JP2003283175A - 電子装置用簡易型恒温装置及びその制御方法 - Google Patents
電子装置用簡易型恒温装置及びその制御方法Info
- Publication number
- JP2003283175A JP2003283175A JP2002080530A JP2002080530A JP2003283175A JP 2003283175 A JP2003283175 A JP 2003283175A JP 2002080530 A JP2002080530 A JP 2002080530A JP 2002080530 A JP2002080530 A JP 2002080530A JP 2003283175 A JP2003283175 A JP 2003283175A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- electronic device
- container
- thermal resistance
- radiator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/20536—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for racks or cabinets of standardised dimensions, e.g. electronic racks for aircraft or telecommunication equipment
- H05K7/207—Thermal management, e.g. cabinet temperature control
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/20009—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a gaseous coolant in electronic enclosures
- H05K7/202—Air circulating in closed loop within enclosure wherein heat is removed through heat-exchangers
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/20009—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a gaseous coolant in electronic enclosures
- H05K7/20209—Thermal management, e.g. fan control
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子装置用簡易型恒温装置及びその制御方法
に関し、電子装置の恒温化を計り、周囲温度変化による
精度劣化を防止する。 【解決手段】 熱抵抗を可変できる放熱器２を設けた断
熱性の高い容器１に、前記容器１の内部において気体を
循環させるファン４、前記容器１内の温度を検出する温
度検出手段７、及び、前記温度検出手段７の出力に応じ
て前記放熱器２の熱抵抗を制御する熱抵抗制御手段３を
設ける。
に関し、電子装置の恒温化を計り、周囲温度変化による
精度劣化を防止する。 【解決手段】 熱抵抗を可変できる放熱器２を設けた断
熱性の高い容器１に、前記容器１の内部において気体を
循環させるファン４、前記容器１内の温度を検出する温
度検出手段７、及び、前記温度検出手段７の出力に応じ
て前記放熱器２の熱抵抗を制御する熱抵抗制御手段３を
設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子装置用簡易型恒
温装置及びその制御方法に関するものであり、特に、精
度が要求される電子装置の自己発熱による内部温度上昇
を抑制して電子装置を安定に動作させるための構成に特
徴のある電子装置用簡易型恒温装置及びその制御方法に
関するものである。
温装置及びその制御方法に関するものであり、特に、精
度が要求される電子装置の自己発熱による内部温度上昇
を抑制して電子装置を安定に動作させるための構成に特
徴のある電子装置用簡易型恒温装置及びその制御方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に電子装置は、温度が高いほど寿命
が短くなるとされ、自己発熱による温度上昇を下げるた
めファンや放熱フィンを利用した換気により極力放熱し
てきた。
が短くなるとされ、自己発熱による温度上昇を下げるた
めファンや放熱フィンを利用した換気により極力放熱し
てきた。
【０００３】また、高精度電子装置においては精度安定
性を保つために、基準電源、誤差検出、検出抵抗等の温
度係数を極力小さくして精度安定性を実現しているが、
そのためには、電子部品の選別が必要になる。
性を保つために、基準電源、誤差検出、検出抵抗等の温
度係数を極力小さくして精度安定性を実現しているが、
そのためには、電子部品の選別が必要になる。
【０００４】この様な高精度電子装置の一つである３次
元形状計測に使用する３次元ＣＤＳＥＭ（測長走査型電
子顕微鏡）の電子光学系では、性能を決定づける対物レ
ンズまわりに電界レンズが使用されているが、この３次
元ＣＤＳＥＭにおいて解像度を上げるためには収差特性
の良いレンズ系の設計と同時に、電界レンズに電圧を与
える高圧電源の低ノイズ化、低リップル化が不可欠であ
る。
元形状計測に使用する３次元ＣＤＳＥＭ（測長走査型電
子顕微鏡）の電子光学系では、性能を決定づける対物レ
ンズまわりに電界レンズが使用されているが、この３次
元ＣＤＳＥＭにおいて解像度を上げるためには収差特性
の良いレンズ系の設計と同時に、電界レンズに電圧を与
える高圧電源の低ノイズ化、低リップル化が不可欠であ
る。
【０００５】例えば、１００ｎｍテクノロジーに対応し
た主レンズ用電源として、出力電圧−５０００Ｖ、ノイ
ズ１５０ｍＶP-P 、及び、温度係数２５ｐｐｍの特性・
精度が要請され、温度係数については、電源の温度制御
が重要になる。
た主レンズ用電源として、出力電圧−５０００Ｖ、ノイ
ズ１５０ｍＶP-P 、及び、温度係数２５ｐｐｍの特性・
精度が要請され、温度係数については、電源の温度制御
が重要になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の換気に
よる温度制御では、精度安定性は周囲温度変化の影響を
受け、空調などにより温度管理を行っていても自己発熱
によるゆらぎが生じ、また、自己排気を再吸気すること
などで精度劣化を生じるので、高精度電子装置における
温度制御方法としては不適当なものであった。
よる温度制御では、精度安定性は周囲温度変化の影響を
受け、空調などにより温度管理を行っていても自己発熱
によるゆらぎが生じ、また、自己排気を再吸気すること
などで精度劣化を生じるので、高精度電子装置における
温度制御方法としては不適当なものであった。
【０００７】また、高精度電子装置の精度安定性を保つ
ために、高精度電子装置を恒温槽に入れることも行われ
ているが、従来、使用されているヒートポンプとヒータ
を用いて温度を制御する恒温槽は小型化が難しく、さら
に、相当量のエネルギーを必要とし、一般的ではないと
いう問題がある。
ために、高精度電子装置を恒温槽に入れることも行われ
ているが、従来、使用されているヒートポンプとヒータ
を用いて温度を制御する恒温槽は小型化が難しく、さら
に、相当量のエネルギーを必要とし、一般的ではないと
いう問題がある。
【０００８】したがって、本発明は、電子装置の恒温化
を計り、周囲温度変化による精度劣化を防止することを
目的とする。
を計り、周囲温度変化による精度劣化を防止することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】図１は、本発明の原理的
構成図であり、ここで、図１を参照して本発明における
課題を解決するための手段を説明する。 図１参照 （１）本発明は、電子装置用簡易型恒温装置において、
熱抵抗を可変できる放熱器２を設けた断熱性の高い容器
１、前記容器１の内部において気体を循環させるファン
４、前記容器１内の温度を検出する温度検出手段７、及
び、前記温度検出手段７の出力に応じて前記放熱器２の
熱抵抗を制御する熱抵抗制御手段３を備えたことを特徴
とする。
構成図であり、ここで、図１を参照して本発明における
課題を解決するための手段を説明する。 図１参照 （１）本発明は、電子装置用簡易型恒温装置において、
熱抵抗を可変できる放熱器２を設けた断熱性の高い容器
１、前記容器１の内部において気体を循環させるファン
４、前記容器１内の温度を検出する温度検出手段７、及
び、前記温度検出手段７の出力に応じて前記放熱器２の
熱抵抗を制御する熱抵抗制御手段３を備えたことを特徴
とする。
【００１０】この様に、電子装置６を、熱抵抗の可変で
きる放熱器２を有する断熱性の高い容器１内部に設置
し、内部の気体をファン４により循環させて、自己発熱
による熱のゆらぎを抑制すると共に、放熱器２の熱抵抗
を変化させ容器１の内部温度を均一に保ち、外気を遮断
することにより、簡単な構成によって、周囲温度変化或
いはゆらぎによる精度劣化を改善することができる。な
お、熱抵抗制御手段３の動作は熱抵抗制御回路８によっ
て制御される。
きる放熱器２を有する断熱性の高い容器１内部に設置
し、内部の気体をファン４により循環させて、自己発熱
による熱のゆらぎを抑制すると共に、放熱器２の熱抵抗
を変化させ容器１の内部温度を均一に保ち、外気を遮断
することにより、簡単な構成によって、周囲温度変化或
いはゆらぎによる精度劣化を改善することができる。な
お、熱抵抗制御手段３の動作は熱抵抗制御回路８によっ
て制御される。
【００１１】（２）また、本発明は、上記（１）におい
て、上記気体として空気を用いるとともに、空気の流れ
を整流する整流板５を上記容器１内に設けたことを特徴
とする。この様に、気体として空気を用いた場合には、
粘性に伴う乱流が発生するので整流板５を設けることが
望ましい。
て、上記気体として空気を用いるとともに、空気の流れ
を整流する整流板５を上記容器１内に設けたことを特徴
とする。この様に、気体として空気を用いた場合には、
粘性に伴う乱流が発生するので整流板５を設けることが
望ましい。
【００１２】（３）また、本発明は、上記（１）におい
て、上記気体として、ヘリウムガス、或いは、ヘリウム
ガスと空気との混合ガスのいずれかを用いたことを特徴
とする。この様に、気体としてヘリウムガスを用いた場
合には乱流をなくすることができ、また、ヘリウムガス
と空気との混合ガスを用いた場合には、乱流を低減する
ことができる。
て、上記気体として、ヘリウムガス、或いは、ヘリウム
ガスと空気との混合ガスのいずれかを用いたことを特徴
とする。この様に、気体としてヘリウムガスを用いた場
合には乱流をなくすることができ、また、ヘリウムガス
と空気との混合ガスを用いた場合には、乱流を低減する
ことができる。
【００１３】（４）また、本発明は、上記（１）ないし
（３）のいずれかにおいて、上記放熱器２が、空冷放熱
器からなり、且つ、上記熱抵抗制御手段３が、上記容器
１の外部に設けた送風装置からなることを特徴とする。
この様に、放熱器２として空冷放熱器を用いた場合に
は、放熱器２の熱抵抗を可変にするためには送風装置を
容器１の外部に設ければ良い。
（３）のいずれかにおいて、上記放熱器２が、空冷放熱
器からなり、且つ、上記熱抵抗制御手段３が、上記容器
１の外部に設けた送風装置からなることを特徴とする。
この様に、放熱器２として空冷放熱器を用いた場合に
は、放熱器２の熱抵抗を可変にするためには送風装置を
容器１の外部に設ければ良い。
【００１４】（５）また、本発明は、上記（１）ないし
（３）のいずれかにおいて、上記放熱器２が、冷却流体
を内部に循環させる液冷放熱器からなり、且つ、上記熱
抵抗制御手段３が、前記液冷放熱器への冷却流体の流入
を制御する流量制御装置からなることを特徴とする。こ
の様に、放熱器２として液冷放熱器を用いた場合には、
放熱器２の熱抵抗を可変にするためには液冷放熱器の内
部へ冷却流体を流入させれば良い。
（３）のいずれかにおいて、上記放熱器２が、冷却流体
を内部に循環させる液冷放熱器からなり、且つ、上記熱
抵抗制御手段３が、前記液冷放熱器への冷却流体の流入
を制御する流量制御装置からなることを特徴とする。こ
の様に、放熱器２として液冷放熱器を用いた場合には、
放熱器２の熱抵抗を可変にするためには液冷放熱器の内
部へ冷却流体を流入させれば良い。
【００１５】（６）また、本発明は、上記（１）乃至
（５）のいずれかに記載の電子装置用簡易型恒温装置の
制御方法において、上記容器１の内部温度が動作設定温
度より高くなった場合には、上記熱抵抗制御手段３によ
り放熱器２の熱抵抗を低くし、また、上記容器１の内部
温度が動作設定温度より低くなった場合には、上記熱抵
抗制御手段３により制御を停止することを特徴とする。
この様に、熱抵抗制御手段３により放熱器２の熱抵抗を
制御することによって、動作温度と一定に保つことがで
きる。
（５）のいずれかに記載の電子装置用簡易型恒温装置の
制御方法において、上記容器１の内部温度が動作設定温
度より高くなった場合には、上記熱抵抗制御手段３によ
り放熱器２の熱抵抗を低くし、また、上記容器１の内部
温度が動作設定温度より低くなった場合には、上記熱抵
抗制御手段３により制御を停止することを特徴とする。
この様に、熱抵抗制御手段３により放熱器２の熱抵抗を
制御することによって、動作温度と一定に保つことがで
きる。
【００１６】（７）また、本発明は、上記（１）乃至
（５）のいずれかに記載の電子装置用簡易型恒温装置の
制御方法において、上記容器１の内部温度が動作設定温
度より予め低く設定したオン設定温度より高くなった場
合には、上記熱抵抗制御手段３により放熱器２の熱抵抗
を低くし、また、上記容器１の内部温度が動作設定温度
より予め高く設定したオフ設定温度より低くなった場合
には、上記熱抵抗制御手段３により制御を停止すること
を特徴とする電子装置用簡易型恒温装置の制御方法。
（５）のいずれかに記載の電子装置用簡易型恒温装置の
制御方法において、上記容器１の内部温度が動作設定温
度より予め低く設定したオン設定温度より高くなった場
合には、上記熱抵抗制御手段３により放熱器２の熱抵抗
を低くし、また、上記容器１の内部温度が動作設定温度
より予め高く設定したオフ設定温度より低くなった場合
には、上記熱抵抗制御手段３により制御を停止すること
を特徴とする電子装置用簡易型恒温装置の制御方法。
【００１７】この様に、電子装置の発熱によって上昇す
る容器１内部温度等を検知し、設定温度に保つよう放熱
器２の熱抵抗を予測制御することで、放熱器２の熱容量
による温度リップルの発生を抑えて容器１の内部温度を
恒温にし、周囲温度変化に対するよる精度安定性の改善
効果をさらに高めることができる。
る容器１内部温度等を検知し、設定温度に保つよう放熱
器２の熱抵抗を予測制御することで、放熱器２の熱容量
による温度リップルの発生を抑えて容器１の内部温度を
恒温にし、周囲温度変化に対するよる精度安定性の改善
効果をさらに高めることができる。
【００１８】（８）また、本発明は、上記（６）または
（７）において、上記動作設定温度を、環境温度よりも
高く設定したことを特徴とする。この様に、動作設定温
度を、環境温度よりも高くすること、特に、装置の飽和
温度の下限より高く設定することによって、周囲温度変
化に対するよる精度安定性の改善効果を高めることがで
きる。
（７）において、上記動作設定温度を、環境温度よりも
高く設定したことを特徴とする。この様に、動作設定温
度を、環境温度よりも高くすること、特に、装置の飽和
温度の下限より高く設定することによって、周囲温度変
化に対するよる精度安定性の改善効果を高めることがで
きる。
【００１９】
【発明の実施の形態】ここで、図２及び図３を参照し
て、本発明の第１の実施の形態の電子装置用簡易型恒温
装置を説明する。 図２（ａ）乃至（ｃ）参照 図２（ａ）は本発明の第１の実施の形態の電子装置用簡
易型恒温装置の概略的斜視図であり、図２（ｂ）は透視
側面図であり、さらに、図２（ｃ）は透視全面図であ
る。高圧電源等の電子装置１６を格納する断熱性の高い
容器１１は、容器本体部１２と上蓋部１３とによる密閉
構造からなり、上蓋部１３には容器１１の内部の熱を外
部に放出するための放熱器１４が上蓋部１３の表裏を貫
通するように設けられている。
て、本発明の第１の実施の形態の電子装置用簡易型恒温
装置を説明する。 図２（ａ）乃至（ｃ）参照 図２（ａ）は本発明の第１の実施の形態の電子装置用簡
易型恒温装置の概略的斜視図であり、図２（ｂ）は透視
側面図であり、さらに、図２（ｃ）は透視全面図であ
る。高圧電源等の電子装置１６を格納する断熱性の高い
容器１１は、容器本体部１２と上蓋部１３とによる密閉
構造からなり、上蓋部１３には容器１１の内部の熱を外
部に放出するための放熱器１４が上蓋部１３の表裏を貫
通するように設けられている。
【００２０】この場合の容器１１の外径寸法は、高さ２
３０ｍｍ、幅４００ｍｍ、長さ６００ｍｍであり、一方
の壁面からは電源出力用のＢＮＣコネクタ１５が４５本
取り出されるように構成されている。なお、容器１１
は、熱伝導率が０．１９Ｗ／ｍ・Ｋのポリカーボネイト
によって構成し、また、その厚さは、例えば、４ｍｍと
する。
３０ｍｍ、幅４００ｍｍ、長さ６００ｍｍであり、一方
の壁面からは電源出力用のＢＮＣコネクタ１５が４５本
取り出されるように構成されている。なお、容器１１
は、熱伝導率が０．１９Ｗ／ｍ・Ｋのポリカーボネイト
によって構成し、また、その厚さは、例えば、４ｍｍと
する。
【００２１】一方、放熱器１４は、例えば、本体部が２
００ｍｍ×５００ｍｍの面積を有し、厚さが３．５ｍｍ
のアルミニウムからなり、この本体部に対して１．３ｍ
ｍ厚で上下に２８ｍｍの幅のフィンを２９枚取り付けた
構造とする。
００ｍｍ×５００ｍｍの面積を有し、厚さが３．５ｍｍ
のアルミニウムからなり、この本体部に対して１．３ｍ
ｍ厚で上下に２８ｍｍの幅のフィンを２９枚取り付けた
構造とする。
【００２２】この容器１１内には、内部の空気を循環さ
せる内部ファン１７が設けられるとともに、整流板１８
が設けられており、循環させる空気は整流板１８によっ
て整流されたのち電子装置１６に吹きつけられて、電子
装置１６を降温する。
せる内部ファン１７が設けられるとともに、整流板１８
が設けられており、循環させる空気は整流板１８によっ
て整流されたのち電子装置１６に吹きつけられて、電子
装置１６を降温する。
【００２３】また、容器１１の内部には、例えば、熱電
対センサからなる温度検知器１９と外部ファン制御回路
２０が設けられており、温度検知器１９の検出出力に基
づいて外部ファン制御回路２０によって、容器１１の外
部に設けた外部ファン２１の動作を制御する。
対センサからなる温度検知器１９と外部ファン制御回路
２０が設けられており、温度検知器１９の検出出力に基
づいて外部ファン制御回路２０によって、容器１１の外
部に設けた外部ファン２１の動作を制御する。
【００２４】この外部ファン２１の動作を制御し放熱器
１４に当てる風により容器１１の内部温度が一定になる
ように放熱器１４の熱抵抗を可変するものである。
１４に当てる風により容器１１の内部温度が一定になる
ように放熱器１４の熱抵抗を可変するものである。
【００２５】次に、図３を参照して、本発明の第１の実
施の形態の電子装置用簡易型恒温装置の動作方法を説明
する。 図３参照 図３は、本発明の第１の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。ま
ず、電子装置１６に通電した当初、容器１１の内部温度
は周囲温度と等しく、内部ファン１７により放熱器１４
の容器内部側と電子装置１６は強制空冷されるため熱抵
抗は小さいが、放熱器１４の容器外部側は自然空冷のた
め熱抵抗が大きく、電子装置１６と外気は遮断されてい
るため、電子装置１６の発熱により内部温度は時間と共
に上昇する。
施の形態の電子装置用簡易型恒温装置の動作方法を説明
する。 図３参照 図３は、本発明の第１の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。ま
ず、電子装置１６に通電した当初、容器１１の内部温度
は周囲温度と等しく、内部ファン１７により放熱器１４
の容器内部側と電子装置１６は強制空冷されるため熱抵
抗は小さいが、放熱器１４の容器外部側は自然空冷のた
め熱抵抗が大きく、電子装置１６と外気は遮断されてい
るため、電子装置１６の発熱により内部温度は時間と共
に上昇する。
【００２６】外部ファン制御回路２０は、容器１１の内
部の温度を温度検知器１９により監視し、設定温度Ｔ
〔℃〕に達すると、外部ファン２１をオンにして回転さ
せることにより放熱器１４の熱抵抗を減少させる。
部の温度を温度検知器１９により監視し、設定温度Ｔ
〔℃〕に達すると、外部ファン２１をオンにして回転さ
せることにより放熱器１４の熱抵抗を減少させる。
【００２７】これにより、放熱器１４の温度は下降し、
容器１１の内部温度の上昇は遅くなりやがて止まり、さ
らに外部ファン２１の回転を続行すると内部温度は下降
に転じる。
容器１１の内部温度の上昇は遅くなりやがて止まり、さ
らに外部ファン２１の回転を続行すると内部温度は下降
に転じる。
【００２８】次いで、内部温度が設定温度Ｔ〔℃〕より
下がったことを温度検知器１９により検知した段階で、
外部ファン制御回路２０によって外部ファン２１の回転
を停止させる。
下がったことを温度検知器１９により検知した段階で、
外部ファン制御回路２０によって外部ファン２１の回転
を停止させる。
【００２９】以上の設定温度Ｔ〔℃〕を目処とした外部
ファン２１のオン−オフを繰り返すという簡単な制御に
よって、容器１１の内部温度を設定温度付近にすること
ができる。
ファン２１のオン−オフを繰り返すという簡単な制御に
よって、容器１１の内部温度を設定温度付近にすること
ができる。
【００３０】例えば、電子装置１６の自己発熱量が１０
０Ｗ、自然空冷時の放熱器１４の熱抵抗Ｒc1が、０．５
℃／Ｗ、強制空冷時の熱抵抗Ｒc2が、０．０５℃／Ｗ、
容器１１の熱抵抗Ｒp が１．０℃／Ｗ、周囲温度を２０
℃とすると、自然空冷時の恒温容器の熱抵抗、即ち、自
然空冷時の放熱器１４の熱抵抗Ｒc1と容器１１の熱抵抗
Ｒp の合成熱抵抗Ｒ1 は、 Ｒ1 ＝Ｒc1×Ｒp ／（Ｒc1＋Ｒp ）≒０．３３℃／Ｗ となる。
０Ｗ、自然空冷時の放熱器１４の熱抵抗Ｒc1が、０．５
℃／Ｗ、強制空冷時の熱抵抗Ｒc2が、０．０５℃／Ｗ、
容器１１の熱抵抗Ｒp が１．０℃／Ｗ、周囲温度を２０
℃とすると、自然空冷時の恒温容器の熱抵抗、即ち、自
然空冷時の放熱器１４の熱抵抗Ｒc1と容器１１の熱抵抗
Ｒp の合成熱抵抗Ｒ1 は、 Ｒ1 ＝Ｒc1×Ｒp ／（Ｒc1＋Ｒp ）≒０．３３℃／Ｗ となる。
【００３１】また、強制空冷時の恒温容器の熱抵抗、即
ち、強制空冷時の熱抵抗Ｒc2と容器の熱抵抗Ｒp の合成
熱抵抗Ｒ2 は、 Ｒ2 ＝Ｒc2×Ｒp ／（Ｒc2＋Ｒp ）≒０．０３３℃／Ｗ となる。
ち、強制空冷時の熱抵抗Ｒc2と容器の熱抵抗Ｒp の合成
熱抵抗Ｒ2 は、 Ｒ2 ＝Ｒc2×Ｒp ／（Ｒc2＋Ｒp ）≒０．０３３℃／Ｗ となる。
【００３２】したがって、外部ファン２１を動作させな
いでおくと、電子装置１６の自己発熱で容器内部温度は
上昇し、飽和温度ＴS1は、 ＴS1＝２０〔℃〕＋０．３３〔℃／Ｗ〕×１００〔Ｗ〕
＝５５〔℃〕 まで上昇することになる。
いでおくと、電子装置１６の自己発熱で容器内部温度は
上昇し、飽和温度ＴS1は、 ＴS1＝２０〔℃〕＋０．３３〔℃／Ｗ〕×１００〔Ｗ〕
＝５５〔℃〕 まで上昇することになる。
【００３３】一方、強制空冷すると、飽和温度Ｔs2は、
Ｔs2＝２０〔℃〕＋０．０３〔℃／Ｗ〕×１００〔Ｗ〕
＝２２〔℃〕 まで温度を抑えることができる。
＝２２〔℃〕 まで温度を抑えることができる。
【００３４】そこで、設定温度Ｔを室温より若干高い３
０℃程度に設定すれば、周囲温度が多少変化しても、温
度制御機構による飽和温度Ｔs2は、上記の構成の場合、
約２２℃であるので、この温度制御の機能により容器内
の温度を設定温度に保つことができる。
０℃程度に設定すれば、周囲温度が多少変化しても、温
度制御機構による飽和温度Ｔs2は、上記の構成の場合、
約２２℃であるので、この温度制御の機能により容器内
の温度を設定温度に保つことができる。
【００３５】この様に、本発明の第１の実施の形態にお
いては、大掛かりな断熱構造或いは大掛かりな強制冷却
構造を採用することなく、容器内部における空気の循環
機構、容器の壁面を貫通する放熱器、及び、放熱器の熱
抵抗を可変とする外部ファンを備えた簡単な構成の樹脂
容器によって恒温装置を構成しているので、恒温装置の
小型化、低コスト化が可能になる。
いては、大掛かりな断熱構造或いは大掛かりな強制冷却
構造を採用することなく、容器内部における空気の循環
機構、容器の壁面を貫通する放熱器、及び、放熱器の熱
抵抗を可変とする外部ファンを備えた簡単な構成の樹脂
容器によって恒温装置を構成しているので、恒温装置の
小型化、低コスト化が可能になる。
【００３６】但し、図３に示した温度制御方法の場合に
は、放熱器１４の熱容量の影響で、外部ファン２１の回
転または停止動作に対し容器１１の内部温度の変化の追
随が遅れるため温度リップルが生じる問題があるので、
次に、図４を参照して温度リップルを改善した温度制御
方法を説明する。
は、放熱器１４の熱容量の影響で、外部ファン２１の回
転または停止動作に対し容器１１の内部温度の変化の追
随が遅れるため温度リップルが生じる問題があるので、
次に、図４を参照して温度リップルを改善した温度制御
方法を説明する。
【００３７】図４参照
図４は、本発明の第２の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。な
お、電子装置用簡易型恒温装置の装置構成以外は、上記
の第１の実施の形態と全く同様である。図４に示すよう
に、外部ファン２１の回転、停止のタイミングを決める
温度を、内部温度の変化の遅れを補正する分だけ変え
て、制御することにより温度リップルを減少させるもの
である。
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。な
お、電子装置用簡易型恒温装置の装置構成以外は、上記
の第１の実施の形態と全く同様である。図４に示すよう
に、外部ファン２１の回転、停止のタイミングを決める
温度を、内部温度の変化の遅れを補正する分だけ変え
て、制御することにより温度リップルを減少させるもの
である。
【００３８】即ち、温度上昇時には設定温度Ｔ〔℃〕よ
り少し低いファン運転温度ＴON〔℃〕で、外部ファン２
１の回転を開始し、温度下降時には設定温度Ｔ〔℃〕よ
りも少し高いファン停止温度ＴOFF 〔℃〕の時に外部フ
ァン２１を停止する。なお、この様なファン運転温度Ｔ
ON〔℃〕及びファン停止温度ＴOFF 〔℃〕の設定値は、
内部発熱量、放熱器１４の熱容量、設定温度Ｔ〔℃〕と
周囲温度の差などに依存し、例えば、 ＴON〔℃〕＝Ｔ〔℃〕−０．１℃ ＴOFF 〔℃〕＝Ｔ〔℃〕＋０．１℃ とする。
り少し低いファン運転温度ＴON〔℃〕で、外部ファン２
１の回転を開始し、温度下降時には設定温度Ｔ〔℃〕よ
りも少し高いファン停止温度ＴOFF 〔℃〕の時に外部フ
ァン２１を停止する。なお、この様なファン運転温度Ｔ
ON〔℃〕及びファン停止温度ＴOFF 〔℃〕の設定値は、
内部発熱量、放熱器１４の熱容量、設定温度Ｔ〔℃〕と
周囲温度の差などに依存し、例えば、 ＴON〔℃〕＝Ｔ〔℃〕−０．１℃ ＴOFF 〔℃〕＝Ｔ〔℃〕＋０．１℃ とする。
【００３９】次に、図５及び図６を参照して、本発明の
第３の実施の形態の電子装置用簡易型恒温装置を説明す
る。 図５（ａ）乃至（ｃ）参照 図５（ａ）は本発明の第３の実施の形態の電子装置用簡
易型恒温装置の概略的斜視図であり、図５（ｂ）は透視
側面図であり、さらに、図５（ｃ）は透視全面図であ
る。高圧電源等の電子装置１６を格納する断熱性の高い
容器１１は、容器本体部１２と上蓋部１３とによる密閉
構造からなり、上蓋部１３の内側には容器１１の内部の
熱を吸収し外部に放出する冷却水を循環させるための水
冷放熱器２２が取り付けられている。
第３の実施の形態の電子装置用簡易型恒温装置を説明す
る。 図５（ａ）乃至（ｃ）参照 図５（ａ）は本発明の第３の実施の形態の電子装置用簡
易型恒温装置の概略的斜視図であり、図５（ｂ）は透視
側面図であり、さらに、図５（ｃ）は透視全面図であ
る。高圧電源等の電子装置１６を格納する断熱性の高い
容器１１は、容器本体部１２と上蓋部１３とによる密閉
構造からなり、上蓋部１３の内側には容器１１の内部の
熱を吸収し外部に放出する冷却水を循環させるための水
冷放熱器２２が取り付けられている。
【００４０】この水冷放熱器２２は、容器１１の内部に
向かうフィン２３が設けられているとともに、水冷放熱
器２２に冷却水取込み弁２５を有するとともに上蓋部１
３を貫通する送水管２４から冷却水が注入され、内部の
熱を吸収した冷却水は上蓋部１３を貫通する排水管２６
から排出される。この場合の容器１１の大きさ、構造、
素材等は上記の実施の形態と同様である。
向かうフィン２３が設けられているとともに、水冷放熱
器２２に冷却水取込み弁２５を有するとともに上蓋部１
３を貫通する送水管２４から冷却水が注入され、内部の
熱を吸収した冷却水は上蓋部１３を貫通する排水管２６
から排出される。この場合の容器１１の大きさ、構造、
素材等は上記の実施の形態と同様である。
【００４１】この、容器１１内には、内部の空気を循環
させる内部ファン１７が設けられるとともに、整流板１
８が設けられており、循環させる空気は整流板１８によ
って整流されたのち電子装置１６に吹きつけられて、電
子装置１６を降温する。
させる内部ファン１７が設けられるとともに、整流板１
８が設けられており、循環させる空気は整流板１８によ
って整流されたのち電子装置１６に吹きつけられて、電
子装置１６を降温する。
【００４２】また、容器１１の内部には、例えば、熱電
対センサからなる温度検知器１９と送水管２４に設けら
れた冷却水取込み弁２５の開閉を制御する取込み弁制御
回路２７が設けられており、温度検知器１９の検出出力
に基づいて取込み弁制御回路２７によって、容器１１の
外部に設けた冷却水取込み弁２５の開閉を制御する。
対センサからなる温度検知器１９と送水管２４に設けら
れた冷却水取込み弁２５の開閉を制御する取込み弁制御
回路２７が設けられており、温度検知器１９の検出出力
に基づいて取込み弁制御回路２７によって、容器１１の
外部に設けた冷却水取込み弁２５の開閉を制御する。
【００４３】この冷却水取込み弁２５の開閉を制御し、
水冷放熱器２２の内部を流れる冷却水によって、容器１
１の内部温度が一定になるように水冷放熱器２２の熱抵
抗を可変するものである。
水冷放熱器２２の内部を流れる冷却水によって、容器１
１の内部温度が一定になるように水冷放熱器２２の熱抵
抗を可変するものである。
【００４４】次に、図６を参照して、本発明の第３の実
施の形態の電子装置用簡易型恒温装置の動作方法を説明
する。 図６参照 図６は、本発明の第３の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。ま
ず、電子装置１６に通電した当初、容器１１の内部温度
は周囲温度と等しく、水冷放熱器２２は停止しており、
送水管２４及び排水管２６の熱伝導も僅かであるため、
電子装置１６と外気は遮断され、電子装置１６の発熱に
より内部温度は時間と共に上昇する。
施の形態の電子装置用簡易型恒温装置の動作方法を説明
する。 図６参照 図６は、本発明の第３の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。ま
ず、電子装置１６に通電した当初、容器１１の内部温度
は周囲温度と等しく、水冷放熱器２２は停止しており、
送水管２４及び排水管２６の熱伝導も僅かであるため、
電子装置１６と外気は遮断され、電子装置１６の発熱に
より内部温度は時間と共に上昇する。
【００４５】取込み弁制御回路２７は、容器１１の内部
の温度を温度検知器１９により監視し、設定温度Ｔ
〔℃〕に達すると、冷却水取込み弁２５を開にして冷却
水を水冷放熱器２２に流すことにより熱抵抗を減少させ
る。
の温度を温度検知器１９により監視し、設定温度Ｔ
〔℃〕に達すると、冷却水取込み弁２５を開にして冷却
水を水冷放熱器２２に流すことにより熱抵抗を減少させ
る。
【００４６】これにより水冷放熱器２２の温度は下降
し、内部温度の上昇は遅くなり、やがて下降に転じ、次
いで、内部温度が設定温度Ｔ〔℃〕より下がったら、冷
却水取込み弁２５を閉にして冷却水の取込みを停止す
る。
し、内部温度の上昇は遅くなり、やがて下降に転じ、次
いで、内部温度が設定温度Ｔ〔℃〕より下がったら、冷
却水取込み弁２５を閉にして冷却水の取込みを停止す
る。
【００４７】以上のように、内部温度に応じて、水冷放
熱器２２に冷却水を流したり止めたりすることで、容器
１１の内部温度を一定範囲内に保つことができる。
熱器２２に冷却水を流したり止めたりすることで、容器
１１の内部温度を一定範囲内に保つことができる。
【００４８】以上、本発明の各実施の形態を説明してき
たが、本発明は各実施の形態に記載された構成・条件に
限られるものではなく、各種の変更が可能である。例え
ば、上記の第１の実施の形態においては外部ファンの制
御に内部温度を用いているが、内部温度だけではなく、
放熱器の温度を検知し、外部ファンの回転、停止タイミ
ングの補正に放熱器温度を用いても良く、それによっ
て、温度リップルを減少させることができる。
たが、本発明は各実施の形態に記載された構成・条件に
限られるものではなく、各種の変更が可能である。例え
ば、上記の第１の実施の形態においては外部ファンの制
御に内部温度を用いているが、内部温度だけではなく、
放熱器の温度を検知し、外部ファンの回転、停止タイミ
ングの補正に放熱器温度を用いても良く、それによっ
て、温度リップルを減少させることができる。
【００４９】また、上記の第１及び第２の実施の形態に
おいては、外部ファンの制御はオン−オフのみである
が、外部ファンの回転数を可変制御することによって、
より細やかな温度制御が可能になる。
おいては、外部ファンの制御はオン−オフのみである
が、外部ファンの回転数を可変制御することによって、
より細やかな温度制御が可能になる。
【００５０】また、上記の第１及び第２の実施の形態に
おいては、循環する空気の流れを整えるために、内部フ
ァンの風下で且つ電子装置の風上に整流板を配置してい
るが整流板の配置は任意であり、容器内部における各種
の部材の配置構造に伴う気流の乱れを抑制する位置に配
置すれば良い。
おいては、循環する空気の流れを整えるために、内部フ
ァンの風下で且つ電子装置の風上に整流板を配置してい
るが整流板の配置は任意であり、容器内部における各種
の部材の配置構造に伴う気流の乱れを抑制する位置に配
置すれば良い。
【００５１】また、上記の第１及び第２の実施の形態に
おいては、密閉容器内の雰囲気を大気としているが、空
気を用いた場合には空気の粘性により循環の伴う乱流が
発生するため、この様な乱流の影響を低減するために、
雰囲気としてＨｅガス或いはＨｅガスと空気の混合ガス
を用いても良いものである。なお、Ｈｅガスを用いた場
合には、密閉容器の密閉性を更に向上する必要がある。
おいては、密閉容器内の雰囲気を大気としているが、空
気を用いた場合には空気の粘性により循環の伴う乱流が
発生するため、この様な乱流の影響を低減するために、
雰囲気としてＨｅガス或いはＨｅガスと空気の混合ガス
を用いても良いものである。なお、Ｈｅガスを用いた場
合には、密閉容器の密閉性を更に向上する必要がある。
【００５２】また、上記の第３の実施の形態において
も、水冷放熱器の熱容量の影響で温度リップルが生じる
が、この場合も上記の第２の実施の形態と同様に、水冷
放熱器の温度を測定し、冷却水取込み弁の開閉のタイミ
ングを補正することで温度リップルを減少させることが
できる。さらに、この場合も、冷却水の水流量を開閉の
みではなく、可変制御することで、内部温度を一定範囲
内に保つことができる。
も、水冷放熱器の熱容量の影響で温度リップルが生じる
が、この場合も上記の第２の実施の形態と同様に、水冷
放熱器の温度を測定し、冷却水取込み弁の開閉のタイミ
ングを補正することで温度リップルを減少させることが
できる。さらに、この場合も、冷却水の水流量を開閉の
みではなく、可変制御することで、内部温度を一定範囲
内に保つことができる。
【００５３】また、上記の第３の実施の形態において
は、冷却媒体として水を用いているが、純水、特に、水
素添加純水を用いても良いものであり、さらには、水に
限られるものではなく、他の冷却した液体或いは冷却し
た気体を循環させても良いものである。
は、冷却媒体として水を用いているが、純水、特に、水
素添加純水を用いても良いものであり、さらには、水に
限られるものではなく、他の冷却した液体或いは冷却し
た気体を循環させても良いものである。
【００５４】また、上記の各実施の形態においては、容
器をポリカーボネイトによって構成しているが、ポリカ
ーボネイトに限られるものではなく、ポリカーボネイト
と同程度或いはそれ以上の断熱性を有する部材であれば
良く、特に、成型性・形状加工性に優れた部材であれば
良い。
器をポリカーボネイトによって構成しているが、ポリカ
ーボネイトに限られるものではなく、ポリカーボネイト
と同程度或いはそれ以上の断熱性を有する部材であれば
良く、特に、成型性・形状加工性に優れた部材であれば
良い。
【００５５】また、上記の各実施の形態において示した
容器の外形寸法、素材の厚さ、放熱器の外径寸法、素材
等は単なる一例であって、使用する電子装置の大きさ、
自己発熱量に応じて適宜決定すれば良いものである。
容器の外形寸法、素材の厚さ、放熱器の外径寸法、素材
等は単なる一例であって、使用する電子装置の大きさ、
自己発熱量に応じて適宜決定すれば良いものである。
【００５６】また、上記の各実施の形態においては、電
子装置を容器本体部に直接載置しているが、電子装置と
容器本体部の底面との間に、葛折りにしたセラミック板
を配置しても良く、それによって、容器本体部の底面を
介した熱伝導による放熱を抑制し、放熱器のみによる温
度制御の効果を高めることができる。なお、この様な葛
折りにしたセラミック板は、折り目方向が互いに直交す
るように２段重ねにすることによって、さらに、効果を
高めることができる。
子装置を容器本体部に直接載置しているが、電子装置と
容器本体部の底面との間に、葛折りにしたセラミック板
を配置しても良く、それによって、容器本体部の底面を
介した熱伝導による放熱を抑制し、放熱器のみによる温
度制御の効果を高めることができる。なお、この様な葛
折りにしたセラミック板は、折り目方向が互いに直交す
るように２段重ねにすることによって、さらに、効果を
高めることができる。
【００５７】また、上記の各実施の形態においては、電
子装置として３次元ＣＤＳＥＭ用の高圧電源を念頭に説
明しているが、この様な３次元ＣＤＳＥＭ用の高圧電源
に限られるものではなく、他の電子顕微鏡の電源装置で
も良く、さらには、温度制御が必要な電源装置一般に適
用されるものである。
子装置として３次元ＣＤＳＥＭ用の高圧電源を念頭に説
明しているが、この様な３次元ＣＤＳＥＭ用の高圧電源
に限られるものではなく、他の電子顕微鏡の電源装置で
も良く、さらには、温度制御が必要な電源装置一般に適
用されるものである。
【００５８】
【発明の効果】本発明によれば、高精度電子装置の自己
発熱を利用することにより、動作温度を環境温度より若
干高めに設定しているので、小型で簡単か構成の恒温装
置で高性能な恒温環境を実現することでき、また、自己
発熱を利用した制御であるため、省エネルギーであるの
で、高精度電子装置の温度制御性の向上及び低コスト化
に寄与するところが大きい。
発熱を利用することにより、動作温度を環境温度より若
干高めに設定しているので、小型で簡単か構成の恒温装
置で高性能な恒温環境を実現することでき、また、自己
発熱を利用した制御であるため、省エネルギーであるの
で、高精度電子装置の温度制御性の向上及び低コスト化
に寄与するところが大きい。
【図１】本発明の原理的構成の説明図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の概略的構成図である。
恒温装置の概略的構成図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。
【図４】本発明の第２の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。
【図５】本発明の第３の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の概略的構成図である。
恒温装置の概略的構成図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態の電子装置用簡易型
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。
恒温装置の動作方法を示すタイムチャートである。
１ 容器
２ 放熱器
３ 熱抵抗制御手段
４ ファン
５ 整流板
６ 電子装置
７ 温度検出手段
８ 熱抵抗制御回路
１１ 容器
１２ 容器本体部
１３ 上蓋部
１４ 放熱器
１５ ＢＮＣコネクタ
１６ 電子装置
１７ 内部ファン
１８ 整流板
１９ 温度検知器
２０ 外部ファン制御回路
２１ 外部ファン
２２ 水冷放熱器
２３ フィン
２４ 送水管
２５ 冷却水取込み弁
２６ 排水管
２７ 取込み弁制御回路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 23/34 Ｈ０１Ｌ 23/34 Ａ
Ｆターム(参考） 3L044 AA01 AA04 BA06 CA13 DA01
DB02 EA04 FA02 FA03 GA02
HA01 JA01 KA01 KA04
5E322 AA01 AA05 AA10 AB10 BA04
BB03 BB04 CA01
5F036 AA01 BA23 BB05 BB35
Claims (8)
- 【請求項１】 熱抵抗を可変できる放熱器を設けた断熱
性の高い容器、前記容器の内部において気体を循環させ
るファン、前記容器内の温度を検出する温度検出手段、
及び、前記温度検出手段の出力に応じて前記放熱器の熱
抵抗を制御する熱抵抗制御手段を備えたことを特徴とす
る電子装置用簡易型恒温装置。 - 【請求項２】 上記気体として空気を用いるとともに、
空気の流れを整流する整流板を上記容器内に設けたこと
を特徴とする請求項１記載の電子装置用簡易型恒温装
置。 - 【請求項３】 上記気体として、ヘリウムガス、或い
は、ヘリウムガスと空気との混合ガスのいずれかを用い
たことを特徴とする請求項１記載の電子装置用簡易型恒
温装置。 - 【請求項４】 上記放熱器が、空冷放熱器からなり、且
つ、上記熱抵抗制御手段が、上記容器の外部に設けた送
風装置からなることを特徴とする請求項１乃至３のいず
れか１項に記載の電子装置用簡易型恒温装置。 - 【請求項５】 上記放熱器が、冷却流体を内部に循環さ
せる液冷放熱器からなり、且つ、上記熱抵抗制御手段
が、前記液冷放熱器への冷却流体の流入を制御する流量
制御装置からなることを特徴とする請求項１乃至３のい
ずれか１項に記載の電子装置用簡易型恒温装置。 - 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
電子装置用簡易型恒温装置の制御方法において、上記容
器の内部温度が動作設定温度より高くなった場合には、
上記熱抵抗制御手段により放熱器の熱抵抗を低くし、ま
た、上記容器の内部温度が動作設定温度より低くなった
場合には、上記熱抵抗制御手段により制御を停止するこ
とを特徴とする電子装置用簡易型恒温装置の制御方法。 - 【請求項７】 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の
電子装置用簡易型恒温装置の制御方法において、上記容
器の内部温度が動作設定温度より予め低く設定したオン
設定温度より高くなった場合には、上記熱抵抗制御手段
により放熱器の熱抵抗を低くし、また、上記容器の内部
温度が動作設定温度より予め高く設定したオフ設定温度
より低くなった場合には、上記熱抵抗制御手段により制
御を停止することを特徴とする電子装置用簡易型恒温装
置の制御方法。 - 【請求項８】 上記動作設定温度を、環境温度よりも高
く設定したことを特徴とする請求項６または７に記載の
電子装置用簡易型恒温装置の制御方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002080530A JP2003283175A (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | 電子装置用簡易型恒温装置及びその制御方法 |
| EP03720883A EP1489895A4 (en) | 2002-03-22 | 2003-03-19 | CONSTANT CONSTANT TEMPERATURE HOLDING DEVICE FOR AN ELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING A CONSTANT TEMPERATURE HOLDING DEVICE |
| PCT/JP2003/003309 WO2003081971A1 (fr) | 2002-03-22 | 2003-03-19 | Dispositif simple de maintien a temperature constante conçu pour un dispositif electronique et procede de commande d'un dispositif de maintien a temperature constante |
| US10/508,254 US20050201055A1 (en) | 2002-03-22 | 2004-09-20 | Simple constant temperature device for electronic device and method for controlling the constant temperature device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002080530A JP2003283175A (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | 電子装置用簡易型恒温装置及びその制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003283175A true JP2003283175A (ja) | 2003-10-03 |
Family
ID=28449094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002080530A Pending JP2003283175A (ja) | 2002-03-22 | 2002-03-22 | 電子装置用簡易型恒温装置及びその制御方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20050201055A1 (ja) |
| EP (1) | EP1489895A4 (ja) |
| JP (1) | JP2003283175A (ja) |
| WO (1) | WO2003081971A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008078206A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Fujitsu Ltd | 電子機器及びラック状装置 |
| JP2016167496A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | キヤノン株式会社 | 電子機器、その制御方法、および制御プログラム |
| KR20180088193A (ko) * | 2017-01-26 | 2018-08-03 | 삼성전자주식회사 | 적응적 열 저항 및 열 용량을 사용하는 열 관리 장치 및 방법 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005016115B4 (de) * | 2005-04-08 | 2007-12-20 | Rittal Gmbh & Co. Kg | Anordnung zum Kühlen eines elektronischen Gerätes |
| NL1029750C2 (nl) * | 2005-08-17 | 2007-02-20 | Isolectra B V | Koelsysteem en werkwijze voor het koelen van elektronische inrichtingen. |
| EP2197255A1 (de) | 2008-12-15 | 2010-06-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Hermetisch geschlossenes Gehäusesystem, insbesondere Elektronikgehäuse, mit Schwingmembranlüfter |
| US20110074256A1 (en) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | Manasek Acquisition Company, Llc | Drying Locker Array For Firefighter Turnout Gear |
| EP2685798B1 (en) | 2012-07-11 | 2019-02-13 | ABB Schweiz AG | An electrical room of an industrial equipment such as a container crane, the electrical room comprising a cooling device |
| CN103427601B (zh) * | 2013-09-03 | 2015-11-18 | 山西科达自控股份有限公司 | 矿用中高压变频器循环冷却装置 |
| US10431428B2 (en) | 2014-01-10 | 2019-10-01 | Reno Technologies, Inc. | System for providing variable capacitance |
| US10455729B2 (en) * | 2014-01-10 | 2019-10-22 | Reno Technologies, Inc. | Enclosure cooling system |
| WO2016087211A1 (de) * | 2014-12-04 | 2016-06-09 | Eaton Industries (Austria) Gmbh | Schaltschrank/schaltkasten mit verbesserter wärmeabfuhr |
| US10921536B2 (en) * | 2017-05-18 | 2021-02-16 | Arista Networks, Inc. | Heat sink for optical transceiver |
| US11240932B1 (en) * | 2018-07-27 | 2022-02-01 | Waymo Llc | Cold plate |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57127790A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-09 | Toshiba Corp | Refrigerating device for closed box |
| JPH0198298A (ja) * | 1987-10-12 | 1989-04-17 | Fujitsu Ltd | 冷却構造 |
| JPH04372198A (ja) * | 1991-06-21 | 1992-12-25 | Fujitsu Ltd | 空冷構造 |
| JPH05102687A (ja) * | 1991-10-04 | 1993-04-23 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 筐体の冷却装置 |
| JP2947671B2 (ja) * | 1992-06-30 | 1999-09-13 | 株式会社東芝 | 筐体内温度制御装置 |
| JPH06268388A (ja) * | 1993-03-12 | 1994-09-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子機器筐体内部の冷却方法および装置 |
| JP3337789B2 (ja) * | 1993-10-15 | 2002-10-21 | 古河電気工業株式会社 | ヒートパイプ式筐体冷却器 |
| JPH07307962A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-11-21 | Fujitsu Ltd | 回路基板の実装構造 |
| US5523563A (en) * | 1994-08-12 | 1996-06-04 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Apparatus for controlling the temperature of a near-infrared analyzer |
| AU699379B2 (en) * | 1996-03-29 | 1998-12-03 | Denso Corporation | Cooling apparatus using boiling and condensing refrigerant |
| JPH09307257A (ja) * | 1996-05-20 | 1997-11-28 | Fujitsu General Ltd | 映像表示装置 |
| US5655375A (en) * | 1996-06-24 | 1997-08-12 | Y.B.S. Enterprises, Inc. | Antenna mast-top mountable thermo-electrically cooled amplifier enclosure system |
| JP3529977B2 (ja) * | 1997-05-15 | 2004-05-24 | 富士通株式会社 | 屋外設置用キャビネット型通信装置 |
| US5929581A (en) * | 1997-10-22 | 1999-07-27 | Hewlett-Packard Company | Proportional integral fan controller for computer |
| US6330152B1 (en) * | 2000-06-08 | 2001-12-11 | Lockheed Corp | Apparatus facilitating use of cots electronics in harsh environments |
-
2002
- 2002-03-22 JP JP2002080530A patent/JP2003283175A/ja active Pending
-
2003
- 2003-03-19 WO PCT/JP2003/003309 patent/WO2003081971A1/ja active Application Filing
- 2003-03-19 EP EP03720883A patent/EP1489895A4/en not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-09-20 US US10/508,254 patent/US20050201055A1/en not_active Abandoned
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008078206A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Fujitsu Ltd | 電子機器及びラック状装置 |
| JP2016167496A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | キヤノン株式会社 | 電子機器、その制御方法、および制御プログラム |
| KR20180088193A (ko) * | 2017-01-26 | 2018-08-03 | 삼성전자주식회사 | 적응적 열 저항 및 열 용량을 사용하는 열 관리 장치 및 방법 |
| KR102701849B1 (ko) * | 2017-01-26 | 2024-09-02 | 삼성전자주식회사 | 적응적 열 저항 및 열 용량을 사용하는 열 관리 장치 및 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1489895A4 (en) | 2008-11-05 |
| EP1489895A1 (en) | 2004-12-22 |
| WO2003081971A1 (fr) | 2003-10-02 |
| US20050201055A1 (en) | 2005-09-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003283175A (ja) | 電子装置用簡易型恒温装置及びその制御方法 | |
| KR102092830B1 (ko) | 밀폐공간에서 내부열 배출을 위한 방열장치를 구비한 방수 가능 전자장치용 하우징 및 그 하우징을 이용한 방열방법 | |
| US11464137B2 (en) | Active control for two-phase cooling | |
| US7272004B2 (en) | Frequency converter | |
| US20080137296A1 (en) | Active Cooling of Outdoor Enclosure Under Solar Loading | |
| MXPA03006187A (es) | Dispositivo electronico. | |
| US20080212280A1 (en) | Electronic apparatus | |
| CN111654997B (zh) | 车辆走行风冷式散热系统及方法 | |
| JP2008171943A (ja) | 電子機器用ラック及びアンプラック | |
| JPH06315265A (ja) | 電力変換装置の冷却構造 | |
| JPH07234036A (ja) | 熱電変換素子の吸・発熱量可変装置 | |
| JPH09186379A (ja) | レーザ冷却用熱交換器及びレーザ装置 | |
| US11523547B2 (en) | Electrical devices with buoyancy-enhanced cooling | |
| JPH07335797A (ja) | 半導体デバイス等の冷却装置 | |
| JP2008042144A (ja) | 電子機器の冷却構造 | |
| KR102674491B1 (ko) | 방열 성능 개선을 위한 에어컨 시스템 | |
| CN209910120U (zh) | 一种空调控制器 | |
| JPH0528946A (ja) | ビームテスタ用温度調節装置 | |
| JP2003005235A (ja) | 結晶安定化装置 | |
| JPH0525795U (ja) | 放熱装置 | |
| JP2001108326A (ja) | 熱媒供給装置 | |
| TWM619467U (zh) | 移動式空調裝置 | |
| JPH023320B2 (ja) | ||
| JP2002198676A (ja) | 機器収納用密閉筐体 | |
| JPH0340567B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040601 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040802 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040921 |