JP2007086578A - 電気光学装置の検査方法及び検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査内容別に複数の検査工程を設け、各工程を特定の検査内容に特化し、検査者の検査ミスを少なくして作業効率及び検査の精確度を高めることが可能であり、さらに、電気光学パネルを比較的長い時間加熱するようなエージング工程が入っても、コンベアによる流れ作業を可能とし、各検査工程でのタクトタイムを均等に維持することができる電気光学装置の検査方法及び検査装置を提供することである。
【解決手段】電気光学パネルについて複数の表示欠陥の検査を検査内容別に順次実施する枚葉方式の複数の検査工程と、この複数の検査工程の各工程間又は前に組み込まれ、複数個の電気光学パネルを順次搬送しつつ加熱する工程であって、電気光学パネル１個当たりの処理時間は前記複数の検査工程の各工程の処理時間より長い処理時間を要するエージング工程と、を具備した電気光学装置の検査方法である。
【選択図】 図１

Description

本発明は、電気光学装置の検査方法及び検査装置に係り、特に投射型表示装置等のライトバルブに用いられる電気光学装置の表示品位を検査する電気光学装置の検査方法及び検査装置に関する。

一般に、電気光学パネル例えば液晶パネルは、製造工程において、薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと記す）等のスイッチング素子の不良や液晶層への異物の混入等による表示欠陥（点系欠陥，面系欠陥、キズ・ゴミ等）の発生状況の検査が行われる（例えば、特許文献１〜３参照）。

従来の投射型表示装置の例えば液晶パネルの検査方法は、特殊駆動、キズ・ゴミ、点系欠陥、面系欠陥等の複数の検査内容（検査項目）の投影検査を行う際に、１つのパネルについて複数の検査用表示プログラムを作動させ、検査内容ごとに特定の表示パターン及び限度サンプルを用いて一度に複数の検査を実施していた。

一方、近年、液晶パネルの検査として、液晶パネルを所定時間加熱した状態で点系欠陥を検査することが要望されるようになっている。
特開平８−２３３８８８号公報 特開２００４−１０１９４１号公報 特開２００４−１０１９４３号公報

しかし、従来の検査方法では、検査内容が多数ありそれぞれの判定方法が異なる為、検査者がそれらに習熟するの時間がかかり、検査者の習熟度を一定レベル以上に揃えることが難しい。そのため、検査が一旦終了した後、次工程で再検査を実施することも必要となる場合があった。また、液晶パネルを加熱した状態で点系欠陥を検査する場合は、予め加熱する時間を要するため他の検査内容と比較して無駄な待ち時間が発生し、他の検査内容の処理に要する時間（タクトタイム）より長い時間が必要となり、検査全体として作業効率が悪くなる問題を生じていた。

そこで、本発明は上記の問題に鑑み、複数の検査内容を複数の検査工程に分割して独立させ、各検査内容別に検査工程を設け、各検査工程を特定の検査内容に特化することで、検査者の検査ミスを少なくして作業効率及び検査の精確度を高めることができる電気光学装置の検査方法及び検査装置を提供することを目的とするものである。さらに、他の目的は、電気光学パネルを比較的長い所定時間加熱するようなエージング工程が入っても、コンベアによる流れ作業を可能とし、各検査工程でのタクトタイムを均等にすることができる電気光学装置の検査方法及び検査装置を提供することである。

本発明による電気光学装置の検査方法は、電気光学パネルについて複数の表示欠陥の検査を検査内容別に順次実施する枚葉方式の複数の検査工程と、前記複数の検査工程の各工程間又は前に組み込まれ、複数個の前電気光学パネルを順次搬送しつつ加熱する工程であって、電気光学パネル１個当たりの処理時間は前記複数の検査工程の各工程の処理時間より長い処理時間を要するエージング工程と、を具備したものである。

本発明によるこのような方法によれば、被検査対象である電気光学パネルについて、複数の表示欠陥の検査工程を実施する際に、複数の検査工程の各工程間又は前に、複数の検査工程の各工程の処理時間よりも長い処理時間を要するエージング工程が組み込まれて、検査が行われる。通常、物の製造において、流れ作業の製造工程間にエージング工程があったとしても、内容別に分けた複数の検査工程の流れ作業の間にエージング工程が組み込まれることは新規である。

本発明による電気光学装置の検査方法は、電気光学パネルについて複数の表示欠陥の検査を検査内容別に同じ処理時間（タクトタイム）ｍで順次実施する枚葉方式の複数の検査工程と、ｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルを順次搬送しつつ加熱してバッチ処理する方式にて行われ、電気光学パネル１個当たりの処理時間は前記複数の検査工程の各工程の処理時間ｍより長い処理時間Ｔを要するエージング工程と、を具備し、前記エージング工程におけるｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルの１個当たりの加熱時間Ｔは、Ｔ＝ｍ×ｎとされることを特徴とする。

本発明によるこのような方法によれば、検査内容別に設けた枚葉方式の複数の検査工程に、１個当たり処理時間の長いエージング処理を行うエージング工程を組み込んでも、複数の検査工程の各工程のタクトタイムｍを維持することが可能となる。被検査対象である電気光学パネルについてエージング処理が必要な場合に、複数の検査工程の各工程でのタクトタイムを変更することなく、つまり作業効率（作業性）を損なうことなく必要な検査処理を実施することができる。

本発明による電気光学装置の検査方法は、電気光学パネルについて、常温での第１の点系欠陥，常温より高い所定温度に加熱した状態での第２の点系欠陥及び面系欠陥を少なくとも含む複数の表示欠陥の検査を検査内容別に順次実施する枚葉方式の複数の検査工程であって、各検査工程での検査処理に要する時間（タクトタイム）ｍが均等に設定される枚葉方式の複数の検査工程を備え、前記電気光学パネルは、前記複数の検査工程間を第１の搬送手段にて第１の一定速度で搬送され、前記第２の点系欠陥の検査工程における前記電気光学パネルの加熱は、前記第２の点系欠陥の検査工程の前段に設けられるエージング工程にてｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルを第２の搬送手段にて第２の一定速度で順次搬送しつつ加熱してバッチ処理を実施する方式にて行われ、前記エージング工程におけるｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルの１個当たりの加熱時間Ｔは、Ｔ＝ｍ×ｎとされることを特徴とする。

本発明によるこのような方法によれば、検査内容を複数の検査工程に分割して独立させ、各検査内容別に検査工程を設け、各検査工程を特定の検査内容に特化することで、検査者の検査ミスを少なくして作業効率及び検査の精確度を高めることができる。さらに、電気光学パネルを所定時間加熱するエージング工程が入っても、コンベアによる流れ作業を可能とし、各検査工程でのタクトタイムを均等にすることができる。

本発明において、前記複数の検査工程は、周囲環境又は印加電圧を変えて前記電気光学パネルを駆動し、表示欠陥を検査する特殊駆動検査工程と、キズ・ゴミによる欠陥を検査するキズ・ゴミ検査工程と、常温での点系欠陥を検査する第１の点系検査工程と、常温より高い所定温度に加熱した状態での点系欠陥を検査する第２の点系検査工程と、面系欠陥を検査する面系検査工程と、ユーザー提供の実機で前記電気光学パネルを駆動し、表示欠陥を検査する特別検査工程と、を備えたことを特徴とする。

このような方法によれば、特殊駆動検査工程と、キズ・ゴミ検査工程と、第１の点系検査工程と、第２の点系検査工程と、面系検査工程と、特別検査工程との複数の検査工程を独立に行うことにより、各工程での検査負荷を軽くして、検査精度を高めかつ作業効率を上げることができる。

本発明による電気光学装置の検査装置は、電気光学パネルについて、複数の表示欠陥の検査を検査内容別に順次実施する枚葉方式の複数の検査装置と、前記複数の検査装置に亘って設けられて、被検査対象である前記電気光学パネルを順次搬送する搬送手段と、前記複数の検査装置の各工程間又は前に配置され、複数個の電気光学パネルを順次搬送しつつ加熱するエージングを行う装置であって、電気光学パネル１個当たりの処理時間は前記複数の検査装置の各装置の処理時間より長い処理時間を要するエージング装置と、を具備したものである。

本発明によるこのような装置によれば、被検査対象である電気光学パネルについて、複数の表示欠陥の検査を実施する際に、複数の検査装置程の各装置間又は前に、複数の検査装置の各装置の処理時間よりも長い処理時間を要するエージング装置が配置されて、検査が行われる。通常、物の製造において、流れ作業の製造装置間にエージング装置があったしても、内容別に分けた複数の検査装置間にエージング装置が組み込まれることは新規である。

本発明による電気光学装置の検査装置は、電気光学パネルについて、複数の表示欠陥の検査を検査内容別に順次実施する枚葉方式の複数の検査装置であって、各検査装置での検査処理に要する時間（タクトタイム）ｍが均等に設定される複数の検査装置と、前記複数の検査装置に亘って設けられて、被検査対象である前記電気光学パネルを順次搬送する搬送手段と、前記複数の検査装置の各装置間又は前に配置され、ｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルを一定速度で順次搬送しつつ加熱するバッチ処理方式のエージングを行う装置であって、ｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルの１個当たりの加熱時間Ｔは、Ｔ＝ｍ×ｎとされるエージング装置と、を具備したものである。

本発明によるこのような装置によれば、複数の検査内容を複数の検査装置に分割して独立させ、各検査内容別に検査装置を設け、各検査装置を特定の検査内容に特化することで、検査者の検査ミスを少なくして作業効率及び検査の精確度を高めることができる。さらに、電気光学パネルを所定時間加熱するエージング装置が入っても、搬送手段（コンベア）による流れ作業を可能とし、各検査装置でのタクトタイムを均等にすることができる。

本発明による電気光学装置の検査装置は、電気光学パネルを一定速度で搬送するコンベアと、前記コンベアの搬送方向に沿って順次配置される複数の検査装置であって、周囲環境又は印加電圧を変えて前記電気光学パネルを駆動し表示欠陥を検査するための第１の検査装置と、キズ・ゴミによる欠陥を検査する第２の検査装置と、常温での点系欠陥を検査する第３の検査装置と、常温より高い所定温度に加熱した状態での点系欠陥を検査する第４の検査装置と、面系欠陥を検査する第５検査装置と、ユーザー提供の実機で前記電気光学パネルを駆動し表示欠陥を検査する第６の検査装置と、を有した複数の検査装置と、を具備したものである。

本発明によるこのような装置によれば、コンベアの搬送方向に沿って検査内容別に検査装置を順次に配置することで、複数の検査装置で複数の検査を内容別に分担して流れ作業で行うことができ、検査の精確度を高めかつ作業効率を上げることができる。

本発明において、前記複数の検査装置の各検査装置は、検査内容に特化した検査パターンを前記電気光学パネルに表示して投影可能とする検査用表示プログラムを備えた投影機を有することが好ましい。

本発明において、前記検査用表示プログラムは、各検査装置において、検査内容に特化した少なくとも１つ以上の検査パターンを切り換えて前記電気光学パネルに表示させることが好ましい。

発明の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施形態では、電気光学装置としては液晶パネルを備えた液晶装置を例とし、液晶パネルを検査する場合について説明する。
［第１の実施形態］
図１は本発明の第１の実施形態の電気光学装置の検査装置及び検査方法を示す工程図である。
図１において、検査室１内には、電気光学パネルとしての液晶パネルを一定速度で搬送する搬送手段としてのベルトコンベア２，４が例えば直線的に配置され、このベルトコンベア２，４の搬送方向に沿って順次に第１〜第６の検査装置６，８，１０，１２，１４，１６が配置され、第１〜第６の検査装置６，８，１０，１２，１４，１６内にはそれぞれ検査機である第１〜第６の投影機５，７，９，１１，１３，１５とこれらと対をなす投影面である第１〜第６のスクリーン５-1，７-1，９-1，１１-1，１３-1，１５-1が配置されている。第１〜第６の検査装置６，８，１０，１２，１４，１６内の投影機５，７，９，１１，１３，１５には、各投影装置の検査内容に特化した検査パターン（表示パターンと同義）を液晶パネルに表示して投影可能とする検査用表示プログラムを備えている。ただし、第６の検査装置１６内の投影機１５としては、後述するようにユーザー（納入先）の実機が使用される。また、第４の検査装置１２には後述するようにエージング装置としてのヒート室３が取り付けられている。第１〜第６の検査装置６，８，１０，１２，１４，１６は暗幕等で覆われた暗室内に配置されている。なお、符号５-2，７-2，９-2，１１-2，１３-2，１５-2は作業者（検査者）である。

第１の検査装置６は特殊駆動検査工程の検査装置として機能し、周囲環境（例えば温度）や印加電圧を変えて液晶パネルを駆動し正常に表示動作がなされるか否かを検査するためのもので、この検査のために切り換えて使用する表示パターン数は例えば１０である。

第２の検査装置８はキズ・ゴミ検査工程の検査装置として機能し、パネルの中にキズやゴミが入ると非常に小さなものでも投影すると白く抜けるなどの表示欠陥を検査するためのもので、この検査のために切り換えて使用する表示パターン数は例えば２である。

第３の検査装置１０は第１の点系欠陥検査工程の検査装置として機能し、常温での点系欠陥を検査するためのもので、この検査のために切り換えて使用する表示パターン数は例えば２である。点系欠陥とは、液晶パネルの１つ１つの画素が格子状に形成されているが、その画素を構成する素子が壊れていると、電圧をかけても液晶分子の向きが変わらなくなり、ゴミやキズと同様に白く抜けて見える欠陥を生ずる。それが画素単位で発生する。

第４の検査装置１２は第２の点系欠陥検査工程の検査装置として機能し、常温より高い所定温度で所定時間加熱した状態での点系欠陥を検査するためのもので、この検査のために使用する表示パターン数は例えば１である。

第２の点系欠陥検査工程の第４の検査装置１２には、常温より高い所定温度で所定時間加熱（加温）するエージング工程を実施するエージング装置であるヒート室３が配置されている。ヒート室３の入口側は前段のベルトコンベア２に接近して配置されており出口側は後段のベルトコンベア４に接近して配置されている。

ヒート室３はその内部にホットプレート３-1のような加熱手段を備えており、例えば、ホットプレート３-1は所定の角度で搬送方向に下降していて、前段のベルトコンベア２で搬送されてくる液晶パネルがヒート室３内に入ると、ホットプレート３-1を所定の速度で下方に移動し、所定時間の加熱の後に作業者１１-2によって第４の検査装置１２内の投影機１１にセットされて、加熱した状態での第２の点系欠陥検査が行われるようになっている。

第５検査装置１４は面系欠陥検査工程の面系欠陥を検査する検査装置として機能するもので、この検査のために切り換えて使用する表示パターン数は例えば３である。面系欠陥とは、画面が焼きついているとか、輝度ムラや色ムラがあるとか、ザラザラした感じの表示になっているといった欠陥である。

第６の検査装置１６は特別検査工程の特別検査を行う検査装置として機能するもので、この検査のために使用する表示パターン数は例えば１である。特別検査とは、製品としての液晶パネルを納入する客先（ユーザー）別の特別な検査であり、ユーザーの実機を投影機として用いてキズ・ゴミ，点系欠陥，面系欠陥などの投影検査を行い、正常に投影できたかを検査するものである。

これらの第１〜第６の検査装置６，８，１０，１２，１４，１６の各検査装置による投影検査に要する時間（タクトタイム）は、全て２０秒に設定されている。すなわち、１つの液晶パネルについて、検査内容別の検査処理がベルトコンベアを用いて２０秒ごとに進行していく。

図１の工程図の下段には、各検査装置の検査仕様（ステップ，処理単位，処理時間，検査内容）を記載してある。
‘ステップ’は表示パターン数を示し、‘処理単位’はパネル数（個数）を示し、‘投入’は前工程である液晶パネルの実装工程の終了後、トレイに入った液晶パネルを検査工程（検査室１）内へコンベアで搬入することを意味している。
また、‘搬出’はトレイに入った液晶パネルを検査工程（検査室１）外へコンベア搬送して、後工程である出荷前検査（信頼性検査）へ搬出することを意味している。
‘検査装置６，８，１０，１２，１４’は構造的には全て同じ仕様であり、各検査装置内の投影機はその内部のパネル駆動装置３２（図３参照）に自身の検査内容に対応した検査パターンを液晶パネルに表示するための表示プログラムを備えている。なお、図１では、検査装置１２にヒート室３を取り付けた構成となっているが、複数の検査装置にヒート室を取り付けた構成としてもよい。

‘点系検査’は、常温，加熱の２つの状態で行われ、図１では説明のため２つの検査装置で処理しているが、１つの検査装置で常温，加熱での処理を行ってもよい。すなわち、液晶パネルをセットした投影機内で加熱する構成としてもよい。具体的には、投影機内に液晶パネルをセットするステージ２２（図３参照）自体を加熱体であるホットプレートで構成したり、或いは、投影機の筐体内に投影用のステージ２２（図３参照）のほかにヒート用の別のステージを設けて、そのヒート用ステージで予め所定時間加熱した液晶パネルを、投影用のステージにセットし直して投影する構成としてもよい。

‘ヒート室３’は、１個の液晶パネルにつき３００秒の加熱処理（エージング処理）を要する構成としてあるので、１５個の液晶パネルを１つずつ順次ヒート室３内に投入して搬送するバッチ処理を行なえる。ヒート室３内のホットプレート３-1に液晶パネルを２０秒ごとに１枚ずつ乗せて順次搬送しつつ加熱する構成とすれば、１枚の液晶パネルにつき３００秒加熱して２０秒ごとに１枚ずつ加熱状態の液晶パネルを第４の検査装置１２の第２の点系検査工程に供給することができる。

従来は、検査規格（客先仕様）の異なる複数の機種を１つの検査装置で検査処理していたため、検査に長時間（３分）を要していたが、本発明の実施形態により、１機種−１ラインとして、さらに検査装置を１ラインに検査内容別に複数配置することにより、大幅に検査時間を短く（２０×６＝１２０秒、即ち２分）することができる。

以上述べた本実施形態による電気光学装置の検査方法及び検査装置では、液晶パネルについて複数の投影検査を検査内容別に同じ処理時間（タクトタイム）ｍで順次実施する枚葉方式の複数の検査工程と、ｎ（ｎは自然数）個の液晶パネルを順次搬送しつつ加熱するバッチ処理方式のエージングが行われ、液晶パネル１個当たりの処理時間は前記複数の検査工程の各工程の処理時間ｍより長い処理時間Ｔを要するエージング工程と、を備えており、エージング工程におけるｎ（ｎは自然数）個の液晶パネルの１個当たりのエージング時間としての加熱時間Ｔは、Ｔ＝ｍ×ｎとされる。

図２は図１の検査工程におけるフローチャートを示している。
図２において、まず、第１の検査装置６による特殊駆動検査工程にて周囲環境又は印加電圧を変えて液晶パネルを所定の検査パターンで駆動し、表示欠陥を検査する（ステップＳ1）。次に、第２の検査装置８によるキズ・ゴミ検査工程に移行し、液晶パネルを所定の検査パターンで駆動し、キズ・ゴミの欠陥を検査する（ステップＳ2）。その後、第３の検査装置１０による第１の点系検査工程に移行し、液晶パネルを所定の検査パターンで駆動し、常温での点系欠陥を検査した後（ステップＳ3）、ヒート室３内に搬入されて加熱処理（エージング処理）を行うエージング工程へ移行する（ステップＳ4）。

ステップＳ4のエージング工程では、液晶パネルの加熱は、ヒート室３内にｎ（ｎは自然数）個の液晶パネルを前段工程（ステップＳ3）から１個ずつタクトタイムｍの時間間隔で順次搬入して、常時ｎ個の液晶パネルをヒート室３内に貯留しつつホットプレートなどの加熱及び搬送手段にて一定速度で搬送しながら加熱するバッチ処理方式によって、ヒート室３からは加熱時間Ｔ（＝ｍ×ｎ）で所定温度に加熱された状態の液晶パネルが取り出される。そして、次のステップＳ5の第２の点系検査工程へ移行する。

ステップＳ5の第２の点系検査工程では、第４の検査装置１２によって液晶パネルを所定の検査パターンで駆動し、常温より高い所定温度に加熱した状態での点系欠陥を検査する。そして、ステップＳ6に移行して、第５の検査装置１４による面系検査工程にて液晶パネルを所定の検査パターンで駆動し、画面の焼き付きや表示ムラなどの面系欠陥を検査する。続いて、第６の検査装置１６による特別検査工程にて、ユーザー提供の実機で液晶パネルを所定の検査パターンで駆動し、表示欠陥と共に正常に投影されるかを検査する（ステップＳ7）。

本実施形態によれば、検査内容別に設けた枚葉方式の複数の検査工程に、１個当たり処理時間の長いエージング処理を行うエージング工程を組み込んでも、複数の検査工程の各工程での処理に要するタクトタイムｍを維持することが可能となる。被検査対象である液晶パネルについてエージング処理が必要な場合に、複数の検査工程の各工程でのタクトタイムを変更することなく、つまり作業効率（作業性）を損なうことなく必要なエージングを含んだ検査処理を実施することができる。

また、本実施形態によれば、検査内容を複数の検査工程に分割して独立させ、各検査内容別に検査工程を設け、各検査工程を特定の検査内容に特化することで、検査者の検査ミスを少なくして作業効率及び検査の精確度を高めることができる。また、本実施形態によれば、コンベアの搬送方向に沿って検査内容別に検査装置を順次に配置することで、複数の検査装置で複数の検査を内容別に分担して流れ作業で行うことができ、検査の精確度を高めかつ作業効率を上げることができる。さらに、液晶パネルを所定時間加熱するエージング工程が加わっても、各検査工程でのタクトタイムを均等にすることができ、コンベアによる流れ作業を可能とする。

具体的には、特殊駆動検査工程と、キズ・ゴミ検査工程と、第１の点系検査工程と、第２の点系検査工程と、面系検査工程と、特別検査工程とによる複数の検査工程を独立に行うことにより、各工程での検査負荷を軽くして、検査精度を高めかつ作業効率を上げることができる。

図３は図１における液晶パネルの検査装置の概略構成図を示している。
図３において、符号６は液晶パネルの検査装置を示しており、投影機５と、スクリーン５-1を含んでいる。検査装置６は、他の検査装置８，１０，１２，１４と同様な構成となっており、投影機５も、構造的には他の投影機７，９，１１，１３と同様な構成となっている。ただし、投影機については、検査用表示プログラムが互い異なっている。

ここでは、モジュール化された液晶パネル、すなわち、フレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣ）１０１等が取り付けられ防塵ガラス（図示せず）等とともにケース内に収容された液晶パネル１００の点欠陥等の表示欠陥を検査する検査装置の一例について説明する。

検査装置６は、光源であるランプ１７からの光を複数のレンズ及びフィルタからなるレンズユニット１８を経て、検査画像が表示された液晶パネル１００を透過させそのまま直線方向（水平方向）に投射レンズ１９などの光学部材を通してスクリーン５-1に投射するための検査光路を構成する検査光学系４０と、検査光路上に液晶パネル１００を水平に保持するステージ２２と、検査光路上に保持された液晶パネル１００に所定の検査画像を表示するための検査信号を伝達する信号伝達手段としてのプローブユニット３１と、検査光路上に保持された液晶パネル１００を加熱或いは冷却して液晶パネル１００の温度調節を行う温度調節装置３８と、筐体６０の前方にその位置を調整可能に配置されたスクリーン５-1とを、筐体６０内に有して要部が構成されている。

検査光学系４０は、筐体６０の一端部で白色光等の検査光を水平方向に出射する光源としてのランプ１７と、このランプ１７から、検査対象となる液晶パネル１００が搭載される実機と同等の特性の検査光を生成し、水平方向前方に出射するレンズユニット１８と、レンズユニット１８から出射された水平方向の検査光がステージ２２に水平に保持された液晶パネル１００をそのまま水平方向に透過して筐体６０の前方のスクリーン５-1に投影するように、水平方向の検査光路上に介装されて検査光の焦点距離を調整する光学部材としての投射レンズ１９と、を有して構成され、液晶パネル１００を水平方向に透過し投射レンズ１９で投射された検査光が、方向を変えずに水平方向に筐体６０の前方に配置されたスクリーン５-1に投影されるようになっている。

ステージ２２は、ステージ動作機構部２５（後述する）を介して筐体６０内に垂直に支持される矩形の板状部材で構成され、ステージ２２の前面には検査対象となる液晶パネル１００を載置するための凹部２０が形成されている。

液晶パネル１００は、例えば、０．５〜１．４インチまでの各種の大きさであってもよく、スクリーン５-1は、例えば３５インチ程度の大きさである。

また、投射レンズ１９も交換可能であり、液晶パネル１００の大きさに応じて焦点距離の違う投射レンズ１９を使用可能である。

この場合、凹部２０は、液晶パネル１００の外観形状に略沿う形状をなし、さらに、図示しないピン等の位置決め部材を要部に有することにより、載置された液晶パネル１００を所定に位置決めした状態で垂直に保持するようになっている。ステージ２２は、液晶パネル１００のサイズに応じた凹部２０が形成されたものを交換して使用したり、或いは所定サイズの凹部２０にアダプタを用いて各種サイズの液晶パネルを載置するようにしてもよい。

また、ステージ２２には、凹部２０に載置された液晶パネル１００の表示部（図示せず）に検査光を導くための開口部２１が開口されている。

また、ステージ２２の基部には、当該ステージ２２をステージ動作機構部２５に着脱自在に装着するためのフランジ部２３が設けられている。

ステージ動作機構部２５は、筐体６０内に水平に固設されたエアシリンダ２６を有して構成されている。エアシリンダ２６には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ２６のピストンロッド２７が筐体６０内を水平方向に伸縮移動するようになっている。

また、ピストンロッド２７の先端には、ステージ装着部２８が固設されており、このステージ装着部２８に、前記フランジ部２３を介してステージ２２が装脱自在に締結固定されている。

この場合、ステージ２２は、図３に実線で示すように、ピストンロッド２７が収縮位置にあるとき、レンズユニット１８と投射レンズ１９との間に挿入されて液晶パネル１００の表示部を検査光路上に保持し、一方で、図３に２点鎖線で示すように、ピストンロッド２７が伸長位置にあるとき液晶パネル１００の表示部を検査光路から退避させるよう、各部の諸元が設定されている。なお、図示のように、検査開始前や検査終了後等におけるピストンロッド２７の伸長時には、ステージ２２が筐体６０に設けられた開閉窓２９を押し開けることで、液晶パネル１００が筐体６０の外部に露呈されて交換可能または取外し可能となる。

プローブユニット３１は、プローブ動作機構部３３（後述する）を介して筐体６０内に支持されるもので、液晶パネル１００のＦＰＣ１０１上に配列された各電極端子（図示せず）に対応して電気的に接続可能な複数のプローブ３０を有して構成されている。

そして、プローブユニット３１は、各プローブ３０がＦＰＣ１０１上の各電極端子と電気的に接続された際に、パネル駆動装置３２で生成された所定の検査用駆動信号を液晶パネル１００に伝達するようになっている。

プローブ動作機構部３３は、筐体６０内に水平に固設されたエアシリンダ３４を有して構成されている。エアシリンダ３４には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ３４のピストンロッド３５が筐体６０内を水平方向に伸縮移動するようになっている。

また、ピストンロッド３５の先端には、プローブユニット装着部３６が固設されており、このプローブユニット装着部３６に、プローブユニット３１が装脱自在に締結固定されている。

この場合、プローブユニット３１は、各プローブ３０が検査光路上に保持された液晶パネル１００のＦＰＣ１０１上の各電極端子に夫々対向され、且つ、ピストンロッド３５が伸長位置（図示手前）にあるときＦＰＣ１０１上の各電極端子に各プローブ３０が電気的に接続されるとともに（図３参照）、ピストンロッド３５が収縮位置（図示前方）にあるときＦＰＣ１０１上の各電極端子から各プローブ３０が離間されるよう（図示せず）、各部の諸元が設定されている。

温度調節装置３８は、検査光路上に保持された液晶パネル１００に温風或いは冷風を送風することにより液晶パネル１００の温度調節を行うもので、ブロア装置３９と、このブロア装置３９の駆動制御を行う制御部（図示せず）と、液晶パネル１００の近傍でステージ２２に埋設された温度センサ（図示せず）とを有して構成されている。制御部には温度設定等を行うための図示しないコントロールパネルが設けられており、制御部は、温度センサからの検出温度に基づいて、ブロア装置３９から送風する温風或いは冷風の風量及びその温度をフィードバック制御することで、液晶パネル１００を所望の設定温度に制御するようになっている。

次に、上述の構成による検査装置６の作用について説明する。

先ず、作業者は、図示しない空気圧制御装置を介してエアシリンダ２６を動作させてステージ２２を検査光路からの退避位置まで移動させる。そして、この状態で、ステージ２２の凹部２０上に検査対象となる液晶パネル１００を位置決めして載置する。

その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ２６を動作させ、ステージ２２をレンズユニット１８と投射レンズ１９との間の挿入位置まで移動させる。これにより、ステージ２２上に載置された液晶パネル１００の表示部が検査光路上の所定の位置に保持される。

その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ３４を動作させることでプローブユニット３１を下降させ、当該プローブユニット３１のプローブ３０を、液晶パネル１００のＦＰＣ１０１上に配列された各電極端子に電気的に接続させる。

その後、作業者は、パネル駆動装置３２を動作させ、所定の検査用駆動信号を液晶パネル１００に印加する。これにより、筐体６０の前方のスクリーン５-1上には、所定の検査画像が投影される。

その後、液晶パネル１００を所定の検査パターンで駆動した際のスクリーン上の投影画像を作業者が目視して検査する。その際、パネル駆動装置３２は一定の時間間隔で所定数の異なった検査パターンを順次切り換えてスクリーン５-1上に投影する。或いは、作業者が切換え操作をすることでパネル駆動装置３２は所定数の異なった検査パターンを切り換えてスクリーン５-1上に投影する。

また、作業者は、温度調節装置３８を作動させて、液晶パネル１００の温度管理を行うことで、所定の環境温度の条件下での検査画像を観察することができる。

次に、以上のように構成された電気光学装置の検査装置にて被検査対象として検査される液晶パネルについて説明する。ここでは、液晶パネルの一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。

図４は素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図であり、図５は図４のＨ−Ｈ’断面図である。

図４及び図５において、本実施形態に係る液晶パネルでは、ＴＦＴが形成された素子基板１１０と対向基板１２０とが対向配置されている。

素子基板１１０と対向基板１２０との間に液晶層１５０が封入されており、素子基板１１０と対向基板１２０とは、画像表示領域１１０aの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材１５２により相互に接着されている。シール材１５２は、両基板を貼り合わせるために、例えば熱硬化樹脂、熱及び光硬化樹脂、光硬化樹脂、紫外線硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいて素子基板１１０上に塗布された後、加熱、加熱及び光照射、光照射、紫外線照射等により硬化させられたものである。

対向基板１２０の４隅には、上下導通材１０６が設けられており、素子基板１１０に設けられた上下導通端子と対向基板１２０に設けられた対向電極１２１との間で電気的な導通をとる。

図４及び図５において、シール材１５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１１０aを規定する遮光性の額縁１５３が対向基板１２０側に設けられている。額縁１５３は素子基板１１０側に設けても良いことは言うまでもない。画像表示領域１１０aの周辺に広がる周辺領域のうち、シール材１５２が配置されたシール領域の外側部分には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２が素子基板１１０の一辺に沿って設けられており、走査線駆動回路１０４が、この一辺に隣接する２辺に沿って設けられている。更に素子基板１１０の残る一辺には、画像表示領域１１０aの両側に設けられた走査線駆動回路１０４間をつなぐための複数の配線１０５が設けられている。

図５において、素子基板１１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極１１９上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板１２０上には、対向電極１２１の他、最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層１５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。

額縁１５３下にある素子基板１１０上の領域には、図示しないサンプリング回路が設けられている。サンプリング回路は、画像信号線上の画像信号をデータ線駆動回路１０１から供給されるサンプリング回路駆動信号に応じてサンプリングして各画素のデータ線に供給するようになっている。

なお、例えば、ＬＣＯＳ等の反射型の電気光学パネルに応用する場合には、ランプ１７やレンズユニット１８をハーフミラー等と共にステージ上方に配置することにより本発明の検査装置を用いることも可能である。

上記実施形態では、電気光学装置として、液晶パネルのような液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置（Field Emission Display 及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display等）、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置の検査装置に適用できる。

本発明の第１の実施形態の電気光学装置の検査装置及び検査方法を示す工程図。 図１の検査工程におけるフローチャート。 本発明に係る電気光学装置の検査装置の概略構成図。 液晶装置を示すもので、液晶パネルにおける素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図。 図４のＨ−Ｈ’断面図。

符号の説明

２，５…コンベア（搬送手段）、３…ヒート室（エージング装置）、５，７，９，１１，１３，１５…投影機、６，８，１０，１２，１４，１６…検査装置。

Claims (9)

1. 電気光学パネルについて複数の表示欠陥の検査を検査内容別に順次実施する枚葉方式の複数の検査工程と、
   前記複数の検査工程の各工程間又は前に組み込まれ、複数個の前電気光学パネルを順次搬送しつつ加熱する工程であって、電気光学パネル１個当たりの処理時間は前記複数の検査工程の各工程の処理時間より長い処理時間を要するエージング工程と、
   を具備したことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
2. 電気光学パネルについて複数の表示欠陥の検査を検査内容別に同じ処理時間（タクトタイム）ｍで順次実施する枚葉方式の複数の検査工程と、
   ｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルを順次搬送しつつ加熱してバッチ処理する方式にて行われ、電気光学パネル１個当たりの処理時間は前記複数の検査工程の各工程の処理時間ｍより長い処理時間Ｔを要するエージング工程と、を具備し、
   前記エージング工程におけるｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルの１個当たりの加熱時間Ｔは、Ｔ＝ｍ×ｎとされることを特徴とする電気光学装置の検査方法。
3. 電気光学パネルについて、常温での第１の点系欠陥，常温より高い所定温度に加熱した状態での第２の点系欠陥及び面系欠陥を少なくとも含む複数の表示欠陥の検査を検査内容別に順次実施する枚葉方式の複数の検査工程であって、各検査工程での検査処理に要する時間（タクトタイム）ｍが均等に設定される複数の検査工程を備え、
   前記電気光学パネルは、前記複数の検査工程間を第１の搬送手段にて第１の一定速度で搬送され、
   前記第２の点系欠陥の検査工程における前記電気光学パネルの加熱は、前記第２の点系欠陥の検査工程の前段に設けられるエージング工程にてｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルを第２の搬送手段にて第２の一定速度で順次搬送しつつ加熱してバッチ処理を実施する方式にて行われ、前記エージング工程におけるｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルの１個当たりの加熱時間Ｔは、Ｔ＝ｍ×ｎとされることを特徴とする電気光学装置の検査方法。
4. 前記複数の検査工程は、周囲環境又は印加電圧を変えて前記電気光学パネルを駆動し、表示欠陥を検査する特殊駆動検査工程と、キズ・ゴミによる欠陥を検査するキズ・ゴミ検査工程と、常温での点系欠陥を検査する第１の点系検査工程と、常温より高い所定温度に加熱した状態での点系欠陥を検査する第２の点系検査工程と、面系欠陥を検査する面系検査工程と、ユーザー提供の実機で前記電気光学パネルを駆動し、表示欠陥を検査する特別検査工程と、を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の電気光学装置の検査方法。
5. 電気光学パネルについて、複数の表示欠陥の検査を検査内容別に順次実施する枚葉方式の複数の検査装置と、
   前記複数の検査装置に亘って設けられて、被検査対象である前記電気光学パネルを順次搬送する搬送手段と、
   前記複数の検査装置の各工程間又は前に配置され、複数個の電気光学パネルを順次搬送しつつ加熱するエージングを行う装置であって、電気光学パネル１個当たりの処理時間は前記複数の検査装置の各装置の処理時間より長い処理時間を要するエージング装置と、
   を具備したことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
6. 電気光学パネルについて、複数の表示欠陥の検査を検査内容別に順次実施する枚葉方式の複数の検査装置であって、各検査装置での検査処理に要する時間（タクトタイム）ｍが均等に設定される複数の検査装置と、
   前記複数の検査装置に亘って設けられて、被検査対象である前記電気光学パネルを順次搬送する搬送手段と、
   前記複数の検査装置の各装置間又は前に配置され、ｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルを一定速度で順次搬送しつつ加熱するバッチ処理方式のエージングを行う装置であって、ｎ（ｎは自然数）個の電気光学パネルの１個当たりの加熱時間Ｔは、Ｔ＝ｍ×ｎとされるエージング装置と、
   を具備したことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
7. 電気光学パネルを一定速度で搬送するコンベアと、
   前記コンベアの搬送方向に沿って順次配置される複数の検査装置であって、周囲環境又は印加電圧を変えて前記電気光学パネルを駆動し表示欠陥を検査するための第１の検査装置と、キズ・ゴミによる欠陥を検査する第２の検査装置と、常温での点系欠陥を検査する第３の検査装置と、常温より高い所定温度に加熱した状態での点系欠陥を検査する第４の検査装置と、面系欠陥を検査する第５検査装置と、ユーザー提供の実機で前記電気光学パネルを駆動し表示欠陥を検査する第６の検査装置と、を有した複数の検査装置と、
   を具備したことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
8. 前記複数の検査装置の各検査装置は、検査内容に特化した検査パターンを前記電気光学パネルに表示して投影可能とする検査用表示プログラムを備えた投影機を有することを特
   徴とする請求項５〜７のいずれか１つに記載の電気光学装置の検査装置。
9. 前記検査用表示プログラムは、各検査装置において、検査内容に特化した少なくとも１つ以上の検査パターンを切り換えて前記電気光学パネルに表示させることを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置の検査装置。
   

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