Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP2007114146A - 表示用パネルの点灯検査装置 - Google Patents

表示用パネルの点灯検査装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2007114146A
JP2007114146A JP2005308465A JP2005308465A JP2007114146A JP 2007114146 A JP2007114146 A JP 2007114146A JP 2005308465 A JP2005308465 A JP 2005308465A JP 2005308465 A JP2005308465 A JP 2005308465A JP 2007114146 A JP2007114146 A JP 2007114146A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
display panel
panel
inspection
housing
lighting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005308465A
Other languages
English (en)
Inventor
Yutaka Kosaka
裕 小坂
Yoshiyuki Ando
由行 安東
Susumu Otsu
進 大津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Micronics Japan Co Ltd
Original Assignee
Micronics Japan Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micronics Japan Co Ltd filed Critical Micronics Japan Co Ltd
Priority to JP2005308465A priority Critical patent/JP2007114146A/ja
Priority to TW095133063A priority patent/TW200718932A/zh
Priority to KR1020060094606A priority patent/KR100795400B1/ko
Publication of JP2007114146A publication Critical patent/JP2007114146A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8803Visual inspection
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

【課題】目視点灯検査及び自動点灯検査を選択的に行うことができるにも関わらず、目視点灯検査及び自動点灯検査のいずれの場合も検査精度を向上させることにある。
【解決手段】点灯検査装置は、表示用パネルを受けてこれを点灯させるパネル受け装置であって筐体及び該筐体内に配置された検査ステージを備え、表示用パネルを前記検査ステージに受けるパネル受け装置と、検査ステージに配置された表示パネルを上方から撮影するビデオカメラを備えるパネル撮影装置とを含む。筐体は、検査ステージに受けた表示用パネルを当該筐体の前面側から目視可能の開口を有する。
【選択図】図1

Description

本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネルの点灯検査をする装置に関する。
液晶表示パネルのような表示用パネルは、各画素が正しく機能するか否かの点灯検査をされる。この点灯検査は、表示用パネルの裏面をバックライトで照明しつつ、その表示用パネルに通電して、その表示用パネルを所定のパターンに点灯させ、その表示用パネルの点灯状態を確認することにより、行われる。
表示用パネルは、作業者が点灯状態を目視して判断するいわゆる目視点灯検査(特許文献1)、又は点灯状態をビデオカメラで撮影してその出力信号を画像処理して判定するいわゆる自動点灯検査(特許文献2)により、良否を判定される。
これら点灯検査は、外部の光が点灯されている表示用パネルの近傍に入り込まないように、検査すべき表示用パネルを筐体内で点灯させた状態で行われる。
目視点灯検査は、筐体に設けられた窓を介して作業者が筐体内の表示用パネルを斜めに目視することにより、検査精度を高めているが、正否判定の基準が曖昧であり、また検査能率が低い。
これに対し、自動点灯検査は、これが自動点灯検査装置により自動的に行われるから、検査能率が高い反面、点欠点、斑欠点等、一部の欠陥についてそれが真の欠陥であるか否かについての判定が困難な場合が多い。そのような表示用パネルは、グレーゾーンのグループにまとめられて、別の目視点灯検査装置により再度検査(この場合は、目視点灯検査)を行っている。
上記課題を解決するために、目視点灯検査と自動点灯検査とを選択的に行う目視兼自動点灯技術が提案されている(特許文献3)。
上記目視兼自動点灯技術は、表示用パネルを水平面に対し傾斜させた状態に検査ステージに受けて点灯状態におき、目視検査の場合は作業者が表示用パネルを筐体に設けられた窓を介して斜め上方から目視し、自動点灯検査の場合は表示用パネルを筐体に設けられた反射鏡を介して側方から撮影する。
このため、上記従来の目視兼自動点灯技術では、目視検査の場合には、作業者が表示用パネルをこれに垂直の方向から目視することができるから、検査精度は向上する。しかし、自動点灯検査の場合には、表示用パネルをビデオカメラにより反射鏡を介して斜めに撮影することになるから、撮影精度が低下し、検査精度が低下する。
特開平10−253498号公報 特開2004−170495号公報 特開平9−258157号公報
本発明の目的は、目視点灯検査及び自動点灯検査を選択的に行うことができるにも関わらず、目視点灯検査及び自動点灯検査のいずれの場合も検査精度を向上させることにある。
本発明に係る点灯検査装置は、表示用パネルを受けてこれを点灯させるパネル受け装置であって筐体及び該筐体内に配置された検査ステージを備え、前記表示用パネルを前記検査ステージに受けるパネル受け装置と、前記検査ステージに配置された表示パネルを上方から撮影するビデオカメラを備えるパネル撮影装置とを含む。前記筐体は、前記検査ステージに受けた表示用パネルを当該筐体の前面側から目視可能の開口を有する。
本発明に係る点灯検査装置は、さらに、前記検査ステージに受けた表示用パネルを前記開口及び前記ビデオカメラに選択的に向けるように、前記検査ステージを変位させる変位機構と、前記開口を開放可能に閉鎖するカバーとを含む。
前記パネル撮影装置は前記パネル受け装置の上方に配置されていてもよく、また前記筐体は前記ビデオカメラが前記表示用パネルを撮影することを許す第2の開口を備えていてもよい。
筐体の開口は、目視検査の間開放され、自動点灯検査の間カバーにより閉じられる。
作業者が目視検査のために表示用パネルを筐体の開口を介して目視するとき、検査ステージは変位機構により変位されて受けている表示用パネルを開口に向け、その状態に維持する。このため、作業者は、表示用パネルをこれに垂直の方向から目視することができるから、目視点灯検査における検査精度が高くなる。
これに対し、自動点灯検査の間、検査ステージは、受けている表示用パネルをビデオカメラに向けるように変位機構により変位されてその状態に維持される。このため、点灯された表示用パネルをこれに垂直の上方からビデオカメラにより撮影することができるから、撮影精度が高く、その結果自動点灯検査における検査精度も高くなる。
前記パネル撮影装置は前記パネル受け装置の上方に配置されていてもよい。この場合、前記筐体は前記ビデオカメラが前記表示用パネルを撮影することを許すように、上部を開放されている。
前記パネル撮影装置は、さらに、前記ビデオカメラが配置された第2の筐体であって前記パネル受け装置の筐体の上に取り外し可能に配置された第2の筐体と、該第2の筐体に支持された三次元移動機構であって前記ビデオカメラを、下向きに支持すると共に、上下、左右及び前後の三方向に変位させる三次元移動機構とを備えることができる。
前記カバーは、複数のねじにより前記筐体に取り外し可能に取り付けられていてもよい。しかし、前記カバーは、ヒンジにより前記筐体にこれの開口を開閉可能に取り付けられていてもよい。
前記検査ステージは、前記表示用パネルを受けるワークテーブルと、該ワークテーブルに配置されたバックライトユニットと、前記ワークテーブルを少なくとも上下方向に移動させるテーブル移動機構とを備えることができ、また前記変位機構は前記表示用パネルを前記開口及び前記ビデオカメラに選択的に向けるように前記テーブル移動機構を変位させるものであってもよい。
前記変位機構は、前記筐体内に配置された支持台と、該支持台にX方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に支持された支持部材であって前記検査ステージを支持する支持部材と、該支持部材を前記軸線の周りに角度的に回転させるアクチュエータとを備えることができる。
本発明に係る点灯検査装置は、さらに、未検査の表示用パネル及び検査済みの表示用パネルを水平に搬送するパネル搬送装置と、未検査の表示用パネルを前記パネル搬送装置から水平に受けて前記検査ステージに水平に渡すと共に、検査済みの表示用パネルを前記検査ステージから水平に受けて前記パネル搬送装置に水平に渡すパネル搬送受け渡し装置とを含むことができる。この場合、検査ステージに対する表示用パネルの受け渡しは、水平の状態で行われる。
[用語について]
以下、図2において、検査ステージやパネル受け渡し機構等に受けられた表示用パネルと平行な面内におけるX方向及びこれと直角の方向をそれぞれX方向及びY方向といい、その表示用パネルに垂直な方向をZ方向という。しかし、それらの方向は、検査すべき表示用パネルを点灯検査装置に配置する姿勢、すなわち点灯検査装置に配置された表示用パネルの姿勢により異なる。
したがって、上記の方向は、実際の点灯検査装置に応じて、X方向及びY方向が、水平面、水平面に対し傾斜する傾斜面、及び水平面に垂直の垂直面のいずれかの面内となるように決定してもよいし、それらの面の組み合わせとなるように決定してもよい。
図1から図3を参照するに、点灯検査装置10は、矩形の平面形状を有する表示用パネル12の目視点灯検査と自動点灯検査とを選択的に行うことができる。図示の例では、表示用パネル12は、多数の表示画素を有すると共に、それらの表示画素に電気的に接続された公知のパネルである。
点灯検査装置10は、表示用パネル12を受けてこれを点灯させるパネル受け装置14と、パネル受け装置14に配置された表示用パネル12を転向させる転向装置すなわち変位機構16と、表示用パネル12を撮影するパネル撮影装置18と、表示用パネル12を水平に搬送するパネル搬送装置20と、パネル受け装置14及びパネル搬送装置20に対する表示用パネル12の搬送及び受け渡しをするパネル搬送受け渡し装置22とを含む。
パネル受け装置14は、筐体24内に検査ステージ26を配置しており、また表示用パネル12を検査ステージ26に受ける。筐体24は、複数の長尺部材を立法体状に結合させてフレーム28を形成し、フレーム28の上面を除く各面に閉鎖パネル30をねじにより取り付けている。
筐体24の正面に位置する閉鎖パネル30には、検査ステージ26に受けられた表示用パネル12を斜め上方から目視可能の開口32が矩形をしたカバー受け34により形成されている。
カバー受け34は、フレーム28を形成している長尺部材のうち、筐体24の正面側を上下方向へ伸びる一対の長尺部材にねじ止めされている。開口32は平板状のカバー36により開放可能である。カバー受け34は、カバー36の下縁部を受けるように上方に開放してX方向(図2において、左右方向であり、以下同じ)へ伸びる溝38を有する。
カバー36は、複数のねじ部材(図示せず)により筐体24に取り外し可能にカバー受け34に取り付けられている。このため、カバー36はねじ部材のために複数の貫通穴40を有しており、カバー受け34はねじ部材用の複数のねじ穴41を有している。
カバー36は、作業者による目視点灯検査の間、カバー36はカバー受け34から外される。これに対し、自動点灯検査をする場合、カバー36は、カバー受け34に取り付けられて、外部の光が筐体24内に入り込むことを防止する。
検査ステージ26は、図2から図4に示すように、表示用パネル12を受けるワークテーブル42と、ワークテーブル42に配置されたバックライトユニット44と、ワークテーブル42を移動させるテーブル移動機構46とを備えており、またテーブル移動機構46において変位機構16に支持されている。
ワークテーブル42は、矩形をした板状部の中央領域に矩形の貫通穴を形成しており、この貫通穴の周りの上部に矩形の受け部を段状に又はリム状に形成している。表示用パネル12は、受け部の上面に受けられて解除可能に真空吸着される。
バックライトユニット44は、ワークテーブル42に受けられた表示用パネルに白色光を下方から照射して照明するように、ワークテーブル42と共にテーブル移動機構46に支持されている。
テーブル移動機構46は、少なくとも上下方向、好ましくはX,Y,Zの三次元的に、より好ましくはX,Y,Zの三方向とZ方向へ伸びるθ軸線の周りとに移動させる公知の機構である。
変位機構16は、図2から図4に示すように、筐体24内に配置された逆門型の支持台48に支持部材50をX方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に支持させており、また検査ステージ26のテーブル移動機構18を支持部材50に支持させている。
支持部材50は、アクチュエータ52によりX方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転される。これにより、検査ステージ26が表示用パネル12と共に同様に角度的に回転されて、表示用パネル12が転向すなわち変位される。
アクチュエータ52として、サーボモータのような電動機とその出力を原則させる減速機構とを用いることができる。
図2,図3,図4及び図7に実線で示すように、パネル受け装置14とパネル搬送受け渡し装置22との間で表示用パネル12の受け渡しをする間、及び自動点灯検査をする間、変位機構16は、検査ステージ226に受けられている表示用パネル12を上方に向けて水平に維持するように、検査ステージ26を変位させてその状態に維持する。
これに対し、図1及び図9に実線で示し、図7に点線で示すように、作業者が、査ステージ226に受けられている表示用パネル12を目視するとき、変位機構16は、表示用パネル12を斜め上方の開口32に向けて斜め上向きの姿勢に維持するように、検査ステージ26を変位させてその状態に維持する。
パネル撮影装置18は、図1から図3に示すように、パネル受け装置14の筐体24の上に取り外し可能にねじ止めされた筐体54と、筐体54内に配置されたビデオカメラ56と、筐体54に支持された三次元移動機構58とを備える。
筐体54は、筐体24と同様に、複数の長尺部材を立法体状に結合させてフレームを形成し、フレームの下面を除く各面に閉鎖パネルをねじにより取り付けている。
筐体24及び54が閉鎖パネルを上記のように備える構造を有することにより、筐体24及び54内の空間は、外部の光が入り込まないように閉鎖パネルにより閉鎖されている。
ビデオカメラ56は、自動焦点合わせ機能を備えるカメラであり、また検査ステージ26に受けられた表示用パネル12を上方から撮影することができるように、下向きに三次元移動機構58に支持されている。
筐体24及び54は、筐体24の上面及び筐体54の下面に対応する箇所のそれぞれに閉鎖パネルが配置されていないから、ビデオカメラ56による表示用パネル12の撮影を妨げない。
三次元移動機構58は、ビデオカメラ56を、上下、左右及び前後の三方向に変位させるように、筐体54に取り付けられている。
そのような三次元移動機構58は、図5に示すように、それぞれが固定子すなわちリニアレール60とこのリニアガイド60に移動可能に結合された可動子すなわちリニアガイド62とを備えた3対のリニアモータを用いて構成することができる。
図5に示す例では、1対のリニアモータのリニアガイド62はX方向へ伸びるように筐体54にブラケット64を介して取り付けられており、他の1対のリニアモータはこれらのリニアガイド62はブラケット64を介して左前後方向へ伸びるように最上部に位置するリニアモータのリニアガイド62に取り付けられており、残りの1対のリニアモータのリニアガイド62は上下方向へ伸びるように中間のリニアモータのリニアガイド62にブラケット64を介して取り付けられている。
ビデオカメラ56は、ブラケット64を介して最下部に位置するリニアモータのリニアガイド62に取り付けられている。
三次元移動機構58は、検査ステージ26に受けられている表示用パネル12を撮影するとき、ビデオカメラ56を所定の高さ位置に移動させてその高さ位置に維持した状態で、ビデオカメラをXY方向に二次元的に移動させる。
パネル搬送装置20は、図6に示すように、パネル受け装置14の背部に配置されており、またそれぞれが複数のローラを回転軸にこれの軸線方向に間隔をおいた状態に取り付けた複数のローラ組立体66を備える。
ローラ組立体66は、パネル12の搬送方向(図示の例では、X方向)に間隔をおいてフレーム68に回転自在に支持されており、また図示しない駆動機構により同期して回転される。
パネル搬送装置20は、図6において、未検査の表示用パネル12を左端部のローディング位置に配置されている複数のローラ組立体66に受けてパネルの搬送方向中央部の受け渡し位置に搬送し、未検査及び検査済みの表示用パネル12を受け渡し位置においてパネル受け装置14に対して受け渡し、検査済みの表示用パネル12を右端部のアンローディング位置に搬送する。
すなわち、パネル搬送装置20は、検査済みの表示用パネル12を受け渡し位置においてパネル搬送受け渡し装置22から受けて図6において右端部に搬送し、未検査の表示用パネル12を図6において左端部から受け渡し位置まで搬送する。未検査及び検査済みの表示用パネル12をパネル受け装置14に対して受け渡すとき、パネル搬送装置20は停止される。
パネル搬送装置20は、また、未検査の表示用パネル12のアライメントをするアライメント装置70と、未検査及び検査済みの表示用パネル12をパネル搬送受け渡し装置22に対して受け渡す受け渡し機構72とを受け渡し位置に配置している。
アライメント装置70は、未検査の表示用パネル12が受け渡し位置に搬送されてきたことをパネルセンサ74で感知し、それにより2組の位置決め部材76を相寄る方向に移動させてそれら位置決め部材76により表示用パネル12の対向する2辺を挟むことにより、表示用パネル12のセンターリングをする。これにより、未検査の表示用パネル12はアライメントをされる。
位置決め部材76は、表示用パネル12が受け渡し位置に搬送されてくるまでは、その上端部がパネル搬送装置22によるパネル搬送路の下方の待機位置に位置する状態に待機されている。
しかし、表示用パネル12がパネルセンサ74により感知されると、位置決め部材76は、その上端部がパネル搬送路に突出されて表示用パネル12を停止させると共に、相寄る方向に移動されてその表示用パネル12を挟む。
アライメント装置70は、表示用パネル12のセンターリングをした後、位置決め部材76を逆方向に移動させて待機位置に戻し、表示用パネル12を解放する。
受け渡し機構72は、パネル搬送装置18によるパネル搬送路に出入りされる複数のリフターピン78を備える。
受け渡し機構72は、リフターピン78を図示しない駆動機構によりパネル搬送装置18によるパネル搬送路に同期して突出させることにより、表示用パネル12をリフターピン78にパネル搬送装置20又はパネル搬送受け渡し装置22から受ける。
受け渡し機構72は、また、リフターピン78を上記駆動機構によりパネル搬送装置18によるパネル搬送路の下方に同期して後退させることにより、表示用パネル12をパネル搬送装置20又はパネル搬送受け渡し装置22に渡す。
図2から図4に示すように、前後方向に間隔をおいて対向する状態にパネル受け装置14の筐体24に支持された一対のガイド機構80と、それぞれがガイド機構80から相手のガイド機構80の側に伸びる状態にガイド機構80に取り付けられた一対のアーム82と、各アーム82の先端部に取り付けられた複数の吸着パッド84とを備える。
各ガイド機構80は、リニアモータであり、固定子を前後方向へ水平に伸びる状態に筐体24に取り付け、可動子にアーム82を取り付けている。両ガイド機構80は、表示用パネル12を検査ステージ26の上方とパネル搬送装置20の上方とに搬送するように伸びており、また対応するアーム82を同期して逆に前後方向へ移動させる。
各ガイド機構80をリニアモータとする代わりに、アーム82を開土機構に対し手移動させる移動機構を備えてもよい。
上記のように両ガイド機構80がパネル受け装置14からその後方に突出していることから、筐体24の後面に配置された閉鎖パネル30は、パネル搬送受け渡し装置22が表示用パネル12の搬送を妨げない開口を有している。
各吸着パッド84は、表示用パネル12を真空吸着する公知のパッドであり、対応するアーム82が前後方向へ移動されることにより、表示用パネル12を水平に搬送する。
両ガイド機構80によるパネル搬送位置は、それらの高さ位置が重ならないように、上下方向にずらされている。
パネル搬送受け渡し装置22は、先ず、未検査の表示用パネル12をパネル搬送装置20から一方の吸着パッド84に受け、検査済みの表示用パネル12をパネル受け装置14から他方の吸着パッド84に受ける。
次いで、パネル搬送受け渡し装置22は、両アーム82を逆方向に移動させて、未検査の表示用パネル12をパネル受け装置14に搬送し、検査済みの表示用パネル12をパネル搬送装置20の側に搬送する。
次いで、パネル搬送受け渡し装置22は、吸着している表示用パネル12をパネル受け層値14及びパネル搬送装置20に渡した後、アーム82及び吸着パッド84を点灯検査の妨げにならない位置に待機させる。
上記の点灯検査装置10は以下のように動作し、それにより表示用パネル12は以下のように処理される。
未検査の表示用パネル12は、パネル搬送装置20により受け渡し位置に水平の状態で搬送されて、アライメント装置70により水平の状態でアライメントをされ、パネル搬送受け渡し装置22の一方の吸着パッド84に水平の状態で渡されると共にそれらの吸着パッド84により検査ステージ26の上方に水平の状態で搬送される。
上記と平行して、検査済みの表示用パネル12は、検査ステージ26により水平の状態に維持された状態でワークテーブル42が上昇された後、下降されることにより、パネル搬送受け渡し装置22の他方の吸着パッド84に水平の状態で渡されて、それらの吸着パッド84によりパネル搬送装置20の上方に水平の状態で搬送される。
検査ステージ26の上方に搬送された未検査の表示用パネル12は、ワークテーブル42が上昇された後、下降されることにより、パネル搬送受け渡し装置22の一方の吸着パッド84から検査ステージ26に水平の状態で渡される。
その後、未検査の表示用パネル12は、ワークテーブル42が所定の高さ位置及び姿勢に維持された状態で、点灯検査をされる。この点灯検査の際、未検査の表示用パネル12は、バックライトユニット44により背面から照明されると共に、図示しないプローブにより通電されて、所定の点灯状態とされる。
これに対し、パネル搬送装置20の上方に搬送された検査済みの表示用パネル12は、リフターピン78が上昇されることにより、その表示用パネル12をリフターピン78に受け、リフターピン78が下降されることによりローラ組立体66に渡す。
その後、検査済みの表示用パネルは図6において右端に搬送されて、人で又はロボットによりパネル搬送装置20から取り去られる。これと平行して、次の表示用パネル12が図6においてパネル搬送装置20の左端に載置されてパネル搬送装置20により受け渡し位置に搬送される。
目視点灯検査の間、カバー36は、筐体24から外されて、開口32を開放している。
しかし、検査ステージ26は、受けている表示用パネル12を作業者が目視検査のために開口32を介して目視するときだけ、その表示用パネル12を開口に向け、その状態に維持するように変位機構16により図7において点線で示すように変位される。このため、作業者は、表示用パネル12をこれに垂直の方向から目視することができ、高い検査精度で目視点灯検査をすることができる。
目視点灯検査が終了すると、検査ステージ26は、受けている表示用パネル12をビデオカメラ56に向けて上向きの状態に維持するように、変位機構16により図6に実線で示すように変位される。
自動点灯検査の間、カバー36は、筐体24に取り付けられて、開口32を閉鎖している。また、検査ステージ26は、図6に実線で示すように、受けている表示用パネル12をビデオカメラ56に向けた水平の状態に維持する。
上記の状態で、ビデオカメラ56は、表示用パネル12を撮影し、撮影した画像信号をテスターにおける画像処理及びパネルの良否判定処理のためにテスターに出力する。このため、点灯された表示用パネル12をこれに垂直の上方からビデオカメラ56により撮影することができるから、撮影精度が高く、その結果自動点灯検査における検査精度も高くなる。
上記のように、表示用パネル12の搬送及び受け渡しの間、表示用パネル12を水平状態に維持すると、その間表示用パネル12が安定し、搬送及び受け渡しを正確かつ確実に安定して行うことができる。
上記の点灯検査装置10は、これを目視点灯検査専用機として用いるときは、図1に示すようにカバー36を筐体24から外した状態で使用してもよいが、図8に示すようにパネル撮影装置18を外して使用してもよいし、図9に示すようにパネル撮影装置18及びパネル搬送装置20を外して使用してもよい。
上記のように、点灯検査装置10は、表示用パネル12を傾斜させた状態及び水平に維持した状態のいずれかの状態で、検査をするから、表示用パネル12の検査の間だけプローブを表示用パネル12の電極に押圧し、そのほかの間、特にパネルの受け渡しの間は、プローブを受け渡し作業の妨げにならない位置に退避させるプローブユニットを用いることが好ましい。
そのようなプローブユニット及びそれを用いた検査装置、例えば特開2002-350485号公報に開示されている。そのような公知のプローブユニットは、本が詰めイの場合、全体が検査ステージ26と共に変位されるように、検査ステージ26に取り付けられる。
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
本発明の係る検査装置の一実施例を示す斜視図であって、目視点灯検査をするためにカバーを外した状態で示す図である。 図1に示す検査装置を、閉鎖パネルを外した状態で示す正面図である。 図1に示す検査装置を、閉鎖パネルを外した状態で示す右側面図である。 図1に示す検査装置で用いる検査ステージ、変位機構及びパネル搬送受け渡し装置の一実施例を示す斜視図である。 図1に示す検査装置で用いる三次元移動機構の一実施例を示す斜視図である。 図1に示す検査装置で用いるパネル搬送装置の一実施例を示す斜視図である。 点灯検査をするときの開口及びビデオカメラに対する検査ステージの状態を示す図である。 目視点灯検査をする場合の他の利用方法の実施例を示す図である。 目視点灯検査をする場合のさらに他の利用方法の実施例を示す図である。
符号の説明
10 検査装置
12 表示用パネル
14 パネル受け装置
16 変位機構
18 パネル撮影装置
20 パネル搬送装置
22 パネル搬送受け渡し装置
24 パネル受け装置の筐体
26 検査ステージ
28 フレーム
30 閉鎖パネル
32 開口
34 カバー受け
36 カバー
38 溝
40 貫通穴
41 ねじ穴
42 ワークテーブル
44 バックライトユニット
46 テーブル移動機構
48 支持台
50 支持部材
52 アクチュエータ
54 パネル撮影装置の筐体
56 ビデオカメラ
58 三次元移動機構
60 リニアレール
62 リニアガイド
64 ブラケット
66 ローラ組立体
68 フレーム
70 アライメント装置
72 受け渡し機構
74 パネルセンサ
76 位置決め部材
78 リフターピン
80 ガイド機構
82 アーム
84 吸着パッド

Claims (7)

  1. 表示用パネルを受けてこれを点灯させるパネル受け装置であって筐体及び該筐体内に配置された検査ステージを備え、前記表示用パネルを前記検査ステージに受けるパネル受け装置と、前記検査ステージに配置された表示パネルを上方から撮影するビデオカメラを備えるパネル撮影装置とを含み、
    前記筐体は、前記検査ステージに受けた表示用パネルを当該筐体の前面側から目視可能の開口を有し、
    当該点灯表示装置は、さらに、前記検査ステージに受けた表示用パネルを前記開口及び前記ビデオカメラに選択的に向けるように、前記検査ステージを変位させる変位機構と、前記開口を開放可能に閉鎖するカバーとを含む、表示用パネルの点灯検査装置。
  2. 前記パネル撮影装置は前記パネル受け装置の上方に配置されており、
    前記筐体は前記ビデオカメラが前記表示用パネルを撮影することを許すように、上部を開放されている、請求項1に記載の表示用パネルの点灯検査装置。
  3. 前記パネル撮影装置は、さらに、前記ビデオカメラが配置された第2の筐体であって前記パネル受け装置の筐体の上に取り外し可能に配置された第2の筐体と、該第2の筐体に支持された三次元移動機構であって前記ビデオカメラを、下向きに支持すると共に、上下、左右及び前後の三方向に変位させる三次元移動機構とを備える、請求項2に記載の表示用パネルの点灯検査装置。
  4. 前記カバーは、複数のねじにより前記筐体に取り外し可能に取り付けられている、請求項1に記載の表示用パネルの点灯検査装置。
  5. 前記検査ステージは、前記表示用パネルを受けるワークテーブルと、該ワークテーブルに配置されたバックライトユニットと、前記ワークテーブルを少なくとも上下方向に移動させるテーブル移動機構とを備え、前記変位機構は前記表示用パネルを前記開口及び前記ビデオカメラに選択的に向けるように前記テーブル移動機構を変位させる、請求項1に記載の表示用パネルの点灯検査装置。
  6. 前記変位機構は、前記筐体内に配置された支持台と、該支持台にX方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に支持された支持部材であって前記検査ステージを支持する支持部材と、該支持部材を前記軸線の周りに角度的に回転させるアクチュエータとを備える、請求項1に記載の表示用パネルの点灯検査装置。
  7. さらに、未検査の表示用パネル及び検査済みの表示用パネルを水平に搬送するパネル搬送装置と、未検査の表示用パネルを前記パネル搬送装置から水平に受けて前記検査ステージに水平に渡すと共に、検査済みの表示用パネルを前記検査ステージから水平に受けて前記パネル搬送装置に水平に渡すパネル搬送受け渡し装置とを含む、請求項1に記載の表示用パネルの点灯検査装置。
JP2005308465A 2005-10-24 2005-10-24 表示用パネルの点灯検査装置 Pending JP2007114146A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005308465A JP2007114146A (ja) 2005-10-24 2005-10-24 表示用パネルの点灯検査装置
TW095133063A TW200718932A (en) 2005-10-24 2006-09-07 Lighting inspection device of display panel
KR1020060094606A KR100795400B1 (ko) 2005-10-24 2006-09-28 표시용 패널의 점등 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005308465A JP2007114146A (ja) 2005-10-24 2005-10-24 表示用パネルの点灯検査装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007114146A true JP2007114146A (ja) 2007-05-10

Family

ID=38096465

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005308465A Pending JP2007114146A (ja) 2005-10-24 2005-10-24 表示用パネルの点灯検査装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2007114146A (ja)
KR (1) KR100795400B1 (ja)
TW (1) TW200718932A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011521863A (ja) * 2008-05-29 2011-07-28 コーニング インコーポレイテッド ガラスシートを案内するためのガラスシート案内システム及び方法
WO2017068646A1 (ja) * 2015-10-20 2017-04-27 堺ディスプレイプロダクト株式会社 検査装置、検査方法および検査プログラム

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006133099A (ja) * 2004-11-08 2006-05-25 Micronics Japan Co Ltd 表示用パネルの検査装置
CN102914889B (zh) * 2012-11-15 2016-05-04 昆山迈致治具科技有限公司 Lcd测试治具
CN112059403B (zh) * 2020-08-26 2022-07-15 苏州迈为科技股份有限公司 一种点灯机构随动式oled屏体激光修复方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10170398A (ja) * 1996-12-10 1998-06-26 Micronics Japan Co Ltd 液晶パネルの検査装置
JP2000066164A (ja) * 1998-08-25 2000-03-03 Toshiba Electronic Engineering Corp 基板外観検査装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09258157A (ja) * 1996-03-26 1997-10-03 Nippon Maikuronikusu:Kk 液晶表示パネルの検査装置
JP4163435B2 (ja) * 2002-03-29 2008-10-08 株式会社日本マイクロニクス 被検査基板の検査装置
JP2004333214A (ja) * 2003-05-02 2004-11-25 Micronics Japan Co Ltd 表示用パネルの検査装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10170398A (ja) * 1996-12-10 1998-06-26 Micronics Japan Co Ltd 液晶パネルの検査装置
JP2000066164A (ja) * 1998-08-25 2000-03-03 Toshiba Electronic Engineering Corp 基板外観検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011521863A (ja) * 2008-05-29 2011-07-28 コーニング インコーポレイテッド ガラスシートを案内するためのガラスシート案内システム及び方法
WO2017068646A1 (ja) * 2015-10-20 2017-04-27 堺ディスプレイプロダクト株式会社 検査装置、検査方法および検査プログラム

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070044349A (ko) 2007-04-27
KR100795400B1 (ko) 2008-01-17
TW200718932A (en) 2007-05-16
TWI315786B (ja) 2009-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6668900B2 (ja) ワークの外観検査装置と外観検査方法
CN109060827B (zh) 一种智能视觉检测识别设备
KR100654218B1 (ko) 액정패널의 외관 검사장치
TWI411773B (zh) 外觀檢查裝置及外觀檢查方法、以及可安裝於外觀檢查裝置之周圍部檢查單元
JP5001681B2 (ja) インライン自動検査装置及びインライン自動検査システム
KR101954416B1 (ko) 검사 장치
US9007456B2 (en) Device and method for inspecting semiconductor wafers
KR101454823B1 (ko) 외관 검사 장치
JP2005017179A (ja) 表示パネルの検査装置および検査方法
JP4385419B2 (ja) 外観検査方法及び外観検査装置
KR100795400B1 (ko) 표시용 패널의 점등 검사장치
JP6545989B2 (ja) 画像検査装置
KR101074394B1 (ko) 엘시디 검사장치
KR20130026264A (ko) 도광판 검사장치
JP3958852B2 (ja) 被測定基板の検査装置
TW201710670A (zh) 單側式及雙側式點燈檢查設備
JP2001255232A (ja) 表示用パネル基板の検査装置
JP4592070B2 (ja) 液晶パネルの外観検査装置及び外観検査方法
JP2006170622A (ja) 外観検査装置
KR20130022126A (ko) 프로브 유닛 및 이를 포함하는 검사 장치
JP2000159340A (ja) 金属薄板検査方法及び装置
KR20060077176A (ko) 백라이트유닛의 이송용 트레이 자동 이송시스템
KR102242093B1 (ko) 메탈 마스크 검사 장치
JP2001050858A (ja) 表示用パネル基板の検査装置
CN218974154U (zh) 一种外观检测装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080902

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111004

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120904