Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP2005085885A - Laser light source apparatus and confocal microscope apparatus - Google Patents

Laser light source apparatus and confocal microscope apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2005085885A
JP2005085885A JP2003314242A JP2003314242A JP2005085885A JP 2005085885 A JP2005085885 A JP 2005085885A JP 2003314242 A JP2003314242 A JP 2003314242A JP 2003314242 A JP2003314242 A JP 2003314242A JP 2005085885 A JP2005085885 A JP 2005085885A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser light
light source
laser
wavelength
source device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003314242A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Adachi
晃 安達
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2003314242A priority Critical patent/JP2005085885A/en
Publication of JP2005085885A publication Critical patent/JP2005085885A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser light source apparatus which can easily exchange a laser light source apparatus, and to provide a confocal microscope apparatus utilizing the same laser light source apparatus. <P>SOLUTION: The laser light source apparatus 1 is provided with laser light sources 11, 21 and 31 which respectively oscillates laser beams L10, L20 and L30 of different wavelengths; a composite optical system 2 for selecting the light of the predetermined wavelength from among the laser beams L10, L20 and L30, and then compositing a plurality of laser beams to only one laser beam L1; an optical fiber 5 for introducing the laser beam L1, and then propagating this light beam L1 to the external side; and base members 10, 20 and 30 for holding by each pair of the laser light sources 11, 21 and 31 and dichroic mirrors 14, 24 and 34 for selecting the light beam of the predetermined wavelength, capable of mutually loading and unloading with a coupling portion. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、共焦点顕微鏡装置に用いられるレーザ光源装置に関する。   The present invention relates to a laser light source device used in a confocal microscope apparatus.

近年、光学顕微鏡の中でも、横分解能が高いだけではなく、縦分解能も高い走査型共焦点顕微鏡が注目されている。走査型共焦点顕微鏡では、レーザ光源からのレーザ光は、照明光学系に導かれ、励起光として対物レンズを介して標本上に結像する。標本上のスポット光は、2次元的に走査されることによって観察像として観察される。標本上にレーザ光が照射されると、標本の光学的な特性によって反射、吸収、蛍光、散乱などが生じる。   In recent years, among optical microscopes, a scanning confocal microscope not only having a high lateral resolution but also a high vertical resolution has attracted attention. In a scanning confocal microscope, laser light from a laser light source is guided to an illumination optical system and forms an image on a specimen as excitation light through an objective lens. The spot light on the specimen is observed as an observation image by being scanned two-dimensionally. When a sample is irradiated with laser light, reflection, absorption, fluorescence, scattering, and the like occur due to the optical characteristics of the sample.

最近では、複数の蛍光試薬で染色した生物標本に、複数の波長のレーザ光を同時に照射して観察する多重励起観察が行われている。従来技術では、光源部は、波長の異なる複数のレーザ光源をベース部に載置し、ダイクロイックミラーを用いて各レーザ光の波長を選択し、光軸を一つに合わせた後に、光ファイバに入射させている。(例えば、特許文献1参照)。   Recently, multiple excitation observation has been performed in which a biological specimen stained with a plurality of fluorescent reagents is simultaneously irradiated with a plurality of wavelengths of laser light for observation. In the prior art, the light source unit mounts a plurality of laser light sources with different wavelengths on the base unit, selects the wavelength of each laser beam using a dichroic mirror, aligns the optical axes to one, and then attaches to the optical fiber. Incident. (For example, refer to Patent Document 1).

特開2002−221663号公報(第3頁、図2)JP 2002-221663 A (page 3, FIG. 2)

生物標本の様々な組織を比較観察するためには、観察目的に応じて適切なレーザ光の波長を選択しなければならない。しかし、顕微鏡装置における光源部のスペースは限られている。従来は、様々な発振波長をもつ各種のレーザ光源の中から代表的なレーザ光源を例えば3種類選び、ベース部に取り付けて使用していた。   In order to compare and observe various tissues of a biological specimen, an appropriate wavelength of laser light must be selected according to the purpose of observation. However, the space of the light source unit in the microscope apparatus is limited. Conventionally, for example, three types of typical laser light sources are selected from various laser light sources having various oscillation wavelengths and used by being attached to the base portion.

上述したように、従来は、代表的な波長のレーザ光源のみを設置していた為に、最も励起効率が高い波長の光で試料を照射することができない場合があり、常に蛍光強度の大きな蛍光が得られないという問題があった。本発明は、使用する蛍光試薬に応じてレーザ光を照射できるレーザ光源装置とこれを用いた共焦点顕微鏡装置を提供するものである。   As described above, since only a laser light source having a representative wavelength has been installed in the past, the sample may not be irradiated with light having the highest excitation efficiency. There was a problem that could not be obtained. The present invention provides a laser light source device that can irradiate a laser beam in accordance with a fluorescent reagent to be used, and a confocal microscope device using the laser light source device.

(1)請求項1のレーザ光源ユニットは、レーザ光源と、レーザ光源が発振するレーザ光から所定の波長の光を選択する波長選択光学素子と、レーザ光源および波長選択光学素子の1対を保持するベース部材と、ベース部材に設けられ、他のレーザ光源および波長選択光学素子の1対を保持するベース部材と着脱可能に連結する連結部とを備えたことを特徴とする。   (1) The laser light source unit of claim 1 holds a pair of a laser light source, a wavelength selection optical element that selects light of a predetermined wavelength from laser light oscillated by the laser light source, and a laser light source and a wavelength selection optical element. And a base member that is provided on the base member and holds a pair of other laser light sources and wavelength selection optical elements, and is detachably connected to the base member.

(2)請求項2のレーザ光源装置は、波長の異なる複数のレーザ光をそれぞれ発振する複数台のレーザ光源と、複数台のレーザ光源から出射される所定の波長の光を各波長選択光学素子でそれぞれ選択し、その選択された波長をもつ複数のレーザ光を一つに合成する合成光学系と、一つに合成されたレーザ光を導入し、外部へ伝搬する光ファイバと、レーザ光源および波長選択光学素子を1対毎に保持し、連結部によって相互に着脱可能な複数のベース部材とを備えたことを特徴とする。
上記のレーザ光源装置の複数のベース部材は、光ファイバのレーザ光導入口を基準として、発振波長の最も短いレーザ光源を保持するベース部材がレーザ光導入口に最も近く配置され、発振波長の短い順に連結されることが好ましい。
また、複数の波長選択光学素子は、それぞれ選択された波長をもつ複数のレーザ光を反射するとともに、その選択された波長付近より長い波長のレーザ光を透過するダイクロイックミラーであることが好ましい。
(2) In the laser light source device according to claim 2, a plurality of laser light sources that respectively oscillate a plurality of laser beams having different wavelengths, and light of a predetermined wavelength emitted from the plurality of laser light sources are wavelength selection optical elements. And a combining optical system that combines a plurality of laser beams having the selected wavelength into one, an optical fiber that introduces the combined laser beam into one and propagates to the outside, a laser light source, and The wavelength selection optical element is held for each pair, and includes a plurality of base members that can be attached to and detached from each other by a connecting portion.
The plurality of base members of the above laser light source device are arranged such that the base member holding the laser light source having the shortest oscillation wavelength is arranged closest to the laser light entrance with the laser light entrance of the optical fiber as a reference, and the oscillation wavelength is short. It is preferable to connect in order.
The plurality of wavelength selection optical elements are preferably dichroic mirrors that reflect a plurality of laser beams each having a selected wavelength and transmit a laser beam having a wavelength longer than the vicinity of the selected wavelength.

(3)請求項5の共焦点顕微鏡装置は、上記のレーザ光源装置と、レーザ光源装置の光ファイバを介してレーザ光を導入する照明光学系と、標本に対して多重励起蛍光観察が可能な検出光学系とを備えたことを特徴とする。   (3) A confocal microscope apparatus according to claim 5 is capable of observing multiple excitation fluorescence with respect to the laser light source device, an illumination optical system for introducing laser light through an optical fiber of the laser light source device, and a specimen. And a detection optical system.

本発明によれば、レーザ光源とこれに適した光学素子を一対毎にベース部材に載置するので、使用する蛍光試薬に適する発振波長をもつレーザ光源を容易に交換でき、高強度の蛍光を得ることができる。   According to the present invention, a laser light source and an optical element suitable for the laser light source are mounted on the base member one by one. Therefore, a laser light source having an oscillation wavelength suitable for the fluorescent reagent to be used can be easily replaced, and high intensity fluorescence Can be obtained.

以下、本発明によるレーザ光源装置と共焦点顕微鏡装置について、図1〜4を参照しながら説明する。図1〜4において、同じ構成部品には同一符号を付す。
図1は、本発明の実施の形態による共焦点顕微鏡装置の全体構成を示す構成図である。本実施の形態の共焦点顕微鏡装置は、レーザ光源装置1と走査型共焦点顕微鏡100から構成される。なお、図1は、レーザ光源装置1を拡大した状態で模式的に示すものである。
Hereinafter, a laser light source apparatus and a confocal microscope apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1-4, the same code | symbol is attached | subjected to the same component.
FIG. 1 is a configuration diagram showing the overall configuration of a confocal microscope apparatus according to an embodiment of the present invention. The confocal microscope apparatus according to the present embodiment includes a laser light source device 1 and a scanning confocal microscope 100. FIG. 1 schematically shows the laser light source device 1 in an enlarged state.

−レーザ光源装置−
レーザ光源装置1は、レーザ光源11,21,31(発振波長が短い順)と、合成光学系2と、ベース板3と、シングルモード光ファイバ5とから構成される。3台のレーザ光源11,21,31は、それぞれ3枚のベース板10,20,30に載置されている。合成光学系2は、シャッタ12,22,32と、NDフィルタ13,23,33と、ダイクロイックミラー14,24,34と、ファイバカプラ4とから構成される。シャッタ12、NDフィルタ13、ダイクロイックミラー14は、ベース板10に載置されている。同様に、シャッタ22、NDフィルタ23、ダイクロイックミラー24は、ベース板20に載置され、シャッタ32、NDフィルタ33、ダイクロイックミラー34は、ベース板30に載置されている。ファイバカプラ4は、ベース板3に載置され、シングルモード光ファイバ5と接続されている。
-Laser light source device-
The laser light source device 1 includes laser light sources 11, 21, 31 (in order of shorter oscillation wavelengths), a combining optical system 2, a base plate 3, and a single mode optical fiber 5. The three laser light sources 11, 21, 31 are mounted on three base plates 10, 20, 30, respectively. The combining optical system 2 includes shutters 12, 22, 32, ND filters 13, 23, 33, dichroic mirrors 14, 24, 34, and a fiber coupler 4. The shutter 12, the ND filter 13, and the dichroic mirror 14 are placed on the base plate 10. Similarly, the shutter 22, the ND filter 23, and the dichroic mirror 24 are placed on the base plate 20, and the shutter 32, the ND filter 33, and the dichroic mirror 34 are placed on the base plate 30. The fiber coupler 4 is placed on the base plate 3 and connected to the single mode optical fiber 5.

図1に示されるベース板10,20の構造を図2を参照して説明する。
図2は、図1に示す個々のレーザ光源を載置するベース部の構造を示す模式図である。図2(a)は、ベース板10および20の上面図、図2(b)は、その側面図である。ベース板10には、側面に2つのピン10aが植設され、対向する側面に2つの穴部10bが形成されており、ベース板20にも、側面に2つのピン20aが植設され、対向する側面に2つの穴部20bが形成されている。2つのピン10aの間隔と2つの穴部10bの間隔は同一である。また、ベース板10,20には貫通穴(不図示)が形成されている。
The structure of the base plates 10 and 20 shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG.
FIG. 2 is a schematic diagram showing the structure of the base portion on which the individual laser light sources shown in FIG. 1 are placed. 2A is a top view of the base plates 10 and 20, and FIG. 2B is a side view thereof. Two pins 10a are planted on the side surface of the base plate 10 and two holes 10b are formed on the opposite side surfaces. Two pins 20a are also planted on the side surface of the base plate 20 and face each other. Two holes 20b are formed on the side surface. The interval between the two pins 10a and the interval between the two holes 10b are the same. In addition, through holes (not shown) are formed in the base plates 10 and 20.

保持部16は、図2(b)で紙面の垂直方向に延在する2本のレール16aと、2本のレール16aを平行に支持する支持部材16bと、2本のレール16aの下面に設けられた弾性部材16cとから成る。ボルト15は、各ベース板をレール16aに固定するために用いられる。   The holding portion 16 is provided on the two rails 16a extending in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 2B, a support member 16b for supporting the two rails 16a in parallel, and the lower surfaces of the two rails 16a. The elastic member 16c. The bolt 15 is used to fix each base plate to the rail 16a.

ベース板10と20を連結するときは、ベース板10と20をレール16a上に載置し、ベース板20のピン20aをベース板10の穴部10bに嵌合させ、ボルト15を貫通穴に通してベース板10と20をレール16aに固定する。反対に、ベース板10と20を分離するときは、ボルト15を外し、ピン20aを穴部10bから引き抜く。このように連結作業、分離作業が容易である。   When connecting the base plates 10 and 20, the base plates 10 and 20 are placed on the rail 16a, the pins 20a of the base plate 20 are fitted into the holes 10b of the base plate 10, and the bolts 15 are inserted into the through holes. Through, the base plates 10 and 20 are fixed to the rail 16a. On the contrary, when separating the base plates 10 and 20, the bolt 15 is removed and the pin 20a is pulled out from the hole 10b. Thus, the connecting operation and the separating operation are easy.

各ベース板は、総て2つのピンの間隔と2つの穴部の間隔とが同一であるから、総てのベース板は相互に連結することができる。また、ピンと穴部との連結は、位置決めも兼ねているので、連結作業後の光学調整は不要となる。なお、図示は省略したが、ファイバカプラ4が載置されるベース板3にも、2つの穴部が同一間隔で形成されており、レーザ光源が載置される各々のベース板の2つのピンと嵌合させることができるようになっている。   Since each base plate has the same interval between two pins and the interval between the two holes, all the base plates can be connected to each other. Further, since the connection between the pin and the hole portion also serves as positioning, optical adjustment after the connection operation is not necessary. Although not shown, the base plate 3 on which the fiber coupler 4 is placed also has two holes formed at the same interval, and two pins on each base plate on which the laser light source is placed. It can be made to fit.

再び図1を参照すると、レーザ光源11から放射したレーザ光L10は、光路を開いたシャッタ12、光量を調整するNDフィルタ13を経てダイクロイックミラー14に入射する。ダイクロイックミラー14は、レーザ光L10の発振波長中で、通常、発振強度の高い中心波長付近の光を選択して図面上で右方へ反射させ、ファイバカプラ4へ導く。このとき、ダイクロイックミラー14は、中心波長付近の光よりも長波長側の光を図面上で上方へ透過させる。   Referring to FIG. 1 again, the laser light L10 emitted from the laser light source 11 enters the dichroic mirror 14 through the shutter 12 that opens the optical path and the ND filter 13 that adjusts the light amount. The dichroic mirror 14 selects light in the vicinity of the center wavelength having a high oscillation intensity among the oscillation wavelengths of the laser light L10, reflects the light rightward on the drawing, and guides it to the fiber coupler 4. At this time, the dichroic mirror 14 transmits light on the longer wavelength side than light near the center wavelength upward in the drawing.

同様に、レーザ光源21から放射したレーザ光L20は、シャッタ22、NDフィルタ23を経てダイクロイックミラー24に入射する。レーザ光L20の選択された波長付近の光は、ダイクロイックミラー24により右方へ反射し、ダイクロイックミラー14を透過してファイバカプラ4へ入射し、レーザ光L20の選択波長付近よりも長波長側の光は、上方へ透過する。   Similarly, the laser light L20 emitted from the laser light source 21 enters the dichroic mirror 24 through the shutter 22 and the ND filter 23. The light in the vicinity of the selected wavelength of the laser light L20 is reflected to the right by the dichroic mirror 24, passes through the dichroic mirror 14 and enters the fiber coupler 4, and is longer than the vicinity of the selected wavelength of the laser light L20. The light is transmitted upward.

レーザ光源31から放射したレーザ光L30は、シャッタ32、NDフィルタ33を経てダイクロイックミラー34に入射する。レーザ光L30の選択された波長付近の光は、ダイクロイックミラー34により右方へ反射し、ダイクロイックミラー24、14を順次透過してファイバカプラ4へ入射する。レーザ光L30の選択波長付近よりも長波長側の光は、上方へ透過する。但し、ダイクロイックミラー34は、最も長波長側(図中、左端)に位置しており、光透過性は必須ではないので、全反射ミラーに置き換えてもよい。   The laser light L30 emitted from the laser light source 31 enters the dichroic mirror 34 through the shutter 32 and the ND filter 33. Light in the vicinity of the selected wavelength of the laser light L30 is reflected to the right by the dichroic mirror 34, sequentially passes through the dichroic mirrors 24 and 14, and enters the fiber coupler 4. Light on the longer wavelength side than the vicinity of the selected wavelength of the laser light L30 is transmitted upward. However, since the dichroic mirror 34 is located on the longest wavelength side (the left end in the figure) and light transmission is not essential, it may be replaced with a total reflection mirror.

このようにして波長選択されたレーザ光L10,L20,L30は、1本のビームとなり、レーザ光L1としてファイバカプラ4へ入射し、集光レンズ4aで集光された後に、シングルモード光ファイバ5に入射する。波長選択されたレーザ光L10,L20,L30は、それぞれダイクロイックミラー14,24,34の位置と角度を変えることにより、同一軸上になるように調整することができる。   The laser beams L10, L20, and L30 thus selected as wavelengths become one beam, enter the fiber coupler 4 as the laser beam L1, and after being condensed by the condenser lens 4a, the single mode optical fiber 5 is collected. Is incident on. The wavelength-selected laser beams L10, L20, and L30 can be adjusted to be on the same axis by changing the positions and angles of the dichroic mirrors 14, 24, and 34, respectively.

図3は、ベース板に載置された各種のレーザ光源を例示する模式図である。図示のように、各レーザ光源、各ダイクロイックミラー等は、各ベース板に載置されており、各レーザ光源は、発振波長によって寸法や形状が様々である。各ダイクロイックミラーも、それぞれ固有の分光特性を有している。   FIG. 3 is a schematic view illustrating various laser light sources placed on the base plate. As illustrated, each laser light source, each dichroic mirror, and the like are mounted on each base plate, and each laser light source has various sizes and shapes depending on the oscillation wavelength. Each dichroic mirror also has unique spectral characteristics.

レーザ光源51は、中心波長が405nmのレーザ光L50を出力するViolet−LDである。同様に、レーザ光源61はDPSSレーザ(L60:430nm)、レーザ光源11は空冷Arレーザレーザ(L10:488nmと514nm)、レーザ光源21はG/He−Neレーザ(L20:543nm)、レーザ光源31はY/He−Neレーザ(L30:594nm)、レーザ光源41はR/He−Neレーザ(L40:633nm)である。   The laser light source 51 is a violet-LD that outputs a laser beam L50 having a center wavelength of 405 nm. Similarly, the laser light source 61 is a DPSS laser (L60: 430 nm), the laser light source 11 is an air-cooled Ar laser laser (L10: 488 nm and 514 nm), the laser light source 21 is a G / He-Ne laser (L20: 543 nm), and a laser light source 31. Is a Y / He-Ne laser (L30: 594 nm), and the laser light source 41 is an R / He-Ne laser (L40: 633 nm).

−走査型共焦点顕微鏡−
図1に示されるように、走査型共焦点顕微鏡100は、落射型蛍光顕微鏡の構成であり、照明光学系110と検出光学系120を備えている。照明光学系110は、シングルモード光ファイバ5によりレーザ光源装置1と接続されている。照明光学系110は、レーザ光L1の光路に沿って、ビームエキスパンダ111、ビームスプリッタ112、光走査部113、走査レンズ114、リレーレンズ116、対物レンズ118の順に配設されている。光走査部113には、後に図4で説明する一対の可動式全反射ミラー113a,113bが設けられている。
-Scanning confocal microscope-
As shown in FIG. 1, the scanning confocal microscope 100 has a configuration of an epi-fluorescence microscope, and includes an illumination optical system 110 and a detection optical system 120. The illumination optical system 110 is connected to the laser light source device 1 by a single mode optical fiber 5. The illumination optical system 110 is disposed in the order of the beam expander 111, the beam splitter 112, the optical scanning unit 113, the scanning lens 114, the relay lens 116, and the objective lens 118 along the optical path of the laser light L1. The optical scanning unit 113 is provided with a pair of movable total reflection mirrors 113a and 113b which will be described later with reference to FIG.

検出光学系120は、生物標本Sからの光に沿って、対物レンズ118、リレーレンズ116、走査レンズ114、光走査部113、ビームスプリッタ112、光検出レンズ119、ピンホール付き遮光板121、マルチモード光ファイバ122、光検出器130の順に配設されている。光検出器130は、コリメータレンズ131、ダイクロイックミラー132、バリアフィルタ133,134、光検出素子135,136を備えている。また、光検出器130は、画像処理部140に電気的に接続されている。   The detection optical system 120 includes an objective lens 118, a relay lens 116, a scanning lens 114, a light scanning unit 113, a beam splitter 112, a light detection lens 119, a light blocking plate 121 with a pinhole, The mode optical fiber 122 and the photodetector 130 are arranged in this order. The photodetector 130 includes a collimator lens 131, a dichroic mirror 132, barrier filters 133 and 134, and photodetector elements 135 and 136. The photodetector 130 is electrically connected to the image processing unit 140.

以下、図4を参照しながら照明光学系110と検出光学系120を詳細に説明する。
図4は、本発明の実施の形態による走査型共焦点顕微鏡の光学系を説明するための図である。レーザ光源装置1からのレーザ光L1は、シングルモード光ファイバ5によりビームエキスパンダ111に入射する。レーザ光L1は、前述したように複数の波長の光を含む1本のビームである。レーザ光L1は、ビームエキスパンダ111により所望のビーム径に拡大され、光走査部113に入る。レーザ光L1は、全反射ミラー113a,113bを連動して傾き角度を変えることにより、光軸と直交する2方向に2次元的に走査され、走査レンズ114によって一次像面115に結像した後に、リレーレンズ116、ミラー117、対物レンズ118を経て、生物標本S上で点像として結像する。この点像は、対物レンズ118のNAで決まる大きさに集光されているので、この点における生物標本Sの光学的な特性により、反射、吸収、蛍光発生、散乱などの現象が照射領域で生ずる。なお、ミラー117は、単にレーザ光L1の方向を変えるだけなので必須のものではない。
Hereinafter, the illumination optical system 110 and the detection optical system 120 will be described in detail with reference to FIG.
FIG. 4 is a diagram for explaining the optical system of the scanning confocal microscope according to the embodiment of the present invention. The laser light L1 from the laser light source device 1 enters the beam expander 111 through the single mode optical fiber 5. As described above, the laser light L1 is a single beam including light of a plurality of wavelengths. The laser beam L1 is enlarged to a desired beam diameter by the beam expander 111 and enters the optical scanning unit 113. The laser beam L1 is two-dimensionally scanned in two directions orthogonal to the optical axis by changing the tilt angle in conjunction with the total reflection mirrors 113a and 113b, and formed on the primary image plane 115 by the scanning lens 114. The image is formed as a point image on the biological specimen S through the relay lens 116, the mirror 117, and the objective lens 118. Since this point image is focused to a size determined by the NA of the objective lens 118, phenomena such as reflection, absorption, fluorescence generation, and scattering are caused in the irradiated region due to the optical characteristics of the biological specimen S at this point. Arise. The mirror 117 is not essential because it simply changes the direction of the laser beam L1.

生物標本Sからの蛍光や反射光は、対物レンズ118、ミラー117を経て、リレーレンズ116によって一次像面115に結像した後に、走査レンズ114によって平行光とされて光走査部113に入る。生物標本Sからの蛍光は、光走査部113によって走査されることにより、すなわちデスキャンされることにより、照明光として入射したレーザ光L1と同一の光路に常に戻されることになる。   Fluorescence or reflected light from the biological specimen S passes through the objective lens 118 and the mirror 117, forms an image on the primary image plane 115 by the relay lens 116, then becomes parallel light by the scanning lens 114 and enters the optical scanning unit 113. The fluorescence from the biological specimen S is always returned to the same optical path as the laser beam L1 incident as illumination light by being scanned by the optical scanning unit 113, that is, descanned.

光走査部113からビームスプリッタ112に入射した蛍光は、ビームスプリッタ112で反射され、光検出レンズ119によって遮光板121上に集光される。遮光板121には、ピンホール121aが形成されており、遮光板121と生物標本Sとは共役な位置関係にあるので、生物標本S上の蛍光出射点の像がピンホール121aの位置に形成され、ピンホール121aを通過した光のみがマルチモード光ファイバ122を介して光検出器130に到達する。生物標本S上の他の点から発生した光があったとしても、遮光板121で遮られて光検出器130には到達しない。その結果、走査型共焦点顕微鏡においては、横分解能が高いだけではなく、縦分解能も高い標本観察が可能となる。   The fluorescence that has entered the beam splitter 112 from the optical scanning unit 113 is reflected by the beam splitter 112 and collected on the light shielding plate 121 by the light detection lens 119. A pinhole 121a is formed in the light shielding plate 121. Since the light shielding plate 121 and the biological specimen S are in a conjugate positional relationship, an image of the fluorescence emission point on the biological specimen S is formed at the position of the pinhole 121a. Only the light that has passed through the pinhole 121 a reaches the photodetector 130 via the multimode optical fiber 122. Even if there is light generated from other points on the biological specimen S, it is blocked by the light shielding plate 121 and does not reach the photodetector 130. As a result, in the scanning confocal microscope, it is possible to observe the specimen not only with high lateral resolution but also with high vertical resolution.

光検出器130に到達した蛍光は、コリメータレンズ131を介してダイクロイックミラー132に入射し、2種類の波長の蛍光に分離され、それぞれバリアフィルタ133,134に入射し、光検出素子135,136によって検出される。図4では、2組のバリアフィルタと光検出素子が示されているが、検出したい波長の種類に応じて3組以上備えることができる。   The fluorescence that has reached the photodetector 130 enters the dichroic mirror 132 through the collimator lens 131, is separated into two types of wavelengths of fluorescence, is incident on the barrier filters 133 and 134, and is detected by the photodetectors 135 and 136. Detected. In FIG. 4, two pairs of barrier filters and light detection elements are shown, but three or more sets can be provided depending on the type of wavelength to be detected.

以下、図5〜7を参照しながら、本実施の形態の共焦点顕微鏡装置の使用方法、特にレーザ光源の交換作業について説明する。図5,6においては、図1,3と同じ構成部品には同一符号を付し、説明を省略する。   Hereinafter, a method of using the confocal microscope apparatus of the present embodiment, particularly a laser light source replacement operation, will be described with reference to FIGS. 5 and 6, the same components as those in FIGS. 1 and 3 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図5は、図3に示した6種類のレーザ光源をそれぞれ載置するベース板を右から左へレーザ光源の発振波長が短い順に並べて構成されたレーザ光源装置の構成図である。この場合、多種類のレーザ光源を装備しているので、生物標本Sを染色する蛍光試薬の種類が多くともそれに応じた多重励起観察が可能である。反面、選択された蛍光試薬の励起に関与しないレーザ光源も装備されたままなので、レーザ光源装置は大型となってしまう。従って、蛍光発生に必要なレーザ光源だけを装備するようにすれば、レーザ光源装置のコンパクト化が実現できる。   FIG. 5 is a configuration diagram of a laser light source device in which base plates on which the six types of laser light sources shown in FIG. 3 are respectively placed are arranged from the right to the left in order of the oscillation wavelength of the laser light source. In this case, since multiple types of laser light sources are equipped, multiple excitation observations corresponding to the types of fluorescent reagents for staining the biological specimen S can be performed at most. On the other hand, since the laser light source that does not participate in the excitation of the selected fluorescent reagent is still provided, the laser light source device becomes large. Therefore, if only the laser light source necessary for fluorescence generation is provided, the laser light source device can be made compact.

図6は、3種類のレーザ光源をそれぞれ載置するベース板を右から左へレーザ光源の発振波長が短い順に並べて構成されたレーザ光源装置の構成図である。
図6(a)に示されるように、レーザ光源装置1には、空冷Arレーザ11(488nmと514nm)とG/He−Neレーザ21(543nm)とY/He−Neレーザ31(594nm)が既に取り付けられている。レーザ光源ユニットの取り付け手順としては、ピンと穴部の嵌合により、ベース板3にベース板10を、ベース板10にベース板20を、ベース板20にベース板30を順次装着すればよい。
FIG. 6 is a configuration diagram of a laser light source device in which base plates on which three types of laser light sources are respectively placed are arranged from right to left in order of increasing oscillation wavelength of the laser light source.
As shown in FIG. 6A, the laser light source device 1 includes an air-cooled Ar laser 11 (488 nm and 514 nm), a G / He-Ne laser 21 (543 nm), and a Y / He-Ne laser 31 (594 nm). Already installed. As a procedure for attaching the laser light source unit, the base plate 10 may be attached to the base plate 3, the base plate 20 may be attached to the base plate 10, and the base plate 30 may be attached to the base plate 20 by fitting pins and holes.

今、生物標本Sを染色する蛍光試薬としてAcridine Orangeが選択された場合、図7に示されるような励起・蛍光スペクトル図となる。励起スペクトル曲線については、左縦軸の吸収が用いられ、蛍光スペクトル曲線については、右縦軸の蛍光強度が用いられる。励起スペクトル曲線の吸収量が大きい程、励起効率が高いことを表している。   Now, when Acridine Orange is selected as the fluorescent reagent for staining the biological specimen S, an excitation / fluorescence spectrum diagram as shown in FIG. 7 is obtained. For the excitation spectrum curve, the absorption on the left vertical axis is used, and for the fluorescence spectrum curve, the fluorescence intensity on the right vertical axis is used. The larger the absorption amount of the excitation spectrum curve, the higher the excitation efficiency.

Acridine Orangeを蛍光試薬として用いると、励起効率は、波長430nm近傍で最大となる。しかし、空冷Arレーザ11、G/He−Neレーザ21、Y/He−Neレーザ31の組み合わせ(図6(a))では、この中で最も短波長である空冷Arレーザ11の発振波長488nmによる励起となり、励起効率は非常に低い。励起効率が低い場合は、より明るい蛍光を発生させるために、レーザ光の出力を上げなければならないが、高強度のレーザ光を生物標本Sに照射することは、生物標本Sにダメージ(退色)を与えることになり、正確な観察の妨げとなる。   When Acridine Orange is used as a fluorescent reagent, the excitation efficiency is maximized near the wavelength of 430 nm. However, in the combination of the air-cooled Ar laser 11, the G / He-Ne laser 21, and the Y / He-Ne laser 31 (FIG. 6A), the oscillation wavelength of the air-cooled Ar laser 11 having the shortest wavelength is 488 nm. Excitation efficiency is very low. When the excitation efficiency is low, the output of the laser beam must be increased in order to generate brighter fluorescence, but irradiating the biological specimen S with high-intensity laser light damages the biological specimen S (fading). Will interfere with accurate observation.

従って、励起効率の観点から、DPSSレーザ61(430nm)を使用するのが望ましい。例えば、図6(b)に示されるように、DPSSレーザ61、空冷Arレーザ11、G/He−Neレーザ21の組み合わせを選択した場合、レーザ光源の交換が必要になる。交換後の配置は、ファイバカプラ4から近い順にDPSSレーザ61、空冷Arレーザ11、G/He−Neレーザ21となる。
このように、使用する蛍光試薬の励起波長に合わせて必要な波長のレーザ光源のみを観察時に設置できるので、レーザ光源装置の占めるスペースを小さくすることができる。
Therefore, it is desirable to use the DPSS laser 61 (430 nm) from the viewpoint of excitation efficiency. For example, as shown in FIG. 6B, when the combination of the DPSS laser 61, the air-cooled Ar laser 11, and the G / He-Ne laser 21 is selected, the laser light source needs to be replaced. The arrangement after the replacement is the DPSS laser 61, the air-cooled Ar laser 11, and the G / He-Ne laser 21 in the order from the fiber coupler 4.
In this way, since only a laser light source having a required wavelength can be set at the time of observation according to the excitation wavelength of the fluorescent reagent to be used, the space occupied by the laser light source device can be reduced.

図6(a)から図6(b)のようにレーザ光源ユニットを交換する手順としては、(1)ベース板30を取り外し、(2)ベース板10と20を左側にずらし、(3)ベース板10と3とのスペースにベース板60を装着する。このように、レーザ光源の交換作業は容易である。
ベース板同士の連結は、前述したピンと穴部との嵌合によって行われるので、3本のレーザ光L60,L10,L20は光軸が合った1本のレーザ光L1となり、ファイバカプラ4を経てシングルモード光ファイバ5へ入射する。従って、位置決め、光軸調整は不要となる。もちろん、ベース板同士の連結にピンと穴部との嵌合を用いなくとも、光軸がずれない連結方法であれば別の方法でもよい。例えば、各ベース板の位置決めをするための位置決め部材をレールに設け、各ベース板同士の位置関係を決定するように構成してもよい。
As a procedure for exchanging the laser light source unit as shown in FIG. 6A to FIG. 6B, (1) the base plate 30 is removed, (2) the base plates 10 and 20 are shifted to the left side, and (3) the base A base plate 60 is mounted in the space between the plates 10 and 3. Thus, the replacement work of the laser light source is easy.
Since the base plates are connected to each other by fitting the above-described pins and holes, the three laser beams L60, L10, and L20 become one laser beam L1 with the optical axis aligned, and pass through the fiber coupler 4. The light enters the single mode optical fiber 5. Therefore, positioning and optical axis adjustment are not necessary. Of course, another method may be used as long as the optical axis does not shift without using the fitting between the pin and the hole to connect the base plates. For example, a positioning member for positioning each base plate may be provided on the rail, and the positional relationship between the base plates may be determined.

本実施の形態では、ファイバカプラ4の近くに発振波長が短いレーザ光源を配置し、発振波長が短い順に配列したレーザ光源装置について説明したが、必ずしも発振波長が短い順に配置しなくともよい。例えば、選択される波長λ1、λ2、λ3(但し、λ1<λ2<λ3)の3つのレーザ光源ユニットがあり、ファイバカプラ4の近くからλ2、λ1、λ3の順に配置された場合、ダイクロイックミラーの分光特性を次のように設定すればよい。すなわち、選択波長λ2のレーザ光源ユニットのダイクロイックミラーは、選択波長λ2付近の光を反射し、選択波長λ2付近より長い波長の光と短い波長の光の両者を透過するように設定される。   In the present embodiment, the laser light source device in which the laser light source having the short oscillation wavelength is arranged near the fiber coupler 4 and arranged in the order from the shortest oscillation wavelength has been described. However, the laser light source device may not necessarily be arranged in the order from the shortest oscillation wavelength. For example, when there are three laser light source units having wavelengths λ1, λ2, and λ3 (where λ1 <λ2 <λ3) are selected and arranged in the order of λ2, λ1, and λ3 from the vicinity of the fiber coupler 4, the dichroic mirror The spectral characteristics may be set as follows. That is, the dichroic mirror of the laser light source unit having the selected wavelength λ2 is set to reflect light in the vicinity of the selected wavelength λ2 and transmit both light having a longer wavelength and light having a shorter wavelength than the vicinity of the selected wavelength λ2.

また、本実施の形態では、走査型共焦点顕微鏡100を落射型顕微鏡の構成とし、蛍光観察について説明したが、本実施の形態は、反射像の観察や散乱光の検出にも適用できる。さらに、落射型顕微鏡の構成の代わりに透過型顕微鏡の構成とすれば、蛍光観察や散乱光の検出に加えて透過光量の吸収を加味した透過像観察にも適用できる。生物標本による反射、透過、吸収、蛍光、散乱などは、照射光の波長に依存する性質をもっている。   Further, in the present embodiment, the scanning confocal microscope 100 is configured as an epi-illumination microscope, and fluorescence observation has been described. However, the present embodiment can also be applied to observation of reflected images and detection of scattered light. Furthermore, if a transmission microscope is used instead of the epi-illumination microscope, it can be applied to transmission image observation that takes into account absorption of transmitted light in addition to fluorescence observation and scattered light detection. Reflection, transmission, absorption, fluorescence, scattering, and the like by a biological specimen have properties that depend on the wavelength of irradiation light.

本発明の実施の形態に係る共焦点顕微鏡の全体構成を示す構成図である。It is a block diagram which shows the whole structure of the confocal microscope which concerns on embodiment of this invention. 図1に示す個々のレーザ光源を載置するベース板の構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the base board which mounts each laser light source shown in FIG. ベース板に載置された各種のレーザ光源を例示する模式図である。It is a schematic diagram which illustrates the various laser light sources mounted in the base board. 本発明の実施の形態に係る走査型共焦点顕微鏡の光学系を説明する図である。It is a figure explaining the optical system of the scanning confocal microscope which concerns on embodiment of this invention. 6種類のレーザ光源を配置した場合のレーザ光源装置の構成図である。It is a block diagram of a laser light source device when six types of laser light sources are arranged. 3種類のレーザ光源を配置した場合のレーザ光源装置の構成図である。It is a block diagram of the laser light source device when three types of laser light sources are arranged. 蛍光試薬Acridine Orangeに対する励起・蛍光スペクトル図である。FIG. 6 is an excitation / fluorescence spectrum diagram for the fluorescent reagent Acridine Orange.

符号の説明Explanation of symbols

1:レーザ光源装置
2:合成光学系
3,10,20,30,40,50,60:ベース板
4:ファイバカプラ
5:シングルモードファイバ
10,20,30,40,50,60:レーザ光源
14,24,34,44,54,64:ダイクロイックミラー
100:走査型共焦点顕微鏡
110:照明光学系
120:検出光学系
S:生物標本
L1,L10,L20,L30,L40,L50,L60:レーザ光
1: Laser light source device 2: Synthetic optical system 3, 10, 20, 30, 40, 50, 60: Base plate 4: Fiber coupler 5: Single mode fiber 10, 20, 30, 40, 50, 60: Laser light source 14 , 24, 34, 44, 54, 64: Dichroic mirror 100: Scanning confocal microscope 110: Illumination optical system 120: Detection optical system S: Biological specimen L1, L10, L20, L30, L40, L50, L60: Laser light

Claims (5)

レーザ光源と、
前記レーザ光源が発振するレーザ光から所定の波長の光を選択する波長選択光学素子と、
前記レーザ光源および波長選択光学素子の1対を保持するベース部材と、
前記ベース部材に設けられ、他のレーザ光源および波長選択光学素子の1対を保持するベース部材と着脱可能に連結する連結部とを備えたことを特徴とするレーザ光源ユニット。
A laser light source;
A wavelength selection optical element that selects light of a predetermined wavelength from laser light oscillated by the laser light source;
A base member holding a pair of the laser light source and the wavelength selecting optical element;
A laser light source unit, comprising: a base member that is provided on the base member and holds a pair of another laser light source and a wavelength selection optical element;
波長の異なる複数のレーザ光をそれぞれ発振する複数台のレーザ光源と、
前記複数台のレーザ光源から出射される所定の波長の光を各波長選択光学素子でそれぞれ選択し、その選択された波長をもつ複数のレーザ光を一つに合成する合成光学系と、
前記一つに合成されたレーザ光を導入し、外部へ伝搬する光ファイバと、
前記レーザ光源および前記波長選択光学素子を1対毎に保持し、連結部によって相互に着脱可能な複数のベース部材とを備えたことを特徴とするレーザ光源装置。
A plurality of laser light sources that respectively oscillate a plurality of laser beams having different wavelengths;
A combining optical system that selects light of a predetermined wavelength emitted from the plurality of laser light sources by each wavelength selection optical element, and combines a plurality of laser beams having the selected wavelength into one;
An optical fiber that introduces the laser beam combined into the one and propagates to the outside;
A laser light source device comprising: a plurality of base members that hold the laser light source and the wavelength selection optical element for each pair and are detachable from each other by a connecting portion.
請求項2に記載のレーザ光源装置において、
前記複数のベース部材は、前記光ファイバのレーザ光導入口を基準として、発振波長の最も短いレーザ光源を保持するベース部材が前記レーザ光導入口に最も近く配置され、発振波長の短い順に連結されることを特徴とするレーザ光源装置。
The laser light source device according to claim 2,
The plurality of base members are arranged in such a manner that a base member holding a laser light source having the shortest oscillation wavelength is disposed closest to the laser light entrance with reference to the laser light entrance of the optical fiber, and is connected in order of shortest oscillation wavelength. A laser light source device.
請求項2または3に記載のレーザ光源装置において、
前記複数の波長選択光学素子は、それぞれ前記選択された波長をもつ複数のレーザ光を反射するとともに、前記選択された波長付近より長い波長のレーザ光を透過するダイクロイックミラーであることを特徴とするレーザ光源装置。
In the laser light source device according to claim 2 or 3,
The plurality of wavelength selection optical elements are dichroic mirrors that reflect a plurality of laser beams each having the selected wavelength and transmit a laser beam having a wavelength longer than the vicinity of the selected wavelength. Laser light source device.
請求項2〜4のいずれかに記載のレーザ光源装置と、
前記レーザ光源装置の光ファイバを介して前記一つに合成されたレーザ光を導入し、レーザ光を励起光として標本に照射する照明光学系と、
前記標本に対して多重励起蛍光観察が可能な検出光学系とを備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡装置。
A laser light source device according to any one of claims 2 to 4,
An illumination optical system that introduces the laser beam synthesized into one through the optical fiber of the laser light source device and irradiates the specimen with the laser beam as excitation light; and
A confocal microscope apparatus comprising a detection optical system capable of observing multiple excitation fluorescence with respect to the specimen.
JP2003314242A 2003-09-05 2003-09-05 Laser light source apparatus and confocal microscope apparatus Pending JP2005085885A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003314242A JP2005085885A (en) 2003-09-05 2003-09-05 Laser light source apparatus and confocal microscope apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003314242A JP2005085885A (en) 2003-09-05 2003-09-05 Laser light source apparatus and confocal microscope apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005085885A true JP2005085885A (en) 2005-03-31

Family

ID=34414919

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003314242A Pending JP2005085885A (en) 2003-09-05 2003-09-05 Laser light source apparatus and confocal microscope apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005085885A (en)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007514323A (en) * 2003-12-15 2007-05-31 ライカ ミクロジュステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー Laser beam generator
JP2007225789A (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Olympus Corp Measuring microscope
JP2007535688A (en) * 2003-12-15 2007-12-06 ライカ ミクロジュステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー Apparatus for generating a light beam including a plurality of wavelengths
JP2008051892A (en) * 2006-08-22 2008-03-06 Tokyo Seimitsu Co Ltd Microscope apparatus
JP2008509400A (en) * 2004-08-06 2008-03-27 コンピュサイト コーポレイション Color display type monochromatic light absorption determination method for light absorption in stained samples
JP2009109748A (en) * 2007-10-30 2009-05-21 Olympus Corp Optical microscope
JP2009282103A (en) * 2008-05-20 2009-12-03 Yokogawa Electric Corp Confocal scanner microscope
JP2011112686A (en) * 2009-11-24 2011-06-09 Olympus Corp Light source unit, light source device and microscope system
JP2013007791A (en) * 2011-06-22 2013-01-10 Olympus Corp Light source device, light source unit, and microscope system
JP2013231930A (en) * 2012-05-02 2013-11-14 Olympus Corp Microscope device
JPWO2017159439A1 (en) * 2016-03-17 2019-01-24 パナソニックIpマネジメント株式会社 Fiber coupler
JP2021099355A (en) * 2018-01-22 2021-07-01 ヴェリリー ライフ サイエンシズ エルエルシー High-throughput hyperspectral imaging system

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007514323A (en) * 2003-12-15 2007-05-31 ライカ ミクロジュステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー Laser beam generator
JP4799420B2 (en) * 2003-12-15 2011-10-26 ライカ ミクロジュステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー Apparatus for generating a light beam including a plurality of wavelengths
JP2007535688A (en) * 2003-12-15 2007-12-06 ライカ ミクロジュステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー Apparatus for generating a light beam including a plurality of wavelengths
JP2008509400A (en) * 2004-08-06 2008-03-27 コンピュサイト コーポレイション Color display type monochromatic light absorption determination method for light absorption in stained samples
JP2007225789A (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Olympus Corp Measuring microscope
JP2008051892A (en) * 2006-08-22 2008-03-06 Tokyo Seimitsu Co Ltd Microscope apparatus
JP2009109748A (en) * 2007-10-30 2009-05-21 Olympus Corp Optical microscope
JP2009282103A (en) * 2008-05-20 2009-12-03 Yokogawa Electric Corp Confocal scanner microscope
JP2011112686A (en) * 2009-11-24 2011-06-09 Olympus Corp Light source unit, light source device and microscope system
JP2013007791A (en) * 2011-06-22 2013-01-10 Olympus Corp Light source device, light source unit, and microscope system
JP2013231930A (en) * 2012-05-02 2013-11-14 Olympus Corp Microscope device
JPWO2017159439A1 (en) * 2016-03-17 2019-01-24 パナソニックIpマネジメント株式会社 Fiber coupler
JP2021099355A (en) * 2018-01-22 2021-07-01 ヴェリリー ライフ サイエンシズ エルエルシー High-throughput hyperspectral imaging system
US11327017B2 (en) 2018-01-22 2022-05-10 Verily Life Sciences Llc High-throughput hyperspectral imaging systems
JP7068518B2 (en) 2018-01-22 2022-05-16 ヴェリリー ライフ サイエンシズ エルエルシー High throughput hyperspectral imaging system
JP2022107604A (en) * 2018-01-22 2022-07-22 ヴェリリー ライフ サイエンシズ エルエルシー High-throughput hyperspectral imaging system
US11598725B2 (en) 2018-01-22 2023-03-07 Verily Life Sciences Llc High-throughput hyperspectral imaging systems
JP7350936B2 (en) 2018-01-22 2023-09-26 ヴェリリー ライフ サイエンシズ エルエルシー High-throughput hyperspectral imaging system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006208681A (en) Connection unit and optical scanning type fluorescent observation device
JP5286774B2 (en) Microscope device and fluorescent cube used therefor
JP4992898B2 (en) Laser scanning microscope and observation method
JP2005085885A (en) Laser light source apparatus and confocal microscope apparatus
JP2002287035A (en) Scanning microscope and module for scanning microscope
JP2007334319A (en) Illuminating device
US6924490B2 (en) Microscope system
JP2000330029A (en) Laser microscope
JP2007506955A (en) Scanning microscope with evanescent wave illumination
JP2011118264A (en) Microscope device
JP2008033263A (en) Laser scanning microscope for fluorescence analysis
JP4511360B2 (en) Stereo microscope or additional unit of stereo microscope
JP2009069692A (en) Laser scanning microscope
JP2006504989A5 (en)
CN105849615B (en) Microscope for fadout illumination and dotted scanning illumination
JPWO2009142312A1 (en) Microscope equipment
JP2002221663A (en) Scanning confocal microscope
JP4855007B2 (en) Scanning laser microscope
JP4406108B2 (en) Multiphoton excitation laser microscope
JP2004354937A (en) Laser microscope
JP2007127524A (en) Multiphoton excitation observation device and multiphoton excitation observing light source device
JP4804726B2 (en) Scanning optical observation device
JP3678456B2 (en) Scanning laser microscope equipment
JP2003185927A (en) Scanning laser microscope
US10768399B2 (en) Mirror device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060822

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081118

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090119

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20090119

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090331