JP2002299409A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】第１基板搬送アームと第２基板搬送アームとの
間での基板の受け渡しを確実に行うことができ、これに
より基板の確実な搬送を実現する。パーティクルの発生
を抑制しつつ基板を搬送する。 【解決手段】未処理のウエハＷがインデクサロボットの
ハンド３１から、センターロボットのアーム４１へと受
け渡される。処理済みのウエハＷは、センターロボット
のアーム４２からインデクサロボットのハンド３２へと
受け渡される。ハンド３１，３２には、ウエハＷの位置
ずれを規制するための規制部材３５〜３８が備えられて
いる。アーム４１，４２には、ウエハＷの位置ずれを規
制するための規制部材４７〜５４が備えられている。ウ
エハＷを受け渡される側のハンドまたはアーム４１，３
２の規制範囲Ｓ４１，Ｓ３２は、ウエハＷを受け渡す側
のハンドまたはアーム３１，４２の規制範囲Ｓ３１，Ｓ
４２よりも大きい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハ、
液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガ
ラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基
板、磁気ディスク用基板および光磁気ディスク用基板に
代表される各種の基板を搬送するための基板搬送装置お
よび基板搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、半導体装置の製造工程では、
半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という。）に対して
各種の処理を施すための基板処理装置が用いられる。こ
の基板処理装置には、ウエハを１枚ずつ搬送するための
基板搬送装置が備えられている。基板処理装置は、たと
えば、インデクサユニットと基板処理ユニットとを結合
して構成されている。インデクサユニットは、複数枚の
ウエハを収容することができるカセットが置かれるカセ
ットステーションと、このカセットステーションに置か
れたカセットに対してウエハの搬入および搬出を行うた
めのインデクサロボットとを備えている。基板処理ユニ
ットは、たとえば、複数の処理部と、この複数の処理部
に対してウエハの搬入および搬出を行い、さらにインデ
クサロボットとの間でウエハの受け渡しを行うセンター
ロボットとを備えている。

【０００３】図４に簡略化して示すように、インデクサ
ロボットは、ウエハを搬送するためのハンド１００を備
えており、同様に、センターロボットは、ウエハを搬送
するためのアーム２００を備えている。インデクサロボ
ットのハンド１００は、ビーム形状に形成された本体部
１０１と、この本体部１０１の基端部側に設けられた規
制部材１０２と、本体部１０１の先端部に設けられた規
制部材１０３とを備えている。規制部材１０２，１０３
は、保持すべきウエハＷに対応した円形の規制範囲Ｓ１
００内において、ウエハＷの位置ずれを防止するように
構成されている。この場合、規制部材１０２，１０３の
内接縁の内部の範囲である規制範囲Ｓ１００は、ウエハ
Ｗの直径φＷに対して所定のクリアランスδを加えた直
径φＡ（＝φＷ＋δ）を有している。

【０００４】センターロボットのアーム２００は、たと
えばフォーク形状に形成されていて、互いに平行な一対
の腕部２０１，２０２を備えている。これらの腕部２０
１，２０２の先端部および基端部には、それぞれ規制部
材２０３，２０４，２０５，２０６が上面に固定されて
いる。これらの規制部材２０３〜２０６は、ウエハＷの
形状に対応した円形の規制範囲Ｓ２００内で、ウエハＷ
の位置ずれを規制する。規制部材２０３〜２０６の内接
縁の内部の範囲である規制範囲Ｓ２００は、ウエハＷの
直径δＷよりも上記所定のクリアランスδだけ大きな直
径φＢ（＝φＷ＋δ＝φＡ）の円形領域である。

【０００５】すなわち、インデクサロボットのハンド１
００における規制範囲Ｓ１００と、センターロボットの
アーム２００における規制範囲Ｓ２００とは同じ大きさ
に定められている。図５は、規制部材１０２，１０３；
２０３〜２０６の形状を説明するための断面図である。
規制部材１０２，１０３；２０３〜２０６はほぼ同様な
断面形状を有していて、ウエハＷの裏面の周縁部を支持
する水平なウエハ支持面１１１と、このウエハ支持面１
１１の外縁からほぼ垂直に立ち上がった規制面１１２
と、この規制面１１２の上縁に連なるテーパー面１１３
とを有している。テーパー面１１３は、規制範囲の内方
に向かうに従って下降する傾斜面をなしている。これに
より、ハンド１００，２００の間でのウエハＷの受け渡
しの際に、ウエハＷの位置ずれが生じたとしても、この
ような位置ずれの生じたウエハＷの周端縁がテーパー面
１１３によって案内され、ウエハＷは、規制面１１２に
よって周端縁が規制された状態へと落とし込まれる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述の先行技術の１つ
の問題は、ウエハＷの周端縁がテーパー面１１３によっ
て案内される際に、ウエハＷの周端縁がテーパー面１１
３上を摺動することによって、パーティクルが発生する
ことである。また、インデクサロボットおよびセンター
ロボットに対するティーチングによって、ハンド１００
およびアーム２００の間でのウエハＷの受け渡しの際に
おけるウエハＷの位置は、テーパー面１１３によるウエ
ハＷの落とし込みができるように調整されるのである
が、ティーチングの精度やハンド１００およびアーム２
００の停止位置の精度が悪い場合もある。このような場
合には、ウエハＷの位置がテーパー面１１３によって案
内することができないほど大きくずれる可能性がある。
この場合に、ウエハＷが規制部材１０２，１０３；２０
３〜２０６の上面１１４に乗り上げた状態となり、ハン
ド１００およびアーム２００によるウエハＷの搬送中
に、ウエハＷが落下する虞れがある。

【０００７】そこで、この発明の目的は、第１基板搬送
アームと第２基板搬送アームとの間での基板の受け渡し
を確実に行うことができ、これにより基板の確実な搬送
を実現できる基板搬送装置および基板搬送方法を提供す
ることである。また、この発明の他の目的は、パーティ
クルの発生を抑制しつつ基板を搬送できる基板搬送装置
および基板搬送方法を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項１記載の発明は、第１規制
部材（３５，３７；４９，５０，５３，５４）によって
所定の規制範囲内で基板の位置ずれを規制しつつ基板を
搬送する第１基板搬送アーム（３１，４２）と、この第
１基板搬送アームから基板を受け取り、第２規制部材
（４７，４８，５１，５２；３６，３８）によって上記
所定の規制範囲よりも大きい規制範囲内で基板の位置ず
れを規制しつつ基板を搬送する第２基板搬送アーム（４
１，３２）とを含むことを特徴とする基板搬送装置であ
る。なお、括弧内の英数字は後述の実施形態における対
応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。

【０００９】この構成によれば、第１基板搬送アームか
ら基板を受け取る第２基板搬送アームは、第１基板搬送
アーム上での規制範囲よりも大きな規制範囲内で基板の
位置ずれを規制する構成となっている。したがって、基
板の受け渡し時における基板の位置精度が多少悪くて
も、第２基板搬送アームは第２規制部材によって規定さ
れる規制範囲内に基板を保持することができる。これに
よって、第２基板搬送アームは、第２規制部材によって
基板の位置ずれを確実に規制した状態で基板を搬送でき
るから、基板搬送不良が生じることがない。

【００１０】請求項２記載の発明は、上記第２規制部材
の規制範囲に対向する部位は、規制範囲に向かって基板
を案内するための傾斜面のない直立面（７２）を成して
いることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置であ
る。同様に、第１基板搬送アームの第１規制部材の規制
範囲に対向する部位は、規制範囲に向かって基板を案内
するための傾斜面のない直立面を成していることが好ま
しい。

【００１１】請求項２の発明によれば、第２規制部材に
は規制範囲へと基板を案内するための傾斜面が設けられ
ていないので、この傾斜面における基板の摺接が生じる
ことがない。これによって、パーティクルの発生を防止
できる。この発明では、第２基板搬送アームにおける第
２規制部材による規制範囲は、第１基板搬送アームにお
ける規制範囲よりも大きく定められているので、上記の
ような傾斜面がなくても、第２基板搬送アームは第１基
板搬送アームから受け取った基板を確実に第２規制部材
による規制範囲内に保持することができる。

【００１２】請求項３に記載のように、上記基板は実質
的に円板状の円形基板（Ｗ）であってもよく、この場合
には、上記第１規制部材および第２規制部部材による規
制範囲は、これらの第１および第２規制部材の内接縁の
内部の範囲により規定されることになる。また、請求項
４に記載のように、上記基板は実質的に長方形板状の角
形基板であってもよく、この場合には、上記第１規制部
材および第２規制部材による規制範囲は、これらの第１
および第２規制部材の内接長方形の内部の範囲によって
規定されることになる。

【００１３】請求項５記載の発明は、上記第１基板搬送
アームによって基板が載置され、この載置された基板が
上記第２基板搬送アームによって受け取られる基板載置
手段（８１，８２）をさらに含むことを特徴とする請求
項１ないし４のいずれかに記載の基板搬送装置である。
このように、第１基板搬送アームから第２基板搬送アー
ムへの基板の受け渡しは、第１および第２基板搬送アー
ム間で直接的に行われる必要はなく、基板載置手段を介
在して行うようにしてもよい。

【００１４】請求項６記載の発明は、第１基板搬送アー
ム（３１，４２）から第２基板搬送アーム（４１，３
２）へと基板を受け渡して基板を搬送する方法であっ
て、第１規制部材（３５，３７；４９，５０，５３，５
４）によって所定の規制範囲内で基板の位置ずれを規制
しつつ第１基板搬送アームによって基板を搬送する工程
と、この第１基板搬送アームから第２基板搬送アームへ
と基板を受け渡す工程と、第２規制部材（４７，４８，
５１，５２；３６，３８）によって上記所定の規制範囲
よりも大きい規制範囲内で基板の位置ずれを規制しつつ
上記第２基板搬送アームによって基板を搬送する工程と
を含むことを特徴とする基板搬送方法である。

【００１５】この方法により、請求項１に関連して述べ
た効果と同様の効果を達成できる。なお、この請求項６
の方法に関して、請求項２ないし５に述べた構成に相当
する特徴が組み合わされてもよい。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下では、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態に係る基板搬送装置および基板搬送方
法が適用された基板処理装置の構成を示す図解的な平面
図である。この基板処理装置は、基板処理ユニット１に
インデクサユニット２を結合して構成されている。基板
処理ユニット１は、複数（この実施形態では４個）の処
理部１１，１２，１３，１４と、これらの処理部１１〜
１４によって取り囲まれるように配置されたセンターロ
ボット１５とを備えている。また、インデクサユニット
２は、基板の一例としての半導体ウエハ（以下単に「ウ
エハ」という。）Ｗを多段に保持することができるカセ
ットＣが所定のカセット整列方向に沿って複数個配置可
能なカセットステーション２１と、このカセットステー
ション２１に置かれたカセットＣに対してウエハＷの搬
入および搬出を行うインデクサロボット２２とを備えて
いる。

【００１７】インデクサロボット２２は、カセット整列
方向に沿って敷設されたレール２５に沿って走行するこ
とができるように構成されており、ウエハＷを保持して
搬送するための一対のハンド３１，３２を備えている。
たとえば、一方のハンド３１は、カセットＣから未処理
のウエハＷを搬出してセンターロボット１５に受け渡す
ために用いられ、他方のハンド３２は、センターロボッ
ト１５から処理済のウエハＷを受け取って、このウエハ
Ｗをカセットステーション２１に置かれたいずれかのカ
セットＣに搬入するために用いられる。

【００１８】このような動作を可能とするために、イン
デクサロボット２２には、ハンド３１，３２をカセット
ステーション２１に置かれたカセットＣに対して進退さ
せるための進退駆動機構と、ハンド３１，３２を鉛直方
向に沿って昇降させるための昇降機構とが備えられてい
る。図１では、ハンド３１，３２はカセット整列方向に
ずれて配置されているように表わされているが、これら
のハンド３１，３２は上下に重なり合って配置されるこ
とが好ましい。

【００１９】処理部１１〜１４は、たとえばウエハＷの
表面および／または裏面を洗浄するための洗浄ユニット
等であってもよい。これらの処理部１１〜１４に対する
基板の搬入および搬出を行うために、センターロボット
１５は、一対のアーム４１，４２を備えている。たとえ
ば、一方のアーム４１は、インデクサロボット２２から
未処理のウエハＷを受け取り、この未処理のウエハＷを
いずれかの処理部１１〜１４に搬入するために用いられ
る。また、他方のアーム４２は、いずれかの処理部１１
〜１４から処理済のウエハＷを搬出し、このウエハＷを
インデクサロボット２２に受け渡すために用いられる。
図１では、アーム４１，４２は平面位置をずらして表わ
されているが、これらのアーム４１，４２は上下に重な
り合って立体的に配置されていることが好ましい。

【００２０】センターロボット１５は、アーム４１，４
２を保持している基台部を鉛直軸線回りに回転させる回
転駆動機構と、上記基台を鉛直方向に昇降させるための
昇降駆動機構と、アーム４１，４２を上記基台の回転軸
線に対して近接／離反する方向に個別に進退させるため
の進退駆動機構とを備えている。この構成により、セン
ターロボット１５は、一方のアーム４２をインデクサロ
ボット２２に向かって前進させてその一方のハンド３２
に処理済のウエハＷを受け渡す。これと相前後して、他
方のアーム４１をインデクサロボット２２に前進させ
て、そのハンド３１から未処理のウエハＷを受け取る。
この後、上記基台部を回転させていずれかの処理部１１
〜１４にアーム４１，４２を向ける。そして、当該処理
部１１〜１４に向かって一方のアーム４２を前進させ
て、処理済のウエハＷを搬出し、これと相前後して他方
のアーム４１を当該処理部１１〜１４に前進させること
により、未処理のウエハＷをそこに搬入する。このよう
な動作が繰り返されることによって、処理部１１〜１４
におけるウエハＷを交換しつつ、複数枚のウエハＷに対
する処理を行うことができる。

【００２１】図２は、インデクサロボット２２のハンド
３１，３２およびセンターロボット１５のアーム４１，
４２の構成を説明するための図解的な平面図である。イ
ンデクサロボット２２のハンド３１，３２は、ビーム形
状の本体部３３，３４と、この本体部３３，３４の基端
部および先端部にそれぞれ設けられた規制部材３５，３
６；３７，３８を備えている。ハンド３１に備えられた
規制部材３５，３７は、直径φ３１の円形の規制範囲Ｓ
３１を規定している。この規制範囲Ｓ３１は、規制部材
３５，３７の内接縁の内部の範囲に相当する。規制範囲
Ｓ３１の直径φ３１は、ウエハＷの直径φＷよりも所定
のクリアランスδ１だけ大きく定められている。すなわ
ち、φ３１＝φＷ＋δ１である。

【００２２】同様に、ハンド３２に備えられた規制部材
３６，３８は直径φ３２の円形の規制範囲Ｓ３２を規定
している。この規制範囲Ｓ３２は、規制部材３６，３８
の内接縁の内部の範囲に相当する。一方、センターロボ
ット１５のアーム４１，４２は、互いに平行な一対の腕
部４３，４４；４５，４６を有するフォーク形状に形成
されている。腕部４３〜４６の基端部および先端部には
それぞれ規制部材４７，４８，４９，５０；５１，５
２，５３，５４が固定されている。アーム４１の規制部
材４７，４８，５１，５２は、直径φ４１の円形の規制
範囲Ｓ４１を規定している。この規制範囲Ｓ４１は、規
制部材４７，４８，５１，５２の内接縁の内部の範囲に
相当する。同様に、アーム４２の規制部材４９，５０，
５３，５４は、直径φ４２の円形の規制範囲Ｓ４２を規
定している。この規制範囲Ｓ４２は、規制部材４９，５
０，５３，５４の内接縁の内部の範囲に相当する。規制
範囲Ｓ４２の直径φ４２は、ウエハＷの直径φＷよりも
所定のクリアランスδ２（δ２はδ１と等しくてもよ
く、δ１とは異なる値であってもよい。）だけ大きく定
められている。すなわち、φ４２＝φＷ＋δ２である。

【００２３】規制範囲Ｓ３１，Ｓ３２，Ｓ４１，Ｓ４２
の直径φ３１，φ３２，φ４１，φ４２の間には、下記
第（１）式および第（２）式の関係が成立している。 φ３１＜φ４１ ・・・・・・（１） φ３２＞φ４２ ・・・・・・（２） すなわち、ウエハＷを受け渡す側のハンドまたはアーム
３１，４２における規制範囲Ｓ３１，Ｓ４２よりも、ウ
エハＷを受け取る側のハンドまたはアーム３２，４１の
規制範囲Ｓ３２，Ｓ４１の方が大きくなるように、規制
部材３５〜３８，４７〜５４の形状および配置が定めら
れている。

【００２４】図３は、規制部材３５〜３８，４７〜５４
の形状を説明するための断面図である。規制部材３５〜
３８，４７〜５４は、各規制範囲Ｓ３１，Ｓ３２，Ｓ４
１，Ｓ４２の直径方向に沿う断面形状がほぼ同様であ
る。すなわち、これらの規制部材は、ウエハＷの裏面の
周縁部を支持する水平なウエハ支持面７１と、このウエ
ハ支持面７１の外方縁からほぼ垂直に立ち上がったウエ
ハ規制面７２とを有している。ウエハ規制面７２の上端
縁には、ウエハＷを規制範囲Ｓ３１，Ｓ３２，Ｓ４１，
Ｓ４２へと案内するためのテーパー面等は設けられてい
ない。

【００２５】以上のように、この実施形態によれば、ウ
エハＷを受け渡す側のハンドまたはアーム３１，４２の
規制範囲Ｓ３１，Ｓ４２よりも、ウエハＷを受け取る側
のハンドまたはアーム３２，４１の規制範囲Ｓ３２，Ｓ
４１の方が大きく定められている。これにより、ウエハ
Ｗの受け渡し時におけるウエハＷの位置に多少の誤差が
生じていたとしても、ウエハＷの受け渡しを確実に行う
ことができ、ウエハＷを受け取ったハンドまたはアーム
３２，４１は、その規制範囲Ｓ３２，Ｓ４１内において
ウエハＷを確実に規制し、その位置ずれを防止しつつ搬
送することができる。これにより、ウエハＷの確実な搬
送が可能となり、搬送中のウエハＷが落下したりする事
故が生じることがない。

【００２６】また、規制範囲Ｓ３１，Ｓ３２，Ｓ４１，
Ｓ４２の大きさを上記の通りに定めていることにより、
規制部材３５〜３８，４７〜５４に、ウエハＷを規制範
囲内に案内するためのテーパー面を設ける必要がない。
これにより、ウエハＷの周端縁がテーパー面上を摺動す
ることにより生じるパーティクルの問題を克服すること
ができる。以上、この発明の一実施形態について説明し
たが、この発明は他の形態で実施することもできる。た
とえば、上記の実施形態では、ほぼ円形の基板であるウ
エハＷの搬送が行われる例について説明したが、ほぼ長
方形板状の基板である角形基板（たとえば液晶表示パネ
ル用ガラス基板等）の搬送を行う場合にも、この発明を
適用することができる。この場合には、基板搬送アーム
またはハンドに長方形の規制範囲を規定する規制部材を
設けておき、基板を受け渡す側のアームまたはハンドに
おける長方形の規制範囲よりも、基板を受け取る側のア
ームまたはハンドにおける長方形の規制範囲を大きく定
めておけばよい。

【００２７】さらに、上記の実施形態では、インデクサ
ロボット２２とセンターロボット１５との間でウエハＷ
が直接的に受け渡される例について説明したが、たとえ
ば、図１に示されているように、インデクサロボット２
２とセンターロボット１５との間に基板載置台８１，８
２を設けてもよい。すなわち、インデクサロボット２２
のハンド３１が未処理のウエハＷを基板載置台８１に載
置し、この載置されたウエハＷをセンターロボット１５
のアーム４１が受け取るようにして、ウエハＷの受け渡
しを行ってもよい。同様に、処理済のウエハＷをセンタ
ーロボット１５のアーム４２によって基板載置台８２に
置き、このウエハＷをインデクサロボット２２のハンド
３２によって受け取り、カセットＣへと収容するように
してもよい。図１では、基板載置台８１，８２は平面位
置をずらして表わされているけれども、これらの基板載
置台８１，８２は上下に重なり合って立体的に設けられ
ることが好ましい。

【００２８】その他、特許請求の範囲に記載された事項
の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態に係る基板搬送装置およ
び基板搬送方法が適用された基板処理装置の構成を示す
図解的な平面図である。

【図２】インデクサロボットのハンドおよびセンターロ
ボットのアームの構成を説明するための図解的な平面図
である。

【図３】規制部材の形状を説明するための断面図であ
る。

【図４】従来の基板搬送アームの構成を示す平面図であ
る。

【図５】上記従来の基板搬送アームに備えられた規制部
材の形状を説明するための断面図である。

【符号の説明】

１ 基板処理ユニット １１〜１４ 処理部 １５ センターロボット ４１，４２ アーム Ｓ４１，Ｓ４２ 規制範囲 φ４１，φ４２ 規制範囲の直径 ４７〜５４ 規制部材 ２ インデクサユニット ２１ カセットステーション ２２ インデクサロボット ３１，３２ ハンド Ｓ３１，Ｓ３２ 規制範囲 φ３１，φ３２ 規制範囲の直径 ３５〜３８ 規制部材 ７１ ウエハ支持面 ７２ ウエハ規制面 ８１，８２ 基板載置台

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 5/84 Ｇ１１Ｂ 5/84 Ｚ 7/26 7/26 Ｆターム(参考） 3C007 AS01 DS01 ES17 EV05 EV23 EW00 NS09 NS12 NS13 NS14 5D112 KK02 KK04 5D121 AA02 JJ03 JJ04 5F031 CA01 CA02 CA04 CA07 FA01 FA07 FA11 FA14 FA15 GA06 GA38 GA48 GA50 JA27 PA26

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１規制部材によって所定の規制範囲内で
   基板の位置ずれを規制しつつ基板を搬送する第１基板搬
   送アームと、 この第１基板搬送アームから基板を受け取り、第２規制
   部材によって上記所定の規制範囲よりも大きい規制範囲
   内で基板の位置ずれを規制しつつ基板を搬送する第２基
   板搬送アームとを含むことを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】上記第２規制部材の規制範囲に対向する部
   位は、規制範囲に向かって基板を案内するための傾斜面
   のない直立面を成していることを特徴とする請求項１記
   載の基板搬送装置。
3. 【請求項３】上記基板は、実質的に円板状の円形基板で
   あり、上記第１規制部材および第２規制部材による規制
   範囲は、これらの第１および第２規制部材の内接円の内
   部の範囲であることを特徴とする請求項１または２記載
   の基板搬送装置。
4. 【請求項４】上記基板は、実質的に長方形板状の角形基
   板であり、上記第１規制部材および第２規制部材による
   規制範囲は、これらの第１および第２規制部材の内接長
   方形の内部の範囲であることを特徴とする請求項１また
   は２記載の基板搬送装置。
5. 【請求項５】上記第１基板搬送アームによって基板が載
   置され、この載置された基板が上記第２基板搬送アーム
   によって受け取られる基板載置手段をさらに含むことを
   特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の基板搬
   送装置。
6. 【請求項６】第１基板搬送アームから第２基板搬送アー
   ムへと基板を受け渡して基板を搬送する方法であって、 第１規制部材によって所定の規制範囲内で基板の位置ず
   れを規制しつつ第１基板搬送アームによって基板を搬送
   する工程と、 この第１基板搬送アームから第２基板搬送アームへと基
   板を受け渡す工程と、 第２規制部材によって上記所定の規制範囲よりも大きい
   規制範囲内で基板の位置ずれを規制しつつ上記第２基板
   搬送アームによって基板を搬送する工程とを含むことを
   特徴とする基板搬送方法。