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JP2005106487A - 力学センサおよび電動ブレーキ装置 - Google Patents

力学センサおよび電動ブレーキ装置 Download PDF

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Abstract

【課題】
加重を広範囲に高精度に計測する力学センサおよびこれを用いた電動ブレーキ装置を提供すること。
【解決手段】
低加重を計測する為の低弾性の第一検出支持体と高加重を計測する為の高弾性の第二検出支持体から構成し、前記低弾性の第一検出支持体と高弾性の第二検出支持体は一端にて基台に一体固定し、前記低弾性の第一検出支持体の他端は加重を受ける受圧体に一体固定し、高弾性の第二検出支持体の他端は前記受圧体との間に前記低弾性の第一検出支持体の加重計測範囲の変位量に相当する隙間を設けて支持体の弾性変形に対応した信号を検出するように構成する。
【選択図】図1

Description

本発明は、加重を計測する力学センサに関する。
近年、油圧駆動式ブレーキ装置がもつ多くの問題を解決するため、各種の電動式ブレーキ装置が提案されている。この様な電動ブレーキ装置においては、モータの回転を直線運動に変換して直動部材(ピストン)に伝達し、該ピストンを推進してブレーキパッドをディスクロータに押圧して制動力を発生する構成となっている。
このような電動ブレーキ装置においては、制動力を如何に制御するかが重要な課題となり、特にブレーキパッドをディスクロータに押圧するピストンに加わる反力(押圧力)を広範囲に高精度に計測する力学センサが求められる。
また、電動ブレーキ装置においては、ブレーキペダルの操作状況を検出するセンサが必要となる。一般的に、ブレーキペダル特性は、前半はペダル踏力に比べてベダルストロークの増加量が多く後半は逆にペダルストロークに比べてペダル踏力の増加量が多い特性となっているため、この特性に見合った低踏力から高踏力領域までの踏力を広範囲に高精度に計測する力学センサが求められる。
この様な、従来の力学センサとしては、特許文献1に記載の加重センサがある。この従来の加重センサを図14に従って説明する。
図14は、従来の加重センサの断面を示したもので、基板32上に環状の電極34a,34bがレジスト36により被覆されて配設され、該電極34a,34bの中央部に一対の接点33a,33bからなるスイッチパターンが設けられている。
更に、該電極34a,34bの上方に該電極34a,34bに対峙して可動接点31が設けられ、該可動接点31はラバートップ30の下部に固着されると共に、その下面は平面に形成されている。又、該ラバートップ30の下部周縁部には可撓脚35が下方斜め方向に延設して設けられている。そして、前記ラバートップ30の上部に加重がかかると、前記可撓脚35が屈曲することにより前記可動接点31が前記スイッチパターンの接点
33a,33bに接触して該接点33a,33bを導通させる。
更に、前記ラバートップ30に加重がかかると、可動接点31の下面が前記レジスト
36を介して前記電極34a,34bに圧接され、該可動接点31と該電極34a,34b間の静電容量が変化する。そして、該静電容量の変化によって前記ラバートップ30に加わる加重量を検知する。
しかし、この様に構成された従来の力学センサでは、可動接点31が前記スイッチパターンの接点33a,33bに接触して該接点33a,33bを導通する時の導通信号が得られるのみであり、可動接点31が前記スイッチパターンの接点33a,33bに接触するまでのラバートップ30に加わる加重を検出することが不可能であり、低加重の計測が出来ない。
また、前記可動接点31の下面がわずかに傾斜して前記電極33a,33bに接触する場合には、接触バラツキにより時間差が生じて反応が鈍くなる等の課題がある。
特開平2002−373548号公報
上記の様に、従来の力学センサでは、低加重の計測が不可能であり、接触バラツキにより時間差が生じて反応が鈍くなる等の課題がある。
従って、本発明の目的は、従来技術の課題を解決した加重を広範囲に高精度に計測する力学センサおよびこれを用いた電動ブレーキ装置を提供することにある。
上記目的は、低加重を計測する為の低弾性の第一検出支持体と高加重を計測する為の高弾性の第二検出支持体からなり、前記低弾性の第一検出支持体と高弾性の第二検出支持体は一端にて基台に一体固定し、前記低弾性の第一検出支持体の他端は加重を受ける受圧体に一体固定し、高弾性の第二検出支持体の他端は前記受圧体との間に前記低弾性の第一検出支持体の加重計測範囲の変位量に相当する隙間を設けたことにより、低加重は前記第一検出支持体から、高加重は第二検出支持体の弾性変形に対応した検出信号から加重を検出することによって達成される。
広範囲に加重を高精度に検出する力学センサおよびこのセンサを用いた電動ブレーキ装置を実現することが出来る。
以下、本発明による力学センサについて、図示の実施の形態により詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態における力学センサの動作原理を説明するための側面図であり、(a)は力学センサへ加わる加重6(F)がゼロの場合、(b)は加重(F)が低加重F=F1の場合、(c)は加重(F)が高加重F=F2の場合を示したものである。
図において、2が低加重を計測する為の低弾性の第一検出支持体、3が高加重を計測する為の高弾性の第二検出支持体、5が第一検出支持体2と第二検出支持体3の一端を一体固定するための基台、4が加重を受ける受圧体、L1が第二検出支持体3と受圧体4との間に設けられた第一検出支持体2の加重計測範囲の変位量に相当する隙間である。
ここで、低弾性の第一検出支持体2の他端は加重を受ける受圧体4に接続面4aにて一体固定されており、基台5および受圧体4は加重により変形しない剛体からなる。低弾性の第一検出支持体2および高弾性の第二検出支持体3は、弾性率の異なる材料から構成されており、低弾性の第一検出支持体2が低加重により変位しやすくなっている。
この様に構成された本発明の力学センサでは、受圧体4に低加重Fが加わると、まず低弾性の第一検出支持体2が圧縮加重を受けて変形し始める。低加重の最大値F=F1に至ると、図1(b)に示す様に、低弾性の第一検出支持体2が隙間L1分だけ変位して受圧体4の下面4bと高弾性の第二検出支持体3とが接触する。
更に、受圧体4に高加重Fが加わると、今度は高弾性の第二検出支持体3が圧縮加重を主に受けて変形する。高加重Fがその最大値F=F2に到達すると、図1(c)に示す様に、高弾性の第二検出支持体3がL2だけ変形し、その結果、低弾性の第一検出支持体2が(L1+L2)だけ変形する。
図2に、上記の低弾性の第一検出支持体2と高弾性の第二検出支持体3の変位量(L)と加重(F)の関係を示した。図にて、特性7が低弾性の第一検出支持体2に対応し、特性8が高弾性の第二検出支持体3に対応している。図に示した様に、低弾性の第一検出支持体2は加重がゼロからF1において変位量がゼロからL1に直線(比例)的に変化し、加重が高加重のF1からF2の領域になると第二検出支持体3の高弾性が支配的になる為に変位しにくくなり直線の傾きが小さくなる。高弾性の第二検出支持体3は、加重がゼロからF1において変位量がゼロで、高加重のF1からF2の領域にてL2だけ直線的に変位する。
この低弾性の第一検出支持体2および高弾性の第二検出支持体3の変位量Lを検出することにより、加重Fの値が図2の関係から求められる。低弾性の第一検出支持体2の変位量L=0〜(L1+L2)から低加重および高加重の全加重領域F=0〜F2を求めても良いし、一方、低加重F=0〜F1の範囲は低弾性の第一検出支持体2の変位量L=0〜L1から、また高加重F=F1〜F2の範囲は高弾性の第二検出支持体3の変位量L=0〜L2から求めることも可能である。
変位量Lの検出手段としては、種々の手段が適用できる。図示していないが、受圧体4の一基準面にレーザ等を照射してその反射情報から位置(変位量L)を検出してもよいし、受圧体4の一基準面を電極としこれに対向する基準電極を付設して両電極間の静電容量から変位量Lを検出してもよい。また、第一および第二検出支持体2,3に歪ゲージ等を付設して、歪から変位量Lを検出することも可能である。更に、第一および第二検出支持体2,3を、導電性を持ちながらゴムのように伸び縮みをする超弾性カーボン材料(微細なカーボンマイクロコイルの集合体)とし、材料組成を調整して低弾性の第一検出支持体2と高弾性の第二検出支持体3として、その抵抗値の変化から変位量Lを検出することも可能である。その他、複合セラミック系材料等を用いたり、種々の機械変位(応力)量を電気的変化量に変換できる様な材料であれば、いずれの材料でも適用可能である。
図3には、本発明の第二の実施形態における力学センサの側面図を示した。第一の実施形態では、低弾性の第一検出支持体2および高弾性の第二検出支持体3は、弾性率の異なる材料から構成されていたが、第二の実施形態では、低弾性バネ2aおよび高弾性バネ
3aにより実現している。この様に構成しても、第一の実施形態と同様の効果が実現できる。
また、図4には、本発明の第三の実施形態における力学センサの側面図を示した。第三の実施形態では、第一検出支持体2bと第二検出支持体3bは同一の材料で構成されているが、その断面積を変えることによって、低弾性の第一検出支持体2bおよび高弾性の第二検出支持体3bを実現している。低弾性の第一検出支持体2bの断面積を高弾性の第二検出支持体3bの断面積より小さく構成することにより、第一の実施形態と同様の効果が実現できる。この実施形態では、第一検出支持体2bと第二検出支持体3bを弾性率の異なる材料を用いる必要がなくなることから、コスト面での効果が特に得られる。
図5には、本発明の第四の実施形態における力学センサの側面図を示した。第四の実施形態では、低弾性の第一検出支持体2cおよび高弾性の第二検出支持体3cを中央部が薄肉化した板状部材とし、上記板状部材2c,3cの中央部表面に薄膜歪ゲージ9a,9bをそれぞれ形成している。低弾性の第一検出支持体2cの薄肉化した中央部の板厚を、高弾性の第二検出支持体3cの薄肉化した中央部の板厚より薄くして弾性を変える構成である。この様に構成することでも、第一の実施形態と同様の効果が実現できる。以下、第四の実施形態における力学センサの詳細について説明する。
低弾性の第一検出支持体2cの拡大した側面図を図6に、平面図を図8に、また、高弾性の第二検出支持体3cの拡大した側面図を図7に、平面図を図9にそれぞれ示した。
板状部材2c,3cは、例えば鋼板を略長方形に打ち抜くことにより形成される。板状部材2c,3cの表面にはシリコン酸化物等の絶縁膜の被着による絶縁領域が形成される。板状部材2c,3cは望ましくはステンレス鋼板で作られ、より望ましくはマルテンサイト系の析出硬化形ステンレス鋼を用いることで低温側での温度特性が向上する。
また、板状部材2c,3cは中央部にて薄肉化されるが、加重が加わることによる圧縮力により座屈を生じないような形状に形成される。
薄膜歪ゲージ9a,9bは多結晶シリコン半導体であって、板状部材2c,3cの中央部の薄肉化された表面に設けられる。この表面は、例えばシリコン酸化膜からなる絶縁領域が形成され、その上に薄膜歪ゲージ9a,9bが形成される。
薄膜歪ゲージ9a,9bは、図8,図9に示すように、半導体薄膜からなる四本の抵抗体12a,12b,12c,12dと14a,14b,14c,14dをそれぞれブリッジ接続し、これら抵抗体12a,12b,12c,12dと14a,14b,14c,
14dそれぞれの接続箇所のうち一方の対角線上の二つの接続箇所間に電圧を印加することで他方の対角線上の二つの接続箇所間に発生する電位差が、2c,3cに作用する圧縮力又は引張力の大きさに応じて変化するように構成される。
それぞれの四本の抵抗体12a,12b,12c,12dと14a,14b,14c,14dは、等しい長さ及び幅で細長く形成され、正方形を呈するように端部同士がつながれている。また、それぞれ四つの抵抗体12a,12b,12c,12dと14a,14b,14c,14dのうち二つの抵抗体12c,12dと14c,14dが板状部材2c,3cの長手方向に間隔を置いて対向すると共に、他の二つの抵抗体12a,12bと14a,14bが幅方向に間隔を置いて対向するように配置されている。
また、板状部材2c,3cには薄膜歪ゲージ9a,9bと同一半導体薄膜からなる周囲温度を計測する為の温度センサ(抵抗体)11a,11bが形成され、各抵抗体の接続部には信号を取り出す為の電極13が金(Au)等の薄膜で形成される。
次に、図10の回路図により動作を説明する。
図にて、抵抗体12a,12b,12c,12dと14a,14b,14c,14dはそれぞれブリッジ回路を構成し、基準電圧Vcが印加されている。温度センサ(抵抗体)11aは、固定抵抗15に直列接続され同じく基準電圧Vcが印加される。各ブリッジ回路の接続端子の電位および温度センサ(抵抗体)11aと固定抵抗15の接続端子の電位は、16に示された制御回路に入力される。制御回路16は、入力回路,演算処理を行うCPU,メモリおよび出力回路が内蔵されている。
この様に構成された第四の実施形態における力学センサでは、低加重が印加されると低弾性の第一検出支持体2cが図6に示す様に変形する。この時、薄膜歪ゲージ9aには応力が作用し、図8に示す様に、板状部材2cの長手方向に形成された抵抗体12a,12bには抵抗パターンの幅方向に、一方、板状部材2cの幅方向に形成された抵抗体12c,12dには抵抗パターンの長手方向にそれぞれ応力が加わる。抵抗体12a,12bと抵抗体12c,12dには抵抗パターンに対して異なる方向に応力が作用することから、各抵抗体12a,12bと12c,12dの抵抗値はそれぞれ逆に増減する。
各抵抗体12a,12bと12c,12dの抵抗値はそれぞれ逆に増減すると、図10の抵抗体12a,12b,12c,12dで構成されたブリッジ回路の2つの接続端子間の電位に差が発生する。発生した電位差は、制御回路16に入力されて所定の演算処理をした後に出力信号Vとして出力される。この時の出力信号Vは、図11に示された17の特性となる。
更に、高加重が印加されると、高弾性の第二検出支持体3cが図7に示す様に変形する。この時、薄膜歪ゲージ9bには上記の低加重の場合と同様に応力が作用して、結果として、各抵抗体14a,14bと14c,14dの抵抗値はそれぞれ逆に増減する。同様に、図10の抵抗体14a,14b,14c,14dで構成されたブリッジ回路の2つの接続端子間に発生した電位差は、制御回路16に入力されて所定の演算処理をした後に出力信号Vとして出力される。この時の出力信号Vは、図11に示された18の特性となる。
制御回路16からの出力信号Vとしては、図11に示す様に、低加重出力17と高加重出力18をそれぞれ別の2系統で出力する。一方、図12に示す様に、高加重出力18に制御回路16内にて所定の演算処理をすることにより、低加重出力と高加重出力を連続させて19の様に1系統出力とすることも可能である。
図10に示した温度センサ(抵抗体)11aは、固定抵抗15に直列接続されており、周囲温度を検出する。一般に、半導体薄膜からなる薄膜歪ゲージは温度特性が大きく周囲温度影響を大きく受けるので、周囲温度を検出することにより薄膜歪ゲージの出力を補正する。
周囲温度が変わると、温度センサ(抵抗体)11aの抵抗値が変化するが固定抵抗15は抵抗温度係数がほぼゼロなので、温度センサ(抵抗体)11aと固定抵抗15の接続端子の電位が変わる。この電位を制御回路16に入力し、予めメモリに記憶しておいた周囲温度と電位との関係を参照して演算処理することにより周囲温度が求められる。
更に、得られた周囲温度から、予めメモリに記憶しておいた周囲温度と薄膜歪ゲージの出力との関係を参照して演算処理することにより、薄膜歪ゲージの出力を温度補正し、周囲温度に影響されない高精度の出力信号が得られる。
また、上記により得られた周囲温度を薄膜歪ゲージの信号とともに出力することも可能である。
次に、上記の様に得られた力学センサを電動ブレーキ装置に適用した実施例を、図13を用いて説明する。
図において、電動ブレーキ装置は、車輪(図示省略)とともに回転するブレーキロータ(以下ロータという)27と、車体(図示省略)側に支持するブレーキパッド(以下パッドという)28と、パッド28をロータ27に押圧し、ロータ27から離隔させる電動手段24とを有する。パッド28はロータ27を両側から押圧し、この時の押圧力を本発明の力学センサからなる押圧センサ1aにより検出する。電動手段24は、電動キャリパ
25内部に装着固定され、モータの回転軸設けるボールネジ26により回転方向をピストンの直進方向に変換する。
電動ブレーキ装置の非作動時に、一対のパッド28はロータ27との間に所定のクリアランス29をもたせて位置させる。
電動ブレーキ装置の稼働時に、電動手段24のモータを作動させ、回転運動を直線運動に変換するボールネジ26を回転(正回転)させ、ロータ27の内面に対しパッド28を押圧し、制動力を発生させる。制動解除は、ボールネジ26を逆回転させ、逆の移動でパッド28をロータ27から離隔させる。
電動ブレーキ装置は、ブレーキペダル20に連結するブレーキ指令値発生手段21を有し、ブレーキ指令値発生手段21は運転者のブレーキペダル20の操作量として踏力を検出する踏力センサ1bとして本発明の力学センサを用いる。
踏力センサ1bは、ブレーキ操作量に応じたブレーキ指令値を定め、この指令値を信号としてブレーキ制御手段22に伝送する。ブレーキ制御手段22は、ブレーキ指令値と電動手段24の作動状態が所定の関係となるように電源部23を制御し、電源部23からの出力電力を電動手段24に供給しモータを回転駆動する。
ブレーキ制御手段22は、パッド28が押圧され、ロータ27に対し接触し始める時の押圧センサ1aの微小な低加重出力から接触状態を検出するとともに、ブレーキ操作により踏力センサ1b出力が高制動力のブレーキ指令値となった場合には、ブレーキ指令値と押圧センサ1aの検出値(高加重)とが一致するように電源部23の出力を制御して制動力を制御する。
運転者がブレーキペダル20の踏込みを実施していない車両の非制動時には、押圧センサ1aの出力からパッド28とロータ27とが接触状態を検出し、パッド28とロータ
27との間に所定のクリアランス29を確保する為に、所定量離隔させる向きに電動手段24を駆動する。
この様に構成した電動ブレーキ装置では、ブレーキ操作を検出するための踏力センサ
1bに本発明の力学センサを用いたことにより、前半はペダル踏力に比べてベダルストロークの増加量が多く後半は逆にペダルストロークに比べてペダル踏力の増加量が多いブレーキペダル特性に合致し、この特性に見合った低踏力から高踏力領域までの踏力を広範囲に高精度に計測することが可能となる。
また、パッド28とロータ27間の押圧力を検出する押圧センサ1aに本発明の力学センサを用いたことにより、パッド28とロータ27間の接触状態の検出とともに、ブレーキ操作による高制動力時の高押圧力の検出も出来ることから、高精度のブレーキ制動の制御が可能となる。特に、長期間の使用によりパッド28が磨耗した場合でも、パッド28とロータ27間の接触状態の検出が出来ることから、パッド28とロータ27との間に正確なクリアランス29を確保することが出来る。
本発明による力学センサの一実施形態における原理動作を説明する側面図である。 本発明による力学センサの特性を示した図である。 本発明による力学センサの第二の実施形態の側面図である。 本発明による力学センサの第三の実施形態の側面図である。 本発明による力学センサの第四の実施形態の側面図である。 本発明による力学センサの第一検出支持体の側面図である。 本発明による力学センサの第二検出支持体の側面図である。 本発明による力学センサの第一検出支持体の平面図である。 本発明による力学センサの第二検出支持体の平面図である。 本発明による力学センサの回路図である。 本発明による力学センサの特性を示した図である。 本発明による力学センサの特性を示した図である。 本発明による力学センサを用いた電動ブレーキ装置の説明図。 従来例の力学センサの断面図である。
符号の説明
1…本発明の力学センサ、2…低弾性の第一検出支持体、3…高弾性の第二検出支持体、4…受圧体、5…基台、6…加重、9a,9b…薄膜歪ゲージ。

Claims (8)

  1. 低加重を計測する為の低弾性の第一検出支持体と高加重を計測する為の高弾性の第二検出支持体からなり、前記低弾性の第一検出支持体と高弾性の第二検出支持体は一端にて基台に一体固定されており、前記低弾性の第一検出支持体の他端は加重を受ける受圧体に一体固定され、高弾性の第二検出支持体の他端は前記受圧体との間に前記低弾性の第一検出支持体の加重計測範囲の変位量に相当する隙間を設け、前記第一および第二検出支持体の弾性変形に対応した検出信号から加重を検出することを特徴とする力学センサ。
  2. 請求項1記載の力学センサにおいて、前記第一および第二検出支持体は中央部付近に薄膜歪ゲージ素子が形成された板状部材からなり、第一検出支持体の板状部材中央部の断面積が第二検出支持体中央部の板状部材の断面積よりも小さく構成され、前記薄膜歪ゲージ素子による前記第一および第二検出支持体の弾性変形に対応した検出信号から加重を検出することを特徴とする力学センサ。
  3. 請求項1または2に記載の力学センサにおいて、前記第一および第二検出支持体は中央部付近に薄膜歪ゲージ素子が形成された板状部材からなり、第一検出支持体板状部材の中央部の板厚が第二検出支持体中央部の板状部材の板厚よりも薄く構成され、前記薄膜歪ゲージ素子による前記第一および第二検出支持体の弾性変形に対応した検出信号から加重を検出することを特徴とする力学センサ。
  4. 請求項1から3のいずれか記載の力学センサにおいて、上記薄膜歪ゲージ素子は、上記板状部材の表面に形成された絶縁領域上で導電性材料からなる四本の抵抗体をブリッジ接続し、これら抵抗体どうしの接続箇所のうち一方の対角線上の二つの接続箇所間に電圧を印加することで他方の対角線上の二つの接続箇所間に発生する電位差が上記板状部材に作用する圧縮力又は引張力に応じて変化するように構成されており、上記四つの抵抗体のうち二つの抵抗体が上記板状部材の長手方向に間隔を置いて対向すると共に、他の二つの抵抗体が幅方向に間隔を置いて対向するように上記絶縁領域上に配置されていることを特徴とする力学センサ。
  5. 請求項4に記載の力学センサにおいて、上記導電性材料は、半導体薄膜により抵抗体として形成されたことを特徴とする力学センサ。
  6. 請求項1から5のいずれか記載の力学センサにおいて、上記薄膜歪ゲージ素子と同一の半導体薄膜により、上記板状部材の表面の一部に周囲温度を計測する為の温度センサを形成するとともに、前記温度センサの出力により上記薄膜歪ゲージ素子の出力信号の温度特性を補正する為の補正回路を内蔵するように構成したことを特徴とする力学センサ。
  7. 請求項1から6のいずれか記載の力学センサを用いて、ブレーキパッドをディスクロータに押圧するピストンに加わる反力(押圧力)を計測して制動力を制御することを特徴とする電動ブレーキ装置。
  8. 請求項1から6のいずれか記載の力学センサを用いて、ブレーキペダルの踏力およびブレーキパッドをディスクロータに押圧するピストンに加わる反力(押圧力)を計測するとともに、計測したブレーキペダルの踏力に基づいてブレーキ制動力を制御することを特徴とする電動ブレーキ装置。
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