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FR3094484B1 - Dispositif résonateur - Google Patents

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FR3094484B1
FR3094484B1 FR1903408A FR1903408A FR3094484B1 FR 3094484 B1 FR3094484 B1 FR 3094484B1 FR 1903408 A FR1903408 A FR 1903408A FR 1903408 A FR1903408 A FR 1903408A FR 3094484 B1 FR3094484 B1 FR 3094484B1
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FR
France
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resonators
resonator
resonator device
cavity
parts
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FR1903408A
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Sylvain Ballandras
Emilie Courjon
Florent Bernard
Alexandre Raveski
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Soitec SA
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Frecnsys SAS
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    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • G01L1/162—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators
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  • Acoustics & Sound (AREA)
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Abstract

L'invention concerne un dispositif résonateur pour mesurer une contrainte comprenant au moins deux résonateurs, chaque résonateur comprenant une structure de transducteur interdigité arrangée entre deux structures réfléchissantes sur ou dans un substrat piézoélectrique, caractérisé en ce que les au moins deux résonateurs sont arrangés et positionnés de sorte qu'ils ont deux directions de propagation d’onde différentes et que chaque résonateur comprend au moins deux parties avec la zone située entre les deux parties des au moins deux résonateurs formant une cavité, dans lequel la cavité est partagée par les au moins deux résonateurs. L'invention concerne également un dispositif capteur différentielle comprenant au moins un dispositif résonateur tel que décrit précédemment. Figure pour l’abrégé : Fig. 2a
FR1903408A 2019-03-29 2019-03-29 Dispositif résonateur Active FR3094484B1 (fr)

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