem that a gap is formed between the substrate and the area mask due to bending of the substrate or area mask on which the organic light emitting element is formed, and a passivation layer is also formed on the external connection terminal. Therefore, a method that does not use an area mask is required and proposed.
特許文献1には、マスキングテープを外部接続端子を含む領域に貼り付け、パッシベーション層を形成後、マスキングテープとパッシベーション層とを共に剥離する方法が記されている。また、外部接続端子を含む領域に有機化合物層を形成し、パッシベーション層を形成後に紫外線を用いてフォトエッチングし、有機化合物層と共にパッシベーション層を剥離する方法が記されている。
特許文献2には、外部接続端子を含む領域にレーザー除去層を形成し、その上にパッシベーション層を形成後、レーザーを照射してレーザー除去層とパッシベーション層とを共に除去する方法が記されている。 Patent Document 2 describes a method in which a laser removal layer is formed in a region including an external connection terminal, a passivation layer is formed thereon, and then a laser is irradiated to remove both the laser removal layer and the passivation layer. Yes.
ところが、マスキングテープやフォトエッチング及びレーザー照射、又はブラスト等により、パッシベーション層を剥離し、除去する方法を用いると、パッシベーション層の断面に小さなクラックや剥離等が発生する。これらは、長期的な環境の変化で進行して発光エリアに達し、パッシベーション層の防湿能力を失わせる問題がある。 However, when a method of peeling and removing the passivation layer by masking tape, photoetching, laser irradiation, blasting, or the like is used, small cracks or peeling or the like occurs in the cross section of the passivation layer. These are problematic in that they progress due to long-term environmental changes, reach the light emitting area, and lose the moisture-proof ability of the passivation layer.
特に、パッシベーション層は窒化シリコンや酸化窒化シリコン、酸化シリコン等の材料を用いることが多く、膜厚も1μmから数μmに達する。このようなパッシベーション層を剥離除去すると、クラックの発生率が高まる。 In particular, a material such as silicon nitride, silicon oxynitride, or silicon oxide is often used for the passivation layer, and the film thickness reaches 1 μm to several μm. When such a passivation layer is peeled and removed, the occurrence rate of cracks increases.
また、薄膜トランジスタ(TFT)を有する基板から成る有機発光装置は、TFT上に有機平坦化層を有しているが、この有機平坦化層上に形成したパッシベーション層は温度や湿度変化で新たなクラックが発生する。また、既存のクラックは進行が速い。つまり、有機発光素子の温度変化によって有機平坦化層が収縮や膨張を起こす。有機平坦化層と無機材料を含むパッシベーション層とは、膨張係数の差により有機平坦化層の収縮や膨張時にストレスを受けることになる。そのため、有機平坦化層上に形成されたパッシベ−ション層は、小さなクラック等が有ると、熱ストレスに耐えられずクラックを生じ、経時的にクラックが進行する。 An organic light emitting device comprising a substrate having a thin film transistor (TFT) has an organic flattening layer on the TFT, but the passivation layer formed on the organic flattening layer has a new crack due to changes in temperature and humidity. Will occur. Also, existing cracks progress quickly. That is, the organic planarization layer contracts or expands due to a temperature change of the organic light emitting element. The organic planarization layer and the passivation layer containing an inorganic material are subjected to stress when the organic planarization layer contracts or expands due to a difference in expansion coefficient. For this reason, if the passivation layer formed on the organic planarization layer has a small crack or the like, the passivation layer cannot withstand thermal stress, and the crack progresses with time.
本発明の目的は、外部接続端子上のパッシベーション層を除去する際に発生するクラック等が、経時的に進行することを抑え、発光エリアの防湿性を損なわない有機発光装置及びその製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide an organic light-emitting device that suppresses the progress of cracks and the like that occur when removing a passivation layer on an external connection terminal over time and does not impair the moisture resistance of a light-emitting area, and a method for manufacturing the same. It is to be.
上記課題を解決するための手段として、本発明は、
基板と、前記基板の凹凸を平坦化する有機平坦化層と、下部電極と有機化合物層と上部電極とを有する有機発光素子と、それらを覆うパッシベーション層とで、少なくとも構成された有機発光装置において、
前記有機平坦化層には、発光エリアを含む領域と外部接続端子を含む領域とを区画する凹部又は凸部の不連続部が形成されており、前記不連続部はパッシベーション層で覆われていることを特徴とする。
As means for solving the above problems, the present invention provides:
In an organic light emitting device comprising at least a substrate, an organic flattening layer for flattening the unevenness of the substrate, an organic light emitting element having a lower electrode, an organic compound layer, and an upper electrode, and a passivation layer covering them ,
The organic planarization layer is formed with a concave or convex discontinuity that partitions a region including a light emitting area and a region including an external connection terminal, and the discontinuous portion is covered with a passivation layer. It is characterized by that.
本発明により、外部接続端子上のパッシベーション層を除去する際に発生するパッシベーション層のクラックや剥離等の進行を不連続部で遮断し、有機発光素子の発光エリアへの水分や酸素の浸入を防止できる。 According to the present invention, the progress of cracking and peeling of the passivation layer that occurs when the passivation layer on the external connection terminal is removed is blocked at the discontinuous portion, thereby preventing moisture and oxygen from entering the light emitting area of the organic light emitting device. it can.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明するが、本発明はこれらの実施形態に限るものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to these embodiments.
<実施形態1>
本発明の実施形態1について、図面に基づいて説明する。図1は、本発明の実施形態1を示す平面模式図である。図2は、図1における線分A−Bの断面を示す断面模式図である。
<
先ず、有機発光装置の製造方法を説明し、その後、有機発光装置について説明する。 First, a method for manufacturing an organic light emitting device will be described, and then the organic light emitting device will be described.
この有機発光装置の製造方法は、少なくとも基板1と、基板1の凹凸を平坦化する有機平坦化層4と、有機発光素子と、それらを覆うパッシベーション層9と、で構成される有機発光装置の製造方法として好適に実施されるものである。
This method of manufacturing an organic light emitting device is an organic light emitting device comprising at least a
本実施形態の有機発光装置を製造する際には、先ず基板1上に各々の有機発光素子を駆動するための薄膜トランジスタ2を形成する。基板1は透明であっても不透明であってもよく、合成樹脂等からなる絶縁性基板、又は表面に酸化シリコンや窒化シリコン等の絶縁層を形成した導電性基板若しくは半導体基板でもよい。
When manufacturing the organic light emitting device of this embodiment, first, the thin film transistor 2 for driving each organic light emitting element is formed on the
薄膜トランジスタ2を形成した後は、この薄膜トランジスタ2を覆うように、無機材料からなる絶縁層3を形成し、さらに薄膜トランジスタ2の凹凸を吸収するために有機平坦化層4を形成する。絶縁層3の構成材料としては、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化シリコン等を用いることができる。有機平坦化層4の構成材料としては、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノルボルネン系樹脂、フッ素系樹脂等を用いることができる。
After the thin film transistor 2 is formed, an
絶縁層3及び有機平坦化層4をそれぞれ形成した後は、不連続部14を形成する。具体的には、有機平坦化層4に、発光エリア100を含む領域と外部接続端子10を含む領域とを区画する凹形状の不連続部14を、後に形成されるパッシベーション層9の割れ防止構造として、発光エリア100と平行に直線状に形成する。
After each of the
ここで「区画する」とは、外部接続端子10の上に形成されるパッシベーション層と、発光エリア100に形成されるパッシベーション層とが不連続部14を跨がずに繋がっている部分が存在しないことを意味する。特許文献2に記載の有機電界発光パネルは、表示部と端子との間に平坦化絶縁層が形成されていない部分があるため、この部分でのクラックや剥離等の進行を低減できる可能性がある。しかしながら、本発明の有機発光素子のように、表示部と端子とを区画するように不連続部が形成されていないため、端子の上に形成されている保護膜と表示部に形成されている保護膜と繋がっている部分を有する。そのためクラックや剥離等の進行が起きてしまうと考えられる。
Here, “partition” means that there is no portion where the passivation layer formed on the
不連続部14は、凸形状の構造、或いは凹形状の構造である。また不連続部14は、公知のエッチング法によって形成することができる。具体的な形成方法として、ウエットエッチング法や、ドライエッチング法が用いられる。例えばレジストを有機平坦化層4上にスピンコート法で塗布し、フォトリソグラフィーを行い、その後溶液に漬けて有機平坦化層4を除去できる。また、さらに、プラズマエッチング法やスパッタエッチング法、イオンビームエッチング法などのドライエッチング法を用いて、有機平坦化層4の下地の絶縁層を除去する事もできる。
The
不連続部14は有機平坦化層4の膜厚分を除去し、底部から無機材料からなる絶縁層3を露出させることが好ましい。これにより、パッシベーション層9との密着性を向上させることができる。
It is preferable that the
不連続部14の側壁部は下方に向かって縮小するように傾斜していることが好ましく、その角度(傾斜角度)は30度以上が好ましい。不連続部14の側壁部の下部、つまり不連続部14の角部におけるパッシベーション層9の膜密度を低下させ、パッシベーション層9の連続性を途切れさせることができるからである。また、不連続部14の側壁部の角度が急峻であると、発光エリア100周辺の領域、つまり額縁領域を狭くすることができる。
The side wall portion of the
不連続部14の底部の幅寸法は、0.1mm以上0.5mm以下であることが好ましい。幅寸法が0.5mmより大きくなると、発光エリア100周辺の領域、つまり額縁領域が広くなってしまう。また、幅寸法が0.1mmより小さくなるとクラックが伝わりやすく、後述するように有機発光素子の輝度が低下してしまう。
It is preferable that the width dimension of the bottom part of the
不連続部14を形成した後は、発光エリア100内の各画素位置に下部電極6を形成する。一方、発光エリア100の外部には外部接続端子10を形成する。下部電極6と薄膜トランジスタの信号配線11とは、前記絶縁層3及び有機平坦化層4に形成されたコンタクトホールを介して電気的に接続されている。また、外部接続端子10と薄膜トランジスタの信号配線11とは、絶縁層3及び有機平坦化層4を除去して直接、電気的に接続されている。
After the
下部電極6及び外部接続端子10の構成材料としては、例えばクロムを用いることができるが、銀膜若しくは添加物を含む銀膜やアルミ膜若しくは添加物を含むアルミ膜やアルミ合金膜でもよい。
As a constituent material of the
下部電極6及び外部接続端子10を形成した後は、下部電極6の周縁部を覆うように画素分離膜5を形成する。画素分離膜5の構成材料としては、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化シリコン等からなる無機絶縁層やアクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ノボラック系樹脂等を用いることができる。
After the
画素分離膜5を形成した後は、下部電極6上に有機化合物層7を形成する。有機化合物層7は、例えば、正孔輸送層、発光層、電子輸送層の3層から構成されるが、発光層のみでもよい。或いは2層、4層など複数の層から構成されていてもよい。
After the
有機化合物層7を形成した後は、この有機化合物層7上に上部電極8を形成する。上部電極8の構成材料としては、IZO(インジウム亜鉛酸化物)や、ITO(インジウム錫酸化物)等の酸化物透明導電膜や、銀、アルミ、金等の金属半透過膜でもよい。
After the
上部電極8を形成した後は、基板1上の有機発光素子を有する発光エリア100を含む領域及び外部接続端子10を含む領域をパッシベーション層9で覆う。つまり、外部接続端子10を含む領域をエリアマスクで覆うことなく、パッシベ−ション層9を基板1の略全域に形成することになる。
After forming the upper electrode 8, the region including the
パッシベーション層9の構成材料としては、緻密性のある材料であれば良く、例えば窒化シリコン、酸化シリコン、窒化酸化シリコン等を用いることができる。
The constituent material of the
パッシベーション層9を形成した後は、外部接続端子10を含む領域のパッシベーション層9を剥離除去する。ここで不連続部14内に形成されるパッシベーション層9は、側壁部下端(角部)の膜密度が低下しているので、パッシベーション層9自体の連続性が途切れている。このため、外部接続端子10上のパッシベーション層9を除去する際に発生するクラック等は、不連続部14で遮断されて発光エリア100まで到達することがない。したがって、発光エリア100の防湿性を損なうことはない。
After the
パッシベーション層9の剥離方法は特に限定されないが、予め外部接続端子10を含む領域をマスキングテープで覆っておき、マスキングテープごと剥離する方法を用いることができる。また、紫外線でフォトエッチングする方法、予め外部接続端子10を含む領域にレーザー除去層を形成しておき、レーザー除去層ごとレーザーで除去する方法も用いることができる。本実施形態では、不連続部14が直線状に形成されており、外部接続端子10を含む領域が矩形状であるので、パッシベーション層9を簡単に剥離できる。
The method for peeling the
上記のパッシベーション層9の剥離除去を行った後、発光エリア100を含む領域、具体的にはパッシベーション層9上に粘着剤12を介して円偏光板13を貼り付ける。円偏光板13は、通例の円偏光板と同様に、偏光板と1/4λ板(位相差板)とを組み合わせた構成である。
After peeling off and removing the
以上の工程により、有機平坦化層4に、発光エリア100を含む領域と外部接続端子10を含む領域とを区画する不連続部14をなす凹部が、直線状に形成されており、前記不連続部14がパッシベーション層9で覆われた構成の有機発光装置が得られる。本実施形態の有機発光装置は、外部接続端子10上のパッシベーション層9を剥離した際に発生したクラック等が、経時的に進行しても、不連続部14で遮断される。このため、発光エリア100の防湿性を維持することができる。
Through the above steps, the
<実施形態2>
本発明の実施形態2について、図面に基づいて説明する。図3は、本発明の実施形態2を示す断面模式図である。
<Embodiment 2>
Embodiment 2 of this invention is demonstrated based on drawing. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing Embodiment 2 of the present invention.
上記実施形態1は不連続部14上に直接、パッシベーション層9を形成するものであるが、本実施形態は図3に示すように、不連続部14に無機層16を形成し、無機層16の上にパッシベーション層9が形成されている。
In the first embodiment, the
無機層16は、具体的には、例えば上部電極8を形成する際に、不連続部14にも上部電極8と同組成であってITO、IZO等からなる金属酸化物導電体を成膜することにより形成される。こうすることで、不連続部14の側壁部及びその近傍とパッシベーション層9との接触面積を稼ぐことができ、よりパッシベーション層9を密着させることができる。しかも、金属化合物である金属酸化物導電体とパッシベーション層9との密着性は高く、熱膨張係数的にも有機材料に比べ遥かに近いため、パッシベーション層9の亀裂を遮断できる。
Specifically, for example, when the upper electrode 8 is formed, the
また、本実施形態においては、不連続部14上の無機層16を独立して形成している。つまり、発光エリア100に渡って無機層16を形成していない。このため、発光エリア100への水分の浸入をより確実に防ぐことができる。
Moreover, in this embodiment, the
<実施形態3>
本発明の実施形態3について、図面に基づいて説明する。図4は、本発明の実施形態3を示す平面模式図である。
<
上記実施形態1及び2では、発光エリア100を含む領域と外部接続端子10を含む領域とを区画するように、直線状に不連続部14を形成したが、図4に示すように、外部接続端子10を含む領域を囲むように不連続部14を形成してもよい。この場合、外部接続端子10を含む領域を最小限面積に抑えることができると共に、パッシベーション層9を剥離した際に生じるゴミを少なくすることができる。また、本実施形態ではクラックの広がりも小さくすることができる。このため有機発光素子を封止する性能をさらに高めることができる。
In the first and second embodiments, the
<実施形態4>
本発明の実施形態4について、図面に基づいて説明する。図5は、本発明の実施形態4を示す平面模式図である。図6は、図5における線分A−Bの断面を示す断面模式図である。
<
上記実施形態1〜3は、外部接続端子10を含む領域と発光エリア100を含む領域とを区画する手段として不連続部14のみを形成したが、図5及び図6に示すように、水分遮断用の不連続部15を別途形成してもよい。
In the first to third embodiments, only the
具体的には、不連続部14よりも発光エリア100側で、同発光エリア100を囲むように、有機平坦化層4と画素分離膜5及び絶縁層3を除去して水分遮断用の不連続部15を形成する。そして不連続部15に、下部電極6と同組成の材料を、下部電極6と絶縁されている状態で成膜し、さらにその上に上部電極8を形成する。なお上部電極8は、不連続部15に形成されたスルーホール(不図示)により基板の回路(不図示)に接続される場合も有る。そして上部電極8上にパッシベ−ション層9を形成する。
Specifically, the
上記構成では、不連続部15に有機材料から成る層が存在せず、無機層16と上部電極8とが密着している。このため、発光エリア100より外部の有機平坦化層4に含まれる水分の浸入を不連続部15で遮断することができる。したがって、発光エリア100の防湿性をより高めることができる。
In the above configuration, there is no layer made of an organic material in the
<実施形態5>
本発明の実施形態5について、図面に基づいて説明する。図7は、本発明の実施形態5を示す平面模式図である。
<
上記実施形態4では、外部接続端子10を含む領域と発光エリア100を含む領域とを区画するように、直線状に不連続部14を形成したが、図7に示すように、外部接続端子10を含む領域を囲むように不連続部14を形成してもよい。
In the fourth embodiment, the
<実施形態6>
本発明の実施形態6について、図面に基づいて説明する。図8は、本発明の実施形態6を示す平面模式図である。
<
上記実施形態4及び5では、不連続部14及び15を個別に設けているが、図8に示すように共通した構成としてもよい。
In the said
<実施形態7>
本発明の実施形態7について、図面に基づいて説明する。図9は、本発明の実施形態7を示す断面模式図である。
<
上記実施形態1〜6は、不連続部14(及び不連続部15)を凹形状に形成しているが、図9に示すように、凸形状に形成してもよい。このとき、不連続部14は、例えば上部電極8を形成すると共に、発光エリア100を含む領域と外部接続端子10を含む領域とを区画するように設定された位置に、上部電極8と同組成の材料で形成する。又は、画素分離膜5を形成すると共に、発光エリア100を含む領域と外部接続端子10を含む領域とを区画するように設定された位置に、前記画素分離膜5と同組成の材料で形成する。又は、上部電極8と同組成の材料と、画素分離膜5と同組成の材料とを積層して形成してもよい。
Although the said Embodiment 1-6 has formed the discontinuous part 14 (and discontinuous part 15) in concave shape, as shown in FIG. 9, you may form in convex shape. At this time, the
不連続部14の高さは、0.3μm以上が好ましく、1μm以上であるとさらに効果的である。これは、パッシベーション層9の成長方向が、凸形状の斜面と底部で異なるために生じる断層部が、不連続部14の高さが高いほうが膜厚方向に深くなり、パッシベーション層9の連続性を途切れさせることが容易であるからである。
The height of the
不連続部14の側壁部は下方に向かって拡大するように傾斜していることが好ましく、その角度は30度以上が好ましい。不連続部14の側壁部の下部、つまり不連続部14の角部のパッシベーション層9の膜密度を低下させ、パッシベーション層9の連続性を途切れさせることができるからである。また、不連続部14の側壁部の角度が急峻であると、発光エリア100周辺の領域、つまり額縁領域を狭くすることができる。
The side wall portion of the
不連続部14の頂部の幅寸法は、0.1mm以上0.5mm以下であることが好ましい。幅寸法が0.5mmより大きくなると、発光エリア100周辺の領域、つまり額縁領域が広くなってしまう。また、幅寸法が0.1mmより小さくなると、後述するように、有機発光素子の輝度が低下してしまう。
It is preferable that the width dimension of the top part of the
なお、図9の有機発光装置においては、有機平坦化層4に凹部を形成し、同凹部に形成した無機層上に不連続部14を形成しているが、有機平坦化層4に凹部を形成することなく、直接に不連続部14として凸部を形成してもよい。
In the organic light emitting device of FIG. 9, a recess is formed in the
<実施形態8>
なお上記実施形態1〜7の不連続部14の凹部は、その底部に絶縁層3又は信号配線11が露出するまで除去しているが、厚みが薄くなっている構成でもよい。
<Eighth embodiment>
In addition, although the recessed part of the
以下、本発明の実施例について説明する。 Examples of the present invention will be described below.
<実施例1>
図1に示される有機発光装置を以下に示す方法で製造した。
<Example 1>
The organic light emitting device shown in FIG. 1 was manufactured by the following method.
図1に示した有機発光装置は、ガラス基板1上にTFT2、絶縁層3、有機平坦化層4の順で積層形成した。その上部に、画素単位でアルミ(Al)/インジウム錫酸化物(ITO)製の下部電極6を150nmの膜厚で形成した。各画素の周囲はポリイミド製の画素分離膜5で覆った。
The organic light emitting device shown in FIG. 1 was formed by laminating a TFT 2, an insulating
有機平坦化層4における外部接続端子10と発光エリア100との間に、パッシベーション層9の割れ防止構造である不連続部14を形成した。この不連続部14は、基板上の有機平坦化層4を除去して形成された凹形状となっており、前記不連続部14の底部の幅寸法は0.5mmとされ、無機材料からなる絶縁層3が露出している。
Between the
上記構成のTFT基板を、約5分間洗浄し、約200℃、2時間のベーク条件で、脱水処理した。その後、下部電極6にUV/オゾン洗浄を施した。
The TFT substrate having the above configuration was washed for about 5 minutes and dehydrated under baking conditions at about 200 ° C. for 2 hours. Thereafter, the
次に、前記下部電極6上に正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層からなる有機化合物層7を形成した。この時、外部接続端子10上にも有機化合物層7を形成した。
Next, an
すなわち、真空蒸着装置に前記基板と材料を取り付け、1×10-3Paの条件下で、下部電極6上にN,N’−α−ジナフチルベンジジン(α−NPD)を40nmの膜厚となるように成膜して正孔輸送層を形成した。
That is, the substrate and the material are attached to a vacuum vapor deposition apparatus, and N, N′-α-dinaphthylbenzidine (α-NPD) is formed on the
その上に緑色発光することが知られたクマリン色素(1.0vol%)とトリス[8−ヒドロキシキノリナート]アルミニウム(Alq3)との共蒸着膜を30nmの膜厚になるように成膜して、発光層を形成した。 A co-deposited film of coumarin dye (1.0 vol%) and tris [8-hydroxyquinolinate] aluminum (Alq 3 ), which is known to emit green light, is formed to a thickness of 30 nm. Thus, a light emitting layer was formed.
次に、電子輸送層として、下記式で示されるフェナントロリン化合物を10nmの膜厚煮なるように成膜した。 Next, as an electron transport layer, a phenanthroline compound represented by the following formula was formed to a thickness of 10 nm.
次に、電子輸送層上に、炭酸セシウム(2.9vol%)と上述したフェナントロリン化合物との共蒸着膜を40nmの膜厚になるように成膜して、電子注入層を形成した。 Next, a co-evaporated film of cesium carbonate (2.9 vol%) and the phenanthroline compound described above was formed on the electron transport layer so as to have a thickness of 40 nm, thereby forming an electron injection layer.
続いて、電子注入層まで成膜した基板を、別のスパッタ装置へ移動させ、前記電子注入層上にインジウム錫酸化物(ITO)をスパッタ法にて60nmの膜厚となるように成膜して、上部電極8を形成した。 Subsequently, the substrate formed up to the electron injection layer is moved to another sputtering apparatus, and indium tin oxide (ITO) is formed on the electron injection layer so as to have a film thickness of 60 nm by a sputtering method. Thus, the upper electrode 8 was formed.
次に、それらを覆うように基板1の略全域にパッシベーション層9をVHFプラズマCVD法で次のように形成した。
Next, a
先ず、堆積膜形成装置の高周波電極と、それに対向する基板ホルダー兼接地電極とで構成された基板ホルダーに、上部電極8まで形成したTFT基板を固定し、一旦真空容器を、真空度が10-3Pa台になるように真空引きした。その後、真空容器中にSiH4ガス、N2ガス及びH2ガスをそれぞれフローしながら、反応空間圧力を制御した。そして、60MHz高周波電力を高周波電極に供給し、膜厚約3μmのパッシベーション層9を堆積形成した。
First, a high-frequency electrode of the deposited film forming apparatus, it to a substrate holder which is composed of a facing substrate holder and a ground electrode, a TFT substrate formed up to the upper electrode 8 is fixed, once the vacuum container, the vacuum degree of 10 - A vacuum was drawn so as to be on the order of 3 Pa. Thereafter, the reaction space pressure was controlled while SiH 4 gas, N 2 gas, and H 2 gas were respectively flowed into the vacuum vessel. Then, 60 MHz high frequency power was supplied to the high frequency electrode, and a
その後、レーザーを外部接続端子10上に照射し、有機化合物層7と共に外部接続端子10上のパッシベーション層9を剥離除去した。
Thereafter, the
次に、パッシベーション層9上に円偏光板13を粘着剤12で貼り付けた。以上により有機発光装置を得た。
Next, a circularly
同様に10枚の有機発光装置を製造した。 Similarly, ten organic light emitting devices were manufactured.
得られた有機発光装置について、外部接続端子10上のパッシベーション層9を光学顕微鏡で観察し、パッシベーション層9の割れ等を観察した。結果を表1に示す。
About the obtained organic light-emitting device, the
また、得られた有機発光装置について、60℃90%RHの条件で500時間の加速試験を行い、加速試験後のパッシベーション層9の割れ等の状態を観察した。結果を表2に示す。
Moreover, about the obtained organic light-emitting device, the acceleration test for 500 hours was performed on 60 degreeC90% RH conditions, and states, such as a crack of the
表1より、加速試験前において、発光エリア外であるレーザー照射したパッシベーション層9の切断部には、数μm程度の割れや、欠け、パッシベーション層9の小さな剥れが10枚中4枚の有機発光装置で確認された。
According to Table 1, before the acceleration test, the cut portion of the
表2より、60℃90%RH500時間の加速試験後においては、10枚中2枚の有機発光装置でクラックが進行したが、不連続部14でそのクラックは止まっていた。
From Table 2, after the accelerated test at 60 ° C. and 90% RH for 500 hours, cracks progressed in two of the ten organic light-emitting devices, but the cracks stopped at the
<実施例2>
実施例2では、図3に示すように、不連続部14にインジウム錫酸化膜(ITO)からなる金属化合物層を形成したTFT基板を用いた。また、図3の不連続部14の底部の幅寸法は、上記実施例1と同様に0.5mmとした。そして、上記実施例1と同様に有機発光素子を作成し、膜厚約6μmのパッシベーション層9を堆積形成して有機発光素子を封止した。
<Example 2>
In Example 2, as shown in FIG. 3, a TFT substrate in which a metal compound layer made of an indium tin oxide film (ITO) was formed on the
その後、レーザーを外部接続端子10上に照射し、有機化合物層7と共に外部接続端子10上のパッシベーション層9を剥離除去した。
Thereafter, the
次に、パッシベーション層9上に円偏光板13を粘着剤12で貼り付けた。以上により有機発光装置を得た。
Next, a circularly
同様に10枚の有機発光装置を製造した。 Similarly, ten organic light emitting devices were manufactured.
得られた有機発光装置について、60℃90%RHの条件で500時間の加速試験を行い、加速試験後のパッシベーション層9の割れ等の状態を観察した。結果を表3に示す。
The obtained organic light-emitting device was subjected to an acceleration test for 500 hours under the condition of 60 ° C. and 90% RH, and the state of the
60℃90%RH500時間の加速試験後において、10枚中6枚の有機発光装置は発光エリア100外でクラックが生じていたが、いずれも不連続部14でクラックは止まり、発光エリア100内への進行は無かった。
After the acceleration test at 60 ° C. and 90% RH for 500 hours, 6 out of 10 organic light emitting devices had cracks outside the
<実施例3>
実施例3では、図3及び図4に示すように、外部接続端子10を囲うように不連続部14を形成し、同不連続部14にインジウム錫酸化物(ITO)からなる金属化合物層を形成したTFT基板を用いた。また、不連続部14の底部の幅寸法は、上記実施例1及び実施例2と同様に0.5mmとした。そして、上記実施例1と同様に有機発光素子を形成し、膜厚約3μmのパッシベーション層9を堆積形成して有機発光素子を封止した。
<Example 3>
In Example 3, as shown in FIGS. 3 and 4, a
その後、レーザーを外部接続端子10上に照射し、有機化合物層7と共に外部接続端子10上のパッシベーション層9を剥離除去した。
Thereafter, the
パッシベーション層9上に円偏光板13を粘着剤12で貼り付けた。以上により有機発光装置を得た。
A circularly
同様に10枚の有機発光装置を製造した。 Similarly, ten organic light emitting devices were manufactured.
得られた有機発光装置について、60℃90%RHの条件で500時間の加速試験を行い、加速試験後のパッシベーション層9の割れ等の状態を観察した。結果を表4に示す。
The obtained organic light-emitting device was subjected to an acceleration test for 500 hours under the condition of 60 ° C. and 90% RH, and the state of the
60℃90%RH500時間の加速試験後において、10枚中7枚の有機発光装置は発光エリア100外でクラックが生じたが、いずれも不連続部14でクラックは止まり、発光エリア100内への進行は無かった。
After an accelerated test at 60 ° C. and 90% RH for 500 hours, 7 out of 10 organic light emitting devices cracked outside the
<実施例4>
実施例4では、図1に示すように不連続部14を形成し、同不連続部14の底部からITOからなる金属化合物層が露出する構成の基板を用いた。そして、上記実施例1と同様に有機発光素子を形成し、膜厚約6μmのパッシベーション層9を堆積形成して有機発光素子を封止した。
<Example 4>
In Example 4, a substrate having a configuration in which the
その後、レーザーを外部接続端子10上に照射し、有機化合物層7と共に外部接続端子10上のパッシベーション層9を剥離除去した。更に、レーザーでパッシベーション層9にクラックを生じさせた。このようにして、不連続部14の底部の幅寸法を、後述する<表5>に示すように0.025mmから0.5mmに段階的に変化させた有機発光装置を10枚製造した。
Thereafter, the
得られた有機発光装置について、60℃90%RHの条件で500時間の加速試験を行い、加速試験後のパッシベーション層9の割れ等が不連続部14を越えて、発光エリア100に進行するのか観察した。また、有機発光素子を表示させて、有機発光素子の外部接続端子10近傍で輝度低下が生じるか観察した。評価は、初期輝度に対する低下率が5%以下を○とし、5%を越えるものを×とした。結果を表5に示す。
The obtained organic light emitting device is subjected to an accelerated test for 500 hours under the condition of 60 ° C. and 90% RH, and whether the
60℃90%RH500時間の加速試験後において、0.025mmから0.5mmの幅寸法の全有機発光装置でクラックは止まっていた。しかし、幅寸法0.025mmで2枚、幅寸法0.05mmで1枚の有機発光装置が、5%を越える輝度低下を生じた。一方幅寸法が0.1mmから0.5mmでは、輝度低下は生じなかった。 After an accelerated test at 60 ° C. and 90% RH for 500 hours, cracks were stopped in the all organic light-emitting device having a width of 0.025 mm to 0.5 mm. However, two organic light-emitting devices with a width of 0.025 mm and one with a width of 0.05 mm caused a reduction in luminance exceeding 5%. On the other hand, when the width dimension was 0.1 mm to 0.5 mm, the luminance did not decrease.
以上ように、不連続部14の底部の幅寸法が狭いと輝度低下が発生しやすくなるが、不連続部14を形成することにより、パッシベーション層9の発光エリア100へのクラックの進行を遮断でき、発光エリア100への水分、酸素の浸入を防止できる。
As described above, if the width of the bottom portion of the
また、不連続部14の底部から露出する金属化合物は、インジウム錫酸化物(ITO)に限らない。窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化珪素、酸化アルミニウム、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、インジウム錫亜鉛酸化物(ITZO)などの無機材料でも効果的である。
Further, the metal compound exposed from the bottom of the
<比較例1>
比較例1では、不連続部の無いTFT基板を用い、上記実施例1と同様に有機発光素子を形成し、膜厚約6μmのパッシベーション層を堆積形成して有機発光素子を封止した。
<Comparative Example 1>
In Comparative Example 1, an organic light emitting device was formed using a TFT substrate having no discontinuous portions in the same manner as in Example 1 above, and a passivation layer having a thickness of about 6 μm was deposited to seal the organic light emitting device.
その後、レーザーを外部接続端子上に照射し、有機化合物層と共に外部接続端子上のパッシベーション層を剥離除去した。 Then, the laser was irradiated on the external connection terminal, and the passivation layer on the external connection terminal was peeled off together with the organic compound layer.
パッシベーション層上に円偏光板を粘着剤で貼り付けた。以上により有機発光装置を得た。 A circularly polarizing plate was attached on the passivation layer with an adhesive. Thus, an organic light emitting device was obtained.
同様に10枚の有機発光装置を製造した。 Similarly, ten organic light emitting devices were manufactured.
外部接続端子10上のパッシベーション層を光学顕微鏡で観察し、パッシベーション層の割れ等を観察した。その後、60℃90%RHの条件で500時間の加速試験を行い、加速試験後のパッシベーション層の割れ等の状態を観察した。結果を表6に示す。
The passivation layer on the
60℃90%RH500時間の加速試験後において、10枚中5枚の有機発光装置でクラックが進行し、発光エリアに達した。クラックが発光エリアに進行した有機発光装置を発光させると、発光エリアの外部接続端子近傍付近で非発光の画素が発生した。 After an accelerated test at 60 ° C. and 90% RH for 500 hours, cracks progressed in 5 out of 10 organic light emitting devices, and reached the light emitting area. When the organic light emitting device in which the crack progressed to the light emitting area was caused to emit light, non-light emitting pixels were generated in the vicinity of the external connection terminal in the light emitting area.
本発明の有機発光装置は表示装置として好ましく用いることができ、特にテレビ受像機、携帯電話の表示部、撮像装置の表示部に好ましく用いることができる。 The organic light-emitting device of the present invention can be preferably used as a display device, and particularly preferably used for a television receiver, a display unit of a mobile phone, and a display unit of an imaging device.
1 ガラス基板
2 TFT(薄膜トランジスタ)
3 絶縁層
4 有機平坦化層
5 画素分離膜
6 下部電極
7 有機化合物層(正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層)
8 上部電極
9 パッシベーション層
10 外部接続端子
11 信号配線
12 粘着剤
13 円偏光板
14 不連続部
15 水分遮断用の不連続部
16 無機層
100 発光エリア
1 Glass substrate 2 TFT (Thin Film Transistor)
3 Insulating
8
Claims (4)
前記有機平坦化層には、発光エリアを含む領域と外部接続端子を含む領域とを区画する凹部又は凸部の不連続部が形成されており、前記不連続部はパッシベーション層で覆われていることを特徴とする、有機発光装置。 In an organic light emitting device comprising at least a substrate, an organic flattening layer for flattening the unevenness of the substrate, an organic light emitting element having a lower electrode, an organic compound layer, and an upper electrode, and a passivation layer covering them ,
The organic planarization layer is formed with a concave or convex discontinuity that partitions a region including a light emitting area and a region including an external connection terminal, and the discontinuous portion is covered with a passivation layer. An organic light emitting device.
基板上の有機平坦化層に、発光エリアを含む領域と外部接続端子を含む領域とを区画する凹部又は凸部の不連続部を形成する工程と、
基板上の発光エリアを含む領域及び外部接続端子を含む領域をパッシベーション層で覆う工程と、
外部接続端子上のパッシベーション層を剥離する工程と、
を有することを特徴とする、有機発光装置の製造方法。 An organic light emitting device comprising at least a substrate, an organic flattening layer for flattening the unevenness of the substrate, an organic light emitting element having a lower electrode, an organic compound layer, and an upper electrode, and a passivation layer covering them. In the manufacturing method,
A step of forming a recess or a discontinuous portion of a convex portion that divides a region including a light emitting area and a region including an external connection terminal in an organic planarization layer on the substrate;
Covering the region including the light emitting area on the substrate and the region including the external connection terminal with a passivation layer;
Peeling the passivation layer on the external connection terminal;
A method for producing an organic light-emitting device, comprising:
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