JP2000108159A - 樹脂封止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 リリースフィルムのセットや回収を効率化し
てメンテナンスやクリーニングを効率的に行え、かつ、
リリースフィルムの無駄のない樹脂封止装置を提供す
る。 【解決手段】 被成形品をクランプすると共に短冊状の
リリースフィルム３２をパーティング面に密着させて支
持するモールド金型を有するプレス部と、リードフレー
ム及び樹脂タブレットをプレス部へ搬入するため、プレ
ス部に対してリードフレーム及び樹脂タブレットを保持
して進退移動可能なローダー６と、パーティング面を覆
う短冊状のリリースフィルム３２を供給するリリースフ
ィルム供給機構と、成形品をプレス部より成形品収容部
へ搬出するため、プレス部に対して成形品を保持して進
退移動可能なアンローダー７と、プレス部より搬出され
た成形品より短冊状のリリースフィルムを除去するリリ
ースフィルム除去機構を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、成形前の被成形品
が短冊状のリリースフィルムと共にローダーにより被成
形品供給部よりプレス部に搬入され、成形後の成形品が
アンローダーにより該プレス部より搬出されてリリース
フィルム及び不要樹脂が除去された成形品のみが成形品
収容部に収容される樹脂封止装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、樹脂封止装置としてトランス
ファモールド装置等の自動モールド装置が使用されてい
る。この自動モールド装置は、短冊状のリードフレーム
等の被成形品を被成形品供給部よりローダーによりモー
ルド金型へ搬入してクランプして樹脂封止を行い、成形
品をアンローダーによりモールド金型より搬出して成形
品と不要樹脂とを分離して該成形品のみを成形品収容部
へ収納するようになっている。

【０００３】また、本件出願人は、先にモールド金型の
パーティング面をリリースフィルムで被覆して樹脂封止
する樹脂封止装置を提案した（特開平８−１４２１０５
号、特開平８−１４２１０６号、特開平９−５７７８５
号等）。これらの樹脂封止装置は、モールド金型の固定
プラテン及び／又は可動プラテンのキャビティを含むパ
ーティング面を通過する長尺状のリリースフィルムによ
り被覆して樹脂封止するものである。これにより、封止
樹脂をモールド金型に接触することなく樹脂封止するこ
とを可能とし、離型用のエジェクタピンを省略して金型
の構造を簡略化できると共に成形品の離型を容易にする
ことができる等の作用効果が得られる。また、樹脂封止
用に用いられる封止樹脂として、一般に用いられる樹脂
タブレットの他に、顆粒状樹脂、液状樹脂等を使用する
ことが可能となった。

【０００４】また、リリースフィルムとしては、モール
ド金型より剥離し易くしかも耐熱性を有する長尺状のフ
ィルムが用いられ、例えばＦＥＰシートフィルム、ＰＥ
Ｔシートフィルム、ポリ塩化ビリニジン、フッ素含浸ガ
ラスクロスフィルム等が好適に用いられる。このリリー
スフィルムは、繰り出し側に供給リールにロール状に巻
き取られており、樹脂封止が行われる度に順次定寸送り
されて使用済みのリリースフィルムは回収リールに巻き
取られたり、或いは収納箱に収納されるようになってい
る。

【０００５】上記リリースフィルムを用いた樹脂封止装
置の一例について、特開平９−５７７８５号を参照して
説明する。図２１において、プレス部Ａで指定回数の樹
脂モールド作業を行う毎に、固定プラテン１０１及び可
動プラテン１０２に装備された上型１０３及び下型１０
４の各パーティング面上にリリースフィルム１０５を供
給部Ｂより供給して回収部Ｃに回収するようになってい
る。具体的には、供給部Ｂに備えた供給リール１０６よ
り繰り出されたリリースフィルム１０５は、上型１０３
及び下型１０４のパーティング面を経て回収リール１０
７に巻き取られる。リリースフィルム１０５は、上型１
０３及び下型１０４のパーティング面に形成された吸着
穴により各々吸着保持されて被成形品をクランプするよ
うになっている。そして、樹脂成形後に型開きを行った
状態で、成形品が搬出された後で吸着を解除してリリー
スフィルム１０５を定寸送りするようになっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、長尺状
のリリースフィルム１０５を用いた樹脂封止装置におい
ては、以下に述べる課題があった。即ち、リリースフィ
ルム１０５は、十分な耐久性や耐熱性を有するが、樹脂
封止動作を何ショットも繰り返すうちに万一破れた場合
には、封止樹脂がモールド金型上に漏れ出してバリを生
ずる。特に長尺状に連続するフィルムにおいては、モー
ルド金型を跨いで張設されているためバリをクリーニン
グするには、供給リール１０６や回収リール１０７を取
り外す必要があるため、メンテナンスに手間がかかるう
えに、加熱されたモールド金型間に手を差し入れてリリ
ースフィルム１０５の交換作業をするのは危険を伴う。
また、樹脂封止装置始動時に、リリースフィルム１０５
をセットする作業も手間取る上に、該リリースフィルム
１０５の先端部分や終端部分、及び樹脂封止部分どうし
の間にはどうしても無駄になるフィルム部分が生じやす
く歩留りを考慮すると無駄が生ずる。また、特願平９−
９３８１０号などで本件出願人が提案した樹脂封止装置
からプレス機能のみを有するプレス部などを基本ユニッ
トに対して着脱可能なモジュールタイプの樹脂封止装置
においては、被成形品の搬入搬出動作を考慮すると、長
尺状のリリースフィルム１０５をモールド金型を跨いで
張設するのはセットし難いという実情もあった。

【０００７】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、リリースフィルムのセットや回収を効率的に行う
ことでメンテナンスやクリーニングを効率的に行え、し
かもリリースフィルムの無駄な使用を無くした樹脂封止
装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。即ち、被成形品をクランプ
すると共に短冊状のリリースフィルムをパーティング面
に密着させて支持するモールド金型を有するプレス部
と、被成形品を被成形品供給部よりプレス部へ搬入する
ため、該プレス部に対して該被成形品を保持して進退移
動可能な被成形品搬入手段と、プレス部においてモール
ド金型のうち少なくとも樹脂成形部を含むパーティング
面を覆う短冊状のリリースフィルムを供給するリリース
フィルム供給機構と、成形後の成形品を前記プレス部よ
り成形品収容部へ搬出するため、該プレス部に対して該
成形品を保持して進退移動可能な成形品搬出手段と、プ
レス部より搬出された成形品より短冊状のリリースフィ
ルムを除去するリリースフィルム除去機構とを備えたこ
とを特徴とする。

【０００９】また、プレス部は、短冊状のリリースフィ
ルムをモールド金型のパーティング面に形成された吸引
穴により吸着して保持するようにしても良い。また、リ
リースフィルム供給機構は、フィルム供給装置により短
冊状に切断されたリリースフィルムを１枚ずつ被成形品
搬入手段に吸着保持させて、被成形品と共にモールド金
型に搬入されて受け渡されるようにしても良く、リリー
スフィルムは、周囲を枠体に挟持することにより張設さ
れてモールド金型に搬入されるようにしても良い。或い
は、被成形品搬入手段に装備された可動フレームの進退
移動に伴ってロール状に巻き取られたフィルムロールよ
りリリースフィルムが可動フレーム上に引き出されて吸
着されたまま短冊状に切断され、該短冊状に切断された
リリースフィルムは可動フレーム上に吸着保持されたま
ま被成形品と共にモールド金型に搬入されて受け渡され
るようにしても良い。また、リリースフィルム除去機構
は、成形品搬出手段によりプレス部より成形品と共に搬
出される際に、リリースフィルムの先端側を吸着して成
形品より剥離することにより除去されるようにしても良
い。また、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段は、装
置本体に互いに重なり合うよう配設し、各々個別に備え
た駆動源により移動可能になっていても良く、更には被
成形品搬入手段及び成形品搬出手段は、リリースフィル
ム供給機構とリリースフィルム除去機構との間に移動可
能に配設されていても良く、或いはリリースフィルム供
給機構及びリリースフィルム除去機構は、プレス部を挟
む両側に配置されていても良い。また、プレス部は、上
型に対して下型が上下動可能に装備されており、被成形
品搬入手段は、上動した下型上に成形前の被成形品を移
載すると共に上型に対して短冊状のリリースフィルムを
受け渡し、成形品搬出手段は型開きした下型上へ下動す
ることにより成形後の成形品及びリリースフィルムを回
収するようにしても良い。また、被成形品搬入手段及び
成形品搬出手段には、プレス部へ進退移動する際に上下
金型を各々クリーニングするクリーナーと、クリーニン
グされた塵埃などを吸引する吸引口及びこれに接続する
吸引ダクトとを各々備えているのが望ましい。また、被
成形品供給部、プレス部及び成形品収容部はユニット化
されており、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段を有
する基本ユニットに対して少なくとも１つのユニットが
着脱可能に装備されていても良い。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の態様
を添付図面に基づいて詳細に説明する。本実施例は、プ
レス装置の一例として半導体装置製造に用いるトランス
ファーモールドによる樹脂封止装置を用い、下型にプラ
ンジャを設置したロアープランジャ方式によるもので、
マルチポットタイプのモールド金型を使用する、ロアー
マルチプランジャ方式を採用した樹脂封止装置を用いて
説明する。

【００１１】図１（ａ）〜（ｃ）は上型のパーティング
面に対するリリースフィルムの張設状態を示す説明図、
図２はモールド金型の断面説明図、図３はローダー及び
アンローダーの説明図、図４（ａ）〜（ｃ）はリリース
フィルム供給機構のフィルム供給動作の説明図、図５
（ａ）〜（ｃ）はリリースフィルムを張設する枠体の説
明図、図６（ａ）〜（ｃ）は他例に係るリリースフィル
ムを張設する枠体の説明図、図７（ａ）〜（ｆ）は図６
の枠体に張設されたリリースフィルムを枠体ごと上型に
保持させる構成を示す説明図、図８は他のリリースフィ
ルム供給機構を備えたローダー及びアンローダーの説明
図、図９は図８のローダー及びアンローダーの右側面
図、図１０は他例に係るリリースフィルム供給機構を備
えたローダー及びアンローダーの説明図、図１１は他例
に係るリリースフィルム供給機構の説明図、図１２
（ａ）（ｂ）及び図１３（ａ）（ｂ）はリリースフィル
ム除去機構による成形品よりリリースフィルムの除去動
作を示す側面及び正面説明図、図１４は第１実施例に係
る樹脂封止装置の平面図、図１５は図１４の樹脂封止装
置の右側面図、図１６及び図１７は第２実施例に係る樹
脂封止装置の平面図、図１８は第２実施例に係る樹脂封
止装置の正面図、図１９は第３実施例に係る樹脂封止装
置の平面図、図２０は第３実施例に係る樹脂封止装置の
正面図である。

【００１２】〔第１実施例〕 （全体構成）先ず、図１４を参照して樹脂封止装置の概
略構成について説明する。１は装置本体としての基本ユ
ニットであり、プレス機能のみを装備した２台のプレス
部２を着脱自在に装備している。このように、本実施例
で用いる樹脂封止装置は、プレス部２が着脱自在なモジ
ュールタイプの樹脂封止装置について説明する。尚、プ
レス部２は基本ユニット１の占有エリア内に位置してい
るので、プレス部２を着脱しても装置本体の占有エリア
が変化することはない。また、プレス部２は複数台装備
する場合に限らず単数装備されていても良い。

【００１３】基本ユニット１は、単数又は複数の被成形
品（リードフレーム４２及び樹脂タブレット４ｂ）を供
給可能に収容するリードフレーム供給部３及び樹脂供給
部４と、樹脂封止後のリードフレームを収容するリード
フレーム収容部５を装備している。また、基本ユニット
１にはリードフレーム供給部３及び樹脂供給部４より供
給されたリードフレーム４２及び樹脂タブレット４ｂを
プレス部２へ搬入するための被成形品搬入手段としての
ローダー６と、樹脂封止後のリードフレームをプレス部
２よりリードフレーム収容ユニット５へ搬出する成形品
搬出手段としてのアンローダ７を装備している。ローダ
ー６はアンローダー７の上に重なり合うように配設され
ている。各々個別に備えた駆動源により回動位置Ｏを中
心に各々回動してプレス部２に対向する進退位置Ｐまで
移動路９を移動可能になっている。

【００１４】また、ローダー６及びアンローダー７は、
リリースフィルム供給機構１１とリリースフィルム除去
機構１２との間に移動可能に配設されている。このリリ
ースフィルム供給機構１１は、プレス部２においてモー
ルド金型のうち少なくとも樹脂成形部を含むパーティン
グ面を覆う短冊状のリリースフィルム３２をローダー６
により供給する。また、リリースフィルム除去機構１２
は、プレス部２よりアンローダー７により搬出される成
形品より短冊状のリリースフィルム３２を剥離して除去
する。

【００１５】ローダー６は、リードフレーム供給部３よ
り回転テーブル３ｂを備えたフレーム整列部３ａへ供給
されたリードフレームを受け渡され、次いでリリースフ
ィルム供給機構１１より供給された短冊状のリリースフ
ィルム３２を吸着保持して９０°回転した後、樹脂供給
部４よりカセット４ａに供給された樹脂タブレット４ｂ
をそのカセット４ａより受け渡されて、更に９０°回転
してこれらを型開きしたいずれか一方のプレス部２へ搬
入する。また、アンローダー７は、成形品をプレス部２
より回収し搬出する際にリリースフィルム除去機構１２
によりリリースフィルム３２が剥離され、成形品をディ
ゲート部８へ搬出する。

【００１６】尚、リードフレーム供給部３やリードフレ
ーム収容ユニット５は、基本ユニット１の基台上に角ロ
ッド等により支持されたベースプレート（図示せず）上
に設けられている。樹脂封止前のリードフレームを収容
した供給マガジンや樹脂封止後のリードフレームを収容
した収容マガジンは、ベースプレート上より取り出され
て補充されたり、成形品が取り出されたりする。また、
樹脂供給部４は、ベースプレートより下方の基台上に装
備されており、カセット４ａはこの基台上の供給位置と
上部の受け渡し位置とを往復移動している。

【００１７】基本ユニット１の上記ローダー６及びアン
ローダー７の移動路９の両側には、装置基台の一部にプ
レス着脱部１０が設けられており、該プレス着脱部１０
にはプレス部２が着脱自在に装着される。また、基本ユ
ニット１には図示しない操作部が設けられており、樹脂
封止動作の開始や動作モードを選択操作する。また、図
示しない制御部は操作部より入力された指令に基づき、
基本ユニット１に装備された各部の動作を制御する。

【００１８】リードフレーム供給部３及び樹脂供給部４
より供給されたリードフレーム４２、樹脂タブレット４
ｂ、及びリリースフィルム供給機構１１より供給された
リリースフィルム３２はローダー６に保持されて、各プ
レス部２に搬入されモールド金型１にクランプされて樹
脂封止が行われる。樹脂封止後の成形品は、リリースフ
ィルム３２と共にアンローダー７に保持されてディゲー
ト部８へ搬出される際にリリースフィルム３２のみが除
去された後、ゲートブレイクが行われて不要樹脂が分離
され、成形品のみリードフレーム収容部５へ移送されて
収容される。

【００１９】（プレス部の構成）次に、プレス部２の概
略構成について、図１４及び図１５を参照して説明す
る。図１５において、プレスベースと下型１４を支持す
る可動プラテンとの間を図示しない昇降機構により連繋
し、該昇降機構を電動モータ（サーボモータ）や油圧機
構（図示せず）等を作動させることによって可動プラテ
ンに支持された下型１４を昇降させて、上固定プラテン
に固定された上型１３との型開閉が行われる。また、下
型１４にはポットに供給された樹脂をキャビティへ圧送
すべくプランジャを上下動させるトランスファ駆動機構
（図示せず）が装備されている。トランスファ駆動機構
は電動モータや油圧機構などにより駆動される。プレス
部２にも固有の操作部や制御部が装備されており、プレ
ス動作を制御可能に構成されている。

【００２０】また、プレス着脱部１０には、図１４及び
図１５に示すように、プレス部２の底部を支持して着脱
するため、該プレス部２の着脱方向に沿って複数のロー
ラー１０ａがユニット支持面１０ｄに回動可能に設けら
れている。また、プレス着脱部１０のプレス部２の装着
方向奥側には突き当て部１０ｂが形成されている。ま
た、ユニット支持面１０ｄの長手方向両側には、プレス
部２の幅方向をガイドするためのガイドレール１０ｃが
設けられている。プレス着脱部１０の設置面より下型１
４の加工面（パーティング面）までの距離は、金型の品
種が変わっても一義的に決まるように設定されている。

【００２１】尚、プレス着脱部１０に設けられたローラ
ー１０ａは、該ローラー１０ａの変形や摩耗等を考慮す
ると、プレス部２の底部を着脱時支持する位置からプレ
ス着脱部１０ａの内部に退避するように構成しても良
い。この場合には、プレス着脱部１０のユニット支持面
（平面）１０ｄによりプレス部２を支持するので、着脱
を繰り返しても高さ出しの精度が変動することがない。
また、ローラー１０ａの代わりに枠体に金属ボールが回
転自在に取り付けられたボールベアリングを用いたり、
ユニット支持面（平面）１０ｄを鏡面状にして滑り易く
しても良い。プレス着脱部１０に装着されたプレス部２
は、先端に螺合部を形成された位置決めピン１０ｅによ
り位置決め固定される。また、プレス部２の着脱作業
は、予め専用の治具により平面位置及び高さ出しが行わ
れた後、専用の移動台車Ｋなどにより運搬されてプレス
着脱部１０に移載される（図１４参照）。

【００２２】（被成形品搬入手段及び成形品搬出手段の
構成）次に、ローダー６及びアンローダー７の構成につ
いて、図３を参照して具体的に説明する。図３におい
て、ローダー６及びアンローダー７は上下に配設されて
おり、同一平面に沿って移動可能に装備されている。こ
のように、ローダー６及びアンローダー７を近接して対
向配置することで、装置本体の占有面積を可能な限り少
なくすることができる。また、ローダー６及びアンロー
ダー７には、回動モータ（電動モータ）１５，１６が個
別に装備されている。この回動モータ１５，１６のモー
タギヤと回動軸１７，１８に同軸状に設けられたプーリ
ギヤ１９，２０との間にタイミングベルト（図示せず）
が掛け渡されており、回動モータ１５，１６を駆動する
ことにより、ローダー６及びアンローダー７は、回動軸
１７，１８を中心にそれぞれ回動される。回動軸１７，
１８の内部には、ローダー６及びアンローダー７の駆動
部分への配線用のカールケーブル１７ａ，１８ａがそれ
ぞれ配設されている。

【００２３】図３において、ローダー６及びアンローダ
ー７は、回動軸１７，１８を一体に支持する可動支持板
５５が、移動路９に設けられた取付台５６の長手方向に
ガイドレール５７に沿って往復移動可能になっている。
また、ガイドレール５７と平行に設けられたボールネジ
５８には、可動支持板５５の一部に設けられたナット５
５ａが螺合している。移動モータ５９を起動すると、ボ
ールネジ５８が回転し、可動支持板５５がガイドレール
５７に沿って移動する。尚、図３には主としてアンロー
ダー７側の移動構成について図示し、ローダー６側の移
動構成の詳細は省略した。これによって、ローダー６及
びアンローダー７は、図１４に示す回動位置Ｏとプレス
部２に対応する進退位置Ｐとの間を往復移動するように
構成されている。

【００２４】また、図３において、ローダー６及びアン
ローダー７は、型開きしたプレス部２に対して被成形品
及びリリースフィルム３２を保持して進退移動可能な搬
入移動体２１及び成形品及びリリースフィルム３２を保
持して進退移動可能な搬出移動体２２をそれぞれ装備し
ている。以下、この搬入移動体２１及び搬出移動体２２
の具体的な構成について説明する。

【００２５】先ず、ローダー６に装備された搬入移動体
２１の概略構成について説明する。搬入移動体２１は、
リードフレーム４２や樹脂タブレット４ｂを保持するチ
ャックハンド２３、上型１３のパーティング面をクリー
ニングするための上クリーナー２４、該上クリーナー２
４により掻き落とされた不要樹脂や塵埃などを吸引する
吸引口２５及びこれに接続する吸引ダクト（図示せず）
などを可動フレーム２６に装備している。この吸引ダク
トは可動フレーム２６の周囲に沿って配設されており、
ローダー６の回転軸１７付近に設けられた回転ダクト４
３に接続されている。

【００２６】上クリーナー２４は搬入移動体２１がモー
ルド金型内に進入するときのみ、上型１３側へ突出する
ように図示しないシリンダ駆動によりパーティング面に
接離動するようになっている。また、チャックハンド２
３は、成形前のリードフレーム４２及び樹脂タブレット
４ｂを保持してモールド金型へ搬送する。また、可動フ
レーム２６は、後述するリリースフィルム供給装置より
供給される短冊状のリリースフィルム３２を上面に吸着
保持してモールド金型へ搬送する。

【００２７】次に、アンローダー７に装備された搬出移
動体２２の構成について説明する。搬出移動体２２は、
成形品及びリリースフィルム３２を保持するチャックハ
ンド２７、下型１４のパーティング面をクリーニングす
るための下クリーナー２８、該下クリーナー２８により
掻き出された不要樹脂や塵埃などを吸引する吸引口２９
及びこれに接続する吸引ダクト（図示せず）などを可動
フレーム３０に装備されている。この吸引ダクトは可動
フレーム３０の周囲に沿って配設されており、回転ダク
ト４４に接続されている。

【００２８】吸引口２９は、下クリーナー２８とは別個
に、該下クリーナー２８より退避方向後側に形成されて
いる。これは、下クリーナー２８は、搬出移動体２２が
プレス部２より退避する際に下型１４のクリーニングを
行うため、下クリーナー２８の退避方向後側に配設され
ているのが望ましいからである。また、チャックハンド
２７は、進退移動時の下型１４や成形品との干渉を回避
するため、ハンドベースシリンダ３１により下型１４の
パーティング面に対して接離動可能に構成されている。

【００２９】成形後のリードフレーム及びリリースフィ
ルム３２を保持して搬出するチャックハンド２７は、該
リリースフィルム３２の脱落を有効に防止するため、リ
ードフレームやリリースフィルム３２の端部を挟持する
タイプのハンドが好ましい。例えば、本件出願人が提案
した特開平１０−９２８５０号公報に示すようにリード
フレームの一端近傍を挟圧して片持ち状にチャックする
ロータリーチャックやリードフレームの端部に爪を係止
させて挟圧する開閉式のチャックなどが好適に用いられ
る。これによってチャックハンド２７の先端の爪部分を
下型１４より離型した成形品に確実に潜り込ませて成形
品の回収を確実に行うことができる。

【００３０】搬入移動体２１及び搬出移動体２２の進退
動作について説明する。搬入移動体２１及び搬出移動体
２２に各々設けられた進退用モータ（電動モータ）３
３，３４に連繋するピニオンギヤ３３ａ，３４ａは可動
フレーム２６，３０に設けられたラック２６ａ，３０ａ
とそれぞれ噛合している。進退用モータ３３，３４を正
逆回転駆動することにより、可動フレーム２６，３０を
進退位置Ｐとプレス部２との間を図示しない枠体に設け
られたリニアガイドに沿って進退移動させる。搬入移動
体２１及び搬出移動体２２は上下に配置されているの
で、可動フレーム２６，３０は型開きしたプレス部２に
同時に進入させることも可能である。

【００３１】（リリースフィルム供給機構の構成）次
に、リリースフィルム供給機構１１の構成について、図
３乃至図５を参照して具体的に説明する。図３におい
て、短冊状のリリースフィルム３２は、フィルム供給装
置３５よりローダー６に供給される。即ち、ローダー６
がリードフレームをチャックするため回転テーブル３ｂ
を備えたフレーム整列部３ａへ進入する際に、フィルム
供給装置３５の吸引穴３５ａより吸引されて吸着保持さ
れたリリースフィルム３２が可動フレーム２６の上面に
受け渡される。図４（ａ）において、可動フレーム２６
にはパッド収容穴２６ｂが形成されており、該パッド収
容穴２６ｂ内には搬送用吸着パッド３６が可動フレーム
２６の上面より進退可能に設けられている。この搬送用
吸着パッド３６には、吸引穴３６ａが形成されている。
フィルム供給装置３５は、短冊状のリリースフィルム３
２が積層された供給トレイ３７より最上側のものより１
枚ずつ吸着保持して、ローダー６の進退位置（図１４の
斜線部）に待機している。そして、ローダー６がリード
フレームをチャックハンド２３によりチャックすべくフ
レーム整列部３ａへ進入すると、リリースフィルム３２
を吸着したフィルム供給装置３５が下動して吸引穴３５
ａによる吸着を解除し、同時に可動フレーム２６の搬送
用吸着パッド３６の吸引穴３６ａによる吸引を開始して
リリースフィルム３２のローダー６への受け渡しが行わ
れる。図４（ａ）において供給トレイ３７に装備される
リリースフィルム３２は図５に示すような枠体３９に張
設されたものでも良い。尚、本実施例では、フィルム供
給装置３５はエア吸着方式を採用しているが、これに限
定されるものではなく、機械的に圧着させる方式や挟持
方式など様々な方式を採用し得る。

【００３２】次に、ローダー６に吸着保持されたリリー
スフィルム３２の上型１３への受渡し動作について説明
する。図４（ｂ）において、リードフレーム４２及び樹
脂タブレット４ｂと共にリリースフィルム３２を吸着保
持した搬入移動体２１の可動フレーム２６は、プレス部
２の型開きしたモールド金型内に進入する。そして、図
４（ｃ）に示すように、搬送用吸着パッド３６を図示し
ないシリンダ駆動によりスプリング３７の弾性力に抗し
て可動フレーム２６より上方に突出させてリリースフィ
ルム３２を吸着したまま上型１３のパーティング面に押
圧し、同時に上型１３に形成された吸引穴１３ａより吸
引動作を開始し、吸引穴３６ａによる吸着を解除してリ
リースフィルム３２が上型１３に受け渡される。搬送用
吸着パッド３６は吸着動作を停止しシリンダ駆動を停止
すると、スプリング３８の弾性力により可動フレーム２
６のパッド収容穴２６ｂ内に強制的に退避するようにな
っている。尚、リリースフィルム供給機構１１は、フレ
ーム整列部３ａと回動位置Ｏとの間に設けたが、設置ス
ペースが無い場合には、基本ユニット１の他のスペース
に設けても良い。

【００３３】ここで、上型１３のパーティング面に張設
されるリリースフィルム３２のサイズについて図１
（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。リリースフィルム
３２は、図１（ａ）に示すように、上型１３と略同サイ
ズのフィルムを使用したり、或いは図１（ｂ）に示すよ
うに、上型１３より四方がはみ出す大きさのものを用い
ても良い。図１（ｂ）の場合、リリースフィルム３２を
上型１３に張設する場合に、該リリースフィルム３２を
図５（ａ）〜（ｃ）に示すような枠体３９を用いて四辺
を挟持することにより張設したものを上型１３のパーテ
ィング面に吸着保持するようにしてもよい。枠体３９の
フィルム挟持面には四辺に渡って凹溝３９ａ及び凸部３
９ｂが形成されており、リリースフィルム３２を噛み込
むことにより所定のテンションを付与するようになって
いる。尚、この場合には、枠体３９ごとリリースフィル
ム３２を上型１３に搬入して保持させるための機構（図
示せず）が必要となる。また、図１（ｃ）に示すよう
に、リリースフィルム３２は四辺のうち対向する一対の
２辺側（図１（ｃ）の左右方向）が対応する上型１３の
２辺よりはみ出すサイズのものを用いても良い。この場
合には、リリースフィルム３２をはみ出した長手方向両
側より引っ張ることにより上型１３のパーティング面に
吸着保持させても良い。

【００３４】尚、上型１３のパーティング面には、図１
（ａ）〜（ｃ）に示すように、吸引穴１３ａの他に、リ
ードフレーム４２を位置決めするための下型１４に立設
されたガイドピン１４ａ（図２参照）が嵌まり込むガイ
ドピン穴１３ｆや、リリースフィルム３２を上型１３の
パーティング面に吸着させるため、キャビティ１３ｅの
底部に設けられたキャビティ吸引穴１３ｇ、キャビティ
１３ｅの周囲に設けられたたるみ吸収溝１３ｈなどが形
成されている。また、リリースフィルム３２は、図２に
示すように、少なくとも上型１３のカル１３ｂ、ランナ
１３ｃ、ゲート１３ｄ及びキャビティ１３ｅなどの樹脂
成形部を覆うサイズのものが好ましいが、上型１３のパ
ーティング面に樹脂バリが生ずるおそれがなければ、キ
ャビティ１３ｅやランナ１３ｃ、ゲート１３ｄ部分のみ
を覆うサイズのもの（例えば、リードフレームと略同じ
サイズやＢＧＡ基板を収容するキャビティと略同一サイ
ズのものなど）を用いても良い。また、リリースフィル
ム３２は１枚ずつ上型１３に吸着保持させていたが，複
数枚重ね合わせたものを同時に吸着させても良い。ま
た、図２において下型１４にはポット１４ｂが形成され
ており、該ポット１４ｂ内には樹脂タブレット４ｂが装
填されている。この樹脂タブレット４ｂは、プランジャ
６１により押動されて、上型１３に密着保持されたリリ
ースフィルム３２に覆われたランナ１３ｃ、ゲート１３
ｄを経てキャビティ１３ｅに圧送されて半導体チップ６
２が樹脂封止される。

【００３５】また、リリースフィルム３２を枠体３９に
張設して該枠体３９ごとモールド金型へ搬入する場合、
リリースフィルム３２を上型１３のパーティング面に必
ずしも吸着保持しなくてもフィルムが密着できるように
なっていれば良い。例えば、図６（ａ）〜（ｃ）に示す
ように、枠体３９に位置決め穴３９ｃが形成されたもの
を用いて短冊状のリリースフィルム３２を張設する。ま
た、図７（ｄ）〜（ｆ）に示すように、上型１３側にＬ
字状の回動ピン６０が回動可能に垂設されており、枠体
３９に設けられた位置決め穴３９ｃに嵌合するようにな
っている。この回動ピン６０は、図７（ｄ）に示すよう
に位置決め穴３９ｃに嵌合すると、図７（ｆ）に示すよ
うに例えば９０°回転させることにより、図７（ｅ）に
示すようにリリースフィルム３２が上型１３のパーティ
ング面に密着したまま枠体３９を保持するようになって
いる。この場合の枠体３９と上型１３との位置関係を図
７（ａ）〜（ｃ）に示す。本実施例の場合、モールド金
型（上型１３）には吸引穴は不要であるため、通常のモ
ールド金型が使用可能となる。また、リリースフィルム
３２も、伸縮性に富む材質を用いた場合には、封止樹脂
を注入すれば、型面に沿ってフィルムが伸びるため、エ
ア吸引によりパーティング面に吸着させなくても、リリ
ースフィルム３２がランナ１３ｃ、ゲート１３ｄやキャ
ビティ１３ｅに倣って凹面を形成するので好適である。

【００３６】（リリースフィルム除去機構の構成）次
に、リリースフィルム除去機構１２の構成について図１
２及び図１３を参照して説明する。４０は送りローラ対
であって、成形品の送り方向に沿って複数箇所に設けら
れている。この送りローラ対４０は、一方側（例えば下
側）のローラが図示しない駆動源より回転駆動され、他
方側（例えば上側）は従動回転するようになっている。
４１は剥離用吸着パッドであり、内部に吸引ノズルが形
成されている。この剥離用吸着パッド４１は送りローラ
対４０より送り方向下流側であってリリースフィルム３
２の幅方向に複数箇所に、図示しないシリンダ駆動によ
り上下動可能に設けられている。

【００３７】樹脂封止後に型開きしたモールド金型内に
アンローダー７が進入して成形品をチャックハンド２７
によりチャックすると、ディゲート部８へ搬出される。
このとき、成形品であるリードフレーム４２及びリリー
スフィルム３２は両側をチャックハンド２７に挟持され
たまま、送り方向に複数箇所に設けられた送りローラ対
４０に受け渡される。このとき、リードフレーム４２の
先端側に延出するリリースフィルム３２を剥離用吸着パ
ッド４１により吸着されて上方に引き上げられることに
より、リードフレーム４２よりリリースフィム３２が剥
離されて除去される。リードフレーム４２は送りローラ
対４０によりそのままディゲート部８に搬送される。
尚、リリースフィルム除去機構１２は回動位置Ｏとディ
ゲート部８との間（図１４の斜線部）に設けたが、設置
スペースが無い場合には、ゲートブレイクを行った後に
剥離するようにしても良い。

【００３８】次に、ローダー６の被成形品搬入動作及び
アンローダー７の成形品搬出動作について、図３、図１
２、図１３及び図１４を参照しながら説明する。先ずロ
ーダー６は、図１４の回動位置Ｏにおいて、搬入移動体
２１から可動フレーム２６を前進させ、フレーム整列部
３ａの回転テーブル３ｂに切り出されたリードフレーム
をチャックハンド２３によりチャックする。このとき、
ローダー６より前進した可動フレーム２６の上面近傍
に、リリースフィルム供給機構１１に装備されたフィル
ム供給装置３５が下動して、吸着された短冊状のリリー
スフィルム３２が搬送用吸着パッド３６に受け渡され
る。可動フレーム２６は一旦後退させた後、回動モータ
１５を作動させてローダー６を９０°回転させ、可動フ
レーム２６を再び前進させてカセット４ａより樹脂タブ
レット４ｂをチャックする。そして、可動フレーム２６
ａを後退させて、時計回り若しくは反時計回りに９０°
回転させた後、図３に示す移動モータ５９を作動させ
て、ローダー６をその回動軸１７が回動位置Ｏより進退
位置Ｐへ到達するまで移動路９を移動させる。回転軸１
７の回動位置Ｏから進退位置Ｐへの移動とローダー６の
回動を複合的に行えば、マシンサイクルの短縮化ができ
る。

【００３９】図３において、進退用モータ３３を駆動さ
せて型開きしたプレス部２内に搬入移動体２１は、可動
フレーム２６を進入させ、上動させた下型１４上にチャ
ックハンド２３に保持したリードフレーム４２や樹脂タ
ブレット４ｂを移載する。このとき、可動フレーム２６
の上面に吸着保持したリリースフィルム３２は、搬送用
吸着パッド３６を上動させることにより、上型１３のパ
ーティング面に形成された吸引穴１３ａにより吸引され
て吸着される。また、可動フレーム２６が型開きしたプ
レス部２に進入するとき、上クリーナー２４を上型１３
のパーティング面に接触させると共に回転させてクリー
ニングしつつ、塵埃を図示しない吸引ダクト内に吸引し
ながら進入する。よって、金型面をクリーンな状態に保
ちながらリリースフィルム３２を張設することができ
る。尚、可動フレーム２６は、被成形品を搬入後プレス
部２より退避するときには、上クリーナー２４を上型１
３より退避させた状態で進退位置Ｐへ退避させる。

【００４０】また、樹脂封止後に型開きしたプレス部２
より成形品を取り出す場合には、アンローダー７を図１
４に示す進退位置Ｐに移動させた状態で、図３に示すよ
うに搬出移動体２２は、進退用モータ３４を駆動させて
型開きしたプレス部２内に可動フレーム３０を進入させ
る。尚、可動フレーム３０がプレス部２へ進入するとき
には、下クリーナー２８を下型１４より離間させた状態
で進入する。そして、ハンドベースシリンダ３１を作動
させてチャックハンド２７を下型１４上へ下動させて、
リリースフィルム３２に覆われた成形品をチャックして
再び上動させた後、成形品を保持したままプレス部２よ
り進退位置Ｐまで退避させる。可動フレーム３０は、プ
レス部２より退避するとき、下クリーナー２８を下型１
４のパーティング面に接触させると共に回転させてクリ
ーニングしつつ、塵埃を図示しない吸引ダクト内に吸引
しながら退避する。

【００４１】次に、図１４において、移動モータ５９
（図３参照）を作動させてアンローダー７をその回動軸
１８が進退位置Ｐより回動位置Ｏへ到達するまで移動路
９を移動させる。そして、必要に応じて図３に示す回動
モータ１６を起動してアンローダー７を１８０°回動さ
せた後、進退用モータ３４を駆動させて回動位置Ｐより
ディゲート部８へ可動フレーム３０を移動させてチャッ
クハンド２７にチャックされたリリースフィルム３２に
覆われた成形品がリリースフィルム除去機構１２の送り
ローラ対４０に受け渡される。図１２及び図１３に示す
ように、成形品は送りローラ対４０にディゲート部８へ
搬送される際に、リリースフィルム３２が剥離用吸着パ
ッド４１に吸着されて剥離される。

【００４２】搬入移動体２１及び搬出移動体２２が可動
フレーム２６，３０を進退させる動作のタイミングは、
プレス部２へ可動フレーム３０を進入させて樹脂封止が
行われた成形品をリリースフィルム３２と共にチャック
して下型１４のパーティング面をクリーニングしながら
該プレス部２より退避するとき、次の被成形品を保持し
た可動フレーム２６が上型１３のパーティング面をクリ
ーニングしながら進入する。即ち、可動フレーム２６と
可動フレーム３０が入れ替わるように移動するのが好ま
しい。成形品をチャックした可動フレーム３０をプレス
部２より退避させると、下型１４を上動させ、可動フレ
ーム２６のチャックハンド２３を解放して、リードフレ
ーム４２及び樹脂タブレット４ｂを下型１４のキャビテ
ィやポットにセットする。そして、可動フレーム２６を
プレス部２より退避させると、下型１４が更に上動して
上型１３と型閉じして樹脂封止が行われる。このよう
に、型開きしたプレス部２へワークの搬入搬出動作を連
繋して行い、かつ金型のクリーニング動作を該搬入搬出
動作と同時に行うことで、装置の合理化とサイクルタイ
ムの短縮化を促進することができる。

【００４３】また、搬入移動体２１による被成形品の搬
入動作において、チャックハンド２３の上下動を省略し
たのは、ローダー６自体の厚さを薄くして小型化できる
他に、ローダー６とアンローダー７は上下に配設されて
いるので、アンローダ７側の可動フレーム３０がプレス
部２より退避したとき、ワークを保持した可動フレーム
２６と下型１４との間に距離があるため、チャックハン
ド２３を下動させるより、型閉じ動作のため上動する下
型１４の動作を利用して被成形品の搬入動作を行うこと
で、サイクルタイムを短縮化してより高速処理化が実現
できるからである。

【００４４】一方、搬出移動体２２による成形品の搬出
動作において、チャックハンド２７の上下動を行うの
は、下型１４が最下点まで下動したときに、エジェクシ
ョンロッド（図示せず）により成形品を突き上げて離型
させるため、チャックハンド２７により離型した成形品
を取りに行かなければならないためである。また、エジ
ェクションロッドによる成形品の突き上げは、可動プラ
テンの昇降動作を利用しているため、下型エジェクショ
ン専用の駆動源を省略できる。しかしながら、成形品の
離型動作が下型１４が最下点へ下動したときのみに行わ
れるため、エジェクションロッドを設ける位置が規制さ
れてしまう。このため、下型エジェクション専用の駆動
源を下型ベース部に設ければ、チャックハンド２７の上
下動は不要となり、また可動プラテンの位置によらずエ
ジェクションロッドを突き上げて成形品を離型させるこ
とができるので、アンローダー７をローダー６の上側に
配置することも可能となる。

【００４５】次に、ローダー６及びアンローダー７にお
いて、可動フレーム２６，３０に形成された吸引ダクト
の回転軸１７，１８付近の配管構造について図３を参照
して説明する。吸引口２５，２９より可動フレーム２
６，３０の周囲に沿って形成された吸引ダクト（図示せ
ず）は、回転軸１７，１８近傍に装備された回転ダクト
４３，４４にそれぞれ接続されている。この回転ダクト
４３，４４は、回動軸１７，１８と共に回動するので、
可動フレーム２６，３０の吸引ダクトが回転軸１７，１
８に絡みつくことはない。また、回転ダクト４３，４４
にそれぞれ形成された回転吸引口（図示せず）は、ロー
ダー６及びアンローダー７が回動した際に、可動ダクト
４５，４６の可動吸引口（図示せず）と各々接続されて
図示しない集塵機により吸引動作が行われる。

【００４６】（ディゲート部及び収容部の構成）図１４
において、リリースフィルム３２が除去された成形品は
ディゲート部８に搬送され、該ディゲート部８でゲート
ブレイクされてリードフレームと不要樹脂とが分離され
る。そして、不要樹脂を除去されたリードフレームのみ
が図示しない搬送手段によりリードフレーム収容部５へ
搬送されて収容される。ディゲート部８は、不要樹脂を
分離させる際に樹脂が残留したり、リードフレームが変
形したりしないよう、不要樹脂のいずれの部分において
も剥離力が作用し、しかもゲートから徐々に剥離させる
ようにするのが望ましい。例えば、本件出願人が提案し
た特開平３−２９０２１８号に示すように、リードフレ
ーム４２を支持パレットに支持してゲート側より回動さ
せる構成が好適に用いられる。また、リードフレーム収
容部５には、収容マガジンが装備されており、回収され
たリードフレーム４２は、１枚ずつ整列してマガジン内
に収納される。この収容マガジンは、リードフレーム４
２が一杯になると次のマガジンに交換して使用される。

【００４７】上記構成によれば、短冊状のリリースフィ
ルム３２を金型のパーティング面に張設して樹脂封止を
行えるので、モールド金型をクリーンな状態に維持する
ことができ、しかもクリーニング動作が容易に行える。
また、仮にリリースフィルム３２が破れたとしても、短
冊状のフィルムの除去は容易であり、新たにセットする
場合にも自動供給可能であるため、メンテナンス作業も
容易に行える。また、樹脂封止後、成形品とリリースフ
ィルム３２を一緒に搬出するので、モールド金型に残存
するバリ量が少なくなる。本実施例の場合、上型１３に
バリが生ずることなく下型１４のみにバリが残るのみで
ある。よって、モールド金型のクリーニング動作が容易
になる。また、短冊状のリリースフィルム３２を用いる
ことにより、必要なサイズに切断されたものを用いれば
足りるので、長尺状のリリースフィルムに比べて無駄な
使用量を無くして製造コストを削減できる。また、ロー
ル状に巻き取られた長尺状のリリースフィルムを使用す
る場合に比べて、樹脂封止装置内の設置面積を要さず半
導体装置製造用のクリーンルームのスペースの有効利用
が図れるため有意義であり、しかもフィルムを常時張設
する必要がないため被成形品の搬入動作や成形品の搬出
動作において複雑な制御動作が不要であるため、装置構
成を簡略化することができる。また、ローダー６及びア
ンローダー７は上下に配設され、しかもそれぞれ個別に
移動可能に装備されているので、これらのプレス部２へ
の搬入搬出動作を同時に行うことにより樹脂封止装置の
サイクルタイムを短縮化して、製品の量産化、高速処理
化を実現できる。

【００４８】（リリースフィルム供給機構の他の構成）
次に、リリースフィルム供給機構１１の他の構成につい
て図８及び図９を参照して説明する。上記実施例では、
フィルム供給装置３５により供給トレイ３７に予め切断
して積層されたリリースフィルム３２を吸着してローダ
ー６に供給するように構成したが、これに限定されるも
のではなく、長尺状のリリースフィルム３２をロール状
に巻き取られたフィルムロール４７を備えたフィルム供
給切断装置４８をローダー６の可動フレーム２６の進退
方向に移動可能に装備されていても良い。

【００４９】このフィルム供給切断装置４８は、ローダ
ー６の可動フレーム２６の進退方向に移動可能に設けら
れている。フィルム供給切断装置４８には、フィルムロ
ール４７の繰り出し端部４７ａを吸着して固定可能なエ
ア吸引部を備えた、上下動可能な吸着保持部４９、リリ
ースフィルム３２を切断するため上下動可能に装備され
た切断刃５０を装備している。また、可動フレーム２６
の進退方向後端側及び先端側には、リリースフィルム３
２を吸着保持するエア吸引部を備えた搬送用吸着パッド
５１，５２が各々設けられている。

【００５０】フィルム供給切断装置４８は、図８の実線
位置Ｒに待機している。予めフィルムロール４７の繰り
出し端部４７ａは吸着保持部４９により吸着保持されて
おり、また切断刃５０は上方に待機している。可動フレ
ーム２６がフレーム整列部３ａへ進入してリードフレー
ムのチャックを行う際に、フィルム供給切断装置４８は
図８の二点鎖線位置Ｌへ移動して、吸着保持部４９を下
動して搬送用吸着パッド５１に密着させる。そして吸着
保持部４９のエア吸引を停止して、搬送用吸着パッド５
１がエア吸引を開始してリリースフィルム３２の繰り出
し端部４７ａを固定する。そして、フィルム供給切断装
置４８は、二点鎖線位置Ｌから実線位置Ｒまで（左端か
ら右端まで）移動する際にフィルムロール４７よりリリ
ースフィルム３２が引き出される。

【００５１】次に、フィルム供給切断装置４８が実線位
置Ｒに移動すると、搬送用吸着パッド５２によりリリー
スフィルム３２を可動フレーム２６の上面に吸着させ
る。そして、吸着保持部４９により再びエア吸引を開始
してリリースフィルム３２を吸着させた後、該吸着部の
近傍において切断刃５０を一旦下動させてリリースフィ
ルム３２を短冊状に切断してから再び待機位置へ上動す
る。これによって、短冊状に切断されたリリースフィル
ム３２をローダー６に吸着保持させることができる。
尚、切断後のフィルムロール４７の繰り出し端部４７ａ
は吸着保持部４９により吸着保持されている。

【００５２】このように、リリースフィルム３２を可動
フレーム２６の進退移動に伴ってロール状に巻き取られ
たフィルムロール４７よりリリースフィルム３２の先端
を引き出して短冊状に切断しながら該可動フレーム２６
に吸着保持させて、モールド金型に搬入するようにして
も良い。尚、フィルム供給切断装置４８よりリリースフ
ィルム３２を供給切断するタイミングは、可動フレーム
２６がスライドするタイミングを狙って行えば良く、リ
ードフレーム４２のチャック動作時の他に樹脂タブレッ
ト４ｂのチャック動作時やプレス部２へ進入するタイミ
ングなどに行っても良い。

【００５３】次に、リリースフィルム供給機構１１の更
に他の構成について図１０及び図１１を参照して説明す
る。図１０において、フィルムロール４７、該フィルム
ロール４７の繰り出し端部４７ａを吸着する吸着保持部
４９及びリリースフィルム３２を切断する切断刃５０を
ローダー６の枠体内に予め固定されている。

【００５４】予めフィルムロール４７の繰り出し端部４
７ａは吸着保持部４９により吸着保持されており、切断
刃５０は上方に待機している。可動フレーム２６は、例
えばリードフレーム４２のチャックを行うため、フレー
ム整列部３ａへ移動する際に、図１０の右端から段階的
に突出動作を行う。これにより、右先頭側の搬送用吸着
パッド５２は、繰り出し端部４７ａを吸着保持する吸着
保持部４９の付近まで移動する。該搬送用吸着パッド５
２は、図示しない駆動源により上動し、吸引動作を開始
して繰り出し端部４７ａを吸着する。そして、吸着保持
部４９は吸引動作を停止する。この状態で可動フレーム
２６が右端側へ移動することにより、フィルムロール４
７よりリリースフィルム３２が引き出される。そして、
可動フレーム２６の移動が停止すると、搬送用吸着パッ
ド５１及び吸着保持部４９がリリースフィルム３２を吸
着した後、該吸着部の近傍において切断刃５０を一旦下
動させてリリースフィルム３２を短冊状に切断してから
再び待機位置へ上動する。これによって、短冊状に切断
されたリリースフィルム３２をローダー６に吸着保持さ
せることができる。尚、切断後のフィルムロール４７の
繰り出し端部４７ａは吸着保持部４９により吸着保持さ
れているので、リリースフィルム３２が巻き出されたり
巻き戻されたりすることはない。

【００５５】このように、リリースフィルム３２を可動
フレーム２６の進退移動に伴ってロール状に巻き取られ
たフィルムロール４７よりリリースフィルム３２の先端
を引き出して短冊状に切断しながら該可動フレーム２６
に吸着保持させて、モールド金型に搬入するようにして
も良い。尚、リリースフィルム３２を供給切断するタイ
ミングは、可動フレーム２６がスライドするタイミング
を狙って行えば良く、リードフレーム４２のチャック動
作時の他に樹脂タブレット４ｂのチャック動作時やプレ
ス部２へ進入するタイミングに行っても良い。

【００５６】また、図１１において、フィルムロール４
７を可動フレーム２６に設けられた上クリーナー２４の
移動方向手前側近傍に一体に設けておき、吸着保持部４
９及び切断刃５０を有するフィルム切断装置５３を可動
フレーム２６の進退方向に移動可能に装備していても良
い。また、フィルムロール４７の繰り出し側端部４７ａ
を吸着保持するための固定用吸着パッド５４が可動フレ
ーム２６に設けられている。

【００５７】フィルム切断装置５３は、図１１の実線位
置Ｒに待機している。予めフィルムロール４７の繰り出
し端部４７ａは固定用吸着パッド５４により吸着保持さ
れており、また吸着保持部４９及び切断刃５０は上方に
待機している。可動フレーム２６が、例えばフレーム整
列部３ａへ進入してリードフレームのチャックを行うた
めローダー６より移動すると、吸着保持部４９の吸引を
開始し固定用吸着パッド５４の吸引を停止して、該吸着
保持部４９は繰り出し端部４７ａを吸着したまま上動す
る。そしてフィルム切断装置５３は図１１の二点鎖線位
置Ｌへ移動することによりリリースフィルム３２がフィ
ルムロール４７よりリリースフィルム３２が引き出され
る。そして、吸着保持部４９を下動して搬送用吸着パッ
ド５１に密着させる。そして、吸着保持部４９のエア吸
引を停止し、搬送用吸着パッド５１がエア吸引を開始し
てリリースフィルム３２の繰り出し端部４７ａを吸着す
る。また、搬送用吸着パッド５２や固定用吸着パッド５
４によりリリースフィルム３２を可動フレーム２６の上
面に吸着する。フィルム切断装置５３は再び図１１の実
線位置Ｒへ移動し、固定用吸着パッド５４による吸着部
の近傍において切断刃５０を一旦下動させてリリースフ
ィルム３２を短冊状に切断してから再び待機位置へ上動
する。これによって、短冊状に切断されたリリースフィ
ルム３２をローダー６に吸着保持させることができる。
尚、切断後のフィルムロール４７の繰り出し端部４７ａ
は固定用吸着パッド５４により吸着保持されたまま保持
される。

【００５８】このように、リリースフィルム３２を可動
フレーム２６の進退移動に伴ってロール状に巻き取られ
たフィルムロール４７よりリリースフィルム３２の先端
を引き出して短冊状に切断しながら該可動フレーム２６
に吸着保持させて、モールド金型に搬入するようにして
も良い。尚、フィルム切断装置５３よりリリースフィル
ム３２を供給切断するタイミングは、可動フレーム２６
がスライドしたタイミングを狙って行えば良く、リード
フレーム４２のチャック動作時の他に樹脂タブレット４
ｂのチャック動作時などに行っても良い。

【００５９】〔第２実施例〕次に樹脂封止装置の他の実
施例について図１６〜図１８を参照して説明する。図１
６〜図１８において、樹脂封止装置は、プレス部２が装
置本体に一体に組み込まれた一般に用いられているタイ
プの樹脂封止装置であっても良い。この樹脂封止装置で
は、ローダー６及びアンローダー７は該プレス部２の両
側に各々対向して設けられている。また、フレーム整列
部３ａとプレス部２との間にはリリースフィルム供給機
構１１が装備されている。このリリースフィルム供給機
構１１としては、図１８に示すように、フィルムロール
４７、吸着保持部４９及び切断刃５０を備え、ローダー
６の進退方向に移動可能なフィルム供給切断装置４８
（図８参照）やローダー６にフィルムロール４７、吸着
保持部４９及び切断刃５０を固定しておくもの（図１０
参照）や、或いはフィルム切断装置５３のみが可動とな
っているもの（図１１参照）のいずれを適用することも
可能である。また、プレス部２とディゲート部８との間
には、リリースフィルム除去機構１２装備されている。
このリリースフィルム除去機構１２としては、図１２及
び図１３に示すものが好適に用いられる。

【００６０】〔第３実施例〕次に樹脂封止装置の更に他
の実施例について図１９及び図２０を参照して説明す
る。図１９及び図２０において、樹脂封止装置は、第２
実施例と同様にプレス部２が装置本体に一体に組み込ま
れた一般に用いられているタイプの樹脂封止装置であ
り、ローダー６及びアンローダー７は該プレス部２の両
側に各々対向して設けられている。また、フレーム整列
部３ａとプレス部２との間にはリリースフィルム供給機
構１１が装備されている。このリリースフィルム供給機
構１１としては、図２０に示すように、フィルム供給装
置３５が予め短冊状に切断されたリリースフィルム３２
を供給トレイ３７より吸着してローダー６に供給するよ
うになっている（図３参照）。また、プレス部２とディ
ゲート部８との間には、リリースフィルム除去機構１２
装備されている。このリリースフィルム除去機構１２と
しては、図１２及び図１３に示すものが好適に用いられ
る。

【００６１】尚、本発明は上記各実施の態様に限定され
るものではなく、樹脂封止装置はプレス部のみが着脱で
きるのみならず、被成形品の供給部や成形品の収容部な
どが基本ユニット１に対して着脱自在なモジュールタイ
プのものや、これらが一体となっているタイプのものま
で様々なタイプの樹脂封止装置に適用できる。また、樹
脂封止装置は、片面モールド用の金型に限らず、両面モ
ールド用の金型を装備していても良く、該モールド金型
の種類に合わせて短冊状のリリースフィルムを上型又は
下型のみに張設する場合に限らず、上型及び下型に各々
供給するようにしても良い等、発明の精神を逸脱しない
範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのこ
とである。

【００６２】

【発明の効果】本発明は前述したように、短冊状のリリ
ースフィルムを金型のパーティング面に張設して樹脂封
止を行えるので、モールド金型をクリーンな状態に維持
することができ、しかもクリーニング動作が容易に行え
る。また、仮にリリースフィルムが破れたとしても、短
冊状のフィルムの除去は容易であり、新たにセットする
場合にも自動供給可能であるため、メンテナンス作業も
容易に行える。また、樹脂封止後、成形品とリリースフ
ィルムを一緒に搬出するので、モールド金型に残存する
バリ量が少なくなる。また、短冊状のリリースフィルム
を用いることにより、必要なサイズに切断されたものを
用いれば足りるので、長尺状のフィルムに比べて無駄な
使用量を無くして製造コストを削減できる。また、ロー
ル状に巻き取られた長尺状フィルムを使用する場合に比
べて、樹脂封止装置内の設置面積を要さず半導体装置製
造用のクリーンルームのスペースの有効利用が図れるた
め有意義であり、しかもフィルムを常時張設する必要が
ないため被成形品の搬入動作や成形品の搬出動作におい
て複雑な制御動作が不要であるため、装置構成を簡略化
することができる。また、被成形品搬入手段及び成形品
搬出手段は上下に配設され、それぞれ個別に移動可能に
装備されているので、これらのプレス部への搬入搬出動
作を同時に行うことにより樹脂封止装置のサイクルタイ
ムを短縮化して、製品の量産化、高速処理化を実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】上型のパーティング面に対するリリースフィル
ムの張設状態を示す説明図である。

【図２】モールド金型の断面説明図である。

【図３】ローダー及びアンローダーの説明図である。

【図４】リリースフィルム供給機構のフィルム供給動作
の説明図である。

【図５】リリースフィルムを張設する枠体の説明図であ
る。

【図６】他例に係るリリースフィルムを張設する枠体の
説明図である。

【図７】図６の枠体に張設されたリリースフィルムを枠
体ごと上型に保持させる構成を示す説明図である。

【図８】他のリリースフィルム供給機構を備えたローダ
ー及びアンローダーの説明図である。

【図９】図８のローダー及びアンローダーの右側面図で
ある。

【図１０】他例に係るリリースフィルム供給機構を備え
たローダー及びアンローダーの説明図である。

【図１１】他例に係るリリースフィルム供給機構の説明
図である。

【図１２】リリースフィルム除去機構による成形品より
リリースフィルムの除去動作を示す側面及び正面説明図
である。

【図１３】リリースフィルム除去機構による成形品より
リリースフィルムの除去動作を示す側面及び正面説明図
である。

【図１４】第１実施例に係る樹脂封止装置の平面図であ
る。

【図１５】図１４の樹脂封止装置の右側面図である。

【図１６】第２実施例に係る樹脂封止装置の平面図であ
る。

【図１７】第２実施例に係る樹脂封止装置の平面図であ
る。

【図１８】第２実施例に係る樹脂封止装置の正面図であ
る。

【図１９】第３実施例に係る樹脂封止装置の平面図であ
る。

【図２０】第３実施例に係る樹脂封止装置の正面図であ
る。

【図２１】従来のリリースフィルムを用いた樹脂封止装
置の説明図である。

【符号の説明】

１ 基本ユニット ２ プレス部 ３ リードフレーム供給部 ３ａ フレーム整列部 ３ｂ 回転テーブル ４ 樹脂タブレット供給部 ４ａ カセット ４ｂ 樹脂タブレット ５ リードフレーム収容部 ６ ローダー ７ アンローダー ８ ディゲート部 ９ 移動路 １０ プレス着脱部 １０ａ ローラー １０ｂ 突き当て部 １０ｃ ガイドレール １０ｄ ユニット支持面 １１ リリースフィルム供給機構 １２ リリースフィルム除去機構 １３ 上型 １３ａ，３５ａ，３６ａ 吸引穴 １３ｂ カル １３ｃ ランナ １３ｄ ゲート １３ｅ キャビティ １３ｆ ガイドピン穴 １３ｇ キャビティ吸引穴 １３ｈ たるみ吸収溝 １４ 下型 １４ａ ガイドピン １４ｂ ポット １５，１６ 回動モータ １７，１８ 回動軸 １７ａ，１８ａ カールケーブル １９，２０ プーリギヤ ２１ 搬入移動体 ２２ 搬出移動体 ２３，２７ チャックハンド ２４ 上クリーナー ２５，２９ 吸引口 ２６，３０ 可動フレーム ２６ａ，３０ａ ラック ２６ｂ パッド収容穴 ２８ 下クリーナー ３１ ハンドベースシリンダ ３２ リリースフィルム ３３，３４ 進退用モータ ３３ａ，３４ａ ピニオンギヤ ３５ フィルム供給装置 ３６，５１，５２ 搬送用吸着パッド ３７ 供給トレイ ３８ スプリング ３９ 枠体 ３９ａ 凹溝 ３９ｂ 凸部 ４０ 送りローラ対 ４１ 剥離用吸着パッド ４２ リードフレーム ４３，４４ 回転ダクト ４５，４６ 可動ダクト ４７ フィルムロール ４７ａ 繰り出し端部 ４８ フィルム供給切断装置 ４９ 吸着保持部 ５０ 切断刃 ５３ フィルム切断装置 ５４ 固定用吸着パッド ５５ 可動支持板 ５５ａ ナット ５６ 取付板 ５７ ガイドレール ５８ ボールネジ ５９ 移動モータ ６０ 回動ピン ６１ プランジャ ６２ 半導体チップ

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4F202 AD07 AD08 AH37 CA12 CB13 CB17 CK84 CL09 CL42 CM12 CM21 4F206 AD07 AD08 AH37 JA02 JB13 JB17 JF05 JF23 JL02 JM05 JN41 JQ81 JT06 JW21 5F061 AA01 BA01 CA21 DA01 DB02 DC01 DD04 DE06

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被成形品をクランプすると共に短冊状の
   リリースフィルムをパーティング面に密着させて支持す
   るモールド金型を有するプレス部と、 前記被成形品を被成形品供給部より前記プレス部へ搬入
   するため、該プレス部に対して該被成形品を保持して進
   退移動可能な被成形品搬入手段と、 前記プレス部において前記モールド金型のうち少なくと
   も樹脂成形部を含むパーティング面を覆う前記短冊状の
   リリースフィルムを供給するリリースフィルム供給機構
   と、 成形後の成形品を前記プレス部より成形品収容部へ搬出
   するため、該プレス部に対して該成形品を保持して進退
   移動可能な成形品搬出手段と、 前記プレス部より搬出された前記成形品より前記短冊状
   のリリースフィルムを除去するリリースフィルム除去機
   構と、 を備えたことを特徴とする樹脂封止装置。
2. 【請求項２】 前記プレス部は、前記短冊状のリリース
   フィルムを前記モールド金型のパーティング面に形成さ
   れた吸引穴により吸着して保持することを特徴とする請
   求項１記載の樹脂封止装置。
3. 【請求項３】 前記リリースフィルム供給機構は、予め
   短冊状に切断されたリリースフィルムがフィルム供給装
   置により前記被成形品搬入手段に供給されて吸着保持さ
   れたまま前記被成形品と共に前記モールド金型に搬入さ
   れて受け渡されることを特徴とする請求項１記載の樹脂
   封止装置。
4. 【請求項４】 前記リリースフィルム供給機構は、予め
   短冊状に切断されたリリースフィルムが周囲を枠体に挟
   持することにより張設されてモールド金型に搬入される
   ことを特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。
5. 【請求項５】 前記リリースフィルム供給機構は、前記
   被成形品搬入手段に装備された可動フレームの進退移動
   に伴ってロール状に巻き取られたフィルムロールより前
   記リリースフィルムが前記可動フレーム上に引き出され
   て吸着されたまま短冊状に切断され、該短冊状に切断さ
   れたリリースフィルムは前記可動フレーム上に吸着保持
   されたまま前記被成形品と共に前記モールド金型に搬入
   されて受け渡されることを特徴とする請求項１記載の樹
   脂封止装置。
6. 【請求項６】 前記リリースフィルム除去機構は、前記
   成形品搬出手段により前記プレス部より前記成形品と共
   に搬出される際に、前記リリースフィルムの先端側を吸
   着して該成形品より剥離して除去されることを特徴とす
   る請求項１、２、３、４又は請求項５記載の樹脂封止装
   置。
7. 【請求項７】 前記被成形品搬入手段及び成形品搬出手
   段は、装置本体に互いに重なり合うよう配設され、各々
   個別に備えた駆動源により移動可能になっていることを
   特徴とする請求項１、２、３、４、５又は請求項６記載
   の樹脂封止装置。
8. 【請求項８】 前記被成形品搬入手段及び前記成形品搬
   出手段は、前記リリースフィルム供給機構と前記リリー
   スフィルム除去機構との間に移動可能に配設されている
   ことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６又は請
   求項７記載の樹脂封止装置。
9. 【請求項９】 前記リリースフィルム供給機構及び前記
   リリースフィルム除去機構は、前記プレス部を挟む両側
   に対向して配置されていることを特徴とする請求項１、
   ２、３、４、５又は請求項６記載の樹脂封止装置。
10. 【請求項１０】 前記プレス部は、上型に対して下型が
    上下動可能に装備されており、前記被成形品搬入手段
    は、上動した下型上に成形前の被成形品を移載すると共
    に上型に対して前記短冊状のリリースフィルムを受け渡
    し、前記成形品搬出手段は型開きした下型上へ下動する
    ことにより成形後の成形品及び前記短冊状のリリースフ
    ィルムを回収することを特徴とする請求項１、２、３、
    ４、５、６、７、８又は請求項９記載の樹脂封止装置。
11. 【請求項１１】 前記被成形品搬入手段及び前記成形品
    搬出手段には、前記プレス部に進退移動する際に上下金
    型を各々クリーニングするクリーナーと、クリーニング
    された塵埃などを吸引する吸引口及びこれに接続する吸
    引ダクトとを各々備えたことを特徴とする請求項１、
    ２、３、４、５、６、７、８、９又は請求項１０記載の
    樹脂封止装置。
12. 【請求項１２】 前記被成形品供給部、前記プレス部及
    び前記成形品収容部は各々ユニット化されており、前記
    被成形品搬入手段及び前記成形品搬出手段を有する基本
    ユニットに対して少なくとも１つのユニットが着脱可能
    に装備されていることを特徴とする請求項１、２、３、
    ４、５、６、７、８、９、１０又は請求項１１記載の樹
    脂封止装置。