JP2001179732A - スクライブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カッタからワークに良好な動荷重および静荷
重を付与し、ワーク表面にダメージを与えることなく、
深い縦クラックを生じさせることができるスクライブ装
置を提供する。 【解決手段】 カッタ１２がワーク１１から浮き上がる
のを防止する錘１８を設け、磁力を用いて錘１８の荷重
をスクライブ本体１７に伝え、この錘１８を振動発生部
材２７の振動の方向に移動可能にする。スクライブ本体
１７の振動に伴って、磁力によって浮いている錘１８も
振動するので、磁力の反発力が変動することが少ない。
したがって、カッタ１２からワーク１１に適正な動荷重
を付与することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス、半導体等
の脆性材料からなるワークを切断するスクライブ装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】カッタを振動してワークを切断するスク
ライブ装置が知られている。このスクライブ装置は、ス
クライブ本体内に振動を発生する振動発生部材を有し、
スクライブ本体の下端に設けたカッタを振動する。カッ
タをワークの表面に接触させると、カッタの位置が一定
のまま、スクライブ本体が振動する。これにより、カッ
タからワークに加わる加圧力が振動し、ワーク表面に垂
直な縦クラックが発生する。

【０００３】従来のスクライブ装置にあっては、スクラ
イブ本体を振動すると、カッタがワークから跳ね上が
り、その結果、ワーク表面に横クラック等のきずが発生
し、良好な縦クラックが形成されないことがあった。こ
のため、本出願人は、図７に示すように、錘１およびば
ね２を用いてカッタ３がワーク５から浮き上がるのを防
止したスクライブ装置を提案した（特開平１１−１５７
８６０号公報参照）。このスクライブ装置は、スクライ
ブ本体４の上方にばね２を介して錘１を設けたもので、
錘１の重力がスクライブ本体４に加わり、カッタ３がワ
ーク５から浮き上がるのを防止する。ワーク５には、質
量Ｗ１の錘１および質量Ｗ２のスクライブ本体２を合算
した重力が、静荷重として加わる。

【０００４】また、本出願人は、図８に示すように、磁
石を用いてカッタ３がワーク５から浮き上がるのを防止
したスクライブ装置を提案した（特願平１１−２２３５
４６号参照）。このスクライブ装置は、固定部６とスク
ライブ本体４との間に互いに反発する第１の磁石対７，
７および第２の磁石対８，８を設けたもので、磁石の反
発力がスクライブ本体４に加わり、カッタ３がワーク５
から浮き上がるのを防止する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
１１−１５７８６０号公報のスクライブ装置にあって
は、振動発生部材の振動数がばね・錘系の固有振動数に
近くなると、錘１が共振し、ばね２側からスクライブ本
体４に望ましくない弾性力が付加されるという問題があ
った。また、錘１を設けたため、カッタ３からワーク５
に加わる静荷重が大きくなり、ワーク５表面に横クラッ
ク等のダメージが生じることもあった。さらに、スクラ
イブ本体４および錘１の案内が不十分だと、スクライブ
本体４がよろめき、カッタ３からワーク５に適正な動荷
重を付与することができないという問題もあった。

【０００６】また、特願平１１−２２３５４６号記載の
スクライブ装置にあっては、磁石対７，７，８，８間の
距離がスクライブ本体４の振動に伴って変化するので、
磁石７，７，８，８の反発力が変動し、カッタ３からワ
ーク５に適正な動荷重を付与することができないという
問題があった。

【０００７】そこで、本発明は、カッタからワークに適
正な動荷重および静荷重を付与し、ワーク表面にダメー
ジを与えることなく、深い縦クラックを生じさせること
ができるスクライブ装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以下、本発明について説
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものでない。

【０００９】上記課題を解決するために、本発明者は、
鋭意研究を重ねた。その結果、カッタ（１２）がワーク
（１１）から浮き上がるのを防止する錘（１８）を設
け、磁力を用いて錘（１８）の荷重をスクライブ本体
（１７）に伝え、この錘（１８）を振動発生部材（２
７）の振動の方向に移動可能にすることで、カッタ（１
２）からワーク（１１）に適正な動荷重が付与されるこ
とを知見した。すなわち、本発明は、カッタ（１２）を
振動してワーク（１１）を切断するスクライブ装置であ
って、前記カッタ（１２）および振動を発生する振動発
生部材（２７）を有するスクライブ本体（１７）と、前
記スクライブ本体（１７）に荷重を加え、前記カッタ
（１２）が前記ワーク（１１）から浮き上がるのを防止
する錘（１８）と、磁力を用いて前記錘（１８）の荷重
を前記スクライブ本体（１７）に伝える荷重付与手段
（１９）とを備え、前記錘（１８）が前記振動発生部材
（２７）の振動の方向に移動することを特徴とするスク
ライブ装置により、上述した課題を解決した。ここで、
振動の方向とは、振動発生部材（２７）が伸縮する方向
をいう。

【００１０】この発明によれば、スクライブ本体（１
７）の振動に伴って、磁力によって浮いている錘（１
８）も振動するので、磁力の反発力が変動することが少
ない。したがって、カッタ（１２）からワーク（１１）
に適正な動荷重を付与することができる。また、錘（１
８）とスクライブ本体（１７）との間を連結するばねを
設けていないので、錘（１８）が共振することもない。
さらに、カッタ（１２）がワーク（１１）に載り上げた
り、ワーク（１１）の板厚が変化したり、あるいはワー
ク（１１）がうねっていても、カッタ（１２）に追従し
て錘（１８）が移動するので、このような場合でも磁力
の反発力が変動することがない。ここで、動荷重とは、
スクライブ本体（１７）の振動によりカッタ（１２）か
らワーク（１１）に加わる荷重をいう。

【００１１】荷重付与手段（１９）は、錘（１８）およ
びスクライブ本体（１７）それぞれに設けられ、互いに
反発する一対の荷重用磁石（１９ａ，１９ｂ）から構成
することができる。

【００１２】また、本発明は、前記錘（１８）と前記荷
重付与手段（１９）との間、または前記荷重付与手段
（１９）と前記スクライブ本体（１７）との間に、ばね
（４０）を介在したことを特徴とする。

【００１３】この発明によれば、ばね（４０）と荷重付
与手段（１９）を直列的に繋げているので、スクライブ
本体（１７）の振動が複合化し、カッタ（１２）からワ
ーク（１１）に複雑に振動する動荷重を付与することが
できる。したがって、正弦波で切断しにくいシリコン等
の材料にも深い縦クラックを形成することができる。

【００１４】錘（１８）に板ばね（４０）を取り付け、
荷重用磁石（１９ａ）をこの板ばね（４０）に取り付け
ると、板ばね（４０）と荷重付与手段（１９）とを直列
に繋げることができる。なお、これらの代わりに、板ば
ね（４０）をスクライブ本体（１７）側に取り付け、荷
重用磁石（１９ｂ）をこの板ばね（４０）に取り付けて
もよい。

【００１５】また、本発明は、前記スクライブ本体（１
７）および前記錘（１８）が、前記振動発生部材（２
７）の振動の方向に直線運動可能なように直線運動装置
（２１，２２）を介してベース（１５）に取り付けられ
ることを特徴とする。

【００１６】この発明によれば、スクライブ本体（１
７）および錘（１８）がよろめくことないので、カッタ
（１２）からワーク（１１）に適正な動荷重を付与する
ことができる。

【００１７】また、本発明は、前記カッタ（１２）から
前記ワーク（１１）に加わる静荷重を、磁力を用いて調
整する静荷重調整手段（２０）を備えることを特徴とす
る。ここで、静荷重とは、カッタ（１２）からワーク
（１１）に常に、スクライブ本体（１７）を振動させな
いときにも加わっている荷重をいい、スクライブ本体
（１７）および錘（１８）の重力に起因する。

【００１８】脆性材料のワーク（１１）を切断する際、
動荷重を大きくし、静荷重を小さくすると、ワーク表面
（１１ａ）のダメージを少なくし、しかも深い縦クラッ
クを形成することができる。本発明によれば、磁力を用
いて静荷重を調整する静荷重調整手段（２０）を備える
ので、スクライブ本体（１７）の質量を重くしたまま静
荷重を小さくすることができる。したがって、動荷重を
大きくしたまま静荷重を小さくすることができ、脆性材
料の切断に適したスクライブ装置が得られる。

【００１９】また、本発明は、前記静荷重調整手段（２
０）は、前記スクライブ本体（１７）および前記ベース
（１５）それぞれに設けられ、互いに反発する一対の浮
上用磁石（２０ａ，２０ｂ）から構成されることを特徴
とする。

【００２０】この発明によれば、磁石の反発する力によ
ってスクライブ本体（１７）に浮力を加えることがで
き、静荷重を小さくすることができる。

【００２１】さらに、本発明は、前記ベース（１５）に
設けられた前記浮上用磁石（２０ｂ）の高さを調整する
高さ調整機構（４６）を設けたことを特徴とする。ま
た、本発明は、前記ベース（１５）に設けられた前記浮
上用磁石（２０ｂ）は、磁力を調整可能な電磁石からな
ることを特徴とする。

【００２２】これらの発明によれば、ワーク（１１）に
応じて静荷重を最適に調整することができる。

【００２３】さらに、本発明は、錘（１８）または前記
スクライブ本体（１７）の質量を変化する質量変化手段
を備えることを特徴とする。ここで、質量変化手段に
は、ボルト結合、接着等の結合手段によって付加される
質量付加用錘（３６）を用いることができる。

【００２４】この発明によれば、錘（１８）または前記
スクライブ本体（１７）の質量を変化するので、静荷重
および動荷重をワーク（１１）に応じて最適に調整する
ことができる。

【００２５】また、本発明は、カッタ（１２）を振動し
てワーク（１１）を切断するスクライブ装置であって、
前記カッタ（１２）および振動を発生する振動発生部材
（２７）を有するスクライブ本体（１７）と、前記スク
ライブ本体（１７）に荷重を加え、前記カッタ（１２）
が前記ワーク（１１）から浮き上がるのを防止する弾性
部材（４０）と、この弾性部材（４０）と前記スクライ
ブ本体（１７）との間に設けられ、磁力を用いて前記弾
性部材（４０）の荷重を前記スクライブ本体（１７）に
伝える荷重付与手段（１９）とを備えることを特徴とす
るスクライブ装置により、上述した課題を解決した。こ
こで、弾性部材（４０）には、ばね、ゴム等を用いるこ
とができる。

【００２６】この発明によれば、スクライブ本体（１
７）の振動に伴って、弾性部材（４０）が変形するの
で、磁力の反発力が変動することが少ない。したがっ
て、カッタ（１２）からワーク（１１）に適正な動荷重
を付与することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態におけ
るスクライブ装置を示すものである。このスクライブ装
置は、ガラス、半導体、セラミクス等の脆性材料からな
る薄板状のワーク１１を、チゼル等のカッタ１２を用い
て高速、かつ高精度で切断する。テーブル１３に載せら
れたワーク１１にカッタ１２を接触し、カッタ１２から
ワーク１１に加わる加圧力を振動し、ワーク表面１１ａ
に垂直な縦クラック１４を発生する。この縦クラック１
４に力を加え、縦クラック１４を成長させてワーク１１
を切断する。

【００２８】スクライブ装置は、ベースプレート１５
と、カッタ１２および振動を発生する振動発生部材１６
を有するスクライブ本体１７と、スクライブ本体１７に
荷重を加える錘１８と、磁力を用いて錘１８の荷重をス
クライブ本体１７に伝える荷重付与手段として一対の荷
重用磁石１９と、磁力を用いてカッタからワークに加わ
る静荷重を調整する静荷重調整手段としての一対の浮上
用磁石２０とから構成される。ベースプレート１５とス
クライブ本体１７との間には、スクライブ本体１７が垂
直方向に直線運動可能なようにリニアガイド等の直線案
内装置２１が設けられる。また、ベースプレート１５と
錘１８との間にも、錘１８がベースプレート１５に対し
て垂直方向に直線運動可能なようにリニアガイド等の直
線案内装置２２が設けられる。ベースプレート１５は、
スクライブ本体１７および錘１８を水平方向に２次元的
に移動可能なように移動機構２３に取り付けられてい
る。

【００２９】スクライブ本体１７は、下端にカッタ１２
を有し、このカッタ１２を振動する。図２は、スクライ
ブ本体１７を示す。スクライブ本体１７は、ボディ２５
と、ボディ２５内にスライド可能に支持され、カッタ１
２を保持するホルダ２６と、ホルダ２６の下端に設けた
カッタ１２と、カッタ１２を振動する振動発生部材とし
てのピエゾアクチュエータ２７，２７と、を備える。ボ
ディ２５、ホルダ２６およびピエゾアクチュエータ２７
は、その中心線がＬ一致する。そして、この実施形態の
場合、中心線Ｌは垂直方向を向いている。ピエゾアクチ
ュエータ２７に高周波電界をかけると、ピエゾアクチュ
エータ２７が周期的に伸縮し、ひいてはカッタ１２が振
動する。この、ピエゾアクチュエータ２７，２７は、上
下に２個組み合わせて構成され、空気冷却される。

【００３０】ボディ２５は、縦型の箱形状をなし、その
内部にホルダ２６が収納されている。ホルダ２６も縦形
の箱形状をなし、その内部にピエゾアクチュエータ２
７，２７が収納されている。ボディ２５に対するホルダ
２６の中心線Ｌ方向へのスライドを案内するように、ボ
ディ２５の上端部にはボディ内部に突出する突起２８が
設けられ、ホルダ２６の上端部にはこの突起２８に嵌合
する孔２９が開けられる。ホルダ２６の下端には、ピエ
ゾアクチュエータ２７，２７に予圧を供給するボール３
０が設けられる。このボール３０は、ゴムや樹脂等の弾
性材料からなり、ボディ２５の下端に取付けた受け板３
１に支持される。また、ボール３０の上方にはボディ２
５に掛け渡された板ばね３２が配置され、ボール３０お
よび板ばね３２がその弾性復元力によって、ピエゾアク
チュエータ２７，２７を上方に付勢している。ピエゾア
クチュエータ２７，２７の予圧は、ボディ２５の上端部
に設けた調整ねじ３３を回すことで調整される。なお、
板ばね３２とボール３０の代わりに、磁石対を用いてピ
エゾアクチュエータ２７，２７に予圧を付与してもよ
い。振動発生部材は、圧電材料のピエゾアクチュエータ
２７，２７に限られることはなく、エアーを用いて振動
するものでもよいし、磁場を加えて振動するものを用い
てもよい。

【００３１】ホルダ２６は、板ばね３２を跨ぐように、
２股に分かれて下方に延びる。図１に示すように、この
２股に分かれた部分には、アタッチメント３４ａ，３４
ｂを介してカッタ１２が首振り可能に取り付けられる。
下方側のアタッチメント３４ｂは、上方側のアタッチメ
ント３４ａに対して角度調整可能である。カッタ１２
は、上記中心線Ｌ上に配置されており、その下端部が円
錐形状をなして尖っている。カッタ１２の下端には、角
錐形状をなすダイヤモンド粒が固着されている。このダ
イヤモンド粒の頂点がワーク表面１１ａに当たる。な
お、カッタ１２の代わりに、円盤形状をなし、全周にわ
たってエッジを有し、ホルダに回転可能に支持されるチ
ゼルを用いてもよい。

【００３２】スクライブ本体１７に荷重を与える錘１８
は、錘１８の質量を変化する質量変化手段を備える。こ
の質量変化手段は、ボルト結合、接着等の結合手段３７
によって結合される質量付加用錘３６から構成される。
この質量付加用錘３６の質量は、ワーク１１に合わせて
決定される。また、図示しないが、スクライブ本体１７
の質量を調整したい場合は、スクライブ本体１７にボル
ト結合、接着等の結合手段によって質量付加用錘を結合
する。このスクライブ本体１７に結合される質量付加用
錘の質量も、ワーク１１に合わせて決定される。

【００３３】図１に示すように、錘１８の下端部には、
板ばね４０が取付けられる。図４は、錘１８に取付けら
れた板ばね４０を示す。錘１８の下端には凹部４１が形
成され、板ばね４０が可撓可能なように凹部４１の両側
の縁４２に掛け渡されている。板ばね４０の下端中央に
は、後述する荷重用磁石１９ａが取り付けられる。

【００３４】スクライブ本体１７および錘１８は、それ
ぞれ直線案内装置２１，２２を介してベースに取付けら
れる。図５は、直線案内装置２１，２２を示す。この直
線案内装置２１，２２は、垂直方向に細長く延び、ボー
ル転走溝６１ａを有する案内レール６２と、このボール
転走溝６１ａに対応する負荷転走溝６３ａを含むボール
循環路６４を有して、前記案内レール６１に相対運動自
在に組みつけられたスライド部材６５と、前記ボール循
環路６４内に配列収容されて、前記案内レール６２に対
する前記スライド部材６５の相対的な直線運動に併せて
循環する複数のボール６６とを備える。スライド部材６
５と案内レール６２との間に複数のボール６６を設ける
ことで、スライド部材６５が円滑に移動する。案内レー
ル６２がベースプレート１５側に取付けられ、スライド
部材６５がスクライブ本体１７または錘１８側に取り付
けられる。スライド部材６５は、スクライブ本体１７ま
たは錘１８の質量の一部をなしている。錘１８およびス
クライブ本体１７が直線運動する方向は一致している。
なお、転動体としてのボール６６の代わりにローラが用
いられることもある。

【００３５】図１に示すように、スクライブ本体１７と
錘１８との間には、磁力を用いて錘１８の荷重をスクラ
イブ本体１７に伝える荷重付与手段としての一対の荷重
用磁石１９ａ，１９ｂが設けられる。この一対の荷重用
磁石１９ａ，１９ｂは、それぞれが永久磁石からなり、
その一方１９ａが板ばね４０の下面に取り付けられ、他
方１９ｂがスクライブ本体１７の上面に取り付けられ
る。また、一対の荷重用磁石１９ａ，１９ｂは、同極
（例えばＮ極同士）が対面するように垂直方向に並べて
配置され、互いに反発している。磁力の反発力によっ
て、錘１８の荷重をスクライブ本体１７に伝えている。

【００３６】スクライブ本体１７の下方には、カッタ１
２からワーク１１に加わる静荷重を、磁力を用いて調整
する静荷重調整手段としての一対の浮上用磁石２０ａ，
２０ｂが設けられる。この一対の浮上用磁石２０ａ，２
０ｂは、それぞれが永久磁石からなり、浮上用磁石の一
方２０ａは、スクライブ本体１７の下面に取り付けられ
る。他方は、ベースプレート１５から突出した水平板４
５に設けた高さ調整機構４６に取り付けられる。この高
さ調整機構４６は、周知のマイクロメータと同様な構造
で、水平板４５に固定されたスリーブ４７と、このスリ
ーブ４７の外周に設けられた操作筒４８と、操作筒４８
の回動操作に伴ってスリーブ４７から突出するスピンド
ル４９とを有する。スピンドル４９は、水平板４５を貫
通して上方に延びていて、その上端に浮上用磁石２０ｂ
が固定されている。操作筒４８を回してスピンドル４９
の突出量を調整して、浮上用磁石２０ｂの高さを調整す
る。

【００３７】一対の浮上用磁石２０ａ，２０ｂは、同極
（例えばＮ極同士）が対面するように垂直方向に並べて
配置され、互いに反発している。磁力の反発力によっ
て、スクライブ本体１７に浮上する力を与え、カッタ１
２からワーク１１に加わる静荷重を調整する。また、浮
上用磁石２０ｂには、永久磁石の代わりに、磁力を調整
可能な電磁石を用いてもよい。電磁石を用いる場合、電
圧を調整することによって磁力を調整する。

【００３８】上記スクライブ装置の使用方法を説明す
る。まず、錘１８の質量およびスクライブ本体１７の質
量を、ガリウム砒素、シリコン、ガラス等のワーク１１
の材料、および厚み等に合わせて決定する。スクライブ
本体１７の質量を重くすると、動荷重が大きくなり、ワ
ーク表面１１ａに深い縦クラック１４を形成することが
できる。また、錘１８およびスクライブ本体１７を合算
した重力は、静荷重に影響を与えるので、ワーク１１に
合わせてあらかじめ一定にしておく。

【００３９】次に、水平のテーブル１３にワーク１１を
載せ、ワーク１１を所定位置に位置決めする。カッタ１
２がワーク１１に載り上げると、カッタ１２からワーク
１１に静荷重が付与される。この静荷重がワーク１１に
合わせて略一定になるように、高さ調整機構４６によっ
て浮上用磁石２０ｂの高さを調整する。仮に、浮上用磁
石２０ａ，２０ｂを設けないと、静荷重は、錘１８の重
力とスクライブ本体１７の重力を合算したものとなる。
浮上用磁石２０ａ，２０ｂを設けることによって、磁力
による反発力の分だけ静荷重が減じられる。静荷重を高
くしすぎると、ワーク表面１１ａに横クラックが発生し
てしまうことがある。逆に、静荷重をあまりに小さくし
すぎると、スクライブ本体を振動させたとき、カッタ１
２がワーク１１から浮き上がり、カッタ１２がワーク１
１に衝突し、ワーク表面１１ａにダメージを与える。こ
のため、静荷重は、ワーク１１に合わせて慎重に決定さ
れる。

【００４０】所定の静荷重が得られたら、ピエゾアクチ
ュエータ２７，２７に高周波電界をかけ、ピエゾアクチ
ュエータ２７，２７を周期的に伸縮し、カッタ１２を振
動してワーク１１に動荷重を加える。カッタ１２は、静
荷重によってワーク１１に常に接触しているので、スク
ライブ本体１７が振動することになる。図６は、カッタ
１２からワーク１１に加わる加圧力を示す。加圧力は、
静荷重を平均値として、スクライブ本体１７の振動に合
わせて振動する。この動荷重の大きさ、すなわち図６に
示す振動の振幅は、スクライブ本体１７の質量、より正
確にはボディ２５およびスライド部材６５の質量に比例
する。本発明によれば、スクライブ本体１７の振動に伴
って、荷重用磁石１９ａ，１９ｂの反発力によって浮い
ている錘１８も振動し、一対の荷重用磁石１９ａ，１９
ｂ間の距離が変化することが少なく、磁力の反発力が変
動することが少ない。また、磁石は減衰性がいいので、
スクライブ本体１７の振動に減衰力も加わる。この結
果、カッタ１２からワーク１１に適正な動荷重を付与す
ることができる。また、従来のように、錘とスクライブ
本体との間を連結するばねを設けていないので、錘が共
振することもない。さらに、ワーク１１の板厚が変化し
たり、あるいはワーク１１がうねっていても、ワーク１
１に追従して錘１８が移動するので、このような場合で
も磁力の反発力が変動することがない。

【００４１】また、板ばね４０と荷重用磁石１９ａ，１
９ｂを直列的に繋げているので、スクライブ本体１７の
振動が複合化し、カッタ１２からワーク１１に複雑に振
動する動荷重を付与することができる。したがって、正
弦波で切断しにくいシリコン等の材料も高精度に切断す
ることができる。

【００４２】ベースプレート１５は、移動機構２３によ
って水平方向に移動される。これにより、ワーク表面１
１ａに縦クラック１４からなるスクライブ線が形成され
る。スクライブ線が形成されたワーク１１は、テーブル
１３から取り外され、図示しない破断装置により、スク
ライブ線に沿って破断される。本発明のスクライブ装置
によって形成された縦クラック１４は、例えば幅が７μ
ｍに対し、クラック深さが５００μｍ程度の極めて深い
ものとなり、また、ワーク表面１１ａにダメージを与え
ることがないのが確認されている。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カッタがワークから浮き上がるのを防止する錘を設け、
磁力を用いて錘の荷重をスクライブ本体に伝え、この錘
を振動の方向に移動可能にするので、スクライブ本体の
振動に伴って、磁力によって浮いている錘も振動する。
このため、磁力の反発力が変動することが少なく、カッ
タからワークに適正な動荷重を付与することができる。
また、錘とスクライブ本体との間にばねを設けていない
ので、錘が共振することもない。さらに、カッタがワー
クに載り上げたり、ワークの板厚が変化したり、あるい
はワークがうねっていても、カッタに追従して錘が移動
するので、このような場合でも磁力の反発力が変動する
ことがない。

【００４４】また、本発明によれば、カッタからワーク
に加わる静荷重を、磁力を用いて調整する静荷重調整手
段を備えるので、スクライブ本体の質量を重くしたまま
静荷重を小さくすることができ、言い換えれば、動荷重
を大きくしたまま静荷重を小さくすることができ、この
結果、脆性材料等どのような素材の切断にも適したスク
ライブ装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態のスクライブ装置を示す側
面図。

【図２】上記図１のスクライブ本体のＡ−Ａ線断面図。

【図３】錘を示す斜視図。

【図４】上記図１の錘下部を示すＢ矢視図。

【図５】直線案内装置を示す斜視図。

【図６】カッタからワークに加わ加圧力を示すグラフ。

【図７】従来のスクライブ装置を示す概略図。

【図８】従来の他のスクライブ装置を示す概略図。

【符号の説明】

１１ ワーク １２ カッタ １５ ベースプレート（ベース） １７ スクライブ本体 １８ 錘 １９ａ，１９ｂ 荷重用磁石 １９ 荷重付与手段 ２０ 静荷重調整手段 ２０ａ，２０ｂ 浮上用磁石 ２７ ピエゾアクチュエータ（振動発生部材） ３６ 質量付加用錘 ４０ 板ばね（ばね、弾性部材） ４６ 高さ調整機構

フロントページの続き (72)発明者 下豊留 暁 東京都豊島区北大塚１丁目12番15号 株式 会社ベルデックス内 Ｆターム(参考） 3C069 AA03 BA01 BB03 BB04 BC01 CA05 CA11 EA01 4G015 FA02 FB01 FC02 FC07

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カッタを振動してワークを切断するスク
   ライブ装置であって、 前記カッタおよび振動を発生する振動発生部材を有する
   スクライブ本体と、前記スクライブ本体に荷重を加え、
   前記カッタが前記ワークから浮き上がるのを防止する錘
   と、磁力を用いて前記錘の荷重を前記スクライブ本体に
   伝える荷重付与手段とを備え、 前記錘が前記振動発生部材の振動の方向に移動すること
   を特徴とするスクライブ装置。
2. 【請求項２】 前記荷重付与手段は、前記錘および前記
   スクライブ本体それぞれに設けられ、互いに反発する一
   対の荷重用磁石から構成されることを特徴とする請求項
   １に記載のスクライブ装置。
3. 【請求項３】 前記錘と前記荷重付与手段との間、また
   は前記荷重付与手段と前記スクライブ本体との間に、ば
   ねを介在したことを特徴とする請求項１または２に記載
   のスクライブ装置。
4. 【請求項４】 前記ばねは、錘に取り付けた板ばねから
   なり、前記荷重用磁石がこの板ばねに取り付けられてい
   ることを特徴する請求項３に記載のスクライブ装置。
5. 【請求項５】 前記スクライブ本体および前記錘は、前
   記振動発生部材の振動の方向に直線運動可能なように直
   線案内装置を介してベースに取り付けられることを特徴
   とする請求項１ないし４いずれかに記載のスクライブ装
   置。
6. 【請求項６】 前記カッタから前記ワークに加わる静荷
   重を、磁力を用いて調整する静荷重調整手段を備えるこ
   とを特徴とする請求項１ないし５いずれかに記載のスク
   ライブ装置。
7. 【請求項７】 前記静荷重調整手段は、前記スクライブ
   本体および前記ベースそれぞれに設けられ、互いに反発
   する一対の浮上用磁石から構成されることを特徴とする
   請求項６に記載のスクライブ装置。
8. 【請求項８】 前記ベースに設けられた前記浮上用磁石
   の高さを調整する高さ調整機構を設けたことを特徴とす
   る請求項７に記載のスクライブ装置。
9. 【請求項９】 前記ベースに設けられた前記浮上用磁石
   は、磁力を調整可能な電磁石からなることを特徴とする
   請求項７に記載のスクライブ装置。
10. 【請求項１０】 前記錘または前記スクライブ本体の質
    量を変化する質量変化手段を設けたことを特徴とする請
    求項１ないし５いずれかに記載のスクライブ装置。
11. 【請求項１１】 カッタを振動してワークを切断するス
    クライブ装置であって、 前記カッタおよび振動を発生する振動発生部材を有する
    スクライブ本体と、前記スクライブ本体に荷重を加え、
    前記カッタが前記ワークから浮き上がるのを防止する弾
    性部材と、この弾性部材と前記スクライブ本体との間に
    設けられ、磁力を用いて前記弾性部材の荷重を前記スク
    ライブ本体に伝える荷重付与手段とを備えることを特徴
    とするスクライブ装置。