JP2003200905A - チップ部品収容装置及びそれを備えたチップ部品検査装置 - Google Patents
チップ部品収容装置及びそれを備えたチップ部品検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 チップ部品の包装において、装置の大幅なコ
ストアップを招くことなく、チップ部品の包装の速度向
上及び挿入の安定性向上を図る。 【解決手段】 吸着ノズル８の吸着面１０の寸法は対象
となるチップ部品６の寸法よりも大きく設定されてお
り、チップ部品挿入位置Ｐの近傍においては、キャリア
テープ２の上面に近接して押えカバー１４が設けられて
いる。押えカバー１４には、挿入位置Ｐにおいて孔１６
が設けられており、その孔１６の大きさは吸着ノズル８
の先端面１０よりも僅かに大きい程度である。吸着ノズ
ル８に吸着されたチップ部品６がキャリアテープ２の部
品収容凹部４に入ると、吸着ノズル８の吸引が解除さ
れ、キャリアテープ２が矢印方向に移動を開始し、部品
収容凹部４の開口部が完全に押えカバー１４の下に入っ
た後、吸着ノズル８が上昇させられる。
ストアップを招くことなく、チップ部品の包装の速度向
上及び挿入の安定性向上を図る。 【解決手段】 吸着ノズル８の吸着面１０の寸法は対象
となるチップ部品６の寸法よりも大きく設定されてお
り、チップ部品挿入位置Ｐの近傍においては、キャリア
テープ２の上面に近接して押えカバー１４が設けられて
いる。押えカバー１４には、挿入位置Ｐにおいて孔１６
が設けられており、その孔１６の大きさは吸着ノズル８
の先端面１０よりも僅かに大きい程度である。吸着ノズ
ル８に吸着されたチップ部品６がキャリアテープ２の部
品収容凹部４に入ると、吸着ノズル８の吸引が解除さ
れ、キャリアテープ２が矢印方向に移動を開始し、部品
収容凹部４の開口部が完全に押えカバー１４の下に入っ
た後、吸着ノズル８が上昇させられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、チップ部品、例え
ば半導体装置のチップ・サイズ・パッケージ（ＣＳＰ：
chip size package）のような小型チップ部品を安定し
た状態でエンボスキャリアテープ内に自動で挿入して収
容するチップ部品収容装置と、それを備えたチップ部品
検査装置に関するものである。
ば半導体装置のチップ・サイズ・パッケージ（ＣＳＰ：
chip size package）のような小型チップ部品を安定し
た状態でエンボスキャリアテープ内に自動で挿入して収
容するチップ部品収容装置と、それを備えたチップ部品
検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】チップ部品は最終段階で電気的特性を測
定して良否が判定された後、良品のみが所定の包装形態
にパッケージされて出荷されている。この作業はほとん
ど自動化されている。例えば、現在、チップ部品の包装
は、キャリアテープに部品収容凹部がエンボス加工によ
り一列に等間隔に形成された、いわゆるエンボステープ
の各エンボスにチップ部品を挿入した後、カバーテープ
により封入する方法が多く採用され、また、そのための
自動包装装置が用いられている。
定して良否が判定された後、良品のみが所定の包装形態
にパッケージされて出荷されている。この作業はほとん
ど自動化されている。例えば、現在、チップ部品の包装
は、キャリアテープに部品収容凹部がエンボス加工によ
り一列に等間隔に形成された、いわゆるエンボステープ
の各エンボスにチップ部品を挿入した後、カバーテープ
により封入する方法が多く採用され、また、そのための
自動包装装置が用いられている。
【０００３】この種の自動包装装置の従来例を図６を参
照して簡単に説明する。チップ部品６は吸着孔１２が形
成された吸着ノズル８ａの先端に負圧吸着され、チップ
部品挿入位置にあるキャリアテープ２の部品収容凹部４
の上方に運ばれる（（ａ））。この位置でチップ部品６
が部品収容凹部４に入るまで吸着ノズル８ａが降下され
る。その後、吸着ノズル８ａの吸引が解除され、チップ
部品６が吸着ノズル８ａから離れる。その後、キャリア
テープ２を矢印方向に移動させるとともに、吸着ノズル
８ａを上昇させ、次のチップ部品の挿入工程に移る。図
示していないが、その後、キャリアテープ２の部品収容
凹部４上にカバーテープが被せられて熱圧着されること
により、部品収容凹部４に挿入されたチップ部品６はそ
のカバーテープで封入された後、キャリアテープ２はリ
ールに巻き取られる。
照して簡単に説明する。チップ部品６は吸着孔１２が形
成された吸着ノズル８ａの先端に負圧吸着され、チップ
部品挿入位置にあるキャリアテープ２の部品収容凹部４
の上方に運ばれる（（ａ））。この位置でチップ部品６
が部品収容凹部４に入るまで吸着ノズル８ａが降下され
る。その後、吸着ノズル８ａの吸引が解除され、チップ
部品６が吸着ノズル８ａから離れる。その後、キャリア
テープ２を矢印方向に移動させるとともに、吸着ノズル
８ａを上昇させ、次のチップ部品の挿入工程に移る。図
示していないが、その後、キャリアテープ２の部品収容
凹部４上にカバーテープが被せられて熱圧着されること
により、部品収容凹部４に挿入されたチップ部品６はそ
のカバーテープで封入された後、キャリアテープ２はリ
ールに巻き取られる。
【０００４】しかし、吸着ノズル８ａによりチップ部品
６を吸引し、キャリアテープ２の部品収容凹部４に挿入
した後、吸引を解除してチップ部品６を開放する過程に
おいて、吸引を解除してからチップ部品６が完全に開放
されるまでに時間がかかるため、チップ部品６が完全に
開放されるのを待ってキャリアテープ２の間欠送りを開
始するようにしているので、包装のスピードアップには
限界があった。
６を吸引し、キャリアテープ２の部品収容凹部４に挿入
した後、吸引を解除してチップ部品６を開放する過程に
おいて、吸引を解除してからチップ部品６が完全に開放
されるまでに時間がかかるため、チップ部品６が完全に
開放されるのを待ってキャリアテープ２の間欠送りを開
始するようにしているので、包装のスピードアップには
限界があった。
【０００５】包装のスピードを上げるために、吸引を解
除した後、吸着孔１２内の負圧が完全になくなる前に吸
着ノズル８ａを上昇させたり、キャリアテープ２を移動
させたりすると、チップ部品６が部品収容凹部４から飛
び出したり、正常な位置に挿入されないなどの不具合が
発生するという問題があった。
除した後、吸着孔１２内の負圧が完全になくなる前に吸
着ノズル８ａを上昇させたり、キャリアテープ２を移動
させたりすると、チップ部品６が部品収容凹部４から飛
び出したり、正常な位置に挿入されないなどの不具合が
発生するという問題があった。
【０００６】このような不具合を解決するための自動包
装装置として、実開平５−８１００４号公報に記載の自
動包装装置が提案されている。その自動包装装置では、
吸着ノズルの降下と同期して降下する押え板を備えてい
る。その押え板には、吸着ノズルの先端の幅寸法よりも
広く、かつチップ部品の幅寸法よりも幅寸法が狭い溝が
設けられている。
装装置として、実開平５−８１００４号公報に記載の自
動包装装置が提案されている。その自動包装装置では、
吸着ノズルの降下と同期して降下する押え板を備えてい
る。その押え板には、吸着ノズルの先端の幅寸法よりも
広く、かつチップ部品の幅寸法よりも幅寸法が狭い溝が
設けられている。
【０００７】その提案の自動包装装置では、チップ部品
収容動作の際、先端にチップ部品を吸着させた吸着ノズ
ルの先端側を押え板の溝間に収め、吸着ノズルと押え板
を同期して下降させ、チップ部品を部品収容凹部に挿入
する。押え板により部品収容凹部を覆った状態で、吸着
孔内の負圧状態を解除しつつ、吸着ノズルのみを上昇さ
せる。このとき、押え板により部品収容凹部が覆われて
いるので、チップ部品が部品収容凹部内に押し留めら
れ、チップ部品の位置ズレなどを防ぐことができる。
収容動作の際、先端にチップ部品を吸着させた吸着ノズ
ルの先端側を押え板の溝間に収め、吸着ノズルと押え板
を同期して下降させ、チップ部品を部品収容凹部に挿入
する。押え板により部品収容凹部を覆った状態で、吸着
孔内の負圧状態を解除しつつ、吸着ノズルのみを上昇さ
せる。このとき、押え板により部品収容凹部が覆われて
いるので、チップ部品が部品収容凹部内に押し留めら
れ、チップ部品の位置ズレなどを防ぐことができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、実開平５−８
１００４号公報に記載の自動包装装置では、吸着ノズル
と同期して降下する押え板及び押え板を駆動させる機構
を設ける必要があり、装置の大型化及び複雑化を招き、
ひいては装置のコストアップを招くという問題があっ
た。
１００４号公報に記載の自動包装装置では、吸着ノズル
と同期して降下する押え板及び押え板を駆動させる機構
を設ける必要があり、装置の大型化及び複雑化を招き、
ひいては装置のコストアップを招くという問題があっ
た。
【０００９】さらに、近年チップ・サイズ・パッケージ
に代表されるように、例えば外形寸法が１ｍｍ以下とい
うような小型のチップ部品に対しては、吸着ノズルの先
端側が配置される押え板の溝の幅寸法をチップ部品の外
形寸法より狭くしなければならず、さらに吸着ノズルの
先端を押え板の溝の幅寸法よりも細くしなければならな
いので、押え板や吸着ノズルに高い寸法精度及び位置精
度が要求される。さらに、押え板を吸着ノズルと同期し
て降下させるため、装置の組立精度にも高い水準が要求
され、さらなる装置のコストアップを招くという問題が
あった。
に代表されるように、例えば外形寸法が１ｍｍ以下とい
うような小型のチップ部品に対しては、吸着ノズルの先
端側が配置される押え板の溝の幅寸法をチップ部品の外
形寸法より狭くしなければならず、さらに吸着ノズルの
先端を押え板の溝の幅寸法よりも細くしなければならな
いので、押え板や吸着ノズルに高い寸法精度及び位置精
度が要求される。さらに、押え板を吸着ノズルと同期し
て降下させるため、装置の組立精度にも高い水準が要求
され、さらなる装置のコストアップを招くという問題が
あった。
【００１０】本発明の第１の目的は、チップ部品の包装
において、装置の大幅なコストアップを招くことなく、
チップ部品の包装の速度向上及び挿入の安定性向上を図
ることができるチップ部品挿入装置を提供することであ
る。本発明の第２の目的は、そのようなチップ部品挿入
装置を備えたチップ部品検査装置を提供することであ
る。
において、装置の大幅なコストアップを招くことなく、
チップ部品の包装の速度向上及び挿入の安定性向上を図
ることができるチップ部品挿入装置を提供することであ
る。本発明の第２の目的は、そのようなチップ部品挿入
装置を備えたチップ部品検査装置を提供することであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】第１の目的を達成するた
めに、本発明のチップ部品挿入装置は、部品収容凹部が
等間隔に形成されたキャリアテープを間欠送りしながら
チップ部品挿入位置で前記収容凹部内にチップ部品を上
方から順次挿入し、チップ部品の挿入後、別の位置でキ
ャリアテープの上面をカバーテープで封入するチップ部
品収容装置であって、チップ部品を前記収容凹部に挿入
する機構は、先端面が吸着面となってチップ部品を着脱
可能に吸着するとともに、その先端面の寸法がチップ部
品の寸法よりも大きくなっている吸着ノズルであり、そ
の吸着ノズルを前記チップ部品挿入位置まで移送する移
送機構と、前記チップ部品挿入位置の近傍で前記キャリ
アテープの上面に近接して設置され、前記チップ部品挿
入位置で前記吸着ノズル先端面と協同して前記部品収容
凹部開口部の上部を覆う大きさの開口部を有するカバー
とを備えたことを特徴とするものである。
めに、本発明のチップ部品挿入装置は、部品収容凹部が
等間隔に形成されたキャリアテープを間欠送りしながら
チップ部品挿入位置で前記収容凹部内にチップ部品を上
方から順次挿入し、チップ部品の挿入後、別の位置でキ
ャリアテープの上面をカバーテープで封入するチップ部
品収容装置であって、チップ部品を前記収容凹部に挿入
する機構は、先端面が吸着面となってチップ部品を着脱
可能に吸着するとともに、その先端面の寸法がチップ部
品の寸法よりも大きくなっている吸着ノズルであり、そ
の吸着ノズルを前記チップ部品挿入位置まで移送する移
送機構と、前記チップ部品挿入位置の近傍で前記キャリ
アテープの上面に近接して設置され、前記チップ部品挿
入位置で前記吸着ノズル先端面と協同して前記部品収容
凹部開口部の上部を覆う大きさの開口部を有するカバー
とを備えたことを特徴とするものである。
【００１２】それにより、吸着ノズル先端面とカバーで
チップ部品の上部を被いながらキャリアテープを移動さ
せることにより、吸着ノズルの負圧が完全に無くなる前
にキャリアテープを移動しても、チップ部品がキャリア
テープの部品収容凹部から外れたり、正常な位置から動
いたりすることがなく、確実な部品挿入が可能になる。
また、従来装置と比べると部材としてはカバーを追加す
るだけでよく、装置に高精度の部品や高度な組立技術も
不要で、装置のコストアップも殆ど無視できる。さら
に、吸着ノズルの負圧を解除した後、完全に負圧がなく
なるまでキャリアテープの移動を待つ必要がないため、
包装時間の短縮に寄与するところ大である。
チップ部品の上部を被いながらキャリアテープを移動さ
せることにより、吸着ノズルの負圧が完全に無くなる前
にキャリアテープを移動しても、チップ部品がキャリア
テープの部品収容凹部から外れたり、正常な位置から動
いたりすることがなく、確実な部品挿入が可能になる。
また、従来装置と比べると部材としてはカバーを追加す
るだけでよく、装置に高精度の部品や高度な組立技術も
不要で、装置のコストアップも殆ど無視できる。さら
に、吸着ノズルの負圧を解除した後、完全に負圧がなく
なるまでキャリアテープの移動を待つ必要がないため、
包装時間の短縮に寄与するところ大である。
【００１３】第２の目的を達成するために、本発明のチ
ップ部品検査装置は被検査チップ部品を順次供給する供
給部、供給されたチップ部品の電気的特性を検査する検
査部、検査を終了したチップ部品を順次収容していく梱
包部、及び前記各部の間で被検査チップ部品を順次移送
する機構を少なくとも備えたチップ部品検査装置におい
て、前記梱包部として本発明のチップ部品収容装置を配
置したことを特徴とするものである。
ップ部品検査装置は被検査チップ部品を順次供給する供
給部、供給されたチップ部品の電気的特性を検査する検
査部、検査を終了したチップ部品を順次収容していく梱
包部、及び前記各部の間で被検査チップ部品を順次移送
する機構を少なくとも備えたチップ部品検査装置におい
て、前記梱包部として本発明のチップ部品収容装置を配
置したことを特徴とするものである。
【００１４】それにより、チップ部品検査装置におい
て、検査修了後のチップ部品の梱包を確実で高速に行な
うことができるようになり、チップ部品梱包過程が検査
装置全体の稼動速度の律速になることがない。
て、検査修了後のチップ部品の梱包を確実で高速に行な
うことができるようになり、チップ部品梱包過程が検査
装置全体の稼動速度の律速になることがない。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明のチップ部品収容装置にお
いて、吸着ノズルの動作、移送機構の動作及びキャリア
テープの送り動作を機械的に規定するようにしてもよ
く、制御装置を備えてタイミングを制御するようにして
もよい。制御装置により制御するようにすれば、チップ
部品収容動作を最適化するのが容易になる。
いて、吸着ノズルの動作、移送機構の動作及びキャリア
テープの送り動作を機械的に規定するようにしてもよ
く、制御装置を備えてタイミングを制御するようにして
もよい。制御装置により制御するようにすれば、チップ
部品収容動作を最適化するのが容易になる。
【００１６】吸着ノズル、移送機構及びキャリアテープ
の好ましい動作の例は、吸着ノズルが降下してその先端
がカバーの開口部に入ってチップ部品を部品収容凹部に
挿入した後、吸着ノズルによる吸着を解除するととも
に、キャリアテープの間欠送りを開始するものである。
それにより、チップ部品を部品収容凹部に確実に挿入す
ることができるようになる。
の好ましい動作の例は、吸着ノズルが降下してその先端
がカバーの開口部に入ってチップ部品を部品収容凹部に
挿入した後、吸着ノズルによる吸着を解除するととも
に、キャリアテープの間欠送りを開始するものである。
それにより、チップ部品を部品収容凹部に確実に挿入す
ることができるようになる。
【００１７】さらに、キャリアテープの間欠送りを開始
した後、キャリアテープの部品収容凹部がカバーの開口
部を通過し終えた後に吸着ノズルが上昇するように作動
させるのが好ましい。それにより、吸着ノズルに負圧が
残っていたとしても、部品収容凹部に挿入されたチップ
部品の上部がカバーで被われているので、吸着ノズルの
上昇に引っ張られて浮き上がることがなく、部品収容凹
部内に確実に収容することができる。
した後、キャリアテープの部品収容凹部がカバーの開口
部を通過し終えた後に吸着ノズルが上昇するように作動
させるのが好ましい。それにより、吸着ノズルに負圧が
残っていたとしても、部品収容凹部に挿入されたチップ
部品の上部がカバーで被われているので、吸着ノズルの
上昇に引っ張られて浮き上がることがなく、部品収容凹
部内に確実に収容することができる。
【００１８】カバーの開口部は吸着ノズル先端面が入る
大きさをもつものであればよく、一部が開いた開口でも
よく、又はカバーに開けられた孔とすることもできる。
孔の場合は加工が容易で、装置への組立ても容易であ
る。
大きさをもつものであればよく、一部が開いた開口でも
よく、又はカバーに開けられた孔とすることもできる。
孔の場合は加工が容易で、装置への組立ても容易であ
る。
【００１９】カバーの開口部はその上縁が上方に向かっ
て広がる傾斜面をもっていることが好ましい。それによ
り、吸着ノズル先端面を部品収容凹部に導くのが容易に
なる。吸着ノズル先端面の寸法はチップ部品の寸法より
も大きいものであるが、さらに、キャリアテープ進行方
向においては、吸着ノズル先端面の寸法が部品収容凹部
開口部の寸法よりも大きくなっているように設定するこ
とができる。それにより吸着ノズルを降下させていって
その先端面キャリアテープに接触したとしてもチップ部
品だけを部品収容凹部内に挿入できるようになり、吸着
ノズルを降下させる機構に高精度が要求されなくなり、
このチップ部品収容装置の製造コストを低下させること
ができる。
て広がる傾斜面をもっていることが好ましい。それによ
り、吸着ノズル先端面を部品収容凹部に導くのが容易に
なる。吸着ノズル先端面の寸法はチップ部品の寸法より
も大きいものであるが、さらに、キャリアテープ進行方
向においては、吸着ノズル先端面の寸法が部品収容凹部
開口部の寸法よりも大きくなっているように設定するこ
とができる。それにより吸着ノズルを降下させていって
その先端面キャリアテープに接触したとしてもチップ部
品だけを部品収容凹部内に挿入できるようになり、吸着
ノズルを降下させる機構に高精度が要求されなくなり、
このチップ部品収容装置の製造コストを低下させること
ができる。
【００２０】吸着ノズルをチップ部品挿入位置まで移送
する移送機構の一例は、吸着ノズルをチップ部品挿入位
置の上方に移送する移動手段と、その位置で吸着ノズル
を上下動させる昇降手段とを備えたものである。そのよ
うな移送機構は多くの分野で利用されており、実現が容
易である。
する移送機構の一例は、吸着ノズルをチップ部品挿入位
置の上方に移送する移動手段と、その位置で吸着ノズル
を上下動させる昇降手段とを備えたものである。そのよ
うな移送機構は多くの分野で利用されており、実現が容
易である。
【００２１】移送機構と吸着ノズルの組が複数組備えら
れ、間欠送りされるキャリアテープに形成された一連の
収容凹部に複数の吸着ノズルからチップ部品が順次挿入
されるようにすることができる。その場合、単位時間当
たりに収容できるチップ部品の数が多くなり、稼動率が
上がる。
れ、間欠送りされるキャリアテープに形成された一連の
収容凹部に複数の吸着ノズルからチップ部品が順次挿入
されるようにすることができる。その場合、単位時間当
たりに収容できるチップ部品の数が多くなり、稼動率が
上がる。
【００２２】本発明のチップ部品検査装置において、被
検査チップ部品を順次移送する機構は平面内で回転する
ロータと、ロータに上下移動可能に支持されてチップ部
品を着脱可能に吸着する吸着ノズルとを備えたものと
し、供給部、検査部、梱包部などの各部をロータの周囲
に配置することができる。被検査チップ部品を順次移送
するこのような機構は回転機構と昇降機構により実現す
ることができ、コンパクトな機構とすることができる。
検査チップ部品を順次移送する機構は平面内で回転する
ロータと、ロータに上下移動可能に支持されてチップ部
品を着脱可能に吸着する吸着ノズルとを備えたものと
し、供給部、検査部、梱包部などの各部をロータの周囲
に配置することができる。被検査チップ部品を順次移送
するこのような機構は回転機構と昇降機構により実現す
ることができ、コンパクトな機構とすることができる。
【００２３】その場合、吸着ノズルはロータの周囲に沿
って等間隔に複数台が配置されており、供給部、検査
部、梱包部などの各部はロータの周囲で吸着ノズルの台
数に等しい数に等間隔に設定された位置のいずれかに配
置されているものとすることができる。それにより、ロ
ータを間欠的に回転させていくことにより、供給部、検
査部、梱包部などの複数の部分で同時に処理をすること
ができ、稼動率が向上する。
って等間隔に複数台が配置されており、供給部、検査
部、梱包部などの各部はロータの周囲で吸着ノズルの台
数に等しい数に等間隔に設定された位置のいずれかに配
置されているものとすることができる。それにより、ロ
ータを間欠的に回転させていくことにより、供給部、検
査部、梱包部などの複数の部分で同時に処理をすること
ができ、稼動率が向上する。
【００２４】その場合、ロータに設けられた吸着ノズル
がチップ部品収容装置における吸着ノズルを兼ねている
ものとすることができる。それにより、チップ部品検査
装置の構造を簡略化することができる。
がチップ部品収容装置における吸着ノズルを兼ねている
ものとすることができる。それにより、チップ部品検査
装置の構造を簡略化することができる。
【００２５】被検査チップ部品が移送される１つの位置
には検査部の検査結果に基づいて不良品と判定されたチ
ップ部品を破棄する良品／不良品選別部がさらに設けら
れ、梱包部は良品と判定されたチップ部品のみを本発明
のチップ部品収容装置に収容するように構成するのが好
ましい。それにより、チップ部品検査装置で検査ずみの
チップ部品を収容したチップ部品収容装置には良品のチ
ップ部品のみが収容されていることになり、チップ部品
を直ちに次のステップに提供することができるようにな
る。
には検査部の検査結果に基づいて不良品と判定されたチ
ップ部品を破棄する良品／不良品選別部がさらに設けら
れ、梱包部は良品と判定されたチップ部品のみを本発明
のチップ部品収容装置に収容するように構成するのが好
ましい。それにより、チップ部品検査装置で検査ずみの
チップ部品を収容したチップ部品収容装置には良品のチ
ップ部品のみが収容されていることになり、チップ部品
を直ちに次のステップに提供することができるようにな
る。
【００２６】被検査チップ部品が移送される１つの位置
には吸着ノズルに吸着されたチップ部品の吸着姿勢を検
知する姿勢検知機構がさらに設けられ、ロータの周囲に
沿って吸着ノズルが移送される他の１つの位置にはその
姿勢検知機構により検知されたチップ部品の吸着姿勢を
キャリアテープの収容凹部に収容するのに適した姿勢に
修正する修正機構がさらに設けられていることが好まし
い。それにより、キャリアテープの収容凹部へのチップ
部品の収容がより確実になされるようになる。
には吸着ノズルに吸着されたチップ部品の吸着姿勢を検
知する姿勢検知機構がさらに設けられ、ロータの周囲に
沿って吸着ノズルが移送される他の１つの位置にはその
姿勢検知機構により検知されたチップ部品の吸着姿勢を
キャリアテープの収容凹部に収容するのに適した姿勢に
修正する修正機構がさらに設けられていることが好まし
い。それにより、キャリアテープの収容凹部へのチップ
部品の収容がより確実になされるようになる。
【００２７】被検査チップ部品の一例は下面にボール端
子をもった小型のチップ部品である。その場合、吸着ノ
ズルはボール端子面が下向きになるようにチップ部品を
吸着するものである。その場合、姿勢検知機構の一例は
ボール端子の位置に基づいてチップ部品の吸着姿勢を検
知するようになっているものである。それにより、チッ
プ・サイズ・パッケージのような小型のチップ部品を正
しくキャリアテープに収容できるようになる。
子をもった小型のチップ部品である。その場合、吸着ノ
ズルはボール端子面が下向きになるようにチップ部品を
吸着するものである。その場合、姿勢検知機構の一例は
ボール端子の位置に基づいてチップ部品の吸着姿勢を検
知するようになっているものである。それにより、チッ
プ・サイズ・パッケージのような小型のチップ部品を正
しくキャリアテープに収容できるようになる。
【００２８】被検査チップ部品が下面にボール端子をも
った小型のチップ部品である場合、検査部はチップ部品
の電気的特性を検査するためにボール端子と接触するプ
ローブを備えているものとすることができる。そして、
姿勢検知機構でボール端子の位置を検知するようにし、
その検知されたボール端子の位置にあわせて検査部のプ
ローブの位置を修正するプローブ位置修正機構を備えて
いるようにすることができる。それにより、チップ・サ
イズ・パッケージのような小型のチップ部品を正しく検
査できるようになる。
った小型のチップ部品である場合、検査部はチップ部品
の電気的特性を検査するためにボール端子と接触するプ
ローブを備えているものとすることができる。そして、
姿勢検知機構でボール端子の位置を検知するようにし、
その検知されたボール端子の位置にあわせて検査部のプ
ローブの位置を修正するプローブ位置修正機構を備えて
いるようにすることができる。それにより、チップ・サ
イズ・パッケージのような小型のチップ部品を正しく検
査できるようになる。
【００２９】
【実施例】図１（ａ）に本発明のチップ部品収容装置の
一実施例の主要部を示す。このチップ部品収容装置は、
収容凹部をもつテープキャリアにチップ部品を収容し、
カバーテープで封入するものである。この種のチップ部
品収容装置はテーピングユニットと称されることがあ
る。
一実施例の主要部を示す。このチップ部品収容装置は、
収容凹部をもつテープキャリアにチップ部品を収容し、
カバーテープで封入するものである。この種のチップ部
品収容装置はテーピングユニットと称されることがあ
る。
【００３０】テープキャリア２はチップ部品を収容する
ための部品収容凹部４が長手方向に沿って一列に等間隔
に形成された樹脂製のものである。テープキャリア４は
リールに巻かれて供給され、リールから解かれながら間
欠送りされ、チップ部品を収容した後はカバーテープで
部品収容凹部４が封入された後、別のリールに巻き取ら
れていく。Ｐで示された位置はチップ部品挿入位置であ
り、その位置Ｐに部品収容凹部４が位置決めされてテー
プキャリア２の移送がいったん停止され、チップ部品６
が部品収容凹部４に挿入される。
ための部品収容凹部４が長手方向に沿って一列に等間隔
に形成された樹脂製のものである。テープキャリア４は
リールに巻かれて供給され、リールから解かれながら間
欠送りされ、チップ部品を収容した後はカバーテープで
部品収容凹部４が封入された後、別のリールに巻き取ら
れていく。Ｐで示された位置はチップ部品挿入位置であ
り、その位置Ｐに部品収容凹部４が位置決めされてテー
プキャリア２の移送がいったん停止され、チップ部品６
が部品収容凹部４に挿入される。
【００３１】チップ部品６を部品収容凹部４に移送する
ための機構として吸着ノズル８が設けられている。吸着
ノズル８はその先端面が吸着面となってチップ部品６を
着脱可能に装着することができる。吸着ノズル８には先
端の吸着面１０に通ずる吸着孔１２が設けられており、
吸着孔１２は図には現れていない吸引ポンプに接続され
ており、その吸引ポンプによる吸引はソレノイドバルブ
のような開閉機構によって吸引と大気への開放が切り換
えられるようになっている。吸着ノズル８は円柱状であ
り、その先端の吸着面１０は円形である。
ための機構として吸着ノズル８が設けられている。吸着
ノズル８はその先端面が吸着面となってチップ部品６を
着脱可能に装着することができる。吸着ノズル８には先
端の吸着面１０に通ずる吸着孔１２が設けられており、
吸着孔１２は図には現れていない吸引ポンプに接続され
ており、その吸引ポンプによる吸引はソレノイドバルブ
のような開閉機構によって吸引と大気への開放が切り換
えられるようになっている。吸着ノズル８は円柱状であ
り、その先端の吸着面１０は円形である。
【００３２】チップ部品６は例えば一方の面にボール端
子が配置されたチップ・サイズ・パッケージであり、そ
のボール端子が配置された面とは反対側の面が吸着面１
０に吸着される。吸着面１０の寸法は対象となるチップ
部品６の寸法よりも大きく設定されている。また、吸着
面１０のテープキャリア進行方向における寸法は、部品
収容凹部４のテープキャリア進行方向における寸法より
も大きく設定されている。
子が配置されたチップ・サイズ・パッケージであり、そ
のボール端子が配置された面とは反対側の面が吸着面１
０に吸着される。吸着面１０の寸法は対象となるチップ
部品６の寸法よりも大きく設定されている。また、吸着
面１０のテープキャリア進行方向における寸法は、部品
収容凹部４のテープキャリア進行方向における寸法より
も大きく設定されている。
【００３３】チップ部品挿入位置Ｐの近傍においては、
キャリアテープ２の上面に近接して押えカバー１４が設
けられている。押えカバー１４には、挿入位置Ｐにおい
て孔１６が設けられており、その孔１６のおきさは吸着
ノズル８の先端面１０よりも僅かに大きい程度である。
すなわち、この押えカバー１４と吸着ノズル８の先端面
が協同してテープキャリアの部品収容凹部４の上部を覆
うように設定されている。
キャリアテープ２の上面に近接して押えカバー１４が設
けられている。押えカバー１４には、挿入位置Ｐにおい
て孔１６が設けられており、その孔１６のおきさは吸着
ノズル８の先端面１０よりも僅かに大きい程度である。
すなわち、この押えカバー１４と吸着ノズル８の先端面
が協同してテープキャリアの部品収容凹部４の上部を覆
うように設定されている。
【００３４】孔１６は吸着ノズル８の先端を囲むような
円形であるが、必ずしも孔である必要はなく、例えばキ
ャリアテープ進行方向に対し、吸着ノズル８の前後から
吸着ノズル８の先端面を挟むような２つの部材からなる
ものでもよい。２つの押えカバーの部材により形成され
る開口は、部品収容凹部４の幅（紙面垂直方向の幅）に
わたる範囲においては吸着ノズル先端面１０と協同して
部品収容凹部４上を被っていればよく、幅方向に対しそ
れよりも外側領域においては押えカバー１４は存在しな
くてもよい。
円形であるが、必ずしも孔である必要はなく、例えばキ
ャリアテープ進行方向に対し、吸着ノズル８の前後から
吸着ノズル８の先端面を挟むような２つの部材からなる
ものでもよい。２つの押えカバーの部材により形成され
る開口は、部品収容凹部４の幅（紙面垂直方向の幅）に
わたる範囲においては吸着ノズル先端面１０と協同して
部品収容凹部４上を被っていればよく、幅方向に対しそ
れよりも外側領域においては押えカバー１４は存在しな
くてもよい。
【００３５】押えカバー１４の開口が実施例のような孔
１６である場合には、装置の組立てが容易であり、テー
プキャリア２との隙間を維持するのも容易である。孔１
６の上側の縁は、図のように上方に向かって広がる傾斜
面をもつテーパー状となるように面取りが施されてい
る。孔１６がこのようにテーパー状になっていることに
より、吸着ノズル先端面１０をキャリアテープ２の部品
収容凹部４上に導くのが容易になる。キャリアテープ２
と押えカバー１４の隙間は小さい方が好ましいが、組立
て制度や維持の面から１０μｍ程度が適当である。
１６である場合には、装置の組立てが容易であり、テー
プキャリア２との隙間を維持するのも容易である。孔１
６の上側の縁は、図のように上方に向かって広がる傾斜
面をもつテーパー状となるように面取りが施されてい
る。孔１６がこのようにテーパー状になっていることに
より、吸着ノズル先端面１０をキャリアテープ２の部品
収容凹部４上に導くのが容易になる。キャリアテープ２
と押えカバー１４の隙間は小さい方が好ましいが、組立
て制度や維持の面から１０μｍ程度が適当である。
【００３６】吸着ノズル８は別の場所でチップ部品６を
その吸着面１０に吸引して吸着し、位置Ｐまで移送さ
れ、その位置で垂直方向に降下してチップ部品６を部品
収容凹部４内に挿入する。挿入終了後、吸着ノズル８は
垂直方向に上昇させられ、新たなチップ部品を吸着する
ために別の場所へ移送される。吸着ノズル８のこのよう
な移送機構の一例は、位置Ｐの上方と他の１又は複数の
位置の間で水平方向に移動させる移動手段と、位置Ｐで
上下方向に移動させる昇降手段とからなるものである。
移送機構は他の方法によるものであってもよい。
その吸着面１０に吸引して吸着し、位置Ｐまで移送さ
れ、その位置で垂直方向に降下してチップ部品６を部品
収容凹部４内に挿入する。挿入終了後、吸着ノズル８は
垂直方向に上昇させられ、新たなチップ部品を吸着する
ために別の場所へ移送される。吸着ノズル８のこのよう
な移送機構の一例は、位置Ｐの上方と他の１又は複数の
位置の間で水平方向に移動させる移動手段と、位置Ｐで
上下方向に移動させる昇降手段とからなるものである。
移送機構は他の方法によるものであってもよい。
【００３７】吸着ノズル８の移送機構は、チップ部品収
容装置に特有のものであるようにすることもできるし、
このチップ部品収容装置が検査装置など他の装置に組み
込まれる場合には、その組み込まれた他の装置における
吸着ノズルをチップ部品収容装置の吸着ノズルとして共
用し、その装置における移送機構と共用することもでき
る。
容装置に特有のものであるようにすることもできるし、
このチップ部品収容装置が検査装置など他の装置に組み
込まれる場合には、その組み込まれた他の装置における
吸着ノズルをチップ部品収容装置の吸着ノズルとして共
用し、その装置における移送機構と共用することもでき
る。
【００３８】吸着ノズル８は１台のみを備えていてもよ
く、複数台を備え、チップ部品を順次キャリアテープ２
に挿入するように動作するものであってもよい。高速動
作の点からは複数台の吸着ノズル８を備えている方が好
ましい。
く、複数台を備え、チップ部品を順次キャリアテープ２
に挿入するように動作するものであってもよい。高速動
作の点からは複数台の吸着ノズル８を備えている方が好
ましい。
【００３９】次に、この実施例のチップ部品収容装置の
動作を図１の（ａ）〜（ｄ）により説明する。吸着ノズ
ル８の先端面１０にチップ部品６を負圧吸引した状態
で、吸着ノズル８がキャリアテープ２の部品収容凹部４
上方に移動させられ、その後、吸着ノズル８は降下を開
始する（（ａ））。
動作を図１の（ａ）〜（ｄ）により説明する。吸着ノズ
ル８の先端面１０にチップ部品６を負圧吸引した状態
で、吸着ノズル８がキャリアテープ２の部品収容凹部４
上方に移動させられ、その後、吸着ノズル８は降下を開
始する（（ａ））。
【００４０】チップ部品６がキャリアテープ２の部品収
容凹部４に入ると、吸着ノズル８の吸引が解除される
（（ｂ））。吸引が解除されるとチップ部品６が部品収
容凹部４に落ち、キャリアテープ２が矢印方向に移動を
開始する。チップ部品６は押えカバー１４板と吸着ノズ
ル８の先端面１０で上面を押えられているため、部品収
容凹部４から飛び出すことなく、押えカバー１４の下に
入る（（ｃ））。
容凹部４に入ると、吸着ノズル８の吸引が解除される
（（ｂ））。吸引が解除されるとチップ部品６が部品収
容凹部４に落ち、キャリアテープ２が矢印方向に移動を
開始する。チップ部品６は押えカバー１４板と吸着ノズ
ル８の先端面１０で上面を押えられているため、部品収
容凹部４から飛び出すことなく、押えカバー１４の下に
入る（（ｃ））。
【００４１】部品収容凹部４の開口部が完全に押えカバ
ー１４の下に入った後、吸着ノズル８が上昇させられる
（（ｄ））。このとき、吸着ノズル８の吸着孔１２に負
圧が少し残っていても、チップ部品６は既に押えカバー
１４の下に入っているため、チップ部品６を誤って吸い
上げ、部品収容凹部４から飛び出させてしまったり、正
常な位置から移動させたりすることはない。吸着ノズル
８は所定の位置まで上昇し、次の工程に進む。
ー１４の下に入った後、吸着ノズル８が上昇させられる
（（ｄ））。このとき、吸着ノズル８の吸着孔１２に負
圧が少し残っていても、チップ部品６は既に押えカバー
１４の下に入っているため、チップ部品６を誤って吸い
上げ、部品収容凹部４から飛び出させてしまったり、正
常な位置から移動させたりすることはない。吸着ノズル
８は所定の位置まで上昇し、次の工程に進む。
【００４２】なお、図示は省略されているが、キャリア
テープ２にチップ部品６を収容した後、他の場所で部品
収容凹部４を覆うようにキャリアテープ２上にカバーテ
ープが被せられ、熱圧着によりそのカバーテープがキャ
リアテープ２に融着されてチップ部品６が部品収容凹部
４内に封入される。キャリアテープ２とカバーテープは
熱圧着可能なように、ポリエチレンその他の樹脂材料か
らなっている。また、図には現れていないが、キャリア
テープ２には制御性よく送ることができるように長手方
向に沿って等間隔の送り孔が設けられている。
テープ２にチップ部品６を収容した後、他の場所で部品
収容凹部４を覆うようにキャリアテープ２上にカバーテ
ープが被せられ、熱圧着によりそのカバーテープがキャ
リアテープ２に融着されてチップ部品６が部品収容凹部
４内に封入される。キャリアテープ２とカバーテープは
熱圧着可能なように、ポリエチレンその他の樹脂材料か
らなっている。また、図には現れていないが、キャリア
テープ２には制御性よく送ることができるように長手方
向に沿って等間隔の送り孔が設けられている。
【００４３】次に、図１に示した実施例のチップ部品収
容装置を検査済みのチップ部品を収容する梱包部として
組み込んだチップ部品検査装置の一実施例を図２から図
５により説明する。図２は概略平面図、図３は平面図、
図４は図３におけるＹ方向から見た正面図、図５は図３
におけるＸ方向から見た側面図である。
容装置を検査済みのチップ部品を収容する梱包部として
組み込んだチップ部品検査装置の一実施例を図２から図
５により説明する。図２は概略平面図、図３は平面図、
図４は図３におけるＹ方向から見た正面図、図５は図３
におけるＸ方向から見た側面図である。
【００４４】２０はロータであり、平面内でロータ２０
の周囲には８つに等分割されたステージ〜が配置さ
れている。ロータ２０には回転中心からの同一円周上
で、８等分された位置にそれぞれ吸着ノズル８が設けら
れている。吸着ノズル８は図１の実施例における吸着ノ
ズル８を兼用したものである。ロータ２０は矢印で示さ
れるように平面内で時計方向に回転し、吸着ノズル８が
８つのステージ〜に順次停止するように間欠駆動さ
れる。
の周囲には８つに等分割されたステージ〜が配置さ
れている。ロータ２０には回転中心からの同一円周上
で、８等分された位置にそれぞれ吸着ノズル８が設けら
れている。吸着ノズル８は図１の実施例における吸着ノ
ズル８を兼用したものである。ロータ２０は矢印で示さ
れるように平面内で時計方向に回転し、吸着ノズル８が
８つのステージ〜に順次停止するように間欠駆動さ
れる。
【００４５】吸着ノズル８は図４又は図５に示されるよ
うに、ロータ２０に対し、垂直方向に上下動可能なよう
に、昇降機構２２を介して取りつけられている。ロータ
２０は吸着ノズル８がステージ〜の位置にきた時に
一時的に停止し、その後、昇降機構２２によって吸着ノ
ズル８が降下させられ、所定の処理の後、元の位置まで
上昇させられる。その後、ロータ２０が再度回転して吸
着ノズル８を次のステージへ移送する。
うに、ロータ２０に対し、垂直方向に上下動可能なよう
に、昇降機構２２を介して取りつけられている。ロータ
２０は吸着ノズル８がステージ〜の位置にきた時に
一時的に停止し、その後、昇降機構２２によって吸着ノ
ズル８が降下させられ、所定の処理の後、元の位置まで
上昇させられる。その後、ロータ２０が再度回転して吸
着ノズル８を次のステージへ移送する。
【００４６】図には表れていないが、各吸着ノズル８は
吸引ポンプに接続されており、ソレノイドバルブにより
吸引と大気への開放の切換えがなされるようなってい
る。ステージの位置には被検査チップ部品を順次供給
する供給部としてテープマガジン３０が配置されてい
る。被検査チップ部品はエンボス加工により部品収容凹
部が形成されたキャリアテープの部品収容凹部にそれぞ
れ収容され、カバーテープにより封入されている。被検
査チップ部品を収容したキャリアテープは、図４に示さ
れるように、リール３２に巻かれた状態でテープマガジ
ン３０に装着される。キャリアテープはリール３２から
引き出され、カバーテープが上側になるようにステージ
方向に間欠送りされていく。ステージ１で吸着ノズル
８が降下する位置は部品供給位置であり、カバーテープ
３４はその部品供給位置の手前で剥がされて別のリール
３６に巻き取られていく。カバーテープ３４は熱圧着に
よりキャリアテープに融着されているだけであり、容易
に引き剥がすことができる。カバーテープ３４が引き剥
がされた後のキャリアテープには、その部品収容凹部に
被検査チップ部品が入り上部が開口した状態でステージ
１の部品供給位置へ移送される。部品供給位置では吸着
ノズル８がチップ部品上に降下し、その先端吸着面にチ
ップ部品が負圧吸着され、その後吸着ノズル８が昇降機
構２２により上昇させられる。チップ部品が取り出され
た後のキャリアテープは、テープマガジンの他の場所に
装着されたリールに巻き取られていく。
吸引ポンプに接続されており、ソレノイドバルブにより
吸引と大気への開放の切換えがなされるようなってい
る。ステージの位置には被検査チップ部品を順次供給
する供給部としてテープマガジン３０が配置されてい
る。被検査チップ部品はエンボス加工により部品収容凹
部が形成されたキャリアテープの部品収容凹部にそれぞ
れ収容され、カバーテープにより封入されている。被検
査チップ部品を収容したキャリアテープは、図４に示さ
れるように、リール３２に巻かれた状態でテープマガジ
ン３０に装着される。キャリアテープはリール３２から
引き出され、カバーテープが上側になるようにステージ
方向に間欠送りされていく。ステージ１で吸着ノズル
８が降下する位置は部品供給位置であり、カバーテープ
３４はその部品供給位置の手前で剥がされて別のリール
３６に巻き取られていく。カバーテープ３４は熱圧着に
よりキャリアテープに融着されているだけであり、容易
に引き剥がすことができる。カバーテープ３４が引き剥
がされた後のキャリアテープには、その部品収容凹部に
被検査チップ部品が入り上部が開口した状態でステージ
１の部品供給位置へ移送される。部品供給位置では吸着
ノズル８がチップ部品上に降下し、その先端吸着面にチ
ップ部品が負圧吸着され、その後吸着ノズル８が昇降機
構２２により上昇させられる。チップ部品が取り出され
た後のキャリアテープは、テープマガジンの他の場所に
装着されたリールに巻き取られていく。
【００４７】この実施例では、被検査部品であるチップ
部品として、裏面に電極として半田のボール端子をもつ
チップ・サイズ・パッケージされた半導体装置を取り上
げる。ステージではチップ部品はボール端子の面が下
になるようにして、その背面側が吸着ノズルの吸着面に
吸着される。
部品として、裏面に電極として半田のボール端子をもつ
チップ・サイズ・パッケージされた半導体装置を取り上
げる。ステージではチップ部品はボール端子の面が下
になるようにして、その背面側が吸着ノズルの吸着面に
吸着される。
【００４８】ステージには、図には示されていない
が、下方向からチップ部品のボール端子位置を検知する
位置センサが配置されている。この位置センサは、例え
ばＣＣＤカメラその他の撮像装置を備えており、撮像し
たボール端子位置を画像処理により検知する。
が、下方向からチップ部品のボール端子位置を検知する
位置センサが配置されている。この位置センサは、例え
ばＣＣＤカメラその他の撮像装置を備えており、撮像し
たボール端子位置を画像処理により検知する。
【００４９】ステージには、図４に示されるように、
吸着ノズル８に吸着された状態のチップ部品のボール端
子と接触してそのチップ部品の電気的特性を検査する検
査部４０が配置されている。検査部４０にはチップ部品
のボール端子と接触するプローブを備えたプローブカー
ド４２が搭載されている。プローブカード４２はＸＹＺ
ステージ４４に取りつけられており、ＸＹＺステージ４
４はステージで位置センサが検知したチップ部品のボ
ール端子位置に基づいて、ステージで吸着ノズル８が
その吸着しているチップ部品を降下させてきたときにプ
ローブカード４２のプローブ先端とチップ部品のボール
端子が正しく接触するように、プローブカード４２の前
後左右位置を調節する。ＸＹＺステージ４４は、必要に
応じてプローブカード４２の高さも調節することができ
る。
吸着ノズル８に吸着された状態のチップ部品のボール端
子と接触してそのチップ部品の電気的特性を検査する検
査部４０が配置されている。検査部４０にはチップ部品
のボール端子と接触するプローブを備えたプローブカー
ド４２が搭載されている。プローブカード４２はＸＹＺ
ステージ４４に取りつけられており、ＸＹＺステージ４
４はステージで位置センサが検知したチップ部品のボ
ール端子位置に基づいて、ステージで吸着ノズル８が
その吸着しているチップ部品を降下させてきたときにプ
ローブカード４２のプローブ先端とチップ部品のボール
端子が正しく接触するように、プローブカード４２の前
後左右位置を調節する。ＸＹＺステージ４４は、必要に
応じてプローブカード４２の高さも調節することができ
る。
【００５０】ステージには、図３に示されるように、
吸着ノズル８に吸着された状態のチップ部品の吸着位置
を修正する位置修正機構５０が配置されている。位置修
正機構５０は、ステージで位置センサが検知したチッ
プ部品のボール端子位置に基づいてチップ部品の吸着位
置を判定し、後述の梱包部６０でキャリアテープに収容
するのに不都合な程度に位置がずれている場合には、チ
ップ部品に横から力を加えることにより、チップ部品の
吸着位置を機械的に修正する。
吸着ノズル８に吸着された状態のチップ部品の吸着位置
を修正する位置修正機構５０が配置されている。位置修
正機構５０は、ステージで位置センサが検知したチッ
プ部品のボール端子位置に基づいてチップ部品の吸着位
置を判定し、後述の梱包部６０でキャリアテープに収容
するのに不都合な程度に位置がずれている場合には、チ
ップ部品に横から力を加えることにより、チップ部品の
吸着位置を機械的に修正する。
【００５１】ステージは、ここでは特に特定の用途に
は使用していないが、必要に応じて処理を追加できるよ
うに設けられた予備のステージである。ステージには
良品／不良品選別部５５が配置されている。良品／不良
品選別部５５では、ステージにおける検査の結果、そ
のチップ部品が不良品であると判定された場合、ここで
吸着ノズル８の吸着が解除され、不良品のチップ部品が
ドレインへ破棄される。
は使用していないが、必要に応じて処理を追加できるよ
うに設けられた予備のステージである。ステージには
良品／不良品選別部５５が配置されている。良品／不良
品選別部５５では、ステージにおける検査の結果、そ
のチップ部品が不良品であると判定された場合、ここで
吸着ノズル８の吸着が解除され、不良品のチップ部品が
ドレインへ破棄される。
【００５２】ステージには、図５に示されるように、
検査の結果良品であると判定されステージで吸着位置
が修正されたチップ部品をキャリアテープに収容する梱
包部６０が配置されている。梱包部６０は図１の実施例
で説明したチップ部品収容装置である。チップ部品収容
装置６０は、リールから供給されたキャリアテープ２が
間欠送りされてチップ部品挿入位置Ｐへ送られる。位置
Ｐでは吸着ノズル８が降下し、キャリアテープ２の部品
収容凹部４へチップ部品を挿入し、吸着を解除して部品
を部品収容凹部４に収容する。その要部の詳細は図１の
実施例で示した通りである。
検査の結果良品であると判定されステージで吸着位置
が修正されたチップ部品をキャリアテープに収容する梱
包部６０が配置されている。梱包部６０は図１の実施例
で説明したチップ部品収容装置である。チップ部品収容
装置６０は、リールから供給されたキャリアテープ２が
間欠送りされてチップ部品挿入位置Ｐへ送られる。位置
Ｐでは吸着ノズル８が降下し、キャリアテープ２の部品
収容凹部４へチップ部品を挿入し、吸着を解除して部品
を部品収容凹部４に収容する。その要部の詳細は図１の
実施例で示した通りである。
【００５３】チップ部品を収容したキャリアテープ２上
には、部品収容凹部４を被うようにリール６２からカバ
ーテープが供給され、熱圧着によりキャリアテープ２と
カバーテープ６２が融着されてチップ部品が部品収容凹
部４内に封入される。その後、キャリアテープ２は巻取
部のリール６４に巻き取られていく。ステージもここ
では特に特定の用途には使用していないが、必要に応じ
て処理を追加できるように設けられた予備のステージで
ある。
には、部品収容凹部４を被うようにリール６２からカバ
ーテープが供給され、熱圧着によりキャリアテープ２と
カバーテープ６２が融着されてチップ部品が部品収容凹
部４内に封入される。その後、キャリアテープ２は巻取
部のリール６４に巻き取られていく。ステージもここ
では特に特定の用途には使用していないが、必要に応じ
て処理を追加できるように設けられた予備のステージで
ある。
【００５４】次にこのチップ部品検査装置の実施例の動
作について説明する。被検査チップ部品はキャリアテー
プに封入されリール３２に巻かれた状態でテープマガジ
ン３０に装着されて供給される。被検査チップ部品はス
テージの部品供給位置でボール端子の面が下になるよ
うにして、その背面側が吸着ノズル８の吸着面に吸着さ
れる。
作について説明する。被検査チップ部品はキャリアテー
プに封入されリール３２に巻かれた状態でテープマガジ
ン３０に装着されて供給される。被検査チップ部品はス
テージの部品供給位置でボール端子の面が下になるよ
うにして、その背面側が吸着ノズル８の吸着面に吸着さ
れる。
【００５５】ロータ２０が４５°回転して被検査チップ
部品がステージに送られ、位置センサによりその被検
査チップ部品のボール端子位置が検知される。
部品がステージに送られ、位置センサによりその被検
査チップ部品のボール端子位置が検知される。
【００５６】さらにロータ２０が４５°回転して被検査
チップ部品がステージに送られ、検査部４０により被
検査チップ部品の電気的特性が検査される。
チップ部品がステージに送られ、検査部４０により被
検査チップ部品の電気的特性が検査される。
【００５７】さらにロータ２０が４５°回転して被検査
チップ部品がステージに送られ、ステージで位置セ
ンサが検知した被検査チップ部品のボール端子位置に基
づいて位置修正機構５０により被検査チップ部品の吸着
位置が修正される。
チップ部品がステージに送られ、ステージで位置セ
ンサが検知した被検査チップ部品のボール端子位置に基
づいて位置修正機構５０により被検査チップ部品の吸着
位置が修正される。
【００５８】さらにロータ２０が４５°回転して被検査
チップ部品がステージに送られるが、ここでは特に処
理はなされない。
チップ部品がステージに送られるが、ここでは特に処
理はなされない。
【００５９】さらにロータ２０が４５°回転して被検査
チップ部品がステージに送られ、ステージにおける
検査の結果、不良品であると判定された場合にはここで
その被検査チップ部品がドレインへ破棄される。
チップ部品がステージに送られ、ステージにおける
検査の結果、不良品であると判定された場合にはここで
その被検査チップ部品がドレインへ破棄される。
【００６０】さらにロータ２０が４５°回転し、被検査
チップ部品が良品であると判定されて吸着ノズル８に吸
着されている場合には梱包部６０でキャリアテープ２に
収容される。
チップ部品が良品であると判定されて吸着ノズル８に吸
着されている場合には梱包部６０でキャリアテープ２に
収容される。
【００６１】さらにロータ２０が４５°回転してその吸
着ノズル８がステージに送られるが、ここでは特に処
理はなされない。
着ノズル８がステージに送られるが、ここでは特に処
理はなされない。
【００６２】さらにロータ２０が４５°回転してその吸
着ノズル８がステージに送られ、新たな被検査チップ
部品を吸着する。
着ノズル８がステージに送られ、新たな被検査チップ
部品を吸着する。
【００６３】ここでは１台の吸着ノズル８を順次追跡し
ながら動作を説明したが、ロータ２０の４５°の回転ご
とに８台の吸着ノズル８に吸着された８個の被検査チッ
プ部品が同時に処理されていき、良品と判定されたもの
は順次キャリアテープ２に収容されていく。以上、本発
明の実施例を説明したが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲
内で種々の変更が可能である。
ながら動作を説明したが、ロータ２０の４５°の回転ご
とに８台の吸着ノズル８に吸着された８個の被検査チッ
プ部品が同時に処理されていき、良品と判定されたもの
は順次キャリアテープ２に収容されていく。以上、本発
明の実施例を説明したが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲
内で種々の変更が可能である。
【００６４】
【発明の効果】本発明のチップ部品収容装置では、チッ
プ部品を収容凹部に挿入する吸着ノズルの先端吸着面の
寸法をチップ部品の寸法よりも大きくし、チップ部品挿
入位置で吸着ノズル先端面と協同して部品収容凹部開口
部の上部を覆う大きさの開口部を有するカバーを設けた
ので、吸着ノズル先端面とカバーでチップ部品の上部を
被いながらキャリアテープを移動させることにより、吸
着ノズルの負圧が完全に無くなる前にキャリアテープを
移動しても、チップ部品がキャリアテープの部品収容凹
部から外れたり、正常な位置から動いたりすることがな
く、確実な部品挿入が可能になる。また、従来装置と比
べると部材としてはカバーを追加するだけでよく、装置
に高精度の部品や高度な組立技術も不要で、装置のコス
トアップも殆ど無視できる。さらに、吸着ノズルの負圧
を解除した後、完全に負圧がなくなるまでキャリアテー
プの移動を待つ必要がないため、包装時間の短縮に寄与
するところ大である。本発明のチップ部品検査装置は、
検査を終了したチップ部品を順次収容していく梱包部に
本発明のチップ部品収容装置を配置したので、検査修了
後のチップ部品の梱包を確実で高速に行なうことができ
るようになり、チップ部品梱包過程が検査装置全体の稼
動速度の律速になることがない。
プ部品を収容凹部に挿入する吸着ノズルの先端吸着面の
寸法をチップ部品の寸法よりも大きくし、チップ部品挿
入位置で吸着ノズル先端面と協同して部品収容凹部開口
部の上部を覆う大きさの開口部を有するカバーを設けた
ので、吸着ノズル先端面とカバーでチップ部品の上部を
被いながらキャリアテープを移動させることにより、吸
着ノズルの負圧が完全に無くなる前にキャリアテープを
移動しても、チップ部品がキャリアテープの部品収容凹
部から外れたり、正常な位置から動いたりすることがな
く、確実な部品挿入が可能になる。また、従来装置と比
べると部材としてはカバーを追加するだけでよく、装置
に高精度の部品や高度な組立技術も不要で、装置のコス
トアップも殆ど無視できる。さらに、吸着ノズルの負圧
を解除した後、完全に負圧がなくなるまでキャリアテー
プの移動を待つ必要がないため、包装時間の短縮に寄与
するところ大である。本発明のチップ部品検査装置は、
検査を終了したチップ部品を順次収容していく梱包部に
本発明のチップ部品収容装置を配置したので、検査修了
後のチップ部品の梱包を確実で高速に行なうことができ
るようになり、チップ部品梱包過程が検査装置全体の稼
動速度の律速になることがない。
【図１】本発明のチップ部品収容装置の一実施例を動作
とともに示す要部の工程断面図である。
とともに示す要部の工程断面図である。
【図２】本発明のチップ部品検査装置の一実施例を示す
概略平面図である。
概略平面図である。
【図３】同実施例の平面図である。
【図４】図３におけるＹ方向から見た正面図である。
【図５】図３におけるＸ方向から見た側面図である。
【図６】自動包装装置の従来例を動作とともに示す要部
の工程断面図である。
の工程断面図である。
２ テープキャリア
４ 部品収容凹部
６ チップ部品
８ 吸着ノズル
１０ 先端吸着面
１２ 吸着孔
１４ 押えカバー
２０ ロータ
２２ 昇降機構
３０ テープマガジン
４０ 検査部
４２ プローブカード
４４ ＸＹＺステージ
５０ 位置修正機構
５５ 良品／不良品選別部
６０ 梱包部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 中川 純一
東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式
会社リコー内
(72)発明者 井上 雄司
神奈川県川崎市多摩区東生田１−10−18
株式会社エフエイティ内
Ｆターム(参考） 3E054 AA04 BA10 CA05 DD08 EA03
FA02 FA06 FC03 FC07 FC19
GA01 GA08 GB05 GC03 HA01
HA04 HA07 JA10
Claims (17)
- 【請求項１】 部品収容凹部が等間隔に形成されたキャ
リアテープを間欠送りしながらチップ部品挿入位置で前
記部品収容凹部内にチップ部品を順次挿入し、チップ部
品の挿入後、別の位置でキャリアテープの上面をカバー
テープで封入するチップ部品収容装置において、 チップ部品を前記部品収容凹部に挿入する機構は、先端
面が吸着面となってチップ部品を着脱可能に吸着すると
ともに、その先端面の寸法がチップ部品の寸法よりも大
きくなっている吸着ノズルであり、 前記吸着ノズルを前記チップ部品挿入位置まで移送する
移送機構と、 前記チップ部品挿入位置の近傍で前記キャリアテープの
上面に近接して設置され、前記チップ部品挿入位置で前
記吸着ノズル先端面と協同して前記部品収容凹部開口部
の上部を覆う大きさの開口部を有するカバーとを備えた
ことを特徴とするチップ部品収容装置。 - 【請求項２】 前記吸着ノズルの動作、前記移送機構の
動作及び前記キャリアテープの送り動作を制御する制御
装置を備えた請求項１に記載のチップ部品収容装置。 - 【請求項３】 前記吸着ノズル、移送機構及びキャリア
テープは、前記吸着ノズルが降下してその先端が前記カ
バーの開口部に入ってチップ部品を前記部品収容凹部に
挿入した後、前記吸着ノズルによる吸着が解除されると
ともに、前記キャリアテープの間欠送りが開始するよう
に作動するものである請求項１又は２に記載のチップ部
品収容装置。 - 【請求項４】 前記吸着ノズル、移送機構及びキャリア
テープは、前記キャリアテープの間欠送りが開始した
後、前記キャリアテープの部品収容凹部が前記カバーの
開口部を通過し終えた後に前記吸着ノズルが上昇するよ
うに作動するものである請求項３に記載のチップ部品収
容装置。 - 【請求項５】 前記カバーの開口部は前記吸着ノズル先
端面が入る大きさに設定された孔である請求項１から４
のいずれかに記載のチップ部品収容装置。 - 【請求項６】 前記カバーの開口部はその上縁が上方に
向かって広がる傾斜面をもっている請求項１から５のい
ずれかに記載のチップ部品収容装置。 - 【請求項７】 キャリアテープ進行方向においては、前
記吸着ノズル先端面の寸法が前記部品収容凹部開口部の
寸法よりも大きくなっている請求項１から６のいずれか
に記載のチップ部品収容装置。 - 【請求項８】 前記移送機構は前記吸着ノズルを前記チ
ップ部品挿入位置の上方に移送する移動手段と、その位
置で前記吸着ノズルを上下動させる昇降手段とを備えて
いる請求項１から７のいずれかに記載のチップ部品収容
装置。 - 【請求項９】 前記移送機構と前記吸着ノズルの組が複
数組備えられ、間欠送りされる前記キャリアテープに形
成された一連の前記部品収容凹部に前記複数の吸着ノズ
ルからチップ部品が順次挿入される請求項１から８のい
ずれかに記載のチップ部品収容装置。 - 【請求項１０】 被検査チップ部品を順次供給する供給
部、供給されたチップ部品の電気的特性を検査する検査
部、検査を終了したチップ部品を順次収容していく梱包
部、及び前記各部の間で被検査チップ部品を順次移送す
る機構を少なくとも備えたチップ部品検査装置におい
て、 前記梱包部には請求項１から９のいずれかに記載のチッ
プ部品収容装置を配置したことを特徴とするチップ部品
検査装置。 - 【請求項１１】 被検査チップ部品を順次移送する前記
機構は平面内で回転するロータと、前記ロータに上下移
動可能に支持されてチップ部品を着脱可能に吸着する吸
着ノズルとを備えており、 前記各部が前記ロータの周囲に配置されている請求項１
０に記載のチップ部品検査装置。 - 【請求項１２】 前記吸着ノズルは前記ロータの周囲に
沿って等間隔に複数台が配置されており、前記各部は前
記ロータの周囲で前記吸着ノズルの台数に等しい数に等
間隔に設定された位置のいずれかに配置されている請求
項１１に記載のチップ部品検査装置。 - 【請求項１３】 前記ロータに設けられた吸着ノズルが
前記チップ部品収容装置における吸着ノズルを兼ねてい
る請求項１１又は１２に記載のチップ部品検査装置。 - 【請求項１４】 被検査チップ部品が移送される１つの
位置には前記検査部の検査結果に基づいて不良品と判定
されたチップ部品を破棄する良品／不良品選別部がさら
に設けられ、 前記梱包部は良品と判定されたチップ部品のみを収容す
る請求項１０から１３のいずれかに記載のチップ部品検
査装置。 - 【請求項１５】 被検査チップ部品が移送される１つの
位置には吸着ノズルに吸着されたチップ部品の吸着姿勢
を検知する姿勢検知機構がさらに設けられ、被検査チッ
プ部品が移送される他の１つの位置には前記姿勢検知機
構により検知されたチップ部品の吸着姿勢を前記キャリ
アテープの部品収容凹部に収容するのに適した姿勢に修
正する修正機構がさらに設けられている請求項１０から
１４のいずれかに記載のチップ部品検査装置。 - 【請求項１６】 前記被検査チップ部品は下面にボール
端子をもったものであり、前記吸着ノズルはボール端子
面が下向きになるようにチップ部品を吸着するものであ
り、 前記姿勢検知機構ではボール端子の位置に基づいてチッ
プ部品の吸着姿勢を検知するようになっている請求項１
５に記載のチップ部品検査装置。 - 【請求項１７】 前記被検査チップ部品は下面にボール
端子をもったものであり、前記吸着ノズルはボール端子
面が下向きになるようにチップ部品を吸着するものであ
り、 前記姿勢検知機構ではボール端子の位置を検知するよう
になっており、 前記検査部はチップ部品の電気的特性を検査するために
前記ボール端子と接触するプローブを備えているととも
に、前記姿勢検知機構で検知されたボール端子の位置に
あわせてそのプローブの位置を修正するプローブ位置修
正機構を備えている請求項１０から１６のいずれかに記
載のチップ部品検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002000898A JP3966728B2 (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | チップ部品収容装置及びそれを備えたチップ部品検査装置 |
| US10/334,364 US7103967B2 (en) | 2002-01-07 | 2002-12-31 | Chip-component accommodating device and examining apparatus having the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002000898A JP3966728B2 (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | チップ部品収容装置及びそれを備えたチップ部品検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003200905A true JP2003200905A (ja) | 2003-07-15 |
| JP3966728B2 JP3966728B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=27641156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002000898A Expired - Fee Related JP3966728B2 (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | チップ部品収容装置及びそれを備えたチップ部品検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7103967B2 (ja) |
| JP (1) | JP3966728B2 (ja) |
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2002
- 2002-01-07 JP JP2002000898A patent/JP3966728B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-31 US US10/334,364 patent/US7103967B2/en not_active Expired - Fee Related
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