Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP2006313356A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2006313356A5
JP2006313356A5 JP2006128585A JP2006128585A JP2006313356A5 JP 2006313356 A5 JP2006313356 A5 JP 2006313356A5 JP 2006128585 A JP2006128585 A JP 2006128585A JP 2006128585 A JP2006128585 A JP 2006128585A JP 2006313356 A5 JP2006313356 A5 JP 2006313356A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
radiation component
polarization
component
reflecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006128585A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006313356A (ja
JP4865399B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE102005020543A external-priority patent/DE102005020543A1/de
Application filed filed Critical
Publication of JP2006313356A publication Critical patent/JP2006313356A/ja
Publication of JP2006313356A5 publication Critical patent/JP2006313356A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4865399B2 publication Critical patent/JP4865399B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (23)

  1. をそのスペクトル構成および/または強度に関して変化させるための装置であって、
    前記光を第1放射成分と第2放射成分とに空間的に分離する偏光手段(P)と、
    前記偏光手段(P)の上位又は下位に配置され、前記光、又は前記第1放射成分及び前記第2放射成分をスペクトル・空間的に分割する分散手段(D)と、
    前記スペクトル・空間的に分割された前記第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分との偏光状態を変化させるための偏光変化手段(S)と
    前記分散手段(D)と前記偏光変化手段(S)との間に配置される結像光学系(L)であって、前記偏光状態が変化した第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記偏光状態が変化した第2放射成分の少なくとも1つの部分とを集束面に集束させる、前記結像光学系(L)と、
    前記集束面に配置され、前記集束した前記第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分を反射する反射手段(M1)と
    から成り、
    前記反射した前記第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分とは、前記偏光変化手段(S)から前記結像光学系(L)を介して前記分散手段(D)に到達して、前記分散手段(D)によりスペクトル的にそれぞれ合成され、前記到達した前記第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分との各々は、前記分散手段(D)から前記反射手段(M1)への光路と前記反射手段(M1)から前記分散手段(D)への光路との間に空間的にずれが生じるように、前記反射手段(M1)は傾斜してい装置。
  2. 前記偏光変化手段(S)及び前記反射手段(M1)の少なくとも1つは、前記スペクトル分割された光を少なくとも2つの異なる空間角の1つに空間的に可変反射させるための手段を含む、請求項1に記載の装置。
  3. 空間的に可変反射させるための前記手段が、少なくとも2つの方向の1つに方向配置された固定ミラー要素を備えるミラー・マスクである、請求項に記載の装置
  4. 空間的に可変反射させるための前記手段がミラー・アレイであって、各ミラー要素は空間における少なくとも2つの位置において方向配置されることができる、請求項に記載の装置
  5. 前記光が互いに垂直に交わる偏光された成分に分割される請求項1乃至のいずれか1項に記載の装置
  6. 前記光が少なくとも部分的に、少なくとも1つの検出器によって検出される請求項1乃至のいずれか1項に記載の装置
  7. 光源として少なくとも1つのレーザ備える請求項1乃至のいずれか1項に記載の装置
  8. 光源として白色光源える、請求項1乃至のいずれか1項に記載の装置
  9. 前記光は複数の波長を有す請求項1乃至のいずれか1項に記載の装置
  10. 前記光から来る蛍光光照明光燐光光および散乱光の少なくとも1つが検出される請求項1乃至のいずれか1項に記載の装置
  11. 前記偏光状態の変化が、方向制御可能な液晶セルを有するSLM(空間光変調器)を通じて実施される請求項1乃至10のいずれか1項に記載の装置
  12. 請求項1乃至1のいずれか1項に記載の装置を有する広視野顕微鏡。
  13. 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置を有する蛍光顕微鏡。
  14. 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置を有する点走査するレーザ走査型顕微鏡。
  15. 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置を有する線走査するレーザ走査型顕微鏡。
  16. 走査式、部分走査式、または非走査式検出が実施される請求項14又は15のいずれか1項に記載の、レーザ走査型顕微鏡。
  17. 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置を有する流出細胞測定器。
  18. 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置を有し、照明光線経路および/または検出光線経路の中にブレッドボードを有する平行共焦点顕微鏡。
  19. 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置を有し、対象物への周期的構造の結像、構造の位相変位、位相変位された画像の記録のための装置
  20. 前記偏光変化手段(S)は反射部及び無反射部を有するミラー・マスク(MS)を含み、前記無反射部は、
    a)透過性を有する前層と、
    b)偏光方向を回転させる中層と、
    c)反射性を有する後層と
    の3層を含む、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置。
  21. 前記ミラー・マスク(MS)は可動式であり、空間の異なる部位が前記空間的に分離した光の光路に達する、請求項20に記載に装置。
  22. 偏光手段(P)、前記偏光手段(P)の上位又は下位に配置された分散手段(D)、偏光変化手段(S)、前記分散手段(D)と前記偏光変化手段(S)との間に配置され、前記分散手段(D)からの光を集束面に集束させる結像光学系(L)、及び前記集束面上に配置される反射手段(M1)を含む装置を用いて、光をそのスペクトル構成および/または強度に関して変化させるための方法であって、
    前記偏光手段(P)を用いて、前記光を第1放射成分と第2放射成分とに空間的に分離すること、
    前記分散手段(D)を用いて、前記光、又は前記第1放射成分及び前記第2放射成分をスペクトル・空間的に分割すること、
    前記偏光変化手段(S)を用いて前記第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分との偏光状態を変化させること、
    前記結像光学系(L)を用いて、前記偏光状態が変化した記第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分とを集束面に集束させること、
    前記反射手段(M1)を用いて、前記集束した第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分を反射すること、
    前記反射した前記第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分とを前記結像光学系(L)を介して前記分散手段(D)に到達させること、
    前記分散手段(D)において前記到達した前記第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分とをスペクトル的にそれぞれ合成すること
    を備え、
    前記第1放射成分の少なくとも1つの部分と前記第2放射成分の少なくとも1つの部分との各々は、前記分散手段(D)から前記反射手段(M1)への光路と前記反射手段(M1)から前記分散手段(D)への光路との間に空間的にずれが生じるように、前記反射手段(M1)は傾斜している、方法。
  23. 前記光の強度およびスペクトルのうちの少なくとも1つの構成が像撮影の間に変化し、それによりさまざまな試料個所がさまざまに照明される請求項22に記載の方法
JP2006128585A 2005-05-03 2006-05-02 光を調節可能に変化させるための方法および装置 Expired - Fee Related JP4865399B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005020543A DE102005020543A1 (de) 2005-05-03 2005-05-03 Verfahren und Vorrichtung zur einstellbaren Veränderung von Licht
DE102005020543.7 2005-05-03

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2006313356A JP2006313356A (ja) 2006-11-16
JP2006313356A5 true JP2006313356A5 (ja) 2010-07-15
JP4865399B2 JP4865399B2 (ja) 2012-02-01

Family

ID=36615723

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006128585A Expired - Fee Related JP4865399B2 (ja) 2005-05-03 2006-05-02 光を調節可能に変化させるための方法および装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7605976B1 (ja)
EP (1) EP1720054A3 (ja)
JP (1) JP4865399B2 (ja)
DE (1) DE102005020543A1 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7864423B2 (en) * 2007-08-10 2011-01-04 Aegis Lightwave, Inc. Spectrally adjustable filter
US8284489B2 (en) * 2007-09-11 2012-10-09 Aegis Lightwave, Inc. Spectrally adjustable filter
ITFI20070260A1 (it) * 2007-11-21 2009-05-22 Light 4 Tech Firenze S R L Dispositivo per illuminare un oggetto con una sorgente di luce multispettrale e rivelare lo spettro della luce emessa.
US7817272B2 (en) * 2008-06-09 2010-10-19 Aegis Lightwave, Inc. High-resolution spectrally adjustable filter
DE102008049748A1 (de) * 2008-09-30 2009-12-17 Carl Zeiss Ag Strahlteilereinrichtung
WO2011052248A1 (en) * 2009-11-02 2011-05-05 Olympus Corporation Beam splitter apparatus, light source apparatus, and scanning observation apparatus
DE102011077327B4 (de) * 2011-06-09 2022-03-03 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Lichtrastermikroskop mit Strahlkombinierer zum Kombinieren von zwei jeweils eigenständig gescannten Beleuchtungsstrahlen
DE102012205722B4 (de) * 2012-04-05 2020-07-23 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Abbildendes Farbteilermodul, Mikroskop mit einem solchen Farbteilermodul sowie Verfahren zum Abbilden eines Objektfeldes in eine erste und eine zweite Bildebene
DE102012019472B4 (de) 2012-09-28 2023-05-04 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Optische Filtervorrichtung, insbesondere für Mikroskope, und Mikroskop
JP2014092682A (ja) * 2012-11-02 2014-05-19 Olympus Corp 顕微鏡用照明装置及びそれを備えた顕微鏡
KR102659810B1 (ko) * 2015-09-11 2024-04-23 삼성디스플레이 주식회사 결정화도 측정 장치 및 그 측정 방법
CN110494738B (zh) * 2017-04-07 2022-04-19 威里利生命科学有限责任公司 用于落射荧光收集的图案化的光学器件
EP4361703A1 (en) * 2022-10-27 2024-05-01 ASML Netherlands B.V. An illumination module for a metrology device

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6167173A (en) 1997-01-27 2000-12-26 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser scanning microscope
DE19758748C2 (de) 1997-01-27 2003-07-31 Zeiss Carl Jena Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop
WO1999042884A1 (de) 1998-02-19 1999-08-26 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Optische anordnung mit spektral selektivem element
DE19842288A1 (de) 1998-08-04 2000-02-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Einstellbare Einkopplung und/oder Detektion einer oder mehrerer Wellenlängen in einem Mikroskop
US6377344B2 (en) 1998-08-04 2002-04-23 Carl Zeiss Jena Gmbh Adjustable coupling in and/or detection of one or more wavelengths in a microscope
DE19936573A1 (de) 1998-12-22 2001-02-08 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Separierung von Anregungs- und Emissionslicht in einem Mikroskop
DE19923822A1 (de) 1999-05-19 2000-11-23 Zeiss Carl Jena Gmbh Scannende Anordnung, vorzugsweise zur Erfassung von Fluoreszenzlicht
DE19930532C2 (de) * 1999-06-30 2002-03-28 Zeiss Carl Jena Gmbh Anordnung zur Optimierung der Pulsform in einem Laser-Scanning-Mikroskop
US6958811B2 (en) 2000-06-29 2005-10-25 Carl Zeiss Jena Gmbh Method for the detection of dyes in fluorescence microscopy
DE10033180B4 (de) 2000-06-29 2006-08-31 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur Detektion von Farbstoffen in der Fluoreszenzmikroskopie
EP1386193A2 (en) * 2001-04-03 2004-02-04 CiDra Corporation Variable optical source
DE10137155B4 (de) 2001-07-30 2006-11-30 Leica Microsystems Cms Gmbh Optische Anordnung und Scanmikroskop
US6888148B2 (en) 2001-12-10 2005-05-03 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangement for the optical capture of excited and /or back scattered light beam in a sample
US6947127B2 (en) 2001-12-10 2005-09-20 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangement for the optical capture of excited and/or back scattered light beam in a sample
DE10241472B4 (de) 2002-09-04 2019-04-11 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren und Anordnung zur einstellbaren Veränderung von Beleuchtungslicht und/oder Probenlicht bezüglich seiner spektralen Zusammensetzung und/oder Intensität
DE10247247A1 (de) * 2002-10-10 2004-04-22 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Optische Anordnung und Mikroskop

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006313356A5 (ja)
JP4723806B2 (ja) 共焦点顕微鏡
CA2854675C (en) Method and system for improving resolution in laser imaging microscopy
JP5340799B2 (ja) レーザ走査型顕微鏡
JP6346615B2 (ja) 光学顕微鏡および顕微鏡観察方法
JP4865399B2 (ja) 光を調節可能に変化させるための方法および装置
US8614415B2 (en) Defect inspection method of fine structure object and defect inspection apparatus
US20130120563A1 (en) Image generation device
WO2004036284A1 (ja) 共焦点顕微鏡、共焦点顕微鏡を用いた蛍光測定方法及び偏光測定方法
JP6342842B2 (ja) 走査型顕微鏡システム
US10394009B2 (en) Polarisation microscope
JP2009103958A (ja) 走査型レーザ顕微鏡
JP6194710B2 (ja) 構造化照明装置及び構造化照明顕微鏡装置
US20180164562A1 (en) Confocal microscopy system with vari-focus optical element
WO2011162186A1 (ja) 画像生成装置
JP2009282112A (ja) 共焦点顕微鏡
JP4920918B2 (ja) 位相フィルタ、光学装置及びラスタ顕微鏡
JP7094225B2 (ja) 試料を検査する方法および顕微鏡
JP5888498B2 (ja) 顕微鏡装置
US10126113B2 (en) Spectroscope and microspectroscopic system
WO2017082357A1 (ja) 超解像顕微鏡
Zakharov et al. Holographic scanning microscopy–novel approach to digital holography and laser scanning microscopy
US20240231066A9 (en) Luminescence microscope for imaging a sample or for localizing or tracking emitters in a sample
JP2021529991A (ja) フォトスイッチング及び定在波照明技術を用いた顕微鏡における改善された軸分解能のためのシステム及び方法
JP2014056078A (ja) 画像取得装置、画像取得システム及び顕微鏡装置