ITMI20130561A1

ITMI20130561A1 - Testa di misura di dispositivi elettronici

Info

Publication number: ITMI20130561A1
Application number: IT000561A
Authority: IT
Inventors: Stefano Felici; Raffaele Vallauri
Original assignee: Technoprobe Spa
Priority date: 2013-04-09
Filing date: 2013-04-09
Publication date: 2014-10-10
Also published as: MY177726A; PH12015502354A1; US20150309076A1; US9829508B2; KR102146512B1; JP2016520816A; CN105102990A; TW201500740A; KR20150140774A; JP6416205B2; EP2984492A2; WO2014167410A3; TWI636259B; SG11201508356SA; WO2014167410A2; EP2984492B1; PH12015502354B1

Description

DESCRIZIONE

Campo di applicazione

La presente invenzione fa riferimento ad una testa di misura per un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici.

L'invenzione riguarda in particolare, ma non esclusivamente, una testa di misura a sonde verticali non vincolate per il testing di dispositivi elettronici, in particolare integrati su wafer e la descrizione che segue è fatta con riferimento a questo campo di applicazione con il solo scopo di semplificarne l'esposizione.

Arte nota

Come è ben noto, una testa di misura è essenzialmente un dispositivo atto a mettere in collegamento elettrico una pluralità di piazzole di contatto di una micro struttura, in particolare un dispositivo elettronico integrato su wafer, con corrispondenti canali di una macchina di misura che ne esegue la verifica di funzionalità, in particolare elettrica, o genericamente il test.

Il test effettuato su dispositivi integrati serve in particolare a rilevare ed isolare dispositivi difettosi già in fase di produzione. Normalmente, le teste di misura vengono quindi utilizzate per il test elettrico dei dispositivi integrati su wafer prima del taglio e del montaggio degli stessi all'interno di un package di contenimento di chip.

Una testa di misura comprende essenzialmente una pluralità di elementi di contatto mobili o sonde di contattatura {contact probe) trattenute da almeno una coppia di piastre o guide sostanzialmente piastriformi e parallele tra loro. Tali guide sono dotate di appositi fori e poste ad una certa distanza fra loro in modo da lasciare una zona libera o zona d'aria per il movimento e l’eventuale deformazione delle sonde di contattatura. La coppia di guide comprende in particolare una guida superiore ed una guida inferiore, entrambe provviste di fori guida entro cui scorrono assialmente le sonde di contattatura, normalmente formate da fili di leghe speciali con buone proprietà elettriche e meccaniche.

La testa di misura è inoltre completata da un elemento di contenimento delle sonde, disposto tra le guide superiore ed inferiore, normalmente realizzato in ceramica.

Il buon collegamento fra le sonde di contattatura e le piazzole di contatto del dispositivo da testare è assicurato dalla pressione della testa di misura sul dispositivo stesso, le sonde di contattatura, mobili entro i fori guida realizzati nelle guide superiore ed inferiore, subendo in occasione di tale contatto premente una flessione, all'interno della zona d'aria tra le due guide ed uno scorrimento interno di tali fori guida. Teste di misura di questo tipo sono comunemente denominate a sonde verticali ed indicate con il termine anglosassone "vertical probe".

In sostanza, le teste di misura a sonde verticali presentano una zona d'aria in cui avviene una flessione delle sonde di contattatura, tede flessione potendo essere aiutata tramite una opportuna configurazione delle sonde stesse o delle loro guide, come illustrato schematicamente in figura 1, dove per semplicità di illustrazione è stata rappresentata una sola sonda di contattatura della pluralità di sonde normalmente comprese in una testa di misura.

In particolare, in figura 1 è schematicamente illustrata una testa di misura 1 comprendente almeno una guida superiore 3 ed una guida inferiore 4, aventi rispettivi fori guida superiore 5 ed inferiore 6 entro i quali scorre almeno una sonda di contattatura 10.

La testa di misura 1 comprende anche un elemento di contenimento 7 delle sonde, disposto tra le guide superiore 3 ed inferiore 4.

La sonda di contattatura 10 presenta almeno un’estremità o punta 8 di contatto. Con i termini estremità o punta si indica qui e nel seguito una porzione d’estremità, non necessariamente appuntita. In particolare la punta 8 di contatto va in battuta su una piazzola 9 di contatto di un dispositivo 2 da testare, effettuando il contatto meccanico ed elettrico fra detto dispositivo ed una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui tale testa di misura forma un elemento terminale.

In alcuni casi le sonde di contattatura sono vincolate alla testa stessa in corrispondenza della guida superiore in maniera fìssa: si parla di teste di misura a sonde bloccate.

Più frequentemente però si utilizzano teste di misura con sonde non vincolate in maniera fissa, ma tenute interfacciate ad una cosiddetta board mediante una microcontattiera, chiamata " space transformer" : si parla di teste di misura a sonde non bloccate

In questo caso, la sonda di contattatura presenta un'ulteriore punta di contatto verso una pluralità di piazzole di contatto dello space transformer. Il buon contatto elettrico tra sonde e space transformer viene assicurato in maniera analoga al contatto con il dispositivo da testare mediante la pressione delle sonde sulle piazzole di contatto dello space transformer.

Le guide superiore 3 ed inferiore 4 sono opportunamente distanziate da una zona d'aria che consente la deformazione delle sonde 10 di contattatura. Infine, i fori guida superiore 5 ed inferiore 6 sono dimensionati in modo da permettere uno scorrimento della sonda 10 di contattatura al loro interno.

La forma della deformazione subita dalle sonde e la forza necessaria per produrre tale deformazione sono dipendenti da numerosi fattori, quali:

le caratteristiche fisiche della lega che compone le sonde; il valore del disassamento fra fori guida nella guida superiore e corrispondenti fori guida nella guida inferiore; e

la distanza tra le piastre.

Inoltre, è opportuno ricordare che il corretto funzionamento di una testa di misura è legato fondamentalmente a due parametri: lo spostamento verticale, o overtravel, delle sonde di contattatura e lo spostamento orizzontale, o scrub, delle punte di contatto di tali sonde di contattatura.

Tutte queste caratteristiche sono da valutare e calibrare in fase di realizzazione di una testa di misura, il buon collegamento elettrico tra sonde e dispositivo da testare dovendo sempre essere garantito.

In particolare, è estremamente importante assicurare lo scrub delle punte di contatto che permette di “pulire” superficialmente le piazzole di contatto, migliorando il contatto effettuato dalla testa di misura per tutta la sua vita utile.

Le punte di contatto delle sonde di contattatura, in particolare quelle per il contatto con le piazzole di contatto dei dispositivi da testare, sono soggette durante l’uso ad accumulo di materiale, genericamente indicato come sporcizia, che ne diminuisce le prestazioni.

E’ quindi noto effettuare operazioni di pulitura delle punte di contatto mediante panni abrasivi.

Ovviamente tali operazioni di pulitura comportano il consumo di una porzione dell’estremità di punta delle sonde e sono quindi limitate in numero proprio dalla lunghezza della punta delle sonde. In particolare, la successiva abrasione della porzione di punta deve essere limitata alla porzione di sonda rastremata che sporge dalla guida inferiore 4, in grado di realizzare una punta di contatto.

Il problema tecnico che sta alla base della presente invenzione è quello di escogitare una testa di misura di dispositivi elettronici integrati su wafer, avente caratteristiche strutturali e funzionali tali da consentire un numero adeguato di operazioni di pulitura senza perdita funzionale, superando le limitazioni e gli inconvenienti che tuttora affliggono le teste realizzate secondo l'arte nota.

Sommario dell' invenzione

L'idea di soluzione che sta alla base della presente invenzione è quella di realizzare una testa di misura comprendente almeno un elemento distanziatore, disposto tra l’elemento di contenimento delle sonde ed almeno una delle guide superiore o inferiore, facilmente rimovibile ed eventualmente pelabile.

Sulla base di tale idea di soluzione il problema tecnico è risolto da una testa di misura per un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente una pluralità di sonde di contattatura inserite in fori guida realizzati in almeno una guida superiore ed in una guida inferiore, nonché almeno un elemento di contenimento delle sonde disposto tra le guide superiore ed inferiore, ciascuna delle sonde di contattatura avendo almeno una porzione terminale che termina con una punta di contatto atta ad andare in battuta su una rispettiva piazzola di contatto di un dispositivo da testare e sporgente per una lunghezza dalla guida inferiore, caratterizzata dal fatto di comprendere ulteriormente almeno un elemento distanziatore interposto tra l’elemento di contenimento ed almeno una delle guide superiore ed inferiore, l’elemento distanziatore essendo rimuovibile per regolare la lunghezza delle porzioni terminali delle sonde di contattatura.

Più in particolare, l’invenzione comprende le seguenti caratteristiche supplementari e facoltative, prese singolarmente o all’occorrenza in combinazione.

Secondo un aspetto dell’invenzione, l’elemento distanziatore può essere interposto tra l’elemento di contenimento e la guida superiore.

Ulteriormente, la testa di misura può comprendere ulteriormente mezzi di trattenimento atti a solidarizzare l’elemento distanziatore, l’elemento di contenimento e la guida superiore o inferiore.

Secondo questo aspetto dell’invenzione, i mezzi di trattenimento possono comprendere ciascuno almeno una vite alloggiata in un rispettivo foro filettato, realizzato nella guida superiore o inferiore in corrispondenza di un punto di posizionamento dell’elemento distanziatore.

Inoltre, l’elemento distanziatore può comprendere almeno un foro atto all’alloggiamento della vite.

Secondo un ulteriore aspetto dell’invenzione, la testa di misura può comprendere una pluralità di elementi distanziatori, posizionati in corrispondenza di un contorno della guida superiore o inferiore.

In particolare, tali elementi distanziatori possono essere posizionati in maniera asimmetrica lungo il contorno della guida superiore o inferiore.

La testa di misura può in particolare comprendere almeno quattro elementi distanziatori, posizionati in corrispondenza di angoli della guida superiore o inferiore, avente forma sostanzialmente rettangolare.

Ulteriormente, la testa di misura può comprendere almeno quattro elementi distanziatori, posizionati in corrispondenza di una porzione centrale di lati della guida superiore o inferiore, avente forma sostanzialmente rettangolare.

La testa di misura può altresì comprendere almeno quattro elementi distanziatori, posizionati in corrispondenza di angoli della guida superiore o inferiore, avente forma sostanzialmente rettangolare, ed almeno ulteriori quattro elementi distanziatori, posizionati in corrispondenza di una porzione centrale di lati della dette guida superiore o inferiore, in posizioni distinte dai quattro elementi distanziatori.

Secondo un aspetto deirinvenzione, l’elemento distanziatore può essere realizzato in materiale plastico.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, l’elemento distanziatore può avere la forma di una paletta e comprendere un corpo allungato ed una testa avente dimensioni maggiori rispetto al corpo allungato.

Ulteriormente, secondo un altro aspetto ancora dell’invenzione, l’elemento distanziatore può comprendere una pluralità di strati sovrapposti e singolarmente rimovibili.

In particolare, gli strati possono essere solidarizzati tra loro mediante un materiale adesivo con ridotta tenuta, così da consentire in maniera agevole la separazione degli strati l’uno dall’altro.

Il problema tecnico è altresì risolto da un metodo di regolazione di una testa di misura comprendente una pluralità di sonde dì contattatura inserite in fori guida realizzati in almeno una guida superiore ed in una guida inferiore, nonché almeno un elemento di contenimento delle sonde disposto tra le guide superiore ed inferiore, ciascuna delle sonde di contattatura avendo almeno una porzione terminale che termina con una punta di contatto atta ad andare in battuta su una rispettiva piazzola di contatto di un dispositivo da testare e sporgente per una lunghezza dalla guida inferiore, la testa di misura comprendendo ulteriormente almeno un elemento distanziatore interposto tra l’elemento di contenimento ed almeno una delle guide superiore ed inferiore, il metodo essendo caratterizzato dal fatto di comprendere le fasi di:

de-solidarizzazione dell’elemento distanziatore, della guida superiore o inferiore e dell’elemento di contenimento;

- rimozione dell’elemento distanziatore;

avvicinamento della guida superiore o inferiore all’elemento di contenimento; e

solidarizzazione della guida superiore o inferiore e dell’elemento di contenimento,

così da regolare la lunghezza delle porzioni terminali delle sonde di contattatura.

Secondo un aspetto dell’invenzione, la testa di misura può comprendere mezzi di trattenimento per solidarizzare elemento distanziatore, la guida superiore o inferiore e l’elemento di contenimento formati da rispettive viti alloggiate in rispettivi fori filettati, la fase di desolidarizzazione può comprendere una fase di sbloccaggio dei mezzi di trattenimento mediante allentamento o rimozione delle viti e la fase di solidarizzazione può comprendere una fase di ripristino dei mezzi di trattenimento mediante riavvitamento delle viti nei fori filettati.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, la testa di misura può comprende elementi distanziatori aventi una pluralità di strati sovrapposti e singolarmente rimovibili e la fase di rimozione può comprendere una fase di rimozione di uno o più strati dell’elemento distanziatore multistrato.

Ulteriormente, il metodo di regolazione può comprendere ulteriori fasi di de-solidarizzazione dell’elemento distanziatore multistrato, la guida superiore o inferiore e l’elemento di contenimento, rimozione di uno o più strati dell’elemento distanziatore multistrato e avvicinamento della guida superiore o inferiore all’elemento di contenimento, tali ulteriori fasi potendo essere eseguite in immediata successione o a distanza di tempo dalle precedenti corrispondenti fasi.

Infine, secondo un altro aspetto dell’invenzione, la fase di rimozione di uno o più strati dell’elemento distanziatore multistrato può avvenire in maniera asimmetrica su una pluralità di elementi distanziatori multistrato compresi nella testa di misura, in modo da compensare eventuali disallineamenti delle lunghezze delle porzioni terminali delle sonde di contattatura.

Le caratteristiche ed i vantaggi della testa di misura e del metodo di regolazione secondo l’invenzione risulteranno dalla descrizione, fatta qui di seguito, di un suo esempio di realizzazione dato a titolo indicativo e non limitativo con riferimento ai disegni allegati.

Breve descrizione dei disegni

In tali disegni:

la Figura 1 : mostra schematicamente una testa di misura di dispositivi elettronici, in particolare integrati su wafer, realizzata secondo la tecnica nota;

la Figura 2: mostra schematicamente in una vista in sezione di una testa di misura di dispositivi elettronici, in particolare integrati su wafer, realizzata secondo l’invenzione;

la Figura 3: mostra schematicamente in una vista dall’alto della testa di misura di Figura 2;

le Figure 4A-4D mostrano schematicamente in una vista dall’alto varianti di realizzazione della testa di misura realizzata secondo l’invenzione;

- le Figure 5A-5C mostrano schematicamente in sezione la testa di misura di Figura 2 in diverse fasi del metodo di regolazione secondo l’invenzione;

la Figura 6: mostra schematicamente in una vista dall’alto un particolare della testa di misura di Figura 2;

- la Figura 7: mostra schematicamente in una vista in sezione una ulteriore variante di realizzazione della testa di misura secondo l’invenzione;

le Figure 8A-8F mostrano schematicamente in sezione la testa di misura di Figura 7 in diverse fasi di una variante del metodo di regolazione secondo l’invenzione.

Descrizione dettagliata

Con riferimento a tali figure, ed in particolare alla Figura 2, con 20 è complessivamente indicata una testa di misura realizzata secondo l’invenzione.

E' opportuno notare che le figure rappresentano viste schematiche e non sono disegnate in scala, ma sono invece disegnate in modo da enfatizzare le caratteristiche importanti deirinvenzione.

Si sottolinea inoltre che accorgimenti mostrati con riferimento ad una particolare forma di realizzazione possono essere ovviamente utilizzati in combinazione con altre forme di realizzazione. Inoltre, gli stessi riferimenti numerali sono utilizzati nelle diverse figure per indicare elementi strutturalmente e funzionalmente corrispondenti.

La testa di misura 20 comprende un blocco sonde 21, a sua volta includente una pluralità di sonde di contattatura 22. La testa di misura 20 comprende altresì almeno una guida superiore 23 ed una guida inferiore 24, aventi rispettivi fori guida entro i quali scorrono le sonde di contattatura 22.

In particolare, le sonde di contattatura 22 presentano ciascuna almeno una porzione terminale 25, in corrispondenza della guida inferiore 24, che termina con una punta di contatto atta ad andare in battuta su una rispettiva piazzola di contatto di un dispositivo da testare (non illustrato), effettuando il contatto meccanico ed elettrico fra detto dispositivo ed una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui tale testa di misura forma un elemento terminale. Come già sottolineato, con il termine punta si indica una porzione d’estremità, non necessariamente appuntita.

Le sonde di contattatura 22 presentano inoltre un'ulteriore porzione terminale 26 in corrispondenza della guida superiore 23, eventualmente dotata di una ulteriore punta di contatto verso una pluralità di piazzole di contatto di uno space transformer.

La porzione terminale 25 delle sonde di contattatila 22 sporge di una opportuna lunghezza L rispetto alla guida inferiore 24, con riferimento ad un piano ideale realizzato da un dispositivo da testare in contatto premente con la testa di misura 20. Tale lunghezza L si riduce man mano la testa di misura 20 viene utilizzata in virtù dei passaggi su panno abrasivo delle sue punte, come spiegato in relazione alla tecnica nota.

La testa di misura 20 comprende anche un elemento di contenimento 27 delle sonde, disposto tra le guide superiore 23 ed inferiore 24.

Vantaggiosamente secondo l’invenzione, la testa di misura 20 comprende inoltre almeno un elemento distanziatore 28 disposto tra almeno una guida superiore o inferiore e l’elemento di contenimento 27 delle sonde, in particolare, nell’esempio illustrato in Figura 2, tra la guida superiore 23 e l’elemento di contenimento 27. Si sottolinea come tale posizionamento dell’elemento distanziatore 28 tra la guida superiore 23 e l’elemento di contenimento 27 sia particolarmente vantaggioso garantendo un facile accesso all’elemento distanziatore 28 appunto.

Vantaggiosamente secondo l’invenzione, gli elementi distanziatori 28, posizionati tra la guida superiore 23 e l’elemento di contenimento 27, creano una zona d’aria di altezza H, come indicato in figura.

La testa di misura 20 comprende altresì rispettivi mezzi di trattenimento 29, atti a solidarizzare guida superiore 23, elemento distanziatore 28 ed elemento di contenimento 27.

Come illustrato in Figura 3, dove la testa di misura 20 è montata su una board 30, i mezzi di trattenimento 29 possono essere realizzati mediante viti 31, in particolare a testa piatta, alloggiate in rispettivi fori filettati 32, realizzati nella guida superiore 23 in corrispondenza di punti di posizionamento degli elementi distanziatori 28.

In particolare, neiresempio illustrato in Figura 3, che corrisponde ad una forma di realizzazione preferita della testa di misura 20 secondo l’invenzione, si utilizzano quattro elementi distanziatori, indicati con 28A, 28B, 28C e 28D, posizionati in corrispondenza di angoli della guida superiore 23, avente una forma sostanzialmente rettangolare.

La testa di misura 20 può altresì comprendere ulteriori mezzi di trattenimento 29’, ed in particolare ulteriori viti 31’, nell’esempio illustrato viti a croce, alloggiate in rispettivi fori filettati 32’ per la solidarizzazione tra la guida superiore 23 e l’elemento di contenimento 27. I mezzi di trattenimento 29’ sono in particolare disposti in zone della guida superiore 23 distinte dai punti in cui sono predisposti gli elementi distanziatori 28.

Nell’esempio della Figura 3, in particolare, la testa di misura 20 comprende quattro ulteriori viti 31’, disposte in corrispondenza dei lati della guida superiore 23 di forma sostanzialmente rettangolare e posizionate centralmente, in zone dove non sono presenti gli elementi distanziatori 28.

E’ ovviamente possibile prevedere diverse configurazioni per gli elementi distanziatori 28, che possono essere disposti in numero diverso, in maniera simmetrica o meno ed in diverse posizioni rispetto a quelle illustrate in Figura 3.

Esempi di varianti di realizzazione della testa di misura 20, in particolare con riferimento ai suoi elementi distanziatori 28, sono illustrati nelle Figure da 4A a 4D.

In particolare, in Figura 4A è illustrata una testa di misura 20 comprendente un solo elemento distanziatore, indicato come in Figura 3 con 28A, in particolare posizionato in corrispondenza di un angolo della guida superiore 23 di forma sostanzialmente rettangolare.

In alternativa, in Figura 4B è illustrata una testa di misura 20 comprendente due elementi distanziatori, indicati con 28A e 28C, posizionati sostanzialmente su una diagonale della guida superiore 23 di forma sostanzialmente rettangolare.

Ulteriormente, in Figura 4C è illustrata una testa di misura 20 comprendente tre elementi distanziatori, indicati con 28A, 28C e 28D, posizionati in una configurazione asimmetrica in corrispondenza di tre dei quattro angoli della guida superiore 23 di forma sostanzialmente rettangolare.

Infine, in Figura 4D è illustrata una testa di misura 20 comprendente quattro elementi distanziatori, indicati con 28A, 28B, 28C e 28D, posizionati in corrispondenza degli angoli della guida superiore 23 di forma sostanzialmente rettangolare ed ulteriori quattro elementi distanziatori, indicati con 28Ά, 28Έ, 28’C e 28T), disposti in corrispondenza dei lati della guida superiore 23 e posizionati centralmente in corrispondenza delle ulteriori viti 31’.

La testa di misura 20 secondo l’invenzione consente di implementare un metodo di regolazione della lunghezza L delle porzioni terminali 25 delle sonde di contattatura 22.

Un tale metodo di regolazione è illustrato con riferimento alle Figure 5A-5C.

In particolare, in tali figure è illustrata in sezione una testa di misura 20 comprendente almeno due elementi distanziatori 28, posizionati tra la guida superiore 23 e l’elemento di contenimento 27 e solidarizzati mediante mezzi di trattenimento 29 realizzati da viti 31 alloggiate in rispettivi fori filettati 32.

In Figura 5A, la testa di misura 20 presenta sonde di contattatura 22 aventi porzioni terminali 25 che sporgono rispetto alla guida inferiore 24 di una lunghezza LI inferiore ad una lunghezza di valore L*, corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura 20. In sostanza, in tali condizioni, la testa di misura 20 non è in grado di realizzare un corretto contatto premente delle sue sonde di contattatura 22 su corrispondenti piazzole di contatto di un dispositivo da testare (non illustrato). ;Vantaggiosamente secondo l’invenzione, il metodo comprende una fase di sbloccaggio dei mezzi di trattenimento 29 mediante allentamento o rimozione le viti 31 seguita da una fase di rimozione degli elementi distanziatori 28, come illustrato in Figura 5B. ;A questo punto, il metodo comprende una fase di avvicinamento della guida superiore 23 all’elemento di contenimento 27 secondo una direzione indicata dalle frecce F. Il metodo comprende infine una fase di ripristino dei mezzi di trattenimento 29 mediante riavvitamento delle viti 31 nei rispettivi fori filettati 32 per solidarizzare nuovamente la guida superiore 23 con l’elemento di contenimento 27, come illustrato in Figura 5C. ;Grazie alla rimozione degli elementi distanziatori 28, la testa di misura 20 nella configurazione di Figura 5C comprende sonde di contattatura 22 aventi porzioni terminali 25 che sporgono rispetto alla guida inferiore 24 di una lunghezza L2 uguale o superiore alla lunghezza di valore L*, corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura 20. Vantaggiosamente con il metodo di regolazione secondo l’invenzione, il corretto funzionamento della testa di misura 20 è quindi ripristinato in modo semplice e rapido.

Un elemento distanziatore 28 può avere convenientemente la forma di una paletta, come illustrato schematicamente in Figura 6. Un tale elemento distanziatore 28 può essere realizzato in materiale plastico.

In particolare, l’elemento distanziatore 28 comprende un corpo allungato 33 ed una testa 34, ad esempio circolare, opportunamente recante un foro 35 avente dimensioni adatte ad essere attraversato dalle viti 31. Una tale forma degli elementi distanziatori 28 risulta particolarmente vantaggiosa, garantendo un facile afferraggio di tali elementi in corrispondenza del corpo allungato 33 al momento della rimozione degli stessi. Inoltre, le maggiori dimensioni della testa 34 rispetto al corpo allungato 33 garantisce una buona ripartizione del carico pressorio in occasione del serraggio del mezzi di trattenimento 29, in particolare delle viti 31 nei fori 32.

E’ altresì possibile realizzare gli elementi distanziatori 28 come quadretti o rondelle, opportunamente forati per consentire il passaggio delle viti 31.

Gli elementi distanziatori 28 possono anche essere realizzati mediante una pluralità di strati sovrapposti e singolarmente rimovibili, eventualmente solidarizzati tra loro mediante un materiale adesivo, quale una colla, con ridotta tenuta, così da consentire in maniera agevole la separazione degli strati l’uno daH’altro. Elementi distanziatori 28 di questo tipo possono essere definiti elementi distanziatori pelabili.

Una testa di misura 20 comprendente elementi distanziatori 28 multistrato o pelabili è illustrata schematicamente in Figura 7.

In particolare, nell’esempio illustrato in tale figure, ogni elemento distanziatore 28 comprende almeno un primo strato 281, un secondo strato 282 ed un terzo strato 283, in particolare di uguale forma e spessore. Ovviamente, è possibile considerare elementi distanziatori 28 aventi un numero diverso di strati, eventualmente di spessore diverso l’uno rispetto all’altro. Opzionalmente, strati di materiale adesivo a bassa tenuta sono interposti tra gli strati dell’elemento distanziatore 28.

E’ in tal caso possibile procedere alla rimozione di uno solo o di più strati degli elementi distanziatori 28 multistrato o pelabili, simultaneamente o in successione, per una regolazione a stadi della lunghezza L delle porzioni terminali 25 delle sonde di contattatura 22. Vantaggiosamente secondo l’invenzione, gli elementi distanziatori 28 multistrato o pelabili, posizionati tra la guida superiore 23 e l’elemento di contenimento 27, creano una zona d’aria di altezza HI, in particolare superiore rispetto all’altezza H della zona d’aria realizzata dagli elementi distanziatori 28 della testa di misura 20 illustrata in Figura 2.

La testa di misura 20 comprendente elementi distanziatori 28 multistrato o pelabili del tipo illustrato in Figura 7 consente di implementare una variante del metodo di regolazione della lunghezza L delle porzioni terminali 25 delle sonde di contattatura 22. In particolare, tale variante del metodo di regolazione secondo l’invenzione consente la regolazione a stadi della lunghezza L delle porzioni terminali 25 delle sonde di contattatura 22.

Una possibile implementazione di tale variante del metodo di regolazione secondo l’invenzione è illustrata con riferimento alle Figure 8A-8F.

In Figura 8A, la testa di misura 20 presenta sonde di contattatura 22 aventi porzioni terminali 25 che sporgono rispetto alla guida inferiore 24 di una lunghezza inferiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura 20. La testa di misura 20 comprende elementi distanziatori 28 multistrato o pelabili del tipo illustrato in Figura 7.

Vantaggiosamente secondo l’invenzione, il metodo comprende una fase di sbloccaggio dei mezzi di trattenimento 29 mediante allentamento o rimozione le viti 31 seguita da una fase di rimozione di almeno un primo strato 281 degli elementi distanziatori 28, come illustrato in Figura 8B.

A questo punto, il metodo comprende una fase dì avvicinamento della guida superiore 23 all’elemento di contenimento 27 secondo una direzione indicata dalle frecce FI, come illustrato in Figura 8C.

Nel caso in cui le sonde di contatta tura 22, dopo ravvicinamento della guida superiore 23 all’elemento di contenimento 27 hanno porzioni terminali 25 che sporgono rispetto alla guida inferiore 24 di una lunghezza comunque inferiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura 20, come illustrato in Figura 8D, il metodo comprende una ulteriore fase di sbloccaggio dei mezzi di trattenimento 29 mediante allentamento o rimozione le viti 31 seguita da una fase di rimozione di almeno un secondo strato 282 degli elementi distanziatori 28, come illustrato in Figura 8E.

A questo punto, il metodo comprende una ulteriore fase di avvicinamento della guida superiore 23 all’elemento di contenimento 27 secondo una direzione indicata dalle frecce F2.

Il metodo comprende infine una fase di ripristino dei mezzi di trattenimento 29 mediante riavvitamento delle viti 31 nei rispettivi fori filettati 32 per solidarizzare nuovamente la guida superiore 23, l’elemento distanziatore 28 e l’elemento di contenimento 27, come illustrato in Figura 8F.

E’ opportuno sottolineare come in tal caso la regolazione della lunghezza delle porzioni terminali 25 delle sonde di contattatura 22 sporgenti dalla guida inferiore 24 non ha comportato una rimozione totale degli elementi distanziatori 28.

E’ ovviamente possibile effettuare le ulteriori fasi di rimozione di uno strato degli elementi distanziatori 28 e di avvicinamento della guida superiore 23 all’elemento di contenimento 27 anche in un momento successivo della vita della testa di misura 20, in particolare quando le porzioni terminali 25 delle sue sonde di contattatura 22 si sono ulteriormente accorciate per l’uso e presentano una lunghezza inferiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura 20.

Inoltre, vantaggiosamente secondo l’invenzione, è possibile effettuare la rimozione di uno strato degli elementi distanziatori 28 e l’avvicinamento della guida superiore 23 all’elemento di contenimento 27 anche in maniera asimmetrica, in modo da regolare la lunghezza delle porzioni terminali 25 delle sonde di contattatura 22 in caso di un disallineamento delle rispettive punte di contatto dovuto alle tolleranze del processo di realizzazione delle sonde stesse.

In conclusione, la testa di misura con elementi distanziatori secondo l’invenzione risulta avere una maggiore durata, dal momento che posso fare un numero elevato di operazioni di pulizia della relativa punta e poi regolare la lunghezza delle porzioni terminali delle sonde di contattatura che sporgono rispetto alla guida inferiore in modo che sia uguale o superiore una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura.

Il metodo di regolazione della testa di misura con elementi distanziatori secondo invenzione consente in ripristinare in modo semplice e rapido il corretto funzionamento della testa di misura stessa dopo un periodo di funzionamento che ha portato ad un accorciamento delle porzioni terminali delle sue sonde di contattatura.

Inoltre, in caso di utilizzo di elementi distanziatori multistrato o pelabili, è possibile effettuare ulteriori regolazioni della lunghezza delle porzioni terminali delle sonde di contattatura in diversi momenti della vita della testa di misura, in particolare ogni qual volta tali porzioni terminali si sono accorciate per Fuso e presentano una lunghezza inferiore ad una lunghezza corrispondente ad un funzionamento corretto della testa di misura stessa.

Ulteriormente, la testa di misura con elementi distanziatori consente di regolare la lunghezza delle porzioni terminali delle sonde di contattatura in caso di un disallineamento delle rispettive punte di contatto dovuto alle tolleranze del processo di realizzazione delle sonde stesse.

Ovviamente alla testa di misura sopra descritte un tecnico del ramo, allo scopo di soddisfare esigenze contingenti e specifiche, potrà apportare numerose modifiche e varianti, tutte comprese nell’ambito di protezione dell'invenzione quale definito dalle seguenti rivendicazioni.

Claims

RIVENDICAZIONI 1. Testa di misura (20) per un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente una pluralità di sonde di contattatura (22) inserite in fori guida realizzati in almeno una guida superiore (23) ed in una guida inferiore (24), nonché almeno un elemento di contenimento (27) di dette sonde disposto tra dette guide superiore ed inferiore (23, 24), ciascuna di dette sonde di contattatura (22) avendo almeno una porzione terminale (25) che termina con una punta di contatto atta ad andare in battuta su una rispettiva piazzola di contatto di un dispositivo da testare e sporgente per una lunghezza (L) da detta guida inferiore (24), caratterizzata dal fatto di comprendere ulteriormente almeno un elemento distanziatore (28) interposto tra detto elemento di contenimento (27) ed almeno una di dette guide superiore ed inferiore (23, 24), detto elemento distanziatore (28) essendo rimuovibile per regolare detta lunghezza (L) di dette porzioni terminali (25) di dette sonde di contattatura (22).
2. Testa di misura (20) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento distanziatore (28) è interposto tra detto elemento di contenimento (27) e detta guida superiore (23).
3. Testa di misura (20) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto di comprendere ulteriormente mezzi di trattenimento (29) atti a solidarizzare detto elemento distanziatore (28), detto elemento di contenimento (27) e detta guida superiore o inferiore (23, 24).
4. Testa di misura (20) secondo la rivendicazione 3, caratterizzata dal fatto che detti mezzi di trattenimento (29) comprendono ciascuno almeno una vite (31) alloggiata in un rispettivo foro filettato (32), realizzato in detta guida superiore o inferiore (23, 24) in corrispondenza di un punto di posizionamento di detto elemento distanziatore (28).
5. Testa di misura (20) secondo la rivendicazione 4, caratterizzata dal fatto che detto elemento distanziatore (28) comprende almeno un foro (35) atto airalloggiamento di detta vite (31).
6. Testa di misura (20) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto di comprendere una pluralità di elementi distanziatori (28A, 28B, 28C, 28D; 28Ά, 28T3, 28’C, 28’D), posizionati in corrispondenza di un contorno di detta guida superiore o inferiore (23, 24).
7. Testa di misura (20) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento distanziatore (28) è realizzato in materiale plastico.
8. Testa di misura (20) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento distanziatore (28) comprende una pluralità di strati (281, 282, 283) sovrapposti e singolarmente rimovibili.
9. Metodo di regolazione di una testa di misura (20) comprendente una pluralità di sonde di contattatura (22) inserite in fori guida realizzati in almeno una guida superiore (23) ed in una guida inferiore (24), nonché almeno un elemento di contenimento (27) di dette sonde disposto tra dette guide superiore ed inferiore (23, 24), ciascuna di dette sonde di contattatura (22) avendo almeno una porzione terminale (25) che termina con una punta di contatto atta ad andare in battuta su una rispettiva piazzola di contatto di un dispositivo da testare e sporgente per una lunghezza (L) da detta guida inferiore (24), detta testa di misura (20) comprendendo ulteriormente almeno un elemento distanziatore (28) interposto tra detto elemento di contenimento (27) ed almeno una di dette guide superiore ed inferiore (23, 24), il metodo essendo caratterizzato dal fatto di comprendere le fasi di: - de-solidarizzazione di detto elemento distanziatore (28), detta guida superiore o inferiore (23, 24) e detto elemento di contenimento (27); rimozione di detto elemento distanziatore (28); avvicinamento di detta guida superiore o inferiore (23, 24) a detto elemento di contenimento (27); e solidaxizzazione di detta guida superiore o inferiore (23, 24) e detto elemento di contenimento (27), così da regolare detta lunghezza (L) di dette porzioni terminali (25) di dette sonde di contattatura (22).
10. Metodo di regolazione secondo la rivendicazione 9, in cui detta testa di misura (20) comprende elementi distanziatori (28) aventi una pluralità di strati (281, 282, 283) sovrapposti e singolarmente rimovibili, caratterizzato dal fatto che detta fase di rimozione comprende una fase di rimozione di uno o più strati di detto elemento distanziatore (28) multistrato.
11. Metodo di regolazione secondo la rivendicazione 10, caratterizzato dal fatto che detta fase di rimozione di uno o più strati di detto elemento distanziatore (28) multistrato avviene in maniera asimmetrica su una pluralità di elementi distanziatori (28) multistrato compresi nella testa di misura (20), in modo da compensare eventuali disallineamenti di dette lunghezze di dette porzioni terminali (25) di dette sonde di contattatura (22).