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JP2001141274A - クリーンルーム - Google Patents

クリーンルーム

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JP2001141274A
JP2001141274A JP32290299A JP32290299A JP2001141274A JP 2001141274 A JP2001141274 A JP 2001141274A JP 32290299 A JP32290299 A JP 32290299A JP 32290299 A JP32290299 A JP 32290299A JP 2001141274 A JP2001141274 A JP 2001141274A
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JP
Japan
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air
clean room
section
gaseous chemical
adsorption
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JP32290299A
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English (en)
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Yoshio Tamura
義雄 田村
Yasuyoshi Shinoda
泰嘉 篠田
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Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Publication date
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Priority to US10/129,734 priority patent/US6960236B1/en
Priority to EP00971812A priority patent/EP1231439B1/en
Priority to PCT/JP2000/007800 priority patent/WO2001036880A1/ja
Priority to TW089123703A priority patent/TW564187B/zh
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着と再生とが同時に行え、かつガス状化学
物質のほとんどすべてを除去できる浄化空気供給装置を
備えたクリーンルームを提供する。 【解決手段】 吸着部１６でガス状化学物質を吸着し、
吸着したガス状化学物質を再生部１７で脱着するロータ
２と、ロータ２を吸着部１６と再生部１７とに駆動する
駆動手段４とを含む浄化空気供給装置１を備え、ガス状
化学物質を含む空気を吸着部１６でガス状化学物質を吸
着除去し、クリーンルーム本体３２へ供給する。また再
生部１７へは加熱された再生空気を送り、吸着されたガ
ス状化学物質を脱着する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、浄化空気供給装置
を備えるクリーンルームに関し、特に空気中のガス状化
学物質を浄化し、清浄度クラスが１０００以下の浄化空
気が供給されるクリーンルームに関する。
【０００２】ここで清浄度クラスｎの浄化空気とは、１
ｆｔ3中に粒径０．１μｍ以上の塵埃をｎ個含む空気を
いう。一般の空気は、前記塵埃を１ｆｔ3中に１０8個程
度含むから、清浄度クラス１０００の浄化空気は超清浄
度状態の空気ということができる。
【０００３】
【従来の技術】従来のクリーンルームは、空気中の塵埃
濃度が低い（清浄度クラス１０，０００程度）部屋であ
り、そのために外気中の塵埃が塵埃フィルタによって除
去されクリーンルームに供給されていた。しかし最近は
環境中に、アンモニア、硫黄酸化物、有機溶剤などのガ
ス状化学物質が増加し、またクリーンルームに供給えれ
る浄化空気に対し、これらのガス状化学物質の濃度を数
ｐｐｂにすることが求められている。
【０００４】これらのガス状化学物質を除去するため
に、従来は陽イオン交換繊維を用いてアンモニアなどの
アルカリ性物質を吸着したり、陰イオン交換繊維を用い
て硫黄酸化物などの酸性物質を吸着するものがあり、こ
れらのイオン交換繊維を併用してアンモニアや硫黄酸化
物を除去している。また活性炭に酸性物質やアルカリ性
物質を添着して有機溶剤とともにアンモニアや硫黄酸化
物を除去している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、イオン
交換繊維ならびに酸性物質およびアルカリ性物質を添着
させた活性炭フィルタは、再生が難しく、ガス状化学物
質の吸着量が一定量以上になれば、通常は１年に１回程
度で交換しなければならない。イオン交換繊維や活性炭
フィルタは、ガス状化学物質の種類に応じ、たとえば前
記２種類を用意せねばならず、またイオン交換繊維や活
性炭フィルタは非常に高価である。これに対しイオン交
換繊維や活性炭フィルタの寿命を延長するために、水を
噴射するスクラバを前段に設置し、水に溶解しやすいア
ンモニアや硫黄酸化物をある程度除去する方法が提案さ
れているが、これでもイオン交換繊維や活性炭の寿命が
２〜２．５倍に延びる程度である。
【０００６】本発明の目的は、吸着と再生とが同時に行
えるので、半永久的に使用でき、かつ前記ガス状化学物
質のすべてを除去できる浄化空気供給装置を備えたクリ
ーンルームを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガス状化学物
質を含む空気を浄化して、清浄度クラスが１０００以下
の浄化空気を供給する浄化空気供給装置（１）を備えた
クーンルームであって、前記浄化空気供給装置（１）が
ガス状化学物質を吸脱着する吸着部材を担持し、一部が
空気中のガス状化学物質を吸着する吸着部（１６）であ
り、他部が吸着したガス状化学物質を加熱された空気に
よって脱着する再生部（１７）であり、吸着部（１６）
と再生部（１７）とを切換えて、吸着部（１６）でガス
状化学物質を吸着除去した空気をクリーンルーム本体
（３２）へ供給することを特徴とするクリーンルームで
ある。
【０００８】本発明に従えば、空気中のガス状化学物質
は吸着部（１６）で吸着剤によって吸着除去され、クリ
ーンルーム本体（３２）に供給される。またガス状化学
物質を吸着した吸着剤は、再生部（１７）で加熱された
空気によって再生される。吸着部（１６）と再生部（１
７）とは切換えて使用されるので、吸着剤は半永久的に
使用でき、吸着部（１６）は、常にガス状化学物質を充
分に吸着し、充分に浄化された空気が、クリーンルーム
本体（３２）に供給される。
【０００９】またガス状化学物質は、空気中の微細塵埃
の表面に吸着されていることが多く、ガス状化学物質を
浄化空気供給装置（１）で浄化すれば、空気中の微細塵
埃も同時に除去でき、清浄度クラスが１０００以下、好
ましくは１００以下の浄化空気を得ることができる。
【００１０】また本発明は、前記浄化空気供給装置
（１）がガス状化学物質を吸脱着する吸着部材を担持し
たハニカム状積層体（２２）と、ハニカム状積層体（２
２）を空気中のガス状化学物質を吸着する吸着部（１
６）と、吸着したガス状化学物質を空気中に脱着する再
生部（１７）とに分け、ハニカム状積層体（２２）を吸
着部（１６）と再生部（１７）との間で移動させる駆動
手段（４）と、ガス状化学物質を含む空気をハニカム状
積層体（２２）の吸着部（１６）に通して浄化してクリ
ーンルーム本体（３２）に供給する浄化空気案内部
（８）と、加熱した空気をハニカム状積層体（２２）の
再生部（１７）に送り、吸着部材から吸着されたガス状
化学物質を加熱空気中に脱着して排出する再生空気案内
部（１５）とを備えることを特徴とする。
【００１１】本発明に従えば、ガス状化学物質を吸脱着
する吸着部材はハニカム状積層体（２２）に担持され、
吸着部（１６）と再生部（１７）との間を駆動手段
（４）によって駆動されるので、吸脱着が効率よく行
え、吸着部（１６）は常にガス状化学物質を充分に吸着
し、充分に浄化した空気がクリーンルーム本体（３２）
に供給される。
【００１２】また本発明は、前記ハニカム状積層体（２
２）を略円筒状に形成し、その軸線方向に空気が通過す
るように構成したロータ（２）と、ロータ（２）をその
軸線まわりに回転する駆動手段（４）と、ロータ（２）
の軸線方向両端部で、ロータの周方向に沿って吸着部
（１６）、再生部（１７）および冷却部（１８）にこの
順序で仕切って形成される空気案内部であって、ガス状
化学物質を含んだ気体を、吸着部（１６）にロータ
（２）の軸線方向一方側に供給し、他方側からクリーン
ルーム本体（３２）に供給する浄化空気案内部（８）
と、再生用空気を、再生部（１７）にロータ（２）の軸
線方向他方側に供給し、一方側に排出する再生空気案内
部（１２）と、冷却用空気を、冷却部（１８）にロータ
（２）の軸線方向他方側に供給し、一方側に排出する冷
却空気案内部（１５）とから成る空気案内部と、再生部
（１７）に供給する空気を加熱する加熱手段（１１）と
を含む浄化空気供給装置（１）を備えることを特徴とす
る。
【００１３】本発明に従えば、ハニカム状積層体（２
２）はロータ（２）として略円筒状に形成され、軸線ま
わりに吸着部（１６）、再生部（１７）、冷却部（１
８）の順に駆動手段（４）によって回転駆動される。吸
着部（１６）では、ガス状化学物質を含んだ空気がロー
タ（２）の軸線方向一方側から、他方側に流過して、空
気中のガス状化学物質が吸着除去される。再生部（１
７）では、加熱手段（１１）で加熱された空気によっ
て、吸着部（１６）で吸着されたガス状化学物質が脱着
され、ロータ（２）が再生される。冷却部（１８）では
再生部（１７）で再生用空気で加熱されたロータ（２）
が吸着部（１６）でガス状化学物質を吸着するのに適し
た温度に冷却される。これによって浄化空気は連続的に
クリーンルーム本体（３２）に供給される。
【００１４】また本発明は、前記浄化空気案内部（８）
の吸着部（１６）とクリーンルーム本体（３２）との間
に塵埃除去フィルタ（６）を設けたことを特徴とする。
【００１５】本発明に従えば、ガス状化学物質を除去さ
れた空気は、さらに塵埃フィルタ（６）によって塵埃が
除去される。
【００１６】また本発明は、前記浄化空気案内部（８）
の吸着部（１６）とクリーンルーム本体（３２）との間
に化学吸着フィルタを設けたことを特徴とする。
【００１７】本発明に従えば、浄化空気供給装置（１）
の吸着部（１６）で吸着除去できなかった微量のガス状
化学物質が化学吸着フィルタで吸着される。
【００１８】また本発明は、前記浄化空気案内部（８）
の吸着部（１６）とクリーンルーム本体（３２）との間
に温湿度調整手段を設けたことを特徴とする。
【００１９】本発明に従えば、ガス状化学物質に除去さ
れた空気は、さらに温湿度が調整される。
【００２０】また本発明は、前記ガス状化学物質吸着部
材が、弱疎水性ゼオライト１０〜９０％（重量）と強疎
水性ゼオライト９０〜１０％（重量）とから成ることを
特徴とする。
【００２１】本発明に従えば、空気中に含まれるガス状
化学物質の種類によって用いる吸着部材としてのゼオラ
イトの割合が異なる。すなわち、アンモニアや硫黄酸化
物が比較的多く含まれている空気の浄化には、弱疎水性
ゼオライトの割合を多くし、有機溶剤が比較的多く含ま
れている空気の浄化には強疎水性ゼオライトの割合を多
くする。各ゼオライトの割合は１０〜９０％（重量）の
範囲である。
【００２２】また本発明は、前記弱疎水性のゼオライト
がＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3＝５〜７０（モル比）、強疎水性
のゼオライトがＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3＞７０（モル比）で
あることを特徴とする。
【００２３】一般にゼオライトは、ａＭ2Ｏx・Ａｌ2Ｏ3
・ｍＳｉＯ2・ｂＨ2Ｏの分子式で示される。Ｍはアルカ
リ族またはアルカリ土族の金属であり、ｘはその原子価
である。ｍはＳｉＯ2（シリカ）とＡｌ2Ｏ3（アルミ
ナ）とのモル比ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3を表す。ｍが５未満
であれば、親水性がゼオライトである。本発明では、ｍ
が５〜７０の範囲のゼオライトを弱疎水性ゼオライトと
して用い、ｍが７０を超えるゼオライトは強疎水性ゼオ
ライトとして用いる。ハニカム積層体に担持させるこれ
らのゼオライトの量は、ハニカム積層体に対し３０〜９
０％（重量）が好ましい。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態によっ
て、本発明を具体的に説明する。
【００２５】図１は、本発明の実施の一形態のクリーン
ルーム（３１）の構成図である。クリーンルーム（３
１）は、クリーンルーム本体（３２）と浄化空気供給装
置（１）とから成る。クリーンルーム本体（３２）に
は、天井チャンバ（３３）から多数の吹出口（３４）を
介して、浄化空気供給装置（１）で浄化された空気が供
給される。クリーンルーム本体（３２）内の空気は、床
（３５）に設けられた多数の吸出口（３６）から床下チ
ャンバ（３７）に送風機（３８）によって吸引され、浄
化空気供給装置（１）に送られ、浄化されて天井チャン
バ（３３）に循環される。送風機（３８）の出口には、
外気供給手段（３９）から少量の外気が供給され、クリ
ーンルーム本体（３２）内を正圧に保ち、隙間などから
外気が直接クリーンルーム本体（３２）内に侵入するの
を防ぐ。
【００２６】図２は、浄化空気供給装置（１）の系統図
の一例である。ロータ（２）は、たとえば直径Ｄ＝３０
０ｍｍ、長さＬ＝４００ｍｍの円筒状に構成され、駆動
用モータ（４）によってベルト（５）を介して、軸線
（３）まわりに２／ｈｒで回転される。図３は、ロータ
（２）の斜視図である。ロータ（２）は、周方向に３０
０°の範囲が吸着部（１６）とされ、吸着部（１６）の
回転方向（１９）下流側には周方向３０°の範囲で再生
部（１７）が、また再生部（１７）の回転方向下流側に
は周方向３０°の範囲で冷却部（１８）がそれぞれ設け
られ、中心には回転軸（２０）が設けられる。
【００２７】循環空気および外気は、送風機（３８）お
よび、外気供給手段（３９）によってロータ（２）の吸
着部（１６）に浄化空気案内部（１８）を介して供給さ
れ、ガス状化学物質はロータ（２）の吸着部（１６）に
吸着されて、浄化空気となって浄化空気案内部（８）と
塵埃フィルタ（６）とを通って天井チャンバ（３３）に
排出される。一方、再生空気は、再生空気送風機（１
０）に吸引され、フィルタ（９）を介して、加熱器（１
１）で１８０℃に加熱されてロータ（２）の再生部（１
７）に再生空気案内部（１２）を介して供給され、ロー
タ（２）に吸着されたガス状化学物質を脱着して、再生
空気案内部（１２）を経て浄化空気供給装置（１）外に
排出される。ロータ（２）の再生部（１７）は、１８０
℃の再生空気によって、１８０℃近くまで加熱されてい
るので、冷却部（１８）では、冷却部空気によって常温
近くまで冷却される。冷却空気は、冷却用送風機（１
４）で吸引され、フィルタ（１３）と冷却空気案内部
（１５）とを介して、ロータ（２）の冷却部（１８）に
供給され、ロータ（２）を冷却して冷却空気案内部（１
５）を経て浄化空気供給装置（１）外に排出される。吸
着部（１６）に送られる被浄化空気と、再生部（１７）
に送られる再生空気および冷却部（１８）に送られる冷
却空気とは、ロータ（２）内の流れ方向を逆にすること
によって、吸着と脱着・冷却とが効率よく行われるよう
にしている。
【００２８】本発明の実施の他の形態として、浄化空気
供給装置（１）が塵埃フィルタ（６）を備えないもので
あってもよい。また本発明の実施のさらに他の形態とし
て、図１の符号（６）で示す位置に塵埃フィルタ、化学
吸着フィルタおよび湿度調整手段のうちいずれか１つ、
２つ、または全部を備えるものであってもよい。
【００２９】図４は、本発明のガス状化学物質吸着体に
用いられるハニカム状積層体（２２）の一部拡大平面図
である。これを円筒状ロータ（２）に形成するときは、
ハニカム状の小孔（２７）が軸線方向に通じるようにす
る。
【００３０】図５は、ゼオライトを構成するＳｉＯ2と
Ａｌ2Ｏ3のモル比（ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3）と水およびベ
ンゼンの吸着量との関係を示すグラフである。水とベン
ゼンとの吸着量は、ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3が約７０で交わ
る。したがって本発明では、ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3が前記
交点（ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3＝７０）以下の弱疎水性ゼオ
ライト１０〜９０％（重量）と、前記交点を超える強疎
水性ゼオライト９０〜１０％（重量）とをハニカム状積
層体（２２）に担持させた。以下の実施例ではＳｉＯ2
／Ａｌ2Ｏ3モル比６０の弱疎水性ゼオライトと、前記モ
ル比２００の強疎水性ゼオライトとを等量ハニカム状積
層体（２２）に担持させたロータ（２）を用いて、吸着
テストを行った。
【００３１】（実施例）被浄化空気は、無機系ガス状化
学物質としてアンモニアを６２〜７５ｐｐｂと、有機系
ガス状化学部質としてＮ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）
７４０〜８００ｐｐｂとを混入した。この被処理気体を
約３ｍ3／ｍｉｎの流量で、前記ロータ（２）を装着し
た浄化空気供給装置（１）に供給した。また再生は、約
０．５ｍ3／ｍｉｎの１７５℃の空気を行った。冷却
は、約０．５ｍ3／ｍｉｎの室温（２０℃）の空気で行
った。
【００３２】被浄化空気および再生空気が安定して浄化
空気供給装置（１）に流れるまでに約１時間を要したの
で、装置をセット後、１時間してから被浄化空気などの
サンプリングを行い分析を行った。アンモニアは、吸収
液を入れたインビンジャー（２段連結）を介してダイヤ
フラム式ミニポンプで各ガスを２Ｌ／ｍｉｎの割合で３
時間吸引して吸収液中のアンモニアをイオンクロマトグ
ラフ法で分析し、各ガス中のアンモニア濃度を計算し
た。ＮＭＰは吸着剤を充填した吸着塔を介してダイヤフ
ラム式ミニポンプでガス吸引し、吸引ガス量を乾式ガス
メータで計量しサンプリングした。吸着剤に吸着された
ＮＭＰは、吸着剤を加熱しながら不活性ガスで追い出
し、不活性ガス中のＮＭＰをＴＣＴ−ＧＣ／ＭＳ法で測
定した。測定結果を表１に示す。
【００３３】
【表１】
【００３４】ＮＭＰは、ほとんど１００％除去され、ま
た再生されている。アンモニアは温度によって除去効
率、再生効率ともに変化し、特に再生効率は表１では１
００％を超えている。しかし長期間にわたれば、除去効
率も再生効率もほとんど１００％となる。また被浄化空
気の清浄度クラスは１００程度に保持できた。
【００３５】前記実施の形態では、循環空気を浄化空気
供給装置（１）によって浄化したが、別の実施の形態と
してクリーンルーム本体（３２）内の空気を循環せず、
外気のみを浄化空気供給装置（１）によって浄化しても
よい。これによって、外気中に含まれるガス状化学物質
を除去することができ、また浄化空気供給装置（１）の
容量を小さくできる。さらに循環空気と外気とを、別の
浄化空気供給装置（１）で浄化したり、クリーンルーム
本体（３２）内の汚染の状態によって、浄化空気供給装
置（１）を通す循環空気量を増減できるようにしてもよ
い。
【００３６】前記実施の形態では、温湿度調整手段を設
けていないが、空調装置で一般に用いられている温湿度
調整手段を、フィルタ（６）の後流側に設け、クリーン
ルーム内に温度検出手段および湿度検出手段を設け、こ
れによって温湿度調整手段を制御し、クリーンルームの
温湿度を調整してもよい。
【００３７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は次の効果を奏する。請求項１に記載の本発明によれ
は、浄化空気供給装置（１）はガス状化学物質を吸脱着
する吸着剤が担持され、吸着部（１６）と再生部（１
７）とを有し、吸着部（１６）と再生部（１７）とは切
換え使用される。吸着部（１６）で空気中のガス状化学
物質が除去されクリーンルーム本体（３２）に供給さ
れ、再生部（１７）では、加熱空気によって吸着された
ガス状化学物質が脱着再生され、半永久的に充分に浄化
された空気がクリーンルーム本体（３２）に供給でき
る。さらにガス状化学物質は微細塵埃の表面に吸着して
いることが多く、微細塵埃も同様に除去され、清浄度ク
ラスが１０００以下、好ましくは１００以下の浄化空気
が供給できる。
【００３８】また請求項２に記載の本発明によれば、吸
着部材がハニカム状積層体（２２）に担持されるので、
吸脱着が効率よく行える。
【００３９】また請求項３に記載の本発明によれば、ハ
ニカム状積層体（２２）が略円筒状に形成したロータ
（２）であり、このロータ（２）が駆動手段（４）によ
って吸着部（１６）、再生部（１７）、冷却部（１８）
とこの順に回転駆動されるので、吸着部（１６）でガス
状化学部質が効率よく吸着され、再生部（１７）と冷却
部（１８）とで効率よく脱着と冷却とが行われる。
【００４０】また請求項４に記載の本発明によれば、吸
着部材を通過した空気が、吸着部材を通過した塵埃また
は吸着部材から発生した塵埃を含む場合に、これらの塵
埃が塵埃除去フィルタ（６）によって除去されるので、
清浄度クラスのさらに高い浄化空気がクリーンルームに
供給される。
【００４１】また請求項５に記載の本発明によれば、吸
着部（１６）を通過し、またその後さらに塵埃フィルタ
（６）を通過した浄化空気は、化学吸着フィルタによっ
て、吸着部（１６）で除去されなかった微量のガス状化
学物質が吸着除去される。
【００４２】また請求項６に記載の本発明によれば、吸
着部（１６）を通過し、またはその後さらに塵埃フィル
タ（６）および／または化学吸着フィルタを通過した浄
化空気は、その温度および湿度が調整されてクリーンル
ーム本体（３２）に供給される。
【００４３】また請求項７に記載の本発明によれば、弱
疎水性のゼオライトと強疎水性のゼオライトとを吸着部
材として用いるので、アンモニアや硫黄酸化物のような
無機系ガス状化学物質も有機溶剤もともによく吸着部で
吸着除去される。
【００４４】また請求項８に記載の本発明によれば、弱
疎水性ゼオライトはＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3が５〜７０（モ
ル比）であり強疎水性ゼオライトはＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3
が７０を超えるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態のクリーンルーム（３
１）の構成図である。
【図２】本発明のクリーンルームに用いられる浄化空気
供給装置（１）の系統図である。
【図３】ロータ（２）の斜視図である。
【図４】ハニカム状積層体（１５）の拡大平面図であ
る。
【図５】ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3のモル比と水およびベンゼ
ンの吸着量との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１ 浄化空気供給装置 ２ ロータ ３ 軸線 ６ 塵埃フィルタ ８ 浄化空気案内部 １１ 加熱器 １２ 再生空気案内部 １５ 冷却空気案内部 １６ 吸着部 １７ 再生部 １８ 冷却部 ２２ ハニカム状積層体 ３１ クリーンルーム ３２ クリーンルーム本体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3L058 BE02 BF01 BG03 4D012 CA10 CA11 CA16 CC02 CD01 CE01 CF05 CG01 CH01 CH05 CK01 4G066 AA61B BA07 CA23 CA29 CA51 DA03 FA37 GA01 GA16

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ガス状化学物質を含む空気を浄化して、
    清浄度クラスが１０００以下の浄化空気を供給する浄化
    空気供給装置（１）を備えたクーンルームであって、 前記浄化空気供給装置（１）がガス状化学物質を吸脱着
    する吸着部材を担持し、一部が空気中のガス状化学物質
    を吸着する吸着部（１６）であり、他部が吸着したガス
    状化学物質を加熱された空気によって脱着する再生部
    （１７）であり、 吸着部（１６）と再生部（１７）とを切換えて、吸着部
    （１６）でガス状化学物質を吸着除去した空気をクリー
    ンルーム本体（３２）へ供給することを特徴とするクリ
    ーンルーム。
  2. 【請求項２】 前記浄化空気供給装置（１）がガス状化
    学物質を吸脱着する吸着部材を担持したハニカム状積層
    体（２２）と、 ハニカム状積層体（２２）を空気中のガス状化学物質を
    吸着する吸着部（１６）と、吸着したガス状化学物質を
    空気中に脱着する再生部（１７）とに分け、ハニカム状
    積層体（２２）を吸着部（１６）と再生部（１７）との
    間で移動させる駆動手段（４）と、 ガス状化学物質を含む空気をハニカム状積層体（２２）
    の吸着部（１６）に通して浄化してクリーンルーム本体
    （３２）に供給する浄化空気案内部（８）と、加熱した
    空気をハニカム状積層体（２２）の再生部（１７）に送
    り、吸着部材から吸着されたガス状化学物質を加熱空気
    中に脱着して排出する再生空気案内部（１５）とを備え
    ることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム。
  3. 【請求項３】 前記ハニカム状積層体（２２）を略円筒
    状に形成し、その軸線方向に空気が通過するように構成
    したロータ（２）と、 ロータ（２）をその軸線まわりに回転する駆動手段
    （４）と、 ロータ（２）の軸線方向両端部で、ロータ（２）の周方
    向に沿って吸着部（１６）、再生部（１７）および冷却
    部（１８）にこの順序で仕切って形成される空気案内部
    であって、 ガス状化学物質を含んだ気体を、吸着部（１６）にロー
    タ（２）の軸線方向一方側に供給し、他方側からクリー
    ンルーム本体（３２）に供給する浄化空気案内部（８）
    と、 再生用空気を、再生部（１７）にロータ（２）の軸線方
    向他方側に供給し、一方側に排出する再生空気案内部
    （１２）と、 冷却用空気を、冷却部（１８）にロータ（２）の軸線方
    向他方側に供給し、一方側に排出する冷却空気案内部
    （１５）とから成る空気案内部と、 再生部（１７）に供給する空気を加熱する加熱手段（１
    １）とを含む浄化空気供給装置（１）を備えることを特
    徴とする請求項１または２に記載のクリーンルーム。
  4. 【請求項４】 前記浄化空気案内部（８）の吸着部（１
    ６）とクリーンルーム本体（３２）との間に塵埃除去フ
    ィルタ（６）を設けたことを特徴とする請求項１〜３の
    いずれかに記載のクリーンルーム。
  5. 【請求項５】 前記浄化空気案内部（８）の吸着部（１
    ６）とクリーンルーム本体（３２）との間に化学吸着フ
    ィルタを設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれ
    かに記載のクリーンルーム。
  6. 【請求項６】 前記浄化空気案内部（８）の吸着部（１
    ６）とクリーンルーム本体（３２）との間に温湿度調整
    手段を設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか
    に記載のクリーンルーム。
  7. 【請求項７】 前記ガス状化学物質吸着部材が、弱疎水
    性ゼオライト１０〜９０％（重量）と強疎水性ゼオライ
    ト９０〜１０％（重量）とから成ることを特徴とする請
    求項１〜６のいずれかに記載のクリーンルーム。
  8. 【請求項８】 前記弱疎水性のゼオライトがＳｉＯ2／
    Ａｌ2Ｏ3＝５〜７０（モル比）、強疎水性のゼオライト
    がＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3＞７０（モル比）であることを特
    徴とする請求項７記載のクリーンルーム。
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WO (1) WO2001036880A1 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003024731A (ja) * 2001-07-11 2003-01-28 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 有機化合物の脱着方法
WO2011022325A3 (en) * 2009-08-16 2011-04-21 G-Con, Llc Modular, self-contained, mobile clean room
US8584349B2 (en) 2008-12-23 2013-11-19 Xoma Technology Ltd. Flexible manufacturing system
JP2016141443A (ja) * 2015-02-02 2016-08-08 スタープラスチック工業株式会社 包装体用フィルム及びその製造方法、並びに包装体
US9795957B2 (en) 2009-08-16 2017-10-24 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
US10161147B2 (en) 2013-10-14 2018-12-25 G-Con Manufacturing Inc. Method for connecting modular mobile rooms
US10533758B2 (en) 2014-07-11 2020-01-14 G-Con Manufacturing Inc. Modular parts that supply utilities to cleanroom, isolation or containment cubicles, pods, or modules
US11492795B2 (en) 2020-08-31 2022-11-08 G-Con Manufacturing, Inc. Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings
US11624182B2 (en) 2019-08-15 2023-04-11 G-Con Manufacturing, Inc. Removable panel roof for modular, self-contained, mobile clean room

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7181071B2 (en) 2001-11-27 2007-02-20 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for encoding and decoding key value data of orientation interpolator node
US7809204B2 (en) 2002-10-18 2010-10-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus for encoding and decoding key value data of coordinate interpolator
KR100481294B1 (ko) * 2002-12-13 2005-04-07 우진에이씨티주식회사 크린룸용 와이퍼의 먼지제거장치
US20070251010A1 (en) * 2006-04-06 2007-11-01 Nicolas Lara Massage table
JP4748005B2 (ja) * 2006-09-08 2011-08-17 東京エレクトロン株式会社 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体。
EP2845638B2 (de) 2013-09-09 2024-07-03 Kaeser Kompressoren Se Verfahren zum Betreiben einer Adsorptionsvorrichtung, sowie Steuerungseinrichtung
US9272315B2 (en) * 2013-10-11 2016-03-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Mechanisms for controlling gas flow in enclosure
US11749537B2 (en) * 2018-10-26 2023-09-05 Applied Materials, Inc. Side storage pods, equipment front end modules, and methods for operating equipment front end modules
KR102272054B1 (ko) * 2020-12-29 2021-07-05 (주)티엘엔지니어링 하이브리드 다목적 클린 컨테이너
DE102022116468B3 (de) * 2022-07-01 2022-12-29 Cellforce Group Gmbh Reinraumanordnung sowie Verfahren zur schnellen Bereitstellung eines Reinraumes und Verwendung der Reinraumanordnung

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE7607577L (sv) 1976-07-01 1978-01-02 Munters Ab Carl Sett och anordning vid rening av luft fran miljoskadliga gaser
JPS625031A (ja) * 1985-06-28 1987-01-12 Kajima Corp 部分的に清浄度の異なるクリ−ンル−ム
GB8605058D0 (en) 1986-02-28 1986-04-09 Porous Element Heating Ltd Removal of particulate material from gas
US4795482A (en) * 1987-06-30 1989-01-03 Union Carbide Corporation Process for eliminating organic odors and compositions for use therein
US5047139A (en) * 1987-12-08 1991-09-10 Uop Catalyst for mid-barrel hydrocracking and process using same
JP2736662B2 (ja) * 1988-11-04 1998-04-02 東芝セラミックス株式会社 半導体ウェーハの曇防止装置
US5052188A (en) * 1990-10-24 1991-10-01 Gas Research Institute Desiccant materials for use in gas fired cooling and dehumidification equipment
JP2580893B2 (ja) * 1991-04-03 1997-02-12 日立プラント建設株式会社 クリーンルームのファンフイルタユニット
US5284638A (en) * 1992-08-05 1994-02-08 Corning Incorporated System and method for removing hydrocarbons from gaseous mixtures using multiple adsorbing agents
US5407880A (en) * 1992-11-09 1995-04-18 Nissan Motor Co., Ltd. Catalysts for adsorption of hydrocarbons
JPH0724239A (ja) * 1993-07-13 1995-01-27 Sanki Eng Co Ltd 空気浄化装置
JP2750996B2 (ja) 1993-09-08 1998-05-18 ニチアス株式会社 有機溶剤蒸気吸着装置
JPH07256048A (ja) 1994-03-24 1995-10-09 Kobe Steel Ltd 脱臭装置
DE4446550A1 (de) 1994-12-24 1996-06-27 Wikotool Vermoegensverwaltungs Heizgerät mit Katalysator
JP3300565B2 (ja) * 1995-03-29 2002-07-08 高砂熱学工業株式会社 低露点空気供給システム
JP3346677B2 (ja) * 1995-04-28 2002-11-18 株式会社荏原製作所 基材又は基板表面の汚染防止方法と装置
JP3483376B2 (ja) 1995-11-27 2004-01-06 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JP3881067B2 (ja) 1996-09-12 2007-02-14 高砂熱学工業株式会社 低露点空気供給システム
JP3090088B2 (ja) * 1997-02-07 2000-09-18 富士電機株式会社 クリーンルームのファンフィルタユニット
JP3460532B2 (ja) * 1997-09-24 2003-10-27 ダイキン工業株式会社 低湿度作業装置
JP3417309B2 (ja) * 1997-10-28 2003-06-16 トヨタ自動車株式会社 炭化水素吸着材
JPH11141917A (ja) * 1997-11-12 1999-05-28 Daikin Ind Ltd 除湿・加湿空気供給装置
KR100440666B1 (ko) * 1999-04-15 2004-07-21 다이킨 고교 가부시키가이샤 가스상 화학 물질 흡착체 및 그것을 이용한 흡착 제거 장치
DE29916321U1 (de) * 1999-09-16 1999-12-23 M + W Zander Facility Engineering GmbH + Co. KG, 70499 Stuttgart Reinstlufteinrichtung für den Pharmazie-, Lebensmittel- und biotechnischen Bereich

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003024731A (ja) * 2001-07-11 2003-01-28 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 有機化合物の脱着方法
US10294658B2 (en) 2008-12-23 2019-05-21 Xoma (Us) Llc Flexible manufacturing system
US10106974B2 (en) 2008-12-23 2018-10-23 Xoma (Us) Llc Flexible manufacturing system
US8584349B2 (en) 2008-12-23 2013-11-19 Xoma Technology Ltd. Flexible manufacturing system
CN102575858B (zh) * 2009-08-16 2015-02-04 G-Con制造有限公司 组件式自足可移动的净化房
CN104676779A (zh) * 2009-08-16 2015-06-03 G-Con制造有限公司 组件式自足可移动的净化房
US9518748B2 (en) 2009-08-16 2016-12-13 G-Con Manufacturing Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
US9765980B2 (en) 2009-08-16 2017-09-19 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
US9795957B2 (en) 2009-08-16 2017-10-24 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
CN102575858A (zh) * 2009-08-16 2012-07-11 G-Con有限责任公司 组件式自足可移动的净化房
WO2011022325A3 (en) * 2009-08-16 2011-04-21 G-Con, Llc Modular, self-contained, mobile clean room
US10654036B2 (en) 2009-08-16 2020-05-19 G-Con Manufacturing, Inc. Modular, self-contained, mobile clean room
US10161147B2 (en) 2013-10-14 2018-12-25 G-Con Manufacturing Inc. Method for connecting modular mobile rooms
US10533758B2 (en) 2014-07-11 2020-01-14 G-Con Manufacturing Inc. Modular parts that supply utilities to cleanroom, isolation or containment cubicles, pods, or modules
JP2016141443A (ja) * 2015-02-02 2016-08-08 スタープラスチック工業株式会社 包装体用フィルム及びその製造方法、並びに包装体
US11624182B2 (en) 2019-08-15 2023-04-11 G-Con Manufacturing, Inc. Removable panel roof for modular, self-contained, mobile clean room
US11492795B2 (en) 2020-08-31 2022-11-08 G-Con Manufacturing, Inc. Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings

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