JP2006343618A - ヘッドユニット、液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 基板全体において機能液のスジムラを目立ちにくくすることが可能なヘッドユニット、液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 個々のヘッド１１４においてスジムラの発生しやすい位置、すなわち、各ヘッド１１４の基準ノズル１１８ＲのＸ方向上の位置を、ヘッド１１４毎にずらしているので、上記のようにキャリッジ１０３が基体１０Ａ上を走査しながら液体材料１１１を吐出する場合であっても、個々のヘッド１１４により吐出された液体材料１１１のスジムラの位置が重なることが無く、全体において液体材料のスジムラを目立ちにくくすることが可能となる。
【選択図】 図６

Description

本発明は、ヘッドユニット、液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器に関する。

インクジェットプリンタの液滴吐出ヘッドは、微小なインク滴をドット状に吐出することが可能であり、インク滴の大きさやピッチの均一性の面で極めて精度が高い。この技術は、各種製品の製造分野への応用がなされている。例えば、液晶装置のカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置の発光部等を形成する場合にも応用することができる。具体的には、液滴吐出ヘッドに特殊なインクや感光性の樹脂液等（機能液）を含ませ、電気光学装置用の基板に対して当該機能液の液滴を吐出するものである（例えば、特許文献１参照。）。

このような方法によって形成される膜状のカラーフィルタ層や発光部には、複数種類の色が形成されることが多い。特許文献１に記載の装置では、複数種類の機能液を１種類ずつ異なる装置によって基板に吐出するようになっているため、吐出時間が長くなってしまう。吐出時間を短縮することを目的として１つの装置で全種類の液体材料を一走査で同時に吐出させようとする場合、例えば、各種類の液体材料を吐出するノズルが設けられたヘッドを、ノズルの配置を揃えて走査方向に配列させ、１回の走査で各ヘッドから同時に液体材料を吐出させる手法等が考えられる。
特開２００４−２６７９２７号公報

しかしながら、ヘッドから液体材料を吐出する際、ヘッドの両端部に設けられたノズルから吐出された液体材料にスジムラが生じることが多いため、各ヘッドの両端が揃っていると、各ヘッドから吐出された液体材料のスジムラの位置が重なってしまい、基板全体において液体材料のスジムラが目立ちやすくなってしまう。
上記のような事情に鑑み、本発明の目的は、基板全体において機能液のスジムラを目立ちにくくすることが可能なヘッドユニット、液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明に係るヘッドユニットは、基板と複数の吐出ヘッドとを相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記基板に複数種類の機能液の液滴を吐出するヘッドユニットであって、前記複数の吐出ヘッドが走査方向に配列されており、前記各吐出ヘッドの前記複数のノズルのうち前記走査方向に略直交する直交方向の両端部に設けられたノズルの、前記直交方向における位置が、前記吐出ヘッドごとにずれるように設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、個々の吐出ヘッドにおいてスジムラが発生しやすい位置、すなわち吐出ヘッドの両端部に設けられたノズルの位置を吐出ヘッド毎にずらしているので、本発明に係るヘッドユニットにより基板上を走査しながら機能液を吐出する場合であっても、個々の吐出ヘッドから吐出された機能液のスジムラの位置が重なることは無い。これにより、基板全体において機能液のスジムラを目立ちにくくすることが可能となる。

なお、従来の吐出ヘッドのように、例えば、直交方向の寸法や１つのヘッドの中でのノズルの直交方向の位置が同一の複数の吐出ヘッドを用いた場合であっても、各吐出ヘッドを直交方向にずらして配列することで、直交方向のノズルの位置を吐出ヘッド毎にずらすことができる。このように、既成の吐出ヘッドの設計のままであっても本発明に適用することができ、装置形成の簡略化を図ることができる。

本発明の別の観点に係る液滴吐出装置は、上記のヘッドユニットが搭載されていることを特徴とする。
本発明によれば、個々の吐出ヘッドにおいてスジムラが発生しやすい位置、すなわち吐出ヘッドの両端部に設けられたノズルの位置を吐出ヘッド毎にずらしたヘッドユニットが搭載されているので、基板全体においてスジムラが目立ちにくくなるように機能液の液滴を吐出する液滴吐出装置を得ることができる。

本発明の別の観点に係る液滴吐出方法は、基板上と複数の吐出ヘッドとを相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記基板に複数種類の機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、前記複数の吐出ヘッドが走査方向に配列されており、前記複数のノズルのうち前記吐出ヘッドの両端部に設けられたノズルの、前記走査方向に略直交する直交方向における位置を、前記吐出ヘッドごとにずらした状態で前記基板上を走査しながら、前記機能液の液滴を吐出することを特徴とする。

本発明によれば、複数の吐出ヘッドについて直交方向におけるノズルの位置が吐出ヘッド毎にずれた状態にして基板上を走査しながら機能液を吐出するので、個々の吐出ヘッドによるスジムラの位置が重なることは無く、基板全体において機能液のスジムラを目立ちにくくすることが可能となる。

本発明の別の観点に係る電気光学装置は、上記の液滴吐出方法により機能液が吐出された基板を含むことを特徴とする。
本発明によれば、機能液のスジムラを目立ちにくい基板を含んでいるため、表示にムラが無い良質の電気光学装置を得ることができる。

本発明の別の観点に係る電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
本発明によれば、表示にムラが無い良質の電気光学装置を搭載したので、表示性能の優れた電子機器を得ることができる。

（電気光学装置）
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。以下の図では、各部材を認識可能な大きさとするため、縮尺を適宜変更している。
図１は、本実施形態に係る液晶装置１の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、液晶装置１は、液晶パネル４０と、バックライト４１とを主体として構成されている。液晶パネル４０は、アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とがシール材２６を介して貼り合わされ、当該アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とシール材２６との間に液晶６が挟持された構成になっている。図中破線で表された表示領域２ａは、画像や動画等が表示される領域である。

なお、本実施形態の液晶装置１は、スイッチング素子として二端子型非線形素子である薄膜ダイオード（ＴＦＤ）素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置を採用しているが、例えばスイッチング素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子を用いた液晶装置や、パッシブマトリクス方式の液晶装置であっても勿論構わない。また、液晶パネル４０は、２枚の大判のマザー基板を張り合わせ、切断することにより形成される（多数個取り）。２枚のマザー基板としては、カラーフィルタ基板３を生成するカラーフィルタ側マザー基板と、アクティブマトリクス基板２を生成するアクティブマトリクス側マザー基板とがある。

図２は、カラーフィルタ基板３の構成を示す平面図である。図２（ａ）はカラーフィルタ基板３の全体構成を示す図であり、図２（ｂ）はカラーフィルタ基板３の一部を拡大して示す図である。
図２（ａ）に示すように、カラーフィルタ基板３は、例えばガラスやプラスチック等の透明な材料によって形成された矩形の基板である。カラーフィルタ基板３上には遮光層１３が設けられており、遮光層１３で囲まれた領域（画素）に対応して赤色層１６Ｒ、緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂを有するカラーフィルタ１６が設けられている。なお、カラーフィルタ基板３には、当該カラーフィルタ１６を覆うようにオーバーコート層（図示せず）が形成され、オーバーコート層上には配向膜（図示せず）が形成されている。当該配向膜は、例えばポリイミド等からなり、表面がラビング処理された水平配向膜である。

また、図２（ｂ）に示すように、１個の赤色層１６Ｒ（または緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂ）については、短辺の長さＳが例えば１７０μｍ程度、長辺の長さＬが例えば５１０μｍ程度の矩形に設けられている。また、隣接するカラーフィルタ１６同士の間隔については、行方向の間隔Ｔ１は約２０μｍとなっており、列方向の間隔Ｔ２は約４０μｍとなっている。

（液滴吐出装置）
次に、本実施形態に係る液滴吐出装置（以下、「吐出装置」と称呼する。）１００について説明する。
図３に示すように、吐出装置１００は、液体材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０を介してタンク１０１から液体材料１１１が供給される吐出走査部１０２とを主体として構成されている。

液体材料１１１には、例えば上述した液晶装置１のカラーフィルタ１６の赤色層１６Ｒを構成する材料（以下、「赤色材料」という。）１１１Ｒと、緑色層１６Ｇを構成する材料（以下、「緑色材料」という。）１１１Ｇと、青色層１６Ｂを構成する材料（以下、「青色材料」という。）１１１Ｂとの３種類がある。

タンク１０１は、赤色材料１１１Ｒを保持する赤色材料タンク１０１Ｒと、緑色材料１１１Ｇを保持する緑色材料タンク１０１Ｇと、青色材料１１１Ｂを保持する青色材料タンク１０１Ｂとを有しており、上述した３種類の液体材料１１１を個別に保持するようになっている。各タンク１０１には、例えば図示しない圧力ポンプが取り付けられている。当該圧力ポンプが駆動してタンク１０１内部に圧力を加えることで、液体材料１１１がタンク１０１内から吐出走査部１０２へと供給されるようになっている。

ここで、赤色材料１１１Ｒとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに赤色の無機顔料（例えば、赤色酸化鉄(III)やカドミウム赤等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、更に非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
また、緑色材料１１１Ｇとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに緑色の無機顔料（例えば、酸化クロム緑やコバルト緑等）を分散させた後、溶剤としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
また、青色材料１１１Ｂとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに青色の無機顔料（例えば、群青や紺青等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。

吐出走査部１０２は、複数のヘッド１１４（図４参照）を保持するキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３の位置を制御するキャリッジ位置制御装置１０４と、カラーフィルタ側マザー基板を構成する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御するステージ位置制御装置１０８と、制御部１１２とを有している。なお、実際には、吐出装置１００には複数（例えば１０個）のキャリッジ１０３が設置されている。図３では、説明の簡単のため、１個のキャリッジ１０３を図示して説明することにした。

キャリッジ位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、キャリッジ１０３をＸ軸方向又はＺ軸方向に沿って移動させると共に、Ｚ軸を軸とする回転方向にキャリッジ１０３を回転させる機能も有している。ステージ位置制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、Ｙ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させると共に、Ｚ軸を軸とする回転方向にステージ１０６を回転させる機能も有している。

上述のように、キャリッジ１０３はキャリッジ位置制御装置１０４の制御によってＸ軸方向に移動するようになっている。一方、ステージ１０６はステージ位置制御装置１０８の制御によってＹ軸方向に移動するようになっている。つまり、キャリッジ位置制御装置１０４およびステージ位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対するヘッド１１４の相対位置が変わるようになっている。

つまり、キャリッジ１０３及びステージ１０６のうち双方若しくはいずれか一方を移動させることで、キャリッジ１０３がステージ１０６（あるいはステージ１０６に保持される基体１０Ａ）を走査することができるようになっている。以下、本実施形態では、キャリッジ１０３を静止させ、ステージ１０６を移動させることで走査を行う場合について説明する。

図４は、１個のキャリッジ１０３をステージ１０６側から観察した図であり、図４の紙面に垂直な方向がＺ軸方向である。また、図４の紙面の左右方向がＸ軸方向であり、紙面の上下方向がＹ軸方向である。
同図に示すように、キャリッジ１０３は、それぞれ同じ構造・寸法を有する複数のヘッド１１４を保持している。ヘッド１１４には、液体材料１１１のうち赤色材料１１１Ｒを吐出するヘッド１１４Ｒ、緑色材料１１１Ｇを吐出するヘッド１１４Ｇ、青色材料１１１Ｂを吐出するヘッド１１４Ｂの３種類がある。

本実施例では、１個のキャリッジ１０３に、ヘッド１１４Ｒ、ヘッド１１４Ｇ、ヘッド１１４Ｂがそれぞれ４個ずつ設けられており、ヘッド１１４の数は計１２個となっている。なお、ヘッド１１４同士の位置関係については後述する。なお、本明細書では、Ｙ軸方向に隣接する４つのヘッド１１４を「ヘッド群１１４Ｐ」と表記することもある。

図５は、ヘッド１１４の底面１１４ａを示した図である。底面１１４ａの形状は、対向する２つの長辺及び対向する２つの短辺を有する矩形である。当該底面１１４ａはステージ１０６側（図中Ｚ軸方向）を向いている。ヘッド１１４の長辺方向と図中Ｘ軸方向、また、ヘッド１１４の短辺方向と図中Ｙ軸方向については、それぞれ平行になっている。

また、当該底面１１４ａには、ノズル１１８がＸ軸方向に例えば９０個ずつ、２列（列１１６Ａと列１１６Ｂ）に配置されている。また、各ノズル１１８のノズル径ｒは、約３０μｍとなっている。列１１６Ａ側のノズル１１８及び列１１６Ｂ側のノズル１１８は、それぞれ各列において所定のピッチＬＮＰ（ＬＮＰ：約１４０μｍ）で配置されている。また、ノズル列１１６Ｂの各ノズル１１８の位置が、ノズル列１１６Ａの各ノズル１１８位置に対して、ノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）だけＸ軸方向の負の方向（図５の下方向）にずれるように配置されている。なお、ヘッド１１４に設けられるノズル列は２列でなくても良い。例えば、３列、４列、・・・Ｍ列（Ｍは自然数）と列数を増やしても良いし、あるいは１列であっても構わない。

ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれが９０個のノズルからなるため、１つのヘッド１１４には１８０個のノズルが設けられている。ただし、ノズル列１１６Ａの両端から５つ目までのノズルは、液体材料１１１が吐出されないようになっている（休止ノズル：図５中、破線で囲まれた部分）。同様に、ノズル列１１６Ｂの両端から５つ目までのノズルも液体材料１１１が吐出されない休止ノズルとなっている（図５中、破線で囲まれた部分）。このため、ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、両端の２０個のノズルを除いた１６０個のノズル１１８が液体材料１１１を吐出するようになっている（吐出ノズル）。

本明細書では、ヘッド１１４の位置関係を説明する目的で、ノズル列１１６Ａに含まれる９０個のノズル１１８のうち、図中上端から６番目のノズル１１８をヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」と表記する。つまり、ノズル列１１６Ａにおける８０個の吐出ノズルのうち、図中最上部に位置する吐出ノズルがヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」である。なお、すべてのヘッド１１４に対して、「基準ノズル１１８Ｒ」の指定の仕方が同じであればよいので、「基準ノズル１１８Ｒ」の位置は、上記位置でなくてもよい。

次に、ヘッド群１１４Ｐにおける６つのヘッド１１４の位置関係について説明する。
図６は、ヘッド１１４の相対位置関係を示す図である。なお、本図において、図４に示す２組のヘッド１１４Ｒ、１１４Ｇ、１１４Ｂについては、それぞれヘッド１１４Ｒ_１、１１４Ｇ_１、１１４Ｂ_１及びヘッド１１４Ｒ_２、１１４Ｇ_２、１１４Ｂ_２と表記して区別するものとする。

図６に示すように、ヘッド群１１４Ｐは、隣接するヘッド１１４同士がＸ方向にずれるように配置されている。ヘッド１１４Ｒ_１に隣接するヘッド１１４Ｇ_１は、ヘッド１１４Ｒ_１に対して、例えば図中Ｘ方向下側にずれるように設けられている。また、ヘッドＧ_１に隣接するヘッドＢ_１についても同様に、隣接するヘッドＧ_１に対して、例えば図中Ｘ方向下側にずれるように設けられている。ヘッド１１４Ｂ_１に隣接するヘッド１１４Ｒ_２、また、当該ヘッド１１４Ｒ_２に隣接するヘッド１１４Ｇ_２、また、当該ヘッド１１４Ｇ_２に隣接するヘッド１１４Ｂ_２についても同様に、それぞれ隣接するヘッド１１４に対して図中Ｘ方向下側にずれるように設けられている。

また、図中において、ヘッド１１４Ｒ_１に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「１−ａ」及び「１−ｂ」（実線で示す）である。ヘッド１１４Ｇ_１に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「２−ａ」及び「２−ｂ」（破線で示す）である。ヘッド１１４Ｂ_１に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「３−ａ」及び「３−ｂ」（一点鎖線で示す）である。ヘッド１１４Ｒ_２に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「４−ａ」及び「４−ｂ」（実線で示す）である。ヘッド１１４Ｇ_２に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「５−ａ」及び「５−ｂ」（破線で示す）である。ヘッド１１４Ｂ_２に設けられた基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置は「６−ａ」及び「６−ｂ」（一点鎖線で示す）である。

同じ構造である各ヘッド１１４同士がＸ方向にずれるように配置されていることで、自身に設けられる基準ノズル１１８ＲのＸ方向の位置（１−ａ）〜（６−ｂ）が互いにずれるようになっている。この結果、キャリッジ１０３が走査（スキャン）する際には、ノズル１１８の最端部である基準ノズルＲから吐出される液体材料１１１のスジムラが重ならずに済むようになっている。

次に、ヘッド１１４の内部の構成を説明する。図７（ａ）および図７（ｂ）に示すように、それぞれのヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれのヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液体材料１１１が常に充填される液たまり１２９が設けられている。

また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が設けられている。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０は、ノズル１１８ごとに設けられているおり、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に設けられた供給口１３０を介して、液たまり１２９から液体材料１１１が供給される。

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを有している。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液体材料１１１が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状の材料が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。なお、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して液体材料１１１を吐出する構成を有していてもよい。

次に、図８をもとにして制御部１１２の構成を説明する。
制御部１１２は、液体材料１１１を吐出するタイミングや、キャリッジ１０３の固定位置、ステージ１０６の移動（移動速度、移動距離等）等、吐出装置１の動作に関して統括して制御する部位である。
図８に示すように、制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えており、各部分同士が通信可能に接続されている。

入力バッファメモリ２００は、外部に接続される例えば情報処理装置等から液体材料１１１の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２としては、例えばＲＡＭ等が用いられている。

処理部２０４は、記憶手段２０２内に格納された吐出データにアクセスし、当該吐出データを基にして、走査駆動部２０６及びヘッド駆動部２０８に、必要な駆動信号を供給する。
走査駆動部２０６は駆動信号に基づいて、キャリッジ位置制御装置１０４およびステージ位置制御装置１０８に所定の位置制御信号を供給する。また、ヘッド駆動部２０８は駆動信号に基づいて、各ヘッド１１４に液体材料１１１を吐出する吐出信号を供給する。

次に、このように構成された液晶装置１の製造工程について説明する。
本実施形態では、大面積のマザー基板を用いて複数の液晶装置を一括して形成し、切断によって個々の液晶装置１に分離する方法を例に挙げて説明する。
まず、カラーフィルタ側マザー基板の形成工程について簡単に説明する。
吐出装置１００のステージ１０６に、基体１０Ａを保持させる。当該基体１０Ａには、カラーフィルタ１６を保持する被吐出部１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ：図９等参照）が形成されている。被吐出部１８Ｒには赤色層１６Ｒが保持され、被吐出部１８Ｇには緑色層１６Ｇが保持され、被吐出部１８Ｂには青色層１６Ｂが保持されるようになっている。なお、基体１０Ａをステージ１０６に保持する際には、基体１０Ａの短辺方向がＸ軸方向に一致し、長辺方向がＹ軸方向に一致するように位置を調節する。

この状態で、図９に示すようにステージ１０６を図中左側から右側へ移動させる。キャリッジ１０３は、例えば図中右側から左側に基体１０Ａ上を走査する。このとき、キャリッジ１０３が基体１０Ａ上を走査しながら、各ヘッド１１４から液体材料１１１を吐出する。
例えば、１回の走査によって、図９に示すように、図中最上行の被吐出部１８には赤色材料１１１Ｒが最初に吐出され、図中上から２行目の被吐出部１８には緑色材料１１１Ｇが最初に吐出され、図中下から２行目の被吐出部１８には青色材料１１１Ｂが最初に吐出され、図中最下行の被吐出部１８には赤色材料１１１Ｒが最初に吐出される。このように、吐出する領域によって最初に吐出される液体材料１１１の種類が異なる。

この後、ステージ１０６を移動させて、キャリッジ１０３に基体１０Ａ上を走査させると同時に、各ヘッド１１４から液体材料１１１を吐出する。例えば図１０に示すように、各被吐出部１８が液体材料１１１が計１回ずつ吐出された状態になるように走査しながら、被吐出部１８に液体材料１１１を吐出する。

各被吐出部１８に液体材料１１１が計１回ずつ吐出されたら、図１１に示すように、今度は各被吐出部１８に液体材料１１１が計２回ずつ吐出されるまで、図１０の走査を繰り返す。以下、当該走査を繰り返しながら、各被吐出部１８に液体材料１１１が計３回ずつ、計４回ずつ、と吐出回数を徐々に増やしていくことにより、図１２に示すように、各被吐出部１８全体に液体材料１１１が吐出されることになる。

以降の工程については簡単に説明する。カラーフィルタ１６が形成された基材１０Ａ上には、図示しない電極や配線等を形成し、平坦化膜を形成する。また、基材１０Ａの表面にギャップ制御用の図示しないスペーサ及び隔壁を形成する。この基材１０Ａに形成された配線やカラーフィルタを覆うように配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。配向膜は、例えばポリイミドを塗布又は印刷することによって形成することができる。また、エポキシ樹脂等からなるシール材を矩形環状に形成し、シール材で囲まれた領域に液晶を塗布する。

次に、アクティブマトリクス側マザー基板の形成については、ガラスやプラスチック等の透光性材料からなる大判の基材に配線、電極等を形成し、当該配線、電極等が形成された領域に、平坦化膜を形成する。平坦化膜を形成したら、ポリイミド等からなる配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。

次に、カラーフィルタ側マザー基板とアクティブマトリクス側マザー基板とをパネル状に貼り合わせる。両基板を近接させ、アクティブマトリクス側マザー基板がカラーフィルタ側マザー基板上のシール材に接着させるようにする。その後、接着した両マザー基板にスクライブ線を形成し、当該スクライブ線に沿ってパネルを切断し、切断した各パネルの洗浄を行い、各パネルに駆動ドライバ等を実装する。各液晶パネルの外側表面に偏光板を貼着し、バックライト４１を取り付けて、液晶装置１が完成する。

このように、本実施形態によれば、個々のヘッド１１４におけるスジムラの発生しやすい位置、すなわち、各ヘッド１１４の基準ノズル１１８ＲのＸ方向上の位置を、ヘッド１１４毎にずらしているので、上記のようにキャリッジ１０３が基体１０Ａ上を走査しながら液体材料１１１を吐出する場合であっても、個々のヘッド１１４により吐出された液体材料１１１のスジムラの位置が重なることが無く、全体において液体材料のスジムラを目立ちにくくすることが可能となる。

（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器について、携帯電話を例に挙げて説明する。
図１３は、携帯電話３００の全体構成を示す斜視図である。
携帯電話３００は、筺体３０１、複数の操作ボタンが設けられた操作部３０２、画像や動画、文字等を表示する表示部３０３を有する。表示部３０３には、本発明に係る液晶装置１が搭載される。本発明に係る液晶装置１は、液体材料１１１のスジムラが目立ちにくくなっているため、表示にムラの無い良質の液晶装置である。このような液晶装置１を搭載した電子機器（携帯電話３００）は、表示性能に優れている。

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態の説明は、本発明を液晶装置１のカラーフィルタ基板３にカラーフィルタ層１６を形成する場合の例であるが、この例に限られることは無く、例えば本発明を有機ＥＬ装置用基板に有機層（発光層等）を形成する場合にも適用することが可能である。

本発明の実施形態に係る液晶装置の構成を示す斜視図である。 本実施形態に係るカラーフィルタ基板の構成を示す平面図である。 本実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。 本実施形態に係る液滴吐出装置のキャリッジの構成を示す平面図である。 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの外部構成を示す平面図である。 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの内部構成を示す図である。 本実施形態に係る液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図である。 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッド駆動部の構成を示す図である。 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの配置を示す図である。 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図（その１）である。 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図（その２）である。 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図（その３）である。 本発明に係る電子機器の構成を示す斜視図である。

符号の説明

１…液晶装置 ２…アクティブマトリクス基板 ３…カラーフィルタ基板 １０Ａ…基体 １６…カラーフィルタ １８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）…被吐出部 １００…液滴吐出装置（吐出装置） １０３…キャリッジ １０６…ステージ １１１（１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ）…液体材料 １１４（１１４Ｒ、１１４Ｇ、１１４Ｂ）…ヘッド １１４Ｐ…ヘッド群 １１４Ｇ…ヘッド １１８…ノズル ３００…携帯電話

Claims (5)

1. 基板と複数の吐出ヘッドとを相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記基板に複数種類の機能液の液滴を吐出するヘッドユニットであって、
   前記複数の吐出ヘッドが走査方向に配列されており、
   前記各吐出ヘッドの前記複数のノズルのうち前記走査方向に略直交する直交方向の両端部に設けられたノズルの、前記直交方向における位置が、前記吐出ヘッドごとにずれるように設けられていることを特徴とするヘッドユニット。
2. 請求項１に記載のヘッドユニットが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
3. 基板上と複数の吐出ヘッドとを相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記基板に複数種類の機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、
   前記複数の吐出ヘッドが走査方向に配列されており、
   前記複数のノズルのうち前記吐出ヘッドの両端部に設けられたノズルの、前記走査方向に略直交する直交方向における位置を、前記吐出ヘッドごとにずらした状態で前記基板上を走査しながら、前記機能液の液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
4. 請求項３に記載の液滴吐出方法により機能液が吐出された基板を含むことを特徴とする電気光学装置。
5. 請求項４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
   
   

Images